CN101023428A - 用来自动产生光掩模定单的基于规则的系统和方法 - Google Patents

Abstract

一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统，包括用于光掩模定单数据的输入和存储的至少一个模板或定单，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建。所述系统包括与至少一个模板或定单相对应的至少一组规则，其中规则组包括指令，该指令保证用户按照规定定单格式所要求的把完整信息输入到至少一个模板或定单中。模板或定单还可以包括可分离存储的部分和/或子部分。在定单、模板、部分、子部分、等等中的数据字段可以参考技术要求等级，该技术要求等级又容易被修改以同时更新一个或多个定单、模板、部分、子部分、等等。图形用户界面可以与至少一个模板或定单相关联，其中用户可访问至少一个模板或定单，以输入光掩模定单数据并以规定格式创建定单。在至少一个实施例中，至少一个模板或定单通过参考技术要求等级而更新。可选择地，命令行发生器可以用来允许用户输入命令，以产生和/或修改模板和定单。在一个实施例中，预存在数据或信息可以以电子信息的形式输入，并且转换成在定单、模板、部分、子部分、等等中的数字字段。数据处理装置也可以用来把电子信息从外部介质输入到至少一个模板或定单中。

Description

用来自动产生光掩模定单的基于规则的系统和方法

技术领域

本发明一般涉及用来以规定格式自动产生光掩模定单的基于规则的系统和方法。更具体地说，本发明涉及用来自动产生光掩模定单的基于用户友好规则的系统和方法。更具体地说，本发明涉及一种基于软件的应用程序，该应用程序通过模板和规则的使用以规定格式自动产生光掩模定单，该模板和规则指导用户通过以完整和准确方式产生光掩模定单的过程。所述规则和模板基于具体标准(例如，SEMIP10)的要求、或专有光掩模定单格式而建立，并且以可适于满足现在已知或以后开发的修改和新光掩模定单格式的标准的方式被组织和存储。另外，本发明的系统和方法提供使用现有光掩模定单数据产生新光掩模定单的能力，该新光掩模定单是容易被用户编辑的。

背景技术

光掩模是包含电子电路的显微图像的高精度板。光掩模典型地由在其一侧上有一层铬的非常平的石英或玻璃片制成。在铬中蚀刻的是电子电路设计的一部分。在掩模上的这种电路设计也称作“几何结构”。

在半导体器件的生产中使用的典型光掩模由“空白”或“未开发”光掩模形成。如图1中所示，典型空白光掩模10包括三个或四个层。第一层11是一层石英或其它大体透明材料，通常称作基片。下一层典型地是一层不透明材料12，如Cr，该层常常包括第三层抗反射材料13，如CrO。所述抗反射层可以被包括或不被包括在任何给定光掩模中。顶层典型地是一层光敏抗蚀剂材料14。其它类型的光掩模也是已知并且被使用，包括但不限于相移掩模、嵌入衰减相移掩模(“EAPSM”)及交变孔径相移掩模(“AAPSM”)。

制造光掩模的过程涉及多个步骤，并且可能是耗时的。在这方面，为了制造光掩模，待创建在光掩模10上的不透明材料12的所希望的图案典型地由加载到曝光系统中的电子数据文件定义，该曝光系统典型地在空白光掩模上以光栅或向量样式扫描电子束(E-束)或激光束。光栅扫描曝光系统的一个这样的例子在授予Collier的美国专利No.3,900,737中描述。每个独特曝光系统具有其自己的用来处理数据的软件和格式，以在曝光所述空白光掩模时指挥设备。当E-束或激光束在空白光掩模10上扫描时，曝光系统把E-束或激光束对准在光掩模上由电子数据文件所定义的可寻址位置。暴露于E-束或激光束的光敏抗蚀剂材料的区域变得溶解，而未曝光部分保持不溶解。为了确定E-束或激光束应该在何处曝光在空白光掩模10上的光敏抗蚀剂14、以及在何处它不应该曝光，需要将作业组形式的适当指令提供给处理设备。

在曝光系统已经把所希望的图像扫描到光敏抗蚀剂材料14上之后，如图2中所示，溶解光敏抗蚀剂材料由在本技术中熟知的手段除去，并且未曝光的、未溶解光敏抗蚀剂材料14′保持粘着到不透明材料13和12上。因而，形成在光掩模10上的图案由剩余光敏抗蚀剂材料14′形成。

所述图案然后从剩余光敏抗蚀剂材料14′经已知的蚀刻过程转印到光掩模10，以除去在未由剩余光敏抗蚀剂14′覆盖的区域中的抗反射材料13和不透明材料12。在本技术中有已知的各种各样的蚀刻过程，包括干式蚀刻以及湿式蚀刻，并因而各种各样的设备用来进行这种蚀刻。在完成蚀刻之后，剥去或除去剩余光敏抗蚀剂材料14′，并且完成光掩模，如图3中所示。在完成的光掩模中，以前由剩余抗反射材料13′和不透明材料12′所反映的图案，位于在先前步骤中除去溶解材料之后剩余光敏抗蚀剂14′被剩下的区域中。

为了确定在具体光掩模中是否有任何不可接授的缺陷，必须检查光掩模。缺陷是影响几何结构的任何瑕疵。这包括不希望的铬区域(铬斑点、铬延伸部、在几何结构之间的铬桥接)或不想要的空旷区域(针孔、空旷延伸部、空旷裂纹)。缺陷可使客户的电路不起作用。客户将在其缺陷技术要求中指示会影响其过程的缺陷尺寸。所有该尺寸的以及更大的缺陷必须修理，或者如果它们不能修理，则必须剔除和重写掩模。

典型地，自动掩模检查系统，如由KLA-Tencor或AppliedMaterials制造的那些，用来探测缺陷。这样的自动系统把照明束对准光掩模，并且探测透过光掩模和从其反射回的光束部分的强度。探测的光强度然后与期望光强度相比较，并且任何偏差记录为缺陷。系统的细节可在授予KLA-Tencor的美国专利No.5,563,702中找到。

在通过检查之后，完成的光掩模被清除污物。其次，薄膜可以涂敷到完成的光掩模上，以保护其关键图案区域免受空中污染。以后可以进行透过薄膜缺陷检查。在某些实例中，在涂敷薄膜之前或之后，可以切割光掩模。

为了完成上述制造步骤的每一个，半导体制造商(例如客户)必须首先向光掩模制造商提供与待制造的光掩模有关的不同类型的数据。在这方面，客户典型地提供光掩模定单，该光掩模定单包括制造和处理光掩模需要的各种类型的信息和数据，包括例如与光掩模的设计有关的数据、使用的材料、交付日期、记账信息及处理定单和制造光掩模需要的其它信息。

在光掩模制造中长期存在的问题是，从客户接收到光掩模定单时起制造光掩模所占用的时间量。在这方面，处理光掩模定单和制造光掩模占用的整个时间可能是漫长的，并因而，光掩模的整个生产率没有被最大化。这个问题的部分归因于，订购光掩模的许多客户常常把他们的定单置于各种不同格式这一事实，该格式常常与光掩模制造商的计算机系统和/或制造设备不兼容。因而，常常要求光掩模制造商重新格式化定单数据和条件、把它转换、及/或补充到与其计算机系统和/或制造设备相兼容的不同格式，这可能占用大量时间，并因而延迟制造光掩模占用的时间。

在解决这些问题的尝试中，光掩模工业已经开发了各种标准光掩模定单格式，光掩模定单应该置于该定单格式中。例如，SEMI P-10标准是在光掩模制造中使用的一种标准格式。另外，少数半导体制造商已经开发了他们自己的、光掩模定单要置于其中的专有光掩模定单格式，而不是采纳标准格式。这些标准的和专有光掩模定单格式被创建为，光掩模定单以统一格式从客户接收，由此减少制造光掩模占用的整个时间。

尽管这样的标准和/或专有光掩模定单格式在减少制造光掩模占用的时间方面是有用的，但许多半导体制造商由于各种原因，不愿意把他们的光掩模定单置于这样的标准和/或专有格式中。例如，SEMIP-10标准定单格式十分复杂，并且要求填写定单的客户具有与这样的标准有关的要求的完善加工知识。由于许多半导体制造商不制造光掩模，所以这样的制造商不可能具有学习这样的标准格式的复杂性的资源、时间或能力。因而，半导体制造商常常以未组织和常常不完整方式向光掩模制造商提供光掩模定单数据。结果，要求光掩模制造商彻底分析这种数据并且以有用格式(例如，以SEMI P-10格式)组织它。另外，在其中不完整掩模定单数据被提供给光掩模制造商的这些实例中，将要求这些制造商从客户请求遗漏信息。结果，大量时间常常浪费在得到完整和准确光掩模定单的过程中，并因而，制造光掩模所占用的整个时间可能大大地延迟。在光掩模制造领域中很长时间以来一直就感觉需要一种用来以标准和/或专有格式自动地产生完整和准确光掩模定单的客户端系统和方法。

在过去，AlignRite Corporation(Photronics，Inc.的前身组织)尝试通过基于因特网的交付系统的使用加速电子数据的交付。然而，尽管AlignRite系统能够把光掩模数据从客户迅速交付给光掩模制造商的计算机系统，并且能够实时地验证这种数据的准确性，但这种现有系统不供单一标准和/或专有格式的光掩模定单数据的自动产生。在这方面，一旦从客户接收到数据，对于数据的标准修改也必须由操作者人工地输入。每当必须输入人工变化时，人为错误的危险增加，并且作业的整个长度会延长。

