WO1988006832A1 - Diaphragm unit of a condenser microphone, a method of fabricating the same, and a condenser microphone - Google Patents

Diaphragm unit of a condenser microphone, a method of fabricating the same, and a condenser microphone Download PDF

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WO1988006832A1
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ring
condenser microphone
diaphragm
diaphragm unit
vibrating membrane
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PCT/JP1988/000236
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Mamoru Yasuda
Hitoshi Toda
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Hosiden Electronics Co., Ltd.
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    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49005—Acoustic transducer

Definitions

  • the present invention relates to a condenser microphone and, more particularly, to a diaphragm unit used for the microphone and a method of manufacturing the same.
  • Fig. 1 shows a conventional condenser microphone.
  • a collar 12 is formed in the front end of a cylindrical housing 11 having open front and rear ends. Rings 13 and 14 for holding the membrane are pressed against the inner surface of the collar 12. The periphery of the diaphragm (vibrating membrane) 15 is held between the membrane holding rings 13 and 14 and held.
  • a push-up cylinder 16 is pressed forward against the rear surface of the diaphragm 15.
  • a set screw 17 is formed on the inner peripheral surface of the housing 11, and a ring-shaped screw 18 is screw-coupled to the set screw 1 ⁇ , and the membrane holding rings 13 and 14 are pressed forward and fixed.
  • the ring-shaped screws 19 and 21 are screw-coupled to the main screw 17, and the push-up cylinder 16 is pressed against the diaphragm 15 by the ring-shaped screws 19 and 21.
  • the desired tension is applied to the diaphragm 15 by this pressing.
  • a back electrode 22 is arranged in close proximity to the back of the diaphragm 15, and the back of the back electrode 22 is held by an insulating ring holding plate 23, and the holding plate 23 is screwed with a screw 17. It is held by the coupled ring screw 21.
  • a spacer 20 is interposed between the push-up cylinder 16 and the holding plate 23 to determine an interval between the diaphragm 15 and the back pole 22.
  • Behind ring screw 2 1, further ring screw 2 4 is screwed to main screw 1 ⁇ Have been.
  • Terminal 25 is attached to back pole 22.
  • a grid 26 is covered on the front surface of the housing 11.
  • An electret film 27 is attached to the back electrode 22 so as to face the vibration film 15.
  • the diaphragm 15 of the conventional condenser microphone is pressed by the push-up cylinder 16 to obtain a predetermined tension, and the push-up cylinder is built in the condenser microphone.
  • the disadvantage was that the condenser microphone had a large shape, a large number of assembly steps, and was cumbersome and expensive.
  • the diaphragm 15 is tensioned by the push-up cylinder 16 and the push-up cylinder 16 is held on the casing 11 by the ring screw 19, the membrane holding rings 13 and 14 and the holding ring If the ring screw 18, push-up cylinder 16, ring-shaped screw 19, etc. are not made of the same material as the housing 11, the tension of the diaphragm 15 may fluctuate due to fluctuations in ambient temperature. Atsuta.
  • the two screws 19 and 21 are fixed, the push-up state of the push-up cylinder 16 changes, and the tension of the diaphragm 15 may change.
  • the distance between the diaphragm 15 and the back electrode 22 must be set to a predetermined size with high accuracy.
  • the height of the push-up cylinder 16 and the back electrode 22 must be adjusted. (Length in the direction parallel to the axis) was increased to the same value by precision polishing, and the gap between the vibrating membrane 15 and the back electrode 22 was secured by the spacer 20 thickness. In this case, high machining accuracy is required for the push-up cylinder 16 and the back pole 22 and the spacer 20 is required, the number of parts increases, and the price of the microphone Was higher.
  • Another object of the present invention is to provide a condenser microphone having a simple structure incorporating a diaphragm unit.e Still another object of the present invention is to easily adjust a condenser gap, The purpose is to provide a condenser microphone with a simple structure.
  • the diaphragm unit according to the present invention includes a first ring, a second ring, and a vibrating membrane whose periphery is sandwiched between the i-th and the second rings by applying a predetermined tension.
  • a push-up cylinder for applying tension to the vibrating membrane, so that a small-sized condenser microphone horn having a small number of parts can be made.
  • the first ring can also be used as a microphone housing, in which case the size can be further reduced.
  • free-cutting crystal glass is used as the material for the holding plate that holds the back electrode, the surrounding surface can be threaded, so that a microphone headphone that can easily adjust the condenser gap can be formed.
  • the peripheral portion of the vibration film is held by the jig body, and the first ring is pushed by the push-up tool engaged with the jig body to apply tension to the vibration film.
  • the vibrating film is sandwiched between the ring and the second ring, and thereafter, the first ring, the second ring, and the vibrating film are subjected to electron beam welding.
  • the diaphragm is sandwiched between the first ring and the second ring, and a diaphragm unit having a predetermined tension applied thereto is obtained.
  • the diaphragm is sandwiched between the first ring and the second ring, and the first ring and the second ring are welded to the diaphragm with an electron beam. Press and expand the diameter of the 1st ring and the 2nd ring to apply tension to the vibrating membrane. Also in this case, the obtained diaphragm membrane has a predetermined tension applied to the diaphragm membrane itself. Therefore, when installed in a condenser microphone, no push-up cylinder is required.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a conventional condenser microphone
  • FIG. 2A-2D is a cross-sectional view for explaining a manufacturing process of the first embodiment of the diaphragm unit of the present invention
  • Fig. 3 is a sectional view corresponding to Fig. 2D of the second embodiment of the diaphragm unit;
  • 4A and 4B are cross-sectional views for explaining another method of manufacturing the diaphragm unit of the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a condenser microphone incorporating the diaphragm unit of the present invention
  • Fig. 6 is a cross-sectional view showing another example of a condenser microphone incorporating the diaphragm unit of the present invention.
  • FIG. 7 is a sectional view showing another example of the diaphragm unit of the present invention.
  • FIGS. 8A and 8B are cross-sectional views for explaining a process of manufacturing the diaphragm unit of FIG. 7;
  • Fig. 9 is a sectional view showing an example of a condenser microphone incorporating the diaphragm unit of Fig. 7;
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a condenser microphone when formed of a lath.
  • a vibrating film 15 of a metal such as titanium, titanium alloy, nickel alloy or the like having a thickness of about l to 6 / m is first held on the jig main body 31 at the peripheral portion.
  • the jig body 31 has a cylindrical shape, and a flange 32 is integrally formed on the inner peripheral surface of the front surface thereof.
  • a set screw 34 is formed on the inner peripheral surface of the jig body 31, and a screw on the outer peripheral surface of the fixed ring 35 is screwed to the set screw 34. The collar is reduced to 32. In this way, the diaphragm 15 is held and fixed to the jig body 31.
