JPS6166500A - コンデンサ型耐高温・耐放射線マイクロホン - Google Patents
コンデンサ型耐高温・耐放射線マイクロホンInfo
- Publication number
- JPS6166500A JPS6166500A JP59188032A JP18803284A JPS6166500A JP S6166500 A JPS6166500 A JP S6166500A JP 59188032 A JP59188032 A JP 59188032A JP 18803284 A JP18803284 A JP 18803284A JP S6166500 A JPS6166500 A JP S6166500A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tension
- tension ring
- metal
- ring
- vibrating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
- H04R7/04—Plane diaphragms
- H04R7/06—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
- H04R7/08—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers comprising superposed layers separated by air or other fluid
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/04—Microphones
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、高温雰囲気、高放射線下において高感度で
、良好な周波数特性ともつ、コンデンサ型＃を高温・耐
放射線マイクロホンに関する。
、良好な周波数特性ともつ、コンデンサ型＃を高温・耐
放射線マイクロホンに関する。
マイクロホンは、振動を電気信号に変換するものとして
、オーディオの世界のみ々らずセンサとして産業分野に
おいて使用されている。そして、多くは常温において使
用されているが。
、オーディオの世界のみ々らずセンサとして産業分野に
おいて使用されている。そして、多くは常温において使
用されているが。
高温において使用さ几るものとして圧電セラミック型マ
イクロホンがある。この圧電セラミック型マイクロホン
は１例えば原子炉内における高放射線下（１０’Ｒ）の
高温冷却材（約７００℃のＮａ）内で使用されている。
イクロホンがある。この圧電セラミック型マイクロホン
は１例えば原子炉内における高放射線下（１０’Ｒ）の
高温冷却材（約７００℃のＮａ）内で使用されている。
しかし、この圧電セラミック型マイクロホンは、高温雰
囲気においては１０５〜１２０ｄＢと感度がきわめて低
い。それ故、この圧電セラ゛ミック型マイクロホンを高
温雰囲気に使用しても。
囲気においては１０５〜１２０ｄＢと感度がきわめて低
い。それ故、この圧電セラ゛ミック型マイクロホンを高
温雰囲気に使用しても。
レベルの小さい音を検出できない。なお、当然能のタイ
プのマイクロホンは高温使用に耐えることができない。
プのマイクロホンは高温使用に耐えることができない。
したがって、従来のマイクロホンには、高温雰囲気にお
いてセンサとしてレベルの小さい音を検出できないとい
う問題点がある。
いてセンサとしてレベルの小さい音を検出できないとい
う問題点がある。
この発明は、この工うな従来技術の問題点全解決する目
的でなされたものであって、この発明のコンデンサ型耐
高温・耐放射線マイクロホンは、コンデンサ型マイクロ
ホンにおいて、テンションリングおよび電極全線膨張率
が小さい金属で構成するとともに絶縁物構成部品を除く
他の構成部品を該金属よＶ線膨張率が大きい金属で構成
し、該テンションリングをテンションリングホルダに取
り付けるとともに該電極を該テンションリングホルダに
絶縁物を介して取り付けて該テンションリングお工び該
電極を該テンションリングホルダと一体構造にしたもの
である。
的でなされたものであって、この発明のコンデンサ型耐
高温・耐放射線マイクロホンは、コンデンサ型マイクロ
ホンにおいて、テンションリングおよび電極全線膨張率
が小さい金属で構成するとともに絶縁物構成部品を除く
他の構成部品を該金属よＶ線膨張率が大きい金属で構成
し、該テンションリングをテンションリングホルダに取
り付けるとともに該電極を該テンションリングホルダに
絶縁物を介して取り付けて該テンションリングお工び該
電極を該テンションリングホルダと一体構造にしたもの
である。
以下、この発明を図面に基づいて説明する。
図は、この発明の一実施例金示す図である。
まず構成を説明すると、１はマイクロホンのボデ一部を
構成するマイク・ボデー、２はマイク・ボデー１の一端
部に嵌着された底蓋、３はマイク・ボデー１の他端部内
周面に螺着されたマイク構造体、４はマイク構造体３の
一端部外周面に螺着された振動膜第１固定リング、５は
ネー、７乙に裏って振動膜第１固定リング４に固定され
た振動膜、７は振動膜５を介して振動膜第１固定リング
