KR20230135661A - 가공 장치 및 가공품의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 가공 대상물을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환하는 것이고, 봉지 마친 기판(W)을 가공하는 가공 기구(4)와, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 플레이트 수용부(24)와, 보유지지용 플레이트(M1)가 착탈 가능하게 장착되고, 보유지지용 플레이트(M1)를 사용하여 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 보유지지 베이스부(M2)와, 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24) 및 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 구비하고, 플레이트 반송 기구(25)는, 보유지지 베이스부(M2)로부터 탈거된 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 플레이트 수용부(24)에 있는 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지 베이스부(M2)로 반송한다.
Description
본 발명은, 가공 장치 및 가공품의 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 피절단물을 절단해서 개편화(個片化)된 복수의 제품을 제조하는 절단 장치에 있어서, 절단용 테이블에 대해서 흡착 지그를 착탈 가능하게 구성한 것이 생각되었다.
그렇지만, 상기한 절단 장치에서는, 단지 절단용 테이블에 대해서 흡착 지그를 착탈 가능하게 했을 뿐이며, 실제로 흡착 지그를 교환할 때에는 작업자가 작업을 행할 필요가 있다. 그 때문에, 작업자의 인건비가 들 뿐만 아니라, 장착(부착) 상태에 변동(불균일함)이 생겨 버린다고 하는 문제가 있다. 또, 교환 작업에 시간이 걸려 버려, 절단 장치의 생산성이 저하되어 버린다.
그래서 본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 가공 대상물을 보유지지(保持)하기 위한 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.
즉, 본 발명에 관련된 가공 장치는, 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와, 상기 가공 대상물을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트를 수용하는 플레이트 수용부와, 상기 보유지지용 플레이트가 착탈 가능하게 장착되고, 상기 보유지지용 플레이트를 사용하여 상기 가공 대상물을 보유지지하는 보유지지 베이스부와, 상기 플레이트를 상기 플레이트 수용부 및 상기 보유지지 베이스부 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구를 구비하고, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 보유지지 베이스부로부터 탈거(취외)된 상기 보유지지용 플레이트를 상기 플레이트 수용부로 반송하고, 상기 플레이트 수용부에 있는 상기 보유지지용 플레이트를 상기 보유지지 베이스부로 반송하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 가공 대상물을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는, 동(同) 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은, 동 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조의 구성을 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 4는, 동 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 5는, 동 실시형태의 제1 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 6은, 동 실시형태의 제1 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 X방향에서 본 도면(측면도)이다.
도 7은, 동 실시형태의 랙 앤드 피니언 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 8은, 동 실시형태의 제2 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 9는, 동 실시형태의 절단 장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 10은, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트 및 보유지지 베이스부의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 11은, 동 실시형태의 제1 반송 기구(트레이 반송 기구) 및 플레이트 수용부를 나타내는 사시도이다.
도 12는, 동 실시형태의 고정 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 13은, 동 실시형태의 제2 보유지지 기구의 보유지지 베이스부를 나타내는 사시도이다.
도 14는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 15는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 16은, 제1 실시형태에 있어서의 플레이트 반송 기구의 변형예의 구성을 모식적으로 나타내는 (a) Z방향에서 본 부분도(부분 평면도), (b) X방향에서 본 부분도(부분 측면도), 및 (c) Y방향에서 본 부분도(부분 정면도)이다.
도 17은, 본 발명의 제2 실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 18은, 동 실시형태의 이동적재(移載) 테이블 및 재치(載置) 테이블의 각 위치를 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 19는, 동 실시형태의 이동적재 테이블, 재치 테이블 및 첩부용(貼付用) 반송 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 20은, 동 실시형태의 첩부 부재의 구성을 모식적으로 나타내는 (a) 평면도, (b) 단면도 및 (c) 부분 확대 단면도이다.
도 21은, 동 실시형태의 재치 테이블, 첩부 부재 수용부 및 첩부 부재 반송 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 22는, 동 실시형태의 제1 반송 기구(플레이트 반송 기구) 및 플레이트 수용부를 나타내는 사시도이다.
도 23은, 동 실시형태의 (a) 첩부 부재 수용부에 대해서 첩부 부재를 넣고 빼는 경우에 있어서의 첩부 부재 수용부 및 플레이트 수용부의 위치 관계를 나타내는 도면, 및 (b) 플레이트 수용부에 대해서 보유지지용 플레이트를 넣고 빼는 경우에 있어서의 첩부 부재 수용부 및 플레이트 수용부의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 24는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 25는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 26은, 변형 실시형태의 (a) 재치 테이블, 첩부 부재 수용부 및 첩부 부재 반송 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도), (b) 위의 가이드 레일의 간격이 벌어진 상태를 나타내는 모식도, 및 (c) 위의 가이드 레일의 간격이 좁혀진 상태를 나타내는 모식도이다.
도 27은, 본 발명의 제3 실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 28은, 동 실시형태의 건조용 테이블 및 수용 박스의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 29는, 동 실시형태의 건조용 테이블 및 수용 박스의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 30은, 동 실시형태의 절단 장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 31은, 동 실시형태의 플레이트 반송 기구 및 플레이트 수용부를 나타내는 사시도이다.
도 32는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 33은, 본 발명의 제4 실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 34는, 동 실시형태의 통형(筒狀) 용기의 구성을 모식적으로 나타내는 (a) 사시도 및 (b) 단면도이다.
도 35는, 동 실시형태의 이동적재 테이블 및 반송 수용 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 36은, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 2는, 동(同) 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은, 동 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조의 구성을 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 4는, 동 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 5는, 동 실시형태의 제1 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 6은, 동 실시형태의 제1 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 X방향에서 본 도면(측면도)이다.
도 7은, 동 실시형태의 랙 앤드 피니언 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 8은, 동 실시형태의 제2 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 9는, 동 실시형태의 절단 장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 10은, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트 및 보유지지 베이스부의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 11은, 동 실시형태의 제1 반송 기구(트레이 반송 기구) 및 플레이트 수용부를 나타내는 사시도이다.
도 12는, 동 실시형태의 고정 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 13은, 동 실시형태의 제2 보유지지 기구의 보유지지 베이스부를 나타내는 사시도이다.
도 14는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 15는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 16은, 제1 실시형태에 있어서의 플레이트 반송 기구의 변형예의 구성을 모식적으로 나타내는 (a) Z방향에서 본 부분도(부분 평면도), (b) X방향에서 본 부분도(부분 측면도), 및 (c) Y방향에서 본 부분도(부분 정면도)이다.
도 17은, 본 발명의 제2 실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 18은, 동 실시형태의 이동적재(移載) 테이블 및 재치(載置) 테이블의 각 위치를 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 19는, 동 실시형태의 이동적재 테이블, 재치 테이블 및 첩부용(貼付用) 반송 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 20은, 동 실시형태의 첩부 부재의 구성을 모식적으로 나타내는 (a) 평면도, (b) 단면도 및 (c) 부분 확대 단면도이다.
도 21은, 동 실시형태의 재치 테이블, 첩부 부재 수용부 및 첩부 부재 반송 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 22는, 동 실시형태의 제1 반송 기구(플레이트 반송 기구) 및 플레이트 수용부를 나타내는 사시도이다.
도 23은, 동 실시형태의 (a) 첩부 부재 수용부에 대해서 첩부 부재를 넣고 빼는 경우에 있어서의 첩부 부재 수용부 및 플레이트 수용부의 위치 관계를 나타내는 도면, 및 (b) 플레이트 수용부에 대해서 보유지지용 플레이트를 넣고 빼는 경우에 있어서의 첩부 부재 수용부 및 플레이트 수용부의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 24는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 25는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 26은, 변형 실시형태의 (a) 재치 테이블, 첩부 부재 수용부 및 첩부 부재 반송 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도), (b) 위의 가이드 레일의 간격이 벌어진 상태를 나타내는 모식도, 및 (c) 위의 가이드 레일의 간격이 좁혀진 상태를 나타내는 모식도이다.
도 27은, 본 발명의 제3 실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 28은, 동 실시형태의 건조용 테이블 및 수용 박스의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 29는, 동 실시형태의 건조용 테이블 및 수용 박스의 주변 구조를 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 30은, 동 실시형태의 절단 장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 31은, 동 실시형태의 플레이트 반송 기구 및 플레이트 수용부를 나타내는 사시도이다.
도 32는, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
도 33은, 본 발명의 제4 실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 34는, 동 실시형태의 통형(筒狀) 용기의 구성을 모식적으로 나타내는 (a) 사시도 및 (b) 단면도이다.
도 35는, 동 실시형태의 이동적재 테이블 및 반송 수용 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 36은, 동 실시형태의 보유지지용 플레이트의 교환 동작을 나타내는 도면이다.
다음에, 본 발명에 대하여, 예를 들어서 더욱 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명은, 이하의 설명에 의해 한정되지 않는다.
본 발명의 가공 장치는, 전술한 대로, 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와, 상기 가공 대상물을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트를 수용하는 플레이트 수용부와, 상기 보유지지용 플레이트가 착탈 가능하게 장착되고, 상기 보유지지용 플레이트를 사용하여 상기 가공 대상물을 보유지지하는 보유지지 베이스부와, 상기 플레이트를 상기 플레이트 수용부 및 상기 보유지지 베이스부 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구를 구비하고, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 보유지지 베이스부로부터 탈거된 상기 보유지지용 플레이트를 상기 플레이트 수용부로 반송하고, 상기 플레이트 수용부에 있는 상기 보유지지용 플레이트를 상기 보유지지 베이스부로 반송하는 것을 특징으로 한다.
이 가공 장치라면, 보유지지 베이스부로부터 탈거(분리)된 보유지지용 플레이트를 플레이트 수용부로 반송하고, 플레이트 수용부에 있는 보유지지용 플레이트를 보유지지 베이스부로 반송하는 플레이트 반송 기구를 가지므로, 보유지지 베이스부에 대해서 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환할 수 있다. 그 결과, 보유지지용 플레이트를 교환하기 위한 인건비를 삭감할 수 있다. 또, 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환하므로, 보유지지 베이스부에 대한 보유지지용 플레이트의 장착 상태의 변동(불균일함)을 저감할 수 있다. 또한, 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환하므로, 보유지지용 플레이트의 교환 시간을 단축할 수 있어, 가공 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 보유지지용 플레이트를 상승시켜서 반송하는 것이 바람직하다.
이 구성이라면, 보유지지용 플레이트를 반송할 때에, 보유지지용 플레이트와 다른(他) 부재의 간섭을 회피해서, 보유지지용 플레이트를 용이하게 반송할 수 있다.
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 가공 대상물을 가공하기 위한 가공용 테이블의 보유지지용 플레이트, 상기 가공 기구에 의해 가공된 가공 후의 상기 가공 대상물을 건조시키기 위한 건조용 테이블의 보유지지용 플레이트, 가공 후의 상기 가공 대상물을 검사하기 위한 검사용 테이블의 보유지지용 플레이트, 가공 후의 상기 가공 대상물이 구분(仕分) 전에 재치되는 이동적재 테이블의 보유지지용 플레이트, 또는, 가공 후의 상기 가공 대상물을 반송하기 위해서 보유지지하는 반송용 보유지지 기구의 보유지지용 플레이트의 적어도 하나를 반송하는 것이 바람직하다.
이 구성이라면, 가공용 테이블, 검사용 테이블, 이동적재 테이블 및 반송용 보유지지 기구 각각의 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환할 수 있다.
본 발명의 가공 장치는, 상기 가공 대상물을 반송하는 가공 대상물 반송 기구를 더 구비하고 있다.
이 구성에 있어서 보유지지용 플레이트의 자동적인 교환을 가능하게 하면서도 장치 구성을 간소화하면서 장치 코스트를 삭감하기 위해서는, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 가공 대상물 반송 기구를 사용하여 구성되어 있는 것이 바람직하다. 다시 말해, 플레이트 반송 기구가, 가공 대상물을 반송하는 기능을 가지는 구성으로 된다.
본 발명의 가공 장치는, 가공 후의 상기 가공 대상물을, 트레이에 수용(「트레이 수용」이라고도 불린다.)할 수 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 가공 장치는, 가공 후의 상기 가공 대상물이 구분되어지는 트레이를 반송하는 트레이 반송 기구를 더 구비하고 있다.
이 구성에 있어서, 보유지지용 플레이트의 자동적인 교환을 가능하게 하면서도 장치 구성을 간소화하면서 장치 코스트를 삭감하기 위해서는, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 트레이 반송 기구를 사용하여 구성되어 있는 것이 바람직하다. 다시 말해, 플레이트 반송 기구가, 가공 후의 가공 대상물이 구분되어지는 트레이를 반송하는 기능을 가지는 구성으로 된다.
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 플레이트 수용부와 임시재치부(假置部) 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제1 반송 기구와, 상기 임시재치부와 상기 보유지지 베이스부 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제2 반송 기구를 가지는 것이 바람직하다.
이 구성이라면, 임시재치부를 거쳐 제1 반송 기구 및 제2 반송 기구에 의해 보유지지용 플레이트를 반송하므로, 플레이트 반송 기구를 하나의 반송 기구로 구성하는 경우에 비해, 보유지지용 플레이트의 반송처의 자유도를 늘릴(높일) 수가 있다.
상기 플레이트 반송 기구를 제1 반송 기구 및 제2 반송 기구에 의해 구성하는 경우에는, 상기 제1 반송 기구가, 상기 첩부 부재를 상기 재치 테이블로 반송하고, 상기 제2 반송 기구가, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 반송하는 것이 바람직하다.
이 구성이라면, 보유지지용 플레이트의 자동적인 교환을 가능하게 하면서도 장치 구성을 간소화하면서 장치 코스트를 삭감할 수 있다.
본 발명의 가공 장치는, 개편화된 가공 대상물을, 점착면(粘着面)을 가지는 첩부 부재에 붙여서(첩부하여) 수용(「링 수용」이라고도 불린다.)할 수 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 가공 장치는, 상기 가공 기구에 의해 개편화된 상기 가공 대상물이 붙여지는 점착면을 가지는 첩부 부재가 재치되는 재치 테이블을 더 구비하고 있다.
이 구성에 있어서, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 첩부 부재를 상기 재치 테이블로 반송할 수 있는 것이 바람직하다.
이 가공 장치라면, 플레이트 반송 기구가, 첩부 부재를 재치 테이블로 반송할 수 있으므로, 플레이트 반송 기구와는 별도로 첩부 부재용 반송 기구를 마련할 필요가 없고, 개편화된 가공 대상물을 점착면에 붙여서 수용하는 가공 장치의 장치 구성을 간소화할 수 있다. 또한, 장치 코스트도 삭감할 수 있다. 그밖에, 개편화된 가공 대상물에 대해서, 스퍼터링 공정 또는 실장 공정 등의 후공정(後工程)을 행하는 경우에, 개편화된 가공 대상물이 붙여진 첩부 부재를 이동시키면 되고, 그 취급을 용이하게 할 수 있다.
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 플레이트 수용부와 임시재치부 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제1 반송 기구와, 상기 임시재치부와 상기 보유지지 베이스부 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제2 반송 기구를 가지는 것이 바람직하다.
이 구성이라면, 임시재치부를 거쳐 제1 반송 기구 및 제2 반송 기구에 의해 보유지지용 플레이트를 반송하므로, 플레이트 반송 기구를 하나의 반송 기구로 구성하는 경우에 비해, 보유지지용 플레이트의 반송처의 자유도를 늘릴 수 있다.
상기 플레이트 반송 기구를 제1 반송 기구 및 제2 반송 기구에 의해 구성하는 경우에는, 상기 제1 반송 기구가, 상기 첩부 부재를 상기 재치 테이블로 반송하고, 상기 제2 반송 기구가, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 반송하는 것이 바람직하다.
이 구성이라면, 보유지지용 플레이트의 자동적인 교환을 가능하게 하면서도 장치 구성을 간소화하면서 장치 코스트를 삭감할 수 있다.
장치 구성을 간소화하기 위한 구체적인 실시 양태로서는, 본 발명의 가공 장치는, 상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로 반송하기 위해서 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제1 보유지지 기구와, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로부터 반송하기 위해서 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제2 보유지지 기구와, 상기 첩부 부재를 상기 재치 테이블로 반송하기 위해서 상기 첩부 부재를 보유지지하는 제3 보유지지 기구와, 상기 제1 보유지지 기구, 상기 제2 보유지지 기구 및 상기 제3 보유지지 기구를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축을 가지는 반송용 이동 기구를 더 구비하는 것이 바람직하다.
이 구성에 있어서, 보유지지용 플레이트의 자동적인 교환을 가능하게 하면서도 장치 구성을 간소화하면서 장치 코스트를 삭감하기 위해서는, 상기 제1 반송 기구는, 상기 제3 보유지지 기구 및 상기 반송용 이동 기구를 사용하여 구성되고, 상기 제2 반송 기구는, 상기 제2 보유지지 기구 및 상기 반송용 이동 기구를 사용하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 가공 장치는, 상기 첩부 부재를 수용하는 첩부 부재 수용부를 더 구비하고 있다.
이 구성에 있어서, 가공 장치의 점유공간(footprint)을 소형화하기 위해서는, 상기 플레이트 수용부 및 상기 첩부 부재 수용부는 서로 상하에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 가공 장치는, 개편화된 가공 대상물을 흩어진 상태로 수용(「벌크 수용」이라고도 불린다.)할 수 있는 구성으로 할 수가 있다. 이 가공 장치는, 상기 가공 기구에 의해 개편화된 상기 가공 대상물이 낙하해서 수용되는 수용 박스를 더 구비하고 있다.
이 구성에 있어서, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 수용 박스로 반송할 수 있는 것이 바람직하다.
이 가공 장치라면, 플레이트 반송 기구가, 개편화된 가공 대상물을 수용 박스로 반송할 수 있으므로, 플레이트 반송 기구와는 별도(別)의 반송 기구를 마련할 필요가 없어, 개편화된 가공 대상물을 낙하시켜서 수용하는 가공 장치의 장치 구성을 간소화할 수 있다. 또한, 장치 코스트도 삭감할 수 있다. 그밖에, 개편화된 가공 대상물을 수용 박스에 낙하시켜서 수용하므로, 종래의 트레이 수용하는 구성에 비해, 수용 스페이스를 소형화할 수가 있다. 이것에 의해서도, 가공 장치의 점유공간을 저감할 수 있다.
또, 본 발명의 가공 장치는, 개편화된 가공 대상물을 통형 용기에 수용(「튜브 수용」이라고도 불린다.)할 수 있는 구성으로 할 수가 있다. 부언하면, 통형 용기는, 튜브, 매거진 스틱, 스틱 매거진, 스틱 등이라 불리는 경우가 있다. 이 가공 장치는, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 일단(一端) 개구부로부터 수용하는 통형 용기가 설치되는 용기 설치부와, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 용기 설치부에 설치된 상기 통형 용기로 반송해서 수용하는 반송 수용 기구를 더 구비하고 있다.
상기한 벌크 수용 또는 튜브 수용하는 가공 장치의 장치 구성을 간소화하기 위한 구체적인 실시 양태로서는, 본 발명의 가공 장치는, 상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로 반송하기 위해서 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제1 보유지지 기구와, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로부터 반송하기 위해서 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제2 보유지지 기구와, 상기 제1 보유지지 기구 및 상기 제2 보유지지 기구를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축을 가지는 반송용 이동 기구를 더 구비하고, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 제2 보유지지 기구 및 상기 반송용 이동 기구를 사용하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.
보유지지용 플레이트의 고정이 정확하게 행해지고 있는지를 자동적으로 검사하기 위해서는, 본 발명의 가공 장치는, 상기 보유지지 베이스부에 대한 상기 보유지지용 플레이트의 장착 상태를 검사하는 검사 기구를 더 구비하는 것이 바람직하다.
검사 기구의 구체적인 실시 양태로서는, 상기 검사 기구는, 상기 보유지지용 플레이트가 탑재되는 탑재면에 개구하는 검사용 유로와, 상기 검사용 유로에 마련되어, 상기 개구로부터의 유체의 누설을 검지하는 검지 센서를 가지는 것이 바람직하다. 여기서 검지 센서는, 유체의 압력 또는 유량을 측정하는 것에 의해서 상기 개구로부터의 유체의 누설을 검지한다.
