TWI836483B - 半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置 - Google Patents

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Abstract

一種半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置，其中控制方法包括：獲取當前動作任務，該當前動作任務包括多個子動作對象；確定當前子動作對象和待執行子動作對象，該待執行子動作對象被配置為在該當前子動作對象之後執行；控制與該當前子動作對象關聯的當前運動部件執行該當前子動作對象；在執行完該當前子動作對象之後，確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件；在該待用運動部件不包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態設置為可用。

Description

半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置
本申請涉及半導體製程技術領域，具體涉及一種半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置。
在半導體製程設備(例如晶圓清洗設備)中，上位機主要包括協調模塊(Coordinator)和調度模塊(Scheduler)。調度模塊用於根據協調模塊輸入的機台信息，計算製程任務(Job)的優化執行序列，保障機台產能；協調模塊用於與調度模塊交互，接收從調度模塊輸出的動作任務序列，並控制下位機(如傳輸控制模塊和/或製程控制模塊等)完成對應的製程任務。上位機中控制軟件的核心功能之一是對製程任務的控制，在執行製程任務的過程中，協調模塊會不斷收到來自調度模塊輸出的動作序列，並會將動作序列中的動作任務分配給對應的運動部件(比如機械手或者槽蓋)執行動作。
具體可以參考圖1所示，調度模塊輸出的製程任務包括多個動作任務(Move)：如圖1中Move1、Move2、…、MoveN；各個動作任務包括至少一個設計好了執行順序的子動作對象(Action)：如圖1中Move1包括Action11和Action12，Move2包括Action21、Action22和Action23；針對每個子動作對象，協調模塊會將具體要執行的動作名稱及參數發送給對應的運動部件(Module)，由對應的運動部件執行各個子動作對象：如圖1所示Move1中Action11由Module1執行，Action12由Module2執行，Move2中Action21由Module1執行，Action22和Action23均由Module3執行。其中，每個動作任務開始執行前，協調模塊會將該動作任務包含的所有子動作對象涉及到的運動部件設置為佔用，直到該動作任務包含的所有子動作對象都執行完，相關運動部件才會被釋放。運動部件可以持續掃描自己是否有子動作對象需要執行，但只會執行把自己設置為佔用的動作任務中的子動作對象。這種設計可以在一定程度上保證上一個動作任務的所有子動作對象沒有完全執行完前，相關運動部件不會去執行其它動作任務的子動作對象，使各個動作任務之間的子動作對象互不干涉。然而，上述動作任務在執行過程中，對運動部件的佔用機制過於絕對，容易導致運動部件的利用率低，從而可能影響對應的機台產能。
鑒於此，本申請提供一種半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置，以解決傳統方案中運動部件利用率低，可能影響機台產能的問題。
本申請第一方面提供一種半導體製程設備中運動部件的控制方法，該半導體製程設備包括多個運動部件，該控制方法包括：獲取當前動作任務，該當前動作任務包括多個子動作對象；從該多個子動作對象中確定當前子動作對象和待執行子動作對象，該待執行子動作對象被配置為在該當前子動作對象之後執行；控制與該當前子動作對象關聯的當前運動部件執行該當前子動作對象；在執行完該當前子動作對象之後，確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件；在該待用運動部件不包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態設置為可用。
