WO1986005034A1 - Film connector and method of manufacturing same - Google Patents

Description

明 細 書

発明の名称

フ ィ ル ム コ ネクタおよびその製造方法

技術分野

5 本発明は、 例えば液晶表示パネルと駆動モ ジュ ー ル との電気 的 接続や、 高密度る端子 リ ドを有する電気部品 どのハ ン ダ付けによる電気的接続の困難る部品を回路基板や周辺モ ジ ュ ー どに容易に接続し得るフ ィ ル ム コ ネ ク タおよびその接続 方法に関するものである。

l O 背景技術

近年、 電気回路部品の高密度実装化が進み、 パタ - ンのフ ァ ィ. ン化 ， 部品のコ ンパク ト化が されてきている。 また、 表示 装置と しては液"晶による表示装置の発展がめざま しく 、 それに 伴 い周辺モ ジ ユ - ·レとの電気的接続方法が種々検討されてき 1 5 ている。

従来、 複数個の回路基板相互において、 对応する電極間を電 気的に接続する方法と していく つかの方法が知られているが、 以下それらについて説明する ,，

まず、 1 つの方法と しては、 対応電極を同形状に形成して对 0 向させ、 エ ラ ステ ィ ッ ク コ ネ ク タを挾み'加圧して電気的接続を 得る方法である。

第 2の方法と しては、 絶緣性フ ィ ム上に熱可塑性の導電性 イ ンク と絶緣性ィ ンク とを交互にス 卜 ラ イ プ状に印刷形成した も ので接続する方法である。 次に、 第 3 の方法と しては、 粉体 25 または繊維状導電性フ イ ラ -を含有する異方導電性接着剤を用 . いて電気的接続を得る方法である。

このよ う ¾従来の方法では、 第 1 の方法の場合、 常に均一 加圧が必要であ 、 またフ ァ イ ンピッチ電極において位置合せ が困難であると共に歪によ り位匱ずれを起す欠点を有している。

5 第 2の方法では、 印刷工程が多く、 フ ァ イ ンパター ン印刷に限 界があるため、 狭ピッ チパタ ー ンの製作が困難であるという欠 点を持っている。 そして、 第 3の方法では、 リ 一 ドの引出しの ため、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト基板を使わなければ ¾ら い欠点 を有している。

, Ο この他に、 銀ペース ト ¾どの金属導電粉を使用する方法もあ るが、 マ イ グ レ ー シ ョ ンによるシ ョ ー トがあ ]9、 信頼性に問題 を持つものであった。

発明の開示 '

そこで本発明の目的は、 高密度の端子リ - ドを有する部品相 1 5 互間でも電気的接続が確実に行え、 信頼性を向上させることの できるフ ィ ル ムコネクタおよびその製造方法を提供することで ある。

そして、 この目的を達成するために本発明では、 フ レ キ シ ブ ル性を有する絶緣性フ ィ ル ムの一主面に銅 ，銀 ， ニ ッ ケ ル ， ァ 0 ル ミ 二 ゥ ム の内の 1 種かまたはそれらの合金からるる第 1 の金 属膜と、 ニ ッ ケル .， ク ロ ム ， タ ングス テ ン ，銀の内の 1 種かま たはそれらの合金からるる第 2の金属膜と、 力 "" ボ ン粉と合成 榭脂からなる第 3の等方性導電膜と、 カーボン粉と合成樹脂か らなる第 4の異方性導電膜とを設けた構成とするものである。 5 また、 フ レ キ シ ブル性を有する絶緣性フ ィ ルム の一主面全面 に、 銅 ， 銀 ， ニ ッ ケ ル ， アル ミ ニ ウ ム の内の 1 種かまたはそれ らの合金から る第 2の金属膜とを順次形成する工程と、 カー ボン粉と合成樹脂からなる第 3の等方性導電膜を印刷によ ）任 意のパタ - ン状に形成する工程と、 上記第 1 ， 第 2の金属膜を

