TWI798065B - 電集塵器以及層疊造形裝置 - Google Patents

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Abstract

提供一種電集塵器，防止臭氧去除過濾器的堵塞，並且使臭氧去除過濾器長壽命化。提供一種電集塵器，包括：氣體入口，供給包含作為磁性體的塵埃的氣體；帶電部，使塵埃帶電；集塵部，捕集經帶電的塵埃；清掃裝置，包含帶電部清掃裝置以及集塵部清掃裝置中的至少一者；磁體過濾器，設在比集塵部更靠下游側；臭氧去除過濾器，設在比磁體過濾器更靠下游側，從氣體中去除臭氧；以及氣體出口，排出塵埃以及臭氧已被去除的氣體，磁體過濾器具有以下述方式配置的結構，即，多個磁鐵板隔開規定間隔而配置，並且在設於比中央更靠上側的各磁鐵板中，各自的下游側朝下方傾斜，在設於比中央更靠下側的各磁鐵板中，各自的下游側朝上方傾斜。

Description

電集塵器以及層疊造形裝置
本發明涉及一種電集塵器以及包括電集塵器的層疊造形裝置。
作為從氣體中去除塵埃的裝置，已知有電集塵器。電集塵器包括：帶電部，通過電暈放電來使氣體中所含的塵埃帶正電或負電；以及集塵部，通過庫侖力來捕集經帶電的塵埃。
此種電集塵器例如在層疊造形的領域得到有效利用。在層疊造形裝置中，為了防止材料層以及固化層的變質，是在充滿了非活性氣體的腔室內進行固化層的形成。而且，在層疊造形裝置中，在對材料層照射雷射光或電子束來使其熔融或燒結而形成固化層時，作為塵埃的一種，會產生被稱作煙霧（fume）的煙。此種煙霧會遮蔽雷射光或電子束，或者污染光學零件，因此有可能對造形品質造成影響。因此，層疊造形裝置構成為，對腔室內供給規定濃度的非活性氣體，並且從腔室內排出包含煙霧的非活性氣體。從腔室排出的非活性氣體被送往電集塵器，從非活性氣體內去除了煙霧後返送至腔室。這樣，將腔室內保持在潔淨的非活性氣體環境下，並且再利用了非活性氣體。
電集塵器若長時間使用，則塵埃會堆積在帶電部或集塵部，從而導致捕集能力下降。因此，已知有一種電集塵器，其在使用過程中進行帶電部或集塵部的清掃，從而延長可連續使用時間。例如，專利文獻1公開了一種電集塵器，其通過對帶電部噴出非活性氣體來進行清掃，並利用刮刀等來對集塵部進行清掃。
而且，在電集塵器中，在電暈放電時有可能產生臭氧。臭氧會發出獨特的臭味，因而從工業衛生方面的觀點考慮，不希望被直接釋放至外部。而且，臭氧會使包含樹脂或橡膠等的構件劣化。因此，期望從氣體內去除因電暈放電而產生的臭氧。專利文獻2公開了一種電集塵器，其包括去除因電暈放電而產生的臭氧的臭氧去除裝置。
而且，在電集塵器中，除了集塵部以外，有時還設有構成為可收集塵埃的構件。例如，專利文獻3公開了一種電集塵器，其在氣體入口以及氣體出口附近包括包含電磁鐵的磁性集塵板。若塵埃為磁性體，則可通過此種磁性集塵板來捕集。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第6095147號公報 [專利文獻2]日本專利第6600211號公報 [專利文獻3]日本專利實公昭54-037507號公報
[發明所要解決的問題] 在包括進行帶電部或集塵部的清掃的清掃裝置的電集塵器中，在清掃時，會發生二次飛散，即，附著於帶電部或集塵部的塵埃飛揚而再次飛散到氣體中。尤其，保持乾燥狀態來捕集塵埃且在清掃時也不使用清洗液的乾式電集塵器與對集塵部噴霧清洗液來沖洗塵埃的濕式電集塵器相比，二次飛散的塵埃量多。
