CN211478944U - 一种附属设备的控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例涉及设备控制技术领域，公开了一种附属设备的控制装置，包括：连接工艺设备的事件服务器、与事件服务器连接的控制服务器；事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态；控制服务器的存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；控制服务器的处理模块获取对应关系，并根据工艺设备的当前处理事件、以及对应关系，计算在当前处理事件发生后工艺设备的预测工作状态数据；控制模块依据预测工作状态数据控制附属设备的工作状态跟随工艺设备的当前工作状态的变化而变化。本实用新型实施方式提供的附属设备的控制装置，既能够节约电能又能够提升附属设备的使用寿命。

Description

一种附属设备的控制装置

技术领域

本实用新型实施例涉及设备控制技术领域，特别涉及一种附属设备的控制装置。

背景技术

在半导体厂，现有的工艺设备一般具有专用的附属设备，例如：箱式工艺设备具有真空泵和第一气体处理模块等附属设备，以便在每道工序完成时排出有害的工艺气体。

然而，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：一般来说，工艺设备重复处理、闲置、维护周期，这意味着当工艺设备闲置时，附属设备虽然并不进行处理，但依然处于运行状态。既消耗电能又有损于附属设备的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型实施方式的目的在于提供一种附属设备的控制装置，使得既能够节约电能又能够提升附属设备的使用寿命。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种附属设备的控制装置，包括：连接工艺设备的事件服务器、与事件服务器连接的控制服务器；事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将当前处理事件及当前工作状态传送至控制服务器；控制服务器包括：存储模块，连接存储模块、并与事件服务器连接的处理模块，连接处理模块、并与附属设备连接的控制模块；存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；处理模块获取对应关系，并根据工艺设备的当前处理事件、以及对应关系，计算在当前处理事件发生后工艺设备的预测工作状态数据，并将预测工作状态数据传送至控制模块；控制模块依据预测工作状态数据控制附属设备的工作状态跟随工艺设备的当前工作状态的变化而变化。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言提供了一种附属设备的控制装置，事件服务器获取工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将工艺设备的当前处理事件以及当前工作状态传送至控制服务器，由于控制服务器的存储模块中预先存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系，因此，控制服务器的处理模块可以获取该对应关系，从而计算出该当前处理事件发生后的工艺设备的预测工作状态数据，处理模块将预测工作状态数据发送至控制服务器的控制模块，控制模块依据工艺设备当前处理事件下的预测工作状态数据，控制附属设备根据工艺设备的当前工作状态的变化而变化，避免了工艺设备在处理事件过程中处于闲置状态下时，连接工艺设备的附属设备一直处于工作状态，节约了电能，同时避免了长期处于工作状态下消耗过多而影响到附属设备的使用寿命，提高了附属设备的使用寿命。

另外，事件服务器检测工艺设备的工作状态，并将工作状态传送至处理模块；其中，工作状态包括运行状态和非运行状态；处理模块获取到工艺设备进入非运行状态时，触发控制模块；控制模块被触发后控制附属设备进入非运行状态，并维持附属设备处于非运行状态预测运行状态间隔时长，其中，预测工作状态数据至少包括：预测运行状态间隔时长。该方案中控制服务器的控制模块控制附属设备处于非运行状态预测运行状态间隔时长，以此来减少附属设备的消耗。

另外，处理模块还包括：状态判断子模块以及时间判断子模块；状态判断子模块连接工艺设备，时间判断子模块连接状态判断子模块及控制模块；控制模块包括：第一子控制模块、第二子控制模块；第一子控制模块和第二子控制模块均连接处理模块以及附属设备；状态判断子模块判断工艺设备是否进入非运行状态，并在进入非运行状态时，触发时间判断子模块；时间判断子模块被触发后判断预测运行状态间隔时长是否小于预设时长，若判定预测运行状态间隔时长小于预设时长，则触发第一子控制模块；若判定预测运行状态间隔时长不小于预设时长，则触发第二子控制模块；第一子控制模块在被触发时控制附属设备进入待机状态，并维持附属设备处于待机状态预测运行状态间隔时长，其中，非运行状态包括待机状态和停机状态；第二子控制模块在被触发时控制附属设备进入停机状态，并维持附属设备处于停机状态预测运行状态间隔时长。该方案中时间判断子模块在判定预测运行状态间隔时长小于预设时长时，触发第一子控制模块控制附属设备进入待机状态以维持附属设备处于待机状态预测运行状态间隔时长，从而避免经常性地打开和关闭附属设备而带来的过多消耗，从而进一步节约电能、提升附属设备的使用寿命。

