TWM240022U - Nitrogen refilling system - Google Patents

Description

M240022 五、創作說明（l) 新型所屬之技術領域 本創作為一種充氮系統，係用以對一晶圓盒之載具的 内部，氮丄其包括-載具本體，—閉合蓋件，以及一充氣 裝置等。藉由本創作所提供的充氣系統，即能提高一運輸 用晶圓盒在運送過程中的晶圓品質穩定性。 先前技術 义般1 2吋的刖開式晶圓盒，大致上可分為室内製程使 用之月丨】開式統一制晶圓盒（Fr〇nt 〇_心_ p〇d， F〇UPj ’·以及可供室外搬運之運輸用晶圓盒（Front Opening Shipping Box, F〇SR^ ^ ^ ,λ 先被置入一載具（如—)推兩車種’上而，該二 ^ ^ 貨車内，然後再由甲地運 者再將該載具放在 接放入貨車内，運地地，唯該載具通常均為直 圓盒均直接暴露於-般 ，^鮮」的功夫’以致於晶 内的晶圓產生質變，甚内，如此則容易造成晶圓盒 予以全部廢棄的程度，故=可能嚴重到無法使用而必須 在是非常的不理想。 '的晶圓盒之貨車運送方式實 因此，為了提高貨車内、，曰 ^ 該晶圓盒在運送過程中之σ迗=圓益的穩定性，以克服 於實驗、測試及研究後，：於現象，經創作人致 解決先前晶圓盒在運送過:于 氮糸統，除了有效 ，亦能使得晶圓盒之貨車〃 置放於空氣申的缺點外 。 、車運适的過程可以更為穩定而可靠 新型内容

M240022 五、創作說明（2) 本創作之主要目的為利用一充氮裝置之裝設於運送車 輛上，以填充氮氣於該晶圓盒之載具的閉合空間。 本創作之再一目的是使用一閉合蓋件之裝設於載具本 體上，而於該閉合蓋件與晶圓盒之間形成該閉合空間。 本創作之又一目的為運用一抽拉式氮氣櫃之方便更換 氮氣瓶，以隨時補足該晶圓盒内之安全氮氣含量。 本創作為一種充氮系統，係用以對一晶圓盒之載具的 内部充氮，其包括一載具本體，其用以承載至少一晶圓盒 ，一閉合蓋件，係裝設於該載具本體上，而於該閉合蓋件 與該晶圓盒之間形成一閉合空間，以及一充氮裝置，其裝 設於一運送車輛上，係用以填充一氮氣於該閉合空間，俾 利於提高該晶圓盒在該載具本體内之一穩定性。 較佳者，該系統的充氮裝置係具有一抽拉式氮氣櫃， 用以方便更換該充氮裝置之一氮氣瓶，且該氮氣瓶裝設有 一壓力感測器，以偵測該氮氣瓶内之一安全氮氣含量。 較佳者，該系統的晶圓盒係為一運輸用之晶圓盒（ FOSB)，且該充氮裝置係具有一輸送軟管，用以從該氮氣 瓶輸送該氮氣至該閉合空間。 當然，該系統的晶圓盒之載具為一手推車，該充氮裝 置之該輸送軟管係可以連接至一車内接頭及一推車上接頭 ，以連接一車内管路及該手推車。 當然，該系統的載具本體之該閉合空間為一氣密空間 ，且該推車上接頭係可以裝設有一止逆進氣口，以防止該 充氮裝置於該氣密空間之逆行。

M240022 五、創作說明（3) 較佳者，該系統的載具本體係被貼上 加強該晶圓盒之載具的一氣密功能，且該 車。 如按照另一種可實施的觀點來看，本 系統，係用以對一載具的内部充氮，其包 一閉合件，係裝設於該載具本體上，而於 成一閉合空間，以及一充氮裝置’係用以 閉合空間，俾利於提高該載具本體内之一 較佳者，該系統的載具本體用以承載 而該閉合件係為一閉合蓋件，該閉合空間 件與該晶圓盒之間，且該充氮裝置裝設於 該物件即為該晶圓盒。 當然，該系統的充氮裝置係可以具有 ，用以方便更換該充氮裝置之一氮氣瓶， 有一壓力感測器，以4貞測該氮氣瓶内之一 當然，該系統的晶圓盒係可以為一運 FOSB)，且該充氮裝置係具有一輸送軟管 瓶輸送該氮氣至該閉合空間。 較佳者，該系統的晶圓盒之載具為一 裝置之該輸送軟管係連接至一車内接頭及 以連接一車内管路及該手推車。 較佳者，該系統的載具本體之該閉合 間，且該推車上接頭係裝設有一止逆進氣 氮裝置於該氣密空間之逆行。 一泡棉邊條，以 運送車輛為一貨 創作即一種充氮 括一載具本體， 該載具本體内形 填充一氮氣於該 物件之穩定性。 至少一晶圓盒， 形成於該閉合蓋 一運送車輛上， 一抽拉式氮氣檀 且該氮氣瓶裝設 安全氮氣含量。 輸用之晶圓盒（ 用以從該氮氣 手推車，該充氮 一推車上接頭， 空間為一氣密空 口，以防止該充

