CN108955517A - 探针卡自动检测与校正方法及装置 - Google Patents

Abstract

一种探针卡自动检测与校正方法，其包括有：以一量测部辨识探针卡的各脚位的位置；比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；计算错误脚位的位置与标准位置的位移向量；将探针卡输送至一校正部，其中校正部具有一工作位置，而探针卡的错误脚位被直接输送至校正部的工作位置；以校正部控制错误脚位，并通过输送部与校正部之间依上述位移向量的相对移动进行错误脚位的校正；校正完成一个错误脚位后，下一个错误脚位被直接输送至工作位置。此外，本发明还提供一种探针卡自动检测与校正装置。

Description

探针卡自动检测与校正方法及装置

技术领域

本发明与探针卡的检测有关，特别指一种自动检测及校正探针卡的装置及方法。

背景技术

本案申请人先前曾就探针卡的检测方法及应用该方法的装置申请为中国台湾发明专利I525327号。该专利的技术内容揭露有一检测装置，其包括有一工作平台，该工作平台上设有一量测部、一校正部及一输送部，而待测的探针卡先经由该量测部辨识并标示出错误脚位，再通过该输送部将探针卡移动至该校正部处，接着利用该校正部校正该错误脚位，过程中无须拆装探针卡，而具有节省时间且提升检测准确行的优点。

然而上述现有装置中，该校正部仍须以人工操作，因而除了机器的维护成本以外，尚须支出人力成本，相对地压缩商业上的利润空间。有鉴于此，开发一种可兼顾自动化检测及校正的探针卡检测装置及方法即为本发明所欲解决的首要课题。

发明内容

本发明目的之一在于提供一种探针卡检测方法及装置，其利用量测部对探针卡进行检测，进而标记出位置偏离的脚位，再将所标记的脚位直接输送至校正部进行校正，藉以缩短检测及校正的时间，提升工作效率。

本发明目的之二在于提供一种探针卡检测方法及装置，使探针卡的检测及校正工作形成自动化作业，藉以降低成本进而提高获利。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：

一种探针卡自动检测与校正方法，它包括:

以一量测部辨识一探针卡的各脚位的位置；

比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；

若前述二者具有偏差，则将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；

以一计算单元计算该错误脚位的位置与该标准位置的差距的一位移向量；

以一输送部将该探针卡输送至一校正部；其中该校正部具有一工作位置，而该探针卡的错误脚位被该输送部直接输送至该工作位置；

以该校正部控制该错误脚位，并通过该输送部与该校正部之间依该位移向量的相对移动进行该错误脚位的校正；

该探针卡的一个错误脚位校正完成后，下一个错误脚位被该输送部直接输送至该校正部的工作位置。

在一个实施例中，所述错误脚位的校正是由所述输送部依所述位移向量带动所述探针卡移动而达成。

在一个实施例中，若所述探针卡的脚位的位置与所述标准位置出现偏差，且偏差超出公差值，则将此脚位标记为一错误脚位。

在一个实施例中，所述标准位置由一于所述量测部中预先建置的教导档提供，包括有各脚位的位置及高度资讯。

在一个实施例中，更包括：所述探针卡的错误脚位校正完成后，将该探针卡送回所述量测部重行检测，且仅对先前被标记的错误脚位进行检测。

一种应用上述的探针卡自动检测与校正方法的探针卡自动检测与校正装置，它包括：

一工作平台，其设有一立柱，该立柱设有一可沿高度方向移动的滑块；

一量测部，其设于该滑块上；该量测部包括有一影像撷取单元及一影像比对单元，其中该影像撷取单元用以撷取一探针卡的影像，而该影像比对单元内建一包含该探针卡各脚位的标准位置的教导档，该影像比对单元依该影像辨识该探针卡的各脚位；该量测部更包括有一标示单元及一计算单元，其中该标示单元用以标记该探针卡的脚位的位置，该计算单元用以将各脚位的位置与该标准位置比较，并计算二者投影于该工作平台上的差距的一位移向量；

一校正部，其设于该滑块上；该校正部设有一控制件，其可随该滑块产生沿高度方向的位移，用以控制该探针卡的脚位；该控制件于该工作平台上对应有一工作位置；

一输送部，其设于该工作平台上；该输送部设有一载台，用以承载该探针卡；该输送部可带动该载台沿该工作平台进行二维方向的位移，以将该探针卡被该标示单元标记的位置直接输送至该工作位置，且该输送部与该校正部之间可依该位移向量产生相对移动，以校正该探针卡的脚位。

在一个实施例中，所述工作平台设有光学尺，以产生所述标示单元所标记的位置的坐标，并利用此坐标令所述输送部将所述探针卡被该标示单元标记的位置直接输送至所述校正部的工作位置。

