TWI729944B - 粉末的原子層沉積裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種粉末的原子層沉積裝置，主要包括一真空腔體、一軸封裝置及一驅動單元。軸封裝置包括一外管體及一內管體，其中內管體由外管體的容置空間延伸至真空腔體的反應空間，並在反應空間內形成一凸出管部。驅動單元透過外管體驅動真空腔體轉動，以攪動反應空間內的粉末。凸出管部與反應空間的長寬比值介於一特定範圍內，使得輸送至反應空間的非反應氣體揚起反應空間內的粉末，並將粉末擴散到反應空間的各個區域，以利於在粉末的表面形成厚度均勻的薄膜。

Description

粉末的原子層沉積裝置
本發明有關於一種粉末的原子層沉積裝置，其中反應空間內的凸出管部與反應空間的長寬比值介於一特定範圍內，使得非反應氣體揚起反應空間內的粉末，以利於在粉末的表面形成厚度均勻的薄膜。
奈米顆粒(nanoparticle)一般被定義為在至少一個維度上小於100奈米的顆粒，奈米顆粒與宏觀物質在物理及化學上的特性截然不同。一般而言，宏觀物質的物理特性與本身的尺寸無關，但奈米顆粒則非如此，奈米顆粒在生物醫學、光學和電子等領域都具有潛在的應用。
量子點(Quantum Dot)是半導體的奈米顆粒，目前研究的半導體材料為II-VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到矚目。量子點的尺寸通常在2至50奈米之間，量子點被紫外線照射後，量子點中的電子會吸收能量，並從價帶躍遷到傳導帶。被激發的電子從傳導帶回到價帶時，會通過發光釋放出能量。
量子點的能隙與尺寸大小相關，量子點的尺寸越大能隙越小，經照射後會發出波長較長的光，量子點的尺寸越小則能隙越大，經照射後會發出波長較短的光。例如5到6奈米的量子點會發出橘光或紅光，而2到3奈米的量子點則會發出藍光或綠光，當然光色取決於量子點的材料組成。
應用量子點的發光二極體(LED)產生的光可接近連續光譜，同時具有高演色性，並有利於提高發光二極體的發光品質。此外亦可透過改變量子點的尺寸調整發射光的波長，使得量子點成為新一代發光裝置及顯示器的發展重點。
量子點雖然具有上述的優點及特性，但在應用或製造的過程中容易產生團聚現象。此外量子點具有較高的表面活性，並容易與空氣及水氣發生反應，進而縮短量子點的壽命。
具體來說，將量子點製作成為發光二極體的密封膠時，可能會產生團聚效應，而降低了量子點的光學性能。此外，量子點在製作成發光二極體的密封膠後，外界的氧或水氣仍可能會穿過密封膠而接觸量子點的表面，導致量子點氧化，並影響量子點及發光二極體的效能或使用壽命。量子點的表面缺陷及懸空鍵(dangling bonds)亦可能造成非輻射復合(nonradiative recombination)，同樣會影響量子點的發光效率。
目前業界主要透過原子層沉積(atomic layer deposition，ALD)在量子點的表面形成一層奈米厚度的薄膜，或者是在量子點的表面形成多層薄膜，以形成量子井結構。
原子層沉積可以在基板上形成厚度均勻的薄膜，並可有效控制薄膜的厚度，理論上亦適用於三維的量子點。量子點靜置在承載盤時，相鄰的量子點之間會存在接觸點，使得原子層沉積的前驅物氣體無法接觸這些接觸點，並導致無法在所有的奈米顆粒的表面皆形成厚度均勻的薄膜。
為了解決上述先前技術的問題，本發明提出一種粉末的原子層沉積裝置 ，可於原子層沉積製程中充份攪拌粉末，使得粉末擴散到真空腔體的反應空間的各個區域，以利於在各個粉末的表面上形成厚度均勻的薄膜。
