WO2000032343A1 - Appareil de gravure par etincelage - Google Patents

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WO2000032343A1
WO2000032343A1 PCT/JP1999/006744 JP9906744W WO0032343A1 WO 2000032343 A1 WO2000032343 A1 WO 2000032343A1 JP 9906744 W JP9906744 W JP 9906744W WO 0032343 A1 WO0032343 A1 WO 0032343A1
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WO
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quill
tile
tool electrode
electric discharge
workpiece
Prior art date
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PCT/JP1999/006744
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English (en)
French (fr)
Inventor
Sadao Sano
Akio Hosaka
Original Assignee
Sodick Co., Ltd.
Khs Co., Ltd.
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Publication date
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Priority to CA002311765A priority patent/CA2311765C/en
Priority to DE69931651T priority patent/DE69931651T2/de
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Priority to HK01104820A priority patent/HK1034219A1/xx

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/26Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/26Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
    • B23H7/30Moving electrode in the feed direction

Definitions

  • the present invention is directed to an electric discharge machining apparatus for forming a hole of a desired shape in a work piece by vertically sending the tool electrode toward the work piece while repeatedly generating a discharge between the tool electrode and the conductive work piece.
  • the present invention relates to an electric discharge machine equipped with a balance device for balancing gravity acting on a vertically movable tile.
  • EDM machines are widely used to precisely machine hard conductive workpieces into molds and dies.
  • the work piece is fixed to a table placed in the work tank, and the copper and graphite tool electrodes are mounted on a vertically movable quill using a suitable electrode mounting device.
  • the processing tank is filled with a dielectric liquid such as kerosene, and the tool electrode is positioned very close to the workpiece.
  • the gap between the tool electrode and the piece is called a gap, and its size is several / xm to several tens / zm.
  • the controlled off-time begins. By stopping the application of the power pulse during this off-time, the insulating properties of the dielectric liquid in the gap are restored.
  • the electric discharge machine usually controls the on time and the off time within 1 / X sec to several tens of msec and repeatedly applies a power pulse to the gap.
  • the EDM lowers the tool electrode towards the workpiece along the -Z axis to maintain a constant gap.
  • the tool electrode removes traces of material from the workpiece without contacting the workpiece, resulting in a surface with good roughness. In the shape, a depression that is complementary to the tool electrode in the shape is accurately formed in the workpiece.
  • Such an electric discharge machining device is called a sinker EDM (Sinker EDM) to distinguish it from a wire EDM (Wire EDM) using a traveling wire electrode.
  • the "flushing" action which creates a flow of dielectric liquid through the gap to flush debris removed from the workpiece from the gap, is important to electrical discharge machining. The flushing action prevents unwanted secondary discharges between the debris removed from the workpiece and the tool electrode and contributes to a reliable insulation recovery during off-time.
  • the skilled worker Prior to processing, the skilled worker forms holes at the tool electrode and at appropriate locations in the workpiece to feed fresh dielectric fluid into the gap or draw dirty dielectric fluid from the gap.
  • the operator arranges an injection device for spraying the dielectric liquid toward the gap at an appropriate position. Flushing is the key to a faster and more accurate EDM, but it requires skill to create a uniform flow across the entire gap.
  • a process known as "jumping" is known in which the tool electrode is periodically raised and lowered rapidly along the Z-axis to drive most of the dirty dielectric liquid in the gap out of the recess in the workpiece. . Conventionally, during a jump operation, the tool electrode moves at a speed of several hundred mmZmin.
  • An object of the present invention is to act on a tile by following a vertically movable tile with high acceleration. It is an object of the present invention to provide an electric discharge machine equipped with a balance device for balancing the changing gravity.
  • an electric discharge machining apparatus for machining a work piece by vertically moving a tool electrode toward a work piece while generating an electric discharge between the work piece and the tool electrode.
  • An electrode mounting device mounted on the lower end of the quill for mounting the tool electrode, and at least two linear motor movers mounted on the quill symmetrically about the center axis of the tile;
  • the balancing device comprises an air cylinder arranged coaxially with the tile. More preferably, the quill has a vertically extending hole at its center, and the air cylinder is located in the hole.
  • FIG. 1 is a side view illustrating a first embodiment of the electric discharge machining apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view illustrating the electric discharge machine of FIG. ——.
  • FIG. 3 is an air circuit diagram illustrating the FIG. 1 balance device.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the brake device of FIG.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the brake device of FIG.
