TWM557829U - 集成晶片測試座及集成晶片測試模組 - Google Patents

Abstract

本創作係提供一種集成晶片測試座，包括：第一基座，包括支架以及與所述支架固定的隔板，任意兩隔板之間圍合形成第一插槽；第一蓋體，具有與第一插槽相接的容腔，第一蓋體頂面開設有多個第二插槽；以及多個第一彈性探針，包括固定部、第一彈性臂及第二彈性臂，第一彈性臂的自由端設有第一檢測頭，第二彈性臂的自由端設有第二檢測頭，第一彈性臂位於第一插槽內，第一檢測頭伸出第一插槽，用以接觸印刷電路板；第二彈性臂容置於容腔，第二檢測頭伸出所述第二插槽，用以接觸積體電路元件；此外，還公開了一種可用於TSOP、SOP封裝集成晶片整盤測試模組，結構簡單，且可降低採購成本，減少測試人員，提高測試效率，從而有效節約製造成本及設備維護成本。

Description

集成晶片測試座及集成晶片測試模組

本創作相關於一種測試設備，特別是相關於一種集成晶片測試座及集成晶片測試模組。

半導體積體電路裝置從設計到成型要經過一系列的測試，包括積體電路設計原型的驗證測試、晶圓片測試、封裝測試等。目前集成晶片的測試一般採用探針結構測試座，其主要包括測試探針底座、固定探針座及測試探針。傳統的測試探針主要由探針頭、套筒和內部彈簧三部分構成，結構複雜，製作成本高，價格昂貴，並且在反復使用過程中，探針頭與套筒之間會因反復摩擦導致磨損，而對測試探針的維修或更換較為困難，從而增加了測試座的維護成本。

因此，為解決上述問題，本創作的目的即在提供一種集成晶片測試座，旨在解決現有的探針結構測試座由於探針結構複雜且在使用過程中易磨損，導致測試座的製作及維護成本較高的技術問題。

本創作為解決習知技術之問題所採用之技術手段係提供一種集成晶片測試座，包含：第一基座，包括支架以及多個沿第一方向排列與該支架固定的隔板，該隔板與該第一方向垂直，任意兩該隔板之間圍合形成第一插槽；第一蓋體，蓋合在該第一基座在第二方向上的頂部，該第一蓋體內部具有在該 第二方向上與各該第一插槽相接的容腔，該第一蓋體在該第二方向上的頂面開設有多個沿該第一方向排列的第二插槽，該第二插槽與該容腔連通並與該第一插槽一一對應；以及多個第一彈性探針，包括固定部、自該固定部沿背向第三方向延伸的第一彈性臂及第二彈性臂，該第一彈性臂的自由端設有第一檢測頭，該第二彈性臂的自由端設有第二檢測頭，該第一彈性臂位於該第一插槽內，該第一檢測頭在背向該第二方向上伸出該第一插槽，用以接觸印刷電路板；該第二彈性臂容置於該容腔，該第二檢測頭在該第二方向上伸出該第二插槽，用以接觸積體電路元件；其中，該第一方向、該第二方向及該第三方向兩兩垂直。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試座，該支架包括與該第二方向垂直並穿置各該隔板的固定板；該固定部設有開口方向與該第三方向一致的卡槽，該固定部通過該卡槽與該固定板卡接。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試座，該第一檢測頭沿該第二方向的端面設有多個第一凸起；該第二檢測頭沿該第二方向的端面設有多個第二凸起。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試座，該第一彈性探針還包括第一折彎部及第二折彎部，該第一折彎部固定連接於該第一彈性臂及該固定部之間，該第二折彎部固定連接於該第二彈性臂及該固定部之間。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試座，該支架更包括垂直於該第三方向的支撐板，該固定板凸設於該支撐板朝向該第三方向的一面，該固定部在該第三方向上凸出該第一折彎部及該第二折彎部，且該固定部與該支撐板抵接。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試座，該隔板自該第二方向上的底邊緣開設有減料槽口，該隔板於該減料槽口的兩側分別形成第一引導部及第二引導部，該第一引導部與該第一折彎部可滑動配合，該第二引導部與該第一檢測頭可滑動配合。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試座，該第一蓋體的邊緣處沿周向設有多個卡扣，該卡扣自該蓋體沿背向該第二方向延伸形成，該第一基座具有位於該第一方向上的兩相對的側壁面，該側壁面上開設有與該卡扣適配的卡扣槽。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試座，更包括第一連接件，該第一連接件具有與該第三方向垂直的對稱面，該集成晶片測試座更包括第二基座、第二蓋體及多個第二彈性探針，該第二基座與該第一基座、該第二蓋體與該第一蓋體，該第二彈性探針與該第一彈性探針均關於該對稱面對稱；該第一連接件固定連接該第一基座及該第二基座。

