TWI750434B - 雷射控制裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題] 提供一種能夠抑制脈衝能量的偏差之雷射控制裝置。 [解決手段] 雷射控制裝置求出從輸出脈衝雷射光束之雷射振盪器的激勵開始至雷射脈衝的上升為止的經過時間亦即累積時間而將其設為測定值。依據累積時間的測定值，計算從雷射振盪器輸出之雷射脈衝的脈衝寬度的指令值。以成為計算出當前輸出之雷射脈衝的脈衝寬度之指令值那般，控制雷射振盪器。

Description

雷射控制裝置
本發明有關一種雷射控制裝置。
在印刷配線板的鑽孔加工等中使用利用了脈衝雷射光之加工技術。在專利文獻1中揭示出一種能夠輸出具有所期望的脈衝寬度之脈衝雷射光之雷射加工裝置。在該雷射加工裝置中，導通向雷射共振器輸出脈衝雷射光之脈衝控制電源之後，依據從雷射共振器實際輸出之脈衝雷射光束的輸出時序及脈衝寬度指令，斷開脈衝控制電源。即便導通脈衝控制電源之後至實際輸出脈衝雷射光束為止的時間產生偏差，亦能夠將脈衝寬度維持為所指示之值。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 國際公開第2014/010046號專利公報
[發明欲解決之課題]
在使用脈衝雷射光束進行加工時，將每一脈衝的能量（脈衝能量）設為恆定是重要的。依本案的發明人等的評價實驗，明確出有時即便將脈衝寬度維持為所指示之值，抑制脈衝能量的偏差之效果亦不充分。
本發明的目的在於，提供一種能夠抑制脈衝能量的偏差之雷射控制裝置。 [解決課題之手段]
依本發明的一觀點，提供一種雷射控制裝置，其中， 求出從輸出脈衝雷射光束之雷射振盪器的激勵開始至雷射脈衝的上升為止的經過時間亦即累積時間而將其設為測定值； 依據前述累積時間的測定值，計算從前述雷射振盪器輸出之雷射脈衝的脈衝寬度的指令值； 以成為計算出當前輸出之雷射脈衝的脈衝寬度之指令值那般，控制前述雷射振盪器。 [發明效果]
依據累積時間的測定值，使從雷射振盪器輸出之雷射脈衝的脈衝寬度的指令值發生變化，經此，與將脈衝寬度設為恆定之情況下相比，能夠減少脈衝能量的偏差。
參閱圖1～圖7B，對基於實施例之雷射控制裝置進行說明。
圖1為搭載了基於實施例之雷射控制裝置30之雷射加工裝置的概略圖。雷射振盪器20從雷射控制裝置30接收振盪指令訊號S0而輸出脈衝雷射光束。作為雷射振盪器20，能夠使用各種脈衝雷射振盪器，例如，進行脈衝振盪之二氧化碳雷射振盪器等。雷射振盪器20包括：光諧振器、放電電極、放電電極驅動電路等。
從雷射振盪器20輸出之脈衝雷射光束通過第1光學系統21，被反射鏡22反射，通過第2光學系統23而射入到被保持在載臺24的加工對象物25。加工對象物25例如是印刷配線基板，並藉由脈衝雷射光束來進行鑽孔加工。
射入到反射鏡22的脈衝雷射光束的一部分，係透過反射鏡22而射入到光檢測器26。光檢測器26檢測所射入的雷射脈衝，並輸出與雷射脈衝的光強度對應之電訊號亦即檢測訊號S1。作為光檢測器26，能夠使用追隨脈衝波形的變化之具有響應速度之紅外線感測器，例如碲化鎘汞感測器（MCT感測器）等。另外，可以緊接著雷射振盪器20的雷射射出口之後配置光檢測器26。
第1光學系統21包括：光束擴展器、非球面透鏡、孔口等。光束擴展器使雷射光束的光束直徑及發散角發生變化。非球面透鏡使射束輪廓從高斯形狀變化為平頂形狀。孔口對光束剖面形狀進行整形。
