TWM509417U - 晶圓轉換裝置 - Google Patents

Description

晶圓轉換裝置

本新型是有關於一種轉換裝置，特別是指一種用以將一承載架內的晶圓轉移傳送至另一個承載架內的晶圓轉換裝置。

在半導體製程中，晶圓需通過多種機台的加工製程，透過承載裝置承載晶圓在不同的製程機台之間移動，以確保晶圓在移動過程中不會損壞。為了配合不同製程所需的機台及製程環境，晶圓需存放在不同構型的承載裝置，而當晶圓要在不同承載裝置間轉換時，會使用晶圓轉換裝置來協助晶圓在兩不同承載裝置間安全地互換位置。晶圓轉換裝置的使用概念是操作人員先將要轉出晶圓的承載裝置及要接收晶圓的承載裝置依照順序放置在晶圓轉換裝置上的指定位置，確認兩承載裝置放置的位置正確後，再利用晶圓轉換裝置的推移機構，將要轉出晶圓的承載裝置中的晶圓轉移至要接收晶圓的承載裝置內，確認轉移動作完成後，操作人員再依序將兩承載裝置取出。

然而，習知的晶圓轉換裝置只能容許兩承載容 量相同的承載裝置彼此間做交換晶圓的動作，如何容許兩承載容量不同的承載裝置彼此間交換晶圓，將可提升整體製程的效率，是一值得研究的主題。

因此，本新型的目的，即在提供一種可在兩晶圓數量不同的承載架間做晶圓交換的晶圓轉換裝置。

於是，本新型晶圓轉換裝置，可供一第一承載架及一第二承載架放置，該第一承載架形成有複數個上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有複數個上下相間隔排列的第二容置槽，該等第一容置槽的數量與該等第二容置槽的數量不同，該晶圓轉換裝置包含：一第一定位架，設置於該基座，該第一定位架包括一前端，及一相反於該前端的後端；一第二定位架，設置於該基座且位於該第一定位架的該後端，該第二定位架用以承載並定位該第二承載架；一高度調整機構，設置於該第一定位架，該高度調整機構用以承載該第一承載架並可將該第一承載架由一第一高度位置調整至一高度高於該第一高度位置的第二高度位置，當該第一承載架在該第一高度位置時，該等第一容置槽與該等第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的一部分容置槽位置相互對齊，當該第一承載架在該第二高度位置時，該等第一容置槽與該等第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的另一部分容置槽位置相互對齊；及一頂推機構，可滑動地設置於該基座且位於該第一定位架的該前端 ，該頂推機構可沿一由前朝後的頂推方向移動，用以將與該等第二容置槽位置相互對齊的該等第一容置槽中的該等晶圓由該等第一容置槽頂推至該等第二容置槽內。

在一些實施態樣中，該高度調整機構包括一第一承載板，及一第二承載板，該第一承載板的高度小於該第二承載板的高度，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地設置於該第一定位架，該第一承載板可承載該第一承載架使其位在該第一高度位置，該第二承載板可承載該第一承載架使其位在該第二高度位置。

在一些實施態樣中，該第一定位架包括一定位板、二凸設於該定位板表面且左右相間隔的限位板，及一由該等限位板及該定位板界定出的定位槽，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地卡置於該定位槽內。

在一些實施態樣中，該第二定位架包括一設置於該基座的承載座，及一安裝治具，該承載座的表面凹陷形成一放置槽，該安裝治具卡接於該放置槽內，該安裝治具包含兩個左右相間隔的側壁，各該側壁形成有複數個上下相間隔排列的導引槽，該第二承載架接合於該安裝治具後側，且該等第二容置槽分別與該等導引槽位置對齊，各該導引槽用以導引對應的該晶圓移動至對應的該第二容置槽內。

在一些實施態樣中，該承載座包括一形成有該放置槽的基板，及一凸設於該基板後端用以阻擋該第二承載架的阻擋板。

在一些實施態樣中，該基座包括一立壁，該第一定位架及該第二定位架設置於該立壁，該高度調整機構包括一可滑動地連接於該第一定位架並可承載該第一承載架的滑動架，及一設置於該第一定位架並與該滑動架相連接的旋轉組件，該旋轉組件可透過該滑動架沿一上下方向帶動該第一承載架在該第一高度位置與該第二高度位置之間移動。

在一些實施態樣中，該頂推機構包括一頂針導引板，及複數個頂針，每一頂針用以頂推對應的該晶圓，各該頂針末端面凹陷形成一溝槽，該溝槽延伸於該頂針左右兩端之間，且該溝槽的縱向截面呈開口朝後的V字形，該頂針導引板設置於該基座，且具有多個數量與該等頂針相同的穿孔，供該等頂針穿設定位。