可選地，在該獲取當前動作任務之前，該控制方法還包括：接收多個動作任務，將最先接收到的該動作任務作為該當前動作任務；識別該當前動作任務中與各個子動作對象關聯的運動部件；將與各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設置為佔用。
可選地，在該確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件之後，該控制方法還包括：在該待用運動部件包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用。
可選地，在該將該當前運動部件的運動狀態設置為可用或者將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用之後，該控制方法還包括：控制該待用運動部件依次執行該待執行子動作對象；在該當前動作任務的所有子動作對象均執行完成後，將各個關聯的運動部件的運動狀態均設置為可用。
可選地，在該將該當前運動部件的運動狀態設置為可用之後，該控制方法還包括：確定該當前動作任務之後的該動作任務中，是否包含與該當前運動部件關聯的子動作對象；若是，則控制該當前運動部件提前執行該子動作對象。
本申請第二方面提供一種半導體製程設備中運動部件的控制裝置，該半導體製程設備包括多個運動部件，該控制裝置包括：獲取單元，用於獲取當前動作任務，該當前動作任務包括多個子動作對象；第一確定單元，用於從該多個子動作對象中確定當前子動作對象和待執行子動作對象，該待執行子動作對象被配置為在該當前子動作對象之後執行；第一控制單元，用於控制與該當前子動作對象關聯的當前運動部件執行該當前子動作對象；第二確定單元，用於在執行完該當前子動作對象之後，確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件；第一設置單元，用於在該待用運動部件不包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態設置為可用。
可選地，該控制裝置還包括：接收單元，用於接收多個動作任務，將最先接收到的該動作任務作為該當前動作任務；識別單元，用於識別該當前動作任務中與各個子動作對象關聯的運動部件；第二設置單元，用於將各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設置為佔用。
可選地，該第一設置單元還用於：在該待用運動部件包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用。
可選地，該控制裝置還包括：第二控制單元，用於控制該待用運動部件依次執行該待執行子動作對象；第三設置單元，用於在該當前動作任務的所有子動作對象均執行完成後，將各個關聯的運動部件的運動狀態均設置為可用。
可選地，該控制裝置還包括：第三確定單元，用於確定該當前動作任務之後的該動作任務中，是否包含與該當前運動部件關聯的子動作對象；第三控制單元，用於在該當前動作任務之後的該動作任務中包含與該當前運動部件關聯的子動作對象時，控制該當前運動部件提前執行該子動作對象。
本申請第三方面提供一種半導體製程設備，包括上述任一種半導體製程設備中運動部件的控制裝置。
本申請上述半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置，通過獲取當前動作任務，從多個子動作對象中確定當前子動作對象和待執行子動作對象，控制當前運動部件執行當前子動作對象，在執行完當前子動作對象之後，確定與待執行子動作對象關聯的待用運動部件，在待用運動部件不包括當前運動部件時，將當前運動部件的運動狀態設置為可用，這樣可以提前釋放當前運動部件，使當前運動部件可供其他動作任務調用，無需等到動作任務包含的所有子動作對象都執行完，為其他動作任務的提前執行提供可能性。進一步的，還增設提前執行當前運動部件後續關聯的子動作對象的機制，進一步提高運動部件的利用率，以及與其他運動部件間動作的連貫性，縮短相應動作任務的執行時間，從而縮短製程任務的總執行時間，進而提高機台產能。
