JP2001350970A - 生産状況提示システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】フォトマスクの製造に関する種々の情報を発注
者に対して、常時、リアルタイムに提供することによっ
て、フォトマスク製造の効率化、及び発注者側での半導
体部材の製造の効率化を図る。 【解決手段】受注者側では、ホスト装置１０、ネットワ
ーク２０、情報端末３０によって、受注管理システム、
生産管理システム、進行管理システムが構築されてお
り、これらのシステムで入力されたフォトマスクに関す
るデータはホスト装置１０に送られる。ホスト装置１０
は、これらのデータを総合して、発注者毎、注文番号毎
に纏めてデータベース化してＤＢ１２に登録する。サー
バ１１はＤＢ１２に基づいて各発注者側ブラウザ装置５
に提供するホームページを作成し、発注者側ブラウザ装
置５から認証キーを用いてアクセスされると、ホームペ
ージを提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、通信ネットワーク
を介して、受注した製品の生産状況を、当該製品の発注
先である顧客に提示するシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、製造業では、製品の製造を受注
するとスケジュールを立てて納期を予測したり、あるい
は指示された納期に間に合うようにスケジュールを立て
たりするが、何等かの都合により納期が遅れることがあ
り、その場合には発注先の顧客に対して納期の変更を、
電話、ファクシミリ、あるいは電子メール等で連絡する
のが通常である。そして、納期は、日時だけでなく、納
入時刻までタイトに求められる場合があり、しかも納期
が長くても数日程度、短い場合には１日程度という短納
期の場合がある。そのような例として、フォトマスクの
製造が挙げられる。以下、説明すると概略次のようであ
る。

【０００３】ＬＳＩやＩＣ、メモリ等の半導体回路は３
次元の立体的な構造を有しているが、それらの製造に際
しては、３次元の回路パターンはいくつかの層に分割さ
れ、各層毎にフォトマスクが作成される。この層の数は
２０〜３０に及ぶ場合も希ではない。

【０００４】フォトマスクの製造業者は、半導体製造業
者から各層のフォトマスクの製造を受注するのである
が、その際には必ずしも一度に全ての層の回路パターン
のデータが提供されるわけではなく、回路パターンが１
層分ずつ提供される場合があったり、数層分ずつ提供さ
れる場合があったりする。

【０００５】そして、フォトマスク製造業者は、回路パ
ターンデータが提供されると、電子ビーム描画装置等に
よって、その回路パターンをレジストを塗布したガラス
基板に描画し、フォトリソグラフィの手法により所定の
回路パターンを有するフォトマスクを製造して顧客であ
る半導体製造業者に納品するのであるが、顧客側では、
フォトマスクが納入されると、即座にそのフォトマスク
を用いて半導体部材の試作を開始する。従って、フォト
マスクの納品が遅れてしまうと半導体部材の試作のライ
ンが停止してしまうという事態が生じる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フォト
マスクは、単に製造して納品すればよいというものでは
なく、それが要求される品質を有するものであるかどう
かを検査しなければならず、また、回路パターンの修正
も必要となる場合がある。そのため、フォトマスクを納
品するまでには、ガラス基板へのレジストを塗布から始
まって、回路パターンの描画、何工程かのフォトリソグ
ラフィと続き、フォトマスクが作成された後に種々の検
査の工程があり、最終的に出荷検査を行うというよう
に、多くの工程が行われる。

【０００７】なお、回路パターンの修正には、例えば、
黒修正、白修正と称されるものがある。黒修正とは、フ
ォトマスク上に残留している余分な金属薄膜を除去する
ことをいい、白修正とは、回路パターンを形成する金属
薄膜に欠損がある場合に、当該欠損部に金属を埋め込む
ことをいう。これらの修正方法は何れも周知である。

【０００８】以上のように、フォトマスク製造業者でフ
ォトマスクが作成され、顧客に納品されるまでには多く
の工程があるので、フォトマスクの作成や検査に時間が
かかってしまい、納期が遅れてしまう場合がある。この
ように納期が遅れる事態が生じた場合、上述したように
半導体製造業者側では試作あるいは半導体部材の製造の
ラインを停止しなければならなくなることもあるので、
フォトマスク製造業者から顧客に対して、納期が何月何
日の何時になるかを連絡することになる。これによっ
て、半導体製造業者側ではラインを切り換えて、他の半
導体部材の試作、あるいは製造を行うことになる。

【０００９】しかし、従来では納期が何時になるかとい
う連絡を電話、ファクシミリ、あるいは電子メールで行
っていたので、そのために人手がかかるばかりでなく、
連絡に時間がかかってしまったり、何等かの原因でフォ
トマスク製造業者と、顧客である半導体製造業者との間
に行き違いが生じてしまったりする可能性があった。即
ち、フォトマスクの製造、検査のラインは２４時間稼働
しており、また顧客側の半導体部材の試作、製造ライン
も２４時間稼働しているのが通常であり、そのために深
夜に納期の遅れを連絡する必要が生じる場合もあるが、
このような場合には連絡に時間がかかってしまったり、
行き違いが生じてしまう可能性が高くなる。

【００１０】以上はフォトマスクの製造に関して説明し
たが、その他の業種でも同様の問題が発生する可能性は
あるものである。

【００１１】そこで、本発明は、受注した商品が現在ど
のような工程にあるか、どのような検査を行ってその結
果がどうであったか、そして、納期が何時になるかとい
うような生産状況を顧客に対してリアルタイムで常時提
供することによって、フォトマスク製造の効率化、及び
顧客側での製品の製造の効率化を図ることができる生産
状況提示システムを提供することを目的とするものであ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の生産状況提示システムは、受注管
理システム、生産管理システム、進行管理システムによ
り入力された受注品に関するデータを、データベース化
して管理し、蓄積するホスト装置と、前記データベース
に基づいて、発注者に提供する情報を表示するページを
作成するサーバとを備えることを特徴とする。請求項２
記載の生産状況提示システムは、請求項１において、前
記サーバは認証キーを認識する認証機能を有しており、
ブラウザ装置から認証キーを用いてアクセスされた場合
には、当該認証キーに含まれる要素に基づいてホームペ
ージとしてブラウザ装置に提供する情報を生成すること
を特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ発明の実
施の形態について説明する。なお、以下の実施形態で
は、本発明に係る生産状況提示システムを、フォトマス
クの生産状況の提示に適用した場合について説明する。

【００１４】図１は本発明に係る生産状況提示システム
の一実施形態を示すブロック図であり、図中、１はネッ
トワーク、５はブラウザ装置、１０はホスト装置、１１
はデータベース（以下、ＤＢと記す）、１２はサーバ、
２０はネットワーク、３０は情報端末を示す。

