JP2010253596A - チャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】保持対象物を載置する区画に対して、保持対象物を載置又は取り上げる際の、当該区画に対する保持対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができるチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】チャッキング装置は、旋回流発生室と、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、吸引保持パットによって保持対象物をチャッキングするチャッキング装置であって、第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、第二の吸引保持面を備え、第二の吸引保持面の面方向が、第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備える。
【選択図】図７

Description

本発明は、チャッキング対象物をチャッキングするチャッキング装置及びチャッキング方法、搬送対象物をチャッキングして搬送する搬送装置、及び搬送方法に関する。

従来から、半導体装置や振動子のような微細な素子は、一枚のマザー基板上に多数の素子を形成することで、効率良く製造されている。半導体装置を形成するためのシリコンや、振動子を形成するための水晶のような脆い材料で形成された薄いマザー基板は、破損し易いため、扱うことが困難である。しかも、素子を形成する面には触れることが好ましくないため、扱うために接触することができる部分は、マザー基板の一部分に限られている。しかし、一枚のマザー基板に多数の素子を精度良く形成するためには、マザー基板を精度良く位置決めすることが必要である。破損し難くすると共に直接接触することを少なくすることで扱い易くするために、マザー基板がほとんど隙間なく嵌合できる治具に当該マザー基板を固定して、当該治具を取扱うことが行われている。マザー基板の治具へのセットは、繊細な扱いが必要であることから、手作業によることが多かった。しかし、手作業では、作業時間の短縮が困難であるという課題があった。作業者に起因する様々なばらつきによって、手作業におけるワークの破損の発生率が必ずしも一定水準に保たれないという課題もあった。

脆いワークを破損することなく治具にセットするために、ベルヌーイの定理による吸引力を利用して吸引し、噴出する圧縮気体の圧力によって非接触状態を維持する非接触の吸引保持端末を利用したチャッキング方法を用いることが考えられる。
特許文献１には、空気の旋回流が発生する旋回室と、旋回室に連通するとともに被搬送物に対向する対向面と、を設けることによって、非接触で被搬送物を吸着する無接触搬送装置が開示されている。特許文献２には、旋回室の形状を工夫することによって、エア供給量に対するワークの保持範囲を拡大させ、ワークを確実且つ安定的に保持して移送することが可能な非接触搬送装置が開示されている。

特開平１１−２５４３６９号公報 特開２００８−８７９１０号公報

しかしながら、ワークがほとんど隙間なく嵌合できる治具にワークを嵌入するためには、治具に対してワークを精度よく位置決めする必要がある。特許文献１や特許文献２に記載されたような装置では、吸着面に沿う方向の固定力はほとんどないため、搬送装置の保持端末の治具に対する位置精度が充分であっても、保持されたワークの位置はずれている可能性が高いという課題があった。ワークと治具との位置ずれがある場合には、ワークにおける保持装置などが接触することが好ましくない面が治具に当接する可能性がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかるチャッキング装置は、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、前記吸引保持パットによって前記保持対象物をチャッキングするチャッキング装置であって、第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、第二の吸引保持面を備え、前記第二の吸引保持面の面方向が、前記第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備えることを特徴とする。

本適用例のチャッキング装置によれば、第一の吸引保持面の面方向と第二の吸引保持面の面方向とが、互いに異なっている。第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に吸引保持された保持対象物の被吸引保持面の部分は、第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に略平行になるため、保持対象物の被吸引保持面における第一の吸引保持面に対向する部分と、第二の吸引保持面に対向する部分と、で面の方向が互いに異なっている。このことによって、第一の吸引保持面及び第二の吸引保持面に吸引保持された保持対象物の被吸引保持面（保持対象物）が湾曲する。被吸引保持面が湾曲していない保持対象物に比べて、被吸引保持面が湾曲した保持対象物は、湾曲していない被吸引保持面の面方向における寸法を小さくすることができる。保持対象物の寸法が小さくなることで、保持対象物を載置する区画の大きさと保持対象物の大きさとの差が大きくなるため、保持対象物を載置する区画に対する保持対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができる。

［適用例２］上記適用例にかかるチャッキング装置は、前記第一の吸引保持面の面方向と前記第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更可能に、前記第一の吸引保持パット又は前記第二の吸引保持パットの少なくとも一方を支持するパット支持手段をさらに備えることが好ましい。

このチャッキング装置によれば、パット支持手段によって、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更することができる。
略平坦な被吸引保持面を有する保持対象物を吸引保持する際は、複数の吸引保持面の面方向が揃っていた方が、吸引保持し易いため、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とは同じ方向であることが好ましい。保持対象物を載置する区画に対して保持対象物を位置決めする際は、保持対象物を湾曲させて小さくすることが好ましいため、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とは方向が異なることが好ましい。パット支持手段によって、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更することで、それぞれの場合に適した第一の吸引保持面の面方向と第二の吸引保持面の面方向との交差角度を実現することができる。

［適用例３］上記適用例にかかるチャッキング装置は、前記第一の吸引保持面と前記第二の吸引保持面とは、それぞれの面の面方向が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによって吸引保持された前記保持対象物が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形する方向であることが好ましい。

このチャッキング装置によれば、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに吸引保持された保持対象物は、吸引保持された時点で、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となっている。
一般的に、チャッキング装置によるチャッキングは、置かれている保持対象物を重力に抗して持ち上げる操作である。第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となっている保持対象物は、重心位置が最も下になる位置が安定した位置であるため、重力に抗して持ち上げられた保持対象物は、重力によって当該位置に位置させられる。これにより、チャッキング装置に対する保持対象物の位置を一定の位置にすることができる。

［適用例４］本適用例にかかるチャッキング方法は、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口しており、前記第一の吸引保持面の面方向とは面方向が異なる第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて板状の前記保持対象物を吸引保持する吸引保持工程を有することを特徴とする。

本適用例のチャッキング方法によれば、吸引保持工程において、保持対象物は、面方向が互いに異なっている第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面を有する第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットによって吸引保持される。第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に吸引保持された保持対象物の被吸引保持面の部分は、第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に略平行になるため、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットによって吸引保持された保持対象物の被吸引保持面における第一の吸引保持面に対向する部分と、第二の吸引保持面に対向する部分と、で面の方向が互いに異なっている。このことによって、第一の吸引保持面及び第二の吸引保持面に吸引保持された保持対象物の被吸引保持面（保持対象物）が湾曲する。被吸引保持面が湾曲していない保持対象物に比べて、被吸引保持面が湾曲した保持対象物は、湾曲していない被吸引保持面の面方向における寸法を小さくすることができる。保持対象物の寸法が小さくなることで、保持対象物を載置する区画の大きさと保持対象物の大きさとの差が大きくなるため、保持対象物を載置する区画に対する保持対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができる。

［適用例５］本適用例にかかるチャッキング方法は、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口している第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて板状の前記保持対象物を吸引保持する吸引保持工程と、前記第一の吸引保持面の面方向又は前記第二の吸引保持面の面方向の少なくとも一方を変えることによって、前記第一の吸引保持面の面方向と、前記第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更する面方向変更工程と、を有することを特徴とする。

本適用例のチャッキング方法によれば、面方向変更工程によって、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更することができる。
略平坦な被吸引保持面を有する保持対象物に対して吸引保持工程を実施する際は、複数の吸引保持面の面方向が揃っていた方が、吸引保持し易いため、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とは同じ方向であることが好ましい。一方、保持対象物を載置する区画に対して保持対象物を位置決めする際は、保持対象物を湾曲させて小さくすることが好ましいため、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とは方向が異なることが好ましい。面方向変更工程において、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更することで、それぞれの場合に適した第一の吸引保持面の面方向と第二の吸引保持面の面方向との交差角度を実現することができる。

［適用例６］本適用例にかかる搬送装置は、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記吸引保持面上に流出する気体とにより、搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、前記吸引保持パットによって前記搬送対象物をチャッキングするチャッキング装置を備える搬送装置であって、第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、第二の吸引保持面を備え、前記第二の吸引保持面の面方向が、前記第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備えることを特徴とする。

本適用例の搬送装置によれば、第一の吸引保持面の面方向と第二の吸引保持面の面方向とが、互いに異なっている。第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に吸引保持された搬送対象物の被吸引保持面の部分は、第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に略平行になると安定するため、搬送対象物の被吸引保持面における第一の吸引保持面に対向する部分と、第二の吸引保持面に対向する部分と、で面の方向が互いに異なっている。これにより、第一の吸引保持面及び第二の吸引保持面に吸引保持された搬送対象物の被吸引保持面（搬送対象物）が湾曲する。被吸引保持面が湾曲していない搬送対象物に比べて、被吸引保持面が湾曲した搬送対象物は、湾曲していない被吸引保持面の面方向における寸法を小さくすることができる。搬送対象物の寸法が小さくなることで、搬送対象物を載置する区画の大きさと搬送対象物の大きさとの差が大きくなるため、搬送対象物を載置する区画に対する搬送対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができる。

［適用例７］上記適用例にかかる搬送装置は、前記第一の吸引保持面の面方向と、前記第二の吸引保持面の面方向との交差角度を変更可能に、前記第一の吸引保持パット又は前記第二の吸引保持パットの少なくとも一方を支持するパット支持手段をさらに備えることが好ましい。

この搬送装置によれば、パット支持手段によって、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更することができる。
略平坦な被吸引保持面を有する搬送対象物を吸引保持する際は、複数の吸引保持面の面方向が揃っていた方が、吸引保持し易いため、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とは同じ方向であることが好ましい。搬送対象物を載置する区画に対して搬送対象物を位置決めする際は、搬送対象物を湾曲させて小さくすることが好ましいため、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とは方向が異なることが好ましい。パット支持手段によって、第一の吸引保持面の面方向と、第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更することで、それぞれの場合に適した第一の吸引保持面の面方向と第二の吸引保持面の面方向との交差角度を実現することができる。

［適用例８］上記適用例にかかる搬送装置は、前記第一の吸引保持面と前記第二の吸引保持面とは、それぞれの面の面方向が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによって吸引保持された前記搬送対象物が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形する方向であることが好ましい。