在一些實施態樣中，該滑動架包括一可滑動地連接於該第一定位架的立板，該立板形成有一卡槽，該立板具有一界定出該卡槽的圍繞面，該圍繞面具有一下側面部及一上側面部，該旋轉組件包含一樞接於該第一定位架的轉軸、一設置於該轉軸一端用以供旋轉的旋鈕、一固定地連接於該轉軸另一端的偏心軸，及一套設於該偏心軸上的軸承，該轉軸及該偏心軸的中心軸線彼此平行且相間隔，該軸承穿設於該卡槽內且分別卡接於該下側面部及該上側面部。

在一些實施態樣中，該偏心軸包括一軸件，及一用以將該軸件固定於該轉軸的插銷。

在一些實施態樣中，該滑動架更包括一設置於該立板並與其垂直的承載板，該高度調整機構更包括一設置於該承載板上的安裝治具，該安裝治具包含兩個左右相間隔的側壁，各該側壁形成有複數個上下相間隔排列的導引槽，該第一承載架接合於該安裝治具且位於該兩側壁前側，該等第一容置槽分別與該等導引槽位置對齊，各該導引槽用以導引對應的該晶圓移動至對應的該第二容置槽內。

在一些實施態樣中，該第一定位架包括一固定於該立壁的第一導軌、一固定於該立壁且間隔位於該第一導軌後側的第二導軌，該第一導軌及該第二導軌分別呈長形且其長向平行於該上下方向，該立板設置於該第一導軌與該第二導軌之間，且該立板分別與該第一導軌及該第二導軌抵接。

本新型之功效在於：透過該高度調整機構帶動該第一承載架分別在第一高度位置及第二高度位置時藉由該頂推機構將該等晶圓自該第一承載架轉換至該第二承載架，且第一承載架與第二承載架的可容置的晶圓數量不相同，如此便可達成在不同承載裝置間轉換晶圓的目的。

