WO2000028700A1 - Systeme de reseau - Google Patents

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WO2000028700A1
WO2000028700A1 PCT/JP1999/006122 JP9906122W WO0028700A1 WO 2000028700 A1 WO2000028700 A1 WO 2000028700A1 JP 9906122 W JP9906122 W JP 9906122W WO 0028700 A1 WO0028700 A1 WO 0028700A1
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lan
factory
sample
lans
signal
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PCT/JP1999/006122
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Inventor
Toshio Doi
Masashi Muramatsu
Hiroshi Matsumura
Toshiaki Fujii
Original Assignee
Seiko Instruments Inc.
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    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L12/00—Data switching networks
    • H04L12/28—Data switching networks characterised by path configuration, e.g. LAN [Local Area Networks] or WAN [Wide Area Networks]
    • H04L12/46—Interconnection of networks
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L12/00—Data switching networks
    • H04L12/28—Data switching networks characterised by path configuration, e.g. LAN [Local Area Networks] or WAN [Wide Area Networks]

Definitions

  • the present invention relates to a network system connecting a plurality of LANs (Local Area Networks).
  • LANs Local Area Networks
  • a system using a network has been proposed in the field of a charged particle beam apparatus that uses a charged particle beam from an electron source or an ion source to observe a sample and perform processing such as fine processing. I have.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a conventional focused ion beam apparatus (FIB) which is a kind of a charged particle ion beam apparatus.
  • the device side LAN 301 which is a LAN configuration of the focusing beam device, is installed in a measurement room away from the factory, and is connected to the factory side LAN (Local Area Network) 309 by the TC PZl P (Transmission Control Protocol). / Internet Protocol).
  • TC PZl P Transmission Control Protocol
  • / Internet Protocol Internet Protocol
  • the device-side LAN 301 has a host computer 302 for inputting instructions when performing processing such as observation and processing of a sample, analyzing collected data, and displaying an image of the sample, and the like.
  • the system controller 303 controls the focus and magnification of the ion beam by an electric field by controlling the condenser lens, scanning electrode, etc., the axis alignment and the movable diaphragm of the input source provided in the ion source stage. Alignment
  • the optical axis control unit 304 which is performed overnight, a vacuum exhaust unit 305 that evacuates the sample chamber in which the sample is placed, A sample transfer device 307 that carries the sample to the sample stage 306 is provided.
  • the host computer 302 is connected to a storage device 310 for storing various data such as image data of a sample.
  • Each processing element has a central processing unit (CPU), which is connected to the bus line 308 together with the host computer 302, and uses a CPP / ZIP to perform CSMA / CD (Carrier Sense Multiple Access with Collision Detection). Connected by LAN.
  • a unique identification (ID) code is assigned to the host computer 302 and each of the processing elements 303 to 107, and the host computer 302 and each of the processing elements 303 to 307 are connected via a bus line 308.
  • the signal transmitted and received by the device is configured to include the ID code. By determining the ID code included in the signal on the bus line 308, it is determined whether the signal is addressed to itself. Determine.
  • the host convenience 302 and each component determine whether or not the signal on the bus line 308 is a signal addressed to itself by an ID code. If there is, the process is performed in response to the signal, and when the process is completed, a signal including the ID code of the component responsible for the next step is output to the bus line 308. Thereby, processing such as observation and processing of the sample is performed, and data such as image data of the sample is stored in the storage device 310.
  • the device-side LAN 301 is a part of the factory-side LAN 309, the device-side LAN 301 and the factory-side LAN 309 affect each other, and there are various problems.
  • the specifications such as the transmission speed and the IP address (Internet Protocol Address) of the LAN 301 on the device side are restricted by the specifications of the LAN 309 on the factory side, and the specifications and the like cannot be freely set. There is a problem o
  • the equipment side since it is possible for the equipment side to interpenetrate between the AN 301 and the factory LAN 309, it is connected to a service center via a communication line to maintain the equipment side LAN 301 by remote control. The problem is that it cannot be checked.
  • the present invention provides a network system in which a plurality of LANs are connected so that the plurality of LANs do not affect each other, and that the plurality of LANs can be accessed from the plurality of LANs during a shared session. Make it an issue.
  • Another object of the present invention is to maintain confidentiality together with the above-mentioned problem.
  • a further object of the present invention is to provide a network system capable of performing maintenance by remote control, in addition to the above-mentioned problems. Disclosure of the invention
  • a network system includes a first LAN, a second LAN, and a separation unit and a storage unit connected between the first and second LANs. It is characterized in that the first and second LANs are separated so as not to affect each other, and the storage means is controlled to be accessible from both the first and second LANs.
  • the separating means separates the first and second LANs so as not to affect each other and controls the storage means so that both the first and second LANs can access the storage means.
  • the separation means can be configured so that its setting can be changed so that the first LAN can access the second LAN.
  • the first LAN may be a factory-side LAN
  • the second LAN may be an apparatus-side LAN
  • the second LAN can be connectable to a service center that maintains the second LAN via a communication line.
  • the second LAN may be a LAN that forms a manufacturing apparatus, an inspection apparatus, or a charged particle beam apparatus.
  • FIG. 1 is a block diagram according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a block diagram according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a block diagram of a network system using a conventional focused ion beam apparatus.
  • FIG. 1 is a block diagram of a network system according to a first embodiment of the present invention.
  • the lock diagram shows an example of a focused beam device (FIB) in which the device side LAN is a kind of charged particle beam device.
