TWI785840B - 加工裝置以及加工品的製造方法 - Google Patents

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TWI785840B
TWI785840B TW110137872A TW110137872A TWI785840B TW I785840 B TWI785840 B TW I785840B TW 110137872 A TW110137872 A TW 110137872A TW 110137872 A TW110137872 A TW 110137872A TW I785840 B TWI785840 B TW I785840B
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片岡昌一
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坂上雄哉
山本裕子
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日商Ｔｏｗａ股份有限公司
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Abstract

本發明自動更換用以保持加工對象物的保持用板，包括：加工機構4，對密封完畢基板W進行加工；板收容部24，收容用以保持密封完畢基板W的保持用板M1；保持基部M2，可裝卸地安裝有保持用板M1，使用保持用板M1來保持密封完畢基板W；以及板搬送機構25，於板收容部24及保持基部M2之間搬送保持用板M1，板搬送機構25將自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24，並將位於板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。

Description

加工裝置以及加工品的製造方法
本發明是有關於一種加工裝置以及加工品的製造方法。
先前，如專利文獻1所示，在將被切斷物切斷而製造經單片化的多個製品的切斷裝置中，想到以可對切斷用台裝卸吸附夾具的方式構成。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2016-040060號公報
然而，所述切斷裝置中，僅對切斷用台將吸附夾具設為可裝卸，在實際更換吸附夾具時需要作業者進行作業。因此，有不僅耗費作業者的人力費，而且安裝狀態出現不均一等問題。另外，更換作業耗費時間，切斷裝置的生產性降低。
因此，本發明是為了解決所述問題點而成，其主要課題在於，自動更換用以保持加工對象物的保持用板。
即，本發明的加工裝置的特徵在於包括：加工機構，對加工對象物進行加工；板收容部，收容用以保持所述加工對象物的保持用板；保持基部，可裝卸地安裝有所述保持用板，使用所述保持用板來保持所述加工對象物；以及板搬送機構，在所述板收容部及所述保持基部之間搬送所述板，所述板搬送機構將自所述保持基部卸除的所述保持用板搬送至所述板收容部，並將位於所述板收容部的所述保持用板搬送至所述保持基部。
本發明的加工品的製造方法使用所述的加工裝置來製造加工品。
根據如此構成的本發明，可自動更換用以保持加工對象物的保持用板。
2A、2B:切斷用台(加工用台)
4:切斷機構(加工機構)
5:移載台
6:第二保持機構(搬送用保持機構、第二搬送機構)
7:搬送用移動機構(第二搬送機構)
8:切斷用移動機構(加工用移動機構)
9A、9B:旋轉機構
10A、10B:真空泵
11:基板供給機構
11a:基板收容部
11b:基板供給部
11c:加熱部
12:液體供給機構
12a、18a、113a:噴射噴嘴
13、131、132:檢查部
14:反轉機構
17:加工屑收容部
18:第一清潔機構
19:第二清潔機構
20:分類機構
21:托盤
22:托盤搬送機構
23:托盤收容部
24:板收容部
25:板搬送機構
26:固定機構
25a:第一搬送機構
25b:第二搬送機構
27:臨時放置部
29:檢查機構
29a:檢查用流路
31、61、1031A、1071A、1201A:吸附頭
40:旋轉工具
41A、41B:刀片
42A、42B:心軸部
71:傳遞軸
72:主移動機構
73、75、181、1072a:升降移動機構
73a、831、1032b1、1202b1:Z方向導軌
73b:致動器部
74、76:水平移動機構
74a、821、1141:Y方向導軌
74b、262c:彈性體
74c:凸輪機構
81、1032a、1202a:X方向移動部
82:Y方向移動部
83、1032b、1202b:Z方向移動部
100:切斷裝置(加工裝置)
101:貼附構件
101a:框狀構件
101b:樹脂片
101b1:片狀基材
101b2:接著層(黏著層)
101x:黏著面
102:載置台
103:貼附用搬送機構
106:貼附構件收容部
107:貼附構件搬送機構
108、108A、108B、721:導軌
109、110:升降移動部
111:收容箱
111X、171X:上部開口
112:乾燥用台
113:乾燥機構
114:乾燥用移動機構
115:撣落構件
116:筒狀容器
116x:一端開口部
117:容器設置部
117a:空容器收容部
117b:插入位置設置部
117c:收容完畢容器收容部
118:搬送收容機構
119:中間台
120:第一製品搬送機構
121:第二製品搬送機構
121a:推壓構件
121b:驅動部
141:保持台(檢查用台)
142:反轉部
171:導引滑槽
172:回收容器
173:分離部
201:第一攝像部
202:第二攝像部
203:攝像相機
221:托盤保持機構
221a:托盤用保持部
221b:板用保持部
241:滑動架部
241a:突出部
261:固定用插入孔
261a:凸部
262:固定用圓筒部
262a:圓筒本體
262b:可動件
262d:活塞部
281:搬送用保持孔
282:搬送用圓筒部
311、611、1031a、1071a、1201a:吸附部
722:齒條與小齒輪機構
722a:凸輪齒條
722b:小齒輪
722b1:滾子本體
722b2:滾子銷
723:滑動構件
811、1032a1、1202a1:X方向導軌
812、1032a2、1202a2:支持體
813:滾珠螺桿機構
822:Y方向滑塊
823:直線馬達
832、1032b2、1202b2:Z方向滑塊
1031、1201:製品吸附機構
1032、1202:吸附用移動機構
1071:第三保持機構(第一搬送機構)
1071b:搬送用圓筒部
1072、TM2、TM3:移動機構
1111:把手
1142:滑動構件
CTL:控制部
H1、H2:高度位置
M1:保持用板
M2:保持基部
M21:吸附流路
M22:搭載面
P:製品(加工品)
RP:保持位置
S:加工屑
TM:托盤移動機構
TM1:搬送軌道
W:密封完畢基板(加工對象物)
X1:移載位置
X2:取出位置
X3:貼附構件搬送位置
X4:貼附位置
圖1為示意性地表示本發明的第一實施形態的切斷裝置的結構的圖。
圖2為示意性地表示所述實施形態的切斷用台及其周邊結構的立體圖。
圖3為示意性地表示所述實施形態的切斷用台及其周邊結構的結構的、自Z方向觀看的圖(平面圖)。
圖4為示意性地表示所述實施形態的切斷用台及其周邊結構 的結構的、自Y方向觀看的圖(正面圖)。
圖5為示意性地表示所述實施形態的第一保持機構及搬送用移動機構的結構的、自Y方向觀看的圖(正面圖)。
圖6為示意性地表示所述實施形態的第一保持機構及搬送用移動機構的結構的、自X方向觀看的圖(側面圖)。
圖7為示意性地表示所述實施形態的齒條與小齒輪(rack and pinion)機構的結構的剖面圖。
圖8為示意性地表示所述實施形態的第二保持機構及搬送用移動機構的結構的、自Y方向觀看的圖(正面圖)。
圖9為表示所述實施形態的切斷裝置的動作的示意圖。
圖10為表示所述實施形態的保持用板及保持基部的結構的示意圖。
圖11為表示所述實施形態的第一搬送機構(托盤搬送機構)及板收容部的立體圖。
圖12為示意性地表示所述實施形態的固定機構的結構的剖面圖。
圖13為表示所述實施形態的第二保持機構的保持基部的立體圖。
圖14為表示所述實施形態的保持用板的更換動作的圖。
圖15為表示所述實施形態的保持用板的更換動作的圖。
圖16為示意性地表示第一實施形態的板搬送機構的變形例的結構的、(a)自Z方向觀看的局部圖(局部平面圖)、(b)自X 方向觀看的局部圖(局部側面圖)、及(c)自Y方向觀看的局部圖(局部正面圖)。
圖17為示意性地表示本發明的第二實施形態的切斷裝置的結構的圖。
圖18為示意性地表示所述實施形態的移載台及載置台的各位置的、自Z方向觀看的圖(平面圖)。
圖19為示意性地表示所述實施形態的移載台、載置台及貼附用搬送機構的結構的自Y方向觀看的圖(正面圖)。
圖20為示意性地表示所述實施形態的貼附構件的結構的(a)平面圖、(b)剖面圖、及(c)局部放大剖面圖。
圖21為示意性地表示所述實施形態的載置台、貼附構件收容部及貼附構件搬送機構的結構的自Y方向觀看的圖(正面圖)。
圖22為表示所述實施形態的第一搬送機構(板搬送機構)及板收容部的立體圖。
圖23為所述實施形態的(a)表示針對貼附構件收容部取出或放入貼附構件的情形時的貼附構件收容部及板收容部的位置關係的圖、及(b)表示針對板收容部取出或放入保持用板的情形時的貼附構件收容部及板收容部的位置關係的圖。
圖24為表示所述實施形態的保持用板的更換動作的圖。
圖25為表示所述實施形態的保持用板的更換動作的圖。
圖26為變形實施形態的(a)示意性地表示載置台、貼附構件收容部及貼附構件搬送機構的結構的自Y方向觀看的圖(正面 圖)、(b)表示上方的導軌的間隔擴寬的狀態的示意圖、及(c)表示上方的導軌的間隔縮窄的狀態的示意圖。
圖27為示意性地表示本發明的第三實施形態的切斷裝置的結構的圖。
圖28為示意性地表示所述實施形態的乾燥用台及收容箱的周邊結構的、自Z方向觀看的圖(平面圖)。
圖29為示意性地表示所述實施形態的乾燥用台及收容箱的周邊結構的、自Y方向觀看的圖(正面圖)。
圖30為表示所述實施形態的切斷裝置的動作的示意圖。
圖31為表示所述實施形態的板搬送機構及板收容部的立體圖。
圖32為表示所述實施形態的保持用板的更換動作的圖。
圖33為示意性地表示本發明的第四實施形態的切斷裝置的結構的圖。
圖34為示意性地表示所述實施形態的筒狀容器的結構的(a)立體圖及(b)剖面圖。
圖35為示意性地表示所述實施形態的移載台及搬送收容機構的結構的、自Y方向觀看的圖(正面圖)。
圖36為表示所述實施形態的保持用板的更換動作的圖。
繼而，對本發明舉例加以更詳細說明。然而，本發明不受以下說明的限定。
如上文所述，本發明的加工裝置的特徵在於包括：加工機構，對加工對象物進行加工；板收容部，收容用以保持所述加工對象物的保持用板；保持基部，可裝卸地安裝有所述保持用板，使用所述保持用板來保持所述加工對象物；以及板搬送機構，於所述板收容部及所述保持基部之間搬送所述板，所述板搬送機構將自所述保持基部卸除的所述保持用板搬送於所述板收容部，並將位於所述板收容部的所述保持用板搬送至所述保持基部。
若為該加工裝置，則具有將自保持基部卸除的保持用板搬送至板收容部並將位於板收容部的保持用板搬送至保持基部的板搬送機構，故而可對保持基部自動更換保持用板。其結果為，可削減用以更換保持用板的人力費。另外，因自動更換保持用板，故而可減少保持用板對保持基部的安裝狀態的不均一。進而，因自動更換保持用板，故而可縮短保持用板的更換時間，可提高加工裝置的生產性。
所述板搬送機構較理想為使所述保持用板上升並進行搬送。
若為該結構，則於搬送保持用板時，可避免保持用板與其他構件的干擾，容易地搬送保持用板。
所述板搬送機構較理想為搬送下述保持用板中的至少一個：用以對所述加工對象物進行加工的、加工用台的保持用板；用以將經所述加工機構進行了加工的加工後的所述加工對象物加以乾燥的、乾燥用台的保持用板、用以對加工後的所述加工對象 物進行檢查的、檢查用台的保持用板；於分類前載置加工後的所述加工對象物的、移載台的保持用板；或為了搬送加工後的所述加工對象物而進行保持的、搬送用保持機構的保持用板。
若為該結構，則可自動更換加工用台、檢查用台、移載台及搬送用保持機構各自的保持用板。
本發明的加工裝置更包括：加工對象物搬送機構，搬送所述加工對象物。
該結構中，為了可自動更換保持用板並且使裝置結構簡化且削減裝置成本，所述板搬送機構較理想為使用所述加工對象物搬送機構而構成。即，板搬送機構成為具有下述功能的結構，即：搬送加工對象物。
本發明的加工裝置可設為下述結構，即：可將加工後的所述加工對象物收容於托盤(亦稱為「托盤收容」)。該加工裝置更包括：托盤搬送機構，搬送將加工後的所述加工對象物分類的托盤。
該結構中，為了可自動更換保持用板並且使裝置結構簡化且削減裝置成本，所述板搬送機構較理想為使用所述托盤搬送機構而構成。即，板搬送機構成為具有下述功能的結構，即：搬送將加工後的加工對象物分類的托盤。
所述板搬送機構較理想為具有：第一搬送機構，在所述板收容部與臨時放置部之間搬送所述保持用板；以及第二搬送機構，在所述臨時放置部與所述保持基部之間搬送所述保持用板。
若為該結構，則經由臨時放置部藉由第一搬送機構及第二搬送機構來搬送保持用板，因而與由一個搬送機構來構成板搬送機構的情形，可增大保持用板的搬送目的地的自由度。
在由第一搬送機構及第二搬送機構來構成所述板搬送機構的情形時，較理想為所述第一搬送機構將所述貼附構件搬送至所述載置台，所述第二搬送機構搬送經所述單片化的所述加工對象物。
若為該結構，則可自動更換保持用板並且使裝置結構簡化且削減裝置成本。
本發明的加工裝置可設為下述結構，即：可將經單片化的加工對象物貼附於具有黏著面的貼附構件並進行收容(亦稱為「連環收容」)。該加工裝置更包括：載置台，載置貼附構件，該貼附構件具有供貼附經所述加工機構進行了單片化的所述加工對象物的、黏著面。
該結構中，所述板搬送機構較理想為將所述貼附構件搬送至所述載置台。
若為該加工裝置，則板搬送機構可將貼附構件搬送至載置台，因而無需與板搬送機構無關而另設置貼附構件用的搬送機構，可簡化將經單片化的加工對象物貼附於黏著面並進行收容的加工裝置的裝置結構。進而，亦可削減裝置成本。除此以外，於對經單片化的加工對象物進行濺鍍步驟或封裝步驟等後續步驟的情形時，只要使貼附有經單片化的加工對象物的貼附構件移動即 可，可使其操作容易。
所述板搬送機構較理想為具有：第一搬送機構，在所述板收容部與臨時放置部之間搬送所述保持用板；以及第二搬送機構，在所述臨時放置部與所述保持基部之間搬送所述保持用板。
若為該結構，則經由臨時放置部藉由第一搬送機構及第二搬送機構來搬送保持用板，因而與由一個搬送機構來構成板搬送機構的情形相比，可增大保持用板的搬送目的地的自由度。
於由第一搬送機構及第二搬送機構來構成所述板搬送機構的情形時，較理想為所述第一搬送機構將所述貼附構件搬送至所述載置台，所述第二搬送機構搬送經所述單片化的所述加工對象物。
若為該結構，則可自動更換保持用板並且使裝置結構簡化且削減裝置成本。
作為用以使裝置結構簡化的、具體實施態樣，本發明的加工裝置較理想為更包括：第一保持機構，為了將所述加工對象物搬送至所述加工用台而保持所述加工對象物；第二保持機構，為了自所述加工用台搬送經所述單片化的所述加工對象物而保持經所述單片化的所述加工對象物；第三保持機構，為了將所述貼附構件搬送至所述載置台而保持所述貼附構件；以及搬送用移動機構，具有用以使所述第一保持機構、所述第二保持機構及所述第三保持機構移動的共用的傳遞軸。
該結構中，為了可自動更換保持用板並且使裝置結構簡化且 削減裝置成本，較理想為所述第一搬送機構是使用所述第三保持機構及所述搬送用移動機構而構成，所述第二搬送機構是使用所述第二保持機構及所述搬送用移動機構而構成。
本發明的加工裝置更包括：貼附構件收容部，收容所述貼附構件。
該結構中，為了使加工裝置的佔據面積(footprint)小型化，較理想為所述板收容部及所述貼附構件收容部相互上下地配置。
