TWI808544B - 滑軸式流量控制閥及其製造方法 - Google Patents

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篠平大輔
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日商住友重機械工業股份有限公司
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Abstract

[課題]提供一種控制性高的滑軸式流量控制閥。 [解決手段]滑軸式流量控制閥(100)係具備：套筒(104)，係形成有供給埠(130)、控制埠(132)及排氣埠(134)；及滑軸(106)，係被收容成能在套筒(104)內沿著軸向移動，且具有閥體(120)，該滑軸式流量控制閥(100)係藉由閥體(120)控制控制埠(132)的開口面積來控制流量。內部洩漏量的最大值與最小值之差為預定的臨界值以下，該內部洩漏量係為：在隔斷控制埠(132)之狀態下從供給埠(130)供給之氣體，從排氣埠(134)排出之流量。

Description

滑軸式流量控制閥及其製造方法
本發明係有關一種滑軸式流量控制閥及其製造方法。
已知一種控制向氣壓致動器等的控制對象供給之氣體的流量之滑軸式流量控制閥。專利文獻1中揭示了一種經由靜壓空氣軸承以非接觸方式利用套筒支撐滑軸之滑軸式流量控制閥。依據該滑軸式流量控制閥，在套筒與滑軸之間不產生滑動摩擦，因此能夠高精度地定位滑軸，因此能夠高精度地控制向控制對象供給之氣體的流量。 [先前技術文獻]
[專利文獻1]日本特開2002-297243號公報
[發明所欲解決之問題]
滑軸式流量控制閥係藉由滑軸動作而從供給埠向控制埠(進而控制對象)供給氣體，又，從控制埠(進而控制對象)向排氣埠排出氣體。滑軸式流量控制閥中，當控制埠的流量接近零時，由於滑軸的閥體與控制埠的開口部之間的間隙的關係，流量特性會產生非線性。該非線性係使與控制埠連接之控制對象的控制性惡化。
本發明係在該狀況下開發完成者，其目的為：提供一種能夠提高控制對象的控制性之滑軸式流量控制閥。 [解決問題之技術手段]
為了解決上述問題，本發明的一個態樣的滑軸式流量控制閥係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，該滑軸式流量控制閥係藉由閥體控制控制埠的開口面積來控制流量，內部洩漏量的最大值與最小值之差為預定的臨界值以下，該內部洩漏量係為：在隔斷控制埠之狀態下從供給埠供給之氣體，從排氣埠排出之流量。
本發明的另一態樣亦係滑軸式流量控制閥。該滑軸式流量控制閥係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，滑軸式流量控制閥係藉由閥體控制控制埠的開口面積來控制流量，套筒及滑軸中的至少一方係形成為基於內部洩漏量之尺寸，該內部洩漏量係為：在隔斷控制埠之狀態下從供給埠供給之氣體，從排氣埠排出之流量。
本發明的又一態樣係滑軸式流量控制閥的製造方法。該方法中，該滑軸式流量控制閥係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，該滑軸式流量控制閥係藉由閥體控制控制埠的開口面積來控制流量，該滑軸式流量控制閥的製造方法係包括將套筒及滑軸中的至少一方加工成基於內部洩漏量之尺寸之步驟，該內部洩漏量係為：在隔斷控制埠之狀態下從供給埠供給之氣體，從排氣埠排出之流量。
本發明的又一態樣係滑軸式流量控制閥的製造方法。該方法中，該滑軸式流量控制閥係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，該滑軸式流量控制閥係藉由閥體控制控制埠的開口面積來控制流量，該滑軸式流量控制閥的製造方法係包括檢查內部洩漏量的最大值與最小值之差是否為預定的臨界值以下之步驟，該內部洩漏量係為：在隔斷控制埠之狀態下從供給埠供給之氣體，從排氣埠排出之流量。