本發明為解決習知技術之問題所採用之另一技術手段係提供一種集成晶片測試模組，其特徵在於，包含：固定座，開設有多個沿該第二方向貫通的安裝槽；以及多個如前述所述之集成晶片測試座，一一對應容置於所述安裝槽中。

在本創作的一實施例中係提供一種集成晶片測試模組，該集成晶片測試座更包括第一連接件，該第一連接件具有與該第三方向垂直的對稱面，該集成晶片測試座更包括第二基座、第二蓋體及多個第二彈性探針，該第二基座與該第一基座、該第二蓋體與該第一蓋體，該第二彈性探針與該第一彈性探針均關於該對稱面對稱；該第一連接件固定連接該第一基座及該第二基座；該 第一連接件朝向該第二方向的一面設有定位鍵，該固定座上設有與該定位鍵適配的定位孔。

本創作的集成晶片測試座藉由在第一基座上設置第一插槽，在第一蓋體上開設有與第一插槽相接的容腔，同時在第一蓋體的頂面設置有與容腔連通的第二插槽，並且藉由將彈性探針設置成具有第一彈性臂、第二彈性臂以及固定部的一體結構，且第一彈性臂的自由端設有第一檢測頭，第二彈性臂的自由端設有第二檢測頭，其中，第一彈性臂可伸縮置於第一插槽內，第一檢測頭外露於第一插槽，用以接觸印刷電路板，第二彈性臂可伸縮置於容腔中，第二檢測頭外露於第二插槽，用以接觸積體電路元件，從而實現對集成晶片進行測試的目的。本創作的集成晶片測試座通過用一體設置的彈性探針代替傳統的分體式彈性探針，不僅簡化了探針結構，並且不易磨損，節約了製造成本，同時，本創作的集成晶片測試座的彈性探針更換方便，有效地節約了設備維護成本。

為了更清楚地說明本創作實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本創作的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖示出的結構獲得其他的附圖。