【００１５】図１において、ネットワーク１は種々の回
線を利用して構築された広域ネットワークであり、ここ
ではインターネットであるとする。図１では、このネッ
トワーク１の位置に一点鎖線で示す境界を定義し、この
境界より上方部分に発注者側のシステムを示し、この境
界より下方部分に受注者側のシステムを示している。こ
の場合、発注者は半導体製造業者であり、受注者はフォ
トマスク製造業者である。

【００１６】発注者側のシステムは、ブラウザ装置５に
よって構成されており、ネットワーク１に対してはイン
ターネットのプロトコルで接続されている。ブラウザ装
置５としては、パーソナルコンピュータ（以下、単にパ
ソコンと記す）に、所定のブラウザソフトウェア、例え
ばＷＷＷブラウザソフトウェアをインストールしたパソ
コンをそのまま利用することができる。従って、ブラウ
ザ装置５には、インターネットに接続し、ブラウザによ
りホームページを閲覧できる一般的な環境を用意すれば
よい。

【００１７】従って、発注者側の担当者はブラウザ装置
５により、後述する受注者側システムにアクセスするこ
とによって、発注したフォトマスクの生産状況を閲覧で
きるのであるが、この生産状況提示システムで提供され
る生産状況は誰でもが閲覧できるのではなく、予め定め
られた発注者側担当者のみが閲覧できるようになされて
おり、閲覧できる発注者側担当者には、受注者側から、
認証キーが配布される。従って、発注者側担当者は、受
注者から配布された認証キーをブラウザ装置５にインポ
ートして、受注者側システムにアクセスすることにな
る。

【００１８】その認証キーには、当該発注者側担当者の
ブラウザ装置５にホームページとして提供する情報の範
囲を決定する要素（情報）、及び発注者側担当者が後述
するメール機能で指示や質問を行う場合に、発注者側担
当者を認識する要素（情報）が含まれている。これらの
要素としては、例えば会員番号等がある。

【００１９】即ち、発注者側には、メモリ部門、カスタ
ムＬＳＩ部門、個別半導体部門というように事業単位毎
に部門化されており、それらの各部門には担当者がおか
れており、これら各部門の担当者から直接に発注される
こともあるが、フォトマスクの発注に関しては、これら
の各部門の担当者から依頼を受けてフォトマスク製造業
者に発注する資材調達部門の担当者をおくことによっ
て、フォトマスクの発注を一本化している場合もある。
このようにフォトマスクの発注の形態は種々であるが、
何れにしても、例えば、メモリ部門の担当者にはメモリ
用のフォトマスクの生産状況を提示すればよく、その他
の部材のフォトマスクの生産状況を提示しても意味がな
い。しかし、フォトマスクの発注が一本化されている場
合には、当該発注担当者に対しては、全てのフォトマス
クの生産状況を提供する必要がある。

【００２０】そこで、認証キーに含まれている要素によ
って、当該認証キーの担当者にはどのような範囲の情報
を提供すればいいか、全てのフォトマスクの生産状況を
提供するのか、メモリ用のフォトマスクの生産状況だけ
を提供するのかという、提供する情報の範囲を判別する
のである。

【００２１】また、メールの送信先アドレスについては
次のようである。後述するように、発注者側担当者に提
供する情報の中には、当該発注者側担当者から受注者側
への指示、確認、質問等を行うことができるメール機能
が設けられており、そのメールの内容は、納期関連、技
術関連、品質関連、その他の４つの区分に分けられてい
る。従って、例えば、納期関連の質問のメールは納期関
連の担当者に送信される必要があり、技術関連の指示や
質問は技術関連の担当者に送信される必要がある。そこ
で、発注者側担当者が何等かのメールを送る場合のメー
ルの送信先を、メールの内容の区分に応じて予め定めて
おくのである。

【００２２】一方、受注者側の生産状況提示システム
は、受注者の営業担当、生産計画担当、フォトマスク製
造工場の進行管理担当、製造・検査の各工程等の各部署
に配置された情報端末３０と、ホスト装置１０とがネッ
トワーク２０で接続されて構築されているネットワーク
システムと、ＤＢ１２と、サーバ１１とで構成されてい
る。

【００２３】ネットワーク２０としては、適宜なＬＡＮ
（Local Area Network）でもよく、インターネット技術
を利用したイントラネットでもよい。ここではネットワ
ーク２０は、ＬＡＮとイントラネットを併用しているも
のとする。

【００２４】また、情報端末３０と、ホスト装置１０と
がネットワーク２０で接続されて構築されているシステ
ムとしては、受注管理システム、生産計画システム、進
行管理システム等がある。これらの受注管理システム、
生産計画システム、進行管理システムについては、製造
業者では広く採用されているシステムであるが、後に概
略について説明する。

【００２５】ホスト装置１０は大型のコンピュータシス
テムで構成され、情報端末３０もパソコンシステム等の
適宜なコンピュータシステムで構成されている。特に、
製造工程及び検査工程の情報端末３０にはバーコードリ
ーダ（図示せず）が備えられている。

【００２６】サーバ１１は、ネットワーク１に対しては
インターネットのプロトコルで接続されている。そし
て、サーバ１１には、ＤＢ１２が、蓄積されたデータに
基づいてそれぞれの発注者のそれぞれの担当者に提供す
る情報を纏めてホームページの各画面の作成を指示する
プログラムが搭載されており、そのプログラムに基づい
て、それぞれの発注者のそれぞれの担当者に提供するホ
ームページの各画面を作成している。なお、ＤＢ１２に
ついては後述する。

【００２７】また、サーバ１１は、認証キーを認識する
認証機能を有しており、ブラウザ装置５から認証キーを
用いてアクセスされた場合には、当該認証キーに含まれ
る要素に基づいて、ホームページとして提供する情報を
生成してブラウザ装置５に提供する。更に、サーバ１１
は、ブラウザ装置５から上記のメールの送信があった場
合には、当該メールをＤＢ１２に渡す。そして、このメ
ールは、ＤＢ１２からホスト装置１０を経由して、当該
メールに付された送信先アドレスの情報端末３０に送信
される。

【００２８】また、図１には示していないが、サーバ１
１とＤＢ１２の間にはファイヤーウォールが形成されて
おり、ネットワーク１を介して外部からはＤＢ１２、ホ
スト装置１０、及び情報端末３０にはアクセスできない
ようになされている。