再者，在方法、裝置、系統等之間彼此替換以上構成要素的任意組合或本發明的構成要素和表述者，作為本發明之態樣亦有效。 [發明之效果]
依據本發明的一個態樣，能夠提供一種能夠提高控制對象的控制性之滑軸式流量控制閥。
以下，對各圖式所示之相同或等同的構成要素、構件標註相同的符號，並適當省略重複的說明。又，為了便於理解，適當放大、縮小表示各圖式中的構件的尺寸。又，省略表示在各圖式中對說明實施形態而言並不重要的構件的一部分。
圖1係概略地表示實施形態之滑軸式流量控制閥(伺服閥)100之圖。滑軸式流量控制閥100係控制向控制對象供給之氣體的流量之流量控制閥。滑軸式流量控制閥100的控制對象並無特別限定，例如為氣動致動器，此時，滑軸式流量控制閥100係控制向氣動致動器供給之氣體亦即空氣的流量。
滑軸式流量控制閥100係具備圓筒狀的套筒104、收納於套筒104之滑軸106、設置於套筒104的一端側且驅動滑軸106在套筒104內移動之致動器108、設置於套筒104的另一端側且檢測滑軸106的位置之位置檢測部110及與套筒104的另一端側連接且收納位置檢測部110之蓋殼114。
以下，將與套筒104的中心軸平行的方向稱為軸向。又，以相對於套筒104設置有致動器108之側為左側，且以相對於套筒104設置有位置檢測部110之側為右側進行說明。
滑軸106包括第1支撐部118、第2支撐部122、閥體120、第1連結軸124、第2連結軸126及驅動軸128。第1支撐部118、閥體120、第2支撐部122皆為圓柱狀，從左側沿著軸向依序排列。第1連結軸124係沿著軸向延伸，並連結第1支撐部118和閥體120。第2連結軸126係沿著軸向延伸，並連結閥體120和第2支撐部122。驅動軸128係從第1支撐部118向左側沿著軸向突出。
致動器(線性驅動部)108係使驅動軸128沿著軸向移動，進而使滑軸106沿著軸向移動。致動器108並無特別限定，在圖示的例子中為音圏馬達。
滑軸106的第1支撐部118及第2支撐部122係在從套筒104浮起之狀態下、亦即以不與套筒104接觸的方式由靜壓氣體軸承支撐。
在本實施形態中，第1支撐部118的外周面上設置有作為靜壓氣體軸承的空氣墊168。空氣墊168係將從未圖示之供氣系統供給之壓縮氣體噴出至第1支撐部118與套筒104之間的間隙、亦即第1間隙148。藉此，在第1間隙148內形成高壓的氣體層，空氣墊168從套筒104浮起，進而第1支撐部118從套筒104浮起。再者，空氣墊168係亦可以設置於與第1支撐部118對向之套筒104的內周面104a的部分來代替設置於第1支撐部118的外周面。
同樣地，第2支撐部122的外周面上設置有作為靜壓氣體軸承的空氣墊170。空氣墊170係將從未圖示之供氣系統供給之壓縮氣體噴出至第2支撐部122與套筒104之間的間隙、亦即第2間隙150。藉此，在第2間隙150內形成高壓的氣體層，空氣墊170從套筒104浮起，進而第2支撐部122從套筒104浮起。再者，空氣墊170係亦可以設置於與第2支撐部122對向之套筒104的內周面104a的部分，來代替設置於第2支撐部122的外周面。
再者，在圖1中，誇大地描繪了第1間隙148及第2間隙150。實際上，為了形成靜壓氣體軸承，第1間隙148及第2間隙150為幾微米左右為較佳。
位置檢測部110並無特別限定，在該例子中，將滑軸106構成為能夠以非接觸方式進行檢測。位置檢測部110例如使用雷射感測器。
蓋殼114係具有圓筒部114a和底部114b形成為一體之有底杯形狀，且以其底部114b為右側、亦即以使套筒104的右端的開口部和開口部彼此相對的方式，與套筒104的右端連接。
再者，蓋殼114係亦可以與套筒104形成為一體。換言之，套筒104係可以形成為僅左端開口之有底筒狀，以代替滑軸式流量控制閥100不具備蓋殼114。