本發明的加工裝置可設為下述結構，即：可將經單片化的加工對象物以零散的狀態收容(亦稱為「塊收容」)。該加工裝置更包括：收容箱，供經所述加工機構進行了單片化的所述加工對象物掉落而收容。
該結構中，所述板搬送機構較理想為將經所述單片化的所述加工對象物搬送至所述收容箱。
若為該加工裝置，則板搬送機構可將經單片化的加工對象物搬送至收容箱，故而無需與板搬送機構無關而設置另外的搬送機構，可簡化使經單片化的加工對象物掉落並收容的加工裝置的裝置結構。進而，亦可削減裝置成本。除此以外，使經單片化的加工對象物掉落至收容箱進行收容，故而與先前的托盤收容的結構相比，可使收容空間小型化。藉此亦可減少加工裝置的佔據面積。
另外，本發明的加工裝置可設為下述結構，即：可將經單片化的加工對象物收容於筒狀容器(亦稱為「管收容」)。再者，筒狀容器有時亦被稱為管(tube)、盒棒(magazine stick)、棒盒 (stick magazine)、棒(stick)等。該加工裝置更包括：容器設置部，設置有筒狀容器，該筒狀容器自一端開口部收容經所述單片化的所述加工對象物；以及搬送收容機構，將經所述單片化的所述加工對象物搬送至設置於所述容器設置部的所述筒狀容器並收容。
作為用以使所述進行塊收容或管收容的加工裝置的裝置結構簡化的、具體實施態樣，本發明的加工裝置較理想為更包括：第一保持機構，為了將所述加工對象物搬送至所述加工用台而保持所述加工對象物；第二保持機構，為了自所述加工用台搬送經所述單片化的所述加工對象物而保持經所述單片化的所述加工對象物；以及搬送用移動機構，具有用以使所述第一保持機構及所述第二保持機構移動的共用的傳遞軸，所述板搬送機構是使用所述第二保持機構及所述搬送用移動機構而構成。
為了自動檢查是否準確進行了保持用板的固定，本發明的加工裝置較理想為更包括：檢查機構，檢查所述保持用板對所述保持基部的安裝狀態。
作為檢查機構的具體實施態樣，較理想為所述檢查機構具有：檢查用流路，在搭載有所述保持用板的搭載面開口；以及探測感測器，設於所述檢查用流路，探測流體自所述開口的洩漏。此處，探測感測器藉由測定流體的壓力或流量從而探測流體自所述開口的洩漏。
為了使保持用板對保持基部的固定結構簡單，較理想為 所述保持基部具有：固定用圓筒部，插入至形成於所述保持用板的固定用插入孔，所述固定用圓筒部具有：圓筒本體，插入至所述固定用插入孔；可動件，以可移動至自所述圓筒本體的外側周面突出的位置及沒入的位置的方式設置；以及彈性體，以使所述可動件成為相對於所述圓筒本體突出的位置的方式賦予力，於所述固定用圓筒部插入至所述固定用插入孔的狀態下，所述可動件成為突出的位置，由此對所述保持基部固定所述保持用板。
另外，為了使保持用板對板搬送機構的裝卸結構簡單，較理想為所述板搬送機構具有：搬送用圓筒部，插入至形成於所述保持用板的搬送用保持孔，所述搬送用圓筒部具有：圓筒本體，插入至所述搬送用保持孔；可動件，以可移動至自所述圓筒本體的外側周面突出的位置及沒入的位置的方式設置；以及彈性體，以使所述可動件成為相對於所述圓筒本體突出的位置的方式賦予力，於所述搬送用圓筒部插入至搬送用插入孔的狀態下，所述可動件成為突出的位置，由此將所述保持用板保持於所述板搬送機構。
另外，使用所述加工裝置來製造加工品的、加工品的製造方法亦為本發明的一態樣。
<本發明的各實施形態>
以下，參照圖式對本發明的加工裝置的各實施形態加以說明。再者，關於以下所示的任一圖，均為了容易理解而適當省略或誇張地示意性地描畫。對相同的結構要素標註相同符號，適當 省略說明。
<第一實施形態>
<加工裝置的總體結構>
本實施形態的加工裝置100為切斷裝置，藉由將作為加工對象物的密封完畢基板W切斷，從而單片化為多個作為加工品的製品P。
此處，所謂密封完畢基板W，是針對連接有半導體晶片、電阻元件、電容元件等電子元件的基板，以至少將電子元件加以樹脂密封的方式進行樹脂成形而成。作為構成密封完畢基板W的基板，可使用引線框架(lead frame)、印刷配線板，除了該些以外，亦可使用半導體製基板(包含矽晶圓等半導體晶圓)、金屬製基板、陶瓷製基板、玻璃製基板、樹脂製基板等。另外，對於構成密封完畢基板W的基板，可實施有配線亦可未實施配線。
另外，本實施形態的密封完畢基板W及製品P中，其中一個面成為後封裝的封裝面。本實施形態的說明中，將後封裝的其中一個面記載為「封裝面」，將其相反側的面記載為「標記面」。
具體而言，如圖1所示，切斷裝置100包括：兩個切斷用台(加工用台)2A、2B，保持密封完畢基板W；第一保持機構3，為了將密封完畢基板W搬送至切斷用台2A、切斷用台2B而保持密封完畢基板W；切斷機構(加工機構)4，將保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W切斷；移載台5，移動多個製品P；第二保持機構6，為了將多個製品P自切斷用台2A、 切斷用台2B搬送至移載台5而保持多個製品P；搬送用移動機構7，具有用以使第一保持機構3及第二保持機構6移動的共用的傳遞軸71；以及切斷用移動機構(加工用移動機構)8，使切斷機構4相對於保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W移動。再者，由第一保持機構3及搬送用移動機構7構成搬送密封完畢基板W的搬送機構(裝載機)，由第二保持機構6及搬送用移動機構7構成搬送多個製品P的搬送機構(卸載機)。
以下的說明中，將沿著切斷用台2A、切斷用台2B的上表面的平面(水平面)內相互正交的方向分別設為作為第一方向的X方向及作為第二方向的Y方向，將與X方向及Y方向正交的鉛垂方向設為Z方向。具體而言，將圖1的左右方向設為X方向，將上下方向設為Y方向。雖將於後述，但X方向為支持體812的移動方向，另外，為與門型支持體812的架設一對腳部的樑部(橫樑部)的長度方向(樑部延伸的方向)正交的方向(參照圖2及圖3)。
<切斷用台2A、切斷用台2B>
兩個切斷用台2A、2B於X方向、Y方向及Z方向經固定而設置。再者，切斷用台2A可由設於切斷用台2A之下的旋轉機構9A於θ方向旋轉。另外，切斷用台2B可由設於切斷用台2B之下的旋轉機構9B於θ方向旋轉。
該些兩個切斷用台2A、2B於水平面上沿著X方向設置。具體而言，兩個切斷用台2A、2B以該些的上表面位於同一水 平面上(於Z方向位於相同高度位置)的方式配置(參照圖4)，並且以該些上表面的中心(具體而言為旋轉機構9A、旋轉機構9B的旋轉中心)位於沿X方向延伸的同一直線上的方式配置(參照圖2及圖3)。
另外，兩個切斷用台2A、2B吸附保持密封完畢基板W，如圖1所示，與兩個切斷用台2A、2B對應地配置有用以吸附保持的兩個真空泵10A、10B。各真空泵10A、10B例如為水封式真空泵。
此處，切斷用台2A、切斷用台2B於XYZ方向經固定，故而可縮短自真空泵10A、真空泵10B連接於切斷用台2A、切斷用台2B的配管(未圖示)，可減小配管的壓力損失，防止吸附力的降低。其結果為，即便為例如1mm見方以下的極小封裝體，亦能可靠地吸附於切斷用台2A、切斷用台2B。另外，可防止配管的壓力損失所致的、吸附力的降低，故而可減小真空泵10A、真空泵10B的容量，帶來小型化或成本降低。
<第一保持機構3>
如圖1所示，第一保持機構3為了將密封完畢基板W自基板供給機構11搬送至切斷用台2A、切斷用台2B而保持密封完畢基板W。如圖5及圖6所示，該第一保持機構3包括：吸附頭31，設有用以吸附保持密封完畢基板W的多個吸附部311；以及真空泵或真空噴射器(未圖示)，連接於所述吸附頭31的吸附部311。而且，藉由吸附頭31由後述搬送用移動機構7等移動至所需位 置，從而將密封完畢基板W自基板供給機構11搬送至切斷用台2A、切斷用台2B。
如圖1所示，基板供給機構11具有：基板收容部11a，自外部收容多個密封完畢基板W；以及基板供給部11b，將收容於所述基板收容部11a的密封完畢基板W移動至由第一保持機構3吸附保持的保持位置RP。該保持位置RP是以於X方向與兩個切斷用台2A、2B成為同列的方式設定。再者，基板供給機構11亦可為了使由第一保持機構3吸附的密封完畢基板W平坦，而具有一方面加熱一方面壓製密封完畢基板W的加熱部11c。
<切斷機構4>
如圖1、圖2及圖3所示，切斷機構4具有包含刀片41A、刀片41B及兩個心軸部42A、42B的兩個旋轉工具40。兩個心軸部42A、42B以該些的旋轉軸沿著Y方向的方式設置，安裝於該些心軸部的刀片41A、刀片41B以彼此相向的方式配置(參照圖3)。心軸部42A的刀片41A及心軸部42B的刀片41B藉由在包含X方向及Z方向的面內旋轉，從而將保持於各切斷用台2A、2B的密封完畢基板W切斷。再者，於本實施形態的切斷裝置100，如圖4所示，為了抑制由刀片41A、41B產生的摩擦熱而設有液體供給機構12，該液體供給機構12具有噴射切削水(加工液)的噴射噴嘴12a。該噴射噴嘴12a例如支持於後述的Z方向移動部83。
<移載台5>
如圖1所示，本實施形態的移載台5為移動經後述的檢查部 13進行了檢查的多個製品P的台。該移載台5被稱為所謂索引台，於將多個製品P分類至各種托盤21之前，暫時載置多個製品P。另外，移載台5於水平面上沿著X方向與兩個切斷用台2A、2B配置成一列。進而，移載台5可沿著Y方向前後移動，可移動至分類機構20。載置於移載台5的多個製品P根據由檢查部13所得的檢查結果(良品、不良品等)而由分類機構20分類至各種托盤21。
再者，各種托盤21由沿著傳遞軸71移動的托盤搬送機構22搬送至所需的位置，載置由分類機構20所分類的製品P。經分類後，各種托盤21由托盤搬送機構22收容於托盤收容部23。本實施形態中，以於托盤收容部23收容例如收容製品P之前的托盤21、收容有良好製品P的托盤21、及收容有需要返工(rework)的不良製品P的托盤21等三種托盤的方式構成。
<檢查部13>
此處，檢查部13如圖1所示，設於切斷用台2A、切斷用台2B與移載台5之間，檢查保持於第二保持機構6的多個製品P。本實施形態的檢查部13具有檢查製品P的標記面的第一檢查部131、及檢查製品P的封裝面的第二檢查部132。第一檢查部131為具有用以檢查標記面的光學系統的攝像相機，第二檢查部132為具有用以檢查封裝面的光學系統的攝像相機。再者，亦可使第一檢查部131及第二檢查部132共用。
另外，為了可藉由檢查部13來檢查多個製品P的兩面， 設有使多個製品P反轉的反轉機構14(參照圖1)。該反轉機構14具有保持多個製品P的保持台141、及使該保持台141以成為表背相反的方式反轉的馬達等反轉部142。
於第二保持機構6自切斷用台2A、切斷用台2B保持多個製品P時，製品P的標記面朝向下側。於該狀態下，於自切斷用台2A、切斷用台2B向反轉機構14搬送多個製品P的中途，藉由第一檢查部131來檢查製品P的標記面。然後，保持於第二保持機構6的多個製品P由反轉機構14反轉，其後反轉機構14移動至移載台5的位置為止。於該移動的期間中，藉由第二檢查部132來檢查朝向下側的製品P的封裝面。其後，將製品P移交至移載台5。
<第二保持機構6>
如圖1所示，第二保持機構6為了將多個製品P自切斷用台2A、切斷用台2B搬送至反轉機構14而保持多個製品P。如圖8所示，該第二保持機構6具有：吸附頭61，設有用以吸附保持多個製品P的多個吸附部611；以及真空泵或真空噴射器(未圖示)，連接於所述吸附頭61的吸附部611。繼而，藉由吸附頭61由後述的搬送用移動機構7等移動至所需的位置，從而將多個製品P自切斷用台2A、切斷用台2B搬送至保持台141。
<搬送用移動機構7>
如圖1所示，搬送用移動機構7使第一保持機構3至少於基板供給機構11與切斷用台2A、切斷用台2B之間移動，並且使第 二保持機構6至少於切斷用台2A、切斷用台2B與保持台141之間移動。
而且，如圖1所示，搬送用移動機構7具有：共用的傳遞軸71，沿著兩個切斷用台2A、2B及移載台5的排列方向(X方向)一直線地延伸，用於使第一保持機構3及第二保持機構6移動。
所述傳遞軸71設於下述範圍，即：第一保持機構3可移動至基板供給機構11的基板供給部11b的上方，並且第二保持機構6可移動至移載台5的上方(參照圖1)。另外，相對於所述傳遞軸71，第一保持機構3、第二保持機構6、切斷用台2A、切斷用台2B及移載台5於平面視時設於同側(近前側)。此外，檢查部13、反轉機構14、各種托盤21、托盤搬送機構22、托盤收容部23、後述的第一清潔機構18及第二清潔機構19、回收容器172亦相對於傳遞軸71而設於同側(近前側)。
進而，如圖5、圖6及圖8所示，搬送用移動機構7具有：主移動機構72，使第一保持機構3及第二保持機構6沿著傳遞軸71於X方向移動；升降移動機構73，使第一保持機構3及第二保持機構6相對於傳遞軸71於Z方向升降移動；以及水平移動機構74，使第一保持機構3及第二保持機構6相對於傳遞軸71於Y方向水平移動。
如圖5~圖8所示，主移動機構72具有：共用的導軌721，設於傳遞軸71，導引第一保持機構3及第二保持機構6；以 及齒條與小齒輪機構722，使第一保持機構3及第二保持機構6沿著所述導軌721移動。
導軌721沿著傳遞軸71於X方向一直線地延伸，與傳遞軸71同樣地設於下述範圍，即：第一保持機構3可移動至基板供給機構11的基板供給部11b的上方，並且第二保持機構6可移動至移載台5的上方。於該導軌721，可滑動地設有滑動構件723，該滑動構件723經由升降移動機構73及水平移動機構74而設有第一保持機構3及第二保持機構6。此處，導軌721為第一保持機構3及第二保持機構6所共用，但升降移動機構73、水平移動機構74及滑動構件723是針對第一保持機構3及第二保持機構6各自而分別設置。
齒條與小齒輪機構722具有：凸輪齒條722a，為第一保持機構3及第二保持機構6所共用；以及小齒輪722b，分別設於第一保持機構3及第二保持機構6，由致動器(未圖示)旋轉。凸輪齒條722a設於共用的傳遞軸71，可藉由將多個凸輪齒條要素連結從而變更為各種長度。另外，小齒輪722b設於滑動構件723，被稱為所謂滾子小齒輪(roller pinion)，如圖7所示，具有：一對滾子本體722b1，與馬達的旋轉軸一起旋轉；以及多個滾子銷722b2，於該一對滾子本體722b1之間於圓周方向等間隔地設置，以相對於滾子本體722b1可滾動的方式設置。本實施形態的齒條與小齒輪機構722使用所述滾子小齒輪，故而兩個以上的滾子銷722b2與凸輪齒條722a接觸，於正反方向不產生背隙(backlash)， 於使第一保持機構3及第二保持機構6於X方向移動時定位精度變良好。
如圖5及圖8所示，升降移動機構73是與第一保持機構3及第二保持機構6分別對應地設置。如圖5及圖6所示，第一保持機構3的升降移動機構73介於傳遞軸71(具體而言為主移動機構72)與第一保持機構3之間而設置，具有：Z方向導軌73a，沿著Z方向設置；以及致動器部73b，使第一保持機構3沿著所述Z方向導軌73a移動。再者，致動器部73b例如可使用滾珠螺桿機構，亦可使用氣缸，亦可使用直線馬達。再者，如圖8所示，第二保持機構6的升降移動機構73的結構與第一保持機構3的升降移動機構73同樣。
如圖5、圖6及圖8所示，水平移動機構74是與第一保持機構3及第二保持機構6分別對應地設置。如圖5及圖6所示，第一保持機構3的水平移動機構74是介於傳遞軸71(具體而言為升降移動機構73)與第一保持機構3之間而設置，具有：Y方向導軌74a，沿著Y方向設置；彈性體74b，對第一保持機構3向Y方向導軌74a的其中一側賦予力；以及凸輪機構74c，使第一保持機構3向Y方向導軌74a的另一側移動。此處，凸輪機構74c使用偏心凸輪，藉由利用馬達等致動器使該偏心凸輪旋轉，從而可調整第一保持機構3於Y方向的移動量。
再者，如圖8所示，第二保持機構6的水平移動機構74的結構與第一保持機構3的升降移動機構73同樣。另外，可設為 未對第二保持機構6設有水平移動機構74的結構，亦可設為未對第一保持機構3及第二保持機構6兩者設有水平移動機構74的結構。進而，水平移動機構74與升降移動機構73同樣地，亦可不使用凸輪機構74c而使用例如滾珠桿機構，亦可使用氣缸，亦可使用直線馬達。
<切斷用移動機構(加工用移動機構)>
切斷用移動機構8使兩個心軸部42A、42B分別於X方向、Y方向及Z方向的各方向直線移動。
