TWI738404B

TWI738404B - 搬送機器人

Info

Publication number: TWI738404B
Application number: TW109122579A
Authority: TW
Inventors: 吉桑栄二; 辻森俊行; 平田和範; 橋本猛
Original assignee: 日商川崎重工業股份有限公司
Priority date: 2019-07-05
Filing date: 2020-07-03
Publication date: 2021-09-01
Also published as: US11975450B2; TW202106566A; KR20220025030A; JP2021010967A; WO2021006175A1; CN114051440B; CN114051440A; JP7223655B2; US20220274248A1; DE112020003249T5

Abstract

搬送機器人吸附工件的上表面並搬送工件。搬送機器人具備：安裝於第1機器臂的第1手本體，安裝於第2機器臂的第2手本體，安裝於第1手本體的第1吸附部，安裝於第2手本體的第2吸附部。第1吸附部具有，於水平的第1方向延伸，且於與第1方向垂直之水平的第2方向上分離的一對吸附體。第2吸附部具有，於第1方向上延伸的至少一個吸附體，一個吸附體構成為，根據第2手本體的相對於第1手本體於第1方向的相對移動，可變更進入第1吸附部之一對吸附體之間之區域的進入量。

Description

搬送機器人

本發明是關於吸附工件的上表面藉以搬送工件的搬送機器人

習知技術中，吸附工件的上表面藉以搬送工件的裝置廣為周知(例如參照專利文獻1)。專利文獻1中，在單一個吸附頭上設置有一對臂。驅動臂使橫向排列的5個工件往中央靠攏，吸附頭一併吸附5個工件。

[現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本特開2015-214350號公報

若5個工件整體的寬度比吸附頭還窄，則無法利用臂將工件於寬度方向上靠攏。而且相對於工件的吸附面的位置也無法穩定，另外還需要將從工件露出的吸附孔堵住的步驟變更作業。

本發明之目的在於提供，即便工件的尺寸改變，也能盡量減少步驟變更作業讓工件持續搬送的搬送機器人。

本發明之一態樣係關於一種吸附工件的上表面並搬送前述工件的搬送機器人，其具備：第1機器臂與第2機器臂；第1手本體，安裝於前述第1機器臂，並根據前述第1機器臂的動作移動；第2手本體，安裝於前述第2機器臂，並根據前述第2機器臂的動作移動；第1吸附部，安裝於前述第1手本體，並吸附前述工件的前述上表面；第2吸附部，安裝於前述第2手本體，並吸附前述工件的前述上表面；前述第1吸附部具有，於水平的第1方向延伸，且於與前述第1方向垂直之水平的第2方向上分離的一對吸附體；前述第2吸附部具有，於前述第1方向上延伸的至少一個吸附體，前述至少一個吸附體構成為，根據前述第2手本體的相對於前述第1手本體於前述第1方向的相對移動，可變更進入前述第1吸附部之前述一對吸附體之間之區域的進入量。

根據前述構成，在兩個手本體上設置有吸附部。即便於第1方向上工件的尺寸有變更，只要藉由兩個機器臂的動作使第2手本體進行相對於第1手本體的相對移動，則可使第1吸附部與第2吸附部互不干涉地，調整吸附部整體的第1方向的尺寸。藉此，不必進行例如交換手本體的步驟變更作業，而能持續工件的搬送。

