WO2000062285A2 - Lasereinrichtung zur emission und kollimation eines laserstrahls - Google Patents

Lasereinrichtung zur emission und kollimation eines laserstrahls Download PDF

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WO2000062285A2
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Peter Gattinger
Werner Späth
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Infineon Technologies Ag
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    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1365—Separate or integrated refractive elements, e.g. wave plates

Definitions

  • the invention relates to a laser device for emitting and collimating a laser beam with a laser light source and a lens arranged in front of the laser light source in the emission direction.
  • the invention further relates to a method for producing the laser device.
  • Optical or magneto-optical (MO) storage systems are increasingly being used for the storage of data, in which the information stored on a storage disk such as a CD-ROM or an MO storage disk can be read out by a focused laser beam.
  • a storage disk such as a CD-ROM or an MO storage disk
  • the information can be written into a magnetic storage layer in a known manner by the action of a laser beam of relatively high intensity and a recording magnetic field and can be read out from one and the same laser beam source on the basis of the Kerr effect by means of a laser beam of relatively low intensity .
  • Such magneto-optical storage systems require, in particular, laser devices for the emission and collimation of a laser beam.
  • Such a laser device is known from US 4,855,987 A.
  • the known laser device has a laser diode, on the housing of which a flange is formed. With the help of the flange, the laser diode is held by a holder made of aluminum or stainless steel.
  • the holder also carries a collimation lens arranged in front of the laser diode in the emission direction. Both biconvex and plano-convex lenses are proposed for the design of the collimation lens.
  • a disadvantage of the known laser device is the large diameter of the collimated beam generated by the laser device. This is because optical components arranged downstream of the laser device must have a correspondingly large diameter for the collimated beam.
  • the read / write modules produced with the known laser device therefore have a high mass and are therefore unsuitable for magneto-optical memory systems designed for high write / read speeds.
  • the object of the invention is to provide a laser device which can be used for magneto-optical storage systems and with which a collimated laser beam with a small beam cross section and high power density can be generated.
  • Another object of the invention is to provide a method for producing such a laser device.
  • the laser device according to the invention is also suitable for high write / read speeds in that the laser beam generated by the laser device has a high energy density. This is because lenses with an extremely small focal length can also be used for the laser device according to the invention. Such lenses are generally very difficult to adjust. With the laser device according to the invention, however, it is also possible to adjust and fix such lenses with high accuracy with respect to the laser light source. Due to the high numerical aperture, a large solid angle of the light emanating from the laser light source is detected by the lens and bundled to form the laser beam, so that a laser beam with high energy density results.
  • Another advantage of the laser device according to the invention is that the diffraction-related spot size in the focus on a storage disk can be kept small. Because of the small beam cross-section, lens optics with a high numerical aperture can also be selected. The diffraction-related spot size in a downstream focus of the laser beam is correspondingly small.
  • the laser device for emitting and collimating a laser beam is preferably formed by arranging at least one first carrier on which a laser diode is mounted, and in the emission direction in front of the first carrier the lens is fastened directly or by means of a fastening element to the base plate .
  • a collimation lens in the form of a spherical cap is the lens which, with its flat surface, is attached to a carrier plate, in particular, a transparent carrier plate such as a glass plate is fastened, which in turn is fastened on its surface facing away from the collimation lens with the flat surface of a stop element connected to the carrier.
  • the lens preferably consists of a material with a high refractive index, such as a semiconductor material, for example GaP, GaN or a ternary or quaternary semiconductor from the III-V group for the red spectral range and SiC for the blue spectral range .
  • a semiconductor material for example GaP, GaN or a ternary or quaternary semiconductor from the III-V group for the red spectral range and SiC for the blue spectral range .
  • circularization optics for the circularization of the far field of the laser beam are arranged on the base plate.
  • This circularization optics can, for example, contain a glass plate on which transparent lenses made of a plastic such as a polymer are applied on both sides. It can also contain an anamorphic prism, which can be used to circularize the elliptical far field of the laser.
  • an injection molded plastic part is provided as a receiving device for downstream optical components, in which inclined receiving surfaces and corresponding insertion openings for the polarizers and the beam splitter and optionally prisms are formed.
  • an electrical preamplifier is additionally arranged on the base plate in the immediate vicinity of the photodiodes in order to make the signal evaluation as interference-proof as possible. If necessary, preamplifiers and photodetectors can be integrated as a monolith. Further advantageous refinements are the subject of the dependent claims.
  • Fig.l is a schematic representation of an embodiment of a read / write module according to the invention.
  • FIGS. 2A and B show a side view and a front view of a laser device according to the invention, which can be used in a read / write module according to the invention;
  • 3A and B show a top view and a side view of a receiving device for the beam splitter and the mirror arranged on the read / write module;
  • 4A and B are a front view and a side view of the laser device during assembly.
  • Fig.l an embodiment of a read / write module 10 for magneto-optical near-field storage is shown schematically.
  • a laser device 20 to be described is used to generate and bundle a laser beam 100 which is guided in a direction parallel to the surface of the base plate 18.
  • the laser beam 100 should preferably have the shortest possible wavelength, so that the laser diode is preferably made of GaN-based semiconductor material is constructed for the blue spectral range.
  • the laser beam 100 is parallelized by suitable collimation optics of the laser device 20, the aim being to obtain the smallest possible beam diameter.
  • the laser beam 100 is split up by means of a beam splitter 13, one part being deflected in the direction of a monitor photodiode 17A and the other part being passed in the direction of a magneto-optical storage disk 50.
  • the monitor photodiode 17A serves to monitor the intensity of the polished beam generated by the laser device 20.
  • a focusing optic 14 which has, for example, an objective and a SIL, is used for focusing on the storage disk 50.
  • the short name SIL stands for "Solid Immersion Lens", which consists of a hemisphere made of glass or a high-index material and between the lens and the storage plate 50 with a distance of about 100 nm between the flat cutting surface of the hemisphere and the surface of the Storage disk is guided over this. Since the light impinging strongly on this surface of the SIL on this surface cannot escape from the SIL due to total reflection, only an evanescent wave is used to read out the information present on the storage disk 50.
  • a coil 15 When information is written onto the disk 50, a coil 15 is activated to generate a magnetic recording field.