  • FIG. 6 is a side view illustrating a second embodiment of the electric discharge machine according to the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view illustrating the electric discharge machine of FIG.
  • FIG. 8 is a side view illustrating a third embodiment of the electric discharge machine according to the present invention.
  • FIG. 9 is a perspective view illustrating the electric discharge machine of FIG.
  • FIG. 10 is an air circuit diagram illustrating the balance device of FIG. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • a tool electrode (not shown) for mounting a tool electrode (not shown) is fixed to the lower end of the quinole 41 and is arranged coaxially with the quill 41.
  • the quadrangular prism-shaped quill 41 has a vertically extending cylindrical hole at its center.
  • the quill 41 can be moved with high acceleration in the vertical direction along the Z axis by two linear motors.
  • the linear motor mover comprises a permanent magnet 44 and a magnet plate 43 force
  • the linear motor stator comprises a yoke 31 and an armature coil 32.
  • the magnet plate 43 on which the row of permanent magnets 44 is arranged is fixed symmetrically with respect to the central axis of the quill 41 to each of the opposing parallel side walls of the quill 41.
  • Each of the permanent magnets 44 is attached to the magnet plate 43 with a slight inclination from the horizontal direction in order to reduce torque pulsation.
  • Column 1 of the EDM is placed on a bed (not shown), and frame 2 is attached to column 1.
  • the yoke 31 on which the armature coil 32 is wound is fixed to the frame 2 so as to face the one row of permanent magnets 44.
  • the gap between the mover and stator is maintained at the same size so that the center of thrust generated on the opposing sides of Quinole 41 coincides with the central axis of Quill 41.
  • Coolant line 3 3 is formed in the yoke 31.
  • the thrust generated between the stator and the moving member moves the tile 41 in the vertical direction.
  • Stoppers 45 and 46 that limit the movement of the quill 41 are provided at the upper and lower ends of the quill 41, respectively. Stoppers 45 and 46 include an elastic member that absorbs an impact when they strike frame 2.
  • the quill 41 is guided by a guide device comprising a guide roller 52 and a pair of linear motion roller bearings 51.
  • the guide rail 52 is provided on the side of the quill 41 where no mover is provided, and a pair of linear motion roller bearings 51 are provided on the frame 2 and engage with the guide rails 52.
  • the balance device 6, which balances the gravity acting on the quill 41, which can move vertically with an acceleration of 1 G or more, comprises an air cylinder 60 and an air supply device 61.
  • the air cylinder 60 includes a cylinder 62 arranged coaxially with the quinole 41 in the hole of the quill 41, a piston 8 slidable on the inner wall of the cylinder, and a piston 8 connected at one end to the piston 6 3. Mouth 6 and 4 included.
  • the flange portion of the cylinder 62 is firmly fixed to the upper end of the quill 41 by bolts.
  • the biston opening 6 4 is supported on the bracket 7 at the other end.
  • the bracket 7 includes a top plate 71 to which the other end of the piston port 64 is fixed, and a side wall 72 that supports the top plate 71.
  • the side wall 72 is fixed to the frame 2. Since the cylinder 62 is provided immediately adjacent to the quill 41, the air cylinder 60 can follow the movement of the quill 41 with high responsiveness.
  • the air supply device 61 will be described in detail with reference to FIG.
  • a supply port 66 for supplying or discharging air to an upper chamber 68 formed in the cylinder 62 above the piston 63 is formed in the cylinder 62.
  • the amount of air in the upper chamber 68 is controlled according to the position of the quill 41 so that the air pressure in the upper chamber 68 is maintained at a predetermined value.
  • the lower chamber 69 formed in the cylinder 62 below the piston 63 is open to the atmosphere via the silencer 7-.
  • the air supply device 61 controls the air cylinder 60 by maintaining the pressure of the compressed air supplied from an air source 6 18 such as a compressor at a set value
  • the air supply device 61 includes a filter 611, which removes dust and dust from the compressed air, a filter 61, which further removes small oil mistakes from the compressed air, and an air regulator for adjusting the compressed air to a predetermined pressure. 6 1 and 3 are included.
  • the air supply device 61 further includes a high-reliability regulator that maintains the air pressure in the upper chamber 68 at a set value by supplying air to the upper chamber 68 or discharging air from the upper chamber 68 at a high speed. 6 14 is included.
  • the high-pressure fair regulator 6 14 is a large-capacity air regulator equipped with a large-capacity relief valve.
