WO1997031765A1 - Appareil et procede d'usinage a fil coupant - Google Patents

Description

明 細 書 ヮ ィ ャ式切断加工装置お よ び方法 技術分野

こ の 発明 は ， 半導体材料， 磁性材料， セ ラ ミ ッ ク ス 等の い わ ゆ る 脆性材料を ウ ェ ハ 状 に 切断す る の に 適 し た ワ イ ヤ式切断加工装置 お よ び方法 に 関す る 。 従来技術 と そ の 問題点

ワ イ ヤ 式切断加工装置 は ワ イ ヤ ソ ー と も 呼 ば れ， 図

50ま た は 図 51に 示す よ に， 正三角 形 に 近 い 形 の三角 形の 頂点 に相 当 す る 位置 に互 い に平行 に 配置 さ れ た 3 つ の 溝 ロ ー ル 601 , 602 お よ び 603 を 備 え て い る 。 こ れ ら の 溝 ロ ー ル 601 - 603 の 溝 に切断用 ワ イ ヤ 604 が —定 間隔 で平行 に 張設 さ れ る 。 ワ イ ヤ 604 を一方 向 に 走行 さ せ かつ 砥粒を含む加工液を ノ ズル （図示 略） に よ り 吹 き か け な 力く ら ， 水平 に走行す る ワ イ ヤ 604 に 被 切断材 600 を押 し付 け て被切断材 60 ϋ を 輪切 り に し て い く 。

図 50に お い て は被切断材 6 は 溝 ロ ー ノレ 603 お よ び 602 の 下方 に 保持 さ れて い る 。 溝 ロ ー ル 603 と 602 の 間を 水平方向 に走行す る ワ イ ヤ 61H に 向 け て被切断材 600 を 押 し 上 げ る こ と に よ り 被切断材 600 が切 断 さ れ る 。 図 5 iに お い て は被切断材 6 0 G は溝 ロ ー ル 6 G 2 お よ び 6 0 3 の上方 に 保持 さ れて い る 。 溝 ロ ー ル 6 D 2 と 6 0 3 の 間を水平方向 に 走行す る ワ イ ヤ 6 IH に 向 け て被切断 材 6 0 0 を押 し 下げ る こ と に よ り 被切断材 6 G fl が切断 さ れ る 。

近年， と く に半導体業界 に お い て生産性 向上の た め に半導体 ウ ェ ハ の 大 口 径化が待望 さ れて い る 。 大 口 径 の ウ ェ ハ を 製造す る た め に 大 口 径の半導体結晶 ロ ッ ド (被切断材） が用 意 さ れ る 。 大 口 径の ロ ッ ド を 切断す る た め に は 当 然 な 力く ら ワ イ ヤ 式切断加工装置 も 大型化 す る 。

図 5 0ま た は 図 5 1に 示す よ う に， 被切断材を上方 に ま た は下方 に 移動 さ せ な 力く ら 切断す る 装置 に お い て は， 被切断材が大 口 径化す る と 装置 の 高 さ が高 く な ら ざ る を得 な い。 装置 の 高 さ が高 く な る と ， 高 い 精度 を維持 す る た め に フ レ ー ム 等 に 高 い 剛性 が要求 さ れ る 。 ま た， 切断用 ワ イ ヤ の ハ ン ド リ ン グ， 被切断材の 着脱等 の作業性が悪化す る 。 さ ら に ， 図 5 0に 示す形式の も の で は砥粒を 含 む加工液が被切断材の 切断 さ れた溝 に た ま り ， 固 ま る の で切削効率が悪 く な る 。 図 Πに 示す形 式の も の で は加工液が滴下 し ， 加工液が加工面へ浸透 し に く い と い う 問題 も あ る 。 発明 の 開示 こ の 発明 は 装置 の 高 さ を 低 く す る こ と がで き る ワ イ ャ式切断加工装置 お よ び方法を 提供す る こ と を 目 的 と す る 。

こ の 発明 は ま た作業性が向上す る ワ イ ヤ 式切断加工 装置お よ び方法を提供す る こ と を 目 的 と す る 。

こ の発明 は さ ら に メ ン テ ナ ン ス が容易 な ワ イ ヤ式切 断加工装置， 方法お よ び溝 ロ ー ル · ユ ニ ッ ト を 提供す る も の で あ る 。

こ の 発明 は さ ら に ， 2 つ の溝 ロ ー ル間 を 走行す る 切 断用 ワ イ ヤ の 振 れを 防止， ま た は少 な く す る こ と を 目 的 と す る 。

こ の 発明 は さ ら に ， 切断用 ワ イ ヤ の 張力 を連続的 に 調整で き る よ う に す る こ と を 目 的 と す る 。

こ の 発明 は さ ら に ， 切断用 ワ イ ヤ の 巻取 り 用 ボ ビ ン の軽量化を図 る こ と を 目 的 と す る 。

こ の 発明 は さ ら に ， ダ ン サ ー機構や キ ヤ プ ス タ ン 機 構等の 複数の ロ ー ル を 含み， こ れ ら の ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ が複数回 に わ た っ て掛 け ら れて い る 機構 に お い て， 切断用 ワ イ ヤ の 走行の安定化を 図 る こ と を 目 的 と す る 。

こ の 発明 は さ ら に ， 被切断材の 角度位置 を 2 方向 に 安定に調整可能 な 披切断材保持装置 を提供す る こ と を 目 的 と す る 。

こ の 発明 は さ ら に ， ボ ビ ン に 巻回 さ れた ワ イ ヤ の 巻 回方向 を 自 動 的 に検 出 で き る 巻回方 向検 出装置 を 提供 す る こ と を 目 的 と す る 。

こ の発明 は さ ら に ， 切断用 ワ イ ヤ の巻取 り 側 に お い て安定な ト ラ バ ー ス 制御 を 可能 と す る も の で あ る 。

こ の 発 明 に よ る ワ イ ヤ 式切断加工装置 は， 複数 の平 行 に配置 さ れ た溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を 掛 け， 少 な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断 用 ワ イ ヤ を走行 さ せ， かつ 砥粒を 含 む加工液を供給 し て被切断材を 切断す る も の に お い て， 上記 の 複数 の 溝 ロ ー ル の う ち の 少な く と も 2 つ の 溝 ロ ー ノレ が， こ れ ら の 溝 ロ ー ル間を切断用 ワ イ ヤ が ほ ぼ鉛直 に 走行す る よ う に， 上下 に 配置 さ れて お り ， 上記 の ほ ぼ鉛直 に 走行 す る 切断用 ワ イ ヤ に 対 し て被切断材を ほ ぼ水平に 進退 さ せ る 被切断材送 り 装置が設 け ら れ て い る こ と を 特徴 と す る も の で あ る 。

こ の 発 明 に よ る ワ イ ヤ 式切断加工方法 は， 複数 の 平 行 に配置 さ れ た 溝 ロ ー ル に切断用 ワ イ ヤ を 掛 け， 少 な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断 用 ワ イ ヤ を走行 さ せ， かつ 砥粒 を含 む加工液を 供給 し て 被切 断 材 を 切 断 す る ヮ ィ ャ 式 切 断加工方法 に お い て， 上記 の 複数の 溝 ロ ー ル の う ち の 少な く と も 2 つ の 溝 ロ ー ル を上下 に 配置す る こ と に よ り こ れ ら の 溝 ロ ー ル 間を切 断用 ワ イ ヤ を ほ ぼ鉛直 に走行 さ せ ， 上記の ほ ぼ鉛直 に 走行す る 切断用 ワ イ ヤ に対 し て被切断材 を ほ ぼ水平 に 進退 さ せ る も の で あ る 。

こ の 明細書 に お い て， ほ ぼ鉛直 と は， 鉛直 に対 し て ± 4 5度の 傾 き ま でを 含み ， ほ ぼ水平 と は水平 に 対 し て ± 4 5度の 傾 き ま でを 含む。 ま た， ロ ー ル と は ロ ー ラ ， そ の他の 回転す る も の を す ベて含む。

こ の発 明 に よ る と ， 切断用 ワ イ ヤ を ほぼ鉛直 に 走行 さ せ， こ の ほ ぼ鉛直 に 走行す る ワ イ ヤ に よ っ て被切断 材を切断 し て い る 。 被切断材 は ほ ぼ水平方向 に 移動 し な 力く ら ほ ぼ鉛直 に走行す る ワ イ ヤ に押 し 付 け ら れ る 。 し た が っ て， 被切断材を上下方向 に移動 さ せ る 従来 の 装置 に比べて装置の 高 さ を低 く す る こ と がで き る 。 こ れ に よ り ， ワ イ ヤ の ヽ ン ド リ ン グや被切断材の 着脱 な ど の 作業性が向上す る 。 ま た ， 被切断材 と 切断用 ワ イ ャ と の接触箇所， す な わ ち 加工箇所 に供給 さ れ る 砥粒 を 含む加工液 は 被切断材の 加工面 に 沿 っ て落下す る の で ， 加 工 液 を 充 分 に 浸 透 さ せ る こ と が で き る と ど も に， 加工液が溝 に詰 る こ と も な い。

こ の発明 の 一実施態様 に お い て は， 上下 に配'置 さ れ た 2 つ の 溝 ロ ー ル に 加 え て 第 3 の 溝 ロ ー ル 力く設 け ら れ， こ の 第 3 の 溝 ロ ー ル が上下 2 つ の 溝 ロ ー ル の う ち の 下部の 溝 ロ ー ル と ほ ぼ同 じ 高 さ 位置 に配置 さ れ る 。 す な わ ち ， 3 つ の 溝 ロ ー ルが， 垂直お よ び水平 な 辺を も つ 直角 三角 形 の ほ ぼ頂点 に 相 当 す る 位置 に 配 置 さ れ る 。 切断用 ワ イ ヤ は下部 に 位置す る 2 つ の 溝 ロ ー ル 間 を ほ ぼ水平 に 走行す る 。

被切断材 は ほ ぼ水平方 向 に 移動 し な 力く ら ， 上述の よ う に ほ ぼ垂直 に走行す る 切断用 ワ イ ヤ に よ っ て切断 さ れ る の で， 切断の 進行 に と も な っ て上記の 直 角 三角 形 の 内 部 に 入 り 込ん で い く 。 被切断材が切断 さ れ る と き に生 じ る 切断屑 は下方 に 落下す る 。 下部 に 位 置す る 2 つ の 溝 口 一 ノレ が間 隔 を あ け て ほ ぼ同 じ 高 さ 位置 に 配置 さ れ て い る の で ， こ れ ら の 溝 ロ ー ルの 間 に 切断屑 受 を 設 け る こ と が で き ， こ の 切 断 屑 を こ れ ら の 2 つ の 溝 ロ ー ル の 間力、 ら 容易 に 除去す る こ と が可能 と な る 。

複数の 溝 ロ ー ル の 駆動方法 に は後述す る 実施例 に お い て詳述す る よ う に 種 々 の も の があ る 。 上述 し た 3 つ の溝 ロ ー ル を 直角 三角 形の ほ ぼ頂点に相 当 す る 位置 に 配置す る 実施態様 に お い て は ， 第 3 の溝 ロ ー ノレ を モ ー 夕 に よ っ て駆動 さ れ る 駆動 ロ ー ル と し ， こ の 駆動 ロ ー ル の 回転動力 を動力伝達機構 を介 し て 2 つ の 溝 ロ ー ル に伝達す る 構成を と る こ と が好 ま し い。 駆動 モ ー タ を 下方 に配置す る こ と 力 で き る 。

上記動力 伝達機構 は ， た と え ば上下 2 つ の 溝 ロ ー ル お よ び第 3 の 溝 ロ ー ル に そ れ ぞれ対応 し て設 け ら れ た ベル ト 車 と ， こ れ ら の ベ ル ト 車 に 掛 け ら れ た ベ ル ト と に よ り 構成 さ れ る 。

第 3 の 溝 ロ ー ルが駆動 ロ ー ルで あ る 。 上下 2 つ の 溝 ロ ー ル お よ び第 3 の 溝 ロ ー ノレ に 掛 け ら れ た 切断用 ワ イ ャ， お よ び こ れ ら の 溝 ロ ー ル に対応す る ベ ル 卜 車 に掛 け ら れ た ベ ル ト は と も に 第 3 の 溝 ロ ー ル の 部分で鋭角 を な す よ う に 折 り 返 さ れ る 。 し た 力 < つ て ， 切断用 ワ イ ャが第 3 の 溝 ロ ー ル の 周 面の 溝に 接す る 長 さ ， お よ び ベル 卜 が第 3 の 溝 ロ ー ル に 対応す る ベ ル ト 車の 周 面 に 接す る 長 さ は比較的長 い。 第 3 の 溝 ロ ー ル の 駆動力が 効果的 に切断用 ワ イ ヤ お よ びベル ト に 伝達 さ れ る こ と に な る 。

上記 の動力伝達機構 は 好 ま し く は 2 つ の ト ル ク 制御 可能な 継手を 含む。 こ の ト ル ク 制御可能 な 继手 は上下 2 つ の 溝 ロ ー ル の 軸 と こ れ ら に対応 し て設 け ら れ た べ ル ト 車 と の 間 に 設 け ら れ る 。 第 3 の 溝 ロ ー ル に 対応 し て設 け ら れ た ベ ル ト 車 は 第 3 の 溝 ロ ー ル の 軸 に 固定 さ れ る 。

こ の よ う な 駆動系 を別 の 観点か ら 表現 す る と 次の よ う に な る 。 す な わ ち ， 溝 ロ ー ル の駆動系 は ， 第 3 の 溝 ロ ー ルを 回転駆動す る モ ー タ と ， 上記の 2 つ の 溝 ロ ー ル に対応す る 出力軸 を持 ち ， 上記モ ー タ の 回転動力 を 上記出力軸 に 伝達す る 動力伝達機構 と ， 上記 2 つ の 溝 ロ ー ル の軸 と そ れ に 対応す る 上記出力軸 と の 間 に 設 け ら れ た ト ル ク 制御可能 な 継手 と か ら 構成 さ れ る 。

こ の よ う な駆動系 は 次の よ う な特徴を も つ 。 す な わ ち ， す べて の 溝 ロ ー ルが回転駆動 さ れ る 力、 ら ， 切断用 ワ イ ヤ と 溝 ロ ー ル と の 間の 滑 り が殆 ど生 じ な い 。 滑 り が殆 ど生 じ な い の で溝 ロ ー ル の 磨耗が少 な く ， かつ 複 数の 溝 ロ ー ル の 間 で磨耗度が均等化 さ れ る 。 さ ら に， 溝 ロ ー ル の 径 に 多少の 違 い 力くあ っ て も ， 上記 2 つ の 溝 ロ ー ル に 働 く 回転抵抗が零 ま た は ほ ぼ零 に な る よ う に 上記 继 手 に お け る 伝 達 ト ル ク を 調 整 す る こ と が で き る 。 こ れ に よ り 複数 の 溝 ロ ー ル の 周 長誤差が許容 さ れ る o

さ ら に好 ま し く は ， 上下 2 つ の 溝 ロ ー ル と 第 3 の 溝 ロ ー ル と 力く フ レ ー ム に 回 転 自 在 に 支 持 さ れ， こ の フ レ ー ム が ワ イ ヤ式切断加工装 置 の機台 に 着脱 自 在 に 取 付 け ら れ る 。 こ の フ レ ー ム と そ れ に 支持 さ れ た 3 つ の 溝 ロ ー ル は溝 ロ ー ル · ュニ ッ 卜 を構成す る 。

複数の 溝 ロ ー ル を ユニ ッ ト ィヒ し ， こ れを機台 に 着脱 自 在 と す る こ と に よ り ， メ ン テ ナ ン ス 時 に 溝 ロ ー ノレ · ュニ ッ ト を 機台 か ら 取外 し ， 加工装置の 外 に 持 ち 出 す こ と がで き る 。 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ 卜 を 広 い 場所 に 置 く こ と が で き る の で ， 溝 ロ ー ル の 交換 お よ び溝 ロ ー ル の 表面溝の 補修等の 作業が容易 と な る 。

こ の よ う に 溝 ロ ー ル を ュニ ッ ト 化 し た構成 に お い て は ， 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ ト が 機 台 に 据付 け ら れ た と き に ， 加工装置 の 駆動装置の 出 力軸 と 少 な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル の 軸 と 力 着 脱 自 在 な 軸 継手 に よ り 結 合 さ れ る 0

さ ら に 好 ま し い 実施態様 に お い て は， フ レ ー ム 力、 ら 突 出 す る 溝 ロ ー ル の 軸 を 囲 む よ う に 円 環 状 の 弾性体 シ ー ノレ力く フ レ ー ム に 設 け ら れ る 。 溝 ロ ー ノレ · ュ ニ ッ 卜 が機台 に取付 け ら れ た と き に 円環状弾性体 シ ー ル は フ レ ー ム の 隔壁 に あ け ら れ た 軸を通す穴の ま わ り に 接す る 。 こ の 隔壁 は駆動装置側 と 溝 ロ ー ルが配 置 さ れ た 切 断室 と を 区切 る も の で あ る 。 切断室で は上述の よ う に 砥粒 を 含む加工液力く ワ イ ヤ に 吹 き か け ら れ る 。 ま た ， 切断屑 が生 じ る 。 環状 シ ー ル の 存在 に よ っ て こ の よ う な異物が駆動装置 が設 け ら れ た 部屋 に 侵入す る の が防 止 さ れ る 。

好 ま し い 実施態様 で は， 上記溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ャ を送 り 込む ワ イ ヤ 繰出 し 機構お よ び上記溝 ロ ー ル か ら 切断用 ワ イ ヤ を 巻取 る ワ イ ヤ 巻取 り 機構力く と も に 上 記溝 ロ ー ル の 一側方 に配置 さ れ る 。

ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 と ワ イ ヤ 巻取 り 機構 を 溝 ロ ー ル の 両側 に 配置す る 構成 に比べて装置の長 さ を 短 く す る こ と が で き る 。

2 つ の溝 ロ ー ル間 を走行す る 切断用 ワ イ ヤ の 振れ を 防止， ま た は 少な く す る こ と がで き る こ の 発明 に よ る 構成 は ， 平行 に 配置 さ れ た少な く と も 2 つ の 溝 ロ ー ノレ に 切断用 ワ イ ヤ を 掛 け， 少 な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を 走行 さ せ， か つ 砥粒 を 含む加工液 を供給 し て被切断材 を 切断す る ヮ ィ ャ 式 切 断 加 工 装 置 に お い て ， 少 な く と も 1 つ の 溝 ロ ー ル に近接 し て， 切断用 ワ イ ヤ が通 る 溝が形成 さ れ た， ま た は形成 さ れ う る （走行す る ワ イ ヤ に よ っ て溝 を形成 し て も よ い） ワ イ ヤ · ガ イ ドが設 け ら れ て い る こ と を 特徴 と す る も の で あ る 。

2 つ の 溝 ロ ー ル は 上述 し た ワ イ ヤ 式切断加工装置の よ う に 上下 に 配置 さ れて い て も よ い し ， 左右 に配置 さ れて い て も よ い。 す な わ ち ， ワ イ ヤ · ガ イ ド は切断用 ワ イ ヤ が鉛直 に 走行す る タ イ プの ワ イ ヤ式切断加工装 置 に お い て も ， 切断用 ワ イ ヤ が水平 に走行す る 従来 の タ イ プ の ワ イ ヤ 式 切 断 加 工 装 置 に お い て も 適用 で き る o

ワ イ ヤ · ガ イ ド の 存在 に よ っ て， 2 つ の 溝 ロ ー ル 間 を走行す る 切断用 ワ イ ヤ の 振 れを防止， ま た は少 な く す る こ と がで き る の で， 切断精度が高 ま る 。 ま た， 砥 粒を 含む加工液 お よ び切断屑 が溝 ロ ー ル に 付着す る の を 防止 し て ， 溝 ロ ー ル の 寿 命 を 長 く す る こ と が で き る 。

好 ま し く は ワ イ ヤ · ガ イ ド は被切断材の 移送経路 の 両側 に 設 け ら れ る 。 加工液や切断屑 の 溝 ロ ー ル へ の 付 着防止の た め に は， ワ イ ヤ · ガ イ ド は， 被切断材 の 移 送 経 路 と 少 な く と も 1 つ の 溝 ロ ー ル と の 間 の 位 置 で あ っ て， 被切断材の 移送経路 よ り も 切断用 ワ イ ヤ の 走 行方 向前方の 位置 に 配置 さ れ る 。

切断用 ワ イ ャ の 張力 を 連続的 に調整で き る こ の 発 明 に よ る 構成 は 次の通 り であ る 。

す な わ ち ， 平行 に 配置 さ れ， かつ 切断用 ワ イ ヤ が掛 け ら れ た複数 の 溝 ロ ー ルを含む溝 ロ ー ル群 と ， 溝 ロ ー ル群 に 切断用 ワ イ ヤ を 供袷す る ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 と ， 溝 ロ ー ル群か ら 切断用 ワ イ ヤ を巻取 る ワ イ ヤ 巻取 り 機 構 と を 備 え た ワ イ ヤ 式切断加工装置 に お い て ， ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 ま た は ワ イ ヤ巻取 り 機構 の 少 な く と も い ず れか一方 に， 切断用 ワ イ ヤ の 張力 を 調整す る た め の ダ ン サ 一 機構が設 け ら れ， こ の ダ ン サ ー機構 は 回転 自 在 な 固定 ロ ー ル と 上下動 自 在な 可動 ロ ー ル と を 含み， こ れ ら の 両 ロ ー ル間 に 切断用 ワ イ ヤが掛 け ら れて お り ， 上記可動 ロ ー ルが連続的 に 位置調整可能 な 機構 に よ つ て支持 さ れて い る こ と を特徴 と す る も の で あ る 。

上記 の連続的 に 位置調整可能な機構の 一例 と し て は エ ア · シ リ ン ダを 含 む機構があ る 。 張力 を 調整すべ き 箇所 に 設 け ら れ た張力 セ ン サ か ら の 検 出 信号 に 基づ い てエ ア · シ リ ン ダが制御 さ れ る 。

こ の 構成 に よ る と ， 切断用 ワ イ ヤ の 張力 を 任意 に ， かつ 無段階的 に ， 切断用 ワ イ ヤ の走行中 に お い て も 調 整す る こ と がで き る 。

切断用 ワ イ ヤ を 卷取 る ボ ビ ン の軽量化を 図 る こ と が で き る こ の発明 に よ る 構成は 次の通 り で あ る 。

す な わ ち ， 平行 に配置 さ れ， かつ 切断用 ワ イ ヤ が掛 け ら れ た複数の 溝 ロ ー ル を 含む溝 ロ ー ル群 と ， 溝 口 一 ル群 に切断用 ワ イ ヤ を供給す る ワ イ ヤ繰 出 し 機構 と ， 溝 ロ ー ル群か ら の 切断用 ワ イ ヤ を 巻取 る 巻取 り ボ ビ ン を 含む ワ イ ヤ 巻取 り 機構 と を備 え た ワ イ ヤ式切断加工 装置 に お い て， ワ イ ヤ繰 出 し 機構 と ワ イ ヤ 巻取 り 機構 の う ち ， ワ イ ヤ 巻取 り 機構に の み キ ヤ プ ス タ ン 機構 が 設 け ら れ， こ の キ ヤ プス タ ン 機構 に よ っ て巻取 り ボ ビ ン 側 の ワ イ ヤ 張力 が溝 ロ ー ル群側 の ワ イ ヤ 張力 よ り も 低 く な る よ う に 調整 さ れて い る こ と を特徴 と す る も の で あ る 。

溝 ロ ー ル群の 張力 を披切断材の 切断 に 適 し た大 き さ に 設定 し ， 巻取 り 側 の 張力を こ れ よ り も 弱 い 値 に 設定 で き る 。 巻取 り 側 の 張力が比較的小 さ い か ら ， 巻取 り ボ ビ ン と し て充分 に堅牢 な も の で な く て も 足 り ， そ の 軽量化， 低廉化 を 図 る こ と がで き る 。

切断用 ワ イ ヤ が往復走行可能 な ワ イ ャ式切断加工 装 置 に お い て は， 切断用 ワ イ ヤ を ワ イ ヤ繰 出 し 機構か ら 溝 ロ ー ル群 を経て上記 ワ イ ヤ 巻取 り 機構 に 送 る 順方 向 走行時 に ， 溝 ロ ー ル群か ら ワ イ ヤ 巻取 り 機構側 に 切 断 用 ワ イ ヤ を 引 張 る 方向 に， 上記 2 つ の ロ ー ノレ の 少 な く と も い ずれか一方を駆動す る 装置 と ， 上記順方 向走 行 と は 逆向 き の走行時 に， 上記 2 つ の ロ ー ル の 少 な く と も い ずれか一方の 回転を制動す る 装 置 と を設 け る 。

駆動装置が モ ー タ で あ る 場合 に は ， こ の モ ー タ を 常 に 一方向 に 回転 さ せ て お け ば， 切断用 ワ イ ヤ の 逆方 向 走行時 に 制動装置 と し て働 く の で構成が簡素 と な る 。

2 つ の ロ ー ルを 含み， こ れ ら の ロ ー ル 間 に ワ イ ヤ が 複数回 に わ た っ て 掛 け ら れた 張力調整機構 に お い て ， ワ イ ヤ の 走行を安定化 さ せ る こ と の で き る こ の 発 明 に よ る 構造 は， 2 つ の ロ ー ノレ に 掛 け ら れ た 切断用 ワ イ ヤ が平行 に な る よ う に ， こ れ ら の ロ ー ル の 軸の 一方が他 方 に 対 し て傾 い て い る も の で あ る 。