  • the push-up device 36 has a cylindrical shape, and the first ring 37 is positioned and arranged on the front end surface thereof, and a screw collar 38 is formed on the outer peripheral surface of the rear end thereof.
  • the outer peripheral surface screw is screwed to the main screw 34.
  • the second ring 39 is arranged opposite to the first ring 37 via the diaphragm 15, that is, the first ring 37 and the second ring 37 are arranged.
  • the diaphragm 15 is sandwiched between the ring 39 and the ring 39.
  • the second ring 39 is pressed against the first ring 37 by the auxiliary tool 41.
  • the diaphragm 15 is integrated with the first ring 37 and the second ring 39 while the tension of the diaphragm 15 is almost the same as the tension applied before welding, and the diaphragm unit is assembled.
  • a kit is created. Since the diaphragm 15 held by the first ring 37 and the second ring 39 is given a predetermined tension by itself, it can be pushed up in a conventional manner when incorporated into a condenser microphone. It is not necessary to provide a tension applying means like a cylinder in the capacitor.
  • FIG. 3 shows a second embodiment in which the first ring 37 also serves as a microphone housing, and is a view corresponding to FIG. 2D. That is, the first ring 37 has a cylindrical shape in this example. An example in which a condenser microphone is constructed using the first ring also serving as the housing will be described later.
  • FIGS. 4A and 4B show a third embodiment of the present invention.
  • a first ring 3 is disposed on a first fixing jig 45, and 1 Vibrating membrane 15 is arranged on ring 37, 2nd ring 39 is arranged on 1st ring via vibrating membrane 15, 2nd surface is fixed on 2nd ring 39 Place the jig 4 6.
  • the vibrating membrane 1 5 Is sandwiched between the first ring 37 and the second ring 39 with no tension applied.
  • auxiliary jigs 4 7, 4 & each having a cylindrical shape and a small diameter portion having a small diameter at the end are prepared.
  • the small-diameter portions of No. 48 are fitted and inserted into the first ring 37 and the second ring 39, respectively, and the ends of these auxiliary jigs 47 and 48 have a truncated cone shape.
  • the extension jigs 5 1 and 5 2 are pushed in, and the peripheral surfaces of the truncated cones are pushed into the boundary edges between the large-diameter portion and the small-diameter portion in the auxiliary jigs 47 and 48, respectively.
  • the diameters of the first ring 37 and the second ring 39 are enlarged via the auxiliary jigs 51 and 52.
  • tension is applied to the diaphragm 15.
  • the vibrating membrane 15, the first ring 37, and the second ring 39 having a titanium alloy shaped crystal structure are suitable because they can be easily expanded. ing.
  • the frequency band of the microphone can be freely selected by selecting the tension applied to the diaphragm 15.
  • FIG. 5 shows a capacitor using the diaphragm unit 55 obtained by the embodiment shown in FIGS. 2A to 2D and FIGS. 4A and 4B.
  • a microphone the contact surfaces of the first and second rings 37, 39 are tapered, and the diameter of the tapered surface of the first ring 37 is smaller than the inner diameter of the tapered surface of the second ring 39. It is small and protrudes inside the second ring 39. Therefore, the periphery of the vibrating portion of the diaphragm 15 is supported by the inner periphery of the tapered surface of the first ring 37.
  • a step portion 40 whose inner diameter is large at the rear portion is formed on the inner peripheral surface of the first ring 37.
  • the diaphragm unit 55 which has been subjected to the electron beam welding with the diaphragm 15 sandwiched between the first ring 37 and the second ring 39, is brought into contact with the inner surface of the collar 12 of the casing 11.
  • a back electrode 22 is arranged opposite to the diaphragm 15, and an electret film 27 is attached to the back electrode 22 opposite the diaphragm 15.
  • the flange 22 2 b provided on the support 22 of the back pole 22 is fitted into the center hole 23 a of the ring-shaped holding plate 23, and the back pole support 22 is held if it is supported. Protruding behind.
  • the support pole 22 a is threaded at the rear.
  • the screw hole of the terminal 25 is engaged with this, and the back pole 22 is fixedly held on the holding plate 23 by tightening.
  • the holding plate 23 is held in contact with the step 40 on the inner peripheral surface of the first ring 37 via the spacer 20.
  • a catch ring 57 is fitted and held on the back and outer peripheral surfaces of the holding plate 23, and a ring screw 24 is pressed against the back face of the catch ring 57.
  • the ring-shaped screw 24 is screwed to the main screw 17 of the housing 11.
  • a slit 58 is cut in the axial direction from the rear end of the first ring 37, and the slit 58 easily connects with the spacer 20 behind the back pole 22.
  • FIG. 6 shows an example of a condenser microphone using the behavior obtained by the embodiment shown in FIG. 3, and the parts corresponding to those in FIG.
  • the first ring 37 is formed in a cylindrical shape, and the first ring 37 also serves as a microphone housing.
  • the back pole 22 is held in the first ring 37, and the holding Plates 23 are arranged.
  • An auxiliary ring 57 is also accommodated.
  • a screw 1 ⁇ is formed at the rear of the inner peripheral surface of the first ring 37, and a ring-shaped screw is formed on this screw 17.
  • FIG. 7 shows a fourth embodiment of the diaphragm unit of the present invention.
  • a vibrating film 15 is adhered to one surface of the first metal ring 37.
  • the vibration film 15 When a metal film is used as the vibration film 15, the electron beam travels along the outer periphery of the first ring 37. Adhesion is performed by welding, and when a film made of a synthetic resin material such as polyester and a metal layer is applied as the vibration film 15, the vibration film 15 is bonded to the first ring 37 with an adhesive.
  • the metal second ring 39 is bonded to the bonding surface of the first ring 37.
  • the same material as the first ring 37 is preferably used, and the bonding is performed by electron beam welding.
  • a ring-shaped projection 39a of ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ smaller than the inner diameter of the first ring 37 is formed on the body, and the first ring is formed on the outside.
  • a rim 39 b having a diameter larger than the outer diameter of 37 is formed on the body, and a recess for receiving the first ring is formed by the ring-shaped protrusion 39 a and the rim 39 b. .
  • the vibrating membrane 15 is pushed up from the bonding surface to the other surface of the first ring 37 by the ring-shaped protrusion 39a.
  • a predetermined tension is applied.
  • the rim 39a of the second ring 39 is electron beam welded to the outer peripheral surface of the first ring.
  • the first ring 37 is placed on the jig 36 in a vacuum ⁇ 42 vacuumed to about 10— z Torr. Distributed to.
  • the metal film 15 is arranged on one surface of the first ring 37 in a free state substantially flat, and the fixing jig 41 is pressed onto the first ring 37 from above. In this state, the metal film 15 is welded to the first ring 37 over the entire circumference by irradiating the electron beam 43 obliquely.
