TWI806013B - 取像設備 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種取像設備，在此設備中，一物品（例如一晶圓盒）是放置在一旋轉平台上，一拍攝模組是對該旋轉平台上的物品進行拍攝。藉由該旋轉平台轉動，該拍攝模組就能對該晶圓盒的各個側面進行拍攝，以取得這些側面的影像。

Description

取像設備

本發明與拍攝物品的設備有關，例如一種在影像檢測領域中所使用的取像設備。

在影像檢測領域中，經常需要對一目標物品進行拍攝，並將所拍攝到的影像傳給一電腦裝置進行影像檢測，以便找出異常的物品。以一晶圓盒的檢測為例，例如在半導體產業中常見的前開式晶圓傳送盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)及前開式晶圓供應盒(FOSB，Front Opening Shipping Box)，它的附件(例如供一夾爪抓取的一頭部(俗稱蘑菇頭)及左、右握把)都會被拆下來進行清洗，它的蓋體及盒體也要分開進行清洗。完成清洗之後，該蓋體及所有的附件都要再裝回去原位，但無法保證它們都已被正確且完整地安裝回去而沒有異常。因此，需要去檢查該晶圓盒的狀況，以便挑出有異常的晶圓盒。

利用影像檢測技術來檢測該晶圓盒的狀況，是目前已知最有效率的方式之一。為了進行影像檢測，即有對該晶圓盒進行拍攝以取得對應影像之需要。因此，推出一種適於擷取該晶圓盒的影像的設備，乃為當務之急。

本發明提供一種取像設備，它可用來對一物品(例如一晶圓盒)進行拍攝，以擷取想要的影像，例一電腦裝置進行某 種檢測項目所需要的影像。

更詳而言之，本發明之取像設備包括：用於放置一物品且能轉動的一旋轉平台、承載該旋轉平台的一第一移載裝置、一拍攝模組、位於該旋轉平台旁邊且用於放置該物品的一送出平台、位於該第一移載裝置的旁邊且承載該送出平台的一第二移載裝置、及位於該第一、二移載裝置上方的一抓取裝置。該第一移載裝置能將該旋轉平台從一準備區移送到一拍攝區。該拍攝模組用於拍攝已位於該拍攝區的該旋轉平台上的該物品。該第二移載裝置能將該送出平台從一送出區移送到一等待區。該抓取裝置能將已位於該拍攝區的該旋轉平台上的該物品抓起來並放置到已位於該送出區的該送出平台上。

在一實施例中，本發明之取像設備包括位於該拍攝區中的一多軸機械手臂，該多軸機械手臂連接該拍攝模組，且能移送該拍攝模組到想要的拍攝位置。

在一實施例中，本發明之取像設備包括配置在該拍攝區一側的一蓋體裝卸機構，該蓋體裝卸機構包括可移動的一座體、用於承載該座體的一第三移載裝置、設於該座體上的一支撐盤、設於該支撐盤上的多個真空吸附裝置及兩開閉鎖裝置。該第三移載裝置能帶動該座體在一原始位置及一裝卸位置之間移動。該支撐盤用於支撐該物品的一蓋體。該些真空吸附裝置用於吸住該支撐盤上的該蓋體的一外側面。兩該開閉鎖裝置用於對應轉動該支撐盤上的該蓋體內的兩鎖栓機構。

在一實施例中，本發明之取像設備的上述支撐盤係樞接於該座體上，且該蓋體裝卸機構還包括設於該座體上的一翻轉驅動裝置，該翻轉驅動裝置用於驅動該支撐盤從呈一直立姿勢翻轉為呈一躺平姿勢，或從呈該躺平姿勢翻轉回呈該直立姿勢。

在一實施例中，本發明之取像設備包括配置在該蓋體裝卸機構上方的一蓋體內側拍攝模組，該翻轉驅動裝置係在該座體回到該原始位置時驅動該支撐盤從呈該直立姿勢翻轉為呈該躺平 姿勢，以使該支撐盤上的該蓋體的一內側面朝向上方，該蓋體內側拍攝模組用於對著該蓋體的該內側面進行拍攝。