  • FIB focused beam device
  • the device-side LAN 101 as the second LAN constituting the focused ion beam device is installed in a measurement room remote from the factory, and the device-side AN 101 and the factory-side LAN 109 are mutually connected. It is LAN-connected by TCP / IP to the factory LAN 110 as the first LAN via the separation means 110 that separates them so as not to affect them. Although the details of the factory LAN 109 are not shown, it is configured by connecting a computer or the like to a bus.
  • the device-side LAN 101 is equipped with a host computer 102 for inputting instructions when performing processing such as sample observation and processing, analyzing collected data, and displaying images of the sample.
  • the optical system controller 103 controls the focus and magnification by controlling the ion beam with an electric field by controlling the capacitor, lens, beam blanking electrode, or scanning electrode as elements.
  • Optical axis control unit 104 that aligns the ion source with a piezoelectric element, a vacuum exhaust unit 105 that evacuates the sample chamber in which the sample is placed, and a beam on which the sample is placed.
  • a sample stage 106 that moves to the irradiation position of the sample, and a sample transport device 107 that transports the sample to the sample stage 106 are provided.
  • the essential processing elements for configuring the charged particle beam device are the optical system control unit 103 and the evacuation unit 105, and the other processing elements are used as necessary.
  • Each processing element has a CPU, is connected to a bus line 108 together with a host computer 102, and is connected by a CSMA / CD system AN using TCP / IP.
  • Each of the host computer 102 and each of the processing elements 103 to 107 has a unique identification (ID) code.
  • ID unique identification
  • the signal transmitted and received between the host computer 102 and the processing elements 103 to 107 via the bus line 108 is configured to include the ID code. By determining the ID code contained in the signal on the bus line 108, it is determined whether the signal is addressed to itself.
  • the host computer 102 is connected to a storage device 119 for storing various classified data.
  • the host computer 102 is connected via a dedicated line 120 as a communication line to a service center that performs maintenance such as inspection of the equipment LAN 101 by remote control. Have been.
  • -Separation means 1 110 is composed of a CPU 111, a display unit 112, a memory 113 storing the CPU 111 program, an input device 114 such as a keyboard, and a dedicated bus 1 It is composed of a computer with 15 and network cards 1 16 and 1 17.
  • the device-side LAN 101 and the factory-side LAN 109 are connected to the bus 115 via network nodes 116 and 117.
  • a storage device 118 as storage means for storing shared data that does not require confidentiality is connected to the bus 115.
  • the separating means 110 is provided to prevent mutual influence between the equipment-side LAN 101 and the factory-side LAN 109, and is separated from the equipment-side LAN 101 to the factory-side LAN 101.
  • each of the network cards 116 and 117 enables signal transmission in one direction, and the network card 117 and the bus 115 are transmitted from the LAN 101 on the device side.
  • access to the storage device 118 is possible via the LAN, access from the device-side LAN 101 to the factory-side LAN 109 via the network card 116 is prohibited.
  • Access to the device side LAN 101 via 7 is prohibited. Separation means such that a person having a specific authority operates the input device 114 so that the device-side LAN 101 and the factory-side LAN 109 can access each other. It is configured so that the setting of 110 can be changed.
  • the operation of the network system configured as described above will be described below.
  • the operator is instructed to set the sample.
  • the host computer 102 outputs an instruction signal including the ID code of the evacuation unit 105 to the bus line 108 in response to the instruction input.
  • the evacuation unit 105 receives the instruction signal from the host computer transmitted to the bus line 108—the evening signal, identifies the ID code included in the signal, and sends the instruction signal to itself.
  • the spare sample chamber is evacuated and the door of the spare sample chamber is opened.
  • the evacuation unit 105 Upon completion of the above-described processing, the evacuation unit 105 sends a signal including the ID code of the sample transfer device 107 to the bus line in order to shift the process to the sample transfer device 107 which is responsible for the next processing step. Output to 108.
  • the sample transport device 107 receives the instruction signal from the vacuum exhaust unit 105 transmitted to the bus line 108, determines the ID code included in the signal, and issues the instruction signal addressed to itself. In response to this, the sample is loaded into the spare sample room. Upon completion of the above-described processing, the sample transport device 107 outputs a signal including an ID code of the vacuum exhaust unit 105 that performs the next processing step to the bus line 108. Thereafter, in the same manner as above, each component determines whether or not the signal on the pass line 108 is a signal addressed to itself by an ID code, and if the signal is addressed to itself, performs processing. Upon completion, a signal containing the ID code of the component responsible for the next step is output to bus line 108.
  • the vacuum exhaust unit 105 responds to the signal.
  • the preliminary sample chamber is evacuated to vacuum, and upon completion of the process, a signal including the ID code of the optical system controller 103 is output to the bus line 108.
  • the optical system control unit 103 receives the signal from the vacuum evacuation unit 105, and uses the high voltage to prevent the high voltage for optical control in the sample chamber from being discharged due to vacuum deterioration. Control processing is performed to turn off, and when the processing is completed, a signal including the ID code of the vacuum exhaust unit 105 is output to the bus line 108.
  • the evacuation unit 105 receives the signal from the optical system control unit 103, opens the valve between the sample chamber and the preliminary sample chamber, connects the sample chamber and the preliminary sample chamber, and Upon completion, a signal including the ID code of the sample stage 106 is output to the bus line 108.
  • the sample stage 106 Upon receiving a signal from the vacuum evacuation unit 105, the sample stage 106 moves to the sample transfer position, and when the above processing is completed, a signal including the ID code of the sample transfer device 107 is transmitted to the bus. Output to line 108.
  • the sample transfer device 107 Upon receiving the signal from the sample stage 106, the sample transfer device 107 moves the sample from the preliminary sample chamber to the sample stage 106 in the sample chamber, and when the above processing is completed, the sample stage 106 The signal including the ID code of the above is output to the bus line 108.