具體而言，如圖2~圖4所示，切斷用移動機構8包括：X方向移動部81，使心軸部42A、心軸部42B於X方向直線移動；Y方向移動部82，使心軸部42A、心軸部42B於Y方向直線移動；以及Z方向移動部83，使心軸部42A、心軸部42B於Z方向直線移動。
X方向移動部81為兩個切斷用台2A、2B所共用，尤其如圖2及圖3所示，具有：一對X方向導軌811，沿著X方向夾持兩個切斷用台2A、2B而設置；以及支持體812，沿著所述一對X方向導軌811移動，並且經由Y方向移動部82及Z方向移動部83支持心軸部42A、心軸部42B。一對X方向導軌811設於沿著X方向設置的兩個切斷用台2A、2B的側方。另外，支持體812例如為門型，具有沿Y方向延伸的形狀。具體而言，支持體812具有自一對X方向導軌811向上方延伸的一對腳部、及架設於該一對腳部的樑部(橫樑部)，該樑部沿Y方向延伸。
而且，支持體812例如藉由沿X方向延伸的滾珠螺桿機構813而於一對X方向導軌811上沿著X方向直線往返移動。該滾珠螺桿機構813由伺服馬達等驅動源(未圖示)驅動。除此以外，支持體812亦可以藉由直線馬達等其他直動機構而往返移動的方式構成。
尤其如圖3所示，Y方向移動部82具有：Y方向導軌821，於支持體812中沿著Y方向設置；以及Y方向滑塊822，沿著所述Y方向導軌821移動。Y方向滑塊822例如由直線馬達823驅動，於Y方向導軌821上直線往返移動。本實施形態中，與兩個心軸部42A、42B對應地設有兩個Y方向滑塊822。藉此，兩個心軸部42A、42B可相互獨立地於Y方向移動。除此以外，Y方向滑塊822亦可以藉由使用滾珠螺桿機構的其他直動機構而往返移動的方式構成。
如圖2~圖4所示，Z方向移動部83具有：Z方向導軌831，於各Y方向滑塊822中沿著Z方向設置；以及Z方向滑塊832，沿著所述Z方向導軌831移動並且支持心軸部42A、心軸部42B。即，Z方向移動部83是與各心軸部42A、42B對應地設置。Z方向滑塊832例如由偏心凸輪機構(未圖示)驅動，於Z方向導軌831上直線往返移動。除此以外，Z方向滑塊832亦可以藉由滾珠螺桿機構等其他直動機構而往返移動的方式構成。
關於所述切斷用移動機構8與傳遞軸71的位置關係，如圖1及圖4所示，以傳遞軸71於切斷用移動機構8的上方橫穿 切斷用移動機構8的方式配置。具體而言，傳遞軸71以於支持體812的上方橫穿該支持體812的方式配置，傳遞軸71及支持體812成為相互交叉的位置關係。
<加工屑收容部17>
另外，如圖1所示，本實施形態的切斷裝置100更包括：加工屑收容部17，收容因密封完畢基板W的切斷而產生的端材等加工屑S。
如圖2~圖4所示，該加工屑收容部17設於切斷用台2A、切斷用台2B的下方，具有：導引滑槽(guide chute)171，具有於平面視時包圍切斷用台2A、切斷用台2B的上部開口171X；以及回收容器172，將由所述導引滑槽171所導引的加工屑S回收。藉由將加工屑收容部17設於切斷用台2A、切斷用台2B的下方，從而可提高加工屑S的回收率。
導引滑槽171將自切斷用台2A、切斷用台2B飛散或掉落的加工屑S導引至回收容器172。本實施形態中，以導引滑槽171的上部開口171X包圍切斷用台2A、切斷用台2B的方式構成(參照圖3)，故而不易漏掉加工屑S，可進一步提高加工屑S的回收率。另外，導引滑槽171以包圍設於切斷用台2A、切斷用台2B之下的旋轉機構9A、旋轉機構9B的方式設置(參照圖4)，以保護旋轉機構9A、旋轉機構9B免受加工屑S及切削水的方式構成。
本實施形態中，加工屑收容部17為兩個切斷用台2A、2B所共用，但亦可與切斷用台2A、切斷用台2B分別對應地設置。
回收容器172將因自重而通過導引滑槽171的加工屑S回收，本實施形態中，如圖4等所示，與兩個切斷用台2A、2B分別對應地設置。而且，兩個回收容器172配置於傳遞軸的近前側，以可分別獨立地自切斷裝置100的近前側卸除的方式構成。藉由該結構，可提高加工屑S的廢棄等的維護性。再者，回收容器172可考慮密封完畢基板W的尺寸或加工屑S的尺寸及量、作業性等而於所有切斷用台之下總體設置一個，亦可分為三個以上而設置。
另外，如圖4等所示，加工屑收容部17具有將切削水與加工屑分離的分離部173。作為該分離部173的結構，例如可想到於回收容器172的底面設置使切削水通過的多孔板等過濾器。藉由該分離部173，可不於回收容器172蓄積切削水而將加工屑S回收。
<第一清潔機構18>
另外，如圖1及圖5所示，本實施形態的切斷裝置100更包括：第一清潔機構18，將保持於切斷用台2A、切斷用台2B的多個製品P的上表面側(封裝面)清潔。該第一清潔機構18藉由對保持於切斷用台2A、切斷用台2B的多個製品P的上表面噴射洗淨液及/或壓縮空氣的噴射噴嘴18a(參照圖5)，來清潔製品P的上表面側(封裝面)。
如圖5所示，該第一清潔機構18以可與第一保持機構3一起沿著傳遞軸71移動的方式構成。此處，第一清潔機構18設 於滑動構件723，該滑動構件723在設於傳遞軸71的導軌721上滑動。此處，於第一清潔機構18及滑動構件723之間，設有用以使第一清潔機構18於Z方向升降移動的升降移動機構181。關於該升降移動機構181，例如可想到使用齒條與小齒輪機構，使用滾珠螺桿機構，或使用氣缸等。
<第二清潔機構19>
進而，如圖1所示，本發明的切斷裝置100更包括：第二清潔機構19，將保持於第二保持機構6的多個製品P的下表面側(標記面)清潔。該第二清潔機構19設於切斷用台2B與檢查部13之間，藉由向保持於第二保持機構6的多個製品P的下表面噴射洗淨液及/或壓縮空氣，從而清潔製品P的下表面側(標記面)。即，於第二保持機構6沿著傳遞軸71移動的中途，第二清潔機構19將製品P的下表面側(標記面)清潔。
<切斷裝置100的動作的一例>
繼而，對切斷裝置100的動作的一例加以說明。圖9中，表示切斷裝置10的動作中的第一保持機構3的移動路徑、及第二保持機構6的移動路徑。再者，本實施形態中，切斷裝置100的動作、例如密封完畢基板W的搬送、密封完畢基板W的切斷、製品P的檢查、後述的保持用板M1的更換等所有動作或控制是由控制部CTL(參照圖1)進行。
基板供給機構11的基板供給部11b使收容於基板收容部11a的密封完畢基板W向由第一保持機構3保持的保持位置RP 移動。
繼而，搬送用移動機構7使第一保持機構3移動至保持位置RP，第一保持機構3吸附保持密封完畢基板W。其後，搬送用移動機構7使保持有密封完畢基板W的第一保持機構3移動至切斷用台2A、切斷用台2B，第一保持機構3解除吸附保持，將密封完畢基板W載置於切斷用台2A、切斷用台2B。此時，藉由主移動機構72來調整密封完畢基板W的X方向的位置，藉由水平移動機構74來調整密封完畢基板W的Y方向的位置。而且，切斷用台2A、切斷用台2B吸附保持密封完畢基板W。
此處，於使保持有密封完畢基板W的第一保持機構3移動至切斷用台2B的情形時，升降移動機構73使第一保持機構3上升至不與切斷用移動機構8(支持體812)發生物理干擾的位置為止。再者，於使保持有密封完畢基板W的第一保持機構3移動至切斷用台2B時，於使支持體812自切斷用台2B向移載台5側退避的情形時，無需如所述般使第一保持機構3升降。
於該狀態下，切斷用移動機構8使兩個心軸部42A、42B於X方向及Y方向依序移動，並且切斷用台2A、2B旋轉，藉由將密封完畢基板W切斷為格子狀而單片化。
於切斷後，搬送用移動機構7使第一清潔機構18移動，將保持於切斷用台2A、切斷用台2B的多個製品P的上表面側(封裝面)清潔。該清潔後，搬送用移動機構7使第一保持機構3及第一清潔機構18退避至既定位置。
繼而，搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至切斷後的切斷用台2A、切斷用台2B，第二保持機構6吸附保持多個製品P。其後，搬送用移動機構7使保持有多個製品P的第二保持機構6移動至第二清潔機構19。藉此，第二清潔機構19將保持於第二保持機構6的多個製品P的下表面側(標記面)清潔。
於清潔後，保持於第二保持機構6的多個製品P由檢查部131進行下表面側(標記面)的檢查，然後移交至反轉機構14，由反轉機構14吸附保持標記面後加以反轉。反轉後，反轉機構14移動，由檢查部132檢查製品P的封裝面。如此進行兩面檢查後，製品P自反轉機構14移交至移載台5。載置於移載台5的多個製品P根據由檢查部13所得的檢查結果(良品、不良品等)而由分類機構20分類至各種托盤21。
<保持用板M1的自動更換功能>
進而，本實施形態的切斷裝置100具有下述功能，即：自動更換用以保持密封完畢基板W或製品P的保持用板M1。
本實施形態中，如圖10所示，用以切斷密封完畢基板W的切斷用台2A、切斷用台2B、用以檢查製品P的檢查用台(保持台141)、於分類前載置製品P的移載台5、及為了搬送製品P而保持的搬送用保持機構(第二保持機構6)具有：可更換的保持用板M1；以及保持基部M2，可裝卸地安裝有保持用板M1，使用保持用板M1來保持密封完畢基板W或製品P。再者，圖10中，代表性的表示切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1及保持 基部M2，但保持台141、移載台5及第二保持機構6亦同樣為具有保持用板M1及保持基部M2的結構。
具體而言，如圖1及圖11所示，切斷裝置100包括：板收容部24，收容保持用板M1；以及板搬送機構25，於板收容部24及保持基部M2之間搬送保持用板M1。
保持用板M1形成有用以吸附密封完畢基板W或製品P的、未圖示的吸附部(吸附孔)，藉由安裝於保持基部M2，從而經由設於該保持基部M2的吸附流路M21來吸附密封完畢基板W或製品P(參照圖10)。另外，關於保持用板M1，切斷用台2A及切斷用台2B所用的保持用板M1、保持台141所用的保持用板M1、移載台5所用的保持用板M1、及第二保持機構6所用的保持用板M1的形狀或吸附部的結構等不同。再者，關於保持用板M1，亦可使切斷用台2A及切斷用台2B所用的保持用板M1、保持台141所用的保持用板M1、移載台5所用的保持用板M1、及第二保持機構6所用的保持用板M1的形狀或吸附部的結構等共通而相同。進而，各種保持用板M1視密封完畢基板W或製品P而形狀或吸附部的結構等各不相同，是對照密封完畢基板W或製品P而選擇。
另外，如圖10所示，切斷裝置100設有固定機構26，用於以可對保持基部M2裝卸保持用板M1的方式構成。具體而言，固定機構26具有：固定用插入孔261，形成於保持用板M1；以及固定用圓筒部262，設於保持基部M2，插入至形成於保持用 板M1的固定用插入孔261。
固定用圓筒部262被稱為所謂夾筒(chuck cylinder)，如圖12所示，具有：圓筒本體262a，插入至固定用插入孔261；球狀的可動件262b，以可移動至自圓筒本體262a的外側周面突出的位置及沒入的位置的方式構成；以及彈性體262c，以使所述可動件262b成為相對於圓筒本體262a突出的位置的方式賦予力，以藉由供給壓縮空氣從而可動件262b於突出位置(圖12的(a))與沒入位置(圖12的(b))切換的方式構成。
進而，固定用圓筒部262具有活塞部262d。該活塞部262d於圓筒本體262a的內部，介於可動件262b及彈性體262c之間，藉由壓縮空氣而於圓筒本體262a的內部移動，藉此將可動件262b於突出位置及沒入位置之間切換。若開始供給壓縮空氣，則該活塞部262d抵抗自彈性體262c承受的力而於圓筒本體262a的內部移動，使可動件262b移動至沒入位置(圖12的(b))，若供給壓縮空氣，則藉由自彈性體262c承受的力而於圓筒本體262a的內部移動，使可動件262b移動至突出位置(圖12的(a))。
另外，如圖12所示，形成於保持用板M1的固定用插入孔261具有：凸部261a，於插入有固定用圓筒部262的狀態下，可動件262b成為突出位置時，將該可動件262b卡住，使固定用圓筒部262不脫落。該凸部261a將位於突出位置的可動件262b卡住，且不將位於沒入位置的可動件262b卡住。因此，藉由在固定用圓筒部262插入至固定用插入孔261的狀態下，將可動件262b 設為突出位置，從而對保持基部M2固定保持用板M1(參照圖12的(a))。另一方面，藉由在固定用圓筒部262插入至固定用插入孔261的狀態下，將可動件262b設為沒入位置，從而解除保持用板M1對保持基部M2的固定(參照圖12的(b))。
板收容部24收容更換前後(使用前後)的保持用板M1，如圖11所示，具有載置各保持用板M1的滑動架部241。本實施形態中，將上側多段的滑動架部241設為收容更換前的新的保持用板M1，將下側多段的滑動架部241設為收容更換後的舊的保持用板M1。該板收容部24例如藉由利用板搬送機構25使成為對象的滑動架部241向前方滑動，從而於該滑動架部241載置使用後的舊的保持用板M1，或取出使用前的新的保持用板M1。再者，於滑動架部241的前邊部設有突出部241a，使用該突出部241a進行抽出。
板搬送機構25將自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24，並將位於板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。另外，板搬送機構25可使保持用板M1上升而搬送。更具體而言，板搬送機構25可於自上方保持保持用板M1並使其上升的上升位置，將保持用板M1於水平方向搬送。此處，所謂「上升位置」，意指相較於安裝於更換對象的保持基部M2的保持用板M1的位置、或搬送中可取的最低的保持用板M1的位置，使保持用板M1進一步上升的高度的位置。
具體而言，如圖1所示，板搬送機構25具有：第一搬 送機構25a，於板收容部24與臨時放置部27之間搬送保持用板M1；以及第二搬送機構25b，於臨時放置部27與保持基部M2之間搬送保持用板M1。本實施形態的臨時放置部27為反轉機構14的保持台141。再者，亦可將移載台5設為臨時放置部27，亦可與保持台141及移載台5無關而另設置臨時放置部27。
第一搬送機構25a是使用托盤搬送機構22而構成，可搬送將加工後的加工對象物W(製品P)分類的托盤21。第二搬送機構25b是使用第二保持機構6及搬送用移動機構7(加工對象物搬送機構)而構成，可搬送加工對象物W。即，板搬送機構25(第一搬送機構25a及第二搬送機構25b)設為藉由所述共用的傳遞軸71於X方向移動的結構。另外，板搬送機構25相對於傳遞軸71於平面視時設於同側(近前側)。
此處，成為第一搬送機構25a的托盤搬送機構22中，如圖11所示，於用以保持托盤21的托盤保持機構221，除了用以保持托盤21的例如保持爪等托盤用保持部221a以外，還具有用以進行保持用板M1的保持的、例如保持爪等板用保持部221b。此處，於彼此相向的一對相向邊設有托盤用保持部221a，於與其不同的一對相向邊設有板用保持部221b。再者，板用保持部221b亦可設為使用上文所述的夾筒的結構。托盤搬送機構22以可使板用保持部221b升降的方式構成，可於使保持有保持用板M1的板用保持部221b上升而設為上升位置的狀態下，搬送保持用板M1。
除此以外，托盤搬送機構22為與第一保持機構3及第 二保持機構6的搬送用移動機構7同樣的結構。即，如圖11所示，托盤搬送機構22具有：主移動機構72，使托盤保持機構沿著傳遞軸71於X方向移動；升降移動機構75，使托盤保持機構221相對於傳遞軸71於Z方向升降移動；以及水平移動機構76，使托盤保持機構221相對於傳遞軸71於Y方向水平移動。再者，升降移動機構75及水平移動機構76例如以如下方式構成：藉由使用齒條與小齒輪機構的機構、使用滾珠螺桿機構的機構、使用直線馬達的機構或使用氣缸的機構等直動機構而往返移動。
另外，如圖13所示，成為第二搬送機構25b的第二保持機構6具有：搬送用圓筒部282，插入至形成於保持用板M1的搬送用保持孔281(參照圖10)。本實施形態中，使用第二保持機構6的保持基部M2的固定用圓筒部262來構成搬送用圓筒部282。搬送用保持孔281為與上文所述的固定機構26的固定用插入孔261同樣的結構。再者，搬送用保持孔281與固定用插入孔261為上下相反的結構。再者，第二保持機構6亦可代替搬送用圓筒部282而使用卡在保持用板M1的緣部進行保持的保持爪。第二保持機構6以可使進行保持用板M1的保持的部分升降的方式構成，可於使保持有保持用板M1的部分上升而設為上升位置的狀態下，搬送保持用板M1。
<保持用板M1的檢查機構29>
如圖10及圖13所示，本實施形態的切斷裝置100更包括：檢查機構29，檢查保持用板M1對保持基部M2的安裝狀態。
該檢查機構29具有：檢查用流路29a，在搭載有保持用板M1的搭載面M22開口；以及探測感測器(未圖示)，設於檢查用流路29a，探測流體自開口的洩漏。檢查用流路29a具有形成於保持基部M2的搭載面M22的開口，供給有壓縮空氣。另外，探測感測器藉由檢測於檢查用流路29a中流動的壓縮空氣的壓力或流量，從而探測壓縮空氣自開口的洩漏。藉由該檢查機構29，可得知保持用板M1是否密接地固定於保持基部M2的搭載面M22。於根據檢查機構29而保持用板M1不密接於保持基部M2的搭載面M22的情形時，可藉由固定機構26解除固定，再次重新安裝保持用板M1。
<保持用板M1的更換動作>
繼而，參照圖14及圖15，對本實施形態的板搬送機構25進行的保持用板M1的更換動作加以說明。
再者，以下的更換動作中，自板收容部24取出保持用板M1時的保持用板M1的判別是藉由下述方式進行，即：藉由設於第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)的標識符讀取器(未圖示)來讀取設於保持用板M1的射頻識別(Radio Frequency Identification，RFID)等的標識符。
(1)移載台5及保持台141的保持用板的更換動作(參照圖14)
卸除保持台141的保持用板M1，藉由第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態 下搬送至板收容部24。再者，於卸除保持台141的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)自板收容部24取出保持台141的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至保持台141的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則保持用板M1下降，固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對保持台141的保持基部M2固定保持用板M1。
另外，卸除移載台5的保持用板M1，藉由第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24。再者，於卸除移載台5的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)自板收容部24取出移載台5的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至移載台5的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則保持用板M1下降，固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣， 則可動件262b成為突出位置，對移載台5的保持基部M2固定保持用板M1。
再者，保持台141的保持用板M1的更換與移載台5的保持用板M1的更換的順序不限於上文所述，亦可相反，亦可卸除保持台141及移載台5各自的保持用板M1後，於保持台141及移載台5分別安裝新的保持用板M1。
(2)切斷用台2A、切斷用台2B及第二保持機構6的保持用板的更換動作(參照圖15)
卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1，藉由第二搬送機構25b(搬送用移動機構7及第二保持機構6)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至作為臨時放置部27的保持台141，使保持用板M1下降並載置。再者，於卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。此處，於將保持台141設為臨時放置部27的情形時，較佳為預先卸除保持台141。
另外，第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)於使載置於保持台141的切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1上升而設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降並收容。
繼而，第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)自板收容部24取出切斷用台2A、切斷用台2B的新的保持用板M1，於設 為上升位置的狀態下搬送至作為臨時放置部27的保持台141，使保持用板M1下降並載置。
繼而，第二搬送機構25b(搬送用移動機構7及第二保持機構6)將載置於保持台141的新的保持用板M1於設為上升位置的狀態下搬送至切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2固定保持用板M1。
於更換第二保持機構6的保持用板M1的情形時，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至作為臨時放置部27的保持台141，並且使保持用板M1下降而卸除，將保持用板M1載置於作為臨時放置部27的保持台141。再者，於卸除第二保持機構6的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)使載置於保持台141的第二保持機構6的保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降並收容。此處，於將保持台141設為臨時放置部27的情形時，較理想為預先卸除保持台141的保持用板M1。
繼而，第一搬送機構25a(托盤搬送機構22)自板收容 部24取出第二保持機構6的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至作為臨時放置部27的保持台141，使保持用板M1下降並載置。
繼而，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至保持台141，使保持基部M2下降，安裝載置於保持台141的新的保持用板M1。此處，藉由搬送用移動機構7將設於第二保持機構6的保持基部M2的固定用圓筒部262插入至形成於保持用板M1的固定用插入孔261。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對第二保持機構6的保持基部M2固定保持用板M1。
再者，於更換切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1時，較理想為將成為第二搬送機構25b的第二保持機構6的保持用板M1預先卸除。
另外，亦可將移載台5、保持台141、切斷用台2A、切斷用台2B及第二保持機構6的保持用板M1的更換設為一系列動作來進行。例如可想到，將移載台5、保持台141、第二保持機構6及切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1依序卸除，然後依序安裝切斷用台2A、切斷用台2B、第二保持機構6、保持台141及移載台5的保持用板M1。
<本實施形態的效果>
根據本實施形態的切斷裝置100，具有將自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24並將位於板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2的板搬送機構25，故而可對保持基部M2自動更換保持用板M1。其結果為，可削減用以更換保持用板M1的人力費。另外，因自動更換保持用板M1，故而可縮短保持用板M1的更換時間，可提高切斷裝置100的生產性。進而，可減少保持用板M1對保持基部M2的安裝狀態的不均一。
另外，板搬送機構25具有：第一搬送機構25a，於板收容部24與臨時放置部27之間搬送保持用板M1；以及第二搬送機構25b，於臨時放置部27與保持基部M2之間搬送保持用板M1，故而與利用一個搬送機構來構成板搬送機構25的情形相比，可增大保持用板M1的搬送目的地的自由度。此處，使用托盤搬送機構22來構成第一搬送機構25a，故而可使裝置結構簡化並且削減裝置成本。另外，使用第二保持機構6及搬送用移動機構7來構成第二搬送機構25b，故而可使裝置結構簡化並且削減裝置成本。
除此以外，本實施形態中，設為藉由沿著切斷用台2A、切斷用台2B及移載台5的排列方向延伸的共用的傳遞軸71來使第一保持機構3及第二保持機構6的結構，藉由切斷用移動機構8使切斷機構4於水平面在沿著傳遞軸71的X方向及與X方向正交的Y方向分別移動，故而可不使切斷用台2A、切斷用台2B於X方向及Y方向移動而對密封完畢基板W進行加工。因此，可不藉由滾珠螺桿機構使切斷用台2A、切斷用台2B移動，而無需用 以保護滾珠螺桿機構的蛇腹構件及用以保護該蛇腹構件的蓋構件。其結果為，可使切斷裝置100的裝置結構簡化。另外，可設為不使切斷用台2A、切斷用台2B於X方向及Y方向移動的結構，可減小切斷裝置100的佔據面積。
<第一實施形態的變形例>
例如，所述第一實施形態中，為自動更換切斷用台2A、切斷用台2B、檢查用台(保持台141)、移載台5及搬送用保持機構(第二保持機構6)各自的保持用板M1的結構，但亦可設為自動更換切斷用台2A、切斷用台2B、檢查用台(保持台141)、移載台5及搬送用保持機構(第二保持機構6)中的至少一個的結構。
所述第一實施形態的板搬送機構25為具有第一搬送機構25a及第二搬送機構25b的結構，但亦可設為具有單一的搬送機構的結構。另外，板搬送機構25亦可設為不使用托盤搬送機構22的結構，亦可設為不使用第二保持機構6及搬送用移動機構7(加工對象物搬送機構)的結構。
作為板搬送機構25不使用托盤搬送機構的結構的一例，例如可想到圖16所示的結構。該切斷裝置100不具有托盤搬送機構22，以如下方式構成，即：各種托盤21藉由托盤移動機構TM而於板收容部24的下方移動，藉此移動至由分類機構20將製品P分類的分類位置。再者，托盤移動機構TM具有：搬送軌道TM1，沿著Y方向延伸；移動機構(未圖示)，使托盤21於所述搬送軌道TM1上移動；移動機構TM2，使各種托盤21於X方向 移動；以及移動機構TM3，針對各種托盤21分別設置，使各種托盤21於Z方向移動。該切斷裝置100中，板搬送機構25可使用第二保持機構6及搬送用移動機構7而構成。
另外，所述第一實施形態的板收容部24收容切斷用台2A、切斷用台2B、檢查用台(保持台141)、移載台5及搬送用保持機構(第二保持機構6)各自的保持用板M1，但亦可設為根據保持用板M1的種類而設置多個專用的板收容部24的結構。
另外，所述第一實施形態的移載台5為在分類至各種托盤21之前暫時載置的索引台，但亦可將移載台5設為反轉機構14的保持台141。
而且，所述第一實施形態的結構中，亦可設為下述結構，即：於切斷用台2A、切斷用台2B中不將密封完畢基板切斷，而是形成槽。於該情形時，例如亦可設為下述結構，即：於切斷用台2A、切斷用台2B實施了槽加工的密封完畢基板W藉由第一保持機構3及搬送用移動機構7而回到基板供給部11b。另外，亦可設為下述結構，即：將回到該基板供給部11b的密封完畢基板W收容於基板收容部11a。
<本發明的第二實施形態>
繼而，對本發明的第二實施形態加以說明。
第二實施形態的切斷裝置100與所述第一實施形態的托盤收容不同，以可將多個製品P貼附於具有黏著面101x的貼附構件101並收容(亦稱為「連環收容」)的方式構成。
具體而言，如圖17所示，切斷裝置100包括：兩個切斷用台(加工用台)2A、2B，保持密封完畢基板W；第一保持機構3，為了將密封完畢基板W搬送至切斷用台2A、切斷用台2B而保持密封完畢基板W；切斷機構(加工機構)4，將保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W切斷；移載台5，移動多個製品P；第二保持機構6，為了將多個製品P自切斷用台2A、切斷用台2B搬送至移載台5而保持多個製品P；搬送用移動機構7，具有用以使第一保持機構3及第二保持機構6移動的共用的傳遞軸71；以及切斷用移動機構(加工用移動機構)8，使切斷機構4相對於保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W移動。
以下，主要對與第一實施形態不同的結構加以說明。
第二實施形態的移載台5於將多個製品P貼附於後述的貼附構件101之前，暫時載置多個製品P。另外，如圖17及圖18所示，移載台5沿著Y方向可移動地設置，於藉由第二保持機構6而載置多個製品P的移載位置X1、與藉由貼附用搬送機構103搬送多個製品P的取出位置X2之間移動。再者，移載位置X1設定於較傳遞軸71更靠近前側，為於水平面上與兩個切斷用台2A、2B沿著X方向配置成一列的位置，取出位置X2設定於較傳遞軸71更靠內裏側。
另外，搬送用移動機構7的傳遞軸71除了第一保持機構3可移動至基板供給機構11的基板供給部11b的上方，並且第 二保持機構6可移動至移載台5的上方的範圍以外，還延伸至後述的貼附構件搬送機構107可於貼附構件搬送位置X3與導軌108之間移動的範圍。另外，相對於該傳遞軸71，後述的載置台102、貼附構件收容部106及貼附構件搬送機構107亦相對於傳遞軸71設於同側(近前側)。
<連環收容的具體結構>
繼而，如圖17~圖19所示，第二實施形態的切斷裝置100包括：載置台102，載置貼附構件101，該貼附構件101具有供貼附多個製品P的黏著面101x；以及貼附用搬送機構103，將多個製品P自移載台5搬送至載置於載置台102的貼附構件101。
載置台102於本實施形態中沿著X方向設有兩個(參照圖17)，於各載置台102載置有貼附構件101。具體而言，兩個載置台102以該些的上表面位於同一水平面上(於Z方向位於相同高度位置)的方式配置。
另外，如圖17及圖18所示，兩個載置台102沿著Y方向可移動地設置，於藉由貼附構件搬送機構107搬送貼附構件101的貼附構件搬送位置X3、與藉由貼附用搬送機構103搬送多個製品P的貼附位置X4之間移動。兩個載置台102相互獨立地於貼附構件搬送位置X3與貼附位置X4之間移動。再者，貼附構件搬送位置X3設定於較傳遞軸71更靠近前側，貼附位置X4設定於較傳遞軸71更靠內裏側。另外，位於貼附位置X4的載置台102、與位於取出位置X2的移載台5沿著X方向配置(參照圖17)。
此處，如圖20所示，貼附構件101包括：框狀構件101a，呈例如圓環狀或矩形狀；以及樹脂片101b，具有配置於所述框狀構件101a的內側的黏著面101x。框狀構件101a例如為不鏽鋼等的金屬製。另外，樹脂片101b例如包括樹脂製的片狀基材101b1、及包含塗佈於該片狀基材101b1的上表面的接著劑的接著層(黏著層)101b2。再者，接著層(黏著層)101b2的上表面成為黏著面101x。
貼附用搬送機構103將多個製品P自移動至取出位置X2的移載台5搬送至移動至貼附位置X4的載置台102所載置的貼附構件101。
具體而言，如圖17及圖18所示，貼附用搬送機構103包括：製品吸附機構1031，將保持於移載台5的多個製品P以例如一列為單位吸附；以及吸附用移動機構1032，使所述製品吸附機構1031沿著X方向移動。本實施形態中，貼附用搬送機構103設有兩個，以各貼附用搬送機構103相互獨立地驅動的方式構成。
如圖19所示，製品吸附機構1031具有：吸附頭1031A，設有用以將多個製品P分別吸附保持的多個吸附部1031a；以及真空泵或真空噴射器(未圖示)，連接於所述吸附頭1031A的吸附部1031a。該製品吸附機構1031設為各吸附部1031a吸附一個製品P的結構。另外，多個吸附部1031a以可相互獨立地升降移動的方式構成，藉由各吸附部1031a下降，從而可分別吸附製品P。
如圖19所示，吸附用移動機構1032包括：X方向移動 部1032a，使製品吸附機構1031於X方向移動；以及Z方向移動部1032b，使製品吸附機構1031於Z方向移動。再者，吸附用移動機構1032亦可具有使製品吸附機構1031於Y方向移動的Y方向移動部。
X方向移動部1032a具有：X方向導軌1032a1，於傳遞軸71的內裏側沿著X方向設置；以及支持體1032a2，沿著所述X方向導軌1032a1移動，並且經由Z方向移動部1032b支持製品吸附機構1031。而且，支持體1032a2例如藉由沿X方向延伸的滾珠螺桿機構(未圖示)，而於X方向導軌1032a1上沿著X方向直線往返移動。該滾珠螺桿機構由伺服馬達等驅動源(未圖示)驅動。除此以外，支持體1032a2亦可以藉由直線馬達等其他直動機構而往返移動的方式構成。
如圖19所示，Z方向移動部1032b具有：Z方向導軌1032b1，於支持體1032a2中沿著Z方向設置；以及Z方向滑塊1032b2，沿著所述Z方向導軌1032b1移動並且支持製品吸附機構1031。而且，Z方向滑塊1032b2例如藉由沿Z方向延伸的滾珠螺桿機構(未圖示)，而於Z方向導軌1032b1上沿著Z方向直線往返移動。除此以外，Z方向滑塊1032b2亦可以藉由直線馬達等其他直動機構而往返移動的方式構成。
另外，對於吸附保持於貼附用搬送機構103的製品P，藉由第一攝像部201(參照圖17)來確認貼附用搬送機構103中的製品P的位置。該第一攝像部201為自下方拍攝吸附保持於貼 附用搬送機構103的製品吸附機構1031的製品P的、攝像相機，拍攝製品P的下表面(標記面)。另外，第一攝像部201以可於前後方向(Y方向)移動的方式設置。藉此，以可確認分別吸附保持於兩個貼附用搬送機構103的製品P的位置的方式構成。
進而，於各貼附用搬送機構103，如圖17所示，設有第二攝像部202，該第二攝像部202確認於貼附構件101貼附製品P的位置。該第二攝像部202為自上方拍攝位於貼附位置X4的載置台102上的貼附構件101的、攝像相機，拍攝貼附構件101的上表面(黏著面101x)。而且，基於由第一攝像部201所得的攝像資料、及由第二攝像部202所得的攝像資料，對貼附構件101進行製品P的對位，貼附用搬送機構103將製品P貼附於貼附構件101的黏著面101x。再者，製品P的對位可藉由貼附用搬送機構103的吸附用移動機構1032或設於貼附用搬送機構103的旋轉機構(未圖示)、或者載置台102的移動機構(未圖示)或設於載置台102的旋轉機構(未圖示)來進行。
另外，如圖21所示，本實施形態的切斷裝置100包括：貼附構件收容部106，收容貼附構件101；以及貼附構件搬送機構107，於載置台102與貼附構件收容部106之間搬送貼附構件101。
貼附構件收容部106收容未貼附製品P的空的貼附構件101，並且收容貼附有製品P的貼附完畢的貼附構件101。該貼附構件收容部106沿著X方向與位於貼附構件搬送位置X3的載置台102配置成一列(參照圖17)。
另外，於貼附構件收容部106的開口部，如圖17及圖21所示，設有用以針對貼附構件收容部106取出或放入貼附構件101的一對導軌108。該一對導軌108載置貼附構件101，於貼附構件收容部106的開口部的前方沿著X方向設置。
貼附構件搬送機構107於位於貼附構件搬送位置X3的載置台102與貼附構件收容部106之間搬送貼附構件101。具體而言，如圖21所示，貼附構件搬送機構107包括：第三保持機構1071，吸附並保持貼附構件101的框狀構件101a；以及移動機構1072，使所述第三保持機構1071至少於X方向及Z方向移動。
第三保持機構1071具有：吸附頭1071A，設有用以吸附保持貼附構件101的多個吸附部1071a；以及真空泵或真空噴射器(未圖示)，連接於所述吸附頭1071A的吸附部1071a。另外，移動機構1072是使用所述搬送用移動機構7的主移動機構72而構成，第三保持機構1071沿著共用的傳遞軸71移動。進而，移動機構1072具有與搬送用移動機構7的升降移動機構73同樣的升降移動機構1072a。再者，移動機構1072亦可具有使第三保持機構1071於Y方向移動的Y方向移動機構。
<切斷裝置100的動作的一例>
繼而，參照圖9、圖17~圖19及圖21對第二實施形態的切斷裝置100的動作的一例加以說明。本實施形態中，切斷裝置100的動作、例如密封完畢基板W的搬送、密封完畢基板W的切斷、製品P的檢查、製品P的清潔及製品P的連環收容等所有的動作 或控制是由控制部CTL(參照圖17)進行。
於本實施形態的切斷裝置100的動作中，密封完畢基板W的搬送、密封完畢基板W的切斷、製品P的清潔及製品P的檢查為止的動作與所述第一實施形態同樣(參照圖9)。
繼而，進行兩面檢查後，製品P自反轉機構14移交至移載台5。載置有多個製品P的移載台5移動至取出位置X2(參照圖17、圖18及圖19)。
另一方面，於位於貼附構件搬送位置X3的載置台102，藉由貼附構件搬送機構107自貼附構件收容部106搬送空的貼附構件101。繼而，搬送有空的貼附構件101的載置台102移動至貼附位置X4(參照圖18及圖19)。
於該狀態下，如圖19所示，貼附用搬送機構103自位於取出位置X2的移載台5吸附保持製品P。繼而，移動至第一攝像部201的上方。藉此，藉由第一攝像部201來確認貼附用搬送機構103中的製品P的位置。另外，使貼附用搬送機構103移動，藉由第二攝像部202來確認位於貼附位置X4的載置台102上的貼附構件101中的、供貼附製品P的位置。繼而，貼附用搬送機構103將所保持的製品P貼附於貼附構件101。該動作反覆進行，直至貼附有可貼附於貼附構件101的容許數的製品P為止，或者直至將位於移載台5的多個製品P全部貼附為止。
然後，如圖18及圖21所示，載置台102移動至貼附構件搬送位置X3。繼而，貼附構件搬送機構107將載置於載置台102 的貼附完畢的貼附構件101搬送至貼附構件收容部106。具體而言，貼附構件搬送機構107將貼附完畢的貼附構件101載置於設於貼附構件收容部106的一對導軌108，推動載置於一對導軌108的貼附完畢的貼附構件101，藉此將貼附完畢的貼附構件101收容於貼附構件收容部106。
繼而，於自貼附構件收容部106取出空的貼附構件101的情形時，貼附構件搬送機構107抽出貼附構件收容部106內的貼附構件101，載置於一對導軌108，吸附保持載置於一對導軌108的空的貼附構件101並搬送至位於貼附構件搬送位置X3的載置台102。
<保持用板M1的自動更換功能>
進而，第二實施形態的切斷裝置100與所述第一實施形態同樣地，具有可自動更換用以保持密封完畢基板W或製品P的保持用板M1的功能。再者，本實施形態中，與第一實施形態同樣地，切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141、移載台5及第二保持機構6具有保持用板M1及保持基部M2。再者，保持用板M1及保持基部M2的具體結構與第一實施形態同樣。
具體而言，如圖17及圖22所示，切斷裝置100包括：板收容部24，收容保持用板M1；以及板搬送機構25，於板收容部24及保持基部M2之間搬送保持用板M1。再者，於第二實施形態的切斷裝置100，與所述第一實施形態同樣地，設有固定機構26及檢查機構29。
本實施形態的板收容部24為與第一實施形態同樣的結構，但如圖23所示，板收容部24及貼附構件收容部106相互上下地配置。本實施形態的板收容部24設於貼附構件收容部106的上方。而且，板收容部24及貼附構件收容部106以可於上下方向(Z方向)升降移動的方式構成。此處，設有使板收容部24升降移動的升降移動部109、及使貼附構件收容部106升降移動的升降移動部110，板收容部24及貼附構件收容部106以可相互獨立地升降移動的方式構成。再者，升降移動部109、升降移動部110例如可使用滾珠螺桿機構，亦可使用氣缸，亦可使用直線馬達。另外，板收容部24與貼附構件收容部106亦可以藉由共用的升降移動機構而可一體地升降移動的方式構成。
於針對貼附構件收容部106取出或放入貼附構件101的情形時，如圖23的(a)所示，板收容部24藉由升降移動部109向上方退避，貼附構件收容部106藉由升降移動部110配置於所需的高度位置H1，藉由貼附構件搬送機構107針對貼附構件收容部106取出或放入貼附構件101。
另一方面，於針對板收容部24取出或放入保持用板M1的情形時，如圖23的(b)所示，貼附構件收容部106藉由升降移動部110向下方退避，板收容部24藉由升降移動部109配置於所需的高度位置H2，藉由板搬送機構25針對板收容部24取出或放入保持用板M1。此處，板收容部24的高度位置H2設為較貼附構件收容部106的高度位置H1更高的位置，以使貼附構件搬送機 構107不干擾導軌108。
如圖17所示，本實施形態的板搬送機構25具有：第一搬送機構25a，於板收容部24與臨時放置部27之間搬送保持用板M1；以及第二搬送機構25b，於臨時放置部27與保持基部M2之間搬送保持用板M1。本實施形態的臨時放置部27為反轉機構14的保持台141。再者，亦可將移載台5設為臨時放置部27，亦可與保持台141及移載台5無關而另設置臨時放置部27。
第二實施形態的第一搬送機構25a與所述第一實施形態不同，是使用貼附構件搬送機構107(第三保持機構1071及移動機構1072)而構成。即，第二實施形態的第一搬送機構25a可搬送供貼附加工後的加工對象物W(製品P)的貼附構件101。第二搬送機構25b與第一實施形態同樣地，是使用第二保持機構6及搬送用移動機構7而構成，可搬送加工對象物W。即，板搬送機構25(第一搬送機構25a及第二搬送機構25b)設為藉由所述共用的傳遞軸71而於X方向移動的結構。另外，板搬送機構25相對於傳遞軸71，於平面視時設於同側(近前側)。
此處，成為第一搬送機構25a的貼附構件搬送機構107中，如圖21所示，除了用以吸附保持貼附構件101的多個吸附部1071a以外，還具有使用上文所述的夾筒的搬送用圓筒部1071b。貼附構件搬送機構107以可使進行保持用板M1的保持的部分升降的方式構成，可於使保持有保持用板M1的部分上升而設為上升位置的狀態下，搬送保持用板M1。
<保持用板M1的更換動作>
繼而，參照圖24及圖25對本實施形態的板搬送機構25進行的保持用板M1的更換動作加以說明。
再者，以下的更換動作中，自板收容部24取出保持用板M1時的保持用板M1的判別是藉由以下方式進行，即：藉由設於第一搬送機構25a(板搬送機構25)的標識符讀取器(未圖示)來讀取設於保持用板M1的RFID等標識符。另外，該更換動作中，如圖23的(b)所示，貼附構件收容部106藉由升降移動部110向下方退避，板收容部24藉由升降移動部109配置於所需的高度位置H2，藉由板搬送機構25針對板收容部24取出或放入保持用板M1。
(1)移載台5及保持台141的保持用板M1的更換動作(參照圖24)
卸除保持台141的保持用板M1，藉由第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送板收容部24。再者，於卸除保持台141的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)自板收容部24取出保持台141的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至保持台141的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而 將可動件262b設為沒入位置，則保持用板M1下降，固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對保持台141的保持基部M2固定保持用板M1。
另外，卸除移載台5的保持用板M1，藉由第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24。再者，於卸除移載台5的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)自板收容部24取出移載台5的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至移載台5的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則保持用板M1下降，固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對移載台5的保持基部M2固定保持用板M1。
再者，保持台141的保持用板M1的更換與移載台5的保持用板M1的更換的順序不限於上文所述，亦可相反，亦可於卸除保持台141及移載台5各自的保持用板M1後，於保持台141及移載台5分別安裝新的保持用板M1。
(2)切斷用台2A、切斷用台2B及第二保持機構6的保 持用板M1的更換動作(參照圖25)
卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1，藉由第二搬送機構25b(搬送用移動機構7及第二保持機構6)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至作為臨時放置部27的保持台141，使保持用板M1下降並載置。再者，於卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。此處，於將保持台141設為臨時放置部27的情形時，較理想為預先卸除保持台141的保持用板M1。
另外，第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)使載置於保持台141的切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降並收容。
繼而，第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)自板收容部24取出切斷用台2A、切斷用台2B的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至作為臨時放置部27的保持台141，使保持用板M1下降並載置。
繼而，第二搬送機構25b(搬送用移動機構7及第二保持機構6)將載置於保持台141的新的保持用板M1於設為上升位置的狀態下搬送至切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部 262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2固定保持用板M1。
於更換第二保持機構6的保持用板M1的情形時，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至作為臨時放置部27的保持台141，並且使保持用板M1下降並卸除，將保持用板M1載置於作為臨時放置部27的保持台141。再者，於卸除第二保持機構6的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)使載置於保持台141的第二保持機構6的保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降並收容。
繼而，第一搬送機構25a(貼附構件搬送機構107)自板收容部24取出第二保持機構6的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至作為臨時放置部27的保持台141，使保持用板M1下降並載置。