보유지지 베이스부에 대한 보유지지용 플레이트의 고정 구조를 간단하게 하기 위해서는, 상기 보유지지 베이스부는, 상기 보유지지용 플레이트에 형성된 고정용 삽입공(揷入孔)에 삽입되는 고정용 실린더부를 가지고 있으며, 상기 고정용 실린더부는, 상기 고정용 삽입공에 삽입되는 실린더 본체와, 그(當該) 실린더 본체의 외측 둘레면(周面)으로부터 돌출된 위치 및 몰입된 위치에서 이동 가능하게 마련된 가동자와, 그 가동자를 상기 실린더 본체에 대해서 돌출된 위치로 되도록 힘을 부여하는 탄성체를 가지고, 상기 고정용 실린더부가 상기 고정용 삽입공에 삽입된 상태에서, 상기 가동자가 돌출된 위치로 되는 것에 의해, 상기 보유지지 베이스부에 대해서 상기 보유지지용 플레이트가 고정되는 것이 바람직하다.
또, 플레이트 반송 기구에 대한 보유지지용 플레이트의 착탈 구조를 간단하게 하기 위해서는, 상기 플레이트 반송 기구는, 상기 보유지지용 플레이트에 형성된 반송용 보유지지공에 삽입되는 반송용 실린더부를 가지고 있으며, 상기 반송용 실린더부는, 상기 반송용 보유지지공에 삽입되는 실린더 본체와, 그 실린더 본체의 외측 둘레면으로부터 돌출된 위치 및 몰입된 위치에서 이동 가능하게 마련된 가동자와, 그 가동자를 상기 실린더 본체에 대해서 돌출된 위치로 되도록 힘을 부여하는 탄성체를 가지고, 상기 반송용 실린더부가 반송용 삽입공에 삽입된 상태에서, 상기 가동자가 돌출된 위치로 되는 것에 의해, 상기 플레이트 반송 기구에 상기 보유지지용 플레이트가 보유지지되는 것이 바람직하다.
또, 상기한 가공 장치를 사용하여 가공품을 제조하는 가공품의 제조 방법도 본 발명의 한 양태이다.
＜본 발명의 각 실시형태＞
이하에, 본 발명에 관련된 가공 장치의 각 실시형태에 대하여, 도면을 참조해서 설명한다. 부언하면, 이하에 나타내는 어떤 도면에 대하여도, 알기 쉽게 하기 위해서, 적당히(適宜) 생략하거나 또는 과장해서 모식적으로 그려져 있다. 동일한 구성요소에 대하여는, 동일한 부호를 부가해서 설명을 적당히 생략한다.
＜제1 실시형태＞
＜가공 장치의 전체 구성＞
본 실시형태의 가공 장치(100)는, 가공 대상물인 봉지 마친(封止濟) 기판(W)을 절단하는 것에 의해서, 복수의 가공품인 제품(P)으로 개편화하는 절단 장치이다.
여기서, 봉지 마친 기판(W)이란, 반도체 칩, 저항 소자, 캐패시터 소자 등의 전자 소자가 접속된 기판에 대해서, 적어도 전자 소자를 수지 봉지하도록 수지 성형한 것이다. 봉지 마친 기판(W)을 구성하는 기판으로서는, 리드 프레임, 프린트 배선판을 사용할 수가 있고, 이들 이외에도, 반도체제 기판(실리콘 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼를 포함한다), 금속제 기판, 세라믹제 기판, 유리제 기판, 수지제 기판 등을 사용할 수가 있다. 또, 봉지 마친 기판(W)을 구성하는 기판에는, 배선이 실시되어 있어도 실시되어 있지 않아도 된다.
또, 본 실시형태의 봉지 마친 기판(W) 및 제품(P)은, 한쪽 면이 나중에 실장되는 실장면으로 된다. 본 실시형태의 설명에서는, 나중에 실장되는 한쪽 면을 「실장면」이라고 기재하고, 그 반대측의 면을 「마크면」이라고 기재한다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 2개의 절단용 테이블(가공용 테이블)(2A, 2B)과, 봉지 마친 기판(W)을 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송하기 위해서 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 제1 보유지지 기구(3)와, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)을 절단하는 절단 기구(가공 기구)(4)와, 복수의 제품(P)이 옮겨지는 이동적재 테이블(5)과, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 이동적재 테이블(5)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 제2 보유지지 기구(6)와, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축(71)을 가지는 반송용 이동 기구(7)와, 절단 기구(4)를 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)에 대해서 이동시키는 절단용 이동 기구(가공용 이동 기구)(8)를 구비하고 있다. 부언하면, 제1 보유지지 기구(3) 및 반송용 이동 기구(7)에 의해 봉지 마친 기판(W)을 반송하는 반송 기구(로더)가 구성되고, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)에 의해 복수의 제품(P)을 반송하는 반송 기구(언로더)가 구성된다.
이하의 설명에 있어서, 절단용 테이블(2A, 2B)의 상면을 따른 평면(수평면) 내에서 서로 직교하는 방향을 각각 제1 방향인 X방향 및 제2 방향인 Y방향, X방향 및 Y방향과 직교하는 연직 방향을 Z방향으로 한다. 구체적으로는, 도 1의 좌우 방향을 X방향으로 하고, 상하 방향을 Y방향으로 한다. 후술하겠지만, X방향은, 지지체(812)의 이동 방향이고, 또, 문형(門型)의 지지체(812)에 있어서의 한 쌍의 다리부(脚部)가 걸쳐 놓여지는 보부(梁部)(빔부)의 긴쪽 방향(보부가 연장되는 방향)과 직교하는 방향이다(도 2 및 도 3 참조).
＜절단용 테이블(2A, 2B)＞
2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, X방향, Y방향 및 Z방향으로 고정시켜 마련되어 있다. 부언하면, 절단용 테이블(2A)은, 절단용 테이블(2A) 아래에 마련된 회전 기구(9A)에 의해서 θ방향으로 회전 가능하다. 또, 절단용 테이블(2B)은, 절단용 테이블(2B) 아래에 마련된 회전 기구(9B)에 의해서 θ방향으로 회전 가능하다.
이들 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 마련되어 있다. 구체적으로는, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, 그것들의 상면이 동일한 수평면 상에 위치하도록(Z방향에 있어서 동일 높이에 위치하도록) 배치됨과 함께(도 4 참조), 그것들의 상면의 중심(구체적으로는 회전 기구(9A, 9B)에 의한 회전 중심)이 X방향으로 연장되는 동일 직선 상에 위치하도록 배치되어 있다(도 2 및 도 3 참조).
또, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지하는 것이고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)에 대응해서, 흡착 보유지지하기 위한 2개의 진공 펌프(10A, 10B)가 배치되어 있다. 각 진공 펌프(10A, 10B)는, 예를 들어 수봉식(水封式) 진공 펌프이다.
여기서, 절단용 테이블(2A, 2B)이 XYZ 방향으로 고정되어 있기 때문에, 진공 펌프(10A, 10B)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)에 접속되는 배관(도시하지 않음)을 짧게 할 수가 있고, 배관의 압력 손실을 저감해서, 흡착력의 저하를 방지할 수가 있다. 그 결과, 예를 들어 한 변이 1 ㎜(1㎜角) 이하인 극소 패키지이더라도 확실하게 절단용 테이블(2A, 2B)에 흡착시킬 수가 있다. 또, 배관의 압력 손실에 의한 흡착력의 저하를 방지할 수 있으므로, 진공 펌프(10A, 10B)의 용량을 작게 할 수 있어, 소형화나 코스트다운(비용 절감)으로도 이어진다.
＜제1 보유지지 기구(3)＞
제1 보유지지 기구(3)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 기판 공급 기구(11)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송하기 위해서 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 것이다. 이 제1 보유지지 기구(3)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지하기 위한 복수의 흡착부(311)가 마련된 흡착 헤드(31)와, 그 흡착 헤드(31)의 흡착부(311)에 접속된 진공 펌프 또는 진공 이젝터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 그리고, 흡착 헤드(31)가, 후술하는 반송용 이동 기구(7) 등에 의해 원하는(所望) 위치로 이동되는 것에 의해, 봉지 마친 기판(W)을 기판 공급 기구(11)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송한다.
기판 공급 기구(11)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 봉지 마친 기판(W)이 외부로부터 수용되는 기판 수용부(11a)와, 그 기판 수용부(11a)에 수용된 봉지 마친 기판(W)을 제1 보유지지 기구(3)에 의해 흡착 보유지지되는 보유지지 위치(RP)로 이동시키는 기판 공급부(11b)를 가지고 있다. 이 보유지지 위치(RP)는, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 X방향에 있어서 동렬(同列)로 되도록 설정되어 있다. 부언하면, 기판 공급 기구(11)는, 제1 보유지지 기구(3)에 의해 흡착되는 봉지 마친 기판(W)을 평평하게 하기 위해, 가열하면서 봉지 마친 기판(W)을 프레스하는 가열부(11c)를 가지고 있어도 된다.
＜절단 기구(4)＞
절단 기구(4)는, 도 1, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 블레이드(41A, 41B) 및 2개의 스핀들부(42A, 42B)로 이루어지는 2개의 회전 공구(40)를 가지는 것이다. 2개의 스핀들부(42A, 42B)는, 그것들의 회전축이 Y방향을 따르도록 마련되어 있고, 그것들에 장착(부착)되는 블레이드(41A, 41B)가 서로 대향하도록 배치된다(도 3 참조). 스핀들부(42A)의 블레이드(41A) 및 스핀들부(42B)의 블레이드(41B)는, X방향과 Z방향을 포함하는 면 내에 있어서 회전하는 것에 의해서 각 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)을 절단한다. 부언하면, 본 실시형태의 절단 장치(100)에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 블레이드(41A, 41B)에 의해서 발생하는 마찰열을 억제하기 위해서 절삭수(가공액)를 분사(噴射)하는 분사 노즐(12a)을 가지는 액체 공급 기구(12)가 마련되어 있다. 이 분사 노즐(12a)은, 예를 들어, 후술하는 Z방향 이동부(83)에 지지되어 있다.
＜이동적재(移載) 테이블(5)＞
본 실시형태의 이동적재 테이블(5)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 후술하는 검사부(13)에 의해 검사된 복수의 제품(P)이 옮겨지는 테이블이다. 이 이동적재 테이블(5)은, 이른바 인덱스 테이블이라고 불리는 것이고, 복수의 제품(P)을 각종 트레이(21)로 구분(仕分)하기 전에, 복수의 제품(P)이 일시적으로 재치된다. 또, 이동적재 테이블(5)은, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 일렬로 배치된다. 또한, 이동적재 테이블(5)은, Y방향을 따라 전후로 이동 가능하고, 구분 기구(sorting mechanism)(20)까지 이동할 수가 있다. 이동적재 테이블(5)에 재치된 복수의 제품(P)은, 검사부(13)에 의한 검사 결과(양품, 불량품 등)에 따라, 구분 기구(20)에 의해서 각종 트레이(21)로 구분되어진다.
부언하면, 각종 트레이(21)는, 트랜스퍼축(71)을 따라 이동하는 트레이 반송 기구(22)에 의해 원하는 위치로 반송되고, 구분 기구(20)에 의해서 구분되어지는 제품(P)이 재치된다. 구분되어진 후에 각종 트레이(21)는, 트레이 반송 기구(22)에 의해 트레이 수용부(23)에 수용된다. 본 실시형태에서는, 트레이 수용부(23)에, 예를 들어 제품(P)을 수용하기 전의 트레이(21), 양품의 제품(P)을 수용한 트레이(21), 리워크가 필요한 불량품의 제품(P)을 수용한 트레이(21)라고 하는 세 종류의 트레이를 수용하도록 구성되어 있다.
＜검사부(13)＞
여기서, 검사부(13)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 절단용 테이블(2A, 2B)과 이동적재 테이블(5) 사이에 마련되어, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)을 검사하는 것이다. 본 실시형태의 검사부(13)는, 제품(P)의 마크면을 검사하는 제1 검사부(131)와, 제품(P)의 실장면을 검사하는 제2 검사부(132)를 가지고 있다. 제1 검사부(131)는, 마크면을 검사하기 위한 광학계를 가지는 촬상 카메라이고, 제2 검사부(132)는, 실장면을 검사하기 위한 광학계를 가지는 촬상 카메라이다. 부언하면, 제1 검사부(131) 및 제2 검사부(132)를 공통으로 해도 된다.
또, 검사부(13)에 의해 복수의 제품(P)의 양면을 검사 가능하게 하기 위해서, 복수의 제품(P)을 반전시키는 반전 기구(14)가 마련되어 있다(도 1 참조). 이 반전 기구(14)는, 복수의 제품(P)을 보유지지하는 보유지지 테이블(141)과, 그 보유지지 테이블(141)을 표리가 반대(逆)로 되도록 반전시키는 모터 등의 반전부(142)를 가지고 있다.
제2 보유지지 기구(6)가 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 복수의 제품(P)을 보유지지했을 때에는, 제품(P)의 마크면이 하측을 향하고 있다. 이 상태에서, 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 반전 기구(14)로 복수의 제품(P)을 반송하는 도중에 있어서, 제1 검사부(131)에 의해 제품(P)의 마크면이 검사된다. 그 후, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)이 반전 기구(14)에 의해 반전되고, 그 후, 반전 기구(14)가 이동적재 테이블(5)의 위치까지 이동한다. 이 이동 동안에, 제2 검사부(132)에 의해 하측을 향하고 있는 제품(P)의 실장면이 검사된다. 그 후, 제품(P)이 이동적재 테이블(5)에 받아 건네어진다.
＜제2 보유지지 기구(6)＞
제2 보유지지 기구(6)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 반전 기구(14)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 것이다. 이 제2 보유지지 기구(6)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 흡착 보유지지하기 위한 복수의 흡착부(611)가 마련된 흡착 헤드(61)와, 그 흡착 헤드(61)의 흡착부(611)에 접속된 진공 펌프 또는 진공 이젝터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 그리고, 흡착 헤드(61)가, 후술하는 반송용 이동 기구(7) 등에 의해 원하는 위치로 이동되는 것에 의해, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 보유지지 테이블(141)로 반송한다.
＜반송용 이동 기구(7)＞
반송용 이동 기구(7)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)를 적어도 기판 공급 기구(11)와 절단용 테이블(2A, 2B) 사이에서 이동시킴과 함께, 제2 보유지지 기구(6)를 적어도 절단용 테이블(2A, 2B)과 보유지지 테이블(141) 사이에서 이동시키는 것이다.
그리고, 반송용 이동 기구(7)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B) 및 이동적재 테이블(5)의 배열 방향(X방향)을 따라 일직선으로 연장되고, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축(71)을 가진다.
이 트랜스퍼축(71)은, 제1 보유지지 기구(3)가 기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(11b)의 위쪽으로 이동할 수 있음과 함께, 제2 보유지지 기구(6)가 이동적재 테이블(5)의 위쪽으로 이동할 수 있는 범위에서 마련되어 있다(도 1 참조). 또, 이 트랜스퍼축(71)에 대해서, 제1 보유지지 기구(3), 제2 보유지지 기구(6), 절단용 테이블(2A, 2B) 및 이동적재 테이블(5)은, 평면시(平面視)에 있어서 동일측(앞쪽측(手前側))에 마련되어 있다. 그밖에, 검사부(13), 반전 기구(14), 각종 트레이(21), 트레이 반송 기구(22), 트레이 수용부(23), 후술하는 제1 클리닝 기구(18) 및 제2 클리닝 기구(19), 회수 용기(172)도, 트랜스퍼축(71)에 대해서 동일측(앞쪽측)에 마련되어 있다.
또한 반송용 이동 기구(7)는, 도 5, 도 6 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)을 따라 X방향으로 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키는 메인 이동 기구(72)와, 트랜스퍼축(71)에 대해서 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 Z방향으로 승강 이동시키는 승강 이동 기구(73)와, 트랜스퍼축(71)에 대해서 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 Y방향으로 수평 이동시키는 수평 이동 기구(74)를 가지고 있다.
메인 이동 기구(72)는, 도 5 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)에 마련되어, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 가이드하는 공통의 가이드 레일(721)과, 그 가이드 레일(721)을 따라 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키는 랙 앤드 피니언 기구(722)를 가지고 있다.
가이드 레일(721)은, 트랜스퍼축(71)을 따라 X방향으로 일직선으로 연장되어 있고, 트랜스퍼축(71)과 마찬가지로, 제1 보유지지 기구(3)가 기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(11b)의 위쪽으로 이동할 수 있음과 함께, 제2 보유지지 기구(6)가 이동적재 테이블(5)의 위쪽으로 이동할 수 있는 범위에서 마련되어 있다. 이 가이드 레일(721)에는, 승강 이동 기구(73) 및 수평 이동 기구(74)를 거쳐 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)가 마련되는 슬라이드 부재(723)가 슬라이드 가능하게 마련되어 있다. 여기서, 가이드 레일(721)은 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)에 공통되지만, 승강 이동 기구(73), 수평 이동 기구(74) 및 슬라이드 부재(723)는, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)의 각각에 대해 개별적으로 마련되어 있다.
랙 앤드 피니언 기구(722)는, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)에 공통인 캠랙(722a)과, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6) 각각에 마련되어, 액추에이터(도시하지 않음)에 의해 회전하는 피니언 기어(722b)를 가지고 있다. 캠랙(722a)은, 공통의 트랜스퍼축(71)에 마련되어 있고, 복수의 캠랙 요소를 연결하는 것에 의해, 갖가지 길이로 변경할 수 있는 것이다. 또, 피니언 기어(722b)는, 슬라이드 부재(723)에 마련되어, 이른바 롤러 피니언이라 불리는 것이고, 도 7에 나타내는 바와 같이, 모터의 회전축과 함께 회전하는 한 쌍의 롤러 본체(722b1)와, 그 한 쌍의 롤러 본체(722b1) 사이에 있어서 둘레방향에 등간격으로 마련되고, 롤러 본체(722b1)에 대해서 전동(轉動) 가능하게 마련된 복수의 롤러 핀(722b2)을 가지는 것이다. 본 실시형태의 랙 앤드 피니언 기구(722)는, 상기한 롤러 피니언을 사용하고 있으므로, 캠랙(722a)에 대해서 2개 이상의 롤러 핀(722b2)이 접촉하게 되어, 정역(正逆) 방향으로 백래시가 발생하지 않아, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 X방향으로 이동시킬 때에 위치결정 정밀도가 좋아진다.
승강 이동 기구(73)는, 도 5 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6) 각각에 대응해서 마련되어 있다. 제1 보유지지 기구(3)의 승강 이동 기구(73)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)(구체적으로는 메인 이동 기구(72))과 제1 보유지지 기구(3) 사이에 개재해서 마련되어 있고, Z방향을 따라 마련된 Z방향 가이드 레일(73a)과, 그 Z방향 가이드 레일(73a)을 따라 제1 보유지지 기구(3)를 이동시키는 액추에이터부(73b)를 가지고 있다. 부언하면, 액추에이터부(73b)는, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되며, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다. 부언하면, 제2 보유지지 기구(6)의 승강 이동 기구(73)의 구성은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)의 승강 이동 기구(73)와 마찬가지이다.
수평 이동 기구(74)는, 도 5, 도 6 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6) 각각에 대응해서 마련되어 있다. 제1 보유지지 기구(3)의 수평 이동 기구(74)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)(구체적으로는 승강 이동 기구(73))과 제1 보유지지 기구(3) 사이에 개재해서 마련되어 있고, Y방향을 따라 마련된 Y방향 가이드 레일(74a)과, 제1 보유지지 기구(3)에 대해서 Y방향 가이드 레일(74a)의 한쪽측에 힘을 부여하는 탄성체(74b)와, 제1 보유지지 기구(3)를 Y방향 가이드 레일(74a)의 다른쪽 측으로 이동시키는 캠 기구(74c)를 가진다. 여기서, 캠 기구(74c)는, 편심 캠을 사용한 것이고, 그 편심 캠을 모터 등의 액추에이터로 회전시키는 것에 의해, 제1 보유지지 기구(3)의 Y방향으로의 이동량을 조정할 수가 있다.
부언하면, 제2 보유지지 기구(6)의 수평 이동 기구(74)의 구성은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)의 승강 이동 기구(73)와 마찬가지이다. 또, 제2 보유지지 기구(6)에는 수평 이동 기구(74)를 마련하지 않는 구성으로 해도 되며, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6) 양쪽(둘 다)에 수평 이동 기구(74)를 마련하지 않는 구성으로 해도 된다. 또한, 수평 이동 기구(74)는, 승강 이동 기구(73)와 마찬가지로, 캠 기구(74c)를 사용하는 일 없이, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되며, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다.