100‧‧‧晶圓轉換裝置

200‧‧‧晶圓轉換裝置

1‧‧‧基座

2‧‧‧第一定位架

21‧‧‧定位板

22‧‧‧限位板

23‧‧‧定位槽

24‧‧‧前端

25‧‧‧後端

3‧‧‧第二定位架

31‧‧‧承載座

311‧‧‧基板

312‧‧‧阻擋板

313‧‧‧放置槽

32‧‧‧安裝治具

321‧‧‧側壁

322‧‧‧導引槽

4‧‧‧高度調整機構

41‧‧‧第一承載板

42‧‧‧第二承載板

5‧‧‧頂推機構

51‧‧‧連接桿

52‧‧‧頂推板

6‧‧‧第一承載架

61‧‧‧第一容置槽

62‧‧‧第一開口

63‧‧‧第二開口

7‧‧‧第二承載架

71‧‧‧第二容置槽

8‧‧‧晶圓

1'‧‧‧基座

11'‧‧‧立壁

2'‧‧‧第一定位架

21'‧‧‧第一導軌

22'‧‧‧第二導軌

23'‧‧‧前端

24'‧‧‧後端

25'‧‧‧鎖固板

251'‧‧‧樞接孔

3'‧‧‧第二定位架

4'‧‧‧高度調整機構

41'‧‧‧滑動架

42'‧‧‧旋轉組件

43'‧‧‧安裝治具

431'‧‧‧側壁

432'‧‧‧導引槽

44'‧‧‧立板

441'‧‧‧卡槽

442'‧‧‧圍繞面

442a'‧‧‧上側面部

442b'‧‧‧下側面部

45'‧‧‧承載板

46'‧‧‧轉軸

47'‧‧‧旋鈕

471'‧‧‧指示槽

48'‧‧‧偏心軸

481'‧‧‧軸件

482'‧‧‧插銷

49'‧‧‧軸承

5'‧‧‧頂推機構

50'‧‧‧連接桿

51'‧‧‧頂針

511'‧‧‧溝槽

52'‧‧‧頂針導引板

521'‧‧‧穿孔

6'‧‧‧第一承載架

61'‧‧‧第一容置槽

62'‧‧‧第一開口

63'‧‧‧第二開口

7'‧‧‧第二承載架

71'‧‧‧第二容置槽

P‧‧‧頂推方向

D‧‧‧復位方向

D1‧‧‧上下方向

H1、H2‧‧‧高度

L1、L2‧‧‧中心軸線

S1~S5‧‧‧步驟

S1'~S5'‧‧‧步驟

本新型之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施例詳細說明中清楚地呈現，其中：圖1是一立體圖，說明本新型晶圓轉換裝置的一第一實施例； 圖2是一局部剖面前視圖，說明該第一實施例的一第一承載架在一第一高度位置；圖3是一局部剖面前視圖，說明該第一實施例的該第一承載架在一第二高度位置；圖4是一俯視圖，說明該第一實施例的一頂推機構尚未頂推多個晶圓，該等晶圓位於該第一承載架的狀態；圖5是一俯視圖，說明該第一實施例的一頂推機構將該等晶圓自該第一承載架頂推至一第二承載架的狀態；圖6是一流程示意圖，說明本新型晶圓轉換裝置的晶圓轉換方法，適用於該第一實施例；圖7為圖2的一局部放大圖，說明該等晶圓位於該第一承載架的多個第一容置槽內；圖8是一局部放大剖面前視圖，說明該等晶圓被該頂推機構頂推至該第二承載架的多個第二容置槽內，圖9為圖3的一局部放大圖，說明該等晶圓位於該等第一容置槽內；圖10是一局部放大剖面前視圖，說明該等晶圓被該頂推機構頂推至該等第二容置槽內；圖11是一立體圖，說明本新型晶圓轉換裝置的一第二實施例；圖12是一立體圖，為圖11的另一視角；圖13是一部分立體分解圖，說明該第二實施例的一旋轉組件及一立板；圖14是一部分立體分解圖，為圖13的另一視角； 圖15是一部分剖面側視圖，說明該第二實施例的該旋轉組件及該立板；圖16是一部分立體圖，說明一頂針及該頂針的溝槽；圖17為圖16的一側視圖；圖18是一部分剖面前視圖，說明該第一承載架在第一高度位置，該等晶圓位於該等第一容置槽中；圖19是一部分剖面側視圖，說明該旋轉組件的一偏心軸在第一高度位置；圖20是一部分剖面前視圖，說明該第一承載架在第二高度位置，該等晶圓位於該等第一容置槽中；圖21是一部分剖面側視圖，說明該旋轉組件的該偏心軸在第二高度位置；圖22是一流程示意圖，說明本新型晶圓轉換裝置的晶圓轉換方法，適用於該第二實施例；圖23是一部分剖面側視圖，說明該等頂針在第一高度位置頂推該等晶圓至該等第二容置槽內；及圖24是一部分剖面側視圖，說明該等頂針在第二高度位置頂推該等晶圓至該等第二容置槽內。

在本新型被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1及圖2，本新型晶圓轉換裝置100的第一實施例可供一第一承載架6及一第二承載架7放置，該第一承載架6形成有複數個上下相間隔排列的第一容置槽 61、一第一開口62，及一相反於第一開口62的第二開口63，各第一容置槽61用以容置一晶圓8。第二承載架7形成有複數個上下相間隔排列的第二容置槽71，該等第一容置槽61的數量與該等第二容置槽71的數量不同。該第一實施例的晶圓轉換裝置100包含一基座1、一第一定位架2、一第二定位架3、一高度調整機構4，及一頂推機構5。在本實施例中，第一承載架6是採用鐵氟龍晶圓盒，第二承載架7是採用石英晶舟，第二容置槽71數量為偶數個，而第一容置槽61的數量小於第二容置槽71的數量，第一容置槽61數量為第二容置槽71數量的二分之一，其中，第一容置槽61數量是以25個為例，第二容置槽71數量是以50個為例，但不以此為限。

第一定位架2設置於基座1，第一定位架2包括一定位板21、二凸設於定位板21表面且左右相間隔的限位板22、一由定位板21與該等限位板22界定出的定位槽23、一前端24，及一相反於前端24的後端25。第一承載座31的第一開口62是朝向前端24，第二開口63是朝向後端25。

第二定位架3設置於基座1且位於第一定位架2的後端25，第二定位架3用以承載並定位第二承載架7。第二定位架3包括一設置於基座1的承載座31及一安裝治具32，承載座31的表面凹陷形成一放置槽313，安裝治具32卡接於放置槽313內，安裝治具32包含兩個左右相間隔的側壁321，各側壁321形成有複數個上下相間隔排列 的導引槽322。第二承載架7接合於安裝治具32後側，且該等第二容置槽71分別與該等導引槽322位置對齊。在本實施例中，導引槽322的數量與第二容置槽71的數量相同，皆為50個，但不以此為限，只要數量相同即可。