本發明的一目的，在於提供一種粉末的原子層沉積裝置，主要包括一驅動單元、一軸封裝置及一真空腔體，其中驅動單元透過軸封裝置連接並驅動真空腔體轉動。軸封裝置包括一外管體及一內管體，其中內管體位於外管體的容置空間，並延伸至真空腔體的一反應空間，以在反應空間內形成一凸出管部。驅動單元透過外管體連接真空腔體，並透過外管體帶動真空腔體轉動。驅動單元帶動外管體及真空腔體轉動時，內管體會保持不動。
反應空間具有一第一長度及一第一寬度，而凸出管部則有一第二長度及一第二寬度，其中第一長度、第二長度、第一寬度及/或第二寬度的比值介於一特定範圍內，以利於透過真空腔體的轉動及向反應空間噴出的非反應氣體，充份且均勻的攪動反應空間內的粉末，並以原子層沉積的方式在所有粉末的表面形成厚度均勻的薄膜。
本發明的一目的，在於提供一種粉末的原子層沉積裝置，其中反應空間可以是任意幾何形狀的柱狀體，第一長度為反應空間的最大長度，而第一寬度則為反應空間的最大寬度。
為了達到上述的目的，本發明提出一種粉末的原子層沉積裝置，包括：一真空腔體，包括一反應空間，並用以容置複數個粉末；一軸封裝置，包括一外管體及一內管體，其中外管體具有一容置空間，用以容置內管體，而內管體則具有一連接空間，其中內管體由外管體的容置空間延伸至真空腔體的反應空間，並形成一凸出管部；一驅動單元，透過軸封裝置連接真空腔體，並經由外管體帶動真空腔體轉動；至少一抽氣管線，位於內管體的連接空間內，並流體連接真空腔體的反應空間，用以抽出反應空間內的一氣體；至少一進氣管線，位於內管體的連接空間內，並流體連接真空腔體的反應空間，用以將一前驅物或一非反應氣體輸送至反應空間，其中非反應氣體用以吹動反應空間內的粉末；其中反應空間具有一第一長度，而凸出管部則有一第二長度，反應空間的第一長度與凸出管部的第二長度的方向平行真空腔體轉動的軸心，且第二長度與第一長度的比值大於0.2並小於0.8。
本發明提出一種粉末的原子層沉積裝置，包括：一真空腔體，包括一反應空間，並用以容置複數個粉末；一軸封裝置，包括一外管體及一內管體，其中外管體具有一容置空間，用以容置內管體，而內管體則具有一連接空間，其中內管體由外管體的容置空間延伸至真空腔體的反應空間，並形成一凸出管部；一驅動單元，透過軸封裝置連接真空腔體，並經由外管體帶動真空腔體轉動；至少一抽氣管線，位於內管體的連接空間內，並流體連接真空腔體的反應空間，用以抽出內反應空間內的一氣體；至少一進氣管線，位於內管體的連接空間內，並流體連接真空腔體的反應空間，用以將一前驅物或一非反應氣體輸送至反應空間，其中非反應氣體用以吹動反應空間內的粉末；其中反應空間具有一第一寬度及一第一長度，反應空間的第一長度的方向平行真空腔體轉動的軸心，而第一寬度則垂直第一長度，且反應空間的第一寬度與第一長度的比值大於0.5並小於3。
本發明提出一種粉末的原子層沉積裝置，包括：一真空腔體，包括一反應空間，並用以容置複數個粉末；一軸封裝置，包括一外管體及一內管體，其中外管體具有一容置空間，用以容置內管體，而內管體則具有一連接空間，其中內管體由外管體的容置空間延伸至真空腔體的反應空間，並形成一凸出管部；一驅動單元，透過軸封裝置連接真空腔體，並經由外管體帶動真空腔體轉動；至少一抽氣管線，位於內管體的連接空間內，並流體連接真空腔體的反應空間，用以抽出反應空間內的一氣體；至少一進氣管線，位於內管體的連接空間內，並流體連接真空腔體的反應空間，用以將一前驅物或一非反應氣體輸送至反應空間，其中非反應氣體用以吹動反應空間內的粉末；其中反應空間具有一第一寬度，而凸出管部則具有一第二寬度，反應空間的第一寬度及凸出管部的第二寬度的方向垂直真空腔體轉動的軸心，且第一寬度與第二寬度的比值大於1.5並小於6。