5 エ ッ チ ング除去する工程と、 力—ボ ン粉と合成樹脂からな 、 かつ上記第 3の導電膜よ り も 力 ボ ン粉が少 く粒子径が大き い第 4の異方性導電膜を上記パタ ン全面に形成する工程とか らるるフ ィ ル ム コ ネクタの製造方法と したものである。

ここで、 上記第 1 の金属膜には良導体と ¾ 得る金属、 例え l O ば良好な結果を示すものの、 ニ ッ ケルも銅よ ！）は導電性の面で 不利となるが、 耐酸化性の点で使用することは有利と ¾る。 こ の第 1 の金属膜と しては、 その他に銀 ， ア ル ミ ニ ウ ム も用いる こと もでき、 さ らに上記の銅 ， ニ ッ ケ ル も加えたそれらの合金 でも良く 、 銅ニッ ケソレ合金を使用した場合は二ッ ケルと同様に

1 5 耐酸化性の点で好ま しい結果が得られる。 さ らに、 この第 1 の 金属膜を 2層構造と し、 フ ィ ル ム上に形成される下層をニ ッ ケ ル ¾どの耐酸化性に優れたものよ 構成し、 上層を銅などの良 導体のものよ ！）構成すると、 後述する第 2の金属膜と下層金属 膜とで上層金属膜をサ ン ドィ ッ チしてその上層金属膜の耐酸化 0 性を図る上で好ま しい結果が得られること とるる。 また、 第 2 の金属膜は導電性の高い第 1 の金属膜を保護するための酸化防 止を主たる 目的と している。 この第 2の金属膜には、 ニ ッ ケル， ク ロ ム ， タ ングス テ ン ， 銀の内の 1 種かまたはそれらの合金を 用いることができ る。 ここで、 上述したよ うに第 1 の金属膜を 5 2層構造と した場合、 その下層の耐酸化性の要求されるも'のを — A—

第 2の金属膜を構成するものと同一材料で構成すると、 スパッ タ どでこれら金属膜を形成する際に蒸着機の構成が簡便とる ることから、 製造コス トの低減を図る上で有効である。 また、 第 1 の金属膜を銀で構成した際には、 第 2の金属膜を銀以外の 上記材料で構成することが銀マイグレーシ ョ ンを防止する点で 好ま しいものである。 さらに、 第 3 の等方性導電膜はェッチン グレジスト として使用でき、 任意のパタ一ンを形'成する目的と、 コネクタと して接続確度を高める目的で、 補助導電膜と して形 成される。 この第 3の導電膜はその下にある金属膜を上述した よ うに保護するもので、 金属膜にクラ ックが発生した場合に導 電性を確保するも のであ ]?、 等方性導電膜の必要がある。 また、 第 4の異方性導電膜は被接着物との接着と、 厚み方向の導通と 横方向 < 絶緣性が必要となる。 従って、 カー ボン粉は第 3の導 電膜の力一ボン粉よ も少な くすることがその働きからいって 好ま しいものである。 また、 力一ボン粉の粒子径も第 3の導電 膜に用いた力—ボン粉の粒子径よ ]) も大き くすることが厚み方 向の導通において有効となる。 これは押圧力を加えた時に粒子 径が小さいと合成樹脂の流れと共に流されてしまい、 導電性に 寄与しなく なる恐れがあるからである。

この構成によ 、 本発明のフイ ノレ ムコネクタは、 パタ一 ンを 形成したフ ィ ル ムと異方性導電接着剤の 2つに大別され、 それ らの持つ働きによ つて高密度な端子リ 一 ドを有する部品相互の 間でも電気的接続が確実に行え、 信頼性を向上させたフイ ル ム コネクタを得ることができることと る。

図面の簡単な説明 第 1図は本発明によるフ イル ムコネクタの製造方法を説明す る絶縁性フ ィ ル ム上に第 1 ，第 2の金属膜を形成した状態を示 す断面図、 第 2図は同じく第 1 図の金属膜上に導電ペース トを 印刷した状態を示す断面図、 第 3図は同じく第 2図のものをェ ツチングパター ンを形成した状態を示す断面図、 第 4図は同じ く離型紙上にコ一 ト された異方性導電接着剤を示す断面図、 第 5図は本発明におけるフ イ ル ム コ ネクタの一実施列を示す断面 図、 第 6図〜第 8図は本発明によるフ ィ ル ムコネクタと被接続 物との圧着後の接続状態をそれぞれ示す断面図である。

