EA008878B1

EA008878B1 - Основанные на правиле система и способ автоматического генерирования заказов на фотомаску

Info

Publication number: EA008878B1
Application number: EA200500694A
Authority: EA
Inventors: Чарльз И. Кроук; Эдвард Дж. Саттайл; Дэниел Дж. Кахалейн; Ник Ридгуэй
Original assignee: Фотроникс, Инк.
Priority date: 2002-07-30
Filing date: 2005-05-20
Publication date: 2007-08-31
Also published as: EA200500694A1

Abstract

Система, предназначенная для генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, включает по меньшей мере один шаблон или заказ для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску. Система включает по меньшей мере один набор правил, соответствующих по меньшей мере одному шаблону или заказу, в которой набор правил включает инструкции, которые гарантируют ввод пользователем полной информации по меньшей мере в один шаблон или заказ в соответствии с требованиями определенного формата заказа. Шаблоны или заказ могут дополнительно состоять из компонентов и/или подкомпонентов, которые могут быть сохранены отдельно. Файлы данных в заказах, шаблонах, компонентах, подкомпонентах и т.д. могут представлять собой ссылку на разделы спецификации, которые, в свою очередь, можно легко модифицировать для обновления одного или больше заказов, шаблонов, компонентов, подкомпонентов и т.д. одновременно. Графический интерфейс пользователя может быть ассоциирован по меньшей мере с одним шаблоном или заказом, в котором пользователь может осуществлять доступ по меньшей мере к одному шаблону или заказу для ввода данных заказа на фотомаску и создания заказа в определенном формате. По меньшей мере в одном варианте выполнения по меньшей мере один шаблон или заказ обновляют путем ссылки на разделы спецификации. В качестве альтернативы можно использовать генератор командной строки, что позволяет пользователю вводить команды для генерирования и/или модификации шаблонов и заказов. В одном варианте выполнения ранее существовавшие

Description

Настоящее изобретение, в общем, относится к основанным на правиле системе и способу автоматического генерирования заказов на фотомаску в заданном формате. Более конкретно, настоящее изобретение относится к удобным для пользователя основанным на правиле системе и способу автоматического генерирования заказов на фотомаску. Более конкретно, настоящее изобретение относится к прикладной программе, которая автоматически генерирует заказы на фотомаску в указанном формате путем использования шаблонов и правил, которые полным и точным образом направляют пользователя через процесс генерирования заказа на фотомаску. Правила и шаблоны устанавливают на основе требований конкретного стандарта (например, 8ΕΜΙ Р10) или в соответствии с частным форматом заказа на фотомаску и организованы и сохранены таким образом, что их можно адаптировать для соответствия критериям как модифицированных, так и новых форматов заказа на фотомаску, известных в настоящее время, или которые будут разработаны в будущем. Кроме того, система и способ в соответствии с настоящим изобретением обеспечивают возможность генерирования новых заказов на фотомаску с использованием существующих данных заказа на фотомаску, которые пользователь может легко редактировать.

Уровень техники

Фотомаски представляют собой высокоточные пластины, содержащие микроскопические изображения электронных цепей. Фотомаски обычно изготавливают из кусочков кварца или стекла с высокой точностью плоскости со слоем хрома с одной стороны. В слое хрома вытравливают участок схемы электронной цепи. Такая схема цепи на маске также называется конфигурацией.

Типичную фотомаску, используемую при производстве полупроводниковых устройств, формируют из заготовки или непроявленной фотомаски. Как показано на фиг. 1, типичная заготовка фотомаски 10 состоит из трех или четырех слоев. Первый слой 11 представляет собой слой кварца или другого, по существу, прозрачного материала, обычно называемый подложкой. Следующий слой обычно представляет собой слой непрозрачного материала 12, такого, как хром (Сг), который часто включает третий слой антирефлективного материала 13, такого, как окись хрома (СгО). Антирефлективный слой может быть или может не быть включен в любую заданную фотомаску. Верхний слой обычно представляет собой слой светочувствительного резистивного материала 14. Также известны и используются другие типы фотомасок, включая, без ограничений, маски со сдвигом фазы, встроенные утонченные маски со сдвигом фазы (ΕΑΡ8Μ) и маски со сдвигом фазы с чередующейся апертурой (ААР8М).

Способ изготовления фотомаски включает много этапов и может занимать значительное время. При этом изготовитель фотомаски использует требуемую структуру непрозрачных материалов 12, создаваемых на фотомаске 10, обычно определенную в файле электронным данных, загруженном в систему экспонирования, которая обычно выполняет сканирование заготовки фотомаски электронным лучом (Э-лучом) или лазерным лучом в виде растра или в виде векторного изображения. Описание одного такого примера системы экспонирования с растровым сканированием приведено в американском патенте № 3900737 автора СоШет. Каждая уникальная система экспонирования содержит свое собственное программное средство и формат обрабатываемых данных, с помощью которых она управляет оборудованием при экспонировании заготовки фотомаски. По мере того как Э-луч или лазерный луч сканирует заготовку фотомаски 10, система экспонирования направляет Э-луч или лазерный луч в адресуемые местоположения на фотомаске, которые определены файлом электронным данных. Области светочувствительного резистивного материала, экспонированные Э-лучом или лазерным лучом, становятся растворимыми, в то время как неэкспонированные участи остаются нерастворимыми. Для определения мест, в которых Э-луч или лазерный луч должен экспонировать фоторезистивный материал 14 на заготовке фотомаски 10 и где нет, в оборудование обработки должны быть переданы соответствующие инструкции в форме рабочего стола.

После того как система экспонирования просканирует требуемое изображение на светочувствительный резистивный материал 14, как показано на фиг. 2, растворимый светочувствительный резистивный материал удаляют с помощью средств, хорошо известных в данной области техники, и неэкспонированный, нерастворимый светочувствительный резистивный материал 14' остается закрепленным на непрозрачном материале 13 и 12. Таким образом, структура, формируемая на фотомаске 10, образуется в виде оставшегося светочувствительного резистивного материала 14'.

Структуру затем переносят с оставшегося фоторезистивного материала 14' на фотомаску 10 с использованием известных процессов вытравливания, для удаления антирефлективного материала 13 и непрозрачных материалов 12 в областях, не покрытых оставшимся фоторезистивным материалом 14'. Существует широкое разнообразие способов вытравливания, известных в данной области техники, включая сухое вытравливание, а также влажное вытравливание, при этом используют самое разное оборудование для выполнения такого вытравливания. После окончания вытравливания остающийся фоторезистивный материал 14' снимают или удаляют, и после этого получают готовую для использования фотомаску, такую как показана на фиг. 3. В законченной фотомаске структура, которая первоначально была сформирована оставшимся антирефлексивным материалом 13' и непрозрачным материалом 12', располагается в областях, где оставшийся фоторезист 14' остался после удаления растворимых материалов на предыдущих этапах.

- 1 008878

Для определения каких-либо неприемлемых дефектов в конкретной фотомаске необходимо провести ее исследование. Дефект представляет собой любой недостаток, влияющий на конфигурацию. Это включает нежелательные области хрома (пятна хрома, продолжение хрома, перемычки хрома между элементами конфигурации) или нежелательные прозрачные области (булавочные проколы, продолжающиеся прозрачные участки, прозрачные разрывы). Из-за дефекта схема заказчика может не функционировать. Заказчик может обозначить в своей спецификации дефектов размер дефектов, который влияет на обработку. Все дефекты с таким размером и больше должны быть исправлены, или, если они не могут быть исправлены, маска должна быть отбракована и перезаписана.

Обычно для поиска дефектов используют автоматизированные системы проверки маски, такие, как изготовляет компания КЬЛ-Теисог или компания Лррйей Ма1епа1з. Такие автоматизированные системы направляют луч света на фотомаску и определяют интенсивность участка света, прошедшего через фотомаску и отражающегося обратно от нее. Детектируемую интенсивность света затем сравнивают с ожидаемой интенсивностью света, и любое отклонение отмечают как дефект. Подробное описание этой системы можно найти в американском патенте № 5563702, переданном компании КТЛ-Теисот.

После инспекции законченную фотомаску очищают от загрязнителей. Затем на законченную фотомаску может быть нанесена пленка для защиты ее критической области структуры от загрязнений, находящихся в воздухе. После этого может быть проведена инспекция через пленку. В некоторых случаях фотомаска может быть обрезана до или после нанесения пленки.

Для выполнения каждого из описанных выше этапов производства изготовитель полупроводниковых приборов (например, заказчик) должен вначале представить различные типы данных, относящиеся к фотомаске, предназначенной для производства. При этом заказчик обычно представляет заказ на фотомаску, который содержит различные типы информации и данных, требующихся для изготовления и обработки фотомаски, включая, например, данные, относящиеся к конструкции фотомаски, используемым материалам, датам поставки, информации о счетах и другой информации, требуемой для обработки заказа и изготовления фотомаски.

Давно возникшая проблема, с которой сталкиваются при производстве фотомасок, состоит в продолжительном времени, требуемом для изготовления фотомаски, с момента получения заказа на фотомаску от заказчика. При этом общее время, требуемое для обработки заказа на фотомаску и для изготовления фотомаски, может быть длительным, и таким образом, невозможно обеспечить максимальную общую производительность при изготовлении фотомасок. Частично эта проблема связана с тем, что многие заказчики, которые заказывают фотомаски, часто размещают свои заказы с использованием множества различных форматов, часто не совместимых с компьютерной системой изготовителя фотомасок и/или его производственным оборудованием. В соответствии с этим изготовитель фотомасок часто должен переформатировать данные и условия заказа, преобразовать и/или дополнить его до другого формата, который совместим с его компьютерной системой и/или производственным оборудованием, что может занять существенное время и, таким образом, увеличить время на изготовление фотомаски.

При попытке решения этих проблем в промышленности изготовления фотомасок разработали различные стандартные форматы заказа на фотомаску, с использованием которых должны быть оформлены заказы на фотомаску. Например, стандарт 8ΕΜΙ Р-10 представляет собой один стандартный формат, используемый при производстве фотомасок. Кроме того, некоторые производители полупроводниковых приборов разработали свой собственный частный формат заказа на фотомаску, в котором должны быть оформлены заказы на фотомаску, вместо использования стандартного формата. Эти стандартный и частный форматы заказа на фотомаску были созданы для обеспечения однородности формата заказов на фотомаску, поступающих от заказчиков, что, таким образом, уменьшает общее время, требуемое для производства фотомаски.

Хотя использование таких стандартного и/или частного форматов заказа на фотомаску полезно для сокращения времени, требуемого для изготовления фотомасок, многие производители полупроводников неохотно размещают свои заказы на фотомаску в таком стандартном и/или частном форматах по множеству причин. Например, стандартный формат 8ΕΜΙ Р-10 заказа является достаточно сложным и требует, чтобы заказчик, размещающий заказ, имел глубокие практические знания требований, установленных этим стандартом. Поскольку многие производители полупроводников не занимаются производством фотомасок, они обладать ресурсами, временем или возможностью изучать сложные моменты такого стандартного формата. Таким образом, изготовители полупроводников часто подают производителю фотомаски данные заказа на фотомаску в неорганизованной и часто неполной форме. В результате изготовитель фотомаски должен анализировать эти данные и организовывать их в требуемый формат (например, в формат 8ΕΜΙ Р-10). Кроме того, в тех случаях, когда производителю фотомаски представляют неполные данные заказа на фотомаску, производитель должен запрашивать недостающую информацию от заказчика. В результате значительное время часто теряется впустую в процессе оформления полного и точного заказа на фотомаску, и, таким образом, общее время, требуемое для изготовления фотомаски, может быть существенно увеличено. В течение значительного времени в области изготовления фотомасок ощущалась потребность в разработке системы и способа, используемых на стороне заказчика, предназначенных для автоматического генерирования полного и точного заказа на фотомаску в стандартном и/или частном формате.

- 2 008878

В прошлом компания ЛйдпКйе Согрогайоп (организация - предшественник компании Рйо1гошс8. 1пс.), предприняла попытки быстрой доставки электронных данных путем использования системы доставки. основанной на Интернет. Однако. хотя система ЛНдиКйе могла обеспечить быструю доставку данных фотомаски от заказчика в компьютерную систему изготовителя фотомаски и обеспечила возможность проверки точности этих данных в режиме реального времени. такая система известного уровня техники не обеспечивает автоматизированное генерирование данных заказа на фотомаску в простом стандартном и/или частном формате. При этом после получения данных от заказчика стандартные модификации данных также следовало вводить вручную с помощью операторов. Каждый раз. когда требовалось вводить изменение вручную. повышался риск возникновения ошибки человека. и могла увеличиться общая продолжительность работы.

Другие авторы раскрыли системы. в которых данные изготовления и начисления счетов загружали через Интернет и проверяли автоматически в режиме онлайн. Одна такая система описана в публикации РСТ 02/03141. опубликованной 10 января 2002 г. компанией ИиРоп! РНоЮптк. 1пс. Более конкретно. в публикации ИиРоп! раскрыта система. в которой данные заказа на фотомаску заказчик вводит в режиме онлайн и передает изготовителю фотомаски для обработки. В этой системе заказчику предоставляется инструкция на ввод данных заказа на фотомаску. Такие данные передают производителю фотомаски. который. в свою очередь. выполняет диагностическую оценку данных. Если какие-либо данные являются неполными или неточными. система передает сообщение заказчику с уведомлением его о такой ошибке. После этого пользователь должен исправить ошибку. После проверки данных изготовителем (и исправления в случае необходимости) изготовитель обрабатывает эти данные и приводит их к стандартному (или частному) формату. такому. как стандартный формат 8ΕΜΙ Р-10.