藉由本發明，可盡量減少步驟變更作業而持續工件的搬送。

1:搬送機器人

3:基台

4a:第1機器臂

4b:第2機器臂

5a:第1基端臂

5b:第2基端臂

6a:第1前端臂

6b:第2前端臂

7a:第1手腕部

7b:第2手腕部

8a:第1安裝部

8b:第2安裝部

11:第1手本體

12:裝設部

13:第1吸附部

14、15:吸附體

16:托架

21:第2手本體

22:裝設部

23:第2吸附部

24、25:吸附體

26:托架

31:本體構件

31a:內部空間

32:軟性構件

33:吸引口

34:排出口

35:管接頭

36:管

40:第1定位機構

41:第1抵接部

42:第2抵接部

45:第2定位機構

46:第1抵接部

47:第2抵接部

50:控制裝置

51a、51b:基端致動器

52a、52b:中間致動器

53a、53b:前端致動器

54a、54b:昇降致動器

59:負壓源

90、90A、90B:工件

D15、D24:進入量

D46、D47:間隔

L1:第1軸

L2a、L2b:第2軸

L3a、L3b:第3軸

X:第1方向

X90A、X90B:尺寸

Y:第2方向

Z:鉛直方向

[圖1]係表示本發明實施型態之搬送機器人的前視圖。

[圖2]係表示本發明實施型態之第1手本體與第2手本體的立體圖。

[圖3]係表示本發明實施型態之吸附體的剖視圖。

[圖4]係表示本發明實施型態之搬送機器人的控制系統的方塊圖。

[圖5]係表示藉由本發明實施型態之搬送機器人所執行之作業的說明圖，圖 5A係表示搬送橫向排列的3個工件的俯視圖；圖5B係表示搬送橫向排列的8個工件的俯視圖。

圖1係搬送機器人1的前視圖。搬送機器人1具備：基台3，第1機器臂4a，第2機器臂4b，第1手本體11，第2手本體21，第1吸附部13，以及第2吸附部23。

於本實施型態中，作為一例，將同軸雙臂機器人適用於搬送機器人1。基台3為單一個，第1機器臂4a的基端部與第2機器臂4b的基端部，以可轉動的方式繞同軸狀的軸線(第1軸)L1被連結。第1機器臂4a與第2機器臂4b為水平多關節型。第1機器臂4a具備：第1基端臂5a，其以可繞鉛直的第1軸L1擺動的方式相對連接於基台3；第1前端臂6a，其以可繞鉛直的第2軸L2a擺動的方式連接於第1基端臂5a的前端部；第1手腕部7a，其以可於鉛直方向昇降的方式連接於第1前端臂6a的前端部；第1安裝部8a，其以可繞鉛直的第3軸L3a擺動的方式連接於第1手腕部7a的下端部。與此相同的，第2機器臂4b亦具備：第2基端臂5b、第2前端臂6b、第2手腕部7b、以及第2安裝部8b。第2基端臂5b相對於基台3可繞鉛直的第1軸L1擺動；第2前端臂6b相對於第2基端臂5b可繞鉛直的第2軸L2b擺動；第2手腕部7b相對於第2前端臂6b可於鉛直方向昇降；第2安裝部8b相對於第2手腕部7b可繞鉛直的第3軸L3b擺動。

第1手本體11的上端部具有可拆卸地裝設於第1安裝部8a的下表面的裝設部12。第2手本體21的上端部具有可拆卸地裝設於第2安裝部8b的下表面的裝設部22。手本體11、21形成為柱狀。當將裝設部12、22裝設至相對應的安裝部8a、8b時，手本體11、21成為從相對應的安裝部8a、8b往下方延伸的狀態。

藉由機器臂4a、4b的動作，第2手本體21可相對於第1手本體11，至少於水平的第1方向X上相對移動。於本實施型態中，第1手本體11與第2手本體21，根據第1機器臂4a與第2機器臂4b的動作，可相互獨立地改變三維空間中的位置以及姿勢。第2手本體21可相對於第1手本體11除了水平的第1方向X以外，亦能於與第1方向X垂直之水平的第2方向Y，以及鉛直方向Z的3個方向上相對移動。

第1吸附部13安裝於第1手本體11，並吸附工件90(參照圖2)的上表面。第2吸附部23安裝於第2手本體21，並吸附工件90的上表面。

圖2係表示手本體11、21的立體圖。第1吸附部13具有一對吸附體14、15。一對吸附體14、15平行地延伸。第2吸附部23具有至少一個吸附體。於本實施型態中，第2吸附部23具有一對吸附體24、25。一對吸附體24、25平行地延伸。

圖2係表示以第1吸附部13與第2吸附部23保持工件90的狀態。此時，第2手本體21係從第1手本體11於第1方向X上分離。第1吸附部13的吸附體14、15相互於第2方向Y上分離，且於第1方向X上平行延伸。第2吸附部23的吸附體24、25亦於第2方向Y上分離，且於第1方向X上平行延伸。

