JP2010253569A - 吸引保持方法、搬送装置、搬送方法、及び吸引保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】保持対象物が急激に引き寄せられることで、吹出す気体の圧力に抗して保持対象物が吸引保持面に接触することを抑制することができる吸引保持方法、搬送装置、搬送方法、及び吸引保持装置を提供する。
【解決手段】吸引保持方法は、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流に生じる負圧と、旋回流発生室の吹出し口から吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、吸引保持面を有する吸引パットに、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持方法であって、旋回流発生室に圧縮気体が供給されていない状態の吸引パットの吸引保持面を、保持対象物の被吸引保持面に対して、吸引パットが保持対象物を吸引保持している状態における吸引保持面と被吸引保持面との保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる工程と、吸引パットの旋回流発生室に圧縮気体を供給して、保持対象物を吸引して吸引保持状態にする工程と、を有する。
【選択図】図８

Description

本発明は、保持対象物を吸引保持する吸引保持方法、搬送対象物を吸引保持して搬送する搬送装置、搬送対象物を吸引保持して搬送する搬送方法、及び保持対象物を吸引保持する吸引保持装置に関する。

従来から、複数の半導体装置が形成された半導体基板のように、脆い材料に微細な構造が精密に形成された被加工物を加工する工程においては、被加工物を搬送する際に被加工物の加工面を損なわないための被加工物のチャッキング方法及びチャッキング装置について様々な工夫がされている。保持するために接触することが可能な面が少ない保持対象物を保持する方法として、ベルヌーイの定理を応用して被加工物などの保持対象物を非接触でチャッキングするベルヌーイチャックを用いる保持方法が使われている。

特許文献１には、空気の旋回流が発生する旋回室と、旋回室に連通するとともに被搬送物に対向する対向面と、を設けることによって、非接触で被搬送物を吸着する無接触搬送装置が開示されている。特許文献２には、旋回室の形状を工夫することによって、エア供給量に対するワークの保持範囲を拡大させ、ワークを確実且つ安定的に保持して移送することが可能な非接触搬送装置が開示されている。
しかし、特許文献１又は特許文献２に開示された搬送装置において保持対象物（被搬送物、ワーク）などを保持（吸着）する保持端末では、旋回室からの圧縮空気の流出状態が、保持端末の全周で必ずしも均一ではないことに起因して、保持端末の吸着端面に対する保持対象物の姿勢が、一定に保ち難いという課題があった。吸着端面に対する保持対象物の姿勢が一定でなくなって傾くことによって、吸着端面と保持対象物との間の隙間が保たれなくなり、吸着端面と保持対象物とが接触することがあるという課題があった。特許文献３には、半導体基板と吸着板との距離が変動した場合に接触ミスが発生することに注目して、吸着板に高さ検出センサーと高さ調整軸と調整軸の駆動装置とを設け、半導体基板と吸着板との距離を一定に保つことで、接触ミスを防止する半導体基板吸着装置が開示されている。

特開平１１−２５４３６９号公報 特開２００８−８７９１０号公報 特開平５−３６８１６号公報

特許文献１乃至３に開示されたような装置においては、保持端末が保持対象物に近づいて保持対象物に吸引力が及ぶと、保持対象物は保持端末に、急激に引き寄せられ、吹出す気体の圧力によって止められることで、非接触状態が形成される。
しかしながら、保持対象物が急激に引き寄せられることで、吹出す気体の圧力に抗して保持対象物が吸着端面に接触する可能性があるという課題があった。特許文献３に開示された吸着装置のように、半導体基板と吸着板との距離を一定に保ったとしても、半導体基板の状態や吸着装置の状態は必ずしも一定ではないため、保持対象物が保持端末に引き寄せられるタイミングや速度は必ずしも一定ではなく、例えば引き寄せられる速度が大きいと保持対象物が吸着端面に接触する可能性があるという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる吸引保持方法は、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持方法であって、前記旋回流発生室に圧縮気体が供給されていない状態の前記吸引パットの前記吸引保持面を、前記保持対象物の被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記保持対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる、吸引位置取り工程と、前記吸引パットの前記旋回流発生室に圧縮気体を供給して、前記保持対象物を吸引して吸引保持状態にする吸引保持工程と、を有することを特徴とする。

本適用例の吸引保持方法によれば、吸引保持面を、被吸引保持面に対して、吸引パットが保持対象物を吸引保持している状態における吸引保持面と被吸引保持面との保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる、吸引位置取り工程を実施する。次に、旋回流発生室に圧縮気体を供給して、保持対象物を吸引する吸引保持工程を実施する。これにより、吸引保持工程を実施する際は、吸引保持面と被吸引保持面とは、保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てて位置しているため、吸引保持工程において吸引された被吸引保持面は、吸引保持面側に移動することなく、保持対象物が吸引パットに吸引保持された状態となる。したがって、保持対象物が吸引パット側に吸引された慣性力によって吸引パットに衝突する可能性は実質的にないため、保持対象物が吸引パットの吸引保持面に接触することを抑制することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる吸引保持方法は、前記吸引位置取り工程が、前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を測定する距離測定工程を含むことが好ましい。

この吸引保持方法によれば、距離測定工程によって、吸引保持面と被吸引保持面との距離を測定することができる。吸引保持面と被吸引保持面との距離が明確になることで、被吸引保持面に対して、正確な保持距離、又は保持距離より短い距離に、吸引保持面を位置させることができる。

［適用例３］上記適用例にかかる吸引保持方法は、前記吸引位置取り工程が、予め求められた前記吸引保持面の位置と前記被吸引保持面の位置とに基づいて、前記吸引パットを移動させる工程であることが好ましい。

この吸引保持方法によれば、予め求められた吸引保持面の位置と被吸引保持面の位置とに基づいて、吸引パットを移動させる。吸引保持面の位置と被吸引保持面の位置とが明確であれば、保持対象物の被吸引保持面と保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた位置に吸引保持面を移動させるために必要な移動量を容易に求めることができるため、当該必要な移動量に基づいて、被吸引保持面に対して、正確な保持距離、又は保持距離より短い距離に、吸引保持面を位置させることができる。

［適用例４］本適用例にかかる搬送装置は、搬送対象物を支持する搬送対象物支持手段と、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流によって生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに、前記搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持手段と、前記吸引保持手段を移動可能に支持する移動手段と、前記吸引保持面と、前記搬送対象物支持手段に支持されている前記搬送対象物の被吸引保持面と、の位置関係を求める位置情報検出手段と、前記吸引保持手段の吸引保持の動作を制御する吸引保持制御手段と、前記移動手段による前記吸引保持手段の移動を制御する移動制御手段と、を有し、前記移動制御手段は、前記位置情報検出手段の検出結果に基づいて、前記移動手段を制御して、前記吸引保持面を、前記搬送対象物支持手段に支持されている前記搬送対象物の被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記搬送対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させ、前記吸引保持制御手段は、前記吸引保持手段を制御して、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置される時点より前は、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を停止し、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置された時点の後に、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を開始することを特徴とする。