  • the beam splitter 13 also serves to direct the light reflected from the storage plate 50 in the direction of the photodetectors 17B to 17D used for signal evaluation.
  • the photodetector 17B measures the intensity of the laser beam reflected from the disk 50.
  • the photodetector 17B can be used to determine whether the focus of the laser beam is on a track on the storage disk 50.
  • the photodetectors 17C and 17D serve to detect the intensity of reflected light with a certain polarization.
  • a preamplifier 16, to which the signals from the photodiodes 17B to 17D are fed, is likewise integrated on the base plate 18.
  • a receiving device 40 for receiving and holding the beam splitter 13, and of partially transparent mirrors 15A-D.
  • FIGS. 2A, B show an exemplary embodiment of the laser device 20.
  • a first carrier 26 is attached to the base plate 18, which can also consist of silicon, for example.
  • the laser diode 21 is mounted in an electrically conductive manner on a heat-dissipating second carrier 27 made of A1N.
  • the laser diode 21 can also be attached directly to the carrier 26. Bonding wires are guided to the first carrier 26 from the electrical connections located on the upper side of the laser diode 21 and the second carrier 27.
  • a collimation lens 22 is attached at such a distance from the laser diode 21 that the center of the laser diode 21 coincides with the center of the spherical surface of the collimation lens 22.
  • the collimation lens 22 is glued or soldered or anodically bonded to a glass plate 23.
  • glass support carriers 24 are mounted, bonded on the long sides, onto which a roof element 25 formed by a glass block is placed.
  • the support beam 24 and the roof element 25 together form on the emission-side front side, as shown, a protruding stop surface to which the glass plate 23 can be attached.
  • the collimation lens is replaced by a converging lens.
  • the converging lens is followed by further lenses which, together with the converging lens, generate a collin ered laser beam.
  • the base plate 18 and the components 23-27 thus hold the laser diode 21 and the collimation lens 22 in a tight relationship and at a very small distance from one another.
  • Binary semiconductor materials such as GaN, GaP and SiC or ternary and quaternary semiconductor materials are particularly suitable for the collimation lens 22.
  • Such collimation lenses 22 have focal lengths between 0.5 and 1.5 mm.
  • the numerical apparatus of the collimation lenses 22 is in the range between 0.4 and 0.6.
  • the materials used are preferably either glass or silicon, since both materials have a low coefficient of thermal expansion.
  • the technique of anodic bonding can advantageously be used.
  • the laser diode is mounted without the usual TO housing. This has a very space-saving effect.
  • a housing is likewise formed by the stop element formed by the support beam 24 and the roof element 25, the support plate 23 and the collimation lens 22.
  • the support beams 24 and the roof element 25 are arranged in a housing-like arrangement around the laser diode 21 and the second beam 27 and on the emission side the gerplatte 23 and the collimation lens 22 formed a suitable conclusion, so that adequate dust protection is guaranteed.
  • an all-round enclosure can be provided in that a suitable termination is also arranged on the back of the laser device 10, which only has to be provided with lead-through openings for the bonding wires.
  • the stop element consisting of two elements in the exemplary embodiment described can also be formed in one piece.
  • an inverted U-shaped element can be used, which is placed with the legs pointing downwards either on the base plate 18 or on the carrier 26, in each case the crossbar of the U-shaped element being located above the laser diode 21 and the legs lie on both sides of the laser diode 21.
  • the collimation lens 22 is attached directly to the stop element formed by the roof element 25 and the support beams 24 without using a carrier plate 23.
  • the collimation lens 22 can be attached to the base plate 18 at the bottom either directly or by means of the second carrier 27.
  • the lower attachment to the base plate 18 can also be omitted, so that the collimation lens 22 is only attached to the stop element.
  • suitable circularization optics 30 are arranged on the read / write module 10, with which the astigmatism in the far field of the semiconductor laser 21 can be corrected.
  • This circular optics 30 can be, for example, a cylindrical telescopic lens, which consists of a glass plate, on which transparent lenses made of plastic, such as, on both sides a polymer are applied. The glass plate is mounted upright on the base plate 18, for example glued, soldered or anodically bonded. Alternatively, an anamorphic prism known per se in the prior art can also be used as the circularization optics 30.
  • the optical element used for the purpose of circularization is mounted on the base plate 18 such that its optical axis runs parallel to the surface of the base plate 18 and coincides with the axis of the incident laser beam 100.
  • FIGS. 3A, 3B show a recording device 40 by means of which the beam splitter 13 and the mirrors 15A-D arranged above the planar photodetectors 17A-D are held.
  • FIG. 3a shows a plan view corresponding to FIG. 1 of the pick-up device 40.
  • the laser beam 100 coming from the laser device 20 in the direction of an arrow 41 is partially directed by the beam splitter 13 to the mirror 15A.
  • Another part of the laser beam 100 is let through by the beam splitter 13 in the direction of an arrow 42 to the storage plate 50.
  • the laser beam 100 reflected back from the storage plate 50 in accordance with the arrow 43 is again split by the beam splitter 13.
  • Part of the beam 100 is directed to the partially transparent mirror 15B, which in turn directs a part of the laser beam 100 down to the photodetector 17B.
  • the semitransparent mirror 15B is followed by two further semitransparent mirrors 15C and 15D, which, taking into account the Brewster angle, are oriented such that light with a specific direction of polarization is directed downwards to the photodetectors 17C and 17D arranged under the receiving device 40.
  • both the beam splitter 13 and the mirrors 17A to 17D are glass plates with a partially transparent coating.
  • a recess 44 is provided in the receiving device 40 with a lateral opening 45 through which Beam splitter 13 can be inserted into its intended place in the receiving device 40.
  • recesses 46 are provided with openings 47, through which the mirrors 15A to 15D can be pushed into the receiving device 40.
  • the receiving device 40 is expediently a plastic injection molded part.
  • the beam splitter 13 and the mirrors 15A to 15D are inserted into the receiving device 40.
  • the recording device 40 is then placed on the base plate 18 and moved until a maximum signal to the photodetector 17A to 17D results when the laser device 20 is switched on. Then the receiving device 40 is fixed on the base plate 18 by gluing or bonding.