其它人已经公开了其中制造和记账数据在因特网上下载并且在线自动地确认的系统。一种这样的系统在发布于2002年1月10日、授予Dupont Photomask，Inc的PCT公布02/03141中描述。更具体地说，Dupont PCT公布公开了一种其中光掩模定单数据由客户在线输入并且传输到光掩模制造商进行处理的系统。在这种系统中，提示客户输入光掩模定单数据。这样的数据传输到光掩模制造商，该制造商又进行数据的诊断估计。如果任何数据不完整或不准确，则系统把消息发送到客户，通知他这样的错误。此后，用户必须校正错误。在数据已经由制造商生效(并且在必要时被校正)之后，制造商处理这种数据，并且把它放入标准(或专有)格式中，如SEMI P-10标准格式中。

尽管可用于诊断目的，但Dupont PCT公布的系统并不防止错误被输入在光掩模定单中。在这方面，这种系统在定单已经由客户输入并且传输到光掩模制造商之后才能识别在光掩模定单中的错误。在接收到定单时，光掩模制造商验证定单信息，并且如果探测到错误，则把错误消息发送到客户并且提示客户校正这样的错误。另外，这种系统直到输入光掩模定单数据由光掩模制造商验证和接收之后，才把输入光掩模定单数据置于标准格式中。换句话说，要求制造商把由客户输入的数据调整成用于制造商的标准格式。结果，校正客户的数据输入错误和把数据转换成标准格式浪费大量时间。因而，很长时间以来一直感觉需要有一种系统和方法，该系统和方法以标准和/或专有定单格式产生光掩模定单，并且防止在数据输入期间和传输到光掩模制造商之前的错误。

而且，Dupont PCT公布的系统是非常麻烦的，并且在构成光掩模定单或在使用在以前定单中以前输入的信息时向用户提供非常少的灵活性。而且，Dupont PCT公布的系统也要求用户通过特别麻烦和对于用户限制的预定义图形用户界面(“GUI”)交互作用。因而，很长时间以来一直感觉需要有一种产生光掩模定单的系统和方法，这些光掩模定单简单和灵活，并且避免重新输入先前在以前光掩模定单中使用的数据的必要性。

在完成上述制造步骤之后，完成的光掩模发送到客户，以便用来制造半导体和其它产品。具体地说，光掩模通常用在半导体工业中，以把定义半导体电路的微小比例图像转印到硅或砷化镓基片或晶片上。用来把图像从光掩模转印到硅基片或晶片上的过程通常称作石版印刷或显微石版印刷。典型地，如图4中所示，半导体制造过程包括沉积、照相平版法、及蚀刻的步骤。在沉积期间，一层电绝缘或导电材料(像金属、多晶硅或氧化物)沉积在硅晶片的表面上。这种材料然后涂有光敏抗蚀剂。光掩模然后以与照相底片用来形成照片的大致相同的方式被使用。照相平版法涉及把在光掩模上的图像投影到晶片上。如果在光掩模上的图像分几次并排地投影到晶片上，则这称作步进，并且光掩模叫做原版(reticle)。

如图5中所示，为了在半导体晶片20上创建图像21，光掩模10插入在半导体晶片20与光学系统22之间，该半导体晶片20包括一层光敏材料。由通常称作分档器(Stepper)的能量源23产生的能量，被禁止通过其中不透明材料存在的光掩模10的区域。来自分档器23的能量通过不透明材料12和抗反射材料13未覆盖的石英基片11的透明部分。光学系统22把不透明材料12和13的图案的成比例图像24投影到半导体晶片20上，并且引起在半导体晶片上光敏材料中的反应。光敏材料的可溶解性在曝露于能量的区域中变化。在正照相平版过程的情况下，曝光的光敏材料变得溶解，并且可被除去。在负照相平版过程的情况下，曝光的光敏材料变得不溶解，并且未曝光的溶解光敏材料被除去。

在溶解光敏材料被除去之后，在未溶解光敏材料中形成的图像或图案通过在本技术中熟知的、通常称作蚀刻的过程转印到基片。一旦图案蚀刻到基片材料上，剩余抗蚀剂就被除去，生成成品。新材料和抗蚀剂层然后沉积在晶片上，并且在下个光掩模上的图像投影到它上。再次显影和蚀刻晶片。重复这个过程，直到完成电路。因为在典型半导体器件中，可以沉积多层，所以对于即使单个半导体器件的制造，多个不同光掩模也是必要的。的确，如果多于一件的设备由半导体制造商用来制造半导体器件，则可能的是，即使对于每个层也可能需要多于一个光掩模。此外，因为不同类型的设备也可以用来曝光在不同的生产线中的光敏抗蚀剂，所以即使多个相同的光掩模图案也可能要求定尺寸、方位、定比例及其它属性的另外变化，以考虑半导体制造设备的差别。类似调节也可能是必要的，以考虑光掩模制造商的照相平版法设备的差别。这些差别在光掩模制造过程中需要考虑。

尽管现有技术是有价值的，但现有技术的已知方法和设备呈现本发明寻求克服的几种限制。

具体地说，本发明的目的是，提供一种用来自动地把光掩模定单产生成一种或多种标准和/或专有格式的基于规则的系统和方法，其中，规则可改编或修改，以满足现在已知或以后开发的任何数量的不同标准和/或专有格式。

本发明的另一个目的是，提供一种用来自动地把光掩模定单产生成一种或多种标准和/或专有格式的基于规则的系统和方法，其中，所述系统和方法要求用户遵守与用于光掩模定单的标准和/或专有格式有关的一组规则。

本发明的另一个目的是，提供一种用来自动地把光掩模定单产生成一种或多种标准和/或专有格式的基于规则的系统和方法，其中，通过把包含光掩模数据的现有光掩模定单和/或模板合并成一种单个的新定单而产生定单。

本发明的另一个目的是，提供一种用来减少光掩模定单和数据输入时间的基于规则的光掩模定单系统和方法。

本发明的另一个目的是，提供一种用来减少与光掩模定单的人工输入有关的抄录错误的基于规则的光掩模定单系统和方法。

本发明的另一个目的是，提供一种用来增加制造的光掩模的整个产量的基于规则的光掩模定单系统和方法。

本发明的另一个目的是，提供一种用来自动地产生光掩模定单的基于规则的系统和方法，该系统和方法是用户友好的，并且避免重新输入在相同或另一个定单中以前输入的数据的必要性。

本发明的另一个目的是，提供一种用来自动地产生光掩模定单的基于规则的系统和方法，该系统和方法不要求用户通过预定义图像用户界面来交互。

本发明的另一个目的是，提供一种用来减少光掩模定单和数据输入时间的基于规则的光掩模定单系统和方法。

本发明的另一个目的是，提供一种用来减少与光掩模定单的人工输入有关的抄录错误的基于规则的光掩模定单系统和方法。

本发明的另一个目的是，提供一种用来增加制造的光掩模的整个产量的基于规则的光掩模定单系统和方法。

本发明的另一个目的是，解决现有技术中的不足。

其它目的由前面描述将成为显然的。

发明内容

根据本发明示范实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统包括：至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；至少一组规则，与所述至少一个模板或定单相对应，其中所述规则组包括保证用户按照所述规定定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中的指令；图形用户界面，与所述至少一个模板或定单有关，其中用户可访问至所述少一个模板或定单，以输入光掩模定单数据并以规定格式创建定单；及数据处理装置，用来把电子信息从外部介质输入到所述至少一个模板或定单中。

根据本发明另一个示范实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统包括：至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；至少一组规则，与所述至少一个模板或定单相对应，其中所述规则组包括保证用户按照所述规定定单格式所要求的把完整信息输入到所述模板或定单中的指令；及数据处理装置，用来访问电子信息的一个或多个外部源，其中所述电子信息的一个或多个源通过数据服务系统访问。

根据本发明示范实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的方法包括：产生用于光掩模定单数据的存储的至少一个定单，其中所述至少一个定单通过把数据输入到由至少一组规则支配的一个或多个模板中而创建；和由数据处理装置访问来自外部数据库的电子信息，以把电子信息并入所述一个或多个模板中。

根据本发明另一个示范实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的方法包括：产生用于光掩模定单数据的存储的至少一个定单，其中所述至少一个定单通过把数据输入到由至少一组规则支配的至少一个模板中而创建；访问来自数据服务的电子信息；及把电子信息并入所述定单中。

根据本发明示范实施例的一种处理器可读存储介质包括处理器可读代码，该可读代码用来编程处理器以完成一种方法，该方法包括步骤：产生用于光掩模定单数据的存储的至少一个定单，其中所述至少一个定单通过把数据输入到由至少一组规则支配的至少一个模板中而创建；访问来自数据服务的电子信息；及把电子信息并入所述定单中。

根据本发明另一个示范实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统包括：至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；至少一组规则，与所述至少一个模板或定单相对应，其中用户可访问所述至少一个模板或定单，以输入光掩模数据和以规定格式创建定单。基于用户图形界面或者通过脚本命令的使用或其它等效方法的提示，可以输入光掩模数据。部分或完整光掩模定单也可以电子地输入，例如通过扫描和/或来自其它文件格式的转换。一旦输入，光掩模定单就可以进一步修改或无需进一步修改就提交。当输入光掩模定单时，与该定单有关的信息可以电子地传送到光掩模制造商。

根据本发明另一个示范实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统包括：至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；至少一组规则，与所述至少一个模板或定单相对应，其中所述模板或定单包括部分和子部分，并且子部分可以与模板或定单分离地存储。在一个实施例中，部分和子部分可以包括对于技术要求等级的参考。以这种方式，大量模板和/或定单可通过更新技术要求等级而简单地更新。技术要求等级可包括测量公差、可接受缺陷率、材料、会计信息、客户服务信息、客户设备、石版印刷图案放置、数据传输信息及零售商特定信息、等等。

根据本发明另一个示范实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的方法包括：输入与光掩模定单有关的电子信息；把所述电子信息转换成光掩模定单数据，该光掩模定单数据用来提供给与模板或定单有关的至少某些字段；及使用所述模板或定单产生所述光掩模定单。

