TWI833883B - 物品搬送設備 - Google Patents

Abstract

一種物品搬送設備，具備有：搬送裝置，搬送物品；壁體，包圍設置有該搬送裝置的區域；及內部氣流生成部，在該壁體所包圍的內部空間中生成從上方朝向下方的氣流，壁體具備有連通該壁體的外部之空間即外部空間、與內部空間之通氣部，該通氣部具備有在上下方向上排列的複數個整風板，該等複數個整風板的每一個是以傾斜姿勢來設置，前述傾斜姿勢是傾斜成使內端部位於比外端部更上方側。

Description

物品搬送設備

本發明是有關於具備有搬送物品的搬送裝置之物品搬送設備。

作為像這樣的物品搬送設備，已知有例如記載於日本專利特開2018-039658號公報中的物品搬送設備。以下，在先前技術的說明中，括號中的符號或名稱是先前技術文獻中的符號或名稱。日本專利特開2018-039658號公報所記載的物品搬送設備具備有壁體(K)與內部氣流生成部，前述壁體(K)包圍設置有搬送裝置(堆高式起重機2)的區域，前述內部氣流生成部在壁體所包圍的內部空間中生成從上方朝向下方的氣流。壁體具備有通氣部(排氣部52)，前述通氣部是在水平方向上連通內部空間與壁體的外部之空間即外部空間。

在上述的物品搬送設備中，可以在藉由內部氣流生成部使內部空間的氣體從上方朝向下方流動後，將該氣體從通氣部排氣至外部空間。如此，藉由在內部空間生成氣流，即使在搬送裝置所進行之物品的搬送中產生有塵埃，也能夠使該塵埃和氣體一起往下方流動而從通氣部排出至外部空間，而形成為使塵埃不會在內部空間中飛散。

在上述的物品搬送設備中，當藉由搬送裝置將物品搬送成遠離通氣部的情況下，物品與通氣部之間的區域會成為負壓，而成為氣體流動至此區域之傾向。藉此，由於是設成使外部空間的氣體通過通氣部而侵入至內部空間並且流動至物品與通氣部之間的區域，因此會有外部空間的氣體較容易侵入至內部空間之問題。

於是，所期望的是一種使外部空間的氣體難以通過通氣部而侵入至內部空間的物品搬送設備之實現。

有鑒於上述內容，物品搬送設備的特徵構成之點在於：一種具備有搬送物品的搬送裝置之物品搬送設備，前述物品搬送設備具備有：壁體，包圍設置有前述搬送裝置的區域；及內部氣流生成部，在前述壁體所包圍的內部空間生成從上方朝向下方的氣流，前述壁體具備有通氣部，前述通氣部是沿著沿水平方向的方向即第1方向，來連通前述內部空間與前述壁體的外部之空間即外部空間，前述通氣部具備有在上下方向上排列的複數個整風板，將前述第1方向中的相對於前述外部空間而存在有前述內部空間之方向設為內部側，並且將其相反側設為外部側，複數個前述整風板的每一個是以傾斜姿勢來設置，前述傾斜姿勢是傾斜成：前述內部側的端部即內端部位於比前述外部側的端部即外端部更上方側。

根據此特徵構成，可以藉由內部氣流生成部所生成的氣流，使內部空間的氣體從上方朝向下方流動，而可以使該流動的氣體的一部分或全部從通氣部排氣至外部空間。並且，如此，藉由在內部空間中生成氣流，即使在藉由搬送裝置搬送物品時產生有塵埃，由於該塵埃會和氣體一起往下方流動而從通氣部排出至外部空間，因此可以防止塵埃在內部空間中飛散。

又，通氣部所具備的複數個整風板的每一個是形成為傾斜姿勢，前述傾斜姿勢是傾斜成使內端部位於比外端部更上方側。因此，從上方朝向下方流動的內部空間之氣體，是被傾斜姿勢的整風板的上表面所引導而朝向斜下方流動。因此，在通氣部中，變得較容易從內部空間朝向外部空間來產生氣流。欲從外部空間通過通氣部來侵入至內部空間的氣體會被此氣流所阻礙。據此，可以使外部空間的氣體難以通過通氣部而侵入至內部空間。

1.第1實施形態 依據圖式來說明物品搬送設備的第1實施形態。 如圖1至圖3所示，物品搬送設備100具備有：自動倉庫1；壁體2，包圍設置有自動倉庫1的區域；及氣流生成部3(參照圖2及圖3)，在設置有自動倉庫1及壁體2的無塵室R生成從上方朝向下方的氣流。

