TWI746783B - 緊急停止裝置及其方法 - Google Patents

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TWI746783B TW107103277A TW107103277A TWI746783B TW I746783 B TWI746783 B TW I746783B TW 107103277 A TW107103277 A TW 107103277A TW 107103277 A TW107103277 A TW 107103277A TW I746783 B TWI746783 B TW I746783B
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金光壽
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白珠赫
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南韓商Ａｐ系統股份有限公司
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Abstract

提供一種緊急停止裝置及一種以拉動或推按金屬絲的方式使設備在工作空間內的期望位置處快速停止的緊急停止方法，所述緊急停止裝置包括：開關單元，裝設在工作空間中，電連接到設備，且能夠經由拉動進行操作；以及所述金屬絲，設置在所述工作空間中以施加拉力，且所述金屬絲的至少一個側以能夠拆卸方式安裝在所述開關單元上。

Description

緊急停止裝置及其方法
本發明有關一種緊急停止裝置及方法、一種能夠使設備在工作空間中的期望位置處快速停止的緊急停止裝置及方法。
用於製造半導體或顯示元件的製程中的每一者是在被設置成為對應製程的進展提供最優條件的製程設備中的每一者中執行。製程設備的機制複雜且裝設及操作昂貴。此外，製程設備為停止操作而進行的調控製程相當複雜。因此，此種製程設備本質上包括用於緊急停止所述製程設備的操作的緊急停止開關。
緊急停止開關可以簡單且直觀的結構裝設在設備的主體中以使所述緊急停止開關盡可能快速地進行操作。
舉例來說，以下專利文獻1有關一種緊急停止單元，所述緊急停止單元包括用於停止整個路線的開關及用於停止各別元件的開關以使工人可根據情況來操作所述開關。此外，專利文獻2有關一種緊急斷開(emergency off，EMO)開關，所述EMO開關被配置成在其中多個推按按鈕中的所有推按按鈕被按壓的狀態中 停止半導體製造裝置的操作，由此防止工人出現錯誤操作。此外，專利文獻3有關一種緊急斷開單元，所述緊急斷開單元包括按鈕蓋以防止按鈕被工人意外地按壓。
然而，當工人的位置遠離製程設備的主體時，存在其中必須緊急停止所述製程設備的操作的情況。根據專利文獻1、2、及3，當工人的位置遠離製程設備的主體時，緊急停止所述製程設備的操作是不可能的。
以下專利文獻4有關一種緊急斷開系統，所述緊急斷開系統包括能夠產生無線信號以停止製程設備的操作的可擕式EMO開關。根據專利文獻4，在緊急情況中，工人可經由在任意位置處按壓可擕式EMO開關來停止製程設備的操作。
然而，專利文獻4中所公開的緊急斷開系統具有以下不便：工人必須直接攜帶可擕式EMO開關，且此外，工人應謹慎小心以免在所述工人調控製程設備或攜帶所述可擕式EMO開關的同時按壓到所述可擕式EMO開關。
(現有技術文獻)
(專利文獻)
(專利文獻1)KR20-0464758 Y1
(專利文獻2)KR10-2006-0012465 A
(專利文獻3)KR10-2006-0108978 A
(專利文獻4)KR10-2011-0038787 A
本發明公開的實施例提供一種能夠在不另外裝設開關單元的條件下使設備在工作空間中的所有位置處快速停止的緊急停止裝置及方法。
本發明公開的實施例還提供一種能夠經由工人來快速地且輕易地調控的緊急停止裝置及方法。
本發明公開的實施例還提供一種能夠在緊急情況中經由工人來直觀地調控的緊急停止裝置及方法。
根據示例性實施例，一種緊急停止裝置包括：開關單元，裝設在工作空間中，電連接到設備，且能夠經由拉動進行操作；以及金屬絲，設置在所述工作空間中以施加拉力，且所述金屬絲的至少一個側以能夠拆卸方式安裝在所述開關單元上。
所述開關單元可設有多個且彼此間隔開，且所述金屬絲可連接在所述開關單元之間。
所述緊急停止裝置可更包括虛擬單元，所述虛擬單元裝設在所述工作空間中且與所述開關單元間隔開，且所述金屬絲的另一側以能夠拆卸方式安裝在所述虛擬單元上。
