KR100679969B1

KR100679969B1 - 네트워크 시스템

Info

Publication number: KR100679969B1
Application number: KR1020017005662A
Authority: KR
Inventors: 도이도시오; 무라마츠마사시; 마츠무라히로시; 후지이도시아키
Original assignee: 에스아이아이 나노 테크놀로지 가부시키가이샤
Priority date: 1998-11-05
Filing date: 1999-11-02
Publication date: 2007-02-08
Also published as: WO2000028700A1; KR20010089405A; US7020152B1; TW444459B

Abstract

본 발명은 분리 수단(110)에 의해 집속 이온 빔 장치를 구성하는 장치측 LAN(101)과 공장측 LAN(109)이 상호 분리됨과 동시에, 분리 수단(110)에 접속되어 공용 데이터를 기억하는 기억 장치(118)에는 장치측 LAN(101)과 공장측 LAN(109)의 양쪽으로 부터 액세스할 수 있다. 또한, 장치측 LAN(101)은 전용 회선(120)을 통하여 서비스 센터에 접속되고, 공장측 LAN(109)의 기밀성을 유지하면서, 원격 조작에 의해 장치측 LAN(101)의 보수가 행해진다.

Description

네트워크 시스템{NETWORK SYSTEM}

본 발명은 복수의 LAN(Local Area Network)을 접속한 네트워크 시스템에 관한 것이다.

종래부터, 통신 기술의 발달에 따라, 다양한 분야에서 네트워크 시스템이 도입되고 있다.

예컨대, 전자원이나 이온원으로부터 하전 입자 빔을 사용하여 시료의 관찰, 미세 가공 등의 처리를 행하는 하전 입자 빔 장치의 분야에도 네트워크를 이용한 시스템이 제안되어 있다.

도3은 하전 입자 이온 빔 장치의 일종인 종래의 집속 이온 빔 장치(FIB)를 도시하는 블록도이다. 도3에서 집속 이온 빔 장치를 LAN 구성하여 이루어지는 장치측 LAN(301)은 공장에서 떨어진 측정실에 설치되고, 공장측 LAN(Local Area Network)(309)에 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)에 의해 LAN 접속되어 있다.

장치측 LAN(301)은 시료의 관찰이나 가공 등의 처리를 행할 때의 지시의 입력이나 수집한 데이터의 해석 처리 혹은 시료의 화상 표시 등을 행하는 호스트 컴퓨터(302)를 구비하고 있고, 그 처리 요소로서, 콘덴서 렌즈나 주사 전극 등을 제 어하여 전계에 의해 이온 빔의 포커스나 배율을 제어하는 광학계 제어부(303), 이온원용 스테이지에 설치한 이온원의 축맞춤이나 가동 조리개의 위치 맞춤을 엑츄에이터에 의해 행하는 광축 제어부(304), 시료가 배치되는 시료실을 진공 분위기로 하는 진공 배기부(305), 시료를 실어 빔의 조사 위치로 이동시키는 시료 스테이지(306), 시료를 시료 스테이지(306)에 운반하는 시료 반송 장치(307)를 구비하고 있다. 또한, 호스트 컴퓨터(302)에는 시료의 화상 데이터 등의 각종 데이터를 기억하는 기억 장치(310)가 접속되어 있다.

각 처리 요소는 중앙처리장치(CPU)를 가지고, 호스트 컴퓨터(302)와 동시에 버스 라인(308)에 접속되어 있고, TCP/IP를 이용하여, CSMA/CD (Carrier Sense Multiple Access with Collision Detection) 방식의 LAN에 의해 접속되어 있다. 호스트 컴퓨터(302) 및 상기 각 처리요소(303∼107)에는 각 고유의 식별(ID) 코드가 부여되고 또한, 버스 라인(308)을 통하여 호스트 컴퓨터(302) 및 상기 각 처리요소(303∼307)사이에서 송수신되는 신호에는 상기 ID 코드가 포함되도록 구성되어 있고, 버스 라인(308)상의 신호에 포함되는 상기 ID 코드를 판별함으로써 자기 수신 신호인지 여부를 판별한다.

이상과 같이 구성된 집속 빔 장치에서 호스트 컴퓨터(302) 및 각 구성 요소는 버스 라인(308)상의 신호가 자기 수신 신호인지 여부를 ID 코드에 의해 판별하여, 자기 수신 신호이면 상기 신호에 응답하여 처리를 행하고, 처리가 완료되면, 다음 스텝을 담당하는 구성 요소의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(308)으로 출력한다. 이에따라 시료의 관찰이나 가공 등의 처리를 행하고, 시료의 화상 데이 터 등의 데이터는 기억장치(310)에 기억된다.

상기 종래의 네트워크 시스템에 있어서는, 장치측 LAN(301)이 공장측 LAN(309)의 일부가 되므로, 장치측 LAN(301)과 공장측 LAN(309)이 상호 영향을 미치는 등, 여러가지의 문제가 있다.

즉, 공장측 LAN(309)으로부터 장치측 LAN(301)에의 액세스, 혹은 공장측 LAN(309)에 접속되는 장치가 증가하면, 버스 라인(308)의 트래픽이 증대하고, 장치측 LAN(301)내의 데이터 전송 효율이 약해진다는 문제가 있다. 반대로, 장치측 LAN(301)으로부터 공장측 LAN(309)에의 액세스 증가에 의해 공장측 LAN(309)내에서의 데이터 전송 효율도 열화된다는 문제가 있다.

또한, 장치측 LAN(301)의 전송 속도 등의 특성이나 IP 어드레스(Internet Protocol Address)의 설정 등이 공장측 LAN(309)의 사양 등에 의해 제약을 받아, 사양 등의 자유로운 설정을 할 수 없다는 문제가 있다.

한편, 장치측 LAN(301)과 공장측 LAN(309) 사이에서 상호 자유롭게 액세스할 수 있으므로, 제3자가 공장측 LAN(309)으로부터 장치측 LAN(301)내에 침입 가능해지고, 또한 반대의 경우도 가능해져, 장치측 LAN(301) 및 공장측 LAN(309)의 기밀 정보가 누설될 가능성이 있다.

또한, 장치측 LAN(301)과 공장측 LAN(309) 사이에서 상호 침입이 가능하므로, 통신 회선을 통하여 서비스 센터와 접속하여 원격 조작에 의해 장치측 LAN(301)을 보수 점검할 수 없다는 문제가 있다.

또한, 장치측 LAN이나 공장측 LAN 이외의 복수의 LAN을 접속한 경우에도, 상 기와 동일한 문제가 발생할 염려가 있다.

본 발명은 복수의 LAN을 접속한 네트워크 시스템에 있어서, 복수의 LAN이 상호 영향을 주지 않도록 함과 동시에, 공용의 데이터에는 상기 복수의 LAN에서 액세스할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다.

또한 본 발명은 상기 과제와 동시에 기밀성을 유지할 수 있도록 하는 것을 과제로 하고 있다.

또한 본 발명은 상기 각 과제와 함께, 원격 조작에 의해 보수를 행할 수 있도록 한 네트워크 시스템을 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

본 발명의 네트워크 시스템은 제1 LAN과, 제2 LAN과, 상기 제1, 제2 LAN 사이에 접속된 분리 수단 및 기억 수단을 구비하고, 상기 분리 수단은 상기 제1, 제2의 LAN이 상호 영향을 미치지 않도록 분리함과 동시에, 상기 제1, 제2 LAN의 양쪽으로부터 상기 기억수단에 액세스 가능하게 제어하는 것을 특징으로 하고 있다. 분리 수단은 제1, 제2 LAN이 상호 영향을 미치지 않도록 분리함과 동시에 상기 제1, 제2 LAN의 양쪽으로부터 기억 수단에 액세스할 수 있도록 제어한다.

상기 분리 수단은 상기 제1 LAN에서 제2 LAN에 액세스할 수 있도록 그 설정이 변경 가능하게 구성할 수 있다.

또한, 상기 제1 LAN은 공장측 LAN이고, 상기 제2 LAN은 장치측 LAN으로 할 수 있다.

또한, 상기 제2 LAN은 통신 회선을 통하여 상기 제2 LAN의 보수를 행하는 서비스 센터와 접속 가능하게 할 수 있다.

또한, 상기 제2 LAN은 제조장치, 검사장치 또는 하전 입자 빔 장치를 구성하는 LAN으로 할 수 있다.

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 블록도,

도2는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 블록도,

도3은 종래의 집속 이온 빔 장치를 사용한 네트워크 시스템의 블록도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

101 : 장치측 LAN 109 : 공장측 LAN

102 : 호스터 컴퓨터 103 : 광학계 제어부

104 : 광축 제어부 105 : 진공 배기부

110 : 분리수단 111 : CPU

116, 117 : 네트워크 카드

본 발명의 네트워크 시스템은 제1 LAN과, 제2 LAN과, 상기 제1, 제2 LAN 사이에 접속된 분리 수단 및 기억 수단을 구비하고, 상기 분리 수단은 상기 제1, 제2의 LAN이 상호 영향을 미치지 않도록 분리함과 동시에, 상기 제1, 제2 LAN의 양쪽으로부터 상기 기억 수단에 액세스 가능하게 제어하는 것을 특징으로 하고 있다. 분리 수단은 제1, 제2 LAN이 상호 영향을 미치지 않도록 분리함과 동시에 상기 제1, 제2 LAN의 양쪽으로부터 기억 수단에 액세스할 수 있도록 제어한다.

상기 분리 수단은 상기 제1 LAN에서 제2 LAN에 액세스할 수 있도록 그 설정 이 변경 가능하게 구성할 수 있다.

<실시형태>

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 네트워크 시스템의 블록도이고, 장치측 LAN이 하전 입자 빔 장치의 일종인 집속 이온 빔 장치(FIB)의 예를 나타내고 있다.

도1에서 집속 이온 빔 장치를 구성하는 제2 LAN으로서의 장치측 LAN(101)은 공장에서 떨어진 측정실에 설치되고, 장치측 LAN(101)과 공장측 LAN(109)이 상호 영향을 미치지 않도록 분리하는 분리 수단(110)을 통하여 제1 LAN으로서의 공장측 LAN(109)에 TCP/IP에 의해 LAN 접속되어 있다. 공장측 LAN(109)의 상세한 것은 도시하지 않지만, 컴퓨터 등을 버스 접속함으로써 구성된다.

장치측 LAN(101)은 시료의 관찰이나 가공 등의 처리를 행할 시의 지시 입력이나 수집한 데이터의 해석 처리 혹은 시료의 화상표시 등을 행하는 호스트 컴퓨터(102)를 구비하고 있고, 그 처리요소로서, 콘덴서 렌즈, 빔 블랭킹 전극 혹은 주사전극 등을 제어함으로써 전계에 의해 이온 빔을 제어하여 포커스나 배율을 제어하는 광학계 제어부(103), 이온원용 스테이지에 설치한 이온원을 엑츄에이터나 압전 소자에 의해 위치맞춤 등을 행하는 광축 제어부(104), 시료가 배치되는 시료실을 진공 분위기로 하는 진공 배기부(105), 시료를 실어 빔의 조사 위치로 이동시키는 시료 스테이지(106), 시료를 시료 스테이지(106)로 운반하는 시료 반송장치(107)를 구비하고 있다. 단, 하전 입자 빔 장치를 구성하기 위한 필수적인 처리요소는 광학계 제어부(103) 및 진공 배기부(105)이고, 그 이외의 처리 요소는 필요에 따라 이용된다.

각 처리 요소는 CPU를 가지고, 호스트 컴퓨터(102)와 함께 버스 라인(108)에 접속되어 있고, TCP/IP를 이용하여 CSMA/CD 방식의 LAN에 의해 접속되어 있다. 호스트 컴퓨터(102) 및 상기 각 처리요소(103∼107)에는 각 고유 식별(ID) 코드가 부여되고, 버스 라인(108)을 통하여 호스트 컴퓨터(102) 및 상기 각 처리요소(103∼107) 사이에서 송수신되는 신호에는 상기 ID 코드가 포함되도록 구성되고, 버스 라인(108)상의 신호에 포함되는 상기 ID 코드를 판별함으로써 자기 수신 신호인지 여부를 판별한다.

호스트 컴퓨터(102)에는 기밀 취급의 각종 데이터를 기억하는 기억 장치(119)가 접속되어 있다. 또한, 호스트 컴퓨터(102)에는 통신 회선으로서의 전용 회선(120)을 통하여 원격 조작에 의해 장치측 LAN(101)의 점검 등의 보수를 행하는 서비스 센터가 접속되도록 구성되어 있다.

한편, 분리수단(110)은 CPU(111), 표시부(112), CPU(111)의 프로그램을 기억한 메모리(113), 키보드 등의 입력 장치(114), 전용 버스(115) 및 네트워크 카드(116, 117)를 구비한 컴퓨터에 의해 구성되어 있다. 버스(115)에는 네트워크 카드(116, 117)를 통하여 장치측 LAN(101) 및 공장측 LAN(109)이 접속되어 있다. 또한, 버스(115)에는 기밀성을 요하지 않는 공용 데이터를 기억하는 기억수단으로서의 기억 장치(118)가 접속되어 있다.

또한, 분리 수단(110)은 장치측 LAN(101)과 공장측 LAN(109) 사이에서 상호 영향을 주지 않도록 하기 위한 것으로, 장치측 LAN(101)으로부터 공장측 LAN(109)에의 액세스 및 공장측 LAN(109)으로부터 장치측 LAN(101)에의 액세스를 금지함과 동시에, 장치측 LAN(101) 및 공장측 LAN(109)의 양쪽에서 기억 장치(118)에의 액세스를 가능하게 하는 것이다. 즉, 네트워크 카드(116, 117)는 각각 한방향에의 신호 전달을 가능하게 하고, 장치측 LAN(101)으로부터 네트워크 카드(117) 및 버스(115)를 통하여 기억 장치(118)에의 액세스는 가능하지만, 장치측 LAN(101)으로부터 네트워크 카드(116)를 통하여 공장측 LAN(109)에의 액세스는 금지된다. 또한, 공장측 LAN(109)으로부터 네트워크 카드(116) 및 버스(115)를 통하여 기억 장치(118)에의 액세스는 가능하지만, 공장측 LAN(109)으로부터 네트워크 카드(117)를 통하여 장치측 LAN(101)에의 액세스는 금지된다. 또한, 특정 권한을 가지는 자가 입력 장치(114)를 조작함으로써 장치측 LAN(101)과 공장측 LAN(109)의 상호간에서 액세스가 가능하게 되도록, 분리 수단(110)의 설정을 변경할 수 있도록 구성되어 있다.

이상과 같이 구성된 네트워크 시스템의 동작을 이하에 설명한다. 우선, 장치측 LAN(101)의 동작의 일례로서, 시료를 시료실에 반입하여 소정 위치에 세트하는 경우의 동작을 설명하면, 우선, 조작자는 시료를 세트하는 취지의 지시 신호를 호스트 컴퓨터(102)에 입력한다.

호스트 컴퓨터(102)는 상기 지시 입력에 응답하여, 진공 배기부(105)의 ID 코드를 포함하는 지시신호를 버스 라인(108)에 출력한다.

진공 배기부(105)는 버스 라인(108)에 송신된 호스트 컴퓨터(102)로부터의 지시신호를 수신하여, 그 신호에 포함되는 ID 코드를 판별하고, 자기 수신 지시 신호인 것을 인식하여, 이에 응답하고, 예비 시료실을 대기(大氣)로 하고 예비 시료실의 도어를 연다. 진공 배기부(105)는 상기 처리를 완료하면, 다음 처리 스텝을 담당하는 시료 반송장치(107)로 처리를 이행하기 위해, 시료 반송장치(107)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)에 출력한다.

시료 반송장치(107)는 버스 라인(108)에 송신된 진공 배기부(105)로부터의 지시신호를 수신하여, 그 신호에 포함되는 ID 코드를 판별하고, 자기 수신의 지시 신호인 것을 인식하여, 이에 응답하고, 시료를 예비 시료실에 반입한다. 시료 반송장치(107)는 상기 처리를 완료하면, 다음 처리 스텝을 담당하는 진공 배기부(105)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

이 후, 각 구성 요소는 상기와 동일하게 하여, 버스 라인(108)상의 신호가 자기 수신 신호인지 여부를 ID 코드에 의해 판별하고, 자기 수신 신호이면 처리를 행하고, 처리가 완료되면, 다음 스텝을 담당하는 구성 요소의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

즉, 시료 반송장치(107)가 처리를 완료하여, 진공 배기부(105)의 ID 코드를 포함하는 신호가 버스 라인(108)에 출력되면, 진공 배기부(105)는 상기 신호에 응답하여, 예비 시료실을 진공 배기하고, 상기 처리가 완료되면, 광학계 제어부(103)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

광학계 제어부(103)는 진공 배기부(105)로부터의 신호를 수신하여, 시료실내의 광학 제어용 고전압이 진공 열화에 따라 방전되는 것을 방지하기 위해 상기 고전압을 오프 상태로 제어 처리하고, 상기 처리가 완료되면, 진공 배기부(105)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

진공 배기부(105)는 광학계 제어부(103)로부터의 신호를 수신하여, 시료실과 예비 시료실간의 밸브를 해방하여 시료실과 예비 시료실을 접속하고, 상기 처리가 완료되면, 시료 스테이지(106)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

진공 배기부(105)로부터의 신호를 수신하여, 시료 스테이지(106)가 시료의 수수(授受) 위치로 이동하고, 상기 처리가 완료되면, 시료 반송장치(107)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

시료 스테이지(106)로부터의 신호를 수신하여 시료 반송장치(107)는 시료를 예비 시료실로부터 시료실의 시료 스테이지(106)로 이동시키고, 상기 처리가 완료되면, 시료 스테이지(106)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

시료 반송장치(107)로부터의 신호를 수신하여 시료 스테이지(106)는 이동하고, 시료가 이온 빔의 조사 위치로 이동한다. 시료 스테이지(106)는 상기 이동 처 리가 완료되면, 진공 배기부(105)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

다음에, 진공 배기부(105)에서 시료 스테이지(106)로부터의 신호를 수신하여, 시료실과 예비 시료실간의 밸브가 잠기고, 이에 따라 시료실과 예비 시료실이 분리된다. 상기 밸브를 잠그는 처리가 완료되면, 진공 배기부(105)는 광학계 제어부(103)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(108)으로 출력한다.

최후에, 광학계 제어부(103)에서 진공 배기부(105)로부터의 신호를 수신하여, 시료실내의 광학 제어용 고전압을 복귀시키고, 호스트 컴퓨터(102)의 ID 코드를 포함하는 신호를 버스 라인(102)으로 출력한다. 이에 따라 일련의 시료 반입 처리가 완료된다.

상기와 같이 하여 세트된 시료에 대해 이온 빔을 주사하고, 이에 따라 발생하는 2차 전자가 2차 전자 검출기에 의해 검출되고, 상기 시료에 대한 화상 데이터 등의 데이터가 수집된다. 수집한 상기 데이터가 기밀 취급인 경우에는 기억 장치(119)에 기억되고, 한편, 기밀 취급이 아닌 경우에는 공장측 LAN(109)으로부터도 액세스할 수 있도록 기억 장치(118)에 기억된다.

이상과 같이 하여, 호스트 컴퓨터(102) 및 각 처리 요소(103∼107)에 의해 분산 처리가 행해진다.

장치측 LAN(101)에서 기억 장치(118)에 기억된 데이터에 액세스하는 경우에는 호스트 컴퓨터(102)로부터 버스 라인(108), 분리 수단(110)의 네트워크 카드(117) 및 버스 라인(115)을 통하여 행해지고, 호스트 컴퓨터(102)에 의해 화상 해석 등의 각종 처리에 이용된다.

또한, 공장측 LAN(109)에서 기억 장치(118)에 기억된 데이터에 액세스하는 경우에는 공장측 LAN(109)으로부터 분리 수단(110)의 네트워크 카드(116) 및 버스 라인(115)을 통하여 행해지고, 상기 데이터가 공장측 LAN(109)의 제조 공정 등으로 활용된다. 이 때, 장치측 LAN(101)과 공장측 LAN(109)은 분리 수단(110)에 의해 상호 분리되어 있으므로, 장치측 LAN(101)과 공장측 LAN은 상호 영향을 미치지 않고, 양쪽 기밀성이 유지된다.

한편, 장치측 LAN(101)을 원격 조작에 의해 서비스 센터에서 보수를 행하는 경우에는 전용 회선(120)을 통하여 호스트 컴퓨터(102)에 액세스된다. 이 때, 분리 수단(110)에 의해 공장측 LAN(109)은 장치측 LAN(101)으로부터 분리되어 있어, 서비스 센터로부터 공장측 LAN(109)에 침입할 수 없으므로, 공장측 LAN내의 데이터 등의 기밀성을 유지하면서 장치측 LAN(101)의 보수가 가능하다.

또한, 공장측 LAN에서 기억 장치(119)에 기억된 기밀 데이터에 액세스할 필요성이 있는 경우나, 공장측 LAN(109)으로부터 장치측 LAN(101)을 보수하는 경우 등, 공장측 LAN(109)으로부터 장치측 LAN(101)에 직접 액세스할 필요가 있는 경우에는 특정한 권한을 가지는 자가 입력 장치(114)를 조작하여 분리 수단(110)의 설정을 변경함으로써 공장측 LAN(109)으로부터 분리 수단(110)의 네트워크 카드(116), 버스(115) 및 네트워크 카드(117)를 통하여 장치측 LAN(101)에 액세스할 수 있도록 한다. 또한, 반대로, 장치측 LAN(101)으로부터 공장측 LAN(109)에 직접 액세스해야 할 필요가 있는 경우에는 상기와 동일하게 입력 장치(114)를 조작하 여 분리 수단(110)의 설정을 변경함으로써 장치측 LAN(101)으로부터 분리 수단(110)의 네트워크 카드(117), 버스(115) 및 네트워크 카드(116)를 통하여 장치측 LAN(101)으로부터 공장측 LAN(109)에 액세스할 수 있도록 한다.

도2는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 블록도로, 도1의 장치측 LAN으로서, 제조 장치를 사용하는 경우의 예를 나타내고 있다. 또한, 분리 수단(110) 및 제1 LAN으로서의 공장측 LAN(109)의 구성 및 접속 관계는 도1과 동일하므로 생략하여 나타내고 있다.

도2에서 공작 기계를 구성하는 제2 LAN으로서의 장치측 LAN(201)은 각종 지시입력을 행함과 동시에 시퀀서로서 기능하는 호스트 컴퓨터(202)를 구비하고 있고, 그 처리 요소로서, CCD(Charge Coupled Device)에 의해 화상 인식 처리를 하는 검출부(203), 피가공물(워크)의 위치맞춤이나 가공처리 등을 행하는 제어부(204), 드릴 등의 가공기구의 구동처리를 하는 구동 제어부(205)를 구비하고 있다.

상기 제1 실시 형태와 같이, 각 처리 요소(203∼205)는 CPU를 가지며, 호스트 컴퓨터와 함께 버스 라인(206)에 접속되어 있고, TCP/IP를 이용하여, CSMA/CD 방식의 LAN에 의해 접속되고, 분리 수단(110)을 통하여 공장 LAN(109)에 접속되어 있다. 호스트 컴퓨터(202)에는 통신 회선으로서의 전용 회선(207)을 통하여 서비스 센터가 접속되도록 구성되어 있다.

또한, 상기 제1 실시 형태와 동일하게 호스트 컴퓨터(202) 및 각 처리 요소(203∼205)에는 각 고유의 식별(ID) 코드가 부여되고, 버스 라인(206)을 통하여 호스트 컴퓨터(202) 및 각 처리 요소(203∼205) 사이에서 송수신되는 신호에는 상기 ID 코드가 포함되도록 구성되어 있고, 버스 라인(206)상의 신호에 포함되는 상기 ID 코드를 판별함으로써 자기 수신 신호인지 여부를 판별하여 분산 처리를 행하고, 피가공물의 가공 처리를 행하도록 구성되어 있다.

제2 실시 형태에 있어서도, 장치측 LAN(201)과 공장측 LAN(109)은 분리 수단(110)에 의해 상호 분리되어 있으므로, 장치측 LAN(201)과 공장측 LAN은 상호 영향을 미치지 않고, 양쪽 기밀성이 유지되게 된다. 또한, 장치측 LAN(201)을 원격 조작에 의해 액세스 센터에서 보수하는 경우에도, 서비스 센터로부터 공장측 LAN(109)에 침입할 수 없으므로, 공장측 LAN(109)내의 데이터 등의 기밀성을 유지하는 것이 가능해진다.

또한, 제2의 실시형태에서 장치측 LAN(201)의 예로서 제조장치의 예를 들었는데, 호스트 컴퓨터(202)로서 데이터 처리 장치를 사용함과 동시에 각 구성요소(202∼205)를 적시에 선정함으로써 검사 장치를 구성하는 등, 다양한 변경이 가능하다. 일반적으로 제조 장치보다도 검사 장치쪽이 처리하는 데이터량이 많으므로, 장치측 LAN으로 검사 장치를 구성한 경우에, 분산 처리에 의한 효과가 보다 커진다.

이상 기술한 바와같이, 상기 각 실시 형태에 의하면, 복수의 LAN을 접속한 네트워크 시스템에 있어서, LAN 상호간에 영향을 주지 않도록 하는 것이 가능해진다.