Хотя система. описанная в публикации РСТ компании ИиРоп!. оказалась полезной для диагностики. она не исключает ввод ошибок в заказ на фотомаску. При этом такая система может только идентифицировать ошибки в заказе на фотомаску после ввода заказа заказчиком и передачей его изготовителю фотомаски. После приема заказа изготовитель фотомаски проверяет информацию заказа и если обнаруживает ошибку. передает сообщение об ошибке заказчику и указание на исправление такой ошибки. Кроме того. такая система не переводит введенные данные заказа на фотомаску в стандартный формат до тех пор. пока он не будет проверен и получен изготовителем фотомаски. Другими словами. изготовитель должен сам переводить данные. введенные заказчиком. в стандартный формат. В результате впустую теряется значительное время на исправление ошибок ввода данных заказчиком и преобразование данных в стандартный формат. Таким образом. в течение длительного времени существует потребность в системе и способе. которые позволили бы генерировать заказы на фотомаску в стандартном и/или частном формате заказа. и которые исключали бы ошибки во время ввода данных и перед передачей заказа изготовителю фотомаски.

Кроме того. система. в соответствии с публикацией РСТ компании ИиРоп!. является очень объемной и предоставляет пользователю очень малую гибкость при формулировании заказа на фотомаску или при использовании информации. введенной ранее в предыдущих заказах. Кроме того. система в соответствии с публикацией РСТ компании ИиРоп!. также требует интерактивного взаимодействия с пользователем с использованием заданного графического интерфейса пользователя (СИГ'). который является особенно громоздким и ограничивающим пользователя. Таким образом. в течение длительного времени ощущалась потребность в системе и способе. которые позволили бы обеспечить генерирование заказов на фотомаску. которые были бы простыми и гибкими и исключали бы необходимость повторного ввода данных. использованных ранее в предыдущих заказах на фотомаску.

После окончания описанных выше этапов изготовления законченную фотомаску отправляют заказчику для использования при производстве полупроводников и других продуктов. В частности. фотомаски обычно используют в промышленности полупроводников. для передачи в микромасштабе изображения. образующего полупроводниковую цепь. на кремниевую подложку или подложку из арсенида галлия.

Процесс переноса изображения с фотомаски на кремниевую подложку обычно называется литографией или микролитографией. Обычно. как показано на фиг. 4. процесс производства полупроводников содержит этапы осаждения. фотолитографии и вытравливания. Во время осаждения слой электроизолирующего или электропроводного материала (такой как металл. поликремний или оксид) наносят на поверхность кремниевой подложки. Этот материал затем покрывают светочувствительным резистивным материалом. Фотомаску затем используют так же. как фотографический негатив используют для получения фотографии. Фотолитография включает проецирование изображения с фотомаски на подложку. Если изображение с фотомаски проецировать на подложку несколько раз рядом друг с другом. получим процесс. известный как шаговый процесс. и такую фотомаску называют сеткой.

Как показано на фиг. 5. для создания изображения 21 на полупроводниковой подложке 20 фотомаску 10 располагают между полупроводниковой подложкой 20. которая включает слой светочувствительного материала. и оптической системой 22. Энергия. генерируемая источником 23 энергии. который обычно называют степпером. проходит через области 10 фотомаски. где присутствует непрозрачный материал. Энергия степпера 23 проходит через прозрачные участи кварцевой подложки 11. не покрытые непрозрачным материалом 12 и антирефлективным материалом 13. Оптическая система 22 проецирует

- 3 008878 масштабированное изображение 24 структуры непрозрачного материала 12 и 13 на полупроводниковую подложку 20 и приводит к реакции светочувствительного материала на полупроводниковой подложке. В областях, экспонированных энергией, изменяется растворимость светочувствительного материала. В случае использования позитивного фотолитографского процесса экспонированный светочувствительный материал становится растворимым и его можно удалить. В случае негативного фотолитографского процесса экспонированный светочувствительный материал становится нерастворимым и неэкспонированный растворимый светочувствительный материал удаляют.

После удаления растворимого светочувствительного материала изображение или структуру, сформированную в нерастворимом светочувствительном материале, переносят на подложку с помощью процесса, известного в области техники, который, в общем, называют вытравливанием. После вытравливания структуры в материале подложки оставшийся резистивный материал удаляют, в результате чего получают законченный продукт, затем на подложку наносят новый слой материала и резистивного материала, и на нее проецируют изображение следующей фотомаски. И снова подложку проявляют и вытравливают. Этот процесс повторяют до окончания построения схемы. Поскольку в типичном полупроводниковом устройстве может быть нанесено множество слоев, для изготовления даже одного полупроводникового устройства может потребоваться множество различных фотомасок. На практике, если более чем один элемент оборудования используют для изготовления полупроводникового устройства, возможно, потребуется более чем одна фотомаска, даже для каждого слоя. Кроме того, поскольку в различных производственных линиях также можно использовать различные типы оборудования для экспонирования фоторезистивного материала, даже для множества идентичных структур фотомаски может потребоваться внесение дополнительных вариаций в размере, ориентировании, масштабировании и других атрибутов для учета различий оборудования, используемого для производства полупроводников. Аналогичные регулировки также могут потребоваться для учета различий в литографическом оборудовании производителя фотомаски. Эти различия требуется учитывать в процессе изготовления фотомаски.

Хотя известный уровень техники представляет собой интерес, известные способы и устройство накладывают ряд ограничений, которые должны быть преодолены с помощью настоящего изобретения.

В частности, настоящее изобретение направлено на создание основанных на правиле системы и способа автоматического генерирования заказа на фотомаску в одном или нескольких стандартном и/или частном форматах, в котором правила могут быть адаптированы или изменены так, что они будут удовлетворять любым различным стандартным и/или частным форматам, известным в настоящее время, или будут разработаны в будущем.

Кроме того, настоящее изобретение направлено на создание основанных на правиле системы и способа автоматического генерирования заказа на фотомаску в одном или нескольких стандартном и/или частном форматах, в которых система и способ требует, чтобы пользователь следовал набору правил, ассоциированных со стандартным и/или частным форматом на заказ фотомаски.

Кроме того, настоящее изобретение направлено на создание основанных на правиле системы и способа автоматического генерирования заказа на фотомаску в одном или нескольких стандартном и/или частном форматах, в которых заказ генерируют путем слияния существующего заказа (заказов) на фотомаску и/или шаблонов, содержащих данные фотомаски, в единый новый заказ.

Другой целью настоящего изобретения является создание основанных на правиле системы и способа заказа на фотомаску, предназначенных для уменьшения времени ввода заказа и данных фотомаски.

Настоящее изобретение также направлено на создание основанных на правиле системы и способа заказов на фотомаску, предназначенных для уменьшения ошибок транскрипции, связанных с вводом вручную заказов на фотомаску.

Кроме того, настоящее изобретение направлено на создание основанных на правиле системы и способа заказа на фотомаску, предназначенных для повышения общей производительности при изготовлении фотомасок.

Настоящее изобретение также направлено на создание основанных на правиле системы и способа, предназначенных для автоматического генерирования заказа на фотомаску, которые являются удобными для пользователя и исключают необходимость повторного ввода данных, введенных ранее, в том же или в другом заказе.

Другой целью настоящего изобретения является создание основанных на правиле системы и способа, предназначенных для автоматического генерирования заказа на фотомаску, которые не требуют взаимодействия с пользователем с использованием заданного графического интерфейса пользователя.

Настоящее изобретение также направлено на создание основанных на правиле системы и способа заказа на фотомаску, предназначенных для уменьшения времени ввода заказа и данных фотомаски.

Другой целью настоящего изобретения является создание основанных на правиле системы и способа заказа на фотомаску, предназначенных для уменьшения ошибок транскрипции, связанных с вводом вручную заказа на фотомаску.

Еще одной целью настоящего изобретения является создание основанных на правиле системы и способа заказа на фотомаску, предназначенных для увеличения общей производительности при изготовлении фотомаски.

- 4 008878

Настоящее изобретение также направлено на решение недостатков известного уровня техники.

Другие цели будут очевидны из нижеследующего описания.

Сущность изобретения

Система генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, в соответствии с примером варианта выполнения изобретения, включает в себя по меньшей мере один шаблон или заказ, предназначенные для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску, по меньшей мере один набор правил, соответствующих по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором набор правил включает в себя инструкции, обеспечивают ввод пользователем полной информации по меньшей мере в один шаблон или заказ, в соответствии с требованиями определенного формата заказа, графический интерфейс пользователя, ассоциированный по меньшей мере с одним шаблоном или заказом, в котором пользователь может осуществлять доступ по меньшей мере к одному шаблону или заказу для ввода данных заказа на фотомаску и для создания заказа в определенном формате, и механизм обработки данных, предназначенный для импортирования электронной информации с внешнего носителя информации по меньшей мере в один шаблон или заказ.

Система генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, в соответствии с другим примером варианта выполнения изобретения, содержит по меньшей мере один шаблон или заказ, предназначенные для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску, по меньшей мере один набор правил, соответствующих по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором набор правил включает в себя инструкции, которые обеспечивают ввод пользователем полной информации в шаблон или заказ, в соответствии с требованиями определенного формата заказа, и механизм обработки данных, предназначенный для доступа к одному или нескольким внешним источникам электронной информации, в которой доступ к одному или больше источникам электронной информации осуществляют через систему обслуживания данных.

Способ генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, в соответствии с примером варианта выполнения изобретения, включает в себя генерирование по меньшей мере одного заказа для сохранения данных заказа на фотомаску, в котором этот по меньшей мере один заказ создают путем ввода данных в один или несколько шаблонов, управляемых по меньшей мере одним набором правил;

осуществление доступа к электронной информации из внешней базы данных с помощью механизма обработки данных для внедрения электронной информации в один или больше шаблонов;

Способ генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, в соответствии с другим примером варианта выполнения изобретения, включает в себя генерирование по меньшей мере одного заказа для сохранения данных заказа на фотомаску, в котором этот по меньшей мере один заказ создают путем ввода данных по меньшей мере в один шаблон, управляемый по меньшей мере одним набором правил;

осуществление доступа к электронной информации из службы данных и внедрение электронной информации в заказ.

Носитель информации, считываемый процессором, в соответствии с примером варианта выполнения изобретения, содержит код, считываемый процессором, предназначенный для программирования процессора, для выполнения способа, включающего этапы генерирования по меньшей мере одного заказа для сохранения данных заказа на фотомаску, в котором этот по меньшей мере один заказ создают путем ввода данных по меньшей мере в один шаблон, управляемый по меньшей мере одним набором правил, осуществления доступа к электронной информации из службы данных и внедрения электронной информации в заказ.

Система, предназначенная для генерирования заказов на фотомаски, в определенном формате, в соответствии с другим примером варианта выполнения изобретения, включает в себя по меньшей мере один шаблон или заказ для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску по меньшей мере одного набора правил, соответствующих по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором пользователь может выполнять доступ по меньшей мере к одному шаблону или заказу, для ввода данных заказа на фотомаску и создания заказа в определенном формате. Данные заказа на фотомаску могут быть введены на основе указаний, передаваемых с помощью графического интерфейса пользователя, или путем использования команд сценариев или других эквивалентных способов. Частичные или полные заказы на фотомаску также могут быть импортированы электронным способом, например путем сканирования и/или преобразования из других форматов файлов. После ввода заказа на фотомаску он может быть дополнительно модифицирован или подан без дополнительной модификации. При вводе заказа на фотомаску информация, связанная с этим заказом, может быть передана электронным способом производителю фотомаски.

- 5 008878

Система генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, в соответствии с другим примером варианта выполнения изобретения, включает в себя по меньшей мере один шаблон или заказ, предназначенные для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в котором по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску по меньшей мере одного набора правил, соответствующих по меньшей мере этому одному шаблону или заказу, в котором шаблон или заказ состоит из компонентов и подкомпонентов, и подкомпоненты могут быть сохранены отдельно от шаблона или заказа. В одном варианте выполнения компоненты и подкомпоненты могут содержать ссылки на разделы спецификации. Таким образом, значительное количество шаблонов и/или заказов можно просто обновлять путем обновления раздела спецификации. Разделы спецификации могут включать допуски к измерениям, приемлемую частоту дефектов, материалы, информацию по начислению счетов, информацию услуги заказчика, оборудование заказчика, размещение литографической структуры, информацию о передаче данных и информацию, определенную производителем, помимо прочих.

Способ генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, в соответствии с другим примером варианта выполнения изобретения, содержит импортирование электронной информации, ассоциированной с заказом на фотомаску;

преобразование указанной электронной информации в данные заказа на фотомаску, которые используют для заполнения, по меньшей мере, некоторых полей, связанных с шаблоном или заказом;

генерирование указанного заказа на фотомаску с использованием указанного шаблона или заказа.