10‧‧‧集成晶片測試座

1‧‧‧第一基座

11‧‧‧支架

111‧‧‧固定板

112‧‧‧支撐板

12‧‧‧隔板

121‧‧‧減料槽口

122‧‧‧第一引導部

123‧‧‧第二引導部

13‧‧‧第一插槽

14‧‧‧卡扣槽

15‧‧‧導槽

2‧‧‧第一蓋體

20‧‧‧固定座

201‧‧‧安裝槽

202‧‧‧定位孔

203‧‧‧第二安裝孔

21‧‧‧容腔

22‧‧‧第二插槽

23‧‧‧卡扣

3‧‧‧第一彈性探針

31‧‧‧固定部

311‧‧‧卡槽

32‧‧‧第一彈性臂

321‧‧‧第一檢測頭

322‧‧‧第一凸起

33‧‧‧第二彈性臂

331‧‧‧第二檢測頭

332‧‧‧第二凸起

34‧‧‧第一折彎部

35‧‧‧第二折彎部

4‧‧‧第一連接件

41‧‧‧對稱面

42‧‧‧定位鍵

43‧‧‧凹槽

44‧‧‧第一安裝孔

5‧‧‧第二基座

6‧‧‧第二蓋體

7‧‧‧第二彈性探針

8‧‧‧第二連接件

81‧‧‧凸部

82‧‧‧開槽

9‧‧‧集成晶片測試模組

91‧‧‧固定框

圖1為顯示根據本創作一實施例的集成晶片測試座之結構示意圖。

圖2為圖1中集成晶片測試座的局部剖面示意圖。

圖3為圖1中集成晶片測試座的分解結構示意圖。

圖4為圖1中第一彈性探針的結構示意圖。

圖5為圖4中A處的局部放大圖。

圖6為圖4中B處的局部放大圖。

圖7為圖1中第一基座的結構示意圖。

圖8為圖7中第一基座的局部剖面示意圖。

圖9為圖1中第一基座另一角度的結構示意圖。

圖10為圖9中第一基座的局部剖面示意圖。

圖11為圖1中第一蓋體的結構示意圖。

圖12為圖11中第一蓋體的局部剖面示意圖。

圖13為圖1中第一蓋體另一角度的結構示意圖。

圖14為本創作集成晶片測試模組一實施例的結構示意圖。

圖15為圖14中C處的局部放大圖。

圖16為圖14中集成晶片測試模組另一角度的結構示意圖。

圖17為圖14中集成晶片測試模組整盤組合示意圖。

圖18為圖17中集成晶片測試模組整盤總裝結構示意圖。

以下根據圖1至圖18，而說明本創作的實施方式。該說明並非為限制本創作的實施方式，而為本創作之實施例的一種。

下面將結合本創作實施例中的附圖，對本創作實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本創作的一部分實施 例，而不是全部的實施例。基於本創作中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本創作保護的範圍。

需要說明，若本創作實施例中有涉及方向性指示(諸如上、下、左、右、前、後……)，則該方向性指示僅用於解釋在某一特定姿態(如附圖所示)下各部件之間的相對位置關係、運動情況等，如果該特定姿態發生改變時，則該方向性指示也相應地隨之改變。

另外，若本創作實施例中有涉及「第一」、「第二」等的描述，則該「第一」、「第二」等的描述僅用於描述目的，而不能理解為指示或暗示其相對重要性或者隱含指明所指示的技術特徵的數量。由此，限定「第一」、「第二」的特徵可以明示或者隱含地包括至少一個該特徵。另外，各個實施例之間的技術方案可以相互結合，但是必須是以本領域普通技術人員能夠實現為基礎，當技術方案的結合出現相互矛盾或無法實現時應當認為這種技術方案的結合不存在，也不在本創作要求的保護範圍之內。

本創作提出一種集成晶片測試座。

在本創作實施例中，請參照圖1至圖3，該集成晶片測試座10包括：第一基座1，包括支架11以及多個沿第一方向排列並與支架11固定的隔板12，隔板12與第一方向垂直，任意兩隔板12之間圍合形成第一插槽13；第一蓋體2，蓋合在第一基座1在第二方向上的頂部，第一蓋體2內部具有在第二方向上與各第一插槽13相接的容腔21，第一蓋體2在第二方向上的頂面開設有多個沿第一方向排列的第二插槽22，第二插槽22與容腔21連通並與第一插槽13一一對應；多個第一彈性探針3，包括固定部31，自固定部31沿背向第三方向延伸的第一彈性臂32及第二彈性臂33，第一彈性臂32的自由端設有第一檢測頭321，第二彈性臂33的自由端設有第二檢測頭331，第一彈性臂32位於第一插槽13內，第一檢測頭321在背向第二方向上伸出第一插槽13，用以接觸印刷電路板；第二彈性 臂33容置於容腔21，第二檢測頭331在第二方向上伸出第二插槽22，用以接觸積體電路元件；其中，第一方向、第二方向及第三方向兩兩垂直。

在本實施例中，第一基座1及第一蓋體2由絕緣材質製成，第一基座1與第一蓋體2之間固定連接，可以是黏接、螺釘連接或卡合連接等；第一蓋體2上的容腔21具有足夠的空間以保證第二彈性臂33在第二方向上可伸縮運動，且第二插槽22的尺寸較第二檢測頭331的尺寸要略大，以保證測試時，第二檢測頭331不會與第二插槽22的內壁產生摩擦；第一彈性探針3為導電體，其材質一般為鈹銅，且為一體成型，不易磨損，第一彈性探針3的形狀與上述容腔21及插槽的形狀相適配，優選為彈片狀；第一彈性臂32、第二彈性臂33及固定部31所構成的彈性結構可以呈波浪形或鋸齒形，且第一彈性臂32及第二彈性臂33可具有相同的構型，也可以具有不同的構型以提供不同的彈性形變量；第一彈性探針3的數量及排列分佈可根據集成晶片的封裝類型及其所需測試的點位進行調整，本創作集成晶片測試座10尤其適用於採用帶引腳封裝形式的集成晶片的測試，例如對採用TSOP、SOP和QFP封裝形式的集成晶片的測試。