  • FIG. 4A shows a front view of the laser device 20 along the optical axis.
  • the glass plate 23 and the collimation lens 22 are indicated by dashed lines.
  • the first carrier 26 on which the support carriers 24 are already fastened can be seen in FIG. 4A.
  • the roof element 25 is still freely movable on the support beams 24.
  • the roof element 25 is a glass block which is coated with a solder toward the support beams 24 and the glass plate 23.
  • the roof element 25 can be moved with the help of adjusting jaws 60 in the direction of the optical axis.
  • the optical axis will be referred to as the Z axis in accordance with the coordinate system shown in FIG. 4B.
  • Horizontal optical fibers 61 and vertical optical fibers 62 are also assigned to the adjusting jaws 60.
  • the collimation lens 22 is held together with the glass plate 23 by a lens holder 63 which can be moved in the spatial direction transverse to the optical axis.
  • the adjusting jaws 60 and the lens holder 63 are shifted until the outlet opening of the laser diode 21 is at the focal point of the optical system formed by the glass plate 23 and the collimation lens 22.
  • a light pulse generated by a power laser is then coupled into the roof element 25 by the horizontal optical fiber 61, so that the solder between the roof element 25 and the glass plate 23 is melted briefly. After the solder has cooled, a firm connection is formed between the glass plate 23 and the roof element 25.
  • a light pulse emitted by a power laser is coupled into the roof element 25 by the vertical optical fibers 62, so that the solder layer between the roof element 25 and the support beams 24 is melted. After cooling the solder layer between the roof element 25 and the support beams 24, the roof element 25 is fixed on the support beams 24.
  • the method for adjusting the collimation lens 22 described here makes it possible to produce laser devices 20 whose external dimensions are approximately 1 mm.
  • the distance between the outlet opening of the laser diode 21 and the glass plate 23 is between 0.1 and 0.5 mm.
  • the diameter of the collimated beam is less than 1 mm, in particular less than 0.6 mm.
  • a read / write module 10 equipped with the laser device 20 achieves spot sizes of up to 0.1 ⁇ m in the case of objective optics with a corresponding numerical aperture, which is sufficient for near-field storage systems.
  • the roof element 24 is transparent in the frequency range in which the spectrum of the power laser used has a maximum.
  • the heat-insulating properties are particularly important when the roof element 25 is to be soldered in two separate steps, first to the glass plate 23 and then to the support beams 24. In any case, one soldering process must not lead to the other soldering connection being impaired.
  • the dimensions and the material of the roof element 24 are therefore to be selected so that melting of one solder layer does not lead to softening of the other solder layer.
  • the photodiodes 17A, B which are planarly mounted on the read / write module 10 can also have a correspondingly small reception area and consequently have a low capacitance and high response speed. Due to the small size of the photodetectors and the other components, a very compact read / write module can be manufactured with which a small beam cross section and fast evaluation electronics can be realized.
  • the high energy density of the laser beam generated since the radiation generated by the laser diode 21 is captured by the collimation lens 22 at a wide angle.
  • a high energy density is, however, a further prerequisite for the use of the laser device 20 in read / write modules 10 for high read / write speeds.
  • the manufacture of the laser device 20 is made possible by the described soldering technique in combination with the use of materials with high mechanical strength and low thermal expansion. Because with the precise assembly technology of the laser device 20, a highly precise adjustment of lenses with high numerical equipment and a short focal length can be achieved.
  • the small beam cross-section also enables the use of small deflection mirrors and objective lenses on the read / write head, that is to say parts of relatively small mass, with which the access time of the read / write head can be shortened since less mass has to be accelerated.

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Abstract

Die Erfindung beschreibt ein Schreib-/Lesemodul (10) für optische Speichersysteme und eine insbesondere für ein derartiges Schreib-/Lesemodul (10) einsetzbare Lasereinrichtung (20). Das Schreib-/Lesemodul (10) weist eine Basisplatte (18) auf, auf welcher angeordnet sind: eine Lasereinrichtung (20) für die Emission und Kollimation eines Laserstrahls (100) in einer Richtung parallel zu der Oberfläche der Basisplatte (18); eine Aufnahmevorrichtung (40) für die Aufnahme eines Strahlteilers (13) und einer Anzahl von Polarisatoren (15A-D); und eine Anzahl Photodetektoren (17A-D), die unterhalb der Polarisatoren (15A-D) planar montiert sind. Die Kollimationslinse (22) wird mittels eines transparenten Befestigungselements (23) auf der Basisplatte (18) und/oder einem Zwischenträger (26) befestigt.

Description

Beschreibung
Lasereinrichtung zur Emission und Kollimation eines Laserstrahls
Die Erfindung betrifft eine Lasereinrichtung zur Emission und Kollimation eines Laserstrahls mit einer Laserlichtguelle und einer in Emissionsrichtung vor der Laserlichtquelle angeordneten Linse.
Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung der Lasereinrichtung.
Für die Speicherung von Daten werden in zunehmendem Maße op- tische oder magneto-optische (MO-) Speichersysteme eingesetzt, bei denen die auf einer Speicherplatte wie einer CD- ROM oder einer MO-Speicherplatte eingespeicherte Information durch einen fokussierten Laserstrahl ausgelesen werden kann. Bei magneto-optischen Speicherplatten kann in bekannter Weise die Information durch Einwirkung eines Laserstrahls relativ hoher Intensität und eines AufZeichnungsmagnetfelds in eine magnetische Speicherschicht eingeschrieben und durch einen Laserstrahl relativ niedriger Intensität aus ein- und derselben Laserstrahlguelle auf der Grundlage des Kerr-Effekts aus- gelesen werden. Für derartige magneto-optische Speichersysteme werden insbesondere Lasereinrichtungen zur Emission und Kollimation eines Laserstrahls benötigt.