在一實施例中，本發明之取像設備包括設置在該第三移載裝置上的一昇降台，該座體設於該昇降台上，並能在該昇降台的帶動下沿一Z軸作昇降。

在一實施例中，本發明之取像設備的上述蓋體內側拍攝模組係被配置成能在該裝卸裝置上方的一X-Y平面移動。

在一實施例中，本發明之取像設備的上述抓取裝置包括配置在該拍攝區上方的一夾爪機構、一昇降裝置及一橫向移載裝置。該夾爪機構能在一原始位置及一夾合位置之間往返，及能在該夾合位置夾住該物品。該昇降裝置用於驅動該夾爪機構上昇到該原始位置或下降到該夾合位置。該橫向移載裝置，橫跨在該第一移載裝置及該第二移載裝置的上方，且承載該昇降裝置及能帶動該昇降裝置移動。

在一實施例中，本發明之取像設備的上述夾爪機構包括一懸臂、一張夾驅動部及由該張夾驅動部驅動於張開或夾合的一張夾驅動部。該懸臂一端連接於該昇降裝置，另一端連接該張夾驅動部。兩該爪部被配置成能夾住該晶圓盒的該頭部的構形。

在一實施例中，本發明之取像設備包括配置在該旋轉平台上方的一蓋合狀況拍攝模組，且該蓋合狀況拍攝模組與該夾爪機構能一起橫向移動及緃向昇降，用以拍攝該物品的頂面靠近前邊緣的兩側區域。

100:晶圓盒

101:盒體

102:蓋體

102a:外側面

102b:內側面

103:鎖孔

104:頭部

11:旋轉平台

11a:區域

111:第一移載裝置

112:轉動驅動裝置

12:送出平台

121:第二移載裝置

13:拍攝模組

131:第一拍攝裝置

132:第二拍攝裝置

1a:準備區

1b:拍攝區

1c:送出區

1d:等待區

2:抓取裝置

20:橫向移載裝置

21:昇降裝置

22:夾爪機構

221:懸臂

222:張夾驅動部

223:爪部

4:多軸機械手臂

6:蓋體裝卸機構

61:座體

62:第三移載裝置

63:支撐盤

64:真空吸附裝置

65:開閉鎖裝置

66:翻轉驅動裝置

67:昇降台

7:蓋體內側拍攝模組

71:X-Y軸移載裝置

8:蓋合狀況拍攝模組

圖1顯示本發明之取像設備的一個較佳實施例的立體示意圖。

圖2顯示一晶圓盒100的立體示意圖。

圖3顯示本發明該較佳實施例的一俯視示意圖(已省略部分裝 置)。

圖4至圖5顯示本發明該較佳實施例的蓋體裝卸機構6在不同視角下的立體示意圖。

圖6至圖9顯示蓋體裝卸機構6的動作示意圖。

圖10至圖17顯示拍攝模組13拍攝晶圓盒100的動作示意圖。

圖18顯示本發明該較佳實施例的蓋合狀況拍攝模組8想要拍攝的區域11a的示意圖。

圖1顯示本發明之取像設備的一個較佳實施例，其包括一旋轉平台11、一送出平台12、一第一移載裝置111、一第二移載裝置121、一拍攝模組13及一抓取裝置2。旋轉平台11用於放置一物品，且能轉動。在此實施例中，旋轉平台11是在一轉動驅動裝置112的帶動下作轉動。

如圖2所示，該物品可為一晶圓盒100，例如一開式晶圓傳送盒(FOUP)或一前開式晶圓供應盒(FOSB，Front Opening Shipping Box)。在此實施例中，晶圓盒100包括一盒體101及一蓋體102。蓋體102的一外側面102a有兩鎖孔103。此外，蓋體102的內部還設置兩鎖栓機構(圖中未示)對應兩該鎖孔103，在兩鑰匙(圖中未示)分別插入兩該鎖孔103之後，就可轉動兩該鑰匙來帶動兩該鎖栓機構進入一解鎖狀態或一鎖住狀態。其中，在兩該鎖栓機構處於該鎖住狀態時，兩該鎖孔103均呈直立狀(參見圖2)，此時蓋體102已被鎖住而無法被卸離盒體101。當兩該鎖栓機構處於該解鎖狀態時，兩該鎖孔103就都呈水平狀，此時蓋體102已被解鎖而可被卸離盒體101。