発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の一実施列について図面を参照しながら説明す る o

まず、 第 1 図にパ タ ー ンの素地と ¾る金属膜を 2層形成した フ ィ ル ムの断面を示'す。 第 ¹ 図において、 ¹ はフ レキ シブル性 を有する絶緣性フ ィ ル ムであ ]?、 ここでは^{3 8} * m のポリェチ レ ンテレフ タ レ一 ト （ P E T ) フ ィ ル ムを用いたが、 その他に ポリ エ ーテルサル フ ォ ン （ P E S ) ， ポリ イ ミ ド（ P I ) ¾ど のフ ィ ル ムも用いることができる。 この絶緣性フ ィ ル ム 1 の一 主面に、 導電性を有する第 1 の金属膜 2 として銅と、 酸化防止 を兼ねた第 2の金属膜 3としてニッケルをそれぞれ 2 O O O A ， 3 5 O人の厚みにスパックによ ]?順次形成した。 これら第 1 ， 第 2 の金属膜 2 ， 3 はスパ ッ タの他に、 E B (電子線照射） ， メ ツキなどの手段を用いて形成することができる。 次いで、 上 記第 2 の金属膜³ の上に、 熱硬化性樹脂としてフ エ ノ ール樹脂 ( 1 o o重量部） をべ一スと し、 導電性フイラ 一としてカーボ ン粉 〔〔 カーボンブラ ック （ アセチレンブラ ック ） 6 0重量部， 平均粒径 と、 グラ フ ア イ ト 4 o重量部（：日本黒鉛阀 製-， G S P 4 o重量部 ，平均粒径⁵ m 〕 〕〕 を使用した導電 ペース ト 〔㈱ス リ 一ボン ド社製〕を任意のパタ 一ンに シルク ス ク リ ーン印刷し、 1 3 0°Cで 3 O分加熱硬化を行つた。 その断 面を第 2図に示し、 4が導電べ -ス トからなる第 3の等方性導 電膜である。 この等方性導電膜⁴の塗膜厚 ¹ O ίΠΙ 程度であ )、 その断面は第 2図に示すよ うにかまぽこ状を形成する。 次 に、 上記等方性導電膜⁴をレジス ト として下地の金属膜² , 3 をエ ッ チ ング処理して第³図に示すよ うなパタ ーンを得た。 一 方、 第 4図に示すよ うに合成樹脂 5と して熱可塑性樹脂のポリ エス テル 〔東洋紡績㈱製 ，パイ ロ ン G Κ — 1 3 Ο 〕を使用し、 導電性フイラ 一と してカーボン粉 6を含有する異方性導電接着 剤ァ 〔賴ス リ 一ボン ド社製 〕を離型弒 8に貼付けたものを用意 した。 こ こで、 力一ボン粉⁶としては、 フ ヱノ ール樹脂〔松下 電工眯製 ， J 一 1 ο Ο Ο 〕 1 o o重量部とアセチ レンブラ ック 〔電気化学㈱製〕 1 o o重量部を焼成固化し、 粉砕したもの (平均粒径 2 O im )を 5重量部使用した。、そして、 第 5図に 示すよ うに上記異方性導電接着剤ァを上記バタ—ン表面にラ ミ ネ 一ターにてロ ーノレ温度 8 O °C ， フ ィ ル ム ス ピー ド 2 m/min で 3 0 iin の厚みにラ ミ ネート し、 フ ィ ル ムコネクタ 9を作成 した。 第 5図で 7 aはこのラ ミ ネートによ 形成された上記異 方性導電接着剤ァからなる第 4の異方性導電膜である。

