TWM506908U - 密封元件 - Google Patents

Description

密封元件

本新型係關於一種密封元件，尤指一種應用於充氣設備之進氣噴嘴的密封元件。

在半導體製程中所使用之晶圓及光罩需要良好的儲藏環境，藉以避免灰塵的附著或是氧化反應的產生，於收納時，將此晶圓及光罩分別裝入不同儲藏盒中，並放置在一隔絕外部環境的儲存櫃內，該儲存櫃通常具有溫控或除濕之功能，以確保儲存櫃內部的儲存環境，為防止晶圓及光罩的表面產生有機污染或產生氧化，在上述儲藏盒中會配置一充氣閥，並與儲存櫃(Stocker)中之一充氣座結合以進行空氣的供給，藉此將潔淨的乾燥空氣填充入儲藏盒中來降低儲藏盒內的溼度。

請參圖6，現有設於儲藏櫃中之充氣座50具有一密封件51、一固定板52及一空氣流道53。該密封件51為一軟性環形結構且環設在該充氣座50的頂部，該密封件51之頂部高於該充氣座50的頂面且為一平面設置形態，該固定板52套設在該密封件51外部，該空氣流道53成形在充氣座50中且與該密封件51相通。於實際應用時，設於儲藏盒底部之一充氣閥60會與該充氣座50相結合，其中該充氣閥60之充氣口61連通該空氣流道53，而該圓形環62密閉接觸該密封件51之頂部，使乾燥空氣可經該空氣流道53及該充氣口61而填充至該儲藏盒中。然而，現有充氣座50之密封件51為軟性材質所製成而不利承載重量，因此，當該密封件51承受該儲存盒的重量下壓時會導致變形，進而造成該密封件51之頂部平面發生擠壓扭曲的現象，致使該充氣座50的密封件51與充氣閥60之圓形環62間容易產生隙縫，不僅導致密封效果不佳，且會降低該充氣座50的充氣效果以及使用壽命，有其需要加以改進之處。

有鑑於前述的現有充氣座之密封件的承載強度不足以及密封效果不佳之缺點，本新型提供一種密封元件，藉此提升本新型之承載強度，以達到提升充氣效果及使用壽命之目的。

本新型解決現有技術問題所提出的密封元件設置於一充氣設備之進氣噴嘴，該密封元件包含： 一抵接環，其套設於該進氣噴嘴之進氣口的外環面上； 一支撐部，其設置於該抵接環之內側壁，該支撐部抵接於該進氣口之外側壁；以及 一密封部，其設置於該抵接環的頂部，並位於該支撐部之上方。

該密封部為一環狀的錐形頂塊，該錐形頂塊朝上呈漸縮狀。

該密封部為一環狀的圓形頂塊，該圓形頂塊的頂部呈一圓弧形結構。

該密封部為兩環狀且間隔設置的錐形頂塊所組成。

進一步設有一固定壓板，該固定壓板套設在該抵接環外側並具有一壓板穿孔，該密封部經該壓板穿孔而伸出該固定壓板。

本新型密封元件為連接一充氣設備之進氣噴嘴，該抵接環上設有一密封部，且該密封部的接觸面積小，當本新型及該充氣設備與一儲藏盒結合使用時，該儲藏盒藉由自身重量下壓並與該密封部相互密合，同時該密封元件的支撐部提供一向上抵抗的支撐力，因此能避免該抵接環於壓合時產生過大的變形量，故本新型與儲藏盒之間不會因變形過大而產生縫隙，以此提升本新型的密封效果，進而達到增加充氣效率及使用壽命之目的。

