TWI819908B - 基板處理系統 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種基板處理系統，其包含雷鑽設備、第一基板處理設備及第二基板處理設備。第一基板處理設備所包含的第一載具存放機構、第二載具存放機構、第一載台機構及第一移載機構能相互配合，以將自動搬運車所承載的多個載具中的各個基板送入雷鑽設備中，並將未承載有基板的載具存放於第二載具存放機構中。第二基板處理設備所包含的第三載具存放機構、第四載具存放機構、第二載台機構及第二移載機構能相互配合，以將通過雷鑽設備的基板先置入載具中，再將承載有基板的載具置放於自動搬運車上。

Description

基板處理系統

本發明涉及一種基板處理系統，特別是一種包含雷鑽設備的基板處理系統。

在現有技術中，相關人員必需以人工的方式，將承載有基板的推車，送入雷鑽設備的周邊設備中，以使周邊設備能將推車上的基板逐一地送入雷鑽設備中。相同地，相關人員必需以人工的方式，將推車置放於雷鑽設備的出口端的周邊設備中，以使周邊設備能將通過雷鑽設備後的基板置放於推車上。上述利用人工將推車送入周邊設備的方式，費時且費工。

本發明公開一種基板處理系統，主要用以改善現有技術中，必需利用人工的方式，將承載有基板的台車，送入雷鑽設備的周邊設備中的方式，所帶來的諸多不便。

本發明的其中一實施例公開一種基板處理系統，其包含：至少一自走搬運車、一雷鑽設備、一第一基板處理設備及一第二基板處理設備。自走搬運車能承載至少一個載具，載具用以承載至少一個基板。雷鑽設備用以對至少一基板進行雷鑽作業；第一基板處理設備包含：一第一活動空間、一第一載具存放機構、一第二載具存放機構、一第一載台機構及一第一移載機構。第一活動空間用以提供一自動搬運車停放；第一載具存放機構用以固持停放於所述第一活動空間的所述自動搬運車所承載的載具；第二載具存放機構用以固持至少一個所述載具；第一載台機構包含一第一承載台及多個第一整板組件，所述第一承載台用以承載所述基板，多個所述第一整板組件用以對所述第一承載台上的所述基板進行整板作業；所述第二載具存放機構位於所述第一載具存放機構及所述第一載台機構之間；第一移載機構能將設置於所述第一載具存放機構的所述載具及其內的基板，一併移載至所述第二載具存放機構，且所述第一移載機構能將設置於所述第二載具存放機構的所述載具中的所述基板，移載至所述第一承載台，所述第一移載機構還能將設置於所述第一承載台上的所述基板移載至所述雷鑽設備中；第二基板處理設備包含：一第二活動空間、一第二載台機構、一第三載具存放機構及一第四載具存放機構。第二活動空間用以提供所述自動搬運車停放；第二載台機構包含一第二承載台，所述第二承載台用以承載所述基板；第三載具存放機構用以固持至少一個所述載具；第四載具存放機構能固持至少一個所述載具，且所述第四載具存放機構能將至少一個所述載具置放於停放於所述第二活動空間的所述自動搬運車上；所述第三載具存放機構位於所述第二載台機構及所述第四載具存放機構之間；第二移載機構能將所述雷鑽設備中的所述基板，移載至所述第二承載台，且所述第二移載機構能將所述第二承載台上的所述基板，移載至所述第三載具存放機構所固持的所述載具中，所述第二移載機構還能將設置於所述第三載具存放機構中的所述載具及其內的所述基板，一併移載至所述第四載具存放機構。

綜上所述，本發明的基板處理系統能與自動搬運車相互配合，以將自動搬運車載運的基板，能被自動地送入雷鑽設備中進行雷鑽作業，且本發明的基板處理系統還能使通過雷鑽設備的基板，置放於自動搬運車上。

為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。

於以下說明中，如有指出請參閱特定圖式或是如特定圖式所示，其僅是用以強調於後續說明中，所述及的相關內容大部份出現於該特定圖式中，但不限制該後續說明中僅可參考所述特定圖式。

請一併參閱圖1至圖5，圖1為本發明的基板處理系統的示意圖，圖2為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的局部示意圖，圖3為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的第一載具存放機構的示意圖，圖4為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的第二載具存放機構及第一載台機構的示意圖，圖5為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的部分機構的示意圖。需說明的是，為利清楚顯示第一基板處理設備所包含的構件，於圖2中，省略了第一基板處理設備所包含的部分機台本體的支架及機殼。

本發明的基板處理系統100包含一自動搬運車A、一雷鑽設備1、一第一基板處理設備2及一第二基板處理設備3。雷鑽設備1用以對至少一基板C進行雷鑽作業。在實際應用中，雷鑽設備1例如可以是同時對兩個以上的基板進行雷射鑽孔作業。

第一基板處理設備2包含：一第一機台本體21、一第一活動空間22、一第一移載機構23、一第一載具存放機構24、一第二載具存放機構25及一第一載台機構26。第一機台本體21例如包含支架及機殼。第一活動空間22用以提供自動搬運車A停放。

所述自動搬運車A例如可以是常見的AGV(Automation Guided Vehicle)，但不以此為限，只要可以自動地於廠房中的行走的搬運車，都是所述自動搬運車A可應用的範圍。自動搬運車A用以承載至少一載具B，載具B用以承載至少一基板C。載具B例如是各式Tray盤或是用來承載基板C的各式盒體，於此不加以限制。