一對吸附體14、15透過托架16安裝於第1手本體11的下端部。托架16形成為平板狀，或是於俯視時為U字狀。托架16具有於第2方向Y上延伸的基部，以及從基部的兩端於第1方向X上延伸的一對前端部。基部的上表面連接至第1手本體11的下端部。一對吸附體14、15安裝於托架16的前端部的下表面。吸附體14、15的長度比托架16的前端部的長度為長。吸附體14、15的基端部的端面，與托架16的基部的端面於第1方向X上大致位於相同位置。吸附體14、15的前端部從托架16的前端部於第1方向X上突出。第2吸附部23的構成與上述敘述相同。兩個托架16、26的前端部相互對向。

第2吸附部23之一個吸附體24，於第2方向Y上位於第1吸附部13 的一對吸附體14、15之間。於本實施型態中，第2吸附部23的吸附體24、25亦成對。第1吸附部13之一個吸附體15，於第2方向Y上位於第2吸附部23的一對吸附體24、25之間。根據第2手本體21的相對於第1手本體11的相對移動，而改變吸附體24進入吸附體14、15之間區域的進入量D24。另外，根據該相對移動，吸附體15進入吸附體24、25之間區域的進入量D15被改變。原則上，工件90的搬送係在使吸附體24進入區域，並使吸附體15進入區域的狀態來進行。

圖3係吸附體15的剖面圖。由於其他吸附體14、24、25的構成皆相同，故省略重複說明。吸附體15具有本體構件31、軟性構件32、複數個吸引口33、以及排出口34。本體構件31形成為中空且具有封閉的內部空間31a。作為一例，本體構件31的外型以及內部空間31a具有矩形的剖面。本體構件31的材料並無特別限定。作為一例，本體構件31由不鏽鋼或是鋁合金等金屬材料成形。本體構件31的外側下表面形成為平面。

軟性構件32形成為帶狀，覆蓋本體構件31的外側下表面。軟性構件32由以EPDM(Ethylene Propylene Diene Monomer)橡膠等具有可撓性的材料成形的發泡體所構成。發泡體的泡孔構造為閉孔結構、或為開孔結構、或為半獨立半連續型皆可。軟性構件32若承受板厚方向的負重，則內部的氣泡會縮小，軟性構件32會在板厚方向上壓縮變形。如上所述地，軟性構件32於材料方面及/或結構方面上具有柔軟性。若為半獨立半連續型，在壓縮變形量大而提升柔軟性的同時，亦能確保在壓縮變形時的氣密性與閉孔結構相同，故增加吸附工件的可靠性。複數個吸引口33貫通軟性構件32與本體構件31的下壁部，且於第1方向X上大致以等間隔配置。各個吸引口33連通至本體構件31的內部空間31a，另外，於軟性構件32的下表面(作為吸附體15整體的下表面)開口。排出口34貫通本體構件31的上壁部以及托架16。管接頭35從上方插入排出口34，並固定於托架16的上表面。管接頭35上安裝有管36的一端，管36的另一端連接至產生施加至第1吸附部13的負壓的負壓源59。負壓源59由噴射器、泵或者是鼓風機等真空產生機所構成。當負壓源59啟動時，透過管36與本體構件31的內部空間31a，以複數個吸引口33施加負壓，可將物體吸附於吸附體15的下表面。

如圖1與圖2所示的，搬送機器人1具備第1定位機構40與第2定位機構45。第1定位機構40設置於第1手本體11以及第2手本體21，藉由抵接於工件90的外側面(尤其是朝向第1方向X的外側面)，將第2手本體21相對於第1手本體11於第1方向X上定位。第1定位機構40具有：支持於第1手本體11的第1抵接部41；以及支持於第2手本體21的第2抵接部42。第1抵接部41與第2抵接部42具有於鉛直方向與第2方向Y延伸，且朝向第1方向X的抵接面。2個抵接面位於比吸附體14、15、24、25的下表面的更下方處。另外，吸附體14、15、24、25於第1方向X上位於2個抵接面之間。第1抵接部41的抵接面抵接於工件90的一外側面，第2抵接部42的抵接面抵接於，與第1抵接部41抵接的外側面於第1方向X上相反的外側面。於本實施型態中，第1抵接部41固定於托架16的基部，第2抵接部42固定於托架26的基部。