  • the high relief air regulator 614 opens the relief valve to supply the air in the upper chamber 168 from the supply port 66. Discharge at high speed.
  • the high relief air regulator 614 supplies compressed air from the supply port 66 to the upper chamber 168 with the relief valve closed. Supply at high speed.
  • the air pressure in the upper chamber 68 is such that the balance force that balances the gravity acting on the quill 41 is generated mainly by the mass of the quill 41, the linear motor mover, the electrode mounting device 42, and the tool electrode. Is set.
  • the set value can be easily changed by a knob (not shown) of the high-resolution relay 6 14.
  • the air pressure is set, for example, in the range of 2.5-6 kg / cm 2 depending on the weight of the tool electrode mounted on the machine.
  • the air pressure scale is preferably associated with the weight of the tool electrode so that the operator can easily set the air pressure.
  • the balance device 6 reduces the output of the linear motor, the heat generation of the linear motor is suppressed, and the linear motor mover is reduced in weight.
  • the light weight of the entire moving body contributes to moving the moving body at high acceleration. Since the cylinder 62 and the quinole 41 are coaxially arranged, the line of action of the balance force generated in the air cylinder 60 coincides with the central axis of the quill 41. The line of action of the balance force is centered on the thrust of the linear motor. Also matches. Therefore, the bending moment does not act on the quill 41 and the air cylinder 60, and the straightness of the movement of the quill 41 is ensured.
  • a brake device 8 is provided on the flange portion 65 to prevent the tool electrode from unexpectedly descending and colliding with the workpiece.
  • the push member 83 opens the pair of levers 84 by compressed air supplied from the port 82 into the brake device 8.
  • the pair of brake shoes 86 integrated with the lever 84 stakes the elastic force of the compression coil spring 85 to open the piston rod 64 penetrating the brake device 8.
  • the compressed air is sent from the air source 6 18 through the solenoid valve 81 to the brake device 8 as shown in FIG.
  • FIG. 5 the operation of the brake device 8 when a power failure occurs will be described below.
  • the reference letters EL and WP indicate the tool electrode and the workpiece, respectively.
  • the uninterruptible power supply 91 supplies power to the control device 6 15, the motor dryino 10 and the relay circuit 6 16 as soon as the power failure is detected.
  • the uninterruptible power supply 91 is always charged by the power supply 9.
  • the control device 615 sends a control signal for raising or stopping the quill 41 by a predetermined distance to the motor driver 10.
  • the control device 615 further sends a control signal for discharging the compressed air from the brake device 8 to the relay circuit 616 for the solenoid valve 81.
  • the solenoid valve 81 cuts off the flow of air between the air source 6 18 and the brake device 8 and discharges compressed air from the port 82 of the brake device 8.
  • the brake device 8 also operates when the pressure of the air supplied to the air cylinder 60 drops abnormally. An abnormal decrease in air pressure is detected by a pressure switch 6 17 ⁇ X 'provided between the air regulator 61 and the air cylinder 60. When receiving the detection signal from the pressure switch 6 17, the control device 6 15 issues a warning and operates the brake device 8 as in the case of a power failure.
  • FIGS. 6 and 7 a second embodiment of the electric discharge machine according to the present invention will be described. Elements similar to those in FIGS. 1, 2, 3, 4 and 5 are given the same reference numerals and their description is omitted.
  • the brake device 8 is fixed to the frame 2 between the column 1 and the quinole 41.
  • An axis 87 movable in a direction parallel to the biston rod 64 passes through the brake device 8.
  • the movable shaft 87 is guided by a bearing 88 inserted into a through hole of the frame 2.
  • the upper end of the movable shaft 87 is connected to the upper end of the quill 41 by a horizontally extending bridge plate 73.
  • the side wall 72 of the bracket 7 has an opening through which the bridge plate 73 passes. In this embodiment, the height of the machine head is reduced because the brake 2 device is not located above the tile 41.
  • FIGS. 7, 8 and 9 a third embodiment of the electric discharge machining apparatus according to the present invention will be described. Elements similar to those in FIG. 1, 2, 3, 4 and 5 are given the same reference numerals and their description is omitted.
  • each of the magnet plates 43 is fixed to the side wall of the quill 41 parallel to the vertical surface 1a of the coil 1.
  • the two linear motors are arranged such that the center of their thrust coincides with the central axis of the quill 41.