第一移載機構23位於第一載具存放機構24、第二載具存放機構25及第一載台機構26的上方。第二載具存放機構25位於第一載具存放機構24及第一載台機構26之間，且第一載台機構26鄰近雷鑽設備1設置。

第一移載機構23能將設置於第一載具存放機構24的載具B及其內的基板C，一併移載至第二載具存放機構25，且第一移載機構23能將設置於第二載具存放機構25的載具B中的基板C，移載至第一承載台261，第一移載機構23還能將設置於第一承載台261上的基板C移載至雷鑽設備1中。

更進一步來說，第一移載機構23可以包含一第一載具固持組件231、一第一基板固持組件232、一第二基板固持組件233及至少一移動組件234。第一載具固持組件231、第一基板固持組件232及第二基板固持組件233並排地設置。第一載具固持組件231、第一基板固持組件232及第二基板固持組件233，都與移動組件234相連接。移動組件234例如是包含有線性滑軌，而第一載具固持組件231、第一基板固持組件232及第二基板固持組件233可以分別通過移動組件234，於第一載具存放機構24、第二載具存放機構25及第一載台機構26的上方進行橫向、縱向移動。

第一載具固持組件231用以將設置於第一載具存放機構24的載具B及其內的基板C，移載至第二載具存放機構25。第一基板固持組件232能將設置於第二載具存放機構25的載具B中的基板C，移載至第一承載台261，且第一基板固持組件232還能將設置於第一承載台261的基板C取起。第二基板固持組件233能取起第一承載台261的基板C，且第一基板固持組件232及第二基板固持組件233能一同將其所固持的基板C，送入雷鑽設備1中。

在實際應用中，第一載具固持組件231、第一基板固持組件232、第二基板固持組件233可以分別包含有多個吸盤，而第一載具固持組件231可以是通過多個吸盤，以固持載具B，第一基板固持組件232及第二基板固持組件233則能通過多個吸盤，以固持基板C。

第一載具存放機構24用以固持停放於第一活動空間22的自動搬運車A所承載的至少一個載具B。在實際應用中，第一載具存放機構24可以包含一第一升降機構241、一第一定位機構242及一第一輔助定位機構243。第一定位機構242用以固持停放於第一活動空間22的自動搬運車A所承載的至少一個載具B。

第一升降機構241與第一定位機構242連接，第一升降機構241用以使固持有載具B的第一定位機構242向靠近或遠離位於第一活動空間22的自動搬運車A的方向移動。具體來說，第一升降機構241例如可以是包含有兩個第一支撐臂2411、一第一升降組件2412及一動力源，兩個第一支撐臂2411分別連接第一升降組件2412，第一升降組件2412連接所述動力源，而動力源能被控制，以通過第一升降組件2412，帶動兩個第一支撐臂2411向靠近或遠離位於第一活動空間22中的自動搬運車A的方向移動。舉例來說，第一升降組件2412可以是包含有兩個線性滑軌組，但不以此為限。

第一定位機構242可以是包含多個第一定位組件2421及多個第一校正組件，多個第一定位組件2421用以固持位於第一活動空間22的載具B，多個第一校正組件用以校正位於第一活動空間22中的載具B的位置。舉例來說，第一定位機構242可以是包含有四個第一定位組件2421，各個第一定位組件2421例如是氣浮盤，而各個氣浮盤能被輸入氣體，以使位於第一活動空間22中的自動搬運車A上的載具B相對於自動搬運車A浮動，且各個氣浮盤還能被控制，以吸附位於第一活動空間22中的載具B。

第一定位機構242例如可以是包含兩種不同的校正組件，其中一種校正組件例如包含四個推抵組件2422，各個推抵組件2422例如是包含一驅動器24221及一推抵件24222，各個驅動器24221能被控制，以使推抵件24222作動，從而推抵或不再推抵位於第一活動空間22中的載具B。其中兩個推抵組件2422可以是設置於其中一個第一支撐臂2411，另外兩個推抵組件2422可以是設置於另一個第一支撐臂2411，而四個推抵組件2422可以是位於載具B的彼此相反的兩側，而四個推抵組件2422能被控制，以共同調整載具B於第一活動空間22中的左右方向的位置。

另一種校正組件例如可以是包含四個旋轉組件2423，各個旋轉組件2423例如是包含一驅動器24231及一旋轉件24232，驅動器24231能被控制，以使旋轉件24232向靠近或遠離位於第一活動空間22中的載具B的方向旋轉。其中兩個旋轉組件2423可以是設置於其中一個第一支撐臂2411，且位於第一支撐臂2411的兩端的位置，另外兩個旋轉組件2423可以是設置於另一個第一支撐臂2411，且位於另一個第一支撐臂2411的兩端的位置。四個旋轉件24232可以是大致位於載具B的四個邊角的位置，而四個旋轉件24232能共同校正載具B於第一活動空間22中的前後方向的位置。

依上所述，在實際應用中，第一定位機構242的四個氣浮盤(即第一定位組件2421)，可以是被控制轉換為浮動模式，而四個氣浮盤將分別輸出氣體，據以使位於第一活動空間22中的載具B相對於自動搬運車A浮動(即，使載具B離開自動搬運車A)，而後，四個推抵組件2422及四個旋轉組件2423可以是分別作動，據以校正載具B的位置，最後，四個氣浮盤可以是被控制轉換為吸附模式，如此，四個氣浮盤將吸附已經被校正後的載具B，如此，載具B的位置將被校正，且載具B將被第一定位機構242所固持。當載具B被第一定位機構242所固持時，第一升降機構241將可以作動，以使兩個第一支撐臂2411向遠離自動搬運車A的方向移動。當自動搬運車A上的載具B被第一定位機構242所固持，且載具B隨著第一升降機構241向遠離自動搬運車A的方向移動時，自動搬運車A即可離開第一活動空間22。