以下揭露提供用於實施本揭露之不同構件之許多不同實施例或實例。下文描述組件及配置之特定實例以簡化本揭露。當然，此等僅為實例且非意欲限制。舉例而言，在以下描述中之一第一構件形成於一第二構件上方或上可包含其中該第一構件及該第二構件經形成為直接接觸之實施例，且亦可包含其中額外構件可形成在該第一構件與該第二構件之間，使得該第一構件及該第二構件可不直接接觸之實施例。另外，本揭露可在各個實例中重複參考數字及/或字母。此重複出於簡化及清楚之目的且本身不指示所論述之各個實施例及/或組態之間的關係。
此外，為便於描述，諸如「下面」、「下方」、「下」、「上方」、「上」及類似者之空間相對術語可在本文中用於描述一個元件或構件與另一(些)元件或構件之關係，如圖中圖解說明。空間相對術語意欲涵蓋除在圖中描繪之定向以外之使用或操作中之裝置之不同定向。設備可以其他方式定向(旋轉90度或按其他定向)且因此可同樣解釋本文中使用之空間相對描述詞。
儘管陳述本揭露之寬泛範疇之數值範圍及參數係近似值，然儘可能精確地報告特定實例中陳述之數值。然而，任何數值固有地含有必然由於見於各自測試量測中之標準偏差所致之某些誤差。再者，如本文中使用，術語「大約」通常意謂在一給定值或範圍之10%、5%、1%或0.5%內。替代地，術語「大約」意謂在由此項技術之一般技術者考量時處於平均值之一可接受標準誤差內。除在操作/工作實例中以外，或除非以其他方式明確指定，否則諸如針對本文中揭露之材料之數量、時間之持續時間、溫度、操作條件、數量之比率及其類似者之全部數值範圍、數量、值及百分比應被理解為在全部例項中由術語「大約」修飾。相應地，除非相反地指示，否則本揭露及隨附發明申請專利範圍中陳述之數值參數係可根據需要變化之近似值。至少，應至少鑑於所報告有效數位之數目且藉由應用普通捨入技術解釋各數值參數。範圍可在本文中表達為從一個端點至另一端點或在兩個端點之間。本文中揭露之全部範圍包含端點，除非另有指定。
背景技術所述的動作任務執行過程可以參考圖2所示，協調模塊收到調度模塊的動作任務，識別動作任務中各個子動作對象對應的運動部件是否都處於可用狀態，在各個運動部件都處於可用狀態時，將所有相關運動部件設置為佔用，再依次執行各個子動作對象，在所有子動作對象執行完成後，將該相關運動部件設置為可用，此時當前的動作任務執行完畢。結合圖1對調度模塊輸出的各個動作任務情況進行分析：Move1任務會佔用Module1和Module2。Move2任務會佔用Module1和Module3。Module1在執行完Action11的任務後，會處於無動作的狀態，但由於Module1本身被Move1佔用，需等待到Move1動作任務包含的所有子動作對象都執行完，才會被釋放，導致Move2的任務在所有子動作對象都執行完之前也不會啟動。可見傳統的動作任務執行過程中，對運動部件的佔用機制過於絕對，導致運動部件利用率低，容易影響機台產能，具體表現為對於只是在動作任務的開始階段執行一次動作的運動部件(後續其它運動部件的動作也不會對此運動部件的動作產生干擾)，在執行完當前動作任務分配的動作後，會長時間處於空閒狀態，無法執行其它動作任務。
針對目前半導體製程設備中運動部件的動作執行機制存在的問題，本申請提供一種半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置，其新設了子動作對象的執行完成時機的監測機制，在當前運動部件執行完當前子動作對象後，檢測待用運動部件與當前運動部件的關係，若待用運動部件不包括當前運動部件，則將當前運動部件的運動狀態設置為可用，使當前運動部件在當前動作任務完成前具有更新運動狀態的機會，這樣當前運動部件提前釋放成為可能，能夠提高得到提前釋放的運動部件的利用率，從而提高機台產能。