本发明的有益效果是：本发明探针卡检测方法及装置，其利用量测部对探针卡进行检测，进而标记出位置偏离的脚位，再将所标记的脚位直接输送至校正部进行校正，藉以缩短检测及校正的时间，提升工作效率，另外，使探针卡的检测及校正工作形成自动化作业，藉以降低成本进而提高获利。

附图说明

图1为本发明的方法的流程图。

图2为本发明的装置的立体示意图。

图3为本发明的装置的架构方块示意图。

图4为具有错误脚位的探针卡的示意图。

图5为本发明的装置校正探针卡的使用状态示意图。

具体实施方式

请参阅图1，所示者为本发明提供的探针卡自动检测与校正方法，本方法是以一探针卡自动检测与校正装置实施，该装置如图2、图3所示，其包括有一工作平台1，且在工作平台1上设有一立柱12，其中该立柱12设有一可沿高度方向移动的滑块13，且该滑块13上设有一量测部2及一校正部4。该量测部2包括有一影像撷取单元21及一影像比对单元22，其中该影像撷取单元21正对该工作平台1，用以撷取探针卡5的影像，而该影像比对单元22设于该量测部2中，其内建有一包含探针卡各脚位的标准位置的教导档，包括有各脚位的位置及高度资讯，而该影像比对单元22依该影像撷取单元21所撷取的影像辨识该探针卡5的各脚位的位置。据此，该影像比对单元22可将各脚位的位置比对于该教导档，进而辨识各脚位的位置是否出现偏差；其中关于各脚位的位置可通过观察影像中的各脚位是否偏离于教导档中的标准位置而得，而关于各脚位的高度则可通过观察影像中的各脚位是否位于影像对焦的焦点判定。例如图4所示，在此探针卡5的A区块中有一偏离于标准位置的脚位(以下称为错误脚位51)，此脚位51可通过该影像比对单元经比较于教导档而辨识出来，俾利于后续的校正作业。

承上，该量测部2更包括有一标示单元23，用以标记探针卡5的脚位的位置。在本发明中，该标示单元23针对被该影像比对单元22辨识为错误的脚位进行标记。在本实施例中，该工作平台1设有光学尺11，用以产生该标示单元23所标记的位置的坐标，其中该工作平台1上设有沿相互垂直且定义为X轴及Y轴延伸的两个光学尺11，分别产生此两个轴向的坐标资讯，而该错误脚位的坐标被该标示单元23所记录。

此外，该量测部2又设有一计算单元24，该计算单元24用以将被该影像比对单元22辨识为错误的脚位的位置与该标准位置比较，并计算二者投影于该工作平台1上的差距的位移向量。如图4所示，该计算单元可计算该错误脚位51与标准位置的位置差距，而得一位移向量D。

另一方面，该校正部4设于该滑块13上，且该校正部4设有一用以控制探针卡5的脚位的控制件41，其可随该滑块13产生沿高度方向的位移。该控制件41的尖端具有可抵接探针卡5脚位且可对其形成控制的结构，并在该工作平台1上对应有一工作位置。

再者，该工作平台1上设有一输送部3，该输送部3设有一用以承载探针卡5的载台31，而该输送部3可带动该载台31于该工作平台1上进行沿X轴及Y轴的二维方向的位移，藉此带动该载台31上的探针卡5在该量测部2与该校正部4之间移动。在本实施例中，标示单元23于探针卡5上标记出错误脚位并记录其坐标后，该输送部3即利用此坐标将探针卡5被标记的位置直接输送至该校正部4的工作位置，令该校正部4可立即对该错误脚位进行校正。