第2光學系統23包括：光束掃描器、fθ透鏡等。光束掃描器例如包括一對電流鏡，藉由來自雷射控制裝置30的指令將雷射光束沿二維方向掃描。fθ透鏡使由光束掃描器掃描之雷射光束在加工對象物25的表面聚光。另外，可以設為使孔口的位置在加工對象物25的表面縮小投影之構造。
載臺24例如能夠沿水平的保持面保持加工對象物25，使加工對象物25沿水平面內的兩個方向移動。雷射控制裝置30控制載臺24的移動。關於載臺24，例如使用XY載臺。
雷射控制裝置30依據基於光檢測器26之雷射脈衝的檢測訊號S1，以脈衝能量為恆定之方式，按雷射脈衝進行從雷射振盪器20輸出之脈衝雷射光束的脈衝寬度之調整。
圖2為表示從雷射控制裝置30（圖1）被發送至雷射振盪器20（圖1）之振盪指令訊號S0及從光檢測器26（圖1）向雷射控制裝置30（圖1）賦予之檢測訊號S1的波形之圖表。
在時刻t0，若振盪指令訊號S0上升，則雷射振盪器20開始向放電電極供給高頻電力。藉由開始向放電電極供給高頻電力，開始激勵雷射振盪器20的雷射介質。亦即，振盪指令訊號S0的上升相當於雷射振盪器20的振盪開始指令，振盪指令訊號S0的上升時間點相當於雷射振盪器20的激勵開始的時間點。
在時刻t1，雷射脈衝從激勵開始的時刻t0延遲上升。檢測訊號S1亦與雷射脈衝的上升對應而上升。將從激勵開始的時刻t0至雷射脈衝的上升的時刻t1為止的經過時間設為累積時間BU。在雷射脈衝上升時，出現基於增益開關之極短時間的峰值波形，之後維持大致恆定的光強度。將維持大致恆定的光強度之部分設為脈衝波形的主要部分。
在時刻t2，若振盪指令訊號S0下降，則雷射振盪器20停止向放電電極供給高頻電力。若停止向放電電極供給高頻電力，則變得無法進行雷射振盪器20的雷射介質的激勵。亦即，振盪指令訊號S0的下降表示雷射振盪器20的激勵停止的指令。若停止雷射振盪器20的激勵，則從雷射振盪器20輸出之雷射脈衝的強度急劇降低。
以時間對檢測訊號S1的1個脈衝波形進行積分之值藉由每一脈衝的能量（脈衝能量）來確定。在本說明書中，將藉由脈衝能量來確定之該積分值設為「脈衝能量依存物理量」。
與整體的脈衝寬度相比，基於增益開關之極短時間的峰值波形的時間間隔非常短，可以將從脈衝波形除去基於增益開關之極短時間的峰值波形之部分的積分值作為脈衝能量依存物理量而採用。又，激勵停止之後的尾部部分的時間間隔亦與雷射脈衝的脈衝寬度相比非常短，並且尾部部分的光強度隨著時間的經過而急劇降低，因此可以將除去尾部部分之脈衝波形的積分值作為脈衝能量依存物理量而採用。如此，可以將脈衝波形的主要部分的積分值作為脈衝能量依存物理量而採用。
圖3A為表示脈衝寬度在恆定的條件下的雷射振盪器20的放電電壓與脈衝能量的關係之圖表。若放電電壓變高，則向雷射振盪器20投入之高頻電力變大。若放電電壓變高且投入之高頻電力變大，則更強地激勵雷射介質。其結果，脈衝能量變高。因此，放電電壓、高頻電力等能夠稱為激勵強度。
圖3B為表示放電電壓與累積時間的關係之圖表。若放電電壓變高，則雷射介質的激勵狀態更早地達到振盪閾值，因此累積時間變短。
圖3C為表示脈衝寬度在恆定的條件下的累積時間與脈衝能量的關係之圖表。從圖3A所示之放電電壓與脈衝能量的關係及圖3B所示之放電電壓與累積時間的關係可知，隨著累積時間變長，脈衝能量降低。相反地，若累積時間變短，則脈衝能量變大。
