WO2002036989A1 - Dispositif de commande de mouvement lineaire - Google Patents

Description

明 細 書 直線運動駆動装置 技術分野

本発明は、 工場の設備や各種の産業機械等で使用され、 電動モー夕に より回転駆動し、 その回転運動を直線運動に変換して、 出力部を直線移 動させる直線運動駆動装置に関する。 背景技術

電動モータにより回転駆動し、 その出力部を直線運動させる駆動機構 として、 従来、 ポールねじが、 各種の分野で使用されているが、 この種 のポールねじは、 スク リユーシャフ トの外周に、 多数のベアリングを介 して、 雌ねじブロックを螺合させ、 'スクリューシャフ トを電動モー夕で 回転駆動することにより、 雌ねじブロックを軸方向に沿って直線運動さ せるものである。 しかし、 このボールねじは、 スクリューシャフ トや雌 ねじプロックの'加工に高い精度が要求されるため、 製造コストが高く、 価格が高くなる問題があった。

そこで、 本発明者は、 特開平 8 — 2 1 9 2 4 8号公報において、 軸方 向にスリ ッ トを設けたシリンダとシャフ トの間に、 円筒コイルばねを軸 方向と一定の傾斜をもつて組立て、 シリンダの外周をリ ングにより締め. 付けて装 した直線運動駆動装置を提案した。

しかし、 この直線運動駆動装置は、 シリ ンダ内面の真円度が低く高い 精度で真円になっていない場合、 円筒コイルばねの回転位置に応じてシ リンダとシャフ トへの圧接力がばらつき、 安定した直線運動を得ること ができにくい問題があった。 また、 シリ ンダからシャフ トに或はシャフ トからシリ ンダには、 円筒 コイルばねの摩擦力により力の伝達が行なわれるが、 金属の曲面同士が 接触するため、 駆動時に円筒コイルばねとシリンダまたはシャフ トとの 間にスリ ップが生じる。 このスリ ップは軸方向にも生じ、 軸方向のスリ ップが繰り返されると、 そのスリ ップ量の累積により円筒コイルばねの 位置が一方に偏り、 シャフ トの移動ス トロークが徐々に減少してしまう 問題があった。

本発明の目的は、 ポールねじに比べ安価に製造することができ、 安定 した直線運動を行なう ことができる直線運動駆動装置を提供することで ある。 さ らに、 本発明の目的は、 スリ ップ量の累積による円筒コイル口 —ラの偏りを防止することができる直線運動駆動装置を提供することで ある。 ' 発明の開示

本発明の直線運動駆動装置は、 円筒体内にシャフ トを同軸心状態に嵌 挿させ、 円筒体とシャフ トの間に複数の円筒コイルローラを配設し、 シ ャフ トの外周面と円筒体の内周面の間に複数の円筒コィルロ一ラを挟み 付けるように.圧接力を持って接触させ、 円筒体またはシャフ トを回転さ せてシャフ トまたは円筒を軸方向に直線運動させる直線運動駆動装置で あって、 円筒コイル口一ラはシャフ トの外周部で転動可能に配設される と共に、 それらの円筒コイルローラの角度がシャフ トと円筒体の軸方向 に対し傾斜して配設され、 円筒体の内周面とシャフ 卜の外周面によって 挟まれた円筒コイルローラの当該両面に対する圧接力を、 円筒体または シャフ トの端部近傍で高く し、 或はそれらに対する圧接力を、 円筒体ま たはシャフ トの端部近傍で低く して、 円筒コイルローラのスリ ップの累 積による位置の偏りを補正するものである。 ここで、 円筒体の内周面とシャフ 卜の外周面によって挟ま'れた円筒コ ィルローラの当該両面に対する圧接力を、 円筒体またはシャフ トの端部 で高くするためには、 円筒体の端部の肉厚をその中間部に比べ増大させ るとよい。 また、 円筒体の内周面とシャフ トの外周面によって挟まれた 円筒コイルローラの当該両面に対する圧接力を、 円筒体またはシャフ ト の端部で低くするためには、 シャフトの端部の外径を徐々に縮径するよ うにテーパー部をシャフ トの端部に設けるとよい。 さらに、 円筒体を比 較的薄肉のパイプから形成し、 そのパイプの両端を半径方向に変形が生 じないように拘束する構造とするとよい。 図面の簡単な説明