繼而，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至保持台141，使保持基部M2下降，安裝載置於保持台141的新的保持用板M1。此處，藉由搬送用移動機構7將設於第二保持機構6的保持基部M2的固定用圓筒部262插入至形成於保持用板M1的固定用插入孔261。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓 縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對第二保持機構6的保持基部M2固定保持用板M1。
再者，於更換切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1時，預先卸除成為第二搬送機構25b的第二保持機構6的保持用板M1、及保持台141的保持用板M1。另外，於更換第二保持機構6的保持用板M1時，預先卸除保持台141的保持用板M1。
另外，亦可將移載台5、保持台141、切斷用台2A、切斷用台2B及第二保持機構6的保持用板M1的更換設為一系列動作而進行。例如，可想到將移載台5、保持台141、第二保持機構6及切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1依序卸除，然後依序安裝切斷用台2A、切斷用台2B、第二保持機構6、保持台141及移載台5的保持用板M1。
<第二實施形態的效果>
根據第二實施形態的切斷裝置100，與第一實施形態同樣地，具有將自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24並將位於板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2的板搬送機構25，故而可對保持基部M2自動更換保持用板M1。其結果為，可削減用以更換保持用板M1的人力費。另外，因自動更換保持用板M1，故而可縮短保持用板M1的更換時間，可提高切斷裝置100的生產性。進而，可減小保持用板M1對保持基部M2的 安裝狀態的不均一。除此以外，第二實施形態中，藉由與所述第一實施形態同樣的結構所產生的效果相同。
尤其第二實施形態中，板搬送機構25將貼附構件101搬送至載置台102，故而無需與板搬送機構25無關而另設置貼附構件用的搬送機構，可使進行連環收容的切斷裝置100的裝置結構簡化。進而，亦可削減裝置成本。除此以外，於對多個製品P進行濺鍍步驟或封裝步驟等後續步驟的情形時，只要使貼附有多個製品P的貼附構件101移動即可，可使其操作容易。
進而，板搬送機構25具有：第一搬送機構25a，於板收容部24與臨時放置部27之間搬送保持用板M1；以及第二搬送機構25b，於臨時放置部27與保持基部M2之間搬送保持用板M1，故而與由一個搬送機構來構成板搬送機構25的情形相比，可增大保持用板M1的搬送目的地的自由度。此處，使用貼附構件搬送機構107(第三保持機構1071及移動機構1072)來構成第一搬送機構25a，故而可使裝置結構簡化並且削減裝置成本。另外，使用第二保持機構6及搬送用移動機構7來構成第二搬送機構25b，故而可使裝置結構簡化並且削減裝置成本。
<第二實施形態的變形例>
例如，所述第二實施形態中，為自動更換切斷用台2A、切斷用台2B、檢查用台(保持台141)、移載台5及搬送用保持機構(第二保持機構6)各自的保持用板M1的結構，但亦可為自動更換切斷用台2A、切斷用台2B、檢查用台(保持台141)、移載台5及 搬送用保持機構(第二保持機構6)中的至少一個的結構。
所述第二實施形態的板搬送機構25為具有第一搬送機構25a及第二搬送機構25b的結構，但亦可設為具有單一的搬送機構的結構。另外，板搬送機構25亦可設為不使用貼附構件搬送機構107的結構，亦可設為不使用第二保持機構6及搬送用移動機構7(加工對象物搬送機構)的結構。
於設為板搬送機構25不使用貼附構件搬送機構107的結構的情形時，藉由將板收容部24配置於第二保持機構6可存取的位置(例如移載台5(索引台)與貼附構件101的載置台102之間)，從而可不使用貼附構件搬送機構107而藉由第二保持機構6及搬送用移動機構7來構成板搬送機構25。
另外，所述第二實施形態的板收容部24收容切斷用台2A、切斷用台2B、檢查用台(保持台141)、移載台5及第二保持機構6各自的保持用板M1，但亦可設為根據保持用板M1的種類而設置多個專用的板收容部24的結構。
例如，所述第二實施形態中對設有多個(具體而言為兩個)載置台102的結構進行了說明，但如圖26的(a)所示，載置台102亦可為一個。於該情形時，可於貼附構件收容部106的開口部於上下設置兩個導軌108A、108B。該結構中，上方的導軌108A以相互的間隔可藉由未圖示的擴縮機構進行擴縮的方式構成。
具有該上下兩段結構的導軌108A、108B的情形的動作 如下。
首先，上方的導軌108A的間隔藉由擴縮機構而擴寬(參照圖26的(b))。繼而，貼附構件搬送機構107於上方的導軌108A之間下降，自貼附構件收容部106將空的貼附構件101抽出並臨時放置於下方的導軌108B。然後，貼附構件搬送機構107移動至位於貼附構件搬送位置X3的載置台102，承接貼附完畢的貼附構件101。
繼而，上方的導軌108A的間隔藉由擴縮機構而縮窄(參照圖26的(c))。繼而，貼附構件搬送機構107將貼附完畢的貼附構件101載置於上方的導軌108A，將該貼附構件101推入至貼附構件收容部106。
然後，上方的導軌108A的間隔藉由擴縮機構而擴寬。繼而，貼附構件搬送機構107於上方的導軌108A之間下降，承接載置於下方的導軌108B的空的貼附構件101，搬送至載置台102。
另外，所述第二實施形態中為具有兩個貼附用搬送機構103的結構，但亦可設為具有一個貼附用搬送機構103的結構。
進而，第一攝像部201為兩個貼附用搬送機構103所共用，但亦可與兩個貼附用搬送機構103分別對應地設置第一攝像部201。
另外，所述第二實施形態的移載台5為貼附於貼附構件101之前暫時載置的索引台，亦可將移載台5設為反轉機構14的保持台141。
<發明的第三實施形態>
繼而，對本發明的第三實施形態加以說明。
第三實施形態的切斷裝置100與所述第一實施形態的托盤收容及第二實施形態的連環收容不同，以可將多個製品P以零散的狀態收容(亦稱為「塊收容」)的方式構成。
具體而言，如圖27所示，切斷裝置100包括：兩個切斷用台(加工用台)2A、2B，保持密封完畢基板W；第一保持機構3，為了將密封完畢基板W搬送至切斷用台2A、切斷用台2B而保持密封完畢基板W；切斷機構(加工機構)4，將保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W切斷；第二保持機構6，為了將多個製品P自切斷用台2A、切斷用台2B搬送至收容箱111而保持多個製品P；以及搬送用移動機構7，具有用以使第一保持機構3及第二保持機構6移動的共用的傳遞軸71；以及切斷用移動機構(加工用移動機構)8，使切斷機構4相對於保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W而移動。
以下，主要對與第一實施形態、第二實施形態不同的結構進行說明。
如圖27所示，第三實施形態的第二保持機構6為了將多個製品P自切斷用台2A、切斷用台2B搬送至乾燥用台112或收容箱111而保持多個製品P。如圖8所示，該第二保持機構6為與第一實施形態、第二實施形態同樣的結構。而且，藉由吸附頭61由後述的搬送用移動機構7等移動至所需的位置，從而將多 個製品P自切斷用台2A、切斷用台2B搬送至乾燥用台112，自乾燥用台112搬送至收容箱111。
如圖27所示，第三實施形態的搬送用移動機構7使第一保持機構3至少於基板供給機構11與切斷用台2A、切斷用台2B之間移動，並且使第二保持機構6至少於切斷用台2A、切斷用台2B與收容箱111之間移動。
另外，傳遞軸71設於下述範圍，即：第一保持機構3可移動至基板供給機構11的基板供給部11b的上方，並且第二保持機構6可移動至收容箱111的上方(參照圖27)。另外，相對於該傳遞軸71，後述的收容箱111及乾燥用台112亦於平面視時設於同側(近前側)。
進而，主移動機構72的導軌721沿著傳遞軸71於X方向一直線地延伸，與傳遞軸71同樣地，設於下述範圍，即：第一保持機構3可移動至基板供給機構11的基板供給部11b的上方，並且第二保持機構6可移動至收容箱111的上方。
<切斷裝置100的乾燥功能>
第三實施形態的切斷裝置100具有將經第二清潔機構19清潔的多個製品P進一步乾燥的功能。具體而言，如圖27~圖29所示，切斷裝置100包括：乾燥用台112，用於將多個製品P乾燥；乾燥機構113，將載置於乾燥用台112的多個製品P乾燥；以及乾燥用移動機構114，使所述乾燥機構113沿著乾燥用台112移動。
乾燥用台112藉由第二保持機構6及搬送用移動機構7 來搬送多個製品P並載置。該乾燥用台112吸附並保持多個製品P。另外，乾燥用台112於水平面上沿著X方向與兩個切斷用台2A、2B配置成一列。本實施形態的乾燥用台112於平面視時呈矩形狀，但亦可為其他形狀。
乾燥機構113自乾燥用台112的上方噴射作為氣體的壓縮空氣，將吸附保持於乾燥用台112的多個製品P乾燥。該乾燥機構113具有向保持於乾燥用台112的多個製品P噴射壓縮空氣的噴射噴嘴113a。本實施形態的噴射噴嘴113a具有朝向乾燥用台112設置的、直線狀地延伸的呈狹縫狀的開口(參照圖28)，但亦可具有沿著X方向間歇地設置的多個開口。
本實施形態的乾燥機構113以向乾燥用移動機構114的移動方向噴射壓縮空氣的方式構成(參照圖28)。即，以噴射噴嘴113a噴射壓縮空氣的方向朝向乾燥用移動機構114的移動方向(此處為於Y方向自近前側向內裏側)的方式構成。
另外，如圖28所示，乾燥機構113的噴射噴嘴113a相對於保持於乾燥用台112上的多個製品P的、沿著X方向的排列方向，例如以小於30度傾斜地配置。此處，於乾燥用台112，多個製品P於X方向及Y方向配置成矩陣狀，乾燥機構113的噴射噴嘴113a相對於各製品P的沿著X方向的一邊傾斜地噴射壓縮空氣。藉此，容易將積存於鄰接的製品P之間的水分自製品P吹飛。藉此，促進多個製品P的乾燥。另外，亦可以朝向乾燥用台112稍許傾斜的方式設置乾燥機構113的噴射噴嘴113a的狹縫狀的開 口，使壓縮空氣朝向乾燥機構113的移動方向而吹飛。
乾燥用移動機構114使乾燥機構113於乾燥用台112的上方於Y方向移動。本實施形態的乾燥用移動機構114使乾燥機構113相對於乾燥用台112於Y方向往返移動。具體而言，如圖28及圖29所示，乾燥用移動機構114包括：Y方向導軌1141，沿Y方向延伸；滑動構件1142，沿著所述Y方向導軌1141移動並且保持乾燥機構113；以及驅動部(未圖示)，使所述滑動構件1142沿著Y方向導軌1141移動。再者，作為驅動部，例如可使用滾珠螺桿機構，亦可使用氣缸，亦可使用直線馬達。
<乾燥動作的一例>
繼而，對乾燥機構113及乾燥用移動機構114進行的乾燥動作加以說明。
於乾燥用台112載置多個製品P之前，乾燥用移動機構114使乾燥機構113退避至乾燥用台112的Y方向其中一側(例如近前側)，以不妨礙多個製品P的載置。而且，若於乾燥用台112載置保持多個製品P，則乾燥機構113開始噴射壓縮空氣，並且乾燥用移動機構114使乾燥機構113向Y方向另一側(例如內裏側)移動。藉此，進行保持於乾燥用台112的多個製品P的乾燥。再者，於乾燥用移動機構114使乾燥機構113自Y方向另一側(內裏側)向Y方向其中一側(近前側)移動時，乾燥機構113停止噴射氣體。再者，乾燥機構113亦可設為不僅於往路而且亦於返路中噴射壓縮空氣的結構。
<塊收容的具體結構(收容箱111及撣落構件115)>
如圖27~圖29所示，收容箱111以零散的狀態收容多個製品P(所謂塊收容)。另外，收容箱111於水平面上沿著X方向與兩個切斷用台2A、2B配置成一列。該收容箱111更包括：撣落構件115，自第二保持機構6撣落多個製品P。
收容箱111於平面視時具有矩形狀的上部開口111X(參照圖28)。而且，撣落構件115固定於收容箱111的上部開口111X的一邊。藉由使第二保持機構6相對於該撣落構件115於X方向移動，從而製品P被撣落而掉落，收容於收容箱111。
另外，本實施形態的收容箱111於X方向設於乾燥用台112與後述的收容保持用板M1的板收容部24之間，撣落構件115於收容箱111的上部開口111X設於乾燥用台112側的一邊。藉此，設為於撣落製品P時第二保持機構6不干擾板收容部24的結構。
撣落構件115自上部開口111X的乾燥用台112側的一邊向上方延伸設置(參照圖29)。另外，作為撣落構件115，只要可將經吸附解除的未離開第二保持機構6的製品P撣落即可，例如為聚醚醚酮(PolyetheretherKetone，PEEK)材料等的樹脂製，其形態可為刷形狀，亦可為平板形狀。
本實施形態中，收容箱111配置於傳遞軸71的近前側，於收容箱111的近前側的外表面設有把手1111(參照圖28)，以可自切斷裝置100的近前側卸除的方式構成。藉由該結構，可提高製品P的取出、回收等的維護性。再者，收容箱111的取出方向 不限於近前側，例如亦可設為自切斷裝置100的橫側取出的結構，亦可設為自內裏側取出的結構。
<切斷裝置100的動作的一例>
繼而，參照圖30對第三實施形態的切斷裝置100的動作的一例加以說明。圖30中，表示切斷裝置100的動作中的第一保持機構3的移動路徑、及第二保持機構6的移動路徑。再者，本實施形態中，切斷裝置100的動作、例如密封完畢基板W的搬送、密封完畢基板W的切斷、製品P的清潔、製品P的乾燥及製品P的撣落動作等所有的動作或控制是由控制部CTL(參照圖27)進行。
於本實施形態的切斷裝置100的動作中，密封完畢基板W的搬送、密封完畢基板W的切斷及製品P的清潔為止的動作與所述第一實施形態同樣。
繼而，於製品P的清潔之後，搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至乾燥用台112，第二保持機構6解除吸附保持，將多個製品P載置於乾燥用台112。繼而，乾燥用台112吸附保持密封完畢基板W。此時，搬送用移動機構7使第二保持機構6退避至不妨礙乾燥機構113的移動的位置。
於該狀態下，乾燥用移動機構114使乾燥機構113於Y方向往返移動，並且乾燥機構113噴射壓縮空氣，藉此進行多個製品P的乾燥。再者，乾燥用移動機構114使乾燥機構113往返的次數可適當設定，可為一次，亦可為多次。
於乾燥之後，搬送用移動機構7使第二保持機構6移動 至乾燥用台112，第二保持機構6自乾燥用台112吸附保持多個製品P。然後，搬送用移動機構7使保持有多個製品P的第二保持機構6移動至收容箱111。
繼而，第二保持機構6於收容箱111的上部開口111X的上方，解除多個製品P的吸附保持。然後，搬送用移動機構7以撣落構件115觸碰未自第二保持機構6掉落而殘存於第二保持機構6的製品P的方式，使第二保持機構6相對於撣落構件115向乾燥用台112側移動。本實施形態中，為了可靠地撣落製品P，以撣落構件115與第二保持機構6的作為吸附面的下表面接觸的方式使第二保持機構6相對於撣落構件115而移動。藉此，多個製品P掉落並收容於收容箱111。
<保持用板M1的自動更換功能>
進而，第三實施形態的切斷裝置100與所述第一實施形態、第二實施形態同樣地，具有可自動更換用以保持密封完畢基板W或製品P的保持用板M1的功能。再者，本實施形態中，切斷用台2A、切斷用台2B、乾燥用台112及第二保持機構6具有保持用板M1及保持基部M2。再者，保持用板M1及保持基部M2的具體結構與第一實施形態同樣。
具體而言，如圖27及圖31所示，切斷裝置100包括：板收容部24，收容保持用板M1；以及板搬送機構25，於板收容部24及保持基部M2之間搬送保持用板M1。再者，於第二實施形態的切斷裝置100，與所述第一實施形態同樣地，設有固定機構 26及檢查機構29。
第三實施形態的板搬送機構25是使用第二保持機構6及搬送用移動機構7而構成，可搬送多個製品P。換言之，第二保持機構6及搬送用移動機構7具有搬送保持用板M1的功能。該板搬送機構25設為藉由所述共用的傳遞軸71而於X方向移動的結構。另外，板搬送機構25相對於傳遞軸71，於平面視時設於同側(近前側)。此處，構成板搬送機構25的第二保持機構6與第一實施形態同樣地，具有搬送用圓筒部282(參照圖13)，該搬送用圓筒部282插入至形成於保持用板M1的搬送用保持孔281(參照圖10)。
