WO2001064966A1 - Alliage supermagnetostrictif et procede d'elaboration - Google Patents

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Tomoyuki Kakeshita
Takashi Fukuda
Tetsuya Takeuchi
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Japan Science And Technology Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to a magnetic alloy capable of expressing a large magnetostriction utilizing phase transformation, that is, a giant magnetostrictive alloy and a method for producing the same.
  • Functional materials that can generate movement (strain) and force (stress) as members are called actuators and are widely used in electronic equipment, medical equipment, and various manufacturing equipment.
  • Materials include piezoelectric, magnetostrictive, and shape memory materials.
  • a magnetostrictive material a rare earth alloy Tb 0. 3 Dy 0. 7 F e force S is attracting attention (Journal of Alloys and Compounds, vol.258 , 1997), it has been Shohini ⁇ (trade name Terfenol_D). Its maximum magnetostriction is 0.17%.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-2696911 discloses an alloy having a magnetostriction of 0.15 to 0.2% rapidly solidified in a Fe Pt, Fe / Pd system. Have been. Also, it is known that Ni 2 M nG a is a shape memory alloy whose crystal state changes by a magnetic field or an electric field and whose operation time can be shortened (Industrial Materials Vol. 4 5. No. 1 2, January 1997, January, 1997, P108-: 111, JP-A-10-259438) 1) This alloy is mechanically brittle and has poor workability. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-1705043 discloses that Fe is 25 to 30 at?
  • Tokiohei 1 1 _ 50 9 3 6 No. 8 discloses that a magnetic field having a direction and magnitude suitable for rearrangement of a twin structure of a substance is applied to a substance having a twin structure to generate a shape change and a movement and / or a force of the substance.
  • a method for controlling the reorientation of the twin structure of a substance having a twin structure to be generated is disclosed.
  • the present inventors focused on Fe 3-xP t ⁇ + ⁇ (-0.02 ⁇ x ⁇ 0.2) by focusing on the structural phase transformation of the alloy, and performed 0.3% by performing an ordering treatment to devise heat treatment conditions. As mentioned above, it succeeded in obtaining a magnetostriction of 0.5% or more.
  • the present invention is a giant magnetostrictive alloy in which the ordering ratio of Fe 3 -xP t ⁇ + ⁇ - ⁇ .02 ⁇ 0.2 is heat-treated to 0.6 to 0.95. If X is less than -0.02 or more than 0.2, the FCC-FCT martensitic transformation does not occur even with regularization. X is more preferably 0.0 ⁇ 0.1.
  • the present invention is characterized in that, after homogenizing and annealing the Fe 3-xPt ⁇ + ⁇ . (-0.02 ⁇ x ⁇ 0.2) alloy material, heat treatment is performed at 700 to 1001: 0.5 to 600 hours. This is a method for producing the giant magnetostrictive alloy described above.
  • the alloy of the present invention exhibits an extremely large strain amount of 0.5% or more in a weak magnetic field of about 4 T.
  • the magnetostriction amount ⁇ 1 1 is of the order of 10-6.
  • the magnetic domain crystallographic domain (variant) is the same, to form a single magnetic domain, This is probably because the axes are also crystallographically aligned.
  • the alloy of the present invention can be easily manufactured into a single crystal, a polycrystalline bulk, a thin plate (including a roll), a line or a thin film, and has good workability.
  • the crystallographic domains (variants) and the magnetic domains have almost the same size, and a shape memory alloy aligned in the direction of the magnetic field can be obtained.
  • FIG. 1 is a graph showing the phase transformation as a function of the ordering processing time.
  • FIG. 2 is a graph showing the relationship between the applied magnetic field and the magnetostriction of the Fe 3 Pt single crystal of Example 1.
  • FIG. 3 is a graph showing the temperature dependence of the magnetic susceptibility of the Fe 3 Pt single crystal of Example 1.
  • FIG. 4 is a diagram showing X-ray profiles of the FePt single crystal of Example 1 at 77K and 100K.
  • FIG. 5 is a graph showing the temperature dependence of the coefficient of thermal expansion of the Fe 3 Pt single crystal of Example 1.
  • F e 3 - X P t ⁇ + ⁇ (- 0.02 ⁇ x ⁇ 0.2) alloy material is a single crystal production method, it is possible to ⁇ method is prepared in the sputtering method or the like.
  • the material is homogenized and annealed at about 1200 to 1700K, the material is cut into a predetermined shape, and the solution is treated at about 1200 to 1700K to remove distortion during cutting.
  • the material is sealed in a quartz tube and heated in a vacuum or Ar gas atmosphere to prevent oxidation 700 ⁇ : 1000K, preferably 800K ⁇ 900K, 0.5 ⁇ 600 hours, preferably 1 hour ⁇ 96 hours .