再如圖1及圖3所示，第一移載裝置111承載旋轉平台11，且能將旋轉平台11從一準備區1a移送到一拍攝區1b。拍攝模組13用於拍攝已位於拍攝區1b的旋轉平台11上的該物品(晶 圓盒100)，此容後詳述。送出平台12位於旋轉平台11旁邊，它也是用來放置該物品。第二移載裝置121承載送出平台12，且能將送出平台12從一送出區1c移送到一等待區1d。其中，拍攝區1b及送出區1c均位在一機殻(圖中未示)的內部，準備區1a及等待區1d均位在該機殻的外面。該機殻的範圍大致如圖3中虛線框所示。

旋轉平台11平時是停留在準備區1a，在被放上該物品之後，才在第一移載裝置111的帶動下，沿著一Y軸從準備區1a移動進入拍攝區1b。

如圖3所示，隨著旋轉平台11到達拍攝區1b的該物品(晶圓盒100)由拍攝模組13進行拍攝。例如，當想要拍攝該的某一側面(例如一左側面、一右側面或一後側面)時，就可令旋轉平台11轉動到使該某一側面面對拍攝模組13的位置，以便拍攝模組13對著該物品的該某一側面進行拍攝。如此，拍攝模組13就能在不同時間點對著該物品的不同側面分別進行拍攝。如果需要，拍攝模組13可再耦接一電腦裝置(圖中未示)，以便將所拍攝到的影像傳送給該電腦裝置處理，例如進行自動光學檢測(AOI)，以判斷該物品是否正常，例如該晶圓盒100是否有缺件或變形的情形。

在此實施例中，拍攝模組13是設置在一多軸機械手臂4上，並由多軸機械手臂4移送到它想要位置，故拍攝模組13還能拍攝到該物品(晶圓盒100)的頂面，此容後再述。此外，多軸機械手臂4也可選用其它的移送裝置來取代，亦即，凡是能將拍攝模組13移送到它想要到達的任一空間位置的移送裝置均可選用它來取代多軸機械手臂4。

拍攝模組13可為單一拍攝裝置或包括多個拍攝裝置，在此實施例中，如圖1及圖3所示，拍攝模組13包括一第一拍攝裝置131及一第二拍攝裝置132。第一拍攝裝置131可為一面式掃描攝影機，它具有一視頻鏡頭(CCTV lens)，第二拍攝裝置132可為一機器視覺相機，它具有一遠心鏡頭(Telecentric lens)，可視想要檢測的項目來決定使用哪一支拍攝裝置來進行拍攝。

在此實施例中，拍攝模組13是由多軸機械手臂4來移送變換它的位置，然而，在另一實施例中，可採用多個移送機構來取代多軸機械手臂4，拍攝模組13的多個拍攝裝置可分別設置在前述的移送機構，以使各個拍攝裝置能由前述移送機構移送到它們想要進行拍攝的位置。

如果該物品是一個具有一蓋體的容器，例如上述的晶圓盒100，就可能有需要進一步檢測它的內部。在此需求之下，如圖1、圖3、圖4及圖5所示，本發明之取像設備就可再包括用於裝、卸該物品的該蓋體的一蓋體裝卸機構6。在此實施例中，蓋體裝卸機構6包括可移動的一座體61、用於承載座體61的一第三移載裝置62、設於座體61上且用於支撐該物品的該蓋體的一支撐盤63、及設於支撐盤63上的多個真空吸附裝置64與兩開閉鎖裝置65。第三移載裝置62能帶動座體61沿著一X軸在一原始位置及一裝卸位置之間移動。真空吸附裝置64用於吸住支撐盤63上的該蓋體的一外側面。兩該開閉鎖裝置65用於對應轉動支撐盤63上的該蓋體內的兩該鎖栓機構。較佳地，一昇降台67係設置在第三移載裝置62上，座體61設於昇降台67上，並能在昇降台67的帶動下沿一Z軸作昇降。

