WO2001095180A1 - Systeme de presentation de l'etat de production - Google Patents

Description

生産状況提示システム

技術分野

本発明は、 通信ネットワークを介して、 受注した製品の生産状況を、 当該製品 の発注先である顧客に提示するシステムに関する。

背景技術

一般に、 製造業では、 製品の製造を受注するとスケジュールを立てて納期を予 測したり、 あるいは指示された納期に間に合うようにスケジュールを立てたりす るが、 何等かの都合により納期が遅れることがあり、 その場合には発注先の顧客 に対して納期の変更を、 電話、 ファクシミリ、 あるいは電子メール等で連絡する のが通常である。 そして、 納期は、 日時だけでなく、 納入時刻までタイトに求め られる場合があり、 しかも納期が長くても数日程度、 短い場合には 1日程度とい う短納期の塲合がある。 そのような例として、 フォトマスクの製造が挙げられる。 以下、 説明すると概略次のようである。

L S Iや I C、 メモリ等の半導体回路は 3次元の立体的な構造を有しているが、 それらの製造に際しては、 3次元の回路パターンはいくつかの層に分割され、 各 層毎にフォトマスクが作成される。 この層の数は 2 0 ~ 3 0に及ぶ場合も希では ない。

フォトマスクの製造業者は、 半導体製造業者から各層のフォトマスクの製造を 受注するのであるが、 その際には必ずしも一度に全ての層の回路パターンのデー 夕が提供されるわけではなく、 回路パターンが 1層分ずつ提供される場合があつ たり、 数層分ずつ提供される場合があったりする。

そして、 フォトマスク製造業者は、 回路パターンデータが提供されると、 電子 ビーム描画装置等によって、 その回路パターンをレジストを塗布したガラス基板 に描画し、 フォトリソグラフィの手法により所定の回路パターンを有するフォ卜 マスクを製造して顧客である半導体製造業者に納品するのであるが、 顧客側では、 フォトマスクが納入されると、 即座にそのフォ卜マスクを用いて半導体部材の試 作を開始する。 従って、 フォトマスクの納品が遅れてしまうと半導体部材の試作 のラインが停止してしまうという事態が生じる。

しかしながら、 フォトマスクは、 単に製造して納品すればよいというものでは なく、 それが要求される品質を有するものであるかどうかを検査しなければなら ず、 また、 回路パターンの修正も必要となる場合がある。 そのため、 フォトマス クを納品するまでには、 ガラス基板へのレジストを塗布から始まって、 回路パ夕 —ンの描画、 何工程かのフォトリソグラフィと続き、 フォトマスクが作成された 後に種々の検査の工程があり、 最終的に出荷検査を行うというように、 多くのェ 程が行われる。

なお、 回路パターンの修正には、 例えば、 黒修正、 白修正と称されるものがあ る。 黒修正とは、 フォトマスク上に残留している余分な金属薄膜を除去すること をいい、 白修正とは、 回路パターンを形成する金属薄膜に欠損がある場合に、 当 該欠損部に金属を埋め込むことをいう。 これらの修正方法は何れも周知である。 以上のように、 フォトマスク製造業者でフォトマスクが作成され、 顧客に納品 されるまでには多くの工程があるので、 フォトマスクの作成や検査に時間がかか つてしまい、 納期が遅れてしまう場合がある。 このように納期が遅れる事態が生 じた場合、 上述したように半導体製造業者側では試作あるいは半導体部材の製造 のラインを停止しなければならなくなることもあるので、 フォトマスク製造業者 から顧客に対して、 納期が何月何日の何時になるかを連絡することになる。 これ によって、 半導体製造業者側ではラインを切り換えて、 他の半導体部材の試作、 あるいは製造を行うことになる。

しかし、 従来では納期が何時になるかという連絡を電話、 ファクシミリ、 ある いは電子メールで行っていたので、 そのために人手がかかるばかりでなく、 連絡 に時間がかかってしまったり、 何等かの原因でフォトマスク製造業者と、 顧客で ある半導体製造業者との間に行き違いが生じてしまったりする可能性があつた。 即ち、 フォトマスクの製造、 検査のラインは 2 4時間稼働しており、 また顧客側 の半導体部材の試作、 製造ラインも 2 4時間稼働しているのが通常であり、 その ために深夜に納期の遅れを連絡する必要が生じる場合もあるが、 このような塲合 には連絡に時間がかかってしまったり、 行き違いが生じてしまう可能性が高くな る。

以上はフォトマスクの製造に関して説明したが、 その他の業種でも同様の問題 が発生する可能性はあるものである。

そこで、 本発明は、 受注した商品が現在どのような工程にあるか、 どのような 検査を行ってその結果がどうであつたか、 そして、 納期が何時になるかというよ うな生産状況を顧客に対してリアルタイムで常時提供することによって、 フォト マスク製造の効率化、 及び顧客側での製品の製造の効率化を図ることができる生 産状況提示システムを提供することを目的とするものである。

発明の開示

本発明の生産状況提示システムは、 受注管理システム、 生産管理システム、 進 行管理システムにより入力された受注品に関するデータを、 データベース化して 管理し、 蓄積するホスト装置と、 前記データベースに基づいて、 発注者に提供す る情報を表示するページを作成するサーバとを備えることを特徴とする。

前記のサーバは認証キーを認識する認証機能を有しており、 ブラウザ装置から 認証キーを用いてアクセスされた場合には、 当該認証キーに含まれる要素に基づ いてホームページとしてブラウザ装置に提供する情報を生成することを特徴とす る。

図面の簡単な説明

図 1は本発明に係る生産状況提示システムの一実施形態を示すブロック図で ある。

図 2は本発明に係る生産状況提示システムをフォトマスクの生産状況の提示 に適用した場合において、 ブラウザ装置からアクセスされたときに提供するホー ムページのフロントページの例を示す図である。