參閱圖1至圖3，高度調整機構4設置於第一定位架2，用以承載第一承載架6並可將第一承載架6由一第一高度位置(如圖2所示)調整至一高度高於第一高度位置的第二高度位置(如圖3所示)。高度調整機構4包括一第一承載板41及一第二承載板42，第一承載板41的高度H1小於該第二承載板42的高度H2。第一承載板41及第二承載板42其中之一可選擇地卡置於第一定位架2的定位槽23內，高度調整機構4即是藉由第一承載板41及第二承載板42的置換來調整第一承載架6在第一高度位置及第二高度位置間轉換。第一承載板41可承載第一承載架6使其位在第一高度位置，該第二承載板42可承載第一承載架6使其位在該第二高度位置。當第一承載架6在第一高度位置時，該等第一容置槽61與該等第二容置槽71其中之一的全部容置槽與其中另一的一部分容置槽位置相互對齊。當第一承載架6在第二高度位置時，該等第一容置槽61與該等第二容置槽71其中之一的全部容置槽與其中另一的另一部分容置槽位置相互對齊。具體而言，在本實施例中，如圖2所示，當第一承載架6在第一高度位置時，該等第一容置槽61的全部容置槽與該等第二容置槽71的偶數位置容置槽(由上至下數來)相互對齊；如圖3所示，當第一承載架 6在第二高度位置時，該等第一容置槽61的全部容置槽與該等第二容置槽71的奇數位置容置槽(由上至下數來)相互對齊，。

參閱圖1至圖5，頂推機構5可滑動地設置於基座1且位於第一定位架2的前端24，且可沿一由前朝後的頂推方向P移動，用以將與該等第二容置槽71位置相互對齊的該等第一容置槽61中的該等晶圓8由該等第一容置槽61頂推至該等第二容置槽內。頂推機構5包括一長條狀連接桿51及一呈長方形的頂推板52，連接桿51可滑動地設置於基座1且沿垂直於基座1的方向延伸，頂推板52設置於連接桿51朝頂推方向P延伸。

參閱圖6，本實施例的晶圓轉換裝置100的晶圓轉換方法適於將第一承載架6所承載的晶圓8轉移傳送至第二承載架7內，該轉換方法包含以下步驟：一安裝步驟S1、一第一次頂推步驟S2、一更換步驟S3、一高度調整步驟S4，及一第二次頂推步驟S5。

參閱圖4、圖6及圖7，在安裝步驟S1中，先將第二承載架7接合於安裝治具32後側，再將第一承載架6安裝於高度調整機構4的第一承載板41上，以及將安裝治具32卡接於第二定位架3的放置槽313內。此時，第一承載架6位於第一高度位置，該等第一容置槽61的全部容置槽與該等第二容置槽71中的一部分容置槽位置相互對齊，在本實施例中，該等第一容置槽61的全部容置槽與該等第二容置槽71中的偶數位置容置槽相互對齊。

參閱圖5、圖6及圖8，在第一次頂推步驟S2中，使用者可透過手推動頂推機構5的連接桿51使頂推板52沿頂推方向P移動。頂推板52沿頂推方向P移動的過程中會穿伸入第一承載架6的第一開口62內，隨後頂推板52會頂推與該等第二容置槽71的偶數位置容置槽相互對齊的該等第一容置槽61中的該等晶圓8移動，使各晶圓8移離第一容置槽61並且藉由安裝治具32的對應導引槽322導引而移動至對應的第二容置槽71內。當各晶圓8移動至對應的第二容置槽71後，使用者可透過手拉動頂推機構5的連接桿51，使頂推機構5沿一相反於頂推方向P的復位方向D移動至圖4所示的一初始位置。

參閱圖6及圖9，在更換步驟S3中，將空的該第一承載架6移離第一承載板41。

在高度調整步驟S4中，先將第一承載板41移離第一定位架2的定位槽23，隨後將第二承載板42安裝於定位槽23內，接著，將另一個滿載晶圓8的第一承載架6安裝於高度調整機構4的第二承載板42上。藉由將第一承載板41更換為第二承載板42的方式，便可將該另一個滿載晶圓8的第一承載架6調整至第二高度位置，使該另一個第一承載架6的該等第一容置槽61與該等第二容置槽71中的另一部分容置槽位置相互對齊，在本實施例中，該等第一容置槽61的全部容置槽是與該等第二容置槽71中的奇數位置容置槽相互對齊。