  • the flange portion 65 of the air cylinder 60 is firmly fixed to the frame 2 by bolts so that the cylinder 62 is disposed between the quill 41 and the column 1 in parallel with the quill 41.
  • the lower end of a support rod 74 extending coaxially with the quill 41 is fixed to the upper end of the tile 41.
  • the upper end of the piston rod 64 is connected to the upper end of the support port 74 by a horizontally extending bridge plate 73.
  • the air cylinder 60 and the brake device 8 are excluded from the moving body in this way.
  • air is supplied from a supply port 66 to a lower chamber 69 formed in a cylinder 62 below a piston 1 ⁇ ⁇ 3 3 or lower chamber 6 9. Exhausted from 9. Adjust the position of the nozzle 41 so that the air pressure in the lower chamber 69 is maintained at a predetermined value. Accordingly, the amount of air in the lower chamber 69 is controlled.
  • An upper chamber 68 formed in the cylinder 62 below the piston 63 is open to the atmosphere through a silencer 67.

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Description

明細書
放電加工装置 技術分野
本発明は、工具電極と導電性のワークピースの間に繰返し放電を発生ながら工具電 極をワークピースへ向けて垂直方向へ送ることによって所望の形状の穴をワークピ ース中に形作る放電加工装置に関する。特に、垂直方向へ移動可能なタイルに作用す る重力をつりあわせるバランス装置を備えた放電加工装置に関する。
背景技術
放電加工装置は、硬い導電性のワークピースをモールドやダイへ精密に加工するた めに広く使用されている。ワークピースは加工槽内に配置されたテーブルに固定され、 銅やグラフアイ トの工具電極は垂直方向へ移動可能なクィルに適当な電極取付装置 を用いて取り付けられる。加工槽は灯油のような誘電性液で満たされ、工具電極はヮ ークピースに非常に接近して位置決めされる。工具電極とヮ一クピースとの隙間はギ ヤップと呼ばれ、 そのサイズは、 数/ x mから数十/ z mである。 制御されたオンタイム の間パワーパルスを工具電極とワークピース間に印加することによって、ギヤップ中 の誘電性液の絶縁特性が破壊され放電が発生する。 この放電による熱のため、微量の ワークピース材料が蒸発するあるいは溶融して誘電性液に流される。放電の後にはク レータ状の微細な穴がワークピースの表面に残る。 オンタイムの終了とともに、制御 されたオフタイムが始まる。このオフタイムの間パワーパルスの印加を停止すること によって、 ギャップ中の誘電性液の絶縁特性が回復される。 放電加工装置は、 通常、 オンタイムとオフタイムを 1 /X s e c〜数十 m s e cの間で制御してパワーパルス を繰り返しギヤップに印加する。放電加工装置は工具電極をワークピースへ向 づて- Z軸に沿って降下させギヤップを一定のサイズに維持する。工具電極はワークピース に接触することなくワークピースから微量の材料を除去できるので、良好な粗さの面 をもつ、形状において工具電極に相捕的な窪みが精度よくワークピース中に形作られ る。 このような放電加工装置は、走行するワイヤ電極を使用するワイヤ E DM (W i r e E DM) と区別して、 シンカー E DM ( S i n k e r E DM) と呼ばれる。 