図 3は図 2に示すフロントページで、 「フォトマスク納期のご報告」 あるい は 「フォトマスク進涉情報」 または 「フォトマスク出荷情報」 のクリツ力ブルマ ップが選択されたときにサーバ 1 1がブラウザ装置 5に提供する、 フォトマスク の検索を行うためのページの例を示す図である。

図 4はフォトマスクの納期情報を表示するページの例を示す図である。

図 5はフォトマスクの現在の仕掛工程の情報を表示するページの例を示す図 である。

図 6はフォトマスクの詳細な進埗情報を表示するページの例を示す図である。 図 7はフォトマスクの出荷情報を表示するページの例を示す図である。

図 8は生産状況提示システムにおけるメール機能を表示するページの例を示 す図である。

発明を実施するための最良の形態

以下、 図面を参照しつつ発明の実施の形態について説明する。 なお、 以下の実 施形態では、 本発明に係る生産状況提示システムを、 フォトマスクの生産状況の 提示に適用した場合について説明する。

図 1は本発明に係る生産状況提示システムの一実施形態を示すブロック図であ り、 図中、 1はネットワーク、 5はブラウザ装置、 1 0はホスト装置、 1 1はデ —夕ベース （以下、 D Bと記す） 、 1 2はサーバ、 2 0はネット,ワーク、 3 0は 情報端末を示す。

図 1において、 ネットワーク 1は種々の回線を利用して構築された広域ネット ワークであり、 ここではインタ一ネットであるとする。 図 1では、 このネットヮ ーク 1の位置に一点鎖線で示す境界を定義し、 この境界より上方部分に発注者側 のシステムを示し、 この境界より下方部分に受注者側のシステムを示している。 この場合、 発注者は半導体製造業者であり、 受注者はフォトマスク製造業者であ る。 発注者側のシステムは、 ブラウザ装置 5によって構成されており、 ネットヮ一 ク 1に対してはインタ一ネットのプロトコルで接続されている。 ブラウザ装置 5 としては、 パーソナルコンピュータ （以下、 単にパソコンと記す） に、 所定のブ ラウザソフトウェア、 例えば WWWブラウザソフトウェアをインストールしたパ ソコンをそのまま利用することができる。 従って、 ブラウザ装置 5には、 インタ ーネットに接続し、 ブラウザによりホームページを閲覧できる一般的な環境を用 意すればよい。

従って、 発注者側の担当者はブラウザ装置 5により、 後述する受注者側システ ムにアクセスすることによって、 発注したフォトマスクの生産状況を閲覧できる のであるが、 この生産状況提示システムで提供される生産状況は誰でもが閲覧で きるのではなく、 予め定められた発注者側担当者のみが閲覧できるようになされ ており、 閲覧できる発注者側担当者には、 受注者側から、 認証キーが配布される。 従って、 発注者側担当者は、 受注者から配布された認証キーをブラウザ装置 5に ィンポートして、 受注者側システムにアクセスすることになる。

その認証キーには、 当該発注者側担当者のブラウザ装置 5にホームページとし て提供する情報の範囲を決定する要素 （情報） 、 及び発注者側担当者が後述する メール機能で指示や質問を行う場合に、 発注者側担当者を認識する要素 （情報） が含まれている。 これらの要素としては、 例えば会員番号等がある。

即ち、 発注者側には、 メモリ部門、 カスタム L S I部門、 個別半導体部門とい うように事業単位毎に部門化されており、 それらの各部門には担当者がおかれて おり、 これら各部門の担当者から直接に発注されることもあるが、 フォトマスク の発注に関しては、 これらの各部門の担当者から依頼を受けてフォトマスク製造 業者に発注する資材調達部門の担当者をおくことによって、 フォトマスクの発注 を一本化している場合もある。 このようにフォトマスクの発注の形態は種々であ るが、 何れにしても、 例えば、 メモリ部門の担当者にはメモリ用のフォトマスク の生産状況を提示すればよく、 その他の部材のフォトマスクの生産状況を提示し ても意味がない。 しかし、 フォトマスクの発注が一本化されている塲合には、 当 該発注担当者に対しては、 全てのフォトマスクの生産状況を提供する必要がある。 そこで、 認証キーに含まれている要素によって、 当該認証キーの担当者にはど のような範囲の情報を提供すればいいか、 全てのフォトマスクの生産状況を提供 するのか、 メモリ用のフォトマスクの生産状況だけを提供するのかという、 提供 する情報の範囲を判別するのである。

また、 メールの送信先アドレスについては次のようである。 後述するように、 発注者側担当者に提供する情報の中には、 当該発注者側担当者から受注者側への 指示、 確認、 質問等を行うことができるメール機能が設けられており、 そのメー ルの内容は、 納期関連、 技術関連、 品質関連、 その他の 4つの区分に分けられて いる。 従って、 例えば、 納期関連の質問のメールは納期関連の担当者に送信され る必要があり、 技術関連の指示や質問は技術関連の担当者に送信される必要があ る。 そこで、 発注者側担当者が何等かのメールを送る場合のメールの送信先を、 メールの内容の区分に応じて予め定めておくのである。

一方、 受注者側の生産状況提示システムは、 受注者の営業担当、 生産計画担当、 フォトマスク製造工場の進行管理担当、 製造 ·検査の各工程等の各部署に配置さ れた情報端末 3 0と、 ホスト装置 1 0とがネッ卜ワーク 2 0で接続されて構築さ れているネットワークシステムと、 D B 1 2と、 サーバ 1 1とで構成されている。 ネットワーク 2 0としては、 適宜な L AN (Local Area Network) でもよく、 インターネット技術を利用したイントラネットでもよい。 ここではネッ卜ワーク 2 0は、 L ANとイントラネットを併用しているものとする。