而且，在進一步包括從氣體中去除臭氧的臭氧去除過濾器的電集塵器中，二次飛散的塵埃有可能附著於臭氧去除過濾器而導致臭氧去除過濾器發生堵塞。
而且，為了實現臭氧去除過濾器的長壽命化，理想的是，氣體大致均勻地流通臭氧去除過濾器的更廣的面積。
本發明是有鑑於此種情況而完成，其目的在於提供一種電集塵器以及層疊造形裝置，防止二次飛散的塵埃附著於臭氧去除過濾器而造成堵塞，並且使氣體大致均勻地流通臭氧去除過濾器的更廣的面積，從而使臭氧去除過濾器長壽命化。
[解決問題的技術手段] 根據本發明，提供一種電集塵器，包括：框體；氣體入口，設於框體，供給包含作為磁性體的塵埃的氣體；帶電部，設於框體內，使塵埃帶正電或負電；集塵部，設於框體內，捕集經帶電的塵埃；清掃裝置，設於框體，包含去除附著於帶電部的塵埃的帶電部清掃裝置以及去除附著於集塵部的塵埃的集塵部清掃裝置中的至少一者；磁體過濾器，設在比集塵部更靠下游側的框體內；臭氧去除過濾器，設在比磁體過濾器更靠下游側的框體內，從氣體中去除臭氧；以及氣體出口，設於框體，排出塵埃以及臭氧已被去除的氣體，磁體過濾器具有以下述方式配置的結構，即，多個磁鐵板隔開規定間隔而配置，並且在設於比中央更靠上側的各磁鐵板中，各自的下游側朝下方傾斜，在設於比中央更靠下側的各磁鐵板中，各自的下游側朝上方傾斜。
[發明的效果] 本發明的電集塵器中，在集塵部的下游側配置磁體過濾器，在磁體過濾器的下游側配置臭氧去除過濾器。而且，磁體過濾器具有以下述方式配置的結構，即，多個磁鐵板隔開規定間隔而配置，並且在設於比中央更靠上側的各磁鐵板中，各自的下游側朝下方傾斜，在設於比中央更靠下側的各磁鐵板中，各自的下游側朝上方傾斜。當塵埃為磁性體時，根據此種磁體過濾器，能夠吸附去除二次飛散的塵埃，因此可防止臭氧去除過濾器發生堵塞。而且，像前述那樣配置的磁鐵板發揮整流板的作用，因此能夠使氣體在臭氧去除過濾器的過濾區域中大致均勻地流通更廣的面積，可實現臭氧去除過濾器的長壽命化。
以下，使用附圖來說明本發明的實施方式。尤其，本發明的實施方式是作為包括電集塵器的層疊造形裝置而說明，被送往電集塵器的氣體為非活性氣體，成為捕集對象的塵埃是在固化層形成時產生的作為磁性體的煙霧。以下說明的各種變形例能夠分別任意組合而實施。
圖1以及圖2中表示了本實施方式的層疊造形裝置1的概略結構。層疊造形裝置1是交替地重複材料層93的形成與固化層95的形成，將多個固化層95予以層疊而製造所期望的三維造形物的裝置。層疊造形裝置1包括腔室11、材料層形成裝置3、照射裝置4、切削裝置5以及非活性氣體供排機構。
腔室11構成為實質上被密閉，覆蓋可對所期望的三維造形物進行造形的區域即造形區域。在造形中，規定濃度的非活性氣體充滿腔室11。腔室11被蛇腹11c分隔為具有造形區域而進行三維造形物的形成的造形室11a、與收容切削裝置5的驅動裝置的大部分的驅動室11b。在造形室11a與驅動室11b之間，存在有僅非活性氣體能夠通過的微小的間隙即連通部。
材料層形成裝置3被設在腔室11的造形室11a內，形成規定厚度的材料層93。材料層形成裝置3包含具有造形區域的底座台31與配置在底座台31上的重塗機頭33。重塗機頭33構成為，可通過具有任意致動器的未圖示的重塗機頭驅動裝置來沿水平方向移動。在造形區域中，配置有造形平臺37。造形平臺37構成為，可通過具有任意致動器的造形平臺驅動裝置39而沿鉛垂方向移動。在造形時，也可在造形平臺37上配置底板91，並在底板91上形成第一層的材料層93。