<保持用板M1的更換動作>
繼而，參照圖32對本實施形態的板搬送機構25進行的保持用板M1的更換動作加以說明。
再者，以下的更換動作中，自板收容部24取出保持用板M1時的保持用板M1的判別是藉由下述方式進行，即：藉由設於板搬送機構25(第二保持機構6)的標識符讀取器(未圖示)來讀取設於保持用板M1的RFID等標識符。
(1)第二保持機構6的保持用板M1的卸除動作(參照圖32的(a))
首先，卸除第二保持機構6的保持用板M1。具體而言，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至板收容部24，並且使第二保持機構6下降而卸除保持用板M1，將保持用板M1載置並 收容於滑動架部241。再者，於卸除第二保持機構6的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
使用卸除了該保持用板M1的狀態的第二保持機構6，進行切斷用台2A、切斷用台2B或乾燥用台112的保持用板的更換動作。
(2)切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1的更換動作(參照圖32的(b))
卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1，藉由板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降，載置並收容於滑動架部241。再者，於卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)自板收容部24取出切斷用台2A、切斷用台2B的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2固定保持用板M1。
(3)乾燥用台112的保持用板M1的更換動作(參照圖32的(b))
卸除乾燥用台112的保持用板M1，藉由板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降，載置並收容於滑動至前方的滑動架部241。再者，於卸除乾燥用台112的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)自板收容部24取出乾燥用台112的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至乾燥用台112的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對乾燥用台112的保持基部M2固定保持用板M1。
(4)第二保持機構6的保持用板M1的安裝動作(參照圖32的(c))
如上文所述，進行切斷用台2A、切斷用台2B及乾燥用台112的保持用板M1的更換動作後，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至板收容部24，使第二保持機構6下降，安裝載置於滑動架部241的新的保持用板M1。此處，藉由搬送用移動機構7 將設於第二保持機構6的保持基部M2的固定用圓筒部262插入至形成於保持用板M1的固定用插入孔261。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對第二保持機構6的保持基部M2固定保持用板M1。
再者，切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1的更換動作與乾燥用台112的保持用板M1的更換動作的哪一個先進行均可。另外，亦可自切斷用台2A、切斷用台2B及乾燥用台112的保持基部M2卸除保持用板M1，然後於切斷用台2A、切斷用台2B及乾燥用台112的保持基部M2安裝新的保持用板M1。
另外，上文中，將第二保持機構6、切斷用台2A、切斷用台2B及乾燥用台112的保持用板M1的更換設為一系列動作，但亦可分別進行第二保持機構6、切斷用台2A、切斷用台2B或乾燥用台112中至少一個的保持用板M1的更換。此時，於更換切斷用台2A、切斷用台2B或乾燥用台112的保持用板M1時，可想到將構成板搬送機構25的第二保持機構6的保持用板M1預先卸除。
<第三實施形態的效果>
根據第三實施形態的切斷裝置100，與第一實施形態、第二實施形態同樣地，具有將自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24並將位於板收容部24的保持用板M1搬送至保持基 部M2的板搬送機構25，故而可對保持基部M2自動更換保持用板M1。其結果為，可削減用以更換保持用板M1的人力費。另外，因可自動更換保持用板M1，故而可縮短保持用板M1的更換時間，可提高切斷裝置100的生產性。進而，可減小保持用板M1對保持基部M2的安裝狀態的不均一。除此以外，第三實施形態中，藉由與所述第一實施形態、第二實施形態同樣的結構所產生的效果相同。
尤其於第三實施形態中，板搬送機構25可將多個製品P搬送至收容箱111，故而無需與板搬送機構25無關而設置另外的製品搬送機構，可使進行塊收容的切斷裝置100的裝置結構簡化。進而，亦可削減裝置成本。除此以外，使多個製品P掉落並收容於收容箱111，故而與先前的托盤收容的結構相比，可使收容空間小型化。藉此亦可減小切斷裝置100的佔據面積。
<第三實施形態的變形例>
例如，第三實施形態中，為自動更換切斷用台2A、切斷用台2B、乾燥用台112及保持機構(第二保持機構6)各自的保持用板M1的結構，但亦可設為自動更換切斷用台2A、切斷用台2B、乾燥用台112及保持機構(第二保持機構6)中至少一個的結構。
第三實施形態的板搬送機構25亦可設為不使用第二保持機構6及搬送用移動機構7的結構。
另外，所述第三實施形態的板收容部24收容切斷用台2A、切斷用台2B、乾燥用台112及保持機構(第二保持機構6) 各自的保持用板M1，但亦可設為根據保持用板M1的種類設置多個專用的板收容部24的結構。
另外，亦可設為下述結構，即：不具有撣落構件115，藉由第二保持機構6解除吸附保持後，藉由自第二保持機構6噴射氣體，從而使多個製品P掉落。
進而，除了將撣落構件115固定於收容箱111的結構以外，亦可固定於其他構件，或者亦可設為下述結構，即：以可移動的方式構成撣落構件115，藉由撣落構件115相對於第二保持機構6移動，從而撣落多個製品P。
<本發明的第四實施形態>
繼而，對本發明的第四實施形態加以說明。
第四實施形態的切斷裝置100與所述第一實施形態的托盤收容、第二實施形態的連環收容及第三實施形態的塊收容不同，以可將多個製品P收容於筒狀容器116(亦稱為「管收容」)的方式構成。再者，筒狀容器116有時亦稱為管、盒棒、棒盒、棒等。
具體而言，如圖33所示，切斷裝置100包括：兩個切斷用台(加工台)2A、2B，保持密封完畢基板W；第一保持機構3，為了將密封完畢基板W搬送至切斷用台2A、切斷用台2B而保持密封完畢基板W；切斷機構(加工機構)4，將保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W切斷；移載台5，移動多個製品P；第二保持機構6，為了將多個製品P自切斷用台2A、切斷用台2B搬送至移載台5而保持多個製品P；搬送用移動機構 7，具有用以使第一保持機構3及第二保持機構6移動的共用的傳遞軸71；以及切斷用移動機構(加工用移動機構)8，使切斷機構4相對於保持於切斷用台2A、切斷用台2B的密封完畢基板W而移動。
以下，主要對與第一實施形態~第三實施形態不同的結構加以說明。
本實施形態的移載台5於將多個製品P收容於後述的筒狀容器116之前，暫時載置多個製品P。另外，如圖33所示，移載台5以沿著Y方向可移動的方式設置，於藉由第二保持機構6載置多個製品P的移載位置X1、與藉由搬送收容機構118搬送多個製品P的取出位置X2之間移動。再者，移載位置X1設定於較傳遞軸71更靠近前側，為於水平面上沿著X方向與兩個切斷用台2A、2B配置成一列的位置，取出位置X2設定於較傳遞軸71更靠內裏側。
<管收容的具體結構>
繼而，如圖33~圖35所示，本實施形態的切斷裝置100包括：容器設置部117，設置有筒狀容器116，所述筒狀容器116將多個製品P自一端開口部116x收容；以及搬送收容機構118，將多個製品P自移載台5搬送至設置於容器設置部117的筒狀容器116並收容。
容器設置部117設置有未收容有製品P的空的筒狀容器116，藉由搬送收容機構118自筒狀容器116的一端開口部116x 插入製品P。
如圖33所示，本實施形態的容器設置部117包括：空容器收容部117a，收容空的筒狀容器116；插入位置設置部117b，設置於自所述空容器收容部117a送出空的筒狀容器116並且將製品P自一端開口部116x插入空的筒狀容器116的、插入位置；以及收容完畢容器收容部117c，收容製品P滿載或收容有所需個數的製品P的、收容完畢的筒狀容器116。
此處，如圖34所示，筒狀容器116以排列成列狀的狀態收容多個製品P。具體而言，筒狀容器116具有直線狀地延伸的形狀，於內部具有收容製品P的空間。另外，筒狀容器116的與長度方向正交的剖面形狀為與製品P的剖面形狀對應的形狀。再者，圖34所示的筒狀容器116為沿著長度方向延伸的側周壁的一部分打開的結構，但亦可為所述側周壁閉合的結構。另外，筒狀容器116除了以排列成一列的狀態收容多個製品P的結構以外，亦可為以排列成多列的狀態收容多個製品P的結構。進而，筒狀容器116可為樹脂製，亦可為金屬製。另外，圖34中，作為製品P而表示具有引線的形態，但亦可為方形扁平無引線(Quad Flat No-lead，QFN)等無引線型。
如圖33及圖35所示，搬送收容機構118包括：中間台119，暫時載置多個製品P；以及第一製品搬送機構120，將多個製品P自位於取出位置X2的移載台5搬送至中間台119；以及第二製品搬送機構121，將多個製品P自中間台119搬送至設置於容 器設置部117的插入位置設置部117b的、筒狀容器116並收容。
中間台119由第一製品搬送機構120自位於取出位置X2的移載台5搬送製品P並暫時載置。另外，暫時載置於中間台119的製品P由第二製品搬送機構121搬送至設置於容器設置部117的筒狀容器116。本實施形態的中間台119於X方向及Y方向經固定，但亦可以可移動的方式構成。
第一製品搬送機構120自移動至取出位置X2的移載台5將多個製品P以既定個數(例如一個)為單位搬送至中間台119。
具體而言，如圖35所示，第一製品搬送機構120包括：製品吸附機構1201，將保持於移載台5的多個製品P以既定個數(例如一個)為單位吸附；以及吸附用移動機構1202，使所述製品吸附機構1201沿著X方向移動。
如圖35所示，製品吸附機構1201具有：吸附頭1201A，設有用以吸附保持多個製品P的吸附部1201a；以及真空泵或真空噴射器(未圖示)，連接於所述吸附頭1201A的吸附部1201a。所述製品吸附機構1201設為各吸附部1201a吸附一個製品P的結構。另外，多個吸附部1201a以可相互獨立地升降移動的方式構成，藉由各吸附部1201a下降，從而分別吸附製品P。再者，於第一製品搬送機構120的下部，設有用以確認吸附的製品P的狀態的、攝像相機203。
如圖35所示，吸附用移動機構1202包括：X方向移動部1202a，使製品吸附機構1201於X方向移動；以及Z方向移動 部1202b，使製品吸附機構1201於Z方向移動。再者，吸附用移動機構1202亦可具有使製品吸附機構1201於Y方向移動的Y方向移動部。
X方向移動部1202a具有：X方向導軌1202a1，於傳遞軸71的內裏側沿著X方向設置；以及支持體1202a2，沿著所述X方向導軌1202a1移動，並且經由Z方向移動部1202b支持製品吸附機構1201。而且，支持體1202a2例如藉由沿X方向延伸的滾珠螺桿機構(未圖示)，而於X方向導軌1202a1上沿著X方向直線往返移動。該滾珠螺桿機構由伺服馬達等驅動源(未圖示)驅動。除此以外，支持體1202a2亦可以藉由直線馬達等其他直動機構而往返移動的方式構成。
Z方向移動部1202b具有：Z方向導軌1202b1，於支持體1202a2中沿著Z方向設置；以及Z方向滑塊1202b2，沿著所述Z方向導軌1202b1移動並且支持製品吸附機構1201。而且，Z方向滑塊1202b2例如藉由沿Z方向延伸的滾珠螺桿機構(未圖示)，而於Z方向導軌1202b1上沿著Z方向直線往返移動。除此以外，Z方向滑塊1202b2亦可以藉由直線馬達等其他直動機構而往返移動的方式構成。
如圖33及圖35所示，第二製品搬送機構121將載置於中間台119的製品P搬送至設置於容器設置部117的插入位置設置部117b的筒狀容器116，自該筒狀容器116的一端開口部116x插入並收容製品P。
具體而言，如圖35所示，第二製品搬送機構121具有：推壓構件121a，推動載置於中間台119的製品P；以及驅動部121b，使所述推壓構件121a沿著Y方向移動。再者，作為驅動部121b，例如可使用滾珠螺桿機構，亦可使用氣缸，亦可使用直線馬達。另外，第二製品搬送機構121亦可具有將製品P導引至筒狀容器116的一端開口部116x的製品導引部。進而，亦可具有使推壓構件121a升降的機構。
<切斷裝置的動作的一例>
繼而，參照圖9、圖33及圖35對切斷裝置100的動作的一例加以說明。本實施形態中，切斷裝置100的動作、例如密封完畢基板W的搬送、密封完畢基板W的切斷、製品P的檢查、製品P的清潔、製品P的管收容等所有的動作或控制是由控制部CTL(參照圖33)進行。
本實施形態的切斷裝置100的動作中，密封完畢基板W的搬送、密封完畢基板W的切斷、製品P的清潔及製品P的檢查為止的動作與所述第一實施形態同樣。
繼而，進行兩面檢查後，製品P自反轉機構14移交至移載台5。載置有多個製品P的移載台5移動至取出位置X2(參照圖33及圖35)。另一方面，於容器設置部117的插入位置設置部117b，設置有空的筒狀容器116(參照圖32及圖34)。
於該狀態下，如圖35所示，第一製品搬送機構120自位於取出位置X2的移載台5吸附保持製品P。然後，第一製品搬 送機構120將製品P移動至中間台119，解除製品P的吸附保持，將製品P載置於中間台119。載置於中間台119的製品P由第二製品搬送機構121插入並收容於筒狀容器116的內部。
於筒狀容器116成為滿載的情形、或於筒狀容器116收容有所需個數的製品P的情形時，位於插入位置設置部117b的收容完畢的筒狀容器116移動至收容完畢容器收容部117c，並且自空容器收容部117a送出空的筒狀容器116並設置於插入位置設置部117b。
<保持用板M1的自動更換功能>
進而，第四實施形態的切斷裝置100與所述第一實施形態等同樣地，具有可自動更換用以保持密封完畢基板W或製品P的保持用板M1的功能。再者，本實施形態中，與第一實施形態同樣地，切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141、移載台5及第二保持機構6具有保持用板M1及保持基部M2。再者，保持用板M1及保持基部M2的具體結構與第一實施形態同樣。
具體而言，切斷裝置100與第三實施形態同樣地，如圖33及圖36所示，包括：板收容部24，收容保持用板M1；以及板搬送機構25，於板收容部24及保持基部M2之間搬送保持用板M1。再者，於第二實施形態的切斷裝置100，與所述第一實施形態同樣地，設有固定機構26及檢查機構29。
第四實施形態的板搬送機構25是使用第二保持機構6及搬送用移動機構7而構成，可搬送多個製品P。換言之，第二保 持機構6及搬送用移動機構7具有搬送保持用板M1的功能。該板搬送機構25設為藉由所述共用的傳遞軸71而於X方向移動的結構。另外，板搬送機構25相對於傳遞軸71，於平面視時設於同側(近前側)。此處，構成板搬送機構25的第二保持機構6與第一實施形態同樣地，具有搬送用圓筒部282(參照圖13)，該搬送用圓筒部282插入至形成於保持用板M1的搬送用保持孔281(參照圖10)。