所述的粉末的原子層沉積裝置，其中進氣管線包括至少一非反應氣體輸送管線，位於內管體的該連接空間內，流體連接真空腔體的反應空間，並用以將非反應氣體輸送至真空腔體的反應空間內，以吹動反應空間內的粉末。
所述的粉末的原子層沉積裝置，其中反應空間為一圓形波浪狀柱狀體或一多邊形的柱狀體，第一長度為反應空間的最大長度，而第一寬度為反應空間的最大寬度。
所述的粉末的原子層沉積裝置，其中真空腔體的一底部設置一凹槽，凹槽由真空腔體的底部延伸至反應空間，並用以容置內管體。
所述的粉末的原子層沉積裝置，其中真空腔體透過至少一固定單元固定在軸封裝置，固定單元卸下後，真空腔體會與軸封裝置分離。
請參閱圖1及圖2，分別為本發明粉末的原子層沉積裝置一實施例的立體示意圖及剖面示意圖。如圖所示，粉末的原子層沉積裝置10主要包括一真空腔體11、一軸封裝置13及一驅動單元15，其中驅動單元15透過軸封裝置13連接真空腔體11，並帶動真空腔體11轉動。
真空腔體11內具有一反應空間12，用以容置複數個粉末121，其中粉末121可以是量子點(Quantum Dot)，例如ZnS、CdS、CdSe等II-VI半導體材料，而形成在量子點上的薄膜可以是三氧化二鋁(Al2O3)。真空腔體11可包括一蓋板111及一腔體113，其中蓋板111用以覆蓋腔體113，並在兩者之間形成反應空間12。
在本發明一實施例中， 軸封裝置13包括一外管體131及一內管體133，其中外管體131具有一容置空間132，而內管體133則具有一連接空間134，例如外管體131及內管體133可為空心柱狀體。外管體131的容置空間132用以容置內管體133，其中外管體131及內管體133同軸設置。軸封裝置13可以是一般常見的軸封或磁流體軸封，主要用以隔離真空腔體11的反應空間12與外部的空間，以維持反應空間12的真空。
驅動單元15透過外管體131動力連接真空腔體11，並透過外管體131帶動真空腔體11轉動。此外驅動單元15並未連接內管體133，因此驅動單元15帶動外管體131及真空腔體11轉動時，內管體133不會隨著轉動。在本發明一實施例中，驅動單元15可為馬達，透過至少一齒輪14連接外管體131，並經由齒輪14帶動外管體131及真空腔體11相對於內管體133轉動。
驅動單元15可帶動外管體131及真空腔體11以同一方向持續轉動，例如順時針或逆時針方向持續轉動。在不同實施例中，驅動單元15可帶動外管體131及真空腔體11以順時針的方向旋轉一特定角度後，再以逆時針的方向旋轉特定角度，例如特定角度可為360度。真空腔體11轉動時，會攪拌反應空間12內的粉末121，以利於粉末121與前驅物氣體或非反應氣體接觸
內管體133的連接空間134內可設置至少一抽氣管線171、至少一進氣管線173、至少一非反應氣體輸送管線175、一加熱器177及/或一溫度感測單元179，如圖2及圖3所示。
抽氣管線171流體連接真空腔體11的反應空間12，並用以抽出反應空間12內的氣體，使得反應空間12為真空狀態，以進行後續的原子層沉積製程。具體而言抽氣管線171可連接一幫浦，並透過幫浦抽出反應空間12內的氣體。
進氣管線173流體連接真空腔體11的反應空間12，並用以將一前驅物或一非反應氣體輸送至反應空間12，其中非反應氣體可以是氮氣或氬氣等惰性氣體。例如進氣管線173可透過閥件組連接一前驅物儲存槽及一非反應氣體儲存槽，並透過閥件組將前驅物氣體輸送至反應空間12內，使得前驅物氣體沉積粉末121表面。在實際應用時，進氣管線173可能會將一載送氣體(carrier gas)及前驅物氣體一起輸送到反應空間12內。而後透過閥件組將非反應氣體輸送至反應空間12內，並透過抽氣管線171抽氣，以去除反應空間12內的前驅物氣體。在本發明一實施例中，進氣管線173可連接複數個分枝管線，並分別透過各個分枝管線將不同的前驅物氣體依序輸送至反應空間12內。