蓋體裝卸機構6平時位於距離旋轉平台11一段距離的一原始位置(參見圖1及圖3)，在需要拍攝旋轉平台11上的該物品的內部情況時，蓋體裝卸機構6就可沿著一X軸從所示的該原始位置移動到圖7所示的一裝卸位置。在此之前，如圖6所示，旋轉平台11已經從圖3所的狀態順時針轉動90度，以使該物品(晶圓盒100)的一前側面(即蓋體102的外側面102a)跟著轉到面對蓋體裝卸機構6的位置。

如圖7所示，在該裝卸位置，支撐盤63已貼靠於蓋體102，每一真空吸附裝置64的吸盤641已吸住蓋體102的外側面102a，兩該開閉鎖裝置65的鑰匙651已分別伸入蓋體102上的兩該鎖孔103。接著，兩該開閉鎖裝置65驅動它們的鑰匙651轉動到一 解鎖位置，就能帶動蓋體102內的兩該鎖栓機構進入該解鎖狀態。然後，如圖8所示，蓋體裝卸機構6退回該原始位置，與此同時，被上述真空吸附裝置64的吸盤641吸住的蓋體102，就隨著蓋體裝卸機構6的退回該原始位置，使得晶圓盒100的盒口101a露出。至此，蓋體裝卸機構6即執行完成卸下蓋體2的作業。若想將蓋體2裝回原位並上鎖，只需反向執行前述動作，即可，容不贅述。簡言之，蓋體裝卸機構6能從該物品(晶圓盒100)卸下或裝回蓋體102。

較佳地，如果需要進一步檢測蓋體2的一內側面102b，蓋體裝卸機構6可再包括設於座體61上的一翻轉驅動裝置66，支撐盤63係樞接於座體61上。翻轉驅動裝置66用於驅動支撐盤63從呈一直立姿勢(參見圖9)翻轉為呈一躺平姿勢(參見圖9)，或從呈該躺平姿勢翻轉回呈該直立姿勢。在此實施例中，翻轉驅動裝置66可為一伸縮缸。如此，在蓋體102隨著蓋體裝卸機構6的退回該原始位置之後，就續由翻轉驅動裝置66將支撐盤63往後拉，以使支撐盤63連同位在其上的蓋體102一起從呈該直立姿勢翻轉為呈該躺平姿勢，一如圖9所示，此時，蓋體102的該內側面102b就呈現朝向上方的狀態，以便被配置在蓋體裝卸機構6上方且耦接到該電腦裝置的一蓋體內側拍攝模組7對它進行拍攝。

較佳地，如圖1及圖5所示，蓋體內側拍攝模組7還被配置成能在蓋體裝卸機構6上方的一X-Y平面移動，進一步言之，蓋體內側拍攝模組7設於一X-Y軸移載裝置71上，故在X-Y軸移載裝置71的帶動下，蓋體內側拍攝模組7就能在蓋體裝卸機構6上方的一X-Y平面移動，以便對蓋體102的內側面102b進行拍攝。

以下續說明拍攝模組13對該物品的拍攝，在此係以上述晶圓盒100為例：首先，如圖10所示，拍攝模組13由多軸機械手臂4移送到旋轉平台11上方的一拍攝位置，並以其第一拍攝裝置131對著晶圓盒100的頂面進行拍攝，這樣就可擷取到晶圓盒100的一或多張頂面影像。

接著，如圖11所示，多軸機械手臂4續將拍攝模組13移送到旋轉平台11前方的一拍攝位置，以使拍攝模組13的第一拍攝裝置131對著晶圓盒100的前側面進行拍攝，這樣就可擷取到晶圓盒100的一或多張前側面影像。需指出的是，拍攝模組13不以上述的拍攝順序為限，例如，也可以改成先拍攝取得上述前側面影像，然後再拍攝取得上述頂面影像。