第2定位機構45設置於第1手本體11以及第2手本體21，藉由抵接於工件90的外側面(尤其是朝向第2方向Y的外側面)，將第1手本體11與第2手本體21相對於工件90於第2方向Y上定位。第2定位機構45具有：支持於第1手本體11的第1抵接部46；以及支持於第2手本體21的第2抵接部47。第1抵接部46與第2抵接部47具有於鉛直方向與第1方向X延伸的抵接面。2個抵接面位於比吸附體14、15、24、25的下表面的更下方處。第1抵接部46的抵接面，從一對吸附體14、15之中第2方向Y上之一側的吸附體15，於第2方向Y上之一側分離了間隔D46。第2抵接部47的抵接面，從一對吸附體24、25之中第2方向Y上之一側的吸附體25，於第2方向Y上之一側分離了間隔D47。第1抵接部46的間隔D46與第2抵接部47的間隔D47不同。間隔D46與間隔D47的差至少是吸附體在第2方向Y上之尺寸以上。間隔D46與間隔D47之任一方較大亦可。僅作為一例，於本實施型態中，第1抵接部46的間隔D46相對較大。2個抵接面抵接於工件的外側面中朝向第2方向Y上之一側的面。於本實施型態中，第1抵接部46固定於托架16的前端部的上表面，第2抵接部47固定於托架26的前端部的上表面。

圖4係表示搬送機器人1的控制系統的方塊圖。搬送機器人1具備控制裝置50。作為一例，控制裝置50收容於雙臂機器人的基台3內(參照圖1)。控制裝置50具備：儲存有與執行搬送工件90的作業相關之程式的記憶體、執行儲存於記憶體內程式的CPU、以及與以前述程式控制的各種致動器連接的介面。

第1機器臂4a所具備的致動器包含：基端致動器51a，其使第1基端臂5a相對於基台3旋轉驅動、中間致動器52a，其使第1前端臂6a相對於第1基端臂5a旋轉驅動、前端致動器53a，其使第1安裝部8a相對於第1前端臂6a或第1手腕部7a旋轉驅動、昇降致動器54a，其使第1手腕部7a相對於第1前端臂6a昇降。與上述相同地，第2機器臂4b所具備的致動器包含：基端致動器51b、中間致動器52b、前端致動器53b、以及昇降致動器54b。另外，透過控制裝置50控制動作的致動器，包含產生施加於第1吸附部13與第2吸附部23的負壓的負壓源59。雖僅作為一例而於圖4中表示了4個吸附體14、15、24、25共用一個負壓源59的狀況，但以與4個吸附體一對一之方式設置負壓源亦可，以與2個吸附部一對一之方式設置負壓源，使吸附部的2個吸附體共用與之對應的1個負壓源亦可。

圖5A與圖5B係表示搬送機器人1所進行之作業之一例。搬送機器人1將複數個箱體狀的工件90一併搬送。此時，複數個工件90形成以整體於俯視時為矩形的整齊排列狀態下，將工件90一併地搬送。形成整齊排列狀態的複數個工件90，裝入另外準備的箱子。本實施型態中的搬送機器人1亦為拾取機器人(Picking Robot)或是裝箱機器人。裝載工件90的箱子，透過帶式輸送機之類的習知搬送機構來搬送至搬送機器人1面前。而前述箱子一般而言，是上部以翼片來開閉的紙箱。搬送機器人1以手本體11、21帶動被搬送的箱子至既定位置並定位，以定位機構40、45的抵接部41、42、46、47將翼片往外打開。如上所述地，用於裝箱的準備作業亦以搬送機器人1來進行。準備作業完成後，進行工件的搬送以及裝箱。

根據本實施型態的搬送機器人1，即便被供給至搬送機器人1面前的工件之尺寸或是裝載工件的箱子之尺寸有變更，亦能不進行步驟變更作業地持續拾取作業、搬送作業以及裝箱作業。

請參照圖5A，首先說明第1尺寸的工件90A的搬送。透過帶式輸送機之類的習知搬送機構，第1尺寸的工件90A被依序供給至搬送機器人1。搬送機器人1進行將3個工件90A一併搬起，裝載至別的箱子的作業。

當3個工件90A被供給至搬送機器人1的基台3的面前時，使第1機器臂4a及第2機器臂4b動作，並在第1定位機構40與第2定位機構45的作用下，使3個工件90A成為整齊排列狀態。

搬送機器人1以第1定位機構40的抵接部41、42以及第2定位機構45的抵接部46、47，在位於比被供給的工件90A更上方的位置之狀態，等待工件90A的供給。搬送機器人1以第1定位機構40的抵接面位於，比被供給的3個工件90A的俯視時的稜線更靠第1方向X的外側，且以第2定位機構45的抵接面位於，比被供給的3個工件90A的俯視時的稜線更靠第2方向Y的外側之狀態，等待工件90A的供給。