'図 1 は本発明の一実施形態を示す直線運動駆動装置の軸方向の断面図 である。

図 2は図 1 の I I - I I 断面図である。

図 3は円筒コイルローラ組付体の側面図である。

図 4は円筒コイルローラ組付体の正面図である。

図 5は他の実施例の部分断面図である。

図 はさらに他の実施例の軸方向の断面図である。

図 7は他の実施例の円筒コィルローラ組付体の断面図である。

発明を実施するための最'良の形態

図 1 に示すように、 本直線運動駆動装置の回転駆動部となる円筒体 4 は、 その一端を回転部材 1 2に固定し、 他端を回転支持部材 1 3に固定 して支持さ；れ、 筒型のハウジング 9内に回転可能に取り付けられる。 円 筒体 4の中間部は薄肉部 4 aとして、 より薄肉状に形成され、 その上部 と下部は厚肉部 4 bとして、 より肉厚に形成される。

ハウジング 9の下端に電動モータ 2 5が固定され、 電動モータ 2 5の 回転軸が回転部材 1 2の連結'される。 回転部材 1 2はハウジング 9内で アンギユラベアリング 8を介して回転可能に支持され、 軸方向には移動 不可能に拘束されている。 同様に、 回転支持部材 1 3がハウジング 9内 でアンギユラベアリング 8を介して回転可能に支持され、 軸方向には移 動不可能に拘束されている。

シャフ ト 6が、 ハウジンダ 9内に同軸上に揷通され、 ハウジング 9の 上部に設けた円筒体 4と同心のガイ ドメ夕ル 1 4により軸方向にスライ ド可能に支持される。 シャフ ト 6の軸方向に中心孔が穿設され、 その中 心孔に中軸 1 5が揷通される。 中軸 1 5の上端と下端はシャフ ト 6外に 突出し、 その下端にストッパ一 1 6が固定され、 その上端にス トツバ 1 7が固定される。 ス トツバ 1 6 とシャフ ト 6の下端との間にコイルスプ リンダ 1 8が装着され、 ス トッパ 1 7 と出力ブロック 2 0の間にコイル スプリング 1 9が装着される。

出力ブロック 2 0は、 シャフ ト 6の上端に回り止め用のキー 2 6 を嵌 着して固定され、 中軸 1 5はシャフト 6内で僅かな距離だけ軸方向に移 動可能である。 また、 出力ブロック 2 0には回り止めロッ ド 2 2がハウ ジング 9側に向けて固定され、 ハウジング 9の上端に設けた摺動保持部 の嵌合孔にこの回り止めロッ ド 2 2が揷通され、 その先端にストツパ 2 1が固定される。

円筒体 4とシャフ ト 6 との間に円筒コイル口一ラ組付体 3が配設され る。 円筒コイルローラ組付体 3は、 図 2〜図 4に示すように、 2個の短 い円筒状のリティナ一リング 2 3の外周に、 例えば 8個の傾斜溝 2 3 a を軸方向に対じ所定の角度 （例えば 1度） だけ傾斜して 4 5度の角度間 隔で形成し、 それらの傾斜溝 2 3 aに、 円筒コイル口一ラ 3 aを外嵌さ せたリティナ一ピン 2 4の両端部を嵌着させて構成される。 8本の円筒 コイルローラ 3 aは円筒型のコイルばねから形成されている。 リティナ一ピン 2 4は両側を軸方向に向かって平坦に面取りして異形 断面形状に形成され、 その両端部を傾斜溝 2 3 a内に回転を阻止して嵌 着される。 リティナ一ピン 2 4の外周部には円筒コイルローラ 3 aが僅 かな隙間をもって緩く外嵌されるが、 リティナ一ピン 2 4の両側からヮ ッシャ状のばね座 3 bが所定位置に嵌着され、 円筒コイルローラ.3 aは 両側のばね座 3 bに挟まれた状態でリティナ一ピン 2 4の外周部に装着 される。

リティナ一ピン 2 4が、 図 2に示すように、 円筒コイルローラ 3 aの 外周側と内周側で平坦面取り部を設けているため、 各円筒コイルローラ 3 aの内側のリティナ一ピン 2 4との間には僅かな隙間が生じている。 このため、 各円筒コイルローラ 3 aはシャフ ト 6の外周部で僅かに曲げ られるが、 リティナ一ピン 2 4の回りを回転可能である。