【００２９】次に、ＤＢ１２どのようなデータが、どの
ようにして蓄積されるかについて説明する。まず、受注
者側の営業担当者がフォトマスクの製造を受注する。受
注すると、営業担当者は情報端末３０を用い、受注管理
システムを起動して、当該受注したフォトマスクの注文
番号、品名、工程名、管理番号を入力する。そして、こ
れらの入力されたデータはホスト装置１０に送られる。
なお、品名はシリーズ名と呼ばれることもあり、工程名
は層名あるいは枝名と呼ばれることもある。

【００３０】そして、ホスト装置１０は、これらのデー
タを発注者毎、注文番号毎に管理し、蓄積する。後述す
るように、一つのフォトマスクに関して、受注管理シス
テム、生産計画システム、進行管理システム等により種
々のデータが入力されるが、ホスト装置１０は受注管理
システム、生産計画システム、進行管理システム等より
入力されるデータを総合して、発注者毎、そして、所定
の項目毎、例えば注文番号毎に纏めて管理し、蓄積す
る。なお、ここではホスト装置１０は、これらのデータ
を発注者毎、注文番号毎に纏めるものとする。

【００３１】また、発注者側から当該フォトマスクに形
成する回路パターンのデータが提供されると、担当者は
当該回路パターンデータが支給された日時を受注管理シ
ステムにより入力する。このとき発注者側から納期が要
求され、またフォトマスクを納入する届け先、ロット番
号等が指定されるのが通常であるが、担当者は、これら
の要求納期の日時、届け先、ロット番号についても情報
端末３０から入力する。これらのデータもホスト装置１
０に送られ、蓄積される。上述したように、ネットワー
ク２０はイントラネットを併用しているから、イントラ
ネットにより注文番号、管理番号等により当該フォトマ
スクに関する情報を検索し、そこに回路パターンの支給
日時、要求納期の日時、届け先、ロット番号を入力すれ
ばよい。

【００３２】このようにして回路パターンのデータが支
給されると、生産計画の担当者は、現在製造・検査ライ
ンの状況、フォトマスク製造工場から届け先までの搬送
に要する時間等を考慮して、要求納期に間に合うように
スケジュールを立て、出荷予定の日時、発注者側から指
定された届け先に到着する日時を決定して、その決定し
た出荷予定日時、届け先に到着する予定日時を情報端末
３０から入力する。これらのデータは生産計画システム
を用いて入力するが、これらのデータの入力について
も、上述したと同様に、イントラネットにより注文番
号、管理番号等により当該フォトマスクに関する情報を
検索し、そこに出荷予定日時、届け先に到着する予定日
時を入力すればよい。そして、これらのデータはホスト
装置１０に送られ、蓄積される。

【００３３】なお、製造・検査のスケジュールは定期的
に見直しされるのが通常である。例えば、要求納期が非
常に短いフォトマスクを受注したときには、現在流れて
いる製造・検査工程の中に当該フォトマスクを割り込ま
せる必要があり、この場合にはスケジュールの見直しが
行われることになる。また、検査工程で不良が見つか
り、修正に時間がかかったり、あるいは当該不良が致命
的なものである場合には作り直しすることになるが、こ
のような場合にもスケジュールの見直しが行われること
になる。このような事態が発生する場合もあるので、定
期的にスケジュールを見直しているのである。そして、
スケジュールの変更に伴って、出荷予定時刻、届け先へ
の到着予定時刻が変わった場合には、担当者は、生産計
画システムにより、新たな出荷予定時刻、届け先への到
着予定時刻を入力する。

【００３４】また、生産計画の担当者は、立案したスケ
ジュールに従って、各製造工程、各検査工程で仕掛を行
う順番を決定する。即ち、各製造工程、各検査工程には
仕掛待ちのフォトマスクが複数貯留されているのが通常
であるが、それらのフォトマスクをどのような順番に仕
掛けるかを定めるのである。そして、これらの各製造工
程、各検査工程での仕掛の順番を、各製造工程、各検査
工程に配置されている情報端末３０に通知するのであ
る。この、各製造工程、各検査工程での仕掛順番の通知
は、生産計画担当者が、情報端末３０を用いて生産計画
システムにより入力し、それを各製造工程、各検査工程
に配置されている情報端末３０に送信することにより行
う。

【００３５】さて、回路パターンのデータが支給される
と、フォトマスクの製造が開始されるが、まず、ガラス
基板を用意し、そのガラス基板を密閉容器に収容する。
そして、その密閉容器には当該フォトマスクの注文番
号、品名、工程名、管理番号等の情報を表すバーコード
が貼付される。バーコードにどれだけの項目の情報を含
ませるかは任意であるが、少なくとも、フォトマスクを
特定できるだけの情報を含ませる必要があることは当然
である。なお、以下、ガラス基板を密閉容器に収容した
ものを、便宜的に、単に部材と称することにする。

【００３６】各製造工程、各検査工程では、それぞれの
工程の担当者は、部材が入ってきたとき、仕掛を開始す
るとき、仕掛が完了したとき、次の工程に送ったときに
は、進行管理システムを用い、情報端末３０のバーコー
ドリーダによりバーコードの読み取りを行う。情報端末
３０は、バーコードリーダから入力されたデータを取り
込むと、当該バーコードのデータを、それが入力された
日時と共に、ホスト装置１０に送る。そして、ホスト装
置１０はそれを蓄積する。

【００３７】ところで、検査工程の中には寸法と称され
る工程がある。この寸法という検査工程では、ガラス基
板に形成された回路パターンについて、発注者から指定
された位置の座標値、指定された箇所の寸法を測定する
のであるが、このとき測定した座標値、寸法を情報端末
３０から入力する。なお、座標値の測定については、発
注者側から原点となる位置が定められている。

【００３８】この寸法の検査工程で測定された座標値、
寸法の入力も進行管理システムを用いて行う。入力され
た座標値、寸法のデータはホスト装置１０に送られ、蓄
積されるのであるが、上述したように、当該寸法の検査
工程の仕掛を行うに際しては当該部材のバーコードを読
み取るので、ホスト装置１０は、これらの座標値、寸法
のデータはバーコードで表されるフォトマスクに関する
データであると認識する。

【００３９】また、検査工程の中には、形成された回路
パターンに汚れ、ゴミがあるかどうか、回路パターンに
欠陥がないか等、回路パターンが正しく形成されている
かどうかを検査する工程がある。この検査工程を外観と
称することにする。この外観の工程では、ＴＶカメラを
付けた光学顕微鏡で回路パターンを撮像し、ＣＲＴ等の
表示装置に表示して、目視により回路パターンを観察し
て汚れ、ゴミの有無、回路パターンの欠陥の有無等を検
査するのであるが、担当者はこのＴＶカメラ付きの光学
顕微鏡で撮像した回路パターンの像をデジタルデータと
して情報端末３０に取り込む。この回路パターンの画像
データの取り込みも進行管理システムを用いて行う。そ
して、取り込まれた回路パターンの画像データはホスト
装置１０に送られ、蓄積される。ホスト装置１０がこの
画像データを当該外観の工程の仕掛の時に読み取られた
バーコードで表されるフォトマスクに関するデータであ
ると認識するのは上述したと同様である。

