TWI841108B - 控制熱系統的方法與用於控制加熱器系統的程序控制系統 - Google Patents

Abstract

一種控制一工業程序之一熱系統的方法，其包括：監測中間資料；將該中間資料關聯於互相關聯性資料，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、輸出控制、或其等之一組合。該方法進一步包括：產生一模型，該模型界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；基於該模型識別加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統之經識別狀態選擇性地執行一訂正動作。

Description

控制熱系統的方法與用於控制加熱器系統的程序控制系統

本申請案主張2020年7月27日申請之美國臨時申請案63/056,810之優先權及利益。上述申請案之內容係藉由參照全文併入本文。

本發明係關於一種用於操作具有一程序控制系統及一加熱器系統之熱系統的方法。

本節中的陳述僅提供與本揭露內容有關之背景資訊，且可不構成先前技術。

用於一工業程序之一熱系統一般包括一加熱器系統及一程序控制系統，以監測及控制該加熱器系統之操作。該程序控制系統可係一比例-積分-微分(PID)類型，其係組配來控制該加熱器系統之一程序變數，諸如至一設定點的一溫度。該程序變數不僅受該熱系統內之各種因子影響，且亦受該工業程序內之外部因子影響，但卻在該熱系統之控制外。這些外部因子可為例如：被加熱之晶圓的一類型；被注入一處理腔室的氣體；及/或在用於將一晶圓固接至一台座加熱器上的一腔室內的一壓力差；還有該熱系統無法控制之其他因子。雖然感測器及/或演算法計算可用來監測影響該程序變數的一些因子，取得準確且可靠的資料，特別是針對指示出外部因子的資料，但可能難以用於某些工業程序。

本節提供本揭露內容之一大致簡要說明，並非是其完整範圍或其所有特徵之全面揭露。

本揭露內容提供一種控制一工業程序之一熱系統的方法。該熱系統包括一加熱器系統及一程序控制系統，該程序控制系統係組配來基於由該程序控制系統所產生的中間資料，來產生針對該加熱器系統的一輸出控制。該方法包括：監測該中間資料；將該中間資料關聯於互相關聯性資料，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合。該方法包括：產生一模型，該模型界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；基於該模型識別該加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統的經識別狀態選擇性地執行一訂正動作。

在一些形式中，該中間資料包括比例增益資料、積分增益資料、微分增益資料、或其等之一組合。在一些形式中，該輸出控制係基於該比例增益資料、該積分增益資料及該微分增益資料的一總和。在一些形式中，該程序控制系統包括具有一主要控制器及一次要控制器的一級聯控制系統，且其中該中間資料包括該級聯控制系統的迴路資料。在一些形式中，該輸出控制係基於該次要控制器之比例增益資料、該次要控制器之積分增益資料、及該次要控制器之微分增益資料的一總和。在一些形式中，該中間資料包括該程序控制系統的一控制器增益。在一些形式中，該模型係一數學模型、一機器學習模型、或其等之一組合。在一些形式中，該機器學習模型係一監督式學習模型，其係組配來基於該中間資料及該互相關聯性資料來預測該加熱器系統的狀態。在一些形式中，該方法包括將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較，及判定該標稱模型與該模型之間的一偏差，其中該加熱器系統的經識別狀態係進一步基於該偏差。在一些形式中，該偏差包 括一比例增益偏差、一積分增益偏差、一微分增益偏差、或其等之一組合。在一些形式中，該內部程序控制輸入包含該加熱器系統之一效能特性的一所欲設定點、用以控制該加熱器系統的一設定點、一程序變數、該程序變數的一量測值、關聯於該熱系統的一警示、或其等之一組合。在一些形式中，該訂正動作包括基於該加熱器系統之該經識別狀態控制給該加熱器系統的電力。在一些形式中，該訂正動作包括基於該加熱器系統之該經識別狀態廣播一警示，其中該警示指示出在通訊式耦接至該程序控制系統之一導管內的一材料累積、通訊式耦接至該程序控制系統之一電阻式加熱元件的一標稱熱偏差、或其等之一組合。在一些形式中，該外部加熱器控制輸入係由該程序控制系統之一外部輸入控制器所產生的一輸出。在一些形式中，該內部程序控制輸入包含壓力資料、質量流率資料、振動資料、應變資料、溫度資料、或其等之一組合。

本揭露內容提供一種用於控制一加熱器系統的程序控制系統，其中該程序控制系統係組配來基於由該程序控制系統所產生的中間資料，來產生針對該加熱器系統的一輸出控制。該程序控制系統包括一處理器及包括可由該處理器施行之指令的一非暫時性電腦可讀媒體。該等指令包括：監測該中間資料；將該中間資料關聯於互相關聯性資料，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合。該等指令包括：產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；基於該模型識別該加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統的經識別狀態選擇性地執行一訂正動作。

在一些形式中，該模型係組配來基於該中間資料及該互相關聯性資料來預測該加熱器系統的狀態。在一些形式中，該等指令進一步包括將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較，及判定該標稱模型與該模型之間的一偏差，其中該加熱器系統的經識別狀 態係進一步基於該偏差。

本揭露內容提供一種控制一工業程序之一熱系統的方法。該熱系統包括一加熱器系統及一程序控制系統，該程序控制系統係組配來基於由該程序控制系統所產生的中間資料，來產生針對該加熱器系統的一輸出控制。該方法包括：將該中間資料關聯於互相關聯性資料，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合。該方法包括：產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較；基於該標稱模型與該模型間之該比較識別該加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統的經識別狀態選擇性地執行一訂正動作。