＜절단용 이동 기구(가공용 이동 기구)＞
절단용 이동 기구(8)는, 2개의 스핀들부(42A, 42B) 각각을, X방향, Y방향 및 Z방향의 각 방향으로 직선 이동시키는 것이다.
구체적으로 절단용 이동 기구(8)는, 도 2 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 스핀들부(42A, 42B)를 X방향으로 직선 이동시키는 X방향 이동부(81)와, 스핀들부(42A, 42B)를 Y방향으로 직선 이동시키는 Y방향 이동부(82)와, 스핀들부(42A, 42B)를 Z방향으로 직선 이동시키는 Z방향 이동부(83)를 구비하고 있다.
X방향 이동부(81)는, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)에서 공통된 것이고, 특히 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)을 사이에 두고 X방향을 따라 마련된 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)과, 그 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)을 따라 이동함과 함께, Y방향 이동부(82) 및 Z방향 이동부(83)를 거쳐 스핀들부(42A, 42B)를 지지하는 지지체(812)를 가지고 있다. 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)은, X방향을 따라 마련된 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)의 측방에 마련되어 있다. 또, 지지체(812)는, 예를 들어 문형의 것이고, Y방향으로 연장되는 형상을 가지고 있다. 구체적으로 지지체(812)는, 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)로부터 위쪽으로 연장되는 한 쌍의 다리부와, 그 한 쌍의 다리부에 걸쳐 놓여지는 보부(빔부)를 가지고, 그 보부가 Y방향으로 연장되어 있다.
그리고, 지지체(812)는, 예를 들어, X방향으로 연장되는 볼나사 기구(813)에 의해, 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811) 상을 X방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 이 볼나사 기구(813)는 서보모터 등의 구동원(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 그밖에, 지지체(812)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
Y방향 이동부(82)는, 특히 도 3에 나타내는 바와 같이, 지지체(812)에 있어서 Y방향을 따라 마련된 Y방향 가이드 레일(821)과, 그 Y방향 가이드 레일(821)을 따라 이동하는 Y방향 슬라이더(822)를 가지고 있다. Y방향 슬라이더(822)는, 예를 들어 리니어 모터(823)에 의해 구동되는 것이고, Y방향 가이드 레일(821) 상을 직선적으로 왕복 이동한다. 본 실시형태에서는, 2개의 스핀들부(42A, 42B)에 대응해서 2개의 Y방향 슬라이더(822)가 마련되어 있다. 이것에 의해, 2개의 스핀들부(42A, 42B)는 서로 독립해서 Y방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그밖에, Y방향 슬라이더(822)는, 볼나사 기구를 사용한 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
Z방향 이동부(83)는, 도 2 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 각 Y방향 슬라이더(822)에 있어서 Z방향을 따라 마련된 Z방향 가이드 레일(831)과, 그 Z방향 가이드 레일(831)을 따라 이동함과 함께 스핀들부(42A, 42B)를 지지하는 Z방향 슬라이더(832)를 가지고 있다. 다시 말해, Z방향 이동부(83)는, 각 스핀들부(42A, 42B)에 대응해서 마련되어 있다. Z방향 슬라이더(832)는, 예를 들어, 편심 캠 기구(도시하지 않음)에 의해 구동되는 것이고, Z방향 가이드 레일(831) 상을 직선적으로 왕복 이동한다. 그밖에, Z방향 슬라이더(832)는, 볼나사 기구 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
이 절단용 이동 기구(8)와 트랜스퍼축(71)의 위치 관계는, 도 1 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)이, 절단용 이동 기구(8)의 위쪽에 있어서 절단용 이동 기구(8)를 가로지르도록 배치되어 있다. 구체적으로 트랜스퍼축(71)은, 지지체(812)의 위쪽에 있어서 그 지지체(812)를 가로지르도록 배치되고, 트랜스퍼축(71) 및 지지체(812)는 서로 교차하는 위치 관계로 된다.
＜가공부스러기(加工屑) 수용부(17)＞
또, 본 실시형태의 절단 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)의 절단에 의해 생긴 단재(端材) 등의 가공부스러기(S)를 수용하는 가공부스러기 수용부(17)를 더 구비하고 있다.
이 가공부스러기 수용부(17)는, 도 2 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 절단용 테이블(2A, 2B)의 아래쪽에 마련되어 있고, 평면시에 있어서 절단용 테이블(2A, 2B)을 둘러싸는 상부 개구(171X)를 가지는 안내 슈터(171)와, 그 안내 슈터(171)에 의해 가이드된 가공부스러기(S)를 회수하는 회수 용기(172)를 가지고 있다. 가공부스러기 수용부(17)를 절단용 테이블(2A, 2B)의 아래쪽에 마련하는 것에 의해서, 가공부스러기(S)의 회수율을 향상시킬 수 있다.
안내 슈터(171)는, 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 비산 또는 낙하한 가공부스러기(S)를 회수 용기(172)로 이끄는 것이다. 본 실시형태는, 안내 슈터(171)의 상부 개구(171X)가 절단용 테이블(2A, 2B)을 둘러싸도록 구성되어 있으므로(도 3 참조), 가공부스러기(S)를 놓치기 어렵게 되어, 가공부스러기(S)의 회수율을 한층 향상시킬 수 있다. 또, 안내 슈터(171)는, 절단용 테이블(2A, 2B) 아래에 마련된 회전 기구(9A, 9B)를 둘러싸도록 마련되어 있고(도 4 참조), 가공부스러기(S) 및 절삭수로부터 회전 기구(9A, 9B)를 보호하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 가공부스러기 수용부(17)는 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)에 공통인 것으로 되어 있지만, 절단용 테이블(2A, 2B) 각각에 대응해서 마련되어도 된다.
회수 용기(172)는, 안내 슈터(171)를 자중(自重)에 의해 통과한 가공부스러기(S)를 회수하는 것이고, 본 실시형태에서는, 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B) 각각에 대응해서 마련되어 있다. 그리고, 2개의 회수 용기(172)는, 트랜스퍼축의 앞쪽측에 배치되어 있고, 각각 독립해서 절단 장치(100)의 앞쪽측으로부터 탈거(분리)할 수 있도록 구성되어 있다. 이 구성에 의해, 가공부스러기(S) 폐기 등의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다. 부언하면, 회수 용기(172)는, 봉지 마친 기판(W)의 사이즈나, 가공부스러기(S)의 사이즈 및 양, 작업성 등을 고려해서, 모든 절단용 테이블 아래 전체에 하나 마련해도 되며, 3개 이상으로 분할해서 마련해도 된다.
또, 가공부스러기 수용부(17)는, 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 절삭수와 가공부스러기를 분리하는 분리부(173)를 가지고 있다. 이 분리부(173)의 구성으로서는, 예를 들어, 회수 용기(172)의 밑면에 절삭수를 통과시키는 다공판 등의 필터를 마련하는 것이 생각된다. 이 분리부(173)에 의해, 회수 용기(172)에 절삭수를 모아 두는(고이게 하는) 일 없이, 가공부스러기(S)를 회수할 수가 있다.
＜제1 클리닝 기구(18)＞
또, 본 실시형태의 절단 장치(100)는, 도 1 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 상면측(실장면)을 클리닝하는 제1 클리닝 기구(18)를 더 구비하고 있다. 이 제1 클리닝 기구(18)는, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 상면에 세정액 및/또는 압축 공기를 분사하는 분사 노즐(18a)(도 5 참조)에 의해서, 제품(P)의 상면측(실장면)을 클리닝하는 것이다.
이 제1 클리닝 기구(18)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)와 함께 트랜스퍼축(71)을 따라 이동 가능하게 구성되어 있다. 여기에서는, 제1 클리닝 기구(18)는, 트랜스퍼축(71)에 마련되는 가이드 레일(721)을 슬라이드하는 슬라이드 부재(723)에 마련되어 있다. 여기서, 제1 클리닝 기구(18) 및 슬라이드 부재(723) 사이에는, 제1 클리닝 기구(18)를 Z방향으로 승강 이동시키기 위한 승강 이동 기구(181)가 마련되어 있다. 이 승강 이동 기구(181)는, 예를 들어 랙 앤드 피니언 기구를 사용한 것, 볼나사 기구를 사용한 것, 또는 에어 실린더를 사용한 것 등이 생각된다.
＜제2 클리닝 기구(19)＞
또한, 본 발명의 절단 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 하면측(마크면)을 클리닝하는 제2 클리닝 기구(19)를 더 구비하고 있다. 이 제2 클리닝 기구(19)는, 절단용 테이블(2B)과 검사부(13) 사이에 마련되어 있고, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 하면에 세정액 및/또는 압축 공기를 분사하는 것에 의해서, 제품(P)의 하면측(마크면)을 클리닝한다. 다시 말해, 제2 보유지지 기구(6)가 트랜스퍼축(71)을 따라 이동되는 도중에 있어서, 제2 클리닝 기구(19)는 제품(P)의 하면측(마크면)을 클리닝한다.
＜절단 장치(100)의 동작의 일례＞
다음에, 절단 장치(100)의 동작의 일례를 설명한다. 도 9에는, 절단 장치(100)의 동작에 있어서의 제1 보유지지 기구(3)의 이동 경로 및, 제2 보유지지 기구(6)의 이동 경로를 나타내고 있다. 부언하면, 본 실시형태에 있어서는, 절단 장치(100)의 동작, 예를 들어 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단, 제품(P)의 검사, 후술하는 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 등, 모든 동작이나 제어는 제어부(CTL)(도 1 참조)에 의해 행해진다.
기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(11b)는, 제1 보유지지 기구(3)에 의해 보유지지되는 보유지지 위치(RP)를 향하여, 기판 수용부(11a)에 수용된 봉지 마친 기판(W)을 이동시킨다.
다음에, 반송용 이동 기구(7)는 제1 보유지지 기구(3)를 보유지지 위치(RP)로 이동시키고, 제1 보유지지 기구(3)는 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지한다. 그 후, 반송용 이동 기구(7)는, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지한 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 테이블(2A, 2B)로 이동시키고, 제1 보유지지 기구(3)는 흡착 보유지지를 해제해서, 봉지 마친 기판(W)을 절단용 테이블(2A, 2B)에 재치한다. 이 때, 메인 이동 기구(72)에 의해 봉지 마친 기판(W)의 X방향의 위치를 조정하고, 수평 이동 기구(74)에 의해 봉지 마친 기판(W)의 Y방향의 위치를 조정한다. 그리고, 절단용 테이블(2A, 2B)은, 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지한다.
여기서, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지한 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 테이블(2B)로 이동시키는 경우에는, 승강 이동 기구(73)가 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 이동 기구(8)(지지체(812))와 물리적으로 간섭하지 않는 위치까지 상승시킨다. 부언하면, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지한 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 테이블(2B)로 이동시킬 때에, 지지체(812)를 절단용 테이블(2B)로부터 이동적재 테이블(5)측으로 퇴피시키는 경우에는, 상기와 같이 제1 보유지지 기구(3)를 승강시킬 필요는 없다.
이 상태에서, 절단용 이동 기구(8)가 2개의 스핀들부(42A, 42B)를 X방향 및 Y방향으로 순차 이동시킴과 함께, 절단용 테이블(2A, 2B)이 회전하는 것에 의해서, 봉지 마친 기판(W)을 격자형(格子狀)으로 절단해서 개편화한다.
절단 후에, 반송용 이동 기구(7)는 제1 클리닝 기구(18)를 이동시켜서, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지되어 있는 복수의 제품(P)의 상면측(실장면)을 클리닝한다. 이 클리닝 후, 반송용 이동 기구(7)는, 제1 보유지지 기구(3) 및 제1 클리닝 기구(18)를 소정의 위치로 퇴피시킨다.
다음에, 반송용 이동 기구(7)는 제2 보유지지 기구(6)를 절단 후의 절단용 테이블(2A, 2B)로 이동시키고, 제2 보유지지 기구(6)는 복수의 제품(P)을 흡착 보유지지한다. 그 후, 반송용 이동 기구(7)는, 복수의 제품(P)을 보유지지한 제2 보유지지 기구(6)를 제2 클리닝 기구(19)로 이동시킨다. 이것에 의해, 제2 클리닝 기구(19)가, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지되어 있는 복수의 제품(P)의 하면측(마크면)을 클리닝한다.
클리닝 후, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)은, 검사부(131)에서 하면측(마크면)의 검사가 행해지고, 그 후, 반전 기구(14)에 받아 건네져, 반전 기구(14)에 의해 마크면이 흡착 보유지지된 후, 반전된다. 반전 후, 반전 기구(14)가 이동하여, 검사부(132)에서 제품(P)의 실장면이 검사된다. 이와 같이 양면 검사가 이루어진 후, 제품(P)은 반전 기구(14)로부터 이동적재 테이블(5)에 받아 건네어진다. 이동적재 테이블(5)에 재치된 복수의 제품(P)은, 검사부(13)에 의한 검사 결과(양품, 불량품 등)에 따라, 구분 기구(20)에 의해서 각종 트레이(21)로 구분되어진다.
＜보유지지용 플레이트(M1)의 자동 교환 기능＞
또한 본 실시형태의 절단 장치(100)는, 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있는 기능을 가지고 있다.
본 실시형태에서는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 절단하기 위한 절단용 테이블(2A, 2B), 제품(P)을 검사하기 위한 검사용 테이블(보유지지 테이블(141)), 제품(P)이 구분 전에 재치되는 이동적재 테이블(5) 및, 제품(P)을 반송하기 위해서 보유지지하는 반송용 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6))가, 교환 가능한 보유지지용 플레이트(M1)와, 보유지지용 플레이트(M1)가 착탈 가능하게 장착되고, 보유지지용 플레이트(M1)를 사용하여 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)을 보유지지하는 보유지지 베이스부(M2)를 가지고 있다. 부언하면, 도 10에서는, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)를 대표해서(대표적으로) 나타내고 있지만, 보유지지 테이블(141), 이동적재 테이블(5) 및 제2 보유지지 기구(6)도, 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)를 가지는 구성은 동일하다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 1 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 플레이트 수용부(24)와, 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24) 및 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 구비하고 있다.
보유지지용 플레이트(M1)는, 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)을 흡착하기 위한 도시하지 않는 흡착부(흡착공)가 형성되어 있고, 보유지지 베이스부(M2)에 장착되는 것에 의해서, 그 보유지지 베이스부(M2)에 마련된 흡착 유로(M21)를 거쳐 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)을 흡착한다(도 10 참조). 또, 보유지지용 플레이트(M1)는, 절단용 테이블(2A, 2B)에 사용되는 것, 보유지지 테이블(141)에 사용되는 것, 이동적재 테이블(5)에 사용되는 것 및, 제2 보유지지 기구(6)에 사용되는 것으로, 형상 또는 흡착부의 구성 등이 다르다. 부언하면, 보유지지용 플레이트(M1)는, 절단용 테이블(2A, 2B)에 사용되는 것, 보유지지 테이블(141)에 사용되는 것, 이동적재 테이블(5)에 사용되는 것 및, 제2 보유지지 기구(6)에 사용되는 것으로, 형상 또는 흡착부의 구성 등이 공통화되어 동일하게 해도 된다. 또한, 각종 보유지지용 플레이트(M1)는, 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)마다 형상 또는 흡착부의 구성 등이 다르고, 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)에 맞추어 선택된다.
또, 절단 장치(100)는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)를 착탈 가능하게 구성하기 위한 고정 기구(26)가 마련되어 있다. 구체적으로 고정 기구(26)는, 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 고정용 삽입공(261)과, 보유지지 베이스부(M2)에 마련되어, 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 고정용 삽입공(261)에 삽입되는 고정용 실린더부(262)를 가지고 있다.
고정용 실린더부(262)는, 이른바 척 실린더라 불리는 것이고, 도 12에 나타내는 바와 같이, 고정용 삽입공(261)에 삽입되는 실린더 본체(262a)와, 실린더 본체(262a)의 외측 둘레면으로부터 돌출된 위치 및 몰입된 위치에서 이동 가능하게 마련된 구형(球狀)의 가동자(262b)와, 그 가동자(262b)를 실린더 본체(262a)에 대해서 돌출된 위치로 되도록 힘을 부여하는 탄성체(262c)를 가지고, 압축 공기를 공급하는 것에 의해서, 가동자(262b)가 돌출된 위치(도 12의 (a))와 몰입된 위치(도 12의 (b))에서 전환되도록 구성되어 있다.
또한, 고정용 실린더부(262)는, 피스톤부(262d)를 가진다. 이 피스톤부(262d)는, 실린더 본체(262a)의 내부에 있어서, 가동자(262b) 및 탄성체(262c) 사이에 개재되고, 압축 공기에 의해 실린더 본체(262a)의 내부를 이동하는 것에 의해서, 가동자(262b)를 돌출된 위치 및 몰입된 위치 사이에서 전환한다. 이 피스톤부(262d)는, 압축 공기의 공급이 개시되면, 탄성체(262c)로부터 받는 힘에 대항해서 실린더 본체(262a)의 내부를 이동하여, 가동자(262b)를 몰입된 위치로 이동시키고(도 12의 (b)), 압축 공기의 공급이 정지되면, 탄성체(262c)로부터 받는 힘에 의해서 실린더 본체(262a)의 내부를 이동하여, 가동자(262b)를 돌출된 위치로 이동시킨다(도 12의 (a)).
또, 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 고정용 삽입공(261)은, 도 12에 나타내는 바와 같이, 고정용 실린더부(262)가 삽입된 상태에 있어서, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되었을 때에, 그 가동자(262b)가 걸려, 고정용 실린더부(262)가 빠지지 않도록 하는 볼록부(261a)를 가지고 있다. 이 볼록부(261a)는, 돌출된 위치에 있는 가동자(262b)가 걸리고, 몰입된 위치에 있는 가동자(262b)는 걸리지 않는다. 이 때문에, 고정용 실린더부(262)가 고정용 삽입공(261)에 삽입된 상태에서, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 하는 것에 의해, 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다(도 12의 (a) 참조). 한편, 고정용 실린더부(262)가 고정용 삽입공(261)에 삽입된 상태에서, 가동자(262b)가 몰입된 위치로 하는 것에 의해, 보유지지 베이스부(M2)에 대한 보유지지용 플레이트(M1)의 고정이 해제된다(도 12의 (b) 참조).
플레이트 수용부(24)는, 교환 전후(사용 전후)의 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 것이고, 도 11에 나타내는 바와 같이, 각 보유지지용 플레이트(M1)가 재치되는 슬라이드 선반부(棚部)(241)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 상측 복수단(複數段)의 슬라이드 선반부(241)를 교환 전의 신(新) 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 것으로 하고, 하측 복수단의 슬라이드 선반부(241)를 교환 후의 구(옛날) 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 것으로 하고 있다. 이 플레이트 수용부(24)는, 예를 들어 플레이트 반송 기구(25)에 의해 대상이 되는 슬라이드 선반부(241)가 전방으로 슬라이드되는 것에 의해, 그 슬라이드 선반부(241)에 사용 후의 구 보유지지용 플레이트(M1)가 재치되거나, 또는, 사용 전의 신 보유지지용 플레이트(M1)가 취출된다(꺼내진다). 부언하면, 슬라이드 선반부(241)의 앞변부에는 걸기부(引掛部)(241a)가 마련되어 있고, 그 걸기부(241a)를 사용하여 인출된다.
플레이트 반송 기구(25)는, 보유지지 베이스부(M2)로부터 탈거된 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 플레이트 수용부(24)에 있는 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지 베이스부(M2)로 반송하는 것이다. 또, 플레이트 반송 기구(25)는, 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 반송할 수 있다. 보다 구체적으로는, 플레이트 반송 기구(25)는, 보유지지용 플레이트(M1)를 위쪽으로부터 보유지지해서 상승시킨 상승 위치에서, 보유지지용 플레이트(M1)를 수평 방향으로 반송할 수 있다. 여기서, 「상승 위치」란, 교환할 대상의 보유지지 베이스부(M2)에 장착된 보유지지용 플레이트(M1)의 위치 또는 반송 중에 취할 수 있는 가장 낮은 보유지지용 플레이트(M1)의 위치보다, 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시킨 높이의 위치를 의미한다.