在又一个实施例中，一种用来以规定格式产生光掩模定单的方法包括：由与定单或模板有关的命令行发生器接收至少一条命令；把所述至少一条命令应用于所述定单或模板；及由所述定单或模板产生所述光掩模定单。

根据本发明另一个实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统包括一种计算机可读介质，该计算机可读介质能够进行如下步骤：输入与光掩模定单有关的电子信息；把所述电子信息转换成光掩模定单数据，该光掩模定单数据用来提供给与模板或定单有关的至少某些字段；及使用所述模板或定单产生所述光掩模定单。

根据本发明另一个实施例的一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统包括一种计算机可读介质，该计算机可读介质能够进行如下步骤：由与定单或模板有关的商业线发生器接收至少一条命令；把所述至少一条命令应用于所述定单或模板；及由所述定单或模板产生所述光掩模定单。

一种用来产生光掩模定单的系统包括：至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；规则发生器，用来创建与至少一个模板或定单相对应的至少一组规则，其中至少一组规则保证用户按照所述规定光掩模定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中；及命令行处理器，用来接收和执行一个或多条脚本命令，以输入或修改在所述至少一个模板或定单中的光掩模定单数据。

一种用来产生光掩模定单的系统包括：至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建，并且其中所述至少一个模板或定单与一个或多个部分和子部分有关，该部分和子部分可与所述至少一个模板或定单分离地存储；和规则发生器，用来创建与至少一个模板或定单相对应的至少一组规则，其中所述至少一组规则保证用户按照规定光掩模定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中。

一种用来产生光掩模定单的系统包括：至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；规则发生器，用来创建与至少一个模板或定单相对应的至少一组规则，其中所述至少一组规则保证用户按照规定光掩模定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中；及至少一个技术要求等级文件，用来存储与所述至少一个模板或定单有关的至少一个参考数据，其中所述至少一个模板或定单包括对于所述至少一个技术要求等级文件的参考。

一种用来产生光掩模定单的方法包括步骤：输入与光掩模定单有关的电子信息；把电子信息转换成光掩模定单数据，以创建至少一个模板或定单；及基于所述至少一个模板或定单产生光掩模定单。

一种用来产生光掩模定单的方法包括步骤：接收至少一条脚本命令；执行至少一条脚本命令，以创建或修改至少一个模板或定单；及基于所述至少一个模板或定单产生光掩模定单。

一种用来产生光掩模定单的系统包括一种计算机可读介质，该计算机可读介质能够进行步骤：输入与光掩模定单有关的电子信息；把电子信息转换成光掩模定单数据，以创建至少一个模板或定单；及基于所述至少一个模板或定单产生所述光掩模定单。

一种用来产生光掩模定单的系统包括一种计算机可读介质，该计算机可读介质能够进行步骤：接收至少一条脚本命令；执行至少一条脚本命令，以创建或修改至少一个模板或定单；及基于所述至少一个模板或定单产生光掩模定单。

附图说明

当结合附图进行时，通过参考本发明的优选、尽管是说明性的实施例的如下详细描述，将更充分地理解本发明的以上和相关目的、特征及优点，在附图中：

图1代表现有技术的空白或未开发光掩模；

图2代表在已经部分处理之后的图1的光掩模；

图3代表在已经充分处理之后的图1和2的光掩模；

图4是流程图，表示使用处理光掩模制成或处理半导体晶片的方法；

图5表示使用晶片分档器制成半导体的过程；

图6表示根据本发明典型实施例的光掩模定单产生系统；及

图7表示与本发明一起使用以指导用户输入规定数据的图形用户界面的例子。

具体实施方式

本发明涉及一种用来以规定格式自动地产生光掩模定单的基于计算机化规则的系统和方法，其中可以指导希望填写用于光掩模的定单的光掩模客户按照规定定单格式的要求以完整和准确方式通过输入定单的过程。为了实现这些功能，系统和方法利用如下五个部分的一个或多个的组合，以把光掩模定单产生成所希望的格式：(1)模板，数据被输入其中；(2)规则，用来把在模板中输入的数据转换成规定标准和/专有格式；(3)用来使用模板以按规定格式创建光掩模定单的方法；(4)单独的规则组，用来相反于规定标准格式生效光掩模定单；及(5)技术要求等级，是与光掩模模板或定单有关的一个或多个独特属性对象并且可以由模板或定单参考。软件在这种系统中实施，以把特定模板与特定规则相关联而保证客户输入完整和准确的光掩模定单信息。同样，软件在本发明的系统中实施，以把特定光掩模定单与特定规则相关联而保证客户输入完整和准确的光掩模定单信息。技术要求等级可处理为参考数据，并且可应用于模板、定单、或创建定单使用的模板。通过使模板和定单包括技术要求等级作为参考数据，人们仅通过修订少数的技术要求等级就可以容易地更新大量模板和/或定单。

在描述这种软件之前，首先必须描述模板、定单及规则被存储和组织的方式。更具体地说，系统包括服务器和存储在服务器上的外部数据存储介质。用来促进光掩模定单数据的输入和用来产生定单的规则和模板存储在外部存储介质中。外部数据存储介质可以是不同类型的存储介质，包括但不限于关系数据库、面向对象类别、XML文件及现在已知或以后开发的其它类似存储介质。通过把存储介质保持在系统外部和通过提供与本发明的系统和方法可一起使用的存储介质类型的灵活性，各种不同的用户和自动系统可以动态地跨过各种不同平台而操作系统。

在优选实施例中，基于具体标准和/或专有光掩模定单格式的要求，创建一组模板和定单。在这方面，模板和定单被组织为部分和子部分的层级，其中每个部分和子部分由具体标准和/或专有光掩模定单格式的要求定义。例如，具体光掩模定单格式可能要求所述掩模数据部分包括某些子部分，如标题、条码及图案数据，等等。这些子部分的每一个可以具有更详细的子部分(“子级部分”)。例如，是掩模数据部分的子部分的图案数据部分可以具有与其相关的一组子级部分。依据标准和/或专有光掩模定单格式的要求，这些子级部分也可以具有另外的子部分，该子部分又可具有它们自己的子部分，并且依此类推等等。

所述部分的每一个和其有关子部分由一组属性(例如，二进制、串、整数、实数、日期、Boolean、清单、等等)定义。由于模板用来创建光掩模定单，所以与任何给定模板有关的规则(下面更详细地讨论)是与从模板创建的光掩模定单相关的规则的子集。在本发明下，模板、定单、部分、子部分、等每个可以分离地存储。这将允许用户留下某些部分或子部分在模板之外，并且使这些分离存储的部分或子部分由所述模板参考为技术要求等级。在由给定模板创建的新定单要求这些部分或子部分变化的情况下，人们只需要对于分离存储的技术要求等级进行变化，而不必对模板进行任何变化。

表1表明模板和定单的部分和子部分可以根据标准和/或专有光掩模定单格式如何组织的例子：

表1

定单
						供给图案数据
	图案组
							图案放置
	掩模数据
							标题
		条码
							OPC定义
		阵列登记
							测量文件登记
		模具对数据的检查
							模具对模具的检查
		表面定义
							肉眼检查
		图案
								关键尺寸

			模具对模具的检查
								模具对数据的检查
		字段
								图案
				关键尺寸
									模具对模具的检查
				模具对数据的检查

在表1中，在第一(最左)列中的条目是在第二列中的条目(子级)的父级，并且在第二列中的条目是在第三列中的条目的父级，以此类推。可选择地，在表1中的任何两个相邻列可以定义部分(左列)和子部分(右列)。如在表1中表明的那样，相同部分可以作为其它部分的子部分出现。例如，关键尺寸数据作为对于在表1的列4和列5中的图案数据的子部分。由于每个部分和其有关子部分可以彼此和与定单或模板分离地存储，所以它们的任意一个也可以从定单的一部分拷贝到同一定单或不同定单、模板、部分、子部分、等等的另一部分。拷贝和粘贴部分和子部分的这种灵活性允许用户迅速地创建多个光掩模定单，而不必重新输入相同的定单信息。

模板和定单可以使用图形用户界面人工地创建。模板和定单也可以使用来自其它的、外部介质的信息自动地创建或修改，该外部介质包括但不限于非格式化文本文件、XML文件、或某种类型的数据存储装置或机构。例如，客户的计算机可以包括这样的文件、数据库或在创建新模板或定单或提供用于现有模板或定单的遗漏信息时有用的其它电子信息。数据处理装置可以用来把必要信息从这些外部介质输入到新的或现有的模板或定单中。例如，转换或映像软件可用来把客户的文件或数据库转换成应用程序所需要的格式。这样的软件的可购买到的例子是Data Junction，一种用来在几百个应用程序和结构数据格式之间迅速集成和转换数据的可视设计工具。然而，任何适当的商业或专有转换或映像软件可用来完成这个任务。外部信息可以局部地通过定单处理系统、或经像广域网或局域网或因特网、等等之类的现有网络连接而输入到模板或定单。它们也可以由诸如FTP协议、电子邮件、http、专有协议、或可能适于传输信息的任何其它已知协议之类的其它已知技术接受。当使用GUI时，用户可以由GUI提示以输入明确编号的数据。图7是可由光掩模定单产生系统使用的典型GUI。在这个例子中，在图7中表示的GUI提示用户输入与待订购的掩模相关的描述性信息。在这个例子中，输入包括掩模名称、状态、产品类型、等等的信息。在如具有掩模名称的某些实例中，直接打入信息。在其它实例中，可以从下拉菜单选择信息，如关于产品类型种类的情形。