Aus der US 4,855,987 A ist eine derartige Lasereinrichtung bekannt. Die bekannte Lasereinrichtung weist eine Laserdiode auf, an deren Gehäuse ein Flansch ausgebildet ist. Mit Hilfe des Flansches ist die Laserdiode von einem Halter aus Aluminium oder Edelstahl gehalten. Der Halter trägt auch eine in Emissionsrichtung vor der Laserdiode angeordnete Kollimati- onslinse. Für die Ausgestaltung der Kollimationslinse werden sowohl bikonvexe als auch plankonvexe Linsen vorgeschlagen. Ein Nachteil der bekannten Lasereinrichtung ist der große Durchmesser des von der Lasereinrichtung erzeugten kolli ier- ten Strahls. Denn der Lasereinrichtung nachgeordnete optische Komponenten müssen den Durchmesser des kollimierten Strahls entsprechend groß ausgeführt werden. Die mit der bekannten Lasereinrichtung hergestellten Lese-/Schreibmodule weisen daher eine hohe Masse auf und sind aus diesem Grund ungeeignet für auf hohe Schreib-/Lesegeschwindigkeit ausgelegte magneto- optische Speichersysteme.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine für magneto-optische Speichersysteme einsetzbare Lasereinrichtung anzugeben, mit der ein kollimierter Laserstrahl mit kleinem Strahlquerschnitt und hoher Leistungsdichte erzeugt werden kann.
Weiter ist es Aufgabe der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Lasereinrichtung anzugeben.
Diese Aufgaben werden durch eine Lasereinrichtung mit den
Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 17 gelöst.
Die Verwendung eines wärmeisolierenden, transparenten Materi- als für das Befestigungsmittel, an dem die Linse angebracht ist, gestattet die Linse unmittelbar vor der Laserlichtquelle anzubringen. Denn durch Einkoppeln von gerichteter Strahlung hoher Leistung in das Befestigungselement lassen sich innerhalb kurzer Zeit dauerhafte Lötverbindungen mit an das Befe- stigungsmittel angrenzenden Bauteilen herstellen. Demnach ist es möglich, die Linse zunächst vor der Laserlichtquelle so zu justieren, daß der Brennpunkt der Linse auf der Austrittsöffnung der Laserlichtquelle zu liegen kommt, und dann die Lage der Linse bezüglich der Laserlichtquelle durch einen Lötpro- zeß zu fixieren. Aufgrund des geringen Abstands zwischen der Linse und der Laserlichtquelle kann ein kollimierter Strahl mit kleinem Strahlquerschnitt erzeugt werden. Folglich können nachgeordnete optische Komponenten kleingehalten werden und es ergeben sich Schreib-/Lesemodule kleiner Bauform, die auch für magneto-optische Speichersysteme geeignet sind, die auf hohe Schreib-/Lesegeschwindigkeit ausgelegt sind.
Die Laservorrichtung gemäß der Erfindung eignet sich auch insofern für hohe Schreib-/Lesegeschwindigkeiten, als der von der Lasereinrichtung erzeugte Laserstrahl eine hohe Energiedichte aufweist. Denn für die Lasereinrichtung gemäß der Er- findung können auch Linsen mit äußerst kleiner Brennweite verwendet werden. Derartige Linsen sind im allgemeinen sehr schwer zu justieren. Mit der Lasereinrichtung gemäß der Erfindung ist es jedoch möglich, auch derartige Linsen mit hoher Genauigkeit bezüglich der Laserlichtquelle zu justieren und zu fixieren. Aufgrund der hohen numerischen Aperatur wird ein großer Raumwinkel des von der Laserlichtquelle ausgehenden Lichts von der Linse erfaßt und zum Laserstrahl gebündelt, so daß sich ein Laserstrahl hoher Energiedichte ergibt.
Ein weitere Vorteil des Laservorrichtung gemäß der Erfindung ist, daß die beugungsbedingte Spotgröße im Fokus auf eine Speicherplatte klein gehalten werden kann. Denn aufgrund des kleinen Strahlquerschnitts kann auch eine Objektivoptik mit hoher numerischer Aperatur gewählt werden. Dementsprechend gering ist die beugungsbedingte Spotgröße in einem nachgeord- neten Fokus des Laserstrahls .
Vorzugsweise wird die Lasereinrichtung zur Emission und Kollimation eines Laserstrahls dadurch gebildet, daß auf einer Basisplatte mindestens ein erster Träger angeordnet ist, auf welchem eine Laserdiode montiert ist, und in Emissionsrichtung vor dem ersten Träger die Linse direkt oder vermittels eines Befestigungselements auf der Basisplatte befestigt ist.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Lasereinrichtung eine Kollimationslinse in der Form einer Kugelkalotte ist die Linse, die mit ihrer ebenen Oberfläche an einer Trägerplatte, insbesondere einer transparenten Trägerplatte wie einer Glasplatte befestigt ist, die ihrerseits auf ihrer der Kollimationslinse abgewandten Oberfläche mit der ebenen Fläche eines mit dem Träger verbundenen Anschlagelements befestigt ist.
Um eine sehr geringe Brennweite zu erzielen, besteht die Linse vorzugsweise aus einem Material mit hohem Brechungsindex wie einem Halbleitermaterial, beispielsweise GaP, GaN oder ein ternärer bzw. quaternärer Halbleiter aus der III-V-Gruppe für den roten Spektralbereich und SiC für den blauen Spektralbereich.
In einer bevorzugten Ausführungsform eines mit der Laserein- richtung ausgestatteten Schreib-/Lesemodul ist auf der Basisplatte eine Zirkularisierungsoptik für die Zirkularisierung des Fernfelds des Laserstrahls angeordnet. Diese Zirkularisa- tionsoptik kann zum Beispiel eine Glasplatte enthalten, auf die auf beiden Seiten transparente Linsen aus einem Kunst- Stoff wie einem Polymer aufgebracht sind. Sie kann auch ein anamorphotisches Prisma enthalten, mit dem das elliptische Fernfeld des Lasers zirkularisiert werden kann.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist ein Kunst- stoff-Spritzgußteil als Aufnahmeeinrichtung für nachgeordnete optische Komponente vorgesehen, in welchem schräggestellte Aufnahmeflächen und entsprechende Einschuböffnungen für die Polarisatoren und den Strahlteiler und gegebenenfalls Prismen ausgeformt sind.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist auf der Basisplatte zusätzlich ein elektrischer Vorverstärker in unmittelbarer Nähe der Photodioden angeordnet, um die Signalauswertung möglichst störsicher zu gestalten. Gegebenenfalls können dabei Vorverstärker und Photodetektoren integriert als Monolith hergestellt werden. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
In der nachfolgenden Beschreibung werden Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen im einzelnen erläutert. Es zeigen:
Fig.l eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Schreib-/Lesemoduls;
Fig.2A und B eine Seitenansicht und eine Vorderansicht einer erfindungsgemäßen Lasereinrichtung, die in einem erfindungsgemäßen Schreib-/Lesemodul einsetzbar ist;
Fig.3A und B eine Draufsicht und eine Seitenansicht auf eine auf dem Schreib-/Lesemodul angeordnete Auf- nahmevorrichtung für den Strahlteiler und der Spiegel; und
Fig.4A und B eine Vorderansicht und eine Seitenansicht der Lasereinrichtung während der Montage.