また、 情報端末 3 0と、 ホスト装置 1 0とがネットワーク 2 0で接続されて構 築されているシステムとしては、 受注管理システム、 生産計画システム、 進行管 理システム等がある。 これらの受注管理システム、 生産計画システム、 進行管理 システムについては、 製造業者では広く採用されているシステムであるが、 後に 概略について説明する。 ホスト装置 1 0は大型のコンピュータシステムで構成され、 情報端末 3 0もパ ソコンシステム等の適宜なコンピュータシステムで構成されている。 特に、 製造 工程及び検査工程の情報端末 3 0にはバーコードリーダ （図示せず） が備えられ ている。

サーバ 1 1は、 ネットワーク 1に対してはインタ一ネットのプロトコルで接続 されている。 そして、 サーバ 1 1には、 D B 1 2が、 蓄積されたデータに基づい てそれぞれの発注者のそれぞれの担当者に提供する情報を纏めてホームページの 各画面の作成を指示するプログラムが搭載されており、 そのプログラムに基づい て、 それぞれの発注者のそれぞれの担当者に提供するホームページの各画面を作 成している。 なお、 D B 1 2については後述する。

また、 サーバ 1 1は、 認証キーを認識する認証機能を有しており、 ブラウザ装 置 5から認証キーを用いてアクセスされた場合には、 当該認証キーに含まれる要 素に基づいて、 ホームページとして提供する情報を生成してブラウザ装置 5に提 供する。 更に、 サーバ 1 1は、 ブラウザ装置 5から上記のメールの送信があった 場合には、 当該メールを D B 1 2に渡す。 そして、 このメールは、 D B 1 2から ホスト装置 1 0を経由して、 当該メールに付された送信先アドレスの情報端末 3 0に送信される。

また、 図 1には示していないが、 サーバ 1 1と D B 1 2の間にはフアイヤーゥ オールが形成されており、 ネットワーク 1を介して外部からは D B 1 2、 ホスト 装置 1 0、 及び情報端末 3 0にはアクセスできないようになされている。

次に、 D B 1 2どのようなデータが、 どのようにして蓄積されるかについて説 明する。 まず、 受注者側の営業担当者がフォトマスクの製造を受注する。 受注す ると、 営業担当者は情報端末 3 0を用い、 受注管理システムを起動して、 当該受 注したフォトマスクの注文番号、 品名、 工程名、 管理番号を入力する。 そして、 これらの入力されたデ一夕はホスト装置 1 0に送られる。 なお、 品名はシリーズ 名と呼ばれることもあり、 工程名は層名あるいは枝名と呼ばれることもある。 そして、 ホスト装置 1 0は、 これらのデータを発注者毎、 注文番号毎に管理し、 蓄積する。 後述するように、 一つのフォトマスクに関して、 受注管理システム、 生産計画システム、 進行管理システム等により種々のデータが入力されるが、 ホ スト装置 1 0は受注管理システム、 生産計画システム、 進行管理システム等より 入力されるデ一夕を総合して、 発注者毎、 そして、 所定の項目毎、 例えば注文番 号毎に纏めて管理し、 蓄積する。 なお、 ここではホスト装置 1 0は、 これらのデ 一夕を発注者毎、 注文番号毎に纏めるものとする。

また、 発注者側から当該フォ卜マスクに形成する回路パターンのデータが提供 されると、 担当者は当該回路パターンデータが支給された日時を受注管理システ ムにより入力する。 このとき発注者側から納期が要求され、 またフォ卜マスクを 納入する届け先、 ロット番号等が指定されるのが通常であるが、 担当者は、 これ らの要求納期の日時、 届け先、 ロット番号についても情報端末 3 0から入力する。 これらのデ一夕もホスト装置 1 0に送られ、 蓄積される。 上述したように、 ネッ トワーク 2 0はイントラネットを併用しているから、 イントラネットにより注文 番号、 管理番号等により当該フォトマスクに関する情報を検索し、 そこに回路パ ターンの支給日時、 要求納期の日時、 届け先、 ロット番号を入力すればよい。 このようにして回路パターンのデータが支給されると、 生産計画の担当者は、 現在製造 ·検査ラインの状況、 フォ卜マスク製造工場から届け先までの搬送に要 する時間等を考慮して、 要求納期に間に合うようにスケジュールを立て、 出荷予 定の日時、 発注者側から指定された届け先に到着する日時を決定して、 その決定 した出荷予定日時、 届け先に到着する予定日時を情報端末 3 0から入力する。 こ れらのデータは 産計画システムを用いて入力するが、 これらのデータの入力に ついても、 上述したと同様に、 イントラネットにより注文番号、 管理番号等によ り当該フォトマスクに関する情報を検索し、 そこに出荷予定日時、 届け先に到着 する予定日時を入力すればよい。 そして、 これらのデータはホス卜装置 1 0に送 られ、 蓄積される。 なお、 製造 ·検査のスケジュールは定期的に見直しされるのが通常である。 例 えば、 要求納期が非常に短いフォトマスクを受注したときには、 現在流れている 製造 ·検査工程の中に当該フォトマスクを割り込ませる必要があり、 この場合に はスケジュールの見直しが行われることになる。 また、 検査工程で不良が見つか り、 修正に時間がかかったり、 あるいは当該不良が致命的なものである場合には 作り直しすることになるが、 このような場合にもスケジュールの見直しが行われ ることになる。 このような事態が発生する場合もあるので、 定期的にスケジユー ルを見直しているのである。 そして、 スケジュールの変更に伴って、 出荷予定時 刻、 届け先への到着予定時刻が変わった場合には、 担当者は、 生産計画システム により、 新たな出荷予定時刻、 届け先への到着予定時刻を入力する。

