CN101872191B - 一种生产线设备的工艺任务调度方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种生产线设备的工艺任务调度方法，包括：针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息；依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务。本发明可以节约工艺模块资源，提高生产线设备的生产效率。

Description

一种生产线设备的工艺任务调度方法及装置

技术领域

本发明涉及生产线设备控制的技术领域，特别是涉及一种生产线设备的工艺任务调度方法及一种生产线设备的工艺任务调度装置。 

背景技术

生产线设备是现代生活中完成各类产品生产、制造或工艺过程不可缺少的硬件设备，为尽可能降低成本及提高效率，对于生产线设备一般均配置有相应的控制系统以控制生产线设备的运行。 

以半导体刻蚀设备为例，一般而言，半导体刻蚀设备的硬件系统可以分为两个模块，工艺模块(反应腔室，PM)和传输模块(transmissionmodule controller)。其中，工艺模块用于执行硅片刻蚀等工艺；传输模块用于执行硅片传输任务。具体可以参考图1所示的半导体刻蚀设备的硬件系统结构图，可以包括如下部件：传输腔室(Transport Chamber)1、真空机械手(Vacuum Robot)2、加锁容器(Load lock)3、大气传输单元(Equipment Front End Module，EFEM)4、大气机械手(AtmosphericRobot)5、定位校准设备(Aligner)6、负载单元(Front Opening Unit Pod，Foup)7、和反应腔室(图中未示出)。其中，如图1所示的半导体刻蚀设备共可以连接4个反应腔室。 

所述半导体刻蚀设备在控制系统的控制下，进行一次硅片加工的过程为： 

将装有wafer(硅片)的晶盒(Cassette)置于负载单元7上，然后，大气机械手5从晶盒里取出wafer并放在定位校准设备6上进行定位校准；完成校准后，大气机械手5再把wafer从定位校准设备6上取下，并传送到加锁容器3中；传输腔室1里的真空机械手2取出加锁容器3中的wafer，并送入各个反应腔室； 

当wafer在反应腔室中完成相关工艺后，真空机械手2再把它取出并放入加锁容器3中，然后大气机械手5把加锁容器3中的wafer取出，并放入负载单元7上的晶盒里。 

对于控制系统而言，晶盒中所有硅片加工处理过程的集合称为一个工艺任务(Job)，在实际生产中为提高生产效率，通常是基于两个晶盒同时执行两个不同的Job。由于不同的Job可能会使用相同的工艺模块进行工艺(即不同的Job共用反应腔室)，为使工序不发生紊乱，如何在多个Job之间进行调度则显得尤为重要。 

现有技术中，对于不同的Job使用相同的工艺模块进行工艺的情况采用的调度模式为，允许一个先开始的Job使用该共用的反应腔室，另一个Job则始终不使用这个反应腔室。例如，Job1设定使用PM1和PM2两个反应腔室，Job2设定使用PM2和PM3两个反应腔室，即Job1和Job2这两个任务共用了PM2这个反应腔室；并且假设Job1先开始。在这种情况下，采用现有的调度模式，Job1会占用PM1、PM2两个反应腔室运行，而Job2只会使用PM3这个反应腔室运行。即使Job1在工艺完成后，PM2被空闲出来，Job2也不会使用PM2。显然，现有的调度模式造成了工艺模块资源的过度浪费，严重影响了半导体刻蚀设备的生产效率。 

因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：如何能够创新地提出一种生产线设备的工艺任务调度机制，用以节约工艺模块资源，提高生产线设备的生产效率。 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种生产线设备的工艺任务调度方法及一种生产线设备的工艺任务装置，用以节约工艺模块资源，提高生产线设备的生产效率。 

为了解决上述技术问题，本发明实施例公开了一种生产线设备的工艺任务调度方法，包括： 

针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息； 

依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务；所述依据可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务的步骤包括： 

依据所述可用状态信息判断当前启动的工艺任务中配置的工艺模块是否可用； 

若存在可用的工艺模块，则占用所述可用工艺模块执行相应的工艺任务，并将所述可用工艺模块的可用状态信息置为不可用；以及，在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用； 

若存在不可用的工艺模块，则将当前工艺任务及所述不可用工艺模块写入等待队列；以及，在所述不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时，从所述等待队列中提取出该工艺任务并重新启动。 