本適用例の搬送装置によれば、移動制御手段は、吸引保持面を、被吸引保持面に対して、吸引パットが搬送対象物を吸引保持している状態における吸引保持面と被吸引保持面との保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる。吸引保持制御手段は、吸引保持手段を制御して、吸引保持面が吸引初期位置に位置される時点より前は、旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を停止し、吸引保持面が吸引初期位置に位置された時点の後に、旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を開始する。これにより、吸引保持を開始する際は、吸引保持面と被吸引保持面とは、保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てて位置しているため、吸引保持を開始する際に、吸引された被吸引保持面が吸引保持面側に移動することがほとんどなく、搬送対象物が吸引パットに吸引保持された状態となる。したがって、搬送対象物が吸引パット側に吸引された慣性力によって吸引パットに衝突する可能性は実質的にないため、吸引保持を開始して搬送対象物を吸引保持した状態にする際に、搬送対象物が吸引パットの吸引保持面に接触することを抑制することができる。

［適用例５］上記適用例にかかる搬送装置は、前記位置情報検出手段が、前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を測定する距離測定手段であることが好ましい。

この搬送装置によれば、距離測定手段を用いて、吸引保持面と被吸引保持面との距離を測定することができる。吸引保持面と被吸引保持面との距離が明確になることで、被吸引保持面に対して、正確な保持距離、又は保持距離より短い距離に、吸引保持面を位置させることができる。

［適用例６］上記適用例にかかる搬送装置は、前記位置情報検出手段が、予め入力された前記吸引保持面と前記搬送対象物の被吸引保持面との位置情報と、前記移動手段による前記吸引保持面の移動情報とから前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を求める距離算出手段であることが好ましい。

この搬送装置によれば、位置情報検出手段は、距離算出手段であって、予め入力された吸引保持面と被吸引保持面との位置情報と、移動手段による吸引保持面の移動情報とから吸引保持面と被吸引保持面との距離を求める。これにより、吸引パットを移動させて、搬送対象物の被吸引保持面と保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた位置に吸引保持面を移動させるために必要な移動量を容易に求めることができるため、当該必要な移動量に基づいて、被吸引保持面に対して、正確な保持距離、又は保持距離より短い距離に、吸引保持面を位置させることができる。

［適用例７］本適用例にかかる搬送方法は、第一の位置に在る搬送対象物を、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流によって生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに前記搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持手段を用いて、第二の位置に搬送する搬送方法であって、前記旋回流発生室に圧縮気体が供給されていない状態の前記吸引パットの前記吸引保持面を、前記第一の位置に在る前記搬送対象物の被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記搬送対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる、吸引位置取り工程と、前記搬送対象物を前記吸引保持手段が吸引保持した状態で、前記吸引保持手段を移動させる移動工程と、前記吸引保持手段を前記第二の位置に対応する位置に停止して、前記搬送対象物の吸引保持状態を解除して、前記搬送対象物を前記第二の位置に着座させる着座工程と、を有することを特徴とする。

本適用例の搬送方法によれば、吸引保持面を、被吸引保持面に対して、吸引パットが搬送対象物を吸引保持している状態における吸引保持面と被吸引保持面との保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる、吸引位置取り工程を実施する。次に、旋回流発生室に圧縮気体を供給して、搬送対象物を吸引する吸引保持工程を実施する。これにより、吸引保持工程を実施する際は、吸引保持面と被吸引保持面とは、保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てて位置しているため、吸引保持工程において吸引された被吸引保持面は、吸引保持面側に移動することなく、搬送対象物が吸引パットに吸引保持された状態となる。したがって、搬送対象物が吸引パット側に吸引された慣性力によって吸引パットに衝突する可能性は実質的にないため、搬送対象物が吸引パットの吸引保持面に接触することを抑制することができる。

［適用例８］上記適用例にかかる搬送方法は、前記吸引位置取り工程が、前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を測定する距離測定工程を含むことが好ましい。

この搬送方法によれば、距離測定工程によって、吸引保持面と被吸引保持面との距離を測定することができる。吸引保持面と被吸引保持面との距離が明確になることで、被吸引保持面に対して、正確な保持距離、又は保持距離より短い距離に、吸引保持面を位置させることができる。

［適用例９］上記適用例にかかる搬送方法は、前記吸引位置取り工程が、予め求められた前記吸引保持面の位置と前記被吸引保持面の位置とに基づいて、前記吸引パットを移動させる工程であることが好ましい。

この搬送方法によれば、予め求められた吸引保持面の位置と被吸引保持面の位置とに基づいて、吸引パットを移動させる。吸引保持面の位置と被吸引保持面の位置とが明確であれば、搬送対象物の被吸引保持面と保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた位置に吸引保持面を移動させるために必要な移動量を容易に求めることができるため、当該必要な移動量に基づいて、被吸引保持面に対して、正確な保持距離、又は保持距離より短い距離に、吸引保持面を位置させることができる。

［適用例１０］本適用例にかかる吸引保持装置は、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流によって生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持装置であって、前記保持対象物を支持する保持対象物支持手段と、前記吸引パットを移動可能に支持する移動手段と、前記吸引保持面と、前記保持対象物支持手段に支持されている前記保持対象物の被吸引保持面と、の位置関係を求める位置情報検出手段と、前記吸引パットの吸引保持の動作を制御する吸引保持制御手段と、前記移動手段による前記吸引パットの移動を制御する移動制御手段と、を有し、前記移動制御手段は、前記位置情報検出手段の検出結果に基づいて、前記移動手段を制御して、前記吸引保持面を、前記保持対象物支持手段に支持されている前記保持対象物の前記被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記保持対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させ、前記吸引保持制御手段は、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置される時点より前は、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を停止させ、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置された時点の後に、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を開始させることを特徴とする。

本適用例の吸引保持装置によれば、移動制御手段は、吸引保持面を、被吸引保持面に対して、吸引パットが保持対象物を吸引保持している状態における吸引保持面と被吸引保持面との保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる。吸引保持制御手段は、吸引保持面が吸引初期位置に位置される時点より前は、旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を停止させ、吸引保持面が吸引初期位置に位置された時点の後に、旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を開始させる。これにより、吸引保持を開始する際は、吸引保持面と被吸引保持面とは、保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てて位置しているため、吸引保持を開始する際に、吸引された被吸引保持面が吸引保持面側に移動することがほとんどなく、保持対象物が吸引パットに吸引保持された状態となる。したがって、保持対象物が吸引パット側に吸引された慣性力によって吸引パットに衝突する可能性は実質的にないため、保持対象物を吸引保持する状態にする際に、保持対象物が吸引パットの吸引保持面に接触することを抑制することができる。