この搬送装置によれば、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに吸引保持された搬送対象物は、吸引保持された時点で、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となっている。
一般的に、搬送装置による搬送は、最初に、チャッキング装置によって置かれている搬送対象物を重力に抗して持ち上げる操作を実施する。第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに吸引保持されて、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となっている搬送対象物は、重心位置が最も下になる位置が安定した位置であるため、重力に抗して持ち上げられた搬送対象物は、重力によって当該位置に位置させられる。これにより、チャッキング装置に対する搬送対象物の位置を一定の位置にすることができる。

［適用例９］本適用例にかかる搬送方法は、第一の位置に在る板状の搬送対象物を搬送して第二の位置に着座させる搬送方法であって、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口しており、前記第一の吸引保持面の面方向とは面方向が異なる第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて、前記第一の位置に在る前記搬送対象物を吸引保持することによって、板状の前記搬送対象物を変形させて吸引保持する保持工程と、吸引保持された前記搬送対象物が前記第二の位置に臨む位置に、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットを移動させる移動工程と、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによる吸引保持を解除して、前記搬送対象物を前記第二の位置に着座させる着座工程と、を有することを特徴とする。

本適用例の搬送方法によれば、保持工程において、搬送対象物は、面方向が互いに異なっている第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面を有する第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットによって吸引保持される。第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に吸引保持された搬送対象物の被吸引保持面の部分は、第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に略平行になるため、吸引保持された搬送対象物の被吸引保持面における第一の吸引保持面に対向する部分と、第二の吸引保持面に対向する部分と、で面の方向が互いに異なっている。このことによって、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットによって吸引保持された搬送対象物の被吸引保持面（搬送対象物）が湾曲する。被吸引保持面が湾曲していない搬送対象物に比べて、被吸引保持面が湾曲した搬送対象物は、湾曲していない被吸引保持面の面方向における寸法を小さくすることができる。搬送対象物の寸法が小さくなることで、第二の位置における搬送対象物を着座させる区画の大きさと搬送対象物の大きさとの差が大きくなるため、搬送対象物を着座させる区画に対する搬送対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる搬送方法は、前記保持工程では、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向する側が凸となる形状に変形させることが好ましい。

この搬送方法によれば、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに吸引保持された搬送対象物は、吸引保持された時点で、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向する側が凸となっている。搬送対象物が第一の位置から離脱される際は、搬送対象物は第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットの側に移動するため、搬送対象物の端の方が、中央部分に対して離脱方向の後ろ側となる。これにより、搬送対象物の端が第一の位置の区画壁などに接触しても、接触したことによる移動を妨げる方向の力の発生を抑制することができる。

［適用例１１］上記適用例にかかる搬送方法は、前記保持工程では、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形させることが好ましい。

この搬送方法によれば、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに吸引保持された搬送対象物は、吸引保持された時点で、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となっている。
着座工程を実施する前に、第二の位置における搬送対象物を着座させる面に略垂直な方向において、搬送対象物を第二の位置に接近させる際は、搬送対象物は第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットとは反対側に移動するため、搬送対象物の端の方が、中央部分に対して接近方向の後ろ側となる。これにより、搬送対象物の端が第二の位置の区画壁などに接触しても、接触したことによる移動を妨げる方向の力の発生を抑制することができる。

［適用例１２］本適用例にかかる搬送方法は、第一の位置に在る板状の搬送対象物を搬送して第二の位置に着座させる搬送方法であって、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口している第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて、前記第一の位置に在る前記搬送対象物を吸引保持する吸引保持工程と、前記第一の吸引保持面の面方向又は前記第二の吸引保持面の面方向の少なくとも一方を変えることによって、前記第一の吸引保持面及び前記第二の吸引保持面に吸引保持された前記搬送対象物を湾曲させる湾曲工程と、吸引保持された前記搬送対象物が前記第二の位置に臨む位置に、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットを移動させる移動工程と、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによる吸引保持を解除して、前記搬送対象物を前記第二の位置に着座させる着座工程と、を有することを特徴とする。

本適用例の搬送方法によれば、湾曲工程によって、第一の吸引保持面の面方向又は第二の吸引保持面の面方向の少なくとも一方が変えられることで、第一の吸引保持面の面方向と第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度が変えられる。第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に吸引保持された搬送対象物の被吸引保持面の部分は、第一の吸引保持面又は第二の吸引保持面に略平行になる。このため、搬送対象物は、吸引保持された搬送対象物の被吸引保持面における第一の吸引保持面に対向する部分と、第二の吸引保持面に対向する部分と、で面の方向が互いに異なる状態に湾曲させられる。被吸引保持面が湾曲していない搬送対象物に比べて、被吸引保持面が湾曲した搬送対象物は、湾曲していない被吸引保持面の面方向における寸法を小さくすることができる。搬送対象物の寸法が小さくなることで、第二の位置における搬送対象物を着座させる区画の大きさと搬送対象物の大きさとの差が大きくなるため、搬送対象物を着座させる区画に対する搬送対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる搬送方法は、前記移動工程が、前記第一の位置に在る前記搬送対象物を前記第一の位置から離脱させる離脱工程を含み、前記湾曲工程は、前記離脱工程に先立って、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向する側が凸となる形状に変形させる工程であることが好ましい。

この搬送方法によれば、湾曲工程は、離脱工程に先立って実施され、湾曲工程を実施することによって搬送対象物は、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向する側が凸となる形状に変形させられる。離脱工程が実施される際は、搬送対象物は第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットの側に移動するため、搬送対象物の端の方が、中央部分に対して離脱方向の後ろ側となる。これにより、搬送対象物の端が第一の位置の区画壁などに接触しても、接触したことによる移動を妨げる方向の力の発生を抑制することができる。

［適用例１４］上記適用例にかかる搬送方法は、前記着座工程が、前記搬送対象物を前記第二の位置に接近させる接近工程を含み、前記湾曲工程は、前記接近工程に先立って、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形させる工程であることが好ましい。

この搬送方法によれば、湾曲工程は、接近工程に先立って実施され、湾曲工程を実施することによって搬送対象物は、第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形させられる。接近工程を実施する際は、搬送対象物は第一の吸引保持パット及び第二の吸引保持パットとは反対側に移動するため、搬送対象物の端の方が、中央部分に対して接近方向の後ろ側となる。これにより、搬送対象物の端が第二の位置の区画壁などに接触しても、接触したことによる移動を妨げる方向の力の発生を抑制することができる。

（ａ）は、ＳＡＷ共振片の一例を示す平面図。（ｂ）は、複数のＳＡＷパターンが形成された共振片ウェハーの平面図。 給除材装置の概略構成を示す外観斜視図。 吸引パットの構造を示す斜視図。 ヘッドケースの構成を示す平面図。 （ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す部分断面を含む側面図。（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図。 吸引保持ハンドの全体構成を示す分解斜視図。 吸引保持ハンドが共振片ウェハーを吸引保持する状態を示す説明図。 （ａ）は、ヘッドケースの構成を示す平面図。（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す断面図。（ｃ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図。 吸引保持ヘッドの側面図。 共振片ウェハーの搬送工程の各工程を示すフローチャート。 共振片ウェハーの搬送工程の各工程における吸引保持ヘッドと共振片ウェハーとの位置関係を示す説明図。 （ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す側面図。（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図。（ｃ）は、共振片ウェハーを吸引保持する状態を示す説明図。

以下、チャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、構成部材をわかり易く表示するために、部材又は部分の縦横の縮尺や部分ごとの縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

（第一の実施形態）
最初に、チャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法の一実施形態である第一の実施形態について、説明する。本実施形態は、搬送装置の一例である、給除材装置を例にして説明する。本実施形態の給除材装置は、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）共振子の製造工程において、ＳＡＷ共振片を構成する複数のＳＡＷパターンが区画形成された共振片ウェハーを取り扱う給除材装置である。

＜共振片ウェハー＞
最初に、給除材装置１０（図２参照）が扱う搬送対象物又は保持対象物の一例である、共振片ウェハー１Ａについて、図１を参照して説明する。共振片ウェハー１Ａは、圧電体ウェハーにＳＡＷ共振片１が区画形成されたものであり、ＳＡＷ共振片１は、ＳＡＷ共振子を構成する主要要素である。図１（ａ）は、ＳＡＷ共振片の一例を示す平面図である。図１（ｂ）は、複数のＳＡＷパターンが形成された共振片ウェハーの平面図である。
ＳＡＷ共振子は、ハウジングにＳＡＷ共振片１を封入し、接着剤で接着し、ボンディングワイヤによってＳＡＷ共振片１とハウジング端子とを導通させて形成される。

図１（ａ）に示したように、ＳＡＷ共振片１は、水晶、リチウムタンクレート、リチウムニオブベートなどの圧電体を矩形にカットしたものを基体（チップ）として構成されている。本実施形態の圧電体のチップ３は、平らな略長方形にカットされており、その表面（主面）３ａの中央に、１組の電極４ａ及び電極４ｂからなる交叉指電極（ＩＤＴ：Inter Digital Transducer）４が形成されている。ＩＤＴ４の長手方向の両側には、格子状の反射器６が、それぞれ形成されている。チップ３の長手方向の縁に沿って、ＩＤＴ４を形成する電極４ａ又は電極４ｂとそれぞれ繋がった導通用のボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂが、形成されている。ボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂは、電極４ａ及び電極４ｂと同じ素材を用いて形成されており、このボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂにワイヤーボンディングすることによって電気的な接続が得られる。交叉指電極４と、反射器６と、ボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂと、の組をＳＡＷパターン２と表記する。
図１（ａ）に破線で示した領域７ａ及び領域７ｂは、陽極酸化レジスト膜を形成する領域である。陽極酸化膜は、電極の表面を陽極酸化することによって、酸化膜を電極の表面に形成し、ＳＡＷ共振片の特性にほとんど影響を与えることなく、電極を保護することで、電極に異物が付着することによるトラブルを防止するものである。陽極酸化レジスト膜は、ボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂに陽極酸化膜が形成されないようにするためのレジスト膜である。