如圖3以及圖4所示，重塗機頭33包含材料收容部331、材料供給口332以及材料排出口333。材料收容部331貯存材料粉體。材料供給口332被設在材料收容部331的上表面，成為從未圖示的材料供給裝置供給至材料收容部331的材料粉體的接納口。材料排出口333被設在材料收容部331的底面，排出材料收容部331內的材料粉體。材料排出口333具有沿與重塗機頭33的移動方向正交的水平方向延伸的狹縫形狀。在重塗機頭33的側面，設有對材料粉體進行平整而形成材料層93的刮刀35。重塗機頭33一般將收容在材料收容部331內的材料粉體從材料排出口333予以排出，一邊在造形區域上沿水平方向往復移動。此時，刮刀35對被排出的材料粉體進行平坦化而形成材料層93。本實施方式中，材料粉體只要是磁性體即可，典型的是強磁性金屬的粉體。
照射裝置4被設在腔室11的上方。照射裝置4對形成在造形區域上的材料層93的規定的照射區域照射雷射光L，使照射位置的材料層93熔融或燒結而形成固化層95。照射區域存在於造形區域內，與由規定的分割層中的三維造形物的輪廓形狀所包圍的區域大致一致。如圖5所示，照射裝置4包含光源41、準直器43、聚焦控制單元45以及掃描裝置47。
光源41生成雷射光L。此處，雷射光L只要可使材料層93燒結或熔融，則其種類並無限定，例如為纖維雷射、CO2雷射、釔鋁石榴石（Yttrium Aluminum Garnet，YAG）雷射、綠色雷射或藍色雷射。準直器43將從光源41輸出的雷射光L轉換為平行光。聚焦控制單元45具有焦點調節透鏡與使焦點調節透鏡前後移動的透鏡致動器，將從光源41輸出的雷射光L調整為所期望的點徑。掃描裝置47例如為檢流計掃描器。掃描裝置47具有X軸檢流鏡471、使X軸檢流鏡471旋轉的X軸鏡致動器、Y軸檢流鏡472以及使Y軸檢流鏡472旋轉的Y軸鏡致動器。X軸檢流鏡471以及Y軸檢流鏡472的旋轉角度受到控制，以使從光源41輸出的雷射光L進行二維掃描。
通過了X軸檢流鏡471以及Y軸檢流鏡472的雷射光L透射過設在腔室11上表面的窗口13而照射至形成在造形區域的材料層93。窗口13是由可使雷射光L透射的材料所形成。例如，在雷射光L為纖維雷射或YAG雷射的情況下，窗口13可包含石英玻璃。
在腔室11的上表面，以覆蓋窗口13的方式設有污染防止裝置15。污染防止裝置15包含圓筒狀的框體與配置在框體內的圓筒狀的擴散構件。在框體與擴散構件之間設有非活性氣體供給空間。而且，在擴散構件的底面設有開口部。在擴散構件的周壁上設有大量的細孔。將潔淨的非活性氣體導入非活性氣體供給空間並通過細孔向擴散構件供給。潔淨的非活性氣體充滿擴散構件並向下噴出。這樣，防止煙霧附著於窗口13。
另外，本實施方式的照射裝置4構成為照射雷射光L來形成固化層95，但照射裝置4也可照射電子束。例如，照射裝置4也可構成為具有：放出電子的陰極電極、使電子收聚並加速的陽極電極、形成磁場而使電子束的方向朝一方向收聚的螺線管、以及與作為被照射體的材料層93電連接而對與陰極電極之間施加電壓的集電極。
切削裝置5對固化層95進行切削加工。切削裝置5包括：加工頭51，配置在造形室11a內，且內置主軸53；X軸驅動裝置55，使加工頭51沿規定的水平方向即X軸方向移動；Y軸驅動裝置57，使加工頭51沿與X軸方向正交的水平方向即Y軸方向移動；以及Z軸驅動裝置59，使加工頭51沿鉛垂方向即Z軸方向移動。主軸53構成為，能夠安裝端面銑刀等的切削刀具而旋轉。通過此種切削裝置5，也可在三維造形物的造形過程中對固化層95的表面或非主要部分實施切削加工。
