TWM369539U - Classification system having initially inspected and qualified transferring shunt device for solar wafer - Google Patents

Description

M369539 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本=係關於一種半導體晶圓檢測機台’特別是一種 ^有初檢合格太陽能晶圓_分流裝置之分⑽統的機 【先前技術】 出的ΐίΐίϊ之開發當紅’將太陽之光能轉換為電能輸 ;效率等實質性能外，買方更因美觀因素而要求整⑵ ，配^需-致等條件。使縣類等玉作之職益增，、因 二測輸出及分類之效率，即成為自動化檢測 機口力求百尺竿頭、更進一步的重點。 —組成太陽能板主要之部件為太陽能石夕晶圓，如圖^斤 二’圖中左侧呈現太陽能梦晶圓！之受光面，以下稱為第 面12、右側呈現者為太陽能矽晶圓〗翻轉〗度之 下稱為第二面14。為將光電流導出，太陽能石夕晶 ，1之第一面12與第二面14分別佈設有電極122、142 ; 大此，太陽能矽晶圓1之兩面均需受到檢驗。 ，參照^ 2 台申請人所採用，依序進行檢測 ，、刀類的太陽能晶圓檢測機台2，其運作方式先由一 ，器71將晶圓取出，經光學影像晶= =極之第二_，再樞轉一個預定角度(例如卯度)將晶 置於設計在對應光學影像娜H 72 _定角度之傳 ί 9、置3 藉傳送裝置21輸送至其他例如顏色檢測裝 2、厚度檢測裝置93等，以檢測晶圓之部分特性， 由分類系統之汲取裝置22從傳送裝置21上汲取檢測完畢 之晶圓，並依檢測結果分門別類的放置到不同的承載裝置 ^内。當各個承載裝置8内的晶圓達到—個預定數量；^ θ停機並由工作人員取下該承載裝置8並置換一個空 载裝置8。 ^ 3 M369539 然而’當分類完成之太陽能晶圓需取出以 _ 時，將被迫全機暫停，無論前端檢測效率有多言，=包裝 配合暫停’尤其每-色階之數目不-’可能才必 放深藍色晶圓類別之承載裝置，重新運作不多久，出置 紫色晶圓爆滿而需停機。目前業者認同此種狀又面臨 之時間損耗，但對分秒必爭之電子產業而言，訾^不得已 之產能延宕與時間浪費。 不必要 ,更進一步檢視可發現，實際分類時，最常被 之類別竟然大致符合80/20法則。亦即，依照 „素’最常被檢^歸類為合格之頭幾^m 大之百分比例，即最頻繁出現的兩、三種分類，f極 ===?成以上’而較冷門之多數晶圓類別^僅= ^體的極。尤其以f知之方式逐—檢測後 义 裝置，難免消耗不必要的檢測資工 翻+ = ’若能提供—種可搭配檢_統或機台，可隨分 行?組化擴充、針對特殊需求再次分類並不節省 【新型内容】 本創作之目的，在提高晶圓檢測速度，致 ίΐΐίΐ在初檢後符合本次檢驗標準者快速_ i進 步驟’錢太多停滯時間等待不合格 捕殊日日Η由傳送裝置取下，提高分類效率。 接於目的，係提供—種自動化、可模組化銜 接於現有檢測機台之分類系統。 置之創作之具有初檢合格太陽能晶®轉分流裝 之刀類系統’係供以複數合格晶圓承載裝置承載該等初 4 M369539 ίίϊϊίΐ晶圓’並以複數未合格晶圓承載裝置承載該 置、曰圓η ^含：一個形成有複數承載位 之該等 ^曰I a具有-個合格晶JJJ輸出位置 ittr個與該傳送方向夾-歧排列及移動上^复 ΐ二ir®承聽置’且分卿成有—個合格晶圓承載裝 置i、應位置、一個合格晶圓收納位置、及一個 2 置移出位置之供應收納襞置;及一 k ; 格晶圓收納位置之合格晶圓= ㈣:述構，本創作所揭露之分類系統可於檢 檢測項目（例如刮痕、水痕、白 ^、、斷線、髒π、對位偏移及電氣性能等）後，淘汰 測速度提升並避免不必要之檢測資 【實施方式】 ^本新型之前述及其他内容、特點與功效 考圖式之較佳實關的詳細朗，將可以清楚的^ 個圖3及圖4 ’例釋本創作之分類系統3,包含： 轉應收納裝置 與該傳送方向夾一角度(例如9〇度)二以二二 M369539 個合格晶圓承載裝置供應位置511、一個合格晶圓收納位 置53’、一個滿載之合格晶圓承載裝置移出位置55，，供放 置複數合格晶圓承載置8,並移動之。 、當傳送帶62’從左向右傳送太陽能晶圓，使其進入檢 測系統6’接受如破片、髒污、電氣性能或厚度量測等一般 必要’檢測後，輸送晶圓使其進入該分類系統3，。而銜接 檢測系統6f沿該傳送方向承接晶圓的傳送汲取裝置4,即依 ' 照檢測系統6,的檢測結果，將有破損、髒污、電氣性能不 佳或厚度不符等未達到一般必要之檢測標準、列為不合格 圓二以沿著傳送方向夾一角度(例如垂直)汲取，即朝 沿著傳送方向、設置在基座3〇’兩側邊的承載裝置8，垂直 移動，並依不符合規格之次分類項目分門別類置入兩旁的 不合格晶圓承載裝置8,中。 此|時，剩餘未被汲取的晶圓則定義為經初檢合格，續 由傳送汲取裝置4’傳送至其端部的合格晶圓輸出位置 49’’由樞轉分流裝置7，進行進一部的檢測分類。為便於說 ，起見，本實施例中係例釋本次進一部分類標準為太陽能 晶圓之第二面的佈局，當佈局符合某一預定標準範圍為本 例中所謂合格，其他例如有刮痕、偏斜等，則再進一 '別區隔為不合格次分類。 請一併參照圖5，本實施例之樞轉分流裝置7，包含一 個光學影像擷取器72,、一個樞轉汲取器71，；該樞轉汲取 器71具有一個可沿一樞軸方向旋轉並擁有四個旋轉臂之 樞轉組件711’、四組設置於旋轉臂的吸嘴712,。當然，熟 於此技術者可輕易理解，樞轉分流裝置7，當可任意^置;^ 種檢測儀器，且其樞轉組件711，及吸嘴712，之造g以 對配置方式可依需求而做調整。 而該樞轉組件711，運作時以順時針方向旋轉，依序利 用巧吸嘴712’吸取初檢合格之太陽能晶圓（圖未示）朝上 的第一面，旋轉約9〇度至光學影像擷取器72，上方，經進 M369539 的曰圓的第二㈣像後’若是符合本次進-步 置53,上H 晶圓置放在位於合格晶圓收納位 果為到傷或經光學影像擷取器72’檢測結 '，、’再再順時針方向旋轉約180度，將 fi區隔為不合格次分類的承载裝置8,内。 位於；it統的供應收納裝置進-步如圖6所示，當 ' 口乂 δ格晶圓收納位置53'之承.驻要 後，該滿載之承載裝置即载裝置滿载合格晶圓 裝置移出位/5f裝彳t至滿载之合格晶圓承载 置55,的收内^：^2之合格晶圓承載裝置移出位 到某一程度後載裝置填滿或填充 載之合格晶圓:二便繼續收納下-㈣ 袼晶圓承载= 自動遞補-個空的合 該樞轉分流裴置繼續^置之=晶圓收納位置53.供 被移^於==格J分^^裝置是從機台尾端 亡層承置係供樞轉組;=戶 =兩層配置， 用，彼此不相衝穿.介., 俏兄工的承載裝置之 而補充空盤時，不合麥塑機作人員移除滿載承載裝置 為最頻繁出作，使得機台不需要 率，從而提升產線整體產出^文率大巾田度提升產品輸出速 准以上所述者，僅為本創 不能以此限定本創作實施作之祕實施例而已’當 專利範圍及創作說明書内5即J ^凡依本創作申請 飾，皆應仍屬本創作^利涵蓋之^^單的等效變化與修 M369539 【圖式簡單說明】 圖1係太陽能晶圓第一面與第二面之示意圖。 圖2係習知之太陽能晶圓檢測機台。 圖3係本創作第一較佳實施例的側視圖。 圖4係圖2分類系統的俯視圖。 圖5係樞轉分流裝置示意圖。 圖6係圖2分類系統& 【主要元件符號說明】 1…晶圓 12…第一面 14...第二面 122 ’ 142...電極 2…太1½能晶圓檢測機台 21…傳送裝置 22…汲取裝置 3'…分類系統 3〇’…基座 4’···傳送没取震置 49…合格晶圓輪出位置 5'...供應收納裝置 5Γ…合格晶圓承载裝置供 應位置 應收納裝置測試示意圖。 53…合袼晶圓收納位置 55’...滿载之合格晶圓承載 裝置移出位置 & ••檢剛系統 62'...傳送帶 7’…樞轉分流裝置 71、 7Γ...樞轉汲取器 711’...樞轉組件 712’…吸嘴 72、 72'...光學影像擷取器 8，8'·..承載裝置 92…顏色檢測裝置 93...厚度檢測裝置