図１（ｂ）に示すように、共振片ウェハー１Ａは、圧電体のウェハー３Ａに複数のＳＡＷパターン２が形成されている。共振片ウェハー１Ａは、複数のＳＡＷパターン２が形成された状態で陽極酸化が行われる。なお、本実施形態では、共振片ウェハー１Ａは、陽極酸化が行われる前も、陽極酸化が行われた後も、共振片ウェハー１Ａと表記する。陽極酸化を実施する装置に共振片ウェハー１Ａを給材したり、陽極酸化膜が形成された共振片ウェハー１Ａを除材したりする際は、ＳＡＷパターン２が形成された面や、陽極酸化膜の面を保持することで共振片ウェハー１Ａを保持するため、ＳＡＷパターン２や陽極酸化膜に影響を与えない保持方法を用いることが必要である。

＜給除材装置＞
次に、給除材装置１０について、図２を参照して説明する。図２は、給除材装置の概略構成を示す外観斜視図である。
図２に示すように、給除材装置１０は、吸引保持ハンド２０と、給除材腕３１と機台３８とを備えるロボット機構３０と、給除材装置制御部３９とを備えている。
給除材腕３１は、腕部３２ａと、腕部３２ｂと、腕関節部３３と、ハンド保持機構３４と、腕軸部３６とを備えている。腕部３２ａの一端と腕部３２ｂの一端とは、腕関節部３３で接続されている。腕部３２ｂの腕関節部３３に接続された一端の反対側の一端は、腕軸部３６に接続されている。腕軸部３６は、腕部３２ｂを腕軸部３６の回動軸を中心に回動可能に支持している。腕部３２ｂは、腕部３２ａを、腕関節部３３を介して、腕関節部３３の回動軸を中心に回動可能に支持している。腕部３２ａと腕部３２ｂとは、腕関節部３３において互いのなす角度を調整可能である。即ち、給除材腕３１は、腕関節部３３において屈伸可能である。腕軸部３６の回動軸の軸方向と、腕関節部３３の回動軸の軸方向とは、互いに略平行である。機台３８は、内蔵する摺動支持機構（図示省略）を介して、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動自在に、且つ精密に位置決め固定可能に支持している。

腕部３２ａの腕関節部３３に接続された一端の反対側の一端には、ハンド保持機構３４が固定されている。ハンド保持機構３４には、吸引保持ハンド２０が固定されている。ハンド保持機構３４は、腕軸部３６の回動軸の軸方向及び腕関節部３３の回動軸の軸方向と同じ軸方向の回動軸を有し、腕部３２ａに対して、当該回動軸を中心に吸引保持ハンド２０を回動可能に支持している。
吸引保持ハンド２０は、後述する吸引パット２１（図３参照）を６個備えており、吸引保持ハンド２０の吸引保持面は、６個の吸引パット２１が備える６個の吸引保持面１８２（図３参照）で構成されている。後述するが、吸引保持ハンド２０の吸引保持面の中央部分は、ハンド保持機構３４の回動軸と略垂直であり、ハンド保持機構３４によって吸引保持ハンド２０を回動させることで、ハンド保持機構３４の回動軸に垂直な平面方向における吸引保持面の方向を変えることができる。
給除材装置制御部３９は、情報入出力装置（図示省略）を介して予め入力された制御プログラムに基づいて、給除材装置１０の各部の動作を統括制御する。

次に、給除材装置１０によってワークを搬送する際の給除材装置１０の動作について説明する。
最初に、腕軸部３６によって、給除材腕３１を回動させて任意の方向に向け、腕関節部３３において給除材腕３１を屈伸させることによって、吸引保持ハンド２０を任意の位置、例えば、ワークを吸引保持可能な位置に位置させる。次に、機台３８の摺動支持機構によって、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動させることによって、吸引保持ハンド２０の吸引保持面をワークを吸引保持可能な距離まで接近させ、当該位置でワークを吸引保持する。次に、機台３８の摺動支持機構によって腕軸部３６を摺動させて、吸引保持ハンド２０を腕軸部３６の軸方向に移動させることによって、ワークを持ち上げる。
次に、腕軸部３６によって、給除材腕３１を回動させて、給除材腕３１をワークを着座させる方向に向け、腕関節部３３において給除材腕３１を屈伸させることによって、ワークを吸引保持した吸引保持ハンド２０を、ワークが着座位置に臨む位置に位置させる。次に、機台３８の摺動支持機構によって、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動させることによって、吸引保持ハンド２０が吸引保持したワークを着座面に着座させることが可能な距離まで接近させ、当該位置でワークの吸引保持を解除し、ワークを着座面に落下させる。給除材装置１０によって搬送される共振片ウェハー１Ａなどのワークが、保持対象物又は搬送対象物に相当する。

＜吸引パット＞
次に、吸引保持ハンド２０が備える吸引パット２１について、図３を参照して説明する。吸引パット２１は、ベルヌーイの定理を応用して、吸引保持する部材を吸引すると共に、流出する気体によって部材に押し力を加えることによって、部材と吸引パットとの非接触状態を維持して、非接触で部材を保持するものである。図３は、吸引パットの構造を示す斜視図である。

図３に示すように、吸引パット２１は、旋回流発生室１８１と、吸引保持面１８２と、一対の気体噴出流路１８３，１８３と、一対のチャンバ流路１８５，１８５と、を備えている。旋回流発生室１８１は、円柱状の凹部である。吸引保持面１８２は、吸引パット２１における旋回流発生室１８１が開口する端面であり、旋回流発生室１８１の開口側端に連なり、吸引保持された状態の被吸引部材が臨む面である。気体噴出流路１８３は、一端が旋回流発生室１８１の内周面１８４に開口しており、旋回流発生室１８１に圧縮空気を噴出させて、旋回流発生室１８１に旋回流を発生させる。チャンバ流路１８５は、各気体噴出流路１８３の上流端に連通し、吸引気体供給部９０（図６参照）からの圧縮空気を供給する。吸引気体供給部９０から供給された圧縮空気は、一対のチャンバ流路１８５に同時に流入し、それぞれ気体噴出流路１８３を通って旋回流発生室１８１に噴出される。

吸引パット２１の外形は、略円形の吸引保持面１８２を端面とする略円筒形状であり、円筒の途中から吸引保持面１８２の反対側の端面までは、一部が切り欠かれた形状をしている。切り欠かれた部分は、平坦な面であって、互いに平行な一対の面１８６，１８６で構成されている。チャンバ流路１８５の気体噴出流路１８３に連通する側の反対側は、面１８６に開口している。

旋回流発生室１８１は、その内周面１８４の一端が閉塞された円柱状に形成されており、旋回流発生室１８１の閉塞側には、一対の気体噴出流路１８３が形成されている。旋回流発生室１８１に流入した圧縮空気は、その内周面１８４に沿うように流れ、強い旋回流となってやがて開放端から側方に流出する。旋回流の中心部には、ベルヌーイの定理に従って負圧が生じ、この負圧により共振片ウェハー１Ａなどを吸引する。

吸引保持面１８２は、旋回流発生室１８１の開口側端に連なり、旋回流の旋回軸に対して略直交する形状に形成されている。旋回流発生室１８１で発生した旋回流は、旋回流発生室１８１の開放端に達すると、その遠心力により吸引保持面１８２に沿って内周側から外周側に向って渦流となって流れ出す。旋回流発生室１８１から流出して、吸引保持面１８２上を流れ出す空気により、共振片ウェハー１Ａなどと吸引保持面１８２との間隙が維持される。吸引パット２１が、吸引保持パットに相当する。

図３に示した吸引パット２１では、旋回流発生室１８１に発生する旋回流は、吸引保持面１８２側から見て、時計まわりに旋回する。気体噴出流路１８３の位置を、旋回流発生室１８１の中心軸を含む面に関して面対称の位置にすると、旋回流発生室１８１に発生する旋回流は、吸引保持面１８２側から見て、反時計まわりに旋回する。本実施形態では、旋回方向に関わらず、いずれの旋回方向の旋回流を発生するものも、吸引パット２１と表記する。
なお、吸引パット２１の形状は、旋回流発生室１８１の開口端が徐々に広がるようにベルマウス形状としてもよいし、吸引保持面１８２に渦流を維持する渦形の溝を形成するようにしてもよい。

＜ヘッドケース＞
次に、吸引パット２１が固定されており、吸引保持ヘッド２５（図６参照）を構成するヘッドケース５１について、図４及び図５を参照して説明する。図４は、ヘッドケースの構成を示す平面図である。図５は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す図である。図５（ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す部分断面を含む側面図であり、図５（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図である。

図４及び図５に示すように、ヘッドケース５１は、６個の吸引パット２１を下方に突出させて保持している。ヘッドケース５１には、６個の固定装着穴が、２行３列のマトリクス状に配設されている。固定装着穴は、上述した吸引パット２１の一対の面１８６，１８６と隙間なく嵌合できる平坦面を備えている。各吸引パット２１は、面１８６が形成された部分が固定装着穴に嵌合されて、接着固定されている。１列に並ぶ２個の吸引パット２１は、それぞれの吸引保持面１８２が同一平面内に位置するように保持されている。１行に並ぶ３個の吸引パット２１は、それぞれの吸引保持面１８２が互いに異なる方向を向いている。
３個の中央に位置する吸引保持面１８２は、吸引保持ハンド２０がハンド保持機構３４を介してロボット機構３０に取り付けられた状態で、略水平（鉛直方向に垂直）になっている。３個の両側に位置する２個の吸引保持面１８２は、それぞれ中央側と反対側に向くように傾いている。中央の吸引保持面１８２の面方向に対する、両側の吸引保持面１８２の面方向との傾き角θは、例えば２°である。
３個の吸引保持面１８２の中のいずれかの吸引保持面１８２が、第一の吸引保持面に相当し、当該吸引保持面１８２を有する吸引パット２１が、第一の吸引保持パットに相当する。第一の吸引保持面に相当する吸引保持面１８２とは異なる吸引保持面１８２が、第二の吸引保持面に相当し、当該吸引保持面１８２を有する吸引パット２１が、第二の吸引保持パットに相当する。