在圖3A～圖3C中，作為一例，示出了累積時間因放電電壓而發生變化之例子，但使累積時間發生變化之因素並非僅只是放電電壓。累積時間亦因其他的因素而發生變化，但脈衝寬度在恆定的條件下，通常，如圖3C所示，示出隨著累積時間變長，脈衝能量降低之傾向。
圖4A為基於實施例之雷射控制裝置30的框圖的一例。雷射控制裝置30包括：雷射脈衝檢測部31、訊號發送部32、脈衝寬度調整部33、及記憶部34。
雷射脈衝檢測部31接收來自光檢測器26的檢測訊號S1，並檢測雷射脈衝的上升時刻。訊號發送部32向雷射振盪器20發送振盪指令訊號S0。
在記憶部34中記憶有累積時間的測定值與脈衝寬度的指令值的對應關係。
圖4B為以圖表表示記憶於記憶部34中之累積時間的測定值與脈衝寬度的指令值的對應關係之圖。當累積時間的測定值為基準值BUref 時，脈衝寬度的指令值與基準值PWref 建立對應關聯。隨著累積時間的測定值變得比基準值BUref 長，脈衝寬度的指令值變得比基準值PWref 長，並且以隨著累積時間的測定值變得比基準值BUref 短，脈衝寬度PW的指令值變得比基準值PWref 短之方式，而定義兩者的對應關係。
脈衝寬度調整部33（圖4A）從訊號發送部32獲取表示振盪指令訊號S0的上升時間點（圖2的t0）之資訊，並從雷射脈衝檢測部31獲取表示雷射脈衝的上升時間點（圖2的t1）之資訊。脈衝寬度調整部33從所獲取之該等資訊求出累積時間（圖2），並將其設為累積時間的測定值。而且，依據累積時間的測定值及記憶於記憶部34中之對應關係，計算雷射脈衝的脈衝寬度的指令值。
訊號發送部32獲取由脈衝寬度調整部33計算之脈衝寬度的指令值。而且，訊號發送部32以當前輸出之雷射脈衝的脈衝寬度與脈衝寬度的指令值一致之方式，使向雷射振盪器20發送之振盪指令訊號S0（圖2）下降。藉此，從雷射振盪器20輸出之雷射脈衝的脈衝寬度與指令值大致一致。
圖5為基於實施例之雷射控制裝置30（圖4A）所執行之處理的流程圖。 訊號發送部32對雷射振盪器20發送振盪開始指令（步驟SA1）。具體而言，使振盪指令訊號S0（圖2）上升。藉此，從雷射振盪器20輸出之雷射光束上升。雷射脈衝檢測部31（圖4）獲取檢測訊號S1（圖2），並檢測雷射脈衝的上升（步驟SA2）。
若檢測到雷射光束的上升，則脈衝寬度調整部33計算累積時間的測定值（步驟SA3）。而且，脈衝寬度調整部33依據累積時間的測定值，參閱記憶於記憶部34中之對應關係而計算脈衝寬度的指令值（步驟SA4）。之後，訊號發送部32以當前的雷射脈衝的脈衝寬度與指令值一致之方式，對雷射振盪器20發送振盪停止指令（步驟SA5）。具體而言，使振盪指令訊號S0（圖2）下降。
直至雷射加工結束為止，重複從步驟SA1至步驟SA5為止的處理（步驟SA6）。
圖6為表示步驟SA4（圖5）的處理之流程圖。首先，脈衝寬度調整部33將累積時間的測定值與基準值BUref（圖4B）進行比較（步驟SA41）。而且，脈衝寬度調整部33依據比較結果及記憶於記憶部34中之對應關係，計算脈衝寬度的指令值（步驟SA42）。
接著，對藉由以基於上述實施例之雷射控制裝置30控制雷射加工裝置而得到之優異之效果進行說明。