自動倉庫1具備有搬送物品W的堆高式起重機6、及具備有複數個收納物品W的收納部7之收納架8。堆高式起重機6是在行走路徑L上來回行走，藉此沿著規定的搬送方向X來搬送物品W。收納架8是將一部分的收納部7作為用於相對於處理裝置E來搬入搬出物品W的搬入搬出部9來使用。再者，堆高式起重機6相當於設置在物品搬送設備100中並搬送物品W的搬送裝置M。

堆高式起重機6是將物品W從收納部7搬送到搬入搬出部9，並且將物品W從搬入搬出部9搬送到收納部7。處理裝置E具備有搬送物品W的搬送部(未圖示)。處理裝置E是藉由搬送部而將物品W從搬入搬出部9搬送到處理裝置E內，並且將物品W從處理裝置E內搬送到搬入搬出部9。在本實施形態中，是將容置有複數片板狀體的容器設為物品W。處理裝置E是使用板狀體來進行處理的裝置。例如，處理裝置E為半導體處理裝置，板狀體為在該處理裝置E被使用的光罩。

如圖1所示，壁體2是包圍設置有堆高式起重機6的區域。在本實施形態中，壁體2除了設置有堆高式起重機6的區域之外，還包圍設置有收納架8的區域。亦即，壁體2是包圍設置有自動倉庫1的區域。壁體2是將無塵室R分隔為壁體2所包圍的內部空間R1、與壁體2的外部之空間即外部空間R2。

將沿著上下方向Z的上下方向視角下相對於搬送方向X而正交的方向設為橫寬方向Y，壁體2在該壁體2的搬送方向X的端部具備有沿著橫寬方向Y而設置的端壁部11。端壁部11是隔著堆高式起重機6而設置在搬送方向X的兩側。又，壁體2在該壁體2的橫寬方向Y的端部具備有沿著搬送方向X而設置的側壁部12。側壁部12是隔著堆高式起重機6而設置在橫寬方向Y的兩側。在本實施形態中，端壁部11是隔著自動倉庫1(堆高式起重機6及收納架8)而設置在搬送方向X的兩側，側壁部12是隔著自動倉庫1(堆高式起重機6及收納架8)而設置在橫寬方向Y的兩側。

如圖2所示，壁體2具備有通氣部13，前述通氣部13是沿著沿水平方向的第1方向A來連通內部空間R1與外部空間R2。在本實施形態中，通氣部13是設置在壁體2的下部。詳細而言，通氣部13是設置在自壁體2的下端(下地板部F1的上表面)朝上方側到規定高度的範圍內。在本例中，通氣部13是涵蓋後述的下地板部F1與上地板部F2之間的地板下空間R3的高度方向之區域的整體而設置。如圖3所示，通氣部13是涵蓋端壁部11的橫寬方向Y的整個區域而設置。又，如圖2所示，通氣部13是涵蓋側壁部12中的搬送方向X的整個區域而設置。

如圖2及圖3所示，在本實施形態中，端壁部11與側壁部12之雙方都具備有通氣部13。端壁部11所具備的通氣部13是第1方向A成為搬送方向X，而沿著搬送方向X來連通內部空間R1與外部空間R2。側壁部12所具備的通氣部13是第1方向A成為橫寬方向Y，而沿著橫寬方向Y來連通內部空間R1與外部空間R2。

堆高式起重機6、收納架8、及壁體2是設置於無塵室R。氣流生成部3是設置於無塵室R的天花板部C。在本實施形態中，氣流生成部3是設置複數個風扇過濾單元(以下，簡稱為FFU)而構成，前述風扇過濾單元是將風扇與過濾部組裝於殼體而單元化。如圖2所示，無塵室R的地板部是由下地板部F1、及配設於比下地板部F1更上方的上地板部F2所構成。上地板部F2是格子地板，且形成有複數個在上下方向Z上貫穿的通氣孔。此上地板部F2是設置在外部空間R2中。在下地板部F1與上地板部F2之間形成有地板下空間R3，此地板下空間R3是外部空間R2的一部分。下地板部F1是沒有通氣孔的地板，在本實施形態中是由無孔狀的混凝土等之地板材所構成。

