五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 [0001] 本創作係有關一種探針卡檢測裝置，尤指_種自動 檢測探針卡之接腳位置是否正確之裝置。 【先前技術】 [0002] 如第6圖所示，為習用之探針卡檢測裝置，於檢測 時可利用治具將探針卡定位在平台90上，此平台90 上具有模擬晶圓各個接腳塾的位置標示，藉由平台9 〇 上方之顯微鏡觀測器9 1觀測探針卡之接腳位置是否符 合各個接腳墊的位置，此時顯微鏡觀測器9丄所觀測到 的影像傳輸至電腦裝置92，並由顯示器93顯示所觀 測到的影像，檢測者若由顯示器9 3觀測出探針卡之接 腳位置與接腳墊之標示有誤者，便將探針卡由平台9 〇 取出至校正裝置調校接腳至正確位置β [〇〇〇3] 然而，以此探針卡檢測裝置觀測探針卡之接腳位置 時’必須將整個探針卡之所#接腳區分為多數個待測區 塊再一一檢視，而探針卡在觀測與調校時必須由不同裝 置進行，故須在不同裝置間拆裝探針卡，故除了調校動 作須雜之外，檢測者必須在檢測過程十記錄區塊檢測之 順序’若檢測人員在拆裝過程未謹慎的記錄者，則可能 造成某區塊被重覆檢測或遺漏檢測，前者造成檢測時間 的浪費及_效率不佳，後者則造成探針卡之 不穩定。 _]因此’如何解決習用探針卡檢測裝置之問題者，即 為本創作之重點所在。 表單編號Α0101 第3頁/共18頁 M418385 [0005] [0006] [0007] [0008] [0009] [0010] 表單編號A0101 【新型内容】 本創作之主要目的，在於解決上述的問題而提供一 種探針卡檢測裝置，令探針卡之接腳檢測更為準確，且 在校正時可達到快速及方便之功效。 為達前述之目的，本創作係包括： 一機台，此機台上具有一平台，此平台上設有一第 一滑台，此第一滑台上設有一第二滑台，該第一滑台與 第二滑台可在該平台上以二維座標系統之X軸與Y轴正 交平移，於該第二滑台上設一供受測之探針卡放置之固 定座； 一影像擷取單元，結合於一第三滑台，此第三滑台 可滑動地設於一佇立在該平台上的第一支架，令此影像 擷取單元可於該平台上縱向地滑動； 一控制單元，用以控制該第一滑台、第二滑台及該 第三滑台於平台上之滑動，且控制該影像擷取單元擷取 影像，並内建有一量測軟體，影像擷取單元擷取探針卡 所有接腳位置並以該量測軟體判斷接腳位置是否正確； 一觀測裝置，在校正探針卡之錯位接腳時觀測，包 含一移動結構及一顯微鏡觀測單元，該移動結構架設在 一佇立於該平台上之第二支架，且顯微鏡觀測單元隨移 動結構可在該平台上以二維座標系統之X軸與Y轴正交 平移。 本創作之上述及其他目的與優點，不難從下述所選 用實施例之詳細說明與附圖中，獲得深入了解。 第4頁/共18頁 [0011] M418385 [_ 當然、’本創作在某些另件上，或另件之安排上容許 有所不同，但所選用之實施例，則於本說明奎 曰τ 卞以 詳細說明，並於附圖中展示其構造。 【實施方式】 _ 請參閱第1圖至第5圖，圓中所示者為本創作所選 用之實施例結構，此僅供說明之用，在專利申請上並不 受此種結構之限制。 [0014]
本實施例提供一種探針卡檢測裝置，如第i圖所示 ，此探針卡檢測裝置包括一機台i、一影像擷取單元2 、一控制單元3及一觀測裝置4，其中： 如第1圖所示，該機台1上具有一平台1〇，此平 台1 0上設有一第一滑台1 i，此第一滑台丄i上設有 一第二滑台12，該第一滑台1 1與第二滑台12可在 該平台10上以二維座標系統之X軸與γ軸正交平移， 於該第二滑台12上設一供受測之探針卡放置之固定座 1卩〇
