TWI788676B - 轉運器控制裝置及具有其之系統 - Google Patents

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劉守鍾
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韓商細美事有限公司
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Abstract

本發明提供一種轉運器控制系統，其係斟酌是否可連結轉運及是否有轉運阻塞可能性等因素，而將多重工作分配給OHT者。該轉運器控制系統包含複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具；及一轉運器控制裝置，用以控制複數個轉運器，並在複數個轉運器中選定任一轉運器使其執行複數個工作，而該轉運器控制裝置係利用第一因素及第二因素兩者至少其中之一來決定任一轉運器；其中，該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表在轉運過程中是否有轉運阻塞可能性。

Description

轉運器控制裝置及具有其之系統
本發明係有關一種控制轉運器(transporter)之裝置及具有該裝置之轉運器控制系統，尤指一種轉運器控制裝置，用以控制用於半導體元件製程之轉運器，以及具有該裝置之轉運器控制系統。
晶圓(wafer)可在具備生產線之無塵室(clean room)內，經由多元製程而製得。此時，晶圓可容置於載具(carrier)，並透過配置於無塵室天花板之OHT(Overhead Hoist Transport)轉運至各製程設備。
而OHT控制系統(OHT Control System，簡稱OCS)係在生成配合工作(Job)之裝載與卸載(load and unload)命令時，斟酌OHT之狀態(例如：可工作狀態、目前位置等)，將需要處理之工作一一分配給離系統本身最近的OHT。
然而，OHT控制系統對OHT分配工作時，卻不會考量卸載(Unload)以後之狀況。因此，當工作集中在特定區間時，該區間可能會發生OHT擁擠的現象，並且還可能因OHT阻塞而發生工作延遲的狀況。
有鑒於上述習知技術之問題，本發明之目的在於提供一種轉運器控制系統，其係斟酌是否可連結轉運及是否有轉運阻塞可能性等因素，而將多重工作分配給OHT者。
又，本發明之另一目的，在於提供一種轉運器控制裝置，其係斟酌是否可連結轉運及是否有轉運阻塞可能性等因素，而將多重工作分配給OHT者。
本發明之目的，並非限定於上述目的，且該發明所屬技術領域中具有通常知識者，應可藉由以下說明內容明確地理解本發明所未提及之進一步目的。
為達成上述目的，本發明之轉運器控制系統之一方面(aspect)包含複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具(carrier)；及一轉運器控制裝置，用以控制複數個轉運器，並在複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數工作(Job)，且該轉運器控制裝置利用第一因素及第二因素兩者至少其中之一來選定任一轉運器；其中，該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表在轉運過程中是否有轉運阻塞。
該轉運器控制裝置利用該第一因素來決定該任一轉運器時，可根據該複數個工作是否被連續安排在單一路徑上，而決定該任一轉運器。
該轉運器控制裝置進一步利用第二因素來決定該任一轉運器時，可進一步斟酌該複數個轉運器中任一者(即第一轉運器)為執行該複數個工作而移動之第一移動路徑上，是否存在著該複數個轉運器中另一者(即第二轉運器)，而決定該任一轉運器。
該轉運器控制裝置可進一步在該第二轉運器是否處於閒置狀態、該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上，以及當該第二轉運 器位於該第一移動路徑上時，是否能使該第二轉運器移動中，斟酌至少其中之一而決定該任一轉運器。
該轉運器控制裝置進一步斟酌該第二轉運器是否處於閒置狀態，以及該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上，而決定該任一轉運器時，可先斟酌該第二轉運器是否處於閒置狀態，之後再考量該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上。
該轉運器控制裝置利用該第一因素來決定該任一轉運器時，可根據該複數個工作是否以各轉運器之行駛路徑為基礎，被連續安排在特定轉運器之行駛路徑上，而決定該任一轉運器。
該轉運器控制裝置利用該第二因素來決定任一轉運器時，可根據該複數個轉運器中任一者(即第一轉運器)為執行該複數個工作而移動之第一移動路徑上，是否存在著該複數個轉運器中另一者(即第二轉運器)，而判斷轉運阻塞可能性，並根據判斷該轉運阻塞可能性後所獲得之結果，而決定該任一轉運器。
該轉運器控制裝置可進一步在該第二轉運器是否處於閒置狀態，以及該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上中，斟酌至少其中之一而判斷該轉運阻塞可能性。