以下配合圖式及本新型之較佳實施例，進一步闡述本新型為達成預定新型目的所採取之技術手段。

請參閱圖1至圖3所示，本新型第一較佳實施例之密封元件20設置於一充氣設備之進氣噴嘴10，包含一抵接環21、一支撐部211及一密封部，其中：

前述之抵接環21凸設成形於該密封元件20的頂面且套設在該進氣噴嘴10之進氣口的外環面上。如圖3所示，該支撐部211徑向環繞成形在該抵接環21的內壁面上且貼靠在該進氣噴嘴10之進氣口的外側壁上，該密封部成形在該抵接環21的頂部且位於該支撐部211之上方。請續參圖3，於第一較佳實施例中，該密封部為一環狀的錐形頂塊212，該錐形頂塊212朝上呈漸縮狀。接著請參閱圖4，其為本新型之第二較佳實施例，該密封部為一環狀的圓形頂塊212A，該圓形頂塊212A的頂部呈一圓弧形結構。請參圖5，其為本新型的第三較佳實施例，該密封部為兩環狀且間隔設置的錐形頂塊212所組成，該兩錐形頂塊212分別環繞成形在該抵接環21的頂部。

請參閱圖2至圖5所示，前述之固定壓板30套設在該抵接環21外側且設有一壓板穿孔31，該壓板穿孔31貫穿成形在固定壓板30的頂面，並以此定位該密封元件20，該密封部經該壓板穿孔31而伸出該固定壓板30。

如圖2至圖5所示，本新型於實際應用時，主要係與一儲藏盒底盤的氣閥40相結合，該氣閥40設有一貫穿成形之充氣口41及一圓形環42，該充氣口41連通該進氣噴嘴10的進氣口，該圓形環42設置在該該氣閥40之底部且與該充氣口41相通，於使用時該圓形環42貼靠接觸在該抵接環21之錐形頂塊212或是圓形頂塊212A上，並透過儲藏盒的重量向下壓合，使該錐形頂塊212或是圓形頂塊212A產生適量的變形，進而使該氣閥40之圓形環42與該密封元件20可充份抵靠及密合，此外，該支撐部211可提供一向上的支撐力，可避免該密封部於壓合時產生過度變形，進而導致縫隙的產生以及該密封元件20的扭曲損壞，因此本新型相較於現有技術具有較佳的充氣效率以及使用壽命。

以上所述僅是本新型的較佳實施例而已，並非對本新型做任何形式上的限制，雖然本新型已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本新型，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型技術方案的範圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本新型技術方案的內容，依據本新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本新型技術方案的範圍內。

10‧‧‧進氣噴嘴
20‧‧‧密封元件
21‧‧‧抵接環
211‧‧‧支撐部
212‧‧‧錐形頂塊
212A‧‧‧圓形頂塊
30‧‧‧固定壓板
31‧‧‧壓板穿孔
40‧‧‧氣閥
41‧‧‧充氣口
42‧‧‧圓形環
50‧‧‧充氣座
51‧‧‧密封件
52‧‧‧固定板
53‧‧‧空氣流道
60‧‧‧充氣閥
61‧‧‧充氣口
62‧‧‧圓形環

圖1為本新型之第一較佳實施例的外觀立體圖。 圖2為本新型及一儲存櫃充氣座的立體分解圖。 圖3為本新型之第一較佳實施例的側視剖面圖。 圖4為本新型之第二較佳實施例的側視剖面圖。 圖5為本新型之第三較佳實施例的側視剖面圖。 圖6為現有充氣座與一充氣閥相結合的側視剖面圖。

10‧‧‧進氣噴嘴

20‧‧‧密封元件

30‧‧‧固定壓板

Claims (5)

1. 一種密封元件，其設置於一充氣設備之進氣噴嘴上，並包含： 一抵接環，其套設於該進氣噴嘴之進氣口的外環面上； 一支撐部，其設置於該抵接環之內側壁，該支撐部抵接於該進氣口之外側壁；以及 一密封部，其設置於該抵接環的頂部，並位於該支撐部之上方。
2. 如請求項1所述之密封元件，其中該密封部為一環狀的錐形頂塊，該錐形頂塊朝上呈漸縮狀。
3. 如請求項1所述之密封元件，其中該密封部為一環狀的圓形頂塊，該圓形頂塊的頂部呈一圓弧形結構。
4. 如請求項1所述之密封元件，其中該密封部為兩環狀且間隔設置的錐形頂塊所組成。
5. 如請求項1所述之密封元件，其中進一步設有一固定壓板，該固定壓板套設在該抵接環外側並具有一壓板穿孔，該密封部經該壓板穿孔而伸出該固定壓板。