В еще одном варианте выполнения способ генерирования заказа на фотомаску в определенном формате содержит прием по меньшей мере одной команды генератором коммерческой линии, связанным с заказом или шаблоном;

применение указанной по меньшей мере одной команды к указанному заказу или шаблону; генерирование указанного заказа на фотомаску из указанного заказа или шаблона.

Система генерирования заказа на фотомаску в определенном формате, в соответствии с другим вариантом выполнения настоящего изобретения, содержит считываемый компьютером носитель информации, позволяющий выполнять следующие этапы:

импортирование электронной информации, связанной с заказом на фотомаску;

генерирование указанного заказа на фотомаску с использованием указанного заказа на шаблон.

прием по меньшей мере одной команды генератором коммерческой линии, связанным с заказом или шаблоном;

Система генерирования заказов на фотомаску содержит по меньшей мере один шаблон или заказ для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску;

генератор правила, предназначенный для создания по меньшей мере одного набора правил, соответствующих по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором по меньшей мере один набор правил гарантирует ввод пользователем полной информации по меньшей мере в один шаблон или заказ в соответствии с требованиями указанного формата заказа на фотомаску;

процессор командной строки, предназначенный для приема и выполнения одной или больше команд этапа сценария для ввода или модификации данных заказа на фотомаску по меньшей мере в одном шаблоне или заказе.

Система генерирования заказов на фотомаску содержит по меньшей мере один шаблон или заказ для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой по меньшей мере один из шаблонов или заказа создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску и в которой по меньшей мере один шаблон или заказ связан с одним или больше компонентами и подкомпонентами, которые могут быть сохранены отдельно по меньшей мере от одного шаблона или заказа;

генератор правила, предназначенный для создания по меньшей мере одного набора правил, соответствующих по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором по меньшей мере один набор правил гарантирует ввод пользователем полной информации по меньшей мере в один шаблон или заказ в соответствии с требованиями определенного формата заказа на фотомаску.

- 6 008878

Система генерирования заказов на фотомаску содержит по меньшей мере один шаблон или заказ для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований указанного формата заказа на фотомаску;

генератор правила, предназначенный для создания по меньшей мере одного набора правил, соответствующих по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором по меньшей мере один набор правил гарантирует ввод пользователем полной информации по меньшей мере в один шаблон или заказ в соответствии с требованиями определенного формата заказа;

по меньшей мере один файл раздела спецификации, предназначенный для сохранения по меньшей мере одних эталонных данных, которые связаны по меньшей мере с одним шаблоном или заказом, в которой по меньшей мере один шаблон или заказ содержит ссылку по меньшей мере на один файл разделов спецификации.

Способ генерирования заказа на фотомаску содержит этапы импортирования электронной информации, связанной с заказом на фотомаску;

преобразование электронной информации в данные заказа на фотомаску для создания по меньшей мере одного шаблона или заказа;

генерирование заказа на фотомаску на основе по меньшей мере одного шаблона или заказа.

Способ генерирования заказа на фотомаску содержит этапы приема по меньшей мере одной команды сценария;

выполнение по меньшей мере одной команды сценария для создания или модификации по меньшей мере одного шаблона или заказа;

генерирование заказа на фотомаску на основе по меньшей мере одного заказа или шаблона.

Система генерирования заказа на фотомаску содержит считываемый компьютером носитель информации, который позволяет выполнять этапы импортирования электронной информации, связанной с заказом на фотомаску;

генерирование указанного заказа на фотомаску на основе по меньшей мере одного шаблона или заказа.

Система генерирования заказа на фотомаску содержит носитель записи, считываемый компьютером, позволяющий выполнять этапы приема по меньшей мере одной команды сценария;

Краткое описание чертежей

Описанные выше и аналогичные цели, свойства и преимущества настоящего изобретения будут более полно понятны при ссылке на следующее подробное описание предпочтительного, хотя и иллюстративного, варианта выполнения настоящего изобретения, совместно с прилагаемыми чертежами, на которых:

на фиг. 1 представлена заготовка или не проявленная фотомаска в соответствии с известным уровнем техники;

на фиг. 2 представлена фотомаска по фиг. 1 после того, как она была частично обработана;

на фиг. 3 представлена фотомаска по фиг. 1 и 2 после полной обработки;

на фиг. 4 показана схема последовательности выполнения операций, представляющая собой способ использования обработанной фотомаски для изготовления или обработки полупроводниковой подложки;

на фиг. 5 показан процесс изготовления полупроводника с использованием степпера подложки;

на фиг. 6 показана система генерирования заказа на фотомаску в соответствии с примером варианта выполнения изобретения;

на фиг. 7 показан пример графического интерфейса пользователя, используемого в настоящем изобретении для указания пользователя на ввод конкретных данных.

Подробное описание изобретения

Настоящее изобретение относится к компьютеризированным основанным на правиле системе и способу, предназначенным для автоматического генерирования заказов на фотомаску в указанном формате, с помощью которых заказчика фотомаски, желающего разместить заказ на фотомаску, можно направлять через процесс ввода заказа полным и точным образом в соответствии с требованиями определенного формата заказа. Для выполнения этих функций в системе и способе используют комбинацию одного или больше следующих пяти компонентов, предназначенных для генерирования заказа на фотомаску в требуемом формате:

(1) шаблоны, в которых вводят данные;

(2) правила для преобразования данных, введенных в шаблоны, в определенный стандартный и/или частный формат;

(3) способ использования шаблонов для создания заказа на фотомаску в определенном формате;

- 7 008878 (4) отдельный набор правил для проверки соответствия заказа на фотомаску определенному стандартному формату;

(5) разделы спецификации, представляющие собой один или более уникальных объектов атрибута, связанных с шаблоном или заказом на фотомаску, ссылка на которые делается из шаблона или заказа.

Программное обеспечение выполнено в этой системе для сопоставления определенных шаблонов с конкретными правилами для обеспечения ввода пользователем полной и точной информации заказа на фотомаску. Аналогично, программное обеспечение выполнено в системе в соответствии с настоящим изобретением для сопоставления конкретных заказов на фотомаску с определенными правилами, для гарантирования ввода пользователем полной и точной информации заказа на фотомаску. Разделы спецификации можно рассматривать как эталонные данные и можно накладывать на шаблон, заказ или шаблон, используемый для заказа. В результате того, что шаблоны и заказы включают в себя разделы спецификации в качестве эталонных данных, можно легко обновлять большое количество шаблонов и/или заказов путем простой проверки только небольшого количества разделов спецификации.

Перед описанием этого программного средства вначале требуется описать способ, с помощью которого шаблоны, заказы и правила записаны и организованы. Более конкретно, система включает сервер и внешний накопитель данных, хранящихся в сервере. Правила и шаблоны, обеспечивающие ввод данных заказа на фотомаску и предназначенные для генерирования заказа, записаны на внешнем носителе информации. Внешний носитель информации может представлять собой один из множества различных типов носителей информации, включая, без ограничений, реляционную базу данных, объектноориентированный класс, файл ХМЬ (расширяемый язык разметки гипертекста) и другой аналогичный носитель информации, известный в настоящее время, или который будет разработан в будущем. Благодаря использованию внешних по отношению к системе носителей информации и обеспечению гибкости в отношении типа носителя информации, который можно использовать в системе и в способе в соответствии с настоящим изобретением, множество различных пользователей и автоматизированных систем могут динамично работать в системе с использованием различных платформ.

В предпочтительном варианте выполнения набор шаблонов и заказов создают на основе требований определенного стандартного и/или частного формата заказа на фотомаску. При этом шаблоны и заказы организованы в виде иерархии компонентов и подкомпонентов, в которой каждый компонент и подкомпонент определены в соответствии с требованиями конкретного стандартного и/или частного формата заказа на фотомаску. Например, в определенном формате заказа на фотомаску может потребоваться, чтобы компонент данных маски включал определенные подкомпоненты, такие, как названия, штрих-код и данные структуры, помимо прочих. Каждый из этих подкомпонентов может иметь дополнительные подробные подкомпоненты (дочерний компонент). Например, компонент данных структуры, который представляет собой подкомпонент в отношении компонента данных маски, может иметь набор дочерних компонентов, связанных с ними. В зависимости от требований стандартного и/или частного формата заказа на фотомаску такие дочерние компоненты также могут иметь дополнительные подкомпоненты, которые могут, в свою очередь, иметь свои собственные подкомпоненты и т. п.

Каждый из компонентов и связанных с ним подкомпонентов определен с использованием набора атрибутов (например, двоичный, строка, целое число, вещественное число, дата, булева переменная, список и т.д.). Поскольку шаблоны используют для создания заказов на фотомаски, правила (более подробно описаны ниже), ассоциированные с любым данным шаблоном, представляют собой поднабор правил, связанных с созданным из шаблона заказом на фотомаску. В соответствии с настоящим изобретением шаблоны, заказы, компоненты, подкомпоненты и т.д. могут быть сохранены по отдельности. Это позволяет пользователю оставлять некоторые компоненты или подкомпоненты вне шаблона и ссылаться на эти отдельно сохраненные компоненты или подкомпоненты с помощью шаблона, как на разделы спецификации. В случае, когда новый заказ, созданный из данного шаблона, требует изменений этих компонентов или подкомпонентов, требуется только изменить отдельно сохраненные разделы спецификации без необходимости изменения шаблона.

- 8 008878

В таблице представлен пример того, как компоненты и подкомпоненты шаблонов и заказов могут быть организованы в соответствии со стандартным и/или частным форматом заказа на фотомаску.

Заказ
	Переданные данные о структуре
	Группа структуры
		Расположение структуры
	Данные маски
		Заголовок
		Штрих-код
		Определение ОРС
		Регистрация массива
		Регистрация файла измерения
		Трафарет для проверки данных
		Трафарет для проверки трафарета
		Определение поверхности
		Визуальная проверка
		Структура
			Критический размер
			Трафарет для проверки трафарета
			Трафарет для проверки данных
		Поле
			Структура
				Критический размер
				Трафарет для проверки трафарета
				Трафарет для проверки данных

В таблице элемент в первой (самой левой) колонке представляет собой родительский элемент для элемента во второй колонке (дочерняя), и элемент во второй колонке представляет собой родительский элемент для элемента в третьей колонке и так далее. В качестве альтернативы, только две соседние колонки в таблице могут определять компоненты (левая колонка) и подкомпоненты (правая колонка). Как показано в табл. 1, одни и те же компоненты могут выступать в роли подкомпонентов для других компонентов. Например, данные Критический размер представляют собой подкомпонент для родительских данных в колонке 4 и в колонке 5 таблицы. Поскольку каждый компонент и связанные с ним подкомпоненты могут быть сохранены отдельно друг от друга и от заказа или шаблона, любой из них также можно копировать из одного участка заказа в другой участок того же заказа или другого заказа, шаблона, компонента, подкомпонента и т.д. Такая гибкость копирования и внедрения компонентов и подкомпонентов позволяет пользователю быстро создавать любые заказы на фотомаску без необходимости повторного ввода той же информации заказа.

Шаблоны и заказы можно создавать вручную, используя графический интерфейс пользователя. Шаблоны и заказы также могут быть созданы автоматически или их можно модифицировать с использованием информации из другого, внешнего носителя информации, включая, без ограничений, неформатированные текстовые файлы, файлы ХМЬ (расширяемый язык разметки) или некоторые типы устройств или механизмов накопления информации. Например, компьютер заказчика может включать такие файлы, базы данных или другую электронную информацию, которая может быть полезна при создании нового шаблона или заказа, или предоставлении отсутствующей информации для существующего шаблона или заказа. Механизм обработки данных можно использовать для импорта необходимой информации из этого внешнего накопителя информации в новые или существующие шаблоны или заказы. Например, программное средство для перевода или отображения можно использовать для преобразования файлов или баз данных заказчика в формат, который требуется для прикладной программы. Коммерчески доступный пример такого программного приложения представляет собой инструмент визуального дизайна Эа1а Κιηοΐίοη. предназначенный для быстрого интегрирования и преобразования данных между сотнями приложений и структурированными форматами данных. Однако для выполнения этой задачи можно использовать любое соответствующее коммерческое или частное программное средство перевода или отображения информации. Внешняя информация может быть импортирована в шаблоны или заказы локально в системе обработки заказов, или через существующее сетевое соединение, такое, как глобальная компьютерная сеть, или локальная вычислительная сеть, или Интернет и т.д. Они также могут быть приняты с использованием других известных технологий, таких, как протокол РТР (протокол передачи файлов), электронная почта, 1Шр (протокол передачи гипертекста), частные протоколы или любые другие

- 9 008878 известные протоколы, которые могут быть доступны для передачи информации. Когда используют СИ1, пользователю может быть представлено с помощью СИ1 указание на ввод специально перечисленных данных. На фиг. 7 показан типичный ΟϋΙ, который можно использовать в системе генерирования заказа на фотомаску. В этом примере ΟϋΙ, показанный на фиг. 7, представляет пользователю указание на ввод описательной информации, относящейся к заказываемой маске. В этом примере вводят информацию, включающую название маски, статус, тип продукта и т.д. В некоторых случаях, например в случае названия маски, информацию непосредственно впечатывают. В других случаях, информацию можно выбирать из раскрывающегося меню, например, как в случае типа категории продукта.