非活性氣體供排機構對腔室11供給非活性氣體，並且排出包含煙霧的非活性氣體，將腔室11內維持為潔淨的狀態。非活性氣體供排機構包含非活性氣體供給裝置17、電集塵器6、供給口21a、供給口21b、供給口21c、供給口21d、供給口21e、排出口22a、排出口22b、排出口22c、分隔板23a、上部引導板23b、下部引導板23c、風扇23d、整流板23e以及連接各部的配管。
非活性氣體供給裝置17將規定濃度的非活性氣體供給至腔室11。非活性氣體供給裝置17例如是從周圍的空氣中導出非活性氣體的非活性氣體產生裝置或貯存有非活性氣體的氣瓶。本實施方式的非活性氣體供給裝置17具有第一非活性氣體供給裝置171與第二非活性氣體供給裝置172。理想的是，第一非活性氣體供給裝置171能夠供給濃度比第二非活性氣體供給裝置172高的非活性氣體。本實施方式中，第一非活性氣體供給裝置171為變壓吸附（Pressure Swing Adsorption，PSA）式氮氣產生裝置，第二非活性氣體供給裝置172為膜分離式氮氣產生裝置。另外，非活性氣體供給裝置17也可包含一個非活性氣體供給裝置。非活性氣體是指不與材料層93或固化層95實質上發生反應的氣體，可根據材料粉體的種類從氮氣、氬氣、氦氣等中選擇適當的氣體。
電集塵器6從自腔室11排出的非活性氣體中去除了大部分煙霧後，將非活性氣體返送至腔室11。關於電集塵器6的詳細結構將後述。
供給口21a被設在重塗機頭33的其中一個側面。供給口21b被設於鋪設在與設有供給口21a的一側為相反側的底座台31的端面上的配管。供給口21a以及供給口21b分別連接於第一非活性氣體供給裝置171。根據重塗機頭33的移動位置，擇一性地通過供給口21a或供給口21b來將非活性氣體供給至腔室11。即，當供給口21a處於面對造形區域的位置時，通過供給口21a來供給非活性氣體，當供給口21a處於未面對造形區域的位置時，通過供給口21b來供給非活性氣體。供給口21c被設在設有供給口21b的一側的腔室11的側壁。供給口21c與電集塵器6連接，經由供給口21c，由電集塵器6去除了大部分煙霧的非活性氣體被返送至腔室11。供給口21d被設在腔室11的上表面，且與第一非活性氣體供給裝置171連接。經由供給口21d來對污染防止裝置15的非活性氣體供給空間供給非活性氣體。供給口21e被設在驅動室11b的上部，與第二非活性氣體供給裝置172連接。從第二非活性氣體供給裝置172供給至驅動室11b的非活性氣體通過造形室11a與驅動室11b之間的連通部而被供給至造形室11a內。
以覆蓋與設有供給口21b及供給口21c的一側為相反側的腔室11的側壁的方式而設有分隔板23a。在由分隔板23a與側壁所分隔的空間的腔室11的上表面設有排出口22a，在分隔板23a附近的腔室11的造形區域側的上表面設有排出口22b。而且，在排出口22b之下，以包圍排出口22b的方式而在分隔板23a側設有呈剖面L字狀延伸的上部引導板23b。在分隔板23a的下端，設有下部延伸至造形區域側的下部引導板23c，在分隔板23a與下部引導板23c之間形成規定的間隙。間隙位於比造形室11a的中央更靠下側的高度。在間隙附近，設有將非活性氣體抽吸至由分隔板23a與側壁所分隔的空間的多個風扇23d，在各風扇23d的兩端，設有朝上方向延伸的整流板23e。被送往分隔板23a附近的非活性氣體從間隙或下部引導板23c之下，通過由分隔板23a與側壁所分隔的空間而被送往排出口22a。而且，未從間隙完全回收的非活性氣體沿著分隔板23a上升，由上部引導板23b予以引導而被送往排出口22b。排出口22c被設在重塗機頭33的未設有供給口21a的一側的側面。通過排出口22a、排出口22b以及排出口22c，非活性氣體從腔室11排出並被送往電集塵器6。