ワークピースから除去された破片をギヤップから洗!/、流すためギヤップを経由す る誘電性液の流れを作り出す "フラッシング"動作が、 放電加工には重要である。 フ ラッシング動作は、ワークピースから除去された破片と工具電極との間に発生する望 ましくない 2次放電を防止しオフタイム中の確実な絶縁の回復に貢献する。熟練の作 業者は、加工前に、新鮮な誘電性液をギャップへ送り込んだり汚れた誘電性液をギヤ ップから吸引するための穴を工具電極やワークピース中の適当な位置に形成する。ェ 具電極のサイズや形状に因りそのような穴の形成が制限される場合、作業者は誘電性 液をギヤップへ向けて噴射する噴射装置を適当な位置に配置する。フラッシングは、 より速くより精度良く放電加工を行うための鍵であるけれども、ギヤップのすべてに わたって均一な流れを作り出すためには熟練が必要となる。工具電極を周期的に Z軸 に沿つて急速に上昇させ急速に下降させてギヤップ中の汚れた誘電性液のほとんど をワークピース中の窪みから追い出す、 "ジャンプ" と呼ばれる動作が知られている。 ジャンプ動作中、従来、工具電極は数百 mmZm i nの速度で移動する。 工具電極の 往復距離が大きければ、より多くの新鮮な液がギヤップへ流れ込みより多くの汚れた 液がギャップから排出される。少なくともワークピース中に形作られている窪みの深 さ以上に工具電極を上昇させることが望ましい。 しかしながら、ジャンプ動作中はヮ —クピースから材料の除去が行われないため、過度に頻繁なジャンプ動作は材料除去 速度を低下させてしまう。材料除去速度を低下させることなく大きレ、移動量のジヤン プ動作を行うために、 重力加速度 (1 G) を超える加速と減速、 高速度で、 工具電極 を移動させることが望ましい。 —— 一 一 発明の開示
本発明の目的は、高加速で垂直方向へ移動可能なタイルに追従して、タイルに作用 する重力をつりあわせるバランス装置が取り付けられた放電加工装置を提供するこ とである。
本発明の他の目的は、下端に電極取付装置が取り付けられたタイルを高加速で正確 に垂直方向へ移動させる放電加工装置を提供することである。
その他の本発明の目的は、 以下に続く説明の中に部分的に述べられ、 発明を実践 することにより、 当業者に部分的に明らかになるであろう。
上述の目的を達成するため、 ワークピースと工具電極との間に放電を発生させな がら工具電極をワークピースへ向けて垂直方向へ移動させることによってワークピ ―スを加工する本発明の放電加工装置は、
垂直方向へ移動可能なタイルと、
クィルの下端に取り付けられた、 工具電極を取り付ける電極取付装置と、 タイルの中心軸に関して対称にクイルに取り付けられた少なくとも 2つのリニア モータ移動子と、
2つの移動子のそれぞれに向い合う少なくとも 2つのリニアモータ固定子と、 バランス力の作用線がクイルの中心軸に一致するよう、クイルに作用する重力をつ りあわせるバランス装置とを含む。
好ましくは、 バランス装置は、 タイルと同軸に配置されたエアシリンダを含む。 さらに好ましくは、クイルはその中心に垂直方向に延びる穴を有し、エアシリンダ がその穴中に配置される。
図面の簡単な説明
F I G . 1は、本発明による放電加工装置の第 1の実施例をイラストする側面図で ある。
F I G . 2は、 F I G . 1の放電加工装置をイラストする斜視図である。——.一 F I G . 3は、 F I G . 1のバランス装置をイラストするエア回路図である。 F I G . 4は、 F I G . 1のブレーキ装置をイラストする横断面図である。 F I G. 5は、 F I G. 1のブレーキ装置をイラストする図である。
F I G. 6は、本発明による放電加工装置の第 2の実施例をィラストする側面図で ある。
F I G. 7は、 F I G. 6の放電加工装置をイラストする斜視図である。
F I G. 8は、本発明による放電加工装置の第 3の実施例をイラストする側面図で ある。
F I G. 9は、 F I G. 8の放電加工装置をイラストする斜視図である。
F I G. 10は、 F I G. 8のパランス装置をイラストするエア回路図である。 発明を実施するための最良な形態
F I G. 1、 2、 3、 4および 5を参照して、 本発明による放電加工装置の第 1の 実施例が述べられる。