第一輔助定位機構243例如可以是固定設置於第一機台本體21(如圖2所示)。第一輔助定位機構243用以推抵位於第一升降機構241上的最靠近第一移載機構23的一個載具B，以將載具B調整至一預定位置。當載具B位於所述預定位置時，第一載具固持組件231移動至第一載具存放機構24的正上方後，將可以垂直下降，而固持位於所述預定位置的載具B。

舉例來說，第一輔助定位機構243可以是包含多個推抵組件2431及多個導引構件2432。各個推抵組件2431包含一驅動器24311及一推抵件24312，各個驅動器24311能被控制，以使推抵件24312移動，據以推抵載具B。各個導引構件2432例如是包含有弧面的結構。

第二載具存放機構25用以固持至少一個載具B。具體來說，第二載具存放機構25可以包含一第二升降機構251及一第二輔助定位機構252。第二升降機構251用以承載至少一個載具B，且第二升降機構251能使其所承載的載具B向遠離第一移載機構23的方向移動。於實際應用中，第二升降機構251例如可以是包含有兩個第二支撐臂2511、一第二升降組件2512及一動力源。兩個第二支撐臂2511與第二升降組件2512相連接。兩個第二支撐臂2511用以共同支撐至少一個載具B。動力源與第二升降組件2512相連接。動力源能被控制，以使第二升降組件2512作動，從而使兩個第二支撐臂2511向靠近或遠離第一移載機構23的方向移動。

當第一移載機構23將一個載具B置放於兩個第二支撐臂2511上後，動力源將可以被控制，以使第二升降組件2512作動，而讓兩個第二支撐臂2511向遠離第一移載機構23的方向移動，從而讓第一移載機構23所移載的另一的載具B，得以設置於被兩個第二支撐臂2511所承載的載具B之上。

第二輔助定位機構252用以推抵位於第二升降機構251上的最靠近第一移載機構23的一個載具B，以將載具B調整至一預定位置。在實際應用中，第二輔助定位機構252可以是包含多個推抵組件2521及多個導引構件2522，而第二輔助定位機構252所包含的推抵組件2521及導引構件2522，可以是與前述第一輔助定位機構243及其所包含的推抵組件2431及導引構件2432相同，但不以此為限。

通過第二輔助定位機構252的設計，可以確保被第二載具存放機構25所承載的最靠近第一移載機構23的載具B中的基板C是位於一預定位置，如此，將可以確保第一基板固持組件232，能夠正確地固持設置於第二載具存放機構25中的載具B中的基板C。

第一載台機構26包含一第一承載台261及多個第一整板組件262。第一承載台261用以承載基板C。多個第一整板組件262與第一承載台261相連接，而多個第一整板組件262用以對第一承載台261上的基板C進行整板作業。舉例來說，各個第一整板組件262可以是包含有一驅動器2621及一推抵件2622，驅動器2621與推抵件2622連接，驅動器2621用以帶動推抵件2622作動，據以推抵位於第一承載台261上的基板C，從而調整基板C於第一承載台261上的位置。關於第一承載台261上所設置的第一整板組件262的數量及其設置位置，不以圖中所示為限。

需說明的是，為利清楚地顯示第一移載機構23、第一載具存放機構24、第二載具存放機構25、第一載台機構26載具B及基板C彼此間的相對位置關係，於圖5中，額外加大了第一移載機構23與其他機構彼此間的距離，於實際應用中，第一移載機構23與其他機構彼此間的距離，大致與圖2相同。

當載運多個載具B的自動搬運車A移動至第一活動空間22中後，第一載具存放機構24的第一定位機構242及第一升降機構241將會被控制作動，以將設置於自動搬運車A上的所有載具B，移載至兩個第一支撐臂2411上，且第一升降機構241及第一輔助定位機構243將會相互配合，而使最鄰近於第一移載機構23的載具B，位於相對應的預定位置。

接著，第一移載機構23的第一載具固持組件231，將會移動至第一載具存放機構24的上方，以取起位於第一載具存放機構24中，且位預定位置的一個載具B。而後，第一載具固持組件231將會把載具B，移載至第二載具存放機構25的第二升降機構251的兩個第二支撐臂2511上。置放於兩個第二支撐臂2511上的載具B，則會被第二輔助定位機構252作用，而位於相對應的預定位置。

在第一載具固持組件231取走位於兩個第一支撐臂2411上最靠近第一載具固持組件231的載具B後，第一升降機構241將會作動，以使兩個第一支撐臂2411向靠近第一移載機構23的方向移動，而使最靠近第一移載機構23的載具B，可以藉由第一輔助定位機構243的輔助，而位於相對應的預定位置。

當第一載具存放機構24及第二載具存放機構25都設置有載具B時，第一載具固持組件231及第一基板固持組件232將會分別移動至第一載具存放機構24及第二載具存放機構25的上方，而第一載具固持組件231將會取起位於第一載具存放機構24中的一個載具B，而第一基板固持組件232則會取起位於第二載具存放機構25的載具B中的基板C。