（ａ）は、ＳＡＷ共振片の一例を示す平面図。（ｂ）は、複数のＳＡＷパターンが形成された共振片ウェハーの平面図。 給除材装置の概略構成を示す外観斜視図。 吸引パットの構造を示す斜視図。 ヘッドケースの構成を示す平面図。 （ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す断面図。（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図。 吸引保持ハンドの全体構成を示す分解斜視図。 共振片ウェハーの搬送工程の各工程を示すフローチャート。 共振片ウェハーの搬送工程の各工程における吸引パットと共振片ウェハーとの位置関係を示す説明図。 （ａ）は、ヘッドケースに距離センサーが取り付けられた状態を示す側面図。（ｂ）は、ヘッドケースに距離センサーが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図。

以下、吸引保持方法、搬送装置、搬送方法、及び吸引保持装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、搬送装置の一例である、給除材装置を例にして説明する。実施形態の給除材装置は、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）共振子の製造工程において、ＳＡＷ共振片を構成する複数のＳＡＷパターンが区画形成された共振片ウェハーを取扱う給除材装置である。なお、以下の説明において参照する図面では、構成部材をわかり易く表示するために、部材又は部分の縦横の縮尺や部分ごとの縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

＜共振片ウェハー＞
最初に、給除材装置１０（図２参照）が扱う搬送対象物又は保持対象物の一例である、共振片ウェハー１Ａについて、図１を参照して説明する。共振片ウェハー１Ａは、圧電体ウェハーにＳＡＷ共振片１が区画形成されたものであり、ＳＡＷ共振片１は、ＳＡＷ共振子を構成する主要要素である。図１（ａ）は、ＳＡＷ共振片の一例を示す平面図である。図１（ｂ）は、複数のＳＡＷパターンが形成された共振片ウェハーの平面図である。
ＳＡＷ共振子は、ハウジングにＳＡＷ共振片１を封入し、接着剤で接着し、ボンディングワイヤによってＳＡＷ共振片１とハウジング端子とを導通させて形成される。

図１（ａ）に示したように、ＳＡＷ共振片１は、水晶、リチウムタンクレート、リチウムニオブベートなどの圧電体を矩形にカットしたものを基体（チップ）として構成されている。本実施形態の圧電体のチップ３は、平らな略長方形にカットされており、その表面（主面）３ａの中央に、１組の電極４ａ及び電極４ｂからなる交叉指電極（ＩＤＴ：Inter Digital Transducer）４が形成されている。ＩＤＴ４の長手方向の両側には、格子状の反射器６が、それぞれ形成されている。チップ３の長手方向の縁に沿って、ＩＤＴ４を形成する電極４ａ又は電極４ｂとそれぞれ繋がった導通用のボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂが、形成されている。ボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂは、電極４ａ及び電極４ｂと同じ素材を用いて形成されており、このボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂにワイヤーボンディングすることによって電気的な接続が得られる。交叉指電極４と、反射器６と、ボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂと、の組をＳＡＷパターン２と表記する。
図１（ａ）に破線で示した領域７ａ及び領域７ｂは、陽極酸化レジスト膜を形成する領域である。陽極酸化膜は、電極の表面を陽極酸化することによって、酸化膜を電極の表面に形成し、ＳＡＷ共振片の特性にほとんど影響を与えることなく、電極を保護することで、電極に異物が付着することによるトラブルを防止するものである。陽極酸化レジスト膜は、ボンディングランド５ａ及びボンディングランド５ｂに陽極酸化膜が形成されないようにするためのレジスト膜である。

図１（ｂ）に示すように、共振片ウェハー１Ａは、圧電体のウェハー３Ａに複数のＳＡＷパターン２が形成されている。共振片ウェハー１Ａは、複数のＳＡＷパターン２が形成された状態で陽極酸化が行われる。なお、本実施形態では、共振片ウェハー１Ａは、陽極酸化が行われる前も、陽極酸化が行われた後も、共振片ウェハー１Ａと表記する。陽極酸化を実施する装置に共振片ウェハー１Ａを給材したり、陽極酸化膜が形成された共振片ウェハー１Ａを除材する際は、ＳＡＷパターン２が形成された面や、陽極酸化膜の面を保持することで共振片ウェハー１Ａを保持するため、ＳＡＷパターン２や陽極酸化膜に影響を与えない保持方法を用いることが必要である。

＜給除材装置＞
次に、給除材装置１０について、図２を参照して説明する。図２は、給除材装置の概略構成を示す外観斜視図である。
図２に示すように、給除材装置１０は、吸引保持ハンド２０と、給除材腕３１と機台３８とを備えるロボット機構３０と、給除材装置制御部３９とを備えている。
給除材腕３１は、腕部３２ａと、腕部３２ｂと、腕関節部３３と、ハンド保持機構３４と、腕軸部３６とを備えている。腕部３２ａの一端と腕部３２ｂの一端とは、腕関節部３３で接続されている。腕部３２ｂの腕関節部３３に接続された一端の反対側の一端は、腕軸部３６に接続されている。腕軸部３６は、腕部３２ｂを腕軸部３６の回動軸を中心に回動可能に支持している。腕部３２ｂは、腕部３２ａを、腕関節部３３を介して、腕関節部３３の回動軸を中心に回動可能に支持している。腕部３２ａと腕部３２ｂとは、腕関節部３３において互いのなす角度を調整可能である。即ち、給除材腕３１は、腕関節部３３において屈伸可能である。腕軸部３６の回動軸の軸方向と、腕関節部３３の回動軸の軸方向とは、互いに略平行である。機台３８は、内蔵する摺動支持機構（図示省略）を介して、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動自在に、且つ精密に位置決め固定可能に支持している。ロボット機構３０が、移動手段に相当する。

腕部３２ａの腕関節部３３に接続された一端の反対側の一端には、ハンド保持機構３４が固定されている。ハンド保持機構３４には、吸引保持ハンド２０が固定されている。ハンド保持機構３４は、腕軸部３６の回動軸の軸方向及び腕関節部３３の回動軸の軸方向と同じ軸方向の回動軸を有し、腕部３２ａに対して、当該回動軸を中心に吸引保持ハンド２０を回動可能に支持している。
吸引保持ハンド２０は、後述する吸引パット２１（図３参照）を４個備えており、吸引保持ハンド２０の吸引保持面は、４個の吸引パット２１が備える４個の吸引保持面１８２（図３参照）で構成されている。吸引保持ハンド２０の吸引保持面は、ハンド保持機構３４の回動軸と略垂直であり、ハンド保持機構３４によって吸引保持ハンド２０を回動させることで、吸引保持面に平行な平面方向における吸引保持面の方向を変えることができる。
給除材装置制御部３９は、情報入出力装置（図示省略）を介して予め入力された制御プログラムに基づいて、給除材装置１０の各部の動作を統括制御する。