該轉運器控制裝置進一步斟酌該第二轉運器是否處於閒置狀態，及該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上，而判斷該轉運阻塞可能性時，可先斟酌該第二轉運器是否處於閒置狀態，之後再考量該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上。
該轉運器控制裝置利用該第二因素來決定該任一轉運器時，可根據該複數個工作是否能夠在無阻塞狀態下，以各轉運器之行駛路徑為基礎，連續處理該複數個工作，而決定該任一轉運器。
該轉運器控制裝置可對該複數個轉運器計算出其移動距離，即自該複數個轉運器停止移動的地點至為執行該複數個工作而出發的地點間之距離，而賦予加權值，並由依據該加權值選定之轉運器決定其是否適合作為該任一轉運器。
該轉運器控制裝置判斷該複數個轉運器是否處於閒置狀態後，便可計算出該移動距離。
當轉運器處於閒置狀態時，該轉運器控制裝置可將當前位置作為轉運器停止移動之地點，而計算出該移動距離；當轉運器處於非閒置狀態時，該轉運器控制裝置可將工作結束地點作為該停止移動之地點，而計算出該移動距離。
該轉運器控制裝置可對該移動距離相對較短的轉運器，賦予更高的加權值。
該轉運器控制裝置可根據該複數個轉運器是否處於閒置狀態而賦予加權值，並由依據該加權值選定之轉運器決定其是否適合作為該任一轉運器。
當該複數個轉運器中至少兩個處於閒置狀態時，該轉運器控制裝置可對該處於閒置狀態之轉運器計算出其移動距離，即自該處於閒置狀態之轉運器停止移動的地點起至為執行該複數個工作而出發的地點間之距離，而重新賦予加權值，並由依據該加權值選定之轉運器決定其是否適合作為該任一轉運器。
為達成上述目的，本發明之轉運器控制系統之另一方面包含複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具；及一轉運器控制裝置，用以控制該複數個轉運器，並在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作，而該轉運器控制裝置係利用第一因素及第二因素兩者至少其中之一來決定任一轉運器；其中，該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表在轉運過 程中是否有轉運阻塞可能性。而且，該轉運器控制裝置利用該第一因素來決定該任一轉運器時，會根據該複數個工作是否以各轉運器之行駛路徑為基礎，被連續安排在特定轉運器之行駛路徑上，而決定該任一轉運器；利用第二因素來決定該任一轉運器時，則會根據特定轉運器是否能夠在無阻塞狀態下，以各轉運器之行駛路徑為基礎，連續處理該複數個工作，而決定該任一轉運器。
為達成上述目的，本發明之轉運器控制裝置之一方面係用以控制複數個轉運容置有晶圓的載具之轉運器，在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作，並利用第一因素及第二因素兩者至少其中之一來決定該任一轉運器；其中，該第一因素代表是否可連結轉運，該第二因素則代表在轉運過程中是否有轉運阻塞。
其他實施例之具體事項，則包含於發明說明書及圖式。
100:轉運器控制系統
110:轉運器
110a:第一轉運器
110b:第二轉運器
110c:第三轉運器
120:轉運器控制裝置
130:資料庫
210:機身部
211:夾持部
212:升降部
220:驅動控制部
230:驅動輪
240:導輪
250:載具
260:軌道
270:軌道支撐部
310:第一地點
320:第二地點
330:第三地點
340:第四地點
S410:步驟
S420:步驟
S430:步驟
S440:步驟
S510:步驟
S511:步驟
S512:步驟
S513:步驟
S514:步驟
S515:步驟
S520:步驟
S530:步驟
S610:步驟
S620:步驟
S620’:步驟
S630:步驟
S640:步驟
S650:步驟
S660:步驟
S670:步驟
S710:步驟
S720:步驟
S730:步驟
S740:步驟
S750:步驟
S760:步驟
S770:步驟
S780:步驟
圖1係本發明一較佳實施例之轉運器控制系統之概略概念圖。
圖2係構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器，設置於軌道上之正面圖。
圖3係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(一)。
圖4係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(二)。
圖5係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(三)。
圖6係圖5所示轉運器控制裝置之轉運器決定方法之概略流程圖。
圖7係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(四)。
圖8係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(五)。
圖9係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(六)。
圖10係圖9所示轉運器控制裝置之轉運器決定方法之概略流程圖。
圖11係圖9所示轉運器控制系統之轉運阻塞可能性判斷方法之概略流程圖。
圖12係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器選定方法例示圖(一)。