所述緊急停止裝置可更包括安全彈簧，所述安全彈簧被安裝成連接在所述虛擬單元與所述金屬絲之間。
所述緊急停止裝置可更包括裝設在所述工作空間中的引導單元，其中所述金屬絲可被設置成穿過所述引導單元，且所述金屬絲的至少一個端部可以能夠拆卸方式安裝在所述開關單元 上。
所述引導單元可設有多個，使得所述多個引導單元沿工人的移動路線裝設、或者圍繞所述工人能夠在其中移動的整個空間裝設，且所述金屬絲可與所述引導單元中的至少一個引導單元接觸以支撐所述至少一個引導單元。
所述緊急停止裝置可更包括連接單元，所述連接單元被安裝成連接在所述金屬絲與所述開關單元之間且能夠在安裝方向上調節所述連接單元的長度，其中所述金屬絲可經由所述連接單元以能夠拆卸方式安裝在所述開關單元上。
所述開關單元可包括：開關本體，電連接到所述設備；停止開關，以能夠伸展方式安裝在所述開關本體上以經由所述拉動來接通所述開關本體；以及金屬絲鉤，設置在所述停止開關的端部上。
所述開關單元可包括：恢復開關，以能夠伸展方式安裝在所述開關本體上以經由按壓來斷開(turn off)所述開關本體；以及操作顯示部件，安裝在所述開關本體上以顯示所述停止開關的被拉動狀態，其中當經由所述金屬絲以高於參考力的力拉動所述停止開關時，所述開關本體可被接通(turn on)，且當按壓所述恢復開關時，所述開關本體可被斷開。
所述設備可設有多個，且所述開關本體可對其中集合有所述多個設備的一個群組進行一體控制。
所述設備可設有多個，所述開關本體可設有多個以對應 於所述設備的數目，且所述開關本體中的每一者可各別地控制一個設備或者控制所述多個設備的群組。
所述引導單元可包括環，所述環設置在所述開關單元的裝設高度處且提供供所述金屬絲穿過的通道，且所述金屬絲可被設置成穿過所述環的所述通道。
根據另一示例性實施例，一種用於停止裝設在工作空間中的設備的緊急停止方法包括：提供開關本體及金屬絲，所述開關本體電連接到所述設備，所述金屬絲設置在所述工作空間中以施加拉力，且所述金屬絲的一個端部連接到所述開關本體；操作所述設備；以及經由使用所述金屬絲操作所述開關本體來停止所述設備。
在所述開關本體的一個側上可安裝有停止開關，且所述金屬絲可連接到所述停止開關，其中所述停止所述設備可包括：拉動或推按所述金屬絲來拉動所述停止開關；當以高於參考力的力來拉動所述停止開關時，接通所述開關本體；以及從所述開關本體向所述設備輸出停止信號。
所述設備可設有多個，且所述停止所述設備可包括經由使用一條金屬絲操作一個開關本體來停止所有所述多個設備。
所述設備可設有多個，所述開關本體可設有多個以對應於所述設備的數目，且所述金屬絲可設有多個以分別連接到所述開關本體，其中所述停止所述設備可包括經由使用相應的所述金屬絲選擇性地操作所述開關本體來各別地停止所述多個設備或停 止所述多個設備的群組，或者經由使用相應的所述金屬絲操作所有所述開關本體來停止所有所述多個設備。
在所述開關本體的另一側上可安裝有恢復開關，其中在所述停止所述設備之後，所述緊急停止方法可更包括：按壓所述恢復開關以斷開所述開關本體；以及從所述開關本體向所述設備輸出恢復信號。
1:點
2:動作
10:工作空間
100:開關單元
110:開關本體
120:停止開關
121:金屬絲鉤
130:操作顯示部件
131:顯示螢幕
132:輔助線
133:操作銷
140:恢復開關
150:支撐面板
200:連接單元
210:鉤本體
220:固定螺母
230:金屬絲耦合工具
231:螺母部件
232:固持部件
233:金屬絲支撐件
234:固定螺栓
300:金屬絲
400:引導單元
410:支架
420、510:環
421:頭部件
430:螺母
500:虛擬單元
600:安全彈簧
A:設備
圖1是示出根據示例性實施例的其中緊急停止裝置裝設在工作空間中的狀態的示意圖。
圖2是根據示例性實施例的開關單元的示意圖。
圖3(a)和圖3(b)是根據示例性實施例的連接單元的示意圖。
圖4是根據示例性實施例的引導單元的示意圖。
圖5是示出根據示例性實施例的其中緊急停止裝置進行操作的狀態的實例的示意圖。
圖6是示出根據經修改實施例的其中緊急停止裝置裝設在工作空間中的狀態的示意圖。
在下文中，將參照圖式詳細闡述具體實施例。然而，本 發明的實施例可實施為不同形式且不應被視作僅限於本文所述的實施例。確切來說，提供這些實施例是為使此公開內容將透徹及完整，並將向所屬領域中的技術人員充分傳達本發明的實施例的範圍。在圖中，為說明清晰起見，誇大了層及區的尺寸。全文中相同的圖式編號指代相同的元件。