  • the speed of raising the temperature to the ordering temperature and lowering the temperature from the ordering temperature does not matter.
  • the cooling may be air-cooled or water-cooled (for example, into 20 ° C water).
  • the temperature X time is adjusted so that the desired ordering ratio is obtained when the ordering ratio S is between 0.6 and 0.95. ⁇
  • a method in which the substrate is heated to 700 to 1000 K to deposit iron and platinum is also possible.
  • the ordering rate can be detected by X-ray analysis because the material becomes a tetragonal FCT by ordering processing from the cubic FCC of the material.
  • Figure 1 shows a phase transformation diagram as a function of the regularization time when the regularization process is performed at 923K. This indicates that the value changes depending on the regularization processing time.
  • the FCT region at the lower right of FIG. 1 corresponds to the alloy of the present invention having an ordering ratio of 0.6 to 0.95.
  • Example 1 A single crystal Balta alloy of Fes Pt was produced by the floating zone method by the following method.
  • Magnetostriction measurement Thermal expansion and magnetostriction were measured by measuring the change in distance between two planes by capacitance measurement.
  • capacitance measurement a three-terminal capacitance measurement method was used. In the case of a single crystal, the measurement was performed in the form of a 2 mm cubic dice with 0.01 set to the direction of the magnetic field.
  • FIG. 2 shows the measurement results. 1, 2, 3 in order from 0 T to 4 T, 4 to 0, From 0 to ⁇ 4, and then to OT (Line type: solid line, dash-dot line, dotted line order)
  • the magnetic field ( ⁇ ) was changed.
  • F e3 P t single crystal of the present invention shows the magnetostriction amount of 5 X 1 0- 3. This is equivalent to three times the conventional example.
  • Figure 3 shows the temperature dependence of the susceptibility
  • Figure 4 shows the X-ray profiles at 77K and 100K. From this, the number of domains and the amount of magnetostriction can be calculated and match the results.
  • FIG. 5 is a graph showing the temperature dependence of the coefficient of thermal expansion, showing a shape change of 5 ⁇ 10_3, and three variants are introduced.
  • a Fes Pt polycrystalline bulk plate-like alloy was manufactured by the following method by the following method.
  • the magnetostriction was 3 ⁇ 1 CI— 3 .
  • a Fe 3 Pt polycrystalline alloy film was produced by a sputtering method according to the following method.