以上所示的非活性氣體供排機構的結構不過是一例。對腔室11供給非活性氣體的供給口以及從腔室11排出非活性氣體的排出口的位置、形狀以及個數只要可適當地進行非活性氣體的供排，則可任意地構成。
此處，對本實施方式的電集塵器6的結構進行說明。如圖6所示，電集塵器6包括框體61、氣體入口62、帶電部63、集塵部64、清掃裝置7、儲斗（bucket）65、磁體過濾器8、臭氧去除過濾器66、風扇68以及氣體出口69。本實施方式的電集塵器6是帶電部63與集塵部64一體地形成的、所謂的一段式（柯屈爾（Cottrell）式）的乾式電集塵器。另外，以下，沿著氣體（非活性氣體）的流動方向來定義上游、下游。換言之，將電集塵器6中相對靠近氣體入口62的場所稱作上游側，將電集塵器6中相對靠近氣體出口69的場所稱作下游側。
氣體入口62被設於框體61，與排出口22a、排出口22b、排出口22c連接。將從腔室11排出的包含塵埃的氣體即包含煙霧的非活性氣體供給至氣體入口62，送往框體61內。
帶電部63以及集塵部64是一體地構成，被設在框體61內。如圖6以及圖7所示，每隔規定的間隔而設有多片正極板642，在正極板642上分別安裝有多根針形狀的帶電電極631。正極板642以及帶電電極631能夠通過未圖示的電壓供給部件而帶正電。在正極板642的各間隔內分別設有集塵板641。集塵板641經接地連接，而且構成為可旋轉。
從氣體入口62供給的包含煙霧的非活性氣體被送往帶電部63。帶電部63中的帶電電極631通過電暈放電來使非活性氣體中的煙霧帶正電。經帶正電的煙霧在集塵部64中，因庫侖力而排斥正極板642，並且被拉靠至集塵板641而被捕集。
由集塵部64去除了煙霧的非活性氣體通過磁體過濾器8、臭氧去除過濾器66而被送往氣體出口69。氣體出口69被設於框體61，且與供給口21c連接。這樣，煙霧被去除的非活性氣體從電集塵器6予以排出並被返送至腔室11。
另外，本實施方式中，帶電部63構成為，使作為塵埃的煙霧帶正電，但也可構成為帶負電。而且，也可取代針形狀的帶電電極631而使用金屬細線或刷狀的電極。
清掃裝置7從帶電部63以及集塵部64的至少一者中去除作為塵埃的煙霧，使其恢復捕集能力，從而使得電集塵器6可長時間連續使用。本實施方式的清掃裝置7包含：帶電部清掃裝置71，去除附著於帶電部63的煙霧；以及集塵部清掃裝置73，去除附著於集塵部64的煙霧。
帶電部清掃裝置71例如具有噴嘴711與間歇噴出控制部712。噴嘴711被設在帶電電極631的上方，從噴嘴711向帶電電極631噴出氣體，由此，能夠將附著於帶電部63的帶電電極631的煙霧予以去除。為了將腔室11內保持在規定的非活性氣體環境下，理想的是，從噴嘴711噴出的氣體與供給至腔室11的非活性氣體為同種氣體。本實施方式中，在供給口21a、供給口21b、供給口21d與第一非活性氣體供給裝置171之間設有分支管19，經由分支管19，從第一非活性氣體供給裝置171對噴嘴711供給非活性氣體。而且，理想的是，噴嘴711是由樹脂等的非導電性的原材料來製作，以免噴嘴711與帶電電極631以及正極板642之間產生短路。而且，理想的是構成為，能夠以少的噴嘴711來清洗廣範圍的帶電電極631。例如，作為噴嘴711，如圖6以及圖8中的虛線箭頭所示，使用以覆蓋帶電電極631整體的方式將非活性氣體呈扇狀噴出的扇形噴嘴。間歇噴出控制部712進行控制，以間歇地進行非活性氣體從噴嘴711的噴出。通過間歇地進行非活性氣體的噴出，能夠將比連續噴射時多的流量的非活性氣體斷續地噴射向帶電電極631，從而清掃效率提高。而且，能夠節約用於清掃的非活性氣體。