圖1是示出根據示例性實施例的其中緊急停止裝置裝設在工作空間中的狀態的示意圖。圖2是根據示例性實施例的開關單元的示意圖。圖3(a)和圖3(b)是根據示例性實施例的連接單元的示意圖。
圖4是根據示例性實施例的引導單元的示意圖。圖6是示出根據經修改實施例的其中緊急停止裝置裝設在工作空間中的狀態的示意圖。
參照圖1，根據示例性實施例的緊急停止裝置包括：開關單元100，裝設在工作空間10中，電連接到設備A，且可經由高於參考力的拉動力來進行操作；以及金屬絲300，以被拉緊的狀態設置在工作空間10中以施加小於參考力的拉力，且金屬絲300具有至少一個側以可拆卸方式安裝在開關單元100上。
此外，緊急停止裝置可更包括：連接單元200，被安裝成連接在金屬絲300與開關單元100之間且可在安裝方向上調節連接單元200的長度，使得可調節施加到金屬絲300的拉力的強度；以及至少一個引導單元400，裝設在工作空間10中以引導金屬絲300的路徑。
工作空間10可為其中裝設有設備A(例如用於製造半導體或顯示元件的製程設備)的空間且可包括工人圍繞所述設備移動以調控所述設備時所沿的移動路線以及圍繞所述設備的所有空間，其中工人相對於所述設備或製程來說是可移動的。所述設備在工作空間10中進行操作以執行用於製造半導體或顯示元件的各種製程。
此外，工作空間10可包括各種設備在其中執行各種工業領域中的各種製程的空間及周圍空間。設備A可裝設在工作空間10的一個側處，且可提供一個或多個設備。根據示例性實施例的緊急停止裝置可圍繞所述設備的外部裝設。
開關單元100可裝設在工作空間中且電連接到所述設備以經由拉動來進行操作。舉例來說，當以下將闡述的停止開關120被金屬絲300拉動時，開關單元100可產生用於緊急停止所述設備的操作的信號以將所述信號輸出到所述設備。
開關單元100可設有多個，且所述多個開關單元100可被裝設成彼此間隔開。舉例來說，可設有兩個或更少個開關單元100。更詳細來說，兩個開關單元100可被設置成彼此間隔開以形成一對。作為另外一種選擇，可設置一個開關單元100。
參照圖2，根據示例性實施例的開關單元100可包括開關本體110、停止開關120、金屬絲鉤121、操作顯示部件130、恢復開關140及支撐面板150。
開關本體110可裝設在預定高度處以使工人的上肢及下 肢中的至少一者接觸開關本體110。開關本體110可電連接到設備A。開關本體110可在接通狀態中輸出用於緊急停止設備A的停止信號。開關本體110可在斷開狀態中輸出用於解除設備A的緊急停止狀態的恢復信號。
開關本體110及設備A可以有線通信方式或無線通訊方式彼此連接。設備A可從開關本體110接收停止信號並接著立即停止操作。設備A可從開關本體110接收恢復信號並接著重新進行操作或轉換成操作待機狀態。
當設有一個設備A時，可裝設一個開關本體110。當設有多個設備A時，可裝設一個開關本體110，且因此，設備可集合成一個群組且經由開關本體110來一體控制。
作為另外一種選擇，當設有多個設備A時，可設置多個開關本體110以對應於設備A的數目。此處，當開關本體110的數目對應於設備A的數目時，開關本體110可分別各別地控制設備A。此外，開關本體110的數目小於設備A的數目，所述多個設備A可集合成多個群組，且所述群組中的每一者可經由開關本體110中的每一者來控制。
停止開關120可以可伸展方式安裝在開關本體110的一個側上。停止開關120可經由拉動金屬絲300以接通開關本體110來進行操作。停止開關120可具有例如可經由彈簧或油壓來伸展的結構。停止開關120可在被拉動狀態中突出到開關本體110的外部且在長度上延伸。當解除所述拉動時，停止開關120可復原 到被彈性復原力拉動之前的長度(初始長度)。當開關本體110經由拉動停止開關120而接通時，開關本體110可即便在解除所述拉動停止開關120時仍維持在接通狀態。
當以例如12.75千克力(kgf)或小於12.75kgf的力或125牛(N)或小於125N的力來調控停止開關120時，停止開關120可順利地拉伸及復原。此處，停止開關120可在經由金屬絲300以高於參考力的力被拉動時接通開關本體110。即，當停止開關120被高於參考力的力、或12.75kgf或小於12.75kgf的力或者125N或小於125N的力拉動時，停止開關120可突出到開關本體110的外部以接通開關本體110。此後，當移除拉動停止開關120的力時，停止開關120可復原到被拉動之前的長度。此時，開關本體110可維持在接通狀態。參考力可為以施加到金屬絲300的最小拉力作為參考值而使得金屬絲300耦合到頂部開關且在工人不拉動或推按金屬絲300的條件下拉緊的相對值。