參閱圖5、圖6及圖10，在第二次頂推步驟S5 中，使用者可透過手推動頂推機構5的連接桿51使頂推板52沿頂推方向P移動。頂推板52沿頂推方向P移動的過程中會穿伸入第一承載架6的第一開口62內，隨後頂推板52會頂推與該等第二容置槽71中的奇數位置的第二容置槽71相互對齊的該等第一容置槽61中的該等晶圓8移動，使各晶圓8移離第一容置槽61並且藉由安裝治具32的對應導引槽322導引而移動至對應的第二容置槽71內。如此便完成將晶圓8由兩個25片裝的鐵氟龍晶圓盒轉換至50片裝的石英晶舟的步驟。

參閱圖11及圖12，本新型晶圓轉換裝置的第二實施例可供一第一承載架6'及一第二承載架7'放置，該第一承載架6'形成有複數個上下相間隔排列的第一容置槽61'(如圖18所示)、一位於前端的第一開口62'，及一位於後端且相反於第一開口62'的第二開口63'，各該第一容置槽61'用以容置一晶圓8。該第二承載架7'形成有複數個上下相間隔排列的第二容置槽71'，該等第一容置槽61'的數量與該等第二容置槽71'的數量不同。該第二實施例的晶圓轉換裝置200包含一基座1'、一第一定位架2'、一第二定位架3'、一高度調整機構4'，及一頂推機構5'。在本實施例中，第一承載架6'是採用石英晶舟，第二承載架7'是採用鐵氟龍晶圓盒，第一容置槽61'的數量為偶數個，第一容置槽61'的數量大於第二容置槽71'的數量，第一容置槽61'數量為第二容置槽71'數量的二倍，其中，第一容置槽61'數量是以50個為例，第二容置槽71'的數量是以25個為例 ，但不以此為限。

基座1'包括一立壁11'。第一定位架2'包括一前端23'、一相反於前端23'的後端24'、一固定於立壁11'的第一導軌21'、一固定於該立壁11'且間隔位於第一導軌21'後側的第二導軌22'，及一固接於第一導軌21'及第二導軌22'的鎖固板25'。第一導軌21'及第二導軌22'分別呈長條形且沿一上下方向D1延伸。第二定位架3'設置於立壁11'且位於第一定位架2'的後端24'，用以承載並定位第二承載架7'。

參閱圖11、圖12及圖13，高度調整機構4'設置於第一定位架2'，用以承載第一承載架6'並可將第一承載架6'由一第一高度位置調整至一高度高於第一高度位置的第二高度位置。高度調整機構4'包括一可滑動地連接於第一定位架2'並可承載第一承載架6'的滑動架41'、一設置於第一定位架2'並與該滑動架41'相連接的旋轉組件42'，及一設置於滑動架41'的安裝治具43'。滑動架41'包括一可滑動地連接於該第一定位架2'的第一導軌21'及第二導軌22'間的立板44'，及一設置於立板44'並與其垂直的承載板45'。立板44'形成有一卡槽441'，且具有一界定出卡槽441'的圍繞面442'，圍繞面442'具有一下側面部442b'及一上側面部442a'。承載板45'是用以承載安裝治具43'及第一承載架6'。旋轉組件42'可透過滑動架41'沿上下方向D1帶動第一承載架6'在第一高度位置與第二高度位置之間移動。安裝治具43'包含兩個左右相間隔的側壁431'，各側壁431' 形成有複數個上下相間隔排列的導引槽432'(如圖18所示)，第一承載架6'接合於安裝治具43'且位於兩側壁431'前側，該等第一容置槽61'分別與該等導引槽432'位置對齊，各導引槽432'用以導引對應的晶圓8移動至對應的該第二容置槽71'內。在本實施例中，導引槽432'的數量與第一容置槽61'的數量相同，皆為50，但不以此為限，只要數量相同即可。

參閱圖13至圖15，在此更進一步介紹旋轉組件42'，其具有一轉軸46'、一卡合於轉軸46'一端用以供旋轉的旋鈕47'、一固定地連接於轉軸46'另一端的偏心軸48'，及一套設於偏心軸48'上的軸承49'。轉軸46'可轉動地樞接於鎖固板25'的樞接孔251'。旋鈕47'上凹陷形成有一指示槽471'，用以指示高度調整機構4'是在何種高度位置。轉軸46'及偏心軸48'的中心軸線L1、L2彼此平行且相間隔，偏心軸48'包括一軸件481'及一用以將軸件481'固定於轉軸46'的插銷482'。軸承49'套設於偏心軸48'的軸件481'上，且軸承49'穿設於立板44'的卡槽441'內且分別卡接於下側面部442b'及上側面部442a'。