模板和定单也可以使用来自其它的、外部介质的信息自动地创建或修改，该外部介质包括但不限于非格式化文本文件、XML文件、或某种类型的数据存储装置或机构。例如，客户的计算机可以包括这样的文件、数据库或在创建新模板或定单或提供用于现有模板或定单的遗漏信息时有用的其它电子信息。类似地，定单模板、部分、子部分、等等可以由例如扫描仪、或其它文件转换技术电子地输入，从而预先存在的定单、模板、部分或子部分可以被转换和重新格式化，以便由光掩模定单产生系统使用。例如，转换或映像软件可用来把客户的文件或数据库转换成应用程序所需要的格式。这样的软件的可购买到的例子是Data Junction，一种用来在几百个应用程序和结构数据格式之间迅速集成和转换数据的可视设计工具。然而，任何适当的商业或专有转换或映像软件可用来完成这个任务。外部信息可以局部地通过定单处理系统、或经像广域网或局域网或因特网、等等之类的现有网络连接，由诸如FTP协议、电子邮件、http、专有协议、或任何其它已知协议之类的各种数据传输技术，而输入到模板或定单。

由个人经图形用户界面进行的所有操作也可以至少部分地以自动方式进行，而不用直接人工干预。在本发明下，这可基于纯文本指令集或命令行由脚本技术实现。纯文本指令集是可解释成应用程序编程界面以指示应用程序进行一系列操作的高级编程语言。例如，开始“用器件名称‘器件B’替换器件名称‘器件A’”的命令行可由用户在客户的网络处、或自动地发送到系统，如这里细化的那样。当系统接收到这个命令行时，它用新器件名称替换在特定模板或定单中的器件名称。当然，这只是可如何使用指令集的一个例子，并且不意味着在本发明范围内的限制。定制模块可以被创建用于客户的系统上，以使用能够产生ASCII或二进制文件和执行操作系统命令的任何编程语言访问这个指令。自动实施将允许由授权用户经现有网络连接对任何授权系统进行访问。诸如防火墙、注册、口令、等等之类的典型安全性措施可用来保护数据库和掩模订购系统的机密性和数据安全性。

因而，定单、模板、部分、子部分、等等可以通过使用脚本技术经命令行或某种其它开发环境产生和/或修改。优选地，脚本技术涉及命令行程序，该命令行程序把由用户输入的脚本的名称当作变元，该变元包含多条命令以便以某种规定方式操纵定单、模板、部分和/或子部分、等等。优选地，经图形用户界面适用于用户的某些或所有编辑功能性也可经脚本命令使得在脚本技术中适用。

在优选实施例中，脚本命令可以用于这样的编辑功能，如创建新定单；编辑现有定单；从模板创建定单；把新部分或子部分添加到定单、模板、部分、或子部分；修改部分或子部分；保存定单；以其它可比较格式或标准由定单创建SEMI P-10文件；等等。另外，可使得脚本技术能够同时对多个定单和模板查询数据和进行批编辑。

在脚本技术中使用的脚本文件可以处于包含一条或多条脚本命令的纯文本文件的形式。脚本命令可以包括这样的功能，如变量说明、赋值、函数调用、如果-语句、循环或循环每一个语句、当-语句及包含、等等。变量说明命令用来在其使用之前说明用来存储以后使用的数据值的变量。变量说明命令可以包括待使用的变量的数据类型的说明。变量的数据类型可以是如下一种：串、数字、Boolean、日期、清单、树项。串可以代表零或多个字符的序列。数字可以代表可以是正、零、或负的任何实际大小的整数或分数。Boolean可以代表真或伪。日期可以代表具体哪天，并且也可以包括当天的时间。清单可以代表相同数据类型的值的清单。树项可以代表来自光掩模订购系统的树层级的对象，如定单、光掩模、模板、或图案、等等。

借助于函数调用命令，可对在系统库中的函数进行调用。可从系统库调用的函数可以包括用于定单、模板、部分、及子部分的一般管理的函数；用来处理个别树项的函数；用来处理具体树项的字段的函数；用来处理日期值的函数；用来操作值的清单的函数；及任何其它一般或特定目的函数。

用于定单、模板、部分、及子部分的一般管理的函数调用的例子可以包括但不限于：创建定单(以创建新的空白定单)、从模板创建定单(以由给定模板创建新定单)、打开定单(以打开现有定单)、创建模板(以创建新模板)、打开模板(以打开用于编辑的现有模板)、应用日程表(从规定日期开始把给定预先存在的日程表应用于定单或模板)、保存(以把对于定单模板的变化保存到数据库)、创建SEMIP-10文件(以由给定定单创建“SEMI P-10”文件)、创建和发送SEMIP-10文件(以由给定定单创建SEMI P-10文件，并且把它经规定传输方法，例如在因特网上的FTP，发送到规定位置)、删除定单(以从数据库删除规定定单)、删除模板(以从数据库删除规定模板)、等等。

用来处理个别树项的函数调用的例子可以包括但不限于：创建树项(以创建特定类型的新的、空白树项)、拷贝树项(以创建树项的精确拷贝，包括其有关子级树项)、查找树项(在满足一定给定标准的另一个树项下的任何地方定位一种给定类型的树项)、查找多个树项(以查找满足一定给定标准的所有树项)、获得父级(以得到给定树项的父级树项)、在树中替换(替换在从特定对象开始的特定类型的树项内的所有文本字段中的给定文本件)、等等。

用来处理树项的字段的函数调用的例子可以包括但不限于：获得字段(以得到树项字段的值)、设置字段(以设置树项字段的值)、添加字段项(以把新值添加到具有类型清单的树项字段)、除去字段项(以从类型清单的树顶字段除去项)、等等。

用来处理日期值的函数调用的例子可以包括但不限于：创建日期(以创建具有规定值的新日期)、日期添加(以把规定时间段添加到日期)、日期减去(以把规定时间段从日期减去)、等等。

用来操纵值的清单的函数调用的例子可以包括但不限于：添加清单项(以把新项添加到清单，其中新项具有与在清单中的其它项相同的数据类型)、除去清单项(以从清单除去项)、清单包含(以确定特定值是否包含在清单中)、清单尺寸(以确定在清单中的项数)、等等。

一般或特定目的函数的例子可以包括但不限于：是零(以确定值是否是零值)、打印(以把消息打印到屏幕)、等等。用户可能发现希望的任何类型或形式的功能可被潜在地包括，作为在系统库中的函数。在系统库中的函数调用的清单可以在任何时间更新或修订。

赋值命令把变量赋予新值。IF(如果)-语句命令允许脚本基于某些标准做出决定。For(循环)或Foreach(循环每一个)语句允许在某种规定清单上的迭代。While(当)命令是通常环路建造。Include(包含)命令规定另一个脚本应该在该点运行。

潜在地，命令行可以出现在任何定单中。然而，一般要求定单符合逻辑，因为命令典型地按顺序执行。命令行依据系统设计者的喜好可以是情形敏感的或不敏感的。

命令行可以作为文本包括在脚本文件中，从而通过以纯英语解释什么正在进行而改善脚本文件的可读性。典型地，当命令行包括在脚本文件中时，在执行脚本文件时将忽略该信息。而且，脚本文件可以格式化，以允许用户包括空白区域或空白回车，以提高文件的可读性而不影响脚本文件的执行。

在公开系统的一个实施例中，一旦被整体或部分地产生，定单、模板、部分和/或子部分就可以传输到本发明的系统的不同用户、或本发明的不同系统，或由他们访问。例如，在客户处的用户可以发电子邮件，或者否则把模板或定单传送到在该客户处或在不同客户处的用户，从而传送的模板或定单可用来形成新的或修改的模板或定单。当然，这样的传送可以由其它传送方法进行，如FTP协议、或盘或其它存储介质上的运送、等等。作为安全性措施，访问代码或其它访问限制技术可以应用于定单、模板、部分和/或子部分、等等，以防止越权访问和/或修改。

当形成光掩模定单时，客户可能没有得到或知道完成定单的所有要求信息。在过去，这样的信息的缺少会延迟定单完成过程，并且要求从适当源人工地收集这样的信息。

在本发明的一个实施例下，这样的信息至少部分地从其它源自动地检索，所述其它源具有所要求的信息，并且要求客户部分的很少输入、或无需输入。例如，在要求输入到由第一组规则支配的定单中的信息对于客户不可得到的情况下，本发明的数据处理装置可访问数据服务，该数据服务将提供搜索这种所要求的信息的能力。这样的数据服务的例子包括ServiceObjects，这使用户能够同时访问因特网站点、数据库、内网及其它内部和外部资源，就像所述内容存在于单个位置中那样，并且以由其它程序可访问的格式封装信息，如运送信息。在这个例子中，应用程序把数据查询发送到寻找特定运送选项的数据服务，对于订购的光掩模可以得到该选项。数据服务又把请求信息发送回应用程序，该应用程序然后把这样的信息提供给使用应用程序的客户。其它类型的数据服务也可应用于这样的信息，如物流、存货、供给特性、设备适用性、运行时间、装备时间、水平加载、容量信息、或为了准备特定光掩模定单客户希望的任何其它这样的信息。脚本命令也可以创建以通过数据服务或其它访问数据。

数据服务可以本地位于在客户的计算机或网络上，或者远离客户的定单处理系统，并且本身可以通过对于应用程序软件和数据服务都已知的界面访问来自任何数量或类型的远程计算机系统(例如，物流零售商的计算机系统、零件供应商的计算机系统、设备供应商的计算机系统、光掩模制造商的计算机系统、等等)，及可使用任何数量的可接受协议，包括例如SOAP、XML、XML-RPC、ebXML、HTML、等等。数据服务可以从这些远程系统搜索(例如，通过查询)对于客户不可得到的信息，并且如果可得到，则取回这样的数据。可选择地，数据服务可配置成验证数据，如果需要的话。数据服务的搜索机构可以基于用户的希望信息(例如、物流、供给、处理时间、等等)是可配置的，该信息基于由用户的系统提供的任何数量的可能参数(例如，成本、时间、客户名称、掩模尺寸、待使用的分档器设备、等等)。