구체적으로 플레이트 반송 기구(25)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 플레이트 수용부(24)와 임시재치부(27) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제1 반송 기구(25a)와, 임시재치부(27)와 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제2 반송 기구(25b)를 가지고 있다. 본 실시형태의 임시재치부(27)는, 반전 기구(14)의 보유지지 테이블(141)이다. 부언하면, 이동적재 테이블(5)을 임시재치부(27)로 해도 되며, 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)과는 별도로(따로) 임시재치부(27)를 마련해도 된다.
제1 반송 기구(25a)는, 트레이 반송 기구(22)를 사용하여 구성되어 있고, 가공 후의 가공 대상물(W)(제품(P))이 구분되어지는 트레이(21)를 반송할 수 있다. 제2 반송 기구(25b)는, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)(가공 대상물 반송 기구)을 사용하여 구성되어 있고, 가공 대상물(W)을 반송할 수 있다. 다시 말해, 플레이트 반송 기구(25)(제1 반송 기구(25a) 및 제2 반송 기구(25b))는, 상술한 공통의 트랜스퍼축(71)에 의해서 X방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 또, 플레이트 반송 기구(25)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서, 평면시에 있어서 동일측(앞쪽측)에 마련되어 있게 된다.
여기서 제1 반송 기구(25a)가 되는 트레이 반송 기구(22)에서는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 트레이(21)를 보유지지하기 위한 트레이 보유지지 기구(221)에, 트레이(21)를 보유지지하기 위한 예를 들어 보유지지 갈고리(爪) 등의 트레이용 보유지지부(221a) 외에, 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지하기 위한 예를 들어 보유지지 갈고리 등의 플레이트용 보유지지부(221b)를 가지고 있다. 여기에서는, 서로 대향하는 한 쌍의 대향변에 트레이용 보유지지부(221a)가 마련되어 있고, 그것과는 다른 한 쌍의 대향변에 플레이트용 보유지지부(221b)가 마련되어 있다. 부언하면, 플레이트용 보유지지부(221b)는, 상술한 캐치 실린더를 사용한 구성으로 해도 된다. 트레이 반송 기구(22)는, 플레이트용 보유지지부(221b)를 승강 가능하게 구성되고, 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지한 플레이트용 보유지지부(221b)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서, 보유지지용 플레이트(M1)를 반송할 수 있다.
그밖에, 트레이 반송 기구(22)는, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)의 반송용 이동 기구(7)와 마찬가지 구성이다. 다시 말해, 트레이 반송 기구(22)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)을 따라 X방향으로 트레이 보유지지 기구를 이동시키는 상술한 메인 이동 기구(72)와, 트랜스퍼축(71)에 대해서 트레이 보유지지 기구(221)를 Z방향으로 승강 이동시키는 승강 이동 기구(75)와, 트랜스퍼축(71)에 대해서 트레이 보유지지 기구(221)를 Y방향으로 수평 이동시키는 수평 이동 기구(76)를 가지고 있다. 부언하면, 승강 이동 기구(75) 및 수평 이동 기구(76)는, 예를 들어 랙 앤드 피니언 기구를 사용한 것, 볼나사 기구를 사용한 것, 리니어 모터를 사용한 것 또는 에어 실린더를 사용한 것 등의 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성되어 있다.
또, 제2 반송 기구(25b)가 되는 제2 보유지지 기구(6)는, 도 13에 나타내는 바와 같이, 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 반송용 보유지지공(281)(도 10 참조)에 삽입되는 반송용 실린더부(282)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)의 고정용 실린더부(262)를 사용하여 반송용 실린더부(282)를 구성하고 있다. 반송용 보유지지공(281)은, 상술한 고정 기구(26)의 고정용 삽입공(261)과 마찬가지 구성이다. 부언하면, 반송용 보유지지공(281)과 고정용 삽입공(261)은, 상하 반대(逆)의 구성이다. 부언하면, 제2 보유지지 기구(6)는, 반송용 실린더부(282) 대신에, 보유지지용 플레이트(M1)의 가장자리부(緣部)에 걸어서 보유지지하는 보유지지 갈고리를 사용해도 된다. 제2 보유지지 기구(6)는, 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지하는 부분을 승강 가능하게 구성되고, 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지한 부분을 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서, 보유지지용 플레이트(M1)를 반송할 수 있다.
＜보유지지용 플레이트(M1)의 검사 기구(29)＞
본 실시형태의 절단 장치(100)는, 도 10 및 도 13에 나타내는 바와 같이, 보유지지 베이스부(M2)에 대한 보유지지용 플레이트(M1)의 장착(부착) 상태를 검사하는 검사 기구(29)를 더 구비하고 있다.
이 검사 기구(29)는, 보유지지용 플레이트(M1)가 탑재되는 탑재면(M22)에 개구하는 검사용 유로(29a)와, 검사용 유로(29a)에 마련되어, 개구로부터의 유체의 누설을 검지하는 검지 센서(도시하지 않음)를 가지고 있다. 검사용 유로(29a)는, 보유지지 베이스부(M2)의 탑재면(M22)에 형성된 개구를 가지고 있으며, 압축 공기가 공급되는 것이다. 또, 검지 센서는, 검사용 유로(29a)를 흐르는 압축 공기의 압력 또는 유량을 검출하는 것에 의해서, 개구로부터의 압축 공기의 누설을 검지하는 것이다. 이 검사 기구(29)에 의해, 보유지지 베이스부(M2)의 탑재면(M22)에 보유지지용 플레이트(M1)가 밀착해서 고정되어 있는지의 여부를 알 수 있다. 검사 기구(29)에 의해 보유지지 베이스부(M2)의 탑재면(M22)에 보유지지용 플레이트(M1)가 밀착되어 있지 않은 경우에는, 고정 기구(26)에 의해 고정을 해제해서, 재차 보유지지용 플레이트(M1)를 다시 장착할 수가 있다.
＜보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작＞
다음에 본 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)에 의한 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작에 대하여, 도 14 및 도 15를 참조해서 설명한다.
부언하면, 이하의 교환 동작에 있어서, 플레이트 수용부(24)로부터 보유지지용 플레이트(M1)를 취출할 때의 보유지지용 플레이트(M1)의 판별은, 보유지지용 플레이트(M1)에 마련된 RFID 등의 식별자를, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))에 마련된 식별자 리더(도시하지 않음)에 의해 판독하는 것에 의해 행한다.
(1) 이동적재 테이블(5) 및 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트의 교환 동작(도 14 참조)
보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거(분리)하고, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송한다. 부언하면, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))가, 플레이트 수용부(24)로부터 보유지지 테이블(141)의 신(새) 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서 보유지지 테이블(141)의 보유지지 베이스부(M2)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 보유지지용 플레이트(M1)가 하강해서 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 보유지지 테이블(141)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
또, 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송한다. 부언하면, 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))가, 플레이트 수용부(24)로부터 이동적재 테이블(5)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 보유지지용 플레이트(M1)가 하강해서 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
부언하면, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환과 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 순번은 상기에 한정되지 않고, 반대이더라도 되며, 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거한 후에, 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5) 각각에 신 보유지지용 플레이트(M1)를 장착하도록 해도 된다.
(2) 절단용 테이블(2A, 2B) 및 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트의 교환 동작(도 15 참조)
절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 제2 반송 기구(25b)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다. 여기서, 보유지지 테이블(141)을 임시재치부(27)로 하는 경우에는, 보유지지 테이블(141)을 미리 탈거해 두는 것이 바람직하다.
또, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))가, 보유지지 테이블(141)에 재치된 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 수용한다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))가, 플레이트 수용부(24)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서, 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다.
그리고, 제2 반송 기구(25b)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))가, 보유지지 테이블(141)에 재치된 신 보유지지용 플레이트(M1)를 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)로 상승 위치로 한 상태에서 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 교환하는 경우에는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 이동시킴과 함께, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 탈거하고, 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)에 보유지지용 플레이트(M1)를 재치한다. 부언하면, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
그리고, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))가, 보유지지 테이블(141)에 재치된 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 수용한다. 여기서, 보유지지 테이블(141)을 임시재치부(27)로 하는 경우에는, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 미리 탈거해 두는 것이 바람직하다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(트레이 반송 기구(22))가, 플레이트 수용부(24)로부터 제2 보유지지 기구(6)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다.
그리고, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 보유지지 테이블(141)로 이동시켜, 보유지지 베이스부(M2)를 하강시켜서, 보유지지 테이블(141)에 재치된 신 보유지지용 플레이트(M1)가 장착된다. 여기에서는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 마련된 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 고정용 삽입공(261)에 꽂아넣어진다(삽입된다). 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 교환할 때에, 제2 반송 기구(25b)가 되는 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 미리 탈거해 두는 것이 바람직하다.
또, 이동적재 테이블(5), 보유지지 테이블(141), 절단용 테이블(2A, 2B) 및 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환을 일련의 동작으로 해서 행해도 된다. 예를 들어, 이동적재 테이블(5), 보유지지 테이블(141), 제2 보유지지 기구(6) 및 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 이 순으로 탈거하고, 그 후, 절단용 테이블(2A, 2B), 제2 보유지지 기구(6), 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 이 순으로 장착하는 것이 생각된다.
＜본 실시형태의 효과＞
본 실시형태의 절단 장치(100)에 의하면, 보유지지 베이스부(M2)로부터 탈거(분리)된 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 플레이트 수용부(24)에 있는 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지 베이스부(M2)로 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 가지므로, 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있다. 그 결과, 보유지지용 플레이트(M1)를 교환하기 위한 인건비를 삭감할 수 있다. 또, 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환하므로, 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 시간을 단축할 수 있어, 절단 장치(100)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 보유지지 베이스부(M2)에 대한 보유지지용 플레이트(M1)의 장착 상태의 변동(불균일함)을 저감할 수 있다.
또, 플레이트 반송 기구(25)가, 플레이트 수용부(24)와 임시재치부(27) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제1 반송 기구(25a)와, 임시재치부(27)와 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제2 반송 기구(25b)를 가지므로, 플레이트 반송 기구(25)를 하나의 반송 기구로 구성하는 경우에 비해, 보유지지용 플레이트(M1)의 반송처의 자유도를 늘릴(높일) 수가 있다. 여기서, 제1 반송 기구(25a)를 트레이 반송 기구(22)를 사용하여 구성하고 있으므로, 장치 구성을 간소화함과 함께 장치 코스트를 삭감할 수 있다. 또, 제2 반송 기구(25b)를 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하여 구성하고 있으므로, 장치 구성을 간소화함과 함께 장치 코스트를 삭감할 수 있다.
그밖에, 본 실시형태에서는, 절단용 테이블(2A, 2B) 및 이동적재 테이블(5)의 배열 방향을 따라 연장되는 공통의 트랜스퍼축(71)에 의해 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키는 구성으로 하고, 절단용 이동 기구(8)에 의해 절단 기구(4)를 수평면에 있어서 트랜스퍼축(71)을 따른 X방향 및 X방향과 직교하는 Y방향 각각으로 이동시키므로, 절단용 테이블(2A, 2B)을 X방향 및 Y방향으로 이동시키는 일 없이, 봉지 마친 기판(W)을 가공할 수가 있다. 이 때문에, 절단용 테이블(2A, 2B)을 볼나사 기구에 의해 이동시키는 일 없이, 볼나사 기구를 보호하기 위한 벨로스(蛇腹) 부재 및 그 벨로스 부재를 보호하기 위한 커버 부재를 필요없게 할 수가 있다. 그 결과, 절단 장치(100)의 장치 구성을 간소화할 수 있다. 또, 절단용 테이블(2A, 2B)을 X방향 및 Y방향으로 이동하지 않는 구성으로 할 수 있어, 절단 장치(100)의 점유공간을 저감시킬 수가 있다.
＜제1 실시형태의 변형예＞
예를 들어, 상기 제1 실시형태에서는, 절단용 테이블(2A, 2B), 검사용 테이블(보유지지 테이블(141)), 이동적재 테이블(5) 및, 반송용 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6)) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환하는 구성이었지만, 절단용 테이블(2A, 2B), 검사용 테이블(보유지지 테이블(141)), 이동적재 테이블(5) 및, 반송용 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6))의 적어도 하나를 자동적으로 교환하는 구성으로 해도 된다.
상기 제1 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)는, 제1 반송 기구(25a) 및 제2 반송 기구(25b)를 가지는 구성이었지만, 단일의 반송 기구를 가지는 구성으로 해도 된다. 또, 플레이트 반송 기구(25)는, 트레이 반송 기구(22)를 사용하지 않는 구성으로 해도 되고, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)(가공 대상물 반송 기구)를 사용하지 않는 구성으로 해도 된다.
플레이트 반송 기구(25)에 트레이 반송 기구를 사용하지 않는 구성의 일례로서, 예를 들어 도 16에 나타내는 것이 생각된다. 이 절단 장치(100)는, 트레이 반송 기구(22)를 갖지 않는 것이고, 각종 트레이(21)가 트레이 이동 기구(TM)에 의해서 플레이트 수용부(24)의 아래쪽을 이동하는 것에 의해, 구분 기구(20)에 의해 제품(P)이 구분되어지는 구분 위치로 이동하도록 구성되어 있다. 부언하면, 트레이 이동 기구(TM)는, Y방향을 따라 연장되는 반송 레일(TM1)과, 그 반송 레일(TM1) 상에서 트레이(21)를 이동시키는 이동 기구(도시하지 않음)와, 각종 트레이(21)를 X방향으로 이동시키는 이동 기구(TM2)와, 각종 트레이(21)마다 마련되어, 각종 트레이(21)를 Z방향으로 이동시키는 이동 기구(TM3)를 가지고 있다. 이 절단 장치(100)에 있어서, 플레이트 반송 기구(25)는, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하여 구성할 수가 있다.
또, 상기 제1 실시형태의 플레이트 수용부(24)는, 절단용 테이블(2A, 2B), 검사용 테이블(보유지지 테이블(141)), 이동적재 테이블(5) 및, 반송용 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6)) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 것이었지만, 보유지지용 플레이트(M1)의 종류에 따라 전용의 플레이트 수용부(24)를 복수 마련하는 구성으로 해도 된다.
또, 상기 제1 실시형태의 이동적재 테이블(5)은, 각종 트레이(21)에 구분하기 전에 일시적으로 재치되는 인덱스 테이블이었지만, 이동적재 테이블(5)을 반전 기구(14)의 보유지지 테이블(141)로 해도 된다.
게다가, 상기 제1 실시형태의 구성에 있어서, 절단용 테이블(2A, 2B)에 있어서 봉지 마친 기판을 절단하는 일 없이, 홈을 형성하는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 예를 들어, 절단용 테이블(2A, 2B)에서 홈 가공이 실시된 봉지 마친 기판(W)은, 제1 보유지지 기구(3) 및 반송용 이동 기구(7)에 의해서, 기판 공급부(11b)로 돌려보내는 구성으로 해도 된다. 또, 이 기판 공급부(11b)로 돌려보내진 봉지 마친 기판(W)을 기판 수용부(11a)에 수용하는 구성으로 해도 된다.
＜본 발명의 제2 실시형태＞
다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 대하여 설명한다.
제2 실시형태의 절단 장치(100)는, 상기 제1 실시형태의 트레이 수용과는 달리, 복수의 제품(P)을 점착면(101x)을 가지는 첩부 부재(101)에 붙여서(첩부해서) 수용(「링 수용」이라고도 불린다.)할 수 있도록 구성되어 있다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 2개의 절단용 테이블(가공용 테이블)(2A, 2B)과, 봉지 마친 기판(W)을 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송하기 위해서 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 제1 보유지지 기구(3)와, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)을 절단하는 절단 기구(가공 기구)(4)와, 복수의 제품(P)이 옮겨지는 이동적재 테이블(5)과, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 이동적재 테이블(5)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 제2 보유지지 기구(6)와, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축(71)을 가지는 반송용 이동 기구(7)와, 절단 기구(4)를 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)에 대해서 이동시키는 절단용 이동 기구(가공용 이동 기구)(8)를 구비하고 있다.
이하, 제1 실시형태와는 다른 구성에 대하여 주로 설명한다.
제2 실시형태의 이동적재 테이블(5)은, 복수의 제품(P)을 후술하는 첩부 부재(101)에 붙이기 전에, 복수의 제품(P)이 일시적으로 재치되는 것이다. 또, 이동적재 테이블(5)은, 도 17 및 도 18에 나타내는 바와 같이, Y방향을 따라 이동 가능하게 마련되어 있고, 제2 보유지지 기구(6)에 의해 복수의 제품(P)이 재치되는 이동적재 위치(X1)와, 첩부용 반송 기구(103)에 의해 복수의 제품(P)이 반송되는 취출(꺼내기) 위치(X2) 사이에서 이동한다. 부언하면, 이동적재 위치(X1)는, 트랜스퍼축(71)보다도 앞쪽측에 설정되어 있고, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 일렬로 배치되는 위치이며, 취출 위치(X2)는, 트랜스퍼축(71)보다도 뒤쪽측(奧側)에 설정되어 있다.
또, 반송용 이동 기구(7)의 트랜스퍼축(71)은, 제1 보유지지 기구(3)가 기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(11b)의 위쪽으로 이동할 수 있음과 함께, 제2 보유지지 기구(6)가 이동적재 테이블(5)의 위쪽으로 이동할 수 있는 범위에 더하여, 후술하는 첩부 부재 반송 기구(107)가 첩부 부재 반송 위치(X3)와 가이드 레일(108) 사이를 이동할 수 있는 범위로 연장되어 있다. 또, 이 트랜스퍼축(71)에 대해서, 후술하는 재치 테이블(102), 첩부 부재 수용부(106) 및 첩부 부재 반송 기구(107)도, 트랜스퍼축(71)에 대해서 동일측(앞쪽측)에 마련되어 있다.
＜링 수용의 구체적인 구성＞
그리고, 제2 실시형태의 절단 장치(100)는, 도 17 내지 도 19에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)이 붙여지는 점착면(101x)을 가지는 첩부 부재(101)가 재치되는 재치 테이블(102)과, 복수의 제품(P)을 이동적재 테이블(5)로부터 재치 테이블(102)에 재치된 첩부 부재(101)로 반송하는 첩부용 반송 기구(103)를 구비하고 있다.
재치 테이블(102)은, 본 실시형태에서는 X방향을 따라 2개 마련되어 있고(도 17 참조), 각 재치 테이블(102)에는, 첩부 부재(101)가 재치된다. 구체적으로는, 2개의 재치 테이블(102)은, 그것들의 상면이 동일한 수평면 상에 위치하도록(Z방향에 있어서 동일 높이에 위치하도록) 배치되어 있다.
또, 2개의 재치 테이블(102)은, 도 17 및 도 18에 나타내는 바와 같이, Y방향을 따라 이동 가능하게 마련되어 있고, 첩부 부재 반송 기구(107)에 의해 첩부 부재(101)가 반송되는 첩부 부재 반송 위치(X3)와, 첩부용 반송 기구(103)에 의해 복수의 제품(P)이 반송되는 첩부 위치(X4) 사이에서 이동한다. 2개의 재치 테이블(102)은, 서로 독립해서 첩부 부재 반송 위치(X3)와 첩부 위치(X4) 사이에서 이동한다. 부언하면, 첩부 부재 반송 위치(X3)는, 트랜스퍼축(71)보다도 앞쪽측에 설정되어 있고, 첩부 위치(X4)는, 트랜스퍼축(71)보다도 뒤쪽측에 설정되어 있다. 또, 첩부 위치(X4)에 있는 재치 테이블(102)과, 취출 위치(X2)에 있는 이동적재 테이블(5)은, X방향을 따라 배치된다(도 17 참조).
여기서, 첩부 부재(101)는, 도 20에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 원고리형(圓環狀) 또는 직사각형상(矩形狀)을 이루는 프레임형 부재(101a)와, 그 프레임형 부재(101a)의 내측에 배치된 점착면(101x)을 가지는 수지 시트(101b)를 구비하고 있다. 프레임형 부재(101a)는, 예를 들어 스테인리스 등의 금속제의 것이다. 또, 수지 시트(101b)는, 예를 들어, 수지제의 시트형 기초재(101b1)와, 그 시트형 기초재(101b1)의 상면에 도포된 접착제로 이루어지는 접착층(점착층)(101b2)을 구비하고 있다. 부언하면, 접착층(점착층)(101b2)의 상면이 점착면(101x)으로 된다.
첩부용 반송 기구(103)는, 취출 위치(X2)로 이동한 이동적재 테이블(5)로부터, 첩부 위치(X4)로 이동한 재치 테이블(102)에 재치된 첩부 부재(101)로 복수의 제품(P)을 반송하는 것이다.