【００４０】以上のようであるので、受注者側の営業の
担当者、生産計画の担当者等は、必要に応じて、進行管
理システムにより、どの部材が現在どのような工程にあ
るか、どの工程が何日の何時何分に完了したか、寸法の
工程で測定された座標値、寸法がどのようなものである
か、あるいは外観の工程で撮像された回路パターンを閲
覧することができる。ここで、どの工程が何日の何時何
分に完了したかという情報は生産計画のスケジュールを
立案する上で重要である。この情報によって、スケジュ
ールの変更の要否を判定することができるからである。

【００４１】このように、ホスト装置１０には、受注管
理システム、生産計画システム、進行管理システム等に
より種々のデータが入力されるのであり、これら各シス
テムにより入力されたデータを総合して、発注者毎、注
文番号毎に纏めて管理し、蓄積するのである。そして、
これらの蓄積されたデータに基づいて、発注者毎、注文
番号毎にデータベースを作成して、そのデータベースを
ＤＢ１２に登録する。

【００４２】そして、サーバ１１は、ＤＢ１２の内容に
基づいて、それぞれの発注者のそれぞれの担当者に提供
する情報を纏めてホームページの各画面を作成するので
あるが、以下、そのホームページの画面について説明す
る。

【００４３】サーバ１１は、ある発注者のブラウザ装置
５から認証キーを用いてアクセスされると、認証キーを
解釈して、その認証キーに含まれる要素に基づいて、ど
の発注者であるか、当該担当者に対してどの範囲の情報
を提供すればよいかを判断して、まず、ホームページの
フロントページをブラウザ装置５に送信して提示する。
そのフロントページの画面の例を図２に示す。なお、以
下に説明する画面の図においては、タイトルバー、メニ
ューバー、タスクバーは省略している。また、アンダー
ラインを付した文字はクリッカブルマップ（clickable
map）であることを示す。

【００４４】この生産状況提示システムでは、フォトマ
スクについての納期の報告、進捗状況、出荷情報を提供
するようになされており、また、発注者から受注者への
指示、確認、質問を行うためのメール機能を備えるよう
になされている。そこで、フロントページには、図２の
Ａに示すように、「フォトマスク納期のご報告」、「フ
ォトマスク進捗情報」、「フォトマスク出荷情報」、
「ご指示・ご確認はこちらへ」という４つのクリッカブ
ルマップが配置されている。また、発注者は国内の業者
であっても届け先は外国である場合もある。そこで、図
２に示すフロントページの画面では、図中Ｂで示すよう
に、ラジオボックスによって、日時を表示する場合の標
準時間を選択できるようになされている。図２では標準
時間は７種類用意されているが、より多くの標準時間を
用意しておいてもよいことは当然である。ここでは図２
に示されているように、日本標準時が選択されたものと
するが、例えばグリニッジ標準時が選択されれば、後述
するページの画面の日時はグリニッジ標準時で表示され
ることなる。

【００４５】なお、図２には示していないが、発注者は
国内の半導体製造業者に限らず外国の業者である場合も
あるので、表示言語を選択できるようにしてもよい。

【００４６】発注者側のブラウザ装置５で、図２のフロ
ントページの「フォトマスク納期のご報告」をクリック
して選択すると、この情報がブラウザ装置５からサーバ
１１に送られ、これに対してサーバ１１は「フォトマス
ク納期のご報告」のページの画面を当該ブラウザ装置５
に送信して提供するのであるが、まず、当該発注者側の
担当者が閲覧したいフォトマスクの納期情報を絞り込む
ための検索を行うためのページの画面を提供する。その
ページの画面の例を図３に示す。

【００４７】このフォトマスク検索条件のページでは、
納期情報を閲覧したいフォトマスクについて条件検索が
可能となされており、品名あるいはシリーズ名、工程名
あるいは層名や枝名、注文番号、届け先への到着予定日
時、届け先等の条件を入力することによって検索可能と
なされている。また、当然、全件検索も可能となされて
いる。従って、発注者側の担当者は、このページで、所
望の条件を入力し、検索実行のプッシュボタンをクリッ
クして選択することによって、所望のフォトマスクにつ
いての納期情報を閲覧することが可能となる。なお、図
３において、「お届け先」については、コンボボックス
によって過去に入力された届け先名の中から選択できる
ようになされている。

【００４８】なお、後述するように、この図３に示すフ
ォトマスク検索条件のページは、図２のフロントページ
において「フォトマスク進捗情報」、及び「フォトマス
ク出荷情報」のクリッカブルマップを選択した場合にも
表示されるものである。

【００４９】このフォトマスク検索条件のページで検索
実行のプッシュボタンがクリックにより選択されると、
ブラウザ装置５は入力された検索条件、及び検索実行の
指示をサーバ１１に送る。これに対して、サーバ１１
は、指定された検索条件に基づいて検索を実行し、検索
の結果抽出されたフォトマスクについての納期情報を表
示したページをブラウザ装置５に送信する。そのページ
の画面の例を図４に示す。

【００５０】このページには、図４に示すように、検索
の結果抽出されたフォトマスクについての納期情報が所
定件数ずつ表として表示される。この表の１行が一つの
フォトマスクについての納期情報に対応している。納期
情報としては、それぞれのフォトマスクについて、注文
番号、品名、工程名、管理番号、回路パターンのデータ
の支給日時、要求納期日時、出荷予定日時、届け先への
到着予定日時、届け先の情報が示されている。なお、図
４では２つのフォトマスクの納期情報しか示していない
が、実際にはこの場合には１０のフォトマスクについて
の納期情報が表示されるものである。

【００５１】また、このページには検索結果の件数が表
示され、また、図中のＣで示すように「出荷順」、「品
名順」、「ご注文ＮＯ」、「お届け先」という表示の順
序を設定するための４つのプッシュボタンが配置されて
いる。従って、所望のプッシュボタンをクリックして選
択することにより、表示の順序、ここでは昇順を、出荷
順に表示したり、品名順に表示したり、注文番号に表示
したり、届け先に表示したりすることができる。また、
図中Ｄで示すように、「次の１０件を表示→」のクリッ
カブルマップが配置されており、このクリッカブルマッ
プをクリックして選択することにより、次の１０のフォ
トマスクについての納期情報を閲覧することができる。
更に、図中Ｅで示すように、納期情報の中の品名の欄を
クリックして選択することによって、所望のフォトマス
クの進捗情報を閲覧できるようになされている。このこ
とについては後述する。