优选的，所述生产线设备工艺任务的调度在交叉处理模式下进行，所述工艺任务具有多个，在获取启动的工艺任务配置的工艺模块信息及其可用状态信息步骤之前，还包括： 

进入交叉处理模式。 

优选的，所述工艺任务具有多个，所述多个工艺任务按照预定时序启动，每次启动的时序间隔小于一个工艺任务的执行周期。 

优选的，所述等待队列按照先进先出的方式执行，所述在不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时从等待队列中提取出工艺任务并重新启动的步骤包括： 

判断所述等待队列是否为空，若否，则获取队列头指向的工艺任务及对应的工艺模块，并占用所述工艺模块执行当前的工艺任务，将其可用状态信息置为不可用； 

若所述工艺任务中配置的工艺模块中还存在其它可用的工艺模块，则同时占用该工艺模块执行当前的工艺任务，并将其可用状态信息置为 不可用； 

在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用。 

本发明实施例还公开了一种生产线设备的工艺任务调度装置，包括： 

获取模块，用于针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息； 

执行模块，用于依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务；所述执行模块包括： 

状态确定子模块，用于依据所述可用状态信息判断当前启动的工艺任务中配置的工艺模块是否可用； 

第一处理子模块，用于针对可用的工艺模块，占用所述可用工艺模块执行相应的工艺任务，并将所述可用工艺模块的可用状态信息置为不可用； 

状态更新子模块，用于在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用； 

第二处理子模块，用于针对不可用的工艺模块，将当前工艺任务及所述不可用工艺模块写入等待队列； 

队列处理子模块，用于在所述不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时，从所述等待队列中提取出该工艺任务并重新启动。 

优选的，所述生产线设备工艺任务的调度在交叉处理模式下进行，所述工艺任务具有多个，还包括： 

启动模块，用于进入交叉处理模式。 

优选的，所述工艺任务具有多个，所述多个工艺任务按照预定时序启动，每次启动的时序间隔小于一个工艺任务的执行周期。 

优选的，所述等待队列按照先进先出的方式执行，所述队列处理子 模块进一步包括： 

队列判断单元，用于判断所述等待队列是否为空；若否，则触发占用单元及模块更新单元； 

占用单元，用于获取队列头指向的工艺任务及对应的工艺模块，并占用所述工艺模块执行当前的工艺任务，将其可用状态信息置为不可用； 

模块更新单元，用于在所述工艺任务中配置的工艺模块中还存在其它可用的工艺模块时，同时占用该工艺模块执行当前的工艺任务，并将其可用状态信息置为不可用； 

可用状态更新单元，用于在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用。 

与现有技术相比，本发明具有以下优点： 

本发明针对生产线设备中多个工艺任务共用工艺模块的情况，自动判断工艺任务所对应工艺模块的实际空闲情况，确定当前可用的工艺模块，再将该可用的工艺模块配置给当前工艺任务使用。即对于多个工艺任务共用的工艺模块，只要识别出其空闲(可用)，就会在某个工艺任务中加以利用。通过这种避免工艺模块空闲的手段，提高工艺模块的使用率，节约工艺模块资源，进而提高生产线设备的生产效率。 

图1是一种半导体刻蚀设备硬件系统的结构示意图； 

图2是本发明的一种生产线设备的工艺任务调度方法实施例1的步骤流程图； 

附图说明

图3是本发明的一种生产线设备的工艺任务调度方法实施例2的步骤流程图； 

图4是本发明的一种生产线设备的工艺任务调度方法实施例3的步骤流程图； 

图5是本发明的一种生产线设备的工艺任务调度装置实施例的结构框图； 

其中，图1中附图标记指示的部件名称为： 

1为传输腔室(Transport Chamber)； 

2为真空机械手(Vacuum Robot)； 

3为加锁容器(Load lock)； 

4为大气传输单元(Equipment Front End Module，EFEM)； 

5为大气机械手(Atmospheric Robot)； 

6为定位校准设备(Aligner)； 

7为负载单元(Front Opening Unit Pod，Foup)。 

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。 

本发明可用于众多通用或专用的计算系统环境或配置中。例如：多处理器系统、服务器、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。 