  • sample stage 106 Upon receiving a signal from the sample transfer device 107, the sample stage 106 moves, and the sample moves to the ion beam irradiation position. Sample stage 106 When the movement processing is completed, a signal including the ID code of the evacuation unit 105 is output to the bus line 108.
  • the evacuation unit 105 receives a signal from the sample stage 106 and closes a valve between the sample chamber and the preliminary sample chamber, thereby separating the sample chamber and the preliminary sample chamber. You. When the process of closing the valve is completed, the evacuation unit 105 outputs a signal including the ID code of the optical system control unit 103 to the bus line 108.
  • the optical system controller 103 receives the signal from the evacuation unit 105 and restores the high voltage for optical control in the sample chamber, and the ID code of the host computer 102 Is output to the bus line 102. This completes a series of sample loading processes.
  • the sample set as described above is scanned with an ion beam, and secondary electrons generated thereby are detected by a secondary electron detector, and data such as image data of the sample is obtained. Collected. If the collected data is classified as confidential, it is stored in the storage device 119, while if it is not classified, it is stored in the storage device 118 so that it can be accessed from the factory LAN 109. It is memorized.
  • the network card 111 of the host computer 102 to the bus line 108 and the separating means 110 is used. 7 and performed by via the path line 1 1 5, e is a ne 1 J for various processes such as an image analysis by the host computer 1 0 2.
  • the separation means 110 cannot be accessed from the factory LAN 109.
  • the communication is performed via the network card 116 and the bus line 115, and the data is used in a manufacturing process in the factory LAN 109.
  • the equipment LAN 101 and the factory LAN 109 are separated from each other by the separation means 110, the equipment LAN 101 and the factory LAN are not affected by each other. It has no effect and the confidentiality of both parties is maintained.
  • the host computer 102 is accessed via the dedicated line 120.
  • the factory-side LAN 109 is separated from the equipment-side LAN 101 by the separating means 110, and cannot enter the factory-side LAN 109 from the service center.
  • Maintenance of the LAN 101 on the device side is possible while maintaining the confidentiality of data and the like.
  • a person with a specific authority operates the input device 114 to change the setting of the separation means 110, To enable access to the LAN 101 on the device side via the network card 116, the node 115, and the network card 117 of the separation means 110 from the site LAN 109 I do.
  • the input device 114 Conversely, if it is necessary to directly access the factory-side LAN 109 from the device-side LAN 101, operate the input device 114 to change the setting of the separation unit 110 as described above. In this way, the LAN 1101 on the device side can be separated from the LAN 101 on the device side via the network force 117 of the separation means 110, the bus 115, and the network force 116 of the device. From the factory to the LAN 109.
  • FIG. 2 is a block diagram according to a second embodiment of the present invention, and shows an example in which a manufacturing apparatus is used as the apparatus-side LAN in FIG. still, The configuration and connection of the separation means 110 and the factory side AN109 as the first LAN are omitted because they are the same as those in FIG.
  • a device-side LAN 201 as a second LAN configuring a machine tool includes a host computer 202 that performs various instruction inputs and functions as a sequencer. (Harge Coupled Device), a detection unit 203 that performs image recognition processing, a control unit 204 that performs alignment and processing of a workpiece (work), and a drive control unit 205 that performs drive processing of processing tools such as drills. ing.
  • a host computer 202 that performs various instruction inputs and functions as a sequencer. (Harge Coupled Device)
  • a detection unit 203 that performs image recognition processing
  • control unit 204 that performs alignment and processing of a workpiece (work)
  • a drive control unit 205 that performs drive processing of processing tools such as drills. ing.
  • each of the processing elements 203 to 205 has a CPU, is connected to a pass line 206 together with a host computer, and uses a TC PZIP to implement a CSMA / CD system. It is connected by LAN and is connected to the factory LAN 109 via the separation means 110.
  • a service center is connected to the host computer 202 via a dedicated line 207 as a communication line.
  • the host computer 202 and each processing element 203-205 are given unique identification (ID) codes, and the host computer 202 and the processing elements 203-205 are connected to the host computer 202 via the bus line 206.
  • ID unique identification
  • the signal transmitted and received between the computer 202 and each of the processing elements 203 to 205 is configured to include the ID code, and determines the ID code included in the signal on the bus line 206. Thus, it is configured to determine whether or not the signal is addressed to itself, perform distributed processing, and perform processing of a workpiece.
  • the device-side LAN 201 and the factory-side LAN 109 are separated from each other by the separating means 110, so that the device-side LAN 201 and the factory-side LAN may not affect each other. And the confidentiality of both parties will be maintained. Also, when maintenance is performed on the equipment side LAN 201 at a service center by remote control, the service Since it cannot penetrate into AN109, it is possible to maintain the confidentiality of data in the factory LAN100.
  • an example of a manufacturing apparatus is described as an example of the apparatus-side LAN 201.However, a data processing apparatus is used as the host computer 202, and each of the constituent elements 202 to 205 is appropriately selected.
  • Various modifications are possible, such as configuring an inspection device by using the method. In general, the inspection apparatus processes a larger amount of data than the manufacturing apparatus. Therefore, when the inspection apparatus is configured by the apparatus-side LAN, the effect of the distributed processing is greater.
  • examples of the charged particle beam device, the manufacturing device, and the inspection device are given as the device-side LANs 101 and 201, but the present invention can also be applied to devices having other LAN configurations. It is also possible to use another LAN for the factory LAN.
