WO2000015016A2 - Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren eines verfahrwegs und/oder einer winkellage einer haltevorrichtung in einer einrichtung zur herstellung von elektrischen baugruppen sowie kalibriersubstrat - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren eines verfahrwegs und/oder einer winkellage einer haltevorrichtung in einer einrichtung zur herstellung von elektrischen baugruppen sowie kalibriersubstrat Download PDF

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    • H05K13/089Calibration, teaching or correction of mechanical systems, e.g. of the mounting head

Definitions

  • the invention relates to a method, a device and a calibration substrate for calibrating a travel path and / or an angular position of a holding device in a device for producing electrical assemblies, in particular for equipping printed circuit boards with components, according to the preambles of patent claims 1. 6 or 9.
  • a calibration substrate of the type of a printed circuit board has been fitted with disk-like replicas of the components at defined mounting points.
  • the replicas are transported on the holding device from a magazine to the calibration substrate, analogous to the transport of components from supply units to the placement point on a printed circuit board.
  • a circuit board-like glass plate as the calibration substrate, which has centering marks in its corner areas.
  • the glass plate provided with a double-sided adhesive film or with a spray adhesive is placed in the device, which is designed, for example, as an automatic placement machine, whereupon the position of the centering marks is determined by means of a position-resolving circuit board camera of the automatic placement machine.
  • the calibration substrate is then fitted with replicas of components at points defined relative to the centering marks.
  • the fitted glass plate can then be measured in different ways.
  • a first one for example from US 5,537,204 or from processes known from DE 42 27 667 the fitted glass plate is placed in an optical measuring machine.
  • the glass plates have defined markings, the position of which is determined in the measuring machine relative to the centering marks of the glass plate.
  • Correction values are determined from the positional deviations from the desired ideal position in the coordinate directions and with respect to the rotational position, which are entered as correction parameters in the placement machine, which takes these deviations into account when later mounting circuit boards with components.
  • circuit board cameras have an individual-dependent and particularly pronounced camera distortion in the case of lenses with a short focal length. From this fact, systematic errors in the range of ⁇ 15 ⁇ m arise when measuring placement machines and the multiple use of this optical sensor unit.
  • the object is achieved according to the invention by a method with the characterizing features of patent claim 1, by a device with the characterizing features of patent claim 6 and by a calibration substrate with the characterizing features of patent claim 9.
  • the optical sensor first advantageously measures the distance between a first and a second correction mark, which are applied to the calibration substrate (the glass plate) at a predetermined nominal distance. By comparing the determined distance with the nominal distance, a sensor correction factor is determined, which is taken into account when determining the position of the individual replicas on the calibration substrate. With this method, the optical sensor is precisely calibrated in a limited area of its field of vision (partial mapping).
  • the method according to claim 3 works particularly precisely if the respective optical structural features also have the same or similar shape.
  • the method according to claim 4 is particularly simple and quick if the nominal distance is chosen to be smaller than the field of view of the optical sensor, so that the first and the second correction mark, as well as the local reference marks and optical structural features, are recorded simultaneously by the optical sensor.
  • a further improvement of accuracy is it aims ⁇ that according to patent claim 5, the local reference marks at least field approximately at the same point of the face ⁇ of the optical sensor are taken as the first correction mark. This ensures that, for the Ver ⁇ measurement always the same, already calibrated range of the optical sensor is used.
  • the imaginary connecting line between the local reference marks and the structural features runs perpendicular to edges of the replicas, as a result of which the measurement is not made more difficult by additional reflections on further edges of the replicas.
  • FIG. 1 shows a plan view of a calibration substrate with replicas of components placed thereon
  • FIG. 2 shows an enlarged section of the calibration substrate according to FIG. 1 with the first and the second correction mark.
  • FIG. 1 shows a calibration substrate 1, which was equipped with replicas 2 of such components in a placement machine for electrical components at defined locations.