下面結合附圖，對本申請實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本申請一部分實施例，而非全部實施例。基於本申請中的實施例，本領域技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬本申請保護的範圍。在不衝突的情況下，下述各個實施例及其技術特徵可以相互組合。
本申請第一方面提供一種半導體製程設備中運動部件的控制方法，該半導體製程設備包括多個運動部件，參考圖3所示，上述控制方法包括：
S210，獲取當前動作任務，該當前動作任務包括多個子動作對象；
S220，從多個子動作對象中確定當前子動作對象和待執行子動作對象，該待執行子動作對象被配置為在該當前子動作對象之後執行；
S230，控制與該當前子動作對象關聯的當前運動部件執行該當前子動作對象；
S240，在執行完該當前子動作對象之後，確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件；
S250，在該待用運動部件不包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態設置為可用。
半導體製程設備的調度模塊在程序設計階段設置各個動作任務的流程，使各個動作任務包括至少一個子動作對象，至少一個子動作對象按順序執行。協調模塊獲取需要執行的動作任務，識別該動作任務包括的各個子動作對象，按照執行順序依次控制對應的運動部件執行各個子動作對象。運動部件在執行某個子動作對象時，會持續反饋其運動狀態(例如可用或佔用)給協調模塊，使協調模塊能夠對該動作任務中所有子動作對象的執行完成時機進行監測。
具體地，協調模塊獲取當前動作任務，控制各個運動部件執行其中對應子動作對象的過程中，正在執行的子動作對象為當前子動作對象，執行順序在當前子動作對象之後的子動作對象為待執行子動作對象，當前子動作對象關聯的運動部件為當前運動部件，待執行子動作對象關聯的運動部件為待用運動部件。上述當前運動部件包括執行和協助執行當前子動作對象的各個運動部件，待用運動部件包括執行和協助執行各個待執行子動作對象的各個運動部件。
本實施例在當前運動部件執行完當前子動作對象後，確定與待執行子動作對象關聯的待用運動部件，在待用運動部件不包括當前運動部件時，將當前運動部件的運動狀態設置為可用，以在當前動作任務完成前更新當前運動部件的運動狀態，使當前運動部件在當前動作任務完成前具有更新運動狀態的機會，這樣當前運動部件提前釋放成為可能，能夠提高得到提前釋放的運動部件的利用率。
在一個實施例中，上述半導體製程設備中運動部件的控制方法也可以參考圖4所示，本實施例提供的控制方法中，在該獲取當前動作任務之前，還可以包括：
S110，接收多個動作任務，將最先接收到的動作任務作為上述當前動作任務；
S120，識別上述當前動作任務中與各個子動作對象關聯的運動部件；
S130，將各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設置為佔用。
本實施例在接收多個動作任務時，將最先接收到的動作任務作為當前動作任務，識別當前動作任務中各個子動作對象關聯的運動部件，將所識別的各個運動部件的運動狀態均設置為佔用後，按照執行順序依次控制對應的運動部件執行各個子動作對象，使當前動作任務得到及時執行，即及時執行最先接收到的動作任務，有利於維持執行各個動作任務過程中的有序性。
具體地，參考圖5所示，上述步驟S130，將各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設置為佔用可以包括：
S131，識別各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態；
S132，判斷各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態是否均為可用；若是，則執行步驟S133；若否，則返回執行步驟S132，直至檢測到所關聯的各個運動部件均為可用，以使各個子動作對象關聯的各個運動部件在被其他動作任務釋放後再用於執行當前動作任務，確保其他動作任務的執行效果；