この フ ィ ルムコネクタの接続テス ト と して、 線幅 ，線間各

3 2. 5 β ，計 6 5 0 i m ピッチで等間隔に 2 O O本のラ イ ン が並んだ 1 .6 厚のガ ラ スェポキシ材べ一ス で銅箔 3 5 m の 基板と、 厚さ 1 .¹ 丽で表面抵抗 1 O の透明導電膜（ I T O ) が上記と同ピッチに蒸着 ， エッチングされたガラス板をそれぞ れ用意し、 同ピッチでパターンが形成されたフ ィ ルムコネクタ 上のあらかじめ固定する部分に加熱圧着機にて 1 1 0 °C ， 3 O k^ cm , Ο ·⁵ sec打ちでタ ック性を付与してから、 離型紙を除去 し、 ガラ スェポキシ基板上の電極とフ ィ ル ムコネクタの一端側 の電極との位置整合を行い、 軽く指で押えて仮止め後、 加熱圧 着機にて 1 6 o °c ， 3 o , 3 o secで本圧着した。 この状 態を第⁶図に示してお])、 ¹ 〇はガ ラ ス エポキ シ基板、 ^{1 1} は 金属電極である。 次いで、 フ ィ ル ム コネク タの他端側の電極に も同様にタ ック性を付与し、 I T O ガ ラ ス板に仮止め後、 同様 に ¹ 6 o °C , 3 o k / ci , A 5 secで本圧着した。 この状態を第

7図に示して ])、 1 ²はガ ラ ス板、 1 3は I T O電極である。 また、 第 8図はポリ イ ミ ド フ イ ノレ ム 1 4上の金属電極 1 5 と フ ィ ル ムコネクタ 9とを接続した状態を示している。

これら本圧着後の状態を第 6図〜第 8図に示すフ イ ル ムコネ クタ 9 と被接続物との接続において、 接続抵抗が各種環境下に おいて変化が ¾いことが確認された。

以上のよ うに本発明のフ イ ル ムコネクタは構成されてお]? 、 パタ一ンを形成したフ ィ ル ムと異方性導電接着剤の 2つに大別 できる。 従来の フ レキ シプルプ リ ン ト基板では銅箔パ タ 一ンの 表面は平坦であ！）、 異方性導電接着剤を挾み加熱圧着した時、 樹脂の流れが十分に行われず、 絶縁皮膜を形成して接続不良の 原因を起す欠点があつたが、 本発明のフ イ ル ムコネクタのパタ • —ンでは、 最上部にある第 3の等方性導電膜を構成する導電べ ース トが加熱圧着時に異方性導電接着剤を押しのけて対向電極 と接続するとと もにペース ト 自体の表面がポーラ スであ 、 微 細 ¾突起はつぶれて面接続となる。 また、 異方性導電接着剤内

5 の カ ーボン フ イ ラ 一は、 ペース ト と被接続物の電極との間に挾 まれ、 ペース ト側に多少くい込むことと ¾る。 これによ ！）初期 接続は十分保たれることになる。 そして、 被接続物との接続に おいて第 6図〜第 8図に示すよ うに隣接する電極間に異方性導 電接着剤の樹脂が流れて隙間を充¾し、 圧力によ ]?歪んだフ ィ t o ル ムをしつか]?と固定する。 従って、 環境試験期においても接 着剤による引張])力とフ イ ルムの復元力によ って、 接続される 互いの電極間を常時押えつけて接触抵抗を安定させることに ¾ る o

また、 パタ — ン上に形成された異方性導電接着剤は、 パタ― ^{1 5} ンの保護と表面の絶縁の両効果 与える。 列えば、 パタ ー ンの 強い折曲げを緩和する効果があ ]3、 列え金属膜が錡びて部^:的 に浮いた])、 導電ペース トにクラ ックを生じた]) しても、 被覆 した異方性導電接着剤層でバタ ーン本体または絶緑性フ ィ ル ム に強く押しっけ、 パタ一ン切れを防止する効果がある'。 さ らに、 0 湿気よ ]?金属パタ ーンを保護する効果もあ 、 信頼性に大きぐ 寄与している。

産業上の利用可能性

このよ うに本発明のフ ィ ル ムコネクタは種々の特徴を有し、 需要が急増しつつある液晶表示パ ネルと駆動モジュールとの電 5 気的 ¾接続や、 高密度 ¾端子リ 一ドを有する電気部品'などを回 路基板や周辺モジ ユ ール ¾どに信頼性良く接続し得るものであ D、 その産業性は大¾るものである。