本創作的集成晶片測試座10藉由在第一基座1上設置第一插槽13，在第一蓋體2上開設有與第一插槽13相接的容腔21，同時在第一蓋體2的頂面設置有與容腔21連通的第二插槽22，並且藉由將彈性探針設置成具有第一彈性臂32、第二彈性臂33以及固定部31的一體結構，且第一彈性臂32的自由端設有第一檢測頭321，第二彈性臂33的自由端設有第二檢測頭331，其中，第一彈性臂32可伸縮置於第一插槽13內，第一檢測頭321外露於第一插槽13，用以接觸印刷電路板，第二彈性臂33可伸縮置於容腔21中，第二檢測頭331外露於第二插槽22，用以接觸積體電路元件，從而實現對集成晶片進行測試的目的。本創作集成晶片測試座10藉由用一體設置的彈性探針代替傳統的分體式彈性探針，不 僅簡化了探針結構，並且不易磨損，節約了製造成本，同時，本創作集成晶片測試座10的彈性探針更換方便，有效地節約了設備維護成本。

進一步地，支架11包括與第二方向垂直並穿置各隔板12的固定板111；固定部31設有開口方向與第三方向一致的卡槽311，固定部31通過卡槽311與固定板111卡接。

在本實施例中，通過在支架11上設置固定板111，並在彈性探針的固定部31上設置卡槽311，固定板111與卡槽311配合使得彈性探針能夠穩固地安裝於第一插槽13中，而不會沿第二方向脫出。

進一步地，請參照圖4至圖6，第一檢測頭321沿第二方向的端面設有多個第一凸起322；第二檢測頭331沿第二方向的端面設有多個第二凸起332。

在本實施例中，通過設置第一凸起322可以使第一檢測頭321更加地接觸印刷電路板的焊盤，通過設置第二凸起332可以使第二檢測頭331更加精確穩定地接觸積體電路元件的引腳，從而能有效提高測試穩定性和精確度。優選地，第一凸起322與第二凸起332各為兩個，且可在第一凸起322及第二凸起332的表面鍍金以提高導電性。

進一步地，第一彈性探針3還包括第一折彎部34及第二折彎部35，第一折彎部34固定連接於第一彈性臂32及固定部31之間，第二折彎部35固定連接於第二彈性臂33及固定部31之間。

在本實施例中，通過設置第一折彎部34及第二折彎部35可為第一彈性探針3在受外界作用力時提供一個彈性緩衝，從而避免在測試時由於應力累積而損壞印刷電路板。

進一步地，請參照圖8，支架11還包括垂直于第三方向的支撐板112，固定板111凸設於支撐板112朝向第三方向的一面，固定部31在第三方向上凸出第一折彎部34及第二折彎部35，且固定部31與支撐板112抵接。

在本實施例中，支撐板112與固定板111可以為一體成型，也可以由其他方式固定連接，支撐板112由強度較高的工程塑料製成，例如ABS、PEI、PPS等；固定部31突出於第一折彎部34及第二折彎部35，並與支撐板112抵接，一方面可以限制彈性探針沿第三方向產生較大位移而影響測試準確性，另一方面為第一折彎部34及第二折彎部35提供了活動空間，而不至於在受力時與支撐板112產生摩擦。

進一步地，請參照圖9及圖10，隔板12自第二方向上的底邊緣開設有減料槽口121，隔板12於減料槽口121的兩側分別形成第一引導部122及二引導部123，第一引導部122與第一折彎部34可滑動配合，二引導部123與第一檢測頭321可滑動配合。

在本實施例中，通過開設減料槽口121，不僅節約了工料，並且使隔板12形成第一引導部122及二引導部123，可以在測試時為探針探針的伸縮起到一個導向作用。

進一步地，請參照圖11，第一蓋體2的邊緣處沿周向設有多個卡扣23，卡扣23自蓋體沿背向第二方向延伸形成，第一基座1具有位於第一方向上的兩相對的側壁面，側壁面上開設有與卡扣23適配的卡扣槽14。

在本實施例中，通過卡扣23與卡扣槽14配合能夠將第一蓋體2固定於第一基座1上，優選地，在第一基座1的側壁面還開設有沿第二方向延伸至卡扣槽14的導槽15，可以提高裝配的準確度。