集塵部清掃裝置73例如具有：以靠近或鄰接集塵板641的側面的方式而設的板狀的刮刀731、以及使集塵板641旋轉的未圖示的馬達。在對集塵部64的集塵板641進行清掃時，集塵板641利用未圖示的馬達而旋轉，所附著的煙霧被刮刀731刮除。
被帶電部清掃裝置71以及集塵部清掃裝置73去除的煙霧掉落至設在帶電部63以及集塵部64下方的儲斗65。
帶電部清掃裝置71以及集塵部清掃裝置73並不限定於所述結構。例如，本實施方式的帶電部清掃裝置71具有呈扇狀地噴出非活性氣體的作為扇形噴嘴的噴嘴711，但也可取代於此而構成為，帶電部清掃裝置71具有對應於帶電電極631的每一列而設在各自上方的、將非活性氣體朝向帶電電極631呈直線噴出的噴嘴。而且，集塵部清掃裝置73也可具有對集塵板641噴出非活性氣體的噴嘴，還可具有對集塵板641給予振動的捶打裝置。而且，清掃裝置7也可僅包含帶電部清掃裝置71與集塵部清掃裝置73中的其中任一個。
在通過清掃裝置7進行清掃時，理想的是，對正極板642以及帶電電極631的帶電暫時停止。此時，集塵能力會暫時下降，因此理想的是，清掃時不在層疊造形裝置1中進行固化層95的形成。換言之，理想的是，清掃裝置7對帶電部63或集塵部64的清掃是在未進行固化層95的形成時，例如在材料層93的形成時或對固化層95的切削加工時實施。
此處，對磁體過濾器8以及臭氧去除過濾器66的結構進行詳述。磁體過濾器8設在比集塵部64更靠下游側的框體61內。臭氧去除過濾器66設在比磁體過濾器8更靠下游側的框體61內。
磁體過濾器8具有多個磁鐵板81，多個磁鐵板81是隔開規定間隔而配置。當塵埃為磁性體時，未被集塵部64捕集乾淨的塵埃或在由清掃裝置7進行清掃時二次飛散的塵埃在通過磁鐵板81之間時，借助磁力而被磁鐵板81捕集。這樣，防止二次飛散的塵埃附著在位於磁體過濾器8下游的臭氧去除過濾器66而造成堵塞。另外，優選的是，多個磁鐵板81中的彼此鄰接的磁鐵板81是以不同的極性彼此相對的方式而配置。換言之，各磁鐵板81中，將N極以及S極的方向統一為一方向。這樣，能夠增加各磁鐵板81之間的磁通密度，從而能夠更佳地進行塵埃的捕集。
而且，多個磁鐵板81被配置成，在比中央更靠上側處，下游側朝下方傾斜，在比中央更靠下側處，下游側朝上方傾斜。具體而言，本實施方式中，磁體過濾器8具有六片磁鐵板81，位於比中央更靠上側的三片磁鐵板81以下游側朝下方傾斜的方式而配置，位於比中央更靠下側的三片磁鐵板81以下游側朝上方傾斜的方式而配置。通過像這樣配置磁鐵板81，從而磁體過濾器8相對於臭氧去除過濾器66作為整流板發揮作用。即，通過了磁鐵板81的氣體擴散，在臭氧去除過濾器66的過濾區域中被大致均勻地供給至更廣的面積。由此，能夠防止臭氧去除過濾器66局部地發生劣化，從而能夠使臭氧去除過濾器66長壽命化。
為了便於維護，如圖9所示，磁體過濾器8以及臭氧去除過濾器66也可被安裝於可從框體61裝卸地構成的框架83。在框架83形成有可插通磁鐵板81的切口831，磁鐵板81插通至切口831而安裝於框架83。例如，通過使框架83包含磁性體，從而能夠將磁鐵板81利用磁力來固定於框架83，磁鐵板81的裝卸變得容易。
本實施方式的磁鐵板81是具有永磁鐵811而構成。更具體而言，如圖10所示，各磁鐵板81具有永磁鐵811、以及保持永磁鐵811並包含磁性體的殼體812。根據此種結構，能夠防止塵埃直接附著於永磁鐵811，並且通過從殼體812拆卸永磁鐵811，從而能夠容易地去除附著於殼體812的塵埃。
臭氧去除過濾器66從氣體中去除電暈放電時可能產生的臭氧。臭氧去除過濾器66例如是在具有蜂窩結構的載體中填充活性炭或者二氧化錳或氧化鎳等臭氧分解催化劑而構成。通過了臭氧去除過濾器66的臭氧將被活性炭或臭氧分解催化劑分解。
風扇68送出電集塵器6內部的氣體而生成氣流，使氣體有效率地循環。風扇68只要被設在框體61內的任意位置即可，但為了防止塵埃造成的污染與臭氧造成的劣化，理想的是設於比臭氧去除過濾器66更靠下游側。另外，在利用清掃裝置7進行清掃時，風扇68停止。
像以上那樣，從氣體入口62供給的氣體去除了塵埃以及臭氧，並從氣體出口69予以排出。
此處，對圖11所示的變形例的電集塵器6進行說明。圖11中，對於與所述實施方式中所示的結構相同或等同的構成部分賦予相同的符號，並省略詳細說明。
變形例的電集塵器6是帶電部63與集塵部64獨立地形成的、所謂的二段式（佩妮（Penny）式）的乾式電集塵器。即，電集塵器6也可包括：帶電部63，相向配置有經帶正電的針形狀的帶電電極631與經接地連接的相向電極632；以及集塵部64，交替地設有經帶正電的正極板642與經接地連接的集塵板641。另外，帶電部63也可構成為，使作為塵埃的煙霧帶負電。
變形例的多個磁鐵板81分別具有電磁鐵。通過使電磁鐵通電而產生磁場，從而能夠去除作為磁性體的塵埃。另外，在使磁鐵板81包含電磁鐵的情況下，理想的是構成為，在比集塵部64更靠下游側的框體61內，設置對氣體的氧濃度進行測定的氧濃度計67，當氣體的氧濃度高於塵埃著火的極限氧濃度時，不進行對電磁鐵的通電。
本發明如已具體表示了若干示例那樣，並不限定於附圖所示的實施方式的結構，可在不脫離本發明的技術思想的範圍內進行各種變形或應用。
1:層疊造形裝置 3:材料層形成裝置 4:照射裝置 5:切削裝置 6:電集塵器 7:清掃裝置 8:磁體過濾器 11:腔室 11a:造形室 11b:驅動室 11c:蛇腹 13:窗口 15:污染防止裝置 17:非活性氣體供給裝置 19:分支管 21a～21e:供給口 22a～22c:排出口 23a:分隔板 23b:上部引導板 23c:下部引導板 23d:風扇 23e:整流板 31:底座台 33:重塗機頭 35、731:刮刀 37:造形平臺 39:造形平臺驅動裝置 41:光源 43:準直器 45:聚焦控制單元 47:掃描裝置 51:加工頭 53:主軸 55:X軸驅動裝置 57:Y軸驅動裝置 59:Z軸驅動裝置 61:框體 62:氣體入口 63:帶電部 64:集塵部 65:儲斗 66:臭氧去除過濾器 67:氧濃度計 68:風扇 69:氣體出口 71:帶電部清掃裝置 73:集塵部清掃裝置 81:磁鐵板 83:框架 91:底板 93:材料層 95:固化層 171:第一非活性氣體供給裝置 172:第二非活性氣體供給裝置 331:材料收容部 332:材料供給口 333:材料排出口 471:X軸檢流鏡 472:Y軸檢流鏡 631:帶電電極 632:相向電極
641:集塵板
642:正極板
711:噴嘴
712:間歇噴出控制部
811:永磁鐵
812:殼體
831:切口
L:雷射光
VII、VIII:箭頭
圖1是本實施方式的層疊造形裝置的側面圖。 圖2是圖1的II-II箭頭圖。 圖3是從上方觀察重塗機頭的立體圖。 圖4是從下方觀察重塗機頭的立體圖。 圖5是照射裝置的概略結構圖。 圖6是本實施方式的電集塵器的概略結構圖。 圖7是圖6的VII-VII箭頭圖。 圖8是圖6的VIII-VIII箭頭圖。 圖9是磁體過濾器的立體圖。 圖10是本實施方式的磁鐵板的剖面圖。 圖11是變形例的電集塵器的概略結構圖。