如圖3C所示，在二氧化碳雷射振盪器等的脈衝雷射振盪器中，示出即便脈衝寬度恆定，亦會隨著累積時間變長而脈衝能量降低之傾向。在實施例中，如圖4B所示，藉由隨著累積時間的測定值變長而加長當前輸出之雷射脈衝的脈衝寬度的指令值，從而補償脈衝能量的降低。因此，與以脈衝寬度變得恆定之方式進行控制之情況相比，能夠減少脈衝能量的偏差。
接著，參閱圖7A及圖7B，對藉由評價實驗來確認藉由使用基於上述實施例之雷射控制裝置30而得到之效果而得之結果進行說明。
圖7A為表示不依賴於累積時間而將脈衝寬度設為恆定時的累積時間的測定值與脈衝能量的測定值的關係之圖表。横軸以任意單位表示累積時間，縱軸以任意單位表示脈衝能量。以1個圓圈記號來表示與1個雷射脈衝有關之測定值。可知，隨著累積時間變長而得到脈衝能量降低之傾向。
圖7B為表示使用了基於上述實施例之雷射控制裝置30時的累積時間的測定值與脈衝能量的測定值的關係之圖表。此時的脈衝能量的分布的標準偏差小於圖7A所示之脈衝能量的標準偏差。確認到，藉由使用基於實施例之雷射控制裝置30，脈衝能量的偏差變小。
接著，參閱圖8A～圖12，對基於另一實施例之雷射控制裝置進行說明。以下，對基於與圖1～圖7B所示之實施例之雷射控制裝置相同的構造，省略說明。在本實施例中，不僅使雷射脈衝的脈衝寬度發生變化，而且使向雷射振盪器20賦予之激勵強度發生變化。為了使激勵強度發生變化，例如可以使向放電電極施加之放電電壓的大小發生變化，亦可以使向放電電極供給之高頻電流的能率（Duty）發生變化。在以下的說明中，藉由使放電電壓發生變化，來使激勵強度發生變化。
圖8A為基於本實施例之雷射控制裝置30的框圖。基於本實施例之雷射控制裝置30除了基於圖4A所示之實施例之雷射控制裝置30的各部分之外，還具有平均輸出計算部35及平均輸出調整部36。而且，在記憶部34中記憶有平均輸出的測定值與激勵強度的指令值的對應關係。
圖8B為表示平均輸出的測定值與放電電壓的指令值的對應關係之圖表。當平均輸出的測定值為基準值Pref 時，放電電壓的指令值與基準值Vref 對應。示出隨著平均輸出的測定值變得比基準值Pref 高而放電電壓的指令值降低之傾向。相反地，示出隨著平均輸出的測定值變得比基準值Pref 低而放電電壓的指令值變高之傾向。
平均輸出計算部35（圖8A）依據來自光檢測器26的檢測訊號S1（圖2），計算某一恆定期間的平均輸出，而將其設為平均輸出的測定值。在恆定期間所獲取之脈衝波形的積分值的合計值除以恆定期間的長度，藉此，可以計算出平均輸出。
平均輸出調整部36依據平均輸出的測定值與記憶於記憶部34中之對應關係（圖8B），計算放電電壓的指令值。例如，隨著平均輸出的測定值變得比基準值Pref 大，使放電電壓的指令值比基準值Vref 小，且隨著平均輸出的測定值變得比基準值Pref 小，使放電電壓的指令值比基準值Vref 大。
訊號發送部32依據由平均輸出調整部36求出之放電電壓的指令值，向雷射振盪器20發送指示放電電壓之訊號S2。雷射振盪器20在激勵雷射介質時，向放電電極施加由訊號S2指示之放電電壓。
圖9為基於本實施例之雷射控制裝置30（圖8A）控制放電電壓之處理的流程圖。
若啟動雷射控制裝置30，則將放電電壓的指令值設定為基準值Vref （步驟SB1）。在輸出雷射光束時，依據當前的放電電壓的指令值，對雷射振盪器20進行激勵（步驟SB2）。放電電壓的指令值在恆定期間被固定。將固定有放電電壓的指令值之恆定期間設為「放電電壓固定期間」。在放電電壓固定期間內，亦按雷射脈衝進行基於圖4所示之累積時間之脈衝寬度的調整。
