TWM549654U - 具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良 - Google Patents

具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良 Download PDF

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TWM549654U
TWM549654U TW106206740U TW106206740U TWM549654U TW M549654 U TWM549654 U TW M549654U TW 106206740 U TW106206740 U TW 106206740U TW 106206740 U TW106206740 U TW 106206740U TW M549654 U TWM549654 U TW M549654U
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adsorption
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鄭石治
扶亞民
陳倫慶
呂權訓
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華懋科技股份有限公司
上海華懋環保節能設備有限公司
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具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良
本創作係有關於一種具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,尤指一種能將經過吸脫附結構所處理之濃縮廢氣再透過該廢氣輸出管路來輸送至該濃縮廢氣管路內,而適用於半導體產業、光電產業或化工相關產業之廠房的廢氣處理者。
隨著環保意識抬頭,為了降低對空氣的污染,政府開始對於煙囪的排放訂定較為嚴格的標準,尤其是對半導體相關產業所產生的揮發性有機廢氣強制要求其削減率應大於90%、或總排放量小於0.6kg/hr。
而目前業界在處理其揮發性有機廢氣,大都是以一沸石轉輪來進行吸脫附,並將濃縮揮發性有機汙染物質再經焚化爐燃燒,之後再將經過燃燒的乾淨氣體排放至大氣中。
然目前經過沸石轉輪之吸脫附的氣體所達到的效果大約是95%~97%之間,因為廢氣都要經過沸石轉輪來進行吸附,所以廢氣的流量很大容易造成轉輪的吸附效果降低,而使經過煙囪所排放的氣體之排放標準無法提升。
因此,本創作人有鑑於上述缺失,期能提出一種具有節能減碳之環保效能的具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,令使用者 可輕易操作組裝,乃潛心研思、設計組製,以提供使用者便利性,為本創作人所欲研創之創作動機者。
本創作之主要目的,在於提供一種具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,係包括有一廢氣進氣管路、一沸石轉輪、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一焚化爐、一濃縮廢氣管路及一煙囪之組合設計,其主要在於該淨氣排放管路上係組設有一吸脫附結構,而該吸脫附結構係設有一廢氣輸出管路及一熱源管路,且該熱源管路係連接至該焚化爐,另該廢氣輸出管路係連接至該濃縮廢氣管路,藉此,讓由該淨氣排放管路所輸出之氣體能再經過該吸脫附結構來進行濃縮廢氣之處理,並再將經過吸脫附結構所處理之濃縮廢氣再透過該廢氣輸出管路來輸送至該濃縮廢氣管路內,使得廢氣在經過雙重結構處理下,再經由該濃縮廢氣管路來輸送至該焚化爐內進行燃燒裂解均勻,其處理效率能達到97%甚至99%以上,並具有節能減碳之環保效能,進而增加整體之實用性者。