  • the maintenance of the LA 101 s 201 on the device side is performed via a wired dedicated line, the maintenance may be performed via a wireless communication line.
  • the operating status of the device may be periodically transmitted to the service center by e-mail or facsimile via the communication line from the device-side LANs 1.01 and 201.
  • the separating means 110 is constituted by one computer, the computer connected to the equipment-side LANs 101 and 201 and the computer connected to the factory-side LAN 109 are mutually connected. And a storage device for storing shared data may be connected to the path.
  • Luo intelligent hub or the like as a separating means.
  • Each of the LANs can be constituted not only by an electric cable but also by an optical fiber.
  • the present invention in a network system in which a plurality of LANs are connected, it is possible to prevent the LANs from affecting each other. Further, in a network system in which a plurality of LANs are connected, it is possible to prevent influences between LANs and to maintain confidentiality.

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Description

明 細 書 ネッ 卜ワークシステム 技術分野
本発明は、 複数の L A N (Local Area Network) を接続したネッ トヮ ークシステムに関する。 背景技術
従来から、 通信技術の発達に伴い、 種々の分野でネッ 卜ワークシステ 厶が導入されている。
例えば、 電子源やイオン源からの荷電粒子ビ一厶を使用して試料の観 察、 微細加工等の処理を行う荷電粒子ビーム装置の分野においても、 ネ ッ トワークを利用したシステムが提案されている。
図 3は、 荷電粒子イオンビーム装置の一種である従来の集束イオンビ —ム装置 （ F I B ) を示すブロック図である。 図 3において、 集束ィ才 ンビーム装置を L A N構成して成る装置側 L A N 30 1は工場から離れ た測定室に配設され、 工場側 L A N (Local Area Network) 309に、 T C PZl P (Transmission Control Protocol /Internet Protocol ) によって L A N接続されている。
装置側 L A N 30 1は、 試料の観察や加工等の処理を行う際の指示の 入力や収集したデータの解析処理あるいは試料の画像表示等を行うホス 卜コンピュータ 302を備えており又、 その処理要素として、 コンデン サレンズや走査電極等を制御することにより電界によってイオンビーム のフォーカスや倍率を制御する 学系制御部 303、 イオン源用ステ一 ジに配設したィ才ン源の軸合わせや可動絞りの位置合わせをァクチユエ 一夕により行う光軸制御部 304、 試料が配設される試料室を真空雰囲 気にする真空排気部 305、 試料を載置してビームの照射位置に移動す る試料ステージ 306、 試料を試料ステージ 306に運ぶ試料搬送装置 307を備えている。 また、 ホス 卜コンピュータ 302には、 試料の画 像データ等の各種データを記憶する記憶装置 31 0が接続されている。 各処理要素は中央処理装置 （C PU) を有し、 ホス 卜コンピュータ 3 02とともにバスライン 308に接続されており、 TC P ZI Pを用い て、 C S M A / C D (Carrier Sense Multiple Access with Collision Detection) 方式の L A Nによって接続されている。 ホス トコンピュー タ 302及び前記各処理要素 303 ~ 1 07には各固有の識別 （I D) コ一ドが付与され又、 バスライン 308を介してホス 卜コンピュータ 3 02及び前記各処理要素 303-307間で送受信される信号には前記 I D]— ドが含まれるように構成されており、 バスライン 308上の信 号に含まれる前記 I Dコー ドを判別することにより、 自己宛の信号か否 かを判別する。
以上のように構成された集束ビ一厶装置において、 ホス トコンビユー 夕 302及び各構成要素は、 バスライン 308上の信号が自己宛の信号 か否かを I Dコードにより判別し、 自己宛の信号であれば該信号に応答 して処理を行い、 処理が完了すると、 次のステップを担う構成要素の I Dコー ドを含む信号をバスライン 308に出力する。 これにより、 試料 の観察や加工等の処理を行い又、 試料の画像データ等のデータは記憶装 置 31 0に記憶される。
前記従来のネッ 卜ワークシステムにおいては、 装置側 LAN 301が 工場側 L A N 309の一部となるため、 装置側 L A N 301 と工場側 L A N 309とが相互に影響及ぼし、 種々の問題がある。