參閱圖11、圖16及圖17，頂推機構5'可滑動地設置於基座1'的立壁11'且位於第一定位架2'的前端23'，且可沿一由前朝後的頂推方向P移動，用以將與該等第二容置槽71'位置相互對齊的該等第一容置槽61'中的該等晶圓8由該等第一容置槽61'頂推至該等第二容置槽71'內。頂推機構5'包括一可滑動地連接於立壁11'的連接桿50' 、複數個彼此上下相間隔地設置於連接桿50'上的頂針51'，及一頂針導引板52'。每一頂針51'用以頂推對應的該晶圓8，各該頂針51'末端面凹陷形成一溝槽511'，溝槽511'延伸於頂針51'左右兩端之間，且該溝槽511'的縱向截面呈開口朝後的V字形，此結構設計是用以夾持晶圓8在頂推的過程中不易晃動產生上下的位移，確保頂推過程順利，防止晶圓8在過程中破裂。頂針導引板52'設置於基座1'的立壁11'，且具有多個數量與該等頂針51'相同的穿孔521'，供該等頂針51'穿設定位。在本實施例中，該等頂針51'及穿孔521'的數量為25，但不以此為限。

參閱圖18及圖19，高度調整機構4'是藉由操作旋鈕47'來改變高度位置。當旋鈕47'的指示槽471'是指向後側，且偏心軸48'的中心軸線L1是低於轉軸46'的中心軸線L2，滑動架41'將安裝治具43'及第一承載架6'支撐在第一高度位置。此時，第一承載架6'的該等第一容置槽61'中的奇數位置容置槽分別與該等頂針51'以及第二承載架7'的該等第二容置槽71'的全部容置槽位置相互對齊。接著參閱圖20及圖21，操作旋鈕47'順時針旋轉180度使指示槽471'指向前側，旋鈕47'會帶動轉軸46'旋轉進而帶動偏心軸48'旋轉180度，使偏心軸48'的中心軸線L1高於轉軸46'的中心軸線L2，進而使軸承49'向上位移並且同時帶動立板44'及承載板45'向上移動，使第一承載架6'到達第二高度位置。在第二高度位置時，該等第一容置槽61'中的偶數位置容置槽分別與該等頂針51'以及第二承載架7'的該等第二容 置槽71'的全部容置槽位置相互對齊。

參閱圖22，本實施例的晶圓轉換裝置200的晶圓轉換方法適於將一第一承載架6'所承載的晶圓轉移傳送至一第二承載架7'內，該轉換方法包含以下步驟：一安裝步驟S1'、一第一次頂推步驟S2'、一更換步驟S3'、一高度調整步驟S4'，及一第二次頂推步驟S5'。

參閱圖18及圖22，在安裝步驟S1'，先將第一承載架6'接合於安裝治具43'內，再將安裝治具43'安裝於高度調整機構4'的滑動架41'的承載板45'上，以及將第二承載架7'安裝於第二定位架3'上。此時，第一承載架6'位於第一高度位置，該等第一容置槽61'中的一部分第一容置槽61'與該等第二容置槽71'位置相互對齊，在本實施例中，該等第一容置槽61'中的奇數位置容置槽與該等第二容置槽71'的全部容置槽以及該等頂針51'位置相互對齊。

參閱圖22及圖23，在第一次頂推步驟S2'中，使用者可透過手推動頂推機構5'的連接桿50'使該等頂針51'沿頂推方向P移動。頂針51'沿頂推方向P移動的過程中會穿伸入第一承載架6'的第一開口62'內，隨後頂針51'會頂推與該等第二容置槽71'位置相互對齊的該等第一容置槽61'的奇數位置容置槽中的該等晶圓8移動，使各晶圓8移離第一容置槽61'並且藉由安裝治具43'的對應導引槽432'導引而移動至對應的第二容置槽71'內。當各晶圓8移動至對應的第二容置槽71'後，使用者可透過手拉動頂推機構5'的連接桿50'，使頂推機構5'沿一相反於頂推方向P的 復位方向D移動至圖18所示的初始位置。

參閱圖20及圖22，在更換步驟S3'中，將滿載晶圓8的第二承載架7'移離第二定位架3'，並將另一個空的第二承載架7'安裝於第二定位架3'。

在高度調整步驟S4'中，透過旋轉旋鈕47'帶動滑動架41'的立板44'及承載板45'向上位移，便可將第一承載架6'調整至一高度高於第一高度位置的第二高度位置，使該等第一容置槽61'中的另一部分第一容置槽61'與該另一個空的第二承載架7'的該等第二容置槽71'位置相互對齊，在本實施例中，該等第一容置槽61'中的偶數位置容置槽與該等第二容置槽71'的全部容置槽以及該等頂針51'位置相互對齊。

