TWM463905U

TWM463905U - 基板之翻轉設備

Info

Publication number: TWM463905U
Application number: TW102208203U
Authority: TW
Inventors: Sheng-Jiao Peng; Jhao-Rong Cheng
Original assignee: Marketech Int Corp
Priority date: 2013-05-03
Filing date: 2013-05-03
Publication date: 2013-10-21

Description

基板之翻轉設備

本創作係有關於一種翻轉設備，尤指一種能於基板加工前進行翻轉動作，使各基板呈立置狀態以利於後續加工之創新型態設計者。

按，隨著半導體產業的蓬勃發展，半導體相關的加工技術亦隨之廣泛應用，舉玻璃基板之塗佈加工為例，通常係將一預設之塗佈液塗佈於該玻璃基板上，並配合塗佈裝置將玻璃基板表面之塗佈液伸展，進而使塗佈液能於玻璃基板表面形成塗佈膜。

以習知基板加工前(以塗佈為例，其他如清洗或蝕刻等流程亦相同)的備置型態而言，通常係藉由人力將每一片基板依序排列於一架體上，且為了能方便輸送、取出基板，作業人員通常係由架體橫向置入使各基板呈橫置狀態後輸送至塗佈加工處，惟，基於考量各基板表面塗布之均勻度，故塗佈時係必須於各基板呈立置狀態下進行，因此當架體連同基板一併輸送至塗佈加工處時，則又必須由作業人員將各基板取下後翻轉呈立置狀態，再放置回架體上才得以進行後續塗佈加工流程，導致人力及時間成本大幅提高，亦會產生加工效率不佳之缺弊，此外，由人力排列基板之備置型態係容易因各基板未確實排列放置於正確位置、角度而影響加工成品，進而產生成品品質不佳之問題點。

是以，針對上述習知所存在之問題點，如何開發一種更具理想實用性之創新結構以改善該等問題，實使用者所企盼，亦係相關業者須努力研發突破之目標及方向。

有鑑於此，創作人本於多年從事相關產品之製造開發與設計經驗，針對上述之目標，詳加設計與審慎評估後，終得一確具實用性之本創作。

本創作之主要目的，係在提供一種基板之翻轉設備，其所欲解決之技術問題，係針對如何研發出一種更具理想實用性之設備為目標加以創新突破。

本創作解決問題之技術特點，主要在於該翻轉設備結構係包括一設備主體，具有立向延伸之一主架體，該主架體底部係設置有一著置部；一籠狀架體，係包括由縱、橫向間隔交錯排列之框條所構成中空籠狀型態，該籠狀架體之一側向係形成有開放端，且該籠狀架體內係設置有呈上、下間隔排列之多數組承載構件，藉以能將多數組基板由籠狀架體之開放端橫向置入，令各基板承靠限位於每一組承載構件之間而呈上、下間隔排列狀態；一升降輸送單元，設置於該設備主體預定位置處，係能載送該籠狀架體並沿著主架體作上升或下降動作；一夾持翻轉機構，設置於主架體一預定高度位置處，構成當升降輸送單元載送置入基板的籠狀架體上升至預定高度時，該夾持翻轉機構係能夾持並帶動籠狀架體翻轉一角度，使基板呈立置狀態後導送至後續加工流程處；且其中，當該籠狀架體進行翻轉之過程中，該升降輸送單元係先下降至一高度位置，待翻轉動作完成再度上升承接該籠狀架體；藉此獨特創新設計，使本創作對照先前技術而言，俾能藉由該夾持翻轉機構帶動籠狀架體進行翻轉動作之結構型態，以使每一組基板於加工前皆呈間隔立置狀態，令後續進行加工時各基板表面加工程度皆能均勻一致，達到快速、節省人力以及大幅提升加工效果、加工效率與成品品質等產業實用效益。