<保持用板M1的更換動作>
繼而，參照圖36對本實施形態的板搬送機構25進行的保持用板M1的更換動作加以說明。
再者，以下的更換動作中，自板收容部24取出保持用板M1時的保持用板M1的判別是藉由下述方式進行，即：藉由設於板搬送機構25(第二保持機構6)的標識符讀取器(未圖示)來讀取設於保持用板M1的RFID等標識符。
(1)第二保持機構6的保持用板M1的卸除動作(參照圖36的(a))
首先，卸除第二保持機構6的保持用板M1。具體而言，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至板收容部24，並且使第二保持機構6下降並卸除保持用板M1，於滑動架部241載置並收容保持用板M1。再者，於卸除第二保持機構6的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
使用卸除了該保持用板M1的狀態的第二保持機構6，進行切斷用台2A、切斷用台2B或保持台141的保持用板的更換動作。
(2)切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1的更換動作(參照圖36的(b))
卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1，藉由板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降，載置並收容於滑動架部241。再者，於卸除切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)自板收容部24取出切斷用台2A、切斷用台2B的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對切斷用台2A、切斷用台2B的保持基部M2固定保持用板M1。
(3)保持台141的保持用板M1的更換動作(參照圖36的(b))
卸除保持台141的保持用板M1，藉由板搬送機構25(搬送 用移動機構7及第二保持機構6)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降，載置並收容於滑動至前方的滑動架部241。再者，於卸除保持台141的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)自板收容部24取出保持台141的新的保持用板M1，於設為上升位置的狀態下搬送至保持台141的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後，若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對保持台141的保持基部M2固定保持用板M1。
(4)移載台5的保持用板的更換動作(參照圖36的(b))
卸除移載台5的保持用板M1，藉由板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)使保持用板M1上升，於設為上升位置的狀態下搬送至板收容部24，使保持用板M1下降，載置並收容於滑動至前方的滑動架部241。再者，於卸除移載台5的保持用板M1時，向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，解除固定機構26的固定。
繼而，板搬送機構25(搬送用移動機構7及第二保持機構6)自板收容部24取出移載台5的新的保持用板M1，於設為上 升位置的狀態下搬送至移載台5的保持基部M2，使保持用板M1下降並載置。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後，若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對移載台5的保持基部M2固定保持用板M1。
(5)第二保持機構6的保持用板M1的安裝動作(參照圖36的(c))
如上文所述，進行切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141及移載台5的保持用板M1的更換動作後，藉由搬送用移動機構7使第二保持機構6移動至板收容部24，並且使第二保持機構6下降，安裝載置於滑動架部241的新的保持用板M1。此處，藉由搬送用移動機構7將設於第二保持機構6的保持基部M2的固定用圓筒部262插入至形成於保持用板M1的固定用插入孔261。於該狀態下，若向固定用圓筒部262供給壓縮空氣而將可動件262b設為沒入位置，則固定用圓筒部262進入保持用板M1的固定用插入孔261，然後，若停止供給壓縮空氣，則可動件262b成為突出位置，對第二保持機構6的保持基部M2固定保持用板M1。
再者，切斷用台2A、切斷用台2B的保持用板M1的更換動作、保持台141的保持用板M1的更換動作及移載台5的保持用板M1的更換動作的順序可適當變更。另外，亦可自切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141及移載台5的保持基部M2卸除保 持用板M1，然後於切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141及移載台5的保持基部M2安裝新的保持用板M1。
另外，上文中，將第二保持機構6、切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141及移載台5的保持用板M1的更換設為一系列動作，但亦可分別進行第二保持機構6、切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141或移載台5中至少一個的保持用板M1的更換。此時，於更換切斷用台2A、切斷用台2B、保持台141或移載台5的保持用板M1時，可想到將構成板搬送機構25的第二保持機構6的保持用板M1預先卸除。
<第四實施形態的效果>
根據本實施形態的切斷裝置100，與第一實施形態~第三實施形態同樣地，具有將自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24並將位於板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2的板搬送機構25，故而可對保持基部M2自動更換保持用板M1。其結果為，可削減用以更換保持用板M1的人力費。另外，因自動更換保持用板M1，故而可縮短保持用板M1的更換時間，可提高切斷裝置100的生產性。進而，可減小保持用板M1對保持基部M2的安裝狀態的不均一。除此以外，第四實施形態中，藉由與所述第一實施形態~第三實施形態同樣的結構所產生的效果相同。
尤其若為第四實施形態的切斷裝置100，則可藉由搬送收容機構118將多個製品P自移載台5搬送至設置於容器設置部 117的筒狀容器116，自該筒狀容器116的一端開口部116x收容多個製品P。
另外，於進行管收容的切斷裝置100中，使用第二保持機構6及搬送用移動機構7來構成板搬送機構25，故而可使裝置結構簡化並且削減裝置成本。
<第四實施形態的變形例>
例如，所述第四實施形態中，容器設置部117設於傳遞軸71的內裏側，但亦可設於傳遞軸71的近前側。
另外，設置於容器設置部117的筒狀容器116除了沿著X方向設置的結構以外，亦可沿著Y方向設置，亦可沿著其他方向設置。
<其他變形實施形態>
所述各實施形態中，對雙切割台方式且雙心軸結構的切斷裝置進行了說明，但不限於此，亦可為單切割台方式且單心軸結構的切斷裝置、或單切割台方式且雙心軸結構的切斷裝置等。
另外，構成傳遞軸71的凸輪齒條要素可將多個連結而構成，因而例如可將切斷裝置(加工裝置)100設為於第二清潔機構19與檢查部13或乾燥用台112之間可分離及連結(可裝卸)的模組結構。於該情形時，例如可於第二清潔機構19側的模組、與檢查部13側的模組或乾燥用台112側的模組之間，追加進行與檢查部13中的檢查為不同種類的檢查的模組。再者，除了此處例示的結構以外，亦可將切斷裝置(加工裝置)100設為可在某處分 離及連結(可裝卸)的模組結構，亦可將追加的模組設為檢查以外的各種功能的模組。
另外，本發明的加工裝置亦可進行切斷以外的加工，例如亦可進行切削或磨削等其他機械加工。
除此以外，本發明不限於所述實施形態，當然可於不偏離其主旨的範圍進行各種變形。
[產業上的可利用性]
根據本發明，可提供一種加工裝置，自動更換用以保持加工對象物的保持用板。
2A、2B:切斷用台（加工用台） 4:切斷機構（加工機構） 5:移載台 6:第二保持機構（搬送用保持機構、第二搬送機構） 7:搬送用移動機構（第二搬送機構） 8:切斷用移動機構（加工用移動機構） 9A、9B:旋轉機構 10A、10B:真空泵 11:基板供給機構 11a:基板收容部 11b:基板供給部 11c:加熱部 13:檢查部 14:反轉機構 17:加工屑收容部 18:第一清潔機構 19:第二清潔機構 20:分類機構 21:托盤 22:托盤搬送機構 23:托盤收容部 24:板收容部 25:板搬送機構 25a:第一搬送機構 25b:第二搬送機構 27:臨時放置部 40:旋轉工具 41A、41B:刀片 42A、42B:心軸部 71:傳遞軸 100:切斷裝置（加工裝置） 131:第一檢查部 132:第二檢查部 141:保持台 142:反轉部 172:回收容器 812:支持體 CTL:控制部 M1:保持用板 RP:保持位置 W:密封完畢基板（加工對象物）

Claims (22)

  1. 一種加工裝置，包括：加工機構，對加工對象物進行加工；板收容部，收容形成有用以吸附所述加工對象物的吸附孔的保持用板；保持基部，以能夠裝卸的方式安裝有所述保持用板，使用所述保持用板來保持所述加工對象物；以及板搬送機構，於所述板收容部及所述保持基部之間搬送所述保持用板，所述板搬送機構將自所述保持基部卸除的所述保持用板搬送至所述板收容部，並將位於所述板收容部的所述保持用板搬送至所述保持基部，所述保持用板藉由安裝於所述保持基部，從而能夠經由設於所述保持基部的吸附流路並利用所述吸附孔來吸附所述加工對象物。
  2. 如請求項1所述的加工裝置，其中所述板搬送機構使所述保持用板上升並搬送。
  3. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，其中所述板搬送機構搬送下述保持用板中的至少一個：用以對所述加工對象物進行加工的加工用台的保持用板；用以將經所述加工機構進行了加工的加工後的所述加工對象物加以乾燥的乾燥用台的保持用板； 用以對所述加工後的所述加工對象物進行檢查的檢查用台的保持用板；於分類前載置所述加工後的所述加工對象物的移載台的保持用板；或為了搬送所述加工後的所述加工對象物而保持的搬送用保持機構的保持用板。
  4. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，其中所述板搬送機構能夠搬送所述加工後的所述加工對象物。
  5. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，其中所述板搬送機構能夠搬送將所述加工後的所述加工對象物分類的托盤。
  6. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，其中所述板搬送機構具有：第一搬送機構，於所述板收容部與臨時放置部之間搬送所述保持用板；以及第二搬送機構，於所述臨時放置部與所述保持基部之間搬送所述保持用板。
  7. 如請求項6所述的加工裝置，其中所述第一搬送機構能夠搬送托盤。
  8. 如請求項6所述的加工裝置，其中所述第二搬送機構能夠搬送所述加工後的所述加工對象物。
  9. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，更包括： 載置台，載置貼附構件，所述貼附構件具有供經所述加工機構單片化的所述加工對象物貼附的黏著面，所述板搬送機構能夠將所述貼附構件搬送至所述載置台。
  10. 如請求項9所述的加工裝置，其中所述板搬送機構具有：第一搬送機構，於所述板收容部與臨時放置部之間搬送所述保持用板；以及第二搬送機構，於所述臨時放置部與所述保持基部之間搬送所述保持用板。
  11. 如請求項10所述的加工裝置，其中所述第一搬送機構能夠將所述貼附構件搬送至所述載置台。
  12. 如請求項10所述的加工裝置，其中所述第二搬送機構能夠搬送經所述單片化的所述加工對象物。
  13. 如請求項10所述的加工裝置，更包括：第一保持機構，為了將所述加工對象物搬送至所述加工用台而保持所述加工對象物；第二保持機構，為了自所述加工用台搬送經所述單片化的所述加工對象物而保持經所述單片化的所述加工對象物；第三保持機構，為了將所述貼附構件搬送至所述載置台而保持所述貼附構件；以及搬送用移動機構，具有用以使所述第一保持機構、所述第二保持機構及所述第三保持機構移動的共用的傳遞軸， 所述第一搬送機構是使用所述第三保持機構及所述搬送用移動機構而構成，所述第二搬送機構是使用所述第二保持機構及所述搬送用移動機構而構成。
  14. 如請求項10所述的加工裝置，更包括：貼附構件收容部，收容所述貼附構件，所述板收容部及所述貼附構件收容部相互上下地配置。
  15. 如請求項1所述的加工裝置，更包括：收容箱，供經所述加工機構進行了單片化的所述加工對象物掉落而收容，所述板搬送機構能夠將經所述單片化的所述加工對象物搬送至所述收容箱。
  16. 如請求項1所述的加工裝置，更包括：容器設置部，設置有筒狀容器，所述筒狀容器將經所述單片化的所述加工對象物自一端開口部收容；以及搬送收容機構，將經所述單片化的所述加工對象物搬送並收容至設置於所述容器設置部的所述筒狀容器。
  17. 如請求項15或請求項16所述的加工裝置，更包括：第一保持機構，為了將所述加工對象物搬送至所述加工用台而保持所述加工對象物；第二保持機構，為了自所述加工用台搬送經所述單片化的所 述加工對象物而保持經所述單片化的所述加工對象物；以及搬送用移動機構，具有用以使所述第一保持機構及所述第二保持機構移動的共用的傳遞軸，所述板搬送機構是使用所述第二保持機構及所述搬送用移動機構而構成。
  18. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，更包括：檢查機構，檢查所述保持用板對所述保持基部的安裝狀態。
  19. 如請求項18所述的加工裝置，其中所述檢查機構具有：檢查用流路，於搭載所述保持用板的搭載面開口；以及探測感測器，設於所述檢查用流路，探測流體自所述開口的洩漏。
  20. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，其中所述保持基部具有：固定用圓筒部，插入至形成於所述保持用板的固定用插入孔，所述固定用圓筒部具有：圓筒本體，插入至所述固定用插入孔；可動件，以能夠移動至自所述圓筒本體的外側周面突出的位置及沒入的位置的方式設置；以及彈性體，以使所述可動件成為相對於所述圓筒本體突出的位置的方式賦予力，於所述固定用圓筒部插入至所述固定用插入孔的狀態下，所述可動件成為突出的狀態，藉此對所述保持基部固定所述保持用板。
  21. 如請求項1或請求項2所述的加工裝置，其中所述板搬送機構具有：搬送用圓筒部，插入至形成於所述保持用板的搬送用保持孔，所述搬送用圓筒部具有：圓筒本體，插入至所述搬送用保持孔；可動件，以能夠移動至自所述圓筒本體的外側周面突出的位置及沒入的位置的方式設置；以及彈性體，以使所述可動件成為相對於所述圓筒本體突出的位置的方式賦予力，於所述搬送用圓筒部插入至搬送用插入孔的狀態下，所述可動件成為突出的狀態，藉此將所述保持用板保持於所述板搬送機構。
  22. 一種加工品的製造方法，使用如請求項1至請求項21中任一項所述的加工裝置來製造加工品。
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