In Fig.l ist zunächst ein Ausführungsbeispiel eines Schreib- /Lesemoduls 10 für magneto-optische Nahfeldspeicherung schematisch dargestellt.
Auf einem Träger 19 ist eine beispielsweise aus Silizium oder Glas bestehende Basisplatte 18 aufgeklebt, auf welcher die einzelnen optischen, elektronischen und optoelektronischen Komponenten integriert sind. Eine noch zu beschreibende Lasereinrichtung 20 dient der Erzeugung und Bündelung eines in einer Richtung parallel zur Oberfläche der Basisplatte 18 ge- führten Laserstrahls 100. Der Laserstrahl 100 soll vorzugsweise eine möglichst kurze Wellenlänge aufweisen, so daß die Laserdiode vorzugsweise aus Halbleitermaterial auf GaN-Basis für den blauen Spektralbereich aufgebaut ist. Der Laserstrahl 100 wird von einer geeigneten Kollimationsoptik der Lasereinrichtung 20 parallelisiert, wobei es ein Ziel ist, einen möglichst kleinen Strahldurchmesser zu erhalten. Nach Durchgang durch eine noch zu beschreibende Zirkularisationsoptik 30 wird der Laserstrahl 100 mittels eines Strahlteilers 13 aufgespalten, wobei ein Teil in Richtung auf eine Monitor- Photodiode 17A abgelenkt wird und der übrige Teil in Richtung auf eine magnetooptische Speicherplatte 50 durchgelassen wird. Die Monitor-Photodiode 17A dient dazu die Intensität des von der Lasereinrichtung 20 erzeugten polimierten Strahls zu überwachen.
Für die Fokussierung auf die Speicherplatte 50 dient eine Fo- kussieroptik 14, die zum Beispiel ein Objektiv und eine SIL aufweist. Die Kurzbezeichnung SIL steht dabei für "Solid Immersion Lens", die aus einer Halbkugel aus Glas oder einem hochbrechenden Material besteht und zwischen dem Objektiv und der Speicherplatte 50 mit einem Abstand von etwa 100 nm zwi- sehen der ebenen Schnittfläche der Halbkugel und der Oberfläche der Speicherplatte über diese geführt wird. Da das in stark gebündelter Form auf diese Fläche der SIL auftreffende Licht aufgrund von Totalreflexion nicht aus der SIL entweichen kann, wird hierbei lediglich eine evaneszente Welle zum Auslesen der auf der Speicherplatte 50 vorhandenen Information ausgenutzt.
Beim Einschreiben von Information auf die Speicherplatte 50 wird eine Spule 15 zur Erzeugung eines Aufzeichnungsmagnet- felds aktiviert. Der Strahlteiler 13 dient ebenso dazu, das von der Speicherplatte 50 reflektierte Licht in Richtung auf die der SignalausWertung dienenden Photodetektoren 17B bis 17D zu richten. Der Photodetektor 17B mißt die Intensität des von der Speicherplatte 50 reflektierten Laserstrahls. Mit Hilfe des Photodetektors 17B kann festgestellt werden, ob sich der Fokus des Laserstrahls auf einer Spur der Speicherplatte 50 befindet. Die Photodetektoren 17C und 17D dienen dazu, die Intensität von reflektiertem Licht mit einer bestimmten Polarisation zu detektieren. Auf der Basisplatte 18 ist ebenfalls ein Vorverstärker 16 integriert, dem die Signale der Photodioden 17B bis 17D zugeführt werden.
Die Funktionsweise der magneto-optischen Speicherung und Wiedergabe von Informationen mittels Laserstrahlen, Polarisatoren und Detektoren ist im wesentlichen Stand der Technik und soll hier nicht näher erörtert werden.
Auf der Basisplatte 18 ist schließlich eine noch zu beschreibende Aufnahmevorrichtung 40 für die Aufnahme und Halterung des Strahlteilers 13, und von teildurchlässigen Spiegeln 15A- D angeordnet.
In den Figuren 2A, B ist ein Ausführungsbeispiel der Lasereinrichtung 20 dargestellt. In dieser ist auf der Basisplatte 18 ein erster Träger 26 befestigt, der beispielsweise ebenfalls aus Silizium bestehen kann. Auf diesem ist die La- serdiode 21 auf einem wärmeableitenden zweiten Träger 27 aus A1N elektrisch leitend montiert. Die Laserdiode 21 kann jedoch auch direkt auf dem Träger 26 befestigt sein. Von den auf der Oberseite der Laserdiode 21 und des zweiten Trägers 27 befindlichen elektrischen Anschlüssen sind Bonddrähte zu dem ersten Träger 26 geführt. Eine Kollimationslinse 22 ist in einem derartigen Abstand von der Laserdiode 21 befestigt, daß das Zentrum der Laserdiode 21 mit dem Mittelpunkt der sphärischen Oberfläche der Kollimationslinse 22 zusammenfällt. Um diesen Abstand herzustellen, ist die Kollimations- linse 22 auf eine Glasplatte 23 aufgeklebt oder gelötet oder anodisch gebondet . Auf den ersten Träger 26 sind auf den Längsseiten gläserne Stützträger 24 montiert, gebondet, auf die ein von einem Glasblock gebildetes Dachelement 25 aufgesetzt ist. Der Stützträger 24 und das Dachelement 25 bilden zusammen auf der emissionsseitigen Vorderseite eine - wie dargestellt - überstehende Anschlagfläche, an der die Glasplatte 23 befestigt werden kann. Bei einem abgewandelten nicht dargestellten Ausführungsbei- spiel ist die Kollimationslinse durch eine Sammellinse ersetzt. Der Sammellinse sind weitere Linsen nachgeordnet, die zusammen mit der Sammellinse einen kollin erten Laserstrahl erzeugen.