在拍攝模組13完成上述頂面影像及前側面影像的拍攝之後，由上述蓋體裝卸機構6卸下蓋體102，其動作過程已說明如上，容不贅述。如圖12所示，由於卸下蓋體102的晶圓盒100的左側面此時剛好面對拍攝模組，故拍攝模組13的第一拍攝裝置131對著已卸下蓋體102的晶圓盒100的左側面進行拍攝，這樣就可擷取到晶圓盒100的一或多張左側面影像。需指出的是，拍攝模組13可以改在蓋體裝卸機構6將蓋體102卸離盒體101之前或同時，進行前述左側面影像的拍攝。

接著，如圖13所示，令旋轉平台11轉動到使已卸下蓋體2的晶圓盒100的盒口101a面對拍攝模組13的位置，在此實施例中，旋轉平台11此時是逆時針轉動90度。然後，拍攝模組13的第二拍攝裝置132對著晶圓盒100的盒口101a進行拍攝，這樣就可擷取到晶圓盒100的一或多張盒內影像。其中，在拍攝模組13進行上述盒內影像的拍攝的同時，蓋體內側拍攝模組7也對著蓋體102的該內側面102b進行拍攝，以擷取一或多張蓋體內側影像。另需指出的是，前述蓋體內側影像的拍攝可以改在上述左側面影像拍攝之前或盒內影像拍攝之前進行，或是說，在蓋體102被翻轉而使其內側面102b朝向上方之後的任何時點，都可進行前述蓋體內側影像的拍攝。

在蓋體內側拍攝模組7完成上述蓋體內側影像的拍攝之後，蓋體裝卸機構6的支撐盤63就在翻轉驅動裝置66的推動下被翻轉回原位而呈該直立姿勢，位於支撐盤63上的蓋體102亦因此呈直立姿勢，這是為了將蓋體102裝回盒體101預作準備。

如圖14所示，在拍攝模組13完成上述盒內影像的拍攝之後，令旋轉平台11逆向轉動，在此實施例中，旋轉平台11是繼續逆時針轉動90度，以使已卸下蓋體102的晶圓盒100跟著轉動到使其右側面面對拍攝模組13的位置。然後，拍攝模組13的第一拍攝裝置131對著晶圓盒100的右側面進行拍攝，這樣就可擷取到晶圓盒100的一或多張的右側面影像。

如圖15所示，在拍攝模組13完成上述右側面影像的拍攝之後，再次令旋轉平台11逆向轉動，在此實施例中，旋轉平台11是再次逆時針轉動90度，以使已卸下蓋體102的晶圓盒100跟著轉動到使其後側面面對拍攝模組13的位置。然後，拍攝模組13的第一拍攝裝置131對著晶圓盒100的後側面進行拍攝，這樣就可擷取到晶圓盒100的一或多張的後側面影像。

在拍攝模組13完成上述後側面影像的拍攝之後，令旋轉平台11正向轉動，此實施例中，旋轉平台11是順時針轉動270度，以使已卸下蓋體102的晶圓盒100跟著轉動到使其盒口101a面對蓋體裝卸機構6的位置，一如圖8所示。接著，令蓋體裝卸機構6將蓋體102蓋回盒口101a並予以鎖住，其動作大致相反於上述蓋體裝卸機構6卸下蓋體102的動作，容不贅述。

在蓋體裝卸機構6將蓋體102蓋回盒口101a之後，令旋轉平台11逆向轉動，此實施例中，旋轉平台11是逆時針轉動90度，以使已蓋上蓋體102的晶圓盒100跟著轉動到使其蓋體102面對拍攝模組13的位置，一如圖16。此時，可利用抓取裝置2(參見圖1)將晶圓盒100抓到一個高度位置，以便拍攝模組13對晶圓盒100的底面進行拍攝，此容後再述。