參考力可為例如3kgf或高於3kgf的力或29.4N或高於29.4N的力。上述值對應於在緊急情況中工人經由使用上肢及下肢直接拉動或推按金屬絲300的預定拉力值。停止開關120在被小於參考力的力拉動時可能無法進行操作來接通開關本體110。因此，可防止開關本體110發生故障。
金屬絲鉤121可設置在停止開關120的端部上。因此，金屬絲可經由金屬絲鉤121以可拆卸方式安裝在停止開關120上。金屬絲鉤121的結構並無具體限制。舉例來說，可對金屬絲 鉤121應用例如活節螺栓(eye bolt)或環螺栓(ring bolt)等結構。
操作顯示部件130可為一種安裝在開關本體110上的計量表且用於顯示施加到停止開關120的力的變化來作為時間資訊。即，操作顯示部件130可為用於顯示停止開關120的被拉動狀態的計量表。操作顯示部件130可由顯示螢幕131、輔助線132及操作銷133構成。
顯示螢幕131從開關本體110的一個側到恢復開關140間隔開且安裝在開關本體110的一個表面上以在停止開關120的拉伸方向上延伸。輔助線132可在停止開關120的拉伸方向上彼此間隔開且分別設置在顯示螢幕131的兩個邊緣上。操作銷133可安裝在顯示螢幕131上以使操作銷133設置在輔助線132之間的中心處。此外，操作銷133可根據拉動停止開關120或解除拉動停止開關120來在顯示螢幕131上在停止開關120的拉伸及復原方向上移動。操作銷133可在停止開關120被小於參考力的力拉動時設置在輔助線132的內側且接著在停止開關120被大於參考力的力拉動時移動到輔助線132的外部。
操作顯示部件130可經由以其中單獨的轉盤(圖中未示出)或停止開關120旋轉的方式調整操作銷133的位置來調整零點。用於調整操作顯示部件130的零點的結構及方式並無具體限制。舉例來說，可應用用於調整在各種工業領域中使用的各種計量表的零點的結構及方式。
舉例來說，當金屬絲300安裝在停止開關120上且接著經由使用隨後將闡述的連接單元200來調節金屬絲300的長度以使金屬絲300拉緊時，與施加到金屬絲300的拉力對應的預定力可施加到停止開關120以使金屬絲300的拉力狀態在工人不拉動或推按金屬絲300的條件下得到維持。即，可一直對金屬絲300施加最小拉力以使金屬絲300拉緊。即，停止開關120可在工人不拉動或推按金屬絲300的條件下經由小於參考力的力來拉動，且此外，操作銷133可被設置成靠近輔助線132。因此，在金屬絲300與停止開關120完全耦合到彼此且金屬絲300的拉力被完全調節之後，操作銷133的零點可被調整成使操作銷133位於輔助線132之間的中心處。此後，操作顯示部件130可精確地顯示停止開關120的被拉動狀態。
恢復開關140以可伸展方式安裝在開關本體110上且用於經由推按恢復開關140來斷開開關本體110。當解除所述推按恢復開關140時，恢復開關140經由彈力而復原到其原始狀態。當開關本體110經由按壓恢復開關140而斷開時，可移除按壓恢復開關140的力以使得恢復開關140能夠突出到其原始狀態。因此，恢復開關140可即便在恢復開關140復原時仍維持在斷開狀態。
支撐面板150可被裝設成附接到所述設備或與所述設備間隔開且可向上延伸到開關本體110所旨在安裝於的高度處。開關本體110可被裝設成由支撐面板150來支撐。
在下文中，將在闡述連接單元200之前闡述金屬絲300。 參照圖1，金屬絲300可設置在工作空間10中以施加拉力，且金屬絲300的至少一個側可以可拆卸方式安裝在開關單元100的金屬絲鉤121上。更詳細來說，金屬絲300可被安裝成連接在開關單元100之間。此處，金屬絲300的兩個端部中的至少一個端部可以可拆卸方式安裝在一個開關單元100上。
當設有兩個開關單元100時，金屬絲300的另一端部可以可拆卸方式安裝在另一開關單元100上，或者可以可拆卸方式安裝在設置於工作空間10中且與開關單元100間隔開的虛擬單元500上。當金屬絲300的另一端部安裝在虛擬單元500上時，另一開關單元100可安裝在金屬絲300的一個端部與另一端部之間的預定點處。
參照圖6，當開關單元100的數目為一時，開關單元100的停止開關120可連接到金屬絲300的一個端部。金屬絲300的另一端部可安裝在裝設於工作空間10中且與開關單元100間隔開的虛擬單元500上。此處，安全彈簧600可被安裝成連接在虛擬單元500與金屬絲300之間。金屬絲300及安全彈簧600可直接安裝在彼此上或者可經由連接單元200來安裝。