進一步的適用範圍將根據本文所提供的說明而變得顯易可見。應理解，說明及特定範例係意圖僅供例示之目的，而不意圖限制本揭露內容之範圍。

100:程序控制系統

102,102-1,102-2,102-3:控制迴路模組

103,110:加法模組

104:電力控制模組

105:(比例控制)模組

106:(積分控制)模組

108:(微分控制)模組

112:電力PID控制模組

114:溫度PID控制模組

116:PID選擇模組

118:主要控制器

120:次要控制器

200:中間控制系統

201:中間資料模型產生器

202:互相關聯性模組

204:關係模組

206:系統狀態模組

208:模型

300:加熱(器)系統

302:加熱器

320:外部輸入控制器，外部輸入裝置

500:範例常式

504,508,512,516,520:步驟

為了使本揭露內容可被良好理解，現將以範例方式且參照隨附圖式說明其不同形式，其中：圖1為根據本揭露內容之具有一程序控制系統、一加熱器系統及一中間控制系統之一熱系統的方塊圖；圖2為根據本揭露內容之一範例程序控制系統；圖3為根據本揭露內容之另一範例程序控制系統；圖4為根據本揭露內容之另一範例程序控制系統；以及圖5為根據本揭露內容之用於操作具有中間控制系統之熱系統的流程圖。

本文說明之圖式係僅供例示之目的，且不意欲以任何方式限制本 揭露內容之範圍。

以下說明本質上僅為範例性，並非意欲限制本揭露內容、應用或用途。應理解，在所有圖式中，對應參考數字指示相似或對應部件及特徵。

參看圖1，其顯示一熱系統10，其包括一程序控制系統100、一中間控制系統200、以及具有一加熱器302的一加熱器系統300。在一形式中，程序控制系統100係組配來控制加熱器系統300之操作且更特定言之，控制加熱器302之操作。如本文進一步說明，本揭露內容之中間控制系統200係組配來基於中間資料界定一模型(例如，一數學模型、一機器學習模型或其等之一組合)，以使用即時中間資料輸入預測加熱器系統300的狀態。

熱系統10可係用於控制加熱中之一負載之一熱特性的各種類型之工業程序的部分。舉例而言，熱系統10可係一半導體製程的部分，其中加熱器系統300包括用以加熱一晶圓(例如，一負載)的一台座加熱器。在此範例中，程序控制系統100可經組配來控制該台座加熱器的一熱輪廓，其可基於外部熱控制及內部熱控制而變化。舉例而言，內部熱控制可包括但不限於：提供給該台座加熱器的電力；熱系統10的一操作模式(例如，用以基於來自一使用者之輸入來控制給加熱器302之電力的一手動模式、用以逐漸增加該台座加熱器之溫度的一冷起動模式、用以將該台座加熱器維持在一溫度設定點的一穩態模式、以及用以控制加熱器系統300的其他界定操作模式)；及/或在該台座加熱器係一多區域加熱器時該台座加熱器之不同區域的操作狀態；還有可由熱系統10控制之其他參數。外部熱控制之範例包括但不限於：加熱中之晶圓的類型；注入至具有該台座加熱器之一處理腔室中的氣體；及/或在用於將晶圓固接至該台座加熱器之腔室內的一壓力差，還有熱系統10無法控制之其他因子。

在另一範例中，熱系統10可用在該半導體製程的一減輕系統中， 以加熱流動通過一導管網路的流體。在一形式中，加熱器系統300可包括多個可撓性加熱器，其包繞該等導管以加熱其中的該流體。在又另一範例中，熱系統10可利用匣式加熱器作為加熱系統300的部分，以直接加熱流動通過導管或提供在一容器內的流體(例如，氣體及/或液體)。

各種程序控制系統100可用來控制加熱系統300。一範例程序控制系統100係揭露於2018年8月10日申請之美國專利第10,908,195號中，其標題為「控制送至加熱器之電力的系統及方法」，其與本申請案為共同擁有，且其內容係藉由參照全文併入本文。在此範例程序控制系統中，一控制器係組配來選擇界定加熱器之一或多個操作設定(例如，一加電控制、一軟起動控制、一設定速率控制及一穩態控制)的一狀態模型控制，且基於該狀態模型控制及該加熱器之電氣特性(例如，電流、電壓或其等之一組合)控制供應給該加熱器的電力。

另一範例程序控制系統100係揭露於2019年3月6日申請之美國專利申請案第16/294,201號、標題為「用以控制加熱器之控制系統」的共同待決申請案中，其與本申請案為共同擁有，且其內容係藉由參照全文併入本文。在此範例程序控制系統中，二或多個輔助控制器基於加熱系統300之效能特性控制給加熱系統300之複數個區域的電力，且一主要控制器基於該等效能特性為各加熱器區域提供一操作設定點。

一額外範例程序控制系統100係揭露於2019年9月12日申請之美國專利申請案第16/568,757號、標題為「用於閉路烘乾控制之系統及方法」的共同待決申請案中，其與本申請案為共同擁有，且其內容係藉由參照全文併入本文。在此範例程序控制系統中，一控制器係組配來基於該加熱器之一所量測之效能特性、一電力設定點、及一電力控制演算法來判定一操作電力位準，且該控制器係組配來判定一烘乾電力位準。該控制器基於該操作電力位準及該烘乾電力位準中之較低位準選擇將施加至加熱系統300的一電力位準。

另一範例程序控制系統100係揭露於2020年11月4日申請之美國專利申請案第17/089,447號、標題為「用於氣體遞送系統之控制與監測系統」的共同待決申請案中，其與本申請案為共同擁有，且其內容係藉由參照全文併入本文。在此範例中，程序控制系統產生虛擬影像，其等基於虛擬映對常式、所量測系統資料及/或統計分析，視覺化流動通過流體流動線路的氣體及該等氣體對熱系統10的影響。

雖然本文提供熱系統10之特定應用，但本揭露內容可應用於具有一熱系統以加熱一負載的其他工業程序。這些應用可包括，舉例來說，注塑程序、熱交換器、排氣後處理系統及能量程序等。此外，加熱器系統300的加熱器302不應受限於本文所提供之範例，且可包括其他類型之加熱器構造，諸如作為範例之一層狀加熱器、一匣式加熱器、一管狀加熱器、一聚合物加熱器、一可撓性加熱器等。在各應用中，外部控制及內部控制可由中間控制系統200來識別及利用，如本文所說明。