Claims (1)

1. M369539 六、申請專利範圍： 1.2 ί ί初檢合格太陽能晶圓柩轉分流裝置之分類系統， 在該分類系統甲，係供以複數合格晶圓承載裝置承載 合格太陽能晶圓，並以複數未合格晶圓承載裝置 承載该等初檢未合格太陽能晶圓，包含： 一個形成有複數承載位置、供置放該等未合格晶圓承載裝 置而承接該傳送汲取裝置釋放之該等未合格太陽能晶 ' 圓的基座； ' 一組設置於該基座、供沿一個傳送方向傳送該等太陽能晶 圓二並沿一個與該傳送方向夾一角度之汲取方向汲取 初檢未合格的太陽能晶圓，且具有一個合格晶圓輸出 位置之傳送汲取裝置； 一組供沿一個與該傳送方向夾一角度排列及移動上述複 數合格晶圓承載裝置，且分別形成有一個合格晶圓承 . 載裝置供應位置、一個合格晶圓收納位置、及一個滿 載之合格晶圓承載裝置移出位置之供應收納裝置；及 一組在對應該初檢合格晶圓輸出位置、及對應該合格晶圓 ，納位置間樞轉，並由該初檢合格晶圓輸出位置將該 等初檢合格太陽能晶圓吸附搬移至該合格晶圓收納位 置之合格晶圓承載裝置中的樞轉分流裝置。 2. 如申明專利範圍第1項之分類系統，其中該樞轉分流裝置 包括一組供吸取、釋放該等晶圓、並沿一個樞軸樞 轉汲取器。 3. 如申請專利顧第2項之分_統，其巾馳轉分流襄置 更包括一組用以擷取被該樞轉汲取器吸取之晶圓 ^ 料之光學影像擷取器。 豕貝 4. 如申請專職圍第2項之分類系統’其巾雜觀取器包 含： ° 一組樞轉組件； 複數個延伸自該樞轉組件、分別供吸取該等晶圓之吸嘴。