TWI831133B - 浸入式冷卻系統及浸入式冷卻方法 - Google Patents

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TWI831133B
TWI831133B TW111105735A TW111105735A TWI831133B TW I831133 B TWI831133 B TW I831133B TW 111105735 A TW111105735 A TW 111105735A TW 111105735 A TW111105735 A TW 111105735A TW I831133 B TWI831133 B TW I831133B
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林威志
張仁俊
簡燕輝
陳家興
陳立修
蔡文
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台達電子工業股份有限公司
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Abstract

一種浸入式冷卻系統包含冷卻槽、殼體以及閥門。冷卻槽配置以容納冷卻液以及浸入冷卻液的電子裝置。殼體覆蓋在冷卻槽的一側以形成一封閉空間。閥門具有兩端口分別連通封閉空間以及冷卻槽位在冷卻液之上的部分,且閥門配置以因應於冷卻槽的氣壓超過上限值而開啟。

Description

浸入式冷卻系統及浸入式冷卻方法
本揭示是關於一種浸入式冷卻系統及浸入式冷卻方法。
一般而言,浸入式冷卻系統應用在電子設備的散熱時,浸入式冷卻系統的壓力會隨著其電子設備的負載變化。系統壓力過高會使冷卻液的沸點升高,不利電子設備散熱,系統壓力過低則容易造成外界空氣或水氣滲入。此外,系統壓力過高或過低皆可能造成系統的結構損壞/變形。因此,控制浸入式冷卻系統的壓力為重要課題。
有鑑於此,本揭示之一目的在於提出一種可以有效控制系統壓力的浸入式冷卻系統。
為達成上述目的,依據本揭示的一些實施方式,一種浸入式冷卻系統包含冷卻槽、殼體以及第一閥門。冷卻槽包含本體以及蓋體,蓋體覆蓋本體並與本體共同形成第 一封閉空間,第一封閉空間配置以容納冷卻液以及浸入冷卻液的電子裝置。殼體覆蓋在蓋體遠離本體的一側以與蓋體共同形成第二封閉空間。第一閥門位於第二封閉空間內,第一閥門具有兩端口分別連通第二封閉空間以及第一封閉空間位在冷卻液之上的部分,且第一閥門配置以因應於第一封閉空間的氣壓超過第一上限值而開啟。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻系統進一步包含壓力感測器以及控制器。壓力感測器配置以提供感測訊號,感測訊號顯示冷卻槽的氣壓。控制器配置以基於感測訊號來判定冷卻槽的氣壓是否超過第一上限值,並在判定冷卻槽的氣壓超過第一上限值時驅使第一閥門開啟。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻系統進一步包含安全閥。安全閥具有兩端口分別連通封閉空間以及冷卻槽位在冷卻液之上的部分,且安全閥配置以在冷卻槽的氣壓超過第二上限值時自動開啟。第二上限值大於第一上限值。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻系統進一步包含冷凝器以及回收管路。冷凝器設置在封閉空間中,並配置以使封閉空間中的汽化的冷卻液凝結。回收管路連接封閉空間以及冷卻槽,並配置以導引冷凝器凝結產生的冷卻液流入冷卻槽。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻系統進一步包含冷凝器。冷凝器設置在冷卻槽中,並配置以執 行冷凝作業,冷凝作業包含使汽化的冷卻液凝結。當第一閥門關閉時,冷凝器配置以隨著冷卻槽的氣壓發生變化而加快或減慢冷凝作業。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻系統進一步包含膨脹裝置,膨脹裝置連通冷卻槽位在冷卻液之上的部分。當第一閥門關閉時,膨脹裝置配置以隨著冷卻槽的氣壓發生變化而改變體積。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻系統進一步包含冷凝器。當冷卻槽的氣壓超過一門檻值時,冷凝器配置以使流向膨脹裝置的蒸氣凝結。所述門檻值小於第一上限值。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻系統進一步包含第二閥門。第二閥門具有兩端口分別連通冷卻槽以及位於冷卻槽與殼體外部的周遭環境,且第二閥門配置以因應於冷卻槽的氣壓低於一下限值而開啟。
依據本揭示的一些實施方式,一種浸入式冷卻方法包含:將電子裝置浸入冷卻槽中的冷卻液,其中冷卻槽包含本體以及蓋體,蓋體覆蓋本體並與本體共同形成第一封閉空間,冷卻液位於第一封閉空間;提供殼體,殼體覆蓋在蓋體遠離本體的一側以與蓋體共同形成第二封閉空間;因應於第一封閉空間的氣壓超過第一上限值而開啟位於第二封閉空間內的第一閥門,使氣體從第一封閉空間流向第二封閉空間。
在本揭示的一或多個實施方式中,開啟第一閥門的 步驟包含:自壓力感測器接收感測訊號,感測訊號顯示冷卻槽的氣壓;基於感測訊號來判定冷卻槽的氣壓是否超過第一上限值;以及若判定結果為是,則驅使第一閥門開啟。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻方法進一步包含:提供安全閥,安全閥具有兩端口分別連通封閉空間以及冷卻槽位在冷卻液之上的部分,且安全閥配置以在冷卻槽的氣壓超過第二上限值時自動開啟,其中第二上限值大於第一上限值。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻方法進一步包含:將封閉空間中的汽化的冷卻液冷凝;以及導引封閉空間中凝結出的冷卻液流入冷卻槽。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻方法進一步包含:因應於冷卻槽的氣壓低於一下限值而開啟第二閥門,使氣體從位於冷卻槽與殼體外部的周遭環境流向冷卻槽。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻方法進一步包含:在開啟第一閥門前,利用位於冷卻槽中的第一冷凝器或是連通冷卻槽的膨脹裝置來控制冷卻槽的氣壓。
在本揭示的一或多個實施方式中,浸入式冷卻方法進一步包含:當冷卻槽的氣壓超過一門檻值時,利用第二冷凝器使至少部分的從冷卻槽流向膨脹裝置的蒸氣凝結。所述門檻值小於第一上限值。
綜上所述,在本揭示的浸入式冷卻系統中,冷卻槽 內部氣壓過高時,冷卻槽的氣體排出到位於冷卻槽一側的封閉空間而不直接排出到大氣,如此一來,可以避免汽化的冷卻液流失。封閉空間收集的汽化的冷卻液可以被回收至冷卻槽再利用。
10:浸入式冷卻系統
11:輸送管路
13:過濾器
15:流量計
17,77:逆止閥
20:冷卻槽
30:冷卻液
35:汽化的冷卻液
41,42,72:冷凝器
50:殼體
56:封閉空間
61,63:閥門
62:安全閥
64:流量控制閥
70:回收系統
74:回收管路
80:控制器
90:膨脹裝置
100,200:浸入式冷卻方法
101,102,103,104,201,202:步驟
E:電子裝置
PT01,PT02:壓力感測器
為使本揭示之上述及其他目的、特徵、優點與實施方式能更明顯易懂,所附圖式之說明如下:第1圖為繪示依據本揭示一實施方式之浸入式冷卻系統的示意圖。
第2圖為繪示依據本揭示一實施方式之浸入式冷卻方法的流程圖。
第3圖為繪示依據本揭示另一實施方式之浸入式冷卻方法的流程圖。
為使本揭示之敘述更加詳盡與完備,可參照所附之圖式及以下所述各種實施方式。圖式中之各元件未按比例繪製,且僅為說明本揭示而提供。以下描述許多實務上之細節,以提供對本揭示的全面理解,然而,相關領域具普通技術者應當理解可在沒有一或多個實務上之細節的情況下實施本揭示,因此,該些細節不應用以限定本揭示。
請參照第1圖,浸入式冷卻系統10包含冷卻槽 20,冷卻槽20配置以容納冷卻液30以及浸入冷卻液30的一或多個電子裝置E。電子裝置E例如是電腦伺服器或資料儲存裝置,在運行過程中產生熱。冷卻液30配置以接觸電子裝置E,並從電子裝置E吸熱,以協助電子裝置E冷卻。冷卻液30為非導電液體,例如是介電液。
如第1圖所示,於一些實施方式中,冷卻槽20中的冷卻液30從電子裝置E吸熱而部分汽化,冷卻槽20位在冷卻液30之上的部分包含汽化的冷卻液35。浸入式冷卻系統10進一步包含冷凝器41,冷凝器41設置在冷卻槽20中,並配置以執行冷凝作業,冷凝作業包含使汽化的冷卻液35凝結。在上述二相式冷卻方法中,冷卻液30重複從電子裝置E吸熱而汽化以及被冷凝器41轉換回液態的流程,藉此協助電子裝置E散熱。
一般而言,冷卻槽20內部的氣壓與電子裝置E的負載呈正相關。具體而言,當電子裝置E的負載增加時(例如:當電子裝置E的運算量增加時),電子裝置E在單位時間內產生較多的熱,使冷卻液30更快速地汽化,冷卻槽20的氣壓因而上升。反之,當電子裝置E的負載降低時,電子裝置E在單位時間內產生較少的熱,使冷卻液30的汽化減慢,冷卻槽20的氣壓因而下降。
如第1圖所示,浸入式冷卻系統10還包含殼體50。殼體50覆蓋在冷卻槽20的一側以形成封閉空間56,封閉空間56具有固定的體積。在所示的實施方式中,殼體50覆蓋在冷卻槽20的頂部。於一些實施方式中,殼體50 可包含金屬、玻璃、壓克力、其他合適的材料或上述材料的任意組合。
如第1圖所示,浸入式冷卻系統10還包含閥門61。閥門61具有兩端口分別連通封閉空間56以及冷卻槽20位在冷卻液30之上的部分(亦即,冷卻槽20中具有汽化的冷卻液35的空間)。閥門61配置以在開啟狀態與關閉狀態之間切換。當閥門61處於開啟狀態時,閥門61允許氣體在封閉空間56與冷卻槽20之間流通。當閥門61處於關閉狀態時,閥門61阻止氣體在封閉空間56與冷卻槽20之間流通。
承上所述,閥門61配置以因應於冷卻槽20的氣壓超過第一上限值而開啟,使氣體從冷卻槽20流向封閉空間56,藉此降低冷卻槽20的氣壓。如此一來,可避免冷卻槽20結構損壞,同時避免冷卻液30的沸點過高,導致電子裝置E散熱不良。從冷卻槽20流向封閉空間56的氣體包含汽化的冷卻液35,除此之外,亦可能包含混入汽化的冷卻液35的其他氣體,例如空氣或水蒸氣。
在本揭示的浸入式冷卻系統10中,冷卻槽20內部氣壓過高時,冷卻槽20的氣體排出到位於冷卻槽20一側的封閉空間56而不直接排出到大氣,如此一來,可以避免汽化的冷卻液35流失。封閉空間56收集的汽化的冷卻液35可以被回收至冷卻槽20再利用。
如第1圖所示,於一些實施方式中,浸入式冷卻系統10進一步包含回收系統70,回收系統70包含冷凝 器72以及回收管路74。冷凝器72設置在封閉空間56中,並配置以使封閉空間56中的汽化的冷卻液35凝結。回收管路74具有相對的兩端,一端連接封閉空間56,另一端連接冷卻槽20。回收管路74配置以導引冷凝器72凝結產生的冷卻液30流入冷卻槽20。於一些實施方式中,回收管路74包含逆止閥77,逆止閥77配置以阻止冷卻液30或汽化的冷卻液35從冷卻槽20逆流至封閉空間56。
如第1圖所示,於一些實施方式中,浸入式冷卻系統10進一步包含壓力感測器PT02及控制器80。壓力感測器PT02配置以提供感測訊號,感測訊號顯示冷卻槽20的氣壓。控制器80可通訊地連接壓力感測器PT02,並配置以自壓力感測器PT02接收感測訊號。控制器80還配置以基於感測訊號來判定冷卻槽20的氣壓是否超過第一上限值。若冷卻槽20的氣壓超過第一上限值,則控制器80驅使閥門61開啟(例如:控制器80可發送控制訊號驅使閥門61開啟)。於一些實施方式中,閥門61為電磁閥。於一些實施方式中,壓力感測器PT02配置以量測冷卻槽20與封閉空間56之間的氣壓差。
如第1圖所示,於一些實施方式中,浸入式冷卻系統10進一步包含安全閥62。安全閥62具有兩端口分別連通封閉空間56以及冷卻槽20位在冷卻液30之上的部分,且安全閥62配置以在冷卻槽20的氣壓超過第二上限值時自動開啟,第二上限值大於第一上限值。如此一來,當冷卻槽20的氣壓進一步上升時,可以加速將冷卻槽20 的氣體排出至封閉空間56。此外,安全閥62的設置也可以提高浸入式冷卻系統10的壓力控制機制的可靠度,當閥門61故障時,冷卻槽20的氣體仍能透過安全閥62排出至封閉空間56。於一些實施方式中,閥門61與安全閥62設置在一管路中,所述管路一端連通冷卻槽20,並延伸進入封閉空間56中。
如第1圖所示,於一些實施方式中,浸入式冷卻系統10進一步包含閥門63,閥門63具有兩端口分別連通冷卻槽20以及位於冷卻槽20與殼體50外部的周遭環境,且閥門63配置以因應於冷卻槽20的氣壓低於一下限值而開啟。如此一來,當冷卻槽20內部的氣壓過低時,可以將周遭環境的空氣引入冷卻槽20中,增加冷卻槽20的氣壓以避免冷卻槽20結構損壞。
於一些實施方式中,閥門63為電磁閥。於一些實施方式中,控制器80配置以基於壓力感測器PT02提供的感測訊號來判定冷卻槽20的氣壓是否低於下限值,並在冷卻槽20的氣壓低於下限值時驅使閥門63開啟(例如:控制器80可發送控制訊號驅使閥門63開啟)。在冷卻槽20的氣壓未低於下限值時,閥門63關閉。
於一些實施方式中,當冷卻槽20的氣壓未超過第一上限值且未低於下限值時,浸入式冷卻系統10可以執行其他的壓力控制手段來維持冷卻槽20的氣壓。如第1圖所示,於一些實施方式中,當閥門61關閉時(換言之,在開啟閥門61之前),冷卻槽20中的冷凝器41配置以隨著冷 卻槽20的氣壓發生變化而加快或減慢冷凝作業,藉此控制冷卻槽20的氣壓。於一些實施方式中,控制器80配置以基於壓力感測器PT02提供的感測訊號來控制冷凝器41加快或減慢冷凝作業。
具體而言,當冷卻槽20的氣壓上升但未超過第一上限值時,冷凝器41配置以加快冷凝作業(例如:增加單位時間凝結的汽化的冷卻液35的量或是增加單位時間從冷卻槽20移除的熱),以降低冷卻槽20的氣壓。反之,當冷卻槽20的氣壓下降但未低於下限值時,冷凝器41配置以減慢冷凝作業(例如:減小單位時間凝結的汽化的冷卻液35的量或是減小單位時間從冷卻槽20移除的熱),以增加冷卻槽20的氣壓。
如第1圖所示,於一些實施方式中,冷凝器41配置以透過輸送管路11接收工作流體,利用工作流體與汽化的冷卻液35進行熱交換,使汽化的冷卻液35凝結回到液態,最後透過輸送管路11將工作流體排出。於一些實施方式中,輸送管路11上設置有一或多個流量控制閥64,流量控制閥64可調節通過冷凝器41的工作流體的流量,藉此加快或減慢冷凝作業。於一些實施方式中,流量控制閥64為電動馬達閥。於一些實施方式中,控制器80配置以基於壓力感測器PT02提供的感測訊號來操控流量控制閥64。
如第1圖所示,於一些實施方式中,輸送管路11上還設置有壓力感測器PT01,壓力感測器PT01配置以 量測工作流體的壓力。於一些實施方式中,輸送管路11上還設置有過濾器13,過濾器13配置以在工作流體流入冷凝器41前過濾工作流體,以去除其中的雜質。於一些實施方式中,輸送管路11設置有流量計15,流量計15配置以量測工作流體的流量。於一些實施方式中,輸送管路11設置有逆止閥17,逆止閥17配置以阻止工作流體逆流。
如第1圖所示,於一些實施方式中,浸入式冷卻系統10進一步包含膨脹裝置90,膨脹裝置90設置在冷卻槽20以及殼體50外,並連通冷卻槽20位在冷卻液30之上的部分。當閥門61關閉時,膨脹裝置90配置以隨著冷卻槽20的氣壓發生變化而改變體積。於一些實施方式中,膨脹裝置90包含一彈性體,彈性體的內部空間連通冷卻槽20。因應於冷卻槽20的氣壓上升,彈性體配置以自動膨脹(增加體積),以降低冷卻槽20的氣壓。因應於冷卻槽20的氣壓下降,彈性體配置以自動縮小(減小體積),以增加冷卻槽20的氣壓。
如第1圖所示,於一些實施方式中,浸入式冷卻系統10進一步包含冷凝器42,冷凝器42連接在冷卻槽20與膨脹裝置90之間,氣體從冷卻槽20流向膨脹裝置90時通過冷凝器42。當冷卻槽20的氣壓超過一門檻值時,冷凝器42啟動並配置以使流向膨脹裝置90的蒸氣(包含汽化的冷卻液35)凝結,所述門檻值小於第一上限值。藉由上述配置,可減低膨脹裝置90的負荷。於一些實施方式中,膨脹裝置90透過一管路連接冷卻槽20,所述管路通 過冷凝器42。冷凝器42啟動後,在冷凝器42凝結產生的冷卻液30可順著所述管路流回冷卻槽20。
於一些實施方式中,控制器80配置以基於壓力感測器PT02提供的感測訊號來判定冷卻槽20的氣壓是否超過所述門檻值,並在冷卻槽20的氣壓超過所述門檻值時啟動冷凝器42。在冷卻槽20的氣壓未超過所述門檻值時,冷凝器42關閉。
請參照第2圖,本實施方式的浸入式冷卻方法100包含因應於冷卻槽中的氣壓上升的控制流程。請一併參照第1圖,在步驟101中,透過(i)與冷卻槽20連通的膨脹裝置90隨著冷卻槽20的氣壓上升而增加體積及/或(ii)冷卻槽20中的冷凝器41隨著冷卻槽20的氣壓上升而加快冷凝作業的方式來控制冷卻槽20的氣壓。
如第1圖與第2圖所示,若冷卻槽20的氣壓上升至超過一門檻值,則浸入式冷卻方法100前進至步驟102,在步驟102中,啟動冷卻槽20與膨脹裝置90之間的冷凝器42,使至少部分的從冷卻槽20流向膨脹裝置90的蒸氣凝結。
如第1圖與第2圖所示,若冷卻槽20的氣壓進一步上升超過第一上限值,則浸入式冷卻方法100前進至步驟103,在步驟103中,開啟閥門61,使氣體從冷卻槽20流向位於冷卻槽20的一側的封閉空間56。
如第1圖與第2圖所示,若冷卻槽20的氣壓進一步上升超過第二上限值,則浸入式冷卻方法100前進至步 驟104,在步驟104中,開啟安全閥62,使氣體從冷卻槽20流向封閉空間56。
請參照第3圖,本實施方式的浸入式冷卻方法200包含因應於冷卻槽中的氣壓下降的控制流程。請一併參照第1圖,在步驟201中,透過(i)與冷卻槽20連通的膨脹裝置90隨著冷卻槽20的氣壓下降而減小體積及/或(ii)冷卻槽20中的冷凝器41隨著冷卻槽20的氣壓下降而減慢冷凝作業的方式來控制冷卻槽20的氣壓。
如第1圖與第3圖所示,若冷卻槽20的氣壓下降至低於一下限值,則浸入式冷卻方法200前進至步驟202,在步驟202中,開啟閥門63,使氣體從位於冷卻槽20與封閉空間56外部的周遭環境流向冷卻槽20。
綜上所述,在本揭示的浸入式冷卻系統中,冷卻槽內部氣壓過高時,冷卻槽的氣體排出到位於冷卻槽一側的封閉空間而不直接排出到大氣,如此一來,可以避免汽化的冷卻液流失。封閉空間收集的汽化的冷卻液可以被回收至冷卻槽再利用。
儘管本揭示已以實施方式揭露如上,然其並非用以限定本揭示,任何熟習此技藝者,於不脫離本揭示之精神及範圍內,當可作各種之更動與潤飾,因此本揭示之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10:浸入式冷卻系統
11:輸送管路
13:過濾器
15:流量計
17,77:逆止閥
20:冷卻槽
30:冷卻液
35:汽化的冷卻液
41,42,72:冷凝器
50:殼體
56:封閉空間
61,63:閥門
62:安全閥
64:流量控制閥
70:回收系統
74:回收管路
80:控制器
90:膨脹裝置
E:電子裝置
PT01,PT02:壓力感測器

Claims (12)

  1. 一種浸入式冷卻系統,包含:一冷卻槽,包含一本體以及一蓋體,該蓋體覆蓋該本體並與該本體共同形成一第一封閉空間,該第一封閉空間配置以容納一冷卻液以及一電子裝置,該電子裝置浸入該冷卻液;一殼體,覆蓋在該蓋體遠離該本體的一側以與該蓋體共同形成一第二封閉空間;一第一閥門,位於該第二封閉空間內,該第一閥門具有兩端口分別連通該第二封閉空間以及該第一封閉空間位在該冷卻液之上的部分,且該第一閥門配置以因應於該第一封閉空間的一氣壓超過一第一上限值而開啟;一第二閥門,該第二閥門具有兩端口分別連通該第一封閉空間以及位於該冷卻槽與該殼體外部的一周遭環境,且該第二閥門配置以因應於該第一封閉空間的該氣壓低於一下限值而開啟;以及一安全閥,該安全閥具有兩端口分別連通該第二封閉空間以及該第一封閉空間位在該冷卻液之上的部分,且該安全閥配置以在該第一封閉空間的該氣壓超過一第二上限值時自動開啟,其中該第二上限值大於該第一上限值。
  2. 如請求項1所述之浸入式冷卻系統,進一步包含一壓力感測器以及一控制器,該壓力感測器配置以提供一感測訊號,該感測訊號顯示該第一封閉空間的該氣壓, 該控制器配置以基於該感測訊號來判定該第一封閉空間的該氣壓是否超過該第一上限值,並在判定該第一封閉空間的該氣壓超過該第一上限值時驅使該第一閥門開啟。
  3. 如請求項1所述之浸入式冷卻系統,進一步包含一冷凝器以及一回收管路,該冷凝器設置在該第二封閉空間中,並配置以使該第二封閉空間中的汽化的該冷卻液凝結,該回收管路連接該第二封閉空間以及該第一封閉空間,並配置以導引該冷凝器凝結產生的該冷卻液流入該第一封閉空間。
  4. 如請求項1所述之浸入式冷卻系統,進一步包含一冷凝器,該冷凝器設置在該第一封閉空間中,並配置以執行一冷凝作業,該冷凝作業包含使汽化的該冷卻液凝結,其中當該第一閥門關閉時,該冷凝器配置以隨著該第一封閉空間的該氣壓發生變化而加快或減慢該冷凝作業。
  5. 如請求項1所述之浸入式冷卻系統,進一步包含一膨脹裝置,該膨脹裝置連通該第一封閉空間位在該冷卻液之上的部分,其中當該第一閥門關閉時,該膨脹裝置配置以隨著該第一封閉空間的該氣壓發生變化而改變體積。
  6. 如請求項5所述之浸入式冷卻系統,進一步包含一冷凝器,其中當該第一封閉空間的該氣壓超過一門檻值時,該冷凝器配置以使流向該膨脹裝置的蒸氣凝結,其中該門檻值小於該第一上限值。
  7. 如請求項4所述之浸入式冷卻系統,進一步包含複數個輸送管路以及至少一流量控制閥,該些輸送管路分別連接該冷凝器並配置以輸送一工作流體,該流量控制閥設置於該些輸送管路中之至少一者並配置以調節通過該冷凝器的該工作流體的流量。
  8. 一種浸入式冷卻方法,包含:將一電子裝置浸入一冷卻槽中的一冷卻液,其中該冷卻槽包含:一本體;以及一蓋體,覆蓋該本體並與該本體共同形成一第一封閉空間,該冷卻液位於該第一封閉空間;提供一殼體,該殼體覆蓋在該蓋體遠離該本體的一側以與該蓋體共同形成一第二封閉空間;因應於該第一封閉空間的一氣壓超過一第一上限值而開啟位於該第二封閉空間內的一第一閥門,使氣體從該第一封閉空間流向該第二封閉空間;因應於該第一封閉空間的該氣壓低於一下限值而開啟一第二閥門,使氣體從位於該冷卻槽與該殼體外部的一周遭 環境流向該第一封閉空間;以及提供一安全閥,該安全閥具有兩端口分別連通該第二封閉空間以及該第一封閉空間位在該冷卻液之上的部分,且該安全閥配置以在該第一封閉空間的該氣壓超過一第二上限值時自動開啟,其中該第二上限值大於該第一上限值。
  9. 如請求項8所述之浸入式冷卻方法,其中開啟該第一閥門的步驟包含:自一壓力感測器接收一感測訊號,該感測訊號顯示該第一封閉空間的該氣壓;基於該感測訊號來判定該第一封閉空間的該氣壓是否超過該第一上限值;以及若判定結果為是,則驅使該第一閥門開啟。
  10. 如請求項8所述之浸入式冷卻方法,進一步包含:將該第二封閉空間中的汽化的該冷卻液冷凝;以及導引該第二封閉空間中凝結出的該冷卻液流入該第一封閉空間。
  11. 如請求項8所述之浸入式冷卻方法,進一步包含:在開啟該第一閥門前,利用位於該第一封閉空間中的一第一冷凝器或是連通該第一封閉空間的一膨脹裝置來控制 該第一封閉空間的該氣壓。
  12. 如請求項11所述之浸入式冷卻方法,進一步包含:當該第一封閉空間的該氣壓超過一門檻值時,利用一第二冷凝器使至少部分的從該第一封閉空間流向該膨脹裝置的蒸氣凝結,其中該門檻值小於該第一上限值。
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