F I G. 1中にイラストされているように、 工具電極 (イラストされていない) 取り付けられる電極取り付け装置 42は、クイノレ 41の下端に固定されクイル 4 1と 同軸に配置されている。四角柱形状のクイル 41は、垂直に延びる円筒状の穴をその 中心に有している。クイル 41は、 2つのリニアモータにより Z軸に沿って垂直方向 へ高加速で移動可能である。イラストされた実施例では、 リニアモータ移動子は永久 磁石 44と磁石板 43力 >ら成り、リ二モータ固定子はヨーク 3 1と電気子コイル 32 から成る。 1列の永久磁石 44が配置された磁石板 43は、クイル 41の中心軸に関 して対称にクイル 41の向い合う平行な側壁のそれぞれへ固定されている。永久磁石 44それぞれは、トルクの脈動を減少させるため水平方向からわずかに傾いて磁石板 43に貼り付けられている。 放電加工機のコラム 1がベッド (イラストされていな レ、)上に置かれ、枠体 2がコラム 1に取り付けられている。電気子コイル 32が卷か れたヨーク 3 1は、 1列の永久磁石 44に向い合うように枠体 2に固定されて A、る。— クイノレ 4 1の向い合う両側面で発生する推力の中心がクイル 4 1の中心軸に一致す るよう、移動子と固定子の隙間は同じサイズに維持されている。冷却液が通る管路 3 3がヨーク 3 1中に形成されている。電流がコイル 3 2に流されると、固定子と移動 子の間に発生する推力によって、 タイル 4 1が垂直方向へ移動する。 クイノレ 4 1の移 動の限界を定めるストツパ 4 5および 4 6力 クイル 4 1の上端および下端にそれぞ れ設けられている。 ストツパ 4 5および 4 6は、それらが枠体 2に衝突する際に衝撃 を吸収する弾性部材を含んでいる。 クイル 4 1は、ガイ ドレーノレ 5 2と一対のリニア モーションローラべァリング 5 1とから成る案内装置によって案内される。ガイドレ —ル 5 2は移動子が設けられていないクイル 4 1側面に設けられ、一対のリニアモー シヨンローラべァリング 5 1は枠体 2に設けられガイドレール 5 2に係合する。
1 G以上の加速度で垂直に移動可能なクイル 4 1に作用する重力のつりあいをと るバランス装置 6は、エアシリンダ 6 0と空気供給装置 6 1力、ら成る。エアシリンダ 6 0は、 クイノレ 4 1と同軸にクイル 4 1の穴中に配置されたシリンダ 6 2と、 シリン ダ内壁と摺動可能なビストン 6 3と、一端がビストン 6 3に連結されたビストン口ッ ド 6 4とを含む。 シリンダ 6 2のフランジ部 6 5力 ボルトによってクイル 4 1の上 端に強固に固定される。ビストン口ッド 6 4はその他端でブラケット 7に支持される。 ブラケット 7は、 ピストン口ッド 6 4の他端が固定された天板 7 1と、天板 7 1を支 える側壁 7 2カゝら成る。 側壁 7 2は、 枠体 2に固定されている。 シリンダ 6 2はクイ ノレ 4 1の直近に設けられているので、エアシリンダ 6 0は高い応答性でクイル 4 1の 移動に追従できる。
F I G . 3を参照して空気供給装置 6 1が詳細に述べられる。
ピストン 6 3より上のシリンダ 6 2内に形成された上室 6 8へ空気を供給あるい は排出する供給口 6 6がシリンダ 6 2に形成されている。上室 6 8中の空気圧が所定 の値に維持されるよう、クイル 4 1の位置に応じて上室 6 8中の空気の量が制御され る。 ピストン 6 3より下のシリンダ 6 2内に形成された下室 6 9は、消音器 7-を じて大気に開放されている。 空気供給装置 6 1は、 コンプレッサのような空気源 6 1 8から供給される圧縮空気の圧力を設定値に維持してエアシリンダ 6 0を制御する, 空気供給装置 6 1は、圧縮空気から塵やほこりを除去するフィルタ 6 1 1と、圧縮空 気からさらにオイルミス小を除去するフィルタ 6 1 2と、圧縮空気を所定の圧力へ調 整するエアレギユレータ 6 1 3とを含んでいる。空気供給装置 6 1は、 さらに、高速 で上室 6 8中へ空気を供給したり上室 6 8から空気を排出することによって上室 6 8中の空気圧を設定値に維持するハイリリ一フェアレギュレータ 6 1 4を含んでい る。ハイリリ一フェアレギュレ一タ 6 1 4は、大容量のリリ一フ弁を備えた大容量の エアレギユレータである。タイル 4 1の降下によって上室 6 8中の空気圧が所定値よ り高くなると、ハイリリーフエアレギユレ一タ 6 1 4はリリーフ弁を開放し上室 6 8 中の空気を供給口 6 6から高速で排出する。タイル 4 1の上昇によって上室 6 8中の 空気圧が所定値より低くなると、ハイリリーフエアレギユレータ 6 1 4はリリーフ弁 を閉じた状態で圧縮空気を供給口 6 6から上室 6 8へ高速で供給する。