また、 生産計画の担当者は、 立案したスケジュールに従って、 各製造工程、 各 検査工程で仕掛を行う順番を決定する。 即ち、 各製造工程、 各検査工程には仕掛 待ちのフォトマスクが複数貯留されているのが通常であるが、 それらのフォトマ スクをどのような順番に仕掛けるかを定めるのである。 そして、 これらの各製造 工程、 各検査工程での仕掛の順番を、 各製造工程、 各検査工程に配置されている 情報端末 3 0に通知するのである。 この、 各製造工程、 各検査工程での仕掛順番 の通知は、 生産計画担当者が、 情報端末 3 0を用いて生産計画システムにより入 力し、 それを各製造工程、 各検査工程に配置されている情報端末 3 0に送信する ことにより行う。 - さて、 回路パターンのデータが支給されると、 フォトマスクの製造が開始され るが、 まず、 ガラス基板を用意し、 そのガラス基板を密閉容器に収容する。 そし て、 その密閉容器には当該フォトマスクの注文番号、 品名、 工程名、 管理番号等 の情報を表すバーコードが貼付される。 バーコ一ドにどれだけの項目の情報を含 ませるかは任意であるが、 少なくとも、 フォトマスクを特定できるだけの情報を 含ませる必要があることは当然である。 なお、 以下、 ガラス基板を密閉容器に収 容したものを、 便宜的に、 単に部材と称することにする。 各製造工程、 各検査工程では、 それぞれの工程の担当者は、 部材が入ってきた とき、 仕掛を開始するとき、 仕掛が完了したとき、 次の工程に送ったときには、 進行管理システムを用い、 情報端末 3 0のバーコードリーダによりバーコードの 読み取りを行う。 情報端末 3 0は、 バーコードリーダから入力されたデータを取 り込むと、 当該バーコードのデータを、 それが入力された日時と共に、 ホスト装 置 1 0に送る。 そして、 ホスト装置 1 0はそれを蓄積する。

ところで、 検査工程の中には寸法と称される工程がある。 この寸法という検査 工程では、 ガラス基板に形成された回路パターンについて、 発注者から指定され た位置の座標値、 指定された箇所の寸法を測定するのであるが、 このとき測定し た座標値、 寸法を情報端末 3 0から入力する。 なお、 座標値の測定については、 発注者側から原点となる位置が定められている。

この寸法の検査工程で測定された座標値、 寸法の入力も進行管理システムを用 いて行う。 入力された座標値、 寸法のデ一夕はホス卜装置 1 0に送られ、 蓄積さ れるのであるが、 上述したように、 当該寸法の検査工程の仕掛を行うに際しては 当該部材のバーコードを読み取るので、 ホスト装置 1 0は、 これらの座標値、 寸 法のデータはバーコードで表されるフォトマスクに関するデータであると認識す る。

また、 検査工程の中には、 形成された回路パターンに汚れ、 ゴミがあるかどう 力 回路パターンに欠陥がないか等、 回路パターンが正しく形成されているかど うかを検査する工程がある。 この検査工程を外観と称することにする。 この外観 の工程では、 T Vカメラを付けた光学顕微鏡で回路パターンを撮像し、 C R T等 の表示装置に表示して、 目視により回路パターンを観察して汚れ、 ゴミの有無、 回路パターンの欠陥の有無等を検査するのであるが、 担当者はこの T Vカメラ付 きの光学顕微鏡で撮像した回路パターンの像をデジタルデータとして情報端末 3 0に取り込む。 この回路パターンの画像データの取り込みも進行管理システムを 用いて行う。 そして、 取り込まれた回路パターンの画像データはホスト装置 1 0 に送られ、 蓄積される。 ホスト装置 1 0がこの画像デ一夕を当該外観の工程の仕 掛の時に読み取られたバーコードで表されるフォトマスクに関するデータである と認識するのは上述したと同様である。

以上のようであるので、 受注者側の営業の担当者、 生産計画の担当者等は、 必 要に応じて、 進行管理システムにより、 どの部材が現在どのような工程にあるか、 どの工程が何日の何時何分に完了したか、 寸法の工程で測定された座標値、 寸法 がどのようなものであるか、 あるいは外観の工程で撮像された回路パターンを閲 覧することができる。 ここで、 どの工程が何日の何時何分に完了したかという情 報は生産計画のスケジュールを立案する上で重要である。 この情報によって、 ス ケジュールの変更の要否を判定することができるからである。

このように、 ホスト装置 1 0には、 受注管理システム、 生産計画システム、 進 行管理システム等により種々のデータが入力されるのであり、 これら各システム により入力されたデータを総合して、 発注者毎、 注文番号毎に纏めて管理し、 蓄 積するのである。 そして、 これらの蓄積されたデータに基づいて、 発注者毎、 注 文番号毎にデータベースを作成して、 そのデータべ一スを D B 1 2に登録する。 そして、 サーバ 1 1は、 D B 1 2の内容に基づいて、 それぞれの発注者のそれ ぞれの担当者に提供する情報を纏めてホームページの各画面を作成するのである が、 以下、 そのホームページの画面について説明する。