接著，固持有載具B的第一載具固持組件231及固持有基板C的第一基板固持組件232將會一併橫向移動，而第一載具固持組件231及第一基板固持組件232將會分別移動至第二載具存放機構25及第一承載台261的上方。在此同時，第一升降機構241將會作動，而使最靠近第一移載機構23的載具B，通過第一輔助定位機構243的輔助，而位於相對應的預定位置，且第二升降機構251將會作動，而已經承載有載具B的兩個第二支撐臂2511，將會向遠離第一移載機構23的方向移動。而後，第一載具固持組件231將會把其所固持的載具B，置放於第二載具存放機構25的兩個第二支撐臂2511所承載的載具B上，且第一基板固持組件232將會把其所固持的基板C，置放於第一承載台261上。

當基板C被第一基板固持組件232置放於第一承載台261後，多個第一整板組件262，將會對基板C進行整板作業。在第一整板組件262對設置於第一承載台261上的基板C進行整板作業的同時，第一載具固持組件231、第一基板固持組件232及第二基板固持組件233將會分別移動至第一載具存放機構24、第二載具存放機構25及第一承載台261的上方。而後，當位於第一承載台261上的基板C被整板後，第一載具固持組件231將會取起位於第一載具存放機構24的一個載具B，第一基板固持組件232將會取起位於第二載具存放機構25的載具B中的基板C，第二基板固持組件233則會取起位於第一承載台261的基板C。

當第一載具固持組件231、第一基板固持組件232及第二基板固持組件233分別固持有載具B、基板C及整板後的基板C時，第一載具固持組件231及第一基板固持組件232將會分別移動至第二載具存放機構25及第一承載台261的上方，而第二基板固持組件233將會離開第一承載台261的上方。接著，第一載具固持組件231及第一基板固持組件232將會把其所固持的載具B及基板C，置放於第二載具存放機構25及第一承載台261上。

當第二基板固持組件233固持有已經被整板後的基板C，且第一基板固持組件232將其所固持的基板C置放於第一承載台261後，第一整板組件262將對第一承載台261上的基板C進行整板作業。而後，第一基板固持組件232將會取起位於第一承載台261上，已經被整板後的基板C。最後，第一基板固持組件232及第二基板固持組件233將會一同將其所固持的已經通過整板後的基板C，移入雷鑽設備1中。

依上所述，第一基板處理設備2將反覆地執行上述作動，以持續地將原本設置於自動搬運車A上的多個載具B，移載至第二載具存放機構25中，並將原本設置於自動搬運車A上的各個載具B中的基板C，移載至雷鑽設備1中。當然，第一基板處理設備2所包含的該些機構的作動流程，不以上述說明為限，在實際應用中，也可以是依據需求加以變化。

簡單來說，承載有多個載具B的自動搬運車A，移動至第一載具存放機構24中後，第一載具存放機構24將會固持自動搬運車A上的所有載具B，而自動搬運車A將可以離開第一載具存放機構24。而後，第一移載機構23所包含的第一載具固持組件231、第一基板固持組件232及第二基板固持組件233將會反覆地作動，以將設置於各個載具B中的基板C，持續地送入雷鑽設備1中，並將沒有設置基板C的載具B，移載至第二載具存放機構25中存放。

請一併參閱圖6至圖9，圖6為本發明的基板處理系統的第二基板處理設備的局部示意圖，圖7為本發明的基板處理系統的第二基板處理設備的第三載具存放機構及第二載台機構的示意圖，圖8為本發明的基板處理系統的第二基板處理設備的第三載具存放機構的示意圖，圖9為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的部分機構的示意圖。第二基板處理設備3包含：一第二機台本體31、一第二活動空間32、一第二載台機構33、一第二移載機構34、一第三載具存放機構35及一第四載具存放機構36。第二載台機構33鄰近雷鑽設備1設置，第三載具存放機構35位於第二載台機構33及第四載具存放機構36之間。

第二機台本體31例如包含支架及機殼。第二活動空間32用以提供自動搬運車A停放。關於自動搬運車A，請參閱前述說明，於此不再贅述。第二載台機構33包含一第二承載台331，第二承載台331用以承載基板C。

第二移載機構34能將雷鑽設備1中的基板C，移載至第二承載台331，且第二移載機構34能將第二承載台331上的基板C，移載至第三載具存放機構35所固持的載具B中，第二移載機構34還能將設置於第三載具存放機構35中的載具B及其內的基板C，一併移載至第四載具存放機構36。

更具體來說，第二移載機構34可以是包含有一第三基板固持組件341、一第四基板固持組件342及一第二載具固持組件343，第三基板固持組件341、第四基板固持組件342及第二載具固持組件343並排地設置。第三基板固持組件341能將雷鑽設備1中的一個基板C，移載至第二承載台331上。第四基板固持組件342能將雷鑽設備1中的一個基板C，移載至第三載具存放機構35所固持的載具B中，且第四基板固持組件342還能將設置於第二承載台331上的基板C，移載至第三載具存放機構35所固持的載具B中。第二載具固持組件343能將位於第三載具存放機構35中的載具B及其內的基板C，一併移載至第四載具存放機構36中。在實際應用中，第三基板固持組件341、第四基板固持組件342及第二載具固持組件343可以是分別具有多個吸盤，而第三基板固持組件341、第四基板固持組件342及第二載具固持組件343可以分別通過吸盤，以固持基板C或載具B。