此外進氣管線173可增大輸送至反應空間12的非反應氣體的流量，並透過非反應氣體吹動反應空間12內的粉末121，使得粉末121受到非反應氣體的帶動，而擴散到反應空間12的各個區域。
在本發明一實施例中，進氣管線173可包括至少一非反應氣體輸送管線175，其中非反應氣體輸送管線175流體連接真空腔體11的反應空間12，並用以將一非反應氣體輸送至反應空間12，例如非反應氣體輸送管線175可透過閥件組連接一氮氣儲存槽，並透過閥件組將氮氣輸送至反應空間12。非反應氣體用以吹動反應空間12內的粉末121，配合驅動單元15驅動真空腔體11轉動，可有效且均勻的翻攪反應空間12內的粉末121，並可在各個粉末121的表面沉積厚度均勻的薄膜。
在粉末上形成薄膜的原子層沉積裝置10的進氣管線173及非反應氣體輸送管線175都用以將非反應氣體輸送至反應空間12，其中進氣管線173輸送的非反應氣體的流量較小，主要用以去除反應空間12內的前驅物氣體，而非反應氣體輸送管線175輸送的非反應氣體的流量較大，主要用以吹動反應空間12內的粉末121。
具體而言，進氣管線173及非反應氣體輸送管線175將非反應氣體輸送至反應空間12的時間點不同，因此在實際應用時可不設置非反應氣體輸送管線175，並調整進氣管線173在不同時間點輸送的非反應氣體的流量。當要去除反應空間12內的前驅物氣體時，可降低進氣管線173輸送至反應空間12的非反應氣體的流量，而要吹動反應空間12內的粉末121時，則增加進氣管線173輸送至反應空間12的非反應氣體的流量。
加熱器177用以加熱連接空間134及內管體133，並透過加熱器177加熱內管體133內的抽氣管線171、進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175，以提高抽氣管線171、進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175內的氣體的溫度。例如可提高進氣管線173輸送至反應空間12的非反應氣體及/或前驅物氣體的溫度，並可提高非反應氣體輸送管線175輸送至反應空間12的非反應氣體的溫度。使得非反應氣體及/或前驅物氣體進入反應空間12時，不會造成反應空間12的溫度大幅下降或改變。此外可透過溫度感測單元179量測加熱器177或連接空間134的溫度，以得知加熱器177的工作狀態。當然在真空腔體11的內部、外部或周圍通常會設置另一個加熱裝置，其中加熱裝置鄰近或接觸真空腔體11，並用以加熱真空腔體11及反應空間12。
在本發明實施例中，軸封裝置13的內管體133由外管體131的容置空間132延伸至真空腔體11的反應空間12，其中反應空間12內的內管體133被定義為一凸出管部130。此外位於內管體133的連接空間134內的抽氣管線171、進氣管線173、非反應氣體輸送管線175、加熱器177及/或溫度感測單元179亦位於凸出管部130。透過凸出管部130的設置可縮短或調整進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175與蓋板111之間的距離，使得進氣管線173及/或非反應氣體輸送管線175輸送至反應空間12的非反應氣體傳遞至蓋板111上，並經由蓋板111擴散到反應空間12的各個區域。
在本發明一實施例中，凸出管部130的一端設置一過濾單元139，其中抽氣管線171經由過濾單元139流體連接反應空間12，並經由過濾單元139抽出反應空間12內的氣體。過濾單元139主要用以過濾反應空間12內的粉末121，以避免粉末121在抽氣的過程中進入抽氣管線171內，而造成粉末121的損耗。