次に、給除材装置１０によってワークを搬送する際の給除材装置１０の動作について説明する。
最初に、腕軸部３６によって、給除材腕３１を回動させて任意の方向に向け、腕関節部３３において給除材腕３１を屈伸させることによって、吸引保持ハンド２０を任意の位置、例えば、ワークを吸引保持可能な位置に位置させる。次に、機台３８の摺動支持機構によって、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動させることによって、吸引保持ハンド２０の吸引保持面をワークを吸引保持可能な距離まで接近させ、当該位置でワークを吸引保持する。次に、機台３８の摺動支持機構によって腕軸部３６を摺動させて、吸引保持ハンド２０を移動させ、ワークを持ち上げる。
次に、腕軸部３６によって、給除材腕３１を回動させて、給除材腕３１をワークを載置する方向に向け、腕関節部３３において給除材腕３１を屈伸させることによって、ワークを吸引保持した吸引保持ハンド２０を、ワークが載置位置に臨む位置に位置させる。次に、機台３８の摺動支持機構によって、腕軸部３６を腕軸部３６の回動軸の軸方向に摺動させることによって、吸引保持ハンド２０が吸引保持したワークを載置面に載置可能な距離まで接近させ、当該位置でワークの吸引保持を解除し、ワークを載置面に落下させる。給除材装置１０によって搬送される共振片ウェハー１Ａなどのワークが、保持対象物又は搬送対象物に相当する。

＜吸引パット＞
次に、吸引保持ハンド２０が備える吸引パット２１について、図３を参照して説明する。吸引パット２１は、ベルヌーイの定理を応用して、吸引保持する部材を吸引すると共に、流出する気体によって部材に押し力を加えることによって、部材と吸引パットとの非接触状態を維持して、非接触で部材を保持するものである。図３は、吸引パットの構造を示す斜視図である。

図３に示すように、吸引パット２１は、旋回流発生室１８１と、吸引保持面１８２と、一対の気体噴出流路１８３，１８３と、一対のチャンバ流路１８５，１８５と、を備えている。旋回流発生室１８１は、円柱状の凹部である。吸引保持面１８２は、吸引パット２１における旋回流発生室１８１が開口する端面であり、旋回流発生室１８１の開口側端に連なり、吸引保持された状態の被吸引部材が臨む面である。気体噴出流路１８３は、一端が旋回流発生室１８１の内周面１８４に開口しており、旋回流発生室１８１に圧縮空気を噴出させて、旋回流発生室１８１に旋回流を発生させる。チャンバ流路１８５は、各気体噴出流路１８３の上流端に連通し、吸引気体供給部９０（図６参照）からの圧縮空気を供給する。吸引気体供給部９０から供給された圧縮空気は、一対のチャンバ流路１８５に同時に流入し、それぞれ気体噴出流路１８３を通って旋回流発生室１８１に噴出される。

吸引パット２１の外形は、略円形の吸引保持面１８２を端面とする略円筒形状であり、円筒の途中から吸引保持面１８２の反対側の端面までは、一部が切り欠かれた形状をしている。切り欠かれた部分は、平坦な面であって、互いに平行な一対の面１８６，１８６で構成されている。チャンバ流路１８５の気体噴出流路１８３に連通する側の反対側は、面１８６に開口している。

旋回流発生室１８１は、その内周面１８４の一端が閉塞された円柱状に形成されており、旋回流発生室１８１の閉塞側には、一対の気体噴出流路１８３が形成されている。旋回流発生室１８１に流入した圧縮空気は、その内周面１８４に沿うように流れ、強い旋回流となってやがて開放端から側方に流出する。旋回流の中心部には、ベルヌーイの定理に従って負圧が生じ、この負圧により共振片ウェハー１Ａなどを吸引する。

吸引保持面１８２は、旋回流発生室１８１の開口側端に連なり、旋回流の旋回軸に対して略直交する形状に形成されている。旋回流発生室１８１で発生した旋回流は、旋回流発生室１８１の開放端に達すると、その遠心力により吸引保持面１８２に沿って内周側から外周側に向って渦流となって流れ出す。旋回流発生室１８１から流出して、吸引保持面１８２上を流れ出す空気により、共振片ウェハー１Ａなどと吸引保持面１８２との間隙が維持される。

図３に示した吸引パット２１では、旋回流発生室１８１に発生する旋回流は、吸引保持面１８２側から見て、時計まわりに旋回する。気体噴出流路１８３の位置を、旋回流発生室１８１の中心軸を含む面に関して面対称の位置にすると、旋回流発生室１８１に発生する旋回流は、吸引保持面１８２側から見て、反時計まわりに旋回する。本実施形態では、旋回方向に関わらず、いずれの旋回方向の旋回流を発生するものも、吸引パット２１と表記する。
なお、吸引パット２１の形状は、旋回流発生室１８１の開口端が徐々に広がるようにベルマウス形状としてもよいし、吸引保持面１８２に渦流を維持する渦形の溝を形成するようにしてもよい。

＜ヘッドケース＞
次に、吸引パット２１が固定されており、吸引保持ヘッド２５（図６参照）を構成するヘッドケース５１について、図４及び図５を参照して説明する。図４は、ヘッドケースの構成を示す平面図である。図５は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す図である。図５（ａ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を示す断面図であり、図５（ｂ）は、ヘッドケースに吸引パットが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図である。

図４及び図５に示すように、ヘッドケース５１は、４個の吸引パット２１を下方に突出させ、且つそれぞれの旋回流発生室１８１の端が同一平面内に位置するように保持している。具体的には、ヘッドケース５１には、４個の固定装着穴がマトリクス状に形成されている。固定装着穴は、上述した吸引パット２１の一対の面１８６，１８６と隙間なく嵌合できる平坦面を備えている。各吸引パット２１は、面１８６が形成された部分が固定装着穴に嵌合されて、接着固定されている。吸引パット２１で発生する旋回流の旋回方向は、４個の吸引パット２１の中で対角に位置する２個の吸引パット２１が時計まわりに旋回する旋回流を発生し、他方の対角に位置する２個の吸引パット２１が反時計まわりに旋回する旋回流を発生するように、４個の吸引パット２１が配置されている。
４個の吸引パット２１の４個の吸引保持面１８２が構成する面を吸引保持面１８２Ａと表記する。