在本文中使用時，用語「中間資料」係指由程序控制系統100所產生的資料，其用於判定該輸出控制。舉例而言，該中間資料可包括比例增益資料、積分增益資料、及/或微分增益資料、一級聯控制系統(作為程序控制系統100)的迴路資料、及/或程序控制系統100的一控制器增益等。

在本文中使用時，用語「程序變數」係指加熱器系統300的一可量測效能特性。舉例而言，假設加熱器系統300係如下文所說明的一雙線式加熱器系統，該等效能特性可包括加熱器302的一溫度、一電阻、一電壓及/或一電流。在另一形式中，該等效能特性可使用加熱器系統300中安置之分立感測器來量測。作為另一範例，該程序變數可包括施加至加熱器302的一電力。

在本文中使用時，用語「輸出控制」係指用於控制加熱器系統300之該程序變數的一輸出，且係基於該中間資料。舉例而言，該輸出控制可包括 但不限於：一PID控制的一輸出；提供至加熱器系統300的一電力量；及/或用於控制給加熱器系統300的電力且基於該中間資料的其他合適參數。作為另一範例，該輸出控制可包括一級聯控制系統(作為程序控制系統100)之次要控制器之比例增益資料、積分增益資料與微分增益資料的一總和。

在本文中使用時，用語「內部程序控制輸入」係指來自熱系統10內之系統/感測器的所量測資料(例如，壓力資料、質量流率資料、振動資料、應變資料、溫度資料等)，且可包括該程序變數、該程序變數的一量測值、用於控制加熱器系統300的設定點、及/或加熱器系統300的效能特性。該等內部程序控制輸入也可以包括設定點，諸如該程序變數的一目標值、一溫度設定點、一電力設定點、還有其他可量測設定點，其等可由一使用者提供或由程序控制系統100界定。該內部程序控制輸入亦可包括指示出熱系統10響應於加熱器系統300之一異常操作而發出之警示的資料。

在本文中使用時，用語「外部加熱器控制輸入」係指來自一外部輸入裝置320的一輸入，其可包括在熱系統10外的一外部控制器及/或系統。範例外部輸入控制器320包括但不限於：前饋控制器(feed forward controller)；安置在熱系統10外部的感測器；在該工業程序中操作不同子系統的控制系統；可由一技術人員操作來提供關於該工業程序之一操作狀態之資訊的人機介面；還有其他外部裝置/系統。在一形式中，該外部加熱器控制輸入可包括但不限於：來自該技術人員的一輸入/資訊；可能影響熱系統10效能之該工業程序中的一干擾(例如，指示出一經識別異常操作的一診斷碼或警報，諸如一溫度過高警報、一過電流警報、一過電壓警報、一漏電界限警報、停機警報、訂正動作警報等)；來自安置在熱系統10外部之感測器的資料；外部子系統的操作狀態；還有不由熱系統10控制及/或產生的其他外部加熱器控制輸入。

在一形式中，加熱器系統300可係一雙線式加熱器系統，其中加熱 器302可操作來產生熱，且操作為用以量測加熱器302之一效能特性的一感測器。舉例而言，加熱器302包括一或多個電阻式加熱元件，其等操作為一感測器，來基於該電阻式加熱元件的一電阻量測該電阻式加熱元件的一平均溫度。更特定言之，此一雙線式加熱器系統的一範例係揭露於美國專利第7,196,295號中，該專利案與本申請案共同擁有且其內容係藉由參照全文併入本文。於一雙線式系統中，該熱系統係合併加熱器設計與控制的一熱系統，該等控制將電力、電阻、電壓及電流併入限制著一或多個這些參數(亦即，電力、電阻、電壓及電流)、同時控制另一者的一可定製反饋控制系統中。在一形式中，程序控制系統100係組配來監測遞送給該電阻式加熱元件之電流、電壓及電力中至少一者以判定電阻，且因此判定該電阻式加熱元件的溫度。

在另一範例應用中，加熱器302作為一雙線式加熱器係組配來包括溫度感測電力接腳以供量測加熱器302的一溫度。使用該等電力接腳作為一熱偶來量測一電阻式加熱元件之一溫度係揭露於申請人於2015年5月29日申請之美國專利申請案第14/725,537號、標題為「具有溫度感測電力針腳之電阻式加熱器」的共同待決申請案中，其與本申請案為共同擁有，且其內容係藉由參照全文併入本文。通常而言，加熱器302之該電阻式加熱元件及程序控制系統100係經由分別界定一第一接合部及一第二接合部的一第一電力接腳及一第二電力接腳所連接。該等第一及第二電力接腳係作為熱偶感測接腳，供用於量測加熱器302之該電阻式加熱元件的溫度。與該等第一及第二電力接腳連通之該程序控制系統，係組配來量測該等第一及第二接合部處的電壓改變。更詳而言之，該程序控制系統量測在該等接合部處的毫伏特(mV)改變，且接著使用這些電壓改變，來計算該電阻式加熱元件的一平均溫度。

作為一雙線式加熱器系統之替代或附加，加熱器系統300可包括一或多個分立感測器，用於量測加熱器302的效能特性。舉例而言，一溫度感測器 可設置在加熱器302處，且可通訊式耦接至程序控制系統100以提供溫度量測值作為一程序變數。在一形式中，一壓力感測器、一流率感測器、一電壓感測器及/或一電流感測器等中至少一者係設置在加熱器302處，以獲得一對應效能特性。