  • the replicas 2 were taken from magazines (not shown) and transported on a holding device (not shown) to the calibration substrate 1 and placed at the intended position, analogously to the transport of components from supply devices to the mounting position on the circuit board.
  • the replicas 2 consist of small glass plates, each of which has markings 4 in two diagonally opposite corners as optical structural features in the manner of crosshairs.
  • the calibration substrate 1 is narrow at these points Provide the distance to the markings 4 with local reference marks 3, which are applied with high positional precision.
  • the markings 4 and the reference marks 3 are so closely adjacent that they fit into a field of view 7 of a spatially resolving optical sensor which is attached to a placement head for the components. This placement is such ver ⁇ mobile, that the sensor on all marked corner portions is positionable.
  • the spatially resolving sensor is connected to evaluation electronics which are able to determine the relative position of the markings 4 with respect to the respective reference mark 3 without the sensor having to be moved in the process.
  • a control device (not shown) of the placement device has an evaluation module that processes the individual deviations of the markings 4 from the reference marks 3 into correction parameters for the machine. These correction parameters are automatically adopted by the control unit.
  • a first correction mark 5 and a second correction mark 6 are applied to the calibration substrate 1 at a fixed, predetermined nominal distance a.
  • the optical sensor first measures the distance between the first 5 and the second 6 correction marks, and a sensor correction factor is determined from this in comparison with the nominal distance a, which factor is taken into account when determining the position of the simulations 2. If the optical sensor then measures the position of the local reference marks 3 relative to the markings 4 and the same area of the field of view 7 is used as in the measurement of the first 5 and the second 6 correction marks, an accurate determination can be made by taking the sensor correction factor into account the relative position between marker 4 and local reference mark 3.
  • the highest possible accuracy is achieved by the position in the field of view 7 at which the first correction mark 5 was measured being le in the field of 7 corresponds to which the local Refe rence ⁇ mark is measured. 3
  • the marker 4 is then approximately at the point in the visual field 7 where the second correction mark 6 was present. This means that an area of the field of view 7 of the optical sensor is used that was previously used in the determination of the sensor correction factor, as a result of which the desired accuracy in measuring the placement machine is achieved.
  • the marks 4 are arranged relative to the local reference marks 3 so that their imaginary connecting line is perpendicular to the edges of the replicas. This minimizes the influence of harmful reflections on the measurement of the relative position of the markings.

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Abstract

Bekannte Verfahren kalibrieren den Verfahrweg und/oder die Winkellage von Haltevorrichtungen in Einrichtungen zur Herstellung von elektrischen Baugruppen durch optische Messungen der Lage von Nachbildungen (2) elektrischer Bauelemente, die auf ein Kalibriersubstrat (1) bestückt sind. Dazu dienen Markierungen (4) auf den Nachbildungen (2) und lokale Referenzmarken (3) auf dem Kalibriersubstrat (1). Leiterplattenkameras, die als optische Sensoren eingesetzt werden, weisen eine ausgeprägte Kameraverzerrung auf, die die Kalibrierung erschwert. Durch das erfindungsgemäße Verfahren, die Vorrichtung sowie das Kalibriersubstrat (1) wird ein Sensorkorrekturfaktor ermittelt, indem die Lage zweier Korrekturmarken (5,6), die in einem vorgegebenen Nennabstand (a) und einer vorgegebenen Lage zueinander auf dem Kalibriersubstrat (1) angebracht sind, mit der Leiterplattenkamera vermessen wird und das Ergebnis der Messung mit dem Nennabstand (a) verglichen wird.

Description

Beschreibung
Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung in einer Einrichtung zur Herstellung von elektrischen Baugruppen sowie Kalibriersubstrat
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren, eine Vorrichtung sowie ein Kalibriersubstrat zum Kalibrieren eines Ver- fahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung in einer Einrichtung zur Herstellung von elektrischen Baugruppen, insbesondere zum Bestücken von Leiterplatten mit Bauelementen, gemäß den Oberbegriffen der Patentansprüche 1, 6 oder 9.
