WO1998028775A2 - Rastermikroskop, bei dem eine probe in mehreren probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird - Google Patents

Rastermikroskop, bei dem eine probe in mehreren probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird Download PDF

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WO1998028775A2
WO1998028775A2 PCT/EP1997/007250 EP9707250W WO9828775A2 WO 1998028775 A2 WO1998028775 A2 WO 1998028775A2 EP 9707250 W EP9707250 W EP 9707250W WO 9828775 A2 WO9828775 A2 WO 9828775A2
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scanning microscope
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Stefan Hell
Jörg Bewersdorf
Rainer Pick
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MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes

Definitions

  • the invention relates to an optical device, in particular a scanning microscope, wherein an expanded laser beam is split into a plurality of partial beams by a plurality of microlenses arranged next to one another, the partial beams being focused with a common objective in each case at a focal point for the optical excitation of a sample and with one fluorescent light originating from the sample from the sample from behind the lens from the sample is registered.
  • a branching of the beam path is provided, for example by a beam splitter, so that the fluorescent light originating from the sample is deflected laterally from the direction of the exciting laser beam to the photosensor.
  • a scanning microscope in which several partial beams are formed from a widened laser beam, in which the partial beams are focused with a common objective in each case at a focal point for the optical excitation of a sample and in which the individual are arranged with a photosensor arranged behind the objective from the sample Fluorescence light originating from the sample is focussed on is known from US-Z Nature, Vol. 383, page 760.
  • the pinhole is arranged in the beam path of the device in such a way that the fluorescent light from the sample must also pass through the pinhole if it is to reach the photosensor. It is therefore a confocal scanning microscope in which almost only fluorescent light from one plane of the sample is applied can get to the photosensor. This enables a three-dimensional resolution of the sample with respect to the fluorescent light intensities obtained.
  • the pinhole of the known scanning microscope is a so-called Nipkow disk, in which the individual holes are arranged so that they evenly scan the sample when the Nipkow disk is rotated around its center. The Nipkow disk was originally developed for scanning images to obtain a telegraphable signal.
  • a problem of the known scanning laser microscope is that the holes of the pinhole have to have a certain minimum distance in the lateral direction so that fluorescent light that comes from planes other than the plane of the sample to be viewed and that is not focused back onto the exit hole of the excitation radiation, holes not adjacent to the exit hole reach the photosensor.
  • a large spacing of the holes in the pinhole means that the light output of the incident laser beam is essentially blocked out by the pinhole and is therefore lost.
  • the laser light blocked by the pinhole reflects from the back of the pinhole onto the photosensor and can lead to a high subsoil there.
  • a scanning microscope is known from US Pat. No. 5,034,613, in which fluorescent light from the sample is registered with the photosensor, which has only half the wavelength of the incident laser beam.
  • the fluorescence of the sample is due to a so-called two-photon excitation.
  • the probability of such a two-photon excitation is noticeably different from zero only in the core area of the respective focus point, in which the laser beam is focused for the optical excitation of the sample.
  • this known scanning microscope has a significantly improved axial resolution even compared to confocal scanning microscopes.
  • the yields of fluorescent light from the sample are relatively lower than with a confocal scanning microscope. This increases the measuring times that are required per sample point in order to obtain meaningful fluorescence light intensity data.
  • the yield of fluorescent light from this focal point can be increased by increasing the light output of the laser beam.
  • a scanning microscope is known from DE 40 40 441 A1, in which a laser beam is split and the two parts of the laser beam are brought into interference from opposite directions in a common focal point to excite a sample.
  • a main maximum and two secondary axima of the light intensity form in the area of the common focus point of the two partial beams.
  • the main maximum has a small axial extent and can be easily separated from the secondary maxima by a confocal arrangement, for example.
  • the small axial extent of the main maximum means a very good axial resolution of this known scanning microscope.
  • a scanning microscope of the type described at the outset is known from Bioimages 4 (2): 57-62, June 1996.
  • the microlenses are arranged to form a microlens wheel, the expanded laser beam being split into a part of the microlenses into each of the partial beams, and the sample being scanned two-dimensionally by rotating the microlens wheel about its axis running parallel to the laser beam.
  • An aperture wheel is arranged behind the microlens wheel and has an aperture for each microlens. Both the corresponding partial beam in the direction of the sample and the fluorescent light excited by this partial beam pass through the aperture in order to obtain a sufficient depth resolution in the known scanning microscope, which works with one-photon excitation .
  • the relative arrangement and storage of the microlens wheel and the diaphragm wheel must be carried out extremely precisely in order to ensure the proper functioning of the known one Ensure scanning microscope.
  • the microlenses in the known microlens wheel are not arranged next to one another in two dimensions but, like in a conventional Nipkow disk, in individual curved rows, the entire light intensity of the expanded laser beam is not used.
  • the object of the invention is to further develop an optical device, that is to say in particular a scanning microscope, of the type described at the outset in such a way that a high light output of an expanded laser beam is made fully usable without great adjustment effort.
  • this object is achieved in that in an optical device, i. H. in particular in a scanning microscope, of the type described at the outset, each photon of the fluorescent light coming from the sample and registered with the photosensor is excited by at least two photons from the laser beam. That , the new device works with a more photon excitation. Due to the more photon excitation, a sufficient depth resolution is achieved without the use of an aperture arrangement downstream of the microlenses and upstream of the photosensor.
  • the invention is applicable to all scanning microscopes that use a more photon excitation to increase the axial resolution.
  • the laser beam can also have laser radiation of different wavelengths, the wavelengths being in a different relationship to the wavelength of the fluorescent light coming from the sample than is indicated above.
  • the wavelength of the fluorescent light is shorter than the shortest wavelength of the laser beam used for excitation.
  • a scanning microscope according to the invention is characterized, for example, in that the wavelength of the laser beam is approximately twice as long as the wavelength of the sample coming fluorescence light registered with the photosensor. This corresponds to a two-photon excitation of the fluorescent light.
  • Various filters can be used that completely separate the fluorescent light from the exciting laser radiation due to its different wavelength.
  • the microlenses can directly adjoin one another, so that the laser beam is used over its entire width. At the same time, no laser light is then reflected back from the microlenses. Nevertheless, the individual partial beams behind the microlenses have a good separability of their beam paths.
  • the partial beams are focused in the focal points of the microlenses. Point light sources are thus formed at the focal points of the microlenses. These point light sources are imaged with the lens in the plane of the sample to be viewed. The point light sources have a lateral distance which corresponds to the diameter of the microlenses used.
  • the microlenses can have a uniform focal length and can be arranged in a plane running perpendicular to the laser beam. Then the focal points of the microlenses are also arranged in one plane and they are imaged in one plane of the sample. By splitting the laser beam with the microlenses into several partial beams, the scanning of the sample in this plane is accelerated compared to the use of only a single focal point in which the sample is excited.
  • microlenses can also have different focal lengths and / or be arranged in parallel planes perpendicular to the laser beam.
  • the focal points of the microlenses thus have different axial positions and are imaged in different planes of the samples.
  • the multiple microlenses used in the invention are collectively referred to here as microlens arrays.
  • Such a microlens array can be formed in one piece by blank pressing. It has a typical extension perpendicular to the laser beam of a few millimeters, for example 5 mm.
  • the microlenses can be arranged next to one another in one direction. This is particularly useful if the laser beam has only been expanded in one direction by using two rod lenses. If the microlenses are arranged next to one another in only one direction, the focus points for excitation of the sample are also provided in this arrangement.