吸引パット２１で発生する旋回流の旋回方向は、一方の１行に配列された３個の吸引パット２１の両側に位置する２個の吸引パット２１及び他方の１行の中央に位置する吸引パット２１が時計まわりに旋回する旋回流を発生し、一方の１行に配列された３個の吸引パット２１の中央に位置する１個の吸引パット２１及び他方の１行の両側に位置する２個の吸引パット２１が反時計まわりに旋回する旋回流を発生するように、６個の吸引パット２１が配置されている。
ヘッドケース５１に固定された６個の吸引パット２１の６個の吸引保持面１８２が構成する面を、吸引保持面１８２Ａと表記する。

図４に示すように、ヘッドケース５１に形成された圧空溝８８は、主圧空溝８４と、主圧空溝８４から分岐して各吸引パット２１に向って伸びる副圧空溝８５と、から構成されている。
主圧空溝８４は、主圧空溝室８４ａと、導入圧空溝室８４ｂとで構成されている。主圧空溝室８４ａは、３列の吸引パット２１の列間に、それぞれ１個ずつ形成されている。２個の主圧空溝室８４ａは、それぞれ吸引パット２１の列方向に延在している。導入圧空溝室８４ｂは、両端が２個の主圧空溝室８４ａの略中央にそれぞれ連接されており、２個の主圧空溝室８４ａ間を連結する空間である。蓋ケース５２（図６参照）がヘッドケース５１に取り付けられた状態で、蓋ケース５２の吸引気体孔５４が、導入圧空溝室８４ｂの略中央に臨んで開口している。

副圧空溝８５は、長い長尺副圧空溝８５ａと、短い短尺副圧空溝８５ｂと、連結副圧空溝８５ｃと、で構成されている。長尺副圧空溝８５ａは、主圧空溝室８４ａから、１行に配列された３個の吸引パット２１の一方の端に位置する吸引パット２１に向って垂直に分岐した長い副圧空溝８５である。短尺副圧空溝８５ｂは、主圧空溝室８４ａから、長尺副圧空溝８５ａと同様に分岐した短い副圧空溝８５である。１個の長尺副圧空溝８５ａと１個の短尺副圧空溝８５ｂが、１個の吸引パット２１を挟んで配設されており、ヘッドケース５１には、１個の長尺副圧空溝８５ａと１個の短尺副圧空溝８５ｂとからなる組が４組形成されている。連結副圧空溝８５ｃは、２個の主圧空溝室８４ａを連結する状態に形成されており、１行に配列された３個の吸引パット２１の中央にそれぞれ位置する吸引パット２１を挟む位置に、配設されている副圧空溝８５である。

吸引パット２１がヘッドケース５１に取り付けられた状態で、吸引パット２１の面１８６が、長尺副圧空溝８５ａ、短尺副圧空溝８５ｂ、及び連結副圧空溝８５ｃに臨んでおり、長尺副圧空溝８５ａ、短尺副圧空溝８５ｂ、及び連結副圧空溝８５ｃは、面１８６に開口しているチャンバ流路１８５にそれぞれ連通している。後述する吸引気体供給部９０（図６参照）から供給される圧縮空気が、蓋ケース５２の吸引気体孔５４から流入し、主圧空溝８４及び各副圧空溝８５を介して、各吸引パット２１のチャンバ流路１８５に流入する。チャンバ流路１８５に流入した圧縮空気は、気体噴出流路１８３から旋回流発生室１８１に噴出され、図５に示した矢印ａのように旋回する旋回流が発生する。蓋ケース５２は、ヘッドケース５１の周縁に形成された突設枠部８７の内側に嵌合することで、ヘッドケース５１に対して位置決めされる。

＜吸引保持ハンド＞
次に、吸引保持ハンド２０の全体構成について、図６を参照して説明する。図６は、吸引保持ハンドの全体構成を示す分解斜視図である。吸引保持ハンド２０が、チャッキング装置に相当する。
図６に示すように、吸引保持ハンド２０は、共振片ウェハー１Ａなどのワークを吸引保持する複数（図示のものは、６個）の吸引パット２１と、吸引パット２１を保持するパットホルダー２３と、パットホルダー２３を支持する装置取付部２４と、を備えている。また、吸引保持ハンド２０は、非接触保持用の空気を供給する吸引気体供給部９０と、吸引気体供給部９０を制御すると共に給除材装置制御部３９とリンクする吸引保持制御部９１と、を備えている。

パットホルダー２３は、上述したヘッドケース５１を有する吸引保持ヘッド２５と、吸引保持ヘッド２５を垂設支持するワークガイド２６と、ワークガイド２６を垂設支持するジョイント部材２７と、を同軸上に重ねる状態に構成されている。
吸引保持ヘッド２５は、ヘッドケース５１と蓋ケース５２とを備え、蓋ケース５２がヘッドケース５１の周縁に形成された突設枠部８７の内側に嵌合して、隙間なく固定されている。蓋ケース５２がヘッドケース５１に固定されることで、ヘッドケース５１に形成された主圧空溝８４及び各副圧空溝８５が、蓋ケース５２に形成された吸引気体孔５４、及び吸引パット２１に形成されたチャンバ流路１８５に連通する気体流路となっている。

吸引気体供給部９０は、吸引気体供給源９２と、吸引給気管９３ａと、吸引流量調整弁９５と、吸引給気管９３ｂとを備えている。吸引気体供給源９２は、例えば圧空ポンプのような、圧縮空気を送出する装置である。吸引流量調整弁９５は、圧縮空気の流路と、流路の中間に形成されており、当該流路の開閉及び圧縮空気の流量の調整が可能な弁部とを備えている。吸引気体供給源９２には、吸引給気管９３ａの一端が接続されている。吸引給気管９３ａのもう一方の端には吸引流量調整弁９５の流路の一方が接続されている。吸引給気管９３ａが接続された流路と弁部によって連通又は遮断されるもう一方の流路には、吸引給気管９３ｂの一端が接続されている。吸引給気管９３ｂのもう一端は、パットホルダー２３のジョイント部材２７に形成された吸引給気流路７４に接続されている。
吸引流量調整弁９５の開閉駆動源は、吸引保持制御部９１と電気的に接続されており、吸引保持制御部９１は、給除材装置制御部３９と電気的に接続されている。吸引保持制御部９１は、給除材装置制御部３９からの制御信号に従って、吸引流量調整弁９５の弁部の開閉駆動源を制御して吸引流量調整弁９５による吸引用気体の供給、遮断、及び供給量の調整を実施する。

吸引保持ハンド２０の装置取付部２４は、略円筒形状に形成され、上半部の内部には太径の取付孔４１が、下半部の内部には細径の装着孔４２がそれぞれ形成されている。取付孔４１と装着孔４２とは同軸上に配設されている。取付孔４１は、吸引保持ハンド２０をロボット機構３０のハンド保持機構３４に取り付けるための部位として機能する。装着孔４２には、ジョイント部材２７の装着部７２が差し込まれて、パットホルダー２３が、装置取付部２４に装着される。
ハンド保持機構３４と装置取付部２４とは、取付孔４１に嵌入したハンド保持機構３４の部分を、上ネジ孔４３に螺合した止めネジで固定することによって、互いに固定される。装置取付部２４とジョイント部材２７とは、装着孔４２に嵌入したジョイント部材２７の装着部７２を、下ネジ孔４４に螺合した止めネジで固定することによって、互いに固定される。

パットホルダー２３のジョイント部材２７は、装着部７２及び垂設部７１を備えている。略角柱形状を有する垂設部７１の一端の頂面に、垂設部７１の略角柱形状の中心と中心軸が略一致する円柱形状の装着部７２が立設されている。略円柱形状の装着部７２の側面の一部が切り欠かれて、上述した下ネジ孔４４に螺合した止めネジが突き当てられる平坦部７２ａが形成されている。装着部７２を装置取付部２４の装着孔４２に嵌合し、止めネジを下ネジ孔４４に螺合することにより、ジョイント部材２７が装置取付部２４に装着される。垂設部７１の装着部７２が突設された端面の反対側の端面には、略方形の角を面取りした形状の台座７９が突設されている。この台座７９にワークガイド２６に窪入形成された着座部（凹部）が嵌合して、位置決め固定される。

垂設部７１の内部には、吸引給気流路７４が形成されている。吸引給気流路７４は、吸引給気管９３ｂが接続されると共に、吸引パット２１の旋回流発生室１８１に連なる略「Ｌ」字状の流路である。吸引給気流路７４は、横流路７５と、縦流路７６とを有している。横流路７５は、略角柱形状の垂設部７１の側面に開口し、当該側面に略垂直に形成されており、当該開口に、継手を介して吸引給気管９３ｂが接続されている。縦流路７６は、一端が台座７９の面の略中心位置に開口し、当該面に略垂直に形成されている。当該開口は、台座７９に嵌合したワークガイド２６の吸引気体孔６４に接続されている。横流路７５及び縦流路７６における開口端と反対側の端は、互いに接合して、略「Ｌ」字状の吸引給気流路７４を形成している。

ワークガイド２６は、略方形の厚板の４角が面取りされた形状に形成されたガイド本体６１と、一つの対角に位置する面取り部の両側においてガイド本体６１の板面に立設された、４個のガイド突起６２と、が一体に形成されている。
ガイド本体６１におけるガイド突起６２が立設された面の反対側の面には、垂設部７１の台座７９が嵌入する着座部が窪入形成されている。垂設部７１（ジョイント部材２７）の端面に形成された台座７９が着座部に係合して固定されることで、ワークガイド２６が、垂設部７１に懸吊支持されている。

ガイド本体６１は、略方形の板の４角が面取りされた形状を有しており、面取りされた角の一つにおいて、面取りの両側の各辺の端に、それぞれガイド突起６２が立設されている。２個のガイド突起６２の内側（ガイド本体６１の中央側）のガイド面は、ガイド本体６１の面に平行な方向において、互いに略直交する方向を向いている。ガイド本体６１上に位置したワークは、それぞれのガイド突起６２に当接することで、２方向への移動を規制される。
２個のガイド突起６２が形成されている角部と対角の位置の角部には、ガイド本体６１の中心に関して２個のガイド突起６２と略点対称の位置に、他の２個のガイド突起６２が立設されている。ガイド本体６１上に位置したワークは、それぞれのガイド突起６２に当接することで、反対側のガイド突起６２に当接することで移動を規制される方向と反対側の２方向への移動を規制される。
４個のガイド突起６２の位置を変えることによって、異なる大きさや平面形状のワークに対応することができる。