舉例來說，在其中由於工作空間10的空間約束或設備的控制而不使用所述兩個開關單元的環境中，可使用所述一個開關單元100及虛擬單元500來構造所述緊急停止裝置。
虛擬單元500可被設置成具有預定形狀的板且延伸到開關單元100的安裝高度。可在虛擬單元500中設置環510以使安 全彈簧600是可拆卸的。安全彈簧600可將金屬絲300連接到環510而非連接單元200。作為另外一種選擇，安全彈簧600可與連接單元200串聯連接且連接在金屬絲300與環510之間。所述緊急停止裝置可根據經修改實例以除上述結構以外的各種方式來進行構造。
在根據示例性實施例及比較實例的連接結構中，在金屬絲300被工人拉動或推按的同時，開關單元100的停止開關120可被拉動。即，其中開關單元100經由金屬絲300來進行實體調控的區可擴展到整個工作空間10。此外，經由金屬絲300以所述一對開關單元100來直接處置的區可擴展到整個工作空間10。
具體來說，儘管金屬絲300的任一點是經由金屬絲300的上述結構來拉動或推按，然而靠近於一對開關單元100的對應點的開關單元100的停止開關120可被順利拉動。
當設有多個開關本體110時，金屬絲300可被設置成對應於開關本體110的數目，且所述多個金屬絲300可分別連接到開關本體110。
金屬絲300必須處於緊拉狀態，使得工人能夠在金屬絲300被拉動或推按時立即拉動停止開關120。因此，長度可調節的連接單元200可被安裝成連接在金屬絲與停止開關120之間，且可調節所述連接單元的長度以調節施加到金屬絲300的拉力的強度。
圖3(a)是示出連接單元的耦合狀態的圖，且圖3(b) 示出連接單元的拆解狀態的圖。
參照圖3(a)和圖3(b)，連接單元200可包括鉤本體210、固定螺母220及金屬絲耦合工具230。鉤本體210可具有在一個方向上延伸預定長度的條形狀，且在鉤本體210的一個端部上可設置有鉤。此外，在鉤本體210的其餘外圓周表面上可設置有螺紋。固定螺母220可耦合到鉤本體210的螺紋。
金屬絲耦合工具230可以螺紋方式耦合到鉤本體210而使得金屬絲耦合工具230的至少一部分與鉤本體210交疊。可根據金屬絲耦合工具230的交疊程度來在連接單元200的延伸方向上調節金屬絲耦合工具230的長度。金屬絲耦合工具230可包括：螺母部件231，在一個方向上延伸預定長度；固持部件232，設置在螺母部件231的端部上以提供供金屬絲300穿過的通道；金屬絲支撐件233，使用固持部件232作為中心在與螺母部件231相對的側處安裝在固持部件232上且具有金屬絲支撐孔；以及固定螺栓234，對穿過固持部件232以穿過所述通道的金屬絲300進行固定。
金屬絲300可在穿過金屬絲支撐孔之後插入到固持部件232的通道中且接著經由固定螺栓234進行固定。因此，金屬絲300可耦合到固持部件232。此後，儘管鉤本體210插入到螺母部件231中且接著以螺紋方式進行耦合，然而可調整螺母部件231與鉤本體210之間的交疊程度以調整連接單元200的長度。當完成連接單元200的長度時，固定螺母220可緊緊地附接到螺母部 件231以將螺母部件231固定到鉤本體210。此後，鉤本體210的鉤可鉤在停止開關120的金屬絲鉤121上以將連接單元200以可拆卸方式耦合到停止開關120。因此，金屬絲300可經由連接單元200以可拆卸方式安裝在停止開關120上。此外，可在連接單元200的安裝方向上調節連接單元200的長度以調節金屬絲300的拉力。
可設多個引導單元400。因此，所述多個引導單元400可沿工人移動時所沿的移動路線裝設或者圍繞工人可在其中移動的整個空間裝設。金屬絲300可被設置成穿過引導單元400且接著接觸至少一個引導單元400且被支撐並轉換路徑。
參照圖4，引導單元400可包括：環420，設置在開關單元100的裝設高度處且具有能夠供金屬絲300穿過的通道；以及支架410，裝設在工作空間10中且環420安裝且支撐在支架410中。
支架410的結構及形狀並無具體限制。如圖中所示，多個板可彼此耦合以提供三維結構。環420可包括環形頭部件421且除頭部件421以外更包括具有螺栓形狀的本體部件。本體部件可穿過支架410的一個側且接著以螺紋方式耦合到支架410。此處，在本體部件的外圓周表面上可設有多個螺母430。此外，所述多個螺母430中的每一者可緊緊地附接到支架410中的每一者以固定本體部件。金屬絲300可被設置成穿過頭部件421的通道。此處，可慮及金屬絲300的折射率及高度來確定頭部件421在平 面上或在空間中的位置。因此，金屬絲300可順利地移動而不折斷。