구체적으로 첩부용 반송 기구(103)는, 도 17 및 도 18에 나타내는 바와 같이, 이동적재 테이블(5)에 보유지지된 복수의 제품(P)을 예를 들어 1열마다 흡착하는 제품 흡착 기구(1031)와, 그 제품 흡착 기구(1031)를 X방향을 따라 이동시키는 흡착용 이동 기구(1032)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 첩부용 반송 기구(103)가 2개 마련되어 있고, 각각의 첩부용 반송 기구(103)가 서로 독립해서 구동하도록 구성되어 있다.
제품 흡착 기구(1031)는, 도 19에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 개별적으로 흡착 보유지지하기 위한 복수의 흡착부(1031a)가 마련된 흡착 헤드(1031A)와, 그 흡착 헤드(1031A)의 흡착부(1031a)에 접속된 진공 펌프 또는 진공 이젝터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 이 제품 흡착 기구(1031)는, 각각의 흡착부(1031a)가 하나의 제품(P)을 흡착하는 구성으로 되어 있다. 또, 복수의 흡착부(1031a)는, 서로 독립해서 승강 이동 가능하게 구성되어 있고, 각 흡착부(1031a)가 하강하는 것에 의해, 개별적으로 제품(P)을 흡착할 수가 있다.
흡착용 이동 기구(1032)는, 도 19에 나타내는 바와 같이, 제품 흡착 기구(1031)를 X방향으로 이동시키는 X방향 이동부(1032a)와, 제품 흡착 기구(1031)를 Z방향으로 이동시키는 Z방향 이동부(1032b)를 구비하고 있다. 부언하면, 흡착용 이동 기구(1032)는, 제품 흡착 기구(1031)를 Y방향으로 이동시키는 Y방향 이동부를 가지고 있어도 된다.
X방향 이동부(1032a)는, 트랜스퍼축(71)의 뒤쪽측에 있어서 X방향을 따라 마련된 X방향 가이드 레일(1032a1)과, 그 X방향 가이드 레일(1032a1)을 따라 이동함과 함께, Z방향 이동부(1032b)를 거쳐 제품 흡착 기구(1031)를 지지하는 지지체(1032a2)를 가지고 있다. 그리고, 지지체(1032a2)는, 예를 들어, X방향으로 연장되는 볼나사 기구(도시하지 않음)에 의해, X방향 가이드 레일(1032a1) 상을 X방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 이 볼나사 기구는 서보모터 등의 구동원(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 그밖에, 지지체(1032a2)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
Z방향 이동부(1032b)는, 도 19에 나타내는 바와 같이, 지지체(1032a2)에 있어서 Z방향을 따라 마련된 Z방향 가이드 레일(1032b1)과, 그 Z방향 가이드 레일(1032b1)을 따라 이동함과 함께 제품 흡착 기구(1031)를 지지하는 Z방향 슬라이더(1032b2)를 가지고 있다. 그리고, Z방향 슬라이더(1032b2)는, 예를 들어, Z방향으로 연장되는 볼나사 기구(도시하지 않음)에 의해, Z방향 가이드 레일(1032b1) 상을 Z방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 그밖에, Z방향 슬라이더(1032b2)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
또, 첩부용 반송 기구(103)에 흡착 보유지지된 제품(P)은, 제1 촬상부(201)(도 17 참조)에 의해 첩부용 반송 기구(103)에 있어서의 제품(P)의 위치가 확인된다. 이 제1 촬상부(201)는, 첩부용 반송 기구(103)의 제품 흡착 기구(1031)에 흡착 보유지지된 제품(P)을 아래쪽으로부터 촬상하는 촬상 카메라이고, 제품(P)의 하면(마크면)을 촬상한다. 또, 제1 촬상부(201)는, 전후 방향(Y방향)으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 이것에 의해, 2개의 첩부용 반송 기구(103) 각각에 흡착 보유지지된 제품(P)의 위치를 확인할 수 있도록 구성하고 있다.
또한, 각 첩부용 반송 기구(103)에는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재(101)에 있어서 제품(P)이 첩부되는(붙여지는) 위치를 확인하는 제2 촬상부(202)가 마련되어 있다. 이 제2 촬상부(202)는, 첩부 위치(X4)에 있는 재치 테이블(102) 상의 첩부 부재(101)를 위쪽으로부터 촬상하는 촬상 카메라이고, 첩부 부재(101)의 상면(점착면(101x))을 촬상한다. 그리고, 제1 촬상부(201)에 의해 얻어진 촬상 데이터와, 제2 촬상부(202)에 의해 얻어진 촬상 데이터에 기초하여, 첩부 부재(101)에 대해서 제품(P)의 위치맞춤이 행해져서, 첩부용 반송 기구(103)가 제품(P)을 첩부 부재(101)의 점착면(101x)에 붙인다. 부언하면, 제품(P)의 위치맞춤은, 첩부용 반송 기구(103)의 흡착용 이동 기구(1032)나 첩부용 반송 기구(103)에 마련된 회전 기구(도시하지 않음), 또는, 재치 테이블(102)의 이동 기구(도시하지 않음) 또는 재치 테이블(102)에 마련된 회전 기구(도시하지 않음)에 의해 행할 수가 있다.
또, 본 실시형태의 절단 장치(100)는, 도 21에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재(101)를 수용하는 첩부 부재 수용부(106)와, 첩부 부재(101)를 재치 테이블(102)과 첩부 부재 수용부(106) 사이에서 반송하는 첩부 부재 반송 기구(107)를 구비하고 있다.
첩부 부재 수용부(106)는, 제품(P)이 붙여 있지 않은 빈(空) 첩부 부재(101)를 수용함과 함께, 제품(P)이 붙여진 첩부 마친(貼付濟) 첩부 부재(101)를 수용하는 것이다. 이 첩부 부재 수용부(106)는, 첩부 부재 반송 위치(X3)에 있는 재치 테이블(102)과 X방향을 따라 일렬로 배치되어 있다(도 17 참조).
또, 첩부 부재 수용부(106)의 개구부에는, 도 17 및 도 21에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재(101)를 첩부 부재 수용부(106)에 넣고 빼기 위한 한 쌍의 가이드 레일(108)이 마련되어 있다. 이 한 쌍의 가이드 레일(108)은, 첩부 부재(101)가 재치되는 것이고, 첩부 부재 수용부(106)의 개구부의 전방에 있어서 X방향을 따라 마련되어 있다.
첩부 부재 반송 기구(107)는, 첩부 부재 반송 위치(X3)에 있는 재치 테이블(102)과 첩부 부재 수용부(106) 사이에서 첩부 부재(101)를 반송하는 것이다. 구체적으로 첩부 부재 반송 기구(107)는, 도 21에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재(101)의 프레임형 부재(101a)를 흡착해서 보유지지하는 제3 보유지지 기구(1071)와, 그 제3 보유지지 기구(1071)를 적어도 X방향 및 Z방향으로 이동시키는 이동 기구(1072)를 구비하고 있다.
제3 보유지지 기구(1071)는, 첩부 부재(101)를 흡착 보유지지하기 위한 복수의 흡착부(1071a)가 마련된 흡착 헤드(1071A)와, 그 흡착 헤드(1071A)의 흡착부(1071a)에 접속된 진공 펌프 또는 진공 이젝터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 또, 이동 기구(1072)는, 상기한 반송용 이동 기구(7)의 메인 이동 기구(72)를 사용하여 구성되어 있고, 제3 보유지지 기구(1071)는, 공통의 트랜스퍼축(71)을 따라 이동한다. 또한, 이동 기구(1072)는, 반송용 이동 기구(7)의 승강 이동 기구(73)와 마찬가지 승강 이동 기구(1072a)를 가지고 있다. 부언하면, 이동 기구(1072)는, 제3 보유지지 기구(1071)를 Y방향으로 이동시키는 Y방향 이동 기구를 가지고 있어도 된다.
＜절단 장치(100)의 동작의 일례＞
다음에, 제2 실시형태의 절단 장치(100)의 동작의 일례를, 도 9, 도 17 내지 도 19 및 도 21을 참조해서 설명한다. 본 실시형태에 있어서는, 절단 장치(100)의 동작, 예를 들어 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단, 제품(P)의 검사, 제품(P)의 클리닝 및, 제품(P)의 링 수용 등, 모든 동작이나 제어는 제어부(CTL)(도 17 참조)에 의해 행해진다.
본 실시형태의 절단 장치(100)의 동작에 있어서, 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단, 제품(P)의 클리닝 및, 제품(P)의 검사까지의 동작은, 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다(도 9 참조).
그리고, 양면 검사가 이루어진 후, 제품(P)은 반전 기구(14)로부터 이동적재 테이블(5)에 받아 건네어진다. 복수의 제품(P)이 재치된 이동적재 테이블(5)은, 취출 위치(X2)로 이동한다(도 17, 도 18 및 도 19 참조).
한편, 첩부 부재 반송 위치(X3)에 있는 재치 테이블(102)에는, 첩부 부재 반송 기구(107)에 의해서 첩부 부재 수용부(106)로부터 빈 첩부 부재(101)가 반송된다. 그리고, 빈 첩부 부재(101)가 반송된 재치 테이블(102)은, 첩부 위치(X4)로 이동한다(도 18 및 도 19 참조).
이 상태에서, 도 19에 나타내는 바와 같이, 첩부용 반송 기구(103)는, 취출 위치(X2)에 있는 이동적재 테이블(5)로부터 제품(P)을 흡착 보유지지한다. 그리고, 제1 촬상부(201)의 위쪽으로 이동한다. 이것에 의해, 제1 촬상부(201)에 의해 첩부용 반송 기구(103)에 있어서의 제품(P)의 위치가 확인된다. 또, 첩부용 반송 기구(103)를 이동시켜서 제2 촬상부(202)에 의해, 첩부 위치(X4)에 있는 재치 테이블(102) 상의 첩부 부재(101)에 있어서의 제품(P)이 붙여지는 위치를 확인한다. 그리고, 첩부용 반송 기구(103)는, 보유지지하고 있는 제품(P)을 첩부 부재(101)에 붙인다. 이 동작은, 첩부 부재(101)에 붙일 수 있는 허용 수의 제품(P)이 붙여질 때까지, 혹은, 이동적재 테이블(5)에 있는 복수의 제품(P) 전부가 붙여질 때까지, 복수회(여러 번) 반복된다.
그 후, 재치 테이블(102)은, 도 18 및 도 21에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재 반송 위치(X3)로 이동한다. 그리고, 첩부 부재 반송 기구(107)가, 재치 테이블(102)에 재치된 첩부 마친 첩부 부재(101)를 첩부 부재 수용부(106)로 반송한다. 구체적으로는, 첩부 부재 반송 기구(107)가, 첩부 부재 수용부(106)에 마련된 한 쌍의 가이드 레일(108)에 첩부 마친 첩부 부재(101)를 재치하고, 한 쌍의 가이드 레일(108)에 재치된 첩부 마친 첩부 부재(101)를 누르는 것에 의해, 첩부 마친 첩부 부재(101)를 첩부 부재 수용부(106)에 수용한다.
다음에, 빈 첩부 부재(101)를 첩부 부재 수용부(106)로부터 취출하는 경우에는, 첩부 부재 반송 기구(107)는, 첩부 부재 수용부(106) 내의 첩부 부재(101)를 인출해서, 한 쌍의 가이드 레일(108)에 재치하고, 한 쌍의 가이드 레일(108)에 재치된 빈 첩부 부재(101)를 흡착 보유지지해서 첩부 부재 반송 위치(X3)에 있는 재치 테이블(102)로 반송한다.
＜보유지지용 플레이트(M1)의 자동 교환 기능＞
또한 제2 실시형태의 절단 장치(100)는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있는 기능을 가지고 있다. 부언하면, 본 실시형태에서는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141), 이동적재 테이블(5) 및 제2 보유지지 기구(6)가, 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)를 가지고 있다. 부언하면, 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)의 구체적 구성은, 제1 실시형태와 마찬가지이다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 17 및 도 22에 나타내는 바와 같이, 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 플레이트 수용부(24)와, 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24) 및 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 구비하고 있다. 부언하면, 제2 실시형태의 절단 장치(100)에는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 고정 기구(26) 및 검사 기구(29)가 마련되어 있다.
본 실시형태의 플레이트 수용부(24)는, 제1 실시형태와 마찬가지 구성이지만, 도 23에 나타내는 바와 같이, 플레이트 수용부(24) 및 첩부 부재 수용부(106)는 서로 상하에 배치되어 있다. 본 실시형태의 플레이트 수용부(24)는, 첩부 부재 수용부(106)의 위쪽에 마련되어 있다. 그리고, 플레이트 수용부(24) 및 첩부 부재 수용부(106)는 상하 방향(Z방향)으로 승강 이동 가능하게 구성되어 있다. 여기에서는, 플레이트 수용부(24)를 승강 이동시키는 승강 이동부(109)와, 첩부 부재 수용부(106)를 승강 이동시키는 승강 이동부(110)가 마련되어 있고, 플레이트 수용부(24) 및 첩부 부재 수용부(106)는 서로 독립해서 승강 이동 가능하게 구성되어 있다. 부언하면, 승강 이동부(109, 110)는, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되고, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다. 또, 플레이트 수용부(24)와 첩부 부재 수용부(106)는 공통의 승강 이동 기구에 의해서 일체적으로 승강 이동 가능하게 구성해도 된다.
첩부 부재 수용부(106)에 대해서 첩부 부재(101)를 넣고 빼는 경우에는, 도 23의 (a)에 나타내는 바와 같이, 플레이트 수용부(24)가 승강 이동부(109)에 의해 위쪽으로 퇴피하고, 첩부 부재 수용부(106)가 승강 이동부(110)에 의해 원하는 높이 위치 H1에 배치되고, 첩부 부재 반송 기구(107)에 의해 첩부 부재 수용부(106)에 대해서 첩부 부재(101)가 넣고 빼내어진다.
한편, 플레이트 수용부(24)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)를 넣고 빼는 경우에는, 도 23의 (b)에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재 수용부(106)가 승강 이동부(110)에 의해 아래쪽으로 퇴피하고, 플레이트 수용부(24)가 승강 이동부(109)에 의해 원하는 높이 위치(H2)에 배치되고, 플레이트 반송 기구(25)에 의해 플레이트 수용부(24)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 넣고 빼내어진다. 여기서, 첩부 부재 반송 기구(107)가 가이드 레일(108)과 간섭하지 않도록, 첩부 부재 수용부(106)의 높이 위치 H1보다도 플레이트 수용부(24)의 높이 위치 H2가 높은 위치로 되어 있다.
본 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 플레이트 수용부(24)와 임시재치부(27) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제1 반송 기구(25a)와, 임시재치부(27)와 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제2 반송 기구(25b)를 가지고 있다. 본 실시형태의 임시재치부(27)는, 반전 기구(14)의 보유지지 테이블(141)이다. 부언하면, 이동적재 테이블(5)을 임시재치부(27)로 해도 되며, 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)과는 별도로 임시재치부(27)를 마련해도 된다.
제2 실시형태의 제1 반송 기구(25a)는, 상기 제1 실시형태와는 달리, 첩부 부재 반송 기구(107)(제3 보유지지 기구(1071) 및 이동 기구(1072))를 사용하여 구성되어 있다. 다시 말해, 제2 실시형태의 제1 반송 기구(25a)는, 가공 후의 가공 대상물(W)(제품(P))이 붙여지는 첩부 부재(101)를 반송할 수 있다. 제2 반송 기구(25b)는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하여 구성되어 있고, 가공 대상물(W)을 반송할 수 있다. 다시 말해, 플레이트 반송 기구(25)(제1 반송 기구(25a) 및 제2 반송 기구(25b))는, 상술한 공통의 트랜스퍼축(71)에 의해서 X방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 또, 플레이트 반송 기구(25)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서, 평면시에 있어서 동일측(앞쪽측)에 마련되어 있게 된다.
여기서 제1 반송 기구(25a)가 되는 첩부 부재 반송 기구(107)에서는, 도 21에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재(101)를 흡착 보유지지하기 위한 복수의 흡착부(1071a) 외에, 상술한 캐치 실린더를 사용한 반송용 실린더부(1071b)를 가지고 있다. 첩부 부재 반송 기구(107)는, 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지하는 부분이 승강 가능하게 구성되고, 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지한 부분을 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서, 보유지지용 플레이트(M1)를 반송할 수 있다.
＜보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작＞
다음에 본 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)에 의한 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작에 대하여, 도 24 및 도 25를 참조해서 설명한다.
부언하면, 이하의 교환 동작에 있어서, 플레이트 수용부(24)로부터 보유지지용 플레이트(M1)를 취출할(꺼낼) 때의 보유지지용 플레이트(M1)의 판별은, 보유지지용 플레이트(M1)에 마련된 RFID 등의 식별자를, 제1 반송 기구(25a)(플레이트 반송 기구(25))에 마련된 식별자 리더(도시하지 않음)에 의해 판독하는 것에 의해 행한다. 또, 이 교환 동작에서는, 도 23의 (b)에 나타내는 바와 같이, 첩부 부재 수용부(106)가 승강 이동부(110)에 의해 아래쪽으로 퇴피하고, 플레이트 수용부(24)가 승강 이동부(109)에 의해 원하는 높이 위치(H2)에 배치되고, 플레이트 반송 기구(25)에 의해 플레이트 수용부(24)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 넣고 빼내어진다.
(1) 이동적재 테이블(5) 및 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작(도 24 참조)
보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거(분리)하고, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송한다. 부언하면, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))가, 플레이트 수용부(24)로부터 보유지지 테이블(141)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서 보유지지 테이블(141)의 보유지지 베이스부(M2)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 보유지지용 플레이트(M1)가 하강해서 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 보유지지 테이블(141)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
또, 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송한다. 부언하면, 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))가, 플레이트 수용부(24)로부터 이동적재 테이블(5)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 보유지지용 플레이트(M1)가 하강해서 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
부언하면, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환과 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환의 순번은 상기에 한정되지 않고, 반대(逆)이더라도 되며, 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거한 후에, 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5) 각각에 신 보유지지용 플레이트(M1)를 장착하도록 해도 된다.
(2) 절단용 테이블(2A, 2B) 및 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작(도 25 참조)
절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 제2 반송 기구(25b)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다. 여기서, 보유지지 테이블(141)을 임시재치부(27)로 하는 경우에는, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 미리 탈거해 두는 것이 바람직하다.
또, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))가, 보유지지 테이블(141)에 재치된 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 수용한다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))가, 플레이트 수용부(24)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서, 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다.
그리고, 제2 반송 기구(25b)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))가, 보유지지 테이블(141)에 재치된 신 보유지지용 플레이트(M1)를 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)로 상승 위치로 한 상태에서 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 교환하는 경우에는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 이동시킴과 함께, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 탈거하고, 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)에 보유지지용 플레이트(M1)를 재치한다. 부언하면, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
그리고, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))가, 보유지지 테이블(141)에 재치된 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 수용한다.
다음에, 제1 반송 기구(25a)(첩부 부재 반송 기구(107))가, 플레이트 수용부(24)로부터 제2 보유지지 기구(6)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하여 상승 위치로 한 상태에서 임시재치부(27)인 보유지지 테이블(141)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다.
그리고, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 보유지지 테이블(141)로 이동시키고, 보유지지 베이스부(M2)를 하강시켜서, 보유지지 테이블(141)에 재치된 신 보유지지용 플레이트(M1)가 장착된다. 여기에서는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 마련된 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 고정용 삽입공(261)에 꽂아넣어진다(삽입된다). 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 교환할 때는, 제2 반송 기구(25b)가 되는 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)와, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 미리 탈거해 둔다. 또, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 교환할 때는, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 미리 탈거해 둔다.
또, 이동적재 테이블(5), 보유지지 테이블(141), 절단용 테이블(2A, 2B) 및 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환을 일련의 동작으로 해서 행해도 된다. 예를 들어, 이동적재 테이블(5), 보유지지 테이블(141), 제2 보유지지 기구(6) 및 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 이 순으로 탈거하고, 그 후, 절단용 테이블(2A, 2B), 제2 보유지지 기구(6), 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 이 순으로 장착하는 것이 생각된다.