  • the microlenses in the microlens array can be arranged next to one another in two directions.
  • Such a two-dimensional microlens array typically has about 100 individual microlenses.
  • the microlenses can be arranged to form a microlens wheel, the expanded laser beam being split into a part of the microlenses into the partial beams, and the sample being scanned in two or three dimensions by rotating the microlens wheel about its axis running parallel to the laser beam.
  • the microlenses of the microlens wheel must have different focal lengths or be arranged at different distances from the sample.
  • a scanning microscope In a scanning microscope according to the invention, it does not make sense to also guide the fluorescent light coming from the sample back through the microlens array in order to achieve a strictly confocal arrangement. Rather, the fluorescent light must first be deflected laterally out of the beam path and displayed on a photosensor. If this photosensor is a CCD array, an aperture can be activated by controlling the CCD array be simulated in front of the photosensor, so that a confocal structure of the scanning microscope is effectively achieved without, however, an adjustment effort as for a physical diaphragm arrangement.
  • the microlens array according to the invention can also be used in a scanning microscope in which the axial resolution is increased by interference from laser radiation coming from two directions.
  • the laser beam split into the partial beams with the microlenses is split using a beam splitter, and the split partial beams are brought to interference in the region of the sample from opposite directions.
  • an interference maximum is formed, in which the optical excitation of the sample takes place in a concentrated manner.
  • the new optical device is not only advantageous when it is designed as a scanning microscope. Rather, it can also be used as a test device for checking lenses or lens combinations which are introduced into the device as an objective.
  • the sample then consists, for example, of a liquid to which a fluorescent substance with a defined, homogeneous concentration is added. Accordingly, there must be no change in the fluorescence light intensities registered with the photosensor when the lens moves relative to the microlens array if the lens or the lens combination is free of defects.
  • FIG. 1 shows the structure of a first embodiment of an invented scanning microscope according to the invention
  • FIG. 2 shows a detail of a second embodiment of the scanning microscope according to the invention, modified from FIG. 1,
  • FIGS. 3-8 each show a basic sketch of different embodiments of the microlens array used in a scanning microscope according to the invention.
  • FIGS. 9 and 10 are an enlarged detail of the scanning microscope according to FIGS. 9 and
  • FIG. 11 shows a schematic diagram of a further embodiment of the microlens array used in a scanning microscope according to the invention.
  • an expanded laser beam 2 which comes from a laser (not shown here) and a widening optics (also not shown), is split into individual partial beams 4 by a microlens array 3.
  • the microlens array 3 consists of a plurality of microlenses 5 arranged next to one another, each focusing a partial beam 4 at its focal point 6.
  • Each of the focal points 6 forms a point light source, which is imaged into a sample 8 with an objective 7.
  • the illustration is illustrated using the beam paths 9 and 10 of the two outer partial beams 4.
  • Each partial beam 4 is focused in a focal point 11, and in this focal point 11 the material of the sample is optically excited to fluoresce.
  • the fluorescent light returns through the objective 7 via a semi-transparent deflecting mirror 12 to a photosensor 13.
  • the beam paths from the two outer ones are also used to clarify the imaging of the focal points 11 on the photosensor 13
  • Focal points 11 are shown and here designated 9 'and 10'.
  • the images 14 of the focal points 11 on the photosensor 13 are at the same lateral distance from one another as the focal points 6 of the microlenses 5. With the microlenses 5, the entire laser beam 2 is used for the partial beams 4, so that at a predetermined light output of the laser beam 2 maximum optical excitation of the sample 8 is given in the focal points 11.
  • the concentration of the fluorescent radiation on the area around the geometric focal points 11 is so great that it does not require any aperture in front of the photosensor 13, as is used in confocal scanning microscopes, in order to improve the axial resolution. If a pinhole is nevertheless simulated by software by the control of the photosensor 13, which is preferably a CCD array, the scanning microscope 1 according to FIG be used.
  • the microlenses 5 of the microlens array 3 are arranged in one plane, and the microlenses 5 all have the same focal length, so that the focal points 6 are also arranged in a plane 17.
  • the microlenses 5 of the microlens array 3 are arranged offset in the axial direction. Since they have the same focal length at the same time, the focal points 6 are axially offset in the same way as the microlenses 5.
  • the focal points 6 are accordingly in different levels of Sample 8 shown.
  • the sample 8 is optically excited in several planes lying one behind the other.
  • Such excitation in several planes can also be implemented by different focal lengths of the microlenses 5 of the microlens array 3, as is outlined in FIG. 4.
  • half of the microlenses 5 have a shorter focal length than the other half of the microlenses 5.
  • the focal points 6 'of one half of the microlenses 5 lie in a different plane than the focal points 6 "of the other half of the microlenses 5.
  • the sample 8 is thus optically excited in two planes lying parallel to one another.
  • FIG. 5 shows a plan view of a microlens array 3, in which the individual microlenses 5 are arranged next to one another in only one direction perpendicular to the laser beam incident in the viewing direction.
  • a microlens array 3 is matched to the expansion of a laser beam 2 in only one direction by means of rod lenses 18, as is sketched in FIG. 6.
  • FIG. 7 and 8 show two exemplary embodiments of the microlens array 3, in which the individual microlenses are arranged next to one another in two directions. These microlens arrays 3 are matched to a two-dimensional expansion of the laser beam 2, the microlens array 3 according to FIG. 8 taking more account of the normally round cross section of a laser beam than the rectangular microlens array 3 according to FIG. 7.
  • the expanded laser beam 2 is first split again into several partial beams by the microlens array 3.
  • these partial beams are not shown in detail here. Rather, only one beam path 19 is shown, which is divided into two paths 21 and 22 following a beam splitter 20.
  • the Partial beams are divided by deflecting mirrors 23 via paths 21 and 22 in two opposite directions
  • the interference pattern outlined in FIG. 10 for two partial beams 4 results with a main maximum and two secondary maxima in the region of the focal point 11 shown.
  • the main maximum 24 and the secondary maxima 25 lie in the direction of the optical axis 15 the lenses 7 so far apart that fluorescent light can be discriminated by a confocal arrangement of a photosensor in such a way that only fluorescent light from the area of the main maximum 24 is registered.
  • this discrimination also arises automatically from the greatly different excitation probabilities in the main maximum 24 and the secondary maxima 25.
  • the invention of splitting the laser beam 2 with a microlens array 3 from a multiplicity of individual microlenses 5 can accordingly be used in a wide variety of scanning microscopes. In any case, the entire light intensity of the incident laser beam 2 is fully utilized. This is particularly advantageous when observing more-photon excitations, because the probability of these excitations is fundamentally much less than that of one-photon excitations.
  • the embodiment of the microlens array 3 according to FIG. 11 is provided for two- or three-dimensional scanning of a sample with the focal points of the individual partial beams of the laser spray 2.
  • the microlenses 5 are arranged to form a microlens wheel 26, the expanded laser beam 2 being essentially completely split into the partial beams by a part of the microlenses 5 arranged next to one another in two dimensions, because only these microlenses 5 are illuminated.
  • the microlenses 5 By rotating the microlens wheel 26 about its axis 27 running parallel to the laser beam, the microlenses 5 are moved relative to the sample and other lenses also become used to split the laser beam 2.
  • the sample is scanned in two or three dimensions, depending on whether the microlenses 5 have a focal length and their focal points 6 according to FIG. 6 will lie in one plane or according to FIG. 3 or 4 have a depth distribution. If the frequency of scanning the sample with the microlens wheel 26 is sufficiently high, the fluorescent light coming from the sample can be viewed directly as an image of the sample at the location of the photosensor or via an additional eyepiece. It makes sense to use an IR filter to block out scattered excitation light.
  • a scanning frequency which is by far sufficient for observation by the eye is achieved, for example, if the arrangement of the microlenses 5 to the microlens wheel 26 covers the entire sample five times per revolution of the microlens wheel and the microlens wheel 26 is rotated about its axis 27 at a frequency of 75 Hz.
  • the direct observation of a sample with its multi-photon excitation in real time was not possible before the invention because of the very low fluorescent light yields per time in the prior art.