  • Sputtering A film formed by sputtering iron and platinum on a quartz substrate in a 3: 1 ratio by using an alloy with the composition of Fe 3 Pt as a target using a magnetron sputtering device. was peeled off from the substrate to obtain a 0.013 mm thick Fe 3 Pt alloy film.
  • the magnetostrictive alloy of the present invention has an extremely large strain of 0.3% or more, particularly 0.5% or more. Also, it has good workability and can be used for plate, foil, and wire. It is a material and process that can be made even with a thin film by sputtering.

Description

明 細 書 超磁歪合金およびその製造方法 技術分野
本発明は、 相変態を利用して大きな磁歪を発現出来る磁性合金、 すなわち超磁 歪合金およびその製造方法に関する。 背景技術
部材として移動 (歪) と力 (応力) を発生できる機能材料は、 ァクチユエータ と呼ばれ、 電子機器、 医療機器、 各種製造装置に多用されている。 材料として、 圧電 ·磁歪 ·形状記憶材料等がある。 磁歪材料として、 希土類合金 Tb0.3Dy0.7 F e力 S注目され (Journal of Alloys and Compounds, vol.258, 1997) 、 商品ィ匕 (商品名 Terfenol_D) されている。 その最大磁歪量は 0. 1 7%である。
また、 特開平 1 1— 2 6 9 6 1 1号公報には、 F eノ P t、 F e/P d系で急 冷凝固した磁歪量 0. 1 5〜0. 2%の合金が開示されている。 また、 N i 2 M nG aは、 磁場や電場で結晶状態が変化し、 作動時間が高速化できる形状記憶合 金であることが知られている (工業材料 V o l . 4 5. No. 1 2, 1 9 9 7年 1 1月号、 P 1 08〜: 1 1 1、 特開平 1 0— 2 5 94 38号公報) 1) この合金 は、 機械的に脆く加工性が悪い。 さらに、 特開昭 6 2- 1 7 04 5 3号公報には、 F eに 25〜30 a t ? tを含有させたものからなる原子の配列が不規則な 加工性のよい形状記憶合金が記載されている。 さらに、 特表平 1 1 _ 50 9 3 6 8号公報には、 双晶構造を有する物質にその物質の双晶構造の再配列に適した方 向及ぴ大きさの磁場を作用させ、 その物質の形状変化及び運動及ぴ 又は力を発 生させる双晶構造を有する物質の双晶構造の再配向を制御する方法が開示されて いる。
(発明が解決しようとする課題)
電子機器の小型化、 医療器具や各種製造装置の高性能化に伴い、 加工性のよい 材料でより大きな移動量 (大きな歪量) を実現するァクチユエータが望まれてい る。 発明の開示
(課題を解決するための手段)
本発明者らは、 F e 3-xP t ι+χ(- 0.02≤x≤0.2)を合金の構造相変態に注目し、 熱処理条件を工夫する規則化処理を行うことによって、 0. 3%以上、 特に 0. 5 %以上の磁歪量を得ることに成功した。
すなわち、 本発明は、 F e 3 - xP t ί+χί-Ο.02≤χ≤0·2)を熱処理により規則化 率を 0. 6〜0. 95とした超磁歪合金である。 Xが- 0.02未満または 0.2を超える と規則化をさせても FCC— FCTマルテンサイト変態が起きない。 Xはより好ま しくは、 0.0≤χ≤0. 1である。
また、 本発明は、 F e 3-xP t ι+χ.(- 0.02≤x≤0.2)合金素材を均質化焼鈍した 後、 700〜10001:で0. 5〜600時間加熱処理することを特徴とする上 記の超磁歪合金の製造方法である。
規則化率 (S) は、 面心構造の F e3 P tでは、 結晶格子のコーナーに P t、 面心に F eが全て正しく配置された状態を完全に規則化された、 即ち規則化率 S = 1とすると、 この規則化率を 0. 6から 0. 95とすることで最大の磁歪量を 達成した。 この規則化率が 0. 6未満または 0. 95を超えると FCC— FCT マルテンサイト変態が起きない。
本発明の合金は、 4 T程度の弱い磁場で 0. 5%以上という極めて大きな歪み 量を発現している。 磁歪合金に関して、 磁区の中でスピンが揃うという今までの 考え方だけでは、 磁歪量 Δ 1 1は、 10— 6のオーダーである。 本発明の合金に おいて、 0. 5% (5 X 10— 3) の極めて大きな歪み量が得られる理由としては、 結晶学的ドメイン (バリアント) と磁区が同一となり、 単磁区を形成し、 結晶的 にも軸が揃うからであろうと考えられる。
本発明の合金は、 容易に単結晶、 多結晶バルク、 薄板状 (ロール状を含む) 、 線状や薄膜状に製造でき、 加工性が良い。 また、 結晶学的ドメイン (バリアン ト) と磁区とをほぼ同じ大きさとし、 磁場方向に揃えられた形状記憶合金を得る ことができる。 図面の簡単な説明
第 1図は、 規則化処理時間の関数としての相変態を示すグラフである。 第 2図 は、 実施例 1の F e3 P t単結晶の印加磁場と磁歪量の関係を示すグラフである。 第 3図は、 実施例 1の F e3 P t単結晶の帯磁率の温度依存性を示すグラフであ る。 第 4図は、 実施例 1の F ea P t単結晶の 77Kと 100Kでの X線プロフ アイルを示す図である。 第 5図は、 実施例 1の F e3 P t単結晶の熱膨張率の温 度依存性を示すグラフである。 発明を実施するための最良の形態