＜제2 실시형태의 효과＞
제2 실시형태의 절단 장치(100)에 의하면, 제1 실시형태와 마찬가지로, 보유지지 베이스부(M2)로부터 탈거된 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 플레이트 수용부(24)에 있는 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지 베이스부(M2)로 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 가지므로, 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있다. 그 결과, 보유지지용 플레이트(M1)를 교환하기 위한 인건비를 삭감할 수 있다. 또, 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환하므로, 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 시간을 단축할 수 있어, 절단 장치(100)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 보유지지 베이스부(M2)에 대한 보유지지용 플레이트(M1)의 장착 상태의 변동(불균일함)을 저감할 수 있다. 그밖에, 제2 실시형태에 있어서, 상기 제1 실시형태와 마찬가지 구성에 의해 발생하는 효과는 동일하다.
특히, 제2 실시형태에서는, 플레이트 반송 기구(25)가, 첩부 부재(101)를 재치 테이블(102)로 반송할 수 있으므로, 플레이트 반송 기구(25)와는 별도로 첩부 부재용의 반송 기구를 마련할 필요가 없고, 링 수용하는 절단 장치(100)의 장치 구성을 간소화할 수 있다. 또한, 장치 코스트도 삭감할 수 있다. 그밖에, 복수의 제품(P)에 대해서, 스퍼터링 공정 또는 실장 공정 등의 후공정을 행하는 경우에, 복수의 제품(P)이 붙여진 첩부 부재(101)를 이동시키면 되어, 그 취급을 용이하게 할 수 있다.
또한, 플레이트 반송 기구(25)가, 플레이트 수용부(24)와 임시재치부(27) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제1 반송 기구(25a)와, 임시재치부(27)와 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 제2 반송 기구(25b)를 가지므로, 플레이트 반송 기구(25)를 하나의 반송 기구로 구성하는 경우에 비해, 보유지지용 플레이트(M1)의 반송처의 자유도를 늘릴 수 있다. 여기서, 제1 반송 기구(25a)를 첩부 부재 반송 기구(107)(제3 보유지지 기구(1071) 및 이동 기구(1072))를 사용하여 구성하고 있으므로, 장치 구성을 간소화함과 함께 장치 코스트를 삭감할 수 있다. 또, 제2 반송 기구(25b)를 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하여 구성하고 있으므로, 장치 구성을 간소화함과 함께 장치 코스트를 삭감할 수 있다.
＜제2 실시형태의 변형예＞
예를 들어, 상기 제2 실시형태에서는, 절단용 테이블(2A, 2B), 검사용 테이블(보유지지 테이블(141)), 이동적재 테이블(5), 및, 반송용 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6)) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환하는 구성이었지만, 절단용 테이블(2A, 2B), 검사용 테이블(보유지지 테이블(141)), 이동적재 테이블(5) 및, 반송용 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6))의 적어도 하나를 자동적으로 교환하는 구성으로 해도 된다.
상기 제2 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)는, 제1 반송 기구(25a) 및 제2 반송 기구(25b)를 가지는 구성이었지만, 단일의 반송 기구를 가지는 구성으로 해도 된다. 또, 플레이트 반송 기구(25)는, 첩부 부재 반송 기구(107)를 사용하지 않는 구성으로 해도 되며, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)(가공 대상물 반송 기구)를 사용하지 않는 구성으로 해도 된다.
플레이트 반송 기구(25)에 첩부 부재 반송 기구(107)를 사용하지 않는 구성으로 하는 경우, 플레이트 수용부(24)를 제2 보유지지 기구(6)가 액세스 가능한 위치(예를 들어 이동적재 테이블(5)(인덱스 테이블)과 첩부 부재(101)의 재치 테이블(102) 사이)에 배치하는 것에 의해서, 플레이트 반송 기구(25)를 첩부 부재 반송 기구(107)를 사용하는 일 없이, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)에 의해 구성할 수가 있다.
또, 상기 제2 실시형태의 플레이트 수용부(24)는, 절단용 테이블(2A, 2B), 검사용 테이블(보유지지 테이블(141)), 이동적재 테이블(5) 및, 제2 보유지지 기구(6) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 것이었지만, 보유지지용 플레이트(M1)의 종류에 따라 전용의 플레이트 수용부(24)를 복수 마련하는 구성으로 해도 된다.
예를 들어, 상기 제2 실시형태에서는 재치 테이블(102)을 복수(구체적으로는 2개) 마련한 구성에 대하여 설명했지만, 도 26의 (a)에 나타내는 바와 같이, 재치 테이블(102)이 하나이더라도 된다. 이 경우, 첩부 부재 수용부(106)의 개구부에 있어서 상하에 2개의 가이드 레일(108A, 108B)을 마련해도 된다. 이 구성에 있어서, 위의 가이드 레일(108A)은, 서로의 간격이 도시하지 않는 확축(擴縮) 기구에 의해서 확축할 수 있도록 구성되어 있다.
이 상하 2단 구성의 가이드 레일(108A, 108B)을 가지는 경우의 동작은 이하와 같이 된다.
우선, 위의 가이드 레일(108A)의 간격이 확축 기구에 의해서 벌어진다(도 26의 (b) 참조). 그리고, 첩부 부재 반송 기구(107)는, 위의 가이드 레일(108A) 사이를 하강해서, 첩부 부재 수용부(106)로부터 아래의 가이드 레일(108B)에 빈 첩부 부재(101)를 인출해서 임시재치한다. 그 후, 첩부 부재 반송 기구(107)는, 첩부 부재 반송 위치(X3)에 있는 재치 테이블(102)로 이동해서, 첩부 마친 첩부 부재(101)를 수취한다.
다음에, 위의 가이드 레일(108A)의 간격이 확축 기구에 의해서 좁혀진다(도 26의 (c) 참조). 그리고, 첩부 부재 반송 기구(107)는, 위의 가이드 레일(108A)에 첩부 마친 첩부 부재(101)를 재치함과 함께, 그 첩부 부재(101)를 첩부 부재 수용부(106)에 압입한다(밀어넣는다).
그 후, 위의 가이드 레일(108A)의 간격이 확축 기구에 의해서 벌어진다. 그리고, 첩부 부재 반송 기구(107)는, 위의 가이드 레일(108A) 사이를 하강해서, 아래의 가이드 레일(108B)에 재치되어 있는 빈 첩부 부재(101)를 수취하고, 재치 테이블(102)로 반송한다.
또, 상기 제2 실시형태에서는 2개의 첩부용 반송 기구(103)를 가지는 구성이었지만, 하나의 첩부용 반송 기구(103)를 가지는 구성으로 해도 된다.
또한, 제1 촬상부(201)는, 2개의 첩부용 반송 기구(103)에 공통인 것으로 하고 있었지만, 2개의 첩부용 반송 기구(103) 각각에 대응해서 제1 촬상부(201)를 마련해도 된다.
또, 상기 제2 실시형태의 이동적재 테이블(5)은, 첩부 부재(101)에 붙이기 전에 일시적으로 재치되는 인덱스 테이블이었지만, 이동적재 테이블(5)을 반전 기구(14)의 보유지지 테이블(141)로 해도 된다.
＜본 발명의 제3 실시형태＞
다음에, 본 발명의 제3 실시형태에 대하여 설명한다.
제3 실시형태의 절단 장치(100)는, 상기 제1 실시형태의 트레이 수용 및 제2 실시형태의 링 수용과는 달리, 복수의 제품(P)을 흩어진 상태로 수용(「벌크 수용」이라고도 불린다.)할 수 있도록 구성되어 있다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 27에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 2개의 절단용 테이블(가공용 테이블)(2A, 2B)과, 봉지 마친 기판(W)을 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송하기 위해서 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 제1 보유지지 기구(3)와, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)을 절단하는 절단 기구(가공 기구)(4)와, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 수용 박스(111)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 제2 보유지지 기구(6)와, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축(71)을 가지는 반송용 이동 기구(7)와, 절단 기구(4)를 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)에 대해서 이동시키는 절단용 이동 기구(가공용 이동 기구)(8)를 구비하고 있다.
이하, 제1, 제2 실시형태와는 다른 구성에 대하여 주로 설명한다.
제3 실시형태의 제2 보유지지 기구(6)는, 도 27에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 건조용 테이블(112) 또는 수용 박스(111)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 것이다. 이 제2 보유지지 기구(6)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1, 제2 실시형태와 마찬가지 구성이다. 그리고, 흡착 헤드(61)가, 후술하는 반송용 이동 기구(7) 등에 의해 원하는 위치로 이동되는 것에 의해, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 건조용 테이블(112)로 반송하고, 건조용 테이블(112)로부터 수용 박스(111)로 반송한다.
제3 실시형태의 반송용 이동 기구(7)는, 도 27에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)를 적어도 기판 공급 기구(11)와 절단용 테이블(2A, 2B) 사이에서 이동시킴과 함께, 제2 보유지지 기구(6)를 적어도 절단용 테이블(2A, 2B)과 수용 박스(111) 사이에서 이동시키는 것이다.
또, 트랜스퍼축(71)은, 제1 보유지지 기구(3)가 기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(11b)의 위쪽으로 이동할 수 있음과 함께, 제2 보유지지 기구(6)가 수용 박스(111)의 위쪽으로 이동할 수 있는 범위에서 마련되어 있다(도 27 참조). 또, 이 트랜스퍼축(71)에 대해서, 후술하는 수용 박스(111) 및 건조용 테이블(112)도, 평면시에 있어서 동일측(앞쪽측)에 마련되어 있다.
또한, 메인 이동 기구(72)의 가이드 레일(721)은, 트랜스퍼축(71)을 따라 X방향으로 일직선으로 연장되어 있고, 트랜스퍼축(71)과 마찬가지로, 제1 보유지지 기구(3)가 기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(11b)의 위쪽으로 이동할 수 있음과 함께, 제2 보유지지 기구(6)가 수용 박스(111)의 위쪽으로 이동할 수 있는 범위에서 마련되어 있다.
＜절단 장치(100)의 건조 기능＞
제3 실시형태의 절단 장치(100)는, 제2 클리닝 기구(19)에 의해 클리닝된 복수의 제품(P)을 더욱 건조시키는 기능을 가지고 있다. 구체적으로 절단 장치(100)는, 도 27 내지 도 29에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 건조시키기 위한 건조용 테이블(112)과, 건조용 테이블(112)에 재치된 복수의 제품(P)을 건조시키는 건조 기구(113)와, 그 건조 기구(113)를 건조용 테이블(112)을 따라 이동시키는 건조용 이동 기구(114)를 구비하고 있다.
건조용 테이블(112)은, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)에 의해 복수의 제품(P)이 반송되어 재치되는 것이다. 이 건조용 테이블(112)은, 복수의 제품(P)을 흡착해서 보유지지한다. 또, 건조용 테이블(112)은, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 일렬로 배치된다. 본 실시형태의 건조용 테이블(112)은, 평면시에 있어서 직사각형상을 이루는 것이지만, 그밖의 형상이더라도 된다.
건조 기구(113)는, 건조용 테이블(112)의 위쪽으로부터 기체인 압축 공기를 분사해서, 건조용 테이블(112)에 흡착 보유지지된 복수의 제품(P)을 건조시키는 것이다. 이 건조 기구(113)는, 건조용 테이블(112)에 보유지지된 복수의 제품(P)에 압축 공기를 분사하는 분사 노즐(113a)을 가지고 있다. 본 실시형태의 분사 노즐(113a)은, 건조용 테이블(112)을 향해 마련된, 직선형으로 연장되는 슬릿형을 이루는 개구를 가지는 것이지만(도 28 참조), X방향을 따라 간헐적으로 마련된 복수의 개구를 가지는 것이더라도 된다.
본 실시형태의 건조 기구(113)는, 건조용 이동 기구(114)에 의한 이동 방향을 향해 압축 공기를 분사하도록 구성되어 있다(도 28 참조). 다시 말해, 분사 노즐(113a)에 의한 압축 공기의 분사 방향이 건조용 이동 기구(114)에 의한 이동 방향(여기에서는, Y방향에 있어서 앞쪽측으로부터 뒤쪽측)을 향하도록 구성되어 있다.
또, 건조 기구(113)의 분사 노즐(113a)은, 도 28에 나타내는 바와 같이, 건조용 테이블(112) 상에 보유지지된 복수의 제품(P)의 X방향을 따른 배열 방향에 대해서 예를 들어 30도 미만으로 경사져서 배치되어 있다. 여기서, 건조용 테이블(112)에는, 복수의 제품(P)이 X방향 및 Y방향에 있어서 매트릭스형으로 배치되어 있고, 건조 기구(113)의 분사 노즐(113a)은, 각 제품(P)의 X방향을 따른 한 변에 대해서 경사져서 압축 공기를 분사하게 된다. 이것에 의해, 인접한 제품(P) 사이에 고여(모여) 있는 수분을 제품(P)으로부터 날려 버리기 쉽게 하고 있다. 이것에 의해, 복수의 제품(P)의 건조가 촉진된다. 또, 건조 기구(113)의 분사 노즐(113a)의 슬릿형 개구를, 건조용 테이블(112)을 향해 약간 경사지도록 마련하여, 압축 공기가 건조 기구(113)의 이동 방향을 향해 날려 버려지도록 해도 된다.
건조용 이동 기구(114)는, 건조 기구(113)를 건조용 테이블(112)의 위쪽에 있어서 Y방향으로 이동시키는 것이다. 본 실시형태의 건조용 이동 기구(114)는, 건조용 테이블(112)에 대해서 건조 기구(113)를 Y방향으로 왕복 이동시키는 것이다. 구체적으로 건조용 이동 기구(114)는, 도 28 및 도 29에 나타내는 바와 같이, Y방향으로 연장되는 Y방향 가이드 레일(1141)과, 그 Y방향 가이드 레일(1141)을 따라 이동함과 함께 건조 기구(113)를 보유지지하는 슬라이드 부재(1142)와, 그 슬라이드 부재(1142)를 Y방향 가이드 레일(1141)을 따라 이동시키는 구동부(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 부언하면, 구동부로서는, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되며, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다.
＜건조 동작의 일례＞
다음에 건조 기구(113) 및 건조용 이동 기구(114)에 의한 건조 동작에 대하여 설명한다.
건조용 테이블(112)에 복수의 제품(P)을 재치하기 전에 있어서, 건조용 이동 기구(114)는, 복수의 제품(P)의 재치를 방해하지 않도록, 건조 기구(113)를 건조용 테이블(112)의 Y방향 한쪽측(예를 들어 앞쪽측)으로 퇴피시키고 있다. 그리고, 건조용 테이블(112)에 복수의 제품(P)이 재치되어 보유지지되면, 건조 기구(113)는 압축 공기의 분사를 개시함과 함께, 건조용 이동 기구(114)는 건조 기구(113)를 Y방향 다른쪽 측(예를 들어 뒤쪽측)으로 이동시킨다. 이것에 의해, 건조용 테이블(112)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 건조가 행해진다. 부언하면, 건조용 이동 기구(114)가, 건조 기구(113)를 Y방향 다른쪽 측(뒤쪽측)으로부터 Y방향 한쪽측(앞쪽측)로 이동시킬 때에는, 건조 기구(113)는 기체의 분사를 정지한다. 부언하면, 건조 기구(113)는 왕로 뿐만 아니라 귀로에 있어서도 압축 공기를 분사하는 구성으로 해도 된다.
＜벌크 수용의 구체적인 구성(수용 박스(111) 및 스크레이프(搔落) 부재(115))＞
수용 박스(111)는, 도 27 내지 도 29에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 흩어진 상태로 수용하는(이른바 벌크 수용하는) 것이다. 또, 수용 박스(111)는, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 일렬로 배치된다. 이 수용 박스(111)는, 제2 보유지지 기구(6)로부터 복수의 제품(P)을 긁어 떨어뜨리는 스크레이프 부재(115)를 더 구비하고 있다.
수용 박스(111)는, 평면시에 있어서 직사각형상의 상부 개구(111X)를 가지는 것이다(도 28 참조). 그리고, 스크레이프 부재(115)는, 수용 박스(111)의 상부 개구(111X)의 한 변에 고정되어 있다. 이 스크레이프 부재(115)에 대해서 제2 보유지지 기구(6)를 X방향으로 이동시키는 것에 의해, 제품(P)이 긁혀 떨어뜨려져 낙하해서 수용 박스(111)에 수용된다.
또, 본 실시형태의 수용 박스(111)는, X방향에 있어서 건조용 테이블(112)과 후술하는 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 플레이트 수용부(24) 사이에 마련되어 있고, 스크레이프 부재(115)는, 수용 박스(111)의 상부 개구(111X)에 있어서 건조용 테이블(112)측의 한 변에 마련되어 있다. 이것에 의해, 제품(P)을 긁어 떨어뜨릴 때에, 제2 보유지지 기구(6)가 플레이트 수용부(24)와 간섭하지 않는 구성으로 하고 있다.
스크레이프 부재(115)는, 상부 개구(111X)에 있어서의 건조용 테이블(112)측의 한 변으로부터 위쪽으로 연장되어 마련되어 있다(도 29 참조). 또, 스크레이프 부재(115)로서는, 흡착 해제된 제2 보유지지 기구(6)로부터 떨어지지 않는 제품(P)을 긁어 떨어뜨리는 것이라면 되고, 예를 들어, PEEK재 등의 수지제의 것이고, 그 형태는, 브러시 형상이더라도 되며, 평판 형상이더라도 된다.
본 실시형태에서는, 수용 박스(111)는, 트랜스퍼축(71)의 앞쪽측에 배치되어 있고, 수용 박스(111)의 앞쪽측의 외면에 손잡이(1111)(도 28 참조)가 마련되어 있고, 절단 장치(100)의 앞쪽측으로부터 탈거할 수 있도록 구성되어 있다. 이 구성에 의해, 제품(P)의 취출, 회수 등의 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다. 또한, 수용 박스(111)를 취출하는 방향은 앞쪽측에 한정되지 않고, 예를 들어, 절단 장치(100)의 횡측으로부터 취출하는 구성으로 해도 되며, 뒤쪽측으로부터 취출하는 구성으로 해도 된다.
＜절단 장치(100)의 동작의 일례＞
다음에, 제3 실시형태의 절단 장치(100)의 동작의 일례를, 도 30을 참조해서 설명한다. 도 30에는, 절단 장치(100)의 동작에 있어서의 제1 보유지지 기구(3)의 이동 경로 및, 제2 보유지지 기구(6)의 이동 경로를 나타내고 있다. 부언하면, 본 실시형태에 있어서는, 절단 장치(100)의 동작, 예를 들어 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단, 제품(P)의 클리닝, 제품(P)의 건조 및, 제품(P)의 스크레이프(긁어 떨어뜨림) 동작 등, 모든 동작이나 제어는 제어부(CTL)(도 27 참조)에 의해 행해진다.
본 실시형태의 절단 장치(100)의 동작에 있어서, 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단 및, 제품(P)의 클리닝까지의 동작은, 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
그리고, 제품(P)의 클리닝 후, 반송용 이동 기구(7)는 제2 보유지지 기구(6)를 건조용 테이블(112)로 이동시키고, 제2 보유지지 기구(6)는 흡착 보유지지를 해제해서, 복수의 제품(P)을 건조용 테이블(112)에 재치한다. 그리고, 건조용 테이블(112)은, 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지한다. 이 때, 반송용 이동 기구(7)는, 제2 보유지지 기구(6)를 건조 기구(113)의 이동을 방해하지 않는 위치로 퇴피시킨다.
이 상태에서, 건조용 이동 기구(114)가 건조 기구(113)를 Y방향으로 왕복 이동시킴과 함께, 건조 기구(113)가 압축 공기를 분사하는 것에 의해서, 복수의 제품(P)의 건조가 행해진다. 부언하면, 건조용 이동 기구(114)에 의한 건조 기구(113)의 왕복 회수는, 적당히(適宜) 설정 가능하고, 1회이더라도 되며, 복수회(여러 번)이더라도 된다.
건조 후, 반송용 이동 기구(7)는 제2 보유지지 기구(6)를 건조용 테이블(112)로 이동시키고, 제2 보유지지 기구(6)는, 건조용 테이블(112)로부터 복수의 제품(P)을 흡착 보유지지한다. 그 후, 반송용 이동 기구(7)는, 복수의 제품(P)을 보유지지한 제2 보유지지 기구(6)를 수용 박스(111)로 이동시킨다.