張力調整機構の 例 と し て は ダ ン サ ー 機構 や キ ヤ ブ ス タ ン 機構があ る 。

こ の 発 明 に よ る と ， ワ イ ヤ 力く ロ ー ル の 溝 に 正 し く 沿 っ て走行す る の で， ワ イ ヤ の 張力 が安定 し ， 高速運 転が可能 と な る 。 ま た， ロ ー ルの 磨耗が減少 し ， 寿命 が延 び る 。

被切断材の 角 度 を 2 方向 に つ い て調整可能な こ の 発 明 に よ る 被切断材保持装置 は， 支持体 と ， 第 1 の 回転 体 と ， 第 2 の 回転体 と を 含み， 支持体 は 第 1 の 回 転体 を 第 1 の軸 を 中心 に 回転 自 在 に 支持す る 部分を 有 し ， 第 1 の 回転体 は， 第 2 の 回転体を， 第 1 の 軸 に 垂 直 な 第 2 の 軸を 中心 に 回転 自 在に 支持す る 部分を有 し ， 第 2 の 回転体 は 披切断材を支持す る 部分を 有 し て い る 構 成を も つ 。

被切断材 は 第 2 の 回転体 に 保持 さ れ， 第 2 の 回 転体 は 第 2 の軸 を 中心 に 回転可能で あ る 。 第 1 の 回転体 は 第 2 の 軸 に 垂直な 第 1 の軸 を 中心 に 回転可能で あ る 。 し た が っ て， 被切断材を 2 つ の軸 を 中心 に 任意 の 角 度 回転 さ せ る こ と がで き ， そ の 角度 を 2 方向 に 調整で き る 。 ま た ， 各回転体 は一方向 に の み 回転可能 に 設 け ら れ て い る の で ， 高 い 剛 性 を 保 つ こ と 力く で き る 。 と く に ， 第 1 の 軸 と 第 2 の軸が直交す る 配置構成 と す る こ と に よ り 堅牢 な構造 と な る 。

ボ ビ ン に 巻回 さ れ た ワ イ ヤ の 巻回方 向 を 自 動 的 に 検 出 す る こ の 発明 に よ る 装置 は， ト ラ バ ー ス 機構 に 含 ま れ る ， ボ ビ ン の軸 と 平行 に 移動可能 な 可動体の 先端部 に 設 け ら れ た受部材 と ， こ の 受部材 に 巻戻 し ボ ビ ン の 軸方 向 に 摺動 自 在 に保持 さ れ た支持体 と ， こ の 支持体 に ， 巻戻 し ボ ビ ン の 軸 と 平行 な 軸 に よ り 回転 自 在 に 設 け ら れ た ト ラ バ ー ス · シ ー ブ と ， 上記受部材 と 支持体 と の 間 に 設 け ら れ， 巻戻 し ボ ビ ン か ら 繰 出 さ れか つ 上 記 ト ラ バ ー ス · シ 一 ブ に掛 け ら れ た切 断用 ワ イ ヤ に 働 く 巻戻 し ボ ビ ン の軸方向 の 分力 を検 出 す る セ ン サ と を 備 え て い る も の で あ る 。

ボ ビ ン に 巻回 さ れた ワ イ ヤ を繰 出 し た と き に ， ワ イ ャ の 巻 回方向 に 応 じ て繰 出 さ れた ワ イ ヤ は 斜 め に な る の で ， ボ ビ ン の 軸方 向 に 分力 が働 く 。 こ の 分 力 の 方 向 を 検知 す る こ と に よ り ， ワ イ ヤ の 巻回方向 が検 出 で き る 。 ワ イ ヤ の 巻回方 向 を 自 動的 に 検 出 で き る の で ， ヮ ィ ャ の繰 出 し に お い て， ト ラ バ ー ス 制御の 自 動化 を 図 る こ と が可能 と な る 。 切断用 ワ イ ヤ の 巻取 り 側 に お い て 安定 な ト ラ バ ー ス 制御を行 う こ と の で き る こ の 発 明 に よ る ト ラ バ ー ス 機 構 は ， ワ イ ヤ の 巻戻 し ボ ビ ン の 軸 と 平行 に移動 自 在な 可動体 と ， こ の可動体の 先端部 に 設 け ら れ た ト ラ バ ー ス · シ ー ブ と ， 上記可動体の 移動 を 駆動す る モ ー タ と を 含み， 上記 モ ー タ がサ ー ボモ ー タ で あ っ て あ ら 力、 じ め 定 め ら れた ト ラ バ ー ス 移動速度 お よ び移動量 に し た 力く つ て制御 さ れ る も の で あ る 。

サ ー ボ モ 一 夕 は あ ら 力、 じ め 定 め た ト ラ バ ー ス移動速 度お よ び移動量に し た が っ て制御す る こ と がで き る 。 ト ラ バ ー ス方向 の制御 （方向切換） の た め に ボ ビ ン の 端の 位置 を検 出す る セ ン サが不要 と な り ， こ の セ ン サ を用 い て制御す る と き に生 じ る オ ー バ ー ラ ン 等が な く な る 。 速度制御範囲が広 く ， 細か い 巻 ピ ッ チ を実現す る こ と も で き る 。 図面の簡単な説明

第 1 図か ら 第 8 図 は こ の 発明 の 第 1 実施例 を示す も の で あ る 。

第 1 図 は， ワ イ ヤ 式切断加工装置 の 全体構成 を模式 的 に 示す。

第 2 図 は， ワ イ ヤ式切断加工装置 に お け る 溝 ロ ー ル 群 を拡大 し て 示す斜視図で あ る 。

第 3 図 は， ワ イ ヤ 式切断加工装 置 に お け る ソ ー ワ イ ャ の繰 出 し ， 巻取 り 機構の 構成を拡大 し て 示す斜視図 で あ る 。

第 4 図 は， 溝 ロ ー ル の 第 3 の 駆動方式を 示す斜視図 で あ る 。

第 5 図 は， モ ー タ 駆動回路 を示す回路図で あ る 。 第 6 図 は， モ ー タ 駆動回路 の 他の 例 を 示す回路図 で あ O o

第 7 図 は， 溝 ロ ー ル の 第 4 の 駆動方式 を 示す斜視図 で あ る 。

第 8 図 は， 溝 ロ ー ル の駆動装置 を 模式的 に示す も の で あ る 。

第 9 図か ら 第 4 9図 は こ の 発 明 の 第 2 実施例 を 示す も の で あ る 。

第 9 図 は， ワ イ ヤ 式切断加工装置 に お け る 溝 ロ ー ル 群を拡大 し て示す斜視図で あ る 。

第 1 0図 は ワ イ ャ 式切 断加工装置の 全体的配置構成 お よ び制御系の一部を模式的 に 示す も の で あ る 。

第 1 1図か ら 第 1 5図 は 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ ト と そ の駆動 系 を示 し て い る 。

第 1 1図 は， 溝 ロ ー ル ' ユ ニ ッ ト と そ の 駆動系 を， 一 部破断 し て示す正面図 で あ る 。

第 1 2図 は， 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ 卜 の 側面図で あ り ， 一 部が破断 し て示 さ れ て い る 。

第 1 3図 は， 駆動系 の 全体 を 示す正面図で あ る 。 第 H図 は， 駆動系 の 一部を 拡大 し て示す縦断面図 で め る O

第 15図は ワ ー ク を切断 し て い る と き の 様子を一部.を 破断 し て示す も の で， 溝 ロ ー ル ' ュ ニ ッ 卜 の 一部の 側 面図で あ る 。

第 16図 お よ び 第 17図 は ヮ ー ク 送 り 装 置 を 示 す も の で， 第 16図 は一部 を破断 し て 示す側 面図， 第 Π図 は背 面図で あ る 。

第 18図か ら 第 28図 は ワ ー ク 保持装 置 の 詳細を示す も の で あ る 。

第 18図 は ワ ー ク 保持装置の 一部を 破断 し て示す平面 図で あ る 。

第 19図 は 第 18図 の X I X - I X 線 に 沿 う 断 面図 で あ o

第 20図 は第 18図 の X X— X X線 に 沿 う 断面図で あ る 。 第 Π図 は ワ ー ク 保持装置の 一部を 破断 し て示す側面 図で あ る 。

第 22図か ら 第 図 は ワ ー ク 保持部材 を 示す も の で ， 第 22図は平面図， 第 23図 は正面図， 第 24図 は底面図で の O o

第 25図か ら 第 Π図 は締付 ピ ー ス を 示す も の で， 第 25 図 は 平面図， 第 26図 は 側 面 図 ， 第 27図 は 正面図 で あ o

第 Π図 は ワ ー ク 保持部材 に 締付 ピ ー ス を 取付 け た状 態 を 示す正面図で あ る 。

第 29図か ら 第 35図 は ソ ー ワ イ ヤ 巻取 り 機構 に 含 ま れ る キ ヤ プ ス タ ン機構， 巻取 り 側 ダ ン サ ー 機構 お よ び張 力検 出装置 を 示す も の で あ る 。

第 29図 は キ ヤ プス タ ン 機構， 巻取 り 側 ダ ン サ ー 機構 お よ び シ ー ブの正面図で あ る 。

第 3 Q図 は 第 29図 の XX X - XXX 線 に 沿 う 断 面 図 で あ o

第 31図 は 第 29図 の X X X 1 — X X X 1線 に 沿 う 断面 図 で あ 。

第 Π図 は 第 Π図の X X X 1 1 - XXX I I 線 に 沿 う 断面図で あ る 。

第 Π図 は第 29図の ） [ X X 1 I 1 — X X I 1線 に 沿 う 断面図で め 。

第 34図 は 第 29図の X ( )Π V - XXX I V 線 に 沿 う 断面図で め Ο ₀

第 Π図 は 第 Π図の X X X V _ X X X V線 か ら み た 矢視 図 で あ る ο

第 36図か ら 第 39図 は ソ ー ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 に 含 ま れ る 繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 お よ び測長部 を 示す も の で あ る ο

第 36図 は繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 お よ び測長 部 の 正面 図 で あ る 。

第 Π図 は 第 36図の XXXV 1 1— XXXV I I線 に 沿 う 断面図で め る 。

第 38図 は測長部の 背面図で あ る 。

第 39図 は 第 図の - XXXIX 線 に 沿 う 断面図で の る 。

第 4 G図 は繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス機構 お よ び巻取 り 側 ト ラ バ ー ス 機構の正面図で あ る 。

第 41図か ら 第 44図 は繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 を 示す も の で あ る 。

第 41図 は 第 4 ΰ図 の X X X X 1 - XXX 1 線 に 沿 う 断面図で あ る o

第 42図 は 第 40図の XXXX11— XXXX 1 I線 に 沿 う 断面図で あ o

第 43図 は 第 41図 ま た は 第 42図の ] (X I ! l - XXXX I I I 線 に 沿 う 断面図で あ る 。

第 44図 は可動 シ ャ フ 卜 の 連動機構 お よ び駆動機構を 示す拡大斜視図で あ る 。

第 45図 は 卷取 り 側 ト ラ バ ー ス の 制御 を説明 す る た め の ト ラ バ ー ス 移動速度パ タ ー ン を 示す も の で あ る 。

第 46図 は 巻回方向検出 の 原理を 示す も の で あ る 。 第 47図か ら 第 49図 は巻回方向検 出装 置 を 示す も の で の る

第 図 は 卷回方向 検出装置の縦断面 図 で あ る 。

第 48図 は 第 47図の X X X X V 111— X X V 1 I 1線 に 沿 う 断面 図 で あ る 。 第 49図 は 第 47図の X X X X — X X X X i X線 に 沿 う 断面図 で i> o

第 50図 は， 従来例 を示 し ， 溝 ロ ー ラ の 配置 お よ び被 切断材 の 移動方 向 を 示す斜視図であ る 。

第 51図 は， 他の 従来例 を示 し ， 溝 ロ ー ラ の配置 お よ び被切 断材の 移動方 向 を示す斜視図 で あ る 。 発 明 を 実施す る た め の 最良 の 形態

〔第 1 実施例〕

第 1 図 は ワ イ ヤ 式切断加工装置 （ ワ イ ヤ * ソ 一 ） の 全体構成 を図式的 に 示す も の で あ る 。 こ の ワ イ ヤ式切 断加工装 置 に お け る 溝 ロ ー ル （ ま た は ロ ー ラ ） 群が拡 大 し て 第 2 図 に ， ワ イ ヤ の繰 出 し ， 巻取 り 機構の 構成 が拡大 し て第 3 図 に そ れぞれ示 さ れ て い る 。

こ れ ら の 図 に お い て， 3 つ の 溝 ロ ー ル 11, 12お よ び 13が回転 自 在 に かつ 互 い に 平行 に フ レ ー ム （第 1 図， 2 で は 図 示 略 ） に 支 持 さ れ て い る 。 溝 ロ ー ル 11は 溝 ロ ー ル 12の 真上の 位置 に あ り ， 溝 ロ ー ル 13は 溝 ロ ー ル 11 と 12の 中 間 の 高 さ 位 置 で あ つ て こ れ ら の 溝 ロ ー ル 11 , 12力、 ら 側方 に離れ た 位置 に あ る 。

溝 ロ ー ル H〜 13の 周面 に は そ れぞ れ一定 間隔で溝が 形成 さ れ て い る 。 溝 の 間隔が切断に よ り 形成 さ れ る ゥ ェハ の 厚 さ を規定す る （第 2 図で は作図 を 容易 に す る た め に 溝 間隔がか な り 広 く 描か れて い る ） 。 切断用 ヮ ィ ャ 1 4力く こ れ ら の 溝 ロ ー ル 1 1 〜 1 3に そ れ ら の 溝 に 沿 つ て順番 に掛 け ら れ， 各溝 ロ ー ル に お け る 溝の 数 だ け 巻 回 さ れて い る 。

溝 口 ー ル 1 1と 1 2は上述の よ う に上下 に 離れて配置 さ れて い る 。 し た 力く つ て， 溝 ロ ー ル 1 1 と 1 2と の 間 に お い て ソ ー ワ イ ヤ 1 4は鉛直下方 に （ ま た は上方 に ） 走行す る o

被切断材 の 送 り 装置 （ ワ ー ク 送 り 装置） 4 0は 溝 ロ ー ル 1 1と 1 2と の 間 を鉛直 に走行す る ソ ー ワ イ ヤ Hの 側 方 (第 1 図 に お い て左側） に 配置 さ れて い る 。 こ の 送 り 装置 4 βは 支持台 上 に 設 け ら れた ガ イ ド 4 2に 沿 っ て 水 平 方 向 に 移 動 自 在 に 支 持 さ れ た 移 動 体 4 3を 含 ん で い る 。 こ の 移動体 4 3の 先端部 に ワ ー ク （被切断材） 9 が 公知の 保持装置 に よ っ て着脱 自 在 に 保持 さ れて い る 。

一方， 支持台 4 1上 に 固定 さ れ た支持部材 4 6に ボ ー ル ネ ジ 4 5が軸受 4 7に よ り 回転 自 在 に かつ 水平 に 保持 さ れ て い る 。 こ の ボ ー ル ネ ジ 4 5は移動体 4 3の 内部 に 延 び， 移動体 4 3に 設 け ら れ た ボ ー ル ネ ジ受 け 4 4に ね じ は め ら れ て い る 。 ボ ー ル ネ ジ 4 5は， 支持部材 4 6上 に 固定 さ れ た モ ー タ 4 8に よ っ て歯付 き べ ノレ 卜 （ チ ェ ー ン ， タ イ ミ ン グ · ベ ル ト ， そ の 他 の 回転動力 を 正確 に 伝達で き る も の が使用 で き る ） 4 9を 介 し て回転駆動 さ れ る 。

モ ー タ 4 8を 回 転 さ せ る こ と に よ っ て ボ ー ノレ ネ ジ 4 5力く 回転 し ， こ れ に よ つ て移動体 Uがガ イ ド 4 2に 沿 っ て水 平方 向 に 移動 す る 。 移 動体 43に 保持 さ れ た ワ ー ク 9 は 水平方 向 に 移動 し ， 溝 ロ ー ル 11と Uと の 間 を 鉛 直 に 走 行す る ソ ー ワ イ ヤ 14に 対 し て垂直 に 進退 す る 。 切 断 す る と き に は ， ワ ー ク 9 は 鉛 直 に 走行す る ワ イ ヤ 14に 垂 直 に 押 し 付 け ら れ る こ と に な る 。

ワ ー ク の 送 り 装 置 4βと し て は 上記 の よ う に ボ ー ノレ ネ ジ を 利 用 し た も の 以外 に ， 送 り ネ ジ を 利 用 し た も の ， ラ ッ ク ♦ ピ 二 オ ン 機構 を 利 用 し た も の ， 油圧 ま た は 空 圧 シ リ ン ダ を 利 用 し た も の 等 を 利用 す る こ と が で き よ う ο

ソ ー ワ イ ヤ 14力く こ の ワ イ ヤ Ηに 進入す る ワ ー ク 9 と 接触 す る 箇所 （加工 箇 所） の 斜 め 上方 に は ， 砥粒 を 含 む加工液 を 加工 箇所 に 向 け て 斜 め 下方 に 供給 す る ノ ズ ル 15が設 け ら れ て い る 。 こ の ノ ズ ル を 加 工箇 所 の 斜 め 下方 の 位 置 に 配 置 し ， 加工 液 を 加 工 箇所 に 向 け て 斜 め 上方 に 供給す る よ う に し て も よ い 。

後述す る よ う に 溝 ロ ー ル 11〜 13の う ち の 少 な く と も い ず れ か 一 つ 力く モ ー タ に よ っ て 回 転 駆 動 さ れ る 。 溝 ロ ー ル 11〜 13力く 同 方 向 に 回 転 す る こ と に よ っ て ， 溝 口 一ル 11〜 13に 張設 さ れ た ソ 一 ヮ ィ ャ 14が一方 向 に 走 行す る 。 ワ ー ク 9 を 少 し ずつ ワ イ ヤ 14に 向 け て 水平 方 向 に 移動 さ せ . ワ ー ク 9 を 溝 ロ ー ル 11と 12の 間 の 鉛 直 に 走行す る ワ イ ヤ 14に 押 し 付 け ， かつ ワ イ ヤ 14と ヮ ー ク 9 と が 接触 し て い る 加工箇 所 に ノ ズ ル 15力、 ら 砥 粒 を 含 む加工液 を 供袷 す る 。 こ れ に よ つ て ワ ー ク 9 が一定 幅 の 複数 の ウ ェ ハ に 切断 さ れ る 。

溝 ロ ー ル 1 1 と 1 2 と の 間 を ソ ー ワ イ ヤ 〖 4が鉛 直 に 走行 す る 。 こ の 鉛 直 に 走 行 す る ソ ー ワ イ ヤ 1 こ 対 し て ， ワ ー ク 9 は 水平方 向 に 進 退す る 。 し た 力く つ て ， ワ ー ク 9 を上下方 向 に 移 動 さ せ る 従来 の 構成 に 比較 し て 切 断 装 置 の 高 さ を 低 く す る こ と 力く で き る 。 こ の た め ， フ レ ー ム を 高 く す る 場 合 に 比べ て そ の 剛性 は 小 さ く て も よ い の で， フ レ ー ム の 軽量化 が可能 と な る 。 ま た ソ ー ワ イ ヤ 1 4の ハ ン ド リ ン グ （溝 ロ ー ル 1 1〜 1 3に ワ イ ヤ H を 巻付 け る こ と 等） や ， ワ ー ク 9 の 着脱 の た め の 作業 が や り や す く な る 。 さ ら に ， 砥粒 を 含 む加工液 は ヮ 一 ク 9 の 加工面 に 沿 っ て 流 れ て い く の で ， ワ ー ク の 溝 に 詰 ま る こ と は な く ， か つ 加工面 に 充分 に 浸透 し ， 切 削 効率が高 ま る 。

ソ ー ワ イ ヤ 1 4の 繰 出 し 機 構 お よ び 巻 取 り 機 構 は 溝 ロ ー ル 1 1〜 1 3を 挟 ん で ワ ー ク 9 の 送 り 装置 4 0と は 反 対 側 に 設 け ら れ て い る 。

ソ ー ワ イ ヤ 1 4の 繰 出 し 機構 は ソ ー ワ イ ヤ を 巻 回 し た 巻戻 し ボ ビ ン （ リ ー ル ま た は ド ラ ム ） 5 ϋ , 繰 出 し 口 一 ル 5 1お よ び張 力 調 整 機構 5 2を 含 ん で い る 。 巻戻 し ボ ビ ン 5 0は フ レ ー ム 8 に 回転 自 在 に 保持 さ れ て い る 。 巻 戻 し ボ ビ ン 5 Gに 張 力 調 整装 置 を 設 け る こ と も で き る 。 ボ ビ ン 5 0か ら 引 出 さ れ た ワ イ ヤ 1 4は 繰 出 し ロ ー ル 5 1を 経 て張力調整機構 5 2に 送 ら れ る 。

張力調整機構 は水平 に 配置 さ れ た 2 つ の 溝 ロ ー ル 5 3お よ び 5 4を含ん で い る 。 溝 ロ ー ノレ 5 3は フ レ ー ム 8 に 回転 自 在 に 支持 さ れ て い る 。 溝 ロ ー ル （ ダ ン サ ー 口 一 ル） 5 4は ア ー ム 5 5の 先端部 に 回転 自 在 に 支持 さ れて い る 。 ア ー ム 5 5は そ の 基端部 に お い て張力調整装置 （図 示略） の 軸 5 6に 固定 さ れて い る 。 溝 ロ ー ル 5 3 , に は 複数の 溝が形成 さ れ て い る 。 ソ ー ワ イ ヤ 1 4は， フ レ ー ム 8 に 回転 自 在 に 設 け ら れ た固定 シ 一 ブ 5 7を経て， 2 つ の 溝 ロ ー ル 5 3と 5 4と の 間 で そ れ ら の 溝 に 数回 に わ た っ て巻付 け ら れ た の ち ， 溝 ロ ー ル 1 1に 向 う 。

張力調整装置 は軸 5 6の 回転角 を検 出 す る 角 度検出器 と ， ア ー ム 5 5が ほ ぼ水平姿勢 を 保つ よ う に 軸 5 6を介 し て ア ー ム 5 5を 駆動 す る 駆 動 装 置 （ エ ア · シ リ ン ダ な ど） （ い ずれ も 図示略） と を 含ん で い る 。 溝 ロ ー ル 1 1 に供給 さ れ る ワ イ ヤ の 張力 を 検 出 す る ロ ー ド セ ル （図 示略） か ら の張力信号を 受 け て， こ の検 出張力が設定 値 に 常 に ほ ぼ等 し く な る よ う に エ ア · シ リ ン ダが駆動 さ れ， ア ー ム 5 5が揺動す る 。 ア ー ム 5 5が水平姿勢か ら 一定角 度以上， 上方 ま た は下方 に 振 れ る と ， そ の こ と が 角 度 検 出 器 に よ っ て 検 出 さ れ ， こ の 検 出 に 応答 し て， ア ー ム 5 5が常 に ほ ぼ水平姿勢 に 保 た れ る よ う に . 巻戻 し ボ ビ ン 5 Gの駆動が制 御 さ れ る 。

ソ ー ワ イ ヤ Hの 巻取 り 機構 も ま た 張力調整機構 Πを 含ん で い る 。 こ の 張力調整機構 Πは張力 調整機構 52と 同 じ 構成で あ る 。 ソ ー ワ イ ヤ 14は 溝 ロ ー ル 12か ら ， フ レ ー ム 8 に 回転 自 在 に 固定 さ れ た方向転換用 の シ ー ブ 77, 78お よ び 79を経 て張力調整機構 72に 送 ら れ る 。 こ の 張力調整機構 72に お い て， ワ イ ヤ Πは溝 ロ ー ル 73と 74に 複数回巻回 さ れ た の ち ， ト ラ バ ー ス 機構 に 送 ら れ る 。 溝 ロ ー ル （ ダ ン サ ー ロ ー ル） 74は 張力調整装 置 (図示略） の 軸 76に 固定 さ れ た ア ー ム 75の 先端部 に 回 転 自 在 に 取 付 け ら れ て い る 。 こ の 張 力 調 整機構 了 2に よ っ て， 溝 ロ ー ル 12か ら 引 出 さ れ る ソ ー ワ イ ヤ 14の 張 力 が常 に ほ ぼ一定 に 保持 さ れ る 。

ト ラ バ ー ス 機構 61は 2 つ の ラ ッ ク 62と 66と を 含ん で い る 。 一方の ラ ッ ク 62は フ レ ー ム 8 に 水平 に 固定 さ れ て い る 。 他方の ラ ッ ク 66は ラ ッ ク 62と 平行 に そ の 長手 方 向 に移動可能 に 保持 さ れて い る 。 ラ ッ ク 62と の 歯 は 向 い 合 っ て い る 。

こ れ ら の ラ ッ ク 62と 66の 間 に ピ ニ ォ ン 65が配 置 さ れ， ピニ オ ン 65の 歯 は両 ラ ッ ク S2, 66の 歯 と 嚙 み 合 つ て い る 。