上述した吸引保持ヘッド２５は、ワークガイド２６に垂設支持されている。吸引保持ヘッド２５がワークガイド２６に垂設支持されている状態で、ワークガイド２６の略中央に形成された吸引気体孔６４は、蓋ケース５２の略中央に形成された吸引気体孔５４と連通している。
吸引気体供給源９２から送出された圧縮空気は、吸引給気管９３ａと、吸引流量調整弁９５と、吸引給気管９３ｂと、吸引給気流路７４と、ワークガイド２６の吸引気体孔６４と、蓋ケース５２の吸引気体孔５４と、ヘッドケース５１に形成された圧空溝８８と、を通過して、吸引パット２１に供給される。吸引パット２１に供給された圧縮空気は、チャンバ流路１８５から流入し、気体噴出流路１８３を通って、旋回流発生室１８１に供給される。
吸引保持ハンド２０が、チャッキング装置に相当する。

＜吸引保持＞
次に、給除材装置１０の吸引保持ハンド２０によって、共振片ウェハー１Ａを吸引保持（チャッキング）する状態について、図７を参照して説明する。図７は、吸引保持ハンドが共振片ウェハーを吸引保持する状態を示す説明図である。

最初に、図７（ａ）に示すように、吸引保持ハンド２０の吸引パット２１を、共振片ウェハー１Ａに接近させる。共振片ウェハー１Ａに吸引保持ハンド２０の吸引パット２１を接近させた状態で、吸引気体供給部９０から吸引パット２１に圧縮空気を供給することによって、図７（ｂ）に示すように、共振片ウェハー１Ａが吸引パット２１に吸引保持されることで、吸引保持ハンド２０に吸引保持される。
上述したように、１行に並ぶ３個の吸引保持面１８２の中で中央に位置する吸引保持面１８２は、吸引保持ハンド２０がハンド保持機構３４を介してロボット機構３０に取り付けられた状態で、略水平（鉛直方向に垂直）になっている。３個の両側に位置する２個の吸引保持面１８２は、それぞれ中央側と反対側に向くように傾いている。３個の吸引保持面１８２に吸引保持されている共振片ウェハー１Ａの被吸引保持面において、それぞれの吸引保持面１８２に対向する部分には、対向する吸引保持面１８２に開口する旋回流発生室１８１に吸引されて、対向する吸引保持面１８２に略平行になるような力が作用する。共振片ウェハー１Ａの厚さは例えば５０μｍ程度であり、大きな曲率半径であれば、割れなどを発生させることなく湾教させることが可能である。面方向が互いに異なる３個の吸引保持面１８２に吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、湾曲して吸引保持されている。

３個の吸引保持面１８２における、両側の吸引保持面１８２の面方向の傾き、開口している旋回流発生室１８１の中心間距離、旋回流発生室１８１の開口径、及び吸引保持面１８２の相対高さを適当に選ぶことによって、吸引保持された共振片ウェハー１Ａを一定の曲率の円弧状に湾曲させることができる。例えば、面方向の傾きを２°、旋回流発生室１８１の中心間距離を２４ｍｍとすると、吸引保持された共振片ウェハー１Ａの曲率半径は、概ね６８８ｍｍとなる。例えば、面方向の傾きを４°、旋回流発生室１８１の中心間距離を２４ｍｍとすると、吸引保持された共振片ウェハー１Ａの曲率半径は、概ね３８８ｍｍとなる。

吸引パット２１に吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、吸引パット２１からは吸引保持面１８２に平行な方向の拘束力はほとんど受けないため、吸引保持面１８２に平行な方向への移動は自在である。共振片ウェハー１Ａが円弧状に湾曲した場合も、吸引保持面１８２に対する共振片ウェハー１Ａの相対位置が変わっても共振片ウェハー１Ａの湾曲形状は変わらないため、湾曲した円弧の周方向においては、共振片ウェハー１Ａが平坦な場合と同様に、移動は自在である。吸引保持ハンド２０に吸引保持されて円弧状に湾曲させられた共振片ウェハー１Ａは、重心位置が最も重力加速度方向の下側になる位置に移動して安定する。共振片ウェハー１Ａは均一な板厚であるため、図７（ｂ）に示すように、共振片ウェハー１Ａは、共振片ウェハー１Ａの中央が中央の吸引パット２１の旋回流発生室１８１の中心に略一致する位置に位置して安定する。

図７（ｂ）にＬと表記した共振片ウェハー１Ａの長さを７０ｍｍと仮定すると、面方向の傾きが２°であって、吸引保持された共振片ウェハー１Ａの曲率半径が概ね６８８ｍｍの場合、図７（ｂ）にＲＬと表記した円弧状の共振片ウェハー１Ａの幅は、概ね６９．９６ｍｍとなる。面方向の傾きが４°であって、吸引保持された共振片ウェハー１Ａの曲率半径が概ね３４４ｍｍの場合、図７（ｂ）にＲＬと表記した円弧状の共振片ウェハー１Ａの幅は、概ね６９．８４ｍｍとなる。
図７（ｃ）に示した加工用パレット１０１に形成された幅が７０ｍｍのウェハー受１０２に、長さ７０ｍｍの共振片ウェハー１Ａを挿入する場合でも、共振片ウェハー１Ａを湾曲させることによって、図７（ｂ）にｄＬと表記した余裕分が片側にｄＬ／２ずつある。この余裕によって、共振片ウェハー１Ａを、ウェハー受１０２の側壁に触れることなくウェハー受１０２の底に置くことができる。共振片ウェハー１Ａの吸引保持状態を解除して共振片ウェハー１Ａをウェハー受１０２の底に置くと、図７（ｃ）に二点鎖線で示したように、共振片ウェハー１Ａは平坦に戻って、長さが７０ｍｍに戻るため、幅が７０ｍｍのウェハー受１０２に位置決めされると共に、略固定される。

以下、第一の実施形態の効果を記載する。第一の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）吸引保持ハンド２０は、吸引パット２１と、吸引パット２１に非接触保持用の圧縮空気を供給する吸引気体供給部９０とを備えている。これにより、吸引保持ハンド２０を用いて、共振片ウェハー１Ａなどのワークを非接触で吸引保持することができる。

（２）吸引保持ハンド２０に吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、湾曲している。共振片ウェハー１Ａが湾曲することで、共振片ウェハー１Ａが平坦な状態の場合に比べて、端から端までの距離を小さくすることができる。

（３）吸引保持ハンド２０に吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、下側に凸となる形状に湾曲している。これにより、吸引保持ハンド２０に吸引保持された共振片ウェハー１Ａを下側に移動する際に、共振片ウェハー１Ａの端面が壁などに接触することで下側への移動が阻害されることを抑制することができる。

（４）吸引保持ハンド２０に吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、下側に凸であって、一定の曲率半径の円弧形状に湾曲している。これにより、共振片ウェハー１Ａは、共振片ウェハー１Ａが平坦であって、平坦な吸引保持面に吸引保持された場合と同様に、円弧に沿う方向に容易に移動することができる。吸引保持ハンド２０に吸引保持されて円弧状に湾曲させられた共振片ウェハー１Ａは、重心位置が最も重力加速度方向の下側になる位置に移動して安定するため、吸引保持ハンド２０に対する共振片ウェハー１Ａの位置を、略同一の位置にすることができる。

（第二の実施形態）
次に、チャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法の一実施形態である第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態も、搬送装置の一例である、給除材装置を例にして説明する。本実施形態の給除材装置も、ＳＡＷ共振子の製造工程などにおいて、ＳＡＷ共振片などを構成する複数のＳＡＷパターンが区画形成された共振片ウェハーを取り扱う給除材装置である。共振片ウェハーの構成は、第一の実施形態で説明した共振片ウェハー１Ａの構成と、基本的な構成は同一のものである。給除材装置の構成も、第一の実施形態で説明した給除材装置１０の構成と、基本的な構成は同一のものである。第一の実施形態で説明した給除材装置１０とは異なる吸引保持ハンドの吸引保持ヘッドの構成について説明する。

＜ヘッドケース＞
最初に、吸引保持ヘッド２２５（図９参照）を構成するヘッドケース２５１について、図８を参照して説明する。ヘッドケース２５１は、第一の実施形態出説明した吸引保持ヘッド２５のヘッドケース５１と同様に吸引パット２１が取り付けられている。図８は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す図である。図８（ａ）は、ヘッドケースの構成を示す平面図であり、図８（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す断面図であり、図８（ｃ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図である。

図８に示すように、ヘッドケース２５１は、２個の吸引パット２１を下方に突出させて保持している。ヘッドケース２５１には、２個の固定装着穴が、略長方形形状を有するヘッドケース２５１の長辺方向に並んで、短辺方向の略中央に形成されている。固定装着穴は、上述した吸引パット２１の一対の面１８６，１８６と隙間なく嵌合できる平坦面を備えている。各吸引パット２１は、面１８６が形成された部分が固定装着穴に嵌合されて、接着固定されている。１列に並ぶ２個の吸引パット２１は、それぞれの吸引保持面１８２が同一平面内に位置するように保持されている。
吸引パット２１で発生する旋回流の旋回方向は、一方の吸引パット２１が時計まわりに旋回する旋回流を発生し、もう一方の吸引パット２１が反時計まわりに旋回する旋回流を発生するように、２個の吸引パット２１が配置されている。
２個の吸引パット２１の２個の吸引保持面１８２が構成する面を吸引保持面１８２Ｂと表記する。

図８（ａ）に示すように、ヘッドケース２５１に形成された圧空溝２８８は、主圧空溝２８４と、主圧空溝２８４から各吸引パット２１に向って略垂直に分岐した副圧空溝２８５と、で構成されている。
主圧空溝２８４は、接続圧空溝２８４ａと、導入圧空溝２８４ｂとで構成されている。接続圧空溝２８４ａは、略長方形形状を有するヘッドケース２５１の長辺方向に延在し、ヘッドケース２５１の短辺方向において２個の吸引パット２１を間隔を隔てて挟む位置に形成されている。導入圧空溝２８４ｂは、両端がそれぞれ２個の接続圧空溝２８４ａの略中央に接続されて、ヘッドケース２５１の短辺方向に延在しており、２個の接続圧空溝２８４ａの間を連結する空間である。蓋ケース２５２がヘッドケース２５１に取り付けられた状態で、蓋ケース２５２の吸引気体孔２５４が、導入圧空溝２８４ｂの略中央に臨んで開口している。
副圧空溝２８５は、４個形成されており、両端がそれぞれ接続圧空溝２８４ａに接続されて、ヘッドケース２５１の短辺方向に延在している。２個の副圧空溝２８５が、一個の固定装着穴の両側にそれぞれ１個ずつ配設されており、ヘッドケース２５１に取り付けられた１個の吸引パット２１の面１８６が副圧空溝２８５の空間に臨んでいる。吸引パット２１の面１８６に開口しているチャンバ流路１８５は、副圧空溝２８５に連通している。