引導單元400可沿工人的移動路線或者所述工作空間內的工人可在其中移動的空間裝設在彼此間隔開的多個位置處。金屬絲300可由引導單元400支撐，且金屬絲300的路徑可由引導單元400來引導。作為另外一種選擇，引導單元400可裝設在彼此間隔開的多個位置處以環繞工人的移動路線或者所述工作空間內的工人可在其中移動的空間。金屬絲300可由引導單元400支撐，且金屬絲300的路徑可由引導單元400來引導。金屬絲300的路徑稱為安全路線。根據安全路線的佈局，工作空間10內的所有位置可相鄰於所述安全路線。
以下將闡述根據示例性實施例的裝設緊急停止裝置的製程。
首先，在工作空間中裝設所述一對開關單元100，且接著金屬絲300接連穿過引導單元400的環420且設置在工作空間10內以經由環420而將開關單元100彼此連接。此處，金屬絲300可不處於拉緊狀態。此後，連接單元200分別耦合到金屬絲300的兩個端部。接著，在一個開關單元100上安裝一個連接單元200。此後，在另一開關單元100上安裝另一連接單元200。此處，可調節連接單元200的長度以拉緊金屬絲300。即，在其中在工作空間中裝設有緊急停止裝置的狀態中，金屬絲300可維持在拉緊狀態以使小於參考力的拉力施加到金屬絲300。此後，調節停止開 關120的零點以完成緊急停止裝置的裝設。因此，在工人執行製程的同時，所述工人可經由其中所述工人在所述工人可在其中移動的工作空間內的所有位置處拉動金屬絲300的簡單操作來輕易地調控所述一對開關單元100。
完成裝設的緊急停止裝置用於在製程期間緊急停止設備的操作。具體來說，儘管經由使用金屬絲而在工作空間10中裝設最小數目的開關單元100(即，開關單元100的裝設數目被最小化成一個或兩個單元)，然而在工作空間10內的所有位置處夠及開關單元100的能力可顯著提高。
圖5是示出根據示例性實施例的其中緊急停止裝置進行操作的狀態的實例的示意圖。參照圖5，將闡述根據示例性實施例的操作緊急停止裝置的方法。
在設備在例如其中工人的身體卡在所述設備中或製程執行異常的緊急情況中進行操作的同時，所述工人以高於參考力的力拉動穿過其周圍的金屬絲300。此處，參考力意指在其中金屬絲300耦合到停止開關120以被拉緊的狀態中足以接通開關本體110的力的程度。當拉動金屬絲300的一個點1時，金屬絲300的兩個端部中的每一者可朝所述一個點1拉動。因此，如上所述，當拉動金屬絲300(動作2)時，停止開關120可以高於參考力的力被拉動以使得操作銷133能夠移動到輔助線132的外部且使得停止開關120能夠接通開關本體110而使得所述設備緊急停止。接著，當緊急情況解除時，可按壓恢復開關140以斷開開關本體110。
在下文中，將經由比較根據比較實例的傳統緊急停止開關的裝設及操作方法與根據示例性實施例的緊急停止裝置的裝設及操作來進行闡述。
舉例來說，根據現有技術，緊急停止開關裝設在工人操作設備的移動路線上的位置及所述工人可在其中移動的工作空間內的位置中的每一者處。此不僅使設備的設計項目及操作方法複雜化，而且使緊急停止開關的操作機制更為複雜。
另一方面，根據示例性實施例，緊急停止開關可經由使用所述兩個開關單元100及所述一個金屬絲300而被裝設成覆蓋整個工作空間。因此，設備的裝設及操作可比根據現有技術的設備的裝設及操作簡單，且與緊急停止相關的操作機制也可簡化。此外，由於可在工作空間內的任意位置處快速地操作開關單元100，因此可確保所述工作空間內的所有位置中的穩定性，且可在工作空間中自由地構建安全路線的佈局而不存在成本增加的負擔。
此外，根據現有技術，工人攜帶EMO開關的原因之一是：設備是否可緊急停止是由所述工人是否攜帶可擕式EMO開關來決定。另一方面，根據示例性實施例，設備可在工人不攜帶可擕式EMO開關的條件下僅經由拉動或推按圍繞工作空間10而裝設的金屬絲300來緊急停止。
具體來說，與現有技術不同，根據示例性實施例，由於工人經由使用所述工人的上肢或下肢拉動或推按金屬絲來操作停 止開關，因此與經由直接按壓開關來操作所述開關的方法相比在應對緊急情況方面更容易且更快速。
如上所述，根據示例性實施例的緊急停止裝置可僅經由使用最小數目的開關單元及金屬絲的簡單裝設結構來在預定範圍內確保安全工作空間。此外，緊急停止裝置可在工作空間內的所有位置中進行操作，且即便金屬絲的拉動位置向任意一側偏置，由於所述金屬絲的兩個端部中的每一者均連接有停止開關，因此所述緊急停止裝置也可安全地進行操作。
在下文中，將闡述根據示例性實施例的緊急停止方法。此處，將不再對前述說明予以贅述或者僅進行簡要闡釋。