本創作之另一目的,在於提供一種具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,並藉由該吸脫附結構內係設有一轉輪,該轉輪係為轉塔式、水平式或筒狀式等其中任一種,而該轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區,且該淨氣排放管路係連接至該轉輪之吸附區,另該脫附區一端係連接該廢氣輸出管路,而該脫附區另一端係連接該熱源管路,使該脫附區能藉由該焚化爐之熱能來進行脫附,並於該熱源管路上係能增設一輔助加熱器來具有提昇該熱源管路內之熱風的效能,讓處理效率能提高,進而增加整體之使用性者。
為達上述目的,本創作為一種具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,係包括有一廢氣進氣管路、一沸石轉輪、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一焚化爐、一濃縮廢氣管路及一煙囪,其中該沸石轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區,而該廢氣進氣管路係連接至該沸石轉輪之吸附區,且該淨氣排放管路係設於該沸石轉輪之吸附區與該煙囪之間,且該冷卻氣進氣管路係連接該沸石轉輪之冷卻區,另該濃縮廢氣管路係設於該沸石轉輪之脫附區與該焚化爐之間,其特徵在於:該淨氣排放管路上係組設有一吸脫附結構,而該吸脫附結構係設有一廢氣輸出管路及一熱源管路,且該熱源管路係連接至該焚化爐,另該廢氣輸出管路係連接至該濃縮廢氣管路者。
為了能夠更進一步瞭解本創作之特徵、特點和技術內容,請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖,惟所附圖式僅提供參考與說明用,非用以限制本創作。
10‧‧‧廢氣進氣管路
20‧‧‧沸石轉輪
21‧‧‧吸附區
22‧‧‧冷卻區
23‧‧‧脫附區
30‧‧‧淨氣排放管路
40‧‧‧冷卻氣進氣管路
50‧‧‧焚化爐
60‧‧‧濃縮廢氣管路
70‧‧‧煙囪
80‧‧‧加熱器
100‧‧‧吸脫附結構
110‧‧‧廢氣輸出管路
120‧‧‧熱源管路
121‧‧‧輔助加熱器
130‧‧‧轉輪
1301‧‧‧吸附區
1302‧‧‧冷卻區
1303‧‧‧脫附區
140‧‧‧分岐管路
200‧‧‧吸脫附結構
210‧‧‧廢氣輸出管路
220‧‧‧熱源管路
221‧‧‧輔助加熱器
230‧‧‧分岐管路
2000‧‧‧吸附材桶
2011‧‧‧進氣管路
2012‧‧‧廢氣出氣管路
2013‧‧‧乾淨氣體管路
2021‧‧‧進氣管路
2022‧‧‧脫附氣體管路
2100‧‧‧吸附材
300‧‧‧吸脫附結構
310‧‧‧廢氣輸出管路
320‧‧‧熱源管路
321‧‧‧輔助加熱器
330‧‧‧分岐管路
3000‧‧‧吸附材桶
3011‧‧‧進氣管路
3012‧‧‧廢氣出氣管路
3013‧‧‧乾淨氣體管路
3021‧‧‧進氣管路
3022‧‧‧脫附氣體管路
3031‧‧‧進氣管路
3032‧‧‧冷卻氣體管路
3100‧‧‧吸附材
第1圖係為本創作主要系統之結構示意圖。
第2圖係為本創作主要系統之吸脫附結構為轉輪的結構示意圖。
第3圖係為本創作主要系統之吸脫附結構具有兩個吸附材桶的結構示意圖。
第4圖係為本創作主要系統之吸脫附結構具有複數個吸附材桶的結構示意圖。
第5圖係為本創作主要系統之吸脫附結構具有複數個吸附材桶的另一結構示意圖。
請參閱第1圖至第5圖,係為本創作實施例之示意圖,而本創作之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化工相關產業之廠房的廢氣處理,使得廢氣在經過雙重結構處理下,其處理效率能達到97%甚至99%以上,並具有節能減碳之環保效能者,使具有其實用性。