進一步地，請一併參照圖1及圖7，集成晶片測試座10還包括第一連接件4，第一連接件4具有一與第三方向垂直的對稱面41，集成晶片測試座10 還包括第二基座5、第二蓋體6及多個第二彈性探針7，其中，第二基座5與第一基座1、第二蓋體6與第一蓋體2，第二彈性探針7與第一彈性探針3均關於對稱面41對稱；第一連接件4固定連接第一基座1及第二基座5。

通過設置兩個對稱連接的集成晶片測試座10，有效增加彈性探針的數量，使其能適用於測試點位元較多的集成晶片。

進一步地，請參照圖11，集成晶片測試座10還包括第二連接件8，第二連接件8固定連接第一蓋體2及第二蓋體6，通過將第一蓋體2及第二蓋體6設置成一體結構，可簡化裝配工藝，並且不易丟失。

本創作還提出一種集成晶片測試模組，請參照圖14至圖16，在一實施例中，該集成晶片測試模組包括：固定座20，開設有多個沿第二方向貫通的安裝槽201；以及集成晶片測試座10，一一對應容置於安裝槽201中。

該集成晶片測試座10的具體結構參照上述實施例，在此不再一一贅述。

在本實施例中，通過將集成晶片測試座10安裝於固定座20上，構成一個集成晶片測試模組，可以對整盤集成晶片模組進行測試，此外，可以根據測試物件的不同，有針對地對多個集成晶片測試模組進行組合連接，以適應不同的測試需求。

進一步地，集成晶片測試座10還包括第一連接件4，第一連接件4具有一與第三方向垂直的對稱面41，集成晶片測試座10還包括第二基座5、第二蓋體6及多個第二彈性探針7，其中，第二基座5與第一基座1、第二蓋體6與第一蓋體2，第二彈性探針7與第一彈性探針3均關於對稱面41對稱；第一連接件4固定連接第一基座1及第二基座5；第一連接件4朝向第二方向的一面設有定位鍵42，固定座20上設有與定位鍵適配的定位孔202。

在本實施例中，通過定位鍵42及定位孔202的配合，可以使得集成晶片測試座10能快速準確地安裝於固定座20上。

進一步地，集成晶片測試座10還包括第二連接件8，第二連接件8固定連接第一蓋體2及第二蓋體6；第二連接件8沿第一方向的兩側壁設有凸部81，凸部81自第二連接件8沿背向第二方向延伸形成，第一連接件4沿第一方向的兩側壁上開設有與凸部81適配的凹槽43。

在本實施例中，通過設置凸部81及凹槽43，使得蓋體與基座能夠快速準確的定位連接，同時還能限制基座在第一方向上的運動。

進一步地，第一連接件4開有第一安裝孔44，固定座20上開有與第一安裝孔44對應的第二安裝孔203，集成晶片測試模組還包括緊固件(未標示)，緊固件穿入第一安裝孔44及第二安裝孔203固定連接集成晶片測試座10及固定座20。

在本實施例中，緊固件可以為固定銷，也可以是螺釘或螺栓等其他連接方式。此外，在第二連接件8上開設有在第二方向的開槽82，開槽82的形狀可以是方形或是圓形，且開槽82的尺寸較第一安裝孔44要大，可方便集成晶片測試座10與固定座20的安裝固定，並便於查看安裝是否到位。

進一步地，請參照圖17及圖18，為了進一步實現整盤集成晶片模組的測試，上述集成晶片測試模組9可以有多組，沿第三方向平行排列並固定連接。

在本實施例中，各集成晶片測試模組9可以通過黏接、螺釘連接、卡合連接或其他固定連接方式組合在一起。在實際應用中，為了保證連接的可靠性，通常設置有固定框91，並將各集成晶片測試模組9固定於固定框91中。優選地，集成晶片測試模組9的固定座20沿第一方向的兩個側壁的在朝向第二方向的壁面設有凹部，固定框91與該凹部對應設置有凸緣，將各集成晶片測試模組9 的凹部與固定框91的凸緣搭接，並在固定座20及固定框91上開設有裝配孔，通過螺釘或螺栓將固定座20與固定框91連接固定，從而實現集成晶片測試模組9的整盤總裝。通過採用整盤集成晶片模組測試可以大批量減少測試人員，提高測試效率，從而能有效節約製造成本及設備維護成本。