【００５２】次に、フォトマスクの進捗情報については
次のようである。進捗情報としては、現在の仕掛工程を
簡単に示すページと、一つフォトマスクについての進捗
の詳細を示すページが用意されている。

【００５３】さて、発注者側の担当者が図２に示すフロ
ントページで「フォトマスク進捗情報」のクリッカブル
マップをクリックして選択すると、この選択情報がブラ
ウザ装置５からサーバ１１に送られ、これに対してサー
バ１１は「フォトマスク進捗情報」のページの画面を当
該ブラウザ装置５に送信して提示するのであるが、その
前に、まず、当該発注者側の担当者が閲覧したいフォト
マスクの進捗情報を絞り込むための検索を行うためのペ
ージの画面を送る。そのページは図３と同じである。

【００５４】そして、このフォトマスク検索条件のペー
ジで検索条件を設定して、検索実行のプッシュボタンが
クリックにより選択されると、ブラウザ装置５は入力さ
れた検索条件、及び検索実行の指示をサーバ１１に送
る。これに対して、サーバ１１は、指定された検索条件
に基づいて検索を実行し、検索の結果抽出されたフォト
マスクについての進捗情報を表示したページをブラウザ
装置５に送信して提供する。このときブラウザ装置５に
提供されるのは、現在の仕掛工程を簡単に示す情報を表
示したページである。そのページの画面の例を図５に示
す。

【００５５】このページには、図５に示すように、検索
の結果抽出されたフォトマスクについての仕掛工程情報
が所定件数ずつ表として表示される。この表の１行が一
つのフォトマスクについての仕掛工程情報に対応してい
る。仕掛工程情報としては、そのぞれのフォトマスクに
ついて、注文番号、品名、工程名、管理番号、現在工
程、状態、要求納期日時、出荷予定日時、ロット番号の
情報が示されている。このページに示される情報によっ
て、どのフォトマスクが現在どの工程でどのような状態
にあるのかを確認することができる。例えば、図５の上
から２番目のフォトマスクについては、現在ＰＤという
工程の着工を待っている状態にあることが分かる。な
お、ＰＤというのは検査工程の一つである。また、例え
ば、現在工程がペリクル装着であり、状態が着工中であ
れば、このフォトマスクは現在ペリクル装着が行われて
いるということになる。なお、図５では２つのフォトマ
スクの仕掛工程情報しか示していないが、実際にはこの
場合には１０のフォトマスクについての仕掛工程情報が
表示されるものである。

【００５６】また、図４に示す納期の報告のページと同
様に、このページには検索結果の件数が表示され、ま
た、「出荷順」、「品名順」、「ご注文ＮＯ」、「お届
け先」という表示の順序を設定するための４つのプッシ
ュボタンが配置されている。更に、「次の１０件を表示
→」のクリッカブルマップをクリックして選択すること
により、次の１０のフォトマスクについての仕掛工程情
報を表示することができ、また、仕掛工程情報の中の品
名の欄をクリックして選択することによって、所望のフ
ォトマスクの詳細な進捗情報を閲覧できるようになされ
ている。

【００５７】このように、発注者側の担当者は、この現
在の仕掛工程のページによって、どのフォトマスクが現
在どのような工程でどのような状態にあることを知るこ
とができり、出荷予定日時も知ることができる。

【００５８】しかし、この現在の仕掛工程のページで
は、個々のフォトマスクについて、その進捗の詳細を知
ることはできない。例えば、どのような検査あるいは修
正が何時どのような順に行われ、これ以降どのような検
査があるのかを知ることは発注者側担当者にとっても非
常に関心のある事項である。即ち、例えば多くの修正が
施されていればこれ以降も検査あるいは修正に時間を要
し、納期の遅れが予測できたり、製造・検査が順調に行
われていれば、これ以降も順調に進んで納期が早まるこ
とが予測できたりして、試作あるいは製造のラインの調
整を予め行うことができる可能性がある。

【００５９】そこで、この生産状況提示システムでは、
図４に示す納期報告のページ及び図５に示す現在の仕掛
工程のページにおいて、所望のフォトマスクの品名の欄
をクリックして選択することによって、当該フォトマス
クについての詳細な進捗情報を閲覧できるようになされ
ている。即ち、発注者側の担当者が図４に示す納期報告
のページあるいは図５に示す現在の仕掛工程のページに
おいて、あるフォトマスクの品名の欄をクリックして選
択すると、この選択情報がブラウザ装置５からサーバ１
１に送られ、これに対してサーバ１１は当該選択された
フォトマスクの詳細な進捗情報を表示したページを当該
ブラウザ装置５に送信して提供する。そのページの画面
の例を図６に示す。

【００６０】図６に示すように、この詳細な進捗情報を
示すページには、図中Ｆで示すように当該選択されたフ
ォトマスクの種々の仕様が表示され、更に、図中Ｇで示
すように、これまで経た工程、これから行う工程が表と
して表示されている。完了あるいは合格した工程につい
ては状態の項目に完了または合格の表示がなされ、完了
日時の項目にはその工程が完了した日時が表示されてい
る。この情報によって、発注者側担当者は、これまでど
のような工程が何時行われ、その結果がどのようであ
り、現在どの工程にあって、これからどのような工程が
行われるのかを知ることができるので、上述したように
届け先への到着日時を予測することが可能となり、その
ことによって試作あるいは製造のラインの調整を予め行
うことが可能となるのである。

【００６１】なお、図６に示されている各工程について
概略説明すると次のようである。描画は、ガラス基板に
レジストを塗布して、電子線描画装置により回路パター
ンを描画する工程である。プロセスは、フォトリソグラ
フィの工程、より具体的にはエッチングの工程である。
外観は上述した通りである。

【００６２】外観の工程によって黒修正あるいは白修正
が行われることがある。黒修正が行われた場合には、図
に示すように黒修正の工程が表示される。黒修正は上述
した通りである。しかし、黒修正が必要ない場合には、
この工程は表示されない。白修正についても同様であ
る。従って、図６に示すページのフォトマスクについて
は白修正が行わなかった場合を示している。

【００６３】比較の工程については次のようである。上
述したように、半導体部材を製造するについてはいくつ
かのフォトマスクの回路パターンによって層を積み重ね
ていくのであり、従って、当該フォトマスクの回路パタ
ーンを他のフォトマスクの回路パターンと積み重ねた場
合に正しく機能するものでなければならない。そこで他
のフォトマスクの回路パターンと積み重ねた場合に正し
き機能するかどうかを検査する必要があり、それが比較
という工程である。この工程は周知であるので、工程の
詳細については省略する。