Шаблоны и заказы также могут быть созданы или модифицированы автоматически с использованием информации из других, внешних носителей, включая, без ограничений, неформатированные текстовые файлы, файлы ХМЬ, или некоторые типы устройств или механизмов накопителей информации. Например, компьютер заказчика может включать такие файлы, базы данных или другую электронную информацию, которые могли бы быть полезными при создании нового шаблона или заказа, или для предоставления отсутствующей информации в существующий шаблон или заказ. Аналогично, шаблон на заказ, компонент, подкомпонент и т.д. можно импортировать электронным путем, например, с помощью сканера или другой технологии преобразования файла, например, ранее существовавший заказ, шаблон, компонент или подкомпонент можно преобразовать и переформатировать для использования в системе генерирования заказа на фотомаску. Например, программное средство для перевода или отображения можно использовать для преобразования файлов или баз данных заказчика в формат, который может потребоваться для приложения. Коммерчески доступный пример такого программного средства представляет собой инструмент визуального дизайна Эа1а Шпсйоп, предназначенный для быстрого интегрирования и преобразования данных между сотнями форматов прикладных программ и структурированных данных. Однако любое соответствующее коммерческое доступное или частное программное обеспечение для перевода или отображения информации можно использовать для выполнения этой задачи. Внешняя информация может быть импортирована в шаблоны или заказы как локально через систему обработки заказов, так через существующее сетевое соединение, такое, как глобальная вычислительная сеть или Интернет и т.д. с использованием множества технологий передачи данных, таких, как протокол РТР, электронная почта, ΙιΙΙρ, частные протоколы или любые другие известные протоколы.

Все операции, выполняемые человеком через графический интерфейс пользователя, также могут быть выполнены, по меньшей мере, частично, автоматически, без необходимости непосредственного вмешательства человека. В соответствии с настоящим изобретением это обеспечивается с помощью техники сценария, основанной на наборе инструкций в форме открытого текста или командной строки. Набор инструкций в форме открытого текста представляет собой язык программирования высокого уровня, который может быть интерпретирован в программный интерфейс приложения, для передачи в приложение инструкции на выполнение последовательности операций. Например, командная строка, в которой указано Заменить название устройства Устройство А на название устройства Устройство В, пользователь может передать в систему через сеть заказчика или автоматически, как подробно описано здесь. Когда система принимает такую командную строку, она заменяет название устройства в определенном шаблоне или заказе на новое название устройства. Конечно, это всего лишь один пример того, как можно использовать набор инструкций, и он не предназначен для ограничения объема настоящего изобретения. Специализированные модули могут быть созданы для использования в системе заказчика для доступа к этой инструкции с использованием любого языка программирования, который позволяет создавать файл А8СП или двоичный файл и выполнять команды операционной системы. Автоматическое выполнение позволяет обеспечить авторизованным пользователям доступ к любой авторизованной системе через существующее сетевое соединение. Типичные свойства безопасности, такие, как брандмауэры, регистрация, пароли и т. д. можно использовать для защиты конфиденциальности и безопасности данных в базе данных и в системе заказа на маску.

Таким образом, заказы, шаблоны, компоненты, подкомпоненты и т. д. могут быть сгенерированы и/или модифицированы с использованием технологии сценариев через командную строку или любой другой среды разработчика. Предпочтительно технология сценариев включает программу командной строки, в которой в качестве аргумента используется вводимое пользователем название сценария, которое содержит множество команд, предназначенных для определенной манипуляции с заказами, шаблонами, компонентами и/или подкомпонентами и т. д. Предпочтительно некоторые или все функции редактирования, которые доступны для пользователя через графический интерфейс пользователя, также могут быть доступны при использовании технологии сценария через команды сценария.

В предпочтительном варианте выполнения команды сценария можно использовать для таких функций редактирования, как создание новых заказов, редактирование существующих заказов, создание заказов из шаблонов, добавление новых компонентов или подкомпонентов к заказу, шаблону, компонентам или подкомпонентам, модификация компонентов или подкомпонентов, сохранение заказов, создание файлов 8ΕΜΙ Р-10 или файлов в другом совместимом формате или стандарте для заказов, помимо прочих. Кроме того, в технологии сценариев можно обеспечить построение очереди из данных и выполнение пакетного редактирования для множества заказов и шаблонов одновременно.

- 10 008878

Файл сценария, используемый в технологии сценария, может быть представлен в форме файла с открытым текстом, который содержит одну или больше команд сценария. Команда сценария может включать такие функции, как переменная декларация, присвоение, вызов функции, оператор 1Г- (если), оператор Гог- (оператор для оператор цикла) или ГогеасН- (для каждого), оператор \\1и1е- (оператор пока оператор цикла) и шс1и6е (включить), помимо прочих. Команду декларирования переменной используют для декларирования, перед ее использованием, переменной, применяемой для сохранения величины данных для последующего использования. Команда декларирования переменной может содержать декларацию типа данных используемой переменной. Тип данных переменной может быть одним из следующих: строка, число, булева переменная, дата, список, элемент дерева. Строка может представлять собой последовательность из нуля или больше знаков. Число может представлять собой все или часть числа с любым практическим размером, которое может быть положительным, отрицательным или может быть равно нулю. Булева переменная может представлять собой значение 1тие или Га1зе (истина или ложь). Дата может представлять собой конкретный день и также может включать время суток. Список может представлять собой список величин одного и того же типа данных. Элемент дерева может представлять собой объект древовидной иерархии системы заказа на фотомаску, такой как заказ, фотомаска, шаблон или структура и т.д.

При использовании команды вызова функции может быть выполнен вызов функции из системной библиотеки. Функции, которые можно вызывать из системной библиотеки, могут включать функции общего управления заказами, шаблонами, компонентами и подкомпонентами, функции, предназначенные для обработки отдельных элементов древовидной структуры, функции, предназначенные для обработки полей конкретного элемента древовидной структуры, функции, предназначенные для обработки величин даты, функции для манипулирования списками величин и любые другие функции общего или частного назначения.

Примеры вызова функции общего управления заказами, шаблонами, компонентами и подкомпонентами могут включать, без ограничений создать заказ (для создания нового пустого заказа), создать заказ по шаблону (для создания нового заказа на основе данного шаблона), открыть заказ (для открытия существующего заказа), создать шаблон (для создания нового шаблона), открыть шаблон (для открытия существующего шаблона для редактирования), применить временной график (для применения заданного, ранее существовавшего временного графика к заказу или шаблону начиная с конкретной даты), сохранить (для сохранения изменений в шаблоне заказа в базе данных), создать файл 8ΕΜΙ Р-10 (для создания файла 8ΕΜΙ Р-10 из данного заказа), создать и передать файл 8ΕΜΙ Р-10 (для создания файла 8ΕΜΙ Р-10 из данного заказа и передачи его с использованием указанного способа передачи, например с использованием РТР по сети Интернет, в определенное местоположение), удалить заказ (для удаления определенного заказа из базы данных), удалить шаблон (для удаления указанного шаблона из база данных), помимо прочих.

Примеры вызова функции для обработки отдельных элементов древовидной структуры могут включать, без ограничений создать элемент древовидной структуры (чтобы создать новый, пустой элемент древовидной структуры указанного типа), копировать элемент древовидной структуры (чтобы создать точную копию элемента дерева, включающую соответствующие дочерние элементы дерева), найти элемент дерева (чтобы обнаружить элемент дерева данного типа в любом месте под другим элементом древовидной структуры, удовлетворяющим определенным заданным критериям), найти элементы древовидной структуры (чтобы найти все элементы дерева, которые удовлетворяют определенным заданным критериям), получить родительский элемент (чтобы получить родительский элемент дерева для данного элемента дерева), заменить в дереве (чтобы заменить данный участок текста во всех текстовых полях в пределах определенных типов элементов дерева, начиная от конкретного объекта), помимо прочих.

Примеры вызова функции для обработки полей древовидной структуры могут включать, без ограничений поле получить (для получения величины поля элемента дерева), поле установить (для установления величины поля элемента дерева), добавить элемент поля (для добавления нового значения к полю элемента дерева, который имеет тип список), удалить элемент поля (чтобы удалить элемент из поля элемента дерева типа список), помимо прочих.

- 11 008878

Примеры вызова функции, предназначенной для обработки величин даты, могут включать, без ограничений создать дату (для создания новой даты с определенным значением), добавить к дате (чтобы добавить определенный период времени к дате), вычесть из даты (чтобы вычесть указанный период времени с даты), помимо прочих.

Примеры вызова функции, предназначенной для обработки списков значений, могут включать, без ограничений добавить элемент списка (чтобы добавить новый элемент к списку, в котором новый элемент имеет такой же тип данных, что и другие элементы списка), удалить элемент списка (для удаления элемента из списка), список содержит (чтобы определить, содержится ли определенная величина в списке), размер списка (чтобы определить количество элементов в списке), помимо прочих.

Примеры функций общего или специального назначения могут включать, без ограничений равно нулю (для определения, является ли значение нулевым значением), печать (для печати сообщения на экране), помимо прочих.

Независимо от типа или формы функции для пользователя может потребоваться обеспечить возможность включения ее в качестве функции в системную библиотеку. Список вызовов функции из системной библиотеки можно обновлять или можно пересматривать в любой момент времени.

Команда назначения назначает переменной новое значение. Команда оператора И- позволяет сценарию принимать решения на основе определенных критериев. Команда оператора ίοτ- или Еотеасй- позволяет выполнять итерацию в отношении определенного указанного списка. Команда \\1и1е представляет собой конструкцию, характерную для петли. Команда шс1ибе определяет, что в этой точке должен быть выполнен другой сценарий.

Потенциально командные строки могут появляться в любом порядке. Однако порядок обычно требуется для выполнения логики, поскольку команды обычно выполняют последовательно. В командной строке может учитываться или может не учитываться регистр клавиатуры в зависимости от предпочтения разработчика системы.

Командные строки могут быть включены как текст в файл сценария для улучшения возможности считывания файла сценария, для пояснения на упрощенном английском языке того, что выполняется. Обычно, когда командные строки включены в файл сценария, эта информация будет игнорироваться при выполнении файла сценария. Кроме того, файл сценария может быть отформатирован, что обеспечивает возможность пользователю включать пробел или пустой возврат каретки для улучшения возможности чтений файла без воздействия на выполнение файла сценария.

После генерирования в одном варианте выполнения описанной системы заказы, шаблоны, компоненты и/или подкомпоненты могут быть полностью или частично переданы различными пользователями системы в соответствии с настоящим изобретением или к ним может быть обеспечен доступ различных пользователей либо других систем в соответствии с настоящим изобретением. Например, один пользователь, являющийся заказчиком, может посылать по электронной почте или другим образом передавать шаблон или заказ другому пользователю этого заказчика, или другого заказчика, с тем, чтобы переданный шаблон или заказ можно было использовать для подготовки нового или модифицированного шаблона или заказа. Естественно, такая передача может происходить с использованием других способов передачи, например с использованием протокола ЕТР или перевозки на диске или на другом носителе информации и т.д. В качестве меры безопасности к заказам, шаблонам, компонентам и/или подкомпонентам и т.д. можно применять коды доступа или другие технологии ограничения доступа для исключения несанкционированного доступа и/или модификации.

При составлении заказа на фотомаску заказчики могут не иметь доступа к требуемой информации или могут не знать эту информацию для окончания заказа. В прошлом отсутствие такой информации приводило к задержке процесса окончания заказа и требовало сбора такой информации вручную из соответствующих источников.

В соответствии с одним вариантом выполнения настоящего изобретения такую информацию получают автоматически, по меньшей мере, частично из других источников, которые содержат требуемую информацию и при этом требуется незначительное или исключается вмешательство заказчика. Например, в случае, когда информация, требуемая для ввода в заказ, которая управляется первым набором правил, является недоступной для заказчика, механизм обработки данных в соответствии с настоящим изобретением может осуществлять доступ к услуге предоставления данных, которая обеспечивает возможность поиска такой требуемой информации. Пример такой услуги данных включает Зепзсе 0Ь)ес1к. которая позволяет пользователям одновременно осуществлять доступ к сайтам Интернет, базам данных, интранет и другим внутренним и внешним информационным ресурсам, как если бы содержание существовало в одном месте, и для упаковки информации, такой, как информация о поставках, в формате, доступном другим программам. В этом примере прикладная программа передает запрос на получение данных в меню для предоставления определенной услуги поиска данных, которая может быть доступна для заказываемой фотомаски. Услуга предоставления данных, в свою очередь, может передавать запраши

- 12 008878 ваемую информацию обратно в прикладную программу, которая затем может предоставлять такую информацию заказчику с использованием прикладной программы. Другие типы услуг предоставления данных могут также быть применены к такой информации как логистика, склад, характеристики поставки, доступность оборудования, время работы, время приобретения оборудования, загрузка уровня, информация о возможностях или любая другая подобная информация, которая может потребоваться заказчику для подготовки конкретного заказа на фотомаску. Команды сценария также могут быть созданы для доступа к данным через услугу предоставления данных или другим образом.