致動器108係包括磁軛112、磁鐵162、線圈架164及線圈166。磁軛112係例如由鐵等的磁性體構成。磁軛112係具有由圓筒部112a和底部112b形成一體之有底杯形狀，且以其底部112b為左側、亦即以套筒104的左端的開口部和開口部彼此相對的方式，與套筒104的左端連接。
磁軛112係進一步具有從底部112b向右側沿著軸向突出之圓柱狀的凸部112c。磁鐵162係以包圍凸部112c的方式黏結固定於圓筒部112a的內周面。磁鐵162係可以沿著圓周方向連續設置，亦可以沿著圓周方向不連續設置、亦即間斷地設置。
線圈架164係設置於磁鐵162的內側。線圈架164係包圍凸部112c，並且一端側與驅動軸128連接。線圈166係纏繞於線圈架164的外周。致動器108係根據向線圈166供給之電流量及電流的朝向而產生使纏繞有線圈166之線圈架164、進而使滑軸106向軸向上的某一側移動之力。再者，磁鐵162與線圈166之間的位置關係亦可以相反。亦即，磁鐵162亦可以設置於線圈166的內側，具體而言，設置於凸部112c的外周面。
套筒104與致動器108的磁軛112之間、套筒104與蓋殼114之間係分別由Ｏ型環或金屬密封件等的密封構件146密封。因此，除後述的複數個埠以外，套筒104、磁軛112及蓋殼114的內部受到密封。
套筒104上形成有供給埠130、控制埠132及排氣埠134。供給埠130、控制埠132、排氣埠134係分別為連通套筒104的內側和外側之連通孔，且沿著與軸向正交之方向延伸。
供給埠130係經由管或歧管(皆未圖示)與壓縮氣體供給源(未圖示)連接。控制埠132係經由管或歧管(皆未圖示)與控制對象(未圖示)連接。從徑向觀察時，控制埠132係形成為具有與軸向及圓周方向平行的四個邊之矩形。排氣埠134係經由管或歧管(皆未圖示)向大氣開放。在圖1中，滑軸106位於中立位置，且藉由閥體120封堵著控制埠132。中立位置係指閥體120的軸向中央部與控制埠132的軸向中央部的軸向位置一致之滑軸106的位置。
以上為滑軸式流量控制閥100的基本構成。接著，對其動作進行說明。圖2(a)、圖2(b)係說明圖1的滑軸式流量控制閥100的動作之圖。
圖2(a)係示出原本處於圖1的狀態之滑軸106被致動器108驅動而移動至軸向右側之狀態。在該狀態下，原本被閥體120封堵之控制埠132被開放，且供給埠130和控制埠132連通，來自壓縮氣體供給源的壓縮氣體通過供給埠130、套筒104的內側及控制埠132而供給至控制對象。此時，根據位置檢測部110的檢測結果控制滑軸106的位置，並藉由閥體120控制控制埠132的開口面積，藉此控制向控制對象供給之壓縮氣體的流量。
圖2(b)係示出原本處於圖1的狀態之滑軸106被致動器108驅動而移動至軸向左側之狀態。在該狀態下，原本被閥體120封堵之控制埠132開放，且控制埠132和排氣埠134連通，來自控制對象的壓縮氣體通過控制埠132、套筒104的內側及排氣埠134而排出至大氣中。此時，根據位置檢測部110的檢測結果控制滑軸106的位置，並藉由閥體120控制控制埠132的開口面積，藉此控制從控制對象排出之壓縮氣體的流量。
接著，對提高滑軸式流量控制閥100對流量的控制性之構成進行進一步詳細的說明。
圖3(a)～圖3(c)係說明滑軸式流量控制閥的流量特性之圖。圖3(a)係示出理想的流量特性。圖3(b)係示出具有非線性之流量特性。流量特性的非線性係導致流量的控制性的下降。圖3(c)係示出在中立位置附近具有無感帶之流量特性。當重疊量大時，會成為這樣的流量特性。重疊量係指，當套筒104位於中立位置時，閥體120在軸向上比控制埠132更突出之長度，換言之，閥體120與套筒104在控制埠132的軸向外側重疊(overlap)之長度。若存在無感帶，則控制對象無法實現高響應性，因此不理想。
再者，在圖3(a)～圖3(c)中，與滑軸的位置無關地，始終有恆定量的氣體從供給埠流向控制埠及從控制埠流向排氣埠。這是因為，由於閥體與套筒不接觸，因此供給埠130與控制埠132及控制埠132與排氣埠134分別始終經由微小的間隙連通。以下，將該恆定量的流量稱為基礎流量。