【００６４】寸法については上述した通りである。洗浄
は作成したフォトマスクを洗浄する工程である。ペリク
ル装着はペリクルを装着する工程であり、ペリクル外観
はペリクル装着後に中にゴミが入ってないかどうかを検
査する工程である。ＰＤもゴミの有無の検査である。基
本は、ガラス基板の欠けの有無、あるいは品名の誤りが
ないかどうか、あるいはフォトマスクを出荷するときに
は当該フォトマスクの検査表を添付するのが通常である
が、その検査表の添付ミスがないかどうか等のチェック
を行う工程であり、出荷検査は、梱包に異常がないかど
うか、あるいは梱包に表示した品名と中身のフォトマス
クの品名が合っているかどうか等の検査を行う工程であ
り、出荷検査が完了すると出荷されることになる。

【００６５】そして、この詳細な進捗情報を表示するペ
ージの外観の工程の補足の欄には、「画像有り」のプッ
シュボタンが配置されている。これは上述したように、
外観の工程で撮像した画像を発注者側担当者が観察でき
るようにするためのものである。

【００６６】即ち、フォトマスクの回路パターンは複雑
であり、求められる精度も高精度が求められる。従っ
て、外観の工程で観察しても良否判定が微妙で、難しい
ものとなってきているのが現状である。そこで、外観の
工程の担当者が良とした場合でも気付かない不良がある
ことが考えられるので、外観の工程で撮像した画像を発
注者側担当者も観察できるようにしておくのである。従
って、発注者側担当者は、外観の工程が完了したフォト
マスクについては、納品の前に当該フォトマスクの回路
パターンを観察して出来上がりの状態を知ることができ
ることになり、問題がある場合には後述するメール機能
を使用して受注者側に知らせることが可能となるし、問
題がない場合には納品されたものを安心して用いること
ができることになる。従って、この機能も効率化に寄与
するものである。

【００６７】さて、発注者側担当者が図６に示す進捗情
報のページで、外観の工程の補足の欄の「画像有り」の
プッシュボタンをクリックして選択すると、この選択情
報がブラウザ装置５からサーバ１１に送られ、これに対
してサーバ１１は、当該フォトマスクについて外観の工
程で撮像した画像データを当該ブラウザ装置５に送信す
る。この画像データを受けると、ブラウザ装置５は当該
画像データをモニタに表示する。これによって、当該発
注者側担当者は当該画像を観察することができる。な
お、「画像有り」のプッシュボタンが選択されない場合
にはブラウザ装置５は何もしない。

【００６８】次に、フォトマスクの出荷情報については
次のようである。発注者側の担当者が図２に示すフロン
トページで「フォトマスク出荷情報」のクリッカブルマ
ップをクリックして選択すると、この選択情報がブラウ
ザ装置５からサーバ１１に送られ、これに対してサーバ
１１は、まず、当該発注者側の担当者が閲覧したいフォ
トマスクの出荷情報を絞り込むための検索を行うための
ページの画面を提供する。そのページは図３と同じであ
る。

【００６９】そして、このフォトマスク検索条件のペー
ジで検索条件を設定して、検索実行のプッシュボタンが
クリックにより選択されると、ブラウザ装置５は入力さ
れた検索条件、及び検索実行の指示をサーバ１１に送
る。これに対して、サーバ１１は、指定された検索条件
に基づいて検索を実行し、検索の結果抽出されたフォト
マスクについての出荷情報を表示したページをブラウザ
装置５に送信して提供する。そのページの画面の例を図
７に示す。

【００７０】このページには、図７に示すように、検索
の結果抽出されたフォトマスクについての出荷情報が所
定件数ずつ表として表示される。この表の１行が一つの
フォトマスクについての出荷情報に対応している。出荷
情報としては、そのぞれのフォトマスクについて、注文
番号、品名、工程名、管理番号、便、要求納期日時、出
荷予定日時、届け先への到着予定日時、届け先、補足の
情報が示されている。便の情報は、定期便で搬送するの
か、特別便で搬送するのかという搬送する便がどのよう
なものであるかを示している。また、図４に示す納期の
報告のページと同様に、このページには検索結果の件数
が表示され、また、「出荷順」、「品名順」、「ご注文
ＮＯ」、「お届け先」という表示の順序を設定するため
の４つのプッシュボタンが配置されている。更に、「次
の１０件を表示→」のクリッカブルマップをクリックし
て選択することにより、次の１０のフォトマスクについ
ての出荷情報を表示することができる。

【００７１】この出荷情報を表示するページの補足の欄
には、「寸法」と「画像」の２つのプッシュボタンが配
置されている。「画像」のプッシュボタンについては、
図６に示す進捗情報のページの、外観の工程の補足の欄
の「画像有り」のプッシュボタンと同じであり、発注者
側担当者は「画像」のプッシュボタンをクリックして選
択することによって、外観の工程で撮像された画像を観
察することができる。

【００７２】「寸法」のプッシュボタンについては次の
ようである。この「寸法」のプッシュボタンは、上述し
たように、寸法の工程で測定した、回路パターンの各部
の座標値、寸法のデータを発注者側でダウンロードでき
るようにするためのものである。

【００７３】即ち、フォトマスクは一度使ったらそれで
終わりではなく、増産する場合には何度も用いられるも
のであり、また、フォトマスクの回路パターンをシリコ
ンウェハに露光する際の露光条件を定めるに当たって
は、フォトマスクの各部の座標値あるいは寸法の精度が
重要な要素となる。そこで、従来では、検査表にこれら
のデータを表記して納入しており、発注者側ではこれら
の座標値や寸法を情報端末で手入力してデータベース化
しているのが現状である。これによって増産する場合に
も各フォトマスクの回路パターンの各部の座標値や寸法
に基づいて露光条件を良好に定めることができるのであ
るが、従来では納品されたフォトマスクに添付された検
査表を見てからでないと露光条件を定めることができな
いのである。

【００７４】それに対して、上述したように寸法の工程
で測定した回路パターンの各部の座標値や寸法をダウン
ロードできるようにしておけば、発注者側では納品の前
に予め露光条件等を定めることが可能となり、半導体部
材の試作あるいは製造を効率よく、時間の無駄なく行う
ことができることになる。また、発注者側では従来のよ
うに検査表から座標値や寸法を手入力する必要がないの
で、データベースの構築も容易となり、この点からも効
率を向上することができる。そのために「寸法」のプッ
シュボタンが設けられているのである。