  • a second ring 39 is arranged on a jig 36 'in the vacuum chamber 42, and a first ring 37 on which a metal film 15 is stretched is placed thereon.
  • the metal ring 15 is disposed from the side, and the first ring 37 is pressed onto the second ring 39 with the jig 41 from above, whereby the protrusion 39 of the second ring 39 is formed.
  • the contact portion of the first ring 37 and the second ring 39 is irradiated obliquely with the electron beam 43 to weld the entire circumference, and the metal film 15 is stretched with a predetermined tension.
  • the resulting diaphragm unit 55 is obtained.
  • 39 may be the first ring and 37 may be the second ring.
  • FIG. 9 shows an example of a microphone using the modified diaphragm unit 55 of the embodiment shown in FIGS. 7 to 8A and 8B.
  • a collar 12 is formed on the front surface of the casing 11, and a diaphragm unit 55 is inserted into the casing 11 so that the second ring 39 is in contact with the collar 12.
  • the first ring 37 is fixed to the housing 11 by screwing the ring-shaped screw 44 into the set screw 17 of the housing 11.
  • a back electrode 22 is arranged facing the diaphragm 15, and an electrode is provided on the diaphragm 15 side of the back electrode 22. II Cretlet film 27 is applied.
  • FIG. 10 shows another embodiment of the condenser microphone according to the present invention, in which parts corresponding to those in FIG. 9 are denoted by the same reference numerals.
  • a free-cutting crystal glass is used as a holding plate 23 made of an insulating material for holding the back electrode 22, and a screw is cut on the outer peripheral surface of the holding plate 23. Further, a ventilation hole 53 is opened by a laser beam as needed. A through hole is formed at the center of the holding plate 23, and the terminal 25 is screwed into the back electrode 22 through the through hole.
  • the diaphragm unit 55 mounted in the housing 11 is given a predetermined tension to the diaphragm 15 by the method described with reference to FIGS. 2A to 2B or FIG.
  • the ring 37 is held between the ring 37 and the second ring 39 and welded along the outer circumference of the ring 37> 39.
  • a screw is cut into the inner peripheral surface of the first ring 32, and the holding plate 23 is screwed there.
  • the depth at which the holding plate 23 is screwed is determined by the capacitance between the diaphragm 15 and the back electrode 22 reaching a predetermined value.
  • a ring-shaped screw 44 behind the first ring 37 is screwed to the main screw 17 of the housing 11 to hold and fix the first ring 37 to the housing 11 and has elasticity.
  • the holding plate 23 is pressed and fixed via the bush 63 made of resin.
  • Free-cutting crystalline glass for example, is sold under the trademark MACOR® by Corning Glass, Inc. in the United States. Is melted and put into a mold to form a desired shape such as a vitreous plate, a square bar, a round bar, etc., and heat-treated to randomly grow microcrystals of synthetic mica in the glass. It is an isotropic composite material consisting of Mic.
  • the holding plate 23 for fixing the back electrode 22 has the same thermal expansion coefficient as that of the material of the back electrode 22 (titanium or titanium alloy) and a large volume resistivity. ⁇ ⁇ Optical glass was used because of its high breaking voltage and no water absorption. However, optical glass is difficult to machine by threading, fine drilling, etc., and it is expensive. As shown in Fig. 10, a screw is attached to the peripheral surface and screwed to the screw on the inner peripheral surface of the first ring 37. The gap between the diaphragm 15 and the back electrode 22 can be easily adjusted to a desired value. Therefore, it is necessary to set the height of the back electrode 22 and the first ring 37 with high accuracy.
  • the precision addition is not required, the spacer 20 is not required, and the holding of the holding member 23 to the housing 11 is easy, so that the microphone can be manufactured at low cost.
  • a fine ventilation hole 53 of, for example, about 0.2 thighs can be formed in the holding member 23 by a laser beam as shown in FIG.
  • an air hole 53 of an arbitrary size is formed at an arbitrary position with respect to the holding plate 23. Can be designed with great flexibility.
  • the vibrating membrane is sandwiched between the first ring and the second ring in a tensioned state and welded or bonded, tension is applied to the vibrating membrane in the microphone.
  • tension is applied to the vibrating membrane in the microphone.
  • the number of parts of the microphone is reduced accordingly, making it easy to assemble, making it compact and inexpensive. If the microphone ring is also used for the first ring, the number of parts will be further reduced, and it will be possible to make it even smaller and cheaper.
  • the diaphragm unit 55 has a coefficient of thermal expansion such as titanium, a titanium alloy, and the casing 11 such as stainless steel. No. You can use the one that suits you.
  • the vibrating membrane is held and tensioned only by the first ring and the second ring, so that the tension of the vibrating membrane is maintained even when the temperature fluctuates. It is not affected by changes in thermal expansion of 5, 7, etc. Therefore, it is not necessary to use the same material for the casing 11, the auxiliary ring 57, and the first and second rings, and it is possible to manufacture a condenser microphone at low cost.