上室 6 8内の 空気圧は、 主にクイル 4 1、 リニアモータ移動子、電極取付装置 4 2および工具電極 などの質量によってクイル 4 1に作用する重力をつりあわせるバランス力が発生す るように設定されている。その設定値は、ハイリリ一フェアレギユレ一タ 6 1 4のつ まみ (図示されていない) によって容易に変更可能である。 空気圧は、機械に取り付 けられる工具電極の重量次第で、 例えば 2 . 5〜6 k g / c m 2の範囲で設定される。 操作者が容易に空気圧を設定できるよう、空気圧の目盛りは工具電極の重量と関連さ せられることが好ましい。
こうして、 主にクイル 4 1、 リユアモータ移動子、電極取付装置 4 2および工具電 極を含む移動体の重量がリニアモータに負荷をかけないので、クイル 4 1の静止中は 電力が節約される。 また、バランス装置 6はリニアモータの出力を軽減するので、 リ ニァモータの発熱は抑えられリニァモータ移動子は軽量化される。移動体全体の軽量 ィ匕は、移動体の高加速での移動に貢献する。シリンダ 6 2とクイノレ 4 1は同軸に配置 されているので、エアシリンダ 6 0中に発生するバランス力の作用線ほクイル 4 1の 中心軸に一致する。 また、バランス力の作用線は、 リニアモータによる推力の中心に も一致する。 したがって、曲げモーメントがクイル 4 1およびエアシリンダ 6 0に作 用せず、 クイル 4 1の移動の真直性が確保される。
思いがけずに工具電極が降下してワークピースに衝突することを防止するブレー キ装置 8がフランジ部 6 5に設けられている。 F I G . 4中に示されているように、 押し部材 8 3は、ポート 8 2からブレーキ装置 8中へ供給された圧縮空気によって、 一対のレバー 8 4を開いている。 この状態では、 レバー 8 4と一体の一対のブレーキ シユー 8 6は、圧縮コイルばね 8 5の弹性力に杭して、ブレーキ装置 8を貫通してい るピストンロッド 6 4を開放している。圧縮空気は、 F I G . 5中に示されるように、 空気源 6 1 8から電磁弁 8 1を通ってブレーキ装置 8へ送られる。 F I G . 5を参照 して、停電が発生した時のブレーキ装置 8の動作が以下に述べられる。参照文字 E L と W Pは、 それぞれ、 工具電極とワークピースを示している。 無停電電源 9 1は、停 電を検出すると直ちに、制御装置 6 1 5、モ一タドライノ 1 0およぴリレー回路 6 1 6へ電力を供給する。無停電電源 9 1は、電源 9によって、つねに充電されている。 制御装置 6 1 5は、無停電電源 9 1から停電を示す信号を受け取ると、クイル 4 1を 所定距離だけ上昇させるあるいは停止させる制御信号をモータドライバ 1 0へ送る。 制御装置 6 1 5は、 さらに、ブレーキ装置 8から圧縮空気を排出させる制御信号を電 磁弁 8 1用のリレ一回路 6 1 6へ送る。電磁弁 8 1は、空気源 6 1 8とブレーキ装置 8との間の空気の流通を断ち、ブレーキ装置 8のポート 8 2から圧縮空気を排出する。 圧縮コィルばね 8 5の弾性力がブレーキ装置 8中の空気圧に勝ると、一対のブレーキ シユー 8 6はビストン口ッド 6 4を押さえ付ける。 このようにして、停電時でもクイ ル 4 1の落下が防止される。エアシリンダ 6 0に供給されている空気の圧力が異常に 低下した場合にも、ブレーキ装置 8が動作する。 空気圧の異常な低下は、エアレギュ レータ 6 1 3とエアシリンダ 6 0との間に設けられた圧力スィッチ 6 1 7 ^ X ' 検出される。制御装置 6 1 5は、圧力スィッチ 6 1 7から検出信号を受け取ると、警 報を発するとともに停電時と同様にブレーキ装置 8を動作させる。 F I G . 6および 7を参照して、本発明による放電加工装置の第 2の実施例が述べ られる。 F I G . 1、 2、 3、 4および 5中と同様の要素には、 同じ参照番号が与え られ、 その説明が省略される。
ブレーキ装置 8は、コラム 1とクイノレ 4 1との間で枠体 2に固定されている。 ビス トンロッド 6 4と平行な方向に移動可能な軸 8 7がブレーキ装置 8を貫通している。 可動軸 8 7は、枠体 2の貫通孔に挿入された軸受 8 8によって案内されている。可動 軸 8 7の上端は、水平に延びる橋板 7 3によって、クイル 4 1の上端へ連結されてい る。 ブラケット 7の側壁 7 2は、橋板 7 3が通る開口を有している。 この実施例では、 ブレーキ 2装置がタイル 4 1の上部に配置されていないので、機械のへッド部の高さ が小さくなる。