圖13係圖12所示轉運器控制裝置之轉運器選定方法之概略流程圖(一)。
圖14係圖12所示轉運器控制裝置之轉運器選定方法之概略流程圖(一)。
以下，參考所附圖式說明本發明之較佳實施例。為使本發明之優點、特徵及其達成方法更明顯易懂，下文特舉本發明之較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明。然而，本發明並非侷限於以下所揭示之實施例，而是能以各種不同形式具體實現，且本實施例之提供目的，僅在於使本發明之揭示內容完整，並向本發明所屬領域中具有通常知識者具體說明發明之範疇，且以請求項之範疇來界定本發明。發明內容所涵蓋之相同元件符號，指相同構件。
本發明所稱元件(elements)或不同層之元件或層之「頂部(on)」或「上方(on)」者，除了其他元件或層之上方以外，更包含其他層或其他元件介於其中。相反地，本發明所稱元件「直接在上方(directly on)」或「正上方」，則代表其他元件或層不介於其中。
就空間而言，相對性用語「下方(below)」、「下方(beneath)」、「底部(lower)」、「上方(above)」、「頂部(upper)」等，如圖所示，可使用於用以對某一元件或構件與其他元素或構件間相互關係作簡單描述。就空間而言，附加在圖式所示方向使用時或作動時，相對性用語應被理解為包含元件其他方向之用語。舉例而言，如果使圖式所示元件上下顛倒時，描述為在其他元件之「下方(below)」或「下方(beneath)」者，可被放置於在其他元件之「上方(above)」。因此，例示性用語「下方」，可同時包含下方與上方之意。元件還可配向於其他方向，鑑於此，就空間而言，相對性用語可根據配向來對其作出解釋。
第一、第二等用語係用以描述各種元件、構件及/或單元，但該些元件、構件及/或單元並非受限於該些用語。該些用語之使用目的，僅在於用以區分某一元件、構件或單元與其他元件、構件或單元。鑑於此，以下所述第一元件、第一構件或第一單元在本發明之技術思想內，亦可為第二元件、第二構件或第二單元。
本說明書所使用之用語，係用以說明各實施例，並非用以限制本發明之技術範疇。在本說明書中，除非就單數形式另有特別說明，否則也包含複數形式。本說明書所使用之「包括(comprises)」及/或「包含(comprising)」，不排除所述構件、步驟、動作及/或一個以上之其他構件、步驟、動作及/或元件之存在或新增。
除非另有界定，否則本說明書所使用之所有用語(包括技術及科學用語)可被作為使本發明所屬領域中具有通常知識者能夠共同理解之意涵。又，一般在辭典內被界定之用語，除非另有明確且特別界定，否則不應做過度解釋。
以下，參考所附圖式詳細說明本發明之各實施例，在圖式中，無關乎圖式符號，相同或對應之構件，均賦予相同元件符號，並省略就此有關之重複說明。
本發明係有關一種轉運器控制系統及方法，用以將多重工作(Job)分配給例如OHT(Overhead Hoist Transport)等轉運器者。本發明之轉運器控制系統係斟酌是否可連結轉運、是否有轉運阻塞可能性等因素來決定轉運器後，可將多重工作分配給轉運器者。以下，參考所附圖式詳細說明本發明。
圖1係本發明一較佳實施例之轉運器控制系統之概略概念圖。
根據圖1，該轉運器控制系統100可包含一轉運器110、一轉運器控制裝置120及一資料庫130。
該轉運器110係將鎖定對象轉運至目的地者。在本實施例中，該轉運器110可藉由OHT來具體實現。
藉由OHT來具體實現時，該轉運器110可在無塵室(clean room)內，將容置有晶圓(wafer)之載具(carrier)轉運至執行半導體元件製程之各種設備。此一情形，該轉運器110，如圖2所示，可包含一機身部210、一驅動控制部220、一驅動輪(driving wheel)230及一導輪(guide wheel)240等。
圖2係構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器，設置於軌道上之正面圖。以下說明請參閱圖2。
該機身部210係用以夾持(gripping)載具250後轉運至目的地(例如：執行下一製程之設備)者。該機身部210設於驅動控制部220之底部，並包含一夾持部211與一升降部212。
該夾持部211係用以夾持載具250者。該夾持部211可被升降部212帶動而移送至載具250所在方向，而夾持位於轉運器110下方之載具250，且該夾持部211可為例如手柄(hand gripper)。
該升降部212係用以使夾持部211朝載具250所在方向下降，以使夾持部211得以夾持載具250者。當載具250被夾持部211夾持時，該升降部212可使夾持載具250之夾持部211朝無塵室之天花板方向上升。
該載具250被夾持部211夾持後，可被升降部212帶動而朝無塵室之天花板方向上升，並以此狀態轉運至目的地。當轉運器110抵達目的地時，該升降部212可使載具250下降，而將載具250移送至執行下一個製程之設備。該升降部212可為例如起重機(hoist)。
此外，在本實施例中，該轉運器110亦可在裝載(loading)載具250之狀態下，將載具250轉運至目的地。此一情形，該機身部210可具有容置部(未圖示)以取代夾持部211。
該容置部係提供用以容置載具250之空間者。該容置部可為上面開放之籃子(basket)形態。然而，本實施例並不受限於此。該容置部亦可為其側面設有門扇之櫥櫃(cabinet)形態。
該驅動控制部220係用以控制沿著軌道260移動之驅動輪230者。該驅動控制部220可透過兩側面與一對驅動輪230結合，並透過底面與機身部210結合。該驅動控制部220亦可扮演用以支撐位於底部的機身部210之角色。
該驅動控制部220可包含一驅動馬達(未圖示)、一驅動軸(未圖示)及一調速部(未圖示)等。
該驅動馬達係產生驅動力者。
該驅動軸係將驅動馬達所產生之驅動力傳遞給驅動輪230者。
該調速部係用以調節驅動輪230之轉速者。
該驅動控制部220可透過驅動馬達、驅動軸等對驅動輪230提供驅動力，並可透過調速部控制驅動輪230之轉速。
該驅動輪230係利用驅動控制部220所提供之驅動力來在軌道260上轉動者。為此，該驅動輪230可在驅動控制部220之兩側面設置至少一對。
該導輪240係轉運器110於軌道260上行駛時，用以防止自軌道260脫離者。為此，該導輪240可在驅動控制部220之底面兩側，往驅動輪230垂直方向設置至少一對。
該軌道260係用以提供可使轉運器110移動之路徑者。該軌道260可設置於具有半導體元件[例如：晶圓(wafer)]生產線的無塵室之天花板(ceiling)。
無塵室之天花板可供設置軌道260與軌道支撐部270。此時，該軌道260可分別結合於固定在無塵室天花板之軌道支撐部270之兩側呈一對。
該軌道260可根據無塵室內之佈局，呈直線區間、曲線區間、傾斜區間、分支區間等各種形態混合而成。然而，本實施例並不受限於此。該軌道260亦可僅以單一形態區間(舉例：直線區間)而成。
該軌道支撐部270係用以支撐軌道260而設置於無塵室之天花板者。該軌道支撐部270可呈帽子(cap)形態，例如：∩形態或Ⅱ形態。
該轉運器110可進一步包含電纜固定部(未圖示)、補正部(未圖示)等。
該電纜固定部係用以固定配置於軌道260下方之電纜者。該電纜固定部可為例如李茲線支架(litz wire supporter)。
該補正部係將載具250轉運至目的地時，用以補正載具250之位置者。該補正部可配置於機身部210與驅動控制部220之間，藉以補正載具250之位置。
該補正部可包含一滑件(slider)與一轉子(rotator)。該滑件係使載具250往上方、下方、左方、右方等方向移動者。該滑件可設置於驅動控制部220之下面。
該轉子係使載具250往順時針方向、逆時針方向等方向旋轉者。該轉子可設置於滑件之下方。
請再次參閱圖1。
該轉運器110可為複數個而配置於軌道260上。此時，各該轉運器110可根據轉運器控制裝置120所傳輸之資訊，將鎖定物件轉運至目的地。
該轉運器110可與轉運器控制裝置120進行無線通訊，藉以接受轉運器控制裝置120所傳輸之資訊。然而，本實施例並不受限於此。該轉運器110亦可利用有線方式與轉運器控制裝置120連接，並透過有線訊號來接受轉運器控制裝置120所傳輸之資訊。
該轉運器控制裝置120係用以控制轉運器110者。該轉運器控制裝置120可為搭載具有演算功能處理器之電腦。
該轉運器控制裝置120所執行之功能，係在複數個轉運器110中，決定預計分配複數個工作之轉運器110。該轉運器控制裝置120可斟酌是否可連結轉運、是否有轉運阻塞可能性等因素，而決定預計分配複數個工作之轉運器110。
該轉運器控制裝置120可根據是否可連結轉運來決定預計分配複數個工作之轉運器110。此一情形，該轉運器控制裝置120可斟酌轉運器110之行駛方向，而根據複數個工作是否被連續安排在單一路徑上，而決定預計分配複數個工作之轉運器110。
圖3係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(一)；圖4係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(二)。
以下說明請參閱圖3及圖4，在以下說明中，將第一載具由第一地點310轉運至第二地點320之工作，定義為第一工作；將第二載具由第三地點330轉運至第四地點340之工作，定義為第二工作。
首先，請參閱圖3，基於第一轉運器110a行駛方向之考量下，該第一工作及該第二工作配置於相同路徑上。即基於行駛方向之考量下，第一轉運器110a可依序執行第一工作及第二工作。鑑於此，在此情形下，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a鎖定為預計分配複數個工作之對象。
相反地，請參閱圖4，基於第一轉運器110a行駛方向之考量下，該第一工作及該第二工作並未配置於相同路徑上。即基於行駛方向之考量下，該第一轉運器110a無法依序執行第一工作及第二工作。鑑於此，在此情形下，轉運器控制裝置120不會將第一轉運器110a鎖定為預計分配複數個工作之對象。
另外，該轉運器控制裝置120亦可根據第二轉運器是否位於第一轉運器110a為執行複數個工作而移動之路徑上，而判斷第一轉運器110a是否可連結轉運。即判斷第一轉運器110a是否可連結轉運時，該轉運器控制裝置120亦可考量轉運阻塞。以下就此進行說明。
圖5係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(三)；圖6係圖5所示轉運器控制裝置之轉運器決定方法之概略流程圖。以下說明請參閱圖5及圖6。
S410：首先，該轉運器控制裝置120判斷第二轉運器110b是否位於第一轉運器110a為執行第一工作及第二工作而移動之路徑上。
S420：當第二轉運器110b沒有位於第一轉運器110a之移動路徑上時，第一轉運器110a便能依序執行第一工作及第二工作。鑑於此，在此情形下，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a鎖定為預計分配第一工作及第二工作之對象。
S430：相反地，若被判定為第二轉運器110b位於第一轉運器110a之移動路徑上時，該轉運器控制裝置120則會判斷第二轉運器110b是否處於閒置(idle)狀態。
當第二轉運器110b未處於閒置狀態(即第二轉運器110b為執行被指定工作而處於移動狀態)時，即使第二轉運器110b位於第一轉運器110a之移動路徑上，第一轉運器110a仍能依序執行第一工作及第二工作。鑑於此，在此情形下，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a鎖定為預計分配第一工作及第二工作之對象(S420)。
S440：相反地，當第二轉運器110b處於閒置狀態時，第一轉運器110a因第二轉運器110b而無法依序執行第一工作及第二工作。鑑於此，在此情形下，該轉運器控制裝置120不會將第一轉運器110a鎖定為預計分配第一工作及第二工作之對象。
另外，當第二轉運器110b處於閒置狀態時，該轉運器控制裝置120，如圖7所示，亦可使第二轉運器110b移動，進而使第一轉運器110a得以依序執行第一工作及第二工作。圖7係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(四)。
另外，如圖8所示，即使第二轉運器110b為執行被指定工作而處於移動狀態，第二轉運器110b完成該工作而進入閒置狀態之地點350，亦可位於第一轉運器110a之移動路徑上。圖8係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(五)。
如上述情形，該轉運器控制裝置120會判斷第二轉運器110b之作業結束地點是否位於第一轉運器110a之移動路徑上。
若被判定為第二轉運器110b之作業結束地點不位於第一轉運器110a之移動路徑上時，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a鎖定為預計分配第一工作及第二工作之對象。
相反地，若被判定為第二轉運器110b之作業結束地點位於第一轉運器110a之移動路徑上時，該轉運器控制裝置120不會將第一轉運器110a鎖定為預計分配第一工作及第二工作之對象。該轉運器控制裝置120亦可使第二轉運器110b移動，並將第一轉運器110a鎖定為預計分配第一工作及第二工作之對象。
以上，參照圖3及圖4，將是否可連結轉運作為主要因素，針對預計分配複數個工作之轉運器110決定方法作出說明。此外，參照圖5至圖8，將是否可連結轉運作為主要因素，並將轉運阻塞作為附加因素，亦針對預計分配複數個工作的轉運器110之決定方法作出說明。
然而，本實施例並非受限於此。本發明之轉運器控制裝置120亦可將轉運阻塞作為主要因素，而決定預計分配複數個工作之轉運器110。此一情形，該轉運器控制裝置120亦可鑒於轉運器110之行駛方向，根據轉運器110是否能夠在無阻塞情形下，連續執行複數個工作，而決定預計分配複數個工作之轉運器110。以下就此進行說明。
圖9係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器決定方法例示圖(六)；圖10係圖9所示轉運器控制裝置之轉運器決定方法之概略流程圖。以下說明請參閱圖9及圖10。
S510：首先，該轉運器控制裝置120在第一轉運器110a依序執行第一工作及第二工作時，判斷是否有轉運阻塞可能性。此一情形，該轉運器控制裝置120會依下列順序來判斷第一轉運器110a是否有轉運阻塞可能性。
圖11係圖9所示轉運器控制系統之轉運阻塞可能性判斷方法之概略流程圖。以下說明請參閱圖9及圖11。
S511：首先，該轉運器控制裝置120會判斷第二轉運器110b是否位於第一轉運器110a為依序執行第一工作及第二工作而移動之路徑上。
S512：若被判定為第二轉運器110b位於第一轉運器110a之移動路徑上時，該轉運器控制裝置120會認定第一轉運器110a為有轉運阻塞可能性者。
S513：相反地，若被判定為第二轉運器110b沒有位於第一轉運器110a之移動路徑上時，該轉運器控制裝置120則會判斷第二轉運器110b是否處於閒置狀態。
S514：當第二轉運器110b被判定為處於閒置狀態時，第二轉運器110b不可能會進入第一轉運器110a之移動路徑上，因此該轉運器控制裝置120會認定第一轉運器110a為無轉運阻塞可能性者。
S515：相反地，當第二轉運器110b被判定為正在執行被指定之工作時，該轉運器控制裝置120則會判斷第二轉運器110b之作業結束地點是否位於第一轉運器110a之移動路徑上。
S514：當第二轉運器110b之作業結束地點被判定為沒有位於第一轉運器110a之移動路徑上時，該轉運器控制裝置120會認定第一轉運器110a為無轉運阻塞可能性者。
S512：相反地，當第二轉運器110b之作業結束地點被判定為位於第一轉運器110a之移動路徑上時，該轉運器控制裝置120則會認定第一轉運器110a為有轉運阻塞可能性者。
請再次參閱圖9及圖10。
S520：當第一轉運器110a被判定為無轉運阻塞可能性時，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a鎖定為預計分配複數個工作之對象。
S530：相反地，當第一轉運器110a被判定為有轉運阻塞可能性時，該轉運器控制裝置120則不會將第一轉運器110a鎖定為預計分配複數個工作之對象。另外，該轉運器控制裝置120亦可使第二轉運器110b移動，進而將第一轉運器110a鎖定為預計分配複數個工作之對象。
以上，參照圖3至圖11，將是否可連接轉運、轉運阻塞等因素作為主要因素，針對預計分配複數個工作之轉運器110決定方法作出說明。
在本實施例中，該轉運器控制裝置120可在複數個轉運器110選擇其中任一轉運器110，進而決定是否將該第一轉運器110鎖定為預計分配複數個工作之對象，抑或將其排除在預計分配複數個工作之對象之外。
在複數個轉運器110中選擇其中任一轉運器110時，可先將複數個轉運器110按照離第一工作起始地點(即第一地點310)最近者次序排列後，再依據經排列之次序來選擇其中任一轉運器110。以下就此進行說明。
另外，該轉運器控制裝置120亦可在複數個轉運器110中隨機選擇其中任一轉運器110。
圖12係用以說明構成圖1所示轉運器控制系統之轉運器控制裝置之轉運器選定方法例示圖(一)；圖13係圖12所示轉運器控制裝置之轉運器選定方法之概略流程圖(一)。
在以下說明中，將會參照圖12及圖13，以轉運器控制系統100具有第一轉運器110a、第二轉運器110b、第三轉運器110c等三個轉運器110a、110b、110c之情形為例進行說明。
然而，本實施例並非受限於此。即在本實施例中，該轉運器控制系統100可具有兩個轉運器，亦可具有四個以上之轉運器。
S610：該轉運器控制裝置120判斷第一轉運器110a是否處於閒置狀態。
S620：當第一轉運器110a被判定為處於閒置狀態時，該轉運器控制裝置120會計算自第一轉運器110a之當前位置至第一工作起始地點(即第一地點310)間之距離(cost)。
S630：之後，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a之當前位置與第一地點310間之距離，作為第一轉運器110a之移動距離。
S620’：相反地，當第一轉運器110a被判定為不處於閒置狀態(即第一轉運器110a被判定為正在執行被指定之工作)時，該轉運器控制裝置120則會計算自第一轉運器110a之作業結束地點至第一地點310間之距離。
S630：之後，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a之作業結束地點與第一地點310間之距離，作為第一轉運器110a之移動距離。
S640、S650：之後，該轉運器控制裝置120會將移動距離計算對象依序變更為第二轉運器110b、第三轉運器110c等；S610~S650：並使用與第一轉運器110a情形相同之方法，依序計算出第二轉運器110b之移動距離、第三轉運器110c之移動距離等。
S660：當第一轉運器110a之移動距離、第二轉運器110b之移動距離、第三轉運器110c之移動距離等全部被算出後，該轉運器控制裝置120便會依據移動距離較短的順序，而對各轉運器(110a、110b、110c)賦予加權值。
舉例而言，當移動距離較短者依序為第一轉運器110a、第二轉運器110b、第三轉運器110c時，該轉運器控制裝置120可對第一轉運器110a賦予最高的加權值，接著對第二轉運器110b賦予次高的加權值，最後對第三轉運器110c賦予最低的加權值。
S670：之後，該轉運器控制裝置120將會選擇被賦予最高加權值之第一轉運器110a，而決定第一轉運器110a是否適合作為預計分配複數個工作者。
當第一轉運器110a被判定為不適合作為預計分配複數個工作者時，該轉運器控制裝置120則會依據被賦予之加權值，而選擇列為第二順位之第二轉運器110b，並決定第二轉運器110b是否適合作為預計分配複數個工作者。
當第二轉運器110b被判定為不適合作為預計分配複數個工作者時，該轉運器控制裝置120則會依據被賦予之加權值，而選擇列為第三順位之第三轉運器110c，並決定第三轉運器110c是否適合作為預計分配複數個工作者。
另外，當決定第一轉運器110a、第二轉運器110b、第三轉運器110c等是否適合作為預計分配複數個工作者時，可利用是否可連結轉運、轉運阻塞等因素來做出決定。與此有關，已在前面參照圖3至圖11作出說明，故在此不再贅述。
另外，如前所述，在圖12及圖13中，已舉轉運器控制系統100具有三個轉運器(110a、110b、110c)為例作出說明。在本實施例中，該轉運器控制系統100可具有N個轉運器，此一情形，在N個轉運器中選擇任一轉運器之方法，當然可類推適用圖12及圖13之方法(上述N為2以上之自然數)。
另外，在複數個轉運器110中選擇其中任一轉運器時，亦可將轉運器是否處於閒置狀態作為優先順序，而選擇任一轉運器。以下就此進行說明。
圖14係圖12所示轉運器控制裝置之轉運器選定方法之概略流程圖(一)。以下說明請參閱圖12及圖14。
S710：首先，該轉運器控制裝置120會判斷第一轉運器110a是否處於閒置狀態。
S720：當第一轉運器110a被判定為處於閒置狀態時，該轉運器控制裝置120會將第一轉運器110a納入檢出對象。
S730：相反地，當第一轉運器110a被判定為非處於閒置狀態(即第一轉運器110a正在執行被指定之工作)時，該轉運器控制裝置120則會將第一轉運器110a排除在檢出對象以外。
S740~S750：該轉運器控制裝置120亦會對第二轉運器110b、第三轉運器110c執行相同的判斷過程(S710~S730)，藉以檢出被判定為處於閒置狀態之轉運器。
以下，假定第一轉運器110a及第二轉運器110b被判定為處於閒置狀態之轉運器來進行說明。
S760：該轉運器控制裝置120計算第一轉運器110a自當前位置至第一地點310間之距離，而計算出第一轉運器110a之移動距離。
該轉運器控制裝置120使用與第一轉運器110a情形相同之方法，亦會對第二轉運器110b計算出其移動距離(S760)。
S770：之後，該轉運器控制裝置120會依據移動距離較短的順序，而對各轉運器(110a、110b)賦予加權值。
舉例而言，當移動距離較短者依序為第一轉運器110a、第二轉運器110b等時，該轉運器控制裝置120可對第一轉運器110a賦予相對較高的加權值，並對第二轉運器110b賦予相對較低的加權值。
S780：之後，該轉運器控制裝置120會選擇被賦予最高加權值之第一轉運器110a，而決定第一轉運器110a是否適合作為分配複數個工作者。
當第一轉運器110a被判定為不適合作為分配複數個工作者時，該轉運器控制裝置120則會依據被賦予之加權值，選擇列為第二順位之第二轉運器110b，而決定第二轉運器110b是否適合作為分配複數個工作者。
請再次參閱圖1。
該資料庫130係以有線或無線方式與轉運器控制裝置120連接，而提供用以控制複數個轉運器110之資訊者。
該資料庫130可為轉運器控制裝置120內部之記憶體。然而，本實施例並非受限於此。該資料庫130亦可內建於轉運器控制系統100之內部，藉以與轉運器控制裝置120加以區隔。
該資料庫130可儲存個別該轉運器110之以下資訊，包括轉運器是否處於閒置狀態、處於閒置狀態的轉運器之目前位置，以及目前正在執行既定作業的轉運器之作業結束地點等。然而，在本實施例中，該資料庫130所儲存之資訊並非受限於此。
以上，參照圖1至圖14就轉運器控制系統100作出說明。而本實施例所述之轉運器控制系統100可適用於物流自動化服務。
以上配合所附圖式就本發明之各較佳實施例作出說明，但本發明所屬技術領域中具有通常知識者應能理解其可輕易完成之改變或均等性之安排都會落於本發明之範圍內。因此，上述內容並非用以限制本發明之保護範疇，且本發明之範圍應以申請專利範圍為準。
100:轉運器控制系統
110:轉運器
120:轉運器控制裝置
130:資料庫

Claims (16)

  1. 一種轉運器控制系統，包含：複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具(carrier)；以及一轉運器控制裝置，用以控制該複數個轉運器，並在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作(job)；且該轉運器控制裝置利用第一因素及第二因素兩者至少其中任一因素來決定該任一轉運器，其中該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表是否有轉運阻塞；其中該轉運器控制裝置利用該第一因素來決定該任一轉運器時，會根據該複數個工作是否被連續安排在單一路徑上，或者會根據該複數個工作是否以各轉運器之行駛路徑為基礎被連續安排在特定轉運器之行駛路徑上，而決定該任一轉運器。
  2. 如請求項1所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置進一步利用該第二因素來決定該任一轉運器時，會進一步斟酌該複數個轉運器中任一個的一第一轉運器為執行該複數個工作而移動之第一移動路徑上，是否存在著該複數個轉運器中另一個的一第二轉運器，而決定該任一轉運器。
  3. 如請求項2所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置進一步在該第二轉運器是否處於閒置狀態、該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上，以及當該第二轉運器位於該第一移動路徑上時，是否能使該第二轉運器移動中，斟酌至少其中之一而決定該任一轉運器。
  4. 如請求項3所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置進一步斟酌該第二轉運器是否處於閒置狀態，以及該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上，而決定該任一轉運器時，會先斟酌該第二轉運器是 否處於閒置狀態，之後再考量該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上。
  5. 一種轉運器控制系統，包含：複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具(carrier)；以及一轉運器控制裝置，用以控制該複數個轉運器，並在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作(job)；且該轉運器控制裝置利用第一因素及第二因素兩者至少其中任一因素來決定該任一轉運器，其中該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表是否有轉運阻塞；其中該轉運器控制裝置利用該第二因素來決定任一轉運器時，會根據該複數個轉運器中任一個的一第一轉運器為執行該複數個工作而移動之第一移動路徑上，是否存在著該複數個轉運器中另一個的一第二轉運器，而判斷轉運阻塞可能性，並根據判斷該轉運阻塞可能性後所獲得之結果，而決定該任一轉運器；其中該轉運器控制裝置進一步在該第二轉運器是否處於閒置狀態，以及該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上中，斟酌至少其中之一而判斷該轉運阻塞可能性。