而本創作之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良的主要系統是包括有一廢氣進氣管路10、一沸石轉輪20、一淨氣排放管路30、一冷卻氣進氣管路40、一焚化爐50、一濃縮廢氣管路60及一煙囪70(如第1圖及第2圖所示),其中該沸石轉輪20亦可為使用其他吸附材質的濃縮轉輪,而該沸石轉輪20係設有吸附區21、冷卻區22及脫附區23,以能進行廢氣之吸附及將廢氣脫附成濃縮廢氣,另該焚化爐50可以是蓄熱式焚化爐(RTO)或是直燃爐(TO)等其中任一種。
而該廢氣進氣管路10係連接該沸石轉輪20之吸附區21,以使該沸石轉輪20之吸附區21能吸附該廢氣進氣管路10內的廢氣,而該沸石轉輪20之吸附區21的另一端則連有淨氣排放管路30,該淨氣排放管路30係再連接至該煙囪70,以將經過該沸石轉輪20之吸附區21所吸附過之低於標準值的氣體(該氣體因濃度降低而達到排放標準)能經由該淨氣排放管路30來輸送至該煙囪70進行排放,其中該廢氣進氣管路10連接至該沸石轉輪20之吸附區21之間係可以透過一風機 (圖未示),以將該廢氣進氣管路10中之廢氣來抽送至該沸石轉輪20之吸附區21中,而該沸石轉輪20之吸附區21與該煙囪70之間的淨氣排放管路30亦可以設有一風機(圖未示),在透過該抽風機來將該淨氣排放管路30內的氣體抽送至煙囪70進行排放。
另該冷卻氣進氣管路40係連接該沸石轉輪20之冷卻區22,而該冷卻氣進氣管路40內係輸送著新鮮空氣,透過該新鮮空氣來提供該沸石轉輪20之冷卻區22降溫用,且該冷卻氣進氣管路40係再連接至一加熱器80,使該冷卻氣進氣管路40內的新鮮空氣經過該沸石轉輪20之冷卻區22後能輸送至加熱器80中進行加熱,而該加熱器80再連接至該沸石轉輪20之脫附區23的一端,以能將該加熱器80所燃燒的熱氣來當該沸石轉輪20之脫附區23的熱源,使該沸石轉輪20之脫附區23內的廢氣經過該熱氣後能脫附成濃縮廢氣,且該沸石轉輪20之脫附區23的另一端係再透過該濃縮廢氣管路60來連接至焚化爐50中,以將經過該沸石轉輪20之脫附區23的所脫附之濃縮廢氣能經由該濃縮廢氣管路60來輸送至焚化爐50中來進行燃燒裂解均勻。
而本創作之主要結構在於該淨氣排放管路30上係組設有一吸脫附結構100,而該吸脫附結構100係設有一廢氣輸出管路110及一熱源管路120,且該熱源管路120係連接至該焚化爐50,另該廢氣輸出管路110係連接至該濃縮廢氣管路60(如第1圖及第2圖所示),藉此,以讓該淨氣排放管路30所輸出之氣體能再經過設於該淨氣排放管路30上的吸脫附結構100來進行廢氣之吸附處理及脫附處理,並將經過該吸脫附結構100所處理之濃縮廢氣能再透過該廢氣輸出 管路110來輸送至該濃縮廢氣管路60,另將乾淨氣體再透過淨氣排放管路30輸送至煙囪70排放,使得廢氣在經過雙重結構處理下,再經由該濃縮廢氣管路60來輸送至該焚化爐50內進行燃燒裂解均勻,其處理效率能達到97%甚至99%以上,並且具有節能減碳之環保效能。
而上述之吸脫附結構100係設有一轉輪130,該轉輪130係為轉塔式(圖未示)、水平式或筒狀式等其中任一種,其中該轉輪130係設有吸附區1301、冷卻區1302及脫附區1303(如第2圖所示),且該淨氣排放管路30係連接至該轉輪130之吸附區1301,另該轉輪130之脫附區1303一端係連接該廢氣輸出管路110,而該脫附區1303另一端係連接該熱源管路120,使該轉輪130之脫附區1303能藉由該熱源管路120所連接的焚化爐50之熱能來進行脫附。另該熱源管路120上係設有一輔助加熱器121,當該焚化爐50所傳遞之熱風不足以供該轉輪130之脫附區1303進行脫附時,可透過該輔助加熱器121來提升提昇該熱源管路120內之熱風,使能達到提供該轉輪130之脫附區1303進行脫附之溫度。其中該轉輪130內係設有吸附材(圖未示),而該吸附材係為活性碳、沸石、矽膠、活性氧化鋁、分子篩、氧化錳、氫氧化鈣、石墨烯或中空纖維等其中任一種者。
而上述之熱源管路120除了用來連接該焚化爐50與該吸脫附結構100外,該熱源管路120係設有一分岐管路140,以用來連接至該煙囪70處,當該焚化爐50所傳遞之熱風的風力太大時,可 藉由該分岐管路140來將部份之熱風的風力輸送至該煙囪70來進行排放。
而本創作之另一實施態樣與主要實施系統的設計相同也是設有一廢氣進氣管路10、一沸石轉輪20、一淨氣排放管路30、一冷卻氣進氣管路40、一焚化爐50、一濃縮廢氣管路60及一煙囪70等主要設施(參主要實施系統之內容),其主要是在於該淨氣排放管路30上係組設有一吸脫附結構200(如第3圖所示),而該吸脫附結構200係設有一廢氣輸出管路210及一熱源管路220,且該熱源管路220係連接至該焚化爐50,另該廢氣輸出管路210係連接至該濃縮廢氣管路60。
而該淨氣排放管路30上所設之吸脫附結構200內係設有二吸附材桶2000,而該二吸附材桶2000係分別作為吸附用及脫附用(例如每間隔一小時切換,以將原本吸附用的吸附材桶2000切換成脫附用的吸附材桶2000,而原本脫附用的吸附材桶2000則切換為吸附用的吸附材桶2000),且該吸附材桶2000係設計為中空長圓柱體形、中空長方體形或中空球體形等形體,另當該吸附材桶2000設為吸附用時係設有進氣管路2011、廢氣出氣管路2012及乾淨氣體管路2013,而當該吸附材桶2000設為脫附用時係設為進氣管路2021及脫附氣體管路2022。
再者,該吸脫附結構200之吸附材桶2000內係中空裝設有吸附材2100,而該吸附材2100係為活性碳、沸石、矽膠、活性氧化鋁、分子篩、氧化錳、氫氧化鈣、石墨烯或中空纖維等其中任一種, 並透過該吸脫附結構200內所設用來吸附用之吸附材桶2000來將該淨氣排放管路30所輸出之氣體進行吸附,再將經過用來吸附用之吸附材桶2000所吸附過的氣體能經由該吸附材桶2000為吸附用時之乾淨氣體管路2013來輸送至該淨氣排放管路30內,再輸送至該煙囪70進行排放,另經由用來吸附用之吸附材桶2000所吸附後之高濃縮的廢氣能透過該吸附材桶2000為吸附用時之廢氣出氣管路2012來輸送至該吸附材桶2000為脫附用時之進氣管路2021,而該吸附材桶2000為脫附用之進氣管路2021係連接該熱源管路220,使該吸附材桶2000為脫附用時能藉由該熱源管路220所連接的焚化爐50之熱能來進行脫附。另該熱源管路220上係設有一輔助加熱器221,當該焚化爐50所傳遞之熱風不足以供該吸附材桶2000為脫附用時,可透過該輔助加熱器221來提升提昇該熱源管路220內之熱風,使能達到提供該吸附材桶2000為脫附用時所需進行脫附之溫度。
而上述之熱源管路220除了用來連接該焚化爐50與該吸脫附結構200外,該熱源管路220係設有一分岐管路230,以用來連接至該煙囪70處,當該焚化爐50所傳遞之熱風的風力太大時,可藉由該分岐管路230來將部份之熱風的風力輸送至該煙囪70來進行排放。
另該經過脫附用之吸附材桶2000所脫附之高濃度的廢氣以該吸附材桶2000為脫附用時之脫附氣體管路2022來輸送至該廢氣輸出管路210,而該廢氣輸出管路210再輸送至該濃縮廢氣管路60,使得廢氣在經過雙重結構處理下,再經由該濃縮廢氣管路60來輸 送至該焚化爐50內進行燃燒裂解均勻,使其處理效率能達到97%甚至99%以上,並具有節能減碳之環保效能。另本實施例之焚化爐50可以是蓄熱式焚化爐(RTO)或是直燃爐(TO)等其中任一種。
而本創作之再一實施態樣與主要實施系統的設計相同也是設有一廢氣進氣管路10、一沸石轉輪20、一淨氣排放管路30、一冷卻氣進氣管路40、一焚化爐50、一濃縮廢氣管路60及一煙囪70等主要設施(參主要實施系統之內容),其主要是在於該淨氣排放管路30上係組設有一吸脫附結構300(如第4圖所示),而該吸脫附結構300係設有一廢氣輸出管路310及一熱源管路320,且該熱源管路320係連接至該焚化爐50,另該廢氣輸出管路310係連接至該濃縮廢氣管路60。