如圖1所示，抓取裝置2位於第一、二移載裝置111及121的上方，且能將已位於拍攝區1b的旋轉平台11上的該物品抓起來並放置到已位於送出區1c的送出平台12上。在此實施例中，抓取裝置2包括配置在拍攝區1b上方的一橫向移載裝置20、設於橫向移載裝置20上的一昇降裝置21、及設於昇降裝置21上的一夾爪 機構22。夾爪機構22且能在一原始位置及一夾合位置之間往返，及能在該夾合位置夾住該物品。昇降裝置21用於驅動夾爪機構22上昇到該原始位置或下降到該夾合位置。橫向移載裝置20橫跨在第一、二移載裝置111及121的上方，且能帶動昇降裝置21沿第一、二移載裝置111及121上方的一X軸作橫向移動。

在此實施例中，夾爪機構22較佳是包括一懸臂221、一張夾驅動部222及兩爪部223。懸臂21具有兩端，其中一端連接於昇降裝置21，另一端連接張夾驅動部222。兩該爪部223由張夾驅動部222驅動於張開或夾合，並被配置成能夾住晶圓盒1的一頭部104的構形。其中，張夾驅動部222可選用雙活塞結構設計的夾爪氣壓缸。較佳地，一偵測裝置224是用來偵測兩該爪部223是否已到達該夾合位置，較佳地偵測裝置224呈桿狀且能彈性伸縮，一旦下移踫到頭部104(參見圖17)，就會往上移，並因此觸發一光電感應器(圖中未示，例如一光遮斷器)，以使夾爪機構22得知兩該爪部223已經到達該夾合位置。

如圖17所示，在夾爪機構22的兩該爪部223抓住頭部104且上昇之後，晶圓盒100就跟著上昇，此時，旋轉平台11就從拍攝區1b退回準備區。多軸機械手臂4就可將拍攝模組13移送到晶圓盒100下方的一拍攝位置，以便拍攝模組13對著晶圓盒100的底面進行拍攝，這樣就可擷取到晶圓盒100的一或多張的底面影像。

較佳地，如圖16及圖17所示，本發明可再包括配置在旋轉平台11上方且耦接到該電腦裝置的一蓋合狀況拍攝模組8。為了節省空間，蓋合狀況拍攝模組8與夾爪機構22是使用相同移動配置，故蓋合狀況拍攝模組8與夾爪機構22能一起橫向移動及緃向昇降。因此，若有需要，如圖18所示，就可利用蓋合狀況拍攝模組8拍攝晶圓盒100的頂面靠近前邊緣的兩側區域11a，這樣就可以取得兩側區域11a的影像。由於這兩側區域11 a都包含蓋體102與盒體101的接縫，故可根據接縫的大小判斷蓋體102是否已蓋好。

從上述說明可知，在此實施例中，本發明的取像方式是：在蓋體102從晶圓盒100卸下之前，拍攝模組13分別對著晶圓盒100的頂面及前側面進行拍攝。在蓋體102從晶圓盒100卸下之後，拍攝模組13分別對著晶圓盒100的左側面、盒口101a、右側面及後側面進行拍攝。較佳地，蓋體102裝回晶圓盒100之後，拍攝模組13對晶圓盒100的底面進行拍攝。較佳地，在拍攝模組13對著晶圓盒100的盒口101a進行拍攝的同時，蓋體內側拍攝模組7對著蓋體102的內側面102b進行拍攝。較佳地，在晶圓盒100已蓋上蓋體102的狀態下，蓋合狀況拍攝模組8分別對著晶圓盒100的頂面靠近前邊緣的兩側區域進行拍攝。

綜上所述可知，本發明能對一物品(例如晶圓盒)進行拍攝，以擷取該物品各個側面的影像，較佳還能擷取該物品的頂面、底面、甚至內部及盒蓋的影像以供應用，例如由上述電腦裝置進行自動光學檢測，以便挑出有異常的物品，例如有缺件的異常晶圓盒。

11:旋轉平台

111:第一移載裝置

112:轉動驅動裝置

12:送出平台

121:第二移載裝置

13:拍攝模組

131:第一拍攝裝置

132:第二拍攝裝置

1a:準備區

1b:拍攝區

1c:送出區

1d:等待區

2:抓取裝置

20:橫向移載裝置

21:昇降裝置

22:夾爪機構

221:懸臂

222:張夾驅動部

223:爪部

4:多軸機械手臂

6:蓋體裝卸機構

61:座體

62:第三移載裝置

63:支撐盤

64:真空吸附裝置

65:開閉鎖裝置

67:昇降台

Claims (8)