M240022 五、創作說明（4) 以力=ί i統的載具本體係可以被貼上-泡棉邊條， ?口強該曰曰圓盒之載具的一氣密功能，且該運送車 貨車。 μ ϊ ΐ Ϊ1:—個角度來看，本創作即-種充氮系統， 其用以承載至少-晶圓盒，-閉合蓋 =具本體上，而於該閉合蓋件與該晶圓盒 間，以及一充氮裝i，其裝設於-運送 曰圓各在今恭呈士 i乱孔於該閉合空間，俾利於提高該 曰日Wi在該載具本體内之一穩定性。 ί η统係用以對一晶圓盒之載具的内部充氮。 較佳者，該系統的充氮裝置係具有一友， 用以方便更換該充氮裝置之一氮氣航，且，鼠乳櫃， 一壓力感測器，以谓測該氮氣瓶内之一二，氣瓶裝設有 較佳者，該系統的晶圓盒係為：虱乳含量。 F〇SB)，且該充氮裝置係具有一輸送軟輪用之晶圓盒（ 瓶輸送該氮氣至該閉合空間。 ，用以從該氮氣 當然’該系統的晶圓盒之載具為 置之該輸送軟管係可以連接至一車内 推車，該充氮裝 ，以連接一車内管路及該手推車。 及〜推車上接頭 田然’該系統的載具本體之該閉合办 ’且該推車上接頭係可以裝 ς :’為—氣密空間 充氮裝置於該氣密空間之逆行。$進氣口，以防止該 加強ΐ :ί ΐ盒Ϊ : ί :載”體係被貼上〜;包樯遠、 载具的一氣後功能，且諸 棉邊條，以 __^ 迗車輛為一貨

M240022 五、創作說明（5) 車。 本創作經由上述構想的解說，即能觀察到所運用之充 氮系統，確實能利用一充氮裝置之裝設於運送車輛上，即 可以填充氮氣於該晶圓盒之載具的閉合空間，並具有使用 一閉合蓋件與該晶圓盒之間形成該閉合空間的特色。為了 易於說明，本創作得藉由下述之較佳實施例及圖示而得到 一 更 加 瞭 解 〇 主 要 部 分 之代表符號： 10 • 充 氮 系 統 11 晶 圓 盒 之 載具 12 ·· 載 具 本 體 13 輸 送 軟 管 14 ♦ 車 内 接 頭 15 推 車 上 接 頭 16 • 車 廂 空 間 20 晶 圓 盒 21 • 閉 合 蓋 件 22 閉 合 空 間 30 • 充 氮 裝 置 31 運 送 車 輛 32 • 抽 拉 式 氮 氣櫃 33 氮 氣 瓶 40 ♦ 止 逆 進 氣 σ 50 :壓 力 感 測 器 實 施 方 式 請參閱第一圖至第三圖，顯示出一種充氮系統1 0，係 用以對一晶圓盒之載具11的内部充氮，其包括一載具本體 12，其用以承載至少^一晶圓盒20，一閉合蓋件21，係裝設 於載具本體12上，而於閉合蓋件21與晶圓盒20之間形成一 閉合空間22，以及一充氮裝置30，其裝設於一運送車輛31 上，係用以填充一氮氣於閉合空間2 2，俾利於提高晶圓盒 20在載具本體12内之一穩定性。

