TWM440437U - Spatial conversion module of high frequency probe - Google Patents

Description

M440437 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係與高頻測試訊號傳輸結構有關，更詳而言之是扑 一種高頻探針之空間轉換模組。 【先前技術】 以探針卡作為_測試機與—待測電子物之間的高頻測試 訊號傳輸介_技術雖已普紐使用。惟，該已知探針卡結構 經常面臨以下問題： 其-、受制於電子產品迷你化，且使用功能日趨增加的趨 勢’使得待測電子物的測試點間距（pitch)越來越*，相對造 成許多既有的探針卡結構難以再適用。 其二、如晶圓類之待測電子物’隨著其面積的加大（如十 -时超大型晶圓）’相對使得探針卡結構巾的電路板尺寸被放 大以承載更多的探針，惟大面積的電路板易因载重過多而有彎 曲（bending)之虞，致有檢測接觸不良的情形發生。 雖然在我國公告第M423836號「電路測試探針卡及其探 針基板結構」之新型專财’ f提出❹數導線暴露於一基板 主體上表面之間距，以大於導線暴露於該基板主體下表面之間 距的技術，期使探針卡可適用於測試點間距小的待測電子物檢 測用。且該專利技術中曾提及其導線可選用同轴線㈤㈣議 _dal eable) ’ _於如何解離抗__銳號傳輸品 3 質’該新型專利僅為一語帶過而無明確的技術揭露。 【新型内容】 有鏗於此，本創作之主要目的在於提供一種高頻探針之空 曰轉換拉組’係具體揭露可解決阻抗問題的結構，以確保高頻 訊號傳輸品質。 本創作之人要目的在於提供一種高頻探針之空間轉換模 組’係使得探針卡可_於檢靡距小的待難子物， 且使得多數探針的針尖可維持在同一平面。 緣以達成上述目的，本創作所提供高頻探針之空間轉換模 組包含有-上板、-下板、複數訊號線與—阻抗匹配結構。其 中，該上板具有複數個上穿孔；該下板與該上板保持固定距 離’該下板具有複數個下穿孔，且相鄰下穿孔之間距小於該上 板之相鄰上穿孔的間距；該些訊號線係互不接觸地設置於該上 板與該下板之間，各該訊號線具有兩端，且各別穿過一對應的鲁 上穿孔與一對應的下穿孔；該阻抗匹配結構包括有一接地線與 至少一導電單元，其中該接地線電性連接至接地電位該導電 單元與該訊號線電性隔離設置，且該導電單元與該接地線電性 連接。 其中’該空間轉換模組包括有複數絕緣層，各該絕緣層係 包覆一對應的訊號線，以使訊號線與導電單元電性隔離。 其中，該至少一導電單元的數量為複數個，各該導電單元