図４に示すように、ヘッドケース５１に形成した圧空溝８８は、４個の吸引パット２１を二分する位置に配設した幅広の主圧空溝８４と、主圧空溝８４から各吸引パット２１に向って垂直に分岐した各吸引パット２１ごとに１組、計４組の幅狭の副圧空溝８５と、から形成されている。各副圧空溝８５は、長い長尺副圧空溝８５ａと短い短尺副圧空溝８５ｂとから成り、取り付けられた吸引パット２１を挟み込む位置に配設されている。吸引パット２１がヘッドケース５１に取り付けられた状態で、長尺副圧空溝８５ａ及び短尺副圧空溝８５ｂは、吸引パット２１の面１８６に開口しているチャンバ流路１８５にそれぞれ連通している。後述する吸引気体供給部９０（図６参照）から供給される圧縮空気が、後述する蓋ケース５２（図６参照）の吸引気体孔５４から流入し、主圧空溝８４及び各副圧空溝８５を介して、各吸引パット２１に流入する。吸引パット２１に流入した圧縮空気は、旋回流発生室１８１に噴出され、図５に示した矢印ａのように旋回する旋回流が発生する。蓋ケース５２は、ヘッドケース５１の周縁に形成された突設枠部８７の内側に嵌合することで、ヘッドケース５１に対して位置決めされる。

＜吸引保持ハンド＞
次に、吸引保持ハンド２０の全体構成について、図６を参照して説明する。図６は、吸引保持ハンドの全体構成を示す分解斜視図である。吸引保持ハンド２０が、吸引保持手段に相当する。
図６に示すように、吸引保持ハンド２０は、共振片ウェハー１Ａなどのワークを吸引保持する複数（図示のものは、４個）の吸引パット２１と、吸引パット２１を保持するパットホルダー２３と、パットホルダー２３を支持する装置取付部２４と、を備えている。また、吸引保持ハンド２０は、非接触保持用の空気を供給する吸引気体供給部９０と、吸引気体供給部９０を制御すると共に給除材装置制御部３９とリンクする吸引保持制御部９１と、を備えている。

パットホルダー２３は、上述したヘッドケース５１を有する吸引保持ヘッド２５と、吸引保持ヘッド２５を垂設支持するワークガイド２６と、ワークガイド２６を垂設支持するジョイント部材２７と、を同軸上に重ねる状態に構成されている。
吸引保持ヘッド２５は、ヘッドケース５１と蓋ケース５２とを備え、蓋ケース５２がヘッドケース５１の周縁に形成された突設枠部８７の内側に嵌合して、隙間なく固定されている。蓋ケース５２がヘッドケース５１に固定されることで、ヘッドケース５１に形成された主圧空溝８４及び各副圧空溝８５が、蓋ケース５２に形成された吸引気体孔５４、及び吸引パット２１に形成されたチャンバ流路１８５に連通する気体流路となっている。

吸引気体供給部９０は、吸引気体供給源９２と、吸引給気管９３ａと、吸引流量調整弁９５と、吸引給気管９３ｂとを備えている。吸引気体供給源９２は、例えば圧空ポンプのような、圧縮空気を送出する装置である。吸引流量調整弁９５は、圧縮空気の流路と、流路の中間に形成されており、当該流路の開閉及び圧縮空気の流量の調整が可能な弁部とを備えている。吸引気体供給源９２には吸引給気管９３ａの一端が接続されており、吸引給気管９３ａの他端には吸引流量調整弁９５の流路の一方が接続されており、当該流路と弁部によって連通又は遮断されるもう一方の流路には、吸引給気管９３ｂの一端が接続されている。吸引給気管９３ｂのもう一端は、パットホルダー２３のジョイント部材２７に形成された吸引給気流路７４に接続されている。
吸引流量調整弁９５の開閉駆動源は、吸引保持制御部９１と電気的に接続されており、吸引保持制御部９１は、給除材装置制御部３９と電気的に接続されている。吸引保持制御部９１は、給除材装置制御部３９からの制御信号に従って、開閉駆動源を制御して吸引流量調整弁９５による吸引用気体の供給、遮断、及び供給量の調整を実施する。

吸引保持ハンド２０の装置取付部２４は、略円筒形状に形成され、上半部の内部には太径の取付孔４１が、下半部の内部には細径の装着孔４２がそれぞれ形成されている。取付孔４１と装着孔４２とは同軸上に配設されており、取付孔４１は、吸引保持ハンド２０をロボット機構３０のハンド保持機構３４に取り付けるための部位として機能し、装着孔４２には、ジョイント部材２７の装着部７２が差し込み装着される。
ハンド保持機構３４と装置取付部２４とは、取付孔４１に嵌入したハンド保持機構３４の部分を、上ネジ孔４３に螺合した止めネジで固定することによって、互いに固定される。装置取付部２４とジョイント部材２７とは、装着孔４２に嵌入したジョイント部材２７の装着部７２を、下ネジ孔４４に螺合した止めネジで固定することによって、互いに固定される。

パットホルダー２３のジョイント部材２７は、装着部７２及び垂設部７１を備えている。略角柱形状を有する垂設部７１の一端の頂面に、垂設部７１の略角柱形状の中心と中心軸が略一致する円柱形状の装着部７２が立設されている。略円柱形状の装着部７２の側面の一部が切り欠かれて、上述した下ネジ孔４４に螺合した止めネジが突き当てられる平坦部７２ａが形成されている。装着部７２を装置取付部２４の装着孔４２に嵌合し、止めネジを下ネジ孔４４に螺合することにより、ジョイント部材２７が装置取付部２４に装着される。垂設部７１の装着部７２が突設された端面の反対側の端面には、略方形の角を面取りした形状の台座７９が突設されている。この台座７９にワークガイド２６の凹部が嵌合して、位置決め固定される。

垂設部７１の内部には、吸引給気流路７４が形成されている。吸引給気流路７４は、吸引給気管９３ｂが接続されると共に、吸引パット２１の旋回流発生室１８１に連なる略「Ｌ」字状の流路である。吸引給気流路７４は、横流路７５と、縦流路７６とを有している。横流路７５は、略角柱形状の垂設部７１の側面に開口し、当該側面に略垂直に形成されており、当該開口に、継手を介して吸引給気管９３ｂが接続されている。縦流路７６は、一端が台座７９の面の略中心位置に開口し、当該面に略垂直に形成されており、当該開口は、台座７９に嵌合したワークガイド２６の吸引気体孔６４に接続されている。横流路７５及び縦流路７６における開口端と反対側の端は、互いに接合して、略「Ｌ」字状の吸引給気流路７４を形成している。

ワークガイド２６は、略方形の厚板の４角が面取りされた形状に形成されたガイド本体６１と、一つの対角に位置する面取り部の両側においてガイド本体６１の板面に立設された、４個のガイド突起６２と、が一体に形成されている。
ガイド本体６１におけるガイド突起６２が立設された面の反対側の面には、垂設部７１の台座７９が嵌入する着座部が窪入形成されている。垂設部７１（ジョイント部材２７）の端面に形成された台座７９が着座部に係合して固定されることで、ワークガイド２６が、垂設部７１に懸吊支持されている。