【００７５】さて、発注者側担当者が図７に示す出荷情
報のページで、補足の欄の「寸法」のプッシュボタンを
クリックして選択すると、この選択情報がブラウザ装置
５からサーバ１１に送られ、これに対してサーバ１１
は、当該フォトマスクについて、寸法の工程で入力され
た座標値や寸法のデータを当該ブラウザ装置５に送信す
る。これによってブラウザ装置５へのダウンロードが行
われる。なお、「寸法」のプッシュボタンが選択されな
い場合にはブラウザ装置５は何もしない。

【００７６】以上のようであるので、発注者側担当者
は、このページに示される情報によって、各フォトマス
クが何時出荷され、何時届け先に到着するかを知ること
ができるので、予め試作あるいは製造のラインを調整す
ることができることになる。また、補足の欄の「画像」
のプッシュボタンを選択することによって、外観の工程
で撮像された回路パターンの画像を観察することがで
き、「寸法」のプッシュボタンを選択することによっ
て、寸法の工程で入力された座標値や寸法のデータをダ
ウンロードすることができる。なお、図７では２つのフ
ォトマスクの出荷情報しか示していないが、実際にはこ
の場合には１０のフォトマスクについての出荷情報が表
示されるものである。

【００７７】次に、メール機能について説明する。これ
まで述べてきたように、この生産状況提示システムで
は、発注者に対して、２４時間、リアルタイムにフォト
マスクに関する種々の情報を提供することができる。従
って、発注者側担当者が、上述した納期情報や進捗情報
あるいは出荷情報を見て、受注者側担当者に何等かの指
示をしたり、確認をしたり、質問をしたりする場合が生
じるが、このとき指示や質問を電話やファクシミリで行
わなければならないようでは、この生産状況提示システ
ムで意図している効率化が十分に行われないことにな
る。

【００７８】そこで、この生産状況提示システムでは、
メール機能を備え、発注者側からの指示、確認、あるい
は質問を行うことができるようになされている。即ち、
発注者側の担当者が図２に示すフロントページで「ご指
示・ご確認はこちらへ」のクリッカブルマップをクリッ
クして選択すると、この選択情報がブラウザ装置５から
サーバ１１に送られ、これに対してサーバ１１は、当該
ブラウザ装置５に対して、メール機能のページを送信し
て提供する。このメール機能のページの画面の例を図８
に示す。

【００７９】図８に示すページでは、納期関連、技術関
連、品質関連、その他という４つのメールの区分がラジ
オボックスで選択できるようになされており、ラジオボ
ックスで区分を選び、件名を入力してメールを書き込
み、送信のプッシュボタンをクリックして選択すること
によって、メールを送信することができる。なお、メー
ルの送信先は、４つの区分で定められているアドレスと
なる。

【００８０】発注者側のブラウザ装置５から送信された
メールはサーバ１１を介してＤＢ１２に届けられ、ＤＢ
１２は当該メールをホスト装置１０に渡す。そして、ホ
スト装置１０は当該メールに付された送信先アドレスの
情報端末３０に送信する。これによって、受注者側担当
者は発注者側担当者からの指示、確認あるいは質問を知
ることができる。

【００８１】以上のようであるので、この生産状況提示
システムをフォトマスクの製造に適用した場合には、発
注者に対して、常時、リアルタイムに、上述したフォト
マスクの納期情報、進捗情報、出荷情報を提供できるの
で、従来のように電話やファクシミリ、電子メールで互
いに連絡をとる場合に比較して、行き違いが生じること
もなく、発注者側担当者は何時でも必要なときにフォト
マスクに関する情報を知ることができる。

【００８２】そればかりでなく、この生産状況提示シス
テムでは、発注者側担当者は、測定された回路パターン
の各部の座標値や寸法、あるいは回路パターンの画像に
よって、納品前にフォトマスクの品質を正確に把握する
ことができるので、ラインの調整、フォトマスクの露光
条件等を予め納品前に調整することができるので、時間
の無駄を大幅に省くことが可能となり、生産効率を向上
させることができるものである。

【００８３】以上、本発明に係る生産状況提示システム
をフォトマスクの生産状況の提示に適用した場合につい
て説明したが、本発明はこれに限るものではなく、種々
の物の生産状況を提示する場合に適用することができる
ものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る生産状況提示システムの一実施形
態を示すブロック図である。

【図２】本発明に係る生産状況提示システムをフォトマ
スクの生産状況の提示に適用した場合において、ブラウ
ザ装置からアクセスされたときに提供するホームページ
のフロントページの例を示す図である。

【図３】図２に示すフロントページで、「フォトマスク
納期のご報告」あるいは「フォトマスク進捗情報」また
は「フォトマスク出荷情報」のクリッカブルマップが選
択されたときにサーバ１１がブラウザ装置５に提供す
る、フォトマスクの検索を行うためのページの例を示す
図である。

【図４】フォトマスクの納期情報を表示するページの例
を示す図である。

【図５】フォトマスクの現在の仕掛工程の情報を表示す
るページの例を示す図である。

【図６】フォトマスクの詳細な進捗情報を表示するペー
ジの例を示す図である。

【図７】フォトマスクの出荷情報を表示するページの例
を示す図である。

【図８】生産状況提示システムにおけるメール機能を表
示するページの例を示す図である。

【符号の説明】

１…ネットワーク、５…ブラウザ装置、１０…ホスト装
置、１１…データベース（ＤＢ）、１２…サーバ、２０
…ネットワーク、３０…情報端末。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１３年９月１３日（２００１．９．１
３）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００１

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、通信ネットワーク
を介して、受注したフォトマスクの生産状況を、当該製
品の発注先である顧客に提示する生産状況提示システム
に関する。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】削除