このように構成された円筒コィルローラ組付体 3は、 シャフト 6 と円 筒体 4の間に挟み付けられるように圧入され、 これにより、 円筒コイル ローラ組付体 3 の各円筒コイルローラ 3 aは、 円筒体 4の内周面 4 c と シャフト 6の外周面 6 aの間で、 圧接力をもって接触し、 且つ転動可能 に配置される。 この圧接力は、 各円筒コイルローラ 3 a及び円筒体 4の 弾性変形によって生じる。 円筒コイルローラ組付体 3の各円筒コイル口 —ラ 3 aのシャフ ト 6または円筒体 4の軸' に対する傾斜角度は、 例え ば 1度程度に設定される。

次に、 上記構成の直線運動駆動装置の動作について述べる。 電動モ一 夕 2 5が起動すると、 その出力軸に連結された回転 材 1 2が回転し、 これによつて、 回転部材 1 2と回転支持部材 1 3により上下を軸方向に 拘束された円筒体 4が、 ハウジング 9内で回転する。 このとき、 シャフ ト 6は回転を阻止されているから、 各円筒コイルローラ 3 aは、 円筒体 4の内周面 4 c とシャフト 6の外周面 6 aの間で軸力向に移動しながら 転動し、 シャフ ト 6はこの円筒コイルローラ 3 aの回転 ' 転動によって 、 軸方向に円筒コイルローラ組付体 3の 2倍の速度で移動する。

このときのシャフ ト 6'の推力は、 コイルスプリング 1 8またはコイル スプリング 1 9の圧縮力を介して出力ブロック 2 0に伝達され、 出カブ ロック 2 0が外部に対し直線運動の仕事を行う。

出力ブロック 2 0が突き出し方向に或は引き戻し方向に移動し、 外力 により停止した場合、 シャフ ト 6は、 コイルスプリング 1 8又はコイル スプリング 1 9を圧縮しながら、 ストッパ 1 6または 1 7によつて完全 に停止するまで僅かに軸方向に移動する。 そして、 シャフ ト 6が停止す ると、 円筒体 4の回転低抗が急激に増大し、 電動モータ 2 5の回転が止 まる。 この状態で、 電動モ一夕 2 5の電源をオフしても、 シャフ ト 6の 推力は保持される。 つまり、 円筒コイルローラ組付体 3の各円筒コイル ローラ組付体 3 aの軸方向に対する傾斜角 （例えば 1度） が微小に設定 ■ されているから、 停止状態で、 外部からシャフ ト 6に推力を加えた場合 でも、 円筒体 4は回転せず、 逆転動作は防止され、 シャフ ト 6の推力は , 保持される。

次に、 上記の停止状態から、 電動モータ 2 5を逆転させて、 円筒体 4 を上記とは逆方向に回転させ、 シャフ ト 6を逆方向に動かすと、 コイル スプリング 1 8またはコイルスプリ ング 1 9の圧縮ばね力が回転を助け る方向に作用し、 これにより、 電動モータ 2 5は、 停止した回転力より 小さな回転力で動き出すことができる。

このように、 電動モータ 2 5を正転 · 逆転させて円筒体 4'を正転 · 逆 転させ、 シャフ ト 6を突き出し方向に或は引き戻し方向に駆動すると、 この種の直線運動駆動装置では、 その回転力と直線力の変換が、 円筒コ ィルローラ 3 aと円筒体 4の内周面 4 c及びシャフ ト 6の外周面 6 aと の間の摩擦伝達によって行われるから、 停止時或は起動時には、 摩擦伝 達面に僅かではあるがスリップが生じ易い。 このスリ ップはシャフ トの 軸力向に.も生じ、 この軸方向のスリップが、 正転 · 逆転の繰り返し動作 によって累積すると、 円筒コイルローラ組付体 3の停止位置が一方向に 偏り、 シャフ 卜が移動するス トロークが徐々に減少してしまう。

しかし、 本直線運動駆動装置においては、 この円筒コイル口一ラ組付 体 3 と円筒体 4の内周面 4 c及びシャフ ト 6の外周面 6 aとの間のスリ ップの累積は、 以下のように摩擦伝達面の圧接力を軸方向で変化させる ことにより、 許.容範囲に抑えることができる。