第三載具存放機構35用以存放至少一個為設置有基板C的載具B。第三載具存放機構35包含一第三升降機構351及一第三輔助定位機構352，第三升降機構351用以承載至少一個載具B，且第三升降機構351能使其所承載的載具B向遠離第二移載機構34的方向移動。第三輔助定位機構352用以推抵位於第三升降機構351最靠近第二移載機構34的一個載具B，以將載具B調整至一預定位置。在實際應用中，第三輔助定位機構352可以是包含多個推抵組件3521及多個導引構件3522，而第三輔助定位機構352所包含的推抵組件3521及導引構件3522，可以是與前述第一輔助定位機構243及其所包含的推抵組件2431及導引構件2432相同，但不以此為限。

在實際應用中，第三升降機構351可以包含有兩個第三支撐臂3511、一第三升降組件3512及一動力源。兩個第三支撐臂3511與第三升降組件3512相連接。兩個第三支撐臂3511用以共同支撐至少一個載具B。動力源與第三升降組件3512相連接。動力源能被控制，以使第三升降組件3512作動，從而使兩個第三支撐臂3511向靠近或遠離第二移載機構34的方向移動。

也就是說，相關人員或是裝置，將多個未承載有基板C的載具B，置放於兩個第三支撐臂3511上後，當第二移載機構34取走兩個第三支撐臂3511上，最靠近第二移載機構34的一個載具B後，動力源將可以控制第三升降組件3512作動，而使兩個第三支撐臂3511向靠近第二移載機構34的方向移動，而使最靠近第二移載機構34的載具B，通過第三輔助定位機構352的輔助，而位於相對應的預定位置。

第四載具存放機構36能存放至少一個載具B，且第四載具存放機構36能將至少一個載具B置放於停放於第二活動空間32中的自動搬運車A上。在實際應用中，第四載具存放機構36可以包含一第二定位機構361、一第四升降機構362及一第四輔助定位機構363，第二定位機構361用以固持停放於第二活動空間32的自動搬運車A所承載的至少一個載具B。第四升降機構362與第二定位機構361連接，第四升降機構362用以使固持有載具B的第二定位機構361向靠近或遠離位於第二活動空間32的自動搬運車A的方向移動。第四升降機構362包含兩個第四支撐臂3621、一第四升降組件3622及一動力源。兩個第四支撐臂3621用以承載至少一個載具B，動力源能被控制，以驅動第四升降組件3622作動，進而使兩個第四支撐臂3621向遠離或靠近第二移載機構34的方向移動。

第四輔助定位機構363用以推抵位於第四升降機構362上的最靠近第二移載機構34的一個載具B，以將載具B調整至一預定位置。在實際應用中，第四輔助定位機構363可以是包含多個推抵組件3631及多個導引構件3632，而第四輔助定位機構363所包含的推抵組件3631及導引構件3632，可以是與前述第一輔助定位機構243及其所包含的推抵組件2431及導引構件2432相同，但不以此為限。

需說明的是，為利清楚地顯示第二載台機構33、第二移載機構34、第三載具存放機構35、第四載具存放機構36、基板C及載具B彼此間的相對位置關係，於圖9中，額外加大了第二移載機構34與其他機構彼此間的距離，於實際應用中，第二移載機構34與其他機構彼此間的距離，大致與圖6相同。

當第三基板固持組件341及第四基板固持組件342一同由雷鑽設備1中取出基板C時，第三基板固持組件341及第四基板固持組件342將分別移動至第二承載台331及第三載具存放機構35上方。接著，第三基板固持組件341及第四基板固持組件342將會分別把其所固持的基板C，置放於第二承載台331及第三載具存放機構35中的載具B中。需說明的是，第三載具存放機構35中的載具B，可以是以人工或是自動搬運車A的方式，置放於第三載具存放機構35中，且第三載具存放機構35中的各個載具B中，並未設置有任何基板C。

當第二承載台331設置有基板C，且第三載具存放機構35中最靠近第二移載機構34的載具B中設置有基板C時，第四基板固持組件342及第二載具固持組件343將分別移動至第二承載台331及第三載具存放機構35的上方。接著，第四基板固持組件342將取起位於第二承載台331的基板C，且第二載具固持組件343將取起位於第三載具存放機構35中最靠近第二移載機構34的載具B。

當第四基板固持組件342及第二載具固持組件343，分別固持有基板C及載具B後，第四基板固持組件342及第二載具固持組件343將會分別移動至第三載具存放機構35及第四載具存放機構36的上方。於此同時，第三載具存放機構35的第三升降機構351將作動，以使兩個第三支撐臂3511向靠近第二移載機構34的方向移動(即向上移動)，而最靠近第二移載機構34的載具B將會被移動至相對應的預定位置。而後，第二載具固持組件343將會把其所固持載具B置放於第四載具存放機構36中，第四基板固持組件342將會把其所固持的基板C置放於位於第三載具存放機構35中位於預定位置的載具B中。

當第四載具存放機構36設置有承載有基板C的載具B後，第四載具存放機構36的第四升降機構362將會作動，而使兩個第四支撐臂3621向遠離第二移載機構34的方向移動。在實際應用中，當第四載具存放機構36中存放的載具B的數量，到達一預定數量時，自動搬運車A可以是移動至第二活動空間32中，而第四升降機構362及第二定位機構361將相互配合，以將位於第四載具存放機構36中的所有載具B，置放於第二活動空間32中的自動搬運車A上。