而本发明的探针卡检测方法应用上述装置，其步骤如图1所示，包括有：

将探针卡置于载台上，并移动至量测部处；

以影像撷取单元撷取探针卡的影像，且以影像比对单元加以辨识探针卡的脚位的位置；

以标示单元针对各个位置偏离于标准位置的脚位进行标记；

以计算单元计算偏离的脚位与标准位置的差距的位移向量；

以输送部将载台上的探针卡输送至校正部；其中输送部将探针卡被标示单元标记的位置直接输送至该校正部的工作位置；

以该校正部控制该错误脚位，并通过该输送部与该校正部之间依该位移向量的相对移动进行该错误脚位的校正；

以输送部将探针卡被标示单元标记的另一个位置直接输送至该校正部的工作位置，并以校正部校正被标记的脚位。

在本实施例中，上述检测方法于开始进行之前，更包括先在量测部输入关于探针卡脚位的标准位置的教导档，以作为影像比对单元的比对基础，藉此在后续撷取待检测的探针卡的影像后，由该影像比对单元将其比对于该教导档，进而辨识探针卡的脚位的位置是否出现偏差，若有如图4所示出现错误脚位51的情形，则该标示单元即加以标记。其中更进一步地界定，该标示单元针对各个位置偏离于标准位置且超出公差值的脚位进行标记，再通过输送部输送至校正部加以校正。而当该标示单元标记出错误脚位后，将记录其位置，其中在本实施例中可通过光学尺产生该位置的坐标资讯，而该输送部即利用此坐标将探针卡被标记的位置直接输送至该校正部的工作位置，令该校正部可立即对该错误脚位进行校正。

上述探针卡的脚位的校正如图5所示，其是利用该输送部3将该探针卡5的错误脚位51移动至该校正部的工作位置后，该滑块带动该控制件41往下移动，使该控制件41抵接该错误脚位51并加以控制，接着通过该输送部3与该校正部4之间依该位移向量D的相对移动进行该错误脚位51的校正；在本实施例中，是由该输送部3依该计算单元计算该错误脚位51与标准位置的差距的位移向量D带动该载台31及该探针卡5移动，而该校正部4的控制件41不动，藉以相对地扳动该错误脚位51，使其回到标准位置而完成校正。

接着，上述的检测方法于校正部对探针卡的脚位进行校正后，更包括有以输送部将探针卡输送至量测部重行检测的步骤，其中此步骤仅对探针卡先前被标示单元标记的脚位进行检测，藉此可缩小检测范围以缩短检测所需的时间，且同时兼顾检测结果的正确性。而本方法将持续循环地进行，直至探针卡上已无错误脚位被标记出来，即可完成探针卡的检测。

Claims (7)

1.一种探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，它包括：

以一量测部辨识一探针卡的各脚位的位置；

比对上述各脚位的位置与一标准位置，判断二者的偏差情形；

若前述二者具有偏差，则将出现偏差的脚位标记为一错误脚位；

以一计算单元计算该错误脚位的位置与该标准位置的差距的一位移向量；

以一输送部将该探针卡输送至一校正部；其中该校正部具有一工作位置，而该探针卡的错误脚位被该输送部直接输送至该工作位置；

以该校正部控制该错误脚位，并通过该输送部与该校正部之间依该位移向量的相对移动进行该错误脚位的校正；

该探针卡的一个错误脚位校正完成后，下一个错误脚位被该输送部直接输送至该校正部的工作位置。

2.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，所述错误脚位的校正是由所述输送部依所述位移向量带动所述探针卡移动而达成。

3.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，若所述探针卡的脚位的位置与所述标准位置出现偏差，且偏差超出公差值，则将此脚位标记为一错误脚位。

4.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，所述标准位置由一于所述量测部中预先建置的教导档提供，包括有各脚位的位置及高度资讯。

5.依权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法，其特征在于，更包括：所述探针卡的错误脚位校正完成后，将该探针卡送回所述量测部重行检测，且仅对先前被标记的错误脚位进行检测。

6.一种应用如权利要求1所述的探针卡自动检测与校正方法的探针卡自动检测与校正装置，其特征在于，它包括：

一工作平台，其设有一立柱，该立柱设有一可沿高度方向移动的滑块；

一量测部，其设于该滑块上；该量测部包括有一影像撷取单元及一影像比对单元，其中该影像撷取单元用以撷取一探针卡的影像，而该影像比对单元内建一包含该探针卡各脚位的标准位置的教导档，该影像比对单元依该影像辨识该探针卡的各脚位；该量测部更包括有一标示单元及一计算单元，其中该标示单元用以标记该探针卡的脚位的位置，该计算单元用以将各脚位的位置与该标准位置比较，并计算二者投影于该工作平台上的差距的一位移向量；

一校正部，其设于该滑块上；该校正部设有一控制件，其可随该滑块产生沿高度方向的位移，用以控制该探针卡的脚位；该控制件于该工作平台上对应有一工作位置；

一输送部，其设于该工作平台上；该输送部设有一载台，用以承载该探针卡；该输送部可带动该载台沿该工作平台进行二维方向的位移，以将该探针卡被该标示单元标记的位置直接输送至该工作位置，且该输送部与该校正部之间可依该位移向量产生相对移动，以校正该探针卡的脚位。

7.依权利要求6所述的探针卡自动检测与校正装置，其特征在于，所述工作平台设有光学尺，以产生所述标示单元所标记的位置的坐标，并利用此坐标令所述输送部将所述探针卡被该标示单元标记的位置直接输送至所述校正部的工作位置。