Durch die Basisplatte 18 und die Bauteile 23-27 werden somit die Laserdiode 21 und die Kollimationslinse 22 in einer fe- sten Beziehung und in einem sehr kleinen Abstand voneinander gehalten. Dadurch wird es möglich, eine Kollimationslinse 22 mit sehr kleinem Radius und sehr hohem Brechungsindex einzusetzen, die demzufolge eine sehr kleine Brennweite aufweist.
Insbesondere eignet sich für die Kollimationslinse 22 binäre Halbleitermaterialien wie GaN, GaP und SiC oder ternäre und quaternäre Halbleitermaterialien. Derartige Kollimationslin- sen 22 weisen Brennweiten zwischen 0,5 und 1,5 mm auf. Die numerische Apparatur der Kollimationslinsen 22 liegt im Be- reich zwischen 0,4 und 0,6.
Die verwendeten Materialien sind vorzugsweise entweder Glas oder Silizium, da beide Materialien einen niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen. Beim Verbinden von Glas mit Silizium kann in vorteilhafter Weise die Technik des anodischen Bondens eingesetzt werden.
In der beschriebenen Lasereinrichtung 20 wird die Laserdiode ohne das sonst übliche TO-Gehäuse montiert. Dies wirkt sich sehr platzsparend aus. Bei der erfindungsgemäßen Lasereinrichtung 20 wird andererseits durch das von dem Stützträger 24 und dem Dachelement 25 gebildete Anschlagelement, die Trägerplatte 23 und die Kollimationslinse 22 ebenfalls ein Gehäuse gebildet. Wie insbesondere in Fig.2B zu sehen ist, sind die Stützträger 24 und das Dachelement 25 in einer gehäuseartigen Anordnung um die Laserdiode 21 und den zweiten Träger 27 angeordnet und auf der Emissionsseite wird durch die Trä- gerplatte 23 und die Kollimationslinse 22 ein geeigneter Abschluß gebildet, so daß ein ausreichender Staubschutz gewährleistet ist. Gewünschtenfalls kann eine allseitige Umschließung dadurch vorgesehen werden, daß auch auf der Rückseite der Lasereinrichtung 10 noch ein geeigneter Abschluß angeordnet wird, der lediglich mit Durchführungsöffnungen für die Bonddrähte versehen sein muß.
Das bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel aus zwei Ele- menten bestehende Anschlagelement kann auch einteilig geformt sein. Beispielsweise kann ein umgekehrtes U-förmiges Element verwendet werden, das mit nach unten weisenden Schenkeln entweder auf der Basisplatte 18 oder auf dem Träger 26 aufgesetzt ist, wobei in jedem Fall der Querbalken des U-förmigen Elements sich oberhalb der Laserdiode 21 befindet und die Schenkel zu beiden Seiten der Laserdiode 21 liegen.
Ferner gibt es verschiedene und zu dem beschriebenen Ausfüh- rungsbeispiel alternative Möglichkeiten, wie die Kollimati- onslinse 22 befestigt werden kann. Zum einen kann vorgesehen sein, daß die Kollimationslinse 22 ohne Verwendung einer Trägerplatte 23 direkt an dem von dem Dachelement 25 und den Stützträgem 24 gebildete Anschlagelement befestigt wird. Unabhängig von der Verwendung der Trägerplatte 23 kann die Kol- limationslinse 22 unten entweder direkt oder vermittels des zweiten Trägers 27 an der Basisplatte 18 befestigt sein. Prinzipiell kann die untere Befestigung an die Basisplatte 18 auch entfallen, so daß die Kollimationslinse 22 nur an dem Anschlagelement befestigt ist.
Weiterhin ist - wie bereits angedeutet - auf dem Schreib- /Lesemodul 10 eine geeignete Zirkularisationsoptik 30 angeordnet, mit welcher der Astigmatismus im Fernfeld des Halbleiterlasers 21 korrigiert werden kann. Diese Zirkularisati- onsoptik 30 kann beispielsweise eine zylindrische Teleskoplinse sein, die aus einer Glasplatte besteht, auf die auf beiden Seiten transparente Linsen aus einem Kunststoff wie einem Polymer aufgebracht sind. Die Glasplatte wird hochkant auf der Basisplatte 18 montiert, also beispielsweise geklebt, gelötet oder anodisch gebondet. Als Zirkularisationsoptik 30 kann alternativ auch ein an sich im Stand der Technik bekann- tes anamorphotisches Prisma verwendet werden. In jedem Fall wird das zu dem Zweck der Zirkularisierung verwendete optische Element derart auf der Basisplatte 18 montiert, daß seine optische Achse parallel zur Oberfläche der Basisplatte 18 verläuft und mit der Achse des einfallenden Laserstrahls 100 zusammenfällt.
In den Figuren 3A, 3B ist eine Aufnahmevorrichtung 40 dargestellt, durch die der Strahlteiler 13 und die über den planar angeordneten Photodetektoren 17A-D angeordneten Spiegel 15A-D gehalten werden. Figur 3a zeigt eine Figur 1 entsprechende Draufsicht auf die Aufnähmevorrichtung 40. Der in Richtung eines Pfeils 41 von der Lasereinrichtung 20 her kommende Laserstrahl 100 wird vom Strahlteiler 13 teilweise zum Spiegel 15A gelenkt. Ein anderer Teil des Laserstrahls 100 wird vom Strahlteiler 13 in Richtung eines Pfeils 42 zur Speicherplatte 50 hindurchgelassen. Der entsprechend dem Pfeil 43 von der Speicherplatte 50 zurückreflektierte Laserstrahl 100 wird erneut vom Strahlteiler 13 geteilt. Ein Teil des Strahls 100 wird zum teildurchlässigen Spiegel 15B gelenkt, der seiner- seits ein Teil des Laserstrahls 100 nach unten zum Photodetektor 17B lenkt. Dem teildurchlässigen Spiegel 15B sind zwei weitere teildurchlässige Spiegel 15C und 15D nachgeordnet, die unter Berücksichtigung des Brewsterwinkel so ausgerichtet sind, daß jeweils Licht mit einer bestimmten Polarisations- richtung nach unten zu der unter der Aufnahmevorrichtung 40 angeordneten Photodetektoren 17C und 17D gelenkt wird.