根據示例性實施例的緊急停止方法是使用上述緊急停止裝置來停止裝設在工作空間中的設備的方法且包括以下製程：提供電連接到所述設備的開關本體及設置在工作空間中以施加拉力的金屬絲，所述金屬絲的一個端部連接到所述開關本體；操作所述設備；以及經由使用金屬絲停止所述設備來操作所述開關本體。
首先，提供電連接到設備A的開關本體110及設置在工作空間10中的金屬絲300，金屬絲300的一個端部連接到開關本體110以施加拉力。此處，停止開關120可安裝在開關本體110的一個側上，且金屬絲300可連接到停止開關120。設備A及開關本體110可設有至少一個或多個，且開關本體110中的每一者可電連接到至少一個或多個設備A中的每一者。在開關本體110的另一個側上可安裝有恢復開關140。此後，設備A進行操作。
在設備A進行操作的同時，如果旨在根據工人的需要來緊急停止設備A的操作，則開關本體110可經由金屬絲300進行操作來停止設備A。舉例來說，當拉動或推按金屬絲300以拉動停止開關120時，停止開關120可被高於參考力的力拉動，且因此，開關本體110可接通。此處，可從開關本體110向設備A輸出停止信號。因此，設備A可立即停止。
此處，在其中一個開關本體110電連接到所述多個設備A的結構中，一個開關本體110可經由一個金屬絲300進行操作以停止所有所述多個設備A。
此外，在其中所述多個開關本體110一對一地彼此對應且彼此電連接的結構中，開關本體110可經由相應的金屬絲300來選擇性地進行操作以各別地停止所述多個設備A，或者所有開關本體110可經由相應的金屬絲300來進行操作以停止所有所述多個設備A。
此外，在其中所述多個設備A不一對一地對應於所述多個開關本體110且設備A的數目大於開關本體110的數目而使得由所述多個設備A構成的任意一個群組與至少一個開關本體110電連接的結構中，開關本體110可經由相應的金屬絲300來選擇性地進行操作以各別地停止所述多個設備A或停止所述群組，且所有開關本體110可經由相應的金屬絲300來進行操作以停止所有所述多個設備A。
在停止設備A的操作的製程之後，當經由製程安排或工 人的裁決而解除緊急停止情況時，可執行按壓恢復開關140以斷開開關本體110的製程及從開關本體110向設備A輸出恢復信號的製程。此後，設備A可接收恢復信號並接著重新進行操作或轉換成操作待機狀態。
根據示例性實施例，所述設備可在不另外裝設開關單元的條件下在工作空間中的任意位置處快速停止。詳細來說，連接到金屬絲的所述一對開關單元可經由在工人可移動的所有位置(包括工人的移動路線)處拉動或推按圍繞工作空間而裝設的金屬絲的直觀操作來快速地且輕易地調控，以在所述工作空間內的所有位置處快速地停止所述設備。
在製程設備進行操作以製造例如半導體或顯示元件的同時，即便工人的位置遠離開關單元，所述製程設備仍可經由拉動或推按與開關單元連接的金屬絲來緊急停止。因此，可能不存在如現有技術一樣工人必須一直在所述工人的身體上配備可擕式開關的不便情況，且製程設備可經由拉動或推按金屬絲來快速地停止而無需執行其中工人移動到開關的裝設位置的操作或者取出或找尋開關的操作。
具體來說，由於無論工人是使用上肢還是下肢所述工人都能輕易地推按或拉動金屬絲，因此所述工人可更有效地應對緊急情況。
儘管已參照具體實施例闡述了緊急停止裝置及方法，然而所述緊急停止裝置及方法並非僅限於此。應注意，本發明的以 上實施例中所公開的配置及方法可彼此組合或交叉應用且被實施為各種形式，且這些潤飾可被視為落於本發明的實施例的範圍內。因此，所屬領域中的技術人員將易於理解，可對其作出各種潤飾及改變，而此並不背離由隨附申請專利範圍所界定的本發明實施例的精神及範圍。
10‧‧‧工作空間
100‧‧‧開關單元
200‧‧‧連接單元
300‧‧‧金屬絲
400‧‧‧引導單元
A‧‧‧設備

Claims (17)

  1. 一種緊急停止裝置，包括：開關單元，裝設在工作空間中，電連接到設備，且能夠經由拉動進行操作；金屬絲，設置在所述工作空間中以施加拉力，且所述金屬絲的至少一個側以能夠拆卸方式安裝在所述開關單元上；以及連接單元，被安裝成連接在所述金屬絲與所述開關單元之間且能夠在安裝方向上調節所述連接單元的長度，其中所述連接單元包括金屬絲耦合工具，所述金屬絲耦合工具耦合所述金屬絲的一端且包括：固持部件，以提供所述金屬絲穿過的通道；以及金屬絲支撐件，安裝在所述固持部件上且具有金屬絲支撐孔，所述金屬絲支撐孔被配置成使所述金屬絲穿過。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的緊急停止裝置，其中所述開關單元設有多個且彼此間隔開，且所述金屬絲連接在所述開關單元之間。