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Abstract

Bei einer optischen Vorrichtung, insbesondere einem Rastermikroskop (1), wird ein aufgeweiteter Laserstrahl (2) durch mehrere nebeneinander angeordnete Mikrolinsen (5) in mehrere Teilstrahlen (4) aufgespalten. Die Teilstrahlen (4) werden mit einem gemeinsamen Objektiv (7) jeweils in einem Fokuspunkt (11) zur optischen Anregung einer Probe (8) fokussiert. Mit einem von der Probe (8) aus hinter dem Objektiv (7) angeordneten Photosensor (13) wird aus den einzelnen Fokuspunkten (11) von der Probe (8) stammendes Fluoreszenzlicht registriert. Dabei wird jedes Photon des von der Probe (8) kommenden und mit dem Photosensor (13) registrierten Fluoreszenzlichts durch mindestens zwei Photonen aus dem Laserstrahl angeregt.

Description

Rastermikroskop, bei dem eine Probe in mehreren Probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird
Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Vorrichtung, insbesondere ein Rastermikroskop, wobei ein aufgeweiteter Laserstrahl durch mehrere nebeneinander angeordnete Mikrolinsen in mehrere Teilstrahlen aufgespalten wird, wobei die Teilstrahlen mit einem gemeinsamen Objektiv jeweils in einem Fokuspunkt zur optischen Anregung einer Probe fokussiert werden und wobei mit einem von der Probe aus hinter dem Objektiv angeordneten Photosensor aus den einzelnen Fokuspunkten von der Probe stammendes Fluoreszenzlicht registriert wird.
Typischerweise ist bei einer solchen optischen Vorrichtung zwischen der Lichtquelle für den Laserstrahl und der Probe eine Verzweigung des Strahlengangs beispielsweise durch einen Strahlteiler vorgesehen, so daß das von der Probe stammende Fluoreszenzlicht seitlich aus der Richtung des anregenden Laserstrahls zu dem Photosensor ausgelenkt wird. Ein Rastermikroskop, bei dem aus einem aufgeweiteten Laserstrahl mehrere Teilstrahlen ausgebildet werden, bei dem die Teilstrahlen mit einem gemeinsamen Objektiv jeweils in einem Fokuspunkt zur optischen Anregung einer Probe fokussiert werden und bei dem mit einem von der Probe aus hinter dem Objektiv angeordneten Photosensor aus den einzelnen Fokuspunkten von der Probe stammendes Fluoreszenzlicht registriert wird, ist aus der US-Z Nature, Vol. 383, Seite 760 bekannt. Hier werden aus dem einfallenden Laserstrahl mehrere Teilstrahlen mit Hilfe einer eine Mehrzahl von Löchern aufweisenden Lochblende ausgebildet. Die Lochblende ist derart im Strahlengang der Vorrichtung angeordnet, daß auch das Fluoreszenzlicht von der Probe durch die Lochblende hindurchtreten muß, wenn es auf den Photosensor gelangen soll Es handelt sich somit um ein konfokales Rastermikroskop, bei dem annähernd nur Fluoreszenzlicht aus einer Ebene der Probe zu dem Photosensor gelangen kann. Dies ermöglicht eine dreidimensionale Auflösung der Probe bezüglich der gewonnenen Fluoreszenzlichtintensitäten. Bei der Lochblende des bekannten Rastermikrokops handelt es sich um eine sogenannte Nipkow-Scheibe, in der die einzelnen Löcher so angeordnet sind, daß sie beim Verdrehen der Nipkow-Scheibe um ihren Mittelpunkt die Probe gleichmäßig abrastern. Die Nipkow-Scheibe wurde ursprünglich zum Abrastern von Bildern zur Gewinnung eines telegraphierfähigen Signals entwickelt.
Ein Problem des bekannten Rasterlasermikroskops ist es, daß die Löcher der Lochblende einen gewissen Mindestabstand in seitlicher Richtung aufweisen müssen, damit Fluoreszenzlicht, das aus anderen Ebenen als der zu betrachtenden Ebene der Probe stammt und das nicht zurück auf das Ausgangsloch der Anregenden Strahlung fokussiert wird, nicht durch dem Ausgangsloch benachbarte Löcher zu dem Photosensor gelangt. Ein großer Abstand der Löcher in der Lochblende bedeutet jedoch, daß die Lichtleistung des einfallenden Laserstrahls durch die Lochblende im wesentlichen ausgeblendet wird und damit verloren geht. Hinzu kommt, daß das von der Lochblende ausgeblendete Laserlicht von der Rückseite der Lochblende auf den Photosensor reflektiert werden und dort zu einem hohen Untergrund führen kann.
Um diesem Problem zu begegnen, wird in der US-Z Nature, Vol. 338, Seiten 804 bis 806 vorgeschlagen, die Löcher in der Lochblende bewußt besonders dicht anzuordnen und dabei in Kauf zu nehmen, daß bezüglich eines Ausgangslochs nicht fokussiertes Licht durch benachbarte Löcher in der Lochblende zu dem Photosensor gelangt. Der sich durch dieses Licht ergebende Untergrund soll durch Berücksichtigung einer Lichtintensitätsverteilung ausgeglichen werden, die zuvor ohne Verwendung der Lochblende mit dem Photosensor aufgezeichnet wurde und die anschließend von den mit der Lochblende aufgezeichneten Lichtintensitätsverteilungen abgezogen wird. Dieses Vorgehen führt jedoch zu Schwierigkeiten, da der derart abzuziehende Untergrund ohne weiteres eine höhere Größenordnung aufweisen kann, als das interessierende Signal. Damit ergeben sich extreme relative Fehler bei dem korrigierten Signal.
Aus der US-A- 5 034 613 ist ein Rastermikroskop bekannt, bei dem Fluoreszenzlicht von der Probe mit dem Photosensor registriert wird, welches nur die halbe Wellenlänge des einfallenden Laserstrahls aufweist. Die Fluoreszenz der Probe geht dabei auf eine sogenannte zwei-Photonen-Anregung zurück. Die Wahrscheinlichkeit einer solchen zwei-Photonen-Anregung ist nur im Kernbereich des jeweiligen Fokuspunkts, in dem der Laserstrahl zur optischen Anregung der Probe fokussiert wird, merklich von null verschieden. Hierdurch weist dieses bekannte Rastermikroskop eine deutlich verbesserte axiale Auflösung auch gegenüber konfokalen Rastermikroskopen auf. Allerdings sind die Ausbeuten an Fluoreszenzlicht von der Probe relativ geringer als bei einem konfokalen Rastermikroskop. Dies erhöht die Meßzeiten, die je Probenpunkt erforderlich sind, um aussagekräftige Fluoreszenzlicht-Intensitätsdaten zu erhalten. Das Abrastern einer Probe in allen drei Dimensionen nimmt entsprechend einen deutlich längeren Zeitraum in Anspruch als bei einem konfokalen Rastermikroskop, zumal bei dem bekannten Rastermikroskop, welches nach dem Prinzip der zwei-Photonen-Anregung arbeitet, der Laserstrahl jeweils nur in einem Fokuspunkt zur Anregung der Probe fokussiert wird. Die Ausbeute an Fluoreszenzlicht von diesem Fokuspunkt kann zwar durch Erhöhung der Lichtleistung des Laserstrahls gesteigert werden. Hier sind aber enge Grenzen gesetzt, da ansonsten eine lokale Veränderung der Probe durch Überhitzung eintritt.