S133，將各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設為佔用，以使這些運動部件均用於執行當前動作任務；
在其他實施例中，半導體製程設備的協調模塊也可以按照其他規則設置當前動作任務。例如，若接收的多個動作任務攜帶優先級標誌，則可以將其中最高優先級的動作任務設為當前動作任務，等等。
進一步地，參考圖4所示，在該確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件之後，上述控制方法還可以包括：
S260，在該待用運動部件包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用。
這裡在待用運動部件包括當前運動部件時，將當前運動部件的運動狀態保持為佔用，使當前運動部件繼續用於執行當前動作任務中相應子動作對象，以保證當前動作任務得到順利執行。
在一個示例中，在該將該當前運動部件的運動狀態設置為可用或者將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用之後，該控制方法還包括：
控制該待用運動部件依次執行該待執行子動作對象；
在該當前動作任務的所有子動作對象均執行完成後，將各個關聯的運動部件的運動狀態均設置為可用。
本示例在當前動作任務的所有子動作對象均執行完成後，將關聯的各個運動部件的運動狀態均設置為可用，使這些運動部件均可供其他動作任務調用，可用進一步保證這些運動部件的利用率。
在一個實施例中，參考圖6所示，在該將該當前運動部件的運動狀態設置為可用之後，該控制方法還包括：
S271，確定該當前動作任務之後的該動作任務中，是否包含與該當前運動部件關聯的子動作對象；若是，則執行步驟S272；若否，則該當前運動部件不動作；
S272，控制該當前運動部件提前執行該子動作對象。
本實施例中，上述與當前運動部件關聯的子動作對象可以稱為特定子動作對象，該特定子動作對象包括需要優先執行的一個或者幾個動作，所謂優先執行，是指在當前運動部件的運動狀態設置為可用之後，即使被其他動作任務設為佔用，也一定會在執行其他動作任務對應的子動作對象之前，優先執行該特定子動作對象，換句話說，特定子動作對象可以視為其他動作任務的前一個動作或者前幾個動作。
具體地，在某運動部件設置為可用之後，控制該運動部件先執行特定子動作對象，根據相關業務流程，可以確定此運動部件的下個動作時，已提前執行下個動作任務關於此運動部件的特定子動作對象。在一些情況下，當下個關聯此運動部件動作的動作任務啟動時，可以僅對提前執行的特定子動作對象進行檢測，節省對應的執行時間；在另外一些情況下，雖然還是可能要執行此運動部件已提前執行的特定子動作對象，但一旦此運動部件已經處於執行完特定子動作對象的狀態，相關動作服務程序便會立刻返回，不會重複執行特定子動作對象，這仍然可以減少時間消耗。
以某傳輸部件執行傳輸子動作對象為例進行說明，該傳輸部件在當前動作任務中完成傳輸子動作對象後，被設置為可用，其在執行之後的其他動作任務中的傳輸子動作對象時，需要先執行歸位動作，這一歸位動作便為該傳輸部件對應的特定子動作對象。協調模塊將該傳輸部件置為可用之後，控制該傳輸部件提前執行該歸位動作；若該傳輸部件在執行之後其他動作任務的傳輸子動作對象時，協調模塊可以僅對需該歸位動作進行檢測，此時可以節省歸位動作的執行時間；若協調模塊還需要控制該傳輸部件執行該歸位動作，由於該傳輸部件已經處於執行完歸位動作的狀態，其中動作服務程序便會立刻返回，此時仍然可以減少歸位動作對應的時間消耗。