ガイド本体６１は、略方形の板の４角が面取りされた形状を有しており、面取りされた角の一つにおいて、面取りの両側の各辺の端に、それぞれガイド突起６２が立設されている。２個のガイド突起６２の内側（ガイド本体６１の中央側）のガイド面は、ガイド本体６１の面に平行な方向において、互いに略直交する方向を向いている。ガイド本体６１上に位置したワークは、それぞれのガイド突起６２に当接することで、２方向への移動を規制される。
２個のガイド突起６２が形成されている角部と対角の位置の角部には、ガイド本体６１の中心に関して２個のガイド突起６２と略点対称の位置に、他の２個のガイド突起６２が立設されている。ガイド本体６１上に位置したワークは、それぞれのガイド突起６２に当接することで、反対側のガイド突起６２に当接することで移動を規制される方向と反対側の２方向への移動を規制される。
４個のガイド突起６２の位置を変えることによって、異なる大きさや平面形状のワークを吸引保持することができる。

上述した吸引保持ヘッド２５は、ワークガイド２６に垂設支持されている。吸引保持ヘッド２５がワークガイド２６に垂設支持されている状態で、ワークガイド２６の略中央に形成された吸引気体孔６４は、蓋ケース５２の略中央に形成された吸引気体孔５４と連通している。

＜搬送＞
次に、給除材装置１０の吸引保持ハンド２０によって、搬送パレット載置台１０５の所定の位置に載置された搬送用パレット１００に置かれた共振片ウェハー１Ａを吸引保持し、加工用パレット１１０に着座させて整列させる搬送整列工程について、図７及び図８を参照して説明する。図７は、共振片ウェハーの搬送工程の各工程を示すフローチャートである。図８は、共振片ウェハーの搬送工程の各工程における吸引パットと共振片ウェハーとの位置関係を示す説明図である。搬送パレット載置台１０５の所定の位置に載置された搬送用パレット１００における共振片ウェハー１Ａの載置位置が第一の位置に相当する。加工用パレット１１０における所定の着座位置が第二の位置に相当する。

最初に、図７のステップＳ１では、吸引保持ハンド２０の吸引保持面１８２Ａの位置情報を取得する。位置情報の取得は、例えば、吸引保持面１８２Ａを構成する吸引保持面１８２を基準部材に接触させたり、基準位置に在るセンサーに吸引保持面１８２を検出させたりすることで、取得することができる。このような操作を制御する給除材装置制御部３９が、位置情報検出手段に相当する。

次に、ステップＳ２では、図８（ａ）に示すように、共振片ウェハー１Ａが載置された搬送用パレット１００を、給除材装置１０に設けられた搬送パレット載置台１０５の所定の位置に載置する。当該作業は、搬送用パレット１００を搬送することで共振片ウェハー１Ａなどを搬送する部材搬送装置によって自動的に実施させたり、手作業で実施したりする。
搬送用パレット１００を搬送パレット載置台１０５の所定の位置に載置することで、搬送用パレット１００は、給除材装置１０における所定の位置に配置される。搬送用パレット１００に載置された共振片ウェハー１Ａも、載置位置のばらつきの範囲で給除材装置１０における所定の位置に位置する。共振片ウェハー１Ａの上面は、搬送パレット載置台１０５のパレット載置面に対して、搬送用パレット１００の厚さと共振片ウェハー１Ａ自身の厚さだけ隔てた位置に位置する。当該位置は、給除材装置１０において、設計値として定まっている位置である。ステップＳ１で取得された吸引パット２１の吸引保持面１８２の位置情報と合わせて、共振片ウェハー１Ａの上面と吸引保持面１８２Ａとの相対位置が取得される。
共振片ウェハー１Ａの上面の位置情報と吸引保持面１８２の位置情報とから、共振片ウェハー１Ａの上面と吸引保持面１８２Ａとの相対位置を求める給除材装置制御部３９が、距離算出手段に相当する。搬送用パレット１００、又は搬送用パレット１００及び搬送パレット載置台１０５が、搬送対象物支持手段に相当する。共振片ウェハー１Ａの上面が、被吸引保持面に相当する。

次に、図７のステップＳ３では、ロボット機構３０によって吸引保持ハンド２０を移動させて、吸引保持ハンド２０が搬送用パレット１００に置かれた共振片ウェハー１Ａを吸引保持できる吸引位置に移動させる。このとき、吸引保持ハンド２０の吸引保持面１８２Ａを、図８（ｂ）に示したように、共振片ウェハー１Ａの上面に対して距離ｄだけ離れた、吸引初期位置に位置させる。共振片ウェハー１Ａを吸引保持ハンド２０が吸引保持した状態では、共振片ウェハー１Ａは吸引パット２１に対して隙間ｄ１を隔てて、非接触で保持されている。距離ｄは、当該隙間ｄ１と同等又は小さく設定する。ステップＳ３を実施する時点では、吸引流量調整弁９５によって、圧縮空気の流路は遮断されており、吸引パット２１には圧縮空気が供給されていない。隙間ｄ１が、保持距離に相当する。
なお、図８に示した距離ｄや隙間ｄ１は、明示できるように大きく示しているが、実際には、例えば０．２ｍｍくらいの大きさである。

次に、図７のステップＳ４では、図８（ｃ）に示すように、吸引保持ハンド２０によって共振片ウェハー１Ａを、非接触で吸引保持する。この工程は、吸引流量調整弁９５を開放して、吸引気体供給源９２から吸引パット２１に圧縮空気を送り、旋回流発生室１８１に負圧を発生させていることで、実施する。圧縮空気が供給されて稼動状態となった吸引パット２１を稼働状態でない吸引パット２１と区別するために、吸引パット２１Ｂと表記する。図８では、区別して図示するために、吸引パット２１Ｂには網掛けを施している。
距離ｄは隙間ｄ１と同等又は小さいため、吸引パット２１に圧縮空気が送られて共振片ウェハー１Ａを吸引保持した状態になる場合に、共振片ウェハー１Ａは吸引パット２１に対して実質的に移動することなく、吸引保持された状態となる。
吸引流量調整弁９５を制御して、吸引パット２１への圧縮空気の供給又は遮断を実施する吸引保持制御部９１が、吸引保持制御手段に相当する。
吸引保持ハンド２０を搬送用パレット１００から離反する方向に移動すると、図８（ｄ）に示すように、共振片ウェハー１Ａは吸引パット２１Ｂに対して隙間ｄ１を隔てて、非接触で保持されている状態となる。