サーバ 1 1は、 ある発注者のブラウザ装置 5から認証キ一を用いてアクセスさ れると、 認証キーを解釈して、 その認証キーに含まれる要素に基づいて、 どの発 注者であるか、 当該担当者に対してどの範囲の情報を提供すればよいかを判断し て、 まず、 ホームページのフロントページをブラウザ装置 5に送信して提示する。 そのフロントページの画面の例を図 2に示す。 なお、 以下に説明する画面の図に おいては、 タイ卜ルバ一、 メニューバ一、 タスクバーは省略している。 また、 ァ ンダーラインを付した文字はクリツ力ブルマップ （cl ickable map) であること を示す。 この生産状況提示システムでは、 フォトマスクについての納期の報告、 進埗状 況、 出荷情報を提供するようになされており、 また、 発注者から受注者への指示、 確認、 質問を行うためのメール機能を備えるようになされている。 そこで、 フロ ントページには、 図 2の Aに示すように、 「フォトマスク納期のご報告」 、 「フ オトマスク進埗情報」 、 「フォトマスク出荷情報」 、 「ご指示 ·ご確認はこちら へ」 という 4つのクリツ力ブルマップが配置されている。 また、 発注者は国内の 業者であっても届け先は外国である場合もある。 そこで、 図 2に示すフロントべ ージの画面では、 図中 Bで示すように、 ラジオボックスによって、 日時を表示す る場合の標準時間を選択できるようになされている。 図 2では標準時間は 7種類 用意されているが、 より多くの標準時間を用意しておいてもよいことは当然であ る。 ここでは図 2に示されているように、 日本標準時が選択されたものとするが、 例えばグリニッジ標準時が選択されれば、 後述するページの画面の日時はダリ二 ッジ標準時で表示されることなる。

なお、 図 2には示していないが、 発注者は国内の半導体製造業者に限らず外国 の業者である場合もあるので、 表示言語を選択できるようにしてもよい。

発注者側のブラウザ装置 5で、 図 2のフロントページの 「フォトマスク納期の ご報告」 をクリックして選択すると、 この情報がブラウザ装置 5からサーバ 1 1 に送られ、 これに対してサーバ 1 1は 「フォトマスク納期のご報告」 のページの 画面を当該ブラウザ装置 5に送信して提供するのであるが、 まず、 当該発注者側 の担当者が閲覧したいフォトマスクの納期情報を絞り込むための検索を行うため のページの画面を提供する。 そのページの画面の例を図 3に示す。

このフォトマスク検索条件のページでは、 納期情報を閲覧したいフォトマスク について条件検索が可能となされており、 品名あるいはシリーズ名、 工程名ある いは層名や枝名、 注文番号、 届け先への到着予定日時、 届け先等の条件を入力す ることによって検索可能となされている。 また、 当然、 全件検索も可能となされ ている。 従って、 発注者側の担当者は、 このページで、 所望の条件を入力し、 検 索実行のプッシュポタンをクリックして選択することによって、 所望のフォ卜マ スクについての納期情報を閲覧することが可能となる。 なお、 図 3において、

「お届け先」 については、 コンボボックスによって過去に入力された届け先名の 中から選択できるようになされている。

なお、 後述するように、 この図 3に示すフォトマスク検索条件のページは、 図 2のフロントページにおいて 「フォトマスク進埗情報」 、 及び 「フォトマスク出 荷情報」 のクリッカブルマップを選択した場合にも表示されるものである。

このフォトマスク検索条件のページで検索実行のプッシュポタンがクリックに より選択されると、 ブラウザ装置 5は入力された検索条件、 及び検索実行の指示 をサーバ 1 1に送る。 これに対して、 サーバ 1 1は、 指定された検索条件に基づ いて検索を実行し、 検索の結果抽出されたフォトマスクについての納期情報を表 示したページをブラウザ装置 5に送信する。 そのページの画面の例を図 4に示す。 このページには、 図 4に示すように、 検索の結果抽出されたフォトマスクにつ いての納期倩報が所定件数ずつ表として表示される。 この表の 1行が一つのフォ トマスクについての納期情報に対応している。 納期情報としては、 それぞれのフ オトマスクについて、 注文番号、 品名、 工程名、 管理番号、 回路パターンのデー 夕の支給日時、 要求納期日時、 出荷予定日時、 届け先への到着予定日時、 届け先 の情報が示されている。 なお、 図 4では 2つのフォトマスクの納期情報しか示し ていないが、 実際にはこの場合には 1 0のフォトマスクについての納期情報が表 示されるものである。

また、 このページには検索結果の件数が表示され、 また、 図中の Cで示すよう に 「出荷順」 、 「品名順」 、 「ご注文 N〇」 、 「お届け先」 という表示の順序を 設定するための 4つのプッシュポタンが配置されている。 従って、 所望のプッシ ュポタンをクリックして選択することにより、 表示の順序、 ここでは昇順を、 出 荷順に表示したり、 品名順に表示したり、 注文番号に表示したり、 届け先に表示 したりすることができる。 また、 図中 Dで示すように、 「次の 1 0件を表示—」 のクリツ力ブルマップが配置されており、 このクリツ力ブルマップをクリックし て選択することにより、 次の 1 0のフォトマスクについての納期情報を閲覧する ことができる。 更に、 図中 Eで示すように、 納期情報の中の品名の檷をクリック して選択することによって、 所望のフォトマスクの進渉情報を閲覧できるように なされている。 このことについては後述する。

次に、 フォトマスクの進埗情報については次のようである。 進埗情報としては、 現在の仕掛工程を簡単に示すページと、.一つフォトマスクについての進埗の詳細 を示すページが用意されている。

さて、 発注者側の担当者が図 2に示すフロントページで 「フォトマスク進渉情 報」 のクリツ力ブルマップをクリックして選択すると、 この選択情報がブラウザ 装置 5からサーバ 1 1に送られ、 これに対してサーバ 1 1は 「フォトマスク進渉 情報」 のページの画面を当該ブラウザ装置 5に送信して提示するのであるが、 そ の前に、 まず、 当該発注者側の担当者が閲覧したいフォトマスクの進涉情報を絞 り込むための検索を行うためのページの画面を送る。 そのページは図 3と同じで める。

