TWM635981U - 液晶面板傳送盒 - Google Patents
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Abstract
一種液晶面板傳送盒,具有一矩形結構,包括一上板;一底板;複數個可拆卸式肋條,配置於上板的兩個側邊及一個背邊下方以及底板的兩個側邊及一個背邊上方,形成兩側面與一背面;一背板,配置於矩形結構的背面;以及,三個可拆卸式側板,該等可拆卸式側板可以與上板、底板以及背板形成一密閉式結構;其中,上板、底板、背板以及複數個可拆卸式肋條形成一內壁面,內壁面的該等可拆卸式肋條上設置有複數個支撐塊,該等可拆卸式肋條上的該等支撐塊進一步的共同界定出複數液晶面板容置槽。
Description
本創作是有關於一種液晶面板傳送盒的結構,特別是有關一種用於液晶面板製造過程中,用來儲存或傳送液晶面板的傳送盒結構。
現有的傳送盒1,都是配合半導體芯片製造過程中的光罩(mask)及晶圓片(wafer)等的保存,如圖1所示。為了避免製造過程或是儲存時受到空氣的氧化或污染,這些使用在光罩(mask)及晶圓片(wafer)的傳送盒1,都是三面封閉,只有傳送盒正面門體20可以開啟。
隨著液晶面板製程的提升,已進入第10.5代廠或是製造8K液晶電視的製程,使得液晶面板對於製造環境的要求愈來愈嚴格,因此,需要將裁切好的大尺寸液晶面板,放置到一個氣密的傳送盒中,使得液晶面板在製造、運送或是儲存時,都能夠配置在傳送盒中。
此外,在大尺寸的液晶面板製程中,需要對配置傳送盒中的液晶面板進行電性測試,因此,使用在液晶面板的傳送盒除了門體需要打開外,還需要讓傳送盒的兩側邊上的側板具有拆裝的功能,才能滿足液晶面板的製程。
為解決上述的需要,本創作之一的主要目的在提供一種液晶面板傳送盒,能保護液晶面板免於受來自環境源之微粒汙染,以及使製程中的液晶面板與外部空氣隔離,避免液晶面板的表面產生氧化反應。
根據上述之主要目的在於:本創作提供一種液晶面板傳送盒,具有一矩形結構,包括:一上板,為矩形結構,於兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔;一底板,為矩形結構,於前側邊上配置有導槽,並於兩側及後側的三個側邊上,配置有複數個嵌入孔,其中,上板與底板的每一個嵌入孔呈相對配置;複數個可拆卸式肋條,是配置於上板與底板上的每一個嵌入孔中,通過該些可拆卸式肋條將上板與底板連接成一體,並且在三個側邊上的多個可拆卸式肋條形成一個共平面;三個側板,用以封閉該三個側邊上的共平面,並鎖固在上板與底板的兩側及後側上;一前板,為矩形結構,其下沿部嵌入至該底板上的導槽中,並通過配置在前板上沿的複數個迫緊式塔扣與上板結合,以形成一密閉式結構;其中,於底板的四個角落附近配置彈性閥;複數個可拆卸式肋條上均等距並間隔地配置多個支撐塊,通過該些支撐塊來共同界定出複數液晶面板容置槽。
根據上述之主要目的在於:本創作提供一種液晶面板傳送盒,具有一矩形結構,包括:一上板,為矩形結構,於前側及兩側邊上均配置導槽並於兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔;一底板,為矩形結構,於兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔,並於前側邊上配置第一導槽以及在兩側的該些嵌入孔之間配置有第二導槽,其中,上板與底板的每一個嵌入孔呈相對配置;複數個可拆卸式肋條,是配置於上板與底板上的每一個嵌入孔中,通過該些可拆卸式肋條將上板與底板連接成一體,並且在兩個側邊及一個後側邊上的多個可拆卸式肋條形成一個共平面;一個背板,用以封閉後側邊上的共平面,並鎖固在上板與底板的後側邊上;兩個可拆卸式側板,為矩形結構,該兩個可拆卸式側板的下沿嵌入至第二導槽,用以封閉兩個側邊上的共平面,並通過配置在兩個可拆卸式側板上沿的複數個迫緊式塔扣與上板結合;一前板,為矩形結構,其下沿部嵌入至底板的第一導槽中,並通過配置在前板上沿的複數個迫緊式塔扣與上板結合,以形成一密閉式結構;其中,於底板的四個角落附近配置彈性閥;複數個可拆卸式肋條上,均等距並間隔地配置多個支撐塊,通過該些支撐塊來共同界定出複數液晶面板容置槽。
其特徵在於,該液晶面板傳送盒的兩側面各配置有四根可拆卸式肋條。
其特徵在於,該液晶面板傳送盒的後側配置有兩根可拆卸式肋條。