為了使3個工件90A成為整齊排列狀態，使第1機器臂4a及第2機器臂4b動作，以從第1方向X觀察時第1定位機構40的抵接面與工件90重疊為止，以從第2方向Y觀察時第2定位機構45的抵接面與工件90重疊為止之方式，讓第1手本體11以及第2手本體21下降。

使第1機器臂4a及第2機器臂4b動作，讓第1手本體11以及第2手本體21往第2方向Y的另一側移動，將第2定位機構45的抵接面抵接於工件90A的側面。藉此，3個工件90A於第2方向Y上整齊排列，且第1手本體11以及第2手本體21相對於工件90A於第2方向Y上定位，另外，4個吸附體14、15、24、25亦於第2方向Y上定位。由於間隔D46與間隔D47之間的差比吸附體14、15、24、25於第2方向Y上的尺寸為大，故第1吸附部13的吸附體14、15與第2吸附部23的吸附體24、25互不干涉。

使第1機器臂4a及第2機器臂4b動作，讓第1手本體11以及第2手本體21於第1方向X上靠近，將第1定位機構40的抵接面抵接於工件90A的側面。藉此，3個工件90A於第1方向X上成為沒有間隔的狀態。另外，吸附體24的進入量D24以及吸附體15的進入量D15，成為與無間隔狀態下的3個工件90A於第1方向X上的全體尺寸相對應的值。於此，無間隔狀態下的3個工件90A於第1方向X上全體尺寸X90A，小於第1吸附部的吸附體14、15的長度加上第2吸附部的吸附體24、25的長度之總和。因此，吸附體24進入吸附體14、15之間，吸附體15進入吸附體24、25之間。

於此，第1手本體11以及第2手本體21的往第2方向Y之移動、第1手本體11的往第1方向X之移動、以及第2手本體21的往第1方向X之移動可同時進行，依序進行亦可。

工件90A成為整齊排列狀態後，使第1機器臂4a及第2機器臂4b動作，讓第1手本體11以及第2手本體21下降，將吸附體14、15、24、25的下表面抵接於工件90A的上表面。吸附體14、15、24、25的下表面由軟性構件32構成，而該軟性構件32具有柔軟性。軟性構件32密接於工件90A的上表面，吸引口33藉由軟性構件32而封閉。3個工件90A的上表面載置有4個吸附體14、15、24、25中的至少1個。左邊的工件90A與第1吸附部13的一對吸附體14、15的下表面密接，右邊的工件90A與第2吸附部23的一對吸附體24、25的下表面密接，中間的工件90A 與4個吸附體14、15、24、25的下表面密接。

於此狀態下，使負壓源59啟動，對吸引口33施加負壓。藉此，3個工件90A被第1吸附部13與第2吸附部23所吸附。由於軟性構件32具有柔軟性，故即便工件90A的上表面為凹凸不平，亦能使軟性構件32隨著凹凸不平的部分而變形，且使吸附體14、15、24、25密接於工件90A。於本實施型態中，各個吸附體14、15、24、25橫跨複數個工件90A。即使某個吸引口33位於彼此相鄰的工件90A間隙上時，能夠藉由軟性構件32的變形而封閉該吸引口33，而抑止該吸引口33透過間隙而連通至大氣環境。因此，即便複數個吸引口33透過單一的內部空間31a而連通，能使剩下的吸引口33正常地產生負壓，來吸附工件90A。

在保持負壓源59為啟動的狀態下，使第1機器臂4a及第2機器臂4b動作，以不改變第1手本體11相對於第2手本體21的位置與姿勢之方式，讓第1手本體11以及第2手本體21移動。藉此，3個工件90A在保持整齊排列狀態之狀態下被搬起，藉由第1機器臂4a及第2機器臂4b而被搬送。裝箱之後，關閉負壓源59，3個工件90A從第1吸附部13與第2吸附部23被釋放。

接著，參照圖5B說明第2尺寸的工件90B的搬送。第2尺寸的工件90B亦由習知的搬送機構依序供給至搬送機器人1面前。搬送機器人1進行將8個工件90B一併搬起，裝載至別的箱子的作業。無間隙狀態下的8個工件90B之第1方向X上的整體尺寸X90B，與前述3個工件90A的整體尺寸X90A不同(僅作為一例，於本實施型態中，尺寸X90B大於X90A)。