Bisher wird zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung in einer Einrichtung zur Herstellung von elektrischen Baugruppen beispielsweise ein Kalibriersubstrat von der Art einer Leiterplatte an definier- ten Aufsetzstellen mit scheibenartigen Nachbildungen der Bauelemente bestückt. Die Nachbildungen werden dabei an der Haltevorrichtung von einem Magazin zum Kalibriersubstrat transportiert, analog zum Transport von Bauelementen aus Zuführeinheiten bis zur Aufsetzstelle auf einer Leiterplatte. Da- bei ist es üblich, als Kalibriersubstrat eine leiterplattenähnliche Glasplatte zu verwenden, die in ihren Eckbereichen Zentriermarken aufweist. Die mit einer doppelseitigen Klebefolie oder mit einem Sprühkleber versehene Glasplatte wird in die zum Beispiel als Bestückautomat ausgebildete Ein- richtung eingelegt, worauf die Lage der Zentriermarken mittels einer ortsauflösenden Leiterplattenkamera des Bestückautomaten ermittelt wird. Anschließend wird das Kalibriersubstrat an relativ zu den Zentriermarken definierten Stellen mit Nachbildungen von Bauelementen bestückt.
Die bestückte Glasplatte kann dann auf unterschiedliche Art und Weise vermessen werden. In einem ersten, beispielsweise aus US 5,537,204 oder aus DE 42 27 667 bekannten Verfahren wird die bestückte Glasplatte in eine optische Meßmaschine eingelegt. Die Glasplättchen weisen definierte Markierungen auf, deren Lage relativ zu den Zentriermarken der Glasplatte in der Meßmaschine ermittelt wird. Aus den Lageabweichungen von der angestrebten Ideallage werden in den Koordinatenrichtungen und hinsichtlich der Drehlage Korrekturwerte ermittelt, die als Korrekturparameter in den Bestückautomaten eingegeben werden, der diese Abweichungen beim späteren Bestük- ken von Leiterplatten mit Bauelementen berücksichtigt.
In der älteren deutschen Patentanmeldung 19711476.8 (veröffentlicht als WO 98/42171) wurde bereits ein weiteres Verfahren vorgeschlagen, wobei die bestückte Glasplatte im Bestück- automaten durch die Leiterplattenkamera vermessen wird. Die Leiterplattenkamera nimmt dafür in ihrem Gesichtsfeld lokale Referenzmarken, die auf der Glasplatte vorhanden sind, zusammen mit den definierten Markierungen der Glasplättchen auf, und ermittelt aus deren relativen Lage zueinander die ent- sprechenden Korrekturwerte, die anschließend beim Bestücken von Leiterplatten mit Bauelementen berücksichtigt werden.
Die Leiterplattenkameras weisen allerdings eine individuenabhängige und bei kurzbrennweitigen Objektiven besonders ausge- prägte Kameraverzerrung auf. Aus diesem Sachverhalt heraus entstehen bei der Vermessung von Bestückautomaten und der dabei mehrfachen Benutzung dieser optischen Sensoreinheit systematische Fehler im Bereich von ± 15 um.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein verbessertes Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit der der Verfahrweg und/oder die Winkellage einer Haltevorrichtung in einer Einrichtung zur Herstellung von elektrischen Baugruppen kalibriert werden kann, wobei eine in der Einrichtung vorhandene optische Sensoreinrichtung benutzt wird. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1, durch eine Vorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruches 6 sowie durch ein Kalibriersubstrat mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 9.