即ち、 工場側 LAN 309から装置側 LAN 301へのアクセス、 あ るいは工場側 L A N 3 0 9に接続される装置が増加すると、 バスライン 3 0 8の卜ラフィ ックが増大し、 装置側 L A N 3 0 1 内のデータ転送効 率が劣化するという問題がある。 逆に、 装置側 L A N 3 0 1 から工場側 L A N 3 0 9へのアクセスの増加によって、 工場側 L A N 3 0 9内にお けるデータ伝送効率も劣化するという問題がある。
また、 装置側 L A N 3 0 1 における伝送速度等の仕様や I Pァ ドレス ( Internet Protocol Address )の設定等が、工場側 L A N 3 0 9の仕様 等によって制約 を受け、仕様等の自由な設定ができないという問題があ る o
—方、 装置側し A N 3 0 1 と工場側 L A N 3 0 9との間で相互に自由 にアクセスできるため、 第三者が工場側 L A N 3 0 9から装置側 L A N 3 0 1 内に侵入可能となり又逆の場合も可能となり、 装置側 L A N 3 0 1及び工場側 L A N 3 0 9の機密情報が漏洩する可能性がある。
また、 装置側し A N 3 0 1 と工場側 L A N 3 0 9との間で相互に侵入 可能であるため、 通信回線を介してサービスセンタと接続して遠隔操作 により装置側 L A N 3 0 1 を保守点検することができないという問題が める。
また、 装置側 L A Nや工場側 L A N以外の複数の L A Nを接続した場 合にも、 前記同様の問題が生じる恐れがある。
本発明は、 複数の L A Nを接続したネッ 卜ワークシステムにおいて、 複数の L A Nが相互に影響を与えないようにすると共に、 共用のデ一夕 には前記複数の L A Nからアクセスできるようにすることを課題とする。 また本発明は、 前記課題とともに機密性を維持できるようにすること を課題としている。
さらに本発明は、 前記各課題と共に、 遠隔操作により保守を行えるよ うにしたネッ 卜ワークシステムを提供することを課題としている。 発明の開示
本発明のネッ 卜ワークシステムは、 第 1の L A Nと、 第 2の L A Nと、 前記第 1 、 第 2の L A Nの間に接続された分離手段及び記憶手段とを備 え、 前記分離手段は前記第 1 、 第 2の L A Nが相互に影響を及ぼさない ように分離すると共に、 前記第 1 、 第 2の L A Nの双方から前記記憶手 段にアクセス可能に制御することを特徴としている。 分離手段は、 第 1 、 第 2の L A Nが相互に影響を与えないように分離すると共に前記第 1 、 第 2の L A Nの双方から記憶手段にアクセスできるように制御する。 前記分離手段は、 前記第 1の L A Nから第 2の L A Nへアクセスでき るようにその設定が変更可能に構成することができる。
また、 前記第 1の L A Nは工場側 L A Nであり、 前記第 2の L A Nは 装置側 L A Nとすることができる。
さらに、 前記第 2の L A Nは、 通信回線を介して、 前記第 2の L A N の保守を行うサービスセンタと接続可能にすることができる。
さらにまた、 前記第 2の L A Nは、 製造装置、 検査装置又は荷電粒子 ビーム装置を構成する L A Nとすることができる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の第 1の実施の形態に係るブロック図である。 図 2は、 本発明の第 2の実施の形態に係るブロック図である。 図 3は、 従来の集 束イオンビ一厶装置を使用したネッ 卜ワークシステムのプロック図であ る o 発明を実施するための最良の形 H
図 1は、 本発明の第 1の実施の形態に係るネッ 卜ワークシステムのブ ロック図で、 装置側 LANが荷電粒子ビ一ム装置の一種である集束ィ才 ンビーム装置 （F I B) の例を示している。
図 1において、 集束イオンビーム装置を構成する第 2の LANとして の装置側 L A N 1 01は、 工場から離れた測定室に配設され、 装置側し A N 1 01 と工場側 LAN 1 09が相互に影響しないように分離する分 離手段 1 1 0を介して、 第 1の L A Nとしての工場側 L A N 1 09に、 TC P/I Pによって LA N接続されている。 工場側 L A N 1 09の詳 細は図示しないが、 コンピュータ等をバス接続することにより構成され ている。
装置側 LAN 1 01は、 試料の観察や加工等の処理を行う際の指示の 入力や収集したデータの解析処理あるいは試料の画像表示等を行うホス 卜コンピュータ 1 02を備えており又、 その処理要素として、 コンデン サ.レンズ、 ビームブランキング電極あるいは走査電極等を制御すること により、 電界によってイオンビームを制御してフォーカスや倍率を制御 する光学系制御部 1 03、 イオン源用ステージに配設したイオン源をァ クチユエ一夕ゃ圧電素子により位置合わせ等を行う光軸制御部 1 04、 試料が配設される試料室を真空雰囲気にする真空排気部 1 05、 試料を 載置してビームの照射位置に移動する試料ステージ 1 06、 試料を試料 ステージ 1 06に運ぶ試料搬送装置 1 07を備えている。 尚、 荷電粒子 ビーム装置を構成するための必須の処理要素は、 光学系制御部 1 03及 び真空排気部 1 05であり、 それ以外の処理要素は必要に応じて用いら れ 0 o