而該淨氣排放管路30上所設之吸脫附結構300內設有複數個吸附材桶3000,而該複數個吸附材桶3000係分別作為吸附用、脫附用及冷卻用(例如每間隔一小時將3種作用的吸附材桶3000進行切換,以將原本吸附用的吸附材桶300切換成脫附用的吸附材桶3000,而原本脫附用的吸附材桶3000則切換為吸附用的吸附材桶3000,或是將其中吸附用的吸附材桶3000切換成冷卻用的吸附材桶3000),且該吸附材桶3000係設為中空長圓柱體形、中空長方體形或中空球體形等形體,而當該吸附材桶3000設為吸附用時係設有進氣管路3011、廢氣出氣管路3012及乾淨氣體管路3013,且當該吸附材桶3000設為脫附用時係設有進氣管路3021及脫附氣體管路30 22,另當該吸附材桶3000設為冷卻用時係設有進氣管路3031及冷卻氣體管路3032。
因此,當該吸附材桶3000為吸附用時之進氣管路3011係與該淨氣排放管路30相連接,而該吸附材桶3000為吸附用時之廢氣出氣管路3012係與該吸附材桶3000為脫附用時之進氣管路3021連接,另該吸附材桶3000為吸附用時之乾淨氣體管路3013係與該淨氣排放管路30相連接,而該吸附材桶3000為脫附用時之脫附氣體管路3022係與該廢氣輸出管路310相連接,另該吸附材桶3000為冷卻用時之進氣管路3031係供連接外氣(或是淨氣排放管路30),以將該做為冷卻用之吸附材桶3000進行冷卻,再透過該吸附材桶3000為冷卻用時之冷卻氣體管路3032來連接至該乾淨氣體管路3013。
再者,該吸脫附結構300之吸附材桶3000內係中空裝設有吸附材3100,而該吸附材3100係為活性碳、沸石、矽膠、活性氧化鋁、分子篩、氧化錳、氫氧化鈣石墨烯或中空纖維等其中任一種,並透過該吸脫附結構300內所設用來吸附用之吸附材桶3000來將該淨氣排放管路30所輸出之氣體進行吸附,再將經過用來吸附用之吸附材桶3000所吸附過的氣體能經由該吸附材桶3000為吸附用時之乾淨氣體管路3013來輸送至該淨氣排放管路30內,再輸送至該煙囪70進行排放。
另經由用來吸附用之吸附材桶3000所吸附後之高濃縮的廢氣能透過該吸附材桶3000為吸附用時之廢氣出氣管路3012來 輸送至該吸附材桶3000為脫附用時之進氣管路3021,而該吸附材桶3000為脫附用之進氣管路3021係連接該熱源管路320,使該吸附材桶3000為脫附用時能藉由該熱源管路320所連接的焚化爐50之熱能來進行脫附。另該熱源管路320上係設有一輔助加熱器321,當該焚化爐50所傳遞之熱風不足以供該吸附材桶3000為脫附用時,可透過該輔助加熱器321來提升提昇該熱源管路320內之熱風,使能達到提供該吸附材桶3000為脫附用時所需進行脫附之溫度。
而上述之熱源管路320除了用來連接該焚化爐50與該吸脫附結構300外,該熱源管路320係設有一分岐管路330,以用來連接至該煙囪70處,當該焚化爐50所傳遞之熱風的風力太大時,可藉由該分岐管路330來將部份之熱風的風力輸送至該煙囪70來進行排放。
另該吸附材桶3000為冷卻用時之進氣管路3031係供連接外氣(如第5圖所示),或是連接該乾淨氣體管路3013(如第4圖所示),以將該做為冷卻用之吸附材桶3000進行冷卻,再透過該吸附材桶3000為冷卻用時之冷卻氣體管路3032來連接至該乾淨氣體管路3013,以將該吸附材桶3000為冷卻用時之冷卻氣體管路3032內的氣體排出。另該經過脫附用之吸附材桶3000所脫附之高濃度的廢氣以該吸附材桶3000為脫附用時之脫附氣體管路3022來輸送至該廢氣輸出管路310,而該廢氣輸出管路310再輸送至該濃縮廢氣管路60,使得廢氣在經過雙重結構處理下,再經由該濃縮廢氣管路60來輸送至該焚化爐50內進行燃燒裂解均勻,使其處理效率能達到97%甚 至99%以上,並具有節能減碳之環保效能。另本實施例之焚化爐可以是蓄熱式焚化爐(RTO)或是直燃爐(TO)等其中任一種。
藉由以上詳細說明,可使熟知本項技藝者明瞭本創作的確可達成前述目的,實已符合專利法之規定,爰提出專利申請。
惟以上所述者,僅為本創作之較佳實施例而已,當不能以此限定本創作實施之範圍;故,凡依本創作申請專利範圍及創作說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆應仍屬本創作專利涵蓋之範圍內。
10‧‧‧廢氣進氣管路