Im erfindungsgemäßen Verfahren, mit der erfinderischen Vorrichtung sowie mit dem erfindungsgemäßen Kalibriersubstrat wird in vorteilhafter Weise durch den optischen Sensor zu- nächst der Abstand zwischen einer ersten und einer zweiten Korrekturmarke vermessen, die auf dem Kalibriersubstrat (der Glasplatte) in einem vorgegebenen Nennabstand aufgebracht sind. Durch den Vergleich des ermittelten Abstands mit dem Nennabstand wird ein Sensorkorrekturfaktor ermittelt, der bei der Lagebestimmung der einzelnen Nachbildungen auf dem Kalibriersubstrat berücksichtigt wird. Durch dieses Verfahren wird der optische Sensor in einem beschränkten Bereich seines Gesichtsfelds genau kalibriert (partielles mapping) .
In der vorteilhaften Ausgestaltung nach Patentanspruch 2, wobei die jeweiligen optischen Strukturmerkmale die gleiche Lage (Position und Abstand) relativ zueinander aufweisen, ist sichergestellt, daß der optische Sensor nur in dem Bereich benutzt wird, für den er auch genau vermessen ist.
Besonders genau arbeitet das Verfahren gemäß Patentanspruch 3, wenn die jeweiligen optischen Strukturmerkmale auch eine gleiche bzw. ähnliche Form aufweisen.
Besonders einfach und schnell gestaltet sich das Verfahren gemäß Patentanspruch 4, wenn der Nennabstand kleiner als das Gesichtsfeld des optischen Sensors gewählt wird, so daß die erste und die zweite Korrekturmarke, wie auch die lokalen Referenzmarken und optischen Strukturmerkmale gleichzeitig vom optischen Sensor aufgenommen werden. Eine weitere Verbesserung der Genauigkeit wird dadurch er¬ zielt, daß gemäß Patentanspruch 5 die lokalen Referenzmarken zumindest näherungsweise an der gleichen Stelle des Gesichts¬ felds des optischen Sensors aufgenommen werden wie die erste Korrekturmarke. Dadurch ist sichergestellt, daß für die Ver¬ messung immer der gleiche, bereits kalibrierte Bereich des optischen Sensors verwendet wird.
In der vorteilhaften Vorrichtung zur Durchführung eines Ver- fahrens nach Patentanspruch 8 verläuft die gedachte Verbindungslinie zwischen den lokalen Referenzmarken und den Strukturmerkmalen senkrecht zu Kanten der Nachbildungen, wodurch die Vermessung nicht durch zusätzliche Reflexionen an weiteren Kanten der Nachbildungen erschwert wird.
Anhand der Figuren der Zeichnung wird die Erfindung in Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dabei zeigt Figur 1 eine Draufsicht auf ein Kalibriersubstrat mit darauf aufgesetzten Nachbildungen von Bauelementen, Figur 2 einen vergrößerten Ausschnitt aus dem Kalibriersubstrat nach Figur 1 mit der ersten und der zweiten Korrekturmarke.
In Figur 1 ist ein Kalibriersubstrat 1 dargestellt, welches in einem Bestückautomaten für elektrische Bauelemente an definierten Stellen mit Nachbildungen 2 solcher Bauelemente bestückt wurde. Dazu wurden die Nachbildungen 2 aus nicht dargestellten Magazinen entnommen und an einer nicht dargestellten Haltevorrichtung bis zum Kalibriersubstrat 1 transportier und an der dafür vorgesehenen Position abgesetzt, analog zum Transport von Bauelementen aus Zuführeinrichtungen bis zur Aufsetzposition auf die Leiterplatte. Die Nachbildungen 2 bestehen aus kleinen Glasplättchen, die jeweils in zwei einander diagonal gegenüberliegenden Ecken Markierungen 4 als op- tische Strukturmerkmale in der Art von Fadenkreuzen aufweisen. Das Kalibriersubstrat 1 ist an diesen Stellen im engen Abstand zu den Markierungen 4 mit lokalen Referenzmarken 3 versehen, die mit hoher Lagepräzision aufgebracht sind.
Die Markierungen 4 und die Referenzmarken 3 sind so eng benachbart, daß sie in ein Gesichtsfeld 7 eines ortsauflösenden optischen Sensors passen, der an einem Bestückkopf für die Bauelemente befestigt ist. Dieser Bestückkopf ist derart ver¬ fahrbar, daß der Sensor über allen markierten Eckbereichen positionierbar ist.