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的緊急停止裝置，更包括虛擬單元，所述虛擬單元裝設在所述工作空間中且與所述開關單元間隔開，且所述金屬絲的另一側以能夠拆卸方式安裝在所述虛擬單元上。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的緊急停止裝置，更包括安全彈簧，所述安全彈簧被安裝成連接在所述虛擬單元與所述金屬絲之間。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的緊急停止裝置，更包括裝設在所述工作空間中的引導單元， 其中所述金屬絲被設置成穿過所述引導單元，且所述金屬絲的至少一個端部以能夠拆卸方式安裝在所述開關單元上。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的緊急停止裝置，其中所述引導單元設有多個，使得多個所述引導單元沿工人的移動路線裝設或者圍繞所述工人能夠在其中移動的整個空間裝設，且所述金屬絲與所述引導單元中的至少一個引導單元接觸以支撐所述至少一個引導單元。
  7. 如申請專利範圍第1項所述的緊急停止裝置，其中所述金屬絲經由所述連接單元以能夠拆卸方式安裝在所述開關單元上。
  8. 如申請專利範圍第1項所述的緊急停止裝置，其中所述開關單元包括：開關本體，電連接到所述設備；停止開關，以能夠伸展方式安裝在所述開關本體上以經由所述拉動來接通所述開關本體；以及金屬絲鉤，設置在所述停止開關的端部上。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的緊急停止裝置，其中所述開關單元包括：恢復開關，以能夠伸展方式安裝在所述開關本體上以經由按壓來斷開所述開關本體；以及操作顯示部件，安裝在所述開關本體上以顯示所述停止開關的被拉動狀態， 其中當經由所述金屬絲以高於參考力的力拉動所述停止開關時，所述開關本體被接通，且當按壓所述恢復開關時，所述開關本體被斷開。
  10. 如申請專利範圍第8項所述的緊急停止裝置，其中所述設備設有多個，且所述開關本體對其中集合有多個所述設備的一個群組進行一體控制。
  11. 如申請專利範圍第8項所述的緊急停止裝置，其中所述設備設有多個，所述開關本體設有多個以對應於所述設備的數目，且所述開關本體中的每一者各別地控制一個設備或者控制多個所述設備的群組。
  12. 如申請專利範圍第5項所述的緊急停止裝置，其中所述引導單元包括環，所述環設置在所述開關單元的裝設高度處且提供供所述金屬絲穿過的通道，且所述金屬絲被設置成穿過所述環的所述通道。
  13. 一種緊急停止方法，用於停止裝設在工作空間中的設備，所述緊急停止方法包括：提供開關本體及金屬絲，所述開關本體電連接到所述設備，所述金屬絲設置在所述工作空間中以施加拉力，且所述金屬絲的一個端部連接到所述開關本體；操作所述設備；以及經由使用所述金屬絲操作所述開關本體來停止所述設備， 其中所述金屬絲的一端穿過提供於連接單元的金屬絲支撐件的金屬絲支撐孔，以與所述連接單元的固持部件耦合，且所述連接單元安裝在金屬絲鉤中，所述金屬絲鉤形成在停止開關的一端中，所述停止開關安裝在所述開關本體上。
  14. 如申請專利範圍第13項所述的緊急停止方法，其中停止所述設備包括：拉動或推按所述金屬絲來拉動所述停止開關；當以高於參考力的力來拉動所述停止開關時，接通所述開關本體；以及從所述開關本體向所述設備輸出停止信號。
  15. 如申請專利範圍第13項所述的緊急停止方法，其中所述設備設有多個，且停止所述設備包括經由使用一條金屬絲操作一個開關本體來停止所有多個所述設備。
  16. 如申請專利範圍第13項所述的緊急停止方法，其中所述設備設有多個，所述開關本體設有多個以對應於所述設備的數目，且所述金屬絲設有多個以分別連接到所述開關本體，其中停止所述設備包括經由使用相應的所述金屬絲選擇性地操作所述開關本體，以各別地停止多個所述設備或停止多個所述設備的群組，或者經由使用相應的所述金屬絲操作所有所述開關本體，以停止所有多個所述設備。
  17. 如申請專利範圍第14項所述的緊急停止方法，其中在所述開關本體的另一側上安裝有恢復開關， 其中在停止所述設備之後，所述緊急停止方法更包括：按壓所述恢復開關以斷開所述開關本體；以及從所述開關本體向所述設備輸出恢復信號。
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