４に嵌着された振動膜第２固定リング、８は振動膜第２
固定リング７上に置かれた前面グリッド、９は振動膜第
１固定リング４の外周面に螺着されて、前面グリッド８
′ｆ：振動膜第２固定リング７１Ｃ固定するグリッド固
定リング、１０は振動膜５にテンションを付与するテン
ションリング、１１はマイク構造体３の内周面に螺着さ
れて、テンションリング１０お工び電極１２を保持する
テンションリングホルダである。
構成するマイク・ボデー、２はマイク・ボデー１の一端
部に嵌着された底蓋、３はマイク・ボデー１の他端部内
周面に螺着されたマイク構造体、４はマイク構造体３の
一端部外周面に螺着された振動膜第１固定リング、５は
ネー、７乙に裏って振動膜第１固定リング４に固定され
た振動膜、７は振動膜５を介して振動膜第１固定リング
４に嵌着された振動膜第２固定リング、８は振動膜第２
固定リング７上に置かれた前面グリッド、９は振動膜第
１固定リング４の外周面に螺着されて、前面グリッド８
′ｆ：振動膜第２固定リング７１Ｃ固定するグリッド固
定リング、１０は振動膜５にテンションを付与するテン
ションリング、１１はマイク構造体３の内周面に螺着さ
れて、テンションリング１０お工び電極１２を保持する
テンションリングホルダである。
電極１２は、ガラス絶縁物１３にナツト１４によって取
り付けられ、ガラス絶縁物１３は。
り付けられ、ガラス絶縁物１３は。
テンションリングホルダ１１の内周面に螺着された絶縁
物固定リング１５にエリ、絶縁物中間座金１６を介して
テンションリングホルダ１１に固定されている。テンシ
ョンリング１０および電極１２に、線膨張率が小さい金
属６例えば９．５ Ｘ １０−６の線膨張率をもつチタ
ンで構成され。
物固定リング１５にエリ、絶縁物中間座金１６を介して
テンションリングホルダ１１に固定されている。テンシ
ョンリング１０および電極１２に、線膨張率が小さい金
属６例えば９．５ Ｘ １０−６の線膨張率をもつチタ
ンで構成され。
ガラス絶縁物１３等の絶縁物構成部品を除く他の構成部
品１例えばマイク・ボデー１等は、該金属より線膨張率
が大きい金属１例えば１７．３×１０４の線膨張重音も
つステンレス鋼で構成されている。ガラス絶縁物１３等
の絶縁物として１例えばアルミノシリケートガラスが用
いられている。
品１例えばマイク・ボデー１等は、該金属より線膨張率
が大きい金属１例えば１７．３×１０４の線膨張重音も
つステンレス鋼で構成されている。ガラス絶縁物１３等
の絶縁物として１例えばアルミノシリケートガラスが用
いられている。
なお、チタン、ステンレス鋼、ガラス絶縁物は高放射線
（１０７Ｒ）下でも使用できる。
（１０７Ｒ）下でも使用できる。
ガラス絶縁物１３の上面から電極１２の先端までの高さ
は、ガラス絶縁物゛１３の上面からテンションリング１
０の先端までの高さより４０〜５０μｍ低く形成されて
いる。したがって、テンションリング１０が振動膜５を
振動膜５の固定面より上方向に押し上げて振動膜５にテ
ンションを付与した状態において、振動膜５と電極１２
の間隙は４０〜５０μｍに保持されている。
は、ガラス絶縁物゛１３の上面からテンションリング１
０の先端までの高さより４０〜５０μｍ低く形成されて
いる。したがって、テンションリング１０が振動膜５を
振動膜５の固定面より上方向に押し上げて振動膜５にテ
ンションを付与した状態において、振動膜５と電極１２
の間隙は４０〜５０μｍに保持されている。
テンションリング１０お工び電極１２はテンションリン
グホルダ１１と一体構造となっているので、テンション
リングホルダ１１を上下動させれば、テンションリング
１０および電極１２も一体となって上下動し、振動膜５
のテンションは変化するが、振動膜５と電翫１２の間隙
は常に４０〜５０ ｔｔｍに保持されている。
グホルダ１１と一体構造となっているので、テンション
リングホルダ１１を上下動させれば、テンションリング
１０および電極１２も一体となって上下動し、振動膜５
のテンションは変化するが、振動膜５と電翫１２の間隙
は常に４０〜５０ ｔｔｍに保持されている。
テンションリングホルダ１１の調節により所望のテンシ
ョンが得られた後は、テンション固定リング１７をマイ
ク構造体３の内周面に螺着してテンションリングホルダ
１１をロックする。
ョンが得られた後は、テンション固定リング１７をマイ
ク構造体３の内周面に螺着してテンションリングホルダ
１１をロックする。
すべての構成物品は温度の上昇とともに膨張する。振動
膜５も当然に半径・筒長各方向に膨張するが、振動膜５
自体の厚さは半径方向の長さにくらべてきわめて薄いの
で、振動１漠５自体の筒長方向の膨張は無視でき、膨張
に伴う振動膜第１固定リング４の筒長方向の変位により
。
膜５も当然に半径・筒長各方向に膨張するが、振動膜５
自体の厚さは半径方向の長さにくらべてきわめて薄いの
で、振動１漠５自体の筒長方向の膨張は無視でき、膨張
に伴う振動膜第１固定リング４の筒長方向の変位により
。
振動膜第１固定リング４の上面に固定されている振動、
摸５も筒長方向に変位するゆ テン／クンリング１０ば、振動膜第１固定リング４の上
面裏り振動膜５を上方向に押し上げて振動膜５に一定の
テンションを付与しているので、その押し上げている分
だけテンションリング１０は振動膜第１固定リング４エ