吸引気体供給部９０（図６参照）から供給される圧縮空気が、蓋ケース２５２の吸引気体孔２５４から流入し、主圧空溝２８４及び各副圧空溝２８５を介して、各吸引パット２１に流入する。吸引パット２１に流入した圧縮空気は、旋回流発生室１８１に噴出され、図８（ｂ）に示した矢印ａのように旋回する旋回流が発生する。蓋ケース２５２は、ヘッドケース２５１の周縁に形成された突設枠部２８７の内側に嵌合することで、ヘッドケース２５１に対して位置決めされる。蓋ケース２５２は、図示省略した固定部材によって、ヘッドケース２５１に密着して固定されており、蓋ケース２５２がヘッドケース２５１に密着固定されることで、主圧空溝２８４及び副圧空溝２８５が外部と隔絶されている。

＜吸引保持ヘッド＞
次に、吸引保持ヘッド２２５について、図９を参照して説明する。図９は、吸引保持ヘッドの側面図である。図９（ａ）は、吸引保持ヘッドの吸引保持面が平坦になっている状態の側面図であり、図９（ｂ）は、吸引保持ヘッドの吸引保持面が中央部凹形状になっている状態の側面図であり、図９（ｃ）は、吸引保持ヘッドの吸引保持面が中央部凸形状になっている状態の側面図である。

図９に示すように、吸引保持ヘッド２２５は、吸引パット２１と、ヘッドケース２５１と、連結部材２５６と、支持部材２６１と、搖動支持部材２６０と、吸引気体管２６４と、ケース保持枠２５３と、を備えている。
吸引保持ヘッド２２５は、３個のヘッドケース２５１を備えている。上述したように、ヘッドケース２５１にはそれぞれ２個の吸引パット２１が保持されており、吸引保持ヘッド２２５は、６個の吸引パット２１を備えている。３個のヘッドケース２５１は、長辺方向が互いに略平行になる状態で並んでいる。これにより、６個の吸引パット２１は、２行３列のマトリクス状に配設されている。６個の吸引パット２１が備える６個の吸引保持面１８２で構成される吸引保持面を、吸引保持面１８２Ｃと表記する。

連結部材２５６は、連結副部材２５６ａ及び連結副部材２５６ｂを有している。３個のヘッドケース２５１における中央のヘッドケース２５１の長辺の２面には、連結副部材２５６ａ又は連結副部材２５６ｂが、それぞれの固定端においてそれぞれ固定されている。３個のヘッドケース２５１における両側のヘッドケース２５１の長辺の２面における中央のヘッドケース２５１に対向する面には、連結副部材２５６ａ又は連結副部材２５６ｂが、それぞれの固定端においてそれぞれ固定されている。連結副部材２５６ａと連結副部材２５６ｂとは互いに搖動自在に連結されている。これにより、３個のヘッドケース２５１における両側のヘッドケース２５１は、中央のヘッドケース２５１に対して搖動可能に支持されている。

支持部材２６１は、４個（図９では２個のみ表示）備えられており、それぞれ一端が、ケース保持枠２５３に固定されている。支持部材２６１のもう一端は、中央のヘッドケース２５１に固定された蓋ケース２５２に固定されており、中央のヘッドケース２５１は、蓋ケース２５２を介して、４個の支持部材２６１によって、ケース保持枠２５３に固定されている。

吸引気体管２６４は、蛇腹状の伸縮及び湾曲が可能な管であり、吸引気体孔が形成されている。吸引気体管２６４は、３個備えられており、それぞれ一端が、３個のヘッドケース２５１のそれぞれに固定された蓋ケース２５２に固定されることで、吸引気体管２６４の吸引気体孔が蓋ケース２５２の吸引気体孔２５４に接続されている。吸引気体管２６４の他の一端は、それぞれケース保持枠２５３に固定されており、それぞれの吸引気体孔が、ケース保持枠２５３に形成されたそれぞれの吸引気体孔に接続されている。

搖動支持部材２６０は、搖動接続台２５７と、搖動軸受２５８ｂと、搖動軸２５８ａと、搖動接続部材２５９と、を備えている。
搖動接続部材２５９は、３個のヘッドケース２５１における両側のヘッドケース２５１のそれぞれに固定された蓋ケース２５２に、連結副部材２５６ａ又は連結副部材２５６ｂが固定された側から遠い方の端近くにおいて固定されている。
搖動軸２５８ａは、一端が、搖動接続部材２５９に搖動自在に接続されている。搖動軸２５８ａのもう一端側は、搖動軸受２５８ｂに、搖動軸２５８ａの軸方向において摺動自在であって、固定可能に勘入している。
搖動軸受２５８ｂは、図示省略した軸駆動源を備え、当該軸駆動源によって、搖動軸２５８ａの軸方向において、搖動軸２５８ａを摺動自在であって、固定可能に支持している。搖動軸受２５８ｂは、搖動接続台２５７に搖動自在に支持されている。
搖動接続台２５７は、固定端においてケース保持枠２５３の側面に固定されている。搖動接続台２５７に搖動自在に支持されている搖動軸受２５８ｂは、搖動接続台２５７を介して、ケース保持枠２５３に搖動自在に支持されている。

ケース保持枠２５３は、外面の一面に、図示省略した着座部が窪入形成されている。当該着座部に垂設部７１（ジョイント部材２７）の端面に形成された台座７９が係合して固定されることで、ケース保持枠２５３が、垂設部７１に懸吊支持されている。着座部の略中央には、吸引気体孔が開口しており、台座７９の面の略中心位置に開口した吸引給気流路７４と接続されている。吸引気体孔はケース保持枠２５３の内部で３本の吸引気体孔に分岐して、分岐したそれぞれの吸引気体孔は、吸引気体管２６４の吸引気体孔に接続されている。
吸引気体供給源９２から送出された圧縮空気は、吸引給気管９３ａと、吸引流量調整弁９５と、吸引給気管９３ｂと、吸引給気流路７４と、ケース保持枠２５３の吸引気体孔と、吸引気体管２６４の吸引気体孔と、蓋ケース２５２の吸引気体孔２５４と、ヘッドケース２５１に形成された圧空溝２８８と、を通過して、吸引パット２１に供給される。吸引パット２１に供給された圧縮空気は、チャンバ流路１８５から流入し、気体噴出流路１８３を通って旋回流発生室１８１に供給される。

搖動軸受２５８ｂの軸駆動源が搖動軸受２５８ｂに対して搖動軸２５８ａを摺動させると、搖動接続部材２５９が搖動接続台２５７から離接する方向に移動する。搖動接続部材２５９が蓋ケース２５２を介して固定されたヘッドケース２５１は、中央のヘッドケース２５１と、連結部材２５６を介して揺動自在に接続されているため、ヘッドケース２５１は揺動可能であって、搖動接続部材２５９は搖動接続台２５７から離接する方向に移動可能である。また、搖動接続部材２５９は蓋ケース２５２に固定されており、搖動接続台２５７はケース保持枠２５３に固定されているが、搖動軸２５８ａは搖動接続部材２５９に搖動自在に接続されており、搖動軸受２５８ｂは搖動接続台２５７に搖動自在に支持されている。このため、搖動軸２５８ａ及び搖動軸受２５８ｂの軸方向は、蓋ケース２５２又はケース保持枠２５３に対して可変である。搖動軸２５８ａ及び搖動軸受２５８ｂの軸方向と、ヘッドケース２５１又はケース保持枠２５３との交差する角度が可変であることで、ヘッドケース２５１に固定された搖動接続部材２５９と、ケース保持枠２５３に固定された搖動接続台２５７とを結ぶ長さを変えることが可能である。
吸引気体管２６４は、蛇腹状の伸縮及び湾曲が可能な管であるため、ヘッドケース２５１の揺動に対応して吸引気体管２６４が伸縮及び湾曲することで、吸引気体管２６４の吸引気体孔と、ケース保持枠２５３の吸引気体孔及び蓋ケース２５２の吸引気体孔２５４との接続が維持される。
連結部材２５６、及び搖動支持部材２６０が、パット支持手段に相当する。吸引保持面１８２Ｃを構成する２行３列の吸引保持面１８２の、１行における３個の吸引保持面１８２の中のいずれかの吸引保持面１８２が、第一の吸引保持面に相当し、当該吸引保持面１８２を有する吸引パット２１が、第一の吸引保持パットに相当する。第一の吸引保持面に相当する吸引保持面１８２とは異なる吸引保持面１８２が、第二の吸引保持面に相当し、当該吸引保持面１８２を有する吸引パット２１が、第二の吸引保持パットに相当する。

搖動軸受２５８ｂの軸駆動源が搖動軸受２５８ｂに対して搖動軸２５８ａを繰り出すと、搖動接続部材２５９が搖動接続台２５７から離れる方向に移動する。ヘッドケース２５１は、搖動接続部材２５９が固定された側がケース保持枠２５３から離れる方向に傾いて、図９（ｂ）に示したように、吸引保持面１８２Ｃは、中央部が吸引パット２１側に凸となる形状になる。

搖動軸受２５８ｂの軸駆動源が搖動軸受２５８ｂに対して搖動軸２５８ａを繰り込むと、搖動接続部材２５９が搖動接続台２５７に接近する方向に移動する。ヘッドケース２５１は、搖動接続部材２５９が固定された側がケース保持枠２５３に接近する方向に傾いて、図９（ｃ）に示したように、吸引保持面１８２Ｃは、中央部が吸引パット２１側に凹となる形状になる。