16J 如第1圖所示，該平台1 〇上設有二X轴導軌工〇 0，且平台1 〇於一侧樞設有一導螺桿i i，該第一 滑台1 1底部設有二滑座1 1 〇可滑動地設於該二X軸 導軌10 0，且第一滑台1 1於側向伸設一導引座1 1 1，此導引座1 1 1穿設於該導螺桿i 〇 i，且該導螺 桿1 Ο 1之一端設有一伺服馬達1 〇 2，以此伺服馬達 1 0 2驅動該導螺桿1 〇 1轉動，而使導引座1 1 1隨 導螺桿1 Ο 1轉動而在導螺桿1 〇 1上滑移，且第一滑 台11經該導引座111帶動於二維座標系統之X轴平 表單蝙號A0I01 第5頁/共18頁 M418385 移。 [0017] 如第1圖所示，該第一滑台1 1上設有二Y軸導執 112’且第一滑台11於一側框設有一導螺桿113 ’該第二滑台1 2底部設有二滑座1 2 0可滑動地設於 該二Υ軸導轨1 1 2，且第二滑台1 2於側向伸設一導 引座1 2 1 ’且該導螺桿1 1 3之一端設有一伺服馬達 1 1 4 ’以此伺服馬達1 1 4驅動該導螺桿1 1 3轉動 ’而使導引座121隨導螺桿113轉動而在導螺桿1 1 3上滑移’且經該導引座121帶動第二滑台12於 二維座標系統之γ軸平移。 [0018] 如第1圖所示，在該平台1 〇上佇立一第一支架1 4 第三滑台1 5設於該第一支架14，此第三滑台 1 5呈直立地設於該第一支架14，且第三滑台15可 於第一支架1 4上縱向的滑動，該影像擷取單元2結合 於此第三滑台1 5，故此影像擷取單元2可隨第三滑台 1 5於該平台上縱向位移。於本實施例中，該第一支架 1 4頂端設有一伺服馬達1 4 0，以此伺服馬達1 4 〇 帶動該第三滑台1 5縱向滑動》 [0019] 該控制單元3用以控制該第一滑台1 1、第二滑台 1 2及該第三滑台1 5於平台上之滑動，意即利用控制 單元3操控該伺服馬達1 〇 2、伺服馬達1 1 4及該伺 服馬達1 4 0的作動，而控制第一滑台丄丄、第二滑台 1 2及該第三滑台1 5之滑動行程。控制單元3並控制 該影像擷取單元2擷取影像，此控制單元3内建广量測 軟體，影像擷取單元2擷取探針卡所有接腳位置並以該 表單编號A0101 第6頁/共18頁 量測軟體判斷接腳位置是否正確。如第1圖所示，本實 施例之影像擷取單元2，所擷取之影像以一顯示器2 0 顯示。 [0020] 如第1圖所示，該觀測裝置4包含一移動結構40 及一顯微鏡觀測單元41，該移動結構40架設在一第 二支架1 6上，而此第二支架1 6佇立於該平台1 0上 ，且顯微鏡觀測單元4 1隨移動結構4 0可在該平台1 0上以二維座標系統之X軸與Y轴正交平移，藉此觀測 裝置4在校正探針卡之錯位接腳時觀測。 [0021] 如第1圖所示，本實施例之移動結構40包含一 X 轴滑執400、一Y軸滑軌401、一第四滑台402 及一第五滑台4 0 3，該X軸滑執4 0 0設於該第二支 架16頂端，該第四滑台40 2設於X轴滑軌4 0 0上 ，γ軸滑軌4 Ο 1設於第四滑台4 0 2上，而第五滑台 4 0 3設於此Y軸滑軌4 0 1上，該顯微鏡觀測單元4 1裝設在第五滑台403之前端，於該第五滑台40 3 於鄰近該顯微鏡觀測單元4 1設有二握柄4 0 4。 [0022] 本實施例之探針卡檢測裝置於操作時，使用者先將 探針卡5以固定座1 3固定，透過控制單元3控制該伺 服馬達1 0 2而使第一滑台1 1於X軸平移、控制該伺 服馬達1 1 4而使第二滑台1 2於Y軸平移及控制該伺 服馬達1 4 0而使第三滑台1 5縱向地滑移，而令該探 針卡5移動至該影像擷取單元2的下方。