在一個示例中，以某半導體清洗設備(如300mm Cassette-less)中，將晶圓從晶圓盒(Foup盒)中取出的過程為例對上述半導體製程設備中運動部件的控制方法進行說明，上述將晶圓從晶圓盒中取出的過程包括表1所示兩個動作任務：晶圓取放動作(WHRTransferMove)和晶圓盒傳送動作(FTRFoupMove)；晶圓取放動作包括開啟晶圓盒(OpenerLoad)、從晶圓盒取出晶圓(PickWaferFromOpener)和向中央傳輸單元交互晶圓(PlaceWaferToCTU)三個子動作對象；晶圓盒傳送動作包括關閉晶圓盒(OpenerUnload)、從晶圓盒開關模塊取出晶圓盒(PickFoupFromOpener)和向晶圓盒緩存台傳送晶圓盒(PlaceFoupToShelf)三個子動作對象。晶圓取放動作關聯的運動部件包括晶圓盒開關模塊(Opener)、晶圓取放機械手(WHR)和中央傳輸單元(CTU)，具體執行過程為：晶圓盒開關模塊開啟晶圓盒，晶圓取放機械手從開啟的晶圓盒中取出晶圓，晶圓取放機械手向中央傳輸單元交互取出的晶圓；可見，開啟晶圓盒關聯晶圓盒開關模塊，從晶圓盒取出晶圓關聯晶圓盒開關模塊和晶圓取放機械手，向中央傳輸單元交互晶圓關聯晶圓取放機械手和中央傳輸單元。晶圓盒傳送動作關聯的運動部件包括晶圓盒開關模塊、晶圓盒傳輸機械手(FTR)和晶圓盒緩存台(Shelf)，具體執行過程為：晶圓盒開關模塊關閉晶圓盒、晶圓盒傳輸機械手從晶圓盒開關模塊取出晶圓盒，並向晶圓盒緩存台傳送晶圓盒；可見，關閉晶圓盒關聯晶圓盒開關模塊，從晶圓盒開關模塊取出晶圓盒關聯晶圓盒開關模塊和晶圓盒傳輸機械手，向晶圓盒緩存台傳送晶圓盒關聯晶圓盒傳輸機械手和晶圓盒緩存台。其中，關閉晶圓盒為晶圓盒開關模塊被置為可用之後，執行之後的其他動作任務中關聯的子動作對象(特定子動作對象)。 表1
動作任務 子動作對象 運動部件
晶圓取放動作 1、開啟晶圓盒； 2、從晶圓盒取出晶圓； 3、向中央傳輸單元交互晶圓。 晶圓盒開關模塊：開啟晶圓盒； 晶圓取放機械手：從開啟的晶圓盒中取出晶圓； 中央傳輸單元：與晶圓取放機械手進行晶圓的交互。
晶圓盒傳送動作 1、關閉晶圓盒； 2、從晶圓盒開關模塊取出晶圓盒； 3、向晶圓盒緩存台傳送晶圓盒。 晶圓盒開關模塊：關閉晶圓盒； 晶圓盒傳輸機械手：從晶圓盒開關模塊取出晶圓盒，並向晶圓盒緩存台傳送晶圓盒； 晶圓盒緩存台：緩存晶圓盒。
如表1所示，晶圓從晶圓盒中取出，由晶圓取放動作實現。晶圓被取出後，空晶圓盒被傳到晶圓盒緩存臺上緩存起來，將晶圓盒開關模塊空出來，以繼續用於後續晶圓的傳入、傳出，由晶圓盒傳送動作實現。晶圓取放動作中，從晶圓盒取出晶圓執行完後，其關聯的晶圓盒開關模塊與後續向中央傳輸單元交互晶圓沒有關聯，晶圓盒開關模塊的運動狀態便可以被設置為可用，得到提前釋放，令晶圓盒傳送動作提前啟動執行成為可能。
在需要執行晶圓盒傳送動作時，如果此時晶圓盒傳輸機械手正在忙於其它動作任務，在晶圓取放動作執行過程中，可以在晶圓盒開關模塊被釋放後，繼續執行關閉晶圓盒這一特定子動作對象，當晶圓盒開關模塊和晶圓盒緩存台均為可用，晶圓盒傳送動作具備啟動執行條件後，根據設計好的子動作對象的執行順序，一些情況下首先還是可能執行關閉晶圓盒這一動作，但關閉晶圓盒已提前執行完成，所以下位機服務會立刻返回，仍然能夠減少執行關閉晶圓盒的時間消耗。
以上半導體製程設備中運動部件的控制方法，針對目前半導體製程設備中運動部件的動作執行機制存在的問題，改進子動作對象的控制流程，增加提前釋放運動部件的機制和提前執行運動部件後續響應其他動作任務一定需要先執行的動作的機制，可以提高運動部件的利用率，以及與其他運動部件間動作的連貫性，縮短相應動作任務的執行時間，從而縮短相應製程任務的總執行時間，進而提高對應機台產能。
本申請在第二方面提供一種半導體製程設備中運動部件的控制裝置，其中半導體製程設備包括多個運動部件，如圖7所示，該控制裝置包括：
獲取單元210，用於獲取當前動作任務，該當前動作任務包括多個子動作對象；
第一確定單元220，用於從該多個子動作對象中確定當前子動作對象和待執行子動作對象，該待執行子動作對象被配置為在該當前子動作對象之後執行；
第一控制單元230，用於控制與該當前子動作對象關聯的當前運動部件執行該當前子動作對象；
第二確定單元240，用於在執行完該當前子動作對象之後，確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件；