本发明可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序单元。一般地，程序单元包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序单元可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。 

本发明实施例的核心构思之一在于，针对生产线设备中多个工艺任务共用工艺模块的情况，自动判断工艺任务所对应工艺模块的实际空闲情况，确定当前可用的工艺模块，再将该可用的工艺模块配置给当前工艺任务使用。 

参考图2，示出了本发明的一种生产线设备的工艺任务调度方法实施例1的流程图，具体可以包括以下步骤： 

步骤201、针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息； 

步骤202、依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务。 

例如，Job1设定使用PM1和PM2两个工艺模块，Job2设定使用PM2和PM3两个工艺模块，即Job1和Job2这两个任务共用了PM2这个工艺模块，并且Job1先开始。在这种情况下，采用本发明实施例的调度模式，Job1会先占用PM1、PM2两个工艺模块执行，Job2会先占用PM3这个工艺模块执行，在Job1结束后，Job2会占用PM2和PM3两个工艺模块继续执行。 

可以看出，应用本发明实施例，对于多个工艺任务共用的工艺模块，只要识别出其空闲(可用)，就会在某个工艺任务中加以利用。本发明正是通过这种避免工艺模块空闲的手段，提高工艺模块的使用率，进而提高生产线设备的生产效率。 

参考图3，示出了本发明的一种生产线设备的工艺任务调度方法实施例2的流程图，具体可以包括以下步骤： 

步骤301、针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息； 

步骤302、依据所述可用状态信息判断当前启动的工艺任务中配置的工艺模块是否可用； 

步骤303a、若存在可用的工艺模块，则占用所述可用工艺模块执行相应的工艺任务，并将所述可用工艺模块的可用状态信息置为不可用；以及，在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用； 

步骤303b、若存在不可用的工艺模块，则将当前工艺任务及所述不 可用工艺模块写入等待队列；以及，在所述不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时，从所述等待队列中提取出该工艺任务并重新启动。 

在本发明实施例中，所述可用状态信息是用来表示工艺模块是否可用的信息，具体可以包括：表示工艺模块可用的可用状态信息，如idle标识；以及，表示工艺模块不可用(被占用)的可用状态信息，如inuse标识。 

以半导体刻蚀设备为例，对于当前启动的Job，根据Job的Recipe(工艺过程)或wafer flow(硅片流水线)获得当前配置使用的反应腔室的信息，通过读取反应腔室对应的可用状态信息，如idle或inuse，即可获知当前工艺模块是否为可用工艺模块或不可用工艺模块。 

在具体实现中，所述工艺任务通常具有多个，所述多个工艺任务按照预定时序启动，每次启动的时序间隔小于一个工艺任务的执行周期，即多个工艺任务可以是并行执行的。 

例如，一个工艺任务的执行周期是100s，每个工艺任务的启动时序间隔为10s，若当前有Job1、Job2、Job3三个工艺任务，则可以按照实际需求首先启动Job1，在Job1启动后10s启动Job2，在Job2启动后10s，即Job1启动后20s启动Job3。 

在本发明的一种优选实施例中，所述等待队列可以按照先进先出的方式执行，在这种情况下，所述步骤303b中，在不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时从等待队列中提取出工艺任务并重新启动的处理过程可以为： 

子步骤S1、判断所述等待队列是否为空，若否，则执行以下子步骤； 

子步骤S2、获取队列头指向的工艺任务及对应的工艺模块，并占用所述工艺模块执行当前的工艺任务，将其可用状态信息置为不可用； 

子步骤S3、若所述工艺任务中配置的工艺模块中还存在其它可用的工艺模块，则同时占用该工艺模块执行当前的工艺任务，并将其可用状态信息置为不可用； 

子步骤S4、在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可 用状态信息置为可用。 

为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下通过一个具体示例详细介绍本发明的工艺任务调度过程。 

假设Job1设定使用PM1和PM2两个工艺模块，Job2设定使用PM2和PM3两个工艺模块，并且Job1先开始，则应用本发明实施例的一种调度过程示例如下： 

第一步、启动Job1，获取其配置的工艺模块PM1和PM2的可用状态信息为idle状态，于是占用PM1、PM2开始执行Job1，并将所述PM1和PM2的可用状态信息置为inuse状态； 