リ高くなっている。しかし、テンションリング１０が振
動膜第１固定リング４と同じ材質であるならば１両者の
間に長さの相違があっても、その膨張は相似形となるの
で、温度上昇に伴う両者の変位は等しくなり、振動膜５
の張力は温度変化に工って変化しない。しかしながら、
温度上昇および時間経過に伴いクリープに裏って、振動
膜５の伸びが増大する。
摸５も筒長方向に変位するゆ テン／クンリング１０ば、振動膜第１固定リング４の上
面裏り振動膜５を上方向に押し上げて振動膜５に一定の
テンションを付与しているので、その押し上げている分
だけテンションリング１０は振動膜第１固定リング４エ
リ高くなっている。しかし、テンションリング１０が振
動膜第１固定リング４と同じ材質であるならば１両者の
間に長さの相違があっても、その膨張は相似形となるの
で、温度上昇に伴う両者の変位は等しくなり、振動膜５
の張力は温度変化に工って変化しない。しかしながら、
温度上昇および時間経過に伴いクリープに裏って、振動
膜５の伸びが増大する。
これに対してこの発明においては、テンションリング１
０に振動膜第１固定リング４エリ線膨張率が小さい金属
を使用しているので１両者の膨張は相似形とならず、温
度上昇に伴うテン７ヨ／リング１０の筒長方向の伸びが
振動膜第１固定リング４のそれにくらべて小さい。した
がって、常温時にくらべ、テンションリンク１０によっ
て振動膜５に付与している張力は小さくなる。このため
、テンションリング１０と振動膜第１固定リング４が同
質である場合にくらべ。
０に振動膜第１固定リング４エリ線膨張率が小さい金属
を使用しているので１両者の膨張は相似形とならず、温
度上昇に伴うテン７ヨ／リング１０の筒長方向の伸びが
振動膜第１固定リング４のそれにくらべて小さい。した
がって、常温時にくらべ、テンションリンク１０によっ
て振動膜５に付与している張力は小さくなる。このため
、テンションリング１０と振動膜第１固定リング４が同
質である場合にくらべ。
振動膜５の張力は、Ｊ・さくなり、それ故温度上昇に伴
うクリープによる振動膜５の伸びも小さくなる。
うクリープによる振動膜５の伸びも小さくなる。
なおこの発明においては高温時におけるクリープの影響
が少ないので、高温時使用から常温時使用に変わっても
、常温時の張力に復帰する。
が少ないので、高温時使用から常温時使用に変わっても
、常温時の張力に復帰する。
電極１２は、テンションリング１０と同じ材質でテンシ
ョンリングホルダ１１金介してテンションリング１０と
一体でアリ、テンションリング１０と同じ工うに変位す
るので、温度が上昇しても振動膜５と電極１２の間隙は
ほとんど変化しない。
ョンリングホルダ１１金介してテンションリング１０と
一体でアリ、テンションリング１０と同じ工うに変位す
るので、温度が上昇しても振動膜５と電極１２の間隙は
ほとんど変化しない。
この発明においては、高温になっても、振動膜の張力の
減少にエリクリープの影響が抑制され、かつ振動膜と電
極の間隙がほとんど変化しない。それ故、高温、高放射
線下で高感度で。
減少にエリクリープの影響が抑制され、かつ振動膜と電
極の間隙がほとんど変化しない。それ故、高温、高放射
線下で高感度で。
良好な周波数特性をもつマイクロホンが得られる。ちな
みに、３００ｔ１ｍにおいて、感度は７４士３ｄＢであ
り９周波数特性は５００−１０ＫＨｚにおいて±５ｄＢ
である。したがって、この発明によれば、従来検出でき
なかった高温雰囲気にオケルレヘルの小さい音を検出す
ることができるという効果が得られる。
みに、３００ｔ１ｍにおいて、感度は７４士３ｄＢであ
り９周波数特性は５００−１０ＫＨｚにおいて±５ｄＢ
である。したがって、この発明によれば、従来検出でき
なかった高温雰囲気にオケルレヘルの小さい音を検出す
ることができるという効果が得られる。
図はこの発明の一実施例を示す一部断面を含む側面図で
ある。 ５・・・振動膜、１０・・・テンションリ／グ、１１・
・・テンションリングホルダ、１２・・・電極特許出願
人 動力炉・核燃料開発事業団赤井電機株式会社 手続補正書（自発） 昭和５９年１０月９日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第１８８０３２号 ２発明の名称 コンデ／す型耐高温・耐放射線マイクロホ／３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区赤坂１丁目９番１３号名 称 動
力炉・核燃料開発事業団 代表者 吉 １） 登 ４代 理 人 〒１０７１ 電話０３−５７３
−５４８０６補正により増加する発明の数 ゼ ロ（
１）明細書第２頁第１３行のｒ１０５−１２０ｃｌＢ」
をｒ−１０５〜−１２０ｄＢ」と補正する。 （２） 明細書第９頁第２行〜３行の「７４±３ｄＪ
を「−７４±３ｄＢ」と補正する。
ある。 ５・・・振動膜、１０・・・テンションリ／グ、１１・
・・テンションリングホルダ、１２・・・電極特許出願
人 動力炉・核燃料開発事業団赤井電機株式会社 手続補正書（自発） 昭和５９年１０月９日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第１８８０３２号 ２発明の名称 コンデ／す型耐高温・耐放射線マイクロホ／３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区赤坂１丁目９番１３号名 称 動