各処理要素は C P Uを有し、 ホス トコンピュータ 1 02とともにバス ライン 1 08に接続されており、 TCP/I Pを用いて、 C SMA/C D方式のし A Nによって接続されている。 ホス 卜コンピュータ 1 02及 び前記各処理要素 1 03〜1 07には各固有の識別 （I D) コードが付 与され又、 バスライン 1 0 8を介してホス トコンピュータ 1 0 2及び前 記各処理要素 1 0 3〜1 0 7間で送受信される信号には前記 I Dコー ド が含まれるように構成され、 バスライン 1 0 8上の信号に含まれる前記 I Dコー ドを判別することにより、 自己宛の信号か否かを判別する。 ホス 卜コンピュータ 1 0 2には、 機密扱いの各種データを記憶する記 憶装置 1 1 9が接続されている。 また、 ホス トコンピュータ 1 0 2には、 通信回線としての専用回線 1 2 0を介して、 遠隔操作によって装置側 L A N 1 0 1 の点検等の保守を行うサービスセンタが接続されるように構 成されている。
—方、 分離手段 1 1 0は、 C P U 1 1 1 、 表示部 1 1 2、 C P U 1 1 1 のプログラムを記憶したメモリ 1 1 3、 キーボ一 ド等の入力装置 1 1 4、 専用のバス 1 1 5及びネッ 卜ワークカー ド 1 1 6、 1 1 7を備えた コンピュ一夕によって構成されている。 バス 1 1 5にはネヅ 卜ワーク力 —ド 1 1 6、 1 1 7を介して、 装置側 L A N 1 0 1及び工場側 L A N 1 0 9が接続されている。 また、 バス 1 1 5には、 機密性を要しない共用 データを記憶する記憶手段としての記憶装置 1 1 8が接続されている。 尚、 分離手段 1 1 0は、 装置側 L A N 1 0 1 と工場側 L A N 1 0 9と の間で相互に影響を与えないようにするためのもので、 装置側 L A N 1 0 1 から工場側 L A N 1 0 9へのァクセス及び工場側 L A N 1 0 9から 装置側 L A N 1 0 1へのアクセスを禁止すると共に、 装置側 L A N 1 0 1及び工場側 L A N 1 0 9の双方から記憶装置 1 1 8へのアクセスを可 能にするものである。 即ち、 ネッ トワークカー ド 1 1 6、 1 1 7は、 各 々、 一方向への信号伝達を可能にしており、 装置側 L A N 1 0 1 からネ ッ 卜ワークカード 1 1 7及びバス 1 1 5を介して記憶装置 1 1 8へのァ クセスは可能であるが、 装置側 L A N 1 0 1 からネッ トワークカード 1 1 6を介して工場側 L A N 1 0 9へのアクセスは禁止される。 また、 ェ 場側 L A N 1 0 9からネッ トワークカー ド 1 1 6及びバス 1 1 5を介し て記憶装置 1 1 8へのアクセスは可能であるが、 工場側 L A N 1 0 9か らネッ トワークカー ド 1 1 7を介して装置側 L A N 1 0 1 へのアクセス は禁止される。 尚、 特定の権限を有する者が、 入力装置 1 1 4を操作す ることにより、 装置側 L A N 1 0 1 と工場側 L A N 1 0 9の相互間でァ クセスが可能になるように、 分離手段 1 1 0の設定を変更することがで きるように構成されている。
以上のように構成されたネッ 卜ワークシステムの動作を以下説明する。 先ず、 装置側 L A N 1 0 1の動作の一例として、 試料を試料室に搬入 して所定位置にセッ 卜する場合の動作を説明すると、 先ず、 操作者は、 試料をセヅ 卜する旨の指示信号をホス 卜コンピュータ 1 0 2に入力する。 ホス卜コンピュータ 1 0 2は、 前記指示入力に応答して、 真空排気部 1 0 5の I Dコ一ドを含む指示信号をバスライン 1 0 8に出力する。 真空排気部 1 0 5は、 バスライン 1 0 8に送信されたホス 卜コンビュ —夕 1 0 2からの指示信号を受信し、 その信号に含まれる I Dコードを 判別して、 自己宛の指示信号であることを認識し、 これに応答して、 予 備試料室を大気にして、 予備試料室の扉を開く。 真空排気部 1 0 5は、 前記処理を完了すると、 次の処理ステップを担う試料搬送装置 1 0 7に 処理を移行するために、 試料搬送装置 1 0 7の I Dコー ドを含む信号を バスライン 1 0 8に出力する。
試料搬送装置 1 0 7は、 バスライン 1 0 8に送信された真空排気部 1 0 5からの指示信号を受信し、 その信号に含まれる I Dコ一ドを判別し て、 自己宛の指示信号であることを認識し、 これに応答して、 試料を予 備試料室に搬入する。 試料搬送装置 1 0 7は、 前記処理を完了すると、 次の処理ステップを担う真空排 部 1 0 5の I Dコ一ドを含む信号をバ スライン 1 0 8に出力する。 以後、 各構成要素は、 上記同様にして、 パスライン 1 0 8上の信号が 自己宛の信号か否かを I Dコ一ドにより判別し、 自己宛の信号であれば 処理を行い、 処理が完了すると、 次のステップを担う構成要素の I Dコ - ドを含む信号をバスライン 1 0 8に出力する。
即ち、 試料搬送装置 1 0 7が処理を完了して、 真空排気部 1 0 5の I Dコー ドを含む信号がバスライン 1 0 8に出力されると、 真空排気部 1 0 5は前記信号に応答して、 予備試料室を真空排気し、 前記処理が完了 すると、 光学系制御部 1 0 3の I Dコ一 ドを含む信号をバスライン 1 0 8に出力する。
光学系制御部 1 0 3は、 真空排気部 1 0 5からの信号を受信して、 試 料室内の光学制御用高電圧が真空劣化に伴って放電することを防止する ために前記高電圧をオフ状態に制御処理し、 前記処理が完了すると、 真 空排気部 1 0 5の I Dコ一 ドを含む信号をバスライン 1 0 8に出力する。 真空排気部 1 0 5は、 光学系制御部 1 0 3からの信号を受信して、 試 料室と予備試料室間のバルブを解放して試料室と予備試料室を接続し、 前記処理が完了すると、 試料ステージ 1 0 6の I Dコー ドを含む信号を バスライン 1 0 8に出力する。
真空排気部 1 0 5からの信号を受信して、 試料ステージ 1 0 6が試料 の受け渡し位置に移動し、 前記処理が完了すると、 試料搬送装置 1 0 7 の I Dコ一ドを含む信号をバスライン 1 0 8に出力する。