Claims

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• 請 求 の 範 囲

1 , フ レキ シブル性を有する絶緣性フ ィル ムの一主面に銅 ，銀， ニ ッ ケル ， アル ミ ニ ウ ムの内の 1 種かまたはそれらの合金から るる第 1 の金属膜と、 ニ ッ ケル ， ク ロ ム ， タ ングス テン ，銀の 内の 1種かまたはそれらの合金からなる第 2の金属膜と、 カー ボン粉と合成樹脂から¾る第 3の等方性導電膜と、 カ ーボン粉 と合成樹脂から¾る第 4の異方性導電膜とを設けたことを特徴 とするフ ィル ムコネクタ。

2 . 請求の範囲第 1 項において、 第 4の異方性導電膜は第 3の 等方性導電膜よ ]) もカ ーボン粉が少な く粒子径が大きいことを 特徵とするフ ィ ル ムコネクタ。

3 . 請求の範囲第 1 項に いて、 第 1 の金属膜は銅から ¾ Ϊ) 、. 第 2の金属膜は-ッケルからなることを特徵とするフ イルム コ ネクタ。

4 . 請求の範囲第 1 項において、 第 1 の金属膜は二 ッ ケル ¾ど の耐酸化性に優れた材料よ ¾る下層と銅 ¾どの良導体よ ¾ る上層とで構成されたことを特徴とするフ ィ ル ムコネクタ。

5 . 請求の範囲第 2項において、 第 1 の金属膜は銅からな ]?、 第 2 の金属膜は二 ッ ケルからなることを特徵とするフ ィ ル ム コ ネクタ 。

6 . 請求の範囲第²項において、 第 1 の金属膜は二 ッ ケル ¾ど の耐酸化性に優れた材料よ なる下層と銅るどの良導体よ ])な る上層とで構成されたことを特徵とするフ イ ル ムコネクタ。

了 . 請求の範囲第⁴項において、 第 1 の金属膜を構成する下層 と第²の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徵とする フイ ノレ ムコネクタ。

8 . 請求の範囲第⁶項において、 第 ¹ の金属膜を構成する下層 と第 2の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徴とする フ イ ノレ ムコネクタ。

9 . フ レ キシブル性を有する絶縁性フ ィルムの一主面に、 銅 ， 銀 ， ニ ッ ケル ， アル ミ ニ ウ ムの内の 1 種かまたはそれらの合金 から ¾ る第 1 の金属膜と、 ニ ッ ケル ， ク ロ ム ， タ ン グス テ ン ， 銀の内の 1種かまたはそれらの合金からなる第²の金属膜と、 力一ボン粉と合成樹脂からなる第 3 の等方性導電膜と、 カーボ ン粉と合成樹脂からな ])、 かつ上記第 3の導電膜よ ]? もカー ボ ン粉が少なく粒子径が大きい第⁴の異方性導電膜とを設けたこ とを特徴とするフ ィ ルムコネクタ。

1 0 . 請求の範囲第 9項において、 第 1 の金属膜は銅から ¾ 、 第 2 の金属膜は二 ッ ケルからなることを特徵とするフ ィ ル ム コ ネクタ。

1 . 請求の範囲第 9項において、 第¹ の金属 ^膜は二 ッ ケルな どの耐酸化性に優れた材料よ Dるる下層と銅な どの良導体よ ]5 る上層とで構成されたことを特徵とするフ ィ ル ムコネクタ。

1 2 . 請求の範囲第 1 Ο項において、 第 1 の金属膜は二ッケル ¾どの耐酸化性に優れた材料よ ¾る下層と銅 ¾どの良導体よ ¾る上層とで構成されたことを特徵とするフ ィ ル ムコネクタ。

1 3 . 請求の範囲第¹ 1 項において、 第 1 の金属膜を構成する 下層と第 2の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徴と するフ ィ ル ムコネク タ 。

1 4 . 請求の範囲第 1 2項において、 第 1 の金属膜を構成する 下層と第 2の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徵と するフイ ノレ ムコネクタ。