也就是說，第三基板固持組件341及第四基板固持組件342將會持續地由雷鑽設備1中取出基板C，並將基板C置放於第三載具存放機構35的載具B中及第二承載台331上，而第二載具固持組件343則會持續地將位於第三載具存放機構35中設置有基板C的載具B，移載至第四載具存放機構36中。當第四載具存放機構36中，存放有預定數量的載具B後，自動搬運車A將可以與第四載具存放機構36相互配合，以將存放於第四載具存放機構36中的所有載具B移載至自動搬運車A上。

另外，當第三載具存放機構35中的載具B，都被移載至第四載具存放機構36中後，第三載具存放機構35可以是與自動搬運車A相互配合，以將另一批的多個載具B置放於第三載具存放機構35的兩個第三支撐臂3511上；或者，相關人員可以將另一批的多個載具B置放於第三載具存放機構35的兩個第三支撐臂3511上。

綜上所述，本發明的基板處理系統100通過第一基板處理設備2及第二基板處理設備3等設計，可以與自動搬運車A相互配合，而使自動搬運車A所載運的載具B中的基板C，能夠被自動地送入雷鑽設備1中，且通過雷鑽設備1進行雷鑽作業後的基板C，也能自動地被移入自動搬運車A的載具B中，而在上述整個作業流程中，可以是完全無須人工的參與。

請一併參閱圖1及圖10，圖10為本發明的基板處理系統的另一實施例的基板翻轉設備及第三移載機構的局部示意圖。本實施例與前述實施例最大不同之處在於：基板處理系統100還包含一基板翻轉設備4及一第三移載機構5。第三移載機構5用以將位於第四載具存放機構36中的載具B中的基板C，移載至基板翻轉設備4中。基板翻轉設備4用以將基板C翻轉180度，且第三移載機構5能將通過基板翻轉設備4翻轉180度後的基板C移載至第四載具存放機構36中的載具B中。第二移載機構34、第三載具存放機構35及第二承載台331能相互配合，以將設置於第四載具存放機構36的載具B中的基板C，移載至雷鑽設備1中。

請復參圖7，本實施例與前述實施例另一不同之處在於：第二載台機構33還可以包含多個第二整板組件332，多個第二整板組件332與第二承載台331相連接，且多個第二整板組件332用以對第二承載台331上的基板C進行整板作業。關於第二承載台331及第二整板組件332的詳細說明，與前述實施例中所述的第一承載台261及第一整板組件262的說明相同，於此不再贅述。

本實施例與前述實施例另一不同之處在於：第三基板固持組件341能取起位於第二承載台331上，經過第二整板組件332進行整板作業後的基板C，第四基板固持組件342能取起位於第二承載台331上，經過第二整板組件332進行整板作業後的基板C，且第三基板固持組件341及第四基板固持組件342能將其所固持的基板C，一同移載至雷鑽設備1中。

如圖1、圖9及圖10所示，當第二載具固持組件343將第三載具存放機構35中的載具B，移載至第四載具存放機構36時，第三移載機構5將會作動，而將設置於第四載具存放機構36中的載具B中的基板C，移入基板翻轉設備4中。而後，第三移載機構5將會把通過基板翻轉設備4翻轉後的基板C，移入第四載具存放機構36中的載具B中。

當通過基板翻轉設備4翻轉180度後的基板C被置放於第四載具存放機構36中的載具B中後，第二移載機構34及第四載具存放機構36將會接續動作，而設置於第四載具存放機構36的兩個第四支撐臂3621上的載具B，將會向遠離第二移載機構34的方向移動(即向下移動)，且設置於第三載具存放機構35中的載具B及其內的基板C，將會被移動至第四載具存放機構36中的載具B上。

當第四載具存放機構36上設置有由第三載具存放機構35的移載而來的載具B時，第三移載機構5將會把第四載具存放機構36中的載具B中的基板C，送入基板翻轉設備4中，以使基板C翻轉180度，而後，第三移載機構5將會把翻轉後的基板C，再次放入位於第四載具存放機構36中的載具B中。

依上所述，第二基板處理設備3、第三移載機構5及基板翻轉設備4將相互配合，直到第四載具存放機構36所承載的所有載具B中，都是設置有已經翻轉180度後的基板C，第二移載機構34才會開始將第四載具存放機構36中的各個載具B中的基板C，依序送入雷鑽設備1中，以使雷鑽設備1對各個基板C的另一面進行雷鑽作業。

關於第二移載機構34、第三載具存放機構35、第四載具存放機構36及第二載台機構33相互配合，以將原本位於第四載具存放機構36的各個載具B中的基板C，送入雷鑽設備1的相關流程，與前述第一移載機構23、第二載具存放機構25、第三載具存放機構35及第一載台機構26相互配合，以將原本位於第一載具存放機構24的各個載具B中的基板C，送入雷鑽設備1中的說明相同，於此不再贅述。

請復參圖2及圖6，值得一提的是，在不同的實施例中，第一基板處理設備2還可以包含一第三活動空間27，第三活動空間27用以提供自動搬運車停放，第二載具存放機構25能將載具置放於停放於第三活動空間27的自動搬運車。第二基板處理設備3還可以包含一第四活動空間37，第四活動空間37用以提供自動搬運車停放，第三載具存放機構35則能將載具置放於停放於第四活動空間37的自動搬運車。