參閱圖22及圖24，在第二次頂推步驟S5'中，使用者可透過手推動頂推機構5'的連接桿50'使該等頂針51'沿頂推方向P移動。頂針51'沿頂推方向P移動的過程中會穿伸入第一承載架6'的第一開口62'內，隨後頂針51'會頂推與該等第二容置槽71'位置相互對齊的該等第一容置槽61'中的該等晶圓8移動，使各晶圓8移離第一容置槽61'並且藉由安裝治具43'的對應導引槽432'導引而移動至對應的第二容置槽71'內。如此便完成將晶圓8由50片裝的石英晶舟轉換至兩個25片裝的鐵氟龍晶圓盒的步驟。

值得一提的是，本新型晶圓轉換裝置的第二實施例，只需些微地修改其設計，將頂推機構5'以第二承載架7'為基準鏡像地設置在第二承載架7'的後側，如此一來 頂推機構5'便可將第二承載架7'中的晶圓8頂推至第一承載架6'中，達到本新型晶圓轉換裝置的第一實施例所能達到的效果，將晶圓8由25片裝的鐵氟龍晶圓盒轉換至50片裝的石英晶舟。

需要說明的是，本新型晶圓轉換裝置的創作背景是因為在半導體製程中有一燒結站製程，晶圓在進行此製程前是以25片裝的鐵氟龍晶圓盒做輸送的作業，但在進行燒結製程前須將晶圓轉換至石英晶舟才可繼續進行燒結製程。為了提高燒結站點的產能效率，石英晶舟的容量設計為50片裝。因此先藉由本新型第一實施例的晶圓轉換裝置100的晶圓轉換方法，經步驟S1~S5將晶圓自鐵氟龍晶圓盒轉換至石英晶舟。待燒結製程結束後，再藉由本新型第二實施例的晶圓轉換裝置200的晶圓轉換方法，經步驟S1'~S5'將晶圓自石英晶舟轉換至鐵氟龍晶圓盒內，便可透過鐵氟龍晶圓盒承載晶圓以進行後續的製程。因此，藉由本新型晶圓轉換裝置使晶圓可達到在不同容量的承載裝置間轉換的目的，進而可提高整體製程的產能效率。其中，還需要補充的是，第一高度位置及第二高度位置的高度差僅為石英晶舟的一個槽位的高度，因此高度調整機構僅需控制第一承載架在此高度差間變化，不需要大量的機構作動空間，可精簡整體裝置的設計。再者，高度調整機構帶動第一承載架移動一小段的移動行程便能使其由第一高度位置調整至第二高度位置，藉此，使得操作人員能迅速地調整第一承載架的高度，以縮短操作工時並提升操作上的 效率。

綜上所述，透過高度調整機構4、4'調整第一承載架6、6'分別在第一高度位置及第二高度位置移動，藉由頂推機構5、5'將該等晶圓8自該第一承載架6、6'頂推傳送至該第二承載架7、7'內，如此便可達成在不同容量的第一承載架6、6'與第二承載架7、7'間轉換晶圓8的目的，進而可提高整體製程的產能效率，故確實能達成本新型之目的。

惟以上所述者，僅為本新型之實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，凡是依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。

1'‧‧‧基座

11'‧‧‧立壁

2'‧‧‧第一定位架

21'‧‧‧第一導軌

22'‧‧‧第二導軌

23'‧‧‧前端

24'‧‧‧後端

25'‧‧‧鎖固板

3'‧‧‧第二定位架

4'‧‧‧高度調整機構

41'‧‧‧滑動架

42'‧‧‧旋轉組件

43'‧‧‧安裝治具

431'‧‧‧側壁

44'‧‧‧立板

45'‧‧‧承載板

5'‧‧‧頂推機構

50'‧‧‧連接桿

51'‧‧‧頂針

52'‧‧‧頂針導引板

521'‧‧‧穿孔

6'‧‧‧第一承載架

62'‧‧‧第一開口

63'‧‧‧第二開口

7'‧‧‧第二承載架

P‧‧‧頂推方向

D‧‧‧復位方向

D1‧‧‧上下方向

Claims (11)