若在設定放電電壓的指令值之後經過放電電壓固定期間，則平均輸出計算部35（圖8A）計算放電電壓固定期間的平均輸出，而將其設為平均輸出的測定值（步驟SB3）。平均輸出調整部36（圖8A）依據平均輸出的測定值與記憶於記憶部34中的對應關係（圖8B）來更新放電電壓的指令值（步驟SB4）。訊號發送部32向雷射振盪器20發送所更新之指令值。直至雷射加工結束為止，重複從步驟SB2至步驟SB4為止的處理（步驟SB5）。
圖10為圖5的步驟SA4的流程圖。步驟SA41及步驟SA42與圖6所示之實施例所對應之步驟相同。在圖6所示之實施例中，累積時間的基準值BUref 不變。本實施例中，週期性地將累積時間的基準值BUref 更新為累積時間的測定值。例如，在計算了脈衝寬度的指令值之後，若從累積時間的基準值BUref 的前一個更新經過更新週期（步驟SA43），則將累積時間的基準值BUref 更新為前一個一週期的雷射脈衝的累積時間的平均值。在更新了累積時間的基準值BUref 之後，執行步驟SA5（圖5）。
接著，在對藉由採用基於圖8A～圖10的實施例之雷射控制裝置30而得到之優異之效果進行說明之前，參閱圖11，對將累積時間的基準值設為不變之情況，亦即對不執行步驟SA43及步驟SA44（圖10）之情況進行說明。
圖11為表示將累積時間的基準值BUref 設為不變時的放電電壓的指令值、雷射振盪器20的平均輸出的測定值、累積時間的測定值及脈衝寬度的指令值的時間變化的一例之圖表。另外，累積時間的測定值及脈衝寬度的指令值按雷射脈衝而發生變化，但在圖11中，示出累積時間的基準值BUref 的每一更新週期的平均值。在初始狀態下，放電電壓的指令值被設定為基準值Vref ，脈衝寬度的指令值被設定為基準值PWref 。平均輸出的測定值與基準值Pref 大致一致，累積時間的測定值與基準值BUref 大致一致。
若平均輸出的測定值因某些因素而降低至比基準值Pref 低（t10），則進行使放電電壓的指令值上升之控制（t11）（圖9的步驟SB4）。若放電電壓的指令值上升，則雷射振盪器20的輸出變高，因此平均輸出的測定值上升（t12），並且累積時間的測定值變短（t13）。
若累積時間的測定值變得比基準值BUref 短，則進行使脈衝寬度的指令值比基準值PWref 短之控制（t14）（圖5的步驟SA4）。脈衝寬度的指令值變短，將作用於降低平均輸出之方向。因此，平均輸出的測定值降低（t15）。若平均輸出的測定值降低，則放電電壓的指令值與在時刻t10時同樣地上升（t16）。其結果，平均輸出的測定值返回基準值Pref （t17）。放電電壓的上升作用於縮短累積時間之方向，因此累積時間的測定值進一步變短（t18）。若累積時間的測定值變短，則累積時間的基準值BUref 與測定值之差擴大，因此脈衝寬度的指令值進一步變短（t19）。
如此，藉由持續執行縮短脈衝寬度的指令值之處理，脈衝寬度的指令值達到容許下限值PWmin 。在脈衝寬度的指令值達到容許下限值PWmin 之後，脈衝寬度的指令值被固定在容許下限值PWmin 。如此，有時即便倂用放電電壓的調整及脈衝寬度的調整，亦會導致調整脈衝寬度之功能無法起作用。這是因為，相比由放電電壓的變化而引起之脈衝能量的變化，從放電電壓的變化至經由累積時間的變化及脈衝寬度的調整之脈衝能量的變化為止的增益更大。若調整脈衝寬度之功能不起作用，則會導致無法得到抑制脈衝能量的偏差之效果。