圖4(a)、圖4(b)係表示參考例之滑軸式流量控制閥200的閥體220及控制埠232、和其周邊之剖面圖。圖4(b)係用圖4(a)的虛線圍住之部分的放大圖。
理論上，為了實現圖3(a)所示之理想的流量特性，至少需要(i)將連接閥體220的左右的軸向端面220a、220b和外周面220c之角部220d、220e形成為所謂的尖角(pin angle)，亦即在穿過閥體220的中心軸之剖面上將角部220d形成為直角，(ii)將控制埠232的內周面側的開口部周緣232a、232b形成為所謂的尖角，亦即在穿過套筒204的中心軸之剖面中將開口部周緣232a形成為直角，(iii)如圖4(a)所示，將閥體220及控制埠232形成為：當滑軸206位於中立位置時，閥體220的左右的軸向端面220a、220b和控制埠232的左右的周面232c、232d齊平。
然而，現實中，由於加工技術的限制，嚴格而言，無論是閥體220的角部220d，還是控制埠132的開口部周緣232a，皆無法形成為銳角，微觀上會成為圓角。因此，例如，若將閥體220及控制埠232構成為：當滑軸206位於中立位置時，閥體220的左右的軸向端面220a、220b和控制埠232的左右的周面232c、232d齊平，則滑軸206位於中立位置時的閥體220的外周面220c與控制埠132的開口部周緣232a、232b之間的間隙G1會寬於閥體220的外周面220c與套筒204的內周面204a之間的間隙G0，其結果，參考例之滑軸式流量控制閥的流量特性會成為如圖3(b)所示之具有非線性之流量特性。為了接近圖3(a)所示之理想的流量特性，至少需要使閥體220和套筒204重疊成不產生無感帶之程度，以使間隙G1接近間隙G0。
如此，實現圖3(a)所示之理想的流量特性，與其說不簡單，實際上是不可能，現實中，以接近理想之流量特性、亦即非線性範圍小的流量特性為目標。
亦可考慮藉由直接測量滑軸式流量控制閥的流量特性來檢查是否具有接近理想之流量特性，或者調整重疊量或調整閥體120的外周面120c與套筒104的內周面104a之間的間隙G0以接近理想的流量特性，但直接測量流量特性較麻煩，因此直接測量流量特性並根據其測量結果來進行檢查、調整並不實際。
相對於此，本發明人進行苦心研究之結果，發現滑軸式流量控制閥100的內部洩漏量與流量特性之間存在相關性。這裡，「內部洩漏量」係在隔斷控制埠132之狀態下從供給埠130供給之氣體從排氣埠134排出之流量。
圖5係表示針對滑軸式流量控制閥100的內部洩漏量的測量結果之圖。在圖5中，橫軸為滑軸106的位置，縱軸為內部洩漏量。
如圖5所示，內部洩漏量係在滑軸位於中立位置附近時增加。在該例子中，內部洩漏量的最大值(5.1 L/min)與最小值(3.5L/min)之差為1.6L/min。
圖6係表示針對滑軸式流量控制閥100的流量特性的測量結果之圖。在圖6中，橫軸為滑軸106的位置，縱軸為流量。
如圖6所示，流量特性係在中立位置附近具有非線性。在該例子中，從供給埠130向控制埠132供給之壓縮氣體的流量特性的曲線圖180與從控制埠132向排氣埠134排出之壓縮氣體的流量特性的曲線圖182的交點P處的流量(2.5L/min)與基礎流量(0.9L/min)之差為1.6L/min。這等於圖5的內部洩漏量的最大值與最小值之差(1.6L/min)。
如此，內部洩漏量的最大值與最小值之差係約等於交點P處的流量與基礎流量之差。內部洩漏量的最大值與最小值之差愈小，交點P處的流量亦愈低，流量特性係接近圖3(a)所示之理想的流量特性。
因此，在本實施形態中，將閥體120或套筒104(尤其，控制埠132)加工成(進而將重疊量或間隙G0調整成)，內部洩漏量的最大值與最小值之差(以下，稱為內部洩漏量差)成為接近零的值，具體而言，內部洩漏量差成為預定的臨界值Th以下。