그리고, 제2 보유지지 기구(6)는, 수용 박스(111)의 상부 개구(111X)의 위쪽에 있어서, 복수의 제품(P)의 흡착 보유지지를 해제한다. 그 후, 반송용 이동 기구(7)는, 제2 보유지지 기구(6)로부터 낙하하지 않고 제2 보유지지 기구(6)에 잔존하고 있는 제품(P)이 스크레이프 부재(115)에 닿도록(접촉하도록), 제2 보유지지 기구(6)를 스크레이프 부재(115)에 대해서 건조용 테이블(112)측으로 이동시킨다. 본 실시형태에서는, 제품(P)을 확실하게 긁어 떨어뜨리기 위해서, 스프레이프 부재(115)가 제2 보유지지 기구(6)의 흡착면인 하면에 접촉하도록 제2 보유지지 기구(6)를 스크레이프 부재(115)에 대해서 이동시킨다. 이것에 의해, 복수의 제품(P)이 수용 박스(111)에 낙하해서 수용된다.
＜보유지지용 플레이트(M1)의 자동 교환 기능＞
또한 제3 실시형태의 절단 장치(100)는, 상기 제1, 제2 실시형태와 마찬가지로, 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있는 기능을 가지고 있다. 부언하면, 본 실시형태에서는, 절단용 테이블(2A, 2B), 건조용 테이블(112) 및 제2 보유지지 기구(6)가, 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)를 가지고 있다. 부언하면, 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)의 구체적 구성은, 제1 실시형태와 마찬가지이다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 27 및 도 31에 나타내는 바와 같이, 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 플레이트 수용부(24)와, 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24) 및 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 구비하고 있다. 부언하면, 제2 실시형태의 절단 장치(100)에는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 고정 기구(26) 및 검사 기구(29)가 마련되어 있다.
제3 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)는, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하여 구성되어 있고, 복수의 제품(P)을 반송할 수 있다. 바꾸어 말하면, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)가, 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 기능을 가지고 있다. 이 플레이트 반송 기구(25)는, 상술한 공통의 트랜스퍼축(71)에 의해서 X방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 또, 플레이트 반송 기구(25)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서, 평면시에 있어서 동일측(앞쪽측)에 마련되어 있게 된다. 여기서, 플레이트 반송 기구(25)를 구성하는 제2 보유지지 기구(6)는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 반송용 보유지지공(281)(도 10 참조)에 삽입되는 반송용 실린더부(282)를 가지고 있다(도 13 참조).
＜보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작＞
다음에 본 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)에 의한 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작에 대하여, 도 32를 참조해서 설명한다.
부언하면, 이하의 교환 동작에 있어서, 플레이트 수용부(24)로부터 보유지지용 플레이트(M1)를 취출할 때의 보유지지용 플레이트(M1)의 판별은, 보유지지용 플레이트(M1)에 마련된 RFID 등의 식별자를, 플레이트 반송 기구(25)(제2 보유지지 기구(6))에 마련된 식별자 리더(도시하지 않음)에 의해 판독하는 것에 의해 행한다.
(1) 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)의 탈거(분리) 동작(도32의 (a) 참조)
우선, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거(분리)한다. 구체적으로는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 플레이트 수용부(24)로 이동시킴과 함께, 제2 보유지지 기구(6)를 하강시켜서 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 슬라이드 선반부(241)에 보유지지용 플레이트(M1)를 재치해서 수용한다. 부언하면, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)에 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
이 보유지지용 플레이트(M1)가 탈거된 상태의 제2 보유지지 기구(6)를 사용하여, 절단용 테이블(2A, 2B) 또는 건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트의 교환 동작이 행해진다.
(2) 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작(도 32의 (b) 참조)
절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 슬라이드 선반부(241)에 재치해서 수용한다. 부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))가, 플레이트 수용부(24)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하고, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)로 상승 위치로 한 상태에서 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
(3) 건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작(도 32의 (b) 참조)
건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 전방으로 슬라이드된 슬라이드 선반부(241)에 재치해서 수용한다. 부언하면, 건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))가, 플레이트 수용부(24)로부터 건조용 테이블(112)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하고, 건조용 테이블(112)의 보유지지 베이스부(M2)로 상승 위치로 한 상태에서 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 건조용 테이블(112)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
(4) 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)의 장착(부착) 동작(도 32의 (c) 참조)
상기한 대로, 절단용 테이블(2A, 2B) 및 건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작을 행한 후에, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 플레이트 수용부(24)로 이동시킴과 함께, 제2 보유지지 기구(6)를 하강시켜서, 슬라이드 선반부(241)에 재치된 신 보유지지용 플레이트(M1)가 장착된다. 여기에서는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 마련된 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 고정용 삽입공(261)에 꽂아넣어진다(삽입된다). 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작과, 건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작은 어느 쪽을 먼저 행해도 상관없다. 또, 절단용 테이블(2A, 2B) 및 건조용 테이블(112)의 보유지지 베이스부(M2)로부터 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 그 후, 절단용 테이블(2A, 2B) 및 건조용 테이블(112)의 보유지지 베이스부(M2)에 신 보유지지용 플레이트(M1)를 장착할 수도 있다.
또, 상기에서는, 제2 보유지지 기구(6), 절단용 테이블(2A, 2B) 및 건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환을 일련의 동작으로 하고 있지만, 제2 보유지지 기구(6), 절단용 테이블(2A, 2B) 또는 건조용 테이블(112)의 적어도 하나에 있어서의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환을 개별적으로 행하도록 해도 된다. 이 때, 절단용 테이블(2A, 2B) 또는 건조용 테이블(112)의 보유지지용 플레이트(M1)를 교환할 때에는, 플레이트 반송 기구(25)를 구성하는 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 미리 탈거하는 것이 생각된다.
＜제3 실시형태의 효과＞
제3 실시형태의 절단 장치(100)에 의하면, 제1, 제2 실시형태와 마찬가지로, 보유지지 베이스부(M2)로부터 탈거된 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 플레이트 수용부(24)에 있는 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지 베이스부(M2)로 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 가지므로, 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있다. 그 결과, 보유지지용 플레이트(M1)를 교환하기 위한 인건비를 삭감할 수 있다. 또, 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환하므로, 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 시간을 단축할 수 있어, 절단 장치(100)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 보유지지 베이스부(M2)에 대한 보유지지용 플레이트(M1)의 장착 상태의 변동(불균일함)을 저감할 수 있다. 그밖에, 제3 실시형태에 있어서, 상기 제1, 제2 실시형태와 마찬가지 구성에 의해 발생하는 효과는 동일하다.
특히, 제3 실시형태에서는, 플레이트 반송 기구(25)가, 복수의 제품(P)을 수용 박스(111)로 반송할 수 있으므로, 플레이트 반송 기구(25)와는 별도의(다른) 제품 반송 기구를 마련할 필요가 없어, 벌크 수용하는 절단 장치(100)의 장치 구성을 간소화할 수 있다. 또한, 장치 코스트도 삭감할 수 있다. 그밖에, 복수의 제품(P)을 수용 박스(111)에 낙하시켜서 수용하므로, 종래의 트레이 수용하는 구성에 비해, 수용 스페이스를 소형화할 수가 있다. 이것에 의해서도, 절단 장치(100)의 점유공간을 저감시킬 수가 있다.
＜제3 실시형태의 변형예＞
예를 들어, 제3 실시형태에서는, 절단용 테이블(2A, 2B), 건조용 테이블(112) 및 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6)) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환하는 구성이었지만, 절단용 테이블(2A, 2B), 건조용 테이블(112) 및 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6))의 적어도 하나를 자동적으로 교환하는 구성으로 해도 된다.
제3 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)는, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하지 않는 구성으로 해도 된다.
또, 상기 제3 실시형태의 플레이트 수용부(24)는, 절단용 테이블(2A, 2B), 건조용 테이블(112) 및 보유지지 기구(제2 보유지지 기구(6)) 각각의 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 것이었지만, 보유지지용 플레이트(M1)의 종류에 따라 전용의 플레이트 수용부(24)를 복수 마련하는 구성으로 해도 된다.
또, 스크레이프 부재(115)를 가지지 않고, 제2 보유지지 기구(6)에 의해 흡착 보유지지를 해제한 후에, 제2 보유지지 기구(6)로부터 가스를 분사하는 것에 의해서, 복수의 제품(P)을 낙하시키는 구성으로 할 수도 있다.
또한, 스크레이프 부재(115)를 수용 박스(111)에 고정시키는 구성 외에, 다른 부재에 고정시켜도 되고, 또는, 스크레이프 부재(115)를 이동 가능하게 구성하고, 제2 보유지지 기구(6)에 대해서 스크레이프 부재(115)가 이동하는 것에 의해, 복수의 제품(P)을 긁어 떨어뜨리는 구성으로 해도 된다.
＜본 발명의 제4 실시형태＞
다음에, 본 발명의 제4 실시형태에 대하여 설명한다.
제4 실시형태의 절단 장치(100)는, 상기 제1 실시형태의 트레이 수용, 제2 실시형태의 링 수용 및 제3 실시형태의 벌크 수용과는 달리, 복수의 제품(P)을 통형 용기(116)에 수용(「튜브 수용」이라고도 불린다.)할 수 있도록 구성되어 있다. 부언하면, 통형 용기(116)는, 튜브, 매거진 스틱, 스틱 매거진, 스틱 등이라 불리는 일이 있다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 33에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 2개의 절단용 테이블(가공 테이블)(2A, 2B)과, 봉지 마친 기판(W)을 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송하기 위해서 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 제1 보유지지 기구(3)와, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)을 절단하는 절단 기구(가공 기구)(4)와, 복수의 제품(P)이 옮겨지는 이동적재 테이블(5)과, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 이동적재 테이블(5)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 제2 보유지지 기구(6)와, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축(71)을 가지는 반송용 이동 기구(7)와, 절단 기구(4)를 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)에 대해서 이동시키는 절단용 이동 기구(가공용 이동 기구)(8)를 구비하고 있다.
이하, 제1 내지 제3 실시형태와는 다른 구성에 대하여 주로 설명한다.
본 실시형태의 이동적재 테이블(5)은, 복수의 제품(P)을 후술하는 통형 용기(116)에 수용하기 전에, 복수의 제품(P)이 일시적으로 재치된다. 또, 이동적재 테이블(5)은, 도 33에 나타내는 바와 같이, Y방향을 따라 이동 가능하게 마련되어 있고, 제2 보유지지 기구(6)에 의해 복수의 제품(P)이 재치되는 이동적재 위치(X1)와, 반송 수용 기구(118)에 의해 복수의 제품(P)이 반송되는 취출 위치(X2) 사이에서 이동한다. 부언하면, 이동적재 위치(X1)는, 트랜스퍼축(71)보다도 앞쪽측에 설정되어 있고, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 일렬로 배치되는 위치이고, 취출 위치(X2)는, 트랜스퍼축(71)보다도 뒤쪽측에 설정되어 있다.
＜튜브 수용의 구체적인 구성＞
그리고, 본 실시형태의 절단 장치(100)는, 도 33 내지 도 35에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 일단 개구부(116x)로부터 수용하는 통형 용기(116)가 설치되는 용기 설치부(117)와, 복수의 제품(P)을 이동적재 테이블(5)로부터 용기 설치부(117)에 설치된 통형 용기(116)로 반송해서 수용하는 반송 수용 기구(118)를 구비하고 있다.
용기 설치부(117)는, 제품(P)이 수용되어 있지 않은 빈 통형 용기(116)가 설치되어, 반송 수용 기구(118)에 의해 통형 용기(116)의 일단 개구부(116x)로부터 제품(P)이 삽입되는 것이다.
본 실시형태의 용기 설치부(117)는, 도 33에 나타내는 바와 같이, 빈 통형 용기(116)를 수용하는 빈 용기 수용부(117a)와, 그 빈 용기 수용부(117a)로부터 빈 통형 용기(116)가 내보내짐과 함께, 빈 통형 용기(116)를 제품(P)이 일단 개구부(116x)로부터 삽입되는 삽입 위치에 설치하는 삽입 위치 설치부(117b)와, 제품(P)이 가득 재치(滿載)되었거나 또는 원하는 개수가 수용된 수용 마친 통형 용기(116)를 수용하는 수용 마친 용기 수용부(117c)를 구비하고 있다.
여기서, 통형 용기(116)는, 도 34에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 열형태(列狀)로 정렬한 상태로 수용하는 것이다. 구체적으로 통형 용기(116)는, 직선형으로 연장되는 형상을 가지고 있으며, 내부에 제품(P)을 수용하는 공간을 가지고 있다. 또, 통형 용기(116)의 긴쪽 방향과 직교하는 단면 형상은, 제품(P)의 단면 형상에 대응한 형상이다. 부언하면, 도 34에 나타내는 통형 용기(116)는, 긴쪽 방향을 따라 연장되는 측둘레벽의 일부가 뚫려 있는 구성이지만, 상기 측둘레벽이 닫힌 구성이더라도 된다. 또, 통형 용기(116)는, 복수의 제품(P)을 일렬로 정렬한 상태로 수용하는 구성 외에, 복수의 제품(P)을 복수열로 정렬한 상태로 수용하는 구성의 것이더라도 된다. 또한, 통형 용기(116)는, 수지제의 것이더라도 되며, 금속제의 것이더라도 된다. 또, 도 34에는 제품(P)으로서 리드가 있는 형태를 나타내고 있지만, QFN 등의 논리드 타입이더라도 된다.
반송 수용 기구(118)는, 도 33 및 도 35에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)이 일시적으로 재치되는 중간 테이블(119)과, 복수의 제품(P)을 취출 위치(X2)에 있는 이동적재 테이블(5)로부터 중간 테이블(119)로 반송하는 제1 제품 반송 기구(120)와, 복수의 제품(P)을 중간 테이블(119)로부터 용기 설치부(117)의 삽입 위치 설치부(117b)에 설치된 통형 용기(116)로 반송해서 수용하는 제2 제품 반송 기구(121)를 구비하고 있다.
중간 테이블(119)은, 취출 위치(X2)에 있는 이동적재 테이블(5)로부터 제1 제품 반송 기구(120)에 의해 제품(P)이 반송되어 일시적으로 재치되는 것이다. 또, 중간 테이블(119)에 일시적으로 재치된 제품(P)은, 제2 제품 반송 기구(121)에 의해 용기 설치부(117)에 설치된 통형 용기(116)로 반송된다. 본 실시형태의 중간 테이블(119)은, X방향 및 Y방향에 있어서 고정되어 있지만, 이동 가능하게 구성해도 된다.
제1 제품 반송 기구(120)는, 취출 위치(X2)로 이동한 이동적재 테이블(5)로부터, 중간 테이블(119)로 복수의 제품(P)을 소정 개수(예를 들어 1개)씩 반송하는 것이다.
구체적으로 제1 제품 반송 기구(120)는, 도 35에 나타내는 바와 같이, 이동적재 테이블(5)에 보유지지된 복수의 제품(P)을 소정 개수(예를 들어 1개)씩 흡착하는 제품 흡착 기구(1201)와, 그 제품 흡착 기구(1201)를 X방향을 따라 이동시키는 흡착용 이동 기구(1202)를 구비하고 있다.
제품 흡착 기구(1201)는, 도 35에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 흡착 보유지지하기 위한 흡착부(1201a)가 마련된 흡착 헤드(1201A)와, 그 흡착 헤드(1201A)의 흡착부(1201a)에 접속된 진공 펌프 또는 진공 이젝터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 이 제품 흡착 기구(1201)는, 각각의 흡착부(1201a)가 하나의 제품(P)을 흡착하는 구성으로 되어 있다. 또, 복수의 흡착부(1201a)는, 서로 독립해서 승강 이동 가능하게 구성되어 있고, 각 흡착부(1201a)가 하강하는 것에 의해, 개별적으로 제품(P)을 흡착할 수가 있다. 부언하면, 제1 제품 반송 기구(120)의 하부에, 흡착하는 제품(P)의 상태를 확인하기 위한 촬상 카메라(203)가 마련되어 있다.
흡착용 이동 기구(1202)는, 도 35에 나타내는 바와 같이, 제품 흡착 기구(1201)를 X방향으로 이동시키는 X방향 이동부(1202a)와, 제품 흡착 기구(1201)를 Z방향으로 이동시키는 Z방향 이동부(1202b)를 구비하고 있다. 부언하면, 흡착용 이동 기구(1202)는, 제품 흡착 기구(1201)를 Y방향으로 이동시키는 Y방향 이동부를 가지고 있어도 된다.
X방향 이동부(1202a)는, 트랜스퍼축(71)의 뒤쪽측에 있어서 X방향을 따라 마련된 X방향 가이드 레일(1202a1)과, 그 X방향 가이드 레일(1202a1)을 따라 이동함과 함께, Z방향 이동부(1202b)를 거쳐 제품 흡착 기구(1201)를 지지하는 지지체(1202a2)를 가지고 있다. 그리고, 지지체(1202a2)는, 예를 들어, X방향으로 연장되는 볼나사 기구(도시하지 않음)에 의해, X방향 가이드 레일(1202a1) 상을 X방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 이 볼나사 기구는 서보모터 등의 구동원(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 그밖에, 지지체(1202a2)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
Z방향 이동부(1202b)는, 지지체(1202a2)에 있어서 Z방향을 따라 마련된 Z방향 가이드 레일(1202b1)과, 그 Z방향 가이드 레일(1202b1)을 따라 이동함과 함께 제품 흡착 기구(1201)를 지지하는 Z방향 슬라이더(1202b2)를 가지고 있다. 그리고, Z방향 슬라이더(1202b2)는, 예를 들어, Z방향으로 연장되는 볼나사 기구(도시하지 않음)에 의해, Z방향 가이드 레일(1202b1) 상을 Z방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 그밖에, Z방향 슬라이더(1202b2)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
제2 제품 반송 기구(121)는, 도 33 및 도 35에 나타내는 바와 같이, 중간 테이블(119)에 재치된 제품(P)을 용기 설치부(117)의 삽입 위치 설치부(117b)에 설치된 통형 용기(116)로 반송하고, 그 통형 용기(116)의 일단 개구부(116x)로부터 제품(P)을 삽입해서 수용하는 것이다.
구체적으로 제2 제품 반송 기구(121)는, 도 35에 나타내는 바와 같이, 중간 테이블(119)에 재치된 제품(P)을 누르는 압압(押壓) 부재(121a)와, 그 압압 부재(121a)를 Y방향을 따라 이동시키는 구동부(121b)를 가지고 있다. 부언하면, 구동부(121b)로서는, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되며, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다. 또, 제2 제품 반송 기구(121)는, 제품(P)을 통형 용기(116)의 일단 개구부(116x)로 가이드하는 제품 가이드부를 가지고 있어도 된다. 또한, 압압 부재(121a)를 승강시키는 기구를 가지고 있어도 된다.
＜절단 장치의 동작의 일례＞
다음에, 절단 장치(100)의 동작의 일례를 도 9, 도 33 및 도 35를 참조해서 설명한다. 본 실시형태에 있어서는, 절단 장치(100)의 동작, 예를 들어 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단, 제품(P)의 검사, 제품(P)의 클리닝, 제품(P)의 튜브 수용 등, 모든 동작이나 제어는 제어부(CTL)(도 33 참조)에 의해 행해진다.
본 실시형태의 절단 장치(100)의 동작에 있어서, 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단, 제품(P)의 클리닝 및, 제품(P)의 검사까지의 동작은, 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.
그리고, 양면 검사된 후, 제품(P)은 반전 기구(14)로부터 이동적재 테이블(5)에 받아 건네어진다. 복수의 제품(P)이 재치된 이동적재 테이블(5)은, 취출 위치(X2)로 이동한다(도 33 및 도 35 참조). 한편, 용기 설치부(117)의 삽입 위치 설치부(117b)에는, 빈 통형 용기(116)가 설치되어 있다(도 32 및 도 34 참조).
이 상태에서, 도 35에 나타내는 바와 같이, 제1 제품 반송 기구(120)는, 취출 위치(X2)에 있는 이동적재 테이블(5)로부터 제품(P)을 흡착 보유지지한다. 그 후, 제1 제품 반송 기구(120)는, 제품(P)을 중간 테이블(119)로 이동시켜, 제품(P)의 흡착 보유지지를 해제하고, 제품(P)을 중간 테이블(119)에 재치한다. 중간 테이블(119)에 재치된 제품(P)은, 제2 제품 반송 기구(121)에 의해, 통형 용기(116)의 내부에 삽입되어 수용된다.