程序控制系統100係組配來基於產生中間資料的一或多個控制程序來控制加熱器系統300，以判定用於控制加熱器系統300的該輸出控制。在一形式中，程序控制系統100包括一控制迴路模組102及一電力控制模組104。控制迴路模組102係組配來執行該(等)控制程序，以基於一設定點(溫度、電力、電阻還有用以控制該加熱器系統之其他可量測參數)以及指出加熱器系統300之一可量測效能特性的一程序變數中至少一者，來判定該輸出控制。

在一形式中，參看圖2，控制迴路模組102可提供為係一PID控制器的一控制迴路模組102-1，其係包括一加法模組103、一比例控制模組105、一積分控制模組106、一微分控制模組108、及一加法模組110。雖然控制迴路模組102-1係例示為具有比例控制模組105、積分控制模組106及微分控制模組108，但應理解的是，控制迴路模組102-1在其他變化中可能不包括所有這些模組。舉例而言，該控制迴路模組可係具有一比例控制模組及一積分控制模組的一PI模組。

在操作中，基於該設定點及該程序變數，加法模組103基於該設定點與該程序變數之間的差異來判定一誤差值，且將該誤差值提供給模組105、106及108。比例控制模組105判定一比例增益資料，其係基於該誤差值與一比例增益值的一乘積。積分控制模組106判定積分增益資料，其係基於該誤差值之一積分與一積分增益值的一乘積。微分控制模組108判定微分增益資料，其係基於該誤差值之一微分與一微分增益值的一乘積。在一些形式中，可選擇性地擇定該比例增益值、該積分增益值及該微分增益值，以便達成加熱器系統300的某些響應特性，諸如一特定上升時間、過衝幅度、穩定時間、穩態誤差等。隨後，加 法模組110將該比例增益資料、該積分增益資料及該微分增益資料的該總和提供給電力控制模組104作為該輸出控制。

作為一特定範例，控制迴路模組102-1係組配來計算將施加至加熱器系統300之加熱器302的一操作電力位準，以使得施加至加熱器302的電力大約等於一電力設定點。舉例而言，在一形式中，控制迴路模組102-1基於所量測之操作電流及施加至加熱器302之一輸入電壓(亦即，該程序變數)計算供應給加熱器302的電力。加法模組103判定施加至該設定點之所量測電力之間的差異，且比例控制模組105、積分控制模組106及微分控制模組108判定用以減小加熱器302之該所量測電力與該電力設定點之間的差異所需的電力位準(亦即，該操作電力位準)，作為該輸出控制。

作為另一範例且如圖3所示，一控制迴路模組102-2，作為控制迴路模組102，可包括複數個PID控制模組，諸如一電力PID控制模組112及一溫度PID控制模組114，其等經由一PID選擇模組116選擇性地監測及控制加熱器系統300。電力PID控制模組112可經組配來執行上文參看圖2所說明的控制迴路模組102-1之功能。溫度PID控制模組114係組配來計算加熱器302的一操作溫度，以使得加熱器302的溫度大約等於一溫度設定點。舉例而言，在一形式中，溫度PID控制模組114基於加熱器302之一電阻/阻抗及/或來自安置在該加熱器系統中之一或多個溫度感測器之資料(亦即，該程序變數)，來計算加熱器302的溫度。溫度PID控制模組114判定所量測溫度與該溫度設定點之間的差異，且溫度PID控制模組114判定用以減小加熱器302之該所量測溫度與該溫度設定點之間的差異所需的電力位準，作為該輸出控制。

作為一額外範例且如圖4所示，一控制迴路模組102-3作為控制迴路模組102，包括統合地形成一級聯控制系統的一主要控制器118及一次要控制器120。主要控制器118(例如，電力PID控制模組112)及次要控制器120(例如，溫 度PID控制模組114)可經組配來執行上文參看圖2所說明的控制迴路模組102-1之功能。然而，在此形式中，主要控制器118之輸出控制被提供給次要控制器120作為一設定點變數，且次要控制器120判定從主要控制器118取得之該設定點變數與該程序變數之間的差異，來產生該輸出控制。亦即，次要控制器120可基於次要控制器120之比例增益資料、次要控制器120之積分增益資料、及次要控制器120之微分增益資料的一總和，來產生該輸出控制。

參看圖1，在一形式中，控制迴路模組102判定該輸出控制，或更特定言之，其基於來自該中間控制系統之狀態控制信號，控制給加熱器系統300的電力。如本文進一步說明，該狀態控制信號識別加熱器系統300的一狀態，且可包括用於基於該狀態控制給加熱器系統300之電力的指令。作為一範例，加熱器系統300的該狀態可指示出熱系統10及/或該工業程序的一異常操作，諸如但不限於：加熱器302的一故障；加熱器302之鄰近區域間的非所欲熱耦接；加熱器302的非所欲熱阻；熱系統10之一流體線路的堵塞；還有其他異常操作。若加熱器系統300的該狀態係提供為一異常操作，該狀態控制信號提供指示出該異常操作的資訊，且在某些情況下進一步提供用於處理該異常操作的指令，諸如關斷該加熱器系統或重新校準程序控制系統100的增益參數，以抑制對加熱器系統300之損壞。因此，控制迴路模組102可改變對電力控制模組104的該輸出控制，以關斷給加熱器302的電力，且可發出指示出一異常操作的一警示(例如，一訊息及/或一音頻聲)。

基於來自控制迴路模組102的輸出控制，電力控制模組104控制給加熱器系統300的電力。在一形式中，電力控制模組104係電氣耦接至一電源(未示出)且可包括一電力調節器電路(未示出)，以調整由該電源而來之電力至一所選擇之電力位準且將經調節之電力施加至加熱器302。使用預定義演算法及/或表，電力控制模組104係組配來基於該輸出控制來選擇用於加熱器系統300的一 電力位準。