6:電集塵器
7:清掃裝置
8:磁體過濾器
61:框體
62:氣體入口
63:帶電部
64:集塵部
65:儲斗
66:臭氧去除過濾器
68:風扇
69:氣體出口
71:帶電部清掃裝置
73:集塵部清掃裝置
81:磁鐵板
83:框架
631:帶電電極
641:集塵板
642:正極板
711:噴嘴
712:間歇噴出控制部
731:刮刀
VII、VIII:箭頭

Claims (12)

  1. 一種電集塵器，包括：框體；氣體入口，設於所述框體，供給包含作為磁性體的塵埃的氣體；帶電部，設於所述框體內，使所述塵埃帶正電或負電；集塵部，設於所述框體內，捕集經帶電的所述塵埃；清掃裝置，設於所述框體，包含去除附著於所述帶電部的所述塵埃的帶電部清掃裝置以及去除附著於所述集塵部的所述塵埃的集塵部清掃裝置中的至少一者；磁體過濾器，設在比所述集塵部更靠下游側的所述框體內；臭氧去除過濾器，設在比所述磁體過濾器更靠下游側的所述框體內，從所述氣體中去除臭氧；以及氣體出口，設於所述框體，排出所述塵埃以及所述臭氧已被去除的所述氣體，所述磁體過濾器具有以下述方式配置的結構，即，多個磁鐵板隔開規定間隔而配置，並且在設於比中央更靠上側的各磁鐵板中，各自的下游側朝下方傾斜，在設於比中央更靠下側的各磁鐵板中，各自的下游側朝上方傾斜。
  2. 根據請求項1所述的電集塵器，其中所述多個磁鐵板分別具有永磁鐵、以及保持所述永磁鐵且包含磁性體的殼體。
  3. 根據請求項1所述的電集塵器，其中 所述多個磁鐵板分別具有電磁鐵。
  4. 根據請求項3所述的電集塵器，還包括：氧濃度計，設在比所述集塵部更靠下游側的所述框體內，測定所述氣體的氧濃度，構成為，當所述氣體的氧濃度比所述塵埃著火的極限氧濃度高時，不進行對所述電磁鐵的通電。
  5. 根據請求項1所述的電集塵器，其中所述多個磁鐵板的彼此鄰接的磁鐵板是以不同的極性彼此相對的方式而配置。
  6. 根據請求項1所述的電集塵器，還包括：框架，保持所述磁體過濾器以及所述臭氧去除過濾器，且從所述框體裝卸自如地構成。
  7. 根據請求項6所述的電集塵器，其中在所述框架形成有能夠使所述多個磁鐵板插通的切口，所述多個磁鐵板插通所述切口並利用磁力而固定於所述框架。
  8. 根據請求項1所述的電集塵器，其中所述臭氧去除過濾器包含活性炭或臭氧分解催化劑。
  9. 根據請求項1所述的電集塵器，還包括：風扇，設在比所述框體內的所述臭氧去除過濾器更靠下游側，且送出所述氣體。
  10. 一種層疊造形裝置，包括所述請求項1的電集塵器，其中 所述層疊造形裝置包括：腔室，覆蓋規定的造形區域且充滿規定濃度的非活性氣體；照射裝置，對形成於所述造形區域的材料層照射雷射光或電子束而形成固化層；供給口，對所述腔室供給所述非活性氣體；排出口，從所述腔室排出所述非活性氣體；以及，非活性氣體供給裝置，向所述供給口供給所述非活性氣體，所述氣體為所述非活性氣體，所述塵埃是在所述固化層的形成時所產生的煙霧，從所述排出口排出的所述非活性氣體被送往所述電集塵器，在去除了所述煙霧後，被返送至所述供給口。
  11. 根據請求項10所述的層疊造形裝置，其中所述層疊造形裝置還包括對所述固化層進行切削加工的切削裝置。
  12. 根據請求項10所述的層疊造形裝置，其中所述清掃裝置對所述帶電部或所述集塵部的清掃是在未進行所述固化層的形成時實施。
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