そして、 このフォトマスク検索条件のページで検索条件を設定して、 検索実行 のプッシュボタンがクリックにより選択されると、 ブラウザ装置 5は入力された 検索条件、 及び検索実行の指示をサーバ 1 1に送る。 これに対して、 サーバ 1 1 は、 指定された検索条件に基づいて検索を実行し、 検索の結果抽出されたフォト マスクについての進埗情報を表示したページをブラウザ装置 5に送信して提供す る。 このときブラウザ装置 5に提供されるのは、 現在の仕掛工程を簡単に示す情 報を表示したページである。 そのページの画面の例を図 5に示す。

このページには、 図 5に示すように、 検索の結果抽出されたフォトマスクにつ いての仕掛工程情報が所定件数ずつ表として表示される。 この表の 1行が一つの フォトマスクについての仕掛工程情報に対応している。 仕掛工程情報としては、 そのぞれのフォトマスクについて、 注文番号、 品名、 工程名、 管理番号、 現在ェ 程、 状態、 要求納期日時、 出荷予定日時、 ロット番号の情報が示されている。 こ のページに示される情報によって、 どのフォトマスクが現在どの工程でどのよう な状態にあるのかを確認することができる。 例えば、 図 5の上から 2番目のフォ トマスクについては、 現在 P Dという工程の着工を待っている状態にあることが 分かる。 なお、 P Dというのは検査工程の一つである。 また、 例えば、 現在工程 がペリクル装着であり、 状態が着工中であれば、 このフォトマスクは現在べリク ル装着が行われているということになる。 なお、 図 5では 2つのフォトマスクの 仕掛工程情報しか示していないが、 実際にはこの場合には 1 0のフォトマスクに ついての仕掛工程情報が表示されるものである。

また、 図 4に示す納期の報告のページと同様に、 このページには検索結果の件 数が表示され、 また、 「出荷順」 、 「品名順」 、 「ご注文 N O」 、 「お届け先」 という表示の順序を設定するための 4つのプッシュポタンが配置されている。 更 に、 「次の 1 0件を表示—」 のクリツ力ブルマップをクリックして選択すること により、 次の 1 0のフォトマスクについての仕掛工程情報を表示することができ、 また、 仕掛工程情報の中の品名の欄をクリックして選択することによって、 所望 のフォトマスクの詳細な進埗情報を閲覧できるようになされている。

このように、 発注者側の担当者は、 この現在の仕掛工程のページによって、 ど のフォトマスクが現在どのような工程でどのような状態にあることを知ることが できり、 出荷予定日時も知ることができる。

しかし、 この現在の仕掛工程のページでは、 個々のフォトマスクについて、 そ の進埗の詳細を知ることはできない。 例えば、 どのような検査あるいは修正が何 時どのような順に行われ、 これ以降どのような検査があるのかを知ることは発注 者側担当者にとっても非常に関心のある事項である。 即ち、 例えば多くの修正が 施されていればこれ以降も検査あるいは修正に時間を要し、 納期の遅れが予測で きたり、 製造 ·検査が順調に行われていれば、 これ以降も順調に進んで納期が早 まることが予測できたりして、 試作あるいは製造のラインの調整を予め行うこと ができる可能性がある。

そこで、 この生産状況提示システムでは、 図 4に示す納期報告のページ及び図 5に示す現在の仕掛工程のページにおいて、 所望のフォトマスクの品名の欄をク リックして選択することによって、 当該フォトマスクについての詳細な進涉情報 を閲覧できるようになされている。 即ち、 発注者側の担当者が図 4に示す納期報 告のページあるいは図 5に示す現在の仕掛工程のページにおいて、 あるフォトマ スクの品名の欄をクリックして選択すると、 この選択情報がブラウザ装置 5から サーバ 1 1に送られ、 これに対してサーバ 1 1は当該選択されたフォトマスクの 詳細な進埗情報を表示したページを当該ブラウザ装置 5に送信して提供する。 そ のページの画面の例を図 6に示す。

図 6に示すように、 この詳細な進渉情報を示すページには、 図中 Fで示すよう に当該選択されたフォトマスクの種々の仕様が表示され、 更に、 図中 Gで示すよ うに、 これまで経た工程、 これから行う工程が表として表示されている。 完了あ るいは合格した工程については状態の項目に完了または合格の表示がなされ、 完 了日時の項目にはその工程が完了した日時が表示されている。 この情報によって、 発注者側担当者は、 これまでどのような工程が何時行われ、 その結果がどのよう であり、 現在どの工程にあって、 これからどのような工程が行われるのかを知る ことができるので、 上述したように届け先への到着日時を予測することが可能と なり、 そのことによって試作あるいは製造のラインの調整を予め行うことが可能 となるのである。

なお、 図 6に示されている各工程について概略説明すると次のようである。 描画は、 ガラス基板にレジストを塗布して、 電子線描画装置により回路パター ンを描画する工程である。 プロセスは、 フォトリソグラフィの工程、 より具体的 にはエッチングの工程である。 外観は上述した通りである。

外観の工程によつて黒修正あるいは白修正が行われることがある。 黒修正が行 われた場合には、 図に示すように黒修正の工程が表示される。 黒修正は上述した 通りである。 しかし、 黒修正が必要ない場合には、 この工程は表示されない。 白 修正についても同様である。 従って、 図 6に示すページのフォトマスクについて は白修正が行わなかつた場合を示している。

比較の工程については次のようである。 上述したように、 半導体部材を製造す るについてはいくつかのフォトマスクの回路パターンによって層を積み重ねてい くのであり、 従って、 当該フォトマスクの回路パターンを他のフォトマスクの回 路パターンと積み重ねた場合に正しく機能するものでなければならない。 そこで 他のフォトマスクの回路パターンと積み重ねた場合に正しき機能するかどうかを 検査する必要があり、 それが比較という工程である。 この工程は周知であるので、 工程の詳細については省略する。

