M312404 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係關於一種搬運手臂結構，特 之 組’於加熱製程中之位移以及剝離動作，二應用 有效搬運，並呈有，&、步θ 4生、# ，、 自動化 I/、頁快速且精準定位之功效。 :先前技術】 ===:、焊接、切削、組裝等具困難、危險或 精確地完成各種行程、定位、傳動、 機^手臂機=曰mm·" _#大的成效。 產聿，直產…二成本、低生命週期且附加價值極高的 製造上弋二7Γ定度及要求亦相對較高標準’特別是於 易掌押II豐期長且產品良率易受生產環境影響而不 可，：因::界！朝向以機械手臂替代人力藉以降低人為不 錢個晶圓的製晶片被污染的機會’因而降 u71作¥間、成本與提高良率等功能。 且，且在组晶圓搬運機械臂之氣動彎曲夾 4供—機械臂之—機械腕，明械性地將—工部夾 =與該機械臂接附之一工部處理組件，其中該晶圓夹二 擇'…足夠的力，以固定住工部，並因而能避免工部在❹ 旋轉及線性移動時造成滑動或破壞。配合_固定： 明圓用之夾具利用—f曲組件將晶圓固以—定位置上 "立子產生及晶圓破壞降至最低。該夾具被設計成能在該工部處 M312404 理組件靠近完全伸出之時忐 -起。亦可利用一充 DXB日0，以進行晶圓之傳送及拾 在該工部處理組件處於或靠近；::且件，以使該彎曲組件 移離該晶圓。 次罪近凡王伸出之位置時往外並往後 另有一種具搬運功能之機械 〇92133623號發明專利 r"手H如國内第 r ,甘七/ 揭路之模内貼標標籤取/置設備 (一）」，其主要係將機械丰#社 罝又爾 構且有-機Η年眢“ #、'°構應用於貼標籤製程中，該結 構”有_手臂係由電腦數值控 乾固定座可為成品取出裝置及取/置桿籤η固疋座， 座設-橫向滑槽，·一成品取出装置，=虞置:置，及該固定 盤自模具中取出塑膠品；一取^一吸盤，利用該些吸 該活塞之桿部並盘一移動臂卜…置，係設有-活塞， 座之橫向滑槽及二:移動臂兩端則設於該固定 氣裝置驅動吸、放標鐵，再二;有置1 广藉以可 ^ 丹將祕鐵置入成型模且中。 由於機械手臂結構攸關晶圓各製程中所需要的 銜接流暢’才能發揮完整地產能效益，因此於設計上必 關各設備機台的功能、動作、相容性、及位置等因辛予以考量. 本創作則針對晶圓之加熱製程中㈣運及義動作，而提供一’ 可有效地且精確地完成與動作聯結之機械手臂結構。，、 按，習知晶圓加熱製程中’請參閱圖五所示，其主要係將 以-底盤⑽及一晶圓⑽共同組成之一晶圓組⑽，放置於 -加熱爐⑽上進行加熱，且—方面需利用一靜電風扇予以消 除靜電；而此一製程則具有將晶圓組（83)由前置區將其移動至 该加熱爐⑽’然後放置於加熱爐⑽上，再由加熱爐⑽ 上將該晶圓組⑽夾持後，移開至―承接區，最後使該底盤⑽ 與晶圓（82)相互剝離等動作’才完成此一加熱製程；以習知技 M312404 術而吕’係以透過一吸筆（85)吸引該底盤（81)，再以人力脫拉 方式將該底盤（81)使其移至承接區，藉由人力的移動達到該底 盤（81)脫離該晶圓（82)。 惟’各标作者之施力大小與拖拉速度均不同，重現性低， =搬運及剝離晶圓過程中，常會因人為疏失，而造成晶圓產生 衣痕與部份晶圓脫落之情形，導致不良率以及生產成本提高， 再者L猙電風扇的設置離加熱爐有一段距離，亦離晶圓較遠， 以致消除#電之效果較差；故本案創作人認為其技術上仍有可 改"之卫間，故針對此一加熱製程之搬運、剝離動作以及靜電 消除的問題’提供_機械手臂結構使其製程操作上及應用上作 進一步的改良。 