雖然程序控制系統100在圖1-4中係顯示及說明為一PID控制模組，但應理解的是，程序控制系統100可係各種其他控制迴路系統。另外，程序控制系統100可經組配來包括用於分析來自中間控制系統200之狀態控制信號以判定是否應執行一訂正動作(例如，調整給加熱器系統300之電力輸出、發出一警示)的一單獨模組。此外，雖然特定模組係提供為形成程序控制系統100，但程序控制系統100可包括用於控制加熱器系統300之操作的其他模組，諸如用於偵測加熱器系統300之異常操作的一診斷模組。

在一形式中，中間控制系統200係組配來分析來自程序控制系統100之中間資料以及該互相關聯性資料以產生一或多個模型(例如，機器學習模型、數學模型等)，其等界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係。更特定言之，中間資料及互相關聯性資料之歷史資料組係隨著時間推移被儲存及分析來產生該(等)模型，且最終產生一系統狀態模型(亦即，一系統狀態模組)，其將該模型的一輸出關聯於加熱器系統300的一狀態。一旦經界定，即時資料輸入(亦即，即時中間資料及互相關聯性資料)便由該(等)模型及該系統狀態模組分析，以判定加熱器系統300的一狀態，且該中間控制系統提供及輸出一狀態控制信號給程序控制系統100，以控制給加熱器302的輸出控制信號。在下文中，中間資料及互相關聯性資料可統稱為「中間-互相關聯性資料」。為了執行本文所說明之功能，本揭露內容之中間控制系統200可包括：一或多個資料庫，用以儲存歷史中間-互相關聯性資料及/或即時中間-互相關聯性資料；一通訊基礎建設，用以與如程序控制系統100之外部系統交換資料；及一運算系統，用以處理該等中間-互相關聯性資料。

在一形式中，中間控制系統200包括一中間資料模型產生器201，其包括一互相關聯性模組202及一關係模組204以及一系統狀態模組206。在一形 式中，互相關聯性模組202係組配來獲得該中間資料(例如，比例增益值、積分增益值、微分增益值)及該互相關聯性資料(例如，該內部程序控制輸入、該輸出控制及/或該外部加熱器控制輸入)，且基於例如該中間-互相關聯性資料的一時間戳記，將該中間資料及該互相關聯性資料以一相關聯方式儲存在一資料庫(未示出)中。作為一範例，來自控制迴路模組102之比例增益值、積分增益值、及/或微分增益值(統稱為PID值)係相關聯地與來自設置於熱系統10內之感測器(未示出)的資料及/或該工業程序、以及與該工業程序及/或該熱系統內發出的警示儲存在一起。

在一形式中，關係模組204係組配來判定一關係，或更特定言之，判定該中間-互相關聯性資料之間的一或多個模型208。亦即，使用合適資料模型化技術，關係模組204識別該中間-互相關聯性資料之間的趨勢/關係。作為一範例，關係模組204係組配來執行各種監督式機器學習常式，諸如一線性、非線性、或邏輯式回歸常式、一隨機森林常式、一支持向量常式等，以產生一標稱模型(作為模型208)，其界定在一訓練常式期間該中間資料與該互相關聯性資料之間的一標稱關係(例如，指示出隨時間推移之一所預測比例增益值的一非線性回歸)。另外，關係模組204可係組配來執行該等監督式機器學習常式，以產生指示出該即時中間-互相關聯性資料間之該關係的監督式學習模型(作為模型208)。應理解，關係模組204可執行非監督式或半監督式學習常式以產生模型208(例如，一叢集常式)。

基於模型208，中間資料模型產生器201界定將利用於分析即時中間-互相關聯性資料的系統狀態模組206。在一形式中，中間資料模型產生器201繼續分析中間-互相關聯性資料以精化模型，且進一步精化系統狀態模組206。雖然系統狀態模組206係提供作為中間控制系統200之部分，不過一旦經界定，系統狀態模組206可被利用與程序控制系統100一起，用以改善即時分析的一響應 時間。

在一形式中，系統狀態模組206將模型208的可能輸出關聯於加熱器系統300的一或多個經界定狀態。系統狀態模組206使用儲存於其中之該等模型處理該即時中間-互相關聯性資料，以從多個經界定狀態之中識別加熱器系統300的一狀態，且傳送經識別狀態作為該狀態控制信號。在一範例應用中，系統狀態模組206可基於作為一時間函數的該改變，來識別加熱器302的一狀態，且據此調整該比例增益值、該積分增益值及該微分增益值中之一者。為了執行本文中所說明之功能性，應理解的是系統狀態模組206可反覆執行一機器學習訓練常式，以將模型208之輸出關聯於加熱器系統300之經界定狀態。作為一範例，該機器學習訓練常式可係一監督式學習常式，其包括用加熱器系統300之各種狀態對訓練資料加標籤，諸如一流體流動系統中的一流體累積量、加熱器系統300之一電阻式加熱元件的一熱偏差、加熱器系統300的一不匹配工具條件，還有其他加熱器系統狀態。

作為一範例，模型208可界定該中間資料多次重複之間的一改變，作為計時器資料的一函數，且系統狀態模組206可基於作為一時間函數的該改變來識別加熱器系統300的一狀態，且據此調整該比例增益值、該積分增益值及該微分增益值中之一者。舉例而言，系統狀態模組206可判定該數學模型(作為模型208)之該比例增益值的二或更多次重複之間的一顯著改變係指示出加熱器系統300正消耗過量電力，作為加熱器系統300的該狀態。據此，系統狀態模組206可傳送一狀態控制信號，其指示出關聯於該比例增益值改變(例如，加熱器系統300的一非所欲熱耦接)的一狀態。此外，該狀態控制信號可指示程序控制系統100調整(例如，增大/減小)該比例增益值。