寸法については上述した通りである。

洗浄は作成したフォトマスクを洗浄する工程である。 ペリクル装着はペリクル を装着する工程であり、 ペリクル外観はペリクル装着後に中にゴミが入ってない かどうかを検査する工程である。 P Dもゴミの有無の検査である。 基本は、 ガラ ス基板の欠けの有無、 あるいは品名の誤りがないかどうか、 あるいはフォトマス クを出荷するときには当該フォトマスクの検査表を添付するのが通常であるが、 その検査表の添付ミスがないかどうか等のチェックを行う工程であり、 出荷検査 は、 梱包に異常がないかどうか、 あるいは梱包に表示した品名と中身のフォトマ スクの品名が合っているかどうか等の検査を行う工程であり、 出荷検査が完了す ると出荷されることになる。

そして、 この詳細な進埗情報を表示するページの外観の工程の補足の欄には、 「画像有り」 のプッシュポタンが配置されている。 これは上述したように、 外観 の工程で撮像した画像を発注者側担当者が観察できるようにするためのものであ る。

即ち、 フォトマスクの回路パターンは複雑であり、 求められる精度も高精度が 求められる。 従って、 外観の工程で観察しても良否判定が微妙で、 難しいものと なってきているのが現状である。 そこで、 外観の工程の担当者が良とした場合で も気付かない不良があることが考えられるので、 外観の工程で撮像した画像を発 注者側担当者も観察できるようにしておくのである。 従って、 発注者側担当者は、 外観の工程が完了したフォトマスクについては、 納品の前に当該フォトマスクの 回路パターンを観察して出来上がりの状態を知ることができることになり、 問題 がある場合には後述するメ一ル機能を使用して受注者側に知らせることが可能と なるし、 問題がない場合には納品されたものを安心して用いることができること になる。 従って、 この機能も効率化に寄与するものである。

さて、 発注者側担当者が図 6に示す進渉情報のページで、 外観の工程の補足の 欄の 「画像有り」 のプッシュボタンをクリックして選択すると、 この選択情報が ブラウザ装置 5からサーバ 1 1に送られ、 これに対してサーバ 1 1は、 当該フォ トマスクについて外観の工程で撮像した画像デー夕を当該ブラウザ装置 5に送信 する。 この画像データを受けると、 ブラウザ装置 5は当該画像データをモニタに 表示する。 これによつて、 当該発注者側担当者は当該画像を観察することができ る。 なお、 「画像有り」 のプッシュポタンが選択されない場合にはブラウザ装置 5は何もしない。

次に、 フォ卜マスクの出荷情報については次のようである。

発注者側の担当者が図 2に示すフロントページで 「フォトマスク出荷情報」 の クリッカブルマツプをクリックして選択すると、 この選択情報がブラウザ装置 5 からサーバ 1 1に送られ、 これに対してサーバ 1 1は、 まず、 当該発注者側の担 当者が閲覧したいフォトマスクの出荷情報を絞り込むための検索を行うためのべ ージの画面を提供する。 そのページは図 3と同じである。

そして、 このフォトマスク検索条件のページで検索条件を設定して、 検索実行 のプッシュポタンがクリックにより選択されると、 ブラウザ装置 5は入力された 検索条件、 及び検索実行の指示をサーバ 1 1に送る。 これに対して、 サーバ 1 1 は、 指定された検索条件に基づいて検索を実行し、 検索の結果抽出されたフォト マスクについての出荷情報を表示したべ一ジをブラゥザ装置 5に送信して提供す る。 そのページの画面の例を図 7に示す。

このページには、 図 7に示すように、 検索の結果抽出されたフォトマスクにつ いての出荷情報が所定件数ずつ表として表示される。 この表の 1行が一つのフォ トマスクについての出荷情報に対応している。 出荷情報としては、 そのぞれのフ オトマスクについて、 注文番号、 品名、 工程名、 管理番号、 便、 要求納期日時、 出荷予定日時、 届け先への到着予定日時、 届け先、 補足の情報が示されている。 便の情報は、 定期便で搬送するのか、 特別便で搬送するのかという搬送する便が どのようなものであるかを示している。 また、 図 4に示す納期の報告のページと 同様に、 このページには検索結果の件数が表示され、 また、 「出荷順」 、 「品名 順 J 、 「ご注文 NO」 、 「お届け先」 という表示の順序を設定するための 4つの プッシュポタンが配置されている。 更に、 「次の 1 0件を表示→」 のクリツカブ ルマップをクリックして選択することにより、 次の 1 0のフォトマスクについて の出荷情報を表示することができる。

この出荷情報を表示するページの補足の欄には、 「寸法」 と 「画像」 の 2つの プッシュボタンが配置されている。 「画像」 のプッシュポタンについては、 図 6 に示す進埗情報のページの、 外観の工程の補足の欄の 「画像有り」 のプッシュポ タンと同じであり、 発注者側担当者は 「画像」 のプッシュボタンをクリックして 選択することによって、 外観の工程で撮像された画像を観察することができる。

「寸法」 のプッシュポタンについては次のようである。 この 「寸法」 のプッシ ュポタンは、 上述したように、 寸法の工程で測定した、 回路パターンの各部の座 標値、 寸法のデー夕を発注者側でダウンロードできるようにするためのものであ る。