1. 一種晶圓轉換裝置，可供一第一承載架及一第二承載架放置，該第一承載架形成有複數個上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有複數個上下相間隔排列的第二容置槽，該等第一容置槽的數量與該等第二容置槽的數量不同，該晶圓轉換裝置包含：一基座；一第一定位架，設置於該基座，該第一定位架包括一前端，及一相反於該前端的後端；一第二定位架，設置於該基座且位於該第一定位架的該後端，該第二定位架用以承載並定位該第二承載架；一高度調整機構，設置於該第一定位架，該高度調整機構用以承載該第一承載架並可將該第一承載架由一第一高度位置調整至一高度高於該第一高度位置的第二高度位置，當該第一承載架在該第一高度位置時，該等第一容置槽與該等第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的一部分容置槽位置相互對齊，當該第一承載架在該第二高度位置時，該等第一容置槽與該等第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的另一部分容置槽位置相互對齊；及一頂推機構，可滑動地設置於該基座且位於該第一定位架的該前端，該頂推機構可沿一由前朝後的頂推方 向移動，用以將與該等第二容置槽位置相互對齊的該等第一容置槽中的該等晶圓由該等第一容置槽頂推至該等第二容置槽內。
2. 如請求項1所述的晶圓轉換裝置，其中，該高度調整機構包括一第一承載板，及一第二承載板，該第一承載板的高度小於該第二承載板的高度，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地設置於該第一定位架，該第一承載板可承載該第一承載架使其位在該第一高度位置，該第二承載板可承載該第一承載架使其位在該第二高度位置。
3. 如請求項2所述的晶圓轉換裝置，其中，該第一定位架包括一定位板、二凸設於該定位板表面且左右相間隔的限位板，及一由該等限位板及該定位板界定出的定位槽，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地卡置於該定位槽內。
4. 如請求項2所述的晶圓轉換裝置，其中，該第二定位架包括一設置於該基座的承載座，及一安裝治具，該承載座的表面凹陷形成一放置槽，該安裝治具卡接於該放置槽內，該安裝治具包含兩個左右相間隔的側壁，各該側壁形成有複數個上下相間隔排列的導引槽，該第二承載架接合於該安裝治具後側，且該等第二容置槽分別與該等導引槽位置對齊，各該導引槽用以導引對應的該晶圓移動至對應的該第二容置槽內。
5. 如請求項4所述的晶圓轉換裝置，其中，該承載座包括 一形成有該放置槽的基板，及一凸設於該基板後端用以阻擋該第二承載架的阻擋板。
6. 如請求項1所述晶圓轉換裝置，其中，該基座包括一立壁，該第一定位架及該第二定位架設置於該立壁，該高度調整機構包括一可滑動地連接於該第一定位架並可承載該第一承載架的滑動架，及一設置於該第一定位架並與該滑動架相連接的旋轉組件，該旋轉組件可透過該滑動架沿一上下方向帶動該第一承載架在該第一高度位置與該第二高度位置之間移動。
7. 如請求項6所述的晶圓轉換裝置，其中，該頂推機構包括一頂針導引板，及複數個頂針，每一頂針用以頂推對應的該晶圓，各該頂針末端面凹陷形成一溝槽，該溝槽延伸於該頂針左右兩端之間，且該溝槽的縱向截面呈開口朝後的V字形，該頂針導引板設置於該基座，且具有多個數量與該等頂針相同的穿孔，供該等頂針穿設定位。
8. 如請求項7所述晶圓轉換裝置，其中，該滑動架包括一可滑動地連接於該第一定位架的立板，該立板形成有一卡槽，該立板具有一界定出該卡槽的圍繞面，該圍繞面具有一下側面部及一上側面部，該旋轉組件包含一樞接於該第一定位架的轉軸、一設置於該轉軸一端用以供旋轉的旋鈕、一固定地連接於該轉軸另一端的偏心軸，及一套設於該偏心軸上的軸承，該轉軸及該偏心軸的中心軸線彼此平行且相間隔，該軸承穿設於該卡槽內且分別 卡接於該下側面部及該上側面部。
9. 如請求項8所述的晶圓轉換裝置，其中，該偏心軸包括一軸件，及一用以將該軸件固定於該轉軸的插銷。
10. 如請求項9所述的晶圓轉換裝置，其中，該滑動架更包括一設置於該立板並與其垂直的承載板，該高度調整機構更包括一設置於該承載板上的安裝治具，該安裝治具包含兩個左右相間隔的側壁，各該側壁形成有複數個上下相間隔排列的導引槽，該第一承載架接合於該安裝治具且位於該兩側壁前側，該等第一容置槽分別與該等導引槽位置對齊，各該導引槽用以導引對應的該晶圓移動至對應的該第二容置槽內。
11. 如請求項8所述的晶圓轉換裝置，其中，該第一定位架包括一固定於該立壁的第一導軌、一固定於該立壁且間隔位於該第一導軌後側的第二導軌，該第一導軌及該第二導軌分別呈長形且其長向平行於該上下方向，該立板設置於該第一導軌與該第二導軌之間，且該立板分別與該第一導軌及該第二導軌抵接。