作為另一範例，當程序控制系統100施行一溫度控制常式時，控制迴路模組102可施行一自動調諧常式，其利用加熱器系統300的一響應來選擇適 當比例增益值、積分增益值、及/或微分增益值(統稱為PID增益值)。可週期性地施行該自動調諧常式，且每次執行該自動調諧常式時可記錄該等PID增益值。系統狀態模組206可組配來判定在該等PID增益值中至少一者相較於該等PID增益值的一標稱模型上隨著時間推移的一偏差係指示出加熱器系統300之熱響應上的一改變，諸如加熱器絕緣破壞、耦接至加熱器系統300之該流體流動系統之一導管中的流體聚積，還有針對熱系統10之一特定應用而被識別的其他熱響應，作為加熱器系統300的該狀態。

作為又另一範例，隨著互相關聯性資料包括該輸出控制及由熱系統10及/或該工業程序發出的警示，關係模組204可將該中間資料關聯於該輸出控制及/或警示資料，且判定用於預測未來警示的一對應模型。系統狀態模組206可接著將加熱器302的一狀態識別為一可能警示，且基於該警示提供一訂正動作。舉例而言，系統狀態模組206可基於一監督式機器學習模型判定：當產生將該流體流動系統的一目標加熱至一特定設定點溫度的一輸出控制時，加熱器系統300頻繁地起始一緊急關斷協定且產生一關斷警示。據此，系統狀態模組206可傳送識別一可能關斷的一狀態控制信號，作為加熱器系統300的該狀態，及用以調整該等PID增益值中至少一者以抑制關斷之可能性的指令。

雖然程序控制系統100、中間控制系統200及加熱器系統300係顯示為單獨系統，但應理解的是，程序控制系統100、中間控制系統200及加熱器系統300中至少一者可實行為一單個系統。舉例而言，中間控制系統200可提供為程序控制系統100的部分。在一形式中，該中間控制系統可安置在一不同於程序控制系統100之位置的位置處，且可經由一無線通訊網路、安置在熱系統10內之一或多個邊緣運算裝置、或其等之一組合來與程序控制系統100通信。

參看圖5，其顯示用於使用本揭露內容之該中間控制系統來控制一加熱器系統的一範例常式500的一流程圖。在步驟504，該中間控制系統監測由 程序控制系統100所產生的該中間資料。在步驟508，中間控制系統200將該中間資料關聯於該互相關聯性資料。作為一範例，在步驟508，該中間控制系統將該PID增益資料關聯於指示出將加熱器303設定至一特定溫度之一請求的一輸出控制，或關聯於指示出提供一特定電壓及/或電流值給加熱器302之一請求的一輸出控制。作為另一範例，在步驟508，中間控制系統200將該PID增益資料關聯於來自外部輸入裝置320的一外部加熱器控制輸入，其指示出加熱器系統300的一半導體工具匹配。作為又另一範例，在步驟508，中間控制系統200將該PID增益資料關聯於來自外部輸入裝置320的一外部加熱器控制輸入，其被提供為包括在一加熱器系統網路內的一單獨加熱器。

在步驟512，中間控制系統200判定一模型，以界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係。在步驟516，中間控制系統200基於該模型來識別該加熱器系統的狀態。作為一範例，在步驟516，中間控制系統200可偵測一流體流動系統中的一流體累積量、該加熱器系統之一電阻式加熱元件的一熱偏差、一不匹配工具條件等。在步驟520，中間控制系統200基於加熱器系統300的經識別狀態，來選擇性地執行一訂正動作，諸如基於該經識別狀態來控制提供給加熱器系統300的電力。

除非本文另外明確指出，否則在說明本揭露內容之範圍上，指示機械/熱性質、組成百分比、尺寸及/或容差或其他特性之所有數值，將被理解為經用詞「約」或「大約」修改。此修改係出於各種原因而為所欲的，包括：工業實踐；材料、製造及組裝容差；以及測試能力。

元件之間的空間及功能關係係使用各種不同用語來說明，包括「連接」、「銜接」、「耦接」、「鄰近」、「相鄰」、「在…頂部上」、「在…上方」、「在…下方」及「安置」。除非明確說明為「直接」，否則當本揭露內容中說明第一元件與第二元件之間的一關係時，該關係可為一直接關係，其 中該第一元件與該第二元件之間不存在其他中介元件，且亦可為一間接關係，其中一或多個中介元件存在(在空間或功能上)於該第一元件與該第二元件之間。在本文中使用時，A、B、及C中至少一者這個句型應該解釋為使用一非排他性邏輯「或」表示一邏輯(A或B或C)，並且不應該被解釋為表示「至少一A、至少一B、以及至少一C」。

在本申請案中，用語「模組」可被用語「電路」替換。用語「模組」可指、可為其一部分或可包括有：一特定應用積體電路(ASIC)；一數位、類比或混合類比/數位式之分立電路；一數位、類比或混合類比/數位式之積體電路；一組合邏輯電路；一現場可規劃閘陣列(FPGA)；一處理器電路(共享、專用或群組)，其施行程式碼；一記憶體電路(共享、專用或群組)，其儲存由該處理器電路施行之程式碼；提供所述功能性之其他合適的硬體組件；或以上各者中一些或全部之組合，諸如在一單個晶片系統中。

用語代碼可包括軟體、韌體及/或微碼，且可指程式、常式、功能、類別、資料結構，及/或物件。用語記憶體電路係用語電腦可讀媒體的一子集。在本文中使用時，用語電腦可讀媒體不涵蓋透過一媒體(諸如，在一載波上)傳播之暫時性電氣或電磁信號；因此用語電腦可讀媒體可視為有形且非暫時性的。

由上述討論將可理解，本發明可另以多種實施例形式體現，包含但不限於下列：

1.一種控制一工業程序之一熱系統的方法，該熱系統包括一加熱器系統及一程序控制系統，該程序控制系統係組配來基於由該程序控制系統所產生的中間資料來產生針對該加熱器系統的一輸出控制，該方法包含：監測該中間資料；將該中間資料關聯於互相關聯性資料，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合； 產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；基於該模型識別該加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統之經識別狀態，來選擇性地執行一訂正動作。