＜搬送＞
次に、吸引保持ヘッド２２５を備えた吸引保持ハンドを備える給除材装置を用いて、吸引保持ヘッド２２５によって、第一パレット２０１に置かれた共振片ウェハー１Ａを吸引保持し、第二パレット２０５に着座させて整列させる搬送整列工程について、図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は、共振片ウェハーの搬送工程の各工程を示すフローチャートである。図１１は、共振片ウェハーの搬送工程の各工程における吸引保持ヘッドと共振片ウェハーとの位置関係を示す説明図である。

最初に、図１０のステップＳ１では、図１１（ａ）に示すように、吸引保持ヘッド２２５の吸引保持面１８２Ｃを、第一パレット２０１の保持領域２０２に保持された共振片ウェハー１Ａを吸引保持可能な吸引位置に位置させる。保持領域２０２の内壁間の寸法は、共振片ウェハー１Ａが隙間なく嵌合する寸法に形成されており、共振片ウェハー１Ａは、両端が保持領域２０２の内壁に当接する状態で保持されている。第一パレット２０１の保持領域２０２が、第一の位置に相当する。

次に、図１０のステップＳ２では、吸引気体供給部９０から吸引保持ヘッド２２５の吸引パット２１に圧縮空気を供給して、吸引保持ヘッド２２５によって共振片ウェハー１Ａを吸引保持する。
次に、図１０のステップＳ３では、図１１（ｂ）に示すように、両側のヘッドケース２５１（吸引保持面１８２）の傾きを変更する。両側のヘッドケース２５１の傾きを、吸引保持面１８２が中央側に傾くように変更することで、吸引保持ヘッド２２５に吸引保持された共振片ウェハー１Ａを、上側凸（吸引保持ヘッド２２５に面する側が凸）に湾曲させる。共振片ウェハー１Ａが湾曲することで、共振片ウェハー１Ａの両端間が僅かに小さくなり、保持領域２０２から抜き上げ易くなる。共振片ウェハー１Ａの両端が保持領域２０２の内壁に強く当接している場合には、共振片ウェハー１Ａが平坦な状態で保持領域２０２から抜き上げることは困難な場合があるが、そのような場合でも、共振片ウェハー１Ａを湾曲させることで、容易に抜き上げることができる。上側に凸に湾曲させることで、上側に移動させることがより容易になる。

次に、図１０のステップＳ４では、ロボット機構３０などによって、共振片ウェハー１Ａを吸引保持した吸引保持ヘッド２２５を移動させて、共振片ウェハー１Ａを吸引保持した吸引保持ヘッド２２５が第二パレット２０５における所定の着座領域２０６に臨む位置に、移動させる。着座領域２０６の内壁間の寸法は、保持領域２０２と同様に、共振片ウェハー１Ａが隙間なく嵌合する寸法に形成されており、共振片ウェハー１Ａは、両端が着座領域２０６の内壁に当接する状態で着座して位置決めされる。

次に、図１０のステップＳ５では、図１１（ｃ）に示すように、吸引保持ヘッド２２５に吸引保持された共振片ウェハー１Ａを、着座領域２０６に遊嵌させる。詳細には、両側のヘッドケース２５１（吸引保持面１８２）の傾きを変更する。両側のヘッドケース２５１の傾きを、吸引保持面１８２が外側（中央側の反対側）に傾くように変更することで、吸引保持ヘッド２２５に吸引保持された共振片ウェハー１Ａを、上側凹（吸引保持ヘッド２２５に面する側が凹）に湾曲させる。共振片ウェハー１Ａが平坦な状態では、共振片ウェハー１Ａの両端が着座領域２０６の内壁に当接するが、共振片ウェハー１Ａを湾曲させることで、共振片ウェハー１Ａの両端間が僅かに小さくなり、着座領域２０６の内壁間に遊嵌させることが可能となる。上側に凹、すなわち、下側に凸に湾曲させることで、着座領域２０６に向かって下側に移動させることがより容易になる。

次に、図１０のステップＳ６では、吸引気体供給部９０からの吸引パット２１に対する圧縮空気の供給を停止することによって吸引保持状態を解除する。吸引保持状態を解除することで、図１１（ｃ）に二点鎖線で示したように、共振片ウェハー１Ａを第二パレット２０５の着座領域２０６に着座させる。第二パレット２０５における所定の着座領域２０６が第二の位置に相当する。
ステップＳ６を実施して、１個の共振片ウェハー１Ａを第一パレット２０１の保持領域２０２から搬送して、第二パレット２０５の着座領域２０６に着座させる工程を終了する。この工程を繰り返すことによって、第一パレット２０１に載せられた共振片ウェハー１Ａを搬送して、第二パレット２０５の着座領域２０６に位置精度よく着座させて整列させる。

以下、第二の実施形態の効果を記載する。第二の実施形態によれば、第一の実施形態の効果に加えて、以下の効果が得られる。
（１）吸引保持ヘッド２２５が備える３個のヘッドケース２５１における両側のヘッドケース２５１は、一方の長辺側を、連結部材２５６を介して、中央のヘッドケース２５１に対して搖動可能に支持されている。また、もう一方の長辺側を、搖動支持部材２６０を介して、ケース保持枠２５３に対して離接自在且つ固定可能に支持されている。これにより、ヘッドケース２５１の傾き、すなわち、ヘッドケース２５１に固定された吸引パット２１の吸引保持面１８２の傾きを変更することができる。吸引保持面１８２の傾きを変更することで、吸引保持面１８２Ｃに吸引保持された共振片ウェハー１Ａの湾曲形状を変えることができる。
吸引保持する際は、平らな共振片ウェハー１Ａに対応して、吸引保持面１８２Ｃを略平坦にすることで、吸引保持面１８２Ｃが湾曲している場合に比べて、平らな共振片ウェハー１Ａを吸引保持しやすくすることができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、吸引保持ハンド２０の吸引保持ヘッド２５や吸引保持ヘッド２２５は６個の吸引パット２１を備えていたが、チャッキング装置（給印保持ヘッド）が備える吸引パットは、６個に限らない。吸引保持する保持対象物又は搬送対象物の大きさや重量に対応した適切な吸引保持力を実現できると共に、保持対象物又は搬送対象物を湾曲させることができれば、チャッキング装置が備える吸引パットは、いくつであってもよい。保持対象物又は搬送対象物を湾曲させるためには、吸引パットは２個以上であればよい。

（変形例２）前記第一の実施形態においては、ヘッドケース５１に固定された６個の吸引パット２１が有する６個の吸引保持面１８２は、２行３列のマトリクス状に配設されていた。１行に配列された吸引保持面１８２においいて、３個の中央に位置する吸引保持面１８２は、吸引保持ハンド２０がハンド保持機構３４を介してロボット機構３０に取り付けられた状態で、略水平（鉛直方向に垂直）になっており、３個の両側に位置する２個の吸引保持面１８２は、それぞれ中央側と反対側に向くように傾いていた。しかし、両側に位置する吸引保持面１８２が、それぞれ中央側と反対側に向くように傾いていることは必須ではない。両側に位置する吸引保持面１８２が、それぞれ中央側に向くように傾いていてもよい。

固定されて両側に位置する吸引パット２１の吸引保持面１８２が、それぞれ中央側に向くように傾いているヘッドケース３５１及びヘッドケース３５１を備える吸引保持ヘッド３２５について、図１２を参照して説明する。図１２は、吸引保持ヘッドの概要を示す説明図である。図１２（ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す側面図であり、図１２（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図であり、図１２（ｃ）は、共振片ウェハーを吸引保持する状態を示す説明図である。

図１２に示すように、ヘッドケース３５１は、６個の吸引パット２１を下方に突出させて保持している。ヘッドケース３５１には、６個の固定装着穴が、２行３列のマトリクス状に配設されている。固定装着穴は、上述したヘッドケース５１又はヘッドケース２５１における固定装着穴と同様の構成を有し、吸引パット２１がそれぞれの固定装着穴に固定されている。１列に並ぶ２個の吸引パット２１は、それぞれの吸引保持面１８２が同一平面内に位置するように保持されている。１行に並ぶ３個の吸引パット２１は、それぞれの吸引保持面１８２が互いに異なる方向を向いている。
６個の吸引パット２１の６個の吸引保持面１８２が構成する面を吸引保持面１８２Ｄと表記する。

３個の中央に位置する吸引保持面１８２は、吸引保持ヘッド３２５を備える吸引保持ハンドがハンド保持機構３４などを介してロボット機構３０などに取り付けられた状態で、略水平（鉛直方向に垂直）になっている。３個の両側に位置する２個の吸引保持面１８２は、それぞれ中央側に向くように傾いている。中央の吸引保持面１８２の面方向に対する、両側の吸引保持面１８２の面方向との傾き角は、例えば４°である。

ヘッドケース３５１に形成された圧空溝は、上述したヘッドケース５１に形成された圧空溝８８と略同様である。吸引パット２１で発生する旋回流の旋回方向は、一方の１行に配列された３個の吸引パット２１の両側に位置する２個の吸引パット２１及び他方の１行の中央に位置する吸引パット２１が時計まわりに旋回する旋回流を発生し、一方の１行に配列された３個の吸引パット２１の中央に位置する１個の吸引パット２１及び他方の１行の両側に位置する２個の吸引パット２１が反時計まわりに旋回する旋回流を発生するように、６個の吸引パット２１が配置されている。

図１２（ｃ）に示すように、共振片ウェハー１Ａが、吸引パット２１に吸引保持されることによって、吸引保持ヘッド３２５に吸引保持される。
上述したように、１行に並ぶ３個の吸引保持面１８２の中で中央に位置する吸引保持面１８２は、吸引保持ヘッド３２５を備える吸引保持ハンドが例えばハンド保持機構３４を介して例えばロボット機構３０に取り付けられた状態で、略水平（鉛直方向に垂直）になっている。３個の両側に位置する２個の吸引保持面１８２は、それぞれ中央側に向くように傾いている。３個の吸引保持面１８２に吸引保持されている共振片ウェハー１Ａの被吸引保持面において、それぞれの吸引保持面１８２に対向する部分には、対向する吸引保持面１８２に開口する旋回流発生室１８１に吸引されて、対向する吸引保持面１８２に略平行になるような力が作用する。これにより、面方向が互いに異なる３個の吸引保持面１８２に吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、湾曲して吸引保持されている。
共振片ウェハー１Ａが湾曲して吸引保持されていることで、上述した実施形態と同様に、湾曲した共振片ウェハー１Ａの幅を、略平坦な状態の共振片ウェハー１Ａの幅に比べて、小さくすることができる。
吸引保持面１８２Ｄに吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、吸引保持面１８２Ｄ側が凸となる形状に、湾曲している。上側に凸に湾曲させることで、上述した第二の実施形態で保持領域２０２から共振片ウェハー１Ａを抜き上げる場合のように、狭い場所において共振片ウェハー１Ａを上側に移動させることがより容易になる。