통형 용기(116)가 가득 재치된 경우, 또는, 통형 용기(116)에 원하는 개수의 제품(P)이 수용된 경우에는, 삽입 위치 설치부(117b)에 있는 수용 마친 통형 용기(116)는, 수용 마친 용기 수용부(117c)로 이동됨과 함께, 삽입 위치 설치부(117b)에는, 빈 용기 수용부(117a)로부터 빈 통형 용기(116)가 내보내져 설치된다.
＜보유지지용 플레이트(M1)의 자동 교환 기능＞
또한 제4 실시형태의 절단 장치(100)는, 상기 제1 실시형태 등과 마찬가지로, 봉지 마친 기판(W) 또는 제품(P)을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있는 기능을 가지고 있다. 부언하면, 본 실시형태에서는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141), 이동적재 테이블(5) 및 제2 보유지지 기구(6)가, 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)를 가지고 있다. 부언하면, 보유지지용 플레이트(M1) 및 보유지지 베이스부(M2)의 구체적 구성은, 제1 실시형태와 마찬가지이다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 제3 실시형태와 마찬가지로, 도 33 및 도 36에 나타내는 바와 같이, 보유지지용 플레이트(M1)를 수용하는 플레이트 수용부(24)와, 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24) 및 보유지지 베이스부(M2) 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 구비하고 있다. 부언하면, 제2 실시형태의 절단 장치(100)에는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 고정 기구(26) 및 검사 기구(29)가 마련되어 있다.
제4 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)는, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하여 구성되어 있고, 복수의 제품(P)을 반송할 수 있다. 바꾸어 말하면, 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)가, 보유지지용 플레이트(M1)를 반송하는 기능을 가지고 있다. 이 플레이트 반송 기구(25)는, 상술한 공통의 트랜스퍼축(71)에 의해서 X방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 또, 플레이트 반송 기구(25)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서, 평면시에 있어서 동일측(앞쪽측)에 마련되어 있게 된다. 여기서, 플레이트 반송 기구(25)를 구성하는 제2 보유지지 기구(6)는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 반송용 보유지지공(281)(도 10 참조)에 삽입되는 반송용 실린더부(282)를 가지고 있다(도 13 참조).
＜보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작＞
다음에, 본 실시형태의 플레이트 반송 기구(25)에 의한 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작에 대하여, 도 36을 참조해서 설명한다.
부언하면, 이하의 교환 동작에 있어서, 플레이트 수용부(24)로부터 보유지지용 플레이트(M1)를 취출할 때의 보유지지용 플레이트(M1)의 판별은, 보유지지용 플레이트(M1)에 마련된 RFID 등의 식별자를, 플레이트 반송 기구(25)(제2 보유지지 기구(6))에 마련된 식별자 리더(도시하지 않음)에 의해 판독하는 것에 의해 행한다.
(1) 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)의 탈거 동작(도 36의 (a) 참조)
우선, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거한다. 구체적으로는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 플레이트 수용부(24)로 이동시킴과 함께, 제2 보유지지 기구(6)를 하강시켜서 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 슬라이드 선반부(241)에 보유지지용 플레이트(M1)를 재치해서 수용한다. 부언하면, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
이 보유지지용 플레이트(M1)가 탈거된 상태의 제2 보유지지 기구(6)를 사용하여, 절단용 테이블(2A, 2B) 또는 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트의 교환 동작이 행해진다.
(2) 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작(도 36의 (b) 참조)
절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 슬라이드 선반부(241)에 재치해서 수용한다. 부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))가, 플레이트 수용부(24)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하고, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)로 상승 위치로 한 상태에서 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
(3) 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작(도 36의 (b) 참조)
보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 전방으로 슬라이드된 슬라이드 선반부(241)에 재치해서 수용한다. 부언하면, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))가, 플레이트 수용부(24)로부터 보유지지 테이블(141)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하고, 보유지지 테이블(141)의 보유지지 베이스부(M2)로 상승 위치로 한 상태에서 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 보유지지 테이블(141)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
(4) 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트의 교환 동작(도 36의 (b) 참조)
이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))에 의해 보유지지용 플레이트(M1)를 상승시켜서 상승 위치로 한 상태에서 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 전방으로 슬라이드된 슬라이드 선반부(241)에 재치해서 수용한다. 부언하면, 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거할 때에는, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하여 고정 기구(26)의 고정을 해제한다.
다음에, 플레이트 반송 기구(25)(반송용 이동 기구(7) 및 제2 보유지지 기구(6))가, 플레이트 수용부(24)로부터 이동적재 테이블(5)의 신 보유지지용 플레이트(M1)를 취출하고, 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)로 상승 위치로 한 상태에서 반송하고, 보유지지용 플레이트(M1)를 하강시켜서 재치한다. 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
(5) 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)의 장착 동작(도 36의 (c) 참조)
상기한 대로, 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작을 행한 후에, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)를 플레이트 수용부(24)로 이동시킴과 함께, 제2 보유지지 기구(6)를 하강시켜서, 슬라이드 선반부(241)에 재치된 신 보유지지용 플레이트(M1)가 장착된다. 여기에서는, 반송용 이동 기구(7)에 의해 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 마련된 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)에 형성된 고정용 삽입공(261)에 꽂혀넣어진다(삽입된다). 이 상태에서, 고정용 실린더부(262)로 압축 공기를 공급해서 가동자(262b)를 몰입된 위치로 하면, 고정용 실린더부(262)가 보유지지용 플레이트(M1)의 고정용 삽입공(261)으로 들어가고, 그 후, 압축 공기의 공급을 정지하면, 가동자(262b)가 돌출된 위치로 되어, 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)가 고정된다.
부언하면, 절단용 테이블(2A, 2B)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작과, 보유지지 테이블(141)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작과, 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 동작의 순번은 적당히 변경 가능하다. 또, 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)로부터 보유지지용 플레이트(M1)를 탈거하고, 그 후, 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)의 보유지지 베이스부(M2)에 신 보유지지용 플레이트(M1)를 장착할 수도 있다.
또, 상기에서는, 제2 보유지지 기구(6), 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141) 및 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환을 일련의 동작으로 하고 있지만, 제2 보유지지 기구(6), 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141) 또는 이동적재 테이블(5)의 적어도 하나에 있어서의 보유지지용 플레이트(M1)의 교환을 개별적으로 행하도록 해도 된다. 이 때, 절단용 테이블(2A, 2B), 보유지지 테이블(141) 또는 이동적재 테이블(5)의 보유지지용 플레이트(M1)를 교환할 때에는, 플레이트 반송 기구(25)를 구성하는 제2 보유지지 기구(6)의 보유지지용 플레이트(M1)를 미리 탈거하는 것이 생각된다.
＜제4 실시형태의 효과＞
본 실시형태의 절단 장치(100)에 의하면, 제1 내지 제3 실시형태와 마찬가지로, 보유지지 베이스부(M2)로부터 탈거된 보유지지용 플레이트(M1)를 플레이트 수용부(24)로 반송하고, 플레이트 수용부(24)에 있는 보유지지용 플레이트(M1)를 보유지지 베이스부(M2)로 반송하는 플레이트 반송 기구(25)를 가지므로, 보유지지 베이스부(M2)에 대해서 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환할 수 있다. 그 결과, 보유지지용 플레이트(M1)를 교환하기 위한 인건비를 삭감할 수 있다. 또, 보유지지용 플레이트(M1)를 자동적으로 교환하므로, 보유지지용 플레이트(M1)의 교환 시간을 단축할 수 있어, 절단 장치(100)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 보유지지 베이스부(M2)에 대한 보유지지용 플레이트(M1)의 장착 상태의 변동(불균일함)을 저감할 수 있다. 그밖에, 제4 실시형태에 있어서, 상기 제1 내지 제3 실시형태와 마찬가지 구성에 의해 발생하는 효과는 동일하다.
특히, 제4 실시형태의 절단 장치(100)라면, 반송 수용 기구(118)에 의해 복수의 제품(P)을 이동적재 테이블(5)로부터 용기 설치부(117)에 설치된 통형 용기(116)로 반송하고, 그 통형 용기(116)의 일단 개구부(116x)로부터 복수의 제품(P)을 수용할 수가 있다.
또, 튜브 수용하는 절단 장치(100)에 있어서, 플레이트 반송 기구(25)를 제2 보유지지 기구(6) 및 반송용 이동 기구(7)를 사용하여 구성하고 있으므로, 장치 구성을 간소화함과 함께 장치 코스트를 삭감할 수 있다.
＜제4 실시형태의 변형예＞
예를 들어, 상기 제4 실시형태에서는, 용기 설치부(117)가 트랜스퍼축(71)의 뒤쪽측에 마련되어 있었지만, 트랜스퍼축(71)의 앞쪽측에 마련되어 있어도 된다.
또, 용기 설치부(117)에 설치된 통형 용기(116)는, X방향을 따라 마련되는 구성 외에, Y방향을 따라 마련되어 있어도 되며, 그밖의 방향을 따라 마련되어 있어도 된다.
＜그밖의 변형 실시형태＞
상기 각 실시형태에서는, 트윈컷 테이블 방식으로서, 트윈스핀들 구성의 절단 장치를 설명했지만, 이것에 한하지 않고, 싱글컷 테이블 방식으로서, 싱글스핀들 구성의 절단 장치나, 싱글컷 테이블 방식으로서, 트윈스핀들 구성의 절단 장치 등이더라도 된다.
또, 트랜스퍼축(71)을 구성하는 캠랙 요소는 복수를 연결해서 구성할 수 있으므로, 예를 들어, 절단 장치(가공 장치)(100)를, 제2 클리닝 기구(19)와 검사부(13) 또는 건조용 테이블(112) 사이에서 분리 및 연결 가능(착탈 가능)한 모듈 구성으로 할 수가 있다. 이 경우, 예를 들어, 제2 클리닝 기구(19)측의 모듈과, 검사부(13)측의 모듈 또는 건조용 테이블(112)측의 모듈 사이에, 검사부(13)에서의 검사와는 상이한(다른) 종류의 검사를 행하는 모듈을 추가할 수가 있다. 부언하면, 여기에 예시한 구성 이외에도, 절단 장치(가공 장치)(100)를 어디서 분리 및 연결 가능(착탈 가능)한 모듈 구성으로 해도 되고, 추가하는 모듈을 검사 이외의 다양한 기능의 모듈로 해도 된다.
또, 본 발명의 가공 장치는, 절단 이외의 가공을 행하는 것이더라도 되고, 예를 들어 절삭이나 연삭 등의 그밖의 기계 가공을 행하는 것이더라도 된다.
그밖에, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지(일탈하지) 않는 범위에서 갖가지 변형이 가능한 것은 물론이다.
본 발명에 의하면, 가공 대상물을 보유지지하기 위한 보유지지용 플레이트를 자동적으로 교환하는 가공 장치를 제공할 수가 있다.
100…절단 장치(가공 장치)
W…봉지 마친 기판(가공 대상물)
P…제품(가공품)
2A, 2B…절단용 테이블(가공용 테이블)
4…절단 기구(가공 기구)
5…이동적재 테이블
6…제2 보유지지 기구(반송용 보유지지 기구, 제2 반송 기구)
7…반송용 이동 기구(제2 반송 기구)
141…보유지지 테이블(검사용 테이블)
24…플레이트 수용부
M2…보유지지 베이스부
M1…보유지지용 플레이트
25…플레이트 반송 기구
21…트레이
22…트레이 반송 기구(제1 반송 기구)
261…고정용 삽입공
262…고정용 실린더부
262a…실린더 본체
262b…가동자
262c…탄성체
27…임시재치부
281…반송용 보유지지공
282…반송용 실린더부
29…검사 기구
29a…검사용 유로
101…첩부 부재
102…재치 테이블
106…첩부 부재 수용부
107…첩부 부재 반송 기구
1071…제3 보유지지 기구(제1 반송 기구)
111…수용 박스
112…건조용 테이블
116…통형 용기
116x…일단 개구부
117…용기 설치부
118…반송 수용 기구
119…중간 테이블
120…제1 제품 반송 기구
121…제2 제품 반송 기구
W…봉지 마친 기판(가공 대상물)
P…제품(가공품)
2A, 2B…절단용 테이블(가공용 테이블)
4…절단 기구(가공 기구)
5…이동적재 테이블
6…제2 보유지지 기구(반송용 보유지지 기구, 제2 반송 기구)
7…반송용 이동 기구(제2 반송 기구)
141…보유지지 테이블(검사용 테이블)
24…플레이트 수용부
M2…보유지지 베이스부
M1…보유지지용 플레이트
25…플레이트 반송 기구
21…트레이
22…트레이 반송 기구(제1 반송 기구)
261…고정용 삽입공
262…고정용 실린더부
262a…실린더 본체
262b…가동자
262c…탄성체
27…임시재치부
281…반송용 보유지지공
282…반송용 실린더부
29…검사 기구
29a…검사용 유로
101…첩부 부재
102…재치 테이블
106…첩부 부재 수용부
107…첩부 부재 반송 기구
1071…제3 보유지지 기구(제1 반송 기구)
111…수용 박스
112…건조용 테이블
116…통형 용기
116x…일단 개구부
117…용기 설치부
118…반송 수용 기구
119…중간 테이블
120…제1 제품 반송 기구
121…제2 제품 반송 기구
Claims (22)
- 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와,
상기 가공 대상물을 보유지지(保持)하기 위한 보유지지용 플레이트를 수용하는 플레이트 수용부와,
상기 보유지지용 플레이트가 착탈 가능하게 장착되고, 상기 보유지지용 플레이트를 사용하여 상기 가공 대상물을 보유지지하는 보유지지 베이스부와,
상기 보유지지용 플레이트를 상기 플레이트 수용부 및 상기 보유지지 베이스부 사이에서 반송하는 플레이트 반송 기구를 구비하고,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 보유지지 베이스부로부터 탈거(取外)된 상기 보유지지용 플레이트를 상기 플레이트 수용부로 반송하고, 상기 플레이트 수용부에 있는 상기 보유지지용 플레이트를 상기 보유지지 베이스부로 반송하는, 가공 장치. - 제1항에 있어서,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 보유지지용 플레이트를 상승시켜서 반송하는, 가공 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 플레이트 반송 기구는,
상기 가공 대상물을 가공하기 위한 가공용 테이블의 보유지지용 플레이트,
상기 가공 기구에 의해 가공된 가공 후의 상기 가공 대상물을 건조시키기 위한 건조용 테이블의 보유지지용 플레이트,
상기 가공 후의 상기 가공 대상물을 검사하기 위한 검사용 테이블의 보유지지용 플레이트,
상기 가공 후의 상기 가공 대상물이 구분(仕分) 전에 재치(載置)되는 이동적재(移載) 테이블의 보유지지용 플레이트, 또는,
상기 가공 후의 상기 가공 대상물을 반송하기 위해서 보유지지하는 반송용 보유지지 기구의 보유지지용 플레이트의 적어도 하나를 반송하는, 가공 장치. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 가공 후의 상기 가공 대상물을 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 가공 후의 상기 가공 대상물이 구분되어지는 트레이를 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플레이트 반송 기구는,
상기 플레이트 수용부와 임시재치부(假置部) 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제1 반송 기구와,
상기 임시재치부와 상기 보유지지 베이스부 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제2 반송 기구를 가지는, 가공 장치. - 제6항에 있어서,
상기 제1 반송 기구는, 상기 트레이를 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 제2 반송 기구는, 상기 가공 후의 상기 가공 대상물을 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가공 기구에 의해 개편화(個片化)된 상기 가공 대상물이 붙여지는 점착면을 가지는 첩부(貼付) 부재가 재치되는 재치 테이블을 더 구비하고,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 첩부 부재를 상기 재치 테이블로 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제9항에 있어서,
상기 플레이트 반송 기구는,
상기 플레이트 수용부와 임시재치부 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제1 반송 기구와,
상기 임시재치부와 상기 보유지지 베이스부 사이에서 상기 보유지지용 플레이트를 반송하는 제2 반송 기구를 가지는, 가공 장치. - 제10항에 있어서,
상기 제1 반송 기구는, 상기 첩부 부재를 상기 재치 테이블로 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제10항 또는 제11항에 있어서,
상기 제2 반송 기구는, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로 반송하기 위해서 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제1 보유지지 기구와,
상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로부터 반송하기 위해서 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제2 보유지지 기구와,
상기 첩부 부재를 상기 재치 테이블로 반송하기 위해서 상기 첩부 부재를 보유지지하는 제3 보유지지 기구와,
상기 제1 보유지지 기구, 상기 제2 보유지지 기구 및 상기 제3 보유지지 기구를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축을 가지는 반송용 이동 기구를 더 구비하고,
상기 제1 반송 기구는, 상기 제3 보유지지 기구 및 상기 반송용 이동 기구를 사용하여 구성되어 있고,
상기 제2 반송 기구는, 상기 제2 보유지지 기구 및 상기 반송용 이동 기구를 사용하여 구성되어 있는, 가공 장치. - 제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 첩부 부재를 수용하는 첩부 부재 수용부를 더 구비하고,
상기 플레이트 수용부 및 상기 첩부 부재 수용부는 서로 상하에 배치되어 있는, 가공 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가공 기구에 의해 개편화된 상기 가공 대상물이 낙하해서 수용되는 수용 박스를 더 구비하고,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 수용 박스로 반송할 수 있는, 가공 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개편화된 상기 가공 대상물을 일단 개구부로부터 수용하는 통형(筒狀) 용기가 설치되는 용기 설치부와,
상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 용기 설치부에 설치된 상기 통형 용기로 반송해서 수용하는 반송 수용 기구를 더 구비하는, 가공 장치. - 제15항 또는 제16항에 있어서,
상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로 반송하기 위해서 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제1 보유지지 기구와,
상기 개편화된 상기 가공 대상물을 상기 가공용 테이블로부터 반송하기 위해서 상기 개편화된 상기 가공 대상물을 보유지지하는 제2 보유지지 기구와,
상기 제1 보유지지 기구 및 상기 제2 보유지지 기구를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축을 가지는 반송용 이동 기구를 더 구비하고,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 제2 보유지지 기구 및 상기 반송용 이동 기구를 사용하여 구성되어 있는, 가공 장치. - 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 보유지지 베이스부에 대한 상기 보유지지용 플레이트의 장착 상태를 검사하는 검사 기구를 더 구비하는, 가공 장치. - 제18항에 있어서,
상기 검사 기구는,
상기 보유지지용 플레이트가 탑재되는 탑재면에 개구하는 검사용 유로와,
상기 검사용 유로에 마련되어, 상기 개구로부터의 유체의 누설을 검지하는 검지 센서를 가지는, 가공 장치. - 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 보유지지 베이스부는, 상기 보유지지용 플레이트에 형성된 고정용 삽입공(揷入孔)에 삽입되는 고정용 실린더부를 가지고 있으며,
상기 고정용 실린더부는, 상기 고정용 삽입공에 삽입되는 실린더 본체와, 그 실린더 본체의 외측 둘레면(周面)으로부터 돌출된 위치 및 몰입된 위치에서 이동 가능하게 마련된 가동자와, 그 가동자를 상기 실린더 본체에 대해서 돌출된 위치로 되도록 힘을 부여하는 탄성체를 가지고,
상기 고정용 실린더부가 상기 고정용 삽입공에 삽입된 상태에서, 상기 가동자가 돌출된 상태로 되는 것에 의해, 상기 보유지지 베이스부에 대해서 상기 보유지지용 플레이트가 고정되는, 가공 장치. - 제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플레이트 반송 기구는, 상기 보유지지용 플레이트에 형성된 반송용 보유지지공에 삽입되는 반송용 실린더부를 가지고 있으며,
상기 반송용 실린더부는, 상기 반송용 보유지지공에 삽입되는 실린더 본체와, 그 실린더 본체의 외측 둘레면으로부터 돌출된 위치 및 몰입된 위치에서 이동 가능하게 마련된 가동자와, 그 가동자를 상기 실린더 본체에 대해서 돌출된 위치로 되도록 힘을 부여하는 탄성체를 가지고,
상기 반송용 실린더부가 반송용 삽입공에 삽입된 상태에서, 상기 가동자가 돌출된 상태로 되는 것에 의해, 상기 플레이트 반송 기구에 상기 보유지지용 플레이트가 보유지지되는, 가공 장치. - 제1항 내지 제21항 중 어느 한 항에 기재된 가공 장치를 사용하여 가공품을 제조하는 가공품의 제조 방법.
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-
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