〔本創作〕

10‧‧‧設備主體

11‧‧‧主架體

12‧‧‧著置部

20‧‧‧籠狀架體

21‧‧‧框條

22‧‧‧開放端

23‧‧‧承載構件

231‧‧‧支撐塊

232‧‧‧支撐柱

233‧‧‧橫架桿

30‧‧‧升降輸送單元

31‧‧‧滾動裝置

32‧‧‧輸送台

33‧‧‧驅動馬達

40‧‧‧夾持翻轉機構

41‧‧‧驅動源

42‧‧‧旋轉座

43‧‧‧夾頭

50‧‧‧第一組翻轉設備

60‧‧‧第二組翻轉設備

A‧‧‧基板

第1圖係本創作之動作示意圖。

第2圖係本創作之動作示意圖。

第3圖係本創作之動作示意圖。

第4圖係本創作之動作示意圖。

第5圖係本創作之動作示意圖。

第6圖係本創作之動作示意圖。

第7圖係本創作另一實施型態之示意圖。

第8圖係本創作之動作示意圖。

第9圖係本創作夾持翻轉機構與籠狀架體之框條配合型態之立體圖。

請參閱第1至6圖所示，係本創作基板之翻轉設備較佳實施例，惟此等實施例僅供說明之用，在專利申請上並不受此結構之限制。所述之翻轉設備係包括：一設備主體10，具有立向延伸之一主架體11，該主架體10底部係設置有一著置部12；一籠狀架體20，係包括由縱、橫向間隔交錯排列之框條21所構成中空籠狀型態，該籠狀架體20之一側向係形成有開放端22，且該籠狀架體20內係設置有呈上、下間隔排列之多數組承載構件23，藉以能將多數組基板A由籠狀架體20之開放端22橫向置入，令各基板A承靠限位於每一組承載構件23之間而呈上、下間隔排列狀態；其中所述之承載構件23係包括設置於籠狀架體20框條21相異於開放端22 一側之多數支撐塊231以及上、下間配置且具有支撐柱232之多數橫架桿233所構成(請配合參閱第1、2圖所示)，其中各橫架桿233所設支撐柱232之間係呈上、下間隔相對狀態，構成當基板A置入籠狀架體20時，係使得該基板A其中一端面能抵靠於支撐塊231，並使該基板A表面能位於上、下間隔相對的支撐柱232間呈抵靠限位狀態；一升降輸送單元30，設置於該設備主體10預定位置處，係能載送該籠狀架體20並沿著主架體11作上升或下降動作；該升降輸送單元30實施上係包括具有多數滾動裝置31之一輸送台32以及用以驅動該滾動裝置31之驅動馬達33所構成，當驅動馬達33驅使滾動裝置31作動時，係能使該輸送台32進行輸送動作；一夾持翻轉機構40，設置於主架體11一預定高度位置處，構成當升降輸送單元30載送置入基板A的籠狀架體20上升至預定高度時，該夾持翻轉機構40係能夾持並帶動籠狀架體20翻轉一角度(此處請配合參閱3至5圖所示，該籠狀架體20係翻轉90°)，使基板A呈立置狀態後導送至後續加工流程處；且其中，當該籠狀架體20進行翻轉之過程中，該升降輸送單元30係先下降至一高度位置，待翻轉動作完成再度上升承接該籠狀架體20，以避免干涉情形；其中所述基板A之加工流程係包括進行薄化、塗佈、清洗或蝕刻至少其中一種加工流程者，此部分並不侷限；承上述結構設計，本創作主要係藉由該夾持翻轉機構40能帶動籠狀架體20進行翻轉動作之結構型態，以使每一組基板A於加工前皆呈間隔立置狀態，令後續進行加工時各基板A表面加工程度皆能均勻一致，故能改善習知基板加工前必須先由人力一一排列、立置基板A才得以進行後續加工流程等缺弊；相對而言，本創作無需如習知一般由人力進行翻轉基板A動作，因此能更進一步達到快速、節省人力以及大幅提升加工效果、加工效率與成品品質等產業實用效益。

請配合參閱第6至8圖所示，其中所述翻轉設備係能分別設置於基板A加工流程的前置及後置流程處(如第7圖所示)，進而區分為第一組翻轉設備50及第二組翻轉設備60，其中該第一組翻轉設備50係能將待加工之基板A翻轉呈立置狀態後導送至加工流程處進行加工，而該第二組翻轉設備60係接收加工完成之基板A並進行翻轉動作而使基板A呈橫置狀態，令作業人員能輕易的將加工完成之基板A取出(如第8圖所示)，藉此翻轉設備之配置型態，係能達到置入基板A、進行加工、取收基板A之一貫化流程作業，以大幅提升作業之便利性及加工效率。

另如第9圖所示，其中該夾持翻轉機構40係包括一驅動源41以及連結於該驅動源41一端之一旋轉座42，其中該旋轉座42係呈板體型態，且於該旋轉座42四邊角位置各設置有夾頭43，構成該籠狀架體20上升至預定高度，並使中心位置對應該夾持翻轉機構40時，係使得該旋轉座42之夾頭43能配合卡掣於籠狀架體20之框條21的交錯位置作夾持動作，藉由該驅動源41驅使旋轉座42翻轉作動(如標示箭號L1)，進而能連動該籠狀架體20同動翻轉。

功效說明：本創作所揭「基板之翻轉設備」主要係藉由設備主體、籠狀架體、升降輸送單元以及夾持翻轉機構所共構而成之獨特創新設計，使本創作對照先前技術而言，俾能藉由該夾持翻轉機構帶動籠狀架體進行翻轉動作之結構型態，以使每一組基板於加工前皆呈間隔立置狀態，令後續進行加工時各基板表面加工程度皆能均勻一致，以達到快速、節省人力以及大幅提升加工效果、加工效率與成品品質等產業實用效益。

上述實施例所揭示者係藉以具體說明本創作，且文中雖透過特定的術語進行說明，當不能以此限定本新型創作之專利範圍；熟悉此項技術領域之人士當可在瞭解本創作之精神與原則後對其進行變更與修改而達到等效目的，而此等變更與修改，皆應涵蓋於如后所述申請專利範圍所界定之範疇中。