S 4 為圓官體且分縣設—對應的訊號線，每-®管體與-對應訊 號線之間具有一該絕緣層。 其中，該空間轉換模組包括有至少一導體’該導體位於該 上板與該下板之間，並連接該接地線與該些圓管體。 其中，上述導體為設置於該上板與該下板的至少其中之一 者之内表面的導電膠。 其中，該空間轉換模、組包括有一不具有導電性的膠體，該 膠體填充於該上板與該下板之間。 其中，上述導體為金屬膠或金屬粉。 其中，ό玄導電單元為填充於該上板與該下板之間的金屬勝 或金屬粉。 藉此，可確保訊號線的高頻測試訊號傳輸品質，且該空間 轉換模組為高雜針卡敝成之—時，可使得高聰針卡的多 數探針之_排觸距縮小化，以及使得彡麟針的針尖維持 在同一平面。 【實施方式】 為能更清楚地說明本創作，兹舉較佳實施例並配合圖示詳 細說明如后。 圖1所不為本創作第一較佳實施例之高頻探針空間轉換 模組10 ’其包括有-上板12、一下板14、一外框16、複數訊 號線18 '複數個銲塾2G、複數絕緣層22、—阻抗匹配結構、 M440437 二以導電膠28為例的導體與一膠體3〇，其中： 該上板12、該下板14與該外框16共同組合成一個具有中 空谷至的剛性體，且該上板12與該下板14之間保持固定距 離。該上板12具有複數個上穿孔12a，該下板14具有複數個 下穿孔14a，且相鄰下穿孔14a之間距小於該上板12之相鄰上 穿孔12a的間距。此外’該上板12、該下板14可以設計成包 含該外框16的部份，即該上板12、該下板14呈门字型共同 組合成一個具有中空容室的剛性體。 該些訊唬線18是以互不接觸的方式設置於該上板12與該 下板14之間，因該上板12的上穿孔12&間距大於該下板14 下穿孔14a的間距，使得訊號線18的兩端需以彎折方式製作 以便穿設-對應社穿孔12a與—對翻下穿孔⑷，且訊號 線18的兩端再各別與設置在該上板12及該下板14外表面的 -個銲塾20連結。而該些絕緣層22貝各別包覆一對應的訊號 線18。 雜抗匹配結構包括有一接地線24與複數個以圓管體26 為例的導電單元。其巾，接地線24的峨各射過—對應的 上穿孔12a與一對應的下穿孔Ha後，再分別與一個銲墊20 連結並電性連接至—接地電位；該些®管體26分別套設-對 應的訊號線18，且每管體26與-職訊號線18之間具 有該、邑緣層22 ’易言之’絕緣層22係使得訊號線18與圓 管體26呈電性隔離。各圓管體％的表面具有導電性質的結 6 構，例如金屬表面。 該-導電膠28為層狀結構且分別設置於該上板12與該下 板的内表面，其等同時連結並接觸著該接地線與各圓管 ^ % ’使得各圓管體26亦電性連接至接地電位。必須說明的 是’縱為單一導電谬28設置於該上板12或是該下板14的内 表面時亦可達成電性連接該接地線24與圓管體26的目的。 該膠體3〇為不具有導電特性，其填充於該二導電膠Μ之 間以支禮各該訊號、線18及該阻抗&配結構，並雜彼此不 易晃動。 以上即為“麵針之m轉換模組的各部結構敎 述。其使財式係安裝於—電路板與複數根探針之間（圖未 丁）月|J述電路板、空間轉換模组1〇及複數探針的組合即構成 -局頻探針。_設置在該上板12外表_數贿整⑽分 别與該電路㈣s峨接點及接地接點電輯接，以及設談 下板14外表面的數個銲墊2G分別與—對應的探針電性連接， 以達到電性傳輸目的。❿同時受制於該些上穿孔仏間距大於 下穿孔14a離的技術碰，使得該高雜針卡的多數探 針之間的排觸距縮小化，進—步地可義於檢酬試點間距 小的待測電子物。 上述每-訊號線18的外部皆套設一個圓管體％，且彼此 互為電性隔離的結構形_共_成—個_結構。在每一圓 官體26皆透過導電膠28而與接地線％連結並電性連接至接 地電位且於通電時’可對各訊號線18產生良好的阻抗匹配效 果，以確保每一訊號線18的高頻測試訊號傳輸品質良好，並 提高量測精準度。此外’訊號線18與圓管體26亦得為一個同 軸線體取代。 又，由於該上板12、該下板14與該外框16係共同組合成 一個剛性體，故不至於有超荷重而產生彎曲變形之虞，因此可 確保該空’換模組1〇下方所連結的乡數探針之針尖維持在 同一平面’以獲得良好的檢測接觸效果。 另請參_ 2所示’為本創作第二紐實補之高頻探針 空間轉換模組32，其具有相同上述第—較佳實施例之多數構 件，不同處在於： 本第二較佳實施例的空間轉換模組32並不具備有設置在 *亥上板12與該下板14内表面的該二導電膠28，而係以直接 注入金屬戰是金·於該上板12與訂板M之間的方式來 達到電性連接該接地線24及各圓管體26的目的。前述金屬膠 或疋金屬粉同時具有描及穩定各訊號線18與該阻抗匹配結 構之效，在本實施例中，是以金屬膠34為例作為該導體。 請續參_ 3解，林創作第三較佳實關之高頻探針 工間轉換模組36 ’其具有相同上述第二較佳實施例之多數構 件’不同處在於： 本第二較佳實施例的空間轉換模組36並不具備有套設在 訊號線18外部的圓管S 26，但保有絕緣層22來包覆訊^線 8再於6玄上板12與該下板14之間注入有以金屬膠或是金屬 粉為例的導f單元，_金鱗或是金屬粉來與接地線24接 觸並為電性連接至接地電位，崎減線18產生良好的阻抗 匹配放果’同時’金屬膠或是金屬粉具有穩定訊號線18與接 地線24之效。在本實施例中’是以金屬膠38為例作為該導電 單元。 圖4所示，為本創作第四較佳實施例之高頻探針空間轉換 杈組40’主要係改變電性連接至接地電位的結構設計，亦即， 本第四較佳實酬的高雜針空_觀組40之上板42與下 板44疋以具有導電性的金屬板製成，且該接地線％的兩端分 別與該上板42及下板44的穿孔内壁接觸，又，該上板犯與 下板44❺卜表面各設置—鱗層46，㈣避免峨線π及 接地線24因各該銲塾2〇直接與金屬板製成的上板^及下板 44接觸而形成不良的電性連接。 而在該上板42與下板44之間為金屬膠％ (或是金屬粉） 時’該訊號線18外部可如圖2所示之具備絕緣層22與圓管體 26或如圖3所不之僅具備絕緣層^而已；又當該上板幻與 下板44之間為不具有導電特性的膠體時，則訊號線α外部必 須具備絕緣層22顧管體26 ,利關管體％表面與金屬板 製成的上板42及下板44接觸而形成連接至接地電位，當然， 為確保良好的連接效果，亦可如圖i所示之藉由設置在上板 42與下板44内表_導電膠28而與接地線24連接。 M440437 以上所述僅為本創作較佳可行實施例而已，舉凡應用本創 作說明書及申請專利範圍所為之等效變化，理應包含在本創作 之專利範圍内。 M440437 【圖式簡單說明】 圖1為本創作第一較佳實施例之空間轉換模組的局部剖視圖； 圖2為本創作第二較佳實施例之空間轉換模組的局部剖視圖； 圖3為本創作第三較佳實施例之空間轉換模組的局部剖視圖； 圖4為本創作第四較佳實施例之空間轉換模組的局部剖視圖。 【主要元件符號說明】 10、32、36、40空間轉換模組 12上板 12a上穿孔 14下板 14a下穿孔 16外框 18訊號線 20銲墊 22絕緣層 24接地線 26圓管體 28導電膠 30膠體 34金屬膠 38金屬膠 42上板 44下板 46絕緣層