其特徵在於,該些可拆卸式肋條的材質是一種具有耐磨且抗靜電材料。
其特徵在於,該耐磨且抗靜電材料為一種PEEK或是PEI。
其特徵在於,該些可拆卸式肋條在其兩端均配置有定位件。
其特徵在於,該些支撐塊具有一斜面。
其特徵在於,該底板在接近四個角落上,進一步各配置一加強墊,並使將該彈性閥貫穿於該加強墊中。
其特徵在於,該底板上的該些加強墊的材質是不銹鋼。
其特徵在於,該彈性閥曝露在該底板下方的部分配置有彈簧回彈密閉機構。
其特徵在於,該四個彈性閥是以兩個進氣閥及兩個出氣閥配置成。
其特徵在於,該上板、底板、背板、兩個側板及前板的材質,是一種工程塑膠。
其特徵在於,該上板、底板、背板、兩個側板及前板的材質,是一種金屬。
10:液晶面板傳送盒
11:上板
111:嵌入孔
12:可拆卸式前板
121:導槽
13:可拆卸式右側板
131:鎖固件(螺絲孔)
14:可拆卸式左側板
114:嵌入孔
141:鎖固件(螺絲孔)
15:背板
17:底板
171:嵌入孔
173:第一導槽
175:第二導槽
19:迫緊式塔扣
20:正面門體
21:可拆卸式肋條
211:定位件
212:支撐塊
213:上端部
214:下端部
215:螺絲孔
24:彈性閥
241:O型環
25:加強墊
252:彈簧回彈密閉機構
30:液晶面板
結合附圖閱讀以下詳細說明,會最佳地理解本創作的各個態樣。應注意,根據行業中的標準慣例,各種特徵並非按比例繪製。事實上,為論述清晰起見,可任意增大或減小各種特徵的尺寸。
圖1 為先前技術的一種傳送盒之立體全視示意圖。
圖2 為根據本創作所揭露的液晶面板傳送盒之爆炸示意圖。
圖3A-3D 為根據本創作圖2所揭露的液晶面板傳送盒中的局部放大示意圖。
圖4 為根據本創作所揭露的肋條示意圖。
圖5 為根據本創作所揭露的液晶面板傳送盒立視示意圖。
圖6 為根據本創作所揭露的配置有液晶面板的傳送盒的示意圖。
圖7 為根據本創作所揭露的液晶面板傳送盒之另一面的立面示意圖。
圖8 為根據本創作所揭露的液晶面板傳送盒之底部立面示意圖。
以下提供本創作具體實施例的詳細內容說明,然而本創作並不受限於下述實施例,且本創作中的圖式均屬於示意圖式,主要意在表示各模組之間的連接關係,於此實施方式搭配各圖式作詳細說明如下。
首先,請參考圖2,是本創作的液晶面板傳送盒的爆炸圖。如圖2所示,液晶面板傳送盒10為一種矩形結構,是由均為矩形結構的上板11、可拆卸式前板12、背板15、底板17,以及與上板11、前板12、背板15、底板17相
鄰的可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14所組成。其中,在上板11相鄰的背板15、可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14的三個邊上,均分別配置有多個嵌入孔111,而在底板17、相鄰背板15、可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14的三個邊上,均分別配置有多個嵌入孔171。在一較佳實施例中,上板11及底板17相鄰可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14的兩個邊上,均配置有4個嵌入孔,且每一個配置在上板11上的4個嵌入孔111與每一個配置在底板17上的4個嵌入孔171是相對配置的。此外,在上板11及底板17相鄰背板15的一側邊上,均配置有2個嵌入孔,且每一個配置在上板11上的2個嵌入孔111與每一個配置在底板17上的2個嵌入孔171是相對配置的。此外,本創作的上板11、前板12、背板15、底板17、可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14的材質可以是一種金屬或是工程塑膠。
接著,複數個可拆卸式的肋條21,其具有一上端部213及下端部214,其中,上端部213的局部放大圖,如圖3A所示,下端部214的局部放大圖,如圖3B所示。每一個肋條21是通過上端部213及下端部214分別嵌入至上板11的嵌入孔111及底板17的嵌入孔171中。同時,每一個肋條21可以通過上端部213及下端部214上的螺絲孔215,以螺絲鎖固在上板11及底板17上。很明顯的,本創作可以經過精密的設計與製造,使得間隔配置在每一側邊上的多個肋條21形成一個共平面的內壁面。