Der ortsauflösende Sensor ist mit einer Auswerteelektronik verbunden, die in der Lage ist, die relative Lage der Markierungen 4 zu der jeweiligen Referenzmarke 3 zu ermitteln, ohne daß dabei der Sensor verfahren werden muß. Ein nicht darge- stelltes Steuergerät der Bestückeinrichtung weist ein Auswertemodul auf, das die einzelnen Abweichungen der Markierungen 4 von den Referenzmarken 3 zu Korrekturparametern für die Maschine verarbeitet. Diese Korrekturparameter werden automatisch vom Steuergerät übernommen.
Für eine genaue Kalibrierung des optischen Sensors sind in einem fest vorgegebenen Nennabstand a eine erste Korrekturmarke 5 und eine zweite Korrekturmarke 6 auf dem Kalibriersubstrat 1 angebracht. Der optische Sensor vermißt dabei zu- nächst den Abstand der ersten 5 und der zweiten 6 Korrekturmarke, und daraus wird im Vergleich mit dem Nennabstand a ein Sensorkorrekturfaktor ermittelt, der bei der Lagebestimmung der Nachbildungen 2 berücksichtigt wird. Vermißt der optische Sensor nun anschließend die Lage der lokalen Referenzmarken 3 relativ zu den Markierungen 4 und wird dabei der gleiche Bereich des Gesichtsfeldes 7 benutzt wie bei der Vermessung der ersten 5 und der zweiten 6 Korrekturmarke, so kann durch die Berücksichtigung des Sensorkorrekturfaktors eine genaue Bestimmung der relativen Lage zwischen Markierung 4 und lokaler Referenzmarke 3 erfolgen. Eine höchstmögliche Genauigkeit wird dadurch erzielt, daß die Stelle im Gesichtsfeld 7, an der die erste Korrekturmarke 5 vermessen wurde, mit der Stel- le im Gesichtsfeld 7 übereinstimmt, an der die lokale Refe¬ renzmarke 3 vermessen wird. Die Markierung 4 befindet sich dann näherungsweise an der Stelle im Gesichtsfeld 7, an der die zweite Korrekturmarke 6 vorhanden war. Damit wird ein Be- reich des Gesichtsfeldes 7 des optischen Sensors verwendet, der vorher bei der Bestimmung des Sensorkorrekturfaktors benutzt wurde, wodurch die gewünschte Genauigkeit im Vermessen des Bestückautomaten erzielt wird.
Die Markierungen 4 sind relativ zu den lokalen Referenzmarken 3 dabei so angeordnet, daß ihre gedachte Verbindungslinie senkrecht zu Kanten der Nachbildungen steht. Dadurch wird der Einfluß von schädlichen Reflexionen auf die Messung der relativen Lage der Markierungen zueinander minimiert.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung in einer Einrichtung zur Herstellung von elektrischen Baugruppen, insbesondere zum Be¬ stücken von Leiterplatten mit Bauelementen, wobei mittels der Einrichtung ein Kalibriersubstrat (1) von der Art einer Leiterplatte an definierten Aufsetzstellen mit scheibenartigen Nachbildungen (2) der Bauelemente bestückt wird, wobei die Lage der Nachbildungen (2) relativ zu lokalen Referenzmarken (3) des Kalibriersubstrates (1) anhand von lagedefinierten optischen Strukturmerkmalen (z.B.4) der Nachbildungen (2) durch einen ortsauflösenden optischen Sensor ermit- telt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Sensor den Abstand zwischen einer ersten (5) und einer zweiten (6) Korrekturmarke vermißt, die auf dem Kalibriersubstrat (1) in einem vorgegebenen Nennabstand (a) aufgebracht sind, wobei die lokalen Referenzmarken (3) zumindest näherungsweise an der gleichen Stelle des Gesichtsfelds (7) des optischen Sensors aufgenommen werden wie die erste Korrekturmarke (5) und daß durch Vergleich des gemessenen Abstands mit dem Nennab- stand (a) ein Sensorkorrekturfaktor ermittelt wird, der bei der Lagebestimmung der Nachbildungen (2) zur Kompensation einer optischen Verzerrung berücksichtigt wird.