如圖2所示，真空腔體11內的反應空間12的形狀近似柱狀體，並具有一第一寬度a及一第一長度b。例如當反應空間12為圓柱狀體，第一寬度a為圓柱狀體的直徑，而第一長度b則是圓柱狀體在軸向的高度。此外，凸出管部130的外觀亦近似圓柱體，並具有一第二寬度d及第二長度c，其中第二寬度d為圓柱狀體的直徑，而第二長度c則是圓柱狀體在軸向的凸出高度。
本發明主要透過真空腔體11的轉動，配合非反應氣體輸送管線175將非反應氣體傳送至反應空間12，以充份且均勻的翻攪反應空間12內的粉末121。
發明人認為反應空間12內的粉末121被翻攪時的均勻度，會與真空腔體11的反應空間12及軸封裝置13的凸出管部130的比例相關。為此發明人經過多次的嘗試及實驗後，找出反應空間12及/或凸出管部130的長度及寬度的最佳比例範圍，使得真空腔體11內的粉末121可以均勻的擴散在反應空間12內，並在粉末121表面形成厚度均勻的薄膜。
在本發明一實施例中，反應空間12的第一長度b及凸出管部130的第二長度c的方向平行真空腔體11轉動的軸心，其中凸出管部130的第二長度c與反應空間12的第一長度b的比值大於0.2並小於0.8。
在本發明一實施例中，反應空間12的第一長度b的方向平行真空腔體11轉動的軸心，而反應空間12的第一寬度a則垂直第一長度b，其中反應空間12的第一寬度a與第一長度b的比值大於0.5並小於3。
在本發明一實施例中，反應空間12的第一寬度a及凸出管部130的第二寬度d的方向垂直真空腔體11轉動的軸心，其中反應空間12的第一寬度a與凸出管部130的第二寬度d的比值大於1.5並小於6。
在本發明一具體實施例中，反應空間12的第一寬度a可為160mm至230mm；反應空間12的第一長度b可為80mm至90mm；凸出管部130的第二寬度d可為40mm至60mm；及凸出管部130的第二長度c可為40mm至60mm。當然上述反應空間12及凸出管部130的長度及寬度僅為本發明一實施例，並非本發明權利範圍的限制。
在實際應用時可依據需求改變反應空間12及凸出管部130的第一寬度a、第一長度b、第二長度c及第二寬度d，只要使得反應空間12及/或凸出管部130的寬度及/或長度的比值介於上述實施例的範圍內，便可透過真空腔體11的轉動及向反應空間12噴出的非反應氣體，充份且均勻的攪動反應空間12內的粉末121，並以原子層沉積的方式在所有粉末121的表面形成厚度均勻的薄膜。
在本發明上述實施例中，主要以反應空間12及凸出管部130為圓柱體進行說明，但在實際應用時反應空間12及凸出管部130的形狀並不侷限為圓柱體，例如反應空間12為一圓形波浪狀柱狀體或一多邊形的柱狀體。如圖4所示，蓋板111及/或腔體113的內表面可設置至少一任意幾何形狀的凹槽或凸部，以利於粉末121在反應空間12內擴散。在這種情況下，反應空間12的第一寬度a被定義為反應空間12內的最大寬度，而第一長度b則被定義為反應空間12內的最大長度。
在本發明一實施例中，粉末的原子層沉積裝置10亦可包括一承載板191及至少一固定架193，其中承載板191可為一板體，用以承載驅動單元15、真空腔體11及軸封裝置13。例如承載板191連接驅動單元15，並透過驅動單元15連接軸封裝置13及真空腔體11。此外軸封裝置13及/或真空腔體11亦可透過至少一支撐架連接承載板191，以提高連接的穩定度。
承載板191可透過至少一連接軸195連接固定架193，其中固定架193的數量可為兩個，並分別設置在承載板191的兩側。承載板191可以連接軸195為軸心相對於固定架193轉動，以改變驅動單元15、軸封裝置13及真空腔體11的仰角，以利於在各個粉末121的表面形成厚度均勻的薄膜。