由人员经图形用户界面进行的所有操作也可以至少部分地以自动方式完成；就是说，没有人工干预。本发明可以经纯文本指令集或命令行提供对于这种功能的访问。纯文本指令集是可解释成应用程序编程界面以指示应用程序进行一系列操作的高级编程语言。例如，开始“用器件名称‘器件B’替换器件名称‘器件A’”的命令行可由用户在客户的网络处、或自动地发送到系统，如这里细化的那样。当系统接收到这个命令行时，它用新器件名称替换在特定模板或定单中的器件名称。当然，这只是可如何使用指令集的一个例子，并且不意味着在本发明范围内的限制。定制模块可以被创建用在客户的系统上，以使用能够产生ASCII或二进制文件和执行操作系统命令的任何编程语言访问这个指令。自动实施将允许由授权用户经现有网络连接对任何授权系统进行访问。诸如防火墙、注册、口令、等等之类的典型安全性措施可用来保护数据库和掩模订购系统的机密性。

图6表明本发明的自动特征的各种潜在实施例的例子。如图6中所示，客户110已经在其计算机系统或网络上安装与本发明一致的定单处理系统100。这个系统的用户可以以上述方式输入部分或完整定单或模板。位于客户的网络上的文件130用来创建或修改模板或定单。就完成定单所必需的任何信息不由客户直接输入而论，这样的信息可以由定单处理系统100自动地从在客户系统上可得到的文件、数据库、或其它电子信息中；从可远程访问的客户的外部的系统中；直接地从客户的一个或多个供应商或零售商；及/或通过数据服务系统，自动地取得。客户或者直接输入完成定单必需的所有信息，输入完成定单必需的一些信息并且剩余部分来自这些其它源，或者通过外部程序启动将自动产生完整定单的过程而不必访问定单处理系统的图形用户界面。在图6中表示的实施例中，完成定单必需的信息从数据服务系统120取得。数据服务系统120查询配置资源，例如数据供应商A和B，这可能是客户的供应商或零售商。数据服务系统120也可以从客户本身收集信息。一旦所有必要的信息被检索并且输入到适当模板中，就产生定单文档140，其被发送到光掩模供应商150。

自动方式的任何任务的执行可以包括基于任何规则组的任何系统失效或过程生效的警报通知。通知可通过终端用户而配置的，并且可以处于电子邮件、报文传送、日志文件或数据库条目的形式。在一个实施例中，通知特征自动地产生发送到在光掩模的订购时将涉及的人们的姓名的分配清单的消息。这个分配清单可由任何预定标准建立。一旦产生消息，可以把已经产生用于光掩模的定单自动地通知给在分配清单上的每个人。这样的通知可以包括电子邮件、寻呼机、移动电话、等等。这种自动通知过程可建立在客户的网络或甚至制造商的网络中的任何地方，并且可由客户希望的任何步骤触发。这个例子不应该看作是对于本发明的限制，并且仅说明可与本发明混合的通知系统的类型。

在新或修改光掩模定单的准备的通知时，如果没有错误存在，则本发明可自动地把定单转送到光掩模制造商，或者可以等待来自客户系统用户的授权。如果识别到错误，则客户然后可以人工地编辑定单以修改这样的错误，并且以通常方式继续处理定单。

在另一个实施例中，可以产生不完整光掩模定单，该不完整光掩模定单包括某一格式的设计信息，该设计信息可传送到光掩模制造商的处理系统，以允许光掩模制造商确认设计的有效性、可行性及/或需要性。例如，客户可以传送包括分解指令的部分光掩模定单，该分解指令然后可传输到光掩模制造商，以对提出设计的有效性、可行性及/或需要性进行分析。这可如上述那样自动地进行，或人工地进行。如果自动地进行，则在接收到关于提出部分光掩模定单的信息时，系统可产生把分解指令提交给光掩模供应商以便进一步分析和估计所必需的信息。在信息提交时，光掩模制造商然后也可以提出从制造商的观点或其它出发可能更可行或希望的替换设计。光掩模制造商的分析结果然后可以传输到客户计算机系统，以便由客户进一步考虑是按定单继续还是修改提出的定单。

优选地，模板、定单、部分、及子部分、等等的每一个存储在数据库中，但也可以存储在其它位置中。可以提供搜索引擎，在该搜索引擎上，用户可搜索在数据库或其它位置中存储的具体模板、定单、部分、或子部分、等等。使用搜索引擎，用户可定位以具体定单格式产生光掩模所需要的适当模板、部分、或子部分、等等。一旦这样的模板、部分、子部分、等等被定位，就由用户(典型地，希望放置用于光掩模的定单的客户)输入与光掩模定单有关的数据。为了完成或促进数据输入或修改它们的内容的目的，用户也可使用搜索引擎定位现有光掩模定单，如下面描述的那样。

如以上提到的那样，客户可能不具有具体光掩模定单格式的要求的足够知识，并因而，不能输入由这样的标准所要求的所有必要信息以完成定单。另外，客户易于产生数据输入错误，并因而可能提供不准确信息。因而，在系统上建立和存储第一和第二组规则，以保证客户把完整和准确数据输入到模板和定单中，如由具体标准和/或专有光掩模定单格式要求的那样。

在优选实施例中，建立第一组规则以保证用户为输出完整光掩模定单而输入所有必要数据，如由具体标准和/或专有光掩模定单格式规定的那样。优选地，基于选定光掩模定单格式的要求建立第一组规则。在这方面，第一组规则指示数据“必须”输入、“可”输入及/或“不能”输入到模板或定单的每个部分和子部分中，如由规定光掩模定单格式指示的那样。另外，第一组规则应该配置成，它们要求用户把信息输入到所要求的任何其它部分中(如以具体标准和/或专有光掩模定单格式叙述的那样)以完成光掩模定单。

因而，例如，参照表1，具体标准定单格式对于“图案”模板可能要求，对于所有EAPSM定单：必须提供放置数据和关键尺寸数据；可以提供模具对模具的检查数据；及不能提供模具对数据。因而，规则被建立，并且与适当模板(和部分和子部分)有关，该适当模板要求：(1)用户“必须”包括放置数据和关键尺寸数据；(2)用户“可”包括模具对模具检查数据；及(3)用户“不能”包括模具对数据检查数据。因而，在这个例子中，当用户使用本发明的系统和方法寻求创建用于EAPSM的定单时，规则将：(1)要求用户输入放置数据和关键尺寸数据；(2)允许(但不要求)用户输入模具对模具检查数据；及(3)使用户不能输入模具对数据检查。另外，选择的定单格式可能要求，除图案数据之外，阵列登记数据也必须输入以完成光掩模定单。因而，第一组规则也配置成，一旦用户已经完成输入所有图案数据，用户就将被引导到“阵列登记”模板，并且也被提示以把所有要求的数据输入到该模板(和与该模板的子部分相对应的任何其它模板)中。类似地，如果标准和/或专有光掩模定单格式要求数据输入到任何其它模板中以完成光掩模定单，则在用户已经把所有数据输入到阵列登记模板中之后，第一组规则将指导用户到这样的其它模板，并且提示用户把所有要求的数据输入到这样的模板中。一旦用户已经把数据输入在所有要求的模板中，则就将允许用户最后完成模板(根据下面所讨论的第二组规则经受输入数据)。

因而，如应该是显然的那样，本发明的第一组规则保证，用户如由具体标准和/或专有格式要求的那样，把必要信息输入到适当模板中，以产生光掩模定单。以另一种方式表达，所述规则在输入光掩模定单数据的过程中指导用户，以保证所有必要定单信息输入到模板中。

另外，所述系统和方法也提供第二组规则，该组规则保证用户以准确和适当格式输入数据，如由具体标准和/或专有光掩模定单格式规定的那样。如以上提到的那样，模板的每个部分和子部分由属性集(例如，二进制、串、整数、实数、日期、Boolean、清单、等等)定义。因而，在优选实施例中，第二组规则为每个模板和定单而建立，该每个模板和定单向用户指示输入到具体模板或定单中的数据是否“必须”、“可能”及/或“不能”具有具体属性，如由具体标准和/或专有光掩模定单格式要求的那样。

例如，参照表1，具体标准和/或专有光掩模定单格式可能要求：(1)输入到放置模板中的数据“必须”是整数；(2)输入到标题模板中的数据“能够”是串；及(3)输入到关键尺寸模板中的数据“不能”是串。因而，对于放置模板建立规则，该规则：(1)要求用户在放置模板中输入整数；(2)允许用户把串输入到标题模板中；及(3)防止用户把串输入到关键尺寸模板中。因而，显然易见，本发明的规则保证，用户如由具体标准和/或专有光掩模定单格式要求的那样，把适当的信息类型和数据类型输入到每个模板中，以产生光掩模定单。换句话说，第二组规则只允许用户把一定类型的数据输入到模板中，并因而减少在放置光掩模定单的过程中具有设计错误和/或数据输入错误的可能性。

在优选实施例中，这里描述的第一和第二组规则被分离地创建和存储。如以上提到的那样，规则可以以任何不同数量的动态格式(例如，作为数据库、面向对象类别、XML文件、等等)存储在系统内部或系统外部，从而系统依据喜好或用户和/或自动系统，可以适于在任何数量的平台上运行。然而，应该注意，可创建和存储单个一组规则，条件是，这样的单组规则保证用户既完成光掩模定单信息(如参照第一组规则描述的那样)，又完成准确的光掩模定单信息(如参照第二组规则描述的那样)。而且，第一和第二组规则可以以类似方式组合成单个一组规则。