本発明において、 熱処理する前の F e3- XP t ι(- 0.02≤x≤0.2)合金素材は、 単結晶製造法、 铸造法、 スパッタリング法などで製造することができる。 素材を 約 1 200〜 1 700Kで均質化焼鈍し、 素材を所定の形状に切断し、 切断時の 歪みを除去するために約 1 200〜1 700Kで溶体化処理した後、 規則化処理 のために素材を石英管内に封入し、 酸化を防ぐために真空または A rガス雰囲気 として 700〜: 1000K、 好ましくは 800Kから 900Kで、 0. 5〜60 0時間、 好ましくは、 1時間から 96時間加熱する。
規則化処理温度までの昇温および規則化処理温度からの降温のスピードは問わ ない。 降温は空冷でも水冷 (例えば 20°Cの水中への投入) でもよい。 温度 X時 間は、 規則化率 Sが 0. 6から 0. 95の間で所望の規則化率が得られるように 調整する。 铸造法により得られた素材の場合は、 結晶の方向を合わせるために鍛 造または圧延することが望ましい。 また、 別の実施形態として、 基板を 700〜 1000Kに加熱し、 鉄 · 白金を蒸着する方法も可能である。
素材の立方晶 F C Cから規則化処理により正方晶の F C Tになるので、 規則化 率は、 X線分析で検知可能である。 図 1は、 923Kで規則化処理した場合の規 則化処理時間の関数としての相変態図であり、 BCT (—— ) と FCTマルテ ンサイト ( ) の Ms温度の変化およびツイードの形成開始温度が規則化処 理時間に依存して変化することを示している。 図 1の右下の FCT領域が規則化 率 0. 6から 0. 95の本発明合金に該当する。
実施例 1 以下の方法で、 F e s P tの単結晶バルタ合金をフローティングゾーン法で製 造した。
①溶解:鉄と白金を原子比で 3 : 1になるように、 それぞれ 2 6 g , 3 0 gをァ ーク溶解炉でアーク溶解した。
②単結晶化:四楕円鏡型浮遊帯域溶融装置を用いて、 フローティングゾーン法で 単結晶化し、 F e s P tの単結晶塊 5 6 gを得た。
③均質化焼鈍:電気炉を用いて、 F e 3 P tの単結晶塊の温度を 1 3 7 3 Kに維 持して、 2 4時間加熱し、 徐冷した。
④試料のカッティング:熱処理後の単結晶塊を 2 mm角の立方体に切断し、 ラウ ェ分析で結晶方位を確認し、 磁場方向が [ 0 0 1 ] 方向になるように結晶方向を 合わせた。
⑤石英管に封入:次に切断後の単結晶塊を直径 1 0 mm、 長さ 5 0 mmの大きさ の石英管に封入した。
⑥溶体化処理:カッティング時の歪を取るために、 石英管中を真空又は A rガス 雰囲気として単結晶塊を 1 3 7 3 Kに維持し、 1時間加熱し、 徐冷した。
⑦規則化処理:電気炉を用いて、 単結晶塊を 9 2 3 Kに維持し、 1 2時間加熱し た。
⑧冷却:加熱後空冷した。
磁歪量測定:熱膨張、 磁歪量の測定は、 二平面間の距離の変化を容量測定によ り検知した。 容量測定は、 三端子容量測定法を用いた。 単結晶の場合には、 2 m m立方のサイコロ状で、 0 0 1を磁界の方向に合わせて測定した。
測定結果を図 2に示す。 ①、 ②、 ③の順に 0 Tから 4 Tへ、 4丁から0丁へ、 0丁から—4丁へ、 更に OTへ (線の種類は、 実線、 一点鎖線、 点線の順序) 磁 場 (Τ) を変化させた。 図 2から分かるように、 本発明の F e3 P t単結晶は、 5 X 1 0— 3の磁歪量を示している。 これは、 従来例の 3倍に相当する。 図 3は、 帯磁率の温度依存性、 図 4は、 77Kと 1 00Kでの X線プロファイルを示す。 これから、 ドメインの数、 磁歪量の計算が出来、 結果と合う。 図 5は、 熱膨張率 の温度依存性を示すグラフであり、 5 X 1 0_3の形状変化を示し、 3つのバリア ントが導入されている。
実施例 2
以下の方法で、 F es P tの多結晶バルク板状合金を铸造法により製造した。 ①溶解:実施例 1と同様に溶解した溶湯を水冷銅るつぼの中で凝固させ大きさ 3 0 X 2 0 X 1 0ミ リメートルの F es P tの多結晶塊を得た。
②圧延:片ロール法により圧延し、 1ミリ厚の板状試料を作成した。
③均質化焼鈍:以降は、 実施例 1に同じ。
磁歪量は、 3 X 1 CI—3であった。
実施例 3
以下の方法で、 F e3 P tの多結晶合金膜をスパッターリング法により製造し た。
①スパッターリング: マグネトロンスパッタ装置を用いてターゲットとして F e 3 P tの組成の合金を用いることにより鉄と白金を 3 : 1になるように石英から なる基体の上にスパッターリングし、 堆積した膜を基体から剥がして厚さ 0. 0 01 mmの F e 3 P tの合金膜を得た
②均質化焼鈍:以降は、 実施例 1に同じ。 磁歪量は、 3 X 10— 3であった。 産業上の利用可能性
本発明の磁歪合金は、 0. 3%以上、 特に 0. 5%以上という極めて大きな歪 量を発現している。 また、 加工性が良く、 板材、 箔、 線材に出来る。 スパッター リングによる薄膜でも可能な材料、 プロセスである。

Claims

請 求 の 範 囲
1. F e 3- xP t ι+χ(- 0.02≤x≤0.2)を熱処理により規則化率を 0. 6〜0. 9 5とした超磁歪合金。
2. F e 3 - xP t ι+χ(-0.02≤χ≤0.2)素材を均質化焼鈍した後、 700〜100 01:で0. 5〜600時間加熱処理することを特徴とする請求の範囲第 1項記載 の超磁歪合金の製造方法。
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