也就是說，自動搬運車可以自動地移動至第三活動空間27或第四活動空間37中，而第二載具存放機構25或第三載具存放機構35則能將其所承載的多個載具，置放於位於第三活動空間27或第四活動空間37中的自動搬運車上，藉此，讓自動搬運車將沒有裝載基板的載具，移動至他處。

在不同的實施例中，也可以是相關人員手動地將相關推車移動至第三活動空間27及第四活動空間37中，而第二載具存放機構25或第三載具存放機構35則能將其所承載的多個載具，置放於位於第三活動空間27或第四活動空間37中的推車上，最後，相關人員再以手動的方式，將推車推去他處。

依上所述，本實施例的基板處理系統100通過基板翻轉設備4、第三移載機構5及第二整板組件332等設計，配合前述的第一基板處理設備2及第二基板處理設備3，可以自動地使基板C的雙面都通過雷鑽作業。

以上所述僅為本發明的較佳可行實施例，非因此侷限本發明的專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的保護範圍內。

100:基板處理系統 1:雷鑽設備 2:第一基板處理設備 21:第一機台本體 22:第一活動空間 23:第一移載機構 231:第一載具固持組件 232:第一基板固持組件 233:第二基板固持組件 234:移動組件 24:第一載具存放機構 241:第一升降機構 2411:第一支撐臂 2412:第一升降組件 242:第一定位機構 2421:第一定位組件 2422:推抵組件 24221:驅動器 24222:推抵件 2423:旋轉組件 24231:驅動器 24232:旋轉件 243:第一輔助定位機構 2431:推抵組件 24311:驅動器 24312:推抵件 2432:導引構件 25:第二載具存放機構 251:第二升降機構 2511:第二支撐臂 2512:第二升降組件 252:第二輔助定位機構 2521:推抵組件 2522:導引構件 26:第一載台機構 261:第一承載台 262:第一整板組件 2621:驅動器 2622:推抵件 27:第三活動空間 3:第二基板處理設備 31:第二機台本體 32:第二活動空間 33:第二載台機構 331:第二承載台 332:第二整板組件 34:第二移載機構 341:第三基板固持組件 342:第四基板固持組件 343:第二載具固持組件 35:第三載具存放機構 351:第三升降機構 3511:第三支撐臂 3512:第三升降組件 352:第三輔助定位機構 3521:推抵組件 3522:導引構件 36:第四載具存放機構 361:第二定位機構 362:第四升降機構 3621:第四支撐臂 3622:第四升降組件 363:第四輔助定位機構 3631:推抵組件 3632:導引構件 37:第四活動空間 4:基板翻轉設備 5:第三移載機構 A:自動搬運車 B:載具 C:基板

圖1為本發明的基板處理系統的示意圖。

圖2為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的局部示意圖。

圖3為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的第一載具存放機構的示意圖。

圖4為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的第二載具存放機構及第一載台機構的示意圖。

圖5為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的部分機構的示意圖。

圖6為本發明的基板處理系統的第二基板處理設備的局部示意圖。

圖7為本發明的基板處理系統的第二基板處理設備的第三載具存放機構及第二載台機構的示意圖。

圖8為本發明的基板處理系統的第二基板處理設備的第三載具存放機構的示意圖。

圖9為本發明的基板處理系統的第一基板處理設備的部分機構的示意圖。

圖10為本發明的基板處理系統的另一實施例的基板翻轉設備及第三移載機構的局部示意圖。

100:基板處理系統

1:雷鑽設備

2:第一基板處理設備

3:第二基板處理設備

4:基板翻轉設備

A:自動搬運車

B:載具

C:基板

Claims (12)