【新型内容】 ^本創作之目的即在於提供一種晶圓搬運手臂機構，其主要 ，採料性模組之機械手臂機構，配合真空吸盤之設計，藉以 凡成搬運、夾持、剝離及置放定位等動作，同時達到拖拉速度 與施力大小之可調性，且重現性高。 、&本創作之次一目的係在於提供一種晶圓搬運手臂機構，係 於機械手臂結構巾設有消除靜電器，俾能達到較佳之靜電消除 效果° 本創作之另一目的係在於提供一種晶圓搬運手臂機構，其 :有效搬運該晶圓組達到快速且準確定位之功能，達到縮短製 %時間、以及降低製造成本與不良率等。 可達成上述新型目的之晶圓搬運手臂機構，其主要包含 有： 一機座，其具有提供晶圓組放置之一加熱爐模組與一承接 座； M312404 ， *水千線性模組，将HI讯私她+ 1 . ^ 又於機座上，其具有一第一滑執與 第/月塊，轉接座，其底端係固設於該第一滑塊； 、 H線性模組，係固設於該轉接座上，其具有一第二滑 軌與-第二滑塊；-靜電消除器組，係固設於第二滑塊，其包 括口认於:亥垂直線性核組之一靜電消除器、搞設該靜電消除器 之支撐元件，以及固定支持於該靜電消除器組上之一真空吸 盤藉由上述構件，於預设溫度時，利用該真空吸盤吸住該晶 圓組：配合各該水平線性模組及垂直線性模組可水平及垂直作 動之汉什能有效搬運該晶圓組達到快速且準確定位之功 能。 【實施方式】 請參閱圖一至圖四，本創作所提供之一種晶圓搬運手臂機 構，其主要包含有：-機座（10)，以及設於該機座（1〇)上之一 水平線性模具（2 0 )，及一垂直線性模具（3 〇 )。 該機座（10)，其預設部位具有提供一晶圓組（4〇)放置之一 加熱爐模組（11)與一承接座（12);該晶圓組（4〇)係由一晶圓 (41)與一底盤（42)所構成。 該水平線性模組（20)，係固設於機座（1〇)上，其具有一第 一滑軌（21)與可於其上作直線位移之一第一滑塊（22); 一轉接 座（2 3) ’其底端係固設於該第一滑塊（21)。 该垂直線性模組（3 0 )，係固設於該轉接座（2 3 )上，其具有 一第二滑執（31)與可於其上作直線位移之一第二滑塊（32); 一 靜電消除器組（33)，係固設於第二滑塊（32)，該靜電消除器組 (33) 包括固設於該垂直線性模組（3〇)之一靜電消除器（33ι )、 樞設該靜電消除器（331)之一支撐元件（34)，其中該支撐原件 (34) 係由一支撐架（341)與一固定塊（342)所構成；一真空吸盤 8 M312404 (35) ’固定支持於該靜電消除器組（33)上。 藉由上述構件，於預設溫度時，利用該真空吸盤（35)吸住 、該晶圓組（40)，配合各該水平線性模組（2〇)及垂直線性模組 (30)可水平及垂直作動之設計，俾能有效搬運該晶圓組（4〇) 達到快速且準確定位之功能。 