Claims (1)

1. M440437 六、申請專利範圍： 1、一種高頻探針之空間轉換模組，包含有： 一上板，具有複數個上穿孔； 一下板，雜該上祕制定轉，訂板具有複數個下穿 孔，且相鄰下穿孔之間距小於該上板之相鄰上穿孔的間距； 複數訊號線，係互不接觸地設置於該上板與該下板之間，各該 訊號線具有兩端，且各财過_對應的上穿孔與—對應的下穿 孔；以及 一阻抗匹配結構，包括有一接地線與至少一導電單元，其中該 接地線電性連接至接地電位，該導電料與該訊號線電性隔離: 置，且該導電單元與該接地線電性連接。 2、 如請求則所述高頻探針之空間轉換模組，包括有複數絕 緣層各U緣層係包覆—對應的訊號線，以使訊號線與導電單 元電性隔離。 3、 如請求項2所述高頻探針之空間轉換模組，其中該至少一 導電單元的數量為複數個’各該導電單it為圓管體且分別套設一 對應的訊號線’每一圓管體與一對應訊號線之間具有一該絕緣層。 4、 如請求項3所述高頻探針之空間轉換模組，包括有至少一 導體，該導體位於該上減該下板之間，並連接該接地線與該些 圓管體。 5、 如請求項4所述高頻探針之空間轉換模組，其中該導體為 設置於該上板與該下板的至少其中之—者之内表面的導電膠。 12 M440437 6、 如請求項5所述高頻探針之空間轉換模組，包括有一不具 有導電性的膠體，該膠體填充於該上板與該下板之間。 7、 如請求項3所述高頻探針之空間轉換模組，其中每一訊號 線與一對應圓管體係為一種同軸線體。 8、 如請求項4所述高頻探針之空間轉換模組，其中該導體為 金屬膠或金屬粉。 9、 如請求項2所述高頻探針之空間轉換模組，其中該導電單 鲁元為填充於該上板與該下板之間的金屬膠或金屬粉。 10、 如請求項1所述高頻探針之空間轉換模組，其中該上板與 該下板為金屬板。 11、 如請求項10所述高頻探針之空間轉換楔組，包括有二絕 緣層，分別設置在該上板與下板的外表面。 13