M240022 五、創作說明（6) 系統10的充氮装置30係具有一抽拉式氮氣櫃32，用以 方便更換充氮裝置30之一氮氣瓶33，且氮氣瓶32裝設有_ 壓力感測器50 (詳第五圖），以偵測氮氣瓶32内之一安全 氮氣含量，載具本體12則放置在一車廂空間16内部。晶圓 盒2〇係為一運輸用之晶圓盒（F0SB) ’且充氮裝置3〇係具 ，，軟官13，用以從氮氣瓶32輸送該氮氣至閉合空間。 (Ϊ第二!）:晶圓盒之載具11為—手推車置30 之例送軟管13係可以連接至一車内接頭14及一推車上 15，以連接一車内管路（圖中未示出）及該手推車（ 1 1 )。載具本體1 2之閉合空間2 2為一氣密空間，且推車 接頭15係可以裝設有一止逆進氣口4〇 (詳第四圖），以 止充氮裝置30於該氣密空間之逆行。又如第二圖所示 載具本體12係被貼上一泡棉邊條23，以加強晶圓盒之 11的一氣密功能，且運送車輛30為一貨車。 ’、 如按照另一種可實施的觀點來看，本創作 ㈣0,係用以對一載具（如晶圓盒之載具i"的内= 鼠’八包括一載具本體12，—閉合件（如閉合蓋件 ， 係裝設於載具本體12上，而於載具本體12内形成一 以及:織裝置3〇，係1以填充1氣於閉合。 穩二：利：Ϊ南載丨本體12内之-物#(如晶圓盒20)之 :疋十。畜：、、、、，此時的系統i 〇的載具本體i 2可用以承載至 二晶圓盒20，而該閉合件係為一閉合蓋件21，閉合空間 22形成於閉合蓋件21與晶圓盒玉 於-運送車輛31上，該物件即=二充置30裝設 1丁 I馬日日0盒2 0。至於本實施例 M240022 五、創作說明（7) 中的載具本體1 2 分，係如前段所 若是從另外 ，其包括一載具 閉合蓋件21，係 晶圓盒20之間形 裝設於一運送車 ，俾利於提高晶 ，此時的系統1 0 。至於本實施例 11的其他細節部 之不一定用於承載晶圓 述，故於此不再贅述。 一個角度來看，本創作 本體12，其用以承載至 裝設於載具本體12上， 成一閉合空間2 2，以及 盒2 0的其他細節部 即一種充氮系統1 0 少一晶圓盒20，一 而於閉合蓋件2 1與 一充氮裝置30，其 輛31上，係用以填充一氮氣於閉合空間22 圓盒20在載具本體12内之一穩定性。當然 係可用以對一晶圓盒之載具11的内部充氮 中的系統1 0之不一定用於一晶圓盒之載具 分，係如前段所述，是故在此亦無庸贅述 綜上所述，本創作確實能以一創新的方式，藉由利用 充氮裝置之裝設於運送車輛上，即可以填充氮氣於該晶圓 盒之載具的閉合空間，並且所運用之閉合蓋件裝設於該載 具·本體上，能有效的在該閉合蓋件與晶圓盒之間形成該閉 合空間，而極適合工業上之生產。故凡熟習本技藝之人士 ，得任施氏思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍 所欲保護者°

第10頁 M240022 圖式簡單說明 第一圖：係本創作之充氮系統的晶圓盒之載具在一車 廂空間内的較佳實施例之立體示意圖； 第二圖：係貼上本創作之充氮系統的泡棉邊條之位置 不意圖， 第三圖：係本創作之充氮系統的抽拉式氮氣櫃之實施 例之立體示意圖； 第四圖：是第一圖中的晶圓盒之載具的止逆進氣口之 立體示意圖；以及 第五圖：是第三圖之氮氣瓶裝設有一壓力感測器的立 體示意圖。

第11頁

Claims (1)

1. M240022 六、申請專利範圍 1 · 一種充氮系統，係用以對一晶圓盒之載具的内部充氮 其包括： 一載具本體 一閉合蓋件 件與該晶圓盒之 一充氮裝置 氮氣於該閉合空 之一穩定性。 2. 如申請專利範 具有一抽拉式氮 瓶，且該氮氣瓶 之一安全氮氣含 3. 如申請專利範 一運輸用之晶圓 管，用以從該氮 4. 如申請專利範 具為一手推車， 接頭及一推車上 5. 如申請專利範 該閉合空間為一 逆進氣 6 ·如申 被貼上 ，且該 ，其用以承載至少一晶圓盒； ，係裝設於該載具本體上，而於該閉合蓋 間形成一閉合空間；以及 ，其裝設於一運送車輛上，係用以填充一 間，俾利於提高該晶圓盒在該載具本體内 述之系統，其中該充氮裝置係 方便更換該充氮裝置之一氮氣 裝設有一壓力感測器，以偵測該氮氣瓶内 圍第1項所 氣櫃，用以 量。 圍第2項所 盒（FOSB)， 氣瓶輸送該 圍第3項所 該充氮裝置 接頭，以連 圍第4項所 氣密.空間， 止該充氮裝 圍第1項所 條，以加強 口 ，以防 請專利範 一泡棉邊 運送車輛為一貨車。 述之系 且該充 氮氣至 述之系 之該輸 接一車 述之系 且該推 置於該 述之系 該晶圓 統，其中 氮裝置係 該閉合空 統，其中 送軟管係 内管路及 統，其中 車上接頭 氣密空間 統，其中 盒之載具 該晶囡盒係為 具有一輸送軟 間。 該晶圓盒之載 連接至一車内 該手推車。 該載具本體之 係裝設 之逆行 有一止 該載具本體係 的一氣密功能