以上之敘述以及說明僅為本創作之較佳實施例之說明，對於此項技術具有通常知識者當可依據以下所界定申請專利範圍以及上述之說明而作其他之修改，惟此些修改仍屬於本創作之創作精神而在本創作之權利範圍中。

Claims (10)

1. 一種集成晶片測試座，包含： 第一基座，包括支架以及多個沿第一方向排列與該支架固定的隔板，該隔板與該第一方向垂直，任意兩該隔板之間圍合形成第一插槽； 第一蓋體，蓋合在該第一基座在第二方向上的頂部，該第一蓋體內部具有在該第二方向上與各該第一插槽相接的容腔，該第一蓋體在該第二方向上的頂面開設有多個沿該第一方向排列的第二插槽，該第二插槽與該容腔連通並與該第一插槽一一對應；以及 多個第一彈性探針，包括固定部、自該固定部沿背向第三方向延伸的第一彈性臂及第二彈性臂，該第一彈性臂的自由端設有第一檢測頭，該第二彈性臂的自由端設有第二檢測頭，該第一彈性臂位於該第一插槽內，該第一檢測頭在背向該第二方向上伸出該第一插槽，用以接觸印刷電路板；該第二彈性臂容置於該容腔，該第二檢測頭在該第二方向上伸出該第二插槽，用以接觸積體電路元件；其中，該第一方向、該第二方向及該第三方向兩兩垂直。
2. 如請求項1所述之集成晶片測試座，其中該支架包括與該第二方向垂直並穿置各該隔板的固定板；該固定部設有開口方向與該第三方向一致的卡槽，該固定部通過該卡槽與該固定板卡接。
3. 如請求項2所述之集成晶片測試座，其中該第一檢測頭沿該第二方向的端面設有多個第一凸起；該第二檢測頭沿該第二方向的端面設有多個第二凸起。
4. 如請求項3所述之集成晶片測試座，其中該第一彈性探針還包括第一折彎部及第二折彎部，該第一折彎部固定連接於該第一彈性臂及該固定部之間，該第二折彎部固定連接於該第二彈性臂及該固定部之間。
5. 如請求項4所述之集成晶片測試座，其中該支架更包括垂直於該第三方向的支撐板，該固定板凸設於該支撐板朝向該第三方向的一面，該固定部在該第三方向上凸出該第一折彎部及該第二折彎部，且該固定部與該支撐板抵接。
6. 如請求項5所述之集成晶片測試座，其中該隔板自該第二方向上的底邊緣開設有減料槽口，該隔板於該減料槽口的兩側分別形成第一引導部及第二引導部，該第一引導部與該第一折彎部可滑動配合，該第二引導部與該第一檢測頭可滑動配合。
7. 如請求項6所述之集成晶片測試座，其中該第一蓋體的邊緣處沿周向設有多個卡扣，該卡扣自該蓋體沿背向該第二方向延伸形成，該第一基座具有位於該第一方向上的兩相對的側壁面，該側壁面上開設有與該卡扣適配的卡扣槽。
8. 如請求項1至7中任一項所述之集成晶片測試座，更包括第一連接件，該第一連接件具有與該第三方向垂直的對稱面，該集成晶片測試座更包括第二基座、第二蓋體及多個第二彈性探針，該第二基座與該第一基座、該第二蓋體與該第一蓋體，該第二彈性探針與該第一彈性探針均關於該對稱面對稱；該第一連接件固定連接該第一基座及該第二基座。
9. 一種集成晶片測試模組，其特徵在於，包含： 固定座，開設有多個沿該第二方向貫通的安裝槽；以及 多個如請求項1至8中任一項所述之集成晶片測試座，一一對應容置於所述安裝槽中。
10. 如請求項9所述之集成晶片測試模組，其中該集成晶片測試座更包括第一連接件，該第一連接件具有與該第三方向垂直的對稱面，該集成晶片測試座更包括第二基座、第二蓋體及多個第二彈性探針，該第二基座與該第一基座、該第二蓋體與該第一蓋體，該第二彈性探針與該第一彈性探針均關於該對稱面對稱；該第一連接件固定連接該第一基座及該第二基座；該第一連接件朝向該第二方向的一面設有定位鍵，該固定座上設有與該定位鍵適配的定位孔。