試料ステージ 1 0 6からの信号を受信して試料搬送装置 1 0 7は、 試 料を予備試料室から試料室の試料ステージ 1 0 6に移動させ、 前記処理 が完了すると、 試料ステージ 1 0 6の I Dコー ドを含む信号をバスライ ン 1 0 8に出力する。
試料搬送装置 1 0 7からの信号を受信して試料ステージ 1 0 6は移動 し、 試料がイオンビームの照射位置に移動する。 試料ステージ 1 0 6は 前記移動処理が完了すると、 真空排気部 1 0 5の I Dコ— ドを含む信号 をバスライン 1 0 8に出力する。
次に、 真空排気部 1 0 5において、 試料ステージ 1 0 6からの信号を 受信して、 試料室と予備試料室間のバルブが閉じられ、 これにより、 試 料室と予備試料室が分離される。 前記バルブを閉じる処理が完了すると、 真空排気部 1 0 5は、 光学系制御部 1 0 3の I Dコー ドを含む信号をバ スライン 1 0 8に出力する。
最後に、 光学系制御部 1 0 3において、 真空排気部 1 0 5からの信号 を受信して、 試料室内の光学制御用高電圧を復帰させ、 ホス 卜コンビュ —タ 1 0 2の I Dコー ドを含む信号をバスライン 1 0 2に出力する。 こ れにより、 一連の試料搬入処理が完了する。
前記のようにしてセヅ 卜された試料に対してイオンビームを走査し、 これによつて発生する 2次電子が 2次電子検出器によって検出され、 前 記試料についての画像データ等のデータが収集される。 収集した前記デ —夕が機密扱いの場合には、 記憶装置 1 1 9に記憶され、 一方、 機密扱 いでない場合には工場側 L A N 1 0 9からもアクセスできるように記憶 装置 1 1 8に記憶される。
以上のようにして、 ホス トコンピュータ 1 0 2及び各処理要素 1 0 3
〜1 0 7によって分散処理が行われる。
装置側 L A N 1 0 1 において記憶装置 1 1 8に記憶されたデータにァ クセスする場合には、 ホストコンビュ一タ 1 0 2からバスライン 1 0 8、 分離手段 1 1 0のネッ トワークカード 1 1 7及びパスライン 1 1 5を介 して行われ、 ホス トコンピュータ 1 0 2によって画像解析等の各種処理 にネ1 J用 eれる。
また、 工場側 L A N 1 0 9において記憶装置 1 1 8に記憶されたデ一 夕にアクセスする場合には、 工場側 L A N 1 0 9から分離手段 1 1 0の ネッ 卜ワークカード 1 1 6及びバスライン 1 1 5を介して行われ、 前記 デ一夕が工場側 L A N 1 0 9における製造工程等で活用される。 このと き、 装置側 L A N 1 0 1 と工場側 L A N 1 0 9は、 分離手段 1 1 0によ つて相互に分離されているため、 装置側 L A N 1 0 1 と工場側 L A Nは 相互に影響を及ぼすことが無く又、 双方の機密性は維持される。
—方、 装置側 L A 1 0 1 を遠隔操作によりサービスセンタで保守を 行う場合には、 専用回線 1 2 0を介してホス 卜コ ンピュータ 1 0 2にァ クセスされる。 このとき、 分離手段 1 1 0によって工場側 L A N 1 0 9 は装置側 L A N 1 0 1 から分離されており、 サービスセンタから工場側 L A N 1 0 9に侵入することができないため、 工場側 L A N内のデータ 等の機密性を維持しながら装置側 L A N 1 0 1 の保守が可能である。 尚、 工場側 L A Nから、 記憶装置 1 1 9に記憶された機密データにァ クセスする必要性がある場合や、 工場側 L A N 1 0 9から装置側 L A N 1 0 1 を保守する場合等、 工場側 L A N 1 0 9から装置側 L A N 1 0 1 に直接アクセスする必要がある場合には、 特定の権限を有する者が入力 装置 1 1 4を操作して分離手段 1 1 0の設定を変更することにより、 ェ 場側 L A N 1 0 9から分離手段 1 1 0のネッ ト ワークカー ド 1 1 6、 ノ ス 1 1 5及びネッ 卜ワークカード 1 1 7を介して装置側 L A N 1 0 1へ アクセスできるようにする。 また、 逆に、 装置側 L A N 1 0 1 から工場 側 L A N 1 0 9に直接アクセスする必要がある場合には、 前記同様に入 力装置 1 1 4を操作して分離手段 1 1 0の設定を変更することにより、 装置側 L A N 1 0 1 から分離手段 1 1 0のネッ トワーク力一 ド 1 1 7、 バス 1 1 5及びネッ 卜ワーク力一 ド 1 1 6を介して、 装置側 L A N 1 0 1 から工場側 L A N 1 0 9へアクセスできるようにする。
図 2は、 本発明の第 2の実施の形態に係るブロック図で、 図 1 におけ る装置側 L A Nとして、 製造装置を使用する場合の例を示している。 尚、 分離手段 1 1 0及び第 1の L A Nとしての工場側し A N 1 09の構成及 び接続関係は図 1 と同一であるため省略して描いている。
図 2において、 工作機械を構成する第 2の L A Nとしての装置側 L A N 201は、 各種指示入力を行うと共にシーケンサとして機能するホス 卜コンピュータ 202を備えており又、 その処理要素として、 CC D (C harge Coupled Device) によって画像認識処理を行う検出部 203、被 加工物 （ワーク） の位置合わせや加工処理等を行う制御部 204、 ドリ ル等の加工器具の駆動処理を行う駆動制御部 205を備えている。
前記第 1の実施の形態と同様に、 各処理要素 203〜205は C P U を有し、 ホス 卜コンピュータとともにパスライン 206に接続されてお り、 TC PZI Pを用いて、 C SMA/C D方式の L A Nによって接続 され、 分離手段 1 1 0を介して工場 LAN 1 09に接続されている。 ホ ス トコンピュータ 202には、 通信回線としての専用回線 207を介し てサービスセン夕が接続されるよう構成されている。