在本發明一實施例中，如圖5所示，軸封裝置13及真空腔體11可為兩個獨立及可拆卸的構件，其中真空腔體11的底部115及軸封裝置13上可設置對應的連接孔，並可透過固定單元135穿過兩者的連接孔，以將真空腔體11固定在軸封裝置13上。在將固定單元135卸下後，真空腔體11便可與軸封裝置13分離。透過此一可拆卸機構，有利於使用者將真空腔體11由軸封裝置13上卸下，並取出真空腔體11內完成原子層沉積的粉末121，以及清潔真空腔體11。在實際應用時可將完成原子層沉積製程的真空腔體11由軸封裝置13上卸下，並將另一個欲進行原子層沉積製程的真空腔體11固定在軸封裝置13上，以提高製程的效率。
此外真空腔體11的底部115可設置一凹槽117，其中凹槽117由真空腔體11的底部115延伸至反應空間12內，而軸封裝置13部分的內管體133則可插入凹槽117內，並在真空腔體11的反應空間12內形成凸出管部130。
以上所述者，僅為本發明之一較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍，即凡依本發明申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本發明之申請專利範圍內。
10:粉末的原子層沉積裝置 11:真空腔體 111:蓋板 113:腔體 115:底部 117:凹槽 12:反應空間 121:粉末 13:軸封裝置 130:凸出管部 131:外管體 132:容置空間 133:內管體 134:連接空間 135:固定單元 139:過濾單元 14:齒輪 15:驅動單元 171:抽氣管線 173:進氣管線 175:非反應氣體輸送管線 177:加熱器 179:溫度感測單元 191:承載板 193:固定架 195:連接軸 a:第一寬度 b:第一長度 c:第二長度 d:第二寬度
[圖1]為本發明粉末的原子層沉積裝置一實施例的立體示意體。
[圖2]為本發明粉末的原子層沉積裝置一實施例的剖面示意圖。
[圖3]為本發明粉末的原子層沉積裝置的部分構造一實施例的剖面示意圖。
[圖4]為本發明粉末的原子層沉積裝置又一實施例的剖面示意體。
[圖5]為本發明粉末的原子層沉積裝置又一實施例的剖面分解示意圖。
10:粉末的原子層沉積裝置
11:真空腔體
111:蓋板
113:腔體
12:反應空間
121:粉末
13:軸封裝置
130:凸出管部
131:外管體
132:容置空間
133:內管體
134:連接空間
139:過濾單元
15:驅動單元
171:抽氣管線
175:非反應氣體輸送管線
177:加熱器
191:承載板
193:固定架
195:連接軸
a:第一寬度
b:第一長度
c:第二長度
d:第二寬度

Claims (10)

  1. 一種粉末的原子層沉積裝置，包括： 一真空腔體，包括一反應空間，並用以容置複數個粉末； 一軸封裝置，包括一外管體及一內管體，其中該外管體具有一容置空間，用以容置該內管體，其中該內管體由該外管體的該容置空間延伸至該真空腔體的該反應空間，並形成一凸出管部； 一驅動單元，透過該軸封裝置連接該真空腔體，並經由該外管體帶動該真空腔體轉動； 至少一抽氣管線，位於該內管體內，並流體連接該真空腔體的該反應空間，用以抽出該反應空間內的一氣體；及 至少一進氣管線，位於該內管體內，並流體連接該真空腔體的該反應空間，用以將一前驅物或一非反應氣體輸送至該反應空間，其中該非反應氣體用以吹動該反應空間內的該粉末； 其中該反應空間具有一第一長度，而該凸出管部則有一第二長度，該反應空間的該第一長度與該凸出管部的該第二長度的方向平行該真空腔體轉動的軸心，且該第二長度與該第一長度的比值大於0.2並小於0.8。