Es sei angemerkt, daß es sich sowohl bei dem Strahlteiler 13 als auch bei den Spiegeln 17A bis 17D um Glasplättchen mit einer teildurchlässigen Beschichtung handelt. Für den Strahlteiler 13 ist in der Aufnahmevorrichtung 40 eine Ausnehmung 44 mit einer seitlichen Öffnung 45 vorgesehen, durch die Strahlteiler 13 in seinen vorgesehenen Platz in der Aufnahmevorrichtung 40 eingeschoben werden kann. Entsprechend sind Ausnehmungen 46 mit Öffnungen 47 vorgesehen, durch die die Spiegel 15A bis 15D in die Aufnahmevorrichtung 40 eingescho- ben werden können.
Bei der Aufnahmevorrichtung 40 handelt es sich zweckmäßigerweise um ein Kunststoff-Spritzgußteil . Bei der Fertigung des Schreib-/Lesemoduls 10 wird der Strahlteiler 13 und die Spie- gel 15A bis 15D in die Aufnahmevorrichtung 40 eingeschoben.
Die Aufnahmevorrichtung 40 wird daraufhin auf die Basisplatte 18 aufgesetzt und solange verschoben, bis sich bei eingeschalteter Lasereinrichtung 20 ein maximales Signal an den Photodetektor 17A bis 17D ergibt. Anschließend wird die Auf- nahmevorrichtung 40 auf der Basisplatte 18 durch Kleben oder Bonden fixiert.
Die Fertigung der Lasereinrichtung 20 selbst soll nun anhand der Figuren 4A und 4B beschrieben werden. Figur 4A zeigt eine Vorderansicht der Lasereinrichtung 20 entlang der optischen Achse. Die Glasplatte 23 und die Kollimationslinse 22 sind durch gestrichelte Linien angedeutet. Außerdem ist in Figur 4A der erste Träger 26 zu erkennen, auf dem bereits die Stützträger 24 befestigt sind. Auf den Stützträgern 24 ist das Dachelement 25 noch frei bewegbar. Bei dem Dachelement 25 handelt es sich um einen Glasblock, der zu den Stützträgern 24 und der Glasplatte 23 hin mit einem Lot beschichtet ist. Das Dachelement 25 kann mit der Hilfe von Justierbacken 60 in Richtung der optischen Achse verschoben werden. Die optische Achse soll nachfolgend entsprechend dem in Figur 4B dargestellten Koordinatensystem kurz als Z-Achse bezeichnet werden.
Den Justierbacken 60 sind ferner horizontale Lichtleitfasern 61 und vertikale Lichtleitfasern 62 zugeordnet. Wie Figur 4B zu entnehmen ist, ist die Kollimationslinse 22 zusammen mit der Glasplatte 23 von einem Linsenhalter 63 gehalten, der in Raumrichtung quer zur optischen Achse bewegbar ist.
Zur Justage der Lasereinrichtung 20 werden die Justierbacken 60 und der Linsenhalter 63 solange verschoben, bis die Austrittsöffnung der Laserdiode 21 im Brennpunkt des von der Glasplatte 23 und der Kollimationslinse 22 gebildeten opti- sehen Systems liegt. Anschließend wird durch die horizontale Lichtleitfaser 61 ein von einem Leistungslaser erzeugter Lichtpuls in das Dachelement 25 eingekoppelt, so daß das Lot zwischen dem Dachelement 25 und der Glasplatte 23 kurzzeitig aufgeschmolzen wird. Nach dem Abkühlen des Lots entsteht eine feste Verbindung zwischen der Glasplatte 23 und dem Dachelement 25. In gleicher Weise wird durch die vertikalen Lichtleitfasern 62 ein von einem Leistungslaser abgegebener Lichtpuls in das Dachelement 25 eingekoppelt, so daß die Lotschicht zwischen dem Dachelement 25 und den Stützträgern 24 aufgeschmolzen wird. Nach dem Abkühlen der Lotschicht zwischen dem Dachelement 25 und den Stützträgem 24 ist das Dachelement 25 auf den Stützträgern 24 fixiert.
Durch das hier beschriebene Verfahren zur Justierung der Kol- limationslinse 22 lassen sich Lasereinrichtungen 20 herstellen, deren Außenabmessungen etwa 1 mm betragen. Insbesondere liegt der Abstand zwischen der Austrittsöffnung der Laserdiode 21 und der Glasplatte 23 zwischen 0,1 und 0,5 mm. Der Durchmesser des kollimierten Strahls beträgt weniger als 1 mm insbesondere weniger 0,6 mm. Ein mit der Lasereinrichtung 20 ausgestattetes Schreib-/Lesemodul 10 erreicht bei einer Objektivoptik mit entsprechender numerischer Apertur Spotgrößen bis zu 0,1 μm, was für Nahfeld-Speichersysteme ausreichend ist.
Wesentlich für die Anwendung des Herstellungsverfahrens ist, daß das Dachelement 24 in dem Frequenzbereich transparent ist, in dem das Spektrum des verwendeten Leistungslasers ein Maximum aufweist. Die wärmeisolierenden Eigenschaften sind insbesondere dann von Bedeutung, wenn das Dachelement 25 in zwei getrennten Schritten zunächst mit der Glasplatte 23 und dann mit den Stützträgern 24 verlötet werden soll. Auf jeden Fall darf der eine Lötprozeß nicht dazu führen, daß die andere Lötverbindung beeinträchtigt wird. Die Abmessungen und das Material des Dachelements 24 sind daher so zu wählen, daß ein Aufschmelzen der einen Lotschicht nicht zu einem Erweichen der anderen Lotschicht führt.