氣流生成部3是藉由設置在內部空間R1的上部及外部空間R2的上部之FFU所構成。藉由氣流生成部3中的設置在內部空間R1的上部之FFU，而構成有內部氣流生成部14，前述內部氣流生成部14是在內部空間R1從上方朝向下方來生成氣流。又，藉由氣流生成部3中的設置在外部空間R2的上部之FFU，而構成有外部氣流生成部15，前述外部氣流生成部15是在外部空間R2從上方朝向下方來生成氣流。

在內部空間R1中，藉由內部氣流生成部14而供給至內部空間R1的上部之空氣，為從上方朝下方於內部空間R1中流動。流動至其下方的空氣是從通氣部13排氣至地板下空間R3(外部空間R2的一部分)。又，在外部空間R2中，藉由外部氣流生成部15而供給至外部空間R2的上部之空氣，為從上方朝下方於外部空間R2中流動，並且通風於上地板部F2而流動至地板下空間R3。如此，氣流生成部3在無塵室R生成從上方朝向下方的氣流。再者，壁體2是從天花板部C涵蓋至下地板部F1而設置。

如圖4、圖6、及圖7所示，通氣部13具備有在上下方向Z上排列的複數個整風板17。以下，針對複數個整風板17進行說明，其中將第1方向A中的相對於外部空間R2而存在有內部空間R1的方向設為內部側A1，並將其相反側設為外部側A2來說明。又，將在上下方向視角下相對於第1方向A而正交的方向設為第2方向B來進行說明。複數個整風板17的每一個是構成為可繞著沿第2方向B的擺動軸心P來擺動。複數個擺動軸心P是配置成在沿著第2方向B的第2方向視角下沿著上下方向Z而排列成一列。

通氣部13是構成為可使複數個整風板17的每一個繞著擺動軸心P來擺動，藉此調節通氣量。若追加說明，即複數個整風板17的每一個是構成為可將姿勢變化成例如緩傾斜姿勢及陡傾斜姿勢等，如圖5的實線及圖6所示，前述緩傾斜姿勢是傾斜成使內部側A1的端部即內端部17A位於比外部側A2的端部即外端部17B更上方側之姿勢，如圖5的假想線及圖7所示，前述陡傾斜姿勢將內端部17A與外端部17B之上下方向Z的間隔設得比該緩傾斜姿勢更大之姿勢。在本實施形態中，緩傾斜姿勢與陡傾斜姿勢都是內端部17A位於比外端部17B更上方側的傾斜姿勢。又，複數個整風板17的每一個是形成為也可變化為以下之姿勢：成為如上述之緩傾斜姿勢與陡傾斜姿勢之間的傾斜角度之姿勢、或傾斜角度比緩傾斜姿勢更平緩的姿勢等。

並且，在已將複數個整風板17的每一個設為緩傾斜姿勢的情況下，在上下方向Z上相鄰的整風板17彼此的間隔會變大，而使得通氣部13的通氣量變多。相對於此，在已將複數個整風板17的每一個設為陡傾斜姿勢的情況下，在上下方向Z上相鄰的整風板17彼此的間隔會變窄，而使得通氣部13的通氣量變少。

作為使複數個整風板17擺動的構成，亦可為藉由作業人員的手動作業來使複數個整風板17擺動的構成，亦可為藉由電動馬達等驅動裝置的動作來使複數個整風板17擺動的構成。又，亦可設成在藉由驅動裝置的動作來使其擺動的情況下，藉由控制裝置將驅動裝置控制成連動於堆高式起重機6的動作來使其擺動。亦可設成例如，控制裝置將驅動裝置控制成：當使堆高式起重機6移動成堆高式起重機6接近於整風板17的情況下，將整風板17設為緩傾斜姿勢，使內部空間R1的空氣較容易排氣至外部空間R2，當使堆高式起重機6移動成堆高式起重機6遠離整風板17的情況下，將整風板17設為陡傾斜姿勢，使外部空間R2的空氣難以侵入至內部空間R1。

如圖5所示，複數個整風板17中的朝向斜上方之面在第2方向視角下，是形成為朝斜上方膨起的弧狀。在本實施形態中，複數個整風板17中的朝向斜上方之面是朝向外側斜上方，且在第2方向視角下，是形成為朝外側斜上方膨起的弧狀。又，在圖示的例子中，複數個整風板17中的朝向斜下方之面在第2方向視角下，是形成為朝斜上方凹入的弧狀。在本實施形態中，複數個整風板17中的朝向斜下方之面是朝向內側斜下方，並且在第2方向視角下，是形成為朝外側斜上方凹入的弧狀。又，在本例中，是將第2方向視角下內端部17A與外端部17B所排列的方向設為長邊方向，且複數個整風板17的每一個是形成為以下形狀：在第2方向視角下相對於長邊方向而正交的方向之厚度，隨著從內端部17A朝向外端部17B而變薄。

如圖6及圖7所示，複數個整風板17的每一個在緩傾斜姿勢下是相對於壁體2而朝第1方向A的兩側突出，在陡傾斜姿勢下是容納在壁體2的第1方向A之寬度內。又，在本實施形態中，雖然對壁體2直接安裝有複數個整風板17，但是亦可設成將複數個整風板17安裝於框材，並將該框材安裝至壁體2。在此情況下，亦可將複數個整風板17的每一個設成在緩傾斜姿勢下是相對於框材而朝第1方向A的兩側突出，在陡傾斜姿勢下是容納於框材的第1方向A的寬度內。

2.第2實施形態 接著，利用圖8及圖9來說明物品搬送設備的第2實施形態。在本實施形態中是將搬送裝置M設為在自動倉庫1的外側於天花板附近行走的搬送台車21，這一點和上述第1實施形態不同。在以下，針對本實施形態之物品搬送設備100，以和上述第1實施形態的相異點為中心來說明。再者，針對未特別說明的點，是視為與上述第1實施形態同樣。

壁體2是包圍設置有作為搬送裝置M的搬送台車21的區域。壁體2是以懸吊在天花板部C的狀態設置，而為相對於如前述的上地板部F2(未圖示)在上方相間隔。壁體2除了端壁部11與側壁部12之外，還具備有下壁部22，前述下壁部22是包圍設置有搬送台車21的區域之下方側。此下壁部22具備有連通部23，前述連通部23是沿著上下方向Z來連通內部空間R1與外部空間R2。在連通部23具備有FFU。

在內部空間R1中，藉由內部氣流生成部14而供給至內部空間R1的上部之空氣，是在從上方朝下方於內部空間R1中流動後，從通氣部13朝向外部空間R2而朝側邊排氣，並且從連通部23朝向外部空間R2而朝下方排氣。又，在外部空間R2中，藉由外部氣流生成部15而供給至外部空間R2的上部之空氣，是從上方朝下方於外部空間R2中流動。

3.第3實施形態 接著，利用圖10來說明物品搬送設備的第3實施形態。在本實施形態中是將搬送裝置M設為在自動倉庫1的外側於地板部附近行走的搬送台車21，這一點和上述第1實施形態不同。在以下，針對本實施形態之物品搬送設備100，以和上述第1實施形態的相異點為中心來說明。再者，針對未特別說明的點，是視為與上述第1實施形態同樣。

壁體2包圍設置有作為搬送裝置M的搬送台車21的區域。壁體2是設置在下地板部F1上。壁體2是相對於下地板部F1而在上方相間隔，且相對於如前述的天花板部C(未圖示)而在下方相間隔。壁體2除了端壁部11與側壁部12之外，還具備有下壁部22與上壁部24，前述下壁部22包圍設置有搬送台車21的區域之下方側，前述上壁部24包圍設置有搬送台車21的區域之上方側。下壁部22具備有連通部23，前述連通部23是沿著上下方向Z來連通內部空間R1與外部空間R2。在連通部23具備有FFU。在上壁部24設置有複數個FFU，並且藉由此複數個FFU而構成有內部氣流生成部14。再者，雖然省略圖示，但藉由設置在天花板部C的FFU而構成有外部氣流生成部15。

在內部空間R1中，藉由內部氣流生成部14而供給至內部空間R1的上部之空氣，是在從上方朝下方於內部空間R1中流動後，從通氣部13朝向外部空間R2而朝側邊排氣，並且從連通部23朝向外部空間R2而朝下方排氣。又，在外部空間R2中，藉由外部氣流生成部15而供給至外部空間R2的上部之空氣，是從上方朝下方於外部空間R2中流動。如此，氣流生成部3在無塵室R生成從上方朝向下方的氣流。

4.第4實施形態 接著，利用圖11及圖12來說明物品搬送設備的第4實施形態。在本實施形態中是將搬送裝置M設為在自動倉庫1的外側於天花板附近往一個方向繞行行走的搬送台車21，這一點和上述第1實施形態不同。在以下，針對本實施形態之物品搬送設備100，以和上述第1實施形態的相異點為中心來說明。再者，針對未特別說明之點，是視為與上述第1實施形態同樣。

如圖11所示，作為搬送裝置M的搬送台車21是在行走路徑L上往一個方向繞行行走，藉此沿著規定的搬送方向X來搬送物品W。壁體2是包圍設置有作為搬送裝置M的搬送台車21的區域。壁體2是以懸吊在天花板部C的狀態設置，而為相對於如前述的上地板部F2(未圖示)在上方相間隔。

將在上下方向視角下相對於搬送方向X而正交的方向設為橫寬方向Y，壁體2在該壁體2的橫寬方向Y的端部具備有沿著搬送方向X而設置的側壁部12。側壁部12是相對於搬送台車21而設置在橫寬方向Y的外側。

如圖12所示，壁體2除了側壁部12之外，還具備有下壁部22，前述下壁部22是包圍設置有搬送台車21的區域之下方側。此下壁部22具備有第1連通部26及第2連通部27，前述第1連通部26及第2連通部27是沿著上下方向Z來連通內部空間R1與外部空間R2。在上下方向視角下，第1連通部26是形成在和搬送台車21行走的行走軌跡重疊的範圍內。在此第1連通部26具備有FFU。在上下方向視角下，第2連通部27是形成在被搬送台車21的行走軌跡所包圍的區域。此第2連通部27是由沖孔金屬等多孔狀的板狀構件所構成。

在內部空間R1中，藉由內部氣流生成部14而供給至內部空間R1的上部之空氣，是在從上方朝下方於內部空間R1中流動後，從通氣部13朝向外部空間R2而朝側邊排氣，並且從第1連通部26及第2連通部27朝向外部空間R2而朝下方排氣。又，在外部空間R2中，藉由外部氣流生成部15而供給至外部空間R2的上部之空氣，是從上方朝下方於外部空間R2中流動。

5.其他的實施形態 接著，說明物品搬送設備100的其他實施形態。

(1)在上述實施形態中，是以設成複數個整風板17的每一個可繞著擺動軸心P來擺動之構成為例來說明。但是，並不限定於像這樣的構成。亦可為例如將複數個整風板17的每一個的傾斜角度固定之構成。在此情況下的傾斜角度亦可固定在例如對應於上述之緩傾斜姿勢(圖5的實線及圖6所示的姿勢)的角度。

(2)在上述實施形態中，是以將複數個擺動軸心P配置成在沿著第2方向B的第2方向視角下沿著上下方向Z排列成一列之構成為例來進行說明。但是，並不限定於像這樣的構成。例如，亦可將複數個擺動軸心P配置成沿著相對於上下方向Z而傾斜的方向、或沿著水平方向而排列成一列。或者，亦可將複數個擺動軸心P在第2方向視角下分別配置於波形狀的複數個頂點部。這些配置即使在設成複數個整風板17不具有擺動軸心P之固定構造的情況下也是同樣。

(3)在上述第1至第3實施形態中，是以在端壁部11與側壁部12的每一個具備有通氣部13之構成為例來進行說明。但是，並不限定於像這樣的構成。例如，亦可設成僅在端壁部11與側壁部12當中的其中一者具備有通氣部13之構成。

(4)在上述第1實施形態中，是將側壁部12相對於收納架8設置在橫寬方向Y的外側。但是，亦可為以下構成：在收納架8中的最下層的收納部7的下方，將側壁部12設置在收納架8的橫寬方向Y的寬度內、或者橫寬方向Y中的搬送裝置M與收納架8之間等。又，如上述，亦可在側壁部中的設置在收納架8的橫寬方向Y的寬度內或搬送裝置M與收納架8之間等的部分，設置通氣部13。

(5)在上述實施形態中，是以將搬送裝置M設為堆高式起重機6及搬送台車21的構成為例來說明。但是，並不限定於像這樣的構成。亦可為例如將搬送裝置M設為可自由地行走在未設置有引導的軌道之地板部上的搬送車之構成。又，亦可為將搬送裝置M設為沿著規定的搬送方向X而設置之帶式輸送機等之輸送機裝置之構成。

(6)在上述實施形態中，是以將物品搬送設備100設置於具備有外部氣流生成部15的無塵室R之構成為例進行了說明。但是，並不限定於像這樣的構成。亦可為例如將物品搬送設備100設置在不具備有外部氣流生成部15的無塵室R之構成、或設置在未進行淨化的空間之構成。

(7)在上述實施形態中，是以下述構成為例進行了說明：將複數個整風板的每一個中的朝向斜上方之面，設成在第2方向視角下為朝斜上方側膨起的形狀。但是，並不限定於像這樣的構成。亦可為例如將複數個整風板的每一個中的朝向斜上方之面，設成在第2方向視角下為平坦的形狀或朝斜下方側凹入之形狀的構成。

(8)在上述實施形態中，是以將氣體設為空氣的構成為例而進行了說明。但是，並不限定於像這樣的構成。亦可例如將氣體設為氮氣含有率較高的惰性氣體等。

(9)再者，上述之各實施形態所揭示的構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他實施形態所揭示的構成組合來適用。關於其他的構成，在本說明書中所揭示的實施形態在全部的點上均只不過是例示。從而，在不脫離本發明的主旨之範圍內，可適當地進行各種改變。

6.上述實施形態之概要 以下，針對在上述所說明之物品搬送設備的概要進行說明。

一種物品搬送設備，具備有搬送物品的搬送裝置，前述物品搬送設備具備有： 壁體，包圍設置有前述搬送裝置的區域；及內部氣流生成部，在前述壁體所包圍的內部空間生成從上方朝向下方的氣流，前述壁體具備有通氣部，前述通氣部是沿著沿水平方向的方向即第1方向，來連通前述內部空間與前述壁體的外部之空間即外部空間，前述通氣部具備有在上下方向上排列的複數個整風板，將前述第1方向中的相對於前述外部空間而存在有前述內部空間之方向設為內部側，並且將其相反側設為外部側，複數個前述整風板的每一個是以傾斜姿勢來設置，前述傾斜姿勢是傾斜成：前述內部側的端部即內端部位於比前述外部側的端部即外端部更上方側。

根據本構成，可以藉由內部氣流生成部所生成的氣流，使內部空間的氣體從上方朝向下方流動，而可以使該流動的氣體的一部分或全部從通氣部排氣至外部空間。並且，如此，藉由在內部空間生成氣流，即使在藉由搬送裝置搬送物品時產生有塵埃，由於該塵埃會和氣體一起往下方流動而從通氣部排出至外部空間，因此可以防止塵埃在內部空間中飛散。

又，通氣部所具備的複數個整風板的每一個是形成為傾斜姿勢，前述傾斜姿勢是傾斜成使內端部位於比外端部更上方側。因此，從上方朝向下方流動的內部空間之氣體，是被傾斜姿勢的整風板的上表面所引導而朝向斜下方流動。因此，在通氣部中，變得較容易從內部空間朝向外部空間來產生氣流。欲從外部空間通過通氣部來侵入至內部空間的氣體會被此氣流所阻礙。據此，可以使外部空間的氣體難以通過通氣部而侵入至內部空間。

在此，較理想的是，將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述第1方向而正交的方向設為第2方向，複數個前述整風板的每一個是構成為可繞著沿前述第2方向的擺動軸心來擺動，複數個前述擺動軸心是配置成在沿著前述第2方向的第2方向視角下沿著上下方向而排列成一列。

根據本構成可以藉由使複數個整風板的每一個繞著擺動軸心來擺動，而變更複數個整風板彼此之間隙的大小，且可以調節通氣部的通氣量。又，由於擺動軸心沿著上下方向而排列成一列，因此在變更了整風板的傾斜角度之情況下，難以與上下方向相鄰的其他整風板相干涉。因此，可以讓複數個整風板的每一個的傾斜角度之變更範圍變大，而變得可擴大複數個整風板彼此的間隙大小的調整範圍。

又，較理想的是，前述搬送裝置是構成為沿著規定的搬送方向來搬送物品，將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述搬送方向而正交的方向設為橫寬方向，前述壁體在該壁體的前述搬送方向的端部具備有沿著前述橫寬方向而設置的端壁部，前述端壁部具備有前述通氣部。

通常來說，在朝遠離端壁部的方向搬送物品的情況下，物品與壁端部之間會成為負壓。但是，根據本構成，因為是藉由傾斜姿勢的整風板在通氣部中促進從內部空間往外部空間之排氣，所以可以使氣體難以通過端壁部所具備的通氣部而從外部空間侵入至內部空間。

又，較理想的是，前述搬送裝置是構成為沿著規定的搬送方向來搬送物品，將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述搬送方向而正交的方向設為橫寬方向，前述壁體具備有側壁部，前述側壁部是隔著前述搬送裝置而設置於前述橫寬方向的兩側，前述側壁部具備有前述通氣部。

通常來說，在朝遠離側壁部的預定位置之方向行走的情況下，物品與側壁部的預定位置之間會成為負壓。根據本構成，因為是藉由傾斜姿勢的整風板在通氣部中促進從內部空間往外部空間之排氣，所以可以使氣體難以通過側壁部所具備的通氣部而從外部空間侵入至內部空間。

又，較理想的是，更具備有外部氣流生成部，前述外部氣流生成部是在前述外部空間生成從上方朝向下方的氣流，前述搬送裝置及前述壁體部是設置在包含前述內部空間與前述外部空間的無塵室。

在外部氣流生成部於外部空間生成有氣流的情況下，會使該外部空間與內部氣流生成部生成有氣流的內部空間之氣壓差變小。因此，內部空間的氣體變得難以通過通氣部排氣至外部空間，其結果，會有外部空間的氣體變得較容易通過通氣部而侵入至內部空間的情況。但是，根據本構成，通氣部所具備的複數個整風板的每一個是形成為傾斜姿勢，且前述傾斜姿勢是傾斜成使內端部位於比外端部更上方側。因此，從上方朝向下方流動的外部空間之氣體使其流動方向反轉，而在傾斜姿勢的整風板的上表面朝向斜上方流動的可能性較低。據此，可以使外部空間的氣體難以通過通氣部而侵入至內部空間。

又，較理想的是，將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述第1方向而正交的方向設為第2方向，複數個前述整風板的每一個中的朝向斜上方側之面在沿著前述第2方向的第2方向視角下，是形成為朝前述斜上方側膨起的弧狀。

根據本構成，藉由將整風板之朝向斜上方側之面形成為弧狀，傾斜姿勢的整風板的上表面即形成為在內端部中往下方的傾斜較平緩，而在外端部中往下方的傾斜較陡。因此，從上方朝向下方流動之內部空間的氣體會變得較容易被整風板的上表面之內端部所承接，並且較容易在外端部朝向下方排氣。從而，在通氣部中，較容易從內部空間朝向外部空間產生氣流，而可以使外部空間的氣體難以通過通氣部侵入至內部空間。 產業上之可利用性

本揭示之技術可以利用在具備有搬送物品之搬送裝置的物品搬送設備上。

1:自動倉庫 2:壁體 3:氣流生成部 6:堆高式起重機 7:收納部 8:收納架 9:搬入搬出部 11:端壁部 12:側壁部 13:通氣部 14:內部氣流生成部 15:外部氣流生成部 17:整風板 17A:內端部 17B:外端部 21:搬送台車 22:下壁部 23:連通部 24:上壁部 26:第1連通部 27:第2連通部 100:物品搬送設備 A:第1方向 A1:內部側 A2:外部側 B:第2方向 C:天花板部 E:處理裝置 F1:下地板部 F2:上地板部 L:行走路徑 M:搬送裝置 P:擺動軸心 R:無塵室 R1:內部空間 R2:外部空間 R3:地板下空間 W:物品 X:搬送方向 Y:橫寬方向 Z:上下方向

圖1是第1實施形態中的物品搬送設備的平面圖。 圖2是第1實施形態中的物品搬送設備的正面圖。 圖3是第1實施形態中的物品搬送設備的側面圖。 圖4是第1實施形態中的通氣部的立體圖。 圖5是第1實施形態中的整風板的側面圖。 圖6是顯示第1實施形態中的緩傾斜姿勢之整風板的側面圖。 圖7是顯示第1實施形態中的陡傾斜姿勢之整風板的側面圖。 圖8是第2實施形態中的物品搬送設備的平面圖。 圖9是第2實施形態中的物品搬送設備的正面圖。 圖10是第3實施形態中的物品搬送設備的正面圖。 圖11是第4實施形態中的物品搬送設備的平面圖。 圖12是第4實施形態中的物品搬送設備的正面圖。

1:自動倉庫

2:壁體

3:氣流生成部

6:堆高式起重機

7:收納部

8:收納架

9:搬入搬出部

12:側壁部

13:通氣部

14:內部氣流生成部

15:外部氣流生成部

17:整風板

100:物品搬送設備

C:天花板部

E:處理裝置

F1:下地板部

F2:上地板部

M:搬送裝置

R:無塵室

R1:內部空間

R2:外部空間

R3:地板下空間

W:物品

Y:橫寬方向

Z:上下方向

Claims (8)