  2. 如請求項1所述的粉末的原子層沉積裝置，其中該反應空間為一圓形波浪狀柱狀體或一多邊形的柱狀體，該第一長度為該反應空間內的最大長度。
  3. 如請求項1所述的粉末的原子層沉積裝置，其中該真空腔體的一底部設置一凹槽，該凹槽由該真空腔體的該底部延伸至該反應空間，並用以容置該內管體，且該真空腔體透過至少一固定單元固定在該軸封裝置，該固定單元卸下後，該真空腔體會與該軸封裝置分離。
  4. 如請求項1所述的粉末的原子層沉積裝置，其中該進氣管線包括至少一非反應氣體輸送管線位於該內管體內，流體連接該真空腔體的該反應空間，並用以將該非反應氣體輸送至該真空腔體的該反應空間內，以吹動該反應空間內的該粉末。
  5. 一種粉末的原子層沉積裝置，包括： 一真空腔體，包括一反應空間，並用以容置複數個粉末； 一軸封裝置，包括一外管體及一內管體，其中該外管體具有一容置空間，用以容置該內管體，其中該內管體由該外管體的該容置空間延伸至該真空腔體的該反應空間，並形成一凸出管部； 一驅動單元，透過該軸封裝置連接該真空腔體，並經由該外管體帶動該真空腔體轉動； 至少一抽氣管線，位於該內管體內，並流體連接該真空腔體的該反應空間，用以抽出該反應空間內的一氣體；及 至少一進氣管線，位於該內管體內，並流體連接該真空腔體的該反應空間，用以將一前驅物或一非反應氣體輸送至該反應空間，其中該非反應氣體用以吹動該反應空間內的該粉末； 其中該反應空間具有一第一寬度及一第一長度，該反應空間的該第一長度的方向平行該真空腔體轉動的軸心，而該第一寬度則垂直該第一長度，且該反應空間的該第一寬度與該第一長度的比值大於0.5並小於3。
  6. 如請求項5所述的粉末的原子層沉積裝置，其中該反應空間為一圓形波浪狀柱狀體或一多邊形的柱狀體，該第一長度為該反應空間的最大長度，而第一寬度為該反應空間的最大寬度。
  7. 如請求項5所述的粉末的原子層沉積裝置，其中該真空腔體的一外表面包括一凹槽，該凹槽由該真空腔體的該外表面延伸至該反應空間，並用以容置該內管體，且該真空腔體透過至少一固定單元鎖固在該軸封裝置，該固定單元卸下後，該真空腔體會與該軸封裝置分離。
  8. 一種粉末的原子層沉積裝置，包括： 一真空腔體，包括一反應空間，並用以容置複數個粉末； 一軸封裝置，包括一外管體及一內管體，其中該外管體具有一容置空間，用以容置該內管體，其中該內管體由該外管體的該容置空間延伸至該真空腔體的該反應空間，並形成一凸出管部； 一驅動單元，透過該軸封裝置連接該真空腔體，並經由該外管體帶動該真空腔體轉動； 至少一抽氣管線，位於該內管體內，並流體連接該真空腔體的該反應空間，用以抽出該反應空間內的一氣體；及 至少一進氣管線，位於該內管體內，並流體連接該真空腔體的該反應空間，用以將一前驅物或一非反應氣體輸送至該反應空間，其中該非反應氣體用以吹動該反應空間內的該粉末； 其中該反應空間具有一第一寬度，而該凸出管部則具有一第二寬度，該反應空間的該第一寬度及該凸出管部的該第二寬度的方向垂直該真空腔體轉動的軸心，且該第一寬度與該第二寬度的比值大於1.5並小於6。
  9. 如請求項8所述的粉末的原子層沉積裝置，其中該反應空間為一圓形波浪狀柱狀體或一多邊形的柱狀體，該第一寬度為該反應空間的最大寬度。
  10. 如請求項8所述的粉末的原子層沉積裝置，其中該真空腔體的外表面包括一凹槽，該凹槽由該真空腔體的外表面延伸至該反應空間，並用以容置該內管體，且該真空腔體透過至少一固定單元鎖固在該軸封裝置，該固定單元卸下後，該真空腔體會與該軸封裝置分離。
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