其中，所述占用工艺模块并设置inuse状态的操作可以通过Tag赋值实现。 

第二步、启动Job2，获取其配置的工艺模块PM2的可用状态信息为inuse状态，PM3的可用状态信息为idle状态，于是占用PM3开始执行Job2，将所述PM3的可用状态信息置为inuse状态；并将Job2及被占用的PM2的信息写入等待队列，等待PM2释放； 

第三步、Job1执行结束，释放PM1、PM2，并将所述PM1和PM2的可用状态信息置为idle状态； 

其中，所述工艺模块的释放操作及idle状态设置采用可以通过Untag赋值实现。 

第四步、根据PM2的idle状态调用等待队列中的Job2，将其提取出等待队列，并占用PM2开始执行Job2，并将所述PM2的可用状态信息置为inuse状态；即当前同时占用PM2和PM3执行Job2，此时PM2、PM3的可用状态信息均为inuse状态； 

第五步、在所述PM2和PM3执行完成时，释放PM2和PM3，将其可用状态信息置为idle状态。 

参考图4，示出了本发明的一种生产线设备的工艺任务调度方法实 施例2的流程图，所述生产线设备工艺任务的调度在交叉处理模式下进行，所述工艺任务具有多个，具体可以包括以下步骤： 

步骤401、进入交叉处理模式； 

步骤402、针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息； 

步骤403、依据所述可用状态信息判断当前启动的工艺任务中配置的工艺模块是否可用； 

步骤404a、若存在可用的工艺模块，则占用所述可用工艺模块执行相应的工艺任务，并将所述可用工艺模块的可用状态信息置为不可用；以及，在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用； 

步骤404b、若存在不可用的工艺模块，则将当前工艺任务及所述不可用工艺模块写入等待队列；以及，在所述不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时，从所述等待队列中提取出该工艺任务并重新启动。 

本实施例与上述实施例的不同之处主要在于，通过进入交叉处理模式执行调度，以与实际中生产线设备的其它工艺任务调度模式兼容，从而进一步提高本发明的适应性与兼容性。 

在实际中，所述工艺任务的不同调度模式可以在任务执行前由技术人员手动配置，如配置为串行调度模式、配置为并行调度模式或配置为交叉处理模式，在手动配置为交叉处理模式时，即可直接进入该模式，按照上述步骤402——404执行工艺任务的调度。 

所述工艺任务的不同调度模式也可以依据当前生产线设备的需要自动切换。 

当然，上述方式仅仅用作示例，在所述模式切换过程中，本领域技术人员可以根据实际情况任意设置切换条件，例如，在交叉处理模式中，如果发现当前多个工艺任务中不存在共同的工艺模块信息，则退出交叉处理模式；或者，当判断等待队列为空时，退出交叉处理等；本发明对此无需加以限制。 

需要说明的是，本发明各个示例中的数值仅仅用来说明各实施例的实现原理或操作方式，并不一定对应生产线设备的实际参数值。 

对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和单元并不一定是本发明所必须的。 

参考图5，示出了本发明的一种生产线设备的工艺任务调度装置实施例的结构框图，具体可以包括以下模块： 

获取模块51，用于针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息； 

执行模块52，用于依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务。 

在本发明的一种优选实施例中，所述执行模块52具体可以包括以下子模块： 

状态确定子模块521，用于依据所述可用状态信息判断当前启动的工艺任务中配置的工艺模块是否可用； 

第一处理子模块522，用于针对可用的工艺模块，占用所述可用工艺模块执行相应的工艺任务，并将所述可用工艺模块的可用状态信息置为不可用； 

状态更新子模块523，用于在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用； 

第二处理子模块524，用于针对不可用的工艺模块，将当前工艺任务及所述不可用工艺模块写入等待队列； 

队列处理子模块525，用于在所述不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时，从所述等待队列中提取出该工艺任务并重新启动。 