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Description

明 細 書
発明の名称
3ンデ " ィグ ィャノラ Aユー 3Τ Γ その製造方
¾ 及 ζ¾ デンサマイクロ *ン 技術分野
この発明はコ ンデンサマイ ク 口ホン、 特にそれに用いられる ダイ ヤフラムュニッ ト及びその製造方法に関する。
背景技術
従来のコ ンデンサマイ ク ロホ ンを第 1図に示す。 前後が開放 された筒状匣体 1 1 の前方端につば 1 2がー体に形成されてい る。 このつば 1 2 の内面に膜保持用リ ング 1 3 , 1 4が押しつ けられている。 膜保持用リ ング 1 3 , 1 4 にダイ ヤフ ラム （振 動膜） 1 5 の周縁部が挟まれて保持される。 その振動膜 1 5 の 背面に突き上げ筒 1 6が前方に向って押し付けられる。 匣体 11 の内周面に母螺 1 7が形成され、 リ ング状ねじ 1 8が母螺 1 Ί とねじ結合されて膜保持用リ ング 1 3 , 1 4を前方に押えて固 定し、 更にリ ング状ねじ 1 9 , 2 1 が母螺 1 7 とねじ結合され， リ ング状ねじ 1 9 , 2 1 により突き上げ筒 1 6が振動膜 1 5 に 押し付けられる。 この押し付けにより振動膜 1 5 には所望の張 力が与えられる。
振動膜 1 5 の背面と近接対向して背極 2 2が配され、 背極 22 の後部は絶緣材のリ ング找保持板 2 3 により保持され、 保持板 2 3 は母螺 1 7 とねじ結合したリ ング状ねじ 2 1 により保持さ れる。 突き上げ筒 1 6 と保持板 2 3 との閩にスぺーサ 2 0が介 在され振動膜 1 5 と背極 2 2 との間隔が決められる。 リ ング状 ねじ 2 1 の背後に更にリ ング状ねじ 2 4が母螺 1 Ί とねじ結合 されている。 背極 2 2には端子 2 5が取付けられている。 匣体 1 1 の前面にはグリ ツ ド 2 6が被されている。 背極 2 2には振 勣膜 1 5 と対向してエレク ト レ ッ ト膜 2 7が被着されている。
従来のコ ンデンサマイ クロホンの振勖膜 1 5 は突き上げ筒 16 により押されて所定の張力が得られているものであり、 コ ンデ ンサマイ クロホン内に突き上げ筒が内蔵されたものとなってい るためコ ンデンサマイ ク ロホンの形状が大き く、 組立工程数が 多くかつ厄介で高価なものとなる欠点があった。 また振動膜 15 を突き上げ筒 1 6で張力を与え、 その突き上げ筒 1 6をリ ング ねじ 1 9で匣体 1 1に保持しているため、 膜保持用リ ング 1 3 , 1 4、 保持用リ ング犾ねじ 1 8、 突き上げ筒 1 6、 リ ング状ね じ 1 9等を匣体 1 1 と同一材で構成しないと、 周囲温度の変動 で振勖膜 1 5 の張力が変動するおそれがあつた。 また二つのね じ 1 9 , 2 1で固定していても突き上げ筒 1 6 の突き上げ找態 が変化し、 振動膜 1 5 の張力が変化するおそれがあった。
更に第 1図に示すマイ クロホンでは振動膜 1 5 と背極 2 2 と の間隔を高い精度で所定寸法にする必要があるが、 そのために 突き上げ筒 1 6 と背極 2 2 との各高さ （軸心と平行した方向の 長さ） を精密研磨で同一値に任上げ、 スぺーサ 2 0 の厚みで振 動膜 1 5及び背極 2 2 の間隔を確保していた。 この場合、 突き 上げ筒 1 6 と背極 2 2 とに高い加工精度が要求され、 かつスぺ ーサ 2 0を必要とし、 部品点数が多く なり、 これらのためにマ イ ク 口ホンの価格が高く なっていた。
この発明の目的はそれ自体で必要な張力で保持された振動膜 を有する簡単な構造のダイヤフラムユニッ ト及びその製造方法 を提供することである。 この発明のもう 1 つの目的はマイ ク ロホ ン匣体内に組込まれ た状態で振動膜の張力が温度の影響を受けに く いダイ ヤフ ラム ユニッ トを提供するこ とである。
この発明のもう 1 つの目的はダイ ヤフラムュニツ トを組込ん だ簡単な構造のコ ンデンサマイ ク ロホンを提供することである e この発明の更にもう 1 つの目的はコ ンデンサギャ ップの調整 が容易であり、 かつ簡単な構造のコ ンデンサマイ ク ロホ ンを提 供することである。
発明の開示
この発明によるダイ ヤフラムュニッ トは第 1 リ ングと、 第 2 リ ングと、 所定の張力が与えられて周緣がこれら第 i及び第 2 リ ングにより挟持された振動膜を舍む。 このような構成である ため振動膜に張力を与えるための突き上げ筒を用いる必要がな く、 それだけ部品点数が少な く かつ小形のコ ンデンサマイ ク 口 ホ ンを作ることができる。 特に第 1 リ ングをマイ ク ロホ ンの匣 体と兼ねさせることもでき、 その場合は一層小形化が可能とな る。 更に背極を保持する保持板の材料として快削性結晶ガラス を使えばその周面にネジを切るこ とができるのでコ ンデンサギ ャ ップの調整が容易なマイ ク 口ホンを搆成することができる。 またこの発明によれば治具本体に振動膜の周縁部を保持し、 第 1 リ ングを上記治具本体に係合した突き上げ具により押して 振動膜に張力を与え、 その状態で上記第 1 リ ングと第 2 リ.ング とで上記振動膜を挟み、 その後、 上記第 1 リ ング及び第 2 リ ン グと上記振動膜とを電子ビーム溶接する。 このよう にして第 1 リ ング及び第 2 リ ングに振動膜が挟まれ、 それ自体で所定の張 力が与えられているダイ ヤフ ラムュニ 'ン トが得られる。 更にこの発明の他のものによれば振動膜を第 1 リ ングと第 2 リ ングとで挟み、 第 1 リ ング及び第 2 リ ングと振勖膜とを電子 ビームで溶接し、 その後、 第 1 リ ング及び第 2 リ ングの径を押 し拡げて上記振動膜に張力を与える。 この場合も得られたダイ ャフラムュニッ トの振動膜ばそれ自体で所定の張力が与えられ たものとなる。 従ってコ ンデンサマイ クロホンに組込まれた場 合に突き上げ筒を必要としない。
図面の簡単な説明
第 1図は従来のコ ンデンサマイ ク ロホンの例を示す断面図 ； 第 2 A— 2 D図はこの発明のダイ ヤフラムユニッ トの第 1実 施例の製造工程を説明するための断面図 ；
第 3図はダイヤフラムュニッ トの第 2実施例の第 2 D図に対 応する断面図 ；
第 4 A、 4 B図はこの発明のダイ ヤフラムユニッ トを製造す るもう 1つの方法を説明するための断面図 ；
第 5図はこの発明のダイ ヤフラムュニッ トを組込んだコ ンデ ンサマイ ク ロホンの例を示す断面図 ；
第 6図はこの発明のダイヤフラムュニッ トを組込んだコ ンデ ンサマイ ク ロホ ンの他の例を示す断面図 ；
第 7図はこの発明めダィ ャフラムユニッ トの他の例を^^す断 面図 ；
第 8 A、 8 B図ば第 7図のダイ ヤフラムユニッ トを製造する 工程を説明するための断面図 ；
第 9図は第 7図のダイ ヤフ ラムユニッ トを組込んだコ ンデン サマイ ク ロホンの例を示す断面図 ； 及び