1. 一種基板處理系統，其包含： 至少一自走搬運車，其能承載至少一個載具，所述載具用以承載至少一個基板； 一雷鑽設備，其用以對所述基板進行雷鑽作業； 一第一基板處理設備，其包含： 一第一活動空間，其用以提供所述自動搬運車停放； 一第一載具存放機構，其用以固持停放於所述第一活動空間的所述自動搬運車所承載的所述載具； 一第二載具存放機構，其用以固持至少一個所述載具； 一第一載台機構，其包含一第一承載台及多個第一整板組件，所述第一承載台用以承載所述基板，多個所述第一整板組件用以對所述第一承載台上的所述基板進行整板作業；所述第二載具存放機構位於所述第一載具存放機構及所述第一載台機構之間； 一第一移載機構，其能將設置於所述第一載具存放機構的所述載具及其內的基板，一併移載至所述第二載具存放機構，且所述第一移載機構能將設置於所述第二載具存放機構的所述載具中的所述基板，移載至所述第一承載台，所述第一移載機構還能將設置於所述第一承載台上的所述基板移載至所述雷鑽設備中； 一第二基板處理設備，其包含： 一第二活動空間，其用以提供所述自動搬運車停放； 一第二載台機構，其包含一第二承載台，所述第二承載台用以承載所述基板； 一第三載具存放機構，其用以固持至少一個所述載具； 一第四載具存放機構，其能固持至少一個所述載具，且所述第四載具存放機構能將至少一個所述載具置放於停放於所述第二活動空間的所述自動搬運車上；所述第三載具存放機構位於所述第二載台機構及所述第四載具存放機構之間； 一第二移載機構，其能將所述雷鑽設備中的所述基板，移載至所述第二承載台，且所述第二移載機構能將所述第二承載台上的所述基板，移載至所述第三載具存放機構所固持的所述載具中，所述第二移載機構還能將設置於所述第三載具存放機構中的所述載具及其內的所述基板，一併移載至所述第四載具存放機構。
2. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述第一載具存放機構包含一第一定位機構、一第一升降機構及一第一輔助定位機構，所述第一定位機構用以固持停放於所述第一活動空間的所述自動搬運車所承載的至少一個載具；所述第一升降機構與所述第一定位機構連接，所述第一升降機構用以使固持有所述載具的所述第一定位機構向靠近或遠離位於所述第一活動空間的所述自動搬運車的方向移動；所述第一輔助定位機構包含多個定位組件，多個所述定位組件用以推抵位於所述第一升降機構上的最靠近所述第一移載機構的一個所述載具，以將所述載具調整至一預定位置。
3. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述第二載具存放機構包含一第二升降機構及一第二輔助定位機構，所述第二升降機構用以承載至少一個所述載具，且所述第二升降機構能使其所承載的所述載具向遠離所述第一移載機構的方向移動；所述第二輔助定位機構包含多個定位組件，多個所述定位組件用以推抵位於所述第二升降機構上的最靠近所述第一移載機構的一個所述載具，以將所述載具調整至一預定位置。
4. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述第一移載機構包含一第一載具固持組件、一第一基板固持組件及一第二基板固持組件，所述第一載具固持組件、所述第一基板固持組件及所述第二基板固持組件並排地設置，所述第一載具固持組件用以將設置於所述第一載具存放機構的所述載具及其內的所述基板，移載至所述第二載具存放機構；所述第一基板固持組件能將設置於所述第二載具存放機構的所述載具中的所述基板，移載至所述第一承載台，且所述第一基板固持組件還能將設置於所述第一承載台的所述基板取起；所述第二基板固持組件能取起所述第一承載台的所述基板；所述第一基板固持組件及所述第二基板固持組件能一同將其所固持的所述基板，送入所述雷鑽設備中。
5. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述第三載具存放機構包含一第三升降機構及一第三輔助定位機構，所述第三升降機構用以承載至少一個所述載具，且所述第三升降機構能使其所承載的所述載具向遠離所述第二移載機構的方向移動；所述第三輔助定位機構包含多個定位組件，多個所述定位組件用以推抵位於所述第三升降機構上的最靠近所述第二移載機構的一個所述載具，以將所述載具調整至一預定位置。
6. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述第四載具存放機構包含一第二定位機構、一第四升降機構及一第四輔助定位機構，所述第二定位機構用以固持停放於所述第二活動空間的所述自動搬運車所承載的至少一個載具；所述第四升降機構與所述第二定位機構連接，所述第四升降機構用以使固持有所述載具的所述第二定位機構向靠近或遠離位於所述第二活動空間的所述自動搬運車的方向移動；所述第四輔助定位機構包含多個定位組件，多個所述定位組件用以推抵位於所述第四升降機構上的最靠近所述第二移載機構的一個所述載具，以將所述載具調整至一預定位置。
7. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述第二移載機構包含一第二載具固持組件、一第三基板固持組件及一第四基板固持組件，所述第二載具固持組件、所述第三基板固持組件及所述第四基板固持組件並排地設置，所述第三基板固持組件用以將所述雷鑽設備中的所述基板移載至所述第二承載台，所述第四基板固持組件用以將所述雷鑽設備中的所述基板移載至所述第三載具存放機構中的所述載具中，且所述第四基板固持組件還能將設置於所述第二承載台的所述基板移載至所述第三載具存放機構中的所述載具中；所述第二載具固持組件用以將所述第三載具存放機構中的所述載具及其所承載的所述基板，一併移載至所述第四載具存放機構中。
8. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述基板處理系統還包含一基板翻轉設備及一第三移載機構，所述第三移載機構用以將位於所述第四載具存放機構中的所述載具中的所述基板，移載至所述基板翻轉設備中，所述基板翻轉設備用以將所述基板翻轉180度，且所述第三移載機構能將通過所述基板翻轉設備翻轉180度後的所述基板移載至所述第四載具存放機構中的所述載具中；所述第二移載機構、所述第三載具存放機構及所述第二承載台能相互配合，以將設置於所述第四載具存放機構的所述載具中的所述基板，移載至所述雷鑽設備中。
9. 如請求項8所述的基板處理系統，其中，所述第二載台機構還包含多個第二整板組件，多個所述第二整板組件與所述第二承載台相連接，且多個所述第二整板組件用以對所述第二承載台上的所述基板進行整板作業。
10. 如請求項9所述的基板處理系統，其中，所述第三基板固持組件能取起位於所述第二承載台上，經過所述第二整板組件進行整板作業後的所述基板，所述第四基板固持組件能取起位於所述第二承載台上，經過所述第二整板組件進行整板作業後的所述基板，且所述第三基板固持組件及所述第四基板固持組件能將其所固持的所述基板，一同移載至所述雷鑽設備中。
11. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述第一基板處理設備還包含一第三活動空間，所述第三活動空間用以提供所述自動搬運車停放，所述第二載具存放機構用以固持停放於所述第三活動空間的所述自動搬運車所承載的所述載具。
12. 如請求項1所述的基板處理系統，所述第二基板處理設備還包含一第四活動空間，所述第四活動空間用以提供所述自動搬運車停放，所述第三載具存放機構用以固持停放於所述第四活動空間的所述自動搬運車所承載的所述載具。