2.如實施例1之方法，其中該中間資料包括比例增益資料、積分增益資料、微分增益資料、或其等之一組合。

3.如實施例2之方法，其中該輸出控制係基於該比例增益資料、該積分增益資料及該微分增益資料的一總和。

4.如實施例1之方法，其中該程序控制系統包括具有一主要控制器及一次要控制器的一級聯控制系統，且其中該中間資料包括該級聯控制系統的迴路資料。

5.如實施例4之方法，其中該輸出控制係基於該次要控制器之比例增益資料、該次要控制器之積分增益資料及該次要控制器之微分增益資料的一總和。

6.如實施例1之方法，其中該中間資料包括該程序控制系統的一控制器增益。

7.如實施例1之方法，其中該模型係一數學模型、一機器學習模型、或其等之一組合。

8.如實施例7之方法，其中該機器學習模型係一監督式學習模型，其係組配來基於該中間資料及該互相關聯性資料來預測該加熱器系統的該狀態。

9.如實施例1之方法，其進一步包含：將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較；以及判定該標稱模型與該模型之間的一偏差，其中該加熱器系統之該經識別狀態係進一步基於該偏差。

10.如實施例9之方法，其中該偏差包括一比例增益偏差、一積分增益偏差、一微分增益偏差、或其等之一組合。

11.如實施例1之方法，其中該內部程序控制輸入包含該加熱器系統之一效能特性的一所欲設定點、用以控制該加熱器系統的一設定點、一程序變數、該程序變數的一量測值、關聯於該熱系統的一警示、或其等之一組合。

12.如實施例1之方法，其中該訂正動作包括基於該加熱器系統之該經識別狀態控制給該加熱器系統的電力。

13.如實施例1之方法，其中該訂正動作包括基於該加熱器系統之該經識別狀態廣播一警示，其中該警示指示出在通訊式耦接至該程序控制系統之一導管內的一材料累積、通訊式耦接至該程序控制系統之一電阻式加熱元件的一標稱熱偏差、或其等之一組合。

14.如實施例1之方法，其中該外部加熱器控制輸入係由該程序控制系統之一外部裝置所產生的一輸出。

15.如實施例1之方法，其中該內部程序控制輸入包含壓力資料、質量流率資料、振動資料、應變資料、溫度資料、或其等之一組合。

16.一種用於控制一加熱器系統的程序控制系統，該程序控制系統係組配來基於由該程序控制系統所產生的中間資料來產生針對該加熱器系統的一輸出控制，該程序控制系統包含：一處理器；以及一非暫時性電腦可讀媒體，其包含可由該處理器施行之指令，其中該等指令包含：監測該中間資料；將該中間資料關聯於互相關聯性資料，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合；產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；基於該模型識別該加熱器系統的一狀態；以及 基於該加熱器系統之經識別狀態，來選擇性地執行一訂正動作。

17.如實施例16之程序控制系統，其中該中間資料包括比例增益資料、積分增益資料、微分增益資料、該程序控制系統的一控制器增益、或其等之一組合。

18.如實施例16之程序控制系統，其中該程序控制系統包括具有一主要控制器及一次要控制器的一級聯控制系統，且其中該中間資料包括該級聯控制系統的迴路資料。

19.如實施例16之程序控制系統，其中：該模型係組配來基於該中間資料及該互相關聯性資料來預測該加熱器系統的該狀態；以及該等指令進一步包含：將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較；以及判定該標稱模型與該模型之間的一偏差，其中該加熱器系統之該經識別狀態係進一步基於該偏差。

20.如實施例16之程序控制系統，其中該內部程序控制輸入包含該加熱器系統之一效能特性的一所欲設定點、用以控制該加熱器系統的一設定點、一程序變數、該程序變數的一量測值、關聯於該熱系統的一警示、或其等之一組合。

21.一種控制一工業程序之一熱系統的方法，該熱系統包括一加熱器系統及一程序控制系統，該程序控制系統係組配來基於由該程序控制系統所產生的中間資料來產生針對該加熱器系統的一輸出控制，該方法包含：將該中間資料關聯於互相關聯性資料，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合；產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱 模型進行比較；基於該標稱模型與該模型間之該比較識別該加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統之經識別狀態來選擇性地執行一訂正動作。

22.如實施例21之方法，其中該中間資料包括比例增益資料、積分增益資料、微分增益資料、該程序控制系統的一控制器增益、或其等之一組合。

23.如實施例21之方法，其中該程序控制系統包括具有一主要控制器及一次要控制器的一級聯控制系統，且其中該中間資料包括該級聯控制系統的迴路資料。

24.如實施例21之方法，其中該加熱器系統之該經識別狀態係進一步基於該標稱模型與該模型之間的一偏差，且其中該偏差包括一比例增益偏差、一積分增益偏差、一微分增益偏差、或其等之一組合。

25.如實施例21之方法，其中該內部程序控制輸入包含該加熱器系統之一效能特性的一所欲設定點、用以控制該加熱器系統的一設定點、一程序變數、該程序變數的一量測值、關聯於該熱系統的一警示、或其等之一組合。

26.如實施例21之方法，其中該外部加熱器控制輸入係由該程序控制系統之一外部輸入控制器所產生的一輸出。

27.如實施例21之方法，其中該內部程序控制輸入包含壓力資料、質量流率資料、振動資料、應變資料、溫度資料、或其等之一組合。

本揭露內容之說明本質上僅為範例性，因此，未脫離本揭露實質內容之變化係意欲落入本揭露內容之範圍內。請勿將此等變化視為脫離本揭露內容之精神及範圍。

500:範例常式

504,508,512,516,520:步驟

Claims (23)