因此，本實施形態的滑軸式流量控制閥100中，內部洩漏量差成為臨界值Th以下。臨界值Th係根據所期望的控制性而決定。再者，即使滑軸106位於中立位置時的重疊量相同，若控制埠132的圓周方向的長度(寬度)不同，則內部洩漏量差亦有可能會不同。因此，臨界值Th係根據控制埠132的圓周方向的長度而決定。
接著，對如上構成之滑軸式流量控制閥100的製造方法進行說明。
圖7係表示製造滑軸式流量控制閥100之步驟之示意製造步驟圖。製造滑軸式流量控制閥100之步驟係包括形成步驟S102、組裝步驟S104及調整步驟S106。
在形成步驟S102中，形成套筒104或滑軸106等的滑軸式流量控制閥100的構成零件。形成步驟S102係可以使用切削加工或鑄造加工等的眾所周知的加工技術來構成。
例如，可以在滑軸式流量控制閥100的原型機中，指定內部洩漏量差成為臨界值Th之重疊量、進而指定閥體120的軸向尺寸、直徑及控制埠132的軸向尺寸。在形成步驟S102中，可以將閥體120及控制埠132加工成具有如此確定之尺寸。又或者，可以以在調整步驟S106中進行調整為前提，將閥體120形成為具有稍長的軸向尺寸，亦可以將控制埠132形成為具有稍短的軸向尺寸。
在組裝步驟S104中，使用在形成步驟S102中形成之構成零件來組裝滑軸式流量控制閥100。組裝步驟S104係可以使用眾所周知的組裝技術來構成。
在調整步驟S106中，調整滑軸式流量控制閥100，以使內部洩漏量差成為臨界值Th以下。首先，將滑軸式流量控制閥100的套筒104的供給埠130連接至壓縮氣體供給源，並將排氣埠134開放於大氣中，用預定的蓋封住控制埠132，並從壓縮氣體供源向供給埠130供給壓縮氣體。在該狀態下，測量滑軸106位於各軸向位置時的內部洩漏量來檢查內部洩漏量差是否為臨界值Th以下。在內部洩漏量差大於臨界值Th之情況下，調整重疊量和間隙G1。具體而言，磨削閥體120的左右的軸向端面120a、120b、外周面120c及控制埠132的左右的周面132c、132d中的至少一個，調整(加工)成內部洩漏量差成為臨界值Th以下。調整後，再次檢查內部洩漏量差是否為臨界值Th以下。又，重複檢查和調整，直至內部洩漏量差成為臨界值Th以下。
再者，如上所述，若流量特性在中立位置附近具有無感帶，則控制對象無法實現高響應性，因此不理想。因此，重疊量係設為不產生無感帶之程度的微小的重疊量。亦即，滑軸式流量控制閥100的流量特性係具有如圖3(b)所示之流量特性。此時，從供給埠130向控制埠132供給之壓縮氣體的流量特性的曲線圖與從控制埠132向排氣埠134排出之壓縮氣體的流量特性的曲線圖在高於基線流量的位置交叉。
依據以上說明之本實施形態，滑軸式流量控制閥100的內部洩漏量差為臨界值Th以下。此時，能夠使滑軸式流量控制閥100的流量特性在具有所期望的控制性之程度上接近理想的流量特性。
又，依據本實施形態，臨界值Th係根據控制埠132的圓周方向長度而決定。藉此，能夠與對應於控制埠132的圓周方向長度之(亦即，可控制的最大流量的)最大流量的差異無關地提高控制性。
以上，基於實施形態對本發明進行了說明。該實施形態僅為示例，熟習此項技術者應當理解該等各構成要素和各處理程序的組合可以存在各種變形例，又，這樣的變形例亦在本發明的範圍內。
上述實施形態及變形例的任意組合作為本發明的實施形態亦有用。藉由組合產生之新的實施形態係兼具所組合之實施形態及變形例各自的效果。
100:滑軸式流量控制閥 104:套筒 106:滑軸 108:致動器 120:閥體 130:供給埠 132:控制埠 134:排氣埠 168,170:空氣墊
[圖1]係概略地表示實施形態之滑軸式流量控制閥之圖。 [圖2(a)、圖2(b)]係說明圖1的滑軸式流量控制閥的動作之圖。 [圖3(a)～圖3(c)]係說明滑軸式流量控制閥的流量特性之圖。 [圖4(a)、圖4(b)]係表示參考例之滑軸式流量控制閥的閥體及控制埠和該等的周邊之剖面圖。 [圖5]係表示針對圖1的滑軸式流量控制閥的內部洩漏量的測量結果之圖。 [圖6]係表示針對圖1的滑軸式流量控制閥的流量特性的測量結果之圖。 [圖7]係表示製造圖1的滑軸式流量控制閥之步驟之示意製造步驟圖。