與前述說明相同地，於此情況下亦進行第1手本體11以及第2手本體21的往第2方向Y之移動、第1手本體11的往第1方向X之移動、以及第2手本體21的往第1方向X之移動、第1手本體11以及第2手本體21之下降、以及負壓源59之啟動。由於整體尺寸X90B與前述不同，故第1手本體11的往第1方向X之移動量及/或第2手本體21的往第1方向X之移動量與前述說明不同。但是，與前述說明相同地，在第1定位機構40的作用下，可將8個工件90B於第1方向X上靠攏而消除間隙，使8個工件90B成為整齊排列狀態。在第1定位機構40的作用下，吸附體15的進入量D15以及吸附體24的進入量D24，配合工件90B的整體尺寸X90B被自動調整。另外，於此例中，8個工件90B的上表面亦載置有4個吸附體14、15、24、25中1個以上的吸附體之下表面。左邊3個工件90B的上表面與第1吸附部13的一對吸附體14、15的下表面密接，右邊3個工件90B的上表面與第2吸附部23的一對吸附體24、25的下表面密接，中間2個工件90B的上表面與4個吸附體14、15、24、25的下表面密接。

如上所述地，根據本實施型態，具有一對吸附體14、15的第1吸附部13，與具有吸附體24的第2吸附部23，分別設置於第1手本體11與第2手本體21。吸附體24的進入一對吸附體14、15之間區域的進入量D24，根據第2手本體21之相對於第1手本體11於第1方向X上之相對移動而改變。

即便作業對象之工件90的尺寸於第1方向X上改變，透過將第2手本體部21相對於第1手本體11進行相對移動，可使第1吸附部13與第2吸附部23之間互不干涉地，來調整吸附部整體的第1方向X上之尺寸。作為一例，吸附部整體的第1方向X上之尺寸，係從第1吸附部13的吸附體之基端至第2吸附部23的吸附體之基端部為止的，於第1方向X上之距離，且根據進入量D24的變更而調整。藉此，可不進行如交換手本體般的步驟變更作業(外部步驟變更)，而持續進行工件90的搬送。另外，可使工件90於第1方向X上之中央部之吸附面積變大，來將工件90穩定地搬起。

於本實施型態中，於第2吸附部23中吸附體24、25亦成對。第1吸附部的吸附體15之進入一對吸附體24、25之間區域的進入量D15，會根據第2手本體部21的相對於第1手本體11於第1方向X上之相對移動而改變。透過吸附面積的增加，可將工件90穩定地搬起。

吸附體的下部使用軟性構件。即便吸附體的長度較長，或是單一個吸附體有必要吸附至複數個工件90的上表面，可使吸附體的下表面密接於工件90的上表面，來將工件90穩定地搬起。

搬送機器人1具備，設置於第1手本體11以及第2手本體21的第1定位機構40以及第2定位機構45。在第1定位機構40的作用下，將複數個工件90一併搬起之情況中，工件90於第1方向X上被靠攏，而可將工件90成為整齊排列狀態。在第2定位機構45的作用下，將複數個工件90一併搬起之情況中，工件90於第2方向Y上被整齊排列。另外，可將第2手本體21相對於第1手本體11於第2方向Y上定位，以防止吸附體的干涉及實現工件90的穩定搬送。

以上雖對實施型態加以說明，然上述構成可在本發明的範圍內適宜地變更、追加或是省略。

搬送機器人1並不限定為同軸雙臂機器人。在雙臂機器人之情況下，第1機器臂4a以及第2機器臂4b的基端部以可繞非同軸狀之個別的軸線旋轉的方式連接於基台上亦可。另外，搬送機器人由具備第1機器臂4a的第1機器人，與具備第2機器臂4b的第2機器人的兩台機器人所構成，且透過兩台機器人的協調控制實現前述搬送作業亦可。第1機器臂4a與第2機器臂4b為垂直多關節型亦可。第2吸附部的吸附體為單一個亦可。第1吸附部及第2吸附部各有三個以上的吸附體亦可。本發明不僅是橫向排列的複數個工件90，亦能處理單一個工件。