次に、図７のステップＳ５では、ロボット機構３０によって、共振片ウェハー１Ａを吸引保持した吸引保持ハンド２０を移動させて、図８（ｅ）に示すように、共振片ウェハー１Ａを吸引保持した吸引保持ハンド２０が加工用パレット１１０における所定の着座領域１１１に臨む位置に、移動させる。加工用パレット１１０の位置は、加工用パレット１１０を位置決めして載置することができる加工用パレット載置台（図示省略）の所定の位置に載置することによって、所定の位置に位置決めされる。ロボット機構３０を制御して吸引保持ハンド２０を移動させる給除材装置制御部３９が、移動制御手段に相当する。

次に、図７のステップＳ６では、吸引流量調整弁９５を閉じて吸引パット２１Ｂに対する圧縮空気の供給を停止することによって吸引保持状態を解除する。吸引保持状態を解除することで、図８（ｆ）に示すように、共振片ウェハー１Ａを加工用パレット１１０の着座領域１１１に着座させる。
ステップＳ６を実施して、１個の共振片ウェハー１Ａを搬送用パレット１００から搬送して、加工用パレット１１０に着座させる工程を終了する。この工程を繰り返すことによって、搬送用パレット１００に載せられた共振片ウェハー１Ａを搬送して、加工用パレット１１０の上に整列させる。

以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）吸引パット２１には圧縮空気が供給されていない状態で吸引保持面１８２Ａを、共振片ウェハー１Ａに接近させる。これにより、共振片ウェハー１Ａに吸引保持する力を作用させることなく、吸引保持面１８２Ａを共振片ウェハー１Ａに接近させることができる。
吸引保持面１８２Ａを、共振片ウェハー１Ａの上面に対して距離ｄだけ離れた、吸引初期位置に位置させて、吸引パット２１に圧縮空気を供給する。共振片ウェハー１Ａを吸引保持ハンド２０が吸引保持した状態では、共振片ウェハー１Ａは吸引パット２１に対して隙間ｄ１を隔てて、非接触で保持されており、距離ｄは、隙間ｄ１と同等又は小さく設定されている。これにより、吸引パット２１に圧縮空気が供給されて吸引パット２１が共振片ウェハー１Ａに吸引力を及ぼして吸引保持状態にする際に、共振片ウェハー１Ａが移動する量をほとんどなくすることができる。共振片ウェハー１Ａが吸引パット２１に向かって移動することがほとんどないため、共振片ウェハー１Ａが吸引パット２１に接触することを抑制することができる。

（２）吸引気体供給部９０は、吸引気体供給源９２と吸引流量調整弁９５と、を備えている。吸引流量調整弁９５を備えることで、吸引パット２１に対する圧縮空気の供給と遮断との切り換えを迅速かつ確実に実施することができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、吸引保持面１８２Ａの給除材装置１０における位置情報を取得することと、共振片ウェハー１Ａが載置された搬送用パレット１００を、給除材装置１０に設けられた搬送パレット載置台１０５の所定の位置に載置することとによって、共振片ウェハー１Ａの上面と吸引保持面１８２Ａとの相対位置を取得していた。しかし、吸引パット（吸引保持面）と保持対象物又は搬送対象物（被吸引保持面）との相対位置を、それぞれの位置情報を取得することによって取得することは必須ではない。
吸引保持装置（吸引パット）の吸引保持面に対する保持対象物又は搬送対象物の被吸引保持面の位置を直接測定することによって、吸引保持面と被吸引保持面との相対位置を求めてもよい。

被吸引保持面の位置を測定する距離センサーを備える構成について、図９を参照して説明する。図９は、ヘッドケースに距離センサーが取り付けられた状態を示す図である。図９（ａ）は、ヘッドケースに距離センサーが取り付けられた状態を示す側面図であり、図９（ｂ）は、ヘッドケースに距離センサーが取り付けられた状態を吸引パット側から見た平面図である。
吸引保持ハンド１２０は、距離センサー１２５を備えることが、吸引保持ハンド２０とは異なっている。図９に示したヘッドケース１５１は、距離センサー１２５を装着可能であることが、ヘッドケース５１と異なっている。

図９に示すように、ヘッドケース１５１は、ヘッドケース５１と同様に、４個の吸引パット２１を下方に突出させ、それぞれの旋回流発生室１８１の端が同一平面内に位置する位置に保持している。４個の吸引パット２１の略中央に、距離センサー１２５が固定されている。距離センサー１２５のヘッドケース１５１の面からの突出高さは、吸引パット２１の突出高さより低くなっている。距離センサー１２５を用いて、距離センサー１２５から共振片ウェハー１Ａなどのワークまでの距離を測定することで、吸引保持面１８２Ａからワークまでの距離を測定することができる。測定された距離情報を給除材装置制御部に送り、当該距離情報に基づいてロボット機構３０のような吸引保持ハンド１２０を移動する装置を制御することによって、吸引保持ハンド１２０を、吸引保持面１８２Ａがワークに対して、例えば、上述した隙間ｄ１と同等又は隙間ｄ１より小さい距離ｄを隔てた位置に位置させることができる。
吸引保持ハンド１２０における距離センサー１２５が、距離測定手段に相当する。
測定手段としての距離センサー１２５は、吸引保持ハンド１２０のヘッドケース１５１に取り付けられていたが、測定手段は、吸引保持手段の他の部材に固定してもよい。また、測定手段を吸引保持手段と一体に構成することも必須ではない。測定手段は、吸引保持手段とは別に配置してもよい。

（変形例２）前記実施形態においては、吸引気体供給部９０は、吸引気体供給源９２と、圧縮空気の流路を開閉する吸引流量調整弁９５とを備えていたが、流路を開閉したり気体の流量を調整したりする装置を設けることは必須ではない。吸引用の気体の供給及び停止の操作や供給量の調整は、吸引用気体の供給源において実施する構成であってもよい。

（変形例３）前記実施形態においては、吸引保持ハンド２０は４個の吸引パット２１を備えていたが、吸引保持手段が備える吸引パットは、４個に限らない。吸引保持する保持対象物又は搬送対象物の大きさや重量に対応した適切な吸引保持力を実現できれば、吸引保持手段が備える吸引パットは、いくつであってもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、保持対象物又は搬送対象物として、複数のＳＡＷパターン２が形成された共振片ウェハー１Ａを例に説明したが、保持対象物及び搬送対象物は、振動子を形成するための素材に限らない。保持する際に非接触で保持することが好ましい部材であって、非接触で保持する対象物であれば、上述した吸引保持方法、搬送装置、又は搬送方法を用いて好適に吸引保持及び搬送を実施することができる。

（変形例５）前記実施形態においては、保持対象物又は搬送対象物としての共振片ウェハー１Ａは略円形状であったが、保持対象物及び搬送対象物が略円形であることは必須ではない。保持対象物及び搬送対象物の形状は、その重量に対応できる吸引力を印加することが可能な被吸引保持面を有する形状であれば、どのような形状であってもよい。