  6. 如請求項5所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置進一步斟酌該第二轉運器是否處於閒置狀態，以及該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上，而判斷該轉運阻塞可能性時，會先斟酌該第二轉運器是否處於閒置狀態，之後再考量該第二轉運器之工作結束地點是否位於該第一移動路徑上。
  7. 如請求項1所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置利用該第二因素來決定該任一轉運器時，會根據該複數個工作是否能夠在無阻塞狀態下，以各轉運器之行駛路徑為基礎，連續處理該複數個工作，而決定該任一轉運器。
  8. 一種轉運器控制系統，包含：複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具(carrier)；以及一轉運器控制裝置，用以控制該複數個轉運器，並在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作(job)；且該轉運器控制裝置利用第一因素及第二因素兩者至少其中任一因素來決定該任一轉運器，其中該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表是否有轉運阻塞；其中該轉運器控制裝置會對該複數個轉運器計算出其移動距離，即自該複數個轉運器停止移動的地點至為執行該複數個工作而出發的地點間之距離，而賦予加權值，並由依據該加權值選定之轉運器決定其是否適合作為該任一轉運器。
  9. 如請求項8所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置先判斷該複數個轉運器是否處於閒置狀態後，再計算出該移動距離。
  10. 如請求項9所述之轉運器控制系統，當轉運器處於閒置狀態時，該轉運器控制裝置會將當前位置作為轉運器停止移動之地點，而計算出該移動距離；當轉運器處於非閒置狀態時，該轉運器控制裝置則會將工作結束地點作為該停止移動之地點，而計算出該移動距離。
  11. 如請求項8所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置會對移動距離相對較短的轉運器賦予更高的加權值。
  12. 一種轉運器控制系統，包含：複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具(carrier)；以及一轉運器控制裝置，用以控制該複數個轉運器，並在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作(job)；且該轉運器控制裝置利用第一因素及第二因素兩者至少其中任一因素來決定該任一轉運器，其中該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表是否有轉運阻塞；其中該轉運器控制裝置會根據該複數個轉運器是否處於閒置狀態而賦予加權值，並由依據該加權值選定之轉運器決定其是否適合作為該任一轉運器。
  13. 如請求項12所述之轉運器控制系統，其中當該複數個轉運器中至少兩個處於閒置狀態時，該轉運器控制裝置會對該處於閒置狀態之轉運器計算出其移動距離，即自該處於閒置狀態之轉運器停止移動的地點起至為執行該複數個工作而出發的地點間之距離，而重新賦予加權值，並由依據該加權值選定之轉運器決定其是否適合作為該任一轉運器。
  14. 如請求項13所述之轉運器控制系統，其中該轉運器控制裝置會對移動距離相對較短的轉運器賦予更高的加權值。
  15. 一種轉運器控制系統，包含：複數個轉運器，用以轉運容置有晶圓之載具；以及一轉運器控制裝置，運以控制該複數個轉運器，並在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作；且該轉運器控制裝置利用第一因素及第二因素來決定該任一轉運器，其中該第一因素代表是否可連結轉運，而該第二因素則代表是否有轉運阻塞；且利用該第一因素來決定該任一轉運器時，會根據該複數個做工作是否以各轉運器之行駛路徑為基礎，被連續安排在特定轉運器之行駛路徑上，而決定該任一轉運器；而利用該第二因素來決定該任一轉運器時，則會根據特定轉運器是否能夠在無阻塞狀態下，以各轉運器之行駛路徑為基礎，連續處理該複數個工作，而決定該任一轉運器。
  16. 一種轉運器控制裝置，用以控制複數個轉運器，其中該複數個轉運器負責轉運容置有晶圓之載具；該轉運器控制裝置在該複數個轉運器中決定任一轉運器使其執行複數個工作，並利用第一因素來決定該任一轉運器，其中該第一因素代表是否可連結轉運；其中該轉運器控制裝置利用該第一因素來 決定該任一轉運器時，會根據該複數個工作是否以各轉運器之行駛路徑為基礎，被連續安排在特定轉運器之行走路徑上，而決定該任一轉運器。
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