如以上提到的那样，本发明包括把特定第一和第二组规则与特定模板相关联的功能，以保证以完整和准确方式产生光掩模定单。在优选实施例中，这种功能以基于软件的应用程序的形式提供，该应用程序安装在希望发出用于光掩模的定单的实体(如半导体制造商)的计算机上。不像现有技术，这种软件不依赖于给定光掩模制造商的制造过程。相反，本发明的软件可用作独立的安全的应用程序、网络分布的应用程序、或基于web的“细-客户机(thin-client)”应用程序。优选地，软件被应用在客户机-服务器系统中，其中图形用户界面(例如，客户机)连接到在服务器上的数据库上并且从其检索数据。在所有情况下，运行本发明的软件的客户不需要访问和/或登录光掩模制造商的任何外部局域网而放置定单。

现在描述本发明的软件把特定规则与特定模板相关联的方式。具体地说，由于模板是分层的数据收集，所以模板的每个元素由有关软件对象解释。在优选实施例中，规则嵌在软件对象内，并且可负责在模板中输入的数据的组装。这些规则是约束条件或指令，如算法，并且典型地与软件对象的一个或多个属性相关。因而，借助于这种布置，当规则和模板适当地彼此相关联时，有可能输入完整和准确的光掩模定单。

另外，系统优选地配置成，如果有需要，则允许分离地更新规则和模板。在这方面，当前标准光掩模定单格式称作SEMI P-10标准格式。然而，预期随着产生技术进步，可能开发新的标准格式，以覆盖这些进步，并因而替换当前SEMI P-10标准格式。另外，当前有由海外光掩模制造商使用的多种其它国际标准定单格式。就SEMI P-10格式而论，期望这些国际格式将相对于时间而变化或替换。因而，本发明的系统提供更新规则和模板以满足这些变化的能力。更具体地说，第一和第二组规则优选地存储为与每一个模板相分离的文件，所述每一个模板同样也存储为分离文件。通过保持所述规则和模板分离，对于其中一个的任何修改将对其它没有影响。在这方面，当规则或模板被修改时，不需要对于对应元素的相关代码变化，其中都不由近似特征修改所指示。另外，通过分离地存储规则和模板，可以避免系统失灵(例如，其中对于嵌入或内部嵌套元素的意外变化可能引起意外失效)发生的可能性。在这方面，如果规则和模板不分离地存储，则独立修改是不可能的。现有模板的每一个(可能有几千个，如果不是更多)不得不个别地修改，以包括新规则。因而，显而易见，本发明的系统和方法不限于任何一种具体标准格式，而是可容易地适应以符合任何当前或新开发标准光掩模定单格式的要求。类似地，客户可以改变其专有定单格式，以满足与新开发或改进技术有关的任何变化。

为了修改规则，建立软件对象，从而其中包含的规则可能影响包含在其内的它们的属性、它们的子级或其它规则的一个或多个。在这方面，建立规则，从而只有一些规定属性受规则影响。因而，由于软件对象，像模板，本质上是分层的，所以它们既知道它们的父级又知道它们的子级。因而，在修改子级对象的任何时候，通知其受变化影响的区域、规则、或属性的父级。结果，在规则的层级内任何地方进行的任何变化传播通过整个家族。因而，规则具有进行父级的任何子级元素的添加、或除去的能力。因而，在应用程序内，每个对象通过软件的后续发布是个别可更新的或可升级的。另外，对象父级保持对于每种类型的子级元素的标准收集，在正在建造模板的同时，可添加或除去该子级元素。

响应于标准和/或专有光掩模定单格式(其要求新属性和/或子部分添加到定单和模板的层级)的修改，也可修改模板。在这样的情况下，对于受影响部分和/或子部分定义新关系，并且把新规则动态地添加到现有规则方案。

为了表明本发明的这些特征，现在描述如下例子。当前SEMIP-10标准要求光掩模定单尤其包括：掩模定单[]、掩模集[]、掩模定义[]、及图案定义[]。因而，根据这种要求，建立如下模板：半定单模板、半掩模集模板、半掩模模板及半图案模板。另外，建立用于这些模板的每一个的第一和第二组规则，这些规则指示是否数据必须输入到模板的每一个中和可输入到这样的模板中的数据类型。然而，在以后时刻，SEMI P-10标准可以由要求CD部分的新标准替换。因而，现有模板(例如，半图案)可修改成包括例如关键尺寸(CD)部分，以符合SEMI P10标准的计量学方面的修改。另外，新模板可创建，以符合新SEMI标准的任何新添加方面(例如，登记)。类似地，已经存在的第一和第二组规则可适应于满足与当前SEMI P10标准的修改CD部分方面有关的变化。另外，可创建第一和第二组规则的新组，以符合新SEMI标准的新登记特征。

技术要求等级也可以用作容易地更新在大量模板、定单、部分、子部分、等等中包括的特定数据条目的机制。具体地说，在本发明的一个实施例中，技术要求等级文件可以包括对于在多个定单、模板、部分、子部分、等等中的未来更新认为所希望的特定数据或对象。各种定单、模板、部分、子部分、等等然后包括对于技术要求等级文件的参考以用于其中的特定数据，而不是存储特定数据。以这种方式，这些被参考的特定数据或对象可在大量定单、模板、部分、子部分、等等中通过仅更新技术要求等级文件而更新，而不是更新参考这些特定数据或对象的所有定单、模板、部分、子部分、等等。

例如，技术要求等级可以包括标准关键尺寸(CD)行宽度，该标准关键尺寸行宽度认为在给定时间对于具体光掩模客户可接受。随着光掩模技术继续发展，可接受CD行宽度将可能经受变化。代之以必须个别地更新规定具体CD的每个定单、模板、部分、子部分、等等，技术要求等级的使用允许人们仅更新一个技术要求等级文件，并且然后参考该技术要求等级文件的所有文件都将自动地更新。在光掩模定单的上下文中提供为技术要求等级的适当变量的其它例子包括：与掩模属性有关的测量公差，该测量公差需要由光掩模制造商满足，以保证掩模满足客户技术要求；与掩模属性有关的可接受缺陷率，该缺陷率要求由光掩模制造商满足，以保证掩模满足客户技术要求；与光掩模的制造有关的材料(基片、薄膜)，该材料必须满足由客户支付和期望的质量水平；会计信息，包括定价和记账/装运信息；客户服务信息，如联系姓名和电话号码、满足在光掩模生产中需要的内部或客户要求所要求的机器类别或特定机器；石版印刷术图案放置信息，包括但不限于数据色调、束曝光、X/Y放置信息；数据传输信息，包括但不限于电子邮件地址、FTP地址、协议、登录ID和口令、目录结构；及与在光掩模制造中使用的原料有关的零售商特定信息，包括但不限于基片、薄膜、接触物、抗蚀剂、及在制造中使用独特设备，如“Applied Materials Alta 3500”或“KLA Starlight”、等等。

如以上讨论的那样，模板或定单包括一个或多个有关对象，如部分、子部分、数据等等。例如，光掩模可以具有一个或多个有关属性对象，如登记、标题、条码、等等。在使用技术要求等级的本发明的实施例中，可以提供实用程序(utility)，以允许端用户创建一个或多个独特数据或对象，该数据或对象可以与模板或定单相关联。这些对象将与有关定单和模板分离地存储。此外，这些分离存储的对象可以具有它们自己的规则组。当创建模板或定单时，可以允许端用户把模板或定单与在实用程序中定义的某些或所有对象相关联。在模板、定单、或由存储模板创建定单的产生时，在实用程序中存储的、已经与模板、定单、或用来创建定单的模板有关的所有对象信息可以当作参考数据，并且施加到模板、定单、或用来创建定单的模板上。基于赋予在应用程序的安全性模块中的端用户的“角色和职责”，可以更新或除去参考对象信息。例如，较少经验的端用户可能禁止改写在实用中存储的参考数据。另一方面，可能允许有经验用户修改参考数据。

本发明的另一个方面是，它通过如下提供产生新光掩模定单的能力：(1)根据其中包含数据的已经存在的模板，把数据合并到新定单中；(2)根据其中包含数据的已经存在的定单，把数据合并到新定单中；(3)根据已经存在的模板和定单，把数据合并到新定单中；或(4)根据已经存在的定单、模板、部分及/或子部分，把数据合并到新定单中。在这方面，每当用户把数据输入到模板中或创建定单时，这样的模板和/或定单被保存在本发明的系统上。而且，如以前讨论的那样，部分和子部分在本发明的系统上与定单或模板分离地存储。此后，用户能够访问已经存在的模板、定单、部分及/或子部分，并且使用保存在其中的数据以产生新定单。通过向本发明的系统的用户提供由已经存在的定单、模板、部分及/或子部分合并数据的能力，大大地减少用来输入光掩模定单数据的过程，由此减少产生光掩模定单占用的整个时间。下面描述用来把数据合并成定单的四种方法的每一种。

在一个实施例中，为了根据存在的模板创建新定单，提示用户创建新的、空白定单。其次，向用户提供选择由以前光掩模定单创建或保存的模板和/或定单的选项。依据将由新定单制造的光掩模的类型，用户选择和加载在关系数据库中存储的最相关模板。选定的模板向用户显示以前输入的数据。对于在模板内的每个非零对象(例如，对象包括数据)，用户可以或者把以前输入数据选择进新定单，或者用新数据改写这种数据。另外，就在模板内的具体对象是零(例如，它已经是空的)而论，用户可以把适当数据输入在该对象内。其次，为这个定单建立的规则如上述那样操作，以保证准确和完整地输入数据。此后，软件处理这种信息，并且基于这种信息产生新定单。