また、 前記第 1の実施の形態と同様に、 ホス 卜コンピュータ 202及 び各処理要素 203-205には各固有の識別 （ I D) コ一 ドが付与さ れ又、 バスライン 206を介してホス卜コンピュータ 202及び各処理 要素 203~205間で送受信される信号には前記 I Dコ一 ドが含まれ るように構成されており、 バスライン 206上の信号に含まれる前記 I Dコー ドを判別することにより、 自己宛の信号か否かを判別して分散処 理を行ない、 被加工物の加工処理う行うように構成されている。
第 2の実施の形態においても、 装置側 L A N 201と工場側 L A N 1 09は、 分離手段 1 1 0によって相互に分離されているため、 装置側 L A N 201 と工場側 LANは相互に影響することはなく又、 双方の機密 性は維持されることになる。 また、 装置側 L A N 201を遠隔操作によ りサービスセンタで保守を行う場合にも、 サービスセン夕から工場側 L A N 1 09に侵入することができないため、 工場側 L A N 1 09内のデ —夕等の機密性を保持することが可能になる。
尚、 第 2の実施の形態においては装置側 L A N 20 1の例として製造 装置の例をあげたが、 ホス 卜コンピュータ 202としてデータ処理装置 を使用すると共に各構成要素 202〜205を適時選定することによつ て検査装置を構成する等、 種々の変更が可能である。 一般に、 製造装置 よりも検査装置の方が処理するデータ量が多いため、 装置側 L A Nで検 査装置を構成した場合に、 分散処理による効果がより大きくなる。
以上述べたように前記各実施の形態によれば、 複数の L A Nを接続し たネッ トヮ一クシステムにおいて、 L A N相互間に影響を与えないよう にすることが可能になる。
したがって、 工場側 L A N 1 09の影響によって装置側 L A N 1 01、 20 1内のデータ転送効率が劣化することを防止することができる。 逆 に、 装置側 L A N 1 0 K 201の影響によって工場側 L A N 1 09内 におけるデータ伝送効率が劣化することを防止できる。
また、 装置側 L A N 1 01、 20 1 における伝送速度等の仕様や I P ァ ドレスの設定等が自由に行えるという効果が生じる。
さらに、 装置側 L A N 1 01、 20 1及び工場側 L A N 1 09の機密 性を保持できるという効果がある。
さらにまた、 機密性を保持しながら、 サービスセンタから専用回線 1 20. 207を介して遠隔操作により、 装置側 L A N 1 0 1、 20 1の 保守を行うことが可能になる。
尚、 前記各実施の形態においては、 装置側 L A N 1 0 1、 20 1 とし て、 荷電粒子ビーム装置、 製造装置及び検査装置の例をあげたが、 他の L A N構成の装置にも適用でき、 工場側 L A N 1 09についても他の L A Nを使用することも可能である。 また、 装置側 L A 1 0 1 s 2 0 1 の保守を有線の専用回線を介して 行うようにしたが、 無線の通信回線を介して保守を行うようにしてもよ い o
さらに、 装置側 L A N 1 0 1、 2 0 1 の保守の例として、 点検する場 合の例を説明したが、 装置側 L A Nの監視や、 装置側 L A N 1 0 1 、 2 0 1で使用するソフ 卜ウェアのバ一ジョンアップ等を行うようにしても よい。
さらにまた、 装置側 L A N 1 .0 1 、 2 0 1 から、 該装置の稼働状況を 通信回線を介して、 電子メールゃファクシミリ等で定期的にサービスセ ンタに送信するようにしてもよい。
また、 分離手段 1 1 0を 1 台のコンピュータによって構成したが、 装 置側 L A N 1 0 1 、 2 0 1 に接続されたコンピュータと、 工場側 L A N 1 0 9に接続されたコンピュータとを、 相互にバス接続し、 前記パスに 共用データを記憶する記憶装置を接続するようにしてもよい。
さらに、 分離手段として、 ルー夕ゃィンテリジェン卜ハブ等を使用す ることも可能である。
また、 前記各 L A Nは、 電気ケーブルによる構成のみならず、 光ファ ィバによって構成することができる。 産業上の利用可能性
本発明によれば、 複数の L A Nを接続したネヅ 卜ワークシステムにお いて、 L A N相互間に影響を与えないようにすることが可能になる。 また、 複数の L A Nを接続したネッ トワークシステムにおいて、 L A N相互間に影響を与えないようにすると共に、 機密性を維持することが 可能になる。
さらに、 機密性を保持しながら、 遠隔操作により L A Nの保守を行う 二とが可能である。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 第 1の L A Nと、 第 2の L A Nと、 前記第 1 、 第 2の L A Nの間に 接続された分離手段及び記憶手段とを備え、 前記分離手段は前記第 1、 第 2の L A Nが相互に影響を及ぼさないように分離すると共に、 前記第
1 、 第 2の L A Nの双方から前記記憶手段にアクセス可能に制御するこ とを特徴とするネッ 卜ワークシステム。
2. 前記分離手段は、 前記第 1の L A Nから第 2の L A Nへアクセスで きるようにその設定が変更可能であることを特徴とする請求項 1記載の ネッ トワークシステム。
3. 前記第 1の L A Nは工場側 L A Nであり、 前記第 2の L A Nは装置 側 L A Nであることを特徴とする請求項 1又は 2記載のネッ 卜ワークシ スアム。
4. 前記第 2の L A Nは、 通信回線を介して、 前記第 2の L A Nの保守 を行うサービスセンタと接続可能であることを特徴とする請求項 1、 2 又は 3記載のネッ トワークシステム。
5. 前記第 2の L A Nは、 製造装置、 検査装置又は荷電粒子ビーム装置 を構成する L A Nであることを特徴とする請求項 1、 2、 3又は 4記載 のネッ 卜ワークシステム。
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