KR20000035193A - Csp 기판 분할 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- CSP 기판을 개개의 펠릿으로 분할하여 반송(搬送) 트레이에 이체(移替)하는 CSP 기판 분할 장치로서,CSP 기판을 지지하는 지그와,상기 지그를 격납하는 지그 랙과,상기 지그 랙으로부터 지그를 반출하고, 반출된 지그를 CSP 기판이 탑재되는 영역에 위치시키는 지그 반출입 테이블과,CSP 기판을 수용한 카세트가 탑재되는 카세트 탑재 테이블과,상기 카세트로부터 CSP 기판을 반출하는 CSP 기판 반출 수단과,반출된 CSP 기판을 상기 지그 반출입 테이블 상의 지그에 탑재하는 CSP 기판탑재 수단과,상기 지그 반출입 테이블 상의 지그에 탑재된 CSP 기판을 지그와 함께 가공 테이블까지 반송하는 제1 반송 수단과,상기 가공 테이블에 지지된 CSP 기판을 펠릿으로 분할하는 절삭 블레이드를 구비한 분할 수단과,펠릿으로 분할된 CSP 기판을 지그와 함께 상기 가공 테이블로부터 세정 테이블까지 반송하는 제2 반송 수단과,세정을 마친 CSP 기판을 지그와 함께 세정 테이블로부터 펠릿 픽업 테이블까지 반송하는 제3 반송 수단과,상기 펠릿 픽업 테이블 상의 지그로부터 펠릿을 픽업하고, 펠릿 이체 영역에 위치한 반송 트레이로 이체하는 이체 수단과,펠릿이 픽업됨으로써 비게 된 지그를 상기 펠릿 픽업 테이블로부터 상기 지그 반출입 테이블까지 반송하는 제4 반송 수단으로 최소한 구성되는 CSP 기판 분할 장치.
- 제1항 있어서,빈 반송 트레이가 수용되는 제1 반송 트레이 랙과,펠릿으로 채워진 반송 트레이가 수용되는 제2 반송 트레이 랙과,상기 제1 반송 트레이 랙으로부터 빈 반송 트레이를 반출하여 펠릿 이체 영역까지 이동시키는 제1 반송 트레이 테이블과,펠릿으로 채워진 반송 트레이를 상기 제2 반송 트레이 랙에 수용하는 제2 반송 트레이 테이블과,펠릿으로 채워진 반송 트레이를 상기 제1 반송 트레이 테이블로부터 상기 제2 반송 트레이 테이블에 교체하여 탑재하는 교체 탑재 수단을 포함하는 CSP 기판 분할 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,지그의 표면에는 CSP 기판을 펠릿으로 분할하는 절삭 블레이드의 퇴피홈이 격자형으로 형성되어 있고,상기 격자에 의해 구획된 각 영역에는,상기 지그의 표리면(表裏面)을 관통하고, 가공 테이블의 흡인원과 연통하여 CSP 기판을 흡인 지지하는 제1 흡인공과,상기 지그의 측면에 형성된 걸어맞춤공과 연통하고, 제1 반송 수단과 제2 반송 수단과 제3 반송 수단에 형성된 흡인원 파이프가 걸어맞추어짐으로써 CSP 기판을 흡인 지지하는 제2 흡인공이 형성되어 있는 CSP 기판 분할 장치.
- 제3항에 있어서,제1 반송 수단과 제2 반송 수단과 제3 반송 수단에 형성된 흡인원 파이프는, 지그의 걸어맞춤공에 걸어맞추어져 CSP 기판을 흡인 지지하는 동시에 상기 지그를 협지하는 CSP 기판 분할 장치.
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