第一設置單元250，用於在該待用運動部件不包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態設置為可用。
在一個實施例中，該控制裝置還包括：
接收單元，用於接收多個動作任務，將最先接收到的該動作任務作為該當前動作任務；
識別單元，用於識別該當前動作任務中各個子動作對象關聯的運動部件；
第二設置單元，用於將與各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設置為佔用。
具體地，該第一設置單元還用於：
在該待用運動部件包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用。
具體地，該控制裝置還包括：
第二控制單元，用於控制該待用運動部件依次執行該待執行子動作對象；
第三設置單元，用於在該當前動作任務的所有子動作對象均執行完成後，將各個關聯的運動部件的運動狀態均設置為可用。
在一個實施例中，該控制裝置還包括：
第三確定單元，用於確定該當前動作任務之後的該動作任務中，是否包含與該當前運動部件關聯的子動作對象；
第三控制單元，用於在該當前動作任務之後的該動作任務中包含與該當前運動部件關聯的子動作對象時，則控制該當前運動部件提前執行該子動作對象。
關於半導體製程設備中運動部件的控制裝置的具體限定可以參見上文中對於半導體製程設備中運動部件的控制方法的限定，在此不再贅述。上述半導體製程設備中運動部件的控制裝置中的各個單元可全部或部分通過軟件、硬件及其組合來實現。上述各單元可以硬件形式內嵌于或獨立於計算機設備中的處理器中，也可以以軟件形式存儲於計算機設備中的存儲器中，以便於處理器調用執行以上各個單元對應的操作。
本申請在第三方面提供一種半導體製程設備，包括上述任一實施例所述的半導體製程設備中運動部件的控制裝置，具有上述控制裝置的所有有益效果，機台產能得到有效提升。
本申請在第四方面提供一種半導體製程設備，參考圖8所示，該半導體製程設備包括處理器、存儲介質和多個運動部件；該存儲介質上存儲有程序代碼；該處理器用於調用該存儲介質存儲的程序代碼，以執行上述任一實施例所述的半導體製程設備中運動部件的控制方法。
上述半導體製程設備在執行上述半導體製程設備中運動部件的控制方法時，設置提前釋放運動部件的機制和提前執行運動部件後續關聯的子動作對象的的機制，以提高運動部件的利用率，以及與其他運動部件間動作的連貫性，縮短相應動作任務的執行時間，從而縮短製程任務的總執行時間，提高機台產能。
前述內容概括數項實施例之特徵，使得熟習此項技術者可更佳地理解本揭露之態樣。熟習此項技術者應瞭解，其等可容易地使用本揭露作為用於設計或修改用於實行本文中介紹之實施例之相同目的及/或達成相同優點之其他製程及結構之一基礎。熟習此項技術者亦應瞭解，此等等效構造不背離本揭露之精神及範疇，且其等可在不背離本揭露之精神及範疇之情況下在本文中作出各種改變、置換及更改。
210:獲取單元 220:第一確定單元 230:第一控制單元 240:第二確定單元 250:第一設置單元 S110-S130, S131-S133, S210-S260, S271-S272:步驟
當結合附圖閱讀時，從以下詳細描述最佳理解本揭露之態樣。應注意，根據產業中之標準實踐，各種構件未按比例繪製。事實上，為了論述的清楚起見可任意增大或減小各種構件之尺寸。 圖1是半導體製程設備的動作任務與運動部件之間的關係示意圖； 圖2是傳統的運動部件控制過程示意圖； 圖3是本申請一實施例的半導體製程設備中運動部件的控制方法流程示意圖； 圖4是本申請另一實施例的導體製程設備中運動部件的控制方法流程示意圖； 圖5是本申請一實施例中當前動作任務關聯運動部件的運動狀態設置過程示意圖； 圖6是本申請一實施例中特定子動作對象的執行過程示意圖； 圖7是本申請一實施例中半導體製程設備中運動部件的控制裝置結構示意圖； 圖8是本申請一實施例中半導體製程設備的結構示意圖。
S210-S250:步驟

Claims (11)