用来根据已经存在的定单创建新定单的过程与由已经存在的模板创建新定单的过程类似。在这个实施例中，为了根据存在的定单创建新定单，提示用户创建新的、空白定单。其次，向用户提供选择由以前光掩模定单创建或保存的模板和/或定单的选项。依据待由新定单制造的光掩模的类型，用户选择和加载在关系数据库中存储的相关定单。选定的定单向用户显示以前输入的数据。对于在定单内的每个非零对象，用户可以或者把以前输入数据选择进新定单，或者用新数据改写这种数据。另外，就在定单内的具体对象是零而论，用户可以把适当数据输入在该对象内。其次，为这个定单建立的规则如上述那样操作，以保证准确和完整地输入数据。此后，所述软件处理这种信息，并且基于这种信息产生新定单。

在又一个实施例中，为了根据存在的模板和定单创建新定单，提示用户创建新的、空白定单。其次，向用户提供选择由以前光掩模定单创建或保存的模板和/或定单的选项。依据将由新定单制造的光掩模的类型，用户选择和加载在关系数据库中存储的相关模板。选定的模板向用户显示以前输入的数据。对于在模板内的每个非零对象，用户可以或者把以前输入数据选择进新定单，或者用新数据改写这种数据。另外，就在模板内的具体对象是零而论，用户可以把适当数据输入在该对象内。其次，为这个定单建立的规则如上述那样操作，以保证准确和完整地输入数据。另外，以前保存的定单也可以合并成同一定单。在这方面，用户可选择和加载在关系数据库中存储的以前放置的定单。选定的定单向用户显示以前输入的数据。对于在定单内的每个非零对象(例如，对象包括数据)，用户可以或者把以前输入数据选择进新定单，或者用新数据改写这种数据。另外，就在定单内的具体对象已经是空的而论，用户可以把适当数据输入在该对象内。其次，为这个定单建立的规则如上述那样操作，以保证准确和完整地输入数据。一旦所有适当模板和定单已经合并到新定单中，所述软件就处理这种信息，并且基于这种信息产生新定单。

而且，以前定单或模板的存在部分和/或子部分可以输入到新光掩模定单或模板中。例如，与记账和/或装运地址有关的存在部分和/或子部分可以应用于定单或模板。另外，在应用程序内定义的一个或多个独特技术要求等级可以合并到新定单或模板中。

因为已经详细地表示和描述了本发明的优选实施例，所以对其的各种修改和改进对于本领域的技术人员将成为显而易见的。因而，本发明的精神和范围要广义地理解，并且仅由附属权利要求书而不是由以前说明书限制。

Claims (109)

1.一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统，包括：

至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；

至少一组规则，与所述至少一个模板或定单相对应，其中所述规则组包括保证用户按照规定定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中的指令；

图形用户界面，与所述至少一个模板或定单有关，其中用户可访问所述至少一个模板或定单，以输入光掩模定单数据并以规定格式创建定单；及

数据处理装置，用来把电子信息从外部介质输入到所述至少一个模板或定单中。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述数据处理装置包括指令，该指令把在所述电子信息中包含的数据映像成可用于所述系统用来产生光掩模定单的格式。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述外部介质位于远程计算机系统上。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述外部介质与所述图形用户界面位于同一计算机系统上。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述电子信息包括关于如下一个或多个的信息：

物流供应商、设备供应商、零件供应商、光掩模制造商、及运输服务。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统还包括：

定制模块，用来接收命令行以指令所述系统访问来自所述外部介质的所述电子信息。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统还包括：

消息发生器，用来提醒所述系统的用户注意正被产生的定单的状态。

8.根据权利要求7所述的系统，其中，消息由所述消息发生器以如下一种或多种的形式产生：

电子邮件、在通信网络上待传送的文本消息、及日志文件。

9.一种用来以规定格式产生光掩模定单的系统，包括：

至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；

至少一组规则，与所述至少一个模板或定单相对应，其中所述规则组包括保证用户按照规定定单格式所要求的把完整信息输入到所述模板或定单中的指令；及

数据处理装置，用来访问电子信息的一个或多个外部源，其中所述电子信息的一个或多个源通过数据服务系统访问。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述数据服务系统包括如下的一种或多种，并且使用户能够同时访问该一种或多种：

因特网站、数据库、内网、及其它内部或外部资源。

11.根据权利要求9所述的系统，其中所述数据处理装置包括指令，该指令把在所述电子信息中包含的数据映像成可用于所述系统用来产生光掩模定单的格式。

12.根据权利要求9所述的系统，其中电子信息的所述一个或多个外部源位于远程计算机系统上。

13.根据权利要求9所述的系统，其中所述至少一个模板或定单通过图形用户界面创建，并且电子信息的所述一个或多个外部源与所述图形用户界面位于同一计算机系统上。

14.根据权利要求9所述的系统，其中所述电子信息包括关于如下一个或多个的信息：

物流供应商、设备供应商、零件供应商、光掩模制造商、及运输服务。

15.根据权利要求9所述的系统，还包括：

定制模块，用来接收命令行以指令所述系统访问电子信息的所述一个或多个源。

16.根据权利要求9所述的系统，还包括：消息发生器，用来提醒所述系统的用户注意正在被产生的定单的状态。

17.根据权利要求16所述的系统，其中，消息由所述消息发生器以如下一种或多种的形式产生：

电子邮件、在通信网络上待传送的文本消息、及日志文件。

18.一种用来以规定格式产生光掩模定单的方法，包括：

产生至少一个定单用于光掩模定单数据的存储，其中所述至少一个定单通过把数据输入到由至少一组规则支配的一个或多个模板中而创建；和

由数据处理装置访问来自外部数据库的电子信息，以把所述电子信息并入所述模板中。

19.根据权利要求17所述的方法，其中所述数据处理装置包括指令，该指令把在所述电子信息中包含的数据映像成可用于所述系统用来产生光掩模定单的格式。

20.根据权利要求17所述的方法，其中所述外部数据库位于远程计算机系统上。

21.根据权利要求17所述的方法，其中所述外部数据库与所述图形用户界面位于同一计算机系统上。

22.根据权利要求17所述的方法，其中所述电子信息包括关于如下一个或多个的信息：

物流供应商、设备供应商、零件供应商、光掩模制造商、及运输服务。

23.根据权利要求17所述的方法，还包括：接收命令行，以访问来自所述外部数据库的所述电子信息。

24.根据权利要求17所述的方法，还包括：产生用来提醒用户注意正在被产生的定单的状态的消息。

25.根据权利要求17所述的方法，其中，消息处于如下一种或多种的形式：

电子邮件、在通信网络上待传送的文本消息、或日志文件。

26.一种用来以规定格式产生光掩模定单的方法，包括：

产生至少一个定单用于光掩模定单数据的存储，其中所述至少一个定单通过把数据输入到由至少一组规则支配的至少一个模板中而创建；

访问来自数据服务的电子信息；及

把所述电子信息并入所述定单中。

27.根据权利要求26所述的方法，其中访问步骤包括同时访问如下的一种或多种：

因特网站、数据库、内网、及其它内部或外部资源。

28.根据权利要求26所述的方法，其中，并入步骤包括把在所述电子信息中包含的数据映像成可用来产生光掩模定单的格式。

29.根据权利要求26所述的方法，其中所述电子信息位于远程计算机系统上。

30.根据权利要求26所述的方法，其中所述至少一个定单通过图形用户界面创建，并且所述电子信息与所述图形用户界面位于同一计算机系统上。

31.根据权利要求26所述的方法，其中所述电子信息包括关于如下一个或多个的信息：

物流供应商、设备供应商、零件供应商、光掩模制造商、及运输服务。

32.根据权利要求26所述的方法，还包括：接收命令行，以访问来自所述数据服务的所述电子信息。

33.根据权利要求26所述的方法，还包括：产生提醒用户注意正在产生的定单的状态的消息。

34.根据权利要求33所述的方法，其中所述消息处于如下一种或多种的形式：

电子邮件、在通信网络上待传送的文本消息、及日志文件。

35.一种包含指令的处理器可读存储介质，该指令在处理器上是可执行的以完成如下步骤：

产生至少一个定单用于光掩模定单数据的存储，其中所述至少一个定单通过把数据输入到由至少一组规则支配的至少一个模板中而创建；

访问来自数据服务的电子信息；及

把所述电子信息并入所述定单中。

36.根据权利要求35所述的处理器可读存储介质，其中访问步骤包括同时访问如下的一种或多种：

因特网站、数据库、内网、及其它内部或外部资源。

37.根据权利要求35所述的处理器可读存储介质，其中并入步骤包括把在所述电子信息中包含的数据映像成可用来产生光掩模定单的格式。

38.根据权利要求35所述的处理器可读介质，其中所述电子信息位于远程计算机系统上。

39.根据权利要求35所述的处理器可读介质，其中所述数据通过图形用户界面输入到所述至少一个模板中，并且所述电子信息与所述图形用户界面位于同一计算机系统上。

40.根据权利要求35所述的处理器可读介质，其中所述电子信息包括关于如下一个或多个的信息：

物流供应商、设备供应商、零件供应商、光掩模制造商、及运输服务。

41.根据权利要求35所述的处理器可读介质，其中所述方法还包括：接收命令行，以访问来自所述数据服务的所述电子信息。

42.根据权利要求35所述的处理器可读介质，其中所述方法还包括：产生提醒用户注意正在产生的定单的状态的消息。

43.根据权利要求42所述的处理器可读介质，其中所述消息处于如下一种或多种的形式：

电子邮件、在通信网络上待传送的文本消息、及日志文件。

44.一种用来产生光掩模定单的系统，包括：

至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；

规则发生器，用来创建与所述至少一个模板或定单相对应的至少一组规则，其中所述至少一组规则保证用户按照所述规定光掩模定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中；及