2. Verfahren zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der lokalen Referenzmarken (3) zu den optischen Strukturmerkmalen (z.B.4) näherungsweise gleich dem Nennabstand (a) gewählt wird und daß die Position der optischen Strukturmerkmale (4) relativ zu den lokalen Referenzmarken (3) der relativen Position der zweiten (6) zur ersten (5) Korrekturmarke entspricht.
3. Verfahren zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Form der lokalen Referenzmarken (3) und der optischen Strukturmerkmale (4) der Form der ersten (5) und der zweiten (6) Korrekturmarke entspricht.
4. Verfahren zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung nach einem der Ansprüche 1,
2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Nennabstand (a) kleiner als das Gesichtsfeld (7) des optischen Sensors gewählt wird, und daß die erste (5) und die zweite (6) Korrekturmarke gleichzeitig vom optischen Sensor aufgenommen werden.
5. Verfahren zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß die lokalen Referenzmarken (3) zumindest näherungsweise an der gleichen Stelle des Gesichtsfelds (7) des optischen Sensors aufgenommen werden wie die erste Korrekturmarke (5) .
6. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei mittels der Einrichtung ein Kalibriersubstrats (1) von der Art einer Leiterplatte an definierten Aufsetzstellen mit Nachbildungen (2) der Bauelemente bestückt ist, wobei die Lage der Nachbildungen (2) relativ zu lokalen Referenzmarken (3) des Kalibriersubstrats (1) anhand von lagede- finierten optischen Strukturmerkmalen (z.B. ) der Nachbildungen (2) durch einen optischen Sensor ermittelbar ist und wobei aus ermittelten Abweichungen der Lage der Strukturmerk¬ male (z.B.4) von ihrer vorgegebenen Ideallage zumindest ein Korrekturparameter für ein Steuergerät der Einrichtung zur Herstellung der Baugruppen berechenbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste (5) und eine zweite (6) Korrekturmarke so auf dem Kalibriersubstrat (1) angebracht sind, daß ihr vorgegebener Nennabstand (a) zumindest näherungsweise dem Abstand zwischen den lokalen Referenzmarken (3) und den Strukturmerkma- len (z.B.4) entspricht und ihre Position relativ zueinander der relativen Position der lokalen Referenzmarken (3) zu den Strukturmerkmalen (z.B. 4).
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrekturmarken (5,6), die lokalen Referenzmarken (3) und die Strukturmerkmale (z.B.4) als Kreuze ausgebildet sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine gedachte Verbindungslinie zwischen den lokalen Referenzmarken (3) und den Strukturmerkmalen (4) zumindest näherungsweise senkrecht zu Kanten der Nachbildungen (2) verläuft.
9. Kalibriersubstrat (1) zur Durchführung eines Verfahrens zum Kalibrieren eines Verfahrwegs und/oder einer Winkellage einer Haltevorrichtung, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit lokalen Referenzmarken (3) in deren Nähe zugeordnete optische Strukturmerkmale (4) von Nachbildungen (2) von elektrischen Bauelementen nach der Bestückung des Kalibriersubstrats (1) mit den Nachbildungen an den dafür vorgesehenen Stellen aufzufinden sind gekennzeichnet durch eine erste (5) und eine zweite (6) Korrekturmarke, die in einem vorgegebenen Nennabstand (a) voneinander entfernt auf das Kalibriersubstrat (1) aufgebracht sind, wobei der Nennabstand zumindest näherungsweise gleich dem Abstand zwischen den lokalen Referenzmarken (3) und den zugeordneten optischen Strukturmerkmalen (4) ist.
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