1 5 フレキ シブル性を有する絶縁性フイ ルムの一主面に、 銅 からなる第 1 の金属膜と、 ニッ ケルから ¾る第²の金属膜と、

5 力 一ボン粉と合成樹脂から ¾る第 3の等方性導電膜と、 カーボ

ン粉と合成樹脂から ¾ 、 かつ上記第 3の等方性導電膜よ ]? も カーボン粉が少なく粒子径が大きい第 4の異方性導電膜とを設 けたことを特徴とするフ ィ ル ムコネクタ。

1 6 . フレキ シブル性を有する絶緣性フ ィ ル ムの一主面に、 二 i o ッ ケルなどの耐酸化性に優れた材料よ ¾る下層と銅 ¾どの良

導体よ ¾る上層とで構成された第 1 の金属膜と、 ニ ッ ケ ル ， ク ロ ム ， タ ングステン ，銀の内の 1 種かまたはそれらの合金か らなる第 2の金属膜と、 カ ーボン粉と合成樹脂からなる第 3の - 等方性導電膜と、 カ ーボ ン粉と合成樹脂から ¾ ヽ かつ上記第

1 5 3の等方性導電膜よ ]? もカ ーボ ン粉が少なく粒子径が大きい第

4の異方性導電膜とを設けたことを特徴とするフ ィ ル ムコネク タ。

7 . 請求の範囲第 1 6項において、 第 1 の金属膜を構成する 下層と第 2の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徴と 0 するフイ ノレ ムコネクタ。

¹ 8 . フ レキ シブル性を有する絶緣性フ ィ ル ムの一主面全面に、 銅 ，銀 ， ニ ッ ケル ， アル ミ ニ ウ ムの ¹ 種かまたはそれらの合金 からなる第 1 の金属膜と、 ニ ッ ケル ， ク ロ ム ， タ ングス テ ン ， 銀の内の ¹ 種かまたはそれらの合金から¾る第 2の金属膜とを 5 順次形成する工程と、 カーボ ン粉と合成樹脂からなる第 3の等 —13—

• 方性導電膜を印刷によ ]5任意のバターン状に形成する工程と、 上記第 1 ，第 2の金属膜をエ ッ チング除去する工程と、 カーボ ン粉と合成樹脂から¾る第 4の異方性導電膜を上記パタ -ン全 面に形成する工程 なる と 特徴とするフ ィ ル ムコネクタの製 法 o

1 9 . 請求の範囲第 1 8項において、 第 4の異方性導電膜は第 3の等方性導電膜よ.り.も力一ボン粉が少な く粒子径が大きいこと を特徵とするフ ィ ル ム コ ネクタの製造方法。

2 O . 請求の範囲第 1 8項において、 第 1 の金属膜は銅から ¾ 、 第 2の金属膜は- ッケルから ¾ることを特徵とするフ ィル 厶コネクタの製造方法。

2 1 . 請求の範囲第 ¹ 8項において、 第 1 の金属膜は二ッケル るどの耐酸化性に優れた材料よ る下層と銅などの良導体よ Dなる上層とで構成されたことを特徴とするフ ィ ル ムコネクタ の製造方法。

2 2 . 請求の範囲第 1 9項において、 第 1 の金属膜は銅から ¾ 、 第 2の金属膜は二 ッ ケルからなることを特徴とするフ ィ ル ムコ ネク タの製造方法。

2 3 . 請求の範囲第 ¹ 9項において、 第 1 の金属膜はニ ッ ケル

¾どの耐酸化性に優れた材料よ ！） ¾る下層と銅 ¾どの良導体よ

¾る上層とで構成されたこヒ さ 7ィ (UAコ^ ^ま、。

2 . 請求の範囲第² 1 項において、 第 ¹の金属膜を構成する 下層と第²の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徵と するフ ィ ル ムコネクタの製造方法。

2 5 . 請求の範囲第^{2 3}項において、 第 ¹ の金属膜を構成する • 下層と第 2の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徵と するフ イ ノレ ム コネク タの製造方法。

