CN207056264U - 挥发性有机废气处理系统 - Google Patents

Abstract

一种挥发性有机废气处理系统，包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一新鲜空气进气管路、一燃烧炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其废气进气管路与净气排放管路之间还设有一旁通管路，且该旁通管路上设有至少一个吸脱附结构，因此，能让废气流量降低，使沸石转轮的吸附效果提高，以提升处理效率，达到节能减碳的环保效果。

Description

挥发性有机废气处理系统

技术领域

本实用新型涉及一种挥发性有机废气处理系统，尤其涉及一种能让废气流量降低，使沸石转轮的吸附效果提高，适用于半导体产业、光电产业或化工相关产业的厂房的废气处理系统。

背景技术

随着环保意识的提高，为了降低对空气的污染，政府开始对烟囱的排放制定较为严格的标准，尤其是对半导体相关产业所产生的挥发性有机废气，强制要求其处理率应大于90％、或总排放量小于0.6kg/hr。

而目前业界在处理挥发性有机废气时，大都是将有机废气先经过废气管路进入沸石转轮中进行吸附，以浓缩挥发性有机污染物质形式再经燃烧炉燃烧，之后再将经过燃烧的干净气体排放至大气中。

然而目前这样的做法，因为废气都要经过转轮来进行吸附，所以废气的流量很大，容易造成转轮的吸附效果降低，而使经过烟囱所排放的气体的排放标准无法提升。

因此，本实用新型有鉴于上述缺陷，希望提出一种具有节能减碳环保效果的挥发性有机废气处理系统，令使用者可轻易操作组装，为使用者提供便利性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种挥发性有机废气处理系统，该系统包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一新鲜空气进气管路、一燃烧炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其中，该废气进气管路与该净气排放管路之间设有一旁通管路，且该旁通管路上设有至少一个吸脱附结构，因此，能让废气流量降低，使沸石转轮的吸附效果提高，以提高处理效率，从而达到节能减碳的环保效果，进而增加整体的实用性。

本实用新型的另一目的，在于提供一种挥发性有机废气处理系统，并通过在吸脱附结构内设置吸附材料，该吸附材料包括活性碳(Active carbon)、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯等材料的任一种，以能进行废气吸附及脱附等动作，使经过吸附及脱附后的废气浓度提高及增加，且该旁通管路的吸脱附结构设有一浓缩气体管路，而该浓缩气体管路连接至浓缩废气管路，以将经由该吸附材料所吸附及脱附后的废气能输送至该燃烧炉之前的浓缩废气管路内，让燃烧炉能进行废气的燃烧氧化，使处理效率提高，提高燃烧炉的使用效果，进而增加整体的使用性。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种挥发性有机废气处理系统，该废气处理系统系包括一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一新鲜空气进气管路、一燃烧炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其中沸石转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，废气进气管路连接至沸石转轮的吸附区，净气排放管路位于沸石转轮的吸附区与烟囱之间，新鲜空气进气管路连接沸石转轮的冷却区，浓缩废气管路位于沸石转轮的脱附区与燃烧炉之间，且废气进气管路与该净气排放管路之间设有一旁通管路，该旁通管路上设有至少一个吸脱附结构。

附图说明

图1是本实用新型的主要系统及第一实施例的结构示意图；

图2是本实用新型的主要系统及第二实施例的结构示意图；

图3是本实用新型的主要系统及第三实施例的结构示意图。

【附图标记说明】

10-废气进气管路； 20-沸石转轮；

21-吸附区； 22-冷却区；

23-脱附区； 30-新鲜空气进气管路；

40-新鲜空气进气管路； 50-燃烧炉；

60-浓缩废气管路； 70-烟囱：

80-加热器； 100-旁通管路；

110-吸脱附结构； 120-吸附材料；

130-浓缩气体管路。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。

请参阅图1至图3，是本实用新型一实施例的示意图，而本实用新型的挥发性有机废气处理系统的最佳实施方式是运用于半导体产业、光电产业或化工相关产业的厂房的废气处理，让废气流量降低，使沸石转轮及整体实施例的吸附效果提高，以提升处理效率，从而达到节能减碳的环保效果，使其具有实用性。

而本实用新型的挥发性有机废气处理系统的主要系统包括一废气进气管路10、一沸石转轮20、一净气排放管路30、一新鲜空气进气管路40、一燃烧炉50、一浓缩废气管路60及一烟囱70(如图1、图2及图3所示)，其中该沸石转轮20也可为使用其他吸附材质的浓缩转轮，沸石转轮20设有吸附区21、冷却区22及脱附区23，以能进行废气的吸附及将废气脱附成浓缩废气。

废气进气管路10连接沸石转轮20的吸附区21，以使沸石转轮20的吸附区21能吸附废气进气管路10内的废气，而沸石转轮20的吸附区21的另一端则连有净气排放管路30，该净气排放管路30再连接至烟囱70，以将经过沸石转轮20的吸附区21所吸附过的低于标准值的气体(该气体因浓度降低而达到排放标准)能经由净气排放管路30来输送至烟囱70进行排放，其中废气进气管路10连接至沸石转轮20的吸附区21的间系可以设置一风机(图中未示出)，以将废气进气管路10中的废气抽送至沸石转轮20的吸附区21，而沸石转轮20的吸附区21与烟囱70之间的净气排放管路30也可以设有一风机(图中未示出)，通过该抽风机将净气排放管路30内的气体抽送至烟囱70进行排放。

再者，新鲜空气进气管路40连接沸石转轮20的冷却区22，而新鲜空气进气管路40内输送着新鲜空气，通过该新鲜空气来降低沸石转轮20的冷却区22的温度，且新鲜空气进气管路40再连接至一加热器80，使新鲜空气进气管路40内的新鲜空气经过沸石转轮20的冷却区22后能输送至加热器80中进行加热，而加热器80再连接至沸石转轮20的脱附区23的一端，以将加热器80所燃烧的热气作为沸石转轮20的脱附区23的热源，使沸石转轮20的脱附区23内的废气经过热气后脱附成浓缩废气，且沸石转轮20的脱附区23的另一端再通过浓缩废气管路60连接至燃烧炉50中，以将经过沸石转轮20的脱附区23脱附的浓缩废气经由浓缩废气管路60输送至燃烧炉50中进行燃烧裂解均匀。

而本实用新型的第一实施例是在废气进气管路10与净气排放管路30之间设有一旁通管路100，通过该旁通管路100能使废气进气管路10内的废气一分为二，且使废气进气管路10所连接的沸石转轮20的吸附区21的废气流量变小，以提高该沸石转轮20的吸附区21的吸附效果，达到95％以上的吸附效率(假设该沸石转轮20在本实施例不分流的情况下能到95％的效率)。且旁通管路100上设有至少一个吸脱附结构110，其中吸脱附结构110内设有吸附材料120(如图1所示)，吸附材料120为活性碳、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯等中的任一种，通过吸脱附结构110将进入旁通管路100内的废气进行吸附，再将经过吸脱附结构110吸附过的气体(该气体因浓度降低而达到99％以上的效率，因此，通过一定比例的旁通分流，使总处理效率得以提升到96％以上，甚至97％以上)能经由净气排放管路30输送至烟囱70进行排放。

再者，旁通管路100的吸脱附结构110设有一浓缩气体管路130，而浓缩气体管路130连接至浓缩废气管路60，以将经由吸脱附结构110吸附后被脱附的高浓缩废气输送至燃烧炉50前的风机及浓缩废气管路60内，再输送进燃烧炉50内，让燃烧炉50进行高浓缩的废气燃烧作业，从而使处理效率提高，同时增加浓度节能功效，另外本实施例的燃烧炉50可以是蓄热式燃烧炉(RTO)或是直燃炉(TO)。

而本实用新型的第二实施例与主要实施系统的设计相同，也是设有一废气进气管路10、一沸石转轮20、一净气排放管路30、一新鲜空气进气管路40、一燃烧炉50、一浓缩废气管路60及一烟囱70等主要设施(参见主要实施系统的内容)，其关键点在于废气进气管路10与净气排放管路30之间设有一旁通管路200，通过该旁通管路200能使废气进气管路10内的废气一分为二，且使废气进气管路10所连接的沸石转轮20的吸附区21的废气流量变小，以提高沸石转轮20的吸附区21的吸附效果，达到95％以上的吸附效率(假设该沸石转轮20在本实施例不分流的状况下能到95％效率)。

再者，该旁通管路20上设有至少一个吸脱附结构210，旁通管路200的吸脱附结构210设有一浓缩气体管路230，浓缩气体管路230连接至浓缩废气管路60，其中吸脱附结构210内设有两个吸附桶2100，而该两个吸附桶2100是分别作为吸附用及脱附用的(例如每间隔一小时切换，以将原本吸附用的吸附桶2100切换成脱附用的吸附桶2100，而原本脱附用的吸附桶2100则切换为吸附用的吸附桶2100)，该吸附桶2100设计为中空长圆柱体、中空长方体或中空球体等结构，且当该吸附桶2100设为吸附用时设有进气管路2111、废气出气管路2112及干净气体管路2113；而当该吸附桶2100作为脱附用时设有进气管路2121及脱附气体管路2122。

再者，该吸脱附结构210的吸附桶2100内中空部分装有吸附材料220，该吸附材料220为活性碳、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯等中的任一种，并通过该吸脱附结构210内用来吸附用的吸附桶2100，来对进入旁通管路200内的废气进行吸附，再将经吸附桶2100所吸附过的气体(该气体因浓度降低而达到99％以上的效率，因此，通过一定比例的旁通分流，使总处理效率得以提升到96％以上，甚至97％以上)经由吸附桶2100吸附用时的干净气体管路2113输送至净气排放管路30内，再输送至烟囱70进行排放，另经由吸附用的吸附桶2100所吸附后的高浓缩的废气，能通过该吸附桶2100吸附用时的废气出气管路2112输送至吸附桶2100，最终输送至脱附用的进气管路2121，且该吸附桶2100中吸附用时的废气出气管路2112与该吸附材桶2100中脱附用时的进气管路2121之间设有一加热器240，该高浓缩的废气经过该加热器240加热后，进入用来脱附用的吸附桶2100内进行脱附，再将经过脱附用的吸附桶2100所脱附的高浓度的废气通过吸附桶2100中脱附用时的脱附气体管路2122输送至浓缩气体管路230，该浓缩气体管路230再将废气输送至燃烧炉50前的浓缩废气管路60内，再通过该浓缩废气管路60来输送进燃烧炉50内，让燃烧炉50能进行高浓缩废气的燃烧作业，以将高浓缩的废气燃烧裂解均匀。另本实施例的燃烧炉50可以是蓄热式燃烧炉(RTO)或是直燃炉(TO)。

而本实用新型的第三实施例与主要实施系统的设计相同，也是设有一废气进气管路10、一沸石转轮20、一净气排放管路30、一新鲜空气进气管路40、一燃烧炉50、一浓缩废气管路60及一烟囱70等主要设施(参见主要实施系统的内容)，区别在于该废气进气管路10与净气排放管路30之间设有一旁通管路300，通过该旁通管路300能使废气进气管路10内的废气一分为二，且使废气进气管路10所连接的沸石转轮20的吸附区21的废气流量变小，以使沸石转轮20的吸附区21的吸附效率能提高至95％以上(假设该沸石转轮20在本实施例不分流的状况下能到95％的效率)。

另该旁通管路300上设有至少一个吸脱附结构310，该旁通管路300的吸脱附结构310设有一浓缩气体管路330，该浓缩气体管路330连接至浓缩废气管路60，其中吸脱附结构310内设有复数个吸附桶3100，且该复数个吸附桶3100分别作为吸附用、脱附用及冷却用(例如每间隔一小时将3种作用的吸附桶3100进行切换，以将原本吸附用的吸附桶3100切换成脱附用的吸附桶3100，而原本脱附用的吸附桶3100则切换为吸附用的吸附桶3100，或是将其中吸附用的吸附桶3100切换成冷却用的吸附桶3100)，该吸附桶3100为中空长圆柱体、中空长方体或中空球体等结构，且当该吸附桶3100为吸附用时设有进气管路3111、废气出气管路3112及干净气体管路3113；当该吸附桶3100为脱附用时设有进气管路3121及脱附气体管路3122；另当该吸附桶3100为冷却用时设有进气管路3131及冷却气体管路3132。因此，当该吸附桶3100为吸附用时，进气管路3111与废气进气管路10相连接，而该吸附桶3100为吸附用时，废气出气管路3112与该吸附材桶3100为脱附用时的进气管路3121连接，且该吸附桶3100为吸附用时，废气出气管路3112与该吸附桶3100脱附用时的进气管路3121之间设有一加热器340，且该吸附桶3100为吸附用时，干净气体管路3113与净气排放管路30相连接，而该吸附材桶3100为脱附用时，脱附气体管路3122与浓缩气体管路330相连接，另该吸附材桶3100为冷却用时，进气管路3131连接外气(或是废气进气管路10)，以将该作为冷却用的吸附桶3100进行冷却，且该吸附桶3100为冷却用时，冷却气体管3132连接至废气出气管路3112。