在一個較佳實施例中,為了便於將肋條21能夠快速且精確地的配置在嵌入孔111及嵌入孔171中,本創作進一步在相鄰肋條21的上端部213及下端部214處,分別配置有一個定位件211,因此,當肋條21配置在嵌入孔111及嵌入孔171後,肋條21的上下定位件211剛好接觸到上板11及底板17。
再接著,請參考圖4,是本創作傳送盒中的肋條在各個面向的示意圖。如圖4所示,本創作的肋條21是使用射出成型的方式形成,其材質可以
是一種具有耐磨且抗靜電材料,例如:PEEK或是PEI等。此外,在肋條21向傳送盒內部延伸的方向上,配置有多個間隔等距的支撐塊212,並且通過這些支撐塊212可以界定出複數液晶面板的容置空間。本創作的支撐塊212的構造是與肋條21相接的根部具有較大的直徑,而在根部相對的開放端的直徑小於根部的直徑,使得支撐塊212的形成斜面構造,故當液晶面板放置在肋條21之間時,液晶面板只有在靠近邊緣的一小部分會與肋條21根部接觸,可以讓液晶面板保持最小的接觸面積。本創作的實施例中,肋條21上的每一個支撐塊212的長度可以設計在17mm至18mm之間,而在一個較佳實施例中,肋條21上的每一個支撐塊212的長度可以是17.5mm。而每一個支撐塊212與肋條21相接的根部的直徑可以設計在8mm至9mm之間。而每一個相鄰支撐塊212之間的間隔可以設計在8mm至9mm之間20mm至25mm之間。
接著,說明本創作的液晶面板傳送盒形成一個密閉空間第一種實施方式。提供一個上板11,其為矩形結構,於上板11兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔111/171。一個底板17,也為矩形結構,是於前側邊上配置一條導槽173,並於底板17兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔111/117,其中,上板11與底板17上的每一個嵌入孔111/171呈相對配置。複數個可拆卸式肋條21,是配置於上板11與底板17上的每一個嵌入孔111/171中,通過這些可拆卸式肋條21將上板11與底板17連接成一體,使得配置在上板11與底板17的兩個側邊及一個後側邊上的多個可拆卸式肋條21形成一個共平面。三個側板,包括可拆卸式右側板13、可拆卸式左側板14及背板15,用以封閉該三個側邊上的共平面,並通過鎖固件131/141(顯示於圖6中)鎖固在上板11與底板17的兩側及後側上。一可拆卸式前板12,為矩形結構,其下沿部嵌入至底板17上的導槽173中,並通過配置在前板12上沿的複數個迫緊式塔扣19與上板11結合,以形成一密閉式結構,如圖5所示,其中,圖5是本創作的液晶
面板傳送盒的立面示意圖。此外,於底板17的四個角落附近配置彈性閥24。其中,在複數個可拆卸式肋條21上均等距並間隔地配置多個支撐塊212,通過這些支撐塊212來共同界定出複數液晶面板容置槽。
接著,說明本創作的液晶面板傳送盒形成一個密閉空間第二種實施方式。提供一個上板11,為矩形結構,於上板11兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔111/171。一個底板17,為矩形結構,於底板17兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔111/171,並於前側邊上配置第一導槽173以及在兩側的該些嵌入孔之間配置有第二導槽175,其中,上板11與底板17的每一個嵌入孔111/171呈相對配置。複數個可拆卸式肋條21,是配置於上板11與底板17上的每一個嵌入孔111/171中,通過這些可拆卸式肋條21將上板11與底板17連接成一體,並且使得配置在上板11與底板17的兩個側邊及一個後側邊上的多個可拆卸式肋條21形成一個共平面。一個背板15,是用以封閉後側邊上的共平面,並通過鎖固件鎖固在上板11與底板17的後側上邊上。兩個可拆卸式側板,包括可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14,為矩形結構,此兩個可拆卸式側板的下沿嵌入至第二導槽175中,用以封閉兩個側邊上的共平面,並通過配置在可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14的兩個可拆卸式側板上沿的複數個迫緊式塔扣19與上板11結合。一個可拆卸式前板12,為矩形結構,其下沿部嵌入至底板17的第一導槽173中,並通過配置在前板12上沿的複數個迫緊式塔扣19與上板11結合,以形成一密閉式結構,如圖5所示。其中,於底板17的四個角落附近配置彈性閥24,而複數個可拆卸式肋條21上,均等距並間隔地配置多個支撐塊212,通過這些支撐塊212來共同界定出複數液晶面板容置槽。