另外，处理模块还包括：状态判断子模块以及事件判断子模块；状态判断子模块连接工艺设备，事件判断子模块连接状态判断子模块及控制模块；控制模块包括：第三子控制模块、第四子控制模块；第三子控制模块和第四子控制模块均连接处理模块以及附属设备；控制服务器状态判断子模块判断工艺设备是否进入非运行状态，并在进入非运行状态时，触发事件判断子模块；事件判断子模块被触发后判断当前处理事件为第一类预设事件或第二类预设事件，判定当前处理事件为第一类预设事件，则触发第三子控制模块；判定当前处理事件为第二类预设事件，则触发第四子控制模块；第三子控制模块被触发后控制附属设备进入停机状态，并维持附属设备处于停机状态预测运行状态间隔时长，其中，非运行状态包括待机状态和停机状态；第四子控制模块被触发后控制附属设备进入待机状态，并维持附属设备处于待机状态预测运行状态间隔时长。该方案中事件判断子模块在判定当前处理事件为第二类处理事件时，第四子控制模块控制附属设备进入待机状态，从而避免经常性地打开或关闭附属设备所带来的额外消耗。

另外，控制服务器还包括：对应关系建立模块及更新模块；更新模块连接对应关系建立模块及存储模块；事件服务器获取当前处理事件的实际工作状态数据，并将当前处理事件和实际工作状态数据传送至对应关系建立模块；对应关系建立模块建立当前处理事件与实际工作状态数据的对应关系，并将对应关系传送至更新模块；更新模块更新存储模块中的对应关系。该方案中更新模块更新历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系，使得对应关系更加的准确，控制服务器的处理模块计算的工艺设备的预测工作状态数据也更加的准确。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是根据本实用新型第一实施方式的附属设备的控制装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型第一实施方式的控制服务器的结构示意图；

图3是根据本实用新型第一实施方式的控制服务器的一种具体结构示意图；

图4是根据本实用新型第一实施方式的控制服务器的另一种可替换的具体结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本实用新型各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

本实用新型的第一实施方式涉及一种附属设备4的控制装置，如图1和图2所示，包括：连接工艺设备3的事件服务器1、与事件服务器1连接的控制服务器2；事件服务器1获取工艺设备3的当前处理事件及当前工作状态，并将当前处理事件及当前工作状态传送至控制服务器2；控制服务器2包括：存储模块21，连接存储模块21、并与事件服务器1连接的处理模块22，连接处理模块22、并与附属设备4连接的控制模块23；存储模块21存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；处理模块22获取对应关系，并根据工艺设备3的当前处理事件、以及对应关系，计算在当前处理事件发生后工艺设备3的预测工作状态数据，并将预测工作状态数据传送至控制模块23；控制模块23依据预测工作状态数据控制附属设备4的工作状态跟随工艺设备3的当前工作状态的变化而变化。

具体地说，附属设备4的控制装置包括：事件服务器1以及控制服务器2，事件服务器1 连接工艺设备3以及控制服务器2，控制服务器2连接附属设备4，工艺设备3也连接附属设备4。控制服务器2包括：存储模块21、处理模块22和控制模块23，存储模块21和控制模块23分别连接处理模块22，控制服务器2的处理模块22连接工艺设备3，控制模块23连接附属设备4。

事件服务器1获取工艺设备3的当前处理事件以及当前工作状态，并将工艺设备3的当前处理事件以及当前工作状态传送至控制服务器2的处理模块22，由于控制服务器2的存储模块中预先存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系，因此，处理模块22可根据该对应关系确定出与工艺设备3的当前处理事件相同的历史处理事件的历史工作状态数据，所谓的历史工作状态数据表征该工艺设备3在历史处理事件下的历史工作状态变化情况，将该历史工作状态变化数据作为当前处理事件发生后工艺设备3的预测工作状态数据，控制服务器2依据该预测工作状态数据提前获知工艺设备3在当前处理事件发生后的工作状态变化情况，控制服务器2的控制模块23依据提前获知的工艺设备3当前处理发生后的工作状态变化情况，控制附属设备4根据工艺设备3的当前工作状态的变化而变化，避免工艺设备3在处理事件过程中处于闲置状态下时，而连接工艺设备3的附属设备4一直处于工作状态，节约了电能、同时能够避免附属设备4长期处于工作状态下消耗过多而影响到附属设备4的使用寿命，提升了附属设备4的使用寿命。