Aus der DE 40 40 441 AI ist ein Rastermikroskop bekannt, bei dem ein Laserstrahl aufgespalten wird und die beiden Teile des Laserstrahls aus entgegengesetzten Richtungen in einem gemeinsamen Fokuspunkt zur Anregung einer Probe zur Interferenz gebracht werden. Bei der Interferenz bilden sich im Bereich des gemeinsamen Fokuspunkts der beiden Teilstrahlen ein Hauptmaximum und zwei Neben axima der Lichtintensität aus. Das Hauptmaximum weist eine geringe axiale Erstreckung auf und ist beispielsweise durch eine konfokale Anordnung gut von den Nebenmaxima zu trennen. Die geringe axiale Erstreckung des Hauptmaximums bedeutet eine sehr gute axiale Auflösung dieses bekannten Rastermikroskops .
Ein Rastermikroskop der eingangs beschriebenen Art ist aus Bioimages 4 (2): 57-62, June 1996 bekannt. Hier sind die Mikrolinsen zu einem zu einem Mikrolinsenrad angeordnet, wobei der aufgeweitete Laserstrahl durch jeweils einen Teil der Mikrolinsen in die Teilstrahlen aufgespalten wird und wobei durch Verdrehen des Mikrolinsenrads um seine parallel zu dem Laserstrahl verlaufende Achse die Probe zweidimensional abgescannt wird. Hinter dem Mikrolinsenrad ist ein Blendenrad angeordnet, das für jede Mikrolinse eine Blendenöffnung aufweist. Durch die Blendenöffnung tritt sowohl der entsprechende Teilstrahl in Richtung auf die Probe als auch das von diesem Teilstrahl angeregte Floureszenzlicht in Richtung von der Probe hindurch, um bei dem bekannten Rastermikroskop, das nach mit einer ein-Photonen-Anregung arbeitet, eine ausreichende Tiefenauflösung zu erhalten. Die relativ Anordnung und Lagerung des Mikrolinsenrads und des Blendenrads müssen extrem genau ausgeführt werden, um die einwandfreie Funktion des bekannten Rastermikroskops sicherzustellen. Da die Mikrolinsen bei dem bekannten Mikrolinsenrad nicht zweidimensional nebeneinander sondern wie bei einer herkömmlichen Nipkow-Scheibe in einzelnen gekrümmten Reihen angeordnet sind, wird darüberhinaus nicht die gesamte Lichtintensität des aufgeweiteten Laserstrahls ausgenutzt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische Vorrichtung, das heißt insbesondere ein Rastermikroskop, der eingangs beschriebenen Art derart weiterzuentwickeln, daß eine hohe Lichtleistung eines aufgeweiteten Laserstrahls ohne großen Justieraufwand voll nutzbar gemacht wird.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß bei einer optischen Vorrichtung, d. h. insbesondere bei einem Rastermikroskop, der eingangs beschriebenen Art jedes Photon des von der Probe kommenden und mit dem Photosensor registrierten Fluoreszenzlichts durch mindestens zwei Photonen aus dem Laserstrahl angeregt wird. D.h. , die neue Vorrichtung arbeitet mit einer mehr-Photonen-Anregung. Durch die mehr-Photonen-Anregung wird eine ausreichende Tiefenauflösung ohne Verwendung einer den Mikrolinsen nachgeschalteten und dem Photosensor vorgeschalteten Blendenanordnung erreicht.
Die Erfindung ist bei allen Rastermikroskopen anwendbar, die eine mehr-Photonen-Anregung ausnutzt, um die axiale Auflösung zu erhöhen. Das heißt, daß der Laserstrahl auch Laserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen aufweisen kann, wobei die Wellenlängen in einer anderen Beziehung zu der Wellenlänge des von der Probe kommenden Fluoreszenzlichts stehen, als oben angegeben ist. Im Regelfall ist die Wellenlänge des Fluoreszenzlichts aber kürzer als die kürzeste zur Anregung genutzte Wellenlänge des Laserstrahls.
Ein Rastermikroskop gemäß der Erfindung zeichnet sich beispielsweise dadurch aus, daß die Wellenlänge des Laserstrahls etwa doppelt so lang ist wie die Wellenlänge des von der Probe kommenden, mit dem Photosensor registrierten Fluoreszenzlichts. Dies entspricht einer zwei-Photonen-Anregung des Fluoreszenzlichts. Dabei können verschiedene Filter zur Anwendung kommen, die das Fluoreszenzlicht aufgrund seiner unterschiedlichen Wellenlänge vollständig von der anregenden Laserstrahlung trennen.
Die Mikrolinsen können bei der neuen Vorrichtung direkt aneinander angrenzen, so daß der Laserstrahl über seine ganze Weite ausgenutzt wird. Gleichzeitig wird dann kein Laserlicht von den Mikrolinsen zurückreflektiert. Dennoch weisen die einzelnen Teilstrahlen hinter den Mikrolinsen eine gute Trennbarkeit ihrer Strahlengänge auf. In den Brennpunkten der Mikrolinsen werden die Teilstrahlen fokussiert. So werden an den Brennpunkten der Mikrolinsen Punktlichtquellen ausgebildet. Diese Punktlichtquellen werden mit dem Objektiv in die zu betrachtende Ebene der Probe abgebildet. Die Punktlichtquellen weisen einen seitlichen Abstand auf, der dem Durchmesser der verwendeten Mikrolinsen entspricht.
Die Mikrolinsen können eine einheitliche Brennweite aufweisen und in einer senkrecht zu dem Laserstrahl verlaufenden Ebene angeordnet sein. Dann sind auch die Brennpunkte der Mikrolinsen in einer Ebene angeordnet, und sie werden in einer Ebene der Probe abgebildet. Durch das Aufspalten des Laserstrahls mit den Mikrolinsen in mehrere Teilstrahlen wird das Abrastern der Probe in dieser Ebene gegenüber der Verwendung nur eines einzigen Fokuspunkts, in dem die Probe angeregt wird, beschleunigt.
Die Mikrolinsen können aber auch unterschiedliche Brennweiten aufweisen und/oder in parallelen Ebenen senkrecht zu dem Laserstrahl angeordnet sein. Damit weisen die Brennpunkte der Mikrolinsen unterschiedliche axiale Positionen auf und werden in unterschiedlichen Ebenen der Proben abgebildet. Beim Abrastern der Probe werden so gleichzeitig mehrere Ebenen der Probe erfaßt. Die mehreren bei der Erfindung verwendeten Mikrolinsen werden hier gemeinsam als Mikrolinsen-Array bezeichnet. Ein solches Mikrolinsen-Array kann einstückig durch Blankpressen ausgebildet werden. Es weist eine typische Ausdehnung senkrecht zu dem Laserstrahl von einigen Millimetern, beispielsweise 5 mm, auf.
In dem Mikrolinsen-Array können die Mikrolinsen in einer Richtung nebeneinander angeordnet sein. Dies ist insbesondere dann sinnvoll, wenn der Laserstrahl durch Verwendung von zwei Stablinsen nur in einer Richtung aufgeweitet wurde. Bei Anordnung der Mikrolinsen in nur einer Richtung nebeneinander sind auch die Fokuspunkte zur Anregung der Probe in dieser Anordnung vorgesehen.