第 1 0図は背極を保持するための保持板 2 3を快削性結晶ガ ラスで形成した場合のコ ンデンサマイ ク ロホ ンの一例を示す断 面図である。
発明を実施するための最良の形態
第 2 A〜 2 D図を参照してこの発明による振動板製造法の第 1実施例を説明する。 厚さが l 〜 6 / m程度のチタ ン、 チタ ン 合金、 ニ ッケル合金などの金属の振勤膜 1 5が先ず治具本体 31 に周縁部にて保持される。 この例では治具本体 3 1 は円筒状を しており、 その前面の内周面に一体につば 3 2が形成され、 つ ば 3 2 の背面に振動膜 1 5 の周緣部が膜抑えリ ング 3 3で抑え られる。 治具本体 3 1 の内周面に母螺 3 4が形成され、 母螺 34 に固定リ ング 3 5 の外周面のねじがねじ結合され、 固定リ ング 3 5 により膜抑えリ ング 3 3 はつば 3 2 に抑えられる。 このよ う にして振動膜 1 5が治具本体 3 1 に保持固定される。
次に治具本体 3 1 と係合した突き上げ具 3 6 により、 第 1 リ ング 3 7を振動膜 1 5 に押し付けて振動膜 1 5 に張力が与えら れる。 突き上げ具 3 6 は筒状をしており、 その前方端面に第 1 リ ング 3 7が位置決めされて配され、 後方端外周面にねじつば 3 8がー体に形成され、 ねじつば 3 8 の外周面ねじは母螺 3 4 とねじ結合している。 突き上げ具 3 6を回動することにより第 1 リ ング 3 7 を前方へ押すことができる。 このようにして第 1 リ ング 3 7 を振動膜 1 5が所定の張力となる迄、 前方へ押す。 この犾態で第 2 C図に示すように振動膜 1 5を介して第 1 リ ング 3 7 と対向して第 2 リ ング 3 9 を配し、 つまり第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ング 3 9 とで振動膜 1 5を挟む。 補助具 4 1 によ り第 2 リ ング 3 9 を第 1 リ ング 3 7側に抑え付ける。
この第 2 C図に示した状態で第 2 D図に示すように真空槽 42 内に配し 1 X 10— 2 Torr 程度の真空雰面気とし、 この状態で振 動膜 1 5 と第 2 リ ング 3 9 との境界に電子ビームガン （ E B G ) 4 0からの電子ビーム （スポ ッ ト径が 0. 3 im以下） 4 3を照射 し、 治具本体 3 1、 補助具 4 1 などの全体をその軸心を中心回 転して、 振動膜 1 5 と、 第 1 リ ング 3 7及び第 2 リ ング 3 9 と をその全周で電子ビーム溶接する。 1点での電子ビームの照射 時藺は約 1秒程度でよい。 この溶接が良好に行われるように振 動膜 1 5 と第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9 とは同一材料であ る こ とが望ま しい。
このようにして振動膜 1 5 の張力が溶接前に与えた張力とほ ぼ同じ状態で振動膜 1 5 は第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ング 3 9 と に一体化されダイ ャフ ラムュニ ッ トが搆成される。 第 1 リ ング 3 7及び第 2 リ ング 3 9 に保持された振動膜 1 5 はそれ自体で 所定の張力を与えられているので、 コ ンデンサマイ ク ロホンに 組込む場合に他に従来のような突き上げ筒のような張力付与手 段をコ ンデンサ内に設ける必要がない。
第 3図は第 1 リ ング 3 7 としてマイ クロホン匣体を兼ねるも のを甩いた第 2実施例を示し、 第 2 D図と対応する図である。 つまり第 1 リ ング 3 7 はこの例では円筒状をしている。 この匣 体を兼ねる第 1 リ ングを用いてコ ンデンサマイ ク 口ホンを構成 した例を後で示す。
第 4 A図及び第 4 B図はこの発明の第 3実施例を示し、 第 4 A図に示すように、 第 1固定治具 4 5上に第 1 リ ング 3 了を配 し、 その第 1 リ ング 3 7上に振動膜 1 5を配し、 振動膜 1 5を 介して第 2 リ ング 3 9を第 1 リ ング上に配す、 第 2 リ ング 3 9 上に第 2面定治具 4 6を配置する。 このよう にして振動膜 1 5 は張力が与えられない状態で第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ング 3 9 とに挟まれる。
この状態で 1 X 10-2 Torr 程度の真空槽 4 2内に配し、 振動 膜 1 5 と第 1 リ ング 3 7又は第 2 リ ング 3 9 との接触点に電子 ビーム 4 3を照射すると共に固定治具 4 5 , 4 6を回転させる こ とにより、 振動膜 1 5 と第 1 リ ング 3 7及び第 2 リ ング 3 9 とを電子ビーム溶接する。
その後、 第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9 の柽を押し拡げて 振動膜 1 5 に所定の張力を与える。 例えば第 4 B図に示すよう に、 それぞれ円筒状をしており、 端部の径が小とされた小径部 をもつ補助治具 4 7 , 4 &が用意され、 これら捕助治具 4 7 ,
4 8 の各小径部が第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9内にそれぞ れ嵌合挿入され、 これら補助治具 4 7 , 4 8内に、 端部が円錐 台状とされた拡張治具 5 1 , 5 2が押し込まれ、 その円錐台状 部の周面がそれぞれ補助治具 4 7 , 4 8内の大径部と小径部と の境界縁に押し込まれ、 拡張治具 5 1 , 5 2を互に接近するよ う に押し込むこ とによ り補助治具 5 1 , 5 2を介して第 1 リ ン グ 3 7、 第 2 リ ング 3 9 の各径が拡大され、 振動膜 1 5 に張力 が与えられる。 このよう に径を拡大して張力を与えるには振動 膜 1 5、 第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9 と してチタ ン合金の 形結晶構造のものが拡張し易い点で適している。
上述の何れの場合でも振動膜 1 5 に与える張力を選定するこ とによりマイ ク ロホンの周波数帯域を自由に選択することがで きる。