2 6 . フ レキ シブル性を有する絶縁性フ イ ルムの一主面全面に、 銅 ，銀 ， ニ ッ ケル ， アル ミ ニ ウ ムの内の 1 種かまたはそれらの ⁵ 合金から ¾ る第 1 の金属膜と、 ニ ッ ケル ， ク ロ ム ， タ ングス テ ン ，銀の内の 1種かまたはそれらの合金から ¾る第 2の金属膜 とを順次形成する工程と、 力一ボ ン粉と合成樹脂から る第 3 の等方性導電膜を印刷によ 任意のパタ 一ン状に形成する工程 と、 上記第 1 ，第 2の金属膜をエ ッチング除去する工程と 、 力0 —ボ ン粉と合成樹脂からな 、 かつ上記第 3の導電膜 よ も 力 —ボ ン粉が少¾ く粒子径が大きい第 4 の異方性導電膜を上記 バタ一ン全面に形成する工程と.からな.る こ とを特徴とするフィ ル厶 コネク タの製造方法。

2 7 . 請求の範囲第.² 6項において、 第 1 の金属膜は銅から¾⁵ 、 第 2の金属膜は二 ッケルからなるこ、とを特徴とするフ ィ ル ムコ ネク タの製造方法。

2 8 . 請求の範囲第^{2 6}項において、 第¹ の金属膜は二 ッケル ¾どの耐酸化性に優れた材料よ ¾る下層と銅などの良導体よ Dなる上層とで構成されたことを特徴とするフ ィ ル ムコネクタ° の製造方法。

2 9 . 請求の範囲第² 了項において、 第¹ の金属膜はニ ッ ケル ¾どの耐酸化性に優れた材料よ j? ¾る下層と銅な.どの良導体よ なる上層とで構成されたことを特徵とするフ イ ルムコネクタ の製造方法。

5 3 0 . 請求の範囲第^{2 8}項にお て、 第 1 の金属膜を構成する 下層と第 2の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徴と するフ ィ ル ムコネクタの製造方法。

3 1 . 請求の範囲第 ² 9項において、 第 ¹ の金属膜を構成する 下層と第 2の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徵と するフイノレ ムコネクタの製造方法。

3 2 . フレキ シブル性を有する絶緣性フ ィ ル ムの一主面全面に、 銅からるる第 1 金属膜と、 ニッケルから る第 2の金属膜と を順次形成する工程と、 力一ボ ン粉と合成樹脂から¾る第³の 等方性導電膜を印刷によ ]?任意のバタ ー ン状に形成する工程と、 上記第 1 ，第 2 の金属膜をエ ッ チ ン グ除去する工程と 、 カ ーボ ン粉と合成樹脂からな ]? 、 かつ上記第 3の等方性導電膜よ も カーボ ン粉が少な く粒子径が大きい第 4の異方性導電膜を上記 パターン全面に形成する工程とからなることを特徴とするフ ィ' ル ムコネクタの製造方法。

3 3 . フ レキ シブル性を有する絶緣性フ ィ ル ム の一主面全面に、 ニ ッ ケルなどの耐酸化性に優れた材料よ ]? ¾る下層と銅 ¾どの 良導体よ ]) る上層とで構成された第 1 の金属膜と、 ニ ッ ケル， ク ロ ム ， タ ングステ ン ，銀の内の 1種かまたはそれらの合金か ら¾る第² の金属膜とを順次形成する工程と、 カ ーボ ン粉と合 成樹脂から る第 3の等方性導電膜を印刷によ 任意のバタ 一 ン状に形成する工程と、 上記第 1 ，第 2 の金属膜をエ ッチ ング 除去する工程と、 カーボ ン粉と合成樹脂からな Ϊ)、 かつ上記第 3の等方性導電膜よ も カーボン粉が少な く粒子径が大きい第 4の異方性導電膜を上記パタ—ン全面に形成する工程とからな ることを特徵とするフ ィ ル ムコネクタの製造方法。

3 4 . 請求の範囲第 3 3項にお て、 第 1 の金属膜を構成する 下層と第²の金属膜を同一材料でも つて構成したことを特徴と するフ ィ ル ムコネクタの製造方法。