Um die Probe in einer größeren Anzahl von Fokuspunkten gleichzeitig anzuregen, sind können die Mikrolinsen in dem Mikrolinsen-Array in zwei Richtungen nebeneinander angeordnet sein. Ein solches zweidimensionales Mikrolinsen-Array weist typisch etwa 100 einzelne Mikrolinsen auf.
Die Mikrolinsen können zu einem Mikrolinsenrad angeordnet sein, wobei der aufgeweitete Laserstrahl durch jeweils einen Teil der Mikrolinsen in die Teilstrahlen aufgespalten wird und wobei durch Verdrehen des Mikrolinsenrads um seine parallel zu dem Laserstrahl verlaufende Achse die Probe zwei- oder dreidimensional abgescannt wird. Zum dreidimensionalen Abscannen müssen die Mikrolinsen des Mikrolinsenrads unterschiedliche Brennweiten Aufweisen oder in unterschiedlicher Entfernung zu der Probe angeordnet sein.
Bei einem Rastermikroskop gemäß der Erfindung ist es nicht sinnvoll, auch das von der Probe kommende Fluoreszenzlicht zurück durch das Mikrolinsen-Array zu führen, um eine streng konfokale Anordnung zu erreichen. Vielmehr ist das Fluoreszenzlicht vorher seitlich aus dem Strahlengang auszulenken und auf einen Photosensor abzubilden. Wenn dieser Photosensor ein CCD- Array ist, kann durch die Ansteuerung des CCD-Arrays eine Blende vor dem Photosensor simuliert werden, so daß effektiv ein konfokaler Aufbau des Rastermikroskops erreicht wird, ohne daß jedoch ein Justieraufwand wie für eine körperliche Blendenanordnung zu betreiben ist.
Das erfindungεgemäße Mikrolinsen-Array kann auch bei einem Rastermikroskop genutzt werden, bei dem die axiale Auflösung durch Interferenz von aus zwei Richtungen kommender Laser- strahlung erhöht wird. In diesem Fall wird der mit den Mikrolinsen in die Teilstrahlen aufgespaltene Laserstrahl mit einem Strahlteiler geteilt, und die geteilten Teilstrahlen werden im Bereich der Probe aus entgegengesetzten Richtungen zur Interferenz gebracht. In jedem der Fokuspunkte, in den ein Brennpunkt einer Mikrolinse aus zwei Richtungen abgebildet wird, bildet sich ein Interferenzmaximum aus, in dem die optische Anregung der Probe konzentriert erfolgt.
Die neue optische Vorrichtung ist nicht nur bei ihrer Ausbildung als Rastermikroskop von Vorteil. Vielmehr kann sie auch als Prüfvorrichtung zur Überprüfung von Linsen oder Linsenkombinationen eingesetzt werden, die dazu als Objektiv in die Vorrichtung eingebracht werden. Die Probe besteht dann beispielsweise aus einer Flüssigkeit, der ein fluoreszierender Stoff mit definierter, homogener Konzentration zugesetzt ist. Entsprechend darf sich bei einer Relativbewegung des Objektivs zu dem Mikrolinsen-Array keine Veränderung der mit dem Photosensor registrierten Fluoreszenzlicht-Intensitäten ergeben, wenn die Linse bzw. die Linsenkombination fehlerfrei ist.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert und beschrieben. Dabei wird jeweils auf ein Rastermikroskop Bezug genommen, obwohl die zuvor beschriebene Prüfvorrichtung für Linsen oder Linsenkombinationen einen identischen Aufbau aufweisen würde. In den beigefügten Zeichnungen zeigt
Fig. 1 den Aufbau einer ersten Ausführungsform eines erfin- dungsgemäßen Rastermikroskops ,
Fig. 2 ein Detail einer zweiten, gegenüber Fig. 1 abgewandelten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Rastermikroskops ,
Fig. 3-8 jeweils eine Prinzipskizze zu verschiedenen Ausfüh- rungsformen des bei einem erfindungsgemäßen Rastermikroskop zur Anwendung kommenden Mikrolinsen-Arrays,
Fig. 9 eine dritte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Rastermikroskops ,
Fig. 10 ein vergrößertes Detail des Rastermikroskops gemäß Fig. 9 und
Fig. 11 eine Prinzipskizze zu einer weiteren Ausführungsform des bei einem erfindungsgemäßen Rastermikroskop zur Anwendung kommenden Mikrolinsen-Arrays.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Rastermikroskop 1 wird ein aufgeweiteter Laserstrahl 2, der von einem hier nicht dargestellten Laser und einer ebenfalls nicht dargestellten Aufweiteoptik kommt, durch ein Mikrolinsen-Array 3 in einzelne Teilstrahlen 4 aufgespalten. Das Mikrolinsen-Array 3 besteht aus einer Mehrzahl nebeneinander angeordneter Mikrolinsen 5, die jeweils einen Teilstrahl 4 in ihrem Brennpunkt 6 fokussieren. Jeder der Brennpunkte 6 bildet eine Punktlichtquelle, die mit einem Objektiv 7 in eine Probe 8 abgebildet wird. Die Abbildung ist anhand der Strahlengänge 9 und 10 der beiden äußeren Teilstrahlen 4 zeichnerisch verdeutlicht. Jeder Teilstrahl 4 wird in einem Fokuspunkt 11 fokussiert, und in diesem Fokuspunkt 11 wird das Material der Probe zur Fluoreszenz optisch angeregt. Das Fluoreszenzlicht gelangt zurück durch das Objektiv 7 über einen halbdurchlässigen Umlenkspiegel 12 auf einen Photosensor 13. Auch für die Verdeutlichung der Abbildung der Fokuspunkte 11 auf den Photosensor 13 sind die Strahlengänge von den beiden äußeren Fokuspunkten 11 eingezeichnet und hier mit 9' und 10' bezeichnet. Die Bilder 14 der Fokuspunkte 11 auf dem Photosensor 13 weisen den gleichen seitlichen Abstand zueinander auf wie die Brennpunkte 6 der Mikrolinsen 5. Mit den Mikrolinsen 5 wird der gesamte Laserstrahl 2 für die Teilstrahlen 4 ausgenutzt, so daß bei einer vorgegebenen Lichtleistung des Laserstrahls 2 die maximale optische Anregung der Probe 8 in den Fokuspunkten 11 gegeben ist. Dies ist insbesondere von Vorteil, weil in den Fokuspunkten 11 eine mehr-Photonen-Anregung beobachtet wird, um die axiale Auflösung des Rastermikroskops 1 in Richtung der optischen Achse 15 des Objektivs 7 zu erhöhen. Die Konzentration der Fluoreszenzstrahlung auf den Bereich um die geometrischen Fokuspunkte 11 ist dabei so groß, daß irgendeine Blende vor dem Photosensor 13 nicht erforderlich ist, wie sie bei konfokalen Rastermikroskopen verwendet wird, um die axiale Auflösung zu verbessern. Wenn durch die Ansteuerung des Fotosensors 13, bei dem es sich vorzugsweise um ein CCD-Array handelt, dennoch eine Lochblende durch Software simuliert wird, kann das Rastermikroskop 1 gemäß Fig. 1 aber auch zur Beobachtung einer einPhotonen-Anregung der Probe in den Fokuspunkten 11 verwendet werden.
Fig. 2 skizziert demgegenüber die Anordnung einer körperlich vorhandenen Lochblende 16 vor dem Photosensor 13 in einer abgewandelten Ausführungsform des Rastermikroskops 1 gemäß Fig. 1.
Bei der Ausführungsform des Rastermikroskops gemäß Fig. 1 sind die Mikrolinsen 5 des Mikrolinsen-Arrays 3 in einer Ebene angeordnet, und die Mikrolinsen 5 weisen alle dieselbe Brennweite auf, so daß auch die Brennpunkte 6 in einer Ebene 17 angeordnet sind. Anders verhält es sich bei den Ausführungsformen gemäß den Fig. 3 und 4. Gemäß Fig. 3 sind die Mikrolinsen 5 des Mikrolinsen-Arrays 3 in axialer Richtung versetzt angeordnet. Da sie gleichzeitig dieselbe Brennweite aufweisen, sind die Brennpunkte 6 in gleicher Weise wie die Mikrolinsen 5 axial versetzt. Die Brennpunkte 6 werden dementsprechend in verschiedenen Ebenen der Probe 8 abgebildet. So wird die Probe 8 bei Verwendung des Mikrolinsen-Arrays 3 gemäß Fig. 3 in mehreren hintereinander liegenden Ebenen optisch angeregt.
Eine solche Anregung in mehreren Ebenen ist auch durch unterschiedliche Brennweiten der Mikrolinsen 5 des Mikrolinsen-Arrays 3 realisierbar, wie dies in Fig. 4 skizziert ist. Hier weist eine Hälfte der Mikrolinsen 5 eine kürzere Brennweite als die andere Hälfte der Mikrolinsen 5 auf. Konkret liegen die Brennpunkte 6' der einen Hälfte der Mikrolinsen 5 in einer anderen Ebene als die Brennpunkte 6" der anderen Hälfte der Mikrolinsen 5. Die Probe 8 wird so in zwei parallel zueinander liegenden Ebenen optisch angeregt.
Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf ein Mikrolinsen-Array 3, bei dem die einzelnen Mikrolinsen 5 senkrecht zu dem in der Blickrichtung einfallenden Laserstrahl in nur einer Richtung nebeneinander angeordnet sind. Ein solches Mikrolinsen-Array 3 ist auf die Aufweitung eines Laserstrahls 2 in nur einer Richtung mittels Stablinsen 18 abgestimmt, wie sie in Fig. 6 skizziert ist.
In den Fig. 7 und 8 sind zwei Ausführungsbeispiele des Mikrolinsen-Arrays 3 dargestellt, bei denen die einzelnen Mikrolinsen in zwei Richtungen nebeneinander angeordnet sind. Diese Mikrolinsen-Arrays 3 sind auf eine zweidimensionale Aufweitung des Laserstrahls 2 abgestimmt, wobei das Mikrolinsen-Array 3 gemäß Fig. 8 dem normalerweise runden Querschnitt eines Laserstrahls stärker Rechnung trägt als das rechteckige Mikrolinsen-Array 3 gemäß Fig. 7.
In dem in Fig. 9 dargestellten Rastermikroskop 1 wird der aufgeweitete Laserstrahl 2 zunächst wieder durch das Mikrolinsen- Array 3 in mehrere Teilstrahlen aufgespalten. Diese Teilstrahlen sind hier jedoch nicht im einzelnen dargestellt. Vielmehr ist nur ein Strahlengang 19 wiedergegeben, der im Anschluß an einen Strahlteiler 20 in zwei Wege 21 und 22 aufgeteilt ist. Die geteilten Teilstrahlen werden durch Umlenkspiegel 23 über die Wege 21 und 22 in entgegengesetzten Richtungen zwei Objektiven
7 zugeführt, die die geteilten Teilstrahlen im Bereich der Probe
8 überlagern. Wenn die Teilstrahlen aus monochromatischem, kohärentem Licht bestehen, ergibt sich das in Fig. 10 für zwei Teilstrahlen 4 skizzierte Interferenzmuster mit einem Hauptmaximum und zwei Nebenmaxima im Bereich des dargestellten Fokuspunkts 11. Die Hauptmaximum 24 und die Nebenmaxima 25 liegen in Richtung der optischen Achse 15 der Objektive 7 so weit auseinander, daß Fluoreszenzlicht durch eine konfokale Anordnung eines Photosensors dahingehend diskriminiert werden kann, daß nur Fluoreszenzlicht aus dem Bereich des Hauptmaximums 24 registriert wird. Bei der Beobachtung einer mehr-Photonen- Anregung ergibt sich diese Diskriminierung auch automatisch durch die stark unterschiedlichen Anregungswahrscheinlichkeiten in dem Hauptmaximum 24 und den Nebenmaxima 25.
Die Erfindung, den Laserstrahl 2 mit einem Mikrolinsen-Array 3 aus einer Vielzahl von einzelnen Mikrolinsen 5 aufzuspalten, ist demnach bei verschiedensten Rastermikroskopen anwendbar. In jedem Fall wird die gesamte Lichtintensität des einfallenden Laserstrahls 2 voll ausgenutzt. Dies ist insbesondere bei der Beobachtung von mehr-Photonen-Anregungen von Vorteil, weil die Wahrscheinlichkeit dieser Anregungen grundsätzlich viel geringer ist als von ein-Photonen-Anregungen.
Die Ausführungsform des Mikrolinsen-Arrays 3 gemäß Figur 11 ist zum zwei- oder dreidimensionalen Abscannen einer Probe mit den Fokuspunkten der einzelnen Teilstrahlen des Lasersprahls 2 vorgesehen. Die Mikrolinsen 5 sind zu einem Mikrolinsenrad 26 angeordnet sind, wobei der aufgeweitete Laserstrahl 2 jeweils durch einen Teil der zweidimensional nebeneinander angeordneten Mikrolinsen 5 im wesentlichen vollständig in die Teilstrahlen aufgespalten wird, weil nur diese Mikrolinsen 5 beleuchtet werden. Durch Verdrehen des Mikrolinsenrads 26 um seine parallel zu dem Laserstrahl verlaufende Achse 27 werden die Mikrolinsen 5 relativ zu der Probe bewegt und es werden auch andere Linsen zur Aufspaltung des Laserstrahls 2 herangezogen. Im Ergebnis wird die Probe zwei- oder dreidimensional abgescannt, je nachdem, ob die Mikrolinsen 5 eine Brennweite aufweisen und ihre Brennpunkte 6 gemäß Figur 6 in einer Ebene liegen wird oder gemäß Figur 3 oder 4 eine Tiefenverteilung aufweisen. Bei ausreichend großer Frequenz des Abscannens der Probe mit dem Mikrolinsenrad 26 kann das von der Probe kommende Fluoreszenzlicht am Ort des Photosensors oder über ein zusätzliches Okular direkt mit dem Auge als Bild der Probe betrachtet werden. Dabei ist die Verwendung eines IR-Filters zum Ausblenden von gestreutem Anregungslicht sinnvoll. Eine zur Betrachtung mit dem Auge bei weitem ausreichende Abscannfrequenz wird beispielsweise erreicht, wenn die Anordnung der Mikrolinsen 5 zu dem Mikrolinsenrad 26 die gesamte Probe je Umdrehung des Mikrolinsenrads fünfmal abdeckt und das Mikrolinsenrad 26 mit einer Frequenz von 75 hz um seine Achse 27 rotiert wird. Die direkte Betrachtung einer Probe bei deren mehr-Photonen-Anregung in Echtzeit war vor der Erfindung wegen der beim Stand der Technik nur sehr geringen Fluoreszenzlichtausbeuten pro Zeit nicht möglich.
B E Z U G S Z E I C H E N L I S T E
1 Rastermikroskop
2 Laserstrahl
3 Mikrolinsen-Array
4 Teilstrahl
5 Mikrolinse
6 Brennpunkt
7 Objektiv
8 Probe
9 Strahlengang
10 Strahlengang
11 Fokuspunkt
12 Umlenkspiegel
13 Photosensor
14 Bild
15 optische Achse
16 Lochblende
17 Ebene
18 Stablinse
19 Strahlengang
20 Strahlteiler
21 Weg
22 Weg
23 Umlenkspiegel
24 Hauptmaximum
25 Nebenmaximum
26 Mikrolinsenrad
27 Achse

Claims

P A T E N T A N S P RÜ C H E :
1. Optische Vorrichtung, insbesondere Rastermikroskop, wobei ein aufgeweiteter Laserstrahl durch mehrere nebeneinander angeordnete Mikrolinsen in mehrere Teilstrahlen aufgespalten wird, wobei die Teilstrahlen mit einem gemeinsamen Objektiv jeweils in einem Fokuspunkt zur optischen Anregung einer Probe fokussiert werden und wobei mit einem von der Probe aus hinter dem Objektiv angeordneten Photosensor aus den einzelnen Fokuspunkten von der Probe stammendes Fluoreszenzlicht registriert wird, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Photon des von der Probe (8) kommenden und mit dem Photosensor (13) registrierten Fluoreszenzlichts durch mindestens zwei Photonen aus dem Laserstrahl angeregt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellenlänge des Laserstrahls (2) etwa doppelt so lang ist wie die Wellenlänge des von der Probe (8) kommenden und mit dem Photosensor (13) registrierten Fluoreszenzlichts.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrolinsen (4) eine einheitliche Brennweite aufweisen und in einer senkrecht zu dem Laserstrahl (2) verlaufenden Ebene angeordnet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrolinsen (5) unterschiedliche Brennweiten aufweisen und/oder in parallelen Ebenen senkrecht zu dem Laserstrahl (2) angeordnet sind.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 , dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrolinsen (5) in einer Richtung nebeneinander angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 , dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrolinsen (5) in zwei Richtungen nebeneinander angeordnet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrolinsen (5) zu einem Mikrolinsenrad (26) angeordnet sind, wobei der aufgeweitete Laserstrahl (2) durch jeweils einen Teil der Mikrolinsen (5) in die Teilstrahlen (4) aufgespalten wird und wobei durch Verdrehen des Mikrolinsenrads um seine parallel zu dem Laserstrahl verlaufende Achse (27) die Probe (8) zwei- oder dreidimensional abgescannt wird.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 , dadurch gekennzeichnet, daß der Photosensor (13) ein CCD-Array ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 , dadurch gekennzeichnet, daß der mit den Mikrolinsen (5) in Teilstrahlen (4) aufgespaltene Laserstrahl (2) mit einem Strahlteiler (20) geteilt und die beiden geteilten Teilstrahlen im Bereich der Probe (8) aus entgegengesetzten Richtungen zur Interferenz gebracht werden.
10. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zum Bestimmen der Fehler einer Linse oder einer Linsenanordnung, wobei die Linse als Objektiv (7) eingesetzt wird.
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JP52840498A JP2001506015A (ja) 1997-12-22 1997-12-22 複数の試料個所で同時に試料を光励起する走査顕微鏡
EP97954944A EP0898783B1 (de) 1996-12-22 1997-12-22 Rastermikroskop, bei dem eine probe in mehreren probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird
US09/125,484 US6262423B1 (en) 1996-12-22 1997-12-22 Scanning microscope in which a sample is simultaneously and optically excited at various points
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6262423B1 (en) 1996-12-22 2001-07-17 Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E. V. Scanning microscope in which a sample is simultaneously and optically excited at various points
EP1223421A2 (de) * 2001-01-10 2002-07-17 Yokogawa Electric Corporation Biochip-Lesegerät
EP1292863A2 (de) * 2000-06-15 2003-03-19 3M Innovative Properties Company Multiphotonlithographie mit lichtmustern
US7772569B2 (en) 2008-04-01 2010-08-10 The Jackson Laboratory 3D biplane microscopy
US8217992B2 (en) 2007-01-11 2012-07-10 The Jackson Laboratory Microscopic imaging techniques

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19904592C2 (de) * 1999-02-05 2001-03-08 Lavision Gmbh Strahlteilervorrichtung
DE19918689C2 (de) * 1999-04-23 2003-05-28 Rudolf Groskopf Vorrichtung zur dreidimensionalen konfocalen optischen Untersuchung eines Objektes mit Beleuchtung durch eine Lochplatte
US7217573B1 (en) * 1999-10-05 2007-05-15 Hitachi, Ltd. Method of inspecting a DNA chip
DE10027726A1 (de) * 2000-06-03 2001-12-06 Bundesdruckerei Gmbh Sensor für die Echtheitserkennung von Signets auf Dokumenten
US7026103B2 (en) 2000-06-15 2006-04-11 3M Innovative Properties Company Multicolor imaging using multiphoton photochemical processes
KR100754813B1 (ko) * 2000-06-15 2007-09-04 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 다중통과 다광자 흡수 방법 및 장치
US6852766B1 (en) 2000-06-15 2005-02-08 3M Innovative Properties Company Multiphoton photosensitization system
WO2001096959A2 (en) 2000-06-15 2001-12-20 3M Innovative Properties Company Multidirectional photoreactive absorption method
JP2004503392A (ja) 2000-06-15 2004-02-05 スリーエム　イノベイティブ　プロパティズ　カンパニー マイクロ流体製品を製造するためのプロセス
WO2001096917A2 (en) 2000-06-15 2001-12-20 3M Innovative Properties Company Multiphoton curing to provide encapsulated optical elements
DE10039520A1 (de) 2000-08-08 2002-02-21 Leica Microsystems Vorrichtung zur Untersuchung und Manipulation von mikroskopischen Objekten
DE10044308A1 (de) 2000-09-07 2002-03-21 Leica Microsystems Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Fluoreszenzlicht bei der konfokalen Rastermikroskopie
DE10050540A1 (de) * 2000-10-11 2002-05-02 Lavision Biotec Gmbh Verfahren zur flächigen Anregung von Strahlungsemission in einer Ebene
DE10118355B4 (de) * 2001-04-12 2005-07-21 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Mehrphotonenanregung einer Probe
JP3741051B2 (ja) * 2001-05-10 2006-02-01 横河電機株式会社 バイオチップ読取装置
DE10127137A1 (de) * 2001-06-02 2002-12-19 Leica Microsystems Verfahren zur Scanmikroskopie und Scanmikroskop
US20040012872A1 (en) * 2001-06-14 2004-01-22 Fleming Patrick R Multiphoton absorption method using patterned light
US6716683B1 (en) * 2001-06-22 2004-04-06 Advanced Mircor Devices, Inc. Optical analysis for SOI integrated circuits
DE10144435B4 (de) * 2001-09-06 2005-03-24 EuroPhoton GmbH Gesellschaft für optische Sensorik Verfahren zur Charakterisierung der Eigenschaften von fluoreszierenden Proben, insbesondere lebenden Zellen und Geweben, in multi-well, in in-vitro Fluoreszenz-Assays, in DNA-Chips, Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens und deren Verwendung
DE10154699B4 (de) * 2001-11-09 2004-04-08 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtung zum räumlich eng begrenzten Anregen eines optischen Übergangs
US6671098B2 (en) 2002-05-16 2003-12-30 Applied Materials, Inc. Scanning angle expander and a method for expanding a scanning beam angle
US7170598B2 (en) * 2002-10-17 2007-01-30 Direvo Biotech Ag Multi-parameter fluorimetric analysis in a massively parallel multi-focal arrangement and the use thereof
JP2004222870A (ja) * 2003-01-21 2004-08-12 Pentax Corp 内視鏡用プローブ
WO2004109360A2 (de) * 2003-06-04 2004-12-16 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Rastermikroskop mit einer vorrichtung zur fluoreszenz-korrelations-spektroskopie
DE10344060A1 (de) * 2003-09-23 2005-05-04 Zeiss Carl Jena Gmbh Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop
DE10359780B4 (de) * 2003-12-19 2007-02-15 Pentacon Gmbh Foto- Und Feinwerktechnik Verfahren zur optischen Bilderfassung
DE102004039035A1 (de) * 2004-04-07 2005-10-27 EuroPhoton GmbH Gesellschaft für optische Sensorik Verfahren und Vorrichtung zur Fluoreszenz-Lebensdauer-Imaging-Nanoskopie
US7170675B2 (en) * 2004-05-19 2007-01-30 Celloptic, Inc. Method and system for wide-field multi-photon microscopy having a confocal excitation plane
DE102004034961A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung
DE102004034987A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop und Verwendung
DE102004034959A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop mit punktförmiger Lichtquellenverteilung und Verwendung
DE102005000840B4 (de) * 2005-01-05 2007-12-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Elementanalyse mittels Laser-Emissionsspektrometrie
DE102005000915A1 (de) * 2005-01-06 2006-07-20 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung zur multifokalen konfokalen mirkoskopischen Bestimmung der räumlichen Verteilung und zur multifokalen Fluktuationsanalyse von fluoreszenten Molekülen und Strukturen mit spektral flexibler Detektion
US20100053743A1 (en) * 2006-07-13 2010-03-04 Massimo Galimberti Apparatus for real-time three-dimensional laser scanning microscopy, with detection of single- and multi-photon fluorescence and of higher order harmonics
JP2010503847A (ja) * 2006-09-14 2010-02-04 オックスフォード・ジーン・テクノロジー・アイピー・リミテッド 単一分子を撮像する装置
DE102006047941B4 (de) 2006-10-10 2008-10-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur Homogenisierung von Strahlung mit nicht regelmäßigen Mikrolinsenarrays
US20080116392A1 (en) * 2006-11-20 2008-05-22 Celloptic, Inc. Method and system for wide-field multi-photon microscopy having a confocal excitation plane
EP2376965B1 (de) * 2008-12-15 2020-11-11 Koninklijke Philips N.V. Rastermikroskop
DE102009029831A1 (de) 2009-06-17 2011-01-13 W.O.M. World Of Medicine Ag Vorrichtung und Verfahren für die Mehr-Photonen-Fluoreszenzmikroskopie zur Gewinnung von Informationen aus biologischem Gewebe
JP5776992B2 (ja) * 2010-11-22 2015-09-09 マックス−プランク−ゲゼルシャフト ツル フォルデルング デル ヴィッゼンシャフテン イー．ヴイ． 自然放出蛍光をパルス励起、連続脱励起、およびゲート記録するｓｔｅｄ顕微鏡法、ｓｔｅｄ蛍光相関分光法、およびｓｔｅｄ蛍光顕微鏡
US9494781B2 (en) * 2011-01-19 2016-11-15 California Institute Of Technology Plane-projection multi-photon microscopy
DE102011007751B4 (de) 2011-04-20 2023-10-19 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Weitfeldmikroskop und Verfahren zur Weitfeldmikroskopie
DE102012018303A1 (de) * 2012-09-14 2014-03-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Messgerät zur Lumineszenzmessung
EP2999988A4 (de) 2013-05-23 2017-01-11 S.D. Sight Diagnostics Ltd. Verfahren und system zur bildgebung einer zellprobe
EP3532827B1 (de) * 2016-10-30 2023-05-31 University of Vienna Hochgeschwindigkeits-tiefengewebebildgebungsystem mit abgetasteter zeitlicher multiplex-fokussierung
WO2018089839A1 (en) 2016-11-10 2018-05-17 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Rapid high-resolution imaging methods for large samples

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5034613A (en) * 1989-11-14 1991-07-23 Cornell Research Foundation, Inc. Two-photon laser microscopy
DE4040441A1 (de) * 1990-12-18 1992-07-02 Hell Stefan Doppelkonfokales rastermikroskop

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4023292A1 (de) * 1990-07-21 1992-01-23 Leica Lasertechnik Anordnung zur simultanen konfokalen bilderzeugung
EP0485803B1 (de) * 1990-11-10 1996-05-01 Grosskopf, Rudolf, Dr.-Ing. Optische Abtastvorrichtung mit konfokalem Strahlengang, in der Lichtquellen- und Detektormatrix verwendet werden
DE4138020A1 (de) * 1991-11-19 1992-04-16 Burkhard Dr Neumann Anordnung zur erhoehung der lichttransmission durch ein lochraster fuer einen optischen kontrast
JP2975476B2 (ja) * 1992-03-30 1999-11-10 三井金属鉱業株式会社 結晶内のフォトルミネッセンス計測方法及び装置
DE4414940C2 (de) * 1994-04-28 1998-07-02 Pekka Haenninen Lumineszenz-Rastermikroskop mit zwei Photonen Anregung
DE19653413C2 (de) 1996-12-22 2002-02-07 Stefan Hell Rastermikroskop, bei dem eine Probe in mehreren Probenpunkten gleichzeitig optisch angeregt wird

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5034613A (en) * 1989-11-14 1991-07-23 Cornell Research Foundation, Inc. Two-photon laser microscopy
DE4040441A1 (de) * 1990-12-18 1992-07-02 Hell Stefan Doppelkonfokales rastermikroskop

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6262423B1 (en) 1996-12-22 2001-07-17 Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E. V. Scanning microscope in which a sample is simultaneously and optically excited at various points
EP1292863A2 (de) * 2000-06-15 2003-03-19 3M Innovative Properties Company Multiphotonlithographie mit lichtmustern
EP1223421A2 (de) * 2001-01-10 2002-07-17 Yokogawa Electric Corporation Biochip-Lesegerät
EP1223421A3 (de) * 2001-01-10 2002-07-24 Yokogawa Electric Corporation Biochip-Lesegerät
US8217992B2 (en) 2007-01-11 2012-07-10 The Jackson Laboratory Microscopic imaging techniques
US7772569B2 (en) 2008-04-01 2010-08-10 The Jackson Laboratory 3D biplane microscopy
US7880149B2 (en) 2008-04-01 2011-02-01 The Jackson Laboratory 3D biplane microscopy

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