20‧‧‧沸石轉輪
21‧‧‧吸附區
22‧‧‧冷卻區
23‧‧‧脫附區
30‧‧‧淨氣排放管路
40‧‧‧冷卻氣進氣管路
50‧‧‧焚化爐
60‧‧‧濃縮廢氣管路
70‧‧‧煙囪
80‧‧‧加熱器
100‧‧‧吸脫附結構
110‧‧‧廢氣輸出管路
120‧‧‧熱源管路

Claims (9)

  1. 一種具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,係包括有一廢氣進氣管路、一沸石轉輪、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一焚化爐、一濃縮廢氣管路及一煙囪,其中該沸石轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區,而該廢氣進氣管路係連接至該沸石轉輪之吸附區,且該淨氣排放管路係設於該沸石轉輪之吸附區與該煙囪之間,且該冷卻氣進氣管路係連接該沸石轉輪之冷卻區,另該濃縮廢氣管路係設於該沸石轉輪之脫附區與該焚化爐之間,其特徵在於:該淨氣排放管路上係組設有一吸脫附結構,而該吸脫附結構係設有一廢氣輸出管路及一熱源管路,且該廢氣輸出管路係連接至該濃縮廢氣管路,另該熱源管路係連接至該焚化爐者。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該焚化爐係進一步為蓄熱式焚化爐(RTO)或是直燃爐(TO)等其中任一種,而該熱源管路上係進一步設有一輔助加熱器者。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該吸脫附結構內係進一步設有一轉輪,該轉輪係為轉塔式、水平式或筒狀式等其中任一種,而該轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區,且該淨氣排放管路係連接至該轉輪之吸附區,另該脫附區一端係連接該廢氣輸出管路,而該脫附區另一端係連接該熱源管路者。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該轉輪內係進一步設有吸附材,而該吸附材係進一步為活 性碳、沸石、矽膠、活性氧化鋁、分子篩、氧化錳、氫氧化鈣、石墨烯或中空纖維等其中任一種者。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該吸脫附結構內係進一步設有二吸附材桶,而該二吸附材桶係分別作為吸附用及脫附用,且當該吸附材桶設為吸附用時係設有進氣管路、廢氣出氣管路及乾淨氣體管路,另當該吸附材桶設為脫附用時係設有進氣管路及脫附氣體管路者。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該吸脫附結構之吸附材桶內係進一步設有吸附材,而該吸附材係進一步為活性碳、沸石、矽膠、活性氧化鋁、分子篩、氧化錳、氫氧化鈣、石墨烯或中空纖維等其中任一種者。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該吸脫附結構內係進一步設有複數個吸附材桶,而該複數個吸附材桶係分別作為吸附用、脫附用及冷卻用,當該吸附材桶設為吸附用時係設有進氣管路、廢氣出氣管路及乾淨氣體管路,且當該吸附材桶設為脫附用時係設有進氣管路及脫附氣體管路,另當該吸附材桶設為冷卻用時係設有進氣管路及冷卻氣體管路者。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該吸脫附結構之吸附材桶內係進一步各設有吸附材,而該吸附材係進一步為活性碳、沸石、矽膠、活性氧化鋁、分子篩、氫氧化鈣、石墨烯或中空纖維等其中任一種者。
  9. 如申請專利範圍第5或7項所述之具雙處理結構之揮發性有機廢氣處理系統改良,其中該吸附材桶係進一步設為中空長圓柱體形、中空長方體形或中空球體形者。
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