100:滑軸式流量控制閥
104:套筒
104a:內周面
106:滑軸
108:致動器
110:位置檢測部
112:磁軛
112a:圓筒部
112b:底部
112c:凸部
114:蓋殼
114a:圓筒部
114b:底部
118:第1支撐部
120:閥體
120a:軸向端面
120b:軸向端面
120c:外周面
122:第2支撐部
124:第1連結軸
126:第2連結軸
128:驅動軸
130:供給埠
132:控制埠
132c:周面
132d:周面
134:排氣埠
146:密封構件
148:第1間隙
150:第2間隙
162:磁鐵
164:線圈架
166:線圈
168:空氣墊
170:空氣墊
G0:間隙
G1:間隙

Claims (7)

  1. 一種滑軸式流量控制閥，其係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在前述套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，前述滑軸式流量控制閥係藉由前述閥體控制前述控制埠的開口面積，而控制流量，其特徵為： 內部洩漏量的最大值與最小值之差為預定的臨界值以下，前述內部洩漏量係為：在隔斷前述控制埠之狀態下從前述供給埠供給之氣體，從前述排氣埠排出之流量。
  2. 如請求項1所述之滑軸式流量控制閥，其中 前述臨界值係根據控制埠的圓周方向的長度而決定。
  3. 一種滑軸式流量控制閥，其係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在前述套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，前述滑軸式流量控制閥係藉由前述閥體控制前述控制埠的開口面積，而控制流量，其特徵為： 前述套筒及前述滑軸中的至少一方係形成為基於內部洩漏量之尺寸，前述內部洩漏量係為：在隔斷前述控制埠之狀態下從前述供給埠供給之氣體，從前述排氣埠排出之流量。
  4. 一種滑軸式流量控制閥的製造方法，其中前述滑軸式流量控制閥係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在前述套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，前述滑軸式流量控制閥係藉由前述閥體控制前述控制埠的開口面積，而控制流量，前述滑軸式流量控制閥的製造方法的特徵為： 包括將前述套筒及前述滑軸中的至少一方加工成基於內部洩漏量之尺寸之步驟，前述內部洩漏量係為：在隔斷前述控制埠之狀態下從前述供給埠供給之氣體，從前述排氣埠排出之流量。
  5. 如請求項4所述之滑軸式流量控制閥的製造方法，其中 在前述進行加工之步驟中，將前述套筒及前述滑軸中的至少一方加工成內部洩漏量的最大值與最小值之差成為預定的臨界值以下。
  6. 如請求項5所述之滑軸式流量控制閥的製造方法，其中 前述臨界值係根據控制埠的圓周方向的長度而決定。
  7. 一種滑軸式流量控制閥的製造方法，其中前述滑軸式流量控制閥係具備：套筒，係形成有供給埠、控制埠及排氣埠；及滑軸，係被收容成能在前述套筒內沿著軸向移動，且具有閥體，前述滑軸式流量控制閥係藉由前述閥體控制前述控制埠的開口面積，而控制流量，前述滑軸式流量控制閥的製造方法的特徵為： 包括檢查內部洩漏量的最大值與最小值之差是否為預定的臨界值以下之步驟，前述內部洩漏量係為：在隔斷前述控制埠之狀態下從前述供給埠供給之氣體，從前述排氣埠排出之流量。
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