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１１】そこで、本発明は、受注したフォトマスク
が現在どのような工程にあるか、どのような検査を行っ
てその結果がどうであったか、そして、納期が何時にな
るかというようなフォトマスクの生産状況を顧客に対し
てリアルタイムで常時提供することによって、フォトマ
スク製造の効率化、及び顧客側での製品の製造の効率化
を図ることができる生産状況提示システムを提供するこ
とを目的とするものである。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の生産状況提示システムは、ネット
ワーク（１）を介して、発注者側のブラウザ装置（５）
と接続された生産状況提示システムであって、（ａ）
受注管理システムの情報端末（３０）から入力された、
受注したフォトマスクの注文番号、品名、工程名、管理
番号、回路パターンデータの支給日時、生産計画システ
ムの情報端末（３０）から各フォトマスクについて入力
された、出荷予定日時、指定された届け先に到着する予
定日時、各製造工程での仕掛順番、各検査工程での仕掛
順番、進行管理システムの情報端末（３０）から各フォ
トマスクについて入力された、各製造工程での仕掛の開
始日時及び完了日時、各検査工程での仕掛の開始日時及
び完了日時、ガラス基板に形成された回路パターンにつ
いて発注者から指定された位置の座標値、指定された箇
所の寸法を測定する寸法の検査工程で測定した指定され
た位置の座標値、指定された箇所の寸法のデータ、回路
パターンが正しく形成されているかどうかを検査する外
観の検査工程で撮像された回路パターンの画像データを
総合して、発注者毎、注文番号等の所定の項目毎に纏め
て管理し、蓄積し、この蓄積されたデータに基づいて、
発注者毎、前記所定の項目毎にデータベースを作成して
データベース（１２）に登録するホスト装置（１０）
と、（ｂ） 前記ネットワーク（１）に対して当該ネッ
トワーク（１）のプロトコルで接続され、発注者側のブ
ラウザ装置（５）からアクセスされる場合に用いられ
る、ホームページとして提供する情報の範囲を決定する
要素を少なくとも含む認証キーを認識する認証機能を有
すると共に、前記データベース（１２）の内容に基づい
て、それぞれの発注者のそれぞれの担当者に提供する情
報を纏めてホームページの各画面を作成するサーバ（１
１）とを備え、前記サーバ（１１）は、前記発注者側の
ブラウザ装置（５）から認証キーを用いてアクセスされ
た場合には、当該認証キーに含まれる要素に基づいて、
フォトマスク納期の報告のページの画面、フォトマスク
の進捗情報のページの画面、フォトマスクの出荷情報の
ページの画面、指示・確認のページの画面のうちの何れ
のホームページの画面を閲覧するかを選択するためのフ
ロントページの画面を当該ブラウザ装置（５）に送信し
て提示し、ブラウザ装置（５）で選択されたホームペー
ジの各画面を送信し、提示することを特徴とする。請求
項２記載の生産状況提示システムは、請求項１におい
て、前記フロントページの画面には、日時を表示する場
合の標準時間を選択できるラジオボタンが表示されてい
ることを特徴とする。請求項３記載の生産状況提示シス
テムは、請求項１において、前記フォトマスクの詳細な
進捗情報を表示したページの画面に表示される工程には
前記外観の検査工程を含み、当該外観の検査工程に関す
る所定の欄には、外観の検査工程で撮像された回路パタ
ーンの画像データがあることを示すプッシュボタンが配
置されてなり、発注者側のブラウザ装置（５）で当該プ
ッシュボタンが選択された場合には、サーバ（１１）
は、当該フォトマスクについて外観の検査工程で撮像し
た画像データを当該ブラウザ装置（５）に送信すること
を特徴とする。請求項４記載の生産状況提示システム
は、請求項１において、前記フォトマスクについての出
荷情報を表示したページの画面に表示されている各フォ
トマスクについての所定の欄には、外観の検査工程で撮
像された回路パターンの画像データがあることを示すプ
ッシュボタンが配置されてなり、発注者側のブラウザ装
置（５）で当該プッシュボタンが選択された場合には、
サーバ（１１）は、当該フォトマスクについて外観の検
査工程で撮像した画像データを当該ブラウザ装置（５）
に送信することを特徴とする。請求項５記載の生産状況
提示システムは、請求項１において、前記フォトマスク
についての出荷情報を表示したページの画面に表示され
ている各フォトマスクについての所定の欄には、前記寸
法の検査工程で測定された回路パターンの指定された位
置の座標値、指定された箇所の寸法のデータがあること
を示すプッシュボタンが配置されてなり、発注者側のブ
ラウザ装置（５）で当該プッシュボタンが選択された場
合には、サーバ（１１）は、当該フォトマスクについ
て、寸法の検査工程で入力された回路パターンの指定さ
れた位置座標値、指定された箇所の寸法のデータを当該
ブラウザ装置（５）に送信することを特徴とする。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】この生産状況提示システムでは、フォトマ
スクについての納期の報告、進捗状況、出荷情報を提供
するようになされており、また、発注者から受注者への
指示、確認、質問を行うためのメール機能を備えるよう
になされている。そこで、フロントページには、図２の
Ａに示すように、「フォトマスク納期のご報告」、「フ
ォトマスク進捗情報」、「フォトマスク出荷情報」、
「ご指示・ご確認はこちらへ」という４つのクリッカブ
ルマップが配置されている。また、発注者は国内の業者
であっても届け先は外国である場合もある。そこで、図
２に示すフロントページの画面では、図中Ｂで示すよう
に、ラジオボタンによって、日時を表示する場合の標準
時間を選択できるようになされている。図２では標準時
間は７種類用意されているが、より多くの標準時間を用
意しておいてもよいことは当然である。ここでは図２に
示されているように、日本標準時が選択されたものとす
るが、例えばグリニッジ標準時が選択されれば、後述す
るページの画面の日時はグリニッジ標準時で表示される
ことなる。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７９】図８に示すページでは、納期関連、技術関
連、品質関連、その他という４つのメールの区分がラジ
オボタンで選択できるようになされており、ラジオボタ
ンで区分を選び、件名を入力してメールを書き込み、送
信のプッシュボタンをクリックして選択することによっ
て、メールを送信することができる。なお、メールの送
信先は、４つの区分で定められているアドレスとなる。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８１】以上のようであるので、この生産状況提示
システムによれば、発注者に対して、常時、リアルタイ
ムに、上述したフォトマスクの納期情報、進捗情報、出
荷情報を提供できるので、従来のように電話やファクシ
ミリ、電子メールで互いに連絡をとる場合に比較して、
行き違いが生じることもなく、発注者側担当者は何時で
も必要なときにフォトマスクに関する情報を知ることが
できる。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８３

【補正方法】削除

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南 慶信 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 5B049 BB07 CC05 CC21 CC35 EE05 FF01 GG02

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】受注管理システム、生産管理システム、進
   行管理システムにより入力された受注品に関するデータ
   を、データベース化して管理し、蓄積するホスト装置
   と、 前記データベースに基づいて、発注者に提供する情報を
   表示するページを作成するサーバとを備えることを特徴
   とする生産状況提示システム。
2. 【請求項２】前記サーバは認証キーを認識する認証機能
   を有しており、ブラウザ装置から認証キーを用いてアク
   セスされた場合には、当該認証キーに含まれる要素に基
   づいてホームページとしてブラウザ装置に提供する情報
   を生成することを特徴とする請求項１記載の生産状況提
   示システム。