Услуга предоставления данных может быть расположена локально в компьютере заказчика или в сети, или может быть организован удаленный доступ из системы обработки заказов заказчика, и может сама осуществлять доступ к данным из любого количества или любого типа удаленных компьютерных систем (например, компьютерной системы логистического поставщика, компьютерной системы поставщика деталей, компьютерной системы поставщика оборудования, компьютерной системы изготовителя фотомаски и т.д.) через интерфейс, известный как для программного приложения, так и для услуги поставки данных, и может использовать любое количество доступных протоколов, включая, например, 8ΘΆΡ (простой протокол доступа к объектам), ХМЬ, ХМЬ-ВРС (расширяемый язык разметки с вызовом удаленных процедур), еЬХМЬ (еЬХМЬ расширяемый язык разметки для электронного бизнеса), НТМЬ (язык гипертекстовой разметки) и т.д. Услуга предоставления данных может выполнять поиск (например, по запросу) в этих удаленных системах для получения информации, не доступной заказчику, и если она доступна, может восстанавливать такие данные. В случае необходимости услуга предоставления данных может быть сконфигурирована для проверки данных, если это требуется. Механизм поиска услуги предоставления данных может быть сконфигурирован на основе информации, требуемой для пользователя (например, логистической поставки, продолжительности обработки и т.д.) на основе любого количества возможных параметров (например, стоимости, времени, имени заказчика, размера маски, используемого оборудования степпера и т. д.), предоставляемый системой пользователя.

Все операции, выполняемые человеком через графический интерфейс пользователя, могут также выполняться, по меньшей мере, частично, автоматически; т.е. без взаимодействия с человеком. Изобретение может обеспечить доступ к этим функциям через набор инструкций открытого текста или командную строку. Набор инструкций открытого текста представляет собой язык программирования высокого уровня, который можно интерпретировать в интерфейс программирования приложения, для передачи инструкции в приложение, для выполнения последовательности операций. Например, командная строка заменить устройство под названием Устройство А на устройство под названием Устройство В может быть передана в систему пользователем в сеть заказчика, или автоматически как подробно описано выше. Когда система принимает такую командную строку, она заменяет название устройства в определенном шаблоне или заказе на новое название устройства. Конечно, это всего лишь один пример того, как набор инструкций следует использовать, и не предполагается, что он является ограничивающим в рамках настоящего изобретения. Для доступа к этой инструкции могут быть созданы специализированные модули, предназначенные для использования в системе заказчика, с использованием любого языка программирования, позволяющего получать файлы Л8СП (американский стандартный код обмена информацией) или двоичные файлы, и выполнять команды операционной системы. Автоматизированный вариант выполнения обеспечивает авторизованным пользователям доступ к любой авторизованной системе через существующее сетевое подключение. Обычные средства обеспечения безопасности, такие, как брандмауэры, регистрация, пароли и т.д. можно использовать для защиты конфиденциальности базы данных и маски системы заказов.

На фиг. 6 представлен пример различных возможных вариантов выполнения автоматизированных свойств настоящего изобретения. Как показано на фиг. 6, заказчик 110 установил в своей компьютерной системе или в сети систему 100 обработки заказов в соответствии с настоящим изобретением. Пользователь этой системы может вводить частично или полностью заказ или шаблон так, как описано выше. Файл 130, размещенный в сети заказчика, используется для создания или модификации шаблона или заказа. В случае, когда какая-либо информация, необходимая для завершения заказа, не вводится непосредственно заказчиком, такую информацию можно автоматически получить с использованием системы 100 обработки заказов из файлов, баз данных или других электронных источников информации, доступных в системе заказчика, из системы, являющейся внешней по отношению к заказчику, к которой можно осуществлять удаленный доступ; от одного или нескольких поставщиков или продавцов заказчика, непосредственно и/или через систему обслуживания данных. Заказчик может либо вводить непосредственно всю информацию, необходимую для завершения заказа, некоторую информацию, необходимую для завершения заказа, при этом остальная информация поступает из этих других источников, или через внешнюю программу может инициировать процесс, который будет автоматически генерировать полный заказ без необходимости доступа к графическому интерфейсу пользователя системы обработки заказов. В варианте выполнения, показанном на фиг. 6, информацию, необходимую для завершения заказа, получают из системы 120 обслуживания данных. Система 120 обслуживания данных осуществляет поиск определенным образом сконфигурированных ресурсов, таких, как поставщики А и В данных, которые могут представлять собой, например, поставщиков или продавцов заказчика. Система 120 обслуживания

- 13 008878 данных также может собирать информацию непосредственно от заказчика. Как только вся необходимая информация будет получена и введена в соответствующий шаблон, генерируют документ 140 заказа, который посылают поставщику 150 фотомаски.

Автоматизированное выполнение любой задачи может включать уведомление о тревоге в случае какого-либо системного отказа или не разрешения процесса на основе какой-либо из установок правил. Конечный пользователь может конфигурировать уведомление, которое может быть представлено в форме письма, отправляемого по электронной почте, сообщения, системного журнала или входа в базу данных. В одном варианте выполнения свойство уведомления автоматически генерирует сообщение, передаваемое в список распространения, содержащий имена людей, которые имеют отношение к заказу фотомаски. Такой список распространения может быть установлен по любому заданному критерию. После того как сообщение будет сгенерировано, каждому человеку, содержащемуся в списке распространения, может автоматически передаваться указание о том, что заказ на фотомаску был сгенерирован. Такое уведомление может включать отправку письма по электронной почте, звуковые сигналы, сообщения, передаваемые по мобильному телефону и т.д. Такой процесс автоматического уведомления может быть установлен в любом месте в сети заказчика или даже в сети изготовителя и может включаться на любом этапе в соответствии с пожеланиями заказчика. Этот пример не следует рассматривать как ограничение настоящего изобретения, а всего лишь как иллюстрацию типа системы уведомления, которая может быть внедрена в настоящее изобретение.

После уведомления о подготовке нового или модифицированного заказа на фотомаску настоящее изобретение может автоматически передать заказ производителю фотомаски, если отсутствуют какиелибо ошибки, или можно ожидать авторизации от пользователя системы заказчика. Если будут идентифицированы ошибки, заказчик может затем вручную отредактировать заказ для исправления таких ошибок, и может продолжить обработку заказа нормальным образом.

В другом варианте выполнения может быть сгенерирован незаконченный заказ на фотомаску, включающий информацию о дизайне в формате, который может быть переведен в систему обработки производителя фотомаски, что обеспечивает возможность производителю фотомаски проверить обоснованность, выполнимость и/или желательность такой конструкции. Например, заказчик может передать частичный заказ на фотомаску, включающий инструкции в отношении отдельных участков, которые затем могут быть переданы производителю фотомаски для анализа обоснованности, выполнимости и/или желательности предложенной конструкции. Это может быть выполнено либо автоматически, как описано выше, или вручную. В случае автоматического выполнения после приема информации, относящейся к предложенному частичному заказу на фотомаску, система может генерировать информацию, необходимую для передачи инструкций, относящихся к отдельным участкам, поставщику фотомаски для дальнейшего анализа и оценки. После передачи информации производитель фотомаски может затем также предложить альтернативную конструкцию, которая может быть более выполнимой или желательной с точки зрения производителей или наоборот. Результаты анализа производителя фотомаски могут быть затем переданы в компьютерную систему заказчика для дальнейшего рассмотрения заказчиком и принятия решения в отношении того, следует ли продолжать заказ или модифицировать предложенный заказ.

Предпочтительно каждый из шаблонов, заказов, компонентов и подкомпонентов, и т.д. записан в базе данных, но также может быть сохранен в других местах. При этом может быть обеспечен механизм поиска, с помощью которого пользователи могут осуществлять поиск определенного шаблона, заказа, компонента или подкомпонента и т.д., сохраненных в базе данных или других местах. Используя механизм поиска, пользователь может определять местонахождение соответствующих шаблонов, компонентов, или подкомпонентов, и т. д., которые требуются для генерирования фотомаски в конкретном формате заказа. После того как такие шаблоны, компоненты, подкомпоненты и т.д. будут найдены, пользователь вводит данные, относящиеся к заказу на фотомаску (обычно заказчик фотомаски, желающий разместить заказ на фотомаску). Пользователь также может использовать механизм поиска для поиска существующих заказов на фотомаски с целью завершения или упрощения ввода данных или модификации их содержания, как описано ниже.

Как отмечено выше, заказчик может не иметь достаточно знаний о требованиях конкретного формата заказа на фотомаску и, таким образом, может не ввести всю необходимую информацию, требуемую такими стандартами для завершения заказа. Кроме того, заказчики часто делают ошибки при вводе данных и, таким образом, могут пересылать неточную информацию. В соответствии с этим первый и второй набор правил устанавливают и сохраняют в системе для обеспечения ввода заказчиком полных и точных данных в шаблоны и заказы, в соответствии с требованиями конкретного стандартного и/или частного формата заказа на фотомаску.

В предпочтительном варианте выполнения первый набор правил устанавливают для обеспечения ввода пользователем всех необходимых данных для вывода законченного заказа на фотомаску, как определено конкретным стандартным и/или частным форматом заказа на фотомаску. Предпочтительно первый набор правил устанавливают на основе требований выбранного формата заказа на фотомаску. При этом первый набор правил диктует, должны ли данные быть введены, могут ли данные быть введены, и/или данные не должны быть введены в каждый компонент и подкомпонент шаблона или заказа, в

- 14 008878 соответствии с определенным форматом заказа на фотомаску. Кроме того, первый набор правил должен быть сконфигурирован так, что они должны требовать, чтобы пользователь вводил информацию в любые другие требуемые компоненты (как указано в конкретном стандартном и/или частном формате заказа на фотомаску) для завершения заказа на фотомаску.

Таким образом, например, как показано в таблице, конкретный стандартный формат заказа может требовать в отношении шаблона Структура для всех заказов ЕАР8М: данные размещения и критические данные измерений должны быть представлены; данные трафарета для проверки трафарета могут быть представлены; и трафарет для данных, нельзя представить. В соответствии с этим правила устанавливают и ассоциируют с соответствующими шаблонами (компонентами и подкомпонентами), в которых требуется:

(1) пользователь должен включить данные о размещении и данные критических измерений;

(2) пользователь может включить данные трафарета для проверки трафарета;

(3) пользователь не должен включать данные трафарета для проверки данных.

В соответствии с этим в этом примере, когда пользователь желает создать заказ для ЕЛР8М с использованием системы и способа в соответствии с настоящим изобретением, правила будут:

(1) требовать, чтобы пользователь ввел данные по размещению и данные о критических измерениях;

(2) разрешают (но не требуют), чтобы пользователь вводил данные трафарета для проверки трафарета;

(3) исключают ввод пользователем данных трафарета для проверки данных.

Кроме того, выбранный формат заказа может требовать, чтобы дополнительно Райеги Эа1а (данные структуры), Аггау Вед181гайои ба!а (данные регистрации массива) также были введены для завершения заказа на фотомаску. В соответствии с этим первый набор правил также должен быть сконфигурирован так, что когда пользователь заканчивает ввод всех данных структуры, пользователь будет направлен в Шаблон регистрации массива и ему будет предложено ввести необходимые данные также в этот шаблон (и в любые другие соответствующие подкомпоненты этого шаблона). Аналогично, если в стандартном и/или частном формате заказа на фотомаску требуется вводить данные в любые другие шаблоны для завершения заказа на фотомаску, первый набор правил будет направлять пользователя в такие другие шаблоны после ввода пользователем всех данных в шаблон регистрации массива и будет передавать пользователю указание на ввод всех требуемых данных в такой шаблон (шаблоны). После ввода пользователем данных во все требуемые шаблоны пользователю будет разрешено закончить шаблон (при условии ввода данных в соответствии со вторым набором правил, как описано ниже).

Таким образом, как должно быть, очевидно, первый набор правил в соответствии с настоящим изобретением обеспечивает то, что пользователь вводит в соответствующие шаблоны всю необходимую информацию, требуемую определенным стандартным и/или частным форматам для генерирования заказа на фотомаску. С другой стороны, правила направляют пользователю через процесс ввода данных заказа на фотомаску для гарантии того, что вся необходимая информация заказа будет введена в шаблоны.

Кроме того, в системе и способе также предусмотрен второй набор правил, который гарантирует то, что пользователь вводит данные в точном и соответствующем формате, как определено конкретным стандартным и/или частным форматом заказа на фотомаску. Как отмечено выше, каждый компонент и подкомпонент шаблона определен набором атрибутов (например, двоичный, строка, целое число, вещественное число, дата, булево значение, список и т.д.). Таким образом, в предпочтительном варианте выполнения второй набор правил устанавливается для каждого шаблона и заказа, который указывает пользователю, должны ли, могут и/или не должны данные, введенные в конкретный шаблон или заказ, иметь определенный атрибут, в соответствии с требованиями конкретного стандартного и/или частного формата заказа на фотомаску.

Например, как показано в таблице, конкретный стандартный и/или частный формат заказа на фотомаску может потребовать:

(1) данные, вводимые в шаблон размещения, должны представлять собой целое число;

(2) данные, вводимые в шаблон названия, могут быть строкой;

(3) данные, вводимые в шаблон критических размеров, не должны быть строкой.

В соответствии с этим устанавливается правило для шаблона размещения, которое:

(1) требует, чтобы пользователь вводил целое число в шаблон размещения;

(2) разрешает пользователю вводить строку в шаблон названия;

(3) исключает ввод пользователем строки в шаблон критических размеров.