為供進一步瞭解本封作構造特徵、運用技術手段及所預期 達成之功效，茲將本創作使用方式加以敘述如下： 由圖式中所示，本創作之該機座（10)上，係設有二加熱爐 φ 模組（11)及與其各別對應之二承接座（12)，於該機座（10)之一 側上設置該水平線性模組（20)，使其能於該機座（1〇)上作限位 水平位移，另於該水平線性模組上添設該垂直線性模組 (30)，提供一垂直方線之升降限位移動；故本創作之該晶圓組 (40)加熱製程，由該晶圓組（4〇)放置於該加熱爐模組（11)上開 始，請參閱圖五至圖八，首先以該真空吸盤（35)吸力吸住該晶 圓組（40)，放置於其一之該加熱爐模組（11)上，其後由該加熱 爐扠組（11)開始加熱，當溫度到達設定值時，該水平線性模組 (20)與該垂直線性模組（3〇)即帶動該真空吸盤（35)接近並吸 • 住該晶圓組（40)，再將該晶圓組（40)往該承接座（12)的方向開 始移動並進行脫拉，直到該底盤（42)完全脫離晶圓（41)完成剝 離動作。 元成上述動作後，即為其一之晶圓加熱製程，本創作結構 則以二加熱爐模組（11)及二承接座（12)之設計，可於其一之晶 圓加熱並剝離完成後，進一步移至另一側將另一該晶圓組（4〇) 移至另一加熱爐模組（11)上進行再次加熱至預設溫度，再往另 一該承接座（12)的方向開始移動並開始脫拉及剝離，以兩側交 替相互循環重覆動作者。 9 M312404 本創作所提供之晶圓搬運 具有下列之優點： 手臂機構，其結構上及使用上更 、：用:綠性模組之機械手臂機構，配合真空吸盤⑶)之設 ^ X 70成搬運、夾持、剝離及置放定位等動作，同時 到拖拉速度與施力大小之可調性，且重現性高。 、二於钱械手臂結構t添設有消除靜電器（331 )，可有 效縮短與工件間之距離，替代傳統使用靜電風扇的方式， 一更能達到較佳之靜電消除效果。 創作依據4晶圓組（4〇)之重心位置設計該轉接座（23) 及真空吸盤（35)的固定位置，並讓其重心位於各該第一、 第-滑塊（22)(32)上，以保持結構在移動時之穩固性。 四、 藉由兩組加熱模組⑴）之設計，可交互進行加熱及剝離動 作，可有效節省等待加熱、冷卻的時間，提高生產效能。 五、 採用功能轉移與結合方式，將具升降功能之㈣直線性模 、、且（30)結合於該加熱爐模組（u)中，確保降溫後可方便取 下’不致損壞工件。 六、 本創作除可有效搬運該晶圓組達到快速且準確定位之功能 外，同時能達到縮短製程時間、以及降低製造成本與不良 率等。 , 口、不上所述，本案不但在空間型態上確屬創新，並能較習用 物如增進上述多項功效，應已充分符合新穎性及進步性之法定 新型專利要件，妥依法提出中請，懇_ #局核准本件新型專 利申晴案，以勵創作，至感德便。 【圖式簡單說明】 圖一為本創作一較佳實施例之外觀示意圖。 圖一為本創作一較佳實施例之立體分解示意圖。 M312404 圖一為本創作一較佳實施例之俯視圖。 圖四為本創作一較佳實施例之側視圖。 圖五為本創作一較佳實施例之使用狀態示意圖一。 圖/、為本創作一較佳實施例之使用狀態示意圖二。 圖七為本創作一較佳實施例之使用狀態示意圖三。 圖八為本創作一較佳實施例之使用狀態示意圖四。 圖九為習知技術之示意圖。 【主要元件符號說明】 φ 1 〇機座 11加熱爐模組 12承接座 2 0水平線性模組 21第一滑軌 22第一滑塊 23轉接座 ® 3 0垂直線性模組 31第二滑執 32苐二滑塊 33靜電消除器組 331靜電消除器 34支撐元件 341支撐架 342固定塊 M312404 35真空吸盤 4 0晶圓組 41晶圓 42底盤 81底盤 82晶圓 83晶圓組 | 8 4加熱爐 85吸筆
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