圖12為表示使用了基於本實施例之雷射控制裝置30時的放電電壓的指令值、雷射振盪器20的平均輸出的測定值、累積時間的測定值及脈衝寬度的指令值的時間變化的一例之圖表。從時刻t10至t17為止的放電電壓的指令值、雷射振盪器20的平均輸出的測定值、累積時間的測定值及脈衝寬度的指令值的時間變化與圖11所示之例子相同。
若放電電壓上升（t16），則累積時間的測定值變短（t21）。此時，將累積時間的基準值BUref 更新為前一個週期的測定值的平均值（步驟SA44）。在圖12中，以虛線表示累積時間的基準值BUref 。更新累積時間的基準值BUref ，因此例如時刻t21的累積時間的測定值和基準值BUref 之差與時刻t13的累積時間的測定值和基準值BUref 之差大致相等。因此，脈衝寬度的指令值實質上不發生變化（t22）。
若累積時間的基準值BUref 的更新週期從時刻t21經過，則累積時間的基準值BUref 被更新（t23），累積時間的測定值變得與累積時間的基準值BUref 大致相等。因此，進行使脈衝寬度的指令值大致返回基準值PWref 之控制（t24）（步驟SA4）。加長脈衝寬度之控制作用於提高平均輸出之方向，因此平均輸出的測定值上升（t25）。
若平均輸出的測定值上升，則進行降低放電電壓的指令值之控制（t26）（圖9的步驟SB4）。若放電電壓的指令值降低，則平均輸出的測定值降低（t27），並且累積時間的測定值變長（t28）。累積時間的基準值BUref 被更新為前一個週期的累積時間的測定值的平均值，因此累積時間的測定值變得比基準值BUref 長。因此，進行加長脈衝寬度的指令值之控制（t29）（圖10的步驟SA42）。
若脈衝寬度的指令值變長，則平均輸出的測定值與在時刻t24時同樣地變大（t30），之後，進行降低放電電壓的指令值之控制（t31）。其結果，平均輸出的測定值降低（t32），並且累積時間的測定值變長（t33）。累積時間的基準值BUref 被更新為前一個週期的累積時間的測定值的平均值，因此累積時間的測定值和基準值BUref 之差與在時刻t28時的累積時間的測定值和基準值BUref 之差變得大致相等。其結果，脈衝寬度的指令值實質上未發生變化（t34）。
如此，本實施例中，依據測定值更新累積時間的基準值BUref ，因此能夠防止脈衝寬度的指令值固定在容許下限值PWmin 。因此，即便係併用放電電壓的調整及脈衝寬度的調整之情況下，亦能夠有效地使調整脈衝寬度之功能起作用。因此，能夠得到輸出穩定及脈衝能量的偏差降低這兩個效果。
上述各實施例係例示，當然亦能夠進行不同之實施例中示出之構造的局部的替換或組合。不會按每一實施例而提及複數個實施例的基於相同的構造之相同的作用效果。而且，本發明並不限制於上述實施例。例如，能夠進行各種變更、改良、組合等，這對本案發明所屬技術領域中具有通常知識者來講是顯而易見的。
20‧‧‧雷射振盪器 21‧‧‧第1光學系統 22‧‧‧反射鏡 23‧‧‧第2光學系統 24‧‧‧載臺 25‧‧‧加工對象物 26‧‧‧光檢測器 30‧‧‧雷射控制裝置 31‧‧‧雷射脈衝檢測部 32‧‧‧訊號發送部 33‧‧‧脈衝寬度調整部 34‧‧‧記憶部 35‧‧‧平均輸出計算部 36‧‧‧平均輸出調整部