即ち、 フォトマスクは一度使ったらそれで終わりではなく、 増産する場合には 何度も用いられるものであり、 また、 フォトマスクの回路パターンをシリコンゥ ェハに露光する際の露光条件を定めるに当たっては、 フォトマスクの各部の座標 値あるいは寸法の精度が重要な要素となる。 そこで、 従来では、 検査表にこれら のデータを表記して納入しており、 発注者側ではこれらの座標値や寸法を情報端 末で手入力してデータベース化しているのが現状である。 これによつて増産する 塲合にも各フォトマスクの回路パターンの各部の座標値や寸法に基づいて露光条 件を良好に定めることができるのであるが、 従来では納品されたフォトマスクに 添付された検査表を見てからでないと露光条件を定めることができないのである。 それに対して、 上述したように寸法の工程で測定した回路パターンの各部の座 標値ゃ寸法をダウンロードできるようにしておけば、 発注者側では納品の前に予 め露光条件等を定めることが可能となり、 半導体部材の試作あるいは製造を効率 よく、 時間の無駄なく行うことができることになる。 また、 発注者側では従来の ように検査表から座標値や寸法を手入力する必要がないので、 データベースの構 築も容易となり、 この点からも効率を向上することができる。 そのために 「寸 法」 のプッシュボタンが設けられているのである。

さて、 発注者側担当者が図 7に示す出荷情報のページで、 補足の欄の 「寸法」 のプッシュポタンをクリックして選択すると、 この選択情報がブラゥザ装置 5か らサーバ 1 1に送られ、 これに対してサーバ 1 1は、 当該フォトマスクについて、 寸法の工程で入力された座標値や寸法のデータを当該ブラウザ装置 5に送信する。 これによつてブラウザ装置 5へのダウンロードが行われる。 なお、 「寸法」 のプ ッシュボタンが選択されない場合にはブラウザ装置 5は何もしない。

以上のようであるので、 発注者側担当者は、 このページに示される情報によつ て、 各フォトマスクが何時出荷され、 何時届け先に到着するかを知ることができ るので、 予め試作あるいは製造のラインを調整することができることになる。 ま た、 補足の欄の 「画像」 のプッシュポタンを選択することによって、 外観の工程 で撮像された回路パターンの画像を観察することができ、 「寸法」 のプッシュポ タンを選択することによって、 寸法の工程で入力された座標値や寸法のデータを ダウンロードすることができる。 なお、 図 7では 2つのフォトマスクの出荷情報 しか示していない力 実際にはこの場合には 1 0のフォトマスクについての出荷 情報が表示されるものである。

次に、 メール機能について説明する。

これまで述べてきたように、 この生産状況提示システムでは、 発注者に対して、

2 4時間、 リアルタイムにフォトマスクに関する種々の情報を提供することがで きる。 従って、 発注者側担当者が、 上述した納期情報ゃ進涉情報あるいは出荷情 報を見て、 受注者側担当者に何等かの指示をしたり、 確認をしたり、 質問をした りする場合が生じるが、 このとき指示や質問を電話ゃファクシミリで行わなけれ ばならないようでは、 この生産状況提示システムで意図している効率化が十分に 行われないことになる。

そこで、 この生産状況提示システムでは、 メール機能を備え、 発注者側からの 指示、 確認、 あるいは質問を行うことができるようになされている。 即ち、 発注 者側の担当者が図 2に示すフロントページで 「ご指示' ご確認はこちらへ」 のク リッカブルマツプをクリックして選択すると、 この選択情報がブラウザ装置 5力、 らサーバ 1 1に送られ、 これに対してサーバ 1 1は、 当該ブラウザ装置 5に対し て、 メール機能のページを送信して提供する。 このメール機能のページの画面の 例を図 8に示す。

図 8に示すページでは、 納期関連、 技術関連、 品質関連、 その他という 4つの メールの区分がラジオポックスで選択できるようになされており、 ラジォポック スで区分を選び、 件名を入力してメールを書き込み、 送信のプッシュボタンをク リックして選択することによって、 メールを送信することができる。 なお、 メ一 ルの送信先は、 4つの区分で定められているァドレスとなる。

発注者側のブラウザ装置 5から送信されたメールはサーバ 1 1を介して D B 1 2に届けられ、 D B 1 2は当該メールをホスト装置 1 0に渡す。 そして、 ホスト 装置 1 0は当該メールに付された送信先ァドレスの情報端末 3 0に送信する。 こ れによって、 受注者側担当者は発注者側担当者からの指示、 確認あるいは質問を 知ることができる。

以上、 本発明に係る生産状況提示システムをフォトマスクの生産状況の提示に 適用した場合について説明したが、 本発明はこれに限るものではなく、 種々の物 の生産状況を提示する場合に適用することができるものである。

産業上の利用可能性

以上のようであるので、 この生産状況提示システムをフォトマスクの製造に適 用した場合には、 発注者に対して、 常時、 リアルタイムに、 上述したフォトマス クの納期情報、 進埗情報、 出荷情報を提供できるので、 従来のように電話ゃファ クシミリ、 電子メールで互いに連絡をとる場合に比較して、 行き違いが生じるこ ともなく、 発注者側担当者は何時でも必要なときにフォトマスクに閧する情報を 知ることができる。

そればかりでなく、 この生産状況提示システムでは、 発注者側担当者は、 測定 された回路パターンの各部の座標値や寸法、 あるいは回路パターンの画像によつ て、 納品前にフォトマスクの品質を正確に把握することができるので、 ラインの 調整、 フォトマスクの露光条件等を予め納品前に調整することができるので、 時 間の無駄を大幅に省くことが可能となり、 生産効率を向上させることができるも のである。

Claims

請求の範囲

( 1 ) 受注管理システム、 生産管理システム、 進行管理システムにより入力さ れた受注品に関するデータを、 データベース化して管理し、 蓄積するホスト装置 と、

前記データベースに基づいて、 発注者に提供する情報を表示するページを作成 するサーバと

を備えることを特徴とする生産状況提示システム。

( 2 ) 前記サーバは認証キーを認識する認証機能を有しており、 ブラウザ装置 から認証キーを用いてアクセスされた場合には、 当該認証キーに含まれる要素に 基づいてホームページとしてブラウザ装置に提供する情報を生成する ことを特徴とする請求項 1記載の生産状況提示システム。