即ち、 円筒コイルローラ組付体 3の圧接面がスリップする際、 円筒コ ィルローラ組付体 3の軸方向のスリ ップは圧接力が減少する方向に生じ る-。 そこで、 本直線運動駆動装置では、 図 1のごとく、 円筒体 4の肉厚 をその両端近傍で増大させることで、 つまり、 その上部と下部 （両端部 ) に厚肉部 4 bを形成することにより、 円筒コイルローラ組付体 3が両 端に近づくほど圧接力を増大させ、 スリ ップの累積を防止する。 これに よって、 円筒コイルローラ組付体 3の停止位置が一方の端部側に偏り過 ぎた場合、 逆方向にスリップして、 円筒コイルローラ組付体 3の軸方向 の停止位置が許容範囲内に保たれる。

なお、 スリ ップの累積が少なく、 停止位置の補正量が少ない場合には 、 円筒体 4の全体を薄肉状としつまり肉厚部を設けずに薄肉部のみとし ても、 停止位置の偏りを許容範囲内に防止する'ことができる。 この場合 、 円筒体 4の中間部が薄肉状に形成されて撓み易いのに対し、 円筒体 4 の両端部は回転部材 1 2 と回転支持部材 1 3に固定されこれらの部材に よつ.て強固に拘束されるから、 円筒コィルローラ組付体 3 と円筒体 4の 内周面 4 c及びシャフ ト 6め外周面 6 aとの間に.おける端部での圧接力 をより増大し、 スリップの累積を防止して停止位置の偏りを許容範囲に 抑えることができる。 また、 円筒コイルローラ組付体 3の各円筒コイルローラ 3 aのシャフ ト 6または円筒体 4の軸方向に対する傾斜角度は、 任意に設定すること ができるが、 その傾斜角度を小さくすればするほど、 シャフト 6の移動 速度が低下し、 その傾斜角度を大きくすればするほど、 シャフ ト 6の移 動速度が増大する。 従って、 円筒コイルローラ 3 aの傾斜角を変えるこ とにより、 減速比を任意に変えることができ、 モー夕の減速機は不要と することができる。

次に、 本発明の効果を確認するために行なった実施例について説明す る。 実施例では、 以下のような素材、 寸法で各部品を製作し、 上記構成 の直線運動駆動装置を試作し、 試験運転を行なった。

シャフ ト 6……外径 3 0 miii、 棒状鋼材の外周面に高周波焼入後、 硬質 クロームメツキ

円筒体 4……内径 5 0 mmの冷間引き抜きステンレス鋼管、 ホーニング 仕上げ、 表面窒化処理を施す、 薄肉部 4 aの肉厚を 0 . 8删とし、 厚肉 部 4 bの肉厚 1 . 5 mmとする

円筒コイルローラ 3 a……線径 2 . 0龍のピアノ線 （外径センタレス 研磨仕上げ） を使用、 ピッチ 2 . 1 、 コイル外径 1 ◦ . 2 mm、 コイル 内径 6 . 2 mm, 自由長 3 9 mm、 円筒コイルローラ 3 aの軸方向に対する 傾斜角度 1度

電動モータ…… D C 2 4 V、 5 Aのモー夕、 回転速度 3 0 0 0 R P M

、 定格トルク 2 5 N · cm

上記構成の直線運動駆動装置を製作し試験運転した結果、 5 0 0 Nの 推力を出すことができ、 電動モ一夕の電源をオフした後も、 シャフ トの 推力が保持されていることを確認できた。 また、 シャフ ト 6の突き出し 端と引き戻し端でのスリ ツプの累積による停止位置の偏りを許容範囲に 抑制することができた。 図 5は他の実施形態の直線運動駆動装置を示している。 この例では、 シャフ ト 6の下端部にその外径が徐々に減少するテ一パー部 6 bを設け た。 その他の部分は、 上記実施形態と同様であり、 同様の部分について は、 上記実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。

即ち、 図 5に示すように、 シャプト 6の下端のス トッパ 1 6側に、 そ の外周形状の外径が下端側に徐々に減少するように、 テーパー部 6 が 形成される。 これにより、 円筒コイル口一ラ組付体 3が回転し、 シャフ ト 6が突き出し方向に移動するとき、 ス トッパー 1 6が円筒コイルロー ラ組付体 3に近づくほど、 円筒コイルローラ組付体 3 と円筒体 4の内周 面 4 c及びシャフ ト 6の外周面 6 aとの間の圧接力が減少する。