３個の吸引保持面１８２における、両側の吸引保持面１８２の面方向の傾き、開口している旋回流発生室１８１の中心間距離、旋回流発生室１８１の開口径、及び吸引保持面１８２の相対高さを適当に選ぶことによって、吸引保持された共振片ウェハー１Ａを、互いに異なる曲率を有する複数の曲面からなる曲面に湾曲させることができる。
吸引パット２１に吸引保持された共振片ウェハー１Ａは、吸引パット２１からは吸引保持面１８２に平行な方向の拘束力はほとんど受けないため、吸引保持面１８２に平行な方向への移動は自在である。共振片ウェハー１Ａが、互いに異なる曲率を有する複数の曲面からなる曲面に湾曲させられた場合には、吸引保持面１８２の面方向において、吸引保持面１８２に対する共振片ウェハー１Ａの相対位置が変わると共振片ウェハー１Ａの湾曲形状が変わる。このため、相対位置を変えるためには、湾曲形状を変えるためのエネルギーが必要であり、当該エネルギーが、吸引保持面１８２に対する共振片ウェハー１Ａの相対位置移動に対する抗力となる。これにより、吸引保持された共振片ウェハー１Ａを、吸引保持面１８２に略平行な方向において、動き難くすることができる。
吸引保持面１８２Ｄを構成する２行３列の吸引保持面１８２の、１行における３個の吸引保持面１８２の中のいずれかの吸引保持面１８２が、第一の吸引保持面に相当し、当該吸引保持面１８２を有する吸引パット２１が、第一の吸引保持パットに相当する。第一の吸引保持面に相当する吸引保持面１８２とは異なる吸引保持面１８２が、第二の吸引保持面に相当し、当該吸引保持面１８２を有する吸引パット２１が、第二の吸引保持パットに相当する。

（変形例３）前記実施形態においては、保持対象物又は搬送対象物として、複数のＳＡＷパターン２が形成された共振片ウェハー１Ａを例に説明したが、保持対象物及び搬送対象物は、振動子を形成するための素材に限らない。保持する際に非接触で保持することが好ましい部材であって、非接触で保持する対象物であれば、上述したチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、又は搬送方法を用いて好適にチャッキング及び搬送を実施することができる。

（変形例４）前記実施形態においては、保持対象物又は搬送対象物としての共振片ウェハー１Ａは略方形状であったが、保持対象物及び搬送対象物が略方形であることは必須ではない。保持対象物及び搬送対象物の形状は、その重量に対応できる吸引力を印加することが可能な被吸引保持面を有する形状であれば、どのような形状であってもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、吸引パット２１に供給される気体は空気であったが、吸引保持のための気体は空気に限らない。上述したチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法は、チャッキング装置を駆動することが可能であれば、どのような気体を用いる場合でも適用することができる。例えば、腐蝕防止などのために不活性ガスを充満させたような環境においても、当該不活性ガスを吸引パット２１に供給される気体として用いて、上述したチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法を適用することができる。

（変形例６）前記実施形態においては、吸引気体供給部９０は、吸引気体供給源９２と、圧縮空気の流路を開閉する吸引流量調整弁９５とを備えていたが、流路を開閉したり気体の流量を調整したりする装置を設けることは必須ではない。吸引用の気体の供給及び停止の操作や供給量の調整は、吸引用気体の供給源において実施する構成であってもよい。

（変形例７）前記実施形態においては、チャッキング装置を備える搬送装置としての給除材装置１０は、吸引保持ハンド２０と、給除材腕３１と機台３８とを備えるロボット機構３０と、給除材装置制御部３９とを備えていた。しかし、搬送装置が給除材腕３１や機台３８のような、吸引保持ハンド２０などを保持すると共に移動させる装置を備えることは必須ではない。例えば、吸引保持ハンド２０を簡単な支持部材で支持し、当該支持部材を手作業で移動させるような装置であってもよい。

１…ＳＡＷ共振片、１Ａ…共振片ウェハー、１０…給除材装置、２０…吸引保持ハンド、２１…吸引パット、２５…吸引保持ヘッド、３０…ロボット機構、３９…給除材装置制御部、５１…ヘッドケース、５２…蓋ケース、５４…吸引気体孔、７４…吸引給気流路、８８…圧空溝、９０…吸引気体供給部、１８１…旋回流発生室、１８２…吸引保持面、１８２Ａ，１８２Ｂ，１８２Ｃ，１８２Ｄ…吸引保持面、２０１…第一パレット、２０２…保持領域、２０５…第二パレット、２０６…着座領域、２２５…吸引保持ヘッド、２５１…ヘッドケース、２５２…蓋ケース、２５３…ケース保持枠、２５６…連結部材、２５７…搖動接続台、２５８ａ…搖動軸、２５８ｂ…搖動軸受、２５９…搖動接続部材、２６０…搖動支持部材、２６１…支持部材、２６４…吸引気体管、２８８…圧空溝、３２５…吸引保持ヘッド、３５１…ヘッドケース。

Claims (14)

1. 旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、前記吸引保持パットによって前記保持対象物をチャッキングするチャッキング装置であって、
   第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、
   第二の吸引保持面を備え、前記第二の吸引保持面の面方向が、前記第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備えることを特徴とするチャッキング装置。
2. 前記第一の吸引保持面の面方向と前記第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更可能に、前記第一の吸引保持パット又は前記第二の吸引保持パットの少なくとも一方を支持するパット支持手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のチャッキング装置。
3. 前記第一の吸引保持面と前記第二の吸引保持面とは、それぞれの面の面方向が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによって吸引保持された前記保持対象物が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形する方向であることを特徴とする、請求項１に記載のチャッキング装置。
4. 旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口しており、前記第一の吸引保持面の面方向とは面方向が異なる第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて板状の前記保持対象物を吸引保持する吸引保持工程を有することを特徴とするチャッキング方法。
5. 旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口している第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記保持対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて板状の前記保持対象物を吸引保持する吸引保持工程と、
   前記第一の吸引保持面の面方向又は前記第二の吸引保持面の面方向の少なくとも一方を変えることによって、前記第一の吸引保持面の面方向と、前記第二の吸引保持面の面方向とが交差する角度を変更する面方向変更工程と、を有することを特徴とするチャッキング方法。
6. 旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記吸引保持面上に流出する気体とにより、搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、前記吸引保持パットによって前記搬送対象物をチャッキングするチャッキング装置を備える搬送装置であって、
   第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、
   第二の吸引保持面を備え、前記第二の吸引保持面の面方向が、前記第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備えることを特徴とする搬送装置。
7. 前記第一の吸引保持面の面方向と、前記第二の吸引保持面の面方向との交差角度を変更可能に、前記第一の吸引保持パット又は前記第二の吸引保持パットの少なくとも一方を支持するパット支持手段をさらに備えることを特徴とする、請求項６に記載の搬送装置。
8. 前記第一の吸引保持面と前記第二の吸引保持面とは、それぞれの面の面方向が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによって吸引保持された前記搬送対象物が、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形する方向であることを特徴とする、請求項６に記載の搬送装置。
9. 第一の位置に在る板状の搬送対象物を搬送して第二の位置に着座させる搬送方法であって、
   旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口しており、前記第一の吸引保持面の面方向とは面方向が異なる第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて、前記第一の位置に在る前記搬送対象物を吸引保持することによって、板状の前記搬送対象物を変形させて吸引保持する保持工程と、
   吸引保持された前記搬送対象物が前記第二の位置に臨む位置に、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットを移動させる移動工程と、
   前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによる吸引保持を解除して、前記搬送対象物を前記第二の位置に着座させる着座工程と、を有することを特徴とする搬送方法。
10. 前記保持工程では、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向する側が凸となる形状に変形させることを特徴とする、請求項９に記載の搬送方法。
11. 前記保持工程では、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形させることを特徴とする、請求項９に記載の搬送方法。
12. 第一の位置に在る板状の搬送対象物を搬送して第二の位置に着座させる搬送方法であって、
    旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した第一の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第一の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第一の吸引保持パットと、旋回流発生室と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口している第二の吸引保持面と、を有し、前記旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の端から側方の前記第二の吸引保持面上に流出する気体とにより、前記搬送対象物の部分を非接触で吸引保持する第二の吸引保持パットと、を用いて、前記第一の位置に在る前記搬送対象物を吸引保持する吸引保持工程と、
    前記第一の吸引保持面の面方向又は前記第二の吸引保持面の面方向の少なくとも一方を変えることによって、前記第一の吸引保持面及び前記第二の吸引保持面に吸引保持された前記搬送対象物を湾曲させる湾曲工程と、
    吸引保持された前記搬送対象物が前記第二の位置に臨む位置に、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットを移動させる移動工程と、
    前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットによる吸引保持を解除して、前記搬送対象物を前記第二の位置に着座させる着座工程と、を有することを特徴とする搬送方法。
13. 前記移動工程は、前記第一の位置に在る前記搬送対象物を前記第一の位置から離脱させる離脱工程を含み、
    前記湾曲工程は、前記離脱工程に先立って、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向する側が凸となる形状に変形させる工程であることを特徴とする、請求項１２に記載の搬送方法。
14. 前記着座工程は、前記搬送対象物を前記第二の位置に接近させる接近工程を含み、
    前記湾曲工程は、前記接近工程に先立って、前記搬送対象物を、前記第一の吸引保持パット及び前記第二の吸引保持パットに対向しない側が凸となる形状に変形させる工程であることを特徴とする、請求項１２に記載の搬送方法。

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