举例说明：工艺设备3例如：刻蚀机台，与工艺设备3连接的附属设备4例如为：真空泵和第一气体处理器，真空泵和第一气体处理器抽取刻蚀机台在处理过程中的有害气体。事件服务器1获取到工艺设备3的当前处理事件为“运转事件”，且工艺设备3的当前工作状态为“加工状态”，根据控制服务器2中预先存储的“运转事件”与“历史工作状态数据”的对应关系，得知工艺设备3在之前的“运转事件”中的历史工作状态数据为：运转四小时、空闲一小时，之后继续运转四小时，则直接将该历史工作状态数据作为当前处理事件发生后工艺设备3的预测工作状态数据，控制模块23根据该预测工作状态数据控制附属设备4根据工艺设备3的当前工作状态的变化而变化，使得附属设备4在工艺设备3运转时处于运转状态，在工艺设备3空闲时处于非运行状态。从而避免了在工艺设备3处理“运转事件”的空闲间隙，附属设备4虽然实际上不进行处理但依然处于运转状态的情况，既节约电能又避免了附属设备4的损耗以提升附属设备4的使用寿命。

值得说明的是，本实施方式中存储模块21可以为：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM， Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)等；处理器可以为单片机或CPU芯片；控制模块23则可以利用PLC控制电路或其他控制芯片实现。其中，存储模块和处理模块22采用总线方式连接，总线可以包括任意数量的互联的总线和桥，总线将一个或多个处理模块22和存储模块21的各种电路连接在一起。总线还可以将诸如外围设备、稳压器和功率管理电路等之类的各种其他电路连接在一起，这些都是本领域所公知的，因此，本文不再对其进行进一步描述。总线接口在总线和收发机之间提供接口。收发机可以是一个元件，也可以是多个元件，比如多个接收器和发送器，提供用于在传输介质上与各种其他装置通信的单元。经处理模块22处理的数据通过天线在无线介质上进行传输，进一步，天线还接收数据并将数据传送给处理模块22。处理模块22负责管理总线和通常的处理，还可以提供各种功能，包括定时、外围接口、电压调节、电源管理以及其他控制功能。而存储模块可以被用于存储处理模块22在执行操作时所使用的数据。

另外，事件服务器1检测工艺设备3的工作状态，并将工作状态传送至处理模块22；其中，工作状态包括运行状态和非运行状态；处理模块22获取到工艺设备3进入非运行状态时，触发控制模块23；控制模块23被触发后控制附属设备4进入非运行状态，并维持附属设备4 处于非运行状态预测运行状态间隔时长，其中，预测工作状态数据至少包括：预测运行状态间隔时长。

具体地说，附属设备4和工艺设备3的工作状态均包括：运行状态和非运行状态，预测工作状态数据至少包括：预测运行状态间隔时长。由于对同一处理事件而言，对于该处理事件的处理工序以及在运行状态和非运行状态的停留时间一般相同，因此，可以直接根据历史运行状态间隔时长来作为当前处理事件的预测运行状态间隔时长。事件服务器1获取工艺设备3的工作状态，控制服务器2的处理模块22在获取到工艺设备3进入非运行状态时，触发控制模块23直接控制附属设备4进入非运行状态，并维持附属设备4处于该非运行状态预测运行状态间隔时长即可，从而仅需在工艺设备3进入非运行状态时获知其状态变化即可，无需事件服务器1实时获知工艺设备3的工作状态。

作为一种可实现的实施方式，如图3所示，处理模块22还包括：状态判断子模块221以及时间判断子模块222；状态判断子模块221连接工艺设备3，时间判断子模块222连接状态判断子模块221及控制模块23；控制模块23包括：第一子控制模块231、第二子控制模块232；第一子控制模块231和第二子控制模块232均连接处理模块22以及附属设备4；状态判断子模块221判断工艺设备3是否进入非运行状态，并在进入非运行状态时，触发时间判断子模块222；时间判断子模块222被触发后判断预测运行状态间隔时长是否小于预设时长，若判定预测运行状态间隔时长小于预设时长，则触发第一子控制模块231；若判定预测运行状态间隔时长不小于预设时长，则触发第二子控制模块232；第一子控制模块231在被触发时控制附属设备4进入待机状态，并维持附属设备4处于待机状态预测运行状态间隔时长，其中，非运行状态包括待机状态和停机状态；第二子控制模块232在被触发时控制附属设备4进入停机状态，并维持附属设备4处于停机状态预测运行状态间隔时长。

具体地说，附属设备4的非运行状态包括待机状态和停机状态。控制服务器2的处理模块22具体包括：状态判断子模块221以及时间判断子模块222，时间判断子模块222连接状态判断子模块221及控制模块23；控制服务器2的控制模块23包括：第一子控制模块231、第二子控制模块232，第一子控制模块231和第二子控制模块232均连接处理模块22以及附属设备4。

状态判断子模块221判断工艺设备3是否进入非运行状态，并在进入非运行状态时，触发时间判断子模块222；时间判断子模块222判断根据工艺设备3的当前处理事件确定的预测运行状态间隔时长是否小于预设时长、一方面，时间判断子模块222在判定预测运行状态间隔时长小于预设时长，也就是说该当前处理事件的预测运行状态间隔时长较长，则触发第一子控制模块231；在工艺设备3进入非运行状态时，第一子控制模块231直接控制附属设备4进入停机状态，且维持附属设备4处于该停机状态预测运行状态间隔时长，从而避免了附属设备4在预测运行状态间隔时长内继续运行而产生消耗。另一方面，时间判断子模块222 在判定预测运行状态间隔时长小于预设时长，也就是说在该预测运行状态间隔时长内相比于打开和关闭附属设备4的消耗来说，使得附属设备4处于待机状态预测运行状态间隔时长时的消耗更大，因此，此时触发第二子控制模块232，第二子控制模块232被触发后控制附属设备4处于停机状态预测运行状态间隔时长来进一步减少附属设备4的消耗，提升附属设备 4的使用寿命。其中，预设时长可根据实际需求自行设置，例如，预设时长可设置为2小时。

作为另一种可实现的实施方式，如图4所示，处理模块22还包括：状态判断子模块221 以及事件判断子模块223；状态判断子模块221连接工艺设备3，事件判断子模块223连接状态判断子模块221及控制模块23；控制模块23包括：第三子控制模块233、第四子控制模块 234；第三子控制模块233和第四子控制模块234均连接处理模块22以及附属设备4；控制服务器2状态判断子模块221判断工艺设备3是否进入非运行状态，并在进入非运行状态时，触发事件判断子模块223；事件判断子模块223被触发后判断当前处理事件为第一类预设事件或第二类预设事件，判定当前处理事件为第一类预设事件，则触发第三子控制模块233；判定当前处理事件为第二类预设事件，则触发第四子控制模块234；第三子控制模块233被触发后控制附属设备4进入停机状态，并维持附属设备4处于停机状态预测运行状态间隔时长，其中，非运行状态包括待机状态和停机状态；第四子控制模块234被触发后控制附属设备4进入待机状态，并维持附属设备4处于待机状态预测运行状态间隔时长。

具体地说，附属设备4的非运行状态包括待机状态和停机状态。控制服务器2的处理模块22包括：状态判断子模块221以及事件判断子模块223，状态判断子模块221连接工艺设备3，事件判断子模块223连接状态判断子模块221及控制模块23；控制服务器2的控制模块23包括：第三子控制模块233、第四子控制模块234；第三子控制模块233和第四子控制模块234均连接处理模块22以及附属设备4。

对于第一类预设事件来说，虽然该类处理事件下工艺设备3的历史工作间隔时间较短，但在该类处理事件过程中需要保持附属设备4关闭，例如“报警事件”；而对于第二类预设事件来说，虽然该类处理事件下工艺设备3的历史工作间隔时间较长，但在该类处理事件过程中需要经常性地使用附属设备4，例如“维护事件”、“维修事件”等。

针对于这两类特殊的处理事件不能直接根据预测工作状态间隔时长的长短来控制附属设备4停机或待机，因此，本实施方式中控制服务器2的状态判断子模块221判断当前处理事件是否为第一类预设事件。一方面，状态判断子模块221判定当前处理事件为第一类预设事件，则触发第三子控制模块233，第三子控制模块233控制附属设备4进入停机状态，并维持附属设备4处于停机状态预测运行状态间隔时长，以确保第一类预设事件的正常处理。例如：当处理事件为“报警事件”时，虽然工艺设备3处于非运行状态的时间可能小于预设时长，但由于工艺设备3发生故障，需要使附属设备4处于停机状态，以避免发生危险事件，因此，第三子控制模块233需要控制附属设备4进入停机状态，以确保第一类预设事件的正常处理。另一方面，状态判断子模块221判定当前处理事件为第二类预设事件，则触发第四子控制模块234，第四子控制模块234控制附属设备4进入待机状态，并维持附属设备4处于待机状态预测运行状态间隔时长，以确保第二类预设事件的正常处理。例如：当处理事件为“维修事件”时，虽然工艺设备3一直处于非运行状态，但维修人员需要使用附属设备4 来进行测试等操作，则第四子控制模块234需要附属设备4处于待机状态以便于维修人员维修工艺设备3。

另外，控制服务器2还包括：对应关系建立模块24及更新模块25；更新模块25连接对应关系建立模块24及存储模块21；事件服务器1获取当前处理事件的实际工作状态数据，并将当前处理事件和实际工作状态数据传送至对应关系建立模块24；对应关系建立模块24建立当前处理事件与实际工作状态数据的对应关系，并将对应关系传送至更新模块25；更新模块25更新存储模块21中的对应关系。

具体地说，控制服务器2还包括：对应关系建立模块24及更新模块25；更新模块25连接对应关系建立模块24及存储模块21。事件服务器1获取工艺设备3的当前处理事件以及在当前处理事件下的实际工作状态数据，从而在工艺设备3的当前处理事件完成后，将当前处理事件与当前处理事件下的实际运行状体间隔时长传送至控制服务器2，由控制服务器2的对应关系建立模块24建立当前处理事件与实际工作状态数据的对应关系，并将对应关系传送至更新模块25。其中，实际工作状态数据至少包括：工艺设备3的实际运行状体间隔时长，例如：“报警事件”对应的实际运行状体间隔时长为3个小时；“运转事件”对应的实际运行状体间隔时长为1个小时，“维护事件”对应的实际运行状体间隔时长为8个小时。更新模块 25更新存储模块21中的对应关系，将当前处理事件与实际工作状态数据的对应关系替换掉，从而实现对历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系的更新，使得对应关系更加的准确，控制服务器2的处理模块22计算的工艺设备3的预测工作状态数据也更加的准确。

与现有技术相比，本实用新型实施方式提供了一种附属设备4的控制装置，事件服务器 1获取工艺设备3的当前处理事件及当前工作状态，并将工艺设备3的当前处理事件以及当前工作状态传送至控制服务器2，由于控制服务器2的存储模块21中预先存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系，因此，控制服务器2的处理模块22可以获取该对应关系，从而计算出该当前处理事件发生后的工艺设备3的预测工作状态数据，处理模块22将预测工作状态数据发送至控制服务器2的控制模块23，控制模块23依据工艺设备3当前处理事件下的预测工作状态数据，控制附属设备4根据工艺设备3的当前工作状态的变化而变化，避免了工艺设备3在处理事件过程中处于闲置状态下时，连接工艺设备3的附属设备4一直处于工作状态，节约了电能，同时避免了长期处于工作状态下消耗过多而影响到附属设备4的使用寿命，提高了附属设备4的使用寿命。

值得说明的是，由于产品生产线的工艺设备3基本都处于运行状态，非运行状态的时间很少，附属设备4也基本处于运行状态。因此，本实施方式中的附属设备4的控制装置主要应用于导引线、研发线、以及系统IC线等所述非运行状态时长较长的工艺线，而不经常应用于产品生产线。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。

Claims (5)