1. 一種取像設備，包括：一旋轉平台，用於放置一物品，且能自轉，以使該物品的不同側面能在不同時間點轉向相同的一方位；一第一移載裝置，承載該旋轉平台，且能將該旋轉平台從一準備區移送到一拍攝區；一拍攝模組，用於拍攝已位於該拍攝區的該旋轉平台上的該物品，其中，該拍攝模組係在該旋轉平台轉動到使該物品的其中一側面轉向該方位時面對該物品，並對該物品的該其中一側面進行拍攝，藉以在不同時間點取得該物品的不同側面的影像；一送出平台，位於該旋轉平台的旁邊，用於放置該物品；一第二移載裝置，位於該第一移載裝置的旁邊，且承載該送出平台，及能將該送出平台從一送出區移送到一等待區；及一抓取裝置，位於該第一、二移載裝置的上方，且能將已位於該拍攝區的該旋轉平台上的該物品抓起來並放置到已位於該送出區的該送出平台上；其中，該拍攝區一側配置有一蓋體裝卸機構，該蓋體裝卸機構包括：可移動的一座體； 一第三移載裝置，用於承載該座體，並能帶動該座體在一原始位置及一裝卸位置之間移動；一支撐盤，樞接於該座體上，用於支撐該物品的一蓋體；多個真空吸附裝置，設於該支撐盤上，用於吸住該支撐盤上的該蓋體的一外側面；兩開閉鎖裝置，設於該支撐盤上，用於對應轉動該支撐盤上的該蓋體內的兩鎖栓機構；及一翻轉驅動裝置，用於驅動該支撐盤從呈一直立姿勢翻轉為呈一躺平姿勢，或從呈該躺平姿勢翻轉回呈該直立姿勢。
2. 如請求項1所述的取像設備，包括位於該拍攝區中的一多軸機械手臂，該多軸機械手臂連接該拍攝模組，且能移送該拍攝模組到想要的拍攝位置。
3. 如請求項1所述的取像設備，包括配置在該蓋體裝卸機構上方的一蓋體內側拍攝模組，該翻轉驅動裝置係在該座體回到該原始位置時驅動該支撐盤從呈該直立姿勢翻轉為呈該躺平姿勢，以使該支撐盤上的該蓋體的一內側面朝向上方，該蓋體內側拍攝模組用於對著該蓋體的該內側面進行拍攝。
4. 如請求項1所述的取像設備，包括設置在該第三移載裝置上的一昇降台，該座體設於該昇降台上，並能在該昇降台的帶動下沿一Z軸作昇降。
5. 如請求項3所述的取像設備，其中該蓋體內側拍攝模組被配置成能在一裝卸裝置上方的一X-Y平面移動。
6. 如請求項1所述的取像設備，其中該抓取裝置包括：一夾爪機構，配置在該拍攝區上方，且能在一原始位置及一夾合位置之間往返，及能在該夾合位置夾住該物品；一昇降裝置，用於驅動該夾爪機構上昇到該原始位置或下降到該夾合位置；及一橫向移載裝置，橫跨在該第一移載裝置及該第二移載裝置的上方，且承載該昇降裝置及能帶動該昇降裝置移動。
7. 如請求項6所述的取像設備，其中該夾爪機構包括：一懸臂，具有兩端，其中一端連接於該昇降裝置；一張夾驅動部，連接於該懸臂的另一端；及兩爪部，由該張夾驅動部驅動於張開或夾合，其中，兩該爪部被配置成能夾住一晶圓盒的一頭部的構形。
8. 如請求項6所述的取像設備，包括配置在該旋轉平台上方的一蓋合狀況拍攝模組，且該蓋合狀況拍攝模組與該夾爪機構能一起橫向移動及緃向昇降，用以拍攝該物品的頂面靠近前邊緣的兩側區域。

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