再者，该吸脱附结构310的吸附桶3100内的中空部分设有吸附材料320，该吸附材料320为活性碳、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯等中的任一种，并通过该吸脱附结构310内用来吸附用的吸附桶3100来将该进入旁通管路300内的废气进行吸附，再将经过用来吸附用的吸附材桶3100所吸附过的气体(该气体因浓度降低而达到99％以上的效率，因此，通过一定比例的旁通分流，使总处理效率得以提升到96％以上，甚至97％以上)能经由吸附桶3100吸附用时的干净气体管路3113输送至净气排放管路30内，再输送至烟囱70进行排放，另用来吸附用的吸附桶3100所吸附后的高浓缩的废气能通过该吸附桶3100吸附用时的废气出气管路3112来输送至吸附桶3100脱附用时的进气管路3121，而该高浓缩的废气经过加热器340加热后，进入用来脱附用的吸附桶3100内进行脱附，再将经过脱附用的吸附桶3100所脱附的高浓度的废气，通过该吸附桶3100脱附用时的脱附气体管路3122来输送至浓缩气体管路330，该浓缩气体管路330再将废气输送至燃烧炉50前的浓缩废气管路60内，再通过浓缩废气管路60来输送进燃烧炉50内，让该燃烧炉50能进行高浓缩的废气的燃烧作业，以将高浓缩的废气燃烧裂解均匀，另该吸附桶3100冷却用时的进气管路3131供连接外气(或是旁通管路300)，以将该做为冷却用的吸附桶3100进行冷却，再通过该吸附桶3100冷却用时的冷却气体管路3132连接至废气出气管路3112，以将该吸附桶3100冷却用时的冷却气体管路3132内的气体排出。另本实施例的燃烧炉50可以是蓄热式燃烧炉(RTO)或是直燃炉(TO)。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种挥发性有机废气处理系统，该废气处理系统包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一新鲜空气进气管路、一燃烧炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其中所述沸石转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，所述废气进气管路连接至所述沸石转轮的吸附区，所述净气排放管路位于所述沸石转轮的吸附区与所述烟囱之间，所述新鲜空气进气管路连接所述沸石转轮的冷却区，且所述浓缩废气管路位于所述沸石转轮的脱附区与所述燃烧炉之间，其特征在于，所述废气进气管路与所述净气排放管路之间设有一旁通管路，且所述旁通管路上设有至少一个吸脱附结构。

2.如权利要求1所述的挥发性有机废气处理系统，其中，所述旁通管路的吸脱附结构进一步设有一浓缩气体管路，且所述浓缩气体管路连接至所述浓缩废气管路。

3.如权利要求1所述的挥发性有机废气处理系统，其中，所述吸脱附结构内进一步设有吸附材料，且所述吸附材料进一步包括活性碳、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯中的任一种。

4.如权利要求1所述的挥发性有机废气处理系统，其中，所述旁通管路的吸脱附结构内进一步设有两个吸附桶，所述两个吸附桶分别用于吸附及脱附，且当所述吸附桶用于吸附时设有进气管路、废气出气管路及干净气体管路；而当所述吸附桶用于脱附时设有进气管路及脱附气体管路。

5.如权利要求4所述的挥发性有机废气处理系统，其中，所述吸脱附结构的吸附桶内进一步设有吸附材料，且所述吸附材料进一步包括活性碳、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯中的任一种。

6.如权利要求1所述的挥发性有机废气处理系统，其中，所述旁通管路的吸脱附结构内进一步设有复数个吸附桶，当所述吸附桶用于吸附时设有进气管路、废气出气管路及干净气体管路；当所述吸附桶用于脱附时设有进气管路及脱附气体管路；另当所述吸附桶用于冷却时设有进气管路及冷却气体管路。

7.如权利要求6所述的挥发性有机废气处理系统，其中，所述吸脱附结构的吸附桶、脱附桶及冷却桶内进一步各设有吸附材料，且所述吸附材料进一步包括活性碳、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯中的任一种。

8.如权利要求4或6所述的挥发性有机废气处理系统，其中，所述吸附桶进一步为中空长圆柱体、中空长方体或中空球体。