1. 一種物品搬送設備，具備以下：搬送物品的搬送裝置，前述物品搬送設備具有以下之特徵：更具備有：壁體，包圍設置有前述搬送裝置的區域；及內部氣流生成部，在前述壁體所包圍的內部空間生成從上方朝向下方的氣流，前述壁體具備有通氣部，前述通氣部是沿著沿水平方向的方向即第1方向來連通前述內部空間與前述壁體的外部之空間即外部空間，前述通氣部具備有在上下方向上排列的複數個整風板，將前述第1方向中的相對於前述外部空間而存在有前述內部空間之方向設為內部側，並且將其相反側設為外部側，複數個前述整風板的每一個是被以上下方向的位置與前述搬送裝置的台車部重疊的方式配置並以傾斜姿勢來設置，前述傾斜姿勢是傾斜成：前述內部側的端部即內端部位於比前述外部側的端部即外端部更上方側。
2. 一種物品搬送設備，具備以下：搬送物品的搬送裝置，前述物品搬送設備具有以下之特徵：更具備有：壁體，包圍設置有前述搬送裝置的區域；及內部氣流生成部，在前述壁體所包圍的內部空間生成從上方朝向下方的氣流， 前述壁體具備有通氣部，前述通氣部是沿著沿水平方向的方向即第1方向來連通前述內部空間與前述壁體的外部之空間即外部空間，前述通氣部具備有在上下方向上排列的複數個整風板，將前述第1方向中的相對於前述外部空間而存在有前述內部空間之方向設為內部側，並且將其相反側設為外部側，複數個前述整風板的每一個是以傾斜姿勢來設置，前述傾斜姿勢是傾斜成：前述內部側的端部即內端部位於比前述外部側的端部即外端部更上方側，複數個前述整風板的每一個是構成為可以變更姿勢為緩傾斜姿勢及陡傾斜姿勢，前述緩傾斜姿勢是將前述內端部位於比前述外端部更上方側之姿勢，前述陡傾斜姿勢是使前述內端部與前述外端部之上下方向的間隔比前述緩傾斜姿勢更大之姿勢，前述物品搬送設備更具備有：控制裝置，控制複數個前述整風板的每一個之姿勢，前述控制裝置在前述搬送裝置接近於前述整風板的情況下，將前述整風板變更姿勢為前述緩傾斜姿勢，在前述搬送裝置遠離前述整風板的情況下，將前述整風板變更姿勢為前述陡傾斜姿勢。
3. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述第1方向而正交的方向設為第2方向，複數個前述整風板的每一個是構成為可繞著沿前述第2方向的擺動軸心來擺動，複數個前述擺動軸心是配置成在沿著前述第2方向的第2方向視角下沿著上下方向而排列成一列。
4. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中前述搬送裝置是構成為沿著規定的搬送方向來搬送物品， 將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述搬送方向而正交的方向設為橫寬方向，前述壁體是在該壁體的前述搬送方向的端部具備有沿著前述橫寬方向而設置的端壁部，前述端壁部具備有前述通氣部。
5. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中前述搬送裝置是構成為沿著規定的搬送方向來搬送物品，將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述搬送方向而正交的方向設為橫寬方向，前述壁體具備有側壁部，前述側壁部是隔著前述搬送裝置而設置於前述橫寬方向的兩側，前述側壁部具備有前述通氣部。
6. 如請求項1或2之物品搬送設備，其更具備有外部氣流生成部，前述外部氣流生成部是在前述外部空間生成從上方朝向下方的氣流，前述搬送裝置及前述壁體是設置在包含前述內部空間與前述外部空間的無塵室。
7. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中將沿著上下方向的上下方向視角下相對於前述第1方向而正交的方向設為第2方向，複數個前述整風板的每一個中的朝向斜上方側之面在沿著前述第2方向的第2方向視角下，是形成為朝前述斜上方側膨起的弧狀。
8. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中前述壁體更具備沿著上下方向來連通前述內部空間與前述外部空間的連通部，前述搬送裝置是構成為沿著規定的搬送方向來行走，前述連通部是配置在比前述搬送裝置更下側，且在上下方向視角下，與前 述搬送裝置的行走軌跡重疊的位置。