第 5図に、 第 2 A〜 2 D図、 第 4 A, 4 B図に示した実施例 により得られたダイ ヤフラムュニッ ト 5 5 を用いたコ ンデンサ マイ クロホンの例を示す。 この例では第 1及び第 2 リ ング 3 7 , 3 9 の対接面はテーパ面とされ、 第 1 リ ング 3 7 のテーパ面の 內径ば第 2 リ ング 3 9のテーパ面の内径より小とされ、 かつ第 2 リ ング 3 9 の内側に突出して入り込んでいる。 従つて振動膜 1 5 の振動部周緣は第 1 リ ング 3 7のテーパ面内周緣により支 持されている。 又、 第 1 リ ング 3 7の内周面にはその後方部で 内径が大となる段部 4 0が形成されている。 第 1 リ ング 3 7及 び第 2 リ ング 3 9 で振動膜 1 5を挟み電子ビーム溶接したダイ ャフラムュニッ ト 5 5 は、 匣体 1 1 のつば 1 2 の内面に対接さ れる。 振動膜 1 5 と対向して背極 2 2が配され、 背極 2 2 には 振動膜 1 5 と対向してエ レク ト レッ ト膜 2 7が被着されている < 絶縁材ょりなる リ ング状の保持板 2 3 の中心穴 2 3 aに背極 22 の支柱 2 2 a に設けられたフラ ンジ部 2 2 bが嵌合され、 背極 の支柱 2 2 a ば保持扳 2 3 の背後に突出している。 支柱 2 2 a は後部にネジが切ってあり、 これに端子 2 5 のネジ穴を係合し， 締付けることにより背極 2 2 は保持板 2 3 に固定保持される。 この保持板 2 3 は第 1 リ ング 3 7 の内周面の段部 4 0 にスぺー サ 2 0を介して対接保持される。 保持板 2 3 の背面及び外周面 に捕助リ ング 5 7が嵌合保持され捕助リ ング 5 7の背面にリ ン グ状ねじ 2 4が押し付けられている。 リ ング状ねじ 2 4 は匣体 1 1 の母螺 1 7にねじ結合している。 第 1 リ ング 3 7 の後端か ら軸方向にスリ ッ ト 5 8が切り込まれ、 そのスリ ッ ト 5 8 によ りスぺーサ 2 0 との簡に背極 2 2の背後の背室 2 8 に達する通 路 5 9が形成されこの通路 5 9 は、 匣体 1 1 に形成じた通気孔 6 1を通じて外部と連通している。 保持板 2 3 と端子 2 5 との 間にヮ フ シャ 6 2 が介在されている。 第 3図に示した実施例により得られた振勣扳を用いたコ ンデ ンサマイ ク ロホ ンの例を第 6図に、 第 5図と対応する部分に同 一符号を付けて示す。 第 1 リ ング 3 7 は円筒状に構成され、 第 1 リ ング 3 7 はマイ ク ロホン匣体を兼用するものであり、 第 1 リ ング 3 7内に背極 2 2、 これを保持する保持板 2 3が配され. 更に捕助リ ング 5 7 も収容されている。 第 1 リ ング 3 7 の内周 面の後部に母螺 1 Ίが形成され、 この母螺 1 7 にリ ング状ねじ
2 4がねじ結合され、 第 1 リ ング 3 7 に背極 2 2が保持される < 振動膜 1 5 の前面と対向したグリ 'ン ド 2 6が第 1 リ ング 3 7 の 前方部に被される。
第 7図はこの発明のダイ ヤフラムユニッ トの第 4実施例を示 す。 金属製の第 1 リ ング 3 7 の一面に振動膜 1 5が接着される《 振勣膜 1 5 として金属膜を用いる場合は第 1 リ ング 3 7 に対し、 その外周緣に沿って電子ビーム溶接による接着が行われ、 振動 膜 1 5 としてポリ エステルなどの合成樹脂材の膜に金属層を被 着させたものを用いる場合は接着剤により第 1 リ ング 3 7 に接 着させる。
その第 1 リ ング 3 7 の接着面に対し、 金属製の第 2 リ ング 39 が接着される。 第 2 リ ング 3 9 としては第 1 リ ング 3 7 と同一 材が好ま し く、 その接着は電子ビーム溶接により行われる。 こ の第 2 リ ング 3 9 の内側に、 第 1 リ ング 3 7 の内径より小さい 柽のリ ング状突部 3 9 a がー体に形成され、 外側に第 1 リ ング
3 7 の外径より大きい径のリ ム 3 9 bがー体に形成され、 これ らリ ング状突部 3 9 a とリ ム 3 9 bにより第 1 リ ングを受ける 凹部が形成されている。 このリ ング状突部 3 9 a により振動膜 1 5 はその接着面より第 1 リ ング 3 7 の他面側に突き上げられ 所定の張力が与えられる。 その状態で第 2 リ ング 3 9 のリ ム 3 9 aが第 1 リ ングの外周面に電子ビーム溶接される。
このようなダイヤフラムユニッ ト 5 5 を作るには例えば第 8 A図に示すように、 10— z Torr 程度に真空 きされた真空橒 42 内において、 第 1 リ ング 3 7が治具 3 6上に配される。 その第 1 リ ング 3 7の一面上に金属膜 1 5を自由な扰態でほぼ平坦に 配し、 その上から固定治具 4 1を第 1 リ ング 3 7 に押える。 こ の状態で電子ビーム 4 3を斜め方向から照射して金属膜 1 5を 第 1 リ ング 3 7にその全周にわたって溶接する。
次に第 8 B図に示すように真空槽 4 2内で治具 3 6 ' 上に第 2 リ ング 3 9を配し、 その上に金属膜 1 5を張った第 1 リ ング 3 7を、 その金属膜 1 5側から配し、 更にその上から治具 4 1 で第 1 リ ング 3 7を第 2 リ ング 3 9 に押え、 それによつて第 2 リ ング 3 9 の突部 3 9 aが第 1 リ ング内に突出して金属膜 1 5 に所定の張力を与える。 その扰態で第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ン グ 3 9 の接触部に斜めに電子ビーム 4 3を照射して全周を溶接 して、 所定の張力で張られた金属膜 1 5 のダイヤフラムュニッ ト 5 5が得られる。 なお 3 9を第 1 リ ング、 3 7を第 2 リ ング としてもよい。
次に第 7〜 8 A、 8 B図に示す実施例の変形したダイ ャフラ ムユニッ ト 5 5を用いたマイ ク ロホンの例を第 9図に示す。 匣 体 1 1 の前面につば 1 2が形成され、 つば 1 2に第 2 リ ング 39 が対接するようにダイ ヤフラムュニッ ト 5 5が匣体 1 1内に揷 入されている。 第 1 リ ング 3 7 は匣体 1 1 の母螺 1 7 にリ ング 状ねじ 4 4がねじ込まれて匣体 1 1 に固定される。 振動膜 1 5 と対向して背極 2 2が配され、 背極 2 2 の振動膜 1 5側にエ レ II ク ト レッ ト膜 2 7が被着されている。 第 1 リ ング 3 7 の内周に 形成された段部にスぺーサ 2 0を介して対接するように保持板 2 3が挿入され、 その保持板 2 3 に背極 2 2が保持される。 保 持板 2 3 は補助リ ング 5 7を介してリ ング状ねじ 2 4 により固 定保持される。 リ ング状ねじ 2 4 は母螺 1 7 にねじ込まれる。 背極 2 2 にヮ ッ シャ 6 2を介して端子 2 5が取付けられる。 第 1 0図はこの発明のコ ンデンサマイ ク 口ホンの他の実施例 を示し、 第 9図と対応する部分に同一符号を付けてある。 この 発明においては背極 2 2を保持する絶縁材の保持板 2 3 として 快削性結晶ガラスが用いられ、 その保持板 2 3 の外周面にはね じが切られている。 更に必要に応じてレーザ光ビームにより通 気孔 5 3が開けられている。 また保持板 2 3 の中心に揷通孔が 形成され、 この揷通孔を通じ端子 2 5が背極 2 2 にねじ込まれ ている。 匣体 1 1 内に装着されているダイ ヤフラムュニッ ト 55 は第 2 A〜 2 B図又は第 3図で説明したような方法で振動膜 15 に所定の張力を与えてその周緣部を第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ン グ 3 9 とにより挟持し、 リ ング 3 7 > 3 9 の外周に沿って溶接 して構成したものである。 第 1 リ ング 3 2 の内周面にねじが切 られ、 そこに保持板 2 3がねじ込まれる。 保持板 2 3 をねじ込 む深さは振動膜 1 5 と背極 2 2 との間の静電容量が所定値にな ることによって決められる。 第 1 リ ング 3 7 の背後にリ ング状 ねじ 4 4が匣体 1 1 の母螺 1 7 にねじ結合されて、 第 1 リ ング 3 7を匣体 1 1 に保持固定するとともに弾性を有する樹脂で作 られたブッ シュ 6 3 を介して保持板 2 3 を押し固定する。
快削性結晶ガラスは例えば米国のコーニンダグラス社からマ コール （MAC0R)という商標で発売されているもので、 ます原料 を溶融して型に入れ、 ガラス質板、 角棒、 丸棒など所望の形袄 体を作り、 これを熱処理して、 ガラス中に合成雲母の微結晶を ラ ンダムに成長させたガラスとセラ ミ ック とからなる等方性の 複合材料である。 この快削性結晶ガラスは熱膨張係数がチタン 合金に比較的近く、 9. 4 X lO - 6 / *Cであり、 体積抵抗率が高く， 優れた絶緣性を示し、 101 δ Ω αη以上であり、 吸水率が 0で耐水 性に優れ、 切削加工が可能で複雑な形状に加工でき、 ねじ切り もできる。
従来においては背極 2 2を固定する保持板 2 3 として、 背極 2 2 の材料 （チタンまたはチタ ン合金） の熱膨張係数と同程度 の熱膨張係数があり、 かつ体積抵抗率が大き く、 铯緣破壌電圧 が高く、 吸水率がない点から、 光学ガラスが用いられていた。 しかし光学ガラスはねじ切り、 微細な孔あけなどの加工が困難 であり、 しかも高価であつたが、 この発明においてば背極 2 2 の保持板 2 3 として快削性結晶ガラスを用いたため、 ねじ加工 ができ、 第 1 0図に示したように周面にねじを付け、 第 1 リ ン グ 3 7の内周面のねじにねじ結合させているため、 保持扳 2 3 を画動することにより、 振動膜 1 5 と背極 2 2 との間隙を所望 の値に容易に調整することができ、 このため背極 2 2、 第 1 リ ング 3 7 の高さを高精度に設定する必要がなく、 つまり精密加 ェを必要とせず、 スぺーサ 2 0が不要であり、 かつ保持扳 2 3 の匣体 1 1への保持も簡単であり、 マイ ク ロホンを安価に作る ことができる。 更に保持板 2 3 の加工が容易なため、 第 1 0図 に示すように保持扳 2 3 に例えば 0. 2 腿程の微細な通気孔 5 3 をレーザ光ビームにより形成するこ とができる。 しかも保持板 2 3 に対し任意の大きさの通気孔 5 3を任意の位置に^成する ことができ、 設計の自由度が大きい。
以上述べたようにこの発明によれば第 1 リ ング及び第 2 リ ン グに振動膜が張力付与状態で挟まれて溶接あるいは接着されて いるため、 マイ ク ロホ ン内に振動膜に張力を与えるための突き 上げ筒などを必要とせず、 これに伴ってマイ ク ロホンの部品点 数が少な く なり、 組立ても簡単で、 小形にして安価に作ること が可能となる。 第 1 リ ングにマイ ク ロホン匣体を兼用させる場 合は部品点数が更に少な く なり、 一層小形かつ安価に作る こと が可能となる。
第 1 リ ング及び第 2 リ ングに振動膜が挟まれて電子ビーム溶 接させているため振動膜の張力が緩和され難く、 所定値に保持 される。 第 5、 6、 9及び 1 0図に示すコ ンデンサマイ ク ロホ ンの実施例ではダイ ヤフラムュニ ッ ト 5 5 と してチタ ン、 チタ ン合金、 匣体 1 1 と してステンレスなど熱膨張係数が違う それ それに適したものを用いることができる。
更にこの発明では第 1 リ ングと第 2 リ ングとのみにより振動 膜が保持され、 かつ張力が与えられているため、 温度変動があ つても振動膜の張力が匣体 1 1、 補助リ ング 5 7、 等の熱膨張 変化の影響を受けない。 従って匣体 1 1、 補助リ ング 5 7等と、 第 1、 第 2 リ ングとを同一材とする必要がな く、 安価にコ ンデ ンサマイ ク ロホ ンを作る こ とが可能となる。

Claims

請求の範囲
(1) 金属の第 1 リ ングと金属の第 2 リ ングとにより金属の振動 膜の周緣部が挟まれ、 その振動膜に所定の張力が与えられて おり、 かつこれら第 1 リ ング及び第 2 リ ングと振動膜とが電 子ビーム溶接されているコ ンデンサマイ ク 口ホンのダイヤフ ラムュ,ニッ—卜。
(2) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方は他方より長い円筒状であ り、 コ ンデンサマイ クロホンの匣体を構成していることを特 徴とする:' 請求の範囲第 1項記載のコ ンデンサマイ クロホ ンのダイヤフラムユニッ ト。
(3) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方の内周面にばネジが切られ ている ' 請求の範面第 1項記載のコ ンデンサマイ クロホ ン のダイ ヤフラムユニッ ト。
(4) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方の内周面には上記振動膜側 で内径が小となる段部が形成されている - 請求の範囲第 1 項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホンのダイ ャフラムュニッ ト。
(5) 上記第 1 リ ングの上記第 2 リ ングと対向する端面の内周縁 部から上記第 2 リ ングの内側に突出するリ ング状突部が上記 第 1 リ ングに一体に形成されている— . 請求の範面第 1項記 載のコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤフラムユニ ッ ト。
(6) 上記第 1及び第 2 ングの互いに対向する端面は上記振動 膜を介して対接する環状テーパ面を有し、 上記第 1 リ ングの 上記環扰テーパ面は上記第 1 リ ングの丙周面に向かうにつれ 上記第 2 リ ング側に突出し、 かつそのテーパ面の内周径は上 記第 2 リ ングの上記環祅テーパ面の内周径より小とされた 請求の範通第 1 項記載のコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤ フラムュニ ッ ト。
(7) 上記第 1 リ ングの上記第 2 リ ングと対向する上記端面の外 周緣部から上記第 2 リ ングの外周に沿って軸方向に突出した リ ムが一体に形成されている；, . . 請求の範囲第 5項記載のコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤフラムュニ ッ ト。
(8) 金属の第 1 リ ングと、
その第 1 リ ングの一面に周緣部が接着された振動膜と、 上記第 1 リ ングの内径より径が小さいリ ング状突部を有し- その突部により上記振動膜を、 その接着面より も第 1 リ ング の他面側に突き上げ、 上記第 1 リ ングと対接されて溶接され ている金属の第 2 リ ングとよ り なるコ ンデンサマイ ク ロホ ン のダイ ヤフラムュニ ッ ト。
(9) 上記第 2 リ ングの外周緣部から上記第 1 リ ングの外周に沿 つて軸方向に突出したリ ムが一体に形成されており、 上記リ ムの周縁部は上記第 1 リ ングの外周に電子ビーム溶接されて いる . '請求の範囲第 8項記載のコ ンデンサマイ り 口ホ ンの ダイ ヤフ ラムュニ ッ ト。
(10) 上記振動膜は金属であり、 その周緣部は上記第 1 リ ングの 外周縁に電子ビーム溶接されている . 請求の範囲第 8項又 は 9項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホ ンのダイ ヤフラムュニ ッ 卜 β
(ID 上記第 1及び第 2 リ ングの一方は他方より軸方向に長い円 筒状であり コ ンデンサマイ ク 口ホ ンの匣体を構成している- . 請求の範囲第 1 0項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ンのダイ ャフ ラムュニ ッ ト。
02) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方は他方より軸方向に長い円 筒扰であり、 その内周面にネジが切られている^ . '.請求の範 面第 1 0項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ンのダイ ヤフラムュ ニッ ト。
G3) 上記第 1及び第.2 リ ングの一方は他方より敏方向に長い円 筒扰であり、 その内) W面には上記振動膜側で内径が小となる 段部が形成されている、 請求の範囲第 1 0項記載のコ ンデ ンサマイ ク ロホンのダイヤフラムユニッ ト。
m 治具本体に金属の振動膜の周縁部を保持し、
金属の第 1 リ ングを、 上記治具本体に係合した突き上げ具 により押して上記振動膜に所定の張力を与え、
その状態で上記振勣膜を上記第 1 リ ングと金属の第 2 リ ン グとで挟み、
その後、 上記第 1 リ ング及び上記第 2 リ ングと上記振動膜 とを電子ビーム溶接するコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤフ ラムュニッ トの製造法。
(13 金属の振動膜を金属の第 1 リ ングと金属の第 2 リ ングとで 挟み、
その第 1 リ ング及び第 2 リ ングと振動膜とを電子ビーム溶 接し、
その後、 第 1 リ ング及び第 2 リ ングの柽を押し拡げて上記 振動膜に所定の張力を与えるコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ャフ ラムユニッ トの製造法。
金属の振動膜を金属の第 1 リ ングの一方の端面の外周緣に 電子ビーム溶接し、
金属の第 2 リ ングの一方の端面に一体に形成された上記第 1 リ ングの内径より小さいリ ング状突部を上記振勣膜に圧接 して所定の張力を与え、
上記第 2 リ ングの外周縁に一体に形成したリ ムを上記第 1 リ ングの外周面に電子ビーム溶接するコ ンデンサマイ ク 口ホ ンのダイ ヤフラムュニ ッ トの製造方法。
m 上記第 1 リ ングはコ ンデンサマイ ク ロホンの匣体を構成す る ものである こ とを特徵とする ' . 請求の範囲第 1 4、 1 5 又は 1 6項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホンのダイ ャフラムュ 二ッ 卜の製造方法。
(18) 所定の張力が与えられた振動膜と、 その振動膜の周緣部を 挟持し互いに電子ビームに溶接された金属の第 1及び第 2 リ ングとから成る一体のダイ ヤフラムュニッ ト と、
上記ダイ ヤフラムュニッ トの上記第 1 リ ングに係合して配 置された絶緣体の保持板と、
上記保持板に保持され上記振動膜と所定の空隙を作るよう に配置された背極と、
上記保持板の背後に設けられ、 上記保持板を上記第 1 リ ン グに固定するための固定手段、
とを舍むコ ンデンサマイ ク 口ホ ン。
(19) 上記第 1 リ ングは円筒找であり、 その内周面には段部が形 成され、 スぺーサを介して上記保持板が上記段部に圧接され ている ' ..請求の範囲第 1 8項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ン。
^ 上記ダィ ャフ ラムュニ ッ トは、 前端面にフ ラ ンジ部が一体 に形成された円筒找匣体内に上記フラ ンジの内側面に対接す るよう装着されている ノ- 請求の範囲第 1 8又は 1 9項記載 のコ ンデンサマイ ク ロホ ン。 1)上記第 1 リ ングはその後部が軸方向に延長された円筒扰で あり、 その後部の丙周面にはネジが切られてネジ穴とされ、 上記保持板は上記第 1 リ ング内に配置され、 上記保持板の背 後において上記固定手段の外周面に形成されたネジが上記ネ ジ穴にネジ込まれている ：. ... 請求の範囲第 1 8又は 1 9項記 載のコ ンデンサマイ ク ロホン。
(22)上記ダイャフラムュニッ トの前方部は少く とも 1 つの穴が 開けられた前面を有する円筒キヤ ップ内に掙入されている
•請求の範西第 2 1項記載のコ ンデンサマイ ク ロホン。
(23)円筒钦の匣体内に振動膜が保持され、 その振動膜と対向し て背極が匣体内に配され、 その背極は铯緣材の保持板により 匣体に保持された静電澎マイ クロホンにおいて、
上記絶緣材の保持板として快削性結晶ガラスが用いられ、 かつその保持板はねじ結合により上記匣体内に保持されて いることを特徴とするコ ンデンサマイ クロホン。
(24)上記保持板には、 上記振動膜の背室と外部とを通じる通気 孔が形成されていることを特徴とする · 請求の範囲第 2 3 項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホン。
(25)上記振勖膜は所定の張力が与えられてその周緣部が金属の 第 1及び第 2 リ ングに挟持され、 上記第 1及び第 2 リ ングは 互いに電子ビーム溶接され上記振動膜と兵に一体のダィャフ ラムユニッ トを構成している - 請求の範囲第 2 3又は 2 4 項記戴のコ ンデンサマイ ク ロホン。
(26)上記第 1 リ ングはその後部が軸方向に延長された円筒状で あり、 その内周面にネジが切られており、 上記保持板は上記 第 1 リ ングにネジ結合されている 請求の範西第 2 5項記 載のコ ンデンサマイ ク 口ホ ン。
(27)上記匣体の前端面は一体に形成されたフラ ンジ部を有し、 上記ダイ ヤフラムュニッ トは上記フラ ンジ部の内側面に対接 して上記匣体内に装着され、 上記匣体の後部内周面にネジが 切られておりそこに上記第 1 リ ングを固定するためのリ ング 状ネジがネジ込まれて上記第 1 リ ングの後端と圧接されてい る 請求の範囲第 2 6項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ン。
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