命令行处理器，用来接收和执行一个或多条脚本命令，以输入或修改在所述至少一个模板或定单中的所述光掩模定单数据。

45.根据权利要求44所述的系统，其中所述系统还包括：数据处理装置，用来把来自外部介质的电子信息导入到所述至少一个模板或定单中。

46.根据权利要求45所述的系统，其中所述数据处理装置包括指令，该指令把在所述电子信息中包含的数据映像成可用于所述系统用来产生光掩模定单的格式。

47.根据权利要求45所述的系统，其中所述外部介质位于远程计算机系统上。

48.根据权利要求45所述的系统，其中所述外部介质与所述命令行处理器位于同一计算机系统上。

49.根据权利要求45所述的系统，其中所述电子信息包括从包括如下的组中选择的信息：

物流供应商、设备供应商、零件供应商、光掩模制造商、及运输服务。

50.根据权利要求44所述的系统，其中所述系统还包括：

消息发生器，用来提醒所述系统的用户注意正在产生的定单的状态。

51.根据权利要求50所述的系统，其中所述消息发生器以从包括如下的组选择的形式产生消息：

电子邮件、在通信网络上待传送的文本消息、及日志文件。

52.根据权利要求44所述的系统，其中所述命令行处理器还能够创建一个或多个新定单。

53.根据权利要求44所述的系统，其中所述命令行处理器还能够根据所述至少一个模板或定单创建一个或多个定单。

54.根据权利要求44所述的系统，其中所述命令行处理器还能够把部分或子部分添加到所述至少一个模板或定单上。

55.根据权利要求44所述的系统，其中所述命令行处理器还能够根据所述至少一个模板或定单创建SEMI P-10文件。

56.根据权利要求44所述的系统，其中所述命令行处理器还能够同时对多个定单和模板进行批编辑。

57.根据权利要求44所述的系统，其中所述一个或多条脚本命令包括对于在系统库中存储的一个或多个函数的调用。

58.一种用来产生光掩模定单的系统，包括：

至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建，并且其中所述至少一个模板或定单与一个或多个部分和子部分有关，该部分和子部分可与所述至少一个模板或定单相分离地存储；和

规则发生器，用来创建与所述至少一个模板或定单相对应的至少一组规则，其中所述至少一组规则保证用户按照所述规定光掩模定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中。

59.根据权利要求58所述的系统，还包括：命令行处理器，用来接收和执行一条或多条脚本命令，以输入或修改在所述至少一个模板或定单中的所述光掩模定单数据。

60.根据权利要求59所述的系统，其中所述命令行处理器还能够创建一个或多个新定单。

61.根据权利要求59所述的系统，其中所述命令行处理器还能够根据所述至少一个模板或定单创建一个或多个定单。

62.根据权利要求59所述的系统，其中所述命令行处理器还能够把新部分或子部分添加到所述至少一个模板或定单上。

63.根据权利要求59所述的系统，其中所述命令行处理器还能够根据所述至少一个模板或定单创建SEMI P-10文件。

64.根据权利要求59所述的系统，其中所述命令行处理器还能够同时对多个定单和模板进行批编辑。

65.根据权利要求59所述的系统，其中所述一个或多条脚本命令包括对于在系统库中存储的一个或多个函数的调用。

66.一种用来产生光掩模定单的系统，包括：

至少一个模板或定单，用于光掩模定单数据的输入和存储，其中所述至少一个模板或定单基于规定光掩模定单格式的要求而创建；

规则发生器，用来创建与至少一个模板或定单相对应的至少一组规则，其中所述至少一组规则保证用户按照所述规定光掩模定单格式所要求的把完整信息输入到所述至少一个模板或定单中；及

至少一个技术要求等级文件，用来存储与所述至少一个模板或定单有关的至少一个参考数据，其中所述至少一个模板或定单包括对至少一个技术要求等级文件的参考。

67.根据权利要求66所述的系统，其中所述至少一个模板或定单与一个或多个部分和子部分有关，该部分和子部分可与所述至少一个模板或定单相分离地存储。

68.根据权利要求66所述的系统，还包括：命令行处理器，用来接收和执行一条或多条脚本命令，以输入或修改在所述至少一个模板或定单中的所述光掩模定单数据。

69.根据权利要求68所述的系统，其中所述命令行处理器还能够创建一个或多个新定单。

70.根据权利要求68所述的系统，其中所述命令行处理器还能够根据所述至少一个模板或定单创建一个或多个定单。

71.根据权利要求68所述的系统，其中所述命令行处理器还能够把新部分或子部分添加到所述至少一个模板或定单上。

72.根据权利要求68所述的系统，其中所述命令行处理器还能够由所述至少一个模板或定单创建SEMI P-10文件。

73.根据权利要求68所述的系统，其中所述命令行处理器还能够同时对多个定单和模板进行批编辑。

74.根据权利要求68所述的系统，其中所述一个或多条脚本命令包括对于在系统库中存储的一个或多个函数的调用。

75.根据权利要求67所述的系统，其中所述至少一个参考数据包括所述一个或多个部分和子部分中的至少一个。

76.一种用来产生光掩模定单的方法，包括步骤：

输入与所述光掩模定单有关的电子信息；

把所述电子信息转换成光掩模定单数据，以创建至少一个模板或定单；及

基于所述至少一个模板或定单产生所述光掩模定单。

77.根据权利要求76所述的系统，其中所述电子信息包括在SEMIP-10文件中的部分定单。

78.根据权利要求76所述的系统，其中所述电子信息包括在SEMIP-10文件中的完整定单。

79.根据权利要求76所述的系统，其中所述电子信息包括标准或专有格式的部分模板或定单。

80.根据权利要求76所述的系统，其中所述电子信息包括标准或专有格式的完整模板或定单。

81.一种用来产生光掩模定单的方法，包括步骤：

接收至少一条脚本命令；

执行所述至少一条脚本命令，以创建或修改至少一个模板或定单；及

基于所述至少一个定单或模板产生所述光掩模定单。

82.根据权利要求81所述的方法，还包括步骤：执行所述至少一条脚本命令，以创建一个或多个新定单。

83.根据权利要求81所述的方法，还包括步骤：执行所述至少一条脚本命令，以由所述至少一个模板或定单创建一个或多个定单。

84.根据权利要求81所述的方法，还包括步骤：执行所述至少一条脚本命令，以把新部分或子部分添加到所述至少一个模板或定单上。

85.根据权利要求81所述的方法，还包括步骤：执行所述至少一条脚本命令，以由所述至少一个模板或定单创建SEMI P-10文件。

86.根据权利要求81所述的方法，还包括步骤：执行所述至少一条脚本命令，以同时对多个定单和模板进行批编辑。

87.根据权利要求81所述的方法，其中所述至少一条脚本命令包括对于在系统库中存储的一个或多个函数的调用。

88.根据权利要求81所述的方法，还包括步骤：导入与所述光掩模定单有关的电子信息；以及把所述电子信息转换成光掩模定单数据，以创建所述至少一个模板或定单。

89.根据权利要求88所述的方法，其中所述电子信息包括在SEMIP-10文件中的部分定单。

90.根据权利要求88所述的方法，其中所述电子信息包括在SEMIP-10文件中的完整定单。

91.根据权利要求88所述的方法，其中所述电子信息包括标准或专有格式的部分模板或定单。

92.根据权利要求88所述的方法，其中所述电子信息包括标准或专有格式的完整模板或定单。

93.一种用来产生光掩模定单的系统，包括包含指令的计算机可读介质，该指令可在处理器上执行以进行步骤：

导入与光掩模定单有关的电子信息；

把所述电子信息转换成光掩模定单数据，以创建至少一个模板或定单；及

基于所述至少一个模板或定单产生所述光掩模定单。

94.根据权利要求93所述的系统，其中所述电子信息包括在SEMIP-10文件中的部分定单。

95.根据权利要求93所述的系统，其中所述电子信息包括在SEMIP-10文件中的完整定单。

96.根据权利要求93所述的系统，其中所述电子信息包括标准或专有格式的部分模板或定单。

97.根据权利要求93所述的系统，其中所述电子信息包括标准或专有格式的完整模板或定单。

98.一种用来产生光掩模定单的系统，包括包含指令的计算机可读介质，该指令可在处理器上执行以完成步骤：

接收至少一条脚本命令；

执行所述至少一条脚本命令，以创建或修改至少一个模板或定单；及

基于所述至少一个定单或模板产生所述光掩模定单。

99.根据权利要求98所述的系统，其中所述计算机可读介质还包含进行如下步骤的指令：执行所述至少一条脚本命令，以创建一个或多个新定单。

100.根据权利要求98所述的系统，其中所述计算机可读介质还包含进行如下步骤的指令：执行所述至少一条脚本命令，以由所述至少一个模板或定单创建一个或多个定单。

101.根据权利要求98所述的系统，其中所述计算机可读介质还包含进行如下步骤的指令：执行所述至少一条脚本命令，以把新部分或子部分添加到所述至少一个模板或定单上。

102.根据权利要求98所述的系统，其中所述计算机可读介质还包含进行如下步骤的指令：执行所述至少一条脚本命令，以由所述至少一个模板或定单创建SEMI P-10文件。

103.根据权利要求98所述的系统，其中所述计算机可读介质还包含进行如下步骤的指令：执行所述至少一条脚本命令，以同时对多个定单和模板进行批编辑。

104.根据权利要求98所述的系统，其中所述至少一条脚本命令包括对于在系统库中存储的一个或多个函数的调用。

105.根据权利要求98所述的系统，其中所述计算机可读介质还包含进行如下步骤的指令：

导入与所述光掩模定单有关的电子信息；和

把所述电子信息转换成光掩模定单数据，以创建所述至少一个模板或定单。

106.根据权利要求105所述的系统，其中所述电子信息包括在SEMI P-10文件中的部分定单。

107.根据权利要求105所述的系统，其中所述电子信息包括在SEMI P-10文件中的完整定单。

108.根据权利要求105所述的系统，其中所述电子信息包括标准或专有格式的部分模板或定单。

109.根据权利要求105所述的系统，其中所述电子信息包括标准或专有格式的完整模板或定单。

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