为提高本发明的适应性与兼容性，所述生产线设备工艺任务的调度 可以在交叉处理模式下进行，并且，所述工艺任务具有多个，本发明实施例还可以包括以下模块： 

启动模块，用于进入交叉处理模式。 

在具体实现中，所述多个工艺任务按照预定时序启动，每次启动的时序间隔小于一个工艺任务的执行周期。 

在本发明的一种优选实施例中，所述等待队列可以按照先进先出的方式执行，在这种情况下，所述队列处理子模块525可以进一步包括以下单元： 

队列判断单元，用于判断所述等待队列是否为空；若否，则触发占用单元及模块更新单元； 

占用单元，用于获取队列头指向的工艺任务及对应的工艺模块，并占用所述工艺模块执行当前的工艺任务，将其可用状态信息置为不可用； 

模块更新单元，用于在所述工艺任务中配置的工艺模块中还存在其它可用的工艺模块时，同时占用该工艺模块执行当前的工艺任务，并将其可用状态信息置为不可用； 

可用状态更新单元，用于在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用。 

由于本发明的装置实施例基本相应于前述方法实施例，故上述装置实施例中的描述未详尽之处，可以参见前述方法实施例中的相关说明，在此就不赘述了。 

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。 

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。 

以上对本发明所提供的一种生产线设备的工艺任务调度方法及一种生产线设备的工艺任务调度装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。 

Claims (8)

1.一种生产线设备的工艺任务调度方法，其特征在于，包括：

针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息；

依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务；

所述依据可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务的步骤包括：

依据所述可用状态信息判断当前启动的工艺任务中配置的工艺模块是否可用；

若存在可用的工艺模块，则占用所述可用工艺模块执行相应的工艺任务，并将所述可用工艺模块的可用状态信息置为不可用；以及，在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用；

若存在不可用的工艺模块，则将当前工艺任务及所述不可用工艺模块写入等待队列；以及，在所述不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时，从所述等待队列中提取出该工艺任务并重新启动。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生产线设备工艺任务的调度在交叉处理模式下进行，所述工艺任务具有多个，在获取启动的工艺任务配置的工艺模块信息及其可用状态信息步骤之前，还包括：

进入交叉处理模式。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺任务具有多个，所述多个工艺任务按照预定时序启动，每次启动的时序间隔小于一个工艺任务的执行周期。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述等待队列按照先进先出的方式执行，所述在不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时从等待队列中提取出工艺任务并重新启动的步骤包括：

判断所述等待队列是否为空，若否，则获取队列头指向的工艺任务及对应的工艺模块，并占用所述工艺模块执行当前的工艺任务，将其可用状态信息置为不可用；

若所述工艺任务中配置的工艺模块中还存在其它可用的工艺模块，则同时占用该工艺模块执行当前的工艺任务，并将其可用状态信息置为不可用；

在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用。

5.一种生产线设备的工艺任务调度装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息；

执行模块，用于依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务；

所述执行模块包括：

状态确定子模块，用于依据所述可用状态信息判断当前启动的工艺任务中配置的工艺模块是否可用；

第一处理子模块，用于针对可用的工艺模块，占用所述可用工艺模块执行相应的工艺任务，并将所述可用工艺模块的可用状态信息置为不可用；

状态更新子模块，用于在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用；

第二处理子模块，用于针对不可用的工艺模块，将当前工艺任务及所述不可用工艺模块写入等待队列；

队列处理子模块，用于在所述不可用工艺模块的可用状态信息变为可用时，从所述等待队列中提取出该工艺任务并重新启动。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述生产线设备工艺任务的调度在交叉处理模式下进行，所述工艺任务具有多个，还包括：

启动模块，用于进入交叉处理模式。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述工艺任务具有多个，所述多个工艺任务按照预定时序启动，每次启动的时序间隔小于一个工艺任务的执行周期。

8.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述等待队列按照先进先出的方式执行，所述队列处理子模块进一步包括：

队列判断单元，用于判断所述等待队列是否为空；若否，则触发占用单元及模块更新单元；

占用单元，用于获取队列头指向的工艺任务及对应的工艺模块，并占用所述工艺模块执行当前的工艺任务，将其可用状态信息置为不可用；

模块更新单元，用于在所述工艺任务中配置的工艺模块中还存在其它可用的工艺模块时，同时占用该工艺模块执行当前的工艺任务，并将其可用状态信息置为不可用；

可用状态更新单元，用于在所述工艺任务执行完成时，将所述可用工艺模块的可用状态信息置为可用。

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