1.一种附属设备的控制装置，其特征在于，包括：连接工艺设备的事件服务器、与所述事件服务器连接的控制服务器；

所述事件服务器获取所述工艺设备的当前处理事件及当前工作状态，并将所述当前处理事件及所述当前工作状态传送至所述控制服务器；

所述控制服务器包括：存储模块，连接所述存储模块、并与所述事件服务器连接的处理模块，连接所述处理模块、并与附属设备连接的控制模块；

所述存储模块存储有历史处理事件与历史工作状态数据的对应关系；

所述处理模块获取所述对应关系，并根据所述工艺设备的当前处理事件、以及所述对应关系，计算在所述当前处理事件发生后所述工艺设备的预测工作状态数据，并将所述预测工作状态数据传送至所述控制模块；

所述控制模块依据所述预测工作状态数据控制所述附属设备的工作状态跟随所述工艺设备的当前工作状态的变化而变化。

2.根据权利要求1所述的附属设备的控制装置，其特征在于，

所述事件服务器检测所述工艺设备的工作状态，并将所述工作状态传送至所述处理模块；其中，所述工作状态包括运行状态和非运行状态，所述预测工作状态数据至少包括：预测运行状态间隔时长；

所述处理模块获取到所述工艺设备进入所述非运行状态时，触发所述控制模块；

所述控制模块被触发后控制所述附属设备进入所述非运行状态，并维持所述附属设备处于所述非运行状态所述预测运行状态间隔时长。

3.根据权利要求2所述的附属设备的控制装置，其特征在于，

所述处理模块还包括：状态判断子模块以及时间判断子模块；所述状态判断子模块连接所述工艺设备，所述时间判断子模块连接所述状态判断子模块及所述控制模块；

所述控制模块包括：第一子控制模块、第二子控制模块；所述第一子控制模块和所述第二子控制模块均连接所述处理模块以及所述附属设备；

所述状态判断子模块判断所述工艺设备是否进入所述非运行状态，并在进入所述非运行状态时，触发所述时间判断子模块，其中，所述非运行状态包括待机状态和停机状态；

所述时间判断子模块被触发后判断所述预测运行状态间隔时长是否小于预设时长，若判定所述预测运行状态间隔时长小于预设时长，则触发所述第一子控制模块；若判定所述预测运行状态间隔时长不小于所述预设时长，则触发所述第二子控制模块；

所述第一子控制模块在被触发时控制所述附属设备进入所述待机状态，并维持所述附属设备处于所述待机状态所述预测运行状态间隔时长；

所述第二子控制模块在被触发时控制所述附属设备进入所述停机状态，并维持所述附属设备处于所述停机状态所述预测运行状态间隔时长。

4.根据权利要求2所述的附属设备的控制装置，其特征在于，

所述处理模块还包括：状态判断子模块以及事件判断子模块；所述状态判断子模块连接所述工艺设备，所述事件判断子模块连接所述状态判断子模块及所述控制模块；

所述控制模块包括：第三子控制模块、第四子控制模块；所述第三子控制模块和所述第四子控制模块均连接所述处理模块以及所述附属设备；

所述控制服务器状态判断子模块判断所述工艺设备是否进入所述非运行状态，并在进入所述非运行状态时，触发所述事件判断子模块，其中，所述非运行状态包括待机状态和停机状态；

所述事件判断子模块被触发后判断所述当前处理事件为第一类预设事件或第二类预设事件，判定所述当前处理事件为所述第一类预设事件，则触发所述第三子控制模块；判定所述当前处理事件为所述第二类预设事件，则触发所述第四子控制模块；

所述第三子控制模块被触发后控制所述附属设备进入所述停机状态，并维持所述附属设备处于所述停机状态所述预测运行状态间隔时长；

所述第四子控制模块被触发后控制所述附属设备进入所述待机状态，并维持所述附属设备处于所述待机状态所述预测运行状态间隔时长。

5.根据权利要求1所述的附属设备的控制装置，其特征在于，

所述控制服务器还包括：对应关系建立模块及更新模块；所述对应关系建立模块连接所述事件服务器、所述更新模块连接所述对应关系建立模块及所述存储模块；

所述事件服务器获取所述当前处理事件的实际工作状态数据，并将所述当前处理事件和所述实际工作状态数据传送至所述对应关系建立模块；

所述对应关系建立模块建立所述当前处理事件与所述实际工作状态数据的对应关系，并将所述对应关系传送至所述更新模块；

所述更新模块更新所述存储模块中的对应关系。

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