Dadurch daß mit der erfindungsgemäßen Lasereinrichtung 20 ein sehr geringer Strahlquerschnitt realisiert werden kann, können auch die auf dem Schreib-/Lesemodul 10 planar montierten Photodioden 17A, B eine entsprechend kleine Empfangsfläche aufweisen und eine demzufolge niedrige Kapazität und hohe Ansprechgeschwindigkeit aufweisen. Durch die geringe Baugröße der Photodetektoren und der anderen Komponenten kann somit ein sehr kompaktes Schreib-/Lesemodul hergestellt werden, mit dem ein geringer Strahlquerschnitt und eine schnelle Auswerteelektronik realisiert werden kann.
Hervorzuheben ist ferner die hohe Energiedichte des erzeugten Laserstrahls, da die von der Laserdiode 21 erzeugte Strahlung weitwinklig von der Kollimationslinse 22 erfaßt wird. Eine hohe Energiedichte ist aber eine weitere Voraussetzung für die Verwendung der Lasereinrichtung 20 in Schreib-/ Lesemodulen 10 für hohe Lese-/ Schreibgeschwindigkeiten.
Die Herstellung der Lasereinrichtung 20 wird durch die beschriebene Löttechnik in Kombination mit der Verwendung von Materialien hoher mechanischer Festigkeit und geringer Wärmeausdehnung ermöglicht. Denn mit der präzisen Montagetechnik der Lasereinrichtung 20 ist eine hochgenaue Justage von Lin- sen mit hoher numerischer Apparatur und kurzer Brennweite erreichbar. Der geringe Strahlquerschnitt ermöglicht außerdem die Verwendung von kleinen Umlenkspiegeln und Objektivlinsen am Schreib-/Lesekopf , also Teilen relativ geringer Masse, mit denen sich die Zugriffszeit des Schreib-/Lesekopfs verkürzen läßt, da weniger Masse beschleunigt werden muß.
Bei der Herstellung können auch wie bei der IC-Herstellung mehrere Schreib-/Leseköpfe in Chipform auf einem Wafer prozessiert und nach erfolgter Fertigung der Wafer in die ein- zelnen Chips zertrennt werden.

Claims

Patentansprüche
1. Lasereinrichtung (20) zur Emission und Kollimation eines
Laserstrahls (100) , mit - einer Laserdiode (21) für die Emission des Laserstrahls (100), und
- mindestens einer Linse (22) für die Kollimation des Laserstrahls (100),
- wobei auf einer Basisplatte (18) mindestens ein erster Träger (26) angeordnet ist, auf welchem die Laserdiode
(21) mittelbar oder unmittelbar befestigt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- in E issionsrichtung vor dem ersten Träger (26) die Kollimationslinse (22) vermittels mindestens eines transpa- renten Befestigungselements (23) auf der Basisplatte (18) und/oder dem Träger (26) befestigt ist.
2. Lasereinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß - die Kollimationslinse (22) eine der Laserdiode (21) zugewandte ebene Oberfläche aufweist, die an einer Trägerplatte (23), insbesondere einer Glasplatte, befestigt ist,
- die ihrerseits auf ihrer der Kollimationslinse (22) ab- gewandten Oberfläche mit der ebenen Fläche eines mit dem
Träger (26) verbundenen Anschlagelements (24, 25) befestigt ist.
3. Lasereinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- das Anschlagelement (24, 25) zwei längsseitig der Laserdiode (21) auf dem ersten Träger (26) angeordnete und die Laserdiode (21) in der Höhe überragende Stützelemente (25) und ein auf den Stützelementen (25) aufgesetztes Dachelement (24) aufweisen, so daß das Anschlagelement
(24, 25), die Trägerplatte (23) und die Kollimationslin- se (22) eine gehäuseartige Anordnung für die Laserdiode (21) bilden.
4. Lasereinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß - das Anschlagelement ein im wesentlichen U-förmiges Element ist, welches mit nach unten gerichteten Schenkeln auf dem Basisteil (18) oder dem ersten Träger (26) befestigt ist.
5. Lasereinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- die Kollimationslinse (22) aus einem Material mit einem Brechungsindex n > 2 hergestellt ist, vorzugsweise einem Halbleitermaterial wie den binären Halbleitern GaN, GaP, SiC, oder ternären und quaternären Halbleitermateralien besteht .
6. Lasereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lasereinrichtung einen zweiten, als Wärmesenke dienenden Träger (28) aufweist, auf welchem die Laserdiode (21) befestigt ist und der seinerseits auf dem ersten Träger (26) befestigt ist.
7. Lasereinrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- die Basisplatte (18) aus Silizium besteht.
8. Schreib-/Lesemodul für optische SpeieherSysteme, dadurch gekennzeichnet, daß es eine Lasereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 enthält.
9. Schreib-/Lesemodul für optische Speichersysteme, dadurch gekennzeichnet , daß es eine Basisplatte (18) aufweist, auf welcher angeordnet sind:
- die Lasereinrichtung (20) für die Emission und Kollima- tion eines Laserstrahls (100) in einer Richtung parallel zu der Oberfläche der Basisplatte (18) ;
- eine Zirkularisationsoptik (30) für die Zirkularisierung des Fernfelds des Laserstrahls;
- eine Aufnahmevorrichtung (40) für die Aufnahme eines Strahlteilers (13) und einer Anzahl von Polarisatoren
(15A-D) und/oder Prismen und/oder Spiegeln; und
- eine Anzahl Photodetektoren (17A-D) , die unterhalb der Polarisatoren (15A-D) und/oder Prismen und/oder Spiegeln planar montiert sind.
10. Schreib- /Lesemodul nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- die Zirkularisationsoptik (30) eine Glasplatte enthält, auf die auf beiden Seiten transparente Linsen aus einem Kunststoff wie einem Polymer aufgebracht sind.
11. Schreib- /Lesemodul nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- die Zirkularisationsoptik (30) ein anamorphotisches Prisma enthält.
12. Schreib- /Lesemodul nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- die Aufnahmevorrichtung (40) ein Kunststoff- Spritzgußteil ist, in welchem schräggestellte Aufnahmeflächen und entsprechende Einschuböffnungen für die Polarisatoren (15A-D) und/oder Prismen und/oder Spiegel und den Strahlteuer (13) geformt sind.
13. Schreib-/Lesemodul nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß auf der Basisplatte (18) ein Vorverstärker (16) angeordnet ist.
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