Таким образом, как должно быть, очевидно, правила в соответствии с настоящим изобретением гарантируют то, что пользователь будет вводить соответствующий тип информации и тип данных в каждый шаблон, в соответствии с требованиями конкретного стандартного и/или частного формата заказа на фотомаску, для генерирования заказа на фотомаску. Другими словами, второй набор правил разрешает пользователю только вводить определенный тип данных в шаблон и, таким образом, уменьшает вероятность ошибок конструирования и/или ошибок ввода данных в процессе размещения заказа на фотомаску.

В предпочтительном варианте выполнения описанные здесь первый и второй набор правил создают и сохраняют отдельно. Как отмечено выше, правила могут быть сохранены как внутри системы, так и вне системы с использованием любых различных динамических форматов (например, в виде базы данных, в

- 15 008878 виде объектно-ориентированного класса, файла ХМЬ и т.д.) так, что система может быть адаптирована для работы на любых платформах в зависимости от предпочтений пользователя и/или автоматизированной системы. Следует, однако, отметить, что одиночный набор правил может быть создан и сохранен при условии, что такой одиночный набор правил обеспечивает то, что пользователь одновременно завершает информацию заказа на фотомаску (как описано со ссылкой на первый набор правил) и вводит точную информацию заказа на фотомаску (как описано со ссылкой на второй набор правил). Кроме того, первый и второй наборы правил могут быть аналогичным образом скомбинированы как единый набор правил.

Как отмечено выше, настоящее изобретение включает функцию ассоциирования определенных первого и второго наборов правил с определенными шаблонами для обеспечения генерирования заказа на фотомаску в законченном и точном виде. В предпочтительном варианте выполнения такая функция обеспечивается в форме прикладного программного приложения, установленного на компьютере организации, желающей разместить заказ на фотомаску, например производителя полупроводниковых приборов. В отличие от известного уровня техники, такое программное приложение не зависит от производственного процесса данного изготовителя фотомаски. Скорее программное приложение в соответствии с настоящим изобретением может быть развернуто как отдельная защищенная прикладная программа, прикладная программа, распределенная по сети или прикладная программа типа клиент-терминал на основе всемирной сети. Предпочтительно программное средство используется в системе типа клиентсервер, в которой графический интерфейс пользователя (например, клиента) подключается к базе данных, установленной на сервере, и выполняет в ней поиск данных. Во всех случаях заказчику, который работает с программным средством в соответствии с настоящим изобретением, для размещения заказа не требуется выполнять доступ и/или регистрироваться в какой-либо внешней локальной вычислительной сети производителя фотомаски.

Способ, с помощью которого программное средство в соответствии с настоящим изобретением ассоциирует конкретные правила с конкретными шаблонами, будет описан ниже. В частности, поскольку шаблоны представляют собой иерархическую подборку данных, каждый элемент шаблона интерпретируется ассоциированным объектом программного средства. В предпочтительном варианте выполнения правила внедряют в программные объекты, которые отвечают за сбор данных, введенных в шаблоны. Эти правила представляют собой ограничения или инструкции, такие, как алгоритм, и обычно относятся к одному или нескольким атрибутам программного средства. В соответствии с этим при такой компоновке обеспечивается возможность ввода полного и точного заказа на фотомаску, поскольку правила и шаблоны соответствующим образом ассоциированы друг с другом.

Кроме того, система предпочтительно сконфигурирована так, что она разрешает отдельно обновлять правила и шаблоны в случае, если в этом возникает необходимость. При этом текущий стандартный формат заказа на фотомаску известен как стандартный формат 8ЕМ1 Р-10. Однако предполагается, что, по мере развития технологии может быть разработан новый стандартный формат для учета такого развития, и, таким образом, он заменит существующий в настоящее время стандартный формат 8ЕМ1 Р-10. Кроме того, в настоящее время существует множество других международных стандартных форматов заказа, которые используют зарубежные производители фотомасок. Как и в случае формата 8ЕМ1 Р-10, ожидается, что эти международные форматы также изменятся или будут заменены с течением времени. Таким образом, система в соответствии с настоящим изобретением обеспечивает возможность обновления правил и шаблонов для соответствия этим изменениям. Более конкретно, первый и второй наборы правил предпочтительно сохраняют в виде отдельных файлов для каждого из шаблонов, которые, в свою очередь, также сохранены как отдельные файлы. Благодаря раздельному содержанию правил и шаблонов, любые модификации одного из них не влияют на другие. При этом, когда правила или шаблоны модифицируют, не требуется проводить соответствующее изменение кода для соответствующего элемента, где ничто не будет обозначено непосредственным изменением свойства. Кроме того, благодаря отдельному сохранению правил и шаблонов, можно избежать возникновения системного отказа (например, когда непредвиденные изменения внедренного или вложенного внутри элемента могут привести к непредвиденному отказу). При этом, если бы правила и шаблоны не были сохранены отдельно, независимая модификация была бы невозможной. Каждый из существующих шаблонов, которых может быть тысячи, если не больше, может быть модифицирован отдельно для включения новых правил. Таким образом, как должно быть понятно, система и способ в соответствии с настоящим изобретением не ограничиваются каким-либо конкретным стандартным форматом, но скорее могут быть легко адаптированы для соответствия требованиям любого существующего или вновь разрабатываемого стандартного формата заказа на фотомаску. Аналогично, заказчик может изменить свой частный формат заказа для удовлетворения каким-либо изменениям, связанным с новыми разработками или улучшенными технологиями.

Для модификации правил программные объекты устанавливают так, что правила, содержащиеся в них, могут влиять на один или больше их атрибутов, их дочерние или другие правила, содержащиеся в них. При этом правила устанавливают так, что они влияют только на определенные указанные атрибуты. Таким образом, поскольку программные объекты, такие, как шаблоны, являются иерархическими по своей природе, они знают как свой родительский, так и свой дочерний объект. В соответствии с этим в лю

- 16 008878 бой момент, когда модифицируют дочерний объект, он уведомляет свой родительский объект об области, правилах или атрибутах, на которые повлияли такие изменения. В результате любое изменение в любом месте, в пределах иерархии правил, распространяется ко всему семейству. В соответствии с этим правила обладают возможностью принудительного добавления или удаления любого дочернего элемента для определенного родительского объекта. Таким образом, в пределах прикладной программы каждый объект можно индивидуально обновлять или усовершенствовать при последующих редакциях программного средства. Кроме того, родительские объекты поддерживают стандартный набор для каждого типа дочернего элемента, который может быть добавлен или удален при построении шаблона.

Шаблоны также могут быть модифицированы в соответствии с модификацией стандартного и/или частного формата заказа на фотомаску, что требует добавления новых атрибутов и/или подкомпонентов в иерархию заказов и шаблонов. В таких случаях новые взаимозависимости определяют для изменяемых компонентов и/или подкомпонентов, и новые правила динамически добавляют к существующей схеме правил.

Для иллюстрации этих свойств настоящего изобретения ниже будет описан следующий пример. Существующий в настоящее время стандарт 8ЕМ1 Р-10 требует, чтобы заказ на фотомаску включал, помимо других элементов: Макк Огбег[ ], Макк 8е1 [ ], Макк ΩοΓίηιΙίοη [ ] и РаИсгп ΩοΓίηιΙίοη [ ]. Таким образом, в соответствии с этим требованием должны быть установлены следующие шаблоны: 8ет1Огбег Тетр1а1е, 8ет1Макк8е1 Тетр1а1е, 8еш1Макк Тетр1а1е и 8еш1Райет Тетр1а1е. Кроме того, должны быть установлены первый и второй набор правил для каждого из этих шаблонов, которые указывают, должны ли быть введены данные в каждый из шаблонов, а также тип данных, которые могут быть введены в такие шаблоны. Однако в будущем стандарт 8ЕМ1 Р-10 может быть заменен новым стандартом, который требует компонент КР (ΟΌ). Таким образом, существующие шаблоны (например, 8ет1Райет) могут быть модифицированы так, что они будут включать, например, компонент критический размер (КР), который соответствует модификации метрологического аспекта стандарта 8ЕМ1 Р10. Кроме того, новый шаблон может быть создан так, что он будет соответствовать любым вновь добавленным аспектам (например, регистрации) нового стандарта 8ЕМ1. Аналогично, существующие первый и второй наборы правил могут быть адаптированы так, что они будут удовлетворять изменениям, ассоциированным с модифицированным аспектом компонента КР существующего стандарта 8ЕМ1 Р10. Кроме того, может быть создан новый набор первого и второго набора правил так, что он будет соответствовать новому свойству регистрации нового стандарта 8ЕМ1.

Разделы спецификации также можно использовать как механизм, предназначенный для простого обновления ввода конкретных данных, включенных в большое количество шаблонов, заказов, компонентов, подкомпонентов и т. д. В частности, в одном варианте выполнения настоящего изобретения, файл элементов спецификации может включать определенные данные или объекты, которые рассматриваются как желательные для будущих обновлений во многих заказах, шаблонах, компонентах, подкомпонентах и т.д. Различные заказы, шаблоны, компоненты, подкомпоненты и т. д. могут затем включать ссылку на файл разделов спецификации для определенных данных, содержащихся в нем, вместо сохранения этих конкретных данных. Таким образом, такие ссылочные конкретные данные или объекты можно обновлять в большом количестве заказов, шаблонов, компонентов, подкомпонентов и т.д. путем простого обновления файла разделов спецификации, вместо обновления всех заказов, шаблонов, компонентов, подкомпонентов и т.д., путем ссылки на эти конкретные данные или объекты.

Например, этап спецификации может включать ширину строки стандартного критического размера (КР), которая в данный момент времени рассматривается приемлемой для конкретного заказчика фотомаски. По мере развития технологии фотомаски ширина строки приемлемого КР, вероятно, изменится. При этом вместо соответствующего обновления каждого заказа, шаблонов, компонентов, подкомпонентов и т.д., в которых указан конкретный КР, использование разделов спецификации позволяет обновлять только один файл разделов спецификации, и затем все файлы, на которые ссылаются в этом файле разделов спецификации, будут обновлены автоматически. Другие примеры соответствующих переменных, предоставляемых в качестве разделов спецификации, в контексте заказа на фотомаску включают в себя допуски измерений, связанных с атрибутами маски, которым должен соответствовать производитель фотомаски, для обеспечения того, что маска будет удовлетворять спецификациям заказчика;

приемлемая частота дефектов, связанная с атрибутами маски, которой должен соответствовать производитель фотомаски, для обеспечения того, что маска будет соответствовать спецификациям заказчика;

материалы (подложка, пленки), используемые производителем фотомасок, которые должны удовлетворять уровням качества, оплаченным и ожидаемым заказчиками;

информация для начисления счетов, включающая расценки, и информация по составлению счетов/отгрузке;

информация по обслуживанию заказчика, такая, как имя контактного лица и номер его телефона, класс машин или специфических машин, требуемых для удовлетворения внутренних требований или требований заказчика, необходимых при производстве фотомасок;

информация размещения литографической структуры, включающая, без ограничений, тон данных,

- 17 008878 экспозицию луча, информация о размещении Χ/Υ;

информация по передаче данных, включающая, без ограничений, адреса электронной почты, адреса БТР, протокол, регистрационный идентификатор и пароль, структуру директории;

информация, относящаяся к продавцу, связанная с сырьем, используемым при производстве фотомасок, включая, без ограничений, подложки, пленки, прессованные заготовки, резистивные материалы и уникальное оборудование, используемое при производстве, такое, как Лррбеб МаТепаЕ Л11а 3500 или КЬЛ 5>1аг1щ111. помимо прочих.

Как описано выше, шаблон или заказ состоит из одного или нескольких взаимосвязанных объектов, таких, как компоненты, подкомпоненты, данные и т.д. Например, фотомаска может иметь один или несколько взаимосвязанных объектов атрибута, таких, как регистрация, названия, штрих-коды и т.д. В варианте выполнения настоящего изобретения, благодаря использованию разделов спецификации, может быть обеспечена утилита, позволяющая конечному пользователю создавать одни или несколько уникальных данных или объектов, которые могут быть ассоциированы с шаблоном или заказом. Эти объекты будут сохранены отдельно от взаимосвязанных с ними заказов и шаблонов. Кроме того, такие отдельно сохраненные объекты могут содержать свой собственный набор правил. Когда создают шаблон или заказ, конечному пользователю может быть разрешено ассоциировать шаблон или заказ с одним или всеми объектами, определенными в утилите. После генерирования шаблона, заказа или заказа, созданного из сохраненного шаблона, вся информация об объекте, сохраненная в утилите, которая была ассоциирована с шаблоном, заказом или шаблоном, использованным для создания заказа, может быть обозначена как ссылочные данные и может быть приложена к шаблону, заказу или шаблону, использованному для создания заказа. Ссылочная информация объекта может быть обновлена или удалена на основе ролей и ответственности, назначенных конечному пользователю в модуле безопасности прикладной программы. Например, менее опытному конечному пользователю может быть запрещена перезапись ссылочных данных, записанных в утилите. С другой стороны, опытному пользователю может быть предоставлено разрешение модифицировать ссылочные данные.

Другой аспект настоящего изобретения состоит в том, что оно предусматривает возможность генерировать новые заказы на фотомаску путем:

(1) слияния данных в новый заказ из уже существующего шаблона, в котором содержатся данные;

(2) слияния данных в новый заказ из уже существующего заказа, в котором содержатся данные;

(3) слияние данных в новый заказ из уже существующих шаблонов и заказов; или (4) слияние данных в новый заказ из уже существующих заказов, шаблонов, компонентов и/или подкомпонентов.