  1. 一種半導體製程設備中運動部件的控制方法，該半導體製程設備包括多個運動部件，其中該控制方法包括： 獲取一當前動作任務，該當前動作任務包括多個子動作對象； 從該多個子動作對象中確定一當前子動作對象和一待執行子動作對象，該待執行子動作對象被配置為在該當前子動作對象之後執行； 控制與該當前子動作對象關聯的一當前運動部件執行該當前子動作對象； 在執行完該當前子動作對象之後，確定與該待執行子動作對象關聯的一待用運動部件； 在該待用運動部件不包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態設置為可用。
  2. 如請求項1所述的控制方法，其中在該獲取當前動作任務之前，該控制方法還包括： 接收多個動作任務，將最先接收到的該動作任務作為該當前動作任務； 識別該當前動作任務中與各個子動作對象關聯的運動部件； 將與各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設置為佔用。
  3. 如請求項2所述的控制方法，其中在該確定與該待執行子動作對象關聯的待用運動部件之後，該控制方法還包括： 在該待用運動部件包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用。
  4. 如請求項3所述的控制方法，其中在該將該當前運動部件的運動狀態設置為可用或者將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用之後，該控制方法還包括： 控制該待用運動部件依次執行該待執行子動作對象； 在該當前動作任務的所有子動作對象均執行完成後，將各個關聯的運動部件的運動狀態均設置為可用。
  5. 如請求項1所述的控制方法，其中在該將該當前運動部件的運動狀態設置為可用之後，該控制方法還包括： 確定該當前動作任務之後的該動作任務中，是否包含與該當前運動部件關聯的子動作對象； 若是，則控制該當前運動部件提前執行該子動作對象。
  6. 一種半導體製程設備中運動部件的控制裝置，該半導體製程設備包括多個運動部件，其中該控制裝置包括： 一獲取單元，用於獲取一當前動作任務，該當前動作任務包括多個子動作對象； 一第一確定單元，用於從該多個子動作對象中確定一當前子動作對象和一待執行子動作對象，該待執行子動作對象被配置為在該當前子動作對象之後執行； 一第一控制單元，用於控制與該當前子動作對象關聯的一當前運動部件執行該當前子動作對象； 一第二確定單元，用於在執行完該當前子動作對象之後，確定與該待執行子動作對象關聯的一待用運動部件； 一第一設置單元，用於在該待用運動部件不包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態設置為可用。
  7. 如請求項6所述的控制裝置，其中該控制裝置還包括： 一接收單元，用於接收多個動作任務，將最先接收到的該動作任務作為該當前動作任務； 一識別單元，用於識別該當前動作任務中與各個子動作對象關聯的運動部件； 一第二設置單元，用於將與各個子動作對象關聯的運動部件的運動狀態均設置為佔用。
  8. 如請求項7所述的控制裝置，其中該第一設置單元還用於： 在該待用運動部件包括該當前運動部件時，將該當前運動部件的運動狀態保持為佔用。
  9. 如請求項8所述的控制裝置，其中該控制裝置還包括： 一第二控制單元，用於控制該待用運動部件依次執行該待執行子動作對象； 一第三設置單元，用於在該當前動作任務的所有子動作對象均執行完成後，將各個關聯的運動部件的運動狀態均設置為可用。
  10. 如請求項6所述的控制裝置，其中該控制裝置還包括： 一第三確定單元，用於確定該當前動作任務之後的該動作任務中，是否包含與該當前運動部件關聯的子動作對象； 一第三控制單元，用於在該當前動作任務之後的該動作任務中包含與該當前運動部件關聯的子動作對象時，控制該當前運動部件提前執行該子動作對象。
  11. 一種半導體製程設備，其中包括請求項6至10任一項所述的半導體製程設備中運動部件的一控制裝置。
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