當探針卡5定 位於檢測之預備位置後，開始將探針卡5之所有接腳5 0區分出多數個如第2圖所示之待測區塊A，藉由控制 表單編號A0101 第7頁/共18頁 M418385 [0023] [0024] [0025] 單元3記錄被定義出的多數個待測區塊A，並以内建正 確位置資料開始對待測區塊A自動檢測探針卡5之接腳 5 0位置，直至所有的區塊皆檢測完成後停止，此時可 由該顯示器2 0顯示出該影像擷取單元2所擷取之影像 〇 當探針卡5之接腳5 0與該正確位置資料比對，而 在區塊A中發現如第2〜3圖所示位置錯誤之接腳5 0 ’時，便可如第4圖所示，透過控制單元3直接控制該 第一滑台11於X軸上平移至該顯微鏡觀測單元41下 方，此時檢測者便可手握該二握柄4 0 4，而藉由第四 滑台4 0 2的X軸位移，及第五滑台4 0 3的Y軸位移 ，帶動該顯微鏡觀測單元41觀測該探針卡5之接腳5 0位置錯誤之處，使位置錯誤之接腳5 0被顯微放大， 檢測者便可如第5圖所示，利用工具6將該位置錯誤之 接腳5 0校正至正確位置。 故由上述之說明可見本創作之優點，在於 1、利用控制單元3控制第一滑台1 1、第二滑台 12及第三滑台15的位移，並控制影像擷取單元2擷 取探針卡5之接腳5 0影像，並由控制單元3内建之正 確位置資料判斷受測探針卡5之接腳5 0位置是否正確 ，透過控制單元3自動化程式判斷探針卡之接腳位置， 而避免人為檢測的錯誤發生，故檢測之正確性相對地更 為準確。 2、若探針卡5之接腳5 0位置錯誤時，檢測者可 透過控制單元3控制該第一滑台1 1平移，而直接將探 表單編號A0101 第8頁/共18頁 [0026] 針卡5平移至顯微鏡觀測單元4 1下方，便可由顯微鏡 觀測單元4 1觀測位置錯誤之接腳50，並將接腳50 校正回正確位置，非如習用之檢測裝置必須將探針卡拆 下，再於校正設備上安裝調校，故本創作之探針卡檢測 裝置於探針卡5之接腳5 0校正時，可達到快速及方便 之功效。 [0027] 以上所述實施例之揭示係用以說明本創作，並非用 以限制本創作，故舉凡數值之變更或等效元件之置換仍 應隸屬本創作之範疇。 [0028] 由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本創作 的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出 專利申請。 【圖式簡單說明】 [0029] 第1圖係實施例之立體外觀構造圖。 [0030] 第2圖係實施例之探針卡以部分接腳為檢測區塊之示意 圖。 [0031] 第3圖係第2圖之區塊A放大示意圖。 [0032] 第4圖係實施例之探針卡隨第一滑台平移至顯微鏡觀測 單元下方後定位之示意圖。 [0033] 第5圖係實施例之探針卡之接腳調校示意圖。 [0034] 第6圖係習用探針卡檢測裝置之結構示意圖。 【主要元件符號說明】 [0035] (習用部分） 表單編號A0101 第9頁/共18頁 M418385 [0036] 平台9 0 [0037] 電腦裝置9 2 [0038] (本創作部分） [0039] 機台1 [0040] X軸導軌1 0 0 [0041] 伺服馬達1 0 2 [0042] 滑座1 1 0 [0043] Y軸導軌112 [0044] 伺服馬達114 [0045] 滑座1 2 0 [0046] 固定座1 3 [0047] 伺服馬達1 4 0 [0048] 第二支架16 [0049] 顯示器2 0 [0050] 觀測裝置4 [0051] X軸滑軌4 0 0 [0052] 第四滑台4 0 2 [0053] 顯微鏡觀測單元4 [0054] 接腳5 0 [0055] 工具6 表單編號A0101 顯微鏡觀測器9 1 顯示器9 3 平台1 0 導螺桿1 0 1 第一滑台1 1 導引座1 1 1 導螺桿113 第二滑台12 導引座1 2 1 第一支架14 第三滑台15 影像擷取單元2 控制單元3 移動結構4 0 Y軸滑軌4 0 1 第五滑台4 0 3 1 探針卡5 接腳5 0’ 第10頁/共18頁