F I G . 7、 8および 9を参照して、本発明による放電加工装置の第 3の実施例が 述べられる。 F I G . 1、 2、 3、 4および 5中と同様の要素には、 同じ参照番号が 与えられ、 その説明が省略される。
第 1および第 2の実施例とは異なり、磁石板 4 3はそれぞれ、 コィノレ 1の垂直面 1 aに平行なクイル 4 1側壁に固定されている。 しかしながら、他の実施例と同様に、 2つのリニアモータは、それらの推力の中心がクイル 4 1の中心軸に一致するよう配 置されている。シリンダ 6 2がクイル 4 1とコラム 1との間でクイル 4 1と平行に配 置されるよう、エアシリンダ 6 0のフランジ部 6 5は、ボルトによって枠体 2に強固 に固定される。クイル 4 1と同軸に延びる支持ロッド 7 4の下端がタイル 4 1の上端 に固定されている。 ピストンロッド 6 4の上端は、水平に延びる橋板 7 3によって、 支持口ッド 7 4の上端へ連結されている。クイル 4 1を含む移動体の軽量化が最優先 されるときには、 このように、エアシリンダ 6 0とブレーキ装置 8は移動体から排除 される。 F I G . 1 0中に示されるように、 空気は供給口 6 6から、 ピスト一:^ 6 3ーよ り下のシリンダ 6 2内に形成された下室 6 9へ供給されるあるいは下室 6 9から排 出される。下室 6 9中の空気圧が所定の値に維持されるよう、クイノレ 4 1の位置に応 じて下室 6 9中の空気の量が制御される。ピストン 6 3より下のシリンダ 6 2内に形 成された上室 6 8は、 消音器 6 7を通じて大気に開放されている。
本発明を開示されたフォームに限定することは意図されていない。 上述の記述を 参照して多くの改良及びバリエーションが可能であることは明らかである。
ィラストされた実施例は、 発明の本質とその実用的な応用を説明するために選ば れた。 発明の範囲は、 添付の特許請求の範囲によって定義される。

Claims

請求の範囲
1 . ワークピースと工具電極との間に放電を発生させながら工具電極をワークピ ースへ向けて垂直方向へ移動させることによってワークピースを加工する放電加工 装置において、
垂直方向へ移動可能なクイルと、
クィルの下端に取り付けられた、 工具電極を取り付ける電極取付装置と、 タイルの中心軸に関して対称にタイルに取り付けられた少なくとも 2つのリ ユアモータ移動子と、
2つの移動子のそれぞれに向い合う、少なくとも 2つのリニアモータ固定子と、 バランス力の作用線がタイルの中心軸に一致するよう、タイルに作用する重力 をつりあわせるバランス装置を含む放電加工装置。
2 . バランス装置は、タイルと同軸に配置されたエアシリンダを含むタレ一ム 1の 放電加工装置。
3 . クイルはその中心に垂直方向に延びる穴を有し、エアシリンダがその穴中に配 置されるクレーム 2の放電加工装置。
4 . バランス装置が、 タイルと同軸にタイルに固定されたシリンダ、 シリンダの内 壁に摺動可能なビストンと、ピストンへ接続された固定のビストン口ッドを含むクレ ーム 1の放電加工装置。
5 . さらに、 ピストンロッドに制動力を与えるブレーキ装置を含むクレーム 4の放 電加工装置。
6 . ピストンロッドと平行に延びる可動軸と、可動軸とクイルを連結する水平に延 びる橋板と、可動軸に制動力を与えるブレーキ装置を含むクレーム 4の放電加工装置。
7 . 電極取付装置がクイルと同軸に配置された、 クレーム 1の放電加工装置。 -― 8 . ワークピースと工具電極との間に放電を発生させながら工具電極をワークピ ースへ向けて垂直方向へ移動させることによってワークピースを加工する放電加工 装置において、
垂直方向へ移動可能なタイルと、
クイルの下端に取り付けられた、 工具電極を取り付ける電極取付装置と、 クィルの中心軸に関して対称にクイルに取り付けられた少なくとも 2つのリ ニァモータの移動子と、
2つの移動子のそれぞれに向い合う、少なくとも 2つのリニアモータ固定子と、 クイルと平行に固定されたシリンダと、
シリンダの内壁に摺動可能なビストンと、
ピストンへ接続されたピストン口ッドと、
クイルに固定されタイルと同軸に延びる支持口ッドと、
ビストンロッドと支持口ッドを連結する水平に延びる橋板を含む放電加工装
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