可動 ラ ッ ク 66の 先端部 に は ア ー ム 7 Qが取付 け ら れ て い る 。 可動 ラ ッ ク δ 6の 先端部 に シ ー ブ 67が， ア ー ム 70 に シ 一 ブ 58 , S 9が回転 自 在 に設 け ら れて い る 。 ピ ニ ォ ン 65に も 同心の シ ー ブ S 4が固定 さ れて い る 。 さ ら に 固 定 ラ ッ ク 62の 先端部 に も シ 一 ブ が回転 自 在 に取付 け ら れ て い る 。 ワ イ ヤ Hは 張力 調整機構 72か ら ， フ レ ー ム 8 に 取付 け ら れ た 回転 自 在 の シ 一 ブ Πを 経 て ， 固 定 ラ ッ ク 62の シ ー ブ に 掛 け ら れ， さ ら に ピ 二 オ ン 65の シ ー ブ 64に 掛 け ら れ て い る 。 ワ イ ヤ 14は シ 一 ブ 64で 折 り 返 え さ れ て 可動 ラ ッ ク 66の シ ー ブ Π, 68, 69に 掛 け ら れ た の ち ， 巻取 り ボ ビ ン （ リ ー ル ま た は ド ラ ム ） 60 に 卷 回 さ れ て い る 。

可 動 ラ ッ ク 66は 往 復 駆 動 装 置 （ シ リ ン ダ ， ま た は モ ー タ と 運動方 向 転換機構 な ど） （ 図 示 略 ） に よ り そ の 長手 方 向 に 往 復駆動 さ れ る 。 可動 ラ ッ ク 6δの 往復駆 動 に し た 力く つ て ピ ニ オ ン 65と シ ー ブ 64も 可動 ラ ッ ク 66 の 移動 距離 の 半分移動 す る 。 可動 ラ ッ ク 66の 先 端 部 の シ ー ブ 69は 巻取 り ボ ビ ン 60の 真上 に あ り ， こ の ボ ビ ン 60の 軸 方 向 に 移動 す る 。 こ れ に よ り ， ソ ー ワ イ ヤ 14は 整列 さ せ ら れ な 力く ら 巻 取 り ボ ビ ン 60に よ っ て 巻 取 ら れ て い く 。 巻取 り ボ ビ ン は 回 転駆動 装 置 （ 要す れ ば 張 力調整 機構 を 備 え た ） に よ っ て 巻取 り 方 向 に 回 転 さ れ る の は い う ま で も な い 。

ソ ー ワ イ ヤ 14の 繰 出 し 機構 と 巻取 り 機構 が と も に 溝 ロ ー ノレ 11〜 13の 一側方 に 配 置 さ れて い る の で ， こ れ ら の 機構 を 溝 ロ ー ル の 両側 に 配 置す る 場 合 に 比 べ て ， 装 置全体 の 長 さ を 短 く す る こ と がで き ， こ の 点 で も 装 置 の 小型 化 に 寄与 す る 。

上記 の 例 で は ソ 一 ワ イ ャ 14は繰 出 し 機構 か ら 溝 口 一 ル 1 1〜 1 3を 経 て 巻 取 り 機 構 に 向 つ て 一 方 向 に 走 行 す る 。 必要 で あ れ ば ソ ー ワ イ ヤ Hを 往復 走行 さ せ る こ と も で き る 。 ソ ー ワ イ ヤ の 往復走行方 法 に は 少 な く と も 次 の 2 方法 が あ る 。

そ の 第 1 は ， 往路 走行 に お い て， ワ イ ヤ 巻戻 し ボ ビ ン に 巻 回 さ れ て い る す べ て の ワ イ ヤ を ワ イ ヤ 繰 出 し 側 か ら ワ イ ヤ 巻取 り 側 に 送 り 込 み ， ワ イ ヤ 巻取 り ボ ビ ン で巻取 る 。 次 に ， ワ イ ヤ 巻取 り 側 を 新 た な ワ イ ヤ 繰 出 し 側 と し ， ワ イ ヤ 繰 出 し 側 を 新 た な ワ イ ヤ 巻取 り 側 と し て ワ イ ヤ の 復路 走行 を 行 な わ せ る も の で あ る 。 こ の 方法 は ， ワ イ ヤ の 一方 向 走行で ワ ー ク を 切'断 で き る の で， 切 断面力 き れ い に な る と い う 特 徴 が あ る 。 ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 は 復路 走行 に お い て新 た な ワ イ ヤ 巻取 り 機 構 と し て 働 く た め に ， ト ラ バ ー ス 機 構 が 設 け ら れ よ ラ o

そ の 第 2 は ， ワ イ ヤ 繰 出 し 側 か ら ワ イ ヤ 巻 取 り 側 に ソ 一 ワ イ ヤ を 所 定長 さ （ た と え ば Ι Ο Ο π！ 〜 2 0 0 m く ら い ） 走行 さ せ た の ち ， ソ 一 ワ イ ヤ を ワ イ ヤ 巻取 り 側 か ら ワ イ ヤ 繰 出 し 側 に 上記 の 所定長 さ よ り も 少 し 短 い 程 度 の 長 さ 分 （ 好 ま し く は 上 記 所 定 長 さ の 半 分 の 長 さ ） ， 巻戻 す も の で あ る 。 こ の よ う な ワ イ ヤ 巻取 り と ワ イ ヤ 巻戻 し と を 繰返 し ， 最終 的 に は ， ワ イ ヤ を ワ イ ャ 卷取 り 側 に 巻取 る 。 こ の 方法 は 比絞 的短 い ワ イ ヤ を 実質 的 に 長 く 使 え る と い う 利 点が あ る 。 ワ イ ヤ 繰 出 し 側 に は 必 ず し も ト ラ バ ー ス 機構 は 必要 で は な い 。 な ぜ な ら , ヮ ィ ャ 繰 出 し 側 で は ， 上記 の 所定長 さ よ り も 少 し 短 い 長 さ の ワ イ ヤ を 一 時 的 に 巻取 る だ け で あ る 力、 ら で あ る 必要 な ら ば， ワ イ ヤ 繰 出 し 側 の ワ イ ヤ 巻戻 し ボ ビ ン に ボ ビ ン · ト ラ バ ー ス 機構 を 設 け る 。 ボ ビ ン . 卜 ラ ノ 、一 ス 機構 は ワ イ ヤ 巻戻 し ボ ビ ン 全体 を そ の 軸方 向 に 移動 さ せ な 力く ら ワ イ ヤ を 巻取 る も の で あ る 。

さ ら に 必要 で あ れ ば， 溝 ロ ー ル 1 1〜 1 3と ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 お よ び ワ イ ヤ 巻取 り 機構 と の 間 に ワ イ ヤ の 洗浄 装置 7 ( 第 1 図参照） を 配置 す る 。 ワ イ ヤ を 往復走 行 さ せ た 場 ΐπ に も ， ワ イ ヤ 洗浄装 置 7 を 1 箇 所 に 配 置 す れ ば 足 り る ₀

溝 π ― ル 1 1 と 1 2と の 間 を 走行す る ソ ー ワ イ ヤ Ηは 鉛 直 に 限 ら ず ， 多 少 斜 め で あ っ て も よ い 。 鉛 直 と 水 平 (従 来例 ) と の 丁度 中 間 は 斜 め 4 5度 で あ る と い う 観点 力、 ら み れ ば， 溝 口 一 ノレ 1 1 と Π と の 間 を 走行 す る ソ ー ヮ ィ ャ 1 4は 鉛 直 に 対 し て ± 4 5度 傾 い て い て も よ い 。 同 じ よ う に ， ヮ 一 ク 9 の 進退方 向 も 水平 に 対 し て ± 4 5度 傾 い て い て も よ い 。 ワ ー ク 9 の 進退方 向 は ソ ー ワ イ ヤ の 走行方 向 に 直交 し て い る こ と が好 ま し い が ， 切 断 の 仕 方 に よ つ て は ワ ー ク 9 の 進 退方 向 は ソ ー ワ イ ヤ の 走 行 方 向 に 対 し て 直角 以 外 の 角 度 で傾 い て い て も よ い 。

ソ 一 ヮ ィ ャ が張設 さ れ る 溝 ロ ー ル は 3 つ 以外 に も ，

2 つ で あ つ て も よ く （溝 ロ ー ル 1 1 と 1 2 ) , 4 つ 以 上 で あ っ て も よ い o

溝 口 一ル U〜 1 3の 駆動方式 に は種 々 の も の があ る 。 そ の 代表的 な も の につ い て説明 し て お く 。

そ の 第 1 は， 一軸駆動， 二軸従動方式で あ る 。 1 つ の 溝 ロ ー ル Uが減速機 ま た は他 の動 力伝達機構 （図示 略） を介 し て モ ー タ に よ り 回転駆動 さ れ る 。 他の 2 つ の 溝 ロ ー ル 1 1 , 1 2は軸受 に よ り 回転 自 在 に 受 け ら れ て い る 。 3 つ の 溝 ロ ー ル 1 1〜 1 3に 掛 け ら れ た ソ ー ワ イ ヤ 1 4に よ っ て， 溝 ロ ー ル 1 3の 回転駆動 力 が他の 溝 ロ ー ル 1 1 , 1 2に伝達 さ れ る 。

そ の第 2 は， 同期回転方式で あ る 。 3 つ の 溝 ロ ー ル 1 1〜 〖 3の 軸の そ れぞれ に 歯付 き 車が固定 さ れ， こ れ ら の 歯 付 き 車 に 歯付 き ベ ル ト が 掛 け ら れ る 。 一 つ の 溝 口 一 ノレ 1 3がモ ー タ に よ り 駆動 さ れ る 。 モ ー タ の 動力 は ベ ル ト ， 歯付 き 車 に よ っ て他の 溝 ロ ー ル 1 1 , 1 2に 伝達 さ れ る 。 回 転動 力 の 伝 達 はプ ー リ と ベ ル ト ， 歯 車 と チ ェ ー ン等 に よ る こ と も あ る 。

そ の 第 3 は三軸駆動方式で あ る 。 第 4 図 に 示す よ う に ， 3 つ の 溝 ロ ー ル 1し 1 2お よ び Πを そ れぞれ别個 に 回転駆動す る た め の モ ー タ 2 1 , 2 2お よ び 2 3が設 け ら れ る 。 こ れ ら の モ ー タ 2 1〜 2 3は 後述す る よ う に 同一 の ト ル ク を発生す る よ う に 駆動制御 さ れ る 。 溝 ロ ー ル 1 1は 直接 に， ま た は 適当 な 回 転動力 伝達機構 （図示略） を 介 し て モ ー タ 2 1に よ っ て 回 転 駆 動 さ れ る 。 同 じ よ う に ， 溝 口 ー ル 1 2お よ び Πは モ ー タ Πお よ び 2 3に よ つ て そ れ ぞれ回転駆動 さ れ る 。

第 5 図 は モ ー タ 2 1〜 2 3の 駆 動 制 御 回 路 を 示 し て い る o

3 つ の モ ー 夕 2 1〜 2 3に は 回転速度 を一定 に 制御す る た め の フ イ ー ドバ ッ ク 制御系 （帰還制御回路 ） が設 け ら れ て い る 。 こ れ ら の フ ィ ー ドバ ッ ク 制御系 に は 共通 の 目 標回転速度 （速度 目 標値） が与え ら れ る o

モ ー タ 2 1の フ ィ 一 ド バ ッ ク 制御系 に つ い て 説明 す る と ， モ ー 夕 2 1の 回転速度 （回転数） を 検 出 す る タ コ ゼ ネ レ 一 夕 (回転数検 出器） Π Α が設 け ら れて い る 。 検 出 さ れ た 回転速度の 目 標回転速度 か ら の 偏差 が減算回 路 3 4 A で検出 さ れ， こ の 偏差を 表わ す信号が速度增 幅 器 3 i A に 与え ら れ る 。 速度増幅器 3 1 A の 出 力 は電流增 幅器 Π A に よ っ て駆動電流 に 変換 さ れ， モ — タ Πに 流 さ れ る 。 こ れ に よ つ て， モ ー タ 2 1は そ の 回転速度が設 定 さ れ た 目 標回転速度 に 一致す る よ う に制御 さ れ る 。

モ ー タ 2 2お よ び 2 3の フ ィ 一 ドバ ッ ク 制御系 も モ ー タ

2 1の フ ィ 一 ド バ ッ ク 制 御 系 と 基 本 的 に 同 じ 構成 で あ る 。 モ 一 夕 Πお よ び 2 3の 回転速度を そ れぞれ検出 す る 夕 コ ゼネ レ ー タ カくそ れぞれ符号 3 3 B お よ び 3 3 C で示 さ れて い る 。 ま た ， 減算回路が符号 3 4 B お よ び 3 4 C で ， 速度増 « 器が符号 Π B お よ び Π C で， 電流増 幅器が符 号 3 2 B お よ び 3 2 C で そ れぞれ示 さ れて い る さ ら に こ の 駆動回 路 に は 切換回路 25お よ び 26が含 ま れて い る 。 切換回路 25は， 速度増幅器 31 B の 出 力側 と 電流増幅器 Π B の入力側 と の 間に 設 け ら れ た ス ィ ツ チ SWl bと ， 速度増 幅器 31 A の 出 力側 と 電流増 幅器 32 B の 入力側 （ ス ィ ッ チ S W 1 bよ り も 入力側） と の 間 に 設 け ら れ た ス ィ ッ チ SWl aと か ら 構成 さ れ て い る 。 ス ィ ッ チ SWl a と SWl bは 連 動 し ， ス ィ ツ チ SWl a力 オ ン の と き ス ィ ツ チ SWl bは オ フ ， ス ィ ツ チ SWl a力く オ フ の と き ス ィ ッ チ S W 1 bは オ ン と な る 。

切換回路 25がモ ー タ 22の フ ィ 一 ド バ ッ ク 制御系 内 お よ び こ の フ ィ 一 ド パ ッ ク 制御系 と モ ー 夕 21の フ ィ 一 ド バ ッ ク 制御系 と の 間 に 設 け ら れて い る の に 対 し て， 切 換回路 26は モ ー 夕 23の フ ィ 一 ドバ ッ ク 制御系 内 お よ び こ の フ ィ 一 ドバ ッ ク 制御系 と モ ー タ 22の フ ィ 一 ド ノく、 ッ ク 制御系 と の 間 に 設 け ら れて い る 。

切換回路 2 δは互 い に 連動 し かつ反対の オ ン ， オ フ 状 態 を と る 2 つ の ス ィ ツ チ SW2 aお よ び SW2 bを 含 ん で い る 。 ス ィ ッ チ SW2 aは電流増幅器 Π Β の 入 力側 と 電流增 幅器 32 C の 入力側 と の 間 に 接続さ れ て い る 。 ス ィ ツ チ SW21)は速度増幅器 31 C の 出力側 と 電流増 幅器 32 C の 入 力側 と の 間 に 接続 さ れて い る 。

第 6 図 に 示 す よ う に ， 切 換 回 路 26を モ ー タ 23の フ ィ 一 ドバ ッ ク 制御系 内 お よ び こ の フ ィ 一 ドバ ッ ク 制 御系 と モ ー タ 21の フ ィ 一 ドバ ッ ク 制御系 と の 間 に 設 け て も よ い 。 す な わ ち ， 切 換回 路 26の ス ィ ッ チ SW2 aを 速 度増 幅器 Π A の 出 力 側 と 電流増 幅器 32 C の 入力 側 と の 間 に 接続す る 。 他 の 構成 は 第 5 図 に 示 す も の と 同 じ で め る 。

こ れ ら の ス ィ ッ チ SWl a， S W 1 , S W 2 a , SW2 bは 有接点 ス ィ ッ チ と し て 図示 さ れ て い る 力 も ち ろ ん 半導体 ス イ ッ チ を 用 い る こ と 力《 で き る 。

ワ ー ク 9 を ワ イ ヤ 14に よ っ て 切断 す る と き に は ， ス ィ ッ チ S W 1 aお よ び S W 2 a力、' ォ ン に さ れ ， ス ィ ッ チ S W 1 bお よ び SW2 b力 オ フ に さ れ る 。 こ れ に よ り ， モ ー タ 21の フ ィ ー ド バ ッ ク 制 御 系 が動作 し ， 他 の モ ー タ 22お よ び 23の フ ィ 一 ド バ ッ ク 制 御系 は 開 放 さ れ る 。 モ ー タ 21は そ の 回転速度 が 目 標 回 転速度 と 一致 す る よ う に 制 御 さ れ る 。 こ の モ ー タ 21の フ ィ 一 ド バ ッ ク 制御 系 で発生 し た ト ル ク 指令 （速 度 増 幅 器 31 A の 出 力 信号） は モ ー タ 22お よ び 23を そ れ ぞ れ駆動す る た め の 電流増 幅 器 32 B お よ び 32 C に 与 え ら れ る 。 し た 力《 つ て ， モ ー タ 22お よ び 23は モ ー タ 21と 同 じ ト ル ク を 発生 す る よ う に 駆動 さ れ る 。

溝 ロ ー ル 11 , 12お よ び 13の そ れ ぞ れが モ ー タ Π , 22 お よ び 23に よ っ て 同 一 の ト ル ク で回 転駆動 さ れ る 。 上 記 の 第 1 の 駆 動 方 式 と 比 較 す る と 回 転 抵 抗 が 無 い の で ， 溝 ロ ー ル 1 i〜 13と ワ イ ヤ Hと の 滑 り が殆 ど な い 。 こ れ に よ り 溝 ロ ー ル 11〜 Πの 溝 の 磨耗 が著 し く 減少 す る 。 ま た， 3 つ の 溝 ロ ー ル 11〜 13の 磨耗度 を 均等化す る こ と 力くで き る 。

3 つ の 溝 ロ ー ル 11〜 13は 一定の ト ル ク で駆動 さ れ て い る 。 何 ら かの 原因で一つ の 溝 ロ ー ル の 溝径が小 さ く な っ た と す る と ， ト ル ク が一定で あ る 力、 ら そ の 溝 ロ ー ル は加速 さ れ る 。 こ の 結果， 溝怪が小 さ く な つ て も 溝 の 周速 と ワ イ ヤ の走行速度 は ほ ぼ等 し く 保 た れ る 。 こ の た め， 滑 り が発生 し に く い。 し た 力く つ て， 上記 の 第 2 の 駆動方式 と 比較 し て， 溝 ロ ー ル の 径の違 い を許容 で き る 。

ス ィ ツ チ SWl aお よ び SW2 aを と も に オ フ し ， ス ィ ッ チ SWl bお よ び SW2 bを オ ン と す る と ， モ ー タ 22お よ び 23の フ ィ ー ドバ ッ ク 制御系 も ま た動作す る 。 こ れ は， 3 つ の モ ー タ 21, 22, Πを そ れ ぞれ別個 に 同 じ 目 標回転速 度で駆動す る と き に 有効で あ る 。 た と え ば， ワ イ ヤ 14 を 3 つ の溝 ロ ー ル 11〜 23に 巻付 け る と き や， ワ イ ヤ の 無 い 状態で モ ー タ Π〜 Πを 空回 し す る と き に 用 い ら れ そ の 第 4 は一軸駆動， 二軸 ト ル ク 可変駆動方式で あ る ο

第 7 図 お よ び 第 8 図 を 参 照 し て ， 3 つ の 溝 ロ ー ル 11 , 12お よ び 13を 回転駆動す る た め の モ ー 夕 20が設 け ら れて い る 。 溝 ロ ー ル 13は 直接 に， ま た は適 当 な 回転 動力伝達機構 35 (第 8 図 に の み 図示） を 介 し て モ ー タ 20に よ っ て回転駆動 さ れ る 。 モ ー タ 20の 回転動力 は動 力伝達機構お よ び ト ル ク 制御可能な 継手 Π , 38を介 し て 溝 ロ ー ル 11, 12に そ れ ぞ れ 伝達 さ れ ， こ れ ら の 溝 ロ ー ル 11， 12が回転駆動 さ れ る 。

上記動力伝達機構 は 3 つ の 歯付 き 車 27, 28, Πと ， こ れ ら の 歯付 き 車 27, 28, 29に 掛 け ら れ た 歯付 き ベ ル ト 24と か ら 構成 さ れ る 。 歯付 き 車 29は 溝 ロ ー ル 13の 軸 19 (第 8 図 に の み図示） ま た は こ の軸 に 連結 さ れた軸 に 固定 さ れて い る 。 他 の 歯付 き 車 Π , 28は そ れ ぞれ溝 ロ ー ル 11 , Uに対応 し て設 け ら れ た 回転軸 （溝 ロ ー ル 12に 対応す る 回転軸 17の み第 8 図 に 図示） に 固定 さ れ て い る 。

歯付 き 車 29よ り も 他 の 歯付 き 車 Π， 28の 方が径が少 し 小 さ く ， 歯付 き 車 27, 28の 方 が歯付 き 車 29よ り も 少 し 速 く 回転す る （た と え ば 10 % く ら い速 い ） 。

動力 伝達機構 は他 に ， ギ ヤ の 組合せ， プ ー リ と ベ ル ト の 組合せ， 歯車 と チ ー ン の 組 台せ等 に よ り 実現で

S る

こ れ ら の 歯付 き 車 27， 28の 回 転 は継手 37， Πを そ れ ぞれ介 し て対応す る 溝 ロ ー ル 11 , 12に そ れ ぞ れ伝達 さ れ る 。

代 表 的 に 継手 38に つ い て 第 8 図 を 参 照 し て 説 明 す る 。 継手 Πは た と え ばパ ウ ダ ー ク ラ ッ チ で あ る 。 バ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 38の駆動側 は歯付 き 車 28の 軸 17に 取付 け ら れ て い る 。 パ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 3 8の 被駆動側 は 溝 口 一 ノレ Πの 軸 1 8 ( ま た は ， こ れ に連結 さ れ た 軸） に 取付 け ら れ て い る 。 軸 1 7の 回 転動 力がパ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 3 8を 介 し て 溝 ロ ー ル 1 2の 軸 1 8に 伝達 さ れ る 。

パ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 3 7 も 同 じ 構成で あ り ， 歯付 き 車 Π の 軸 の 回 転が パ ウ ダ ー ク ラ ツ チ 3 7を 介 し て 溝 ロ ー ル 1 1 の 軸 に 伝達 さ れ る 。

溝 ロ ー ル 1 し 1 2の 軸 受 等 に お い て 回 転 抵 抗 が 生 じ る 。 こ の 回転抵抗 を 打 消 す 程度 の 回転 ト ル ク が溝 ロ ー ル 1 1 , 1 2の 軸 に 伝 達 さ れ る よ う に パ ウ ダ ー ク ラ ツ チ 3 7 , 3 8に お け る 伝達 ト ル ク が調整 さ れ る 。 す な わ ち ， 溝 ロ ー ル 1 1 , Πの 回 転抵抗 が ほ ぼ零， ま た は 零 に な る 程度 の 回 転 ト ル ク が歯 付 き 車 2 9 , 2 "7 , 2 8 , 歯 付 き ベ ル ト 2 4お よ びパ ウ ダ ー ク ラ ッ チ Π , Πを 介 し て モ 一 夕 2 0 力ヽ ら 溝 ロ ー ル 1 1， 1 2に 伝 え ら れ る 。

溝 ロ ー ル 1 3は モ ー タ 2 Qに よ っ て ， 他 の 溝 ロ ー ル 1 1， 1 2は 動力 伝達機構 お よ びパ ウ ダ ー ク ラ ッ チ を 経 て モ ー 夕 2 0に よ っ て そ れ ぞ れ 回転駆動 さ れ る 。 上記第 1 の 駆 動方式 と 比較す る と ， 溝 ロ ー ル 1 1 , 1 2の 回 転抵抗 が 無 い ， ま た は 殆 ど 無 い の で， 溝 ロ ー ル 1 1〜 1 3 と ワ イ ヤ i 4 と の 滑 り が殆 ど な い 。 こ れ に よ り 溝 ロ ー ル 1 1〜 1 3の 溝 の 磨耗 が著 し く 減少 す る 。 ま た， 3 つ の 溝 ロ ー ル 1 1〜 1 3の 磨 耗 度 を 均 等 化 す る こ と が で き る 。 さ ら に ， 溝 ロ ー ル 1 1〜 Uに 溝径 の 違 い が多 少 あ つ た と し て も ， ま た は溝径の 違 い が生 じ た と し て も ， パ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 3 7 , Πに お け る 伝達 ト ル ク を調整す る こ と に よ り ， 溝 ロ ー ル 1し 1 2の 回転抵抗を零， ま た は ほ ぼ零 に す る こ と がで き る 。 し た 力く つ て， 上記第 2 の 駆動方式 と 比較 し て， 溝 ロ ー ルの 径 の 違 い を許容で き る 。

〔第 2 実施例〕

( 1 ) 溝 ロ ー ル の 配置

第 2 実 施 例 の ワ イ ヤ 式 切 断 加 工 装 置 （ ワ イ ヤ · ソ ー ） で用 い ら れ る 3 つ の溝 ロ ー ル の 配 置が第 9 図 に 示 さ れて い る 。

溝 ロ ー ル 1 1 1 と 1 1 2 は上下の 関係 を 保つ よ う に 配置 さ れて い る 。 溝 ロ ー ル 1 1 3 は下部の 溝 ロ ー ル 1 1 2 と 同 じ 高 さ 位置 に あ る 。 溝 ロ ー ル 1 1 1 〜 1 1 3 は ， 側面 か ら み て， 鉛直お よ び水平 な 辺を も つ 直角 三角 形の頂点 に 相当 す る 位置 に そ れ ぞれ配置 さ れて い る こ と に な る 。 ソ ー ワ イ ヤ 1 1 4 は 溝 ロ ー ル 1 1 1 と 1 1 2 と の 間 に お い-て 鉛直下方 に走行 し ， ま た溝 ロ ー ル 1 1 1 と 1 1 3 と の 間 の 位置 に お い て水平方 向 に走行す る 。

こ の よ う な 溝 ロ ー ルの配置 は い く つ かの 利点を も つ て い る 。 そ の 一 は ， 溝 ロ ー ル 1 1 3 を駆動 ロ ー ル （上述 し た一軸駆動， 二軸 従動方式， 同期回転方式， ま た は —軸駆動， 二軸 ト ル ク 可変駆動方式 に お い て） と し た と き に 有効な も の で あ る 。 第 9 図カヽ ら 分 る よ う に ， 駆 動用 溝 ロ ー ル 1 1 3 に 掛 け ら れ た ソ ー ワ イ ヤ 1 1 4 は鋭角 を な し ， ソ ー ワ イ ヤ 114 力く溝 ロ ー ル I 13 (の 溝） に 接 す る 長 さ （ ま た は 卷 付 角 ） 力く 大 き い 。 こ の こ と は 溝 ロ ー ル 1 Π の 回転駆動力力 ソ ー ワ イ ヤ 114 に充分 に 伝 達 さ れ る こ と を 意味す る 。 ま た， 駆動 ロ ー ル 113 の 軸 に 動 力 伝達用 の ベ ル ト 車 を 取 付 け て ， 他 の 溝 ロ ー ル 111 ， 112 に ベ ル ト に よ っ て 回転力 を 伝達す る 駆動系 を設 け た場合 （一具体例 に つ い て後述 す る ） に も ， ベ ノレ 卜 が上記ベル ト 車 に 接す る 周 長が長 く な り ， 充分 な 駆動力 の 伝達を達成で き る 。

そ の 二 は駆動 ロ ー ル 113 が下部 に 配 置 さ れて い る の で， こ の駆動 ロ ー ル 113 を 駆動す る モ ー タ を下部 に 配 置す る こ と がで き る 点で あ る 。

そ の 三 は溝 ロ ー ル 112 と 1 H と の 間 の 間隔を 利用 で き る こ と で あ る 。 ワ ー ク 109 は鉛直 に 走行す る ソ ー ヮ ィ ャ 114 に よ っ て 切 断 さ れ る 。 切 断 の 進行 に 伴 い ， ワ ー ク 109 は 3 つ の溝 ロ ー ノレ 111 〜 113 に よ っ て形成 さ れ る 直 角 三 角 形 の 内 部 に 入 り 込 ん で い く 。 ワ ー ク 109 が切断 さ れ る と き に 切断屑 が発生 し ， こ れ は下方 に 落下す る 。 下部 に 位置す る 溝 ロ ー ル 112 と 113 は 間 隔 を あ け て ほ ぼ同 じ 高 さ 位置 に 配置 さ れて い る の で， こ れ ら の 溝 ロ ー ル 112 と 113 と の 間 に 切断屑受 （後述 す る ） を設 け る こ と がで き ， 切断屑 を 容易 に 除去す る こ と 力くで き る 。

3 つ の 溝 ロ ー ル を ュ ニ ッ ト イ匕 し ， こ の ュニ ッ ト を ヮ ィ ャ 式 切 断加工装 置 の 機 台 に 着脱 自 在 に 取 付 け る こ と が で き る 構成 と す る こ と に よ り ， こ の 構成 は 一層 効果 的 な も の と な る 。

(2) 全体構成

第 10図 は 第 2 実施例 に よ る ワ イ ヤ 式切 断加工装 置 の 全 体 的 配 置構成 お よ び制 御 系 の 一部 を 模式 的 に 示 す も の で あ る 。

ワ ー ク 109 は ワ ー ク 送 り 装 置 170 の 先端 部 に 保持 さ れ， 溝 ロ ー ル 111 と 1 i 2 と の 間 を 鋭 直 に 走行す る ソ ー ワ イ ヤ 114 に 対 し て 進退 す る 。

巻戻 し ボ ビ ン 540 に 巻 回 さ れ て い る ソ ー ワ イ ヤ 114 は 繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 400 , シ ー ブ 380 , 測長 部 370 ， 繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機 構 35 Q ， お よ び シ ー ブ 471 , 72 ( こ れ ら が ソ ー ワ イ ヤ の 繰 出 し 機構 を 構成 す る ） を 経 て 溝 ロ ー ル群 の 上 部 の 溝 ロ ー ル 111 に 供袷 5 れ 。 o

ソ 一 ワ イ ヤ 114 は 3 つ の 溝 ロ ー ノレ 111 〜 113 の 間 を そ の 溝 の 数 だ け 順番 に 掛 け ら れ て い る 。 溝 ロ ー ル 113 が 駆 動 モ ー タ 149 に よ っ て 駆 動 さ れ る 。 ソ ー ワ イ ヤ 11 は 溝 ロ ー ル 113 か ら 引 出 さ れ， 巻取 り 機構 に 送 ら れ る 。 巻取 り 機構 は シ ー ブ 473 , そ の 他 の 方 向 転 換用 シ ー ブ， シ 一 ブ 474 ， キ ヤ プ ス タ ン 機構 3 , 巻取 り 側 ダ ン サ ー 機構 32 ϋ , シ ー ブ 0 ， 475 , 巻取 り 側 ト ラ バ ー ス 機構 5 (Η お よ び 巻取 り ボ ビ ン 550 を 含 む 。 溝 ロ ー ル群 に 供給 さ れ る ソ 一 ワ イ ヤ 114 の 張力 は 繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 350 に よ っ て常 に ほ ぼ一定値 （ 設 定値） に な る よ う に 制御 さ れ る 。 溝 ロ ー ル 群 の 入 口 側 に お け る ワ イ ヤ 114 の 張 力 は， シ ー ブ 472 の 支持 部 材 に 設 け ら れ た ロ ー ド · セ ル を 含 む 張 力 検 出 装 置 U 1 に よ っ て 検 出 さ れ る 。 一方， 繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 350 は 固 定 ロ ー ル 351 と ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 と を 含 み ， こ れ ら の ロ ー ル 351 , 352 間 に ワ イ ヤ 114 が複数 回 掛 け ら れ て い る 。 ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 は ア ー ム に 支持 さ れ， ア ー ム の 揺動 がエ ア · シ リ ン ダ に よ っ て 制 御 さ れ る 。 張力制 御装 置 483 に お い て ， 張 力 検 '出 装 置 481 の 検 出 張力 と 設定値 と が比較 さ れ， そ の 偏差 に 応 じ た 指 令が空電変換 装 置 484 に 与 え ら れ る 。 空電変換 装 置 484 は エ ア · シ リ ン ダ に 与 え る 空気圧 を 制 御 す る 。 こ れ に よ っ て ， 検 出 張 力 と 設定値 と の 偏 差 が零 に 近 づ く よ う に ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 の 高 さ 位 置 が 調 整 さ れ る 。 繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 350 の 詳細 な 構成 に つ い て は 後述 す る 。

ダ ン サ ー . ロ ー ル 352 の 高 さ 位 置 は シ ン ク ロ 発 信 器

360 に よ っ て 検 出 さ れ る 。 こ の 検 出 出 力 は ダ ン サ ー 制 御装 置 5 に 与 え ら れ る 。 ダ ン サ ー 制 御装 置 485 は 卷 戻 し ボ ビ ン 5 を 回転 さ せ る モ ー タ （ サ ー ボ モ ー タ ）

492 を 制 御 す る 。 す な わ ち ， ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 の 高 さ 位 置 が常 に ほ ぼ一定 に 保 た れ る よ う に ボ ビ ン 540 か ら の ワ イ ヤ の繰 出 し 量が調整 さ れ る 。

測 長 部 37 Q は 回 転 自 在 に 設 け ら れ た 2 つ の シ ー ブ 371 , 372 を含み， 繰 出 さ れ る ソ ー ワ イ ヤ 114 力く こ れ ら の シ ー ブ 371 ， 372 に掛 け ら れて い る 。 一方 の シ ー ブ 371 の 回 転量 が 検 出 さ れ ， こ の 回 転量 に し た が つ て， ソ 一 ワ イ ヤ 114 の 繰 出 し量 （供給量） が算 出 さ れ る 。 測長部 370 の 詳細 な 構成 に つ い て も 後述す る 。

繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 4 Q 0 に含 ま れ る シ ー ブ 428 の取付部分 に は巻戻 し ボ ビ ン 540 力、 ら 引 出 さ れ る ワ イ ャ 114 の 巻回方向検 出装 置 440 が設 け ら れ， こ の 検 出 装置 440 は 2 つ の ロ ー ド ' セ ル を含ん で い る 。 検 出 さ れ た 巻回方 向 に 応 じ て， ト ラ バ ー ス 機構 400 に よ る ヮ ィ ャ の 移動方向が制御 さ れ る 。 す な わ ち ， ト ラ バ ー ス 制御装置 491 に よ っ て繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 4 の 駆動 モ ー タ 430 の 回転方 向 が制御 さ れ る 。 巻回方向検 出装置 G の 詳細 な 構造お よ び ト ラ バ ー ス 移動方向制 御 に つ い て も 後述す る 。

溝 ロ ー ル群か ら 引 出 さ れ る ソ ー ワ イ ヤ 114 の 張力 は キ ヤ プ ス タ ン 機構 300 に よ っ て常 に ほ ぼ一定値 （設定 値） に な る よ う に 制 御 さ れ る 。 溝 ロ ー ル群の 出 口 側 に お け る ワ イ ヤ 114 の 張力 と 入 口 側 に お け る ワ イ ヤ 114 の 張力 と は 一般 に 等 し く な る よ う に 制御 さ れ る 。

溝 ロ ー ル 群 の 出 口 側 に お け る ワ イ ヤ 114 の 張 力 は シ ー ブ 473 の 支持部材 に 設 け ら れ た 口 一 ド ' セ ル を 含 む 張力検 出 装 置 482 に よ っ て 検 出 さ れ る 。 一方， キ ヤ プ ス タ ン 機構 は 2 つ の 回 転 自 在 に 設 け ら れ た 固 定 ロ ー ル 301 , 302 を 含ん で い る 。 ワ イ ヤ 114 は こ れ ら の ロ ー ル 301 ， 302 に 複数回 に わ た っ て掛 け ら れ て い る 。 一方 の ロ ー ル 301 の 回転 は モ ー タ 310 に よ っ て 制 御 さ れ る 。 張 力制御装 置 489 に お い て ， ロ ー ド . セ ル が検 出 し た 張力 と 設定値 （ こ の 設定 値 は 張 力 制御 装 置 483 の 設定値 と 同 じ 値 に 設定 さ れ る ） と が比較 さ れ， そ の 偏差 に 応 じ て偏差が零 に 近づ く よ う に モ ー タ 310 が制 御 さ れ る 。 キ ヤ プ ス タ ン 機構 30 ϋ の 詳細 に つ い て も 後述す る 。

キ ヤ プ ス タ ン 機構 300 は そ の 入 口 側 の 張 力 と 出 口 側 の 張力 と を 分離す る と い う 特 徵 を も つ 。 キ ヤ ブ ス タ ン 機構 3 Q G の 入 口 側 （溝 ロ ー ル 群 の 出 口 側 ） の 張力 は 上 述 の よ う に ， 溝 ロ ー ル群 の 駆動 （ ワ ー ク の 切断） に 適 し た 値 に 設定 さ れ る 。 他方， 巻取 り ボ ビ ン 5 Q D に 巻 回 さ れ る ワ イ ヤ 1H の 張力 は 溝 ロ ー ル群 に お け る 張力 よ り も 小 さ い 方 が好 ま し い 。 し た 力 つ て ， キ ヤ プ ス タ ン 機構 300 の 出 口 側 （ 巻取 り ボ ビ ン 500 側 ） の 張 力 は 入 口 側 の 張力 よ り も 低 く 設定 さ れ る 。

巻取 り ボ ビ ン 5QG に 巻取 ら れ る ワ イ ヤ 114 の 張 力 は 巻取 り 側 ダ ン サ ー 機構 320 に よ っ て 制 御 さ れ る 。 こ の ダ ン サ ー 機構 Π 0 の 構成 は 繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 350 と 基 本 的 に 同 じ で あ り ， 固定 ロ ー ル 321 と ダ ン サ ー . ロ ー ノレ 322 と を備え て い る 。 シ ー ブ 340 の 支持部材 に 設 け ら れ た ロ ー ド · セ ル を 含 む 張 力 検 出 装 置 343 に よ っ て検 出 さ れ た張力 は 張力制御装 置 486 に 与え ら れ る 。 張力制御装置 は検 出張力 と 設定張力 （張力制 御装置 483 , の 設定値 よ り も 小 さ い ） と の 偏差が 零 に近づ く よ う に 空電変換装置 487 を 制御 し ， こ れ に よ っ て シ リ ン ダ お よ び ア ー ム を介 し て ダ ン サ ー · ロ ー ル 322 が上下動す る 。 繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 320 の 詳 細 な 構成 に つ い て も 後述す る 。

ダ ン サ ー ' ロ ー ル 322 の 高 さ 位置 は シ ン ク ロ 発信器

335 に よ っ て 検 出 さ れ る 。 こ の 検 出 高 さ' 位 置 に 応 じ て， ダ ン サ ー制御装置 に よ っ て 巻取 り 駆動 モ ー タ

494 力く制御 さ れ る こ と に よ り ， ダ ン サ ー ' ロ ー ル 322 の 高 さ 力く常 に ほ ぼ一定 に 保 たれ る よ う に ワ イ ヤ 一 の 巻 取量が調整 さ れ る 。

巻取 り 側 ト ラ バ ー ス 機構 500 の ト ラ バ ー ス · モ ー タ

530 は ト ラ バ ー ス 制御装置 3 に よ っ て制御 さ れ る 。 卜 ラ バ ー ス機構 5 の構成 お よ び ト ラ バ ー ス 制御 の 詳 細 に つ い て も 後述す る 。

第 1 実施例 に お い て説明 し た よ う に ソ ー ワ イ ヤ 114 の 走行制 御方式 に は， 一方 向走行 と お よ び往復走行が あ る 。 往復走行 に は 2 種類 あ る 。 こ の 実施例 で は ， 繰 出 し 側 か ら 巻取 り 側 に ワ イ ヤ を適当 な 長 さ （ た と え ば 100 m 〜 2 fl 0 m ) 走 行 さ せ （ こ れ を 順方 向 走行 と い う ） ， そ の 後， 逆方 向 に 上記の 長 さ の半分の 長 さ 巻戻 し （ こ れを 逆方 向走行 と い う ） ， こ の 往復走行を繰返 す方式 （便宜的 に， 間欠往復走行方式 と い う こ と にす る ） が用 い ら れ る 。 ワ イ ヤ 1 H は ワ ー ク 109 を 切断す る の に ど の 部分 に お い て も 3 回 （順， 逆， 順） 均等 に 用 い ら れ る こ と に な る 。

ソ ー ワ イ ヤ 114 の 間欠往復走行制御 に お い て， ロ ー ル群の駆動 モ ー タ 149 の 順， 逆方向駆動 に 応 じ て， 巻 戻 し ボ ビ ン 540 お よ び巻取 り ボ ビ ン 550 の 駆動 モ ー タ 492 お よ び 494 も 同 じ よ う に順， 逆方 向 駆動 さ せ る の は い う ま で も な い。

上述 し た張力制御装置 483 ， 486 , 489 , ダ ン サ ー 制御装置 485 , 488 お よ び ト ラ バ ー ス 制御装 置 491 , 493 を 1 台 ま た は 複数台 の コ ン ピ ュ ー タ な い し は コ ン ト ロ 一 ラ に よ っ て 実現 す る こ と 力く で き る 。 こ の コ ン ピ ュ ー 夕 な い し は コ ン ト ロ ー ラ は ま た ， ソ ー ワ イ ヤ 114 の 間欠往復走行制御 も 行 う 。

ソ ー ワ イ ヤ は ス チ ー ノレ ワ イ ヤ であ り ， 次の 範囲の も の が使用 で き る 。

1 . 炭素量 0. 1 Π%一 1. 02C%

炭素量 （ ウ ェ イ ト ' パ ー セ ン ト ） が 0. 72C% 未 満であ る と 引 張 り 強度が不足 し ， l. D 2C% を超 え る と 脆 く な る 。 微 量 の ク ロ ム を 含 有 さ せ て も よ い o 2 . 線 径 O. U Gmm - 0. 300 mm

線径が 0. 010顧未満で あ る と 強度不足が生 じ ，

0. 300mm を超え る と ， ワ ー ク （ ウ ェ ハ ー ） の ロ ス 力《大 き す ぎ る よ う に な る 。

3 . 偏径差 賺 ー G. Q 1 G0腿

偏 径 差 （L O G O S腿 は 製 造 精 度 の 限 界 で あ り ，

0. 0100mm を 超 え る と 切 断 に よ り 形 成 さ れ る ゥ ェ ノヽ の 表面精度が不良 と な り や す い 。

4 め っ き （ ブ ラ ス め つ き ）

銅 0. 50 % — 0. 70 %

亜鉛 0. 30 % - 0. 50 %

そ の 他 0. 01 % — 0. 05 %

め っ き 厚 さ 0. 0001画 一 0. 0100 Omm

ソ ー ワ イ ヤ の 表面 め つ き は 砥 粒 （ ダ イ ヤ モ ン ド） を切断面 （切削 箇所） へ の 持 ち 込む の に 役立 つ 。 ソ ー ワ イ ヤ の 表 面 め つ き と し て は ， ブ ラ ス め っ き の み な ら ず， 銅 め つ き ， 亜鉛 め つ き ， ニ ッ ケ ノレ め つ き で も よ い 。

5 . 引 張 り 強 さ 2800N/ imn ² - 4800 N 麵 ² ワ イ ヤ の 断線 は致命的 で あ る の で， こ の 程度の 引 張 り 強 さ が必 I： で あ る 。

準的 な 仕様 は 次の 通 り で あ る 。

1 . 炭素量 0. 82C%

2 . 線 径 0. 1 U誦 3 . 偏径差 0. 002腿

4 . め っ き （ ブ ラ ス め つ き ）

銅 0. 63%

亜鉛 0. 35%

そ の 他 0. 02%

厚 さ 0. 0020 mm

5 . 引 張 り 強 さ 3200 腿 ²

(3) 溝 ロ ー ノレ · ュ 二 ッ ト と そ の 駆動系

第 11図〜第 15図 は 溝 口 一 ノレ · ュ ニ ッ ト と そ の 駆動系 を 示す も の で あ る 。

ワ イ ヤ式切断加工装置 の 機台 Π 0 上 に フ レ ー ム 121 力 <設 け ら れて い る 。 こ の フ レ ー ム 121 内 は隔壁 122 お よ び 123 に よ っ て 3 つ の 部屋 に 分 け ら れて い る 。 最 も 大 き い 部屋が切断室 125 で あ り ， こ の 切断室 125 は着 脱 自 在 な カ バ ー 124 に よ っ て覆わ れ る 。 切断室 125 内 に 溝 ロ ー ノレ 《 ュ ニ ッ ト が配置 さ れ る 。

溝 ロ ー ノレ · ュニ ッ ト は 1 つ の フ レ ー ム 130 を 含む。 こ の フ レ ー ム 13 fl は 溝 ロ ー ル 111 〜 113 の軸 を そ れ ら の 両端で回転 自 在 に 支持す る た め の 3 対 の軸受 134 を 備 え て い る 。 溝 ロ ー ル 1 H 〜 113 は ， 第 9 図 に 示 し た も の と 同 じ よ う に ， 直角 三角 形の ほ ぼ頂点 に相 当 す る 位置 に お い て 軸受 134 に よ っ て支持 さ れて い る 。

フ レ ー ム 130 に は ワ ー ク 1 (H が進入す る 一面を 除 い て ， 上部溝 ロ ー ル 111 の 下か ら ， 上記一面 に対向 す る 斜面， 下部溝 ロ ー ル 113 の上， フ レ ー ム 130 の 底面 お よ び下部溝 ロ ー ル 1 Π の 上 に 至 る ま で カ バ ー U 9 が設 け ら れて い る 。 こ の カ バ ー 139 の 底面の 部分が切断屑 受 139 a と な っ て い る 。 フ レ ー ム 130の 両側面 も 板状 体で覆 わ れて い る 。 一方の 側面の 下部 に 取 出 口 130 A が あ け ら れ て い る 。 ワ ー ク 109 を切断す る と き に 用 い る 砥粒 を 含 む加工液， 切断 に よ り 生 じ る 切 断屑 が こ れ ら の カ バ 一 U 9 お よ び側面板 に よ っ て周 囲 に 飛散す る の が 防止 さ れ， か つ 下方 に 落 下 し た も の が切 断屑 受

139 a に よ っ て受 け ら れ る 。 切断屑 受 139 a 上の 切 断 屑等 は 取 出 口 130 A か ら 外部 に取 出 さ れ る 。 2 つ の 下 部 ロ ー ル 112 と 113 と の 間 に こ の よ う に 切 断 屑 受

139 a を設 け る こ と カ で き る 。

カ バ ー 139 の 上部溝 ロ ー ル 111 の 下方 に 位 置す る 先 端部 お よ び カ バ ー U 9 の 下部溝 ロ ー ル 112 の 上方 に 位 置す る 先端部 に は ワ イ ヤ ' ガ イ ド 128 が取付 け ら れて い る 。 こ の ワ イ ヤ · ガ イ ド 128 は 溝 ロ ー ル 111 ， 112 の 幅 （ 長 さ ） の 全 体 に わ た っ て の び ， か つ 2 つ の 溝 ロ ー ル 111 と 112 の 間 を 鉛 直 に 走 行 す る ソ ー ワ イ ヤ 11 と ほ ぼ接す る ， ま た は ワ イ ヤ 114 の 走行位置 よ り も わ ず力、 に フ レ ー ム 外方 に 突出 す る 程度 に 設 け ら れ て い る 。 走行す る ソ ー ワ イ ヤ 114 に ワ ー ク 109 を 押 し 付 け て ワ ー ク 109 を切断す る 過程で は ソ ー ワ イ ヤ 114 が フ レ ー ム 内方 に わずか に 撓む （特 に 図 Π参照） 。 ワ イ ャ · ガ イ ド 8 に は ソ ー ワ イ ヤ 1 M が走行 す る 位 置 に ソ ー ワ イ ヤ 1 Q 4 が通 る 溝 が形成 さ れ て い る 。 ま た は ， 走行す る ソ ー ワ イ ヤ 1M に よ っ て ワ イ ヤ · ガ イ ド 128 自 体 の 一部 を 切断 し て 溝 を 形成す る 。 ワ イ ヤ ， ガ イ ド 128 は ナ イ ロ ン ， プ ラ ス チ ッ ク 等 の 非金属 製 で あ る こ と が好 ま し い 。

ワ イ ヤ · ガ イ ド 128 の 役割 は い く つ か あ る 。 そ の 一 は ， 鉛 直 に 走 行 す る ソ ー ワ イ ヤ 114 の 振 れ を 防 止 す る ， ま た は 少 な く す る こ と で あ る 。 こ れ に よ つ て ソ ー ワ イ ヤ 114 に よ る 切 断精度 を 高 め る こ と 力く で き る 。 そ の 二 は ， 砥 粒 を 含 む 加 工 液 お よ び 切 断 屑 が 溝 ロ ー ル 111 ， 112 に 付着す る の を防止す る こ と で あ る 。 こ れ に よ り 溝 ロ ー ル の 寿命 が長 く な る 。

上部 の ワ イ ヤ · ガ イ ド の 下方 お よ び下部 の ワ イ ャ ' ガ イ ド 128 の 上 方 で あ っ て （ で き る だ け ワ ー ク 109 の 移動経路 に 近 い 方が好 ま し い ） ， 溝 ロ ー ル 111 と 112 と の 間 を 鉛 直 に 走行す る ソ ー ワ イ ヤ 114 の 走 行 経路 よ り も 外側 の 位 置 に ， 走行す る ソ 一 ワ イ ヤ 114 に 向 け て 砥粒を 含 む加 工液 を 噴射す る ノ ズ ル 129 が設 け ら れ， フ レ ー ム U0 に 固定 さ れ て い る 。 上部 の ノ ズ ル 129 は ソ ー ワ イ ヤ 114 の 順方 向 走行 の た め の も の ， 下 部 の ノ ズ ル 129 は ソ ー ワ イ ヤ 114 の 逆方 向 走行 の た め の も の で あ る 。 ノ ズ ル 129 は 少 な く と も ソ ー ワ イ ヤ 114 が 走 行 す る 幅 に わ た っ て 形 成 さ れ た 噴 射 口 を 含 み， ソ ー ワ イ ヤ 114 に均一 に加工液 を 供铪す る 。 ソ ー ワ イ ヤ 114 に 供給 さ れた加工液 は ソ ー ワ イ ヤ 1 H の走 行 に 伴 っ て ワ ー ク 109 の 切断箇所 に 運 ば れ る 。

溝 ロ ー ル 111 〜 1 u の 軸 （符号 i 31 , 133 で示す も の の み 図示） は駆動側の 一端 に お い て フ レ ー ム 130 か ら 外方 に 突出 し て い る 。 フ レ ー ム 130 の軸受 134 の 箇 所 に お い て . こ れ ら の突 出 し た 軸 131 , 133 の ま わ り を 囲 む よ う に 円環状 の 弾性体 （ た と え ば ゴ ム ） よ り な る シ ー ル部材 138 力《 フ レ ー ム 13 ΰ に 固定 さ れて い る 。 シ ー ル部材 U 8 は そ の先端部分が外方 に 向 っ て広力く つ て い る 。 隔壁 123 に は遮蔽板 12？ が取付 け ら れ， こ の 遮蔽板 127 に は軸 1 Π , 133 が通 る 穴があ け ら れて い る 。 シ ー ル部材 138 が遮蔽板 127 の 穴 の 周 囲 に密着 し て い る 。 切 断室 125 で は 切 断 用 ワ イ ヤ 114 や ワ ー ク 109 に砥粒を 含む加工液が か け ら れ た り ， 切断屑 が生 じ た り す る 。 シ ー ル部材 138 に よ っ て-切断室 125 か ら 駆動側 の 部屋 に こ れ ら の 加工液や切 断屑 が侵入す る の が防止 さ れ る 。

駆動側 と 反対側 の 面 に お い て， フ レ ー ム 130 に は各 軸 受 134 に 対 応 す る 箇 所 に 取 手 i 35 が設 け ら れ て い る 。 溝 ロ ー ル 111 〜 113 を 支持す る フ レ ー ム 130 は， 切 断室 125 内 に お い て， 機台 120 上 に ボ ル ト ' ナ ツ ト ( 鎖 線 137 の み で 示 す ） に よ っ て 固 定 さ れ る 。 ボ ル ト · ナ ツ ト U7 を取外す こ と に よ り ， フ レ ー ム 130 を 機台 120 か ら 取外 し ， ワ イ ヤ式切断加工装置 の 外部 に 取出 す こ と がで き る 。 フ レ ー ム 130 の 着脱作業 に お い て フ レ ー ム 130 を移動 さ せ た り ， 位置決め し た り す る と き に 取手 135 力 用 い ら れ る 。

溝 ロ ー ル H I 〜 113 を 含む フ レ ー ム 130 を ワ イ ヤ 式 切断加工装置の 外 の 広 い 場所 に 持 ち 出 す こ と がで き る の で， こ の 広い場所で溝 ロ ー ル 111 〜 113 の 表面溝の 補修等の 作業を行 う こ と が で き る 。 メ ン テ ナ ン ス が容 易で あ る 。

フ レ ー ム 121 の も う 一 つ の 隔壁 122 に は 駆動装置取 付板 126 が固 定 さ れ て い る 。 こ の 取 付板 126 に は 溝 ロ ー ル 〖 11 〜 113 に対応す る 位置 に 3 つ の 軸受 144 が 固定 さ れ， こ れ ら の 軸受 に 軸 （符号 141 , 143 に つ い て の み図示） がそ れぞれ回転 自 在 に 受 け ら れ て い る 。 こ れ ら の 軸 141 , 1 3 と 溝 ロ ー ル 111 〜 113 の 軸 131 , 133 と はギ ヤ カ ッ プ リ ン グ U δ に よ っ て結 合 し て い る 。

溝 ロ ー ル 1 U の軸 133 に結合 し た駆動軸 〖 43 に は 2 つ の 溝 付 ベ ル ト 車 153 ， 156 が固 定 さ れ て い る 。 一 方， 機台 120 に は 駆動 モ ー タ Η9 が固定 さ れ， そ の 出 力軸 に 溝付ベル ト 車 Π 8 が固定 さ れて い る 。 ベ ル ト 車 156 と 158 に 溝ベ ル ト 157 が掛 け ら れ， モ ー タ 149 の 回 転 駆 動 力 が 軸 143 に 伝達 さ れ る 。 こ れ に よ つ て 溝 ロ ー ル 113 が回転駆動 さ れ る 。 一方 ， 他 の 2 つ の 溝 ロ ー ル 111 ， 112 の 軸 に 結 合 し ， 軸受 144 に受 け ら れ た 軸 141 (以下， 代表的 に 溝 ロ ー ル 111 に対応す る 駆動系 に つ い て説明 す る ） に は 溝付ベ ル ト 車 i 51 が回転 自 在 に 支持 さ れて い る 。 こ の ベ ル ト 車 151 はパ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 16 ΰ の 一部を構成す ο

ウ ダ一 ク ラ ッ チ 160 は ， 取付板 126 に ブ ラ ケ ッ 卜 165 に よ っ て固定 さ れ た環状の 電磁石体 （励磁 コ イ ル を 含む） を含む。 こ の 電磁石体 1δ4 を 囲む よ う に 薄 い 金属板か ら な る 従動側 回転体 Π 3 が設 け ら れ， こ の 回転体 163 は軸 141 に 固定 さ れて い る 。 こ の 回転体 163 の さ ら に 外側 に こ れ を 囲 む よ う に 駆動 側 回 転体 162 が あ り ， こ の 回転体 162 はベ ル ト 車 151 に 固定 さ れて い る 。 回転体 162 の 外周面 に は 多数の フ ィ ン 166 が設 け ら れて い る 。

取付板 126 に は さ ら に テ ン シ ョ ン ' プ ー リ Π 5 が回 転 自 在 に 設 け ら れ て い る 。 溝 ベ ル ト 154 が ベ ル ト 車 151 , 152 (溝 ロ ー ノレ 112 に 対応す る ） ， 153 お よ び テ ン シ ョ ン · プ ー リ 155 に 掛 け ら れ て い る 。 駆動軸

143 の 回 転 駆 動 力 は ベ ル ト 154 , ベ ル ト 車 151 ,

152 , パ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 16 G , 蚰 141 を通 し て 溝 ロ ー ル Π 1 ， 1 Π に 伝達 さ れ る 。

ゥ ダー ク ラ ツ チ 160 の 使 い方の 主 目 的 に は 種 々 の も の が あ る 。 そ の一 は 第 1 実施例 で説明 し た よ う に ， 伝 達 ト ル ク を 調 整 す る こ と に よ り ， 溝 ロ ー ル 111 ， 112 の 回 転抵抗 を 零 ま た は ほ ぼ零 に す る こ と で あ る 。 そ の 二 は ， 加減速 時 に お い て， 溝 ロ ー ル 111 , 112 が ソ ー ワ イ ヤ 114 に 与 え る 慣性影響 を 軽減す る こ と で あ る 。 ソ ー ワ イ ヤ 114 は 間 欠 往 復 走 行 方 式 で 駆 動 さ れ る 。 走行方 向 を 逆転 す る と き に は ， ま ず減速 し ， 一時 停止 さ せ， そ の 後加速 す る 。 溝 ロ ー ル は 重量が あ る の で 慣性 が大 き い 。 パ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 0 の 伝達 ト ル ク を 適 当 な 値 に 設定 し て お け ば， 溝 ロ ー ノレ の 慣性 力く ソ 一 ワ イ ヤ 114 に 与 え る 影響 を 少 な く す る こ と 力く で き る 。 ノ、。 ウ ダ一 ク ラ ッ チ 16 G に よ る 伝達 ト ル ク は 溝 ロ ー ル の 径 の わ ずか な 違 い に あ わ せ て あ ら 力、 じ め 調 整 し て お く こ と も で き る し ， 加 減速 の と き に 伝達 ト ル ク を 大 き く し ， 定常状態 で は 伝達 ト ル ク を 小 さ く す る よ う に 制御 し て も よ い 。 こ の よ う な 目 的 の た め に は ， 溝 ロ ー ル 111 , 112 お よ び 113 に そ れ ぞ れ 対 応 す る ベ ル ト 車 151 , 152 お よ び 153 の 径 は 同 じ で も よ い 。 い ず れ の 場 合 に も 一般 に は ， 駆動溝 ロ ー ル 111 の モ ー タ 149 力く 目 標回転 に な る よ う に フ ィ ー ドバ ッ ク 回 転制 御 さ れ る o

ベ ル ト 151 〜 153 ， 156 ， 軸受 144 , パ ウ ダ ー ク ラ ッ チ 160 等 の 駆 動 系 は 取 付 板 126 に 設 け ら れ て い る 。 し た が っ て ， こ の 取付板 12 δ の 全体 を 交 換 す る こ と も で き る 。 ワ ー ク 109 の サ イ ズ （径） に 応 じ て 溝 ロ ー ル Π 1 〜 113 の 間 隔 を 変 え る こ と が好 ま し い 。 大 口 径 の ワ ー ク 109 の 場 合 に は 溝 ロ ー ル 111 〜 113 の 間隔 を 広 く と る こ と が必要 で あ る 。 こ れ に 応 じ て駆 動 系 も 変 更 す る 必 要 力く あ る 。

ワ ー ク 1 (H の サ イ ズ に 応 じ た サ イ ズ の 溝 ロ ー ル . ュ ニ ッ ト を あ ら か じ め 複数 タ イ プ用 意 し て お く 。 同 じ よ う に ， こ れ ら に 合 わ せ て 複数 タ イ プ の 駆動 系 （取付板 126 ) も あ ら か じ め 用 意 し て お く 。 こ の こ と に よ つ て ， ワ ー ク 109 の サ イ ズ に 適 し た 溝 ロ ー ル ' ユ ニ ッ ト と 駆 動 系 と を 採 用 し ， こ れ ら を 機 台 に 取 付 け れ ば ， ワ ー ク 109 の サ イ ズ に 応 じ た ワ イ ヤ 式切 断加工装 置 が 容 易 に 製造 で き る 。

(4) ワ ー ク 送 り 装置 と ワ ー ク 保持装 置

第 16図 お よ び第 Π図 は ヮ ー ク 送 り 装 置 の 構成 を 示 し て い る 。

ワ ー ク 送 り 装 置 170 は 移動 体 Π 1 を 備 え て い る 。 こ の 移 動体 171 の 下面 に は そ の 長手方 向 に 沿 っ て 2 本 の レ ー ル 1 Π が 平 行 に 取 付 け ら れ て い る 。 一 方 ， 機 台 120 上 に ボ ル ト に よ っ て 固定 さ れ た 支持 台 Π 2 の 上面 (移動体 支持面） に は ス ラ イ ド機構 173 が設 け ら れ， レ ー ル 174 を 摺 動 自 在 に 受 け て い る 。 こ れ に よ つ て 移 動 体 H I は 支 持 台 上 に 移 動 自 在 に 支 持 さ れ て い る 。 移動体 Π 1 の 前端部 に は ワ ー ク 保 持装 置 Π β が取 付 け ら れ て い る 。 ワ ー ク 保持装置 190 の 詳細 な 構成 に つ い て は後述す る 。

支持台 172 の 移動体支持面の 下方 に は， 支持台 172 に設 け ら れ た軸受 Π 8 , 119 に よ っ て ね じ 軸 Π 7 が回 転 自 在 に 支持 さ れて い る 。 ね じ 軸 177 は移動体 1 Π の 移動方向 に の び かつ 水平 に設 け ら れ て い る 。 こ の ね じ 軸 Π 7 に は ナ ツ ト 176 力く ね じ 嵌 め ら れ， こ の ナ ツ 卜 176 は取付部材 175 に 回転 自 在 に支持 さ れて い る 。 取 付部材 175 は移動体 171 の 下面 に 固定 さ れて い る 。 支 持 台 172 の 移 動 体 支 持 面 に は 取 付 部 材 1了 5 の 通 る 溝 180 が移動体の 移動方 向 に 沿 っ て形成 さ れて い る 。

ね じ 軸 Π7 の 後端部 は軸受 179 か ら 支持台 172 の 後 方 に 突出 し ， こ の 後端部 に ベ ル ト 車 184 が取付 け ら れ て い る 。 一方， 支持台 Π 2 に は駆動 モ ー タ 183 が ブ ラ ケ ッ 卜 に よ っ て固定 さ れ て い る 。 駆動 モ ー タ 183 の 軸 に は べ ゾレ ト 車 181 が取付 け ら れ て い る 。 2 つ の ベ ル ト 車 181 と 1 に ベ ル ト 1 Π が掛 け ら れ て い る 。

モ ー タ 183 の 回転 は ベ ル ト 車 181 ， ベ ル ト 182 お よ びベ ル ト 車 4 を通 し てね じ 軸 1 Π に 伝え ら れ， ね じ 軸 1 Π が回転す る 。 ナ ツ ト 176 がね じ 軸 177 に 沿 っ て 移動す る の で ， 移動体 171 が進退す る 。

移動体 〖 Π の 前部 は 隔壁 188 に あ け ら れ た窓か ら 溝 ロ ー ノレ . ュ ニ ッ ト の 方 に 突 出 し て い る 。 移動体 171 の こ の 突 出 し た前部 を 囲 む よ う に 遮蔽板 5 が設 け ら れ て い る 。 移動体 Π1 の 前端部 に も 円 形の 遮蔽板 187 が 取付 け ら れ， 2 つ の 遮蔽板 185 と 1Π の 間 に 蛇腹 186 が設 け ら れて い る 。

移動体 Π 1 の 移動量 ま た は位置 を計測 す る リ ニ ア · エ ン コ ー ダ （図示略） が設 け ら れて い る 。 駆動 モ ー タ 183 は リ ニ ア ' エ ン コ ー ダ 力ヽ ら の フ ィ ー ドバ ッ ク 信号 を 参照 し て， ワ ー ク Ι ίΗ の 送 り 速度が設定値 に 合致す る よ う に 制御 さ れ る 。

第 18図か ら 第 28図 は ワ ー ク 保持装 置 190 の 詳細 を 示 す も の で あ る 。 こ の ワ ー ク 保持装置 Π0 は， 特 に ヮ ー ク が単結晶 シ リ コ ン ， そ の 他の 切断方向 を 微調整す る こ と が要求 さ れ る も の で あ る 場合 に 有効で あ る 。 単結 晶 シ リ コ ン · 口 ッ ド は結晶方位 を 持つ の で， 結晶方位 と の 関連で （ た と え ば結晶軸 に 対 し て ゴニ ォ 角 傾 い た 方向 に ） そ の 切断方 向 を 定 め る 必要があ る 。 こ の ヮ ー ク 保持装置 190 は 保持 し た ワ ー ク を， ワ ー ク の 進退方 向 （水平方向 ） の 軸 （第 19図 に 符号 M l で示す） を 中 心 に 回転 さ せ ， かつ こ の 回転中心軸 M 1 に 直交す る 鉛 直な軸 （符号 M 2 で示す） を 中心 に 回転 さ せ る こ と に よ り ， ワ ー ク の 方 向 を 二方 向 に 微調整す る こ と が可能 で あ る 。

ワ ー ク 送 り 装置 1? 0 の 移動体 1? 1 の先端面 に 支持体 191 が ボ ル ト に よ っ て 固 定 さ れ て い る 。 こ の 支持体 191 は 円 筒状部分 192 と こ の 円 筒状部分 192 の 一端 に 一体的 に 形成 さ れた フ ラ ン ジ部分 193 と を 持つ 。 円 筒 状 部 分 192 の 内 周 面 194 は 次 に 述 べ る 第 1 の 回 転体 200 を 受入れかつ 回転 自 在 に支持す る 軸受 な い し は回 転 ガ イ ド と し て機能 す る 。 内 周 面 194 は 回 転 中心軸 M l を 中心 と す る 円 形 で あ る 。

第 1 の 回転体 は そ れ 自 体が回転中心軸 M l を 中 心 に 回転す る と と も に ， 後述す る 第 2 の 回転体 210 を 回転 自 在 に 支持す る も の で， 多 少複雑 な形状 を し て い る 。 す な わ ち ， 第 1 の 回転体 20ϋ は 支持体 191 の 円筒 状部分 192 の 内 周面 194 に 回転 自 在 に かつ ぴ っ た り と 嵌 り 込む 円筒状 の軸部 201 と ， こ の 軸部 201 に連 な り 第 2 の 回 転体 210 を 回 転 自 在 に 支 持 す る 支 持 部 202 と ， こ れ ら の軸部 201 と 支持部 202 と の 間 の 位 置 に お い て外方 に 突出 し た フ ラ ン ジ 部 203 と を有 し て い る 。 支持部 202 は上下 2 つ の 支持片 2G2 a を持 ち ， こ れ ら の 支持片 202 a に第 2 の 回転体 210 を受入 れ る 円 形穴 204 があ け ら れて い る 。 穴 204 の 内 周面 は 第 2 の 回転 体 2 i 0 を 回転 自 在 に 支持す る 軸受な い し は 回転 ガ イ ド と し て機能す る 。 こ の 円形穴 2(H の 中心が回転中心軸 M 2 で あ る 。 回 転 中 心軸 M l と M 2 は 2 つ の 支持片 202 a の 間の 位置で 直交す る 。

第 1 の 回転体 200 の 軸部 201 が支持体 191 の 円筒状 部分 192 に 嵌め 入れ ら れ， 第 1 の 回転体 200 は 回転中 心軸 M 1 を 中心 に 回転 自 在 に 支持 さ れ る 。 第 1 の 回転 体 2 Q Q の フ ラ ン ジ 部 203 は 支 持体 191 の フ ラ ン ジ 部 193 に接す る 。 第 1 の 回転体 200 の フ ラ ン ジ 部 203 に は 等 角 度 間 隔 で 複 数 個 の 長 穴 205 力 あ け ら れ て い る 。 こ の長穴 2 D 5 を 通 し て固定 ボル ト 206 が， 座金 を 介 し て， 支持体 191 の フ ラ ン ジ 部 193 に ね じ 嵌め ら れ て い る 。 ボ ル ト 206 を き つ く 締 め れ ば 第 1 の 回 転体 200 は支持体 191 に 固定 さ れ る 。 ボ ル ト 206 を緩 め る と ， 第 1 の 回転体 2 (Η は長穴 205 の 長手方 向 の 範囲 内 で回転可能 と な る 。 第 1 の 回転体 200 を ほ ん の 少 し ず つ 回転 さ せ る 機構 に つ い て は後 に述べ る 。

第 2 の 回 転体 Π 0 は 2 つ の 回 転体 部 分 211 お よ び 212 か ら 構成 さ れ， こ れ ら が ワ ー ク 保持部 材 220 に よ っ て結合 さ れ て い る 。 2 つ の 回転体部分 211 と 212 は， 一方の 回転体部分 211 に長穴 2 Π があ け ら れて い る こ と を 除 い て 同 じ 形 で あ る 。 一方の 回転体部分 211 に つ い て言 う と ， こ の 回転体部分 211 は 円 筒状 の 軸部 213 と 蚰部 213 の 一端 に 形成 さ れ た フ ラ ン ジ 部 214 と か ら 構成 さ れて い る 。 軸部 213 が第 1 の 回転体 200 の 上部の支持片 2 Q 2 a の 円形穴 204 内 に ぴ っ た り と ， し か し 回転 自 在 に 嵌め 入 れ ら れて い る 。 同 じ よ う に ， 他 方の 回転体部分 212 は 軸部 215 と フ ラ ン ジ 部 216 と か ら 構成 さ れ， 軸部 215 が第 1 の 回転体 2 G G の 下部 の 支 持片 202 a の 円 形穴 内 に 回転 自 在 に 嵌 っ て い る 。

ワ ー ク 保持部材 220 は ほ ぼ円 筒伏 （ 肉 の 厚 さ が場所 に よ っ て異な る ） の 連結部 221 と 横方 向 に長 い保持部 222 と か ら 構成 さ れて い る 。 連結部 221 が 2 つ の 回転 体部分 211 , 212 と の 間 に 位置 し て い る 。 2 つ の 回転 体部分 211 と 212 は ボ ル ト に よ っ て こ の ワ ー ク 保持部 材 220 の 連結部 221 に 固 定 さ れ て い る 。 回転体部 分 211 , 212 の フ ラ ン ジ 部 214 , 216 は 第 1 の 回転体 200 の 支 持片 2Q2 a の 上， 下 面 に そ れ ぞれ接 し て い る 。 こ の よ う に し て， 2 つ の 回転体部分 211 と 212 は 一体化 さ れ， かつ 第 1 の 回転体 20ϋ に 回転 自 在 に 支持 さ れ る 。

上部の 回転体部分 211 の フ ラ ン ジ 部 214 に は， 等角 度間隔 で複数個 の 長穴 217 が あ け ら れて い る 。 固定 ボ ル ト 218 が長穴 2Π を通 っ て ， 座金 を 介 し て， 第 1 の 回転体 200 の支持片 2Q2 a に ね じ 嵌め ら れて い る 。 ボ ル ト 218 を き つ く 締付 け る こ と に よ っ て第 2 の 回転体 210 は第 1 の回転体 200 に 固定 さ れ る 。 ボル ト Π8 を 緩め れば第 2 の 回転体 Π G は回転 中心軸 M 2 を 中心 と し て 回転 自 在 と な る 。 第 2 の 回転体 210 を少 し ずつ 回 転 さ せ る 機構に つ い て は 後述す る 。

第 1 の 回転体 200 を 回転 さ せ る 機構 に つ い て説 明す る 。 支持体 191 に 腕 241 が固定 さ れ . こ の 腕 241 が外方 に 水平方向 に 延 びて い る 。 こ の 腕 241 の 先端部 に は送 り ナ ツ 卜 242 が回転 自 在 に 保持 さ れて い る 。 こ の ナ ツ ト 242 に は ね じ 243 力くね じ 嵌め ら れて い る 。 一 方， 第 1 の 回転体 200 の フ ラ ン ジ 部 2 (Π の 周側面 に 取 付片 244 が固定 さ れて い る 。 ね じ 243 の ナ ツ ト 242 に ね じ 嵌 め ら れ て い な い 端 部 と 取付 片 と に リ ン ク 245 の 両端が そ れ ぞ れ枢着 さ れて い る 。 ナ ツ ト 242 の 周 面 の 数 箇 所 に は レ ン チ 等 の 回 転 補助具 を 差込 む孔 246 力' あ け ら れて い る 。

固定 ボ ル ト 206 を 緩め た状態で， レ ン チ を 孔 246 に 差込ん で ナ ツ 卜 を迴す と ， ナ ツ ト 242 を 廻す方 向 に 応 じ て ね じ 243 が ナ ツ ト 242 内 を 進退 す る 。 ね じ 243 の 進退移動 は リ ン ク 245 お よ び取付片 244 を 通 し て 第 1 の 回転 体 2 Q Q の フ ラ ン ジ 203 に 伝 え ら れ る の で， 第 1 の 回転体 200 は 回転中心軸 Μ 1 を 中心 に 回転 す る こ と に な る 。 第 1 の 回転体 20 G が所望 の 角 度 位 置 に 至 っ た と き に ， ボ ル ト 206 を締付 け れ ば， 第 1 の 回 転体 200 は そ の 角 度位置 に 固定 さ れ る 。 支持体 191 の フ ラ ン ジ 部 193 の 外 周 面 に は 目 盛 板 247 が 固定 さ れ ( ま た は 目 盛が刻 ま れ） ， 第 1 の 回 転体 2 Q 0 の フ ラ ン ジ 部 2 (Π の 外周 面の 目 盛 247 に対応す る 位置 に は 指標 248 が刻 ま れ， ま た は記入 さ れて い る 。 こ れ ら の 目 盛 241 と 指標 に よ り ， 第 1 の 回転体 2 G G の 回転角 度 ま た は 角 度位置 を 知 る こ と がで き る 。

第 2 の 回転体 210 を 回転 さ せ る 機構 250 に つ い て説 明 す る 。 第 1 の 回転体 200 の 上下の 支持片 202 a の 側 部 に は 外方 に 突 出 す る よ う に フ ラ ン ジ 251 が設 け ら れ て い る 。 こ れ ら の上下 の フ ラ ン ジ 251 に は そ れ ら の 間 の 位 置 に お い て ， 垂 直 な 取 付 部材 252 が， フ ラ ン ジ 251 を 回転 自 在 に通 っ て い る ボル ト 253 に よ っ て垂直 軸 を 中心 と し て 回転可能 に 取付 け ら れて い る 。 こ の 取 付部材 252 の 中心 に は孔 254 があ け ら れて い る 。 回転 操 作 ロ ッ ド 255 が こ の 孔 254 に 回 転可能 に 通 っ て い る 。 ロ ッ ド 255 は 孔 254 内 を 進 退 で き な い 。 ロ ッ ド 2 a 5 の 一端 に は つ ま み 256 が設 け ら れ， 他端部 は ね じ 255 a と な っ て い る 。 ワ ー ク 保持部材 220 に も 上下の フ ラ ン ジ 257 力く 設 け ら れ ， こ れ ら の フ ラ ン ジ 257 に は， そ れ ら の 間 の 位 置 に お い て， 垂直 な 部材 258 力 { フ ラ ン ジ 257 を 回転 自 在 に 通 っ て い る ボル ト 259 に よ つ て垂直軸 を中心 と し て回転可能 に取付 け ら れて い る 。 こ の 部 材 258 に は 雌 ね じ 力く形 成 さ れ ， こ の 雌ね じ に ロ ッ ド 255 の ね じ 255 a カ<ね じ 嵌め ら れて い る 。

固 定 ボ ル ト 218 を 緩 め た 状 態 で つ ま み 256 を 廻す と ， ロ ッ ド 255 の ね じ 255 a が部材 258 の 雌ね じ 内 を 進退す る 。 こ れ に よ つ て ワ ー ク 保持部材 Π ϋ と 一体化 さ れた 第 2 の 回転体 2 i 0 が回転中心軸 M 2 を 中心 と し て 回転 す る 。 第 2 の 回 転体 210 が所 望 の 角 度位 置 に 至 っ た と き に ， ボ ル ト 218 を 締付 け れば， 第 2 の 回転 体 Π ϋ は そ の 角 度位置 に 固定 さ れ る 。 ワ ー ク 保持部材 220 ( ま た は 第 2 の 回 転体 21 D で も よ い ） に 目 盛板 260 を ， 第 1 の 回転体 210 の そ れ に 対応す る 位置 に 指 標 261 を そ れ ぞ れ設 け て お け ば， 第 2 の 回転体 210 の 回転 角 度 ま た は 角 度位 置 を 知 る こ と が で き る 。

ワ ー ク 保持部材 Π0 に は ， ワ ー ク 取付 台 Π0 が， あ り 差 し 構造 に よ っ て 着脱 自 在 に 取付 け ら れ る 。 ワ ー ク 保持 部材 220 の 保持部 222 に は ， 上下方 向 に の び る あ り 223 が形成 さ れ て い る 。 こ れ に 対 し て ワ ー ク 取 付 台 210 に は あ り 溝 Π 1 が形 成 さ れ て い る 。 あ り 溝 Π 1 に あ り を 差 込 む よ う に し て ， ワ ー ク 取 付 台 270 が ワ ー ク 保 持 部 材 220 の 保 持 部 222 に 取 付 け ら れ る 。 ワ ー ク 保持 部 材 220 の 保持部 222 の 下 端面 に は ス ト ツ パ Π 2 力《 ポ ソレ ト に よ り 固定 さ れ て い る 。 ワ ー ク 取 付 台 210 は こ の ス ト ッ パ 2 Π に 受 け ら れ る 。

ワ ー ク 保 持 部 材 Π β の 保 持 部 222 に お い て ， あ り 223 の 一方 の 側 部 に か か る 箇所 に は 窓 224 が あ け ら れ て い る 。 こ の 窓 224 に 連通 す る よ う に 保持部 222 の 端 面 か ら 孔 225 が あ け ら れ て い る 。

窓 2 Π 内 に は 締 付 ピ ー ス 28 ΰ が 入 っ て い る 。 締 付 ピ ー ス 280 は あ り 223 に 対応す る あ り 281 を 備 え て い る 。 ま た ， 締 付 ピ ー ス 280 に は ね じ 孔 282 が形成 さ れ て い る 。 ワ ー ク 保持部材 Π0 の 保持部 222 の 孔 2 内 に ハ ン ド ル 2 の 軸 286 が回転 自 在 に 通 っ て い る 。 こ の 軸 28δ の 先端 部 に は 雄 ね じ が形成 さ れ て お り ， こ の 雄ね じ が締 付 ピ ー ス 280 の ね じ 孔 282 に ね じ 嵌 め ら れ て い る 。 ハ ン ド ル 285 の 軸 Π 6 に は 締付 ピ ー ス 28 ΰ と 窓 Π 4 の 側辺 と の 間 に お い て押 し ばね Π 7 が巻付 け ら れて お り ， 締付 ピ ー ス 28 Q は ハ ン ド ル Π 5 と 反対方 向 に 付勢 さ れて い る 。

ハ ン ド ル 285 を 廻 し て そ の軸 286 を締付 ビ ー ス 280 の ね じ 孔 2Π に ね じ 込ん で い く こ と に よ り ， 締付 ピ ー ス 280 はノヽ ン ドル 285 の 方向 に 動 き ， そ の あ り 281 が ワ ー ク 取付台 Π0 の あ り 溝 Π1 に 強 く 当 り ， ワ ー ク 取 付台 Π0 は ワ ー ク 保持部材 220 に し つ か り と 固定 さ れ る _c

ワ ー ク 取付台 Π0 に は取付 ピ ー ス Π3 を介 し て ヮ 一 ク 109 が接着等 に よ り 取付 け ら れて い る 。

ワ ー ク 保持装置 190 に お い て， 上述 し た よ う に ， 移 動体 171 に固定 さ れ た支持体 191 に 第 1 の 回転体 200 が水平軸 M 1 を 中心 に 回転 自 在 に取付 け ら れ， こ の 第 1 の 回転体 2QQ に 第 2 の 回転体 Π 0 が垂直軸 M 2 を 中 心に 回転 自 在 に支持 さ れ て い る 。 し か も ， 水平回転軸 M l と 垂直回転軸 M 2 は 直交 し て い る 。 第 2 の 回転体 210 に ワ ー ク 保持 部 材 2 QQ が 固 定 さ れ て い る 。 し た が っ て， ワ ー ク 109 の方位を 2 方向 に 微調整で き る と と も に， 高 い 剛性を持つ の で し つ 力、 り と し た ワ ー ク の 保持が可能で あ る 。

(5) キ ヤ ブ ス タ ン 機構お よ び ダ ン サ ー機構

第 29図か ら 第 35図 は ソ 一 ワ イ ヤ の巻取 り 機構 に 含 ま れ る キ ヤ プ ス タ ン 機構 300 ， 巻取 り 側 ダ ン サ ー 機構 320 お よ び シ ー ブ 34 Q を 示 し て い る 。

ま ず巻取 り 側 ダ ン サ ー 機構 320 に つ い て説明す る 。 上述 し た よ う に ダ ン サ ー 機構 320 は 固定 ロ ー ゾレ 321 と ダ ン サ ー · ロ ー ル 322 と を 含ん で い る 。

固定 ロ ール Π 1 は 支軸 Π 3 に 回転 自 在 に 設 け ら れ た 複数個の シ ー ブか ら 構成 さ れて い る 。 支軸 は鉛 直 な 支持壁 Π0 に垂直 に 固定 さ れて い る 。

ダ ン サ ー ' ロ ー ル Π2 は ア ー ム 324 の 先端部 に取付 け ら れて い る 。 ダ ン サ ー · ロ ー ノレ 322 も ま た支軸 325 に 回転 自 在に 設 け ら れた 複数個 の シ ー ブか ら 構成 さ れ て い る 。 支軸 325 は水平で， かつ 鉛直 な 支持壁 290 を 基準 と し て上か ら み て斜 め に ア ー ム 324 に 固定 さ れて い る

ソ 一 ワ イ ヤ 114 は ， 上 述 し た よ う に ， 固 定 ロ ー ル 321 の V溝 （ シ ー ブ） か ら ダ ン サ ー · ロ ー ノレ 322 の V 溝 （ シ ー ブ） , ダ ン サ ー · 口 一 ノレ Π 2 の 溝 か ら 固定 ロ ー ル 321 の 溝， と い う よ う に ， 固定 ロ ー ル 321 と ダ ン サ ー · ロ ー ル Π2 と の 間 に順次往復 し て掛 け ら れて い る 。 ダ ン サ ー · 口 ー ル 3 Π の支軸 Π 5 が固定 ロ ー ル 321 の 支軸 Π 3 に対 し て， ロ ー ル の 溝の 1 ピ ッ チ に相 当 す る 分， 斜め に な つ て い る の で， ソ ー ワ イ ヤ 114 は こ れ ら の ロ ー ル Π1 , 322 の 各溝 に 対 し て正 し く 沿 う よ う に （側面か ら み た と き に すべ て の ソ ー ワ イ ヤ 114 力く鉛 直 に か つ 相 互 に 平 行 に 走 る よ う に ） 掛 け ら れ る (特 に 第 Π図参照） 。

こ の よ う な 構成 に よ っ て， ソ ー ワ イ ヤ 114 力く ロ ー ル 321 , 322 の溝 （ V溝） に沿 っ て安定 し て 走行す る 。 ま た， ソ ー ワ イ ヤ 114 の 張力が安定 し 高速運転が可能 と な る 。 さ ら に ， ロ ー ゾレ 321 , 322 の 磨耗が減 り ， そ の 寿命が延 び る 等の 効果があ る 。

ア ー ム の基端 は 回転軸 に 固定的 に 取付 け ら れて い る 。 支持壁 290 に は支持筒 Π 7 が立設 さ れ て お り ， こ の支持筒 327 内 を回転軸 Πδ が通 り ， かつ 支持 筒 Π 7 内 に設 け ら れ た 軸受 328 に 回転 自 在 に 受 け ら れ て い る 。 回転軸 326 は支持壁 Πΰ の 裏面 に突 出 し て い 。

支持壁 290 の 裏面 に は エ ア · シ リ ン ダ 330 がそ の 基 端で軸 331 に よ り 揺動 自 在 に取付 け ら れて い る 。 支持 壁 290 の裏面 に 突 出 し た回転軸 326 に は リ ン ク 332 の 一端が固定的 に 取付 け ら れて い る 。 リ ン ク 332 の 他端 と エ ア · シ リ ン ダ Π 0 の ピ ス ト ン · ロ ッ ド 33 Q a の 先 端 と 力 { ジ ョ イ ン ト 333 に よ っ て回転 自 在 に 連結 さ れ て い る

し た が っ て， エ ア · シ リ ン ダ 330 を駆動 し て そ の ピ ス ト ン 330 a を進退 さ せ る こ と に よ り ， ア ー ム 324 が 回転軸 Π 6 を 中心 に 揺動 し ， ダ ン サ ー · ロ ー ル 322 の 高 さ が変化す る 。 上述 し た よ う に， ロ ー ド · セ ル を 含 む張力検 出装置 343 の 検出張力が設定値 に 等 し く な る よ う に ， 空電変 換 装 置 4 8 7 に よ っ て エ ア · シ リ ン ダ 3 3 0 が制御 さ れ る 。

こ の よ う な エ ア · シ リ ン ダ 3 3 0 に よ っ て ダ ン サ ー · ロ ー ル 3 2 2 の高 さ 調整 を行 う こ と に よ り ， 設定張力 を 任意 に 変更 し て も こ れ に 追従 し て巻取 り 側 の 張力 を 制 御す る こ と がで き ， 張力 を連続的 （無段階的） に変更 す る こ と が可能 と な る 。 設定張力の 変更 は ソ ー ワ イ ヤ の 走行 中 で も で き る 。 ま た， ダ ン サ ー · ロ ー ル の 位 置 が変ィヒ し て も ， エ ア · シ リ ン ダの ロ ッ ド の 慣性 は極 め て小 さ い も の で ， 張力 変動が少な い。

エ ア · シ リ ン ダ 3 3 0 の配置 は 図示 の よ う に ほ ぼ垂直 に近 い 姿勢の み な ら ず， 斜め， ま た は 水平で も よ い 。 エ ア · シ リ ン ダ に 代え て， サ ー ボ · モ ー タ と 減速機構 を用 い て も ア ー ム 3 2 4 を連铳的 に揺動駆動す る こ と が で き る 。

支持壁 Π ΰ の 裏側 に は取付部材 Π 4 を介 し て シ ン ク 口 発信器 3 が設 け ら れて い る 。 シ ン ク ロ 発信器 3 3 5 の軸 は継手 Π 6 に よ り 回転軸 3 2 6 に 結合 し て い る 。 こ れに よ り ， 回転軸 Π 6 の 回転角 ， す な わ ち ア ー ム 3 2 4 の 揺動角 ， さ ら に は ダ ン サ ー · ロ ー ル Π 2 の 高 さ 力く シ ン ク ロ 発信器 3 3 5 に よ っ て検 出 さ れ る 。 シ ン ク ロ 発信 器 5 の 検 出信号 は上述 し た よ う に 巻取 り ボ ビ ン 5 5 0 の 回 転 量 制 御 （ 巻 取 り 量 制 御 ） に 用 い ら れ ， ダ ン サ ー · ロ ー ル 3 2 2 の 高 さ が常 に ほ ぼ一定 に 保 た れ る 。 キ ヤ プス タ ン機構 30(1 は 2 つ の 固 定 ロ ー ル 301 お よ び 302 を含ん で い る 。 上部の 固定 ロ ー ル 301 は 回転軸 303 に 固定的 に取付 け ら れて い る 。 支持壁 29(1 に支持 筒 3(H が立設 さ れて い る 。 こ の 支持筒 304 内 を 回転軸 303 が通 り ， かつ 支持筒 3 (M 内 に設 け ら れた軸受 305 に よ っ て回転軸 3 (Π が回転 自 在 に 受 け ら れて い る 。 回 転軸 303 の 支持壁 290 の 裏面 に 突 出 し た部分 に はベ ル ト 車 306 が固定 さ れて い る 。 回転軸 303 は支持壁 290 に 対 し て垂直であ る 。

下部の固定 ロ ー ル 302 も ま た 回転軸 307 に 固定 さ れ て い る 。 支持 壁 Π 0 に 設 け ら れ た 支持 筒 3 (U に 軸受 309 を 介 し て 回 転 軸 3 (M が回 転 自 在 に 受 け ら れ て い る 。 回転軸 307 は水平で かつ 支持壁 290 に対 し て傾 い て い る 。

こ れ ら の 2 つ の固定 ロ ー ル 301 と 302 に は 複数の V 溝が形成 さ れ， こ れ ら の V溝 に ソ ー ワ イ ヤ 114 が順番 に 両 ロ ー ル 301 と 302 の 間で掛 け ら れ て い る 。 キ ヤ プ ス タ ン 機構 300 に お い て も ， 下部の 固定 ロ ー ル 302 力く 斜 め に設 け ら れて い る の で， ソ 一 ワ イ ヤ 1 H は支持壁 290 の 壁面 と 平行に 走 り ， かつ ロ ー ル I , 302 の V 溝 に正 し く 沿 う 。 こ れ に よ り ソ ー ワ イ ヤ 114 の 走行が 安定す る 。

支 持壁 290 の 裏側 に は 取付 部 材 311 を 介 し て サ ー ボ * モ ー タ 310 が取付 け ら れて い る 。 こ の モ ー 夕 310 の 軸 に は ベ ル ト 車 312 力く固定 さ れて い る 。 2 つ の ベ ル ト 車 3 Q 6 と 312 と の 間 に べ ノレ 卜 3 が掛 け ら れ て い る 。 上部の 固定 ロ ー ル 301 は モ ー タ Π0 に よ っ て駆動 さ れ る 。 上述 し た よ う に ， ロ ー ド · セ ル を 含む張力検 出装 置 482 に よ る 検 出張力 と 設定値が等 し く な る よ う に モ ー タ Π 0 の 駆動が制御 さ れ る こ と に よ り ， 溝 ロ ー ル群の 出 口 側 の 張力が常 に ほ ぼ一定 に保た れ る 。

す な わ ち ， ソ ー ワ イ ヤ 114 の 間 欠 往 復 走 行 に お い て， モ ー タ 310 は ， 順方 向 に 走行す る ソ ー ワ イ ヤ 114 を 引 張 る 方向 （順方向） に 回転す る 。 こ れ に よ り ， 溝 ロ ー ル 群 の 出 口 側 の 張 力 を 大 き く し ， 卷取 り ボ ビ ン 550 側 の張力が小 さ く な る 。 モ ー タ 310 は， ソ ー ワ イ ャ 114 の逆方向走行 に お い て も 同 じ よ う に 順方 向 に 回 転 し 続 け る 。 こ れ に よ り ， モ ー タ Π 0 力 ブ レ ー キ と し て作用 し ， 溝 ロ ー ル群側 の張力が大 き く ， 巻取 り ボ ビ ン 55 ΰ 側 の 張力が 、 さ く 保た れ る 。 巻取 り ボ ビ ン 550 に 巻 取 ら れ る （ 順 方 向 走行） ， ま た は 巻取 り ボ ビ ン 550 か ら 繰出 さ れ る ソ ー ワ イ ヤ 1 の 張力が比較的小 さ く 保 た れ る の で， 巻取 り ボ ビ ン 550 と し て， あ ま り に堅牢 な も の を用 意す る 必要が な く ， 比較的安価 な 巻 取 り ボ ビ ン の 使用 が可能 と な る 。 モ ー タ 31 Q の 回転速 度を ソ 一 ワ イ ヤ 114 の 順方 向走行 と 逆方 向走行 と に お い て常 に 一定 に 保 っ て も よ い し ， 変 え て も よ い 。

ベ ル ト 車 312 と モ ー タ 31(1 と の 間 に ， ブ レ ー キ と ク ラ ッ チ を設 け て も よ い 。 ソ ー ワ イ ヤ 114 の 順方 向走行 に お い て は ， ブ レ ー キ を 切， ク ラ ッ チ を 入 に し て ， モ ー タ 310 の 回 転 力 に よ っ て ソ 一 ワ イ ヤ 114 を 弓 I張 る 。 逆方向走行 に お い て は， ブ レ ー キ を入， ク ラ ッ チ を 切 に し て， ソ ー ワ イ ヤ 114 の走行 に ブ レ ー キ を か け ο

シ ー ブ 340 は軸 341 に 回転 自 在 に 支持 さ れ て い る 。 支持壁 290 に は ブ ラ ケ ッ 卜 2 が固定 さ れ， こ の ブ ラ ケ ッ 卜 342 に ロ ー ド · セ ルを含む張力検出 装 置 343 が 設 け ら れて い る 。 ロ ー ド ' セ ル 343 に 軸 341 が取付 け ら れて い る 。 こ の構成に よ り ， シ ー ブ 340 に 働 く 張力 が張力検出装置 343 に よ っ て検出 さ れ る 。 張力検 出装 置 343 の 検 出張力 は信号線 を通 し て張力制御装置 486 に 与え ら れ， エ ア · シ リ ン ダ Π 0 の制御 に 用 い ら れ る の は上述 し た通 り で あ る 。 他の ロ ー ド · セ ル を 含 む張力検出装置 481 , 482 も 張力検出装置 343 と 同 じ よ う に取付 け ら れ， 対応す る シ ー ブ に 働 く 張力 を検出 す る 。

第 36図か ら 第 39図 は ソ 一 ワ イ ヤ繰 出 し 機構 に 含 ま れ る 繰出 し 側 ダ ン サ ー 機構 350 お よ び測長部 370 を 示 し て い る 。

繰 出 し 側 ダ ン サ ー 機構 350 も 固定 ロ ー ル 351 と ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 と を 含ん で い る 。

固定 ロ ー ル 351 は 支軸 353 に 回転 自 在 に 設 け ら れ た 複数個 の シ ー ブか ら 構成 さ れ て い る 。 支軸 353 は鉛 直 な 支持壁 290 に 直交す る よ う に 固定 さ れて い る 。

ダ ン サ ー . ロ ー ル 352 は ア ー ム 354 の先端部に取付 け ら れて い る 。 ダ ン サ ー · 口 一 ノレ 352 も ま た支軸 355 に 回転 自 在 に設 け ら れ た 複数個 の シ ー ブか ら 構成 さ れ て い る 。 支軸 355 は 水平で， か つ鉛直 な 支持壁 290 を 基準 と し て上か ら み て斜 め に ア ー ム 354 に 固定 さ れて い る o

ソ ー ワ イ ヤ 114 は ， 固 定 ロ ー ル 351 と ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 と の 間 に そ れ ら の 溝 （ V溝） に順次往復 し て掛 け ら れて い る 。 ダ ン サ ー ' 口 一 ノレ 352 の 支軸 355 が固定 ロ ー ル 351 の 支軸 353 に 対 し て， ロ ー ルの 溝の 1 ピ ッ チ に相 当す る 分， 斜 め に な つ て い る の で， 巻取 り 側 ダ ン サ ー機構 320 と 同 じ よ う に ， ソ 一 ワ イ ヤ 114 は こ れ ら の ロ ー ル 351 , 352 の 各溝 に 対 し て正 し く 沿 う よ う に （側面 カヽ ら み た と き に す べ て の ソ 一 ワ イ ヤ 114 が鉛直に かつ 相互 に 平行 に 走 る よ う に ） 掛 け ら れ る 。 こ の よ う な構成 に よ っ て， ソ ー ワ イ ヤ 114 力く ロ ー ル 351 , 352 の溝 に 沿 っ て安定 し て走行す る 。

ア ー ム 354 の基端 は 回転軸 356 に 固定的 に取付 け ら れて い る 。 支持壁 290 に は 支持筒 357 が立設 さ れて お り ， こ の 支持筒 357 内 を 回転軸 356 が通 り ， かつ 支持 筒 3 内 に 設 け ら れ た 軸受 358 に 回転 自 在 に 受 け ら れ て い る 。 回転軸 356 は 支持壁 290 の 裏面 に 突出 し て い る

支持壁 29 Q の裏側 に は エ ア · シ リ ン ダ 36 G が， ほ ぼ 水平な姿勢で， そ の 基端で铀 361 に よ り 揺動 自 在 に 取 付 け ら れて い る 。 支持壁 290 の裏側 に 突出 し た 回転軸 356 に は リ ン ク 362 の 一端が固定的 に 取付 け ら れ て い る 。 リ ン ク 362 の 他端 と エ ア · シ リ ン ダ 360 の ピ ス ト ン · ロ ッ ド 360 a の 先端 と 力く ジ ョ イ ン ト 3 に よ っ て 回転 自 在 に連結 さ れて い る 。

し た が っ て エ ア · シ リ ン ダ 360 を 駆動 し て そ の ビ ス ト ン ' ロ ッ ド 360 a を進退 さ せ る こ と に よ り ， ア ー ム 354 が回転軸 356 を 中心 に 揺動 し ， ダ ン サ ー ， ロ ー ル 352 の高 さ が変化す る 。 上述 し た よ う に， ロ ー ド · セ ル を含む張力検出装置 1 の 検出張力 が設定値 に 等 し く な る よ う に ， 空電変換装置 484 に よ っ て エ ア · シ リ ン ダ 36 G が制御 さ れ る 。

こ の よ う な エ ア · シ リ ン ダ 3 δ 0 に よ っ て ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 の 高 さ 調整を行 う こ と に よ り ， 巻取 り 側 ダ ン サ 一 機構 320 と 同 じ よ う に， ソ ー ワ イ ヤ の走行 中 で も ， 張力を連铳的 （無段階的） に 変更す る こ と が可能 と な る 。 特 に繰 出 し 側 に お い て は， 巻戻 し ボ ビ ン 540 に お け る 巻乱れ等 に よ り 巻戻 し ボ ビ ン 540 力、 ら の び る ワ イ ヤ の 張力が変化 し て も ， フ ィ 一 ドバ ッ ク 制御 に よ る ダ ン サ ー ' ロ ー ル 352 の 位 置 の 変 化 に よ っ て ， 溝 ロ ー ル 群 の 入 口 側 に お け る 張 力 が 常 に 一 定 に 保 た れ る 。

支持壁 290 の 裏側 に は取付部材 364 を介 し て シ ン ク 口 発信器 Π 5 が設 け ら れて い る 。 シ ン ク ロ 発信器 365 の軸 は継手 366 に よ り 回転軸 356 に 結合 し て い る 。 こ れ に よ り ， 回転軸 356 の 回転角， す な わ ち ア ー ム 354 の 揺動角 ， さ ら に は ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 の高 さ 力《 シ ン ク ロ 発信器 365 に よ っ て検 出 さ れ る 。 シ ン ク ロ 発信 器 365 の検 出信号 は 上述 し た よ う に 巻戻 し ボ ビ ン 540 の 回 転 量 制 御 （ 巻 取 り 量 制 御 ） に 用 い ら れ ， ダ ン サ ー · ロ ー ル 352 の 高 さ が常 に ほ ぼ一定 に 保 た れ る 。

測 長部 370 は 2 つ の シ ー ブ Π 1 ， 372 を 含 ん で い る 。 こ れ ら の シ ー ブ 371 と 372 に ソ 一 ワ イ ヤ 114 力く掛 け ら れて い る 。 シ ー ブ 371 は 回転軸 373 の 先端 に 固定 さ れて い る 。 回転軸 373 は支持壁 290 に 立設 さ れ た 支 持筒 374 内 に軸受 375 に よ り 回転 自 在 に 受 け ら れ て い る 。 支持壁 Π 0 の裏側 に 突出 し た 回転軸 373 の 端部 に は 羽根 376 が固定 さ れて い る 。 こ の 羽根 376 は支持壁 290 に 取付 け ら れ た光電検 出器 Π 7 に よ っ て検 出 さ れ る 。 し たが っ て， シ ー ブ Π 1 の 回転量 に 応 じ た信号が 光電検 出器 か ら 出 力 さ れ， こ の 信号 に 基づ い て， 繰 出 さ れ る ソ ー ワ イ ヤ 114 の長 さ が計算 さ れ る 。

も う 一つ の シ ー ブ 2 は支持壁 29 fl に取付 け ら れ た 支軸 に 回転 自 在 に 設 け ら れて い る 。 こ の 支軸 は シ ー ブ 3T 1 か ら 離れ る 方向 に 付勢 さ れて い る 。 し た が っ て ， シ ー ブ Π 1 と Π2 と の 間の ワ イ ヤ 1 Η は常 に 緊張 し て お り ， 正確な 測長が可能 と な る 。

(6) ト ラ バ ー ス機構

繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 4 G Q お よ び 巻 取 り 側 ト ラ バ ー ス 機構 5 Q 0 の正面が第 40図に 描かれ て い る 。 こ の 図か ら 分 る よ う に， 両 ト ラ バ ー ス 機構 は基本的構造 に お い て左右対称であ り ， 繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 400 の ト ラ バ ー ス · シ ー ブ 428 に 口 一 ド · セ ル を 含む巻回 方 向検 出装置 440 が設 け ら れて い る 点 に お い て の み異 な っ て い る 。 巻取 り 側 ト ラ バ ー ス 機構 5 Q 0 の ト ラ バ ー ス ， シ 一 ブ 528 に は 巻回方 向検出装 置 は設 け ら れて い な い。 し た が っ て， 繰出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構の構成 に つ い て第 40図か ら 第 44図を参照 し て説 明す る 。

繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 400 は 2 つ の 可動 シ ャ フ ト 410 と 420 と を 含 む 。 こ れ ら の 可 動 シ ャ フ ト Π 0 ， 420 は， 軸受を 含む支持筒体 1 , 421 に そ れ ぞれ摺 動 自 在 に挿通 さ れて い る 。 支持筒体 411 , 21 は ワ イ ヤ ー式切断加工装置 の 装置 フ レ ー ム 390 に取付 け ら れ た ト ラ バ ー ス機構 フ レ ー ム 391 に 設 け ら れ て い る 。 ま た ， 可 動 シ ャ フ ト 410 , 420 の 後 端 に は ブ ロ ッ ク 412 , 422 が そ れ ぞ れ固 定 さ れ て い る 。 こ れ ら の ブ ロ ッ ク 412 , 422 に は 両側 部 に そ れ ぞ れ孔 力く あ け ら れ ， こ れ ら の 孔 内 に 平行 な ガ イ ド · シ ャ フ ト 413 , 423 力く そ れぞれ通 っ て い る 。 ブ ロ ッ ク U 2 , 422 は そ れぞれガ イ ド · シ ャ フ ト 413 , 423 に 沿 っ て摺動 自 在 で あ る 。 ガ イ ド · シ ャ フ ト 413 , 423 の 両端 は フ レ ー ム 391 に 固定 さ れて い る 。 し た が っ て， 可動 シ ャ フ ト 410 , 420 は そ れぞ れ支持筒体 411 , 21 , ガ イ ド · シ ャ フ ト 413 ， 423 に 案 内 さ れ て ガ イ ド · シ ャ フ ト 13 ， 423 に 沿 っ て水平方向 に 摺動 自 在 に 支持 さ れて い る 。 ブ ロ ッ ク 412 , 422 は そ れぞれ引 き ばね 419 , 429 に よ っ て後方 に 付勢 さ れて い る 。

ブ ロ ッ ク 2 の下面 に は ピ ニ オ ン 414 が回転 自 在 に 取付 け ら れて い る 。 他方， ブ ロ ッ ク 4 Π の 上面 に は可 動 シ ャ フ ト 42 G と 平行 に の び る 可動 ラ ッ ク 424 が固定 さ れ ， ピ ニ オ ン 414 と 嚙 み 合 っ て い る 。 可動 ラ ッ ク i 2 の 反対 側 に お い て ， 固 定 ラ ッ ク 434 力 フ レ ー ム

391 に そ の両端で固定 さ れて い る 。 固定 ラ ッ ク 434 も 可動 シ ャ フ 卜 410 と 平行 に 配置 さ れて い る 。 ピ ニオ ン 41 が こ の固定 ラ ッ ク 4 に 唯み 合 っ て い る 。

フ レ ー ム 391 の 後部 に ト ラ ノ< ー ス 用 サ ー ボ · モ ー タ

430 が取付 け ら れて い る 。 こ の サ ー ボ · モ ー タ 430 の 回 転軸 に は ベ ル ト 車 432 が 固 定 さ れ て い る 。 一方 フ レ ー ム 391 の 前部 に も ベ ル ト 車 433 が回転 自 在 に 設 け ら れ て い る 。 こ れ ら の ベ ル ト 車 と 433 に ベ ル ト 431 が掛 け ら れ て い る 。 ベ ル ト 4 Π は そ の 中 間部 に お い て ブ ロ ッ ク 422 に 取付部材 5 に よ っ て固定 さ れて い る 。 サ ー ボ · モ ー タ 430 の 回 転 駆動 に よ り ， ベ ル ト 車 432 , 433 , ベ ル ト 431 を 介 し て ブ ロ ッ ク 422 , す な わ ち 可動 シ ャ フ ト 42 D が そ の 長手方 向 に移動す る 。 ブ ロ ッ ク 422 に 固定 さ れ た 可動 ラ ッ ク 424 力く ピ ニ オ ン 414 に 喃み 合 い， こ の ピニ オ ン 414 は ブ ロ ッ ク 412 に 設 け ら れて い る と と も に 固定 ラ ッ ク 434 に 嚙み合 っ て い る の で， ピニオ ン 4 i 4 は固定 ラ ッ ク 434 に 沿 っ て移 動す る 。 し た 力く つ て ， 可動 シ ャ フ ト 410 も そ の長手方 向 に 移動す る 。 可動 シ ャ フ ト 410 の 移動量 は可動 シ ャ フ ト 420 の移動量の 半分で あ る 。

可動 シ ャ フ ト U G の 先端部の 垂直下方 に は 取付部材 16 に よ り ガ イ ド · シ 一 ブ 415 が回転 自 在 に 設 け ら れ て い る 。 ま た， 可動 シ ャ フ ト 420 の 先端 に は ト ラ バ ー ス ' シ ー ブ 428 力 { 回 転 自 在 に 設 け ら れ て い る 。 ト ラ ノく ー ス · シ ー ブ ₄28 の 軸 は可動 シ ャ フ ト 42 G の 軸方向 と 一致 し て い る 。 後述す る よ う に， 可動 シ ャ フ ト 420 の 先 端部 に は 巻 回 方 向 検 出 装 置 440 が 設 け ら れ て お り ， こ の 装置 0 に ト ラ バ ー ス · シ 一 ブ 428 の軸が取 付 け ら れて い る 。 可動 シ ャ フ ト 420 の 先端部付近 に は ま た， 取付部材 426 に よ り ガ イ ド · シ ー ブ 425 が斜 め 側方 に 回転 自 在 に設 け ら れて い る 。 可動 シ ャ フ ト 410 の 先 端部 と 支 持筒体 411 の 間， お よ び可動 シ ャ フ ト 420 の 先端部 と 支持筒体 421 の 間 は 蛇腹 4 Π ， 42? が 設 け ら れ， 可動 シ ャ フ ト 410 , 420 , お よ び支持筒体 411 ， 421 内 の 軸 受 等 が保護 さ れ て い る 。

巻戻 し ボ ビ ン 540 力ヽ ら 繰 出 さ れ る ソ ー ワ イ ヤ 114 は 可動 シ ャ フ ト 420 の ト ラ バ ー ス · シ ー ブ 428 お よ び ガ ィ ド · シ 一 プ 425 ， 可動 シ ャ フ ト 410 の ガ イ ド · シ ャ フ ト 415 を経 て ， シ ー ブ 380 に 掛 け ら れ ， さ ら に 上述 し た 測長 部 370 に 供給 さ れ る 。 ソ ー ワ イ ヤ 114 の 間 欠 往復走行 に お い て ， 巻戻 し ボ ビ ン 540 力、 ら の ソ 一 ワ イ ャ 114 の 繰 出 し ， ま た は 巻 戻 し ボ ビ ン 540 に よ る ソ ー ワ イ ヤ 114 の 巻取 り に 伴 っ て， 巻戻 し ボ ビ ン 540 力、 ら の ワ イ ヤ の 繰 出 し 位 置 ま た は 巻取 り 位 置 に 応 じ て 可動 シ ャ フ ト 420 が進退 し ， ト ラ バ ー ス · シ ー ブ 428 力く常 に ワ イ ヤ の 繰 出 し 位 置 ま た は 巻取 り 位 置 の 真上 に く る よ う に 制 御 さ れ る 。

第 36図 に お い て ， シ ー ブ 38 ΰ の 軸 381 力く ロ ー ド · セ ル を 含 む 張力 検 出 装 置 に 取付 け ら れ て い る 。 張 力 検出装置 は取付部材 383 に よ っ て フ レ ー ム に 固定 さ れ て い る 。 張 力検 出 装 置 382 に よ っ て シ ー ブ 380 に 働 く 張力 が検 出 さ れ る 。 こ の 検 出 張力 は 表示 の 為 に 用 い り れ る 。

巻取 り 側 ト ラ バ ー ス 機構 5 に 関 し て は 第 40図 に ， 可 動 シ ャ フ ト 510 , 520 , ガ イ ド ' シ ャ フ ト 513 , 523 , ガ イ ド · シ ー ブ 5 Π お よ び そ の 取 付部材 516 , ガ イ ド · シ ー ブ 525 お よ び そ の 取 付 部 材 526 , ト ラ バ ー ス ' シ ー ブ 528 が 図示 さ れて い る 。 巻取 り 機構 の シ 一 ブ 340 を 通 っ て 送 ら れ て く る ソ ー ワ イ ヤ 114 は ガ イ ド · シ ー ブ 515 , ガ イ ド · シ 一 ブ 525 を 経て， ト ラ バ ー ス ' シ ー ブ 528 に 掛 け ら れ， 巻 取 り ボ ビ ン 550 に よ っ て 巻取 ら れ る 。 ソ ー ワ イ ヤ M 4 の 間 欠 往 復 走 行 に お い て ， 巻 取 り ボ ビ ン 55 D に よ る ソ 一 ワ イ ヤ 114 の 巻取 り ， ま た は ソ 一 ワ イ ヤ 114 の 巻 取 り ボ ビ ン 550 か ら の 繰 出 し に 伴 っ て ， 可 動 シ フ ト 520 が進退 し ， 卜 ラ バ 一 ス · シ ー ブ 528 力 常 に ワ イ ヤ の 巻取 り 位 置 ま た は 繰 出 し 位 置 の 真上 に く る よ う な 制 御 が行 な わ れ る 。

卷取 り 側 に お い て は ， 巻取 り ド ラ ム 550 へ の ソ ー ヮ ィ ャ の 巻取 り は 巻取 り ド ラ ム 55G の あ ら か じ め 定 め た 一方 の 端か ら 始 ま る 。 ま た ， 巻 取 り 側 の ト ラ バ ー ス 制 御装 匱 の 制御 の 下 で ワ イ ヤ の 巻取 り を 行 う の で 正 確 な 巻 取 り が 行 な わ れ ， か つ 巻 取 り 状 態 も 分 っ て い る 。 巻戻 し ド ラ ム 54 D に は ソ 一 ワ イ ヤ 製造工場 に お い て ソ ー ワ イ ヤ が巻付 け ら れ る 。 し た 力 つ て， ワ イ ヤ が 精密 に 巻 回 さ れて い る か ど う か は 不 明 で あ る 。 ま た ， ソ ー ワ イ ヤ の 終 端 は 巻 戻 し ド ラ ム 540 の ど こ に あ る か， ど っ ち の 端 に あ る か分 ら な い 。 こ の た め に ， 繰 出 し 側 ト ラ バ ー ス 機構 ₄00 に お け る ト ラ バ ー ス 制御 と ， 巻 取 り 側 ト ラ バ ー ス 機構 500 に お け る ト ラ バ ー ス 制 御 と は や り 方 が異 な っ て い る 。

巻取 り 側 の ト ラ バ ー ス 制 御 に つ い て 説 明 す る 。 ト ラ バ ー ス 駆動用 モ ー 夕 5 3 0 は サ ー ボ ' モ ー タ で あ る 。 あ ら カ、 じ め 制 御 パ タ ー ン を 定 め て お く こ と に よ り サ ー ボ * モ ー タ の 回転制 御 を 行 う こ と がで き る 。 第 4 5図 は 巻取 り 側 の ト ラ バ ー ス · シ ー ブ 5 2 8 の 位 置 決 め 制 御 を 行 う と き の ト ラ バ ー ス 移 動 速 度 パ タ ー ン を 示 し て い る 。 巻 取 り ボ ビ ン 5 5 G の 両 端 に 相 当 す る 位 置 に お い て ， ト ラ バ ー ス ' シ ー ブ 5 2 8 の 移 動 方 向 の 切 換 を 行 う 。 ト ラ バ ー ス 移動 速度 は 巻取 り ボ ビ ン 5 5 0 に 巻 付 け ら れ た ワ イ ヤ の 量 に 応 じ て も 変 え ら れ る 。 こ の よ う な ト ラ バ ー ス 移 動 速 度 パ タ ー ン を ト ラ バ ー ス 制 御 装 置

4 9 3 に あ ら か じ め 設 定 し て お く こ と に よ り ， こ の パ タ ー ン に し た 力く つ て モ ー タ 5 3 0 の 速度制御 を 行 う こ と がで き る 。 ソ ー ワ イ ヤ の 巻 付 け は 巻取 り ボ ビ ン 5 5 0 の 一 方 の 端 力、 ら 開 始 さ れ る こ と が 決 っ て い る 力、 ら で あ る 。 ま た ， 上記 の 速度パ タ ー ン に し た が っ て 巻取 り を 行 う こ と に よ り ， ワ イ ヤ の 巻取 り 状態 も 上記 の 速度パ タ ー ン に 従 っ た も の と な っ て い る 害 で あ る か ら で あ る 。 こ の こ と に よ っ て ， ト ラ ノく 一 ス ' シ 一 ブ 5 2 8 が両 端 の 位 置 に 至 っ た こ と を 検 出 す る セ ン サ を 設 け る 必要 が な く な る 。 位 置 セ ン サ を 設 け て ， 位 置 セ ン サ の 検 出 信号 に 基 づ い て 移動 方 向 切替 え を 行 う と き に 生 じ や す ぃ ォ — ' ー ラ ン を 防止す る こ と 力く で き る 。 ト ラ く- 一 ス 幅 を 常 に 一定 に 制 御 す る こ と が で き る 。 さ ら に ， サ ー ボ * モ ー タ の 使 用 に よ り ， 速 度 の 可 変 範 囲 が 広 く な り ， 細か い 卷 ピ ッ チ の 実現が可能 と な る 。

ソ ー ワ イ ヤ の 間欠往復走行方式 に お い て は， 巻取 り ボ ビ ン 5 5 0 か ら の ワ イ ヤ の 繰 出 し も 行な わ れ る 。 ワ イ ャ の繰出 し に お い て は， 巻取 り か ら 繰 出 し に 切換え る 位置か ら 第 4 5図 に示す速度バ タ 一 ン を逆 に迪 っ て制御 を行な え ば よ い。

繰出 し 側 の ト ラ バ ー ス 制御 に つ い て説明す る 。

巻戻 し ボ ビ ン が繰 出 し 専用 であ れば繰 出 し 側 に は ト ラ バ ー ス機構 は必ず し も 必要で は な い。 こ の 実施例 で は上述 し た よ う に ソ ー ワ イ ヤ の 間欠往復走行が行な わ れ る の で， 巻戻 し ボ ビ ン 5 4 0 に も ワ イ ヤ が巻付 け ら れ る o

工場等で製造 さ れ た 巻戻 し ボ ビ ン に お け る ソ ー ワ イ ャ の 巻回状態の良否を ト ラ バ ー ス 制御装置 は認識 す る こ と がで き な い 。 ま た， ソ 一 ワ イ ヤ の 終端が巻戻 し ボ ビ ン の どの 位置 に あ る か分 ら な い。 そ の た め に ， 巻戻 し ボ ビ ン を新 た に セ ッ ト し た と き に ワ イ ヤ の 巻方 向 の確認を し た上で始動す る こ と が必要であ る 。 こ の 巻方向 を検 出す る た め に 巻回方向検出装置 4 4 0 が設 け ら れて い る 。

第 4 6図を参照 し て， a お よ び b の 2 つ の 巻回方向 力く あ る 。 巻戻 し ボ ビ ン 5 4 0 か ら ソ ー ワ イ ヤ を繰出 し た と き に， ト ラ ノ< — ス · シ 一 ブ 4 2 8 に は ソ ー ワ イ ヤ の 巻回 方向 に 応 じ て， ワ イ ヤ の 張力 の分力 F a ま た は F b 力く 働 く 。 こ の分力を検 出 す る の が巻回方向検 出装置 4 4 0 で あ る 。 巻 回 方 向 力 a の 場 合 に は 分 力 F a カ< シ ー ブ 4 2 8 に 作用す る 。 こ の と き に は ， シ ー ブ 8 を矢印 A の 方 向 に 移 動 さ せ る 。 巻 回 方 向 力く b の 場 合 に は 分力 F b 力《 シ ー ブ 4 2 8 に 働 く 。 こ の 場 合 に は シ ー ブ Π 8 を 矢印 B 方 向 に 移動 さ せ る 。 こ の よ う に し て， ト ラ バ ー ス 制御装置 4 9 1 は ボ ビ ン 5 4 0 に お け る ソ ー ワ イ ヤ の巻 回方向 を 自 動的 に判定 し て， ト ラ バ ー ス · シ ー ブ 4 2 8 の 移動方 向 を 決定 し て ト ラ バ ー ス 制御を 開始す る 。

巻回方 向の検出 お よ び こ れ に 基づ く ト ラ バ ー ス 制御 は新 た な 巻戻 し ボ ビ ン を セ ッ 卜 し た と き の み な ら ず， 間欠往復走行 に お い て走行方向 を 切替え る と き ， そ の 他の 状態 に お い て も 行 う こ と がで き る 。 た と え ば， 巻 回 方 向 検 出 装 置 4 4 0 か ら の 巻 回 方 向 検 出 信号 を ト ラ バ ー ス 制御装置 4 9 1 に常時取込ん で， 巻回方 向 を常時 監視 し て お く 。 検出 し て い る 巻回方 向 と ト ラ バ ー ス . シ ー ブ 4 2 8 の 移動方 向 と の 整合がずれ た と き に は 検出 し て い る 卷回方向 に 応 じ て ト ラ ノく 一 ス · シ 一 ブ 4 2 8 の 移動方 向 を修正す る 。

第 4 7図 か ら 第 4 9図 を参照 し て巻回方 向検 出装 置 の構 成 に つ い て詳述す る 。

可動 シ ャ フ ト 0 の 先端 に は ボ ス 4 4 1 力く し つ 力、 り と 固定 さ れて い る 。 こ の ボ ス 4 4 1 の 前端面 に は細長 い ほ ぼ矩形の 受板 4 が ボル ト に よ り 固定 さ れ て い る 。 受 板 4 Π に は 2 つ の 孔 443 が あ け ら れ ， こ の 孔 443 内 に， フ ラ ン ジ を持つ 受筒体 444 が挿入 さ れ， かつ ボル ト に よ り 受板 442 に 固定 さ れて い る 。 受板 442 の 前面 中央 に は 円形の 窪み 445 が形成 さ れて い る 。 窪み 445 内 に ロ ー ド · セ ノレ 46 G a 力 収納 さ れて い る 。

—方， ほ ぼ矩形で かつ 中央部が盛上 っ た 支持板 452 の 中央部 に は軸 455 が立設 さ れ て い る 。 こ の 軸 455 に 軸受 45 δ を介 し て ト ラ バ ー ス · シ ー ブ 428 が回転 自 在 に設 け ら れて い る 。 支持板 452 の 両端部 に は軸 455 と 反対方 向 に の び る シ ャ フ ト 451 が ボル ト に よ っ て 固定 さ れて い る 。 シ ャ フ ト 451 は 受筒体 内 に 摺動 自 在 に入 っ て い る 。 さ ら に . 支持板 452 の 中央部 に は ， 受 板 442 に 面 す る 面 に お い て 凹 部 454 が 形成 さ れ て い る。

2 つ の C 型 （ 角 ば つ て い る が ） の 抱 持 部 材 447 と 453 が設 け ら れて い る 。 一方の 抱持部材 447 は 3 つ の ピ ー ス を ボル ト で結 合す る こ と に よ り 構成 さ れ， 他方 の抱持部材 453 は一体的 に形成 さ れて い る 。 こ れ ら の 2 つ の 抱持部材 447 と 453 が直交 し た状態で 向 き 合 い かつ 互 い に抱 く よ う に 組合わ さ れて い る 。 一方の 抱持 部材 447 に は 円形の 窪み 446 が形成 さ れ， こ こ に ロ ー ド · セ ゾレ 460 b 力 収 納 さ れ て い る 。 ロ ー ド . セ ル 460 b は 2 つ の 抱 持 部 材 と 453 と に 挟 ま れ て い る o 抱持 部 材 447 と 453 の 組 合 せ は 支持板 452 の 凹 部 45 の 中 に 収 め ら れ て い る 。 抱 持 部材 453 の 背面 が ロ ー ド · セ ル 46 Q a に 接 し て い る 。 一方 の 抱持部材 44？ は ボ ル ト に よ っ て受板 442 に 固定 さ れ， 他方の 抱 持部材 453 は ボル ト に よ っ て支持板 452 に 固定 さ れ て い る

以上の 構成に お い て， ト ラ ノ ー ス · シ ー ブ 428 に 働 く 軸方 向 の 分力 は 2 つ の ロ ー ド ' セ ル 460 a と U O b と に よ っ て そ の方 向 と 大 き さ 力く検 出 さ れ る 。 ロ ー ド · セ ゾレ 46 Q a と Q b の 出 力 信 号 は 差動 回 路 に 与 え ら れ， そ れ ら の 出力 の 差が演算 さ れ る 。 分力 F a が働 い た と き に は抱持部材 453 に よ っ て ロ ー ド ' セ ル が押圧 さ れ る の で， そ の 力 は主 に ロ ー ド ' セ ル 460 に よ っ て検出 さ れ， 分力 F b が働 い た と き に は抱持部 材 447 に よ っ て ロ ー ド · セ ル 460 b に 力 力く加 わ る の で ， ロ ー ド · セ ル 460 b が 大 き な 検 出 信号 を 発生 す o

Claims

請求 の 範囲

1 . 複数の平行に 配置 さ れ た溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を掛 け， 少な く と も 一 つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を 走行 さ せ， かつ 砥粒を含む加 ェ液を供給 し て被切 断材を切断す る ワ イ ヤ 式切断加工 装置 に お い て，

上記の 複数の 溝 ロ ー ル の う ち の少な く と も 2 つ の 溝 ロ ー ルが， こ れ ら の 溝 ロ ー ル間 を切断用 ワ イ ヤ 力く ほ ぼ 鉛直 に走行す る よ う に， 上下 に配置 さ れ，

上記の ほ ぼ鉛直 に 走行す る 切断用 ワ イ ヤ に対 し て被 切断材を ほ ぼ水平 に 進退 さ せ る 被切新材送 り 装置が設 け ら れ て い る こ と を 特 徴 と す る ワ イ ヤ 式切 断加工装

。

2 . 上記の上下 に 配 置 さ れ た 2 つ の 溝 ロ ー ル に 加 え て 第 3 の 溝 ロ ー ルが設 け ら れ， こ の第 3 の 溝 ロ ー ル が上 記上下 2 つ の 溝 ロ ー ルの う ち の 下部の 溝 ロ ー ル と ほ ぼ 同 じ 高 さ 位置 に配置 さ れて い る ， 請求の 範囲第 1 項 に 記載の ワ イ ヤ式切断加工装置。

3 . 上記第 3 の 溝 ロ ー ル力くモ ー タ に よ っ て 駆動 さ れ る 駆動 ロ ー ル で あ り ， 上記駆動 ロ ー ル の 回転動力 が動力 伝達機構を介 し て上記 2 つ の溝 ロ ー ル に 伝達 さ れ る ， 請求の 範囲第 2 項 に 記載の ワ イ ヤ式切断加工装置。

4 . 上記動力伝達機構が上記上下 2 つ の 溝 ロ ー ル お よ び第 3 の 溝 ロ ー ル に そ れ ぞれ対応 し て設 け ら れた ベル ト 車 と ， こ れ ら の ベ ル ト 車 に 掛 け ら れ た ベ ル 卜 と を含 む ， 請求 の 範 囲第 3 項 に 記載 の ワ イ ヤ 式切 断加工装

5 . 上記上下 2 つ の 溝 ロ ー ル の 軸 と こ れ ら に対応 し て 設 け ら れ た ベ ル ト 車 と の 間 に ト ル ク 制御可能 な 継手が 設 け ら れ， 上記第 3 の 溝 ロ ー ル に 対応 し て設 け ら れ た ベ ル ト 車 が上 記第 3 の 溝 ロ ー ル の 軸 に 固定 さ れ て い る ， 請 求 の 範 囲 第 4 項 に 記載 の ワ イ ヤ 式切 断加 工装

6 . 上記第 3 の 溝 口 ー ル を 回転駆動す る モ ー タ と ， 上記の 2 つ の溝 口 — ル に対応す る 出 力軸 を持 ち ， 上 モ ー タ の 回転動力 を上記 出 力軸 に 伝達す る 動力伝達 構 と ，

上記 2 つ の 溝 ロ ー ルの 軸 と そ れ に 対応す る 上記 出 力 軸 と の 間 に設 け ら れた ト ル ク 制御可能な 継手 と ，

を さ ら に備ん た請求の 範囲第 2 項 に記載の ワ イ ヤ式 切断加工 ：3 ^盧。

7 . 上 5し上下 2 つ の 溝 ロ ー ル と 上記第 3 の 溝 ロ ー ル と が フ レ ー ム に 回転 自 在 に 支持 さ れ， こ の フ レ ー ム 力く ヮ ィ ャ式切断加工装置 の 機台 に 着脱 自 在で あ る ， 請求の 範囲第 2 項か ら 6 項の い ずれか一項 に 記載の ワ イ ヤ 式 切断加工装置。

8 . ヮ ィ ャ式切断加ェ装 置 に 設 け ら れ た駆動装置 の 出 力 軸 と ， 上記 溝 ロ ー ル の う ち の 少 な く と も 1 つ の 溝 ロ ー ル の 軸 と が着脱 自 在 な 軸継手 に よ り 結合 さ れ て い る ， 請 求 の 範 囲 第 7 項 に 記 載 の ワ イ ヤ 式切 断加工 装

9 . 複数の平行 に配置 さ れ た 溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を掛 け， 少な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を走行 さ せ， かつ 砥粒を含む加 ェ液を供給 し て被切断材を 切断す る ワ イ ヤ式切断加工 装 置 に お い て，

3 つ の 溝 ロ ー ルが設 け ら れ， こ れ ら の 溝 ロ ー ノレ力く垂 直 お よ び水平な 2 辺を も つ 直角 三角 形の 頂点 に ほ ぼ相 当 す る 位置 に配置 さ れて い る こ と を特徴 と す る ， ワ イ ャ 式切断加工装置。

1 0 . 上記複数の 溝 ロ ー ルが フ レ ー ム に 回転 自 在 に 設 け ら れ， こ の フ レ ー ム 力' ワ イ ヤ 式切断加工装置 の 機台 に 着脱 自 在で あ る ， 請求の 範囲第 9 項 に 記載の ワ イ ヤ 式 切断加工装置。

1 1 . 上記 3 つ の 溝 ロ ー ル の う ち 上下 に 配置 さ れ た 2 つ の 溝 ロ ー ル に掛 け ら れ， ほ ぼ鉛直 に 走行す る 切断用 ヮ ィ ャ に 対 し て， 被切断材を ほ ぼ水平 に 進退 さ せ る 被切 断材送 り 装置が設 け ら れ て い る ， 請求の 範囲第 9 項 に 記載の ワ イ ャ式切断加工装置。

1 2 . 上記溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を送 り 込む ワ イ ヤ 繰 出 し 機構お よ び上記溝 ロ ー ルか ら 切断用 ワ イ ヤ を 巻取 る ワ イ ヤ 巻取 り 機構力く と も に上記溝 ロ ー ル の一側方 に 配置 さ れ て い る ， 請求の 範囲第 1 項か ら 1 1項の い ずれ か一項 に 記載の ワ イ ャ式切断加工装置。

1 3 . 複数 の 平行 に配置 さ れた溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を 掛 け， 少 な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を走行 さ せ， かつ 砥粒 を 含む加 ェ液を 供給 し て被切断材を 切断す る ワ イ ャ 式切断加工 装置 に お い て用 い ら れ る 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ ト で あ り ， 複数の 溝 ロ ー ルが フ レ ー ム に 回 転 自 在 に 設 け ら れ， こ の フ レ ー ム が ワ イ ヤ式切断加工装置 の 機台 に 着脱 自 在で あ る 溝 ロ ー ル ' ユニ ッ ト 。

1 4 . 3 つ の 溝 ロ ー ルが設 け ら れ， こ れ ら の 溝 ロ ー ル 力く 垂直 お よ び水平な 2 辺を も つ 直角 三角 形 の ほ ぼ頂点 に 相 当 す る 位置 に配置 さ れて い る ， 請求の 範囲第 1 3項 に 記載の 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ ト 。

1 5 . 被 切 断 材 が進 退 す る 面 を 除 く フ レ ー ム の 面 に 力 ノく 一 が設 け ら れ， こ の カ バ 一 の 底面が下部の 2 つ の 溝 ロ ー ル の 間 に お い て切断屑受を形成 し て い る ， 請求 の 範囲第 H項 に 記載の 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ ト 。

1 6 . 上記 フ レ ー ム か ら 突 出 す る 溝 ロ ー ノレ の 軸 を 囲 む よ う に 円環状の 弾性体 シ ー ル力く フ レ ー ム に設 け ら れて い る ， 請求 の 範囲第 1 3項か ら 1 5項の い ずれ か一項 に 記載 の 溝 ロ ー ル · ュニ ッ 卜 。

1 7 . 複数 の 平行に 配置 さ れ た溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を掛 け ， 少な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を 走行 さ せ， かつ 砥粒を含む加 ェ液を供袷 し て被切断材を 切断す る ワ イ ャ式切断加工 方法 に お い て，

上記の 複数の 溝 ロ ー ル の う ち の 少な く と も 2 つ の 溝 ロ ー ル を上下 に配置す る こ と に よ り こ れ ら の 溝 ロ ー ル 間 を 切断用 ワ イ ヤ を ほ ぼ鉛直 に走行 さ せ，

上記の ほ ぼ鉛直 に 走行す る 切断用 ワ イ ヤ に 対 し て被 切断材を ほ ぼ水平 に 進退 さ せ る こ と を特徴 と す る ワ イ ャ式切断加工方法。

1 8 . 上記の上下に配置 さ れ た 2 つ の溝 ロ ー ル に加 え て 第 3 の 溝 ロ ー ルを設 け， こ の 第 3 の 溝 ロ ー ル を上記上 下 2 つ の溝 ロ ー ル の う ち の 下部の 溝 ロ ー ル と ほ ぼ同 じ 高 さ に 配置 し た こ と を特徴 と す る ， 請求 の 範囲第 1 7項 に記載の ワ イ ヤ式切断加工方法。

1 9 . 上記溝 ロ ー ル の 一側方 力、 ら 上記溝 ロ ー ル に切断用 ワ イ ヤ を送 り 込み ， かつ 上記溝 ロ ー ル か ら 上記一側方 に 切断用 ワ イ ヤ を 引 出 し て 巻取 る ， 請求の 範囲第 1 7項 ま た は 1 8項に 記載の ヮ ィ ャ 式切断加工方法。

2 0 . 上記 3 つ の溝 ロ ー ルの う ち 上下 に配置 さ れた 2 つ の 溝 ロ ー ル と 被切断材の 移送経路 と の 間 に ， 切断用 ヮ ィ ャ が通 る 溝が形成 さ れた， ま た は形成 さ れ う る ワ イ ャ · ガ イ ドが設 け ら れて い る ， 請求の 範囲第 1 項 ま た は 第 9 項 に 記載の ワ イ ヤ 式切断加工装置。

2 1 . 上記 ワ イ ヤ · ガ イ ド と 被切断材の 移送経路 と の 間 に 切断用 ワ イ ャ に加工液を供給す る ノ ズル が配置 さ れ て い る ， 請求の 範囲第 2 0項 に記載 の ワ イ ヤ 式切断加工 装置。

2 2 . 平行 に配置 さ れ た 少な く と も 2 つ の 溝 ロ ー ル に 切 断用 ワ イ ヤ を掛け， 少 な く と も 一 つ の 溝 ロ ー ル を 回転 駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を 走行 さ せ， かつ砥 粒を 含む加工液を供給 し て被切断材 を 切断す る ワ イ ヤ 式切断加工装置 に お い て，

少 な く と も 1 つ の 溝 ロ ー ル に 近接 し て， 切断用 ワ イ ャ が通 る 溝 が 形成 さ れ た ， ま た は 形 成 さ れ う る ワ イ ャ * ガ イ ドが設 け ら れて い る こ と を 特徴 と す る ワ イ ヤ 式切断加工装置。

2 3 . 上記 ワ イ ヤ · ガ イ ド が被切断材 の 移送経路 と 少な く と も 1 つ の 溝 ロ ー ル と の 間 の 位 置 で あ っ て， 被切断 材の移送経路 よ り も 切断用 ワ イ ヤ の 走行方 向前方の 位 置 に配置 さ れて い る ， 請求の 範囲第 2 2項 に 記載の ワ イ ャ式切断加工装置。

2 4 . 上記溝 ロ ー ル に切断用 ワ イ ヤ を 送 り 込む ワ イ ヤ繰 出 し 機構 お よ び上記溝 ロ ー ルか ら 切断用 ワ イ ヤ を 巻取 る ワ イ ヤ 巻取 り 機構が設 け ら れ， 上記 ワ イ ヤ 繰出 し 機 構 ま た は ワ イ ヤ 巻取 り 機構の 少 な く と も い ずれか一方 に ， 切断用 ワ イ ヤ の 張力 を調整す る た め の ダ ン サ ー 機 構が設 け ら れ， 上記 ダ ン サ ー機構 は 回転 自 在 な 固定 ロ ー ル と 上下動 自 在 な 可動 ロ ー ル と を 含み， こ れ ら の両 ロ ー ル間 に 切 断用 ワ イ ヤ が掛け ら れて お り ， 上記可動 ロ ー ルが連続 的 に 位置調整可能な 機構 に よ っ て支持 さ れ て い る こ と を特徴 と す る ， 請求 の 範囲第 1 項 ま た は 第 9 項 に 記載 の ワ イ ヤ 式切断加工装置。

2 5 . 上記の連続的 に 位置調整可能 な 機構 がエ ア · シ リ ン ダを 含む， 請求 の 範囲第 項 に 記載の ワ イ ヤ 式切 断 加工装置。

2 6 . 平行 に配置 さ れ， かつ 切断用 ワ イ ヤ が掛 け ら れ た 複数の 溝 ロ ー ル を 含む溝 ロ ー ル群 と ， 上記溝 ロ ー ル群 に切断用 ワ イ ヤ を供袷す る ワ イ ヤ繰 出 し 機構 と ， 上記 溝 ロ ー ル群か ら 切断用 ワ イ ヤ を巻取 る ワ イ ヤ 巻取 り 機 構 と を備 え た ワ イ ヤ式切断加工装置 に お い て，

上記 ワ イ ャ 繰 出 し 機構 ま た は ワ イ ャ 巻取 り 機構 の 少 な く と も い ずれか一方 に . 切断用 ワ イ ヤ の 張力 を 調整 す る た め の ダ ン サ ー 機構が設 け ら れ，

上記 ダ ン サ ー 機構 は回転 自 在な 固定 ロ ー ル と 上下動 自 在 な可動 ロ ー ル と を 含み， こ れ ら の 両 ロ ー ル間 に切 断用 ワ イ ヤ が掛 け ら れて お り ， 上記可動 ロ ー ル が連続 的 に 位置調整可能 な 機構 に よ っ て支持 さ れて い る こ と を特徴 と す る ワ イ ヤ 式切断加工装置。

2 7 . 上記溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を 供袷す る ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 と ， 上記溝 ロ ー ル か ら の 切断用 ワ イ ヤ を 巻取 る 巻取 り ボ ビ ン を 含 む ワ イ ヤ 巻取 り 機構 と を さ ら に 備 え ， 上記 ワ イ ヤ 巻取 り 機構 に の み キ ヤ ブ ス タ ン機構が 設 け ら れ， 上記キ ヤ ブ ス タ ン 機構 に よ っ て上記巻取 り ボ ビ ン 側の ワ イ ヤ張力 が上記溝 ロ ー ル側 の ワ イ ヤ 張力 よ り も 低 く な る よ う に 調整 さ れて い る ， 請求の 範囲第 1 項 ま た は 第 9 項 に 記載の ワ イ ヤ 式切断加工装置。

2 8 . 平行 に 配置 さ れ， かつ 切断用 ワ イ ヤ が掛 け ら れ た 複数の 溝 ロ ー ル を 含む溝 ロ ー ル群 と ， 上記溝 ロ ー ル群 に切断用 ワ イ ヤ を供袷す る ワ イ ヤ繰 出 し 機構 と ， 上記 溝 ロ ー ル群力、 ら の 切断用 ワ イ ヤ を巻取 る 巻取 り ボ ビ ン を含む ワ イ ヤ 巻取 り 機構 と を 備 え た ワ イ ヤ式切断加工 装置 に お い て，

上記 ワ イ ヤ 巻取 り 機構 に の み キ ヤ プ ス タ ン機構が設 け ら れ， 上記キ ヤ ブ ス タ ン 機構 に よ っ て上記巻取 り ボ ビ ン側の ワ イ ヤ 張力 が上記 溝 ロ ー ル群側 の ワ イ ヤ 張力 よ り も 低 く な る よ う に調整 さ れて い る こ と を特徴 と す る ワ イ ヤ式切断加工装置。

2 9 . 上記キ ヤ ブ ス タ ン 機構 が， 少 な く と も 2 つ の ロ ー ルを備 え， こ れ ら の ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ が掛 け ら れ て い る ， 請求 の 範囲第 2 8項 に 記載の ワ イ ヤ式切断加工 装置。

3 0 . 切断用 ワ イ ヤ が 往復走行可能 な ワ イ ヤ式切断加工 装置 に お い て， 切断用 ワ イ ヤ を上記 ワ イ ヤ繰 出 し 機構 か ら 上記溝 ロ ー ル群 を経て 上記 ワ イ ヤ 巻取 り 機構 に 送 る 順方 向走行時 に ， 上記溝 ロ ー ル群か ら 上記 ワ イ ヤ 卷 取 り 機構側 に上記切断用 ワ イ ヤ を 引 張 る 方 向 に . 上記 2 つ の ロ ー ル の 少な く と も い ずれか一方を駆動す る 装 置 と ， 上記順方 向走行 と は逆向 き の 走行時 に ， 上記 2 つ の ロ ー ルの少 な く と も い ずれか一方の 回転 を制動す る 装置 と を備 え た， 請求の 範囲第 2 8項 に 記載 の ワ イ ヤ 式切断加工装置。

3 1 . 2 つ の ロ ー ル間 に 複数回 に わ た っ て 掛 け ら れ た 切 断用 ワ イ ヤが平行 に な る よ う に ， 上記 ダ ン サ ー 機構 に お け る 固定 ロ ー ノレ の軸 と 可動 ロ ー ル の 軸， ま た は上記 キ ヤ ブ ス 夕 ン 機構 に お け る 2 つ の ロ ー ル の軸 の 一方が 他方 に 対 し て傾 い て い る ， 請求の 範囲第 2 6項 ま た は 第 2 9項 に 記載の ヮ ィ ャ 式切断加工装置。

3 2 . 2 つ の ロ ー ルを 含み， こ れ ら の ロ ー ル 間 に 切断用 ワ イ ヤ が複数回 に わ た っ て掛 け ら れて い る 張力調整機 構 に お い て，

2 つ の ロ ー ル に掛 け ら れ た切断用 ワ イ ヤ が平行 に な る よ う に ， こ れ ら の ロ ー ルの 軸の 一方力く他方 に 対 し て 傾 い て い る こ と を特徴 と す る 張力調整機構。

3 3 . 上記被切断材送 り 装置 に ， 被切断材 を 保持す る 保 持装置が設 け ら れて お り ， こ の 披切断材保持装置 は 支 持体 と ， 第 1 の 回転体 と ， 第 2 の 回転体 と を 含み， 上 記支持体 は上記第 1 の 回転体を 第 1 の 軸 を 中心 に 回 転 自 在 に 支持 し ， 上記第 1 の 回転体 は， 上記第 2 の 回転 体を， 上記第 1 の 軸 に 直交す る 第 2 の軸 を 中心に 回転 自 在に支持 し ， 上記第 2 の 回転体 に 被切断材が取付 け ら れ る ， 請求の 範囲第 1 項 ま た は第 1 1項 に記載の ワ イ ャ式切断加工装 置。

3 4 . 複数 の 平行 に 配置 さ れ た 溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を掛 け， 少 な く と も 一つ の 溝 ロ ー ルを 回転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を 走行 さ せ， 走行す る 切断用 ヮ ィ ャ に 対 し て被切断材 を 進 出 さ せ， 砥粒を 含む加工液 を供給 し て被切断材を切断す る ワ イ ヤ式切断加工装置 に お い て用 い ら れ る ， 被切断材を保持す る 保持装置で あ っ て， 支持体 と ， 第 1 の 回転体 と ， 第 2 の 回転体 と を含み， 上記支持体 は 上記第 1 の 回転体を 第 1 の 蚰を 中心 に 回転 自 在 に 支持す る 部分を有 し ， 上記第 1 の 回 転体 は， 上記第 2 の 回転体を ， 上記第 1 の 軸 に垂直 な 第 2 の 軸 を 中心 に 回転 自 在 に 支持す る 部分 を 有 し ， 上 記第 2 の 回転体 は被切断材を 支持す る 部分 を有 し て い る ， 被切断材保持装置。

3 5 . 上記第 1 の 軸 と 第 2 の軸が直交 し て い る ， 請求の 範囲第 3 4項 に記載の披切断材保持装置。

3 6 . 上記溝 ロ ー ル に 切 断用 ワ イ ヤ を送 り 込む ワ イ ヤ繰 出 し 機構 お よ び上記溝 ロ ー ル 力、 ら 切断用 ワ イ ヤ を 巻取 る ワ イ ヤ 巻取 り 機構が設 け ら れ， 上記 ワ イ ヤ繰出 し 機 構 は ト ラ バ ー ス 機構を 含 み ， こ の ト ラ バ ー ス 機構 は ヮ ィ ャ の 巻戻 し ボ ビ ン の 軸 と 平行 に 移動 自 在 な 可動体 を 含み， こ の可動体の 先端部 に巻回方 向検 出装置が設 け ら れ， こ の 巻回方向検 出装置 は ，

こ の 可動体の先端部 に設 け ら れ た 受部材 と ， 上記受部材 に巻戻 し ボ ビ ン の 軸方 向 に 摺動 自 在に 保 持 さ れ た支持体 と ，

こ の 支持体 に， 巻戻 し ボ ビ ン の 軸 と 平行 な軸 に よ り 回転 自 在 に 設 け ら れ た ト ラ バ ー ス · シ ー ブ と ，

上記受部材 と 支持体 と の 間 に 設 け ら れ， 巻戻 し ボ ビ ン か ら 繰 出 さ れかつ 上記 ト ラ バ ー ス · シ ー ブ に掛 け ら れ た切断用 ワ イ ヤ に 働 く 巻戻 し ボ ビ ン の軸方向 の 分力 を検出 す る セ ン サ と を 備 え て い る ，

請求の 範囲第 1 項 ま た は 第 9 項 に 記載の ワ イ ヤ式切 断加工装置。

3 7 . ワ イ ヤ の 巻戻 し ボ ビ ン の 軸 と 平行 に 移動 自 在な 可 動体を 含む ト ラ バ ー ス 機構 に 設 け ら れ， 巻戻 し ボ ビ ン か ら 巻 戻 さ れ る ワ イ ヤ の 巻 回 方 向 を 検 出 す る 装置 で あ つ （7 ,

こ の 可動体の先端部 に 設 け ら れ た受部材 と ，

上記受部材 に卷戻 し ボ ビ ン の 軸方向 に 摺動 自 在 に 保 持 さ れ た支持体 と ，

こ の 支持体 に， 巻戻 し ボ ビ ン の 軸 と 平行 な 軸 に よ り 回転 自 在 に 設 け ら れ た ト ラ バ ー ス · シ 一 ブ と ，

上記受部材 と 支持体 と の 間 に 設 け ら れ， 巻戻 し ボ ビ ン か ら 繰 出 さ れかつ 上記 ト ラ バ ー ス · シ ー ブ に掛 け ら れ た切断用 ヮ ィ ャ に 働 く 巻戻 し ボ ビ ン の軸方 向 の 分 力 を 検 出 す る セ ン サ と を備 え て い る ，

ワ イ ヤ の 巻 回方向 検出装置。

3 8 . 上記溝 口 ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を送 り 込む ワ イ ヤ 繰 出 し 機構 お よ び上記溝 ロ ー ルか ら 切断用 ワ イ ャ を 巻取 る ワ イ ヤ 巻取 り 機構 が設 け ら れ， 上記 ワ イ ヤ 巻取 り 機 構 は ト ラ バ ー ス 機構 を 含み， こ の ト ラ バ ー ス 機構 は ， ワ イ ヤ の 卷戻 し ボ ビ ン の 軸 と 平行 に移動 自 在 な 可動 体 と ，

こ の 可動体 の 先端部 に 設 け ら れ た ト ラ バ ー ス ン ― ブ と ，

上記可動体 の 移動 を駆動す る モ ー タ と を 含み， 上記 モ ー 夕 がサ 一 ボモ ー タ で あ っ て あ ら 力、 じ め 定 め ら れ た ト ラ バ — ス移動速度お よ び移動量 に し た 力く つ て 制御 さ れ る ，

請求の 範囲 第 1 項 ま た は 第 9 項 に 記載の ワ イ ヤ 式 切 断加工装置。

補正書の請求の範囲

[ 1 9 9 7年 7月 3 0日 （3 0 . 0 7 . 9 7 ) 国際事務局受理：出願当初の請求の範囲 2及び 1 8は 取り下げられた；出顋当初の請求の範囲 1及び 1 7はは補正された；他の請求の範囲は変更なし。 ( 3頁） ]

1 . (補正後） 少 な く と も 3 つ の 平行 に 配 置 さ れ た 溝 ロ ー ル に 切 断 用 ワ イ ヤ を 掛 け ， 少 な く と も 一 つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動 す る こ と に よ り 切 断用 ワ イ ヤ を 走 行 さ せ， か つ 砥粒 を 含 む 加工液 を 供給 し て 被切 断材 を 切 断す る ワ イ ャ 式切 断加 工装 置 に お い て ，

第 1 お よ び第 2 の 溝 ロ ー ル が， こ れ ら の 溝 ロ ー ル 間 を 切断用 ワ イ ヤ が ほ ぼ鉛直 に 走行 す る よ う に ， 上下 に 配置 さ れ，

第 3 の 溝 ロ ー ル が上記の 上下 に 配置 さ れ た 第 1 お よ び第 2 の 溝 ロ ー ル の う ち の 下部 の 第 2 の 溝 ロ ー ル と ほ ぼ同 じ 高 さ 位 置 に 配 置 さ れ，

上記 の ほ ぼ鉛 直 に 走行す る 切 断用 ワ イ ヤ に 対 し て 被 切断材 を ほ ぼ水平 に 進退 さ せ る 被切断材送 り 装 置 が設 け ら れ て い る こ と を 特 徴 と す る ヮ ィ ャ 式 切 断 加 工 装 置。

2 . (削 除 ）

3 . 上記第 3 の 溝 ロ ー ルが モ ー タ に よ っ て 駆動 さ れ る 駆動 ロ ー ル で あ り ， 上記駆動 ロ ー ル の 回 転動 力 が動 力 伝達機構 を 介 し て 上記 2 つ の 溝 ロ ー ル に 伝達 さ れ る ， 請求 の 範囲第 2 項 に 記載 の ワ イ ヤ 式切 断加工装 置。

4 . 上記動力 伝達機構が上記上下 2 つ の 溝 ロ ー ル お よ 補正された用紙 (条約第 19条） る ワ イ ヤ 巻取 り 機構が と も に 上記 溝 ロ ー ル の一側 方 に 配 置 さ れ て い る ， 請求 の 範囲第 1 項 か ら 1 1項 の い ずれ か一項 に 記載の ワ イ ヤ 式切断加 工装 置。

1 3 . 複数 の 平行 に 配 置 さ れ た 溝 ロ ー ル に 切断用 ワ イ ヤ を 掛 け ， 少 な く と も 一つ の 溝 ロ ー ル を 回転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を 走行 さ せ ， か つ 砥粒 を 含む加 ェ液 を 供袷 し て 被切 断材を 切断 す る ワ イ ヤ 式 切断加工 装 置 に お い て 用 い ら れ る 溝 ロ ー ノレ · ュ ニ ッ ト で あ り ， 複数の 溝 ロ ー ル が フ レ ー ム に 回 転 自 在 に 設 け ら れ， こ の フ レ ー ム が ワ イ ヤ 式切 断加工装 置 の 機台 に 着脱 自 在 で あ る 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ ト 。

1 4 . 3 つ の 溝 ロ ー ルが設 け ら れ， こ れ ら の 溝 ロ ー ル が 垂 直 お よ び水平 な 2 辺 を も つ 直 角 三角 形 の ほ ぼ頂点 に 相 当 す る 位 置 に 配 置 さ れて い る ， 請求 の 範囲 第 U項 に 記載 の 溝 ロ ー ル · ユ ニ ッ ト 。

1 5 . 被 切 断 材 が 進 退 す る 面 を 除 く フ レ ー ム の 面 に 力 バ ー が設 け ら れ， こ の カ バ ー の 底面が下部 の 2 つ の 溝 ロ ー ル の 間 に お い て 切断屑 受 を 形成 し て い る ， 請求 の 範囲第 H項 に 記載の 溝 ロ ー ル · ュ ニ ッ ト 。

1 6 . 上記 フ レ ー ム か ら 突 出 す る 溝 ロ ー ル の 軸 を 囲 む よ う に 円 環状 の 弾性体 シ ー ル 力く フ レ ー ム に 設 け ら れ て い る ， 請求 の 範囲 第 1 3項 か ら 1 5項 の い ず れか一項 に 記載 の 溝 ロ ー ル ' ュ ニ ッ ト 。

1 7 . (補正後） 少 な く と も 3 つ の 平行 に 配 置 さ れ た 溝 補正された用紙 (条約第 19条） ロ ー ル に 切 断 用 ワ イ ヤ を 掛 け ， 少 な く と も 一 つ の 溝 ロ ー ル を 回 転駆動す る こ と に よ り 切断用 ワ イ ヤ を 走行 さ せ ， か つ 砥粒 を 含 む加工液 を 供給 し て 被切断材 を 切 断す る ワ イ ヤ 式切断加工方 法 に お い て ，

第 1 お よ び第 2 の 溝 ロ ー ル を 上下 に 配 置 す る こ と に よ り こ れ ら の 溝 ロ ー ル 間 を 切断用 ワ イ ヤ を ほ ぼ鉛 直 に 走行 さ せ，

第 3 の 溝 ロ ー ル を 上記 の 上下 に 配 置 さ れ た 第 1 お よ び 第 2 の 溝 ロ ー ノレ の う ち の 下部 の 第 2 の 溝 ロ ー ル と ほ ぼ 同 じ 高 さ に 配 置 し ，

上記 の ほ ぼ鉛直 に 走行 す る 切 断用 ワ イ ヤ に 対 し て 被 切断材 を ほ ぼ水平 に 進退 さ せ る こ と を 特徵 と す る ワ イ ャ 式切 断加工方法。

1 8 . ( 削 除 ）

1 9 . 上記溝 ロ ー ル の一側方 か ら 上記溝 ロ ー ル に 切断 用 ワ イ ヤ を 送 り 込み ， かつ 上記溝 ロ ー ル か ら 上記一側方 に 切 断用 ワ イ ヤ を 引 出 し て巻取 る ， 請求 の 範囲 第 Π項 ま た は 1 8項 に 記載の ワ イ ヤ 式切断加工方 法。

2 0 . 上記 3 つ の 溝 ロ ー ル の う ち 上下 に 配 置 さ れ た 2 つ の 溝 ロ ー ル と 被切断材 の 移送経路 と の 間 に ， 切 断用 ヮ ィ ャ が通 る 溝が形成 さ れ た， ま た は 形成 さ れ う る ワ イ ャ · ガ イ ドが設 け ら れ て い る ， 請求 の 範囲 第 1 項 ま た は 第 9 項 に 記載 の ワ イ ヤ 式切断加工装 置。 補正された用紙 (条約第 19条）