   第12頁 M240022 六、申請專利範圍 7 · —種充氮系統，係用以對一載具的内部充氮，其包括： 一載具本體； 一閉合件，係裝設於該載具本體上，而於該載具本體 内形成一閉合空間；以及 一充氮裝置，係用以填充一氮氣於該閉合空間，俾利 於提咼該載具本體内之一物件之穩定性。 8 ·如申請專利範圍第7項所述之系統，其中該載具本體用 以承載至少一晶圓盒，而該閉合件係為一閉合蓋件，該閉 合空間形成於該閉合蓋件與該晶圓盒之間，立該充氮裝置 裝設於一運送車輛上，該物件即為該晶圓盒。 9 ·如申請專利範圍第8項所述之系統，其中該充氮裝置係 具有一袖拉式氮氣櫃，用以方便更換該充氮裝置之一氮氣 瓶，且該氮氣瓶裝設有一壓力感測器，以偵測該氮氣瓶内 |之一安全氮氣含量。 1 0 ·如申請專利範圍第9項所述之系統，其中該晶圓盒係為 一運輸用之晶圓盒（FOSB)，立該充氮裝置係具有一輸送軟 管，用以從該氮氣瓶輸送該氮氣至該閉合空間。 11·如申請專利範圍第丨〇項所述之系統，其中該晶圓盒之 載具為一手推車，該充氮裝置之該輸送軟管係連接至一車 内接頭及一推車上接頭，以連接一車内管路及該手推車。 12·如申請專利範圍第1丨頊所述之系統，其中該載具本體 之該閉合空間為一氣密空間，且該推車上接頭係裝設有一 止逆進氣口，以防止該充氮装置於該氣密空間之逆行。 1 3 ·如申請專利範圍第§項戶斤述之系統，其中該載具本體係 M240022 六、申請專利範圍 被貼上一泡棉邊條，以加強該晶圓盒之載具的一氣密功能 ，且該運送車輛為一貨車。 14. 一種充氮系統，其包括： 一載具本體，其用以承載 一閉合蓋件，係裝設於該 件與該晶圓盒之間形成一閉合 一充氮裝置，其裝設於 至少一 載具本 空間； 運送車 氮氣於該閉合空間，俾利於提高該晶 晶圓盒 體上， 以及 輛上， 圓盒在 而於該閉合蓋 係用以填充一 該載具本體内 之 穩定性 15. 如申請 圓盒之載具 16. 如申請 係具有一抽 氣瓶，且該 内之一安全 17. 如申請 為一運輸用 軟管，用以 18. 如申請 載具為一手 内接頭及一 專利範 的内部 專利範 拉式氮 氮氣瓶 氮氣含 專利範 之晶圓 從該氮 專利範 推車， 推車上 圍第1 4項所述之系統，其係用以對一晶 充氮。 圍第1 4項所 氣櫃，用以 述之系 方便更 裝設有一壓力感測 統，其中該充氮裝置 換該充氮裝置之一氮 器，以偵測該氮氣瓶 19.如申請專利範 之該閉合空 止逆進氣口 間為 量。 圍第1 6項所 盒（FOSB)， 氣瓶輸送該 圍第1 7項所 該充氮裝置 接頭，以連 圍第1 8項所 氣密空間， 止該充氮裝 述之系統，其中該晶圓盒係 且該充氮裝置係具有一輸送 氮氣至該閉合空間。 述之系統，其中該晶圓盒之 之該輸送軟管係連接至一車 接一車内管路及該手推車。 述之系統，其中該載具本體 且該推車上接頭係裝設有一 置於該氣密空間之逆行。 以防

   第14頁 M240022 六、申請專利範圍 20. 如申請專利範圍第1 5項所述之系統，其中該載具本體 係被貼上一泡棉邊條，以加強該晶圓盒之載具的一氣密功 能，且該運送車輛為一貨車。