При этом всякий раз, когда пользователь вводит данные в шаблон или создает заказ, такой шаблон и/или заказ сохраняется в системе в соответствии с настоящим изобретением. Кроме того, как описано выше, компоненты и подкомпоненты могут быть сохранены отдельно от заказа или шаблона в системе в соответствии с настоящим изобретением. После этого пользователь может осуществлять доступ к уже существующим шаблонам, заказам, компонентам и/или подкомпонентам и использовать сохраненные в них данные для генерирования нового заказа. Благодаря предоставлению пользователю системы в соответствии с настоящим изобретением возможности объединять данные из уже существующих заказов, шаблонов, компонентов и/или подкомпонентов, процесс ввода данных заказа на фотомаску существенно сокращается, что позволяет уменьшить общее время, требуемое для подготовки заказа на фотомаску. Описание каждого из этих четырех способов слияния данных в заказ приведено ниже.

В одном варианте выполнения для создания нового заказа из существующего шаблона (шаблонов) пользователю представляют указание на создание нового, чистого заказа. Затем пользователю предоставляются варианты выбора шаблонов и/или заказов, которые были созданы и сохранены из предыдущего заказа на фотомаску. В зависимости от типа фотомаски, которую требуется изготовить на основе нового заказа, пользователь выбирает и загружает наиболее близкий шаблон (шаблоны), сохраненный в реляционной базе данных. Выбранный шаблон отображается пользователю с ранее введенными данными. Для каждого ненулевого объекта в пределах шаблона (например, объекта, содержащего данные) пользователь может выбрать ранее введенные данные в новом заказе или перезаписать эти данные новыми данными. Кроме того, в случае, когда определенный объект в шаблоне равен нулю (например, если он уже пустой), пользователь может ввести соответствующие данные в этот объект. Затем включают правила, установленные для этого заказа, как описано выше, для гарантии того, что данные будут введены точно и полностью. После этого программное обеспечение обрабатывает эту информацию и генерирует новый заказ на основе этой информации.

Процесс создания нового заказа из уже существующего аналогичен процессу создания нового заказа из уже существующего шаблона. В данном варианте выполнения для создания нового заказа из существующего заказа (заказов), пользователю представляют указание создать новый, чистый заказ. Затем пользователю предоставляется вариант выбора шаблонов и/или заказов, которые уже были созданы и сохранены из предыдущего заказа на фотомаску. В зависимости от типа фотомаски, которая должна быть изготовлена на основе нового заказа, пользователь выбирает и загружает соответствующий заказ (заказы), сохраненные в реляционной базе данных. Выбранный заказ отображают пользователю с ранее

- 18 008878 введенными данными. Для каждого ненулевого объекта в заказе пользователь может либо выбрать ранее введенные данные в новый заказ, либо переписать эти данные новыми данными. Кроме того, в случае, когда конкретный объект в заказе равен нулю, пользователь может ввести соответствующие данные в этот объект. Затем включают правила, установленные для этого заказа, как описано выше, для гарантии того, что данные будут точно и полностью введены. После этого программное обеспечение обрабатывает эту информацию и генерирует новый заказ на основе этой информации.

В еще одном варианте выполнения для создания нового заказа на основе одновременно существующего шаблона (шаблонов) и заказа (заказов) пользователю предлагают создать новый, чистый заказ. Затем пользователю предоставляют вариант выбора шаблонов и/или заказов, которые были созданы и сохранены из предыдущего заказа на фотомаску. В зависимости от типа фотомаски, которая должна быть изготовлена в соответствии с новым заказом, пользователь выбирает и загружает соответствующий шаблон (шаблоны), сохраненный в реляционной базе данных. Выбранный шаблон отображают пользователю с ранее введенными данными. Для каждого ненулевого объекта в шаблоне пользователь может либо выбрать ранее введенные данные в новом заказе, либо переписать эти данные новыми данными. Кроме того, в случае, когда определенный объект в шаблоне равен нулю, пользователь может ввести соответствующие данные в этот объект. Затем включают правила, установленные для этого заказа, как описано выше, для обеспечения того, что данные будут точно и полностью введены. Кроме того, ранее сохраненные заказы также можно сливать в один заказ. При этом пользователь может выбрать и загрузить ранее размещенный заказ (заказы), сохраненный в реляционной базе данных. Выбранный заказ отображают для пользователя с ранее введенными данными. Для каждого ненулевого объекта в заказе (например, объекта, содержащего данные) пользователь может либо выбрать ранее введенные данные в новом заказе, или переписать эти данные новыми данными. Кроме того, в случае, когда конкретный объект в заказе уже пуст, пользователь может ввести соответствующие данные в этот объект. Затем включают правила, установленные для этого заказа, как описано выше, для обеспечения того, что данные будут точно и полностью введены. После того, как все соответствующие шаблоны и заказы будут слиты в новом заказе, программное обеспечение обрабатывает эту информацию и генерирует новый заказ на основе этой информации.

Кроме того, существующие компоненты и/или подкомпоненты предыдущего заказа или шаблона можно импортировать в новый заказ на фотомаску или шаблон. Например, к заказу или шаблону могут применяться существующие компоненты и/или подкомпоненты, относящиеся к начислению счетов и/или адресам поставок. Кроме того, один или несколько уникальных разделов спецификации, определенных в прикладной программе, могут быть слиты в новый заказ или шаблон.

Следует учитывать, что хотя были представлены и подробно описаны предпочтительные варианты выполнения настоящего изобретения, различные их модификации и улучшения будут очевидны для специалистов в данной области техники. В соответствии с этим сущность и объем настоящего изобретения следует рассматривать широко, с ограничением только приложенной формулой изобретения, а не приведенным выше описанием.

Claims

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ

1. Система генерирования заказа на фотомаску в определенном формате, содержащая по меньшей мере один шаблон или заказ, предназначенный для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой указанный по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску;

по меньшей мере один набор правил, соответствующих указанному по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором указанный набор правил включает инструкции, которые обеспечивают ввод пользователем полной информации в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ, в соответствии с требованиями определенного формата заказа;

графический интерфейс пользователя, ассоциированный с указанным по меньшей мере одним шаблоном или заказом, в котором пользователь может осуществлять доступ к указанному по меньшей мере одному шаблону или заказу для ввода данных заказа на фотомаску и для создания заказа в определенном формате; и механизм обработки данных, предназначенный для импортирования электронной информации с внешнего носителя информации в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
2. Система по п.1, в которой указанный механизм обработки данных содержит инструкции, которые отображают данные, содержащиеся в указанной электронной информации, в формат, пригодный для использования указанной системой, для генерирования заказов на фотомаску.
3. Система по п.1, в которой указанный внешний носитель информации расположен в удаленной компьютерной системе.
4. Система по п.1, в которой указанный внешний носитель информации расположен в той же компьютерной системе, что и указанный графический интерфейс пользователя.

- 19 008878
5. Система по п.1, в которой указанная электронная информация содержит информацию, относящуюся к одному или нескольким следующим: логистическим поставщикам, поставщикам оборудования, поставщикам запасных частей, изготовителю фотомаски и транспортным службам.
6. Система по п.1, в которой указанная система дополнительно содержит специализированный модуль, предназначенный для приема командной строки, для передачи в указанную систему инструкции на осуществление доступа к указанной электронной информации с указанных внешних носителей.
7. Система по п.1, в которой указанная система дополнительно содержит генератор сообщения, предназначенный для предупреждения пользователей указанной системы о состоянии генерируемого заказа.
8. Система по п.7, в которой сообщение генерируют с помощью указанного генератора сообщения в форме одного из следующих: письма, передаваемого по электронной почте, текстового сообщения, передаваемого по сети передачи данных, и системного журнала.
9. Система генерирования заказа на фотомаску в определенном формате, содержащая по меньшей мере один шаблон или заказ, предназначенный для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой указанный по меньшей мере один из шаблонов или заказов создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску;

по меньшей мере один набор правил, соответствующих по меньшей мере одному из шаблонов или заказов, в котором указанный набор правил включает инструкции, которые обеспечивают ввод пользователем полной информации в указанный шаблон или заказ, в соответствии с требованиями указанного формата заказа; и механизм обработки данных, предназначенный для доступа к одному или нескольким внешним источникам электронной информации, в которой доступ к указанному одному или больше источникам электронной информации осуществляют через систему обслуживания данных.
10. Система по п.9, в которой указанная система обслуживания данных содержит и позволяет пользователям одновременно осуществлять доступ к одному или нескольким следующим: вебсайтам Интернет, базам данных, интранет и другим внутренним или внешним ресурсам.
11. Система по п.9, в которой указанный механизм обработки данных содержит инструкции, которые отображают данные, содержащиеся в указанной электронной информации, в формат, пригодный для использования в указанной системе, для генерирования заказов на фотомаску.
12. Система по п.9, в которой указанный один или несколько внешних источников электронной информации расположен в удаленной компьютерной системе.
13. Система по п.9, в которой указанный по меньшей мере один шаблон или заказ создают с использованием графического интерфейса пользователя, и указанный один или несколько внешних источников электронной информации расположены в той же компьютерной системе, что и указанный графический интерфейс пользователя.
14. Система по п.9, в которой указанная электронная информация содержит информацию, относящуюся к одному или нескольким следующим: логистическим поставщикам, поставщикам оборудования, поставщикам запасных частей, изготовителю фотомаски и транспортным службам.
15. Система по п.9, дополнительно содержащая специализированный модуль, предназначенный для приема командной строки, для передачи в указанную систему инструкций на осуществление доступа к указанному одному или нескольким источникам электронной информации.
16. Система по п.9, дополнительно содержащая генератор сообщения, предназначенный для предупреждения пользователей указанной системы о состоянии генерируемого заказа.
17. Система по п.16, в которой сообщение генерируют с помощью указанного генератора сообщения в форме одного из следующих: письма, передаваемого по электронной почте, текстового сообщения, передаваемого по сети передачи данных, и системного журнала.
18. Способ генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, содержащий генерирование по меньшей мере одного заказа для сохранения данных заказа на фотомаску, в котором указанный по меньшей мере один заказ создают путем ввода данных в один или несколько шаблонов, управляемых по меньшей мере одним набором правил; и осуществление доступа к электронной информации из внешней базы данных с помощью механизма обработки данных, для внедрения указанной электронной информации в указанный шаблон.
19. Способ по п.17, в котором указанный механизм обработки данных содержит инструкции, которые отображают данные, содержащиеся в указанной электронной информации, в формате, пригодном для использования указанной системы для генерирования заказов на фотомаску.
20. Способ по п.17, в котором указанная внешняя база данных расположена в удаленной компьютерной системе.
21. Способ по п.17, в котором указанная внешняя база данных расположена в той же компьютерной системе, что и указанный графический интерфейс пользователя.
22. Способ по п.17, в котором указанная электронная информация содержит информацию, относящуюся к одному или нескольким следующим: логистическим поставщикам, поставщикам оборудования, поставщикам запасных частей, изготовителю фотомаски и транспортным службам.

- 20 008878
23. Способ по п.17, дополнительно содержащий прием командной строки для доступа к указанной электронной информации из указанной внешней базы данных.
24. Способ по п.17, дополнительно содержащий генерирование сообщения, которое предупреждает пользователей о состоянии генерируемого заказа.
25. Способ по п.17, в котором указанное сообщение выполнено в форме одного или нескольких следующих: письма, пересылаемого по электронной почте, текстового сообщения, передаваемого по сети передачи данных, и системного журнала.
26. Способ генерирования заказов на фотомаску в определенном формате, содержащий генерирование по меньшей мере одного заказа для сохранения данных заказа на фотомаску, в котором указанный по меньшей мере один заказ создают путем ввода данных по меньшей мере в один шаблон, управляемый по меньшей мере одним набором правил;

осуществление доступа к электронной информации из службы данных;

внедрение указанной электронной информации в указанный заказ.
27. Способ по п.26, в котором этап доступа содержит одновременный доступ к одному или нескольким следующим: вебсайтам Интернет, базам данных, Интранет и другим внутренним или внешним ресурсам.
28. Способ по п.26, в котором этап внедрения содержит отображение данных, содержащихся в указанной электронной информации, в формат, пригодный для генерирования заказа на фотомаску.
29. Способ по п.26, в котором указанную электронную информацию располагают в удаленной компьютерной системе.
30. Способ по п.26, в котором указанный по меньшей мере один заказ создают через графический интерфейс пользователя и указанную электронную информацию располагают в той же компьютерной системе, что и указанный графический интерфейс пользователя.
31. Способ по п.26, в котором указанная электронная информация содержит информацию, относящуюся к одному или нескольким следующим: логистическим поставщикам, поставщикам оборудования, поставщикам запасных частей, изготовителю фотомаски и транспортным службам.
32. Способ по п.26, дополнительно содержащий прием командной строки для доступа к указанной электронной информации из указанной службы данных.
33. Способ по п.26, дополнительно содержащий генерирование сообщения, которое предупреждает пользователя о состоянии генерируемого заказа.
34. Способ по п.33, в котором указанное сообщение имеет форму одного или нескольких следующих: письма, пересылаемого по электронной почте, текстового сообщения, передаваемого по сети передачи данных, и системного журнала.
35. Носитель информации, считываемый процессором, содержащий инструкции, причем инструкции выполняются процессором для выполнения следующих этапов:

генерирование по меньшей мере одного заказа для сохранения данных заказа на фотомаску, в котором указанный по меньшей мере один заказ создают путем ввода данных по меньшей мере в один шаблон, управляемый по меньшей мере одним набором правил;

осуществление доступа к электронной информации из службы данных;

внедрение указанной электронной информации в указанный заказ.
36. Носитель информации, считываемый процессором, по п.35, в котором этап доступа содержит одновременный доступ к одному или нескольким следующим: вебсайты Интернет, базы данных, интранет и другим внутренним или внешним ресурсам.
37. Носитель информации, считываемый процессором, по п.35, в котором этап внедрения содержит отображение данных, содержащихся в указанной электронной информации, в формат, пригодный для генерирования заказа на фотомаску.
38. Носитель, считываемый процессором, по п.35, в котором указанная электронная информация расположена в удаленной компьютерной системе.
39. Носитель, считываемый процессором, по п.35, в котором данные вводят по меньшей мере в один шаблон через графический интерфейс пользователя и указанная электронная информация расположена в той же компьютерной системе, что и указанный графический интерфейс пользователя.
40. Носитель, считываемый процессором, по п.35, в котором указанная электронная информация содержит информацию, относящуюся к одному или нескольким следующим: логистическим поставщикам, поставщикам оборудования, поставщикам запасных частей, изготовителю фотомаски и транспортным службам.
41. Носитель, считываемый процессором, по п.35, в котором способ дополнительно содержит прием командной строки для доступа к указанной электронной информации из указанной службы данных.
42. Носитель, считываемый процессором, по п.35, в котором способ дополнительно содержит генерирование сообщения, которое предупреждает пользователя о состоянии генерируемого заказа.
43. Носитель, считываемый процессором, по п.42, в котором указанное сообщение имеет форму одного или нескольких следующих: письма, передаваемого по электронной почте, текстового сообщения, передаваемого по сети передачи данных, и системного журнала.

- 21 008878
44. Система генерирования заказов на фотомаску, содержащая по меньшей мере один шаблон или заказ для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в которой указанный по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску;

генератор правила, предназначенный для создания по меньшей мере одного набора правил, соответствующих указанному по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором указанный по меньшей мере один набор правил обеспечивает ввод пользователем полной информации в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ, в соответствии с требованиями указанного определенного формата заказа на фотомаску; и процессор командной строки, предназначенный для приема и выполнения одной или нескольких команд сценария для ввода или модификации указанных данных заказа в фотомаску в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
45. Система по п.44, в которой указанная система дополнительно содержит механизм обработки данных, предназначенный для импорта электронной информации с внешнего носителя информации в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
46. Система по п.45, в которой указанный механизм обработки данных содержит инструкции, которые отображают данные, содержащиеся в указанной электронной информации, в формате, используемом указанной системой, для генерирования заказов на фотомаску.
47. Система по п.45, в которой указанные внешние носители расположены в удаленной компьютерной системе.
48. Система по п.45, в которой указанные внешние носители расположены в той же компьютерной системе, что и указанный процессор командной строки.
49. Система по п.45, в которой указанная электронная информация содержит информацию, выбранную из группы, состоящей из логистических поставщиков, поставщиков оборудования, поставщиков запасных частей, изготовителя фотомаски и транспортных служб.
50. Система по п.44, в которой указанная система дополнительно содержит генератор сообщения, предназначенный для предупреждения пользователей указанной системы о состоянии генерируемого заказа.
51. Система по п.50, в которой указанный генератор сообщения генерирует сообщение в форме, выбранной из группы, состоящей из письма, передаваемого по электронной почте, текстового сообщения, передаваемого по сети передачи данных, и системного журнала.
52. Система по п.44, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать один или больше новых заказов.
53. Система по п.44, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать один или больше заказов из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
54. Система по п.44, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет добавлять компоненты или подкомпоненты в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
55. Система по п.44, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать файлы 8ЕМ1 Р-10 из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
56. Система по п.44, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет выполнять пакетное редактирование множества заказов и шаблонов одновременно.
57. Система по п.44, в которой указанная одна или больше команд сценария содержит вызов одной или больше функций, сохраненных в системной библиотеке.
58. Система генерирования заказов на фотомаску, содержащая по меньшей мере один шаблон или заказ, предназначенный для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску, в котором указанный по меньшей мере один шаблон или заказ создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску и в котором указанный по меньшей мере один шаблон или заказ ассоциированы с одним или несколькими компонентами и подкомпонентами, которые могут быть сохранены отдельно от указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа; и генератор правила, предназначенный для создания по меньшей мере одного набора правил, соответствующих указанному по меньшей мере одному шаблону или заказу, в котором указанный по меньшей мере один набор правил гарантирует ввод пользователем полной информации в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ, в соответствии с требованиями указанного определенного формата заказа на фотомаску.
59. Система по п.58, дополнительно содержащая процессор командной строки, предназначенный для приема и выполнения одной или нескольких команд сценария, для ввода или модификации указанных данных заказа на фотомаску в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
60. Система по п.59, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать один или больше новых заказов.
61. Система по п.59, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать один или больше заказов из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
62. Система по п.59, в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет

- 22 008878 добавлять новые компоненты или подкомпоненты в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
63. Система по п.59. в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать файлы 8ΕΜΙ Р-10 из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
64. Система по п.59. в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет выполнять пакетное редактирование множества заказов и шаблонов одновременно.
65. Система по п.59. в которой указанная по меньшей мере одна или несколько команд сценария содержит вызов одной или больше функций. записанных в системной библиотеке.
66. Система генерирования заказа на фотомаску. содержащая по меньшей мере один шаблон или заказ для ввода и сохранения данных заказа на фотомаску. в котором указанный по меньшей мере один из шаблонов или заказов создают на основе требований определенного формата заказа на фотомаску;

генератор правила. предназначенный для создания по меньшей мере одного набора правил. соответствующих указанному по меньшей мере одному шаблону или заказу. в котором указанный по меньшей мере один набор правил обеспечивает ввод пользователем полной информации в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ. в соответствии с требованиями указанного определенного формата заказа; и по меньшей мере один файл разделов спецификации. предназначенный для сохранения по меньшей мере одних ссылочных данных. которые ассоциированы с указанным по меньшей мере одним шаблоном или заказом. в котором указанный по меньшей мере один шаблон или заказ содержат ссылку на указанный по меньшей мере один файл разделов спецификации.
67. Система по п.66. в которой указанный по меньшей мере один шаблон или заказ ассоциирован с одним или несколькими компонентами и подкомпонентами. которые могут быть сохранены отдельно от указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
68. Система по п.66. дополнительно содержащая процессор командной строки. предназначенный для приема и выполнения одной или нескольких команд сценария. для ввода или модификации указанных данных заказа на фотомаску в указанном по меньшей мере одном шаблоне или заказе.
69. Система по п.68. в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать один или больше новых заказов.
70. Система по п.68. в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать один или больше заказов из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
71. Система по п.68. в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет добавлять новые компоненты или подкомпоненты в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
72. Система по п.68. в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет создавать файлы 8ΕΜΙ Р-10 из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
73. Система по п.68. в которой указанный процессор командной строки дополнительно позволяет выполнять пакетное редактирование множества заказов и шаблонов одновременно.
74. Система по п.68. в которой указанная одна или больше команд сценария содержат вызов одной или нескольких функций. сохраненных в системной библиотеке.
75. Система по п.67. в которой указанные по меньшей мере одни ссылочные данные содержат по меньшей мере один из указанного одного или больше компонентов и подкомпонентов.
76. Способ генерирования заказа на фотомаску. содержащий следующие этапы: импортирование электронной информации. ассоциированной с указанным заказом на фотомаску; преобразование указанной электронной информации в данные заказа на фотомаску для создания по меньшей мере одного шаблона или заказа; и генерирование указанного заказа на фотомаску на основе указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
77. Способ по п.76. в котором указанная электронная информация содержит частичный заказ в файле 8ΕΜΙ Р-10.
78. Способ по п.76. в котором указанная электронная информация содержит полный заказ в файле 8ΕΜΙ Р-10.
79. Способ по п.76. в котором указанная электронная информация содержит частичный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.
80. Способ по п.76. в котором указанная электронная информация содержит полный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.
81. Способ генерирования заказа на фотомаску. содержащий следующие этапы: прием по меньшей мере одной команды сценария. выполнение указанной по меньшей мере одной команды сценария для создания или модификации по меньшей мере одного шаблона или заказа и генерирование указанного заказа на фотомаску на основе указанного по меньшей мере одного заказа или шаблона.
82. Способ по п.81. дополнительно содержащий этап выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария. для создания одного или больше новых заказов.
83. Способ по п.81. дополнительно содержащий этап выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария. для создания одного или больше заказов из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.

- 23 008878
84. Способ по п.81, дополнительно содержащий этап выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария, для добавления новых компонентов или подкомпонентов в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
85. Способ по п.81, дополнительно содержащий этап выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария, для создания файлов БЕМ1 Р-10 из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
86. Способ по п.81, дополнительно содержащий этап выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария для выполнения пакетного редактирования множества заказов и шаблонов одновременно.
87. Способ по п.81, в котором указанная по меньшей мере одна команда сценария содержит вызов в одной или нескольких функций, записанных в системную библиотеку.
88. Способ по п.81, дополнительно содержащий следующие этапы: импорт электронной информации, ассоциированной с указанным заказом на фотомаску; и преобразование указанной электронной информации в данные заказа на фотомаску, для создания указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
89. Способ по п.88, в котором указанная электронная информация содержит частичный заказ в файле 8ЕМ1 Р-10.
90. Способ по п.88, в котором указанная электронная информация содержит полный заказ в файле 8ЕМ1 Р-10.
91. Способ по п.88, в котором указанная электронная информация содержит частичный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.
92. Способ по п.88, в котором указанная электронная информация содержит полный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.
93. Система генерирования заказа на фотомаску, содержащая считываемый компьютером носитель информации, содержащий инструкции, выполняемые процессором, для выполнения следующих этапов:

импортирование электронной информации, ассоциированной с указанным заказом на фотомаску; преобразование указанной электронной информации в данные заказа на фотомаску для создания по меньшей мере одного шаблона или заказа; и генерирование указанного заказа на фотомаску на основе указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
94. Система по п.93, в которой указанная электронная информация содержит частичный заказ в файле 8ЕМ1 Р-10.
95. Система по п.93, в которой указанная электронная информация содержит полный заказ в файле 8ЕМ1 Р-10.
96. Система по п.93, в которой указанная электронная информация содержит частичный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.
97. Система по п.93, в которой указанная электронная информация содержит полный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.
98. Система генерирования заказа на фотомаску, содержащая считываемый компьютером носитель информации, содержащий инструкции, выполняемые процессором, для выполнения следующих этапов:

прием по меньшей мере одной команды сценария;

выполнение указанной по меньшей мере одной команды сценария для создания или модификации по меньшей мере одного шаблона или заказа и генерирование указанного заказа на фотомаску на основе указанного по меньшей мере одного заказа или шаблона.
99. Система по п.98, в которой указанный считываемый компьютером носитель информации дополнительно содержит инструкции, предназначенные для выполнения этапа выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария для создания одного или нескольких новых заказов.
100. Система по п.98, в которой указанный считываемый компьютером носитель информации дополнительно содержит инструкции, предназначенные для выполнения этапа выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария для создания одного или больше заказов из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
101. Система по п.98, в которой указанный носитель информации, считываемый компьютером, дополнительно содержит инструкции для выполнения этапа выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария для добавления новых компонентов или подкомпонентов в указанный по меньшей мере один шаблон или заказ.
102. Система по п.98, в которой указанный считываемый компьютером носитель информации дополнительно содержит инструкции для выполнения этапа выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария для создания файлов 8ЕМ1 Р-10 из указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.

- 24 008878
103. Система по п.98, в которой указанный считываемый компьютером носитель информации дополнительно содержит инструкции для выполнения этапа выполнения указанной по меньшей мере одной команды сценария, для выполнения пакетного редактирования множества заказов и шаблонов одновременно.
104. Система по п.98, в которой указанная по меньшей мере одна команда сценария содержит вызов одной или больше функций, записанных в системной библиотеке.
105. Система по п.98, в которой указанный считываемый компьютером носитель информации дополнительно содержит инструкции для выполнения следующих этапов:

импорт электронной информации, ассоциированной с указанным заказом на фотомаску; и преобразование указанной электронной информации в данные заказа на фотомаску для создания указанного по меньшей мере одного шаблона или заказа.
106. Система по п.105, в которой указанная электронная информация содержит частичный заказ в файле 8ΕΜΙ Р-10.
107. Система по п.105, в которой указанная электронная информация содержит полный заказ в файле 8ΕΜΙ Р-10.
108. Система по п.105, в которой указанная электронная информация содержит частичный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.
109. Система по п.105, в которой указанная электронная информация содержит полный шаблон или заказ в стандартном или частном формате.