（変形例６）前記実施形態においては、吸引パット２１に供給される気体は空気であったが、吸引保持のための気体は空気に限らない。上述した吸引保持方法、搬送装置、搬送方法、及び吸引保持装置は、吸引保持手段を駆動することが可能であれば、どのような気体を用いる場合でも適用することができる。例えば、腐蝕防止などのために不活性ガスを充満させたような環境においても適用することができる。

（変形例７）前記実施形態においては、ガイド本体６１は、略方形の板の４角が面取りされた形状を有しており、略方形の対角に位置する２個所の面取りされた角において、面取りの両側の各辺の端に、それぞれガイド突起６２が立設されている。しかし、ガイド突起６２のように吸引保持面に平行な方向におけるワークの移動を規制する規制部材の配設位置は、上述した配設位置に限らない。規制部材の配設位置は、吸引保持面に平行な方向におけるワークの移動を規制することができる位置であれば、どのような配設位置であってもよい。

（変形例８）前記実施形態においては、吸引保持手段を備える搬送装置としての給除材装置１０は、吸引保持ハンド２０と、給除材腕３１と、機台３８と、給除材装置制御部３９とを備えていたが、搬送装置が給除材腕３１や機台３８のような、吸引保持ハンド２０などを保持すると共に移動させる装置を備えることは必須ではない。例えば、吸引保持ハンド２０を簡単な支持部材で支持し、当該支持部材を手作業で移動させるような装置であってもよい。

１…ＳＡＷ共振片、１Ａ…共振片ウェハー、１０…給除材装置、２０…吸引保持ハンド、２１，２１Ｂ…吸引パット、３０…ロボット機構、３９…給除材装置制御部、５１…ヘッドケース、９０…吸引気体供給部、９１…吸引保持制御部、９２…吸引気体供給源、９５…吸引流量調整弁、１００…搬送用パレット、１０５…搬送パレット載置台、１１０…加工用パレット、１１１…着座領域、１２０…吸引保持ハンド、１２５…距離センサー、１５１…ヘッドケース、１８１…旋回流発生室、１８２…吸引保持面、１８２Ａ…吸引保持面。

Claims (10)

1. 旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持方法であって、
   前記旋回流発生室に圧縮気体が供給されていない状態の前記吸引パットの前記吸引保持面を、前記保持対象物の被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記保持対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる、吸引位置取り工程と、
   前記吸引パットの前記旋回流発生室に圧縮気体を供給して、前記保持対象物を吸引して吸引保持状態にする吸引保持工程と、を有することを特徴とする吸引保持方法。
2. 前記吸引位置取り工程は、前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を測定する距離測定工程を含むことを特徴とする、請求項１に記載の吸引保持方法。
3. 前記吸引位置取り工程は、予め求められた前記吸引保持面の位置と前記被吸引保持面の位置とに基づいて、前記吸引パットを移動させる工程であることを特徴とする、請求項１に記載の吸引保持方法。
4. 搬送対象物を支持する搬送対象物支持手段と、
   旋回流発生室に発生させた気体の旋回流によって生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに、前記搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持手段と、
   前記吸引保持手段を移動可能に支持する移動手段と、
   前記吸引保持面と、前記搬送対象物支持手段に支持されている前記搬送対象物の被吸引保持面と、の位置関係を求める位置情報検出手段と、
   前記吸引保持手段の吸引保持の動作を制御する吸引保持制御手段と、
   前記移動手段による前記吸引保持手段の移動を制御する移動制御手段と、を有し、
   前記移動制御手段は、前記位置情報検出手段の検出結果に基づいて、前記移動手段を制御して、前記吸引保持面を、前記搬送対象物支持手段に支持されている前記搬送対象物の被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記搬送対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させ、
   前記吸引保持制御手段は、前記吸引保持手段を制御して、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置される時点より前は、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を停止し、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置された時点の後に、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を開始することを特徴とする搬送装置。
5. 前記位置情報検出手段は、前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を測定する距離測定手段であることを特徴とする、請求項４に記載の搬送装置。
6. 前記位置情報検出手段は、予め入力された前記吸引保持面と前記搬送対象物の被吸引保持面との位置情報と、前記移動手段による前記吸引保持面の移動情報とから前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を求める距離算出手段であることを特徴とする、請求項４に記載の搬送装置。
7. 第一の位置に在る搬送対象物を、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流によって生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに前記搬送対象物を非接触で吸引保持する吸引保持手段を用いて、第二の位置に搬送する搬送方法であって、
   前記旋回流発生室に圧縮気体が供給されていない状態の前記吸引パットの前記吸引保持面を、前記第一の位置に在る前記搬送対象物の被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記搬送対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる、吸引位置取り工程と、
   前記搬送対象物を前記吸引保持手段が吸引保持した状態で、前記吸引保持手段を移動させる移動工程と、
   前記吸引保持手段を前記第二の位置に対応する位置に停止して、前記搬送対象物の吸引保持状態を解除して、前記搬送対象物を前記第二の位置に着座させる着座工程と、を有することを特徴とする搬送方法。
8. 前記吸引位置取り工程は、前記吸引保持面と前記被吸引保持面との距離を測定する距離測定工程を含むことを特徴とする、請求項７に記載の搬送方法。
9. 前記吸引位置取り工程は、予め求められた前記吸引保持面の位置と前記被吸引保持面の位置とに基づいて、前記吸引パットを移動させる工程であることを特徴とする、請求項７に記載の搬送方法。
10. 旋回流発生室に発生させた気体の旋回流によって生じる負圧と、前記旋回流発生室の吸引用吹出し口から前記吸引用吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、前記吸引保持面を有する吸引パットに、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持装置であって、
    前記保持対象物を支持する保持対象物支持手段と、
    前記吸引パットを移動可能に支持する移動手段と、
    前記吸引保持面と、前記保持対象物支持手段に支持されている前記保持対象物の被吸引保持面と、の位置関係を求める位置情報検出手段と、
    前記吸引パットの吸引保持の動作を制御する吸引保持制御手段と、
    前記移動手段による前記吸引パットの移動を制御する移動制御手段と、を有し、
    前記移動制御手段は、前記位置情報検出手段の検出結果に基づいて、前記移動手段を制御して、前記吸引保持面を、前記保持対象物支持手段に支持されている前記保持対象物の前記被吸引保持面に対して、前記吸引パットが前記保持対象物を吸引保持している状態における前記吸引保持面と前記被吸引保持面との保持距離、又は前記保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させ、
    前記吸引保持制御手段は、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置される時点より前は、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を停止させ、前記吸引保持面が前記吸引初期位置に位置された時点の後に、前記旋回流発生室に対する圧縮気体の供給を開始させることを特徴とする吸引保持装置。

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