此外,本創作在上述的上板11、前板12、背板15、底板17、可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14的面對密閉空間的一側面的接近邊緣上,均配置有O型環(未顯示於圖中),因此,當上板11、前板12、背板15、底板
17、可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14完成鎖固或是扣盒後,可以藉由這些O型環形成氣密的封閉空間。
接著,請參考圖6,是本創作的配置有液晶面板的傳送盒的示意圖。如圖6所示,液晶面板傳送盒10中,可以放置多個液晶面板30,例如:傳送盒10中可以放置25片大尺寸的液晶面板(600mmX700mm),同時,每一片液晶面板中約2公斤。因此,當傳送盒10裝滿液晶面板30時,其總重量超過50公斤,這個重量超過一般工作人員能夠輕鬆搬運的範圍。
接著,請參考圖7,是本創作的液晶面板傳送盒的透視示意圖。如圖7所示,是在底板17的四個角落附近配置有四個彈性閥24,彈性閥24的一端是配置在液晶面板傳送盒10的內部空間中,另一端,則是突出並曝露在底板17的底面,如圖7所示,其中,圖8是傳送盒10的另一角度的立面示意圖。
本創作的液晶面板傳送盒的四個彈性閥24中,是配置成2個進氣閥,以及2個排氣閥,因此,當液晶面板傳送盒儲存時,需要放置在一個充氣台(未顯示於圖中)上,並且通過這四個彈性閥24與充氣台接合。很明顯的,當裝滿液晶面板傳送盒10放置在充氣台上時,則超過50公斤以上的液晶面板傳送盒10的重量都集中在四個彈性閥24上。為了避免液晶面板傳送盒10變形而應想液晶面板傳送盒10的壽命,本創作進一步在四個彈性閥24的位置上,各配置一個加強墊25,並將四個彈性閥24配置在加強墊25上,同時,每一個彈性閥24上均配置有一O型環241,藉由此O型環241能夠讓液晶面板傳送盒10保持氣密。在本創作的較佳實施例中,加強墊25的材質可以是一種金屬,例如:不鏽鋼。而每一加強墊25的尺寸可以是60mm至100mm,而後厚度可以是8mm。
接著,請參考圖8,是本創作的液晶面板傳送盒的底部立面示意圖。如圖8所示,是在曝露於底板17外部的彈性閥24上,進一步的配置彈簧回彈密閉機構252,使得液晶面板傳送盒10可通過四個彈簧回彈密閉機構252與
充氣機台的充氣閥(未顯示於圖中)連接,並且可以通過彈簧的設計,降低液晶面板傳送盒10與充氣機台接合時的衝擊力。
根據上述之說明,本創作的液晶面板傳送盒10,可以通過工作人員或是機器手臂,將前板12拆下來,以便於將液晶面板30的取放。此外,基於特殊測試的需要,在本創作的液晶面板傳送盒10上的可拆卸式右側板13及可拆卸式左側板14也都是可以拆卸下來的。
以上所述者,僅為本創作的較佳實施例,舉凡依本創作精神所作的等效修飾或變化,依照相同概念所提出的液晶面板傳送盒,皆應仍屬本創作涵蓋的範圍內。此外,要特別說明的是,本創作的液晶面板傳送盒,雖然是以液晶面板為實施例加以說明,但並未對不同尺寸的各種液晶面板或是基材加以限制,因此,使用在液晶面板傳送盒只要是結構與權利範圍相同時,即為本創作涵蓋的範圍。
10:液晶面板傳送盒
11:上板
12:前板
13:可拆卸式右側板
131:鎖固件
173:導槽
19:迫緊式塔扣
Claims (14)
- 一種液晶面板傳送盒,具有一矩形結構,包括:一上板,為矩形結構,於兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔;一底板,為矩形結構,於前側邊上配置一導槽,並於兩側及後側的三個側邊上配置有複數個嵌入孔,其中,該上板與該底板的每一個嵌入孔呈相對配置;複數個可拆卸式肋條,是配置於該上板與該底板上的每一個嵌入孔中,通過該些可拆卸式肋條將該上板與該底板連接成一體,並且在三個側邊上的多個可拆卸式肋條形成一個共平面;三個側板,用以封閉該三個側邊上的共平面,並鎖固在上板與該底板的兩側及後側上;一前板,為矩形結構,其下沿部嵌入至該底板上的導槽中,並通過配置在前板上沿的複數個迫緊式塔扣與該上板結合,以形成一密閉式結構;其中,於該底板的四個角落附近配置彈性閥;該複數個可拆卸式肋條上均等距並間隔地配置多個支撐塊,通過該些支撐塊來共同界定出複數液晶面板容置槽。