力炉・核燃料開発事業団 代表者 吉 １） 登 ４代 理 人 〒１０７１ 電話０３−５７３
−５４８０６補正により増加する発明の数 ゼ ロ（
１）明細書第２頁第１３行のｒ１０５−１２０ｃｌＢ」
をｒ−１０５〜−１２０ｄＢ」と補正する。 （２） 明細書第９頁第２行〜３行の「７４±３ｄＪ
を「−７４±３ｄＢ」と補正する。
Claims (1)
- １、コンデンサ型マイクロホンにおいて、テンションリ
ングおよび電極を線膨張率が小さい金属で構成するとと
もに絶縁物構成部品を除く他の構成部品を該金属より線
膨張率が大きい金属で構成し、該テンションリングをテ
ンションリングホルダに取り付けるとともに該電極を該
テンションリングホルダに絶縁物を介して取り付けて、
該テンションリングおよび該電極を該テンションリング
ホルダと一体構造にしたことを特徴とするコンデンサ型
耐高温・耐放射線マイクロホン
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59188032A JPS6166500A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | コンデンサ型耐高温・耐放射線マイクロホン |
| CA000488707A CA1230410A (en) | 1984-09-10 | 1985-08-14 | Condenser microphone having resistance against high temperature and radioactive rays |
| US06/766,433 US4648480A (en) | 1984-09-10 | 1985-08-16 | Condenser microphone having resistance against high-temperature and radioactive rays |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59188032A JPS6166500A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | コンデンサ型耐高温・耐放射線マイクロホン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166500A true JPS6166500A (ja) | 1986-04-05 |
| JPH0426280B2 JPH0426280B2 (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=16216468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59188032A Granted JPS6166500A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | コンデンサ型耐高温・耐放射線マイクロホン |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4648480A (ja) |
| JP (1) | JPS6166500A (ja) |
| CA (1) | CA1230410A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418898U (ja) * | 1987-07-22 | 1989-01-30 | ||
| JPH01225283A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-08 | Toshiba Corp | 画像読み取り方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0305540B1 (en) * | 1987-03-04 | 1994-11-23 | Hosiden Corporation | Diaphragm unit of a condenser microphone, a method of fabricating the same, and a condenser microphone |
| US5038459A (en) * | 1987-03-04 | 1991-08-13 | Hosiden Electronics Co., Ltd. | Method of fabricating the diaphragm unit of a condenser microphone by electron beam welding |
| AT395225B (de) * | 1990-02-12 | 1992-10-27 | Akg Akustische Kino Geraete | Elektrostatischer wandler |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4925416U (ja) * | 1972-06-01 | 1974-03-04 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3240883A (en) * | 1961-05-25 | 1966-03-15 | Shure Bros | Microphone |