これにより、 円筒コイルローラ組付体 3はス トッパー 1 6に向かって スリップして、 リティナ一リ ング 2 3がストッパー 1 6に到達するまで スリ ップする。 従って、 図 5のように、 シャフ ト 6の突き出し端で、 内 部のス トッパー 1 6により定位置で停止させる構造の場合、 円筒コイル ローラ組付体 3の停止位置の偏りを定位置に補正することができる。 図 6はさらに別の実施例を示しおり、 この直線運動駆動装置は、 その 入力軸と出力軸の関係が上記とは逆になるもので、 電動モータ 2 5によ りシャフ ト 3 6を回転駆動し、 円筒体 3 4を軸方向に駆動するものであ る。

即ち、 ハウジング 3 9内に円筒体 3 4が回転を阻止した状態で軸方向 に移動可能に支持され、 円筒体 3 4の内側に軸受 3 7で回転可能に支持 されたシャフ ト 3 6の端部に、 電動モータ 2 5の回転軸が連結される。 円筒体 3 4とシャフ ト 3 6 との間に、 上記と同様の構成の円筒コイル口 一ラ組付体 3が圧入される。 円筒コイルローラ組付体 3は円筒体 3 4の 内周面とシャフ ト 3 6の外周面の間に挟み付けられるように嵌揷され、 円筒コイルローラ 3 aの内外周両面を円筒体 3 4の内周面とシャフ ト 3 6の外周面に圧接し、 転動可能に配置される。 円筒体 3 4の上部にはハ ウジング 3 9から上方に突出し、 その先端にス トッパ 3 8を介して出力 'ブロック 2 0が固定される。 円筒体 3 4の中間部は、 上記と同様、 薄肉 部としてより薄肉状に形成され、 その上部と下部は厚肉部として、 より 肉厚に形成される。 ，

電動モー夕 2 5が起動すると、 その回転軸に連結されたシャフ ト 3 6 が回転し、 その回転がシャフ ト 3 6の周囲の各円筒コィルローラ 3 aに 伝達され、 各円コイルローラ 3 aが回転 '転動する。 各円筒コイル口一 ラ 3 aは、 シャフ ト 3 6の軸方向に対し傾斜して配置され、 圧接力をも つて円筒体 3 4の内周面に接しているから、 回転を阻止され軸方向に移 動可能に支持された円筒体 3 4は、 これによつて軸力向に移動し、 出力 ブロック 2 0はシャフ ト 3 6の回転方向に応じて突き出し方向に或は引 き戻し方向に直線駆動される。 この際、 円筒体 3 4の上部と下部 （両端 部） に厚肉部が形成されるから、 円筒コイルローラ組付体 3がその両端 に近づくほど圧接力を増大させ、 スリップの累積を防止することができ る。 つまり、 円筒コイルローラ組付体 3の停止位置が一方の端部側に偏 り過ぎた場合、 逆方向にスリ ップして、 円筒コイルローラ組付体 3の軸 方向の停止位置が許容範囲内に保たれる。

図 7は円筒コイルローラ組付体の他の実施例を示している。 この例の 円筒コイルローラ組付体 3 3の各円筒コイルローラ 3 3 aは、 リティナ 一ピンによる支持に代えて、 外周部分から回転可能に支持されるように 配設される。

即ち、 この円筒コイルローラ組付体 3 3は、 8個の円筒コイル口一ラ 3 3 aを、 円周上において所定間隔で、 且つその外周部で回転可能に支 持するように、 リティナ一 3 3 bが形成される。 この円筒型のリティナ 一 3 3 bには、 8個の円筒コイルローラ 3 3 aを回転可能に支持するた めの凹部が略 4 5度の角度間隔で外周部に 8個形成され、 且つその凹部' は軸方向に対し例えば 1度傾斜して形成される。 このように、 円筒コィ ルローラはリティナー 3 3 bによって、 外周部側から回転可能に支持す ることもできる。

産業上の利用可能性

以上説明したように、 本発明の直線運動駆動装置によれば、 モ一夕の 回転駆動を駆動源として安定した直線運動を得ることができ、 また、 ポ ールねじのようにスクリューシャフ トゃ雌ねじブロックを高い精度で加 ェする必要がなく、 複数の円筒コイル口一ラを軸方向に対し所定の傾斜 角度をつけて配置した円筒コイル口一ラ組付体を、 円筒体とシャフ トの 間に圧接力をもって揷入するという簡単な構造で、 装置を安価に製作す ることができる。

さらに、 モータの停止状態では、 外部からシャフトに推力を加えた場 合でも、 円筒体は回転せず、 逆転動作は防止されるから、 停止状態での シャフ 卜の推力を保持することができる。 さらに、 円筒体とシャフ トの 端部における円筒コイルローラの内外両面の圧接力を、 中間部より増大 または減少させることにより、 スリ ップの累積を防止して停止位置の偏 りを最小に抑えることができる。

Claims

請求の範囲

1 . ハウンジングと、

該ハウジング内に回転可能に支持された円筒体と、

該ハウジングに取り付けられ、 該円筒体を回転駆動する電動モー夕と 該円筒体の内側に同心状に且つ軸方向に移動可能に回転を阻止して支 持されたシャフ トと、

該円筒体と該シャフ ト間に、 軸方向に対し所定の傾斜角を持って転動 可能に圧入され、 該シャフ トの外周面と該円筒体の内周面に対し圧接力 を持って接触する複数の円筒コィルロ一ラと、

を備え、 該円筒体を回転させて該シャフ トを軸方ノ向に直線運動させる 直線運動駆動装置であって、

該円筒体と該シャフトに対する該円筒コイルローラの圧接力が、 該円 筒体の端部近傍で、 その中間部より高く設定されていることを特徴とす る直線運動駆動装置。

2 . ハウンジングと、 .

該ハウジング内に回転を阻止され軸方向に移動可能に支持された円筒 体と、

該円筒体の内側に同心状に回転可能に支持されたシャフ トと、 該ハウジングに取り付けられ、 該シャフ トを回転駆動する電動モータ と、

該円筒体と該シャフ ト間に、 軸方向に対し所定の傾斜角を持って転動 可能に配設され、 該シャフ トの外周面と該円筒体の内周面に対し圧接力 を持って接触する複数の円筒コイルローラと、 を備え、 該シャフ トを回転させて該円筒体を軸方向に直線運動させる 直線運動駆動装置であって、

該円筒体と該シャフ トに対する該円筒コイルローラの圧接力、 が該円 筒体の端部近傍で、 その中間部より高く設定されていることを特徴とす る直線運動駆動装置。

3 . 前記円筒体の端部の肉厚を中間部に比べ厚く形成することにより、 前記円筒体と前記シャフ トに対する前記円筒コイルローラの圧接力を、 該円筒体の端部近傍でその中間部より高く設定したことを特徴とする請 求の範囲 1または 2記載の直線運動駆動装置。

4 . ハウンジングと、

該ハウジング内に回転可能に支持された円筒体と、

該ハウジングに取り付けられ、 該円筒体を回転駆動する電動モータと 該円筒体の内側に同心状に且つ軸方向に移動可能に回転を阻止して支 持されたシャフ トと、

該円筒体と該シャフ ト間に、 軸方向に対し所定の傾斜角を持って転動 可能に圧入され、 該シャフ トの外周面と該円筒体の内周面に対し圧接力 を持って接触する円筒コイルローラと、

を備え、 該円筒体を回転させて該シャフ トを軸方向に直線運動させる 直線運動駆動装置であって、

該円筒体と該シャフ トに対する該円筒コイルローラの圧接力が該シャ フ トの端部近傍で、 その中間部より低く設定されていることを特徴とす る直線運動駆動装置。 ，

5 . 前記シャフ トの端部に外径を徐々に減少させるテ一パー部を設ける ことにより、 該該円筒体と該シャフ トに対する該円筒コイルローラの圧 接力が該シャフ トの端部近傍で中間部より低く設定されていることを特 徴とする請求の範囲 4記載の直線運動駆動装置。

6 . 前記円筒体が薄肉のパイプから形成され、 該円筒体の端部の半径方 向の変形を阻止するために、 該円筒体の端部が回転部材に固定されて拘 束されていることを特徴とする請求の範囲 1または 2記載の直線運動駆 動装置。