- 一種液晶面板傳送盒,具有一矩形結構,包括:一上板,為矩形結構,於前側及兩側邊上均配置導槽,並於兩側及後側的三個側邊上配置有複數個嵌入孔; 一底板,為矩形結構,於兩側及後側的三個側邊上,均配置有複數個嵌入孔,並於前側邊上配置第一導槽以及在兩側的該些嵌入孔之間配置有第二導槽,其中,該上板與該底板的每一個嵌入孔呈相對配置;複數個可拆卸式肋條,是配置於該上板與該底板上的每一個嵌入孔中,通過該些可拆卸式肋條將該上板與該底板連接成一體,並且在兩個側邊及一個後側邊上的多個可拆卸式肋條形成一個共平面;一個背板,用以封閉該後側邊上的共平面,並鎖固在上板與該底板的後側上邊上;兩個可拆卸式側板,為矩形結構,該兩個可拆卸式側板的下沿嵌入至該第二導槽,用以封閉該兩個側邊上的共平面,並通過配置在該兩個可拆卸式側板上沿的複數個迫緊式塔扣與該上板結合;一前板,為矩形結構,其下沿部嵌入至該底板的第一導槽中,並通過配置在前板上沿的複數個迫緊式塔扣與該上板結合,以形成一密閉式結構;其中,於該底板的四個角落附近配置彈性閥;該複數個可拆卸式肋條上,均等距並間隔地配置多個支撐塊,通過該些支撐塊來共同界定出複數液晶面板容置槽。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,其中,該矩形結構的兩側面各配置有四根可拆卸式肋條。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,其中,該矩形結構的後側配置有兩根可拆卸式肋條。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,其中,該些可拆卸式肋條的材質是一種具有耐磨且抗靜電材料。
- 如請求項第5項所述的液晶面板傳送盒,其中,該耐磨且抗靜電材料為一種PEEK或是PEI。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,其中,該些可拆卸式肋條在其兩端均配置有定位件。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,其中,該支撐塊具有一斜面。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,其中,該底板在接近四個角落上,進一步配置一加強墊,並使將該彈性閥貫穿於該加強墊中。
- 如請求項第9項所述的液晶面板傳送盒,其中,該底板上的該些加強墊的材質是不銹鋼。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,該彈性閥曝露在該底板下方的部分配置有彈簧回彈密閉機構。
- 如請求項第1或2項所述的液晶面板傳送盒,該四個彈性閥是以兩個進氣閥及兩個出氣閥配置成。
- 如請求項第1或2項項所述的液晶面板傳送盒,該上板、底板、背板、兩個側板及前板的材質,是一種工程塑膠。
- 如請求項第1或2項項所述的液晶面板傳送盒,該上板、底板、背板、兩個側板及前板的材質,是一種金屬。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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TWI806710B (zh) * | 2022-07-18 | 2023-06-21 | 保泰精密工業股份有限公司 | 液晶面板傳送盒 |
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2022
- 2022-07-18 TW TW111207691U patent/TWM635981U/zh unknown
Cited By (1)
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TWI806710B (zh) * | 2022-07-18 | 2023-06-21 | 保泰精密工業股份有限公司 | 液晶面板傳送盒 |
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