| DE1171960B (de) * | 1961-07-08 | 1964-06-11 | Schall Technik Dr Ing Karl Sch | Kondensatormikrophon mit mehreren wahlweise einstellbaren Richtcharakteristiken |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP59188032A patent/JPS6166500A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-14 CA CA000488707A patent/CA1230410A/en not_active Expired
- 1985-08-16 US US06/766,433 patent/US4648480A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4925416U (ja) * | 1972-06-01 | 1974-03-04 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418898U (ja) * | 1987-07-22 | 1989-01-30 | ||
| JPH01225283A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-08 | Toshiba Corp | 画像読み取り方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426280B2 (ja) | 1992-05-06 |
| CA1230410A (en) | 1987-12-15 |
| US4648480A (en) | 1987-03-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5477738A (en) | Multi-function differential pressure sensor with thin stationary base | |
| JP3238492B2 (ja) | 圧電センサ | |
| US5854846A (en) | Wafer fabricated electroacoustic transducer | |
| US4127840A (en) | Solid state force transducer | |
| US20190245133A1 (en) | Piezoelectric device | |
| JPS6166500A (ja) | コンデンサ型耐高温・耐放射線マイクロホン | |
| US3447217A (en) | Method of producing ceramic piezoelectric vibrator | |
| US2905771A (en) | Piezoresistive semiconductor microphone | |
| US4495385A (en) | Acoustic microphone | |
| JPH08205273A (ja) | 骨伝導音声振動検出素子および骨伝導音声振動検出装置 | |
| US4610062A (en) | Method of making an acoustic microphone | |
| JPH0850142A (ja) | 半導体加速度センサ及びその製造方法 | |
| CN103561375B (zh) | 一种mems传声器 | |
| US3335233A (en) | Transducer for converting mechanical into electrical oscillations | |
| JPS5857754A (ja) | 半導体圧力電気変換装置 | |
| JPS63104385A (ja) | 高分子圧電素子 | |
| TWI398172B (zh) | Microphone vibration film and electret condenser microphone | |
| JPS58102566A (ja) | 半導体圧力変換器 | |
| JPH0486535A (ja) | 歪抵抗装置に於ける抵抗ブリッジ | |
| JP2000162068A (ja) | 半導体圧力センサの構造 | |
| JPS5935113A (ja) | ノツクセンサ | |
| JPH01235825A (ja) | 圧力センサ | |
| JPS581551B2 (ja) | 半導体圧力変換器 | |
| JPH05145996A (ja) | 静電型音響変換器 | |
| JPS58103633A (ja) | 半導体圧力変換器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |