TWI819548B - 光學量測設備及其校正方法 - Google Patents

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TWI819548B TW111112178A TW111112178A TWI819548B TW I819548 B TWI819548 B TW I819548B TW 111112178 A TW111112178 A TW 111112178A TW 111112178 A TW111112178 A TW 111112178A TW I819548 B TWI819548 B TW I819548B
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Abstract

一種光學量測設備的校正方法包括：發射入射光至載台上的物體，其中入射光由物體的第一圖案後反射為第一光線，且由物體的第二圖案後反射為第二光線；藉由成像鏡組接收第一光線與第二光線，以獲得對應第一圖案的第三圖案以及對應第二圖案的第四圖案；藉由成像鏡組傳遞第三圖案與第四圖案至影像感測器，其中第三圖案的中心點與第四圖案的中心點在影像感測器上間隔第一距離；根據第一距離計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度；以及根據傾斜角度調整載台，使載台的法線方向平行於成像鏡組的光軸。

Description

光學量測設備及其校正方法
本揭露係關於一種光學量測設備以及一種光學量測設備的校正方法。
一般而言，當欲使用光學量測設備對物體進行量測時(例如量測物體的面積、長度、外觀缺限尺寸等)，為了量測的準確度，通常需要先對光學量測設備與載台的位置進行校正。傳統的校正方法是擺放水平儀於載台上，並藉由調整載台四周的螺絲，使載台相對於地面平行。然而，此校正方法並沒有針對光學量測設備與載台的位置進行校正，因此無法確定光學量測設備的成像鏡組的光軸是否平行於載台的法線方向。此外，當量測的尺寸量級為微米級時，其要求非常高的量測準確度，否則些微的位置偏移將導致量測結果具有誤差，因此需要校正光學量測設備的成像鏡組的光軸，使其平行於載台的法線方向。
本揭露之一技術態樣為一種光學量測設備的校正方法。
根據本揭露一實施方式，一種光學量測設備的校正方法包括：放置物體於載台上，其中物體具有頂面與相對於頂面的底面，頂面上具有第一圖案，底面上具有第二圖案；發射準直入射光至載台上的物體，其中準直入射光由第一圖案後反射為第一光線，準直入射光由第二圖案後反射為第二光線；藉由成像鏡組接收第一光線與第二光線，以獲得對應於第一圖案的第三圖案以及對應於第二圖案的第四圖案；藉由成像鏡組將第三圖案與第四圖案傳遞至影像感測器，其中第三圖案的中心點與第四圖案的中心點在影像感測器上間隔第一距離；根據第一距離計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度；以及根據傾斜角度調整載台，使載台的法線方向平行於成像鏡組的光軸。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括根據物體的頂面與底面之間的厚度計算傾斜角度。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括根據物體的折射率計算傾斜角度。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括根據成像鏡組的放大倍率計算傾斜角度。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括根據第一距離、傾斜角度以及放大倍率計算第一光線與第二光線間隔的第二距離。
在本揭露一實施方式中，上述發射準直入射光至載台上的物體更包括：藉由同軸光源發射準直入射光至成像鏡組的分光鏡；以及藉由分光鏡將準直入射光反射至載台上的物體。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括判斷從影像感測器上的第三圖案到第四圖案的第一方向。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括使載台往第二方向移動，其中第二方向相反於第一方向。
本揭露之一技術態樣為一種光學量測設備。
根據本揭露一實施方式，一種光學量測設備包括：載台、物體、同軸光源、成像鏡組、影像感測器以及計算單元。物體放置於載台上。物體具有頂面與相對於頂面的底面。頂面具有第一圖案。底面具有第二圖案。同軸光源配置以發射準直入射光至載台上的物體。成像鏡組位於同軸光源的一側。成像鏡組配置以接收準直入射光由第一圖案後反射的第一光線以及準直入射光由第二圖案後反射的第二光線，以獲得對應於第一圖案的第三圖案以及對應於第二圖案的第四圖案。影像感測器位於成像鏡組遠離載台的一側。影像感測器配置以接收第三圖案以及第四圖案。第三圖案的中心點與第四圖案的中心點在影像感測器上間隔第一距離。計算單元電性連接載台。計算單元配置以根據第一距離計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度，並根據傾斜角度調整載台，使載台的法線方向平行於成像鏡組的光軸。
在本揭露一實施方式中，上述成像鏡組中具有分光鏡。分光鏡位於影像感測器與物體之間。
在本揭露一實施方式中，上述分光鏡配置以將準直入射光反射至載台上的物體。
在本揭露一實施方式中，上述物體位於載台與成像鏡組之間。
在本揭露一實施方式中，上述物體的頂面與底面之間具有厚度。計算單元更配置以根據厚度計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度。
在本揭露一實施方式中，上述物體具有折射率，且計算單元更配置以根據物體的折射率計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度。
在本揭露一實施方式中，上述成像鏡組具有放大倍率，且計算單元更配置以根據成像鏡組的放大倍率計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度。
在本揭露一實施方式中，上述計算單元更配置以根據第一距離、傾斜角度以及放大倍率計算第一光線與第二光線間隔的第二距離。
在本揭露一實施方式中，上述計算單元更配置以判斷從影像感測器上的第三圖案到第四圖案的第一方向。
在本揭露一實施方式中，上述載台更配置以往相反於第一方向的第二方向移動。
在本揭露一實施方式中，上述準直入射光與第一光線的夾角為傾斜角度之兩倍。
在本揭露上述實施方式中，光學量測設備可根據第一距離計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度，並根據傾斜角度調整載台。如此一來，可校正光學量測設備的載台的法線方向，使其平行於成像鏡組的光軸，以提高光學量測設備量測待測物的準確度，使光學量測設備可應用於要求高量測準確度的微米等級量測系統中。
以下揭示之實施方式內容提供了用於實施所提供的標的之不同特徵的許多不同實施方式，或實例。下文描述了元件和佈置之特定實例以簡化本案。當然，該等實例僅為實例且並不意欲作為限制。此外，本案可在各個實例中重複元件符號及/或字母。此重複係用於簡便和清晰的目的，且其本身不指定所論述的各個實施方式及/或配置之間的關係。
諸如「在……下方」、「在……之下」、「下部」、「在……之上」、「上部」等等空間相對術語可在本文中為了便於描述之目的而使用，以描述如附圖中所示之一個元件或特徵與另一元件或特徵之關係。空間相對術語意欲涵蓋除了附圖中所示的定向之外的在使用或校正方法中的裝置的不同定向。裝置可經其他方式定向(旋轉90度或以其他定向)並且本文所使用的空間相對描述詞可同樣相應地解釋。
第1圖繪示根據本揭露一實施方式之光學量測設備100的示意圖。第2圖繪示根據本揭露一實施方式之物體120的立體圖。同時參照第1圖與第2圖，光學量測設備100包括載台110、物體120、同軸光源130、成像鏡組140、影像感測器150以及計算單元160。物體120放置於載台110上。舉例來說，物體120可為經過國家量測中心認證的平板玻璃，但並不以此為限。物體120具有頂面122與相對於頂面122的底面124。物體120的頂面122可平行於底面124，且頂面122具有第一圖案P1。物體120的底面124具有第二圖案P2。第一圖案P1與第二圖案P2可具有高反射特徵，以反射光線(以下將詳細說明)。同軸光源130配置以發射準直入射光132至載台110上的物體120。舉例來說，同軸光源130可提供更均勻的準直入射光132以避免物體120的反光，因此可提高成像鏡組140取像的準確度。
第3圖繪示根據本揭露一實施方式之成像鏡組140的光軸a與物體120的法線方向112之間具有傾斜角度θ的示意圖。為詳細說明傾斜角度θ，第3圖省略了第1圖中的載台110、同軸光源130以及成像鏡組140。同時參照第1圖至第3圖，成像鏡組140位於同軸光源130的一側142。由於物體120水平放置於載台110上，因此物體120的法線方向112相同於載台110的法線方向112。當載台110相對於成像鏡組140的光軸a具有傾斜角度θ時，放置在載台110上的物體120也與成像鏡組140的光軸a具有相同的傾斜角度θ。成像鏡組140配置以接收準直入射光132由第一圖案P1後反射的第一光線136以及準直入射光132由第二圖案P2後反射的第二光線138。也就是說，當準直入射光132入射到具有傾斜角度θ的物體120時，第一光線136與準直入射光132的夾角為傾斜角度θ之兩倍(也就是2θ)。
第4圖繪示根據本揭露一實施方式之影像感測器150上的第三圖案P3與第四圖案P4的示意圖。同時參照第1圖至第4圖，成像鏡組140配置以獲得對應於第一圖案P1的第三圖案P3以及對應於第二圖案P2的第四圖案P4。影像感測器150位於成像鏡組140遠離載台110的一側142。影像感測器150配置以接收第三圖案P3以及第四圖案P4。當準直入射光132入射到具有傾斜角度θ的物體120時，第三圖案P3的中心點C3與第四圖案P4的中心點C4在影像感測器150上間隔第一距離d1。計算單元160電性連接載台110。計算單元160配置以根據第一距離d1計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ，並根據傾斜角度θ調整載台110，使載台110的法線方向112平行於成像鏡組140的光軸a，如第1圖所示。
具體而言，光學量測設備100的計算單元160可根據第一距離d1計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ，並根據傾斜角度θ調整載台110。如此一來，可校正光學量測設備100的載台110的法線方向112，使其平行於成像鏡組140的光軸a，以提高光學量測設備100量測待測物的準確度，使光學量測設備100可應用於要求高量測準確度的微米等級量測系統中。
在一些實施方式中，成像鏡組140中具有分光鏡144。分光鏡144位於影像感測器150與物體120之間。成像鏡組140的分光鏡144配置以將準直入射光132反射至載台110上的物體120。舉例來說，分光鏡144可由光學玻璃鍍膜製成，但並不以此限。
在一些實施方式中，物體120位於載台110與成像鏡組140之間。物體120的頂面122與底面124之間具有厚度h。計算單元160更配置以根據厚度h計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ。此外，物體120具有折射率，且計算單元160更配置以根據物體120的折射率計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ。成像鏡組140具有放大倍率，且計算單元160更配置以根據成像鏡組140的放大倍率計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ。詳細來說，物體120的折射率可為n，且成像鏡組140的放大倍率可為M，並且傾斜角度θ、放大倍率M、厚度h、折射率n以及第一距離d1的關係式為 。也就是說，給定放大倍率M、厚度h、折射率n以及第一距離d1，計算單元160可透過數值分析法(上述公式)得到傾斜角度θ。如此一來，可根據傾斜角度θ調整載台110，使光學量測設備100的載台110的法線方向112平行於成像鏡組140的光軸a，以提高光學量測設備100量測待測物的準確度。
在一些實施方式中，入射到第一圖案P1與第二圖案P2的準直入射光132反射後，第一光線136與第二光線138間隔第二距離d2。計算單元160更配置以根據第一距離d1、傾斜角度θ以及放大倍率M計算第一光線136與第二光線138間隔的第二距離d2。詳細來說， ，因此給定放大倍率M、第一距離d1以及傾斜角度θ，計算單元160可得到第二距離d2。此外， ，因此給定厚度h、折射率n以及傾斜角度θ，計算單元160可得到第二距離d2。
應理解到，已敘述的元件連接關係與功效將不重覆贅述，合先敘明。在以下敘述中，將說明光學量測設備的校正方法。
第5圖繪示根據本揭露一實施方式之光學量測設備的校正方法的流程圖。光學量測設備的校正方法包括下列步驟。首先在步驟S1中，放置物體於載台上，其中物體具有頂面與相對於頂面的底面，頂面上具有第一圖案，底面上具有第二圖案。接著在步驟S2中，發射準直入射光至載台上的物體，其中準直入射光由第一圖案後反射為第一光線，準直入射光由第二圖案後反射為第二光線。之後在步驟S3中，藉由成像鏡組接收第一光線與第二光線，以獲得對應於第一圖案的第三圖案以及對應於第二圖案的第四圖案。接著在步驟S4中，藉由成像鏡組將第三圖案與第四圖案傳遞至影像感測器，其中第三圖案的中心點與第四圖案的中心點在影像感測器上間隔第一距離。後續在步驟S5中，根據第一距離計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度。接著在步驟S6中，根據傾斜角度調整載台，使載台的法線方向平行於成像鏡組的光軸。在以下敘述中，將詳細說明上述各步驟。
同時參照第1圖與第2圖，首先，放置物體120於載台110上，其中物體120具有頂面122與相對於頂面122的底面124。物體120的頂面122上具有第一圖案P1。物體120的底面124上具有第二圖案P2。第一圖案P1與第二圖案P2可具有高反射特徵。
參照第1圖至第3圖，接著，發射準直入射光132至載台110上的物體120。準直入射光132由第一圖案P1後反射為第一光線136。準直入射光132由第二圖案P2後反射為第二光線138。當準直入射光132入射到具有傾斜角度θ的物體120時，第一光線136與準直入射光132的夾角為傾斜角度θ之兩倍(也就是2θ)。
參照第1圖至第4圖，接著，藉由成像鏡組140接收第一光線136與第二光線138，以獲得對應於第一圖案P1的第三圖案P3以及對應於第二圖案P2的第四圖案P4。接著，藉由成像鏡組140將第三圖案P3與第四圖案P4傳遞至影像感測器150。當準直入射光132入射到具有傾斜角度θ的物體120時，第三圖案P3的中心點C3與第四圖案P4的中心點C4在影像感測器150上間隔第一距離d1。
接著，根據第一距離d1計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ，並根據傾斜角度θ調整載台110，使載台110的法線方向112平行於成像鏡組140的光軸a，如第1圖所示。
在一些實施方式中，根據第一距離d1計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ更包括根據物體120的頂面122與底面124之間的厚度h計算傾斜角度θ。根據第一距離d1計算成像鏡組140的光軸與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ更包括根據物體120的折射率計算傾斜角度θ。根據第一距離d1計算成像鏡組140的光軸a與載台110的法線方向112所夾的傾斜角度θ更包括根據成像鏡組140的放大倍率計算傾斜角度θ。詳細來說，物體120的折射率可為n，且成像鏡組140的放大倍率可為M，並且傾斜角度θ、放大倍率M、厚度h、折射率n以及第一距離d1的關係式為 。也就是說，給定放大倍率M、厚度h、折射率n以及第一距離d1，可透過數值分析法(上述公式)得到傾斜角度θ。如此一來，可根據傾斜角度θ調整載台110，使光學量測設備100的載台110的法線方向112平行於成像鏡組140的光軸a，以提高光學量測設備100量測待測物的準確度。
在一些實施方式中，校正方法更包括根據第一距離d1、傾斜角度θ以及放大倍率計算第一光線136與第二光線138間隔的第二距離d2。詳細來說，放大倍率可為M， ，因此給定放大倍率M、第一距離d1以及傾斜角度θ，可得到第二距離d2。在一些實施方式中，發射準直入射光132至載台110上的物體120更包括：藉由同軸光源130發射準直入射光132至成像鏡組140的分光鏡144；以及藉由分光鏡144將準直入射光132反射至載台110上的物體120。
第6A圖繪示根據本揭露一實施方式之第三圖案P3與第四圖案P4偏移的示意圖。第6B圖、第7圖以及第8圖繪示根據本揭露一實施方式之校正第三圖案P3與第四圖案P4的示意圖。參照第1圖、第6A圖以及第6B圖，校正方法更包括藉由計算單元160判斷從影像感測器150上的第三圖案P3到第四圖案P4的第一方向D1。舉例來說，中心點C3的座標可為(217,159)，中心點C4的座標可為(1217,159)，因此計算單元160可判斷第一方向D1為向右，也就是說，載台110往右傾斜。在一些實施方式中，校正方法更包括使載台110往相反於第一方向D1的第二方向D2移動。也就是說，使載台110往左傾斜，如此一來，光學量測設備100的載台110的法線方向112可平行於成像鏡組140的光軸a，以提高光學量測設備100量測待測物的準確度。
同時參照第1圖與第7圖，中心點C3的座標可為(100,200)，中心點C4的座標可為(1200, 1000)，也就是說，計算單元160可判斷載台110往右下傾斜。因此，可使載台110往第二方向D2(左上方向)傾斜，以達到光學量測設備100的載台110的法線方向112平行於成像鏡組140的光軸a。
同時參照第1圖與第8圖，中心點C3的座標可為(303,650)，中心點C4的座標可為(303,1150)，也就是說，計算單元160可判斷載台110往下傾斜。因此，可使載台110往第二方向D2(向上方向)傾斜，以達到光學量測設備100的載台110的法線方向112平行於成像鏡組140的光軸a。
綜上所述，光學量測設備可根據第一距離計算成像鏡組的光軸與載台的法線方向所夾的傾斜角度，並根據傾斜角度調整載台。如此一來，可校正光學量測設備的載台的法線方向，使其平行於成像鏡組的光軸，以提高光學量測設備量測待測物的準確度，使光學量測設備可應用於要求高量測準確度的微米等級量測系統中。
前述概述了幾個實施方式的特徵，使得本領域技術人員可以更好地理解本揭露的態樣。本領域技術人員應當理解，他們可以容易地將本揭露用作設計或修改其他過程和結構的基礎，以實現與本文介紹的實施方式相同的目的和/或實現相同的優點。本領域技術人員還應該認識到，這樣的等效構造不脫離本揭露的精神和範圍，並且在不脫離本揭露的精神和範圍的情況下，它們可以在這裡進行各種改變，替換和變更。
100:光學量測設備 110:載台 112:法線方向 120:物體 122:頂面 124:底面 130:同軸光源 132:準直入射光 134:一側 136:第一光線 138:第二光線 140:成像鏡組 142:一側 144:分光鏡 150:影像感測器 160:計算單元 a:光軸 d1:第一距離 d2:第二距離 h:厚度 C3:中心點 C4:中心點 D1:第一方向 D2:第二方向 P1:第一圖案 P2:第二圖案 P3:第三圖案 P4:第四圖案 S1:步驟 S2:步驟 S3:步驟 S4:步驟 S5:步驟 S6:步驟 θ:傾斜角度
當結合隨附諸圖閱讀時，得自以下詳細描述最佳地理解本揭露之一實施方式。應強調，根據工業上之標準實務，各種特徵並未按比例繪製且僅用於說明目的。事實上，為了論述清楚，可任意地增大或減小各種特徵之尺寸。 第1圖繪示根據本揭露一實施方式之光學量測設備的示意圖。 第2圖繪示根據本揭露一實施方式之物體的立體圖。 第3圖繪示根據本揭露一實施方式之成像鏡組的光軸與物體的法線之間具有傾斜角度的示意圖。 第4圖繪示根據本揭露一實施方式之影像感測器上的第三圖案與第四圖案的示意圖。 第5圖繪示根據本揭露一實施方式之光學量測設備的校正方法的流程圖。 第6A圖繪示根據本揭露一實施方式之第三圖案與第四圖案偏移的示意圖。 第6B圖、第7圖以及第8圖繪示根據本揭露一實施方式之校正第三圖案與第四圖案的示意圖。
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100:光學量測設備 110:載台 112:法線方向 120:物體 122:頂面 124:底面 130:同軸光源 132:準直入射光 134:一側 140:成像鏡組 142:一側 144:分光鏡 150:影像感測器 160:計算單元 a:光軸

Claims (19)

  1. 一種光學量測設備的校正方法，包含： 放置一物體於一載台上，其中該物體具有一頂面與相對於該頂面的一底面，該頂面上具有一第一圖案，該底面上具有一第二圖案； 發射一準直入射光至該載台上的該物體，其中該準直入射光由該第一圖案後反射為一第一光線，該準直入射光由該第二圖案後反射為一第二光線； 藉由一成像鏡組接收該第一光線與該第二光線，以獲得對應於該第一圖案的一第三圖案以及對應於該第二圖案的一第四圖案； 藉由該成像鏡組將該第三圖案與該第四圖案傳遞至一影像感測器，其中該第三圖案的一中心點與該第四圖案的一中心點在該影像感測器上間隔一第一距離； 根據該第一距離計算該成像鏡組的一光軸與該載台的一法線方向所夾的一傾斜角度；以及 根據該傾斜角度調整該載台，使該載台的該法線方向平行於該成像鏡組的該光軸。
  2. 如請求項1所述之方法，更包含： 根據該物體的該頂面與該底面之間的一厚度計算該傾斜角度。
  3. 如請求項1所述之方法，更包含： 根據該物體的折射率計算該傾斜角度。
  4. 如請求項1所述之方法，更包含： 根據該成像鏡組的一放大倍率計算該傾斜角度。
  5. 如請求項4所述之方法，更包含： 根據該第一距離、該傾斜角度以及該放大倍率計算該第一光線與該第二光線間隔的第二距離。
  6. 如請求項1所述之方法，其中發射該準直入射光至該載台上的該物體更包含： 藉由一同軸光源發射該準直入射光至該成像鏡組的一分光鏡；以及 藉由該分光鏡將該準直入射光反射至該載台上的該物體。
  7. 如請求項1所述之方法，更包含： 判斷從該影像感測器上的該第三圖案到該第四圖案的一第一方向。
  8. 如請求項7所述之方法，更包含： 使該載台往一第二方向移動，其中該第二方向相反於該第一方向。
  9. 一種光學量測設備，包含： 一載台； 一物體，放置於該載台上，其中該物體具有一頂面與相對於該頂面的一底面，該頂面具有一第一圖案，該底面具有一第二圖案； 一同軸光源，配置以發射一準直入射光至該載台上的該物體； 一成像鏡組，位於該同軸光源的一側，且配置以接收該準直入射光由該第一圖案後反射的一第一光線以及該準直入射光由該第二圖案後反射的一第二光線，以獲得對應於該第一圖案的一第三圖案以及對應於該第二圖案的一第四圖案； 一影像感測器，位於該成像鏡組遠離該載台的一側，且配置以接收該第三圖案以及該第四圖案，其中該第三圖案的一中心點與該第四圖案的一中心點在該影像感測器上間隔一第一距離；以及 一計算單元，電性連接該載台，且配置以根據該第一距離計算該成像鏡組的一光軸與該載台的一法線方向所夾的一傾斜角度，並根據該傾斜角度調整該載台，使該載台的該法線方向平行於該成像鏡組的該光軸。
  10. 如請求項9所述之光學量測設備，其中該成像鏡組中具有一分光鏡，且該分光鏡位於該影像感測器與該物體之間。
  11. 如請求項10所述之光學量測設備，其中該分光鏡配置以將該準直入射光反射至該載台上的該物體。
  12. 如請求項9所述之光學量測設備，其中該物體位於該載台與該成像鏡組之間。
  13. 如請求項9所述之光學量測設備，其中該物體的該頂面與該底面之間具有一厚度，且該計算單元更配置以根據該厚度計算該成像鏡組的該光軸與該載台的該法線方向所夾的該傾斜角度。
  14. 如請求項9所述之光學量測設備，其中該物體具有一折射率，且該計算單元更配置以根據該物體的折射率計算該成像鏡組的該光軸與該載台的該法線方向所夾的該傾斜角度。
  15. 如請求項9所述之光學量測設備，其中該成像鏡組具有一放大倍率，且該計算單元更配置以根據該成像鏡組的該放大倍率計算該成像鏡組的該光軸與該載台的該法線方向所夾的該傾斜角度。
  16. 如請求項15所述之光學量測設備，其中該計算單元更配置以根據該第一距離、該傾斜角度以及該放大倍率計算該第一光線與該第二光線間隔的第二距離。
  17. 如請求項9所述之光學量測設備，其中該計算單元更配置以判斷從該影像感測器上的該第三圖案到該第四圖案的一第一方向。
  18. 如請求項17所述之光學量測設備，其中該載台更配置以往相反於該第一方向的第二方向移動。
  19. 如請求項9所述之光學量測設備，其中該準直入射光與該第一光線的夾角為該傾斜角度之兩倍。
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