[圖1] 圖1為搭載了基於實施例之雷射控制裝置之雷射加工裝置的概略圖。 [圖2] 圖2為表示從基於實施例之雷射控制裝置被發送至雷射振盪器之振盪指令訊號S0及從光檢測器向雷射控制裝置賦予之檢測訊號S1的波形之圖表。 [圖3] 圖3A為表示脈衝寬度在恆定的條件下的放電電壓與脈衝能量的關係之圖表，圖3B為表示放電電壓與累積時間的關係之圖表，圖3C為表示脈衝寬度在恆定的條件下的累積時間與脈衝能量的關係之圖表。 [圖4] 圖4A為基於實施例之雷射控制裝置的框圖的一例，圖4B為以圖表表示記憶於基於實施例之雷射控制裝置的記憶部中之累積時間的測定值與脈衝寬度的指令值的對應關係之圖。 [圖5] 圖5為基於實施例之雷射控制裝置所執行之處理的流程圖。 [圖6] 圖6為表示步驟SA4（圖5）的處理之流程圖。 [圖7] 圖7A為表示不依賴於累積時間而將脈衝寬度設為恆定時的累積時間的測定值與脈衝能量的測定值的關係之圖表，圖7B為表示使用了基於實施例之雷射控制裝置時的累積時間的測定值與脈衝能量的測定值的關係之圖表。 [圖8] 圖8A為基於另一實施例之雷射控制裝置的框圖，圖8B為表示平均輸出的測定值與放電電壓的指令值的對應關係之圖表。 [圖9] 圖9為基於圖8A所示之實施例之雷射控制裝置控制放電電壓之處理的流程圖。 [圖10] 圖10為基於圖8A所示之實施例之步驟SA4（圖5）的流程圖。 [圖11] 圖11為表示將累積時間的基準值設為不變時的放電電壓的指令值、雷射振盪器20的平均輸出的測定值、累積時間的測定值及脈衝寬度的指令值的時間變化的一例之圖表。 [圖12] 圖12為表示使用了基於圖8A所示之實施例之雷射控制裝置時的放電電壓的指令值、雷射振盪器的平均輸出的測定值、累積時間的測定值及脈衝寬度的指令值的時間變化的一例之圖表。

Claims (6)

  1. 一種雷射控制裝置，其中， 求出從輸出脈衝雷射光束之雷射振盪器的激勵開始至雷射脈衝的上升為止的經過時間亦即累積時間而將其設為測定值； 依據前述累積時間的測定值，計算從前述雷射振盪器輸出之雷射脈衝的脈衝寬度的指令值； 以成為計算出當前輸出之雷射脈衝的脈衝寬度之指令值那般，控制前述雷射振盪器。
  2. 如請求項1的雷射控制裝置，其中， 還依據從前述雷射振盪器輸出之脈衝雷射光束的平均輸出的測定值，調整前述雷射振盪器的激勵強度。
  3. 如請求項1或2的雷射控制裝置，其中， 在計算雷射脈衝的脈衝寬度的指令值時，將前述累積時間的測定值與前述累積時間的基準值進行比較，並依據比較結果來計算雷射脈衝的脈衝寬度的指令值。
  4. 如請求項3的雷射控制裝置，其中， 在計算雷射脈衝的脈衝寬度的指令值時，依據前述累積時間的測定值，更新前述累積時間的基準值。
  5. 如請求項4的雷射控制裝置，其中， 週期性地更新前述累積時間的基準值，並將前述累積時間的基準值更新為雷射脈衝的前述累積時間的測定值的前一個週期的平均值。
  6. 如請求項1或2的雷射控制裝置，其中， 在計算雷射脈衝的脈衝寬度的指令值時，隨著前述累積時間的測定值變得比前述累積時間的基準值長，使雷射脈衝的脈衝寬度的指令值比脈衝寬度的基準值長，隨著前述累積時間的測定值變得比前述累積時間的基準值短，使雷射脈衝的脈衝寬度的指令值比脈衝寬度的基準值短。
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