1. 一種控制工業程序之熱系統的方法，該熱系統包括一加熱器系統及一程序控制系統，該程序控制系統組配來基於該程序控制系統所產生的中間資料來產生針對該加熱器系統的一輸出控制，該方法包含：監測該中間資料；使該中間資料與互相關聯性資料相關聯，其中該互相關聯性資料包括一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合；產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；基於該模型識別該加熱器系統的一狀態；基於該加熱器系統之經識別狀態，來選擇性地執行一訂正動作；將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較；以及判定該標稱模型與該模型之間的一偏差，其中該加熱器系統之該經識別狀態係進一步基於該偏差。
2. 如請求項1之方法，其中該中間資料包括：比例增益資料、積分增益資料、微分增益資料、或其等之一組合。
3. 如請求項2之方法，其中該輸出控制係基於該比例增益資料、該積分增益資料及該微分增益資料的一總和。
4. 如請求項1之方法，其中該程序控制系統包括具有一主要控制器及一次要控制器的一級聯控制系統，且其中該中間資料包括該級聯控制系統的迴路資料。
5. 如請求項4之方法，其中該輸出控制係基於該次要控制器之比例增益資料、該次要控制器之積分增益資料及該次要控制器之微分增益資料的一總和。
6. 如請求項1之方法，其中該中間資料包括該程序控制系統的一控制器增益。
7. 如請求項1之方法，其中該模型係一數學模型、一機器學習模型、或其等之一組合。
8. 如請求項7之方法，其中該機器學習模型係一監督式學習模型，其組配來基於該中間資料及該互相關聯性資料來預測該加熱器系統的該狀態。
9. 如請求項1之方法，其中該偏差包括：一比例增益偏差、一積分增益偏差、一微分增益偏差、或其等之一組合。
10. 如請求項1之方法，其中該內部程序控制輸入包含：該加熱器系統之一效能特性的一所欲設定點、用以控制該加熱器系統的一設定點、一程序變數、該程序變數的一量測值、關聯於該熱系統的一警示、或其等之一組合。
11. 如請求項1之方法，其中該訂正動作包括基於該加熱器系統之該經識別狀態廣播一警示，其中該警示指出在通訊式耦接至該程序控制系統之一導管內的一材料累積、通訊式耦接至該程序控制系統之一電阻式加熱元件的一標稱熱偏差、或其等之一組合。
12. 如請求項1之方法，其中該外部加熱器控制輸入係該程序控制系統之一外部裝置所產生的一輸出。
13. 如請求項1之方法，其中該內部程序控制輸入包含壓力資料、質量流率資料、振動資料、應變資料、溫度資料、或其等之一組合。
14. 一種用於控制加熱器系統的程序控制系統，該程序控制系統組配來基於該程序控制系統所產生的中間資料來產生針對該加熱器系統的一輸出控制，該程序控制系統包含：一處理器；以及 一非暫時性電腦可讀媒體，其包含可由該處理器執行之指令，其中該等指令包含：監測該中間資料；使該中間資料與互相關聯性資料相關聯，其中該互相關聯性資料包括：一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合；產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；基於該模型識別該加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統之經識別狀態，來選擇性地執行一訂正動作；該模型係組配來基於該中間資料及該互相關聯性資料來預測該加熱器系統的該狀態，且該等指令進一步包含：將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較；以及判定該標稱模型與該模型之間的一偏差，其中該加熱器系統之該經識別狀態係進一步基於該偏差。
15. 如請求項14之程序控制系統，其中該中間資料包括：比例增益資料、積分增益資料、微分增益資料、該程序控制系統的一控制器增益、或其等之一組合。
16. 如請求項14之程序控制系統，其中該程序控制系統包括具有一主要控制器及一次要控制器的一級聯控制系統，且其中該中間資料包括該級聯控制系統的迴路資料。
17. 如請求項14之程序控制系統，其中該內部程序控制輸入包含：該加熱器系統之一效能特性的一所欲設定點、用以控制該加熱器系統的一設定點、一程序變數、該程序變數的一量測值、關聯於熱系統的一警示、或其 等之一組合。
18. 一種控制工業程序之熱系統的方法，該熱系統包括一加熱器系統及一程序控制系統，該程序控制系統組配來基於該程序控制系統所產生的中間資料來產生針對該加熱器系統的一輸出控制，該方法包含：使該中間資料與互相關聯性資料相關聯，其中該互相關聯性資料包括：一內部程序控制輸入、一外部加熱器控制輸入、該輸出控制、或其等之一組合；產生一模型，其界定該中間資料與該互相關聯性資料之間的一關係；將該模型與界定該中間資料與該互相關聯性資料間之一標稱關係的一標稱模型進行比較；基於該標稱模型與該模型間之比較結果而識別該加熱器系統的一狀態；以及基於該加熱器系統之該經識別狀態來選擇性地執行一訂正動作，其中：該內部程序控制輸入包含該加熱器系統之一效能特性的一所欲設定點、用以控制該加熱器系統的一設定點、一程序變數、該程序變數的一量測值、關聯於該熱系統的一警示、或其等之一組合。
19. 如請求項18之方法，其中該中間資料包括：比例增益資料、積分增益資料、微分增益資料、該程序控制系統的一控制器增益、或其等之一組合。
20. 如請求項18之方法，其中該程序控制系統包括具有一主要控制器及一次要控制器的一級聯控制系統，且其中該中間資料包括該級聯控制系統的迴路資料。
21. 如請求項18之方法，其中該加熱器系統之該經識別狀態係進一步基於該標稱模型與該模型間之一偏差，且其中該偏差包括：一比例增益偏差、一積分增益偏差、一微分增益偏差、或其等之一組合。
22. 如請求項18之方法，其中該外部加熱器控制輸入係該程序控制系統之一外部輸入控制器所產生的一輸出。
23. 如請求項18之方法，其中該內部程序控制輸入包含：壓力資料、質量流率資料、振動資料、應變資料、溫度資料、或其等之一組合。

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