따라서, 공장측 LAN(109)의 영향에 의해 장치측 LAN(101, 201)내의 데이터 전송 효율이 열화되는 것을 방지할 수 있다. 반대로, 장치측 LAN(101, 201)의 영향 에 의해 공장측 LAN(109)내에서의 데이터 전송 효율이 열화하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 장치측 LAN(101, 201)의 전송 속도 등의 특성이나 IP 어드레스의 설정 등을 자유롭게 행할 수 있는 효과가 생긴다.

또한, 장치측 LAN(101, 201) 및 공장측 LAN(109)의 기밀성을 유지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 기밀성을 유지하면서, 서비스 센터로부터 전용 회선(120, 207)을 통하여 원격 조작에 의해 장치측 LAN(101, 201)의 보수를 행하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 각 실시 형태에서는 장치측 LAN(101, 201)으로서, 하전 입자 빔 장치, 제조 장치 및 검사 장치의 예를 들었는데, 다른 LAN 구성의 장치에도 적용할 수 있고, 공장측 LAN(109)에 대해서도 다른 LAN을 사용하는 것이 가능하다.

또한, 장치측 LAN(101, 201)의 보수를 유선 전용 회선을 통하여 행하도록 했는데, 무선 통신 회선을 통하여 보수를 행하도록 해도 된다.

또한, 장치측 LAN(101, 201)의 보수의 예로서, 점검하는 경우의 예를 설명했는데, 장치측 LAN의 감시나, 장치측 LAN(101, 201)으로 사용하는 소프트웨어의 버전 업 등을 행하도록 해도 된다.

또한, 장치측 LAN(101, 201)으로부터, 상기 장치의 가동 상황을 통신회선을 통하여 전자 메일이나 팩시밀리 등으로 정기적으로 서비스 센터에 송신하도록 해도 된다.

또한, 분리 수단(110)을 1대의 컴퓨터에 의해 구성했는데, 장치측 LAN(101, 201)에 접속된 컴퓨터와, 공장측 LAN(109)에 접속된 컴퓨터를 상호 버스 접속하여, 상기 버스에 공용 데이터를 기억하는 기억 장치를 접속해도 된다.

또한, 분리 수단으로서, 라우터나 인텔리전트 허브 등을 사용하는 것도 가능하다.

또한, 상기 각 LAN은 전기 케이블에 의한 구성뿐만 아니라, 광 화이버에 의해 구성할 수 있다.

본 발명에 의하면, 복수의 LAN을 접속한 네트워크 시스템에서 LAN 상호간에 영향을 주지 않도록 하는 것이 가능해진다.

또한, 복수의 LAN을 접속한 네트워크 시스템에서 LAN 상호간에 영향을 주지 않도록 함과 동시에, 기밀성을 유지하는 것이 가능해진다.

또한, 기밀성을 유지하면서, 원격 조작에 의해 LAN의 보수를 행하는 것이 가능해진다.

Claims

제1 LAN과, 제2 LAN과, 상기 제1 LAN과 상기 제2 LAN의 사이에 접속된 분리 수단 및 기억 수단을 구비하며,

상기 분리 수단은 상기 제1 LAN 및 상기 제2 LAN 각각에 접속되며, 또한, 상기 기억 수단으로의 일 방향만의 신호 전달을 가능하게 하는 제1 네트워크 카드 및 제2 네트워크 카드를 구비하고, 상기 제1 LAN 및 상기 제2 LAN이 상호 영향을 미치지 않도록 분리함과 동시에, 상기 제1 LAN 및 상기 제2 LAN 양쪽으로부터 상기 기억 수단에 액세스 가능하게 제어하는 것을 특징으로 하는 네트워크 시스템.
제1항에 있어서, 상기 분리 수단은 상기 제1 LAN으로부터 제2 LAN에 액세스할 수 있도록 그 설정이 변경 가능한 것을 특징으로 하는 네트워크 시스템.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 LAN은 공장측 LAN이고, 상기 제2 LAN은 장치측 LAN인 것을 특징으로 하는 네트워크 시스템.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 LAN은 통신 회선을 통하여 상기 제2 LAN의 보수를 행하는 서비스 센터와 접속 가능한 것을 특징으로 하는 네트워크 시스템.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 LAN은 제조 장치, 